JP4690117B2 - Optical module - Google Patents

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Description

本発明は、光信号を変調する光変調器等をモジュール化した光モジュールに関する。   The present invention relates to an optical module obtained by modularizing an optical modulator that modulates an optical signal.

従来、例えば、光変調器モジュールでは、光変調器の温度を一定に保つため、温度制御素子(ペルチェクーラー)等を用いていた(特許文献1参照)。又、光変調器から発生する熱を効率よく外部に逃がすため、光変調器を設置するマウント部分は、モジュール筐体との熱伝導を十分確保できる構造となっていた。   Conventionally, for example, in an optical modulator module, a temperature control element (Peltier cooler) or the like has been used in order to keep the temperature of the optical modulator constant (see Patent Document 1). In addition, in order to efficiently release the heat generated from the optical modulator to the outside, the mount portion where the optical modulator is installed has a structure that can sufficiently ensure heat conduction with the module housing.

特開2004−288751号公報JP 2004-288951 A

しかしながら、上述したような光変調器モジュールにおいては、外部から熱が流入した場合、特に、光の進行方向と垂直な方向に、熱が偏って流入すると、マウント部分に熱勾配ができ、光変調器が不均一に熱せられてしまうこととなる。特に、入力光を2本の光導波路へ分配し、その位相差を制御することで強度変調光信号を得ることを原理とする、マッハツェンダ型光変調器等の干渉型光変調器においては、両導波路の温度が不均一に変化すると、その光出力強度が変化し、信号劣化の原因となっていた。つまり、熱伝導を確保するためのマウントが、光変調器を外部温度の変動に影響され易い状態にしていた。   However, in the optical modulator module as described above, when heat flows in from the outside, especially when the heat flows in a direction perpendicular to the traveling direction of light, a thermal gradient is generated in the mount portion, and the light modulation is performed. The vessel will be heated unevenly. In particular, in an interference optical modulator such as a Mach-Zehnder optical modulator based on the principle of obtaining an intensity-modulated optical signal by distributing input light to two optical waveguides and controlling the phase difference between the two, When the temperature of the waveguide changes non-uniformly, the light output intensity changes, causing signal degradation. That is, the mount for ensuring heat conduction has put the optical modulator in a state that is easily affected by fluctuations in the external temperature.

又、光変調器を制御する制御電子回路を光モジュールの筐体内部に実装する場合、制御電子回路が発生する熱がマウント部分に不均一に熱伝導して、光変調器が不均一に熱せられて、光変調器の信号劣化を起こすおそれもあった。   In addition, when the control electronic circuit for controlling the optical modulator is mounted inside the optical module housing, the heat generated by the control electronic circuit is non-uniformly conducted to the mount portion, and the optical modulator is non-uniformly heated. As a result, there is a risk of signal deterioration of the optical modulator.

本発明は上記課題に鑑みなされたもので、内部に実装された制御電子回路による内部発熱や外部温度の変動があっても、光変調器の出力が変動することのない光モジュールを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and provides an optical module in which the output of an optical modulator does not fluctuate even when internal heat generation or fluctuation of external temperature is caused by a control electronic circuit mounted inside. With the goal.

上記課題を解決する第1の発明に係る光モジュールは、
光信号を変調する光変調器と、
前記光変調器を搭載し、前記光変調器の発熱を拡散するマウントと、
前記光変調器を含めて、前記マウントを収容する筐体と、
前記マウントを前記筐体の内部に固定するスペーサとを有し、
前記マウントを前記筐体へ固定する方向に垂直な面における前記マウントの断面積より、同方向に垂直な面における前記スペーサの断面積を小さくし
前記スペーサを形成する材料の熱伝導率を、前記筐体及び前記マウントを形成する材料の熱伝導率より小さくしたことを特徴とする。
つまり、上記構成により、マウントのスペーサに接する面の面積より、スペーサのマウントに接する接触面積を小さくすることができ、スペーサからマウントへの熱流入を抑制することができる。
An optical module according to a first invention for solving the above-described problem is
An optical modulator for modulating an optical signal ;
A mount mounting the optical modulator, diffuses the heat generated of the optical modulator,
A housing containing the mount, including the light modulator;
A spacer for fixing the mount inside the housing;
The cross-sectional area of the spacer in the plane perpendicular to the same direction is made smaller than the cross-sectional area of the mount in the plane perpendicular to the direction in which the mount is fixed to the housing .
The thermal conductivity of the material forming the spacer is smaller than the thermal conductivity of the material forming the housing and the mount .
That is, according to the above configuration, the contact area of the spacer in contact with the mount can be made smaller than the area of the surface in contact with the spacer of the mount, and heat inflow from the spacer to the mount can be suppressed.

上記課題を解決する第2の発明に係る光モジュールは、
上記第1の発明に記載の光モジュールにおいて、
前記スペーサの断面積を、前記マウントの断面積の2/3以下としたことを特徴とする。
An optical module according to a second invention for solving the above-described problem is
In the optical module according to the first invention,
A cross-sectional area of the spacer is 2/3 or less of a cross-sectional area of the mount.

上記課題を解決する第の発明に係る光モジュールは、
上記第1又は第2の発明に記載の光モジュールにおいて、
前記スペーサを形成する材料の熱伝導率を、前記筐体及び前記マウントを形成する材料の熱伝導率の50%以下としたことを特徴とする。
An optical module according to a third invention for solving the above-described problem is
In the optical module according to the first or second invention,
The thermal conductivity of the material forming the spacer is 50% or less of the thermal conductivity of the material forming the housing and the mount.

上記課題を解決する第の発明に係る光モジュールは、
上記第1〜第の発明のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
光変調器を制御する制御電子回路を、前記筐体の内部に実装したことを特徴とする。
An optical module according to a fourth invention for solving the above-described problem is
In the optical module according to any one of the first to third inventions,
A control electronic circuit for controlling the optical modulator is mounted inside the casing.

上記課題を解決する第の発明に係る光モジュールは、
上記第1〜第の発明のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
前記制御電子回路を搭載するステージを、前記マウント、前記スペーサとは独立して、前記筐体の内部に設けたことを特徴とする。
An optical module according to a fifth invention for solving the above-described problem is
In the optical module according to any one of the first to fourth inventions,
A stage on which the control electronic circuit is mounted is provided inside the housing independently of the mount and the spacer.

本発明によれば、光変調器を搭載するマウントを、スペーサを介して筐体に固定すると共に、スペーサの断面積をマウントの断面積より小さくし、その熱伝導率をマウント、筐体の熱伝導率より小さくしたので、スペーサからマウントへ流入する熱を抑制すると共に、断面積がスペーサより大きく、熱容量の大きいマウントに、流入した熱を拡散させることができ、内部で発生した熱、外部から流入した熱の影響を、光変調器が受けることがなくなる。又、温度変化があったとしても、熱容量の大きいマウントにより、光変調器の温度を均一に変化させることができる。その結果、光変調器からの出力が変動することのない光モジュールを実現することができる。   According to the present invention, the mount on which the optical modulator is mounted is fixed to the casing via the spacer, the cross-sectional area of the spacer is made smaller than the cross-sectional area of the mount, and the thermal conductivity thereof is mounted. Since it is smaller than the conductivity, the heat flowing from the spacer to the mount is suppressed, and the cross-sectional area is larger than the spacer and the heat flowing in can be diffused to the mount having a large heat capacity. The light modulator is not affected by the heat that has flowed in. Even if there is a change in temperature, the temperature of the optical modulator can be changed uniformly by a mount having a large heat capacity. As a result, an optical module in which the output from the optical modulator does not fluctuate can be realized.

本発明は、光変調器、或いは、光変調器とそれを駆動する制御電子回路を同時に実装した光モジュールにおいて、光モジュールの筐体から光変調器を搭載したマウントへの熱流入を抑制するため、筐体とマウントの間にあるスペーサの断面積をマウントの断面積より小さく構成し、更に、熱流入を小さくするため、スペーサの材料として、熱伝導率の小さなものを用いるようにしたものである。以下、本発明に係る光モジュールの実施形態例のいくつかを、図1〜図10を用いて説明を行う。   The present invention relates to an optical module in which an optical modulator or an optical modulator and a control electronic circuit that drives the optical modulator are mounted at the same time, in order to suppress heat inflow from the optical module housing to the mount on which the optical modulator is mounted. The cross-sectional area of the spacer between the housing and the mount is configured to be smaller than the cross-sectional area of the mount, and in addition, in order to reduce heat inflow, a material with low thermal conductivity is used as the spacer material. is there. Hereinafter, some exemplary embodiments of the optical module according to the present invention will be described with reference to FIGS.

参考例1Reference example 1

図1は、本発明に係る光モジュールの参考例を示す図であり、図1(a)は、図1(b)のB−B’線矢視断面図、図1(b)は、上面透視図、図1(c)は、図1(b)のA−A’線矢視断面図である。 1A and 1B are diagrams showing a reference example of an optical module according to the present invention. FIG. 1A is a cross-sectional view taken along line BB ′ in FIG. 1B, and FIG. FIG. 1C is a perspective view, and is a cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG.

参考例では、図1に示すマウント106上に搭載する光変調器108として、図2に示すような、リチュームナイオベート(LiNbO3)基板80上に形成された変調器を用いる。上記変調器は、光入力導波路81へ入力されたCW光を、光分配器82で2つの位相制御用光導波路83、85へ分配し、その光導波路間の位相差を、制御用電極84、86へ印加する電気信号で制御して、光結合器87で結合され、光出力導波路88より出力される光強度を制御することを原理とするマッハツェンダ型光変調器(MZ変調器)である。MZ変調器では、上記原理で説明したように、2本の位相制御用光導波路83、85の位相差により出力光強度を制御するので、片側の光導波路のみが熱せられ、温度が上昇することで、片側の光導波路のみの屈折率(位相)が変化すると、出力光強度が変化してしまう。しかし、両光導波路を同様に熱すると、温度を上昇させても両光導波路間の位相差は変化することがないため、出力光強度が変化することはない。 In the present reference example , as the optical modulator 108 to be mounted on the mount 106 shown in FIG. 1, a modulator formed on a retum niobate (LiNbO 3 ) substrate 80 as shown in FIG. 2 is used. The modulator distributes the CW light input to the optical input waveguide 81 to the two phase control optical waveguides 83 and 85 by the optical distributor 82, and determines the phase difference between the optical waveguides as the control electrode 84. , 86 is a Mach-Zehnder type optical modulator (MZ modulator) that is controlled by an electric signal applied to 86 and is coupled by an optical coupler 87 and controls the light intensity output from the optical output waveguide 88. is there. In the MZ modulator, as described in the above principle, the output light intensity is controlled by the phase difference between the two phase control optical waveguides 83 and 85, so that only one of the optical waveguides is heated and the temperature rises. Thus, when the refractive index (phase) of only the optical waveguide on one side changes, the output light intensity changes. However, if both the optical waveguides are heated in the same manner, the phase difference between the two optical waveguides does not change even when the temperature is raised, so that the output light intensity does not change.

即ち、光変調器の温度が変化したとしても、光変調器全体が同様な温度変化をすれば、その出力高強度が変化することはなく、少なくとも、光変調器の幅方向Wの熱分布の不均一性を抑制すれば、光変調器の長さ方向Lの熱分布に不均一性があったとしても、出力光強度の変化を防止することが可能となる(図2参照)。   That is, even if the temperature of the optical modulator changes, if the entire optical modulator changes in the same temperature, the output high intensity will not change, and at least the heat distribution in the width direction W of the optical modulator will not change. If the non-uniformity is suppressed, even if the heat distribution in the length direction L of the optical modulator has non-uniformity, it is possible to prevent a change in the output light intensity (see FIG. 2).

参考例の光モジュールは、モジュール外壁101及びプレート102よりなるモジュール筐体に、光入出力用光ファイバ104、光ファイバ固定スリーブ103を具備したものである。電気信号は、電気コネクタ109から、熱絶縁性の高いセラミックスにより形成された配線板111を通して、光変調器108へ供給される。入出力光を導くための光ファイバ104は、光変調器108と直接結合されている。光変調器108はマウント106に搭載されており、マウント106はスペーサ112を用いてモジュール筐体のプレート102に固定されており、これらはモジュール筐体の内部に収容されている。 The optical module of the present reference example includes a module housing composed of a module outer wall 101 and a plate 102, and includes an optical fiber 104 for light input / output and an optical fiber fixing sleeve 103. The electrical signal is supplied from the electrical connector 109 to the optical modulator 108 through the wiring board 111 formed of ceramic having high thermal insulation. An optical fiber 104 for guiding input / output light is directly coupled to the optical modulator 108. The optical modulator 108 is mounted on a mount 106, and the mount 106 is fixed to the plate 102 of the module housing using a spacer 112, and these are accommodated inside the module housing.

ここで、モジュール外壁101、プレート102、マウント106は、熱伝導率の良い、例えば、銅タングステン(CuW、熱伝導率〜3.7×10-3J/cm/s/K)等の材料で形成され、熱の伝導をよくするように作製されている。スペーサ112は、同材料で形成されているが、マウント106をプレート102へ固定する方向Fに垂直な面における断面積Ssを、同じ方向Fに垂直な面におけるマウントの断面積Smより小さくなるように、断面積Smの2/3以下の面積に設定している。即ち、スペーサ112のマウント106に接する接触面積を、マウント106のスペーサ112に接する面の面積より小さくしている。従って、プレート102から光変調器108方向へ流入しようとする熱は、スペーサ112の断面積が小さいことから、光変調器108方向へ流入しにくくなっており、更に、大きな熱容量を持つマウント106により拡散されるため、影響がある場合にも、光変調器108を均一に熱する効果しか無く、光出力強度に影響を及ぼすことはない。 Here, the module outer wall 101, the plate 102, and the mount 106 are made of a material having good thermal conductivity, such as copper tungsten (CuW, thermal conductivity˜3.7 × 10 −3 J / cm / s / K). Formed and made to improve heat conduction. The spacer 112 is made of the same material, but the cross-sectional area S s in the plane perpendicular to the direction F for fixing the mount 106 to the plate 102 is smaller than the cross-sectional area S m of the mount in the plane perpendicular to the same direction F. as it will have been set to the area of 2/3 or less of the cross-sectional area S m. That is, the contact area of the spacer 112 in contact with the mount 106 is made smaller than the area of the surface of the mount 106 in contact with the spacer 112. Therefore, the heat that is about to flow from the plate 102 toward the optical modulator 108 is difficult to flow toward the optical modulator 108 because the cross-sectional area of the spacer 112 is small. Even if there is an influence, it has only an effect of heating the optical modulator 108 uniformly, and does not affect the light output intensity.

なお、光変調器108は、ほとんど発熱を伴わない、あるいは、発熱量が微少であるため、熱容量の大きいマウント106にて、その発熱が拡散され、光変調器108の局所的な温度上昇を避けることができる。スペーサ112の断面積は、マウント106の断面積の2/3以下が望ましいが、更に望ましくは1/2以下、最も望ましくは1/4以下である。   Since the optical modulator 108 hardly generates heat or generates a small amount of heat, the generated heat is diffused by the mount 106 having a large heat capacity, and a local temperature rise of the optical modulator 108 is avoided. be able to. The cross-sectional area of the spacer 112 is preferably 2/3 or less of the cross-sectional area of the mount 106, more preferably 1/2 or less, and most preferably 1/4 or less.

図3は、本発明に係る光モジュールの実施形態の一例を示す図であり、図3(a)は、図3(b)のB−B’線矢視断面図、図3(b)は、上面透視図、図3(c)は、図3(b)のA−A’線矢視断面図である。 FIG. 3 is a diagram showing an example of an embodiment of an optical module according to the present invention. FIG. 3A is a cross-sectional view taken along line BB ′ in FIG. 3B, and FIG. FIG. 3C is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 3B.

本実施例でも、光変調器108として、図2に示すような、リチュームナイオベート(LiNbO3)基板80上に形成された変調器を用いる。上記変調器は、光入力導波路81へ入力されたCW光を、光分配器82で2つの位相制御用光導波路83、85へ分配し、その光導波路間の位相差を、制御用電極84、86へ印加する電気信号で制御して、光結合器87で結合され、光出力導波路88より出力される光強度を制御することを原理とするマッハツェンダ型光変調器(MZ変調器)である。MZ変調器では、上記原理で説明したように、2本の位相制御用光導波路83、85の位相差により出力光強度を制御するので、片側の光導波路のみが熱せられ、温度が上昇することで、片側の光導波路のみの屈折率(位相)が変化すると、出力光強度が変化してしまう。しかし、両光導波路を同様に熱すると、温度を上昇させても両光導波路間の位相差は変化することがないため、出力光強度が変化することはない。 Also in the present embodiment, as the optical modulator 108, a modulator formed on a recombination niobate (LiNbO 3 ) substrate 80 as shown in FIG. The modulator distributes the CW light input to the optical input waveguide 81 to the two phase control optical waveguides 83 and 85 by the optical distributor 82, and determines the phase difference between the optical waveguides as the control electrode 84. , 86 is a Mach-Zehnder type optical modulator (MZ modulator) that is controlled by an electric signal applied to 86 and is coupled by an optical coupler 87 and controls the light intensity output from the optical output waveguide 88. is there. In the MZ modulator, as described in the above principle, the output light intensity is controlled by the phase difference between the two phase control optical waveguides 83 and 85, so that only one of the optical waveguides is heated and the temperature rises. Thus, when the refractive index (phase) of only the optical waveguide on one side changes, the output light intensity changes. However, if both the optical waveguides are heated in the same manner, the phase difference between the two optical waveguides does not change even when the temperature is raised, so that the output light intensity does not change.

即ち、光変調器の温度が変化したとしても、光変調器全体が同様な温度変化をすれば、その出力高強度が変化することはなく、少なくとも、光変調器の幅方向Wの熱分布の不均一性を抑制すれば、光変調器の長さ方向Lの熱分布に不均一性があったとしても、出力光強度の変化を防止することが可能となる(図2参照)。   That is, even if the temperature of the optical modulator changes, if the entire optical modulator changes in the same temperature, the output high intensity will not change, and at least the heat distribution in the width direction W of the optical modulator will not change. If the non-uniformity is suppressed, even if the heat distribution in the length direction L of the optical modulator has non-uniformity, it is possible to prevent a change in the output light intensity (see FIG. 2).

本実施例の光モジュールは、モジュール外壁101及びプレート102よりなるモジュール筐体に、光入出力用光ファイバ104、光ファイバ固定スリーブ103を具備したものである。電気信号は、電気コネクタ109から、熱絶縁性の高いセラミックスにより形成された配線板111を通して光変調器108へ供給される。入出力光を導くための光ファイバ104は光変調器108と直接結合されている。光変調器108はマウント106に搭載されており、マウント106はスペーサ113を用いてモジュール筐体のプレート102に固定されており、これらはモジュール筐体の内部に収容されている。   The optical module of the present embodiment includes a module housing composed of a module outer wall 101 and a plate 102, and includes an optical fiber 104 for light input / output and an optical fiber fixing sleeve 103. The electrical signal is supplied from the electrical connector 109 to the optical modulator 108 through the wiring board 111 formed of ceramic having high thermal insulation. An optical fiber 104 for guiding input / output light is directly coupled to the optical modulator 108. The optical modulator 108 is mounted on a mount 106, and the mount 106 is fixed to the plate 102 of the module housing using a spacer 113, and these are housed inside the module housing.

ここで、モジュール外壁101、プレート102、マウント106は熱伝導率の良い、例えば、銅タングステン(CuW、熱伝導率〜3.7×10-3J/cm/s/K)等の材料で形成され、熱の伝導をよくするように作製されている。スペーサ113は、モジュール筐体を構成する材料に比べ熱伝導率が50%以下の材料、例えば、真鍮(黄銅(Cu70%。Zn30%)、熱伝導率〜0.96×10-3 J/cm/s/K)、あるいは、ステンレススチール(熱伝導率〜0.25×10-3 J/cm/s/K)等で形成されている。又、マウント106をプレート102へ固定する方向Fに垂直な面におけるスペーサ113の断面積Ssを、同じ方向Fに垂直な面におけるマウントの断面積Smより小さくなるように、断面積Smの2/3以下の面積に設定している。即ち、スペーサ113のマウント106に接する接触面積を、マウント106のスペーサ113に接する面の面積より小さくしている。従って、プレート102から光変調器108方向へ流入しようとする熱は、スペーサ113の断面積の小ささ及びスペーサ113の熱伝導率の悪さから、光変調器108方向へ流入しにくくなっており、光変調器108へ大きな影響を及ぼさず、更に、大きな熱容量を持つマウント106により拡散されるため、影響がある場合にも、光変調器108を均一に熱する効果しか無く、光出力強度に影響を及ぼすことはない。 Here, the module outer wall 101, the plate 102, and the mount 106 are formed of a material having good thermal conductivity, such as copper tungsten (CuW, thermal conductivity˜3.7 × 10 −3 J / cm / s / K). And is made to improve heat conduction. The spacer 113 is a material having a thermal conductivity of 50% or less compared to the material constituting the module housing, for example, brass (brass (Cu 70%, Zn 30%), thermal conductivity up to 0.96 × 10 −3 J / cm. / s / K) or stainless steel (thermal conductivity˜0.25 × 10 −3 J / cm / s / K). Further, the cross-sectional area S s of the spacer 113 in a plane perpendicular to the direction F to secure the mount 106 to the plate 102, so as to be smaller than the cross-sectional area S m of the mount in a plane perpendicular to the same direction F, the cross-sectional area S m Of 2/3 or less. That is, the contact area of the spacer 113 in contact with the mount 106 is made smaller than the area of the surface of the mount 106 in contact with the spacer 113. Accordingly, the heat that tends to flow from the plate 102 toward the optical modulator 108 is less likely to flow toward the optical modulator 108 due to the small cross-sectional area of the spacer 113 and the poor thermal conductivity of the spacer 113. Since the light is not diffused by the mount 106 having a large heat capacity without affecting the light modulator 108, the light modulator 108 can only be heated uniformly even when there is an influence, and the light output intensity is affected. Will not affect.

なお、光変調器108は、ほとんど発熱を伴わない、あるいは、発熱量が微少であるため、熱容量の大きいマウント106にて、その発熱が拡散され、光変調器108の局所的な温度上昇を避けることができる。スペーサ113の断面積は、マウント106の断面積の2/3以下が望ましいが、更に望ましくは1/2以下、最も望ましくは1/4以下である。又、マウント106等の材料の熱伝導率に比べ、スペーサ113の材料の熱伝導率は50%以下が望ましいが、更に望ましくは25%以下、最も望ましくは10%以下である。   Since the optical modulator 108 hardly generates heat or generates a small amount of heat, the generated heat is diffused by the mount 106 having a large heat capacity, and a local temperature rise of the optical modulator 108 is avoided. be able to. The cross-sectional area of the spacer 113 is preferably 2/3 or less of the cross-sectional area of the mount 106, more preferably 1/2 or less, and most preferably 1/4 or less. Further, the thermal conductivity of the material of the spacer 113 is desirably 50% or less, more desirably 25% or less, and most desirably 10% or less, compared to the thermal conductivity of the material such as the mount 106.

参考例2Reference example 2

図4は、本発明に係る光モジュールの他の参考例を示す図であり、図4(a)は、図4(b)のB−B’線矢視断面図、図4(b)は、上面透視図、図4(c)は、図4(b)のA−A’線矢視断面図である。 4A and 4B are diagrams showing another reference example of the optical module according to the present invention. FIG. 4A is a cross-sectional view taken along line BB ′ in FIG. 4B, and FIG. FIG. 4C is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 4B.

参考例では、図4に示すマウント206上に搭載する光変調器208として、図5に示すような、半導体基板90上に形成された変調器を用いる。上記変調器は、光入力導波路91へ入力されたCW光を、光分配器92で2つの位相制御用光導波路93、95へ分配し、その光導波路間の位相差を、制御用電極94、96へ印加する電気信号で制御して、光結合器97で結合され、光出力導波路98より出力される光強度を制御することを原理とするマッハツェンダ型光変調器(MZ変調器)である。MZ変調器では、上記原理で説明したように、2本の位相制御用光導波路93、95の位相差により出力光強度を制御するので、片側の光導波路のみが熱せられ、温度が上昇することで、片側の光導波路のみの屈折率(位相)が変化すると、出力光強度が変化してしまう。しかし、両光導波路を同様に熱すると、温度を上昇させても両光導波路間の位相差は変化することがないため、出力光強度が変化することはない。 In this reference example , as the optical modulator 208 mounted on the mount 206 shown in FIG. 4, a modulator formed on the semiconductor substrate 90 as shown in FIG. 5 is used. The modulator distributes the CW light input to the optical input waveguide 91 to the two phase control optical waveguides 93 and 95 by the optical distributor 92, and determines the phase difference between the optical waveguides to the control electrode 94. , A Mach-Zehnder type optical modulator (MZ modulator) which is controlled by an electric signal applied to 96 and is coupled by an optical coupler 97 and controls the light intensity output from the optical output waveguide 98. is there. In the MZ modulator, since the output light intensity is controlled by the phase difference between the two phase control optical waveguides 93 and 95 as described in the above principle, only one of the optical waveguides is heated and the temperature rises. Thus, when the refractive index (phase) of only the optical waveguide on one side changes, the output light intensity changes. However, if both the optical waveguides are heated in the same manner, the phase difference between the two optical waveguides does not change even when the temperature is raised, so that the output light intensity does not change.

即ち、光変調器の温度が変化したとしても、光変調器全体が同様な温度変化をすれば、その出力高強度が変化することはなく、少なくとも、光変調器の幅方向Wの熱分布の不均一性を抑制すれば、光変調器の長さ方向Lの熱分布に不均一性があったとしても、出力光強度の変化を防止することが可能となる(図5参照)。   That is, even if the temperature of the optical modulator changes, if the entire optical modulator changes in the same temperature, the output high intensity will not change, and at least the heat distribution in the width direction W of the optical modulator will not change. If the non-uniformity is suppressed, it is possible to prevent a change in the output light intensity even if the heat distribution in the length direction L of the optical modulator is non-uniform (see FIG. 5).

参考例の光モジュールは、モジュール外壁201及びプレート202よりなるモジュール筐体に、光入出力用光ファイバ204、光ファイバ固定スリーブ203を具備したものである。電気信号は、電気コネクタ209から、熱絶縁性の高いセラミックスにより形成された配線板211を通して半導体光変調器208へ供給される。入出力光を導くための光ファイバ204は、光変調器設置用マウント206上に具備された結合用レンズ207により光変調器208へ結合されている。光変調器208はマウント206に搭載されており、マウント206はスペーサ212を用いてモジュール筐体のプレート202に固定されており、これらはモジュール筐体の内部に収容されている。 The optical module of the present reference example includes a module housing composed of a module outer wall 201 and a plate 202, and an optical fiber 204 for light input / output and an optical fiber fixing sleeve 203. The electrical signal is supplied from the electrical connector 209 to the semiconductor optical modulator 208 through the wiring board 211 formed of ceramic having high thermal insulation. The optical fiber 204 for guiding the input / output light is coupled to the optical modulator 208 by a coupling lens 207 provided on the optical modulator installation mount 206. The optical modulator 208 is mounted on a mount 206, and the mount 206 is fixed to the plate 202 of the module housing using a spacer 212, and these are housed inside the module housing.

ここで、モジュール外壁201、プレート202、マウント206は熱伝導率の良い、例えば、銅タングステン(CuW、熱伝導率〜3.7×10-3J/cm/s/K)等の材料で形成され、熱の伝導をよくするように作製されている。スペーサ212は、同材料で形成されているが、マウント206をプレート202へ固定する方向Fに垂直な面における断面積Ssを、同じ方向Fに垂直な面におけるマウントの断面積Smより小さくなるように、断面積Smの2/3以下の面積に設定している。即ち、スペーサ212のマウント206に接する接触面積を、マウント206のスペーサ212に接する面の面積より小さくしている。従って、プレート202から光変調器208方向へ流入しようとする熱は、スペーサ212の断面積が小さいことから、光変調器208方向へ流入しにくくなっており、更に、大きな熱容量を持つマウント206により拡散されるため、影響がある場合にも、光変調器208を均一に熱する効果しか無く、光出力強度に影響を及ぼすことはない。 Here, the module outer wall 201, the plate 202, and the mount 206 are formed of a material having good thermal conductivity, such as copper tungsten (CuW, thermal conductivity˜3.7 × 10 −3 J / cm / s / K). And is made to improve heat conduction. The spacer 212 is formed of the same material, but the cross-sectional area S s in the plane perpendicular to the direction F for fixing the mount 206 to the plate 202 is smaller than the cross-sectional area S m of the mount in the plane perpendicular to the same direction F. as it will have been set to the area of 2/3 or less of the cross-sectional area S m. That is, the contact area of the spacer 212 that contacts the mount 206 is made smaller than the area of the surface of the mount 206 that contacts the spacer 212. Therefore, the heat that is about to flow from the plate 202 toward the optical modulator 208 is less likely to flow toward the optical modulator 208 because the cross-sectional area of the spacer 212 is small. Even if there is an influence, it has only an effect of heating the optical modulator 208 uniformly, and does not affect the light output intensity.

なお、光変調器208は、ほとんど発熱を伴わない、あるいは、発熱量が微少であるため、熱容量の大きいマウント206にて、その発熱が拡散され、光変調器208の局所的な温度上昇を避けることができる。スペーサ212の断面積は、マウント206の断面積の2/3以下が望ましいが、更に望ましくは1/2以下、最も望ましくは1/4以下である。   The optical modulator 208 hardly generates heat or generates a small amount of heat. Therefore, the heat generation is diffused by the mount 206 having a large heat capacity, and a local temperature rise of the optical modulator 208 is avoided. be able to. The cross-sectional area of the spacer 212 is preferably 2/3 or less of the cross-sectional area of the mount 206, more preferably 1/2 or less, and most preferably 1/4 or less.

図6は、本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例を示す図であり、図6(a)は、図6(b)のB−B’線矢視断面図、図6(b)は、上面透視図、図6(c)は、図6(b)のA−A’線矢視断面図である。   FIG. 6 is a view showing another example of the embodiment of the optical module according to the present invention. FIG. 6A is a cross-sectional view taken along the line BB ′ of FIG. ) Is a top perspective view, and FIG. 6C is a cross-sectional view taken along the line AA ′ in FIG. 6B.

本実施例でも、光変調器208として、図5に示すような、半導体基板90上に形成された変調器を用いる。上記変調器は、光入力導波路91へ入力されたCW光を、光分配器92で2つの位相制御用光導波路93、95へ分配し、その光導波路間の位相差を、制御用電極94、96へ印加する電気信号で制御して、光結合器97で結合され、光出力導波路98より出力される光強度を制御することを原理とするマッハツェンダ型光変調器(MZ変調器)である。MZ変調器では、上記原理で説明したように、2本の位相制御用光導波路93、95の位相差により出力光強度を制御するので、片側の光導波路のみが熱せられ、温度が上昇することで、片側の光導波路のみの屈折率(位相)が変化すると、出力光強度が変化してしまう。しかし、両光導波路を同様に熱すると、温度を上昇させても両光導波路間の位相差は変化することがないため、出力光強度が変化することはない。   Also in this embodiment, a modulator formed on the semiconductor substrate 90 as shown in FIG. The modulator distributes the CW light input to the optical input waveguide 91 to the two phase control optical waveguides 93 and 95 by the optical distributor 92, and determines the phase difference between the optical waveguides to the control electrode 94. , A Mach-Zehnder type optical modulator (MZ modulator) which is controlled by an electric signal applied to 96 and is coupled by an optical coupler 97 and controls the light intensity output from the optical output waveguide 98. is there. In the MZ modulator, since the output light intensity is controlled by the phase difference between the two phase control optical waveguides 93 and 95 as described in the above principle, only one of the optical waveguides is heated and the temperature rises. Thus, when the refractive index (phase) of only the optical waveguide on one side changes, the output light intensity changes. However, if both the optical waveguides are heated in the same manner, the phase difference between the two optical waveguides does not change even when the temperature is raised, so that the output light intensity does not change.

即ち、光変調器の温度が変化したとしても、光変調器全体が同様な温度変化をすれば、その出力高強度が変化することはなく、少なくとも、光変調器の幅方向Wの熱分布の不均一性を抑制すれば、光変調器の長さ方向Lの熱分布に不均一性があったとしても、出力光強度の変化を防止することが可能となる(図5参照)。   That is, even if the temperature of the optical modulator changes, if the entire optical modulator changes in the same temperature, the output high intensity will not change, and at least the heat distribution in the width direction W of the optical modulator will not change. If the non-uniformity is suppressed, it is possible to prevent a change in the output light intensity even if the heat distribution in the length direction L of the optical modulator is non-uniform (see FIG. 5).

本実施例の光モジュールは、モジュール外壁201及びプレート202よりなるモジュール筐体に、光入出力用光ファイバ204、光ファイバ固定スリーブ203を具備したものである。電気信号は、電気コネクタ209から、熱絶縁性の高いセラミックスにより形成された配線板211を通して半導体光変調器208へ供給される。入出力光を導くための光ファイバ204は、光変調器設置用マウント206上に具備された結合用レンズ207により光変調器208へ結合されている。光変調器208はマウント206に搭載されており、マウント206はスペーサ213を用いてモジュール筐体のプレート202に固定されており、これらはモジュール筐体の内部に収容されている。   The optical module of the present embodiment includes a module housing composed of a module outer wall 201 and a plate 202, and includes a light input / output optical fiber 204 and an optical fiber fixing sleeve 203. The electrical signal is supplied from the electrical connector 209 to the semiconductor optical modulator 208 through the wiring board 211 formed of ceramic having high thermal insulation. The optical fiber 204 for guiding the input / output light is coupled to the optical modulator 208 by a coupling lens 207 provided on the optical modulator installation mount 206. The optical modulator 208 is mounted on a mount 206, and the mount 206 is fixed to the plate 202 of the module housing using a spacer 213, and these are housed inside the module housing.

ここで、モジュール外壁201、プレート202、マウント206は熱伝導率の良い、例えば、銅タングステン(CuW、熱伝導率〜3.7×10-3J/cm/s/K)等の材料で形成され、熱の伝導をよくするように作製されている。スペーサ213は、モジュール筐体を構成する材料に比べ熱伝導率が50%以下の材料、例えば、真鍮(黄銅(Cu70%。Zn30%)、熱伝導率〜0.96×10-3 J/cm/s/K)、あるいは、ステンレススチール(熱伝導率〜0.25×10-3 J/cm/s/K)等で形成されている。又、マウント206をプレート202へ固定する方向Fに垂直な面におけるスペーサ213の断面積Ssを、同じ方向Fに垂直な面におけるマウントの断面積Smより小さくなるように、断面積Smの2/3以下の面積に設定している。即ち、スペーサ213のマウント206に接する接触面積を、マウント206のスペーサ213に接する面の面積より小さくしている。従って、プレート202から光変調器208方向へ流入しようとする熱は、スペーサ213の断面積の小ささ及びスペーサ213の熱伝導率の悪さから、光変調器208方向へ流入しにくくなっており、光変調器208へ大きな影響を及ぼさず、更に、大きな熱容量を持つマウント206により拡散されるため、影響がある場合にも、光変調器208を均一に熱する効果しか無く、光出力強度に影響を及ぼすことはない。 Here, the module outer wall 201, the plate 202, and the mount 206 are formed of a material having good thermal conductivity, such as copper tungsten (CuW, thermal conductivity˜3.7 × 10 −3 J / cm / s / K). And is made to improve heat conduction. The spacer 213 is a material having a thermal conductivity of 50% or less compared to the material constituting the module housing, for example, brass (brass (Cu 70%, Zn 30%), thermal conductivity up to 0.96 × 10 −3 J / cm. / s / K) or stainless steel (thermal conductivity˜0.25 × 10 −3 J / cm / s / K). Further, the cross-sectional area S s of the spacer 213 in a plane perpendicular to the direction F to secure the mount 206 to the plate 202, so as to be smaller than the cross-sectional area S m of the mount in a plane perpendicular to the same direction F, the cross-sectional area S m Of 2/3 or less. That is, the contact area of the spacer 213 that contacts the mount 206 is smaller than the area of the surface of the mount 206 that contacts the spacer 213. Accordingly, the heat that tends to flow from the plate 202 toward the optical modulator 208 is less likely to flow toward the optical modulator 208 due to the small cross-sectional area of the spacer 213 and the poor thermal conductivity of the spacer 213. Since the light is not diffused by the mount 206 having a large heat capacity without affecting the light modulator 208, even if there is an influence, the light modulator 208 can only be heated uniformly, affecting the light output intensity. Will not affect.

なお、光変調器208は、ほとんど発熱を伴わない、あるいは、発熱量が微少であるため、熱容量の大きいマウント206にて、その発熱が拡散され、光変調器208の局所的な温度上昇を避けることができる。スペーサ213の断面積は、マウント206の断面積の2/3以下が望ましいが、更に望ましくは1/2以下、最も望ましくは1/4以下である。又、マウント206等の材料の熱伝導率に比べ、スペーサ213の材料の熱伝導率は50%以下が望ましいが、更に望ましくは25%以下、最も望ましくは10%以下である。   The optical modulator 208 hardly generates heat or generates a small amount of heat. Therefore, the heat generation is diffused by the mount 206 having a large heat capacity, and a local temperature rise of the optical modulator 208 is avoided. be able to. The cross-sectional area of the spacer 213 is preferably 2/3 or less of the cross-sectional area of the mount 206, more preferably 1/2 or less, and most preferably 1/4 or less. In addition, the thermal conductivity of the material of the spacer 213 is preferably 50% or less, more preferably 25% or less, and most preferably 10% or less, compared to the thermal conductivity of the material such as the mount 206.

なお、上記参考例1〜2、実施例1〜2においては、光変調器を制御する制御用ICを、光モジュール筐体の外部に配置しているが、上述したように、光変調器を搭載するマウントを、スペーサを介して筐体側へ固定するようにしているため、光変調器へ直接伝熱する場所でなければ、制御用ICを光モジュール筐体の内部へ配置しても、光出力強度に影響を及ぼすことはない。但し、この場合、制御用ICからの発熱を、光モジュール筐体の外部へ効率よく放出することが望ましく、そのような実施形態として、後述する参考例3〜4、実施例3〜4に示すような構成が考えられる。 In Reference Examples 1 and 2 and Examples 1 and 2, the control IC for controlling the optical modulator is disposed outside the optical module housing. However, as described above, the optical modulator is Since the mount to be mounted is fixed to the housing side via a spacer, if the control IC is placed inside the optical module housing unless it is a place where heat is transferred directly to the optical modulator, It does not affect the output intensity. However, in this case, it is desirable to efficiently release the heat generated from the control IC to the outside of the optical module housing. Examples of such embodiments are shown in Reference Examples 3 to 4 and Examples 3 to 4 described later. Such a configuration is conceivable.

参考例3Reference example 3

図7は、本発明に係る光モジュールの他の参考例を示す図であり、図7(a)は、図7(b)のB−B’線矢視断面図、図7(b)は、上面透視図、図7(c)は、図7(b)のA−A’線矢視断面図である。 FIG. 7 is a diagram showing another reference example of the optical module according to the present invention. FIG. 7A is a cross-sectional view taken along line BB ′ in FIG. 7B, and FIG. FIG. 7C is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 7B.

参考例でも、光変調器308として、図2に示すような、リチュームナイオベート(LiNbO3)基板80上に形成された変調器を用いる。上記変調器は、光入力導波路81へ入力されたCW光を、光分配器82で2つの位相制御用光導波路83、85へ分配し、その光導波路間の位相差を、制御用電極84、86へ印加する電気信号で制御して、光結合器87で結合され、光出力導波路88より出力される光強度を制御することを原理とするマッハツェンダ型光変調器(MZ変調器)である。MZ変調器では、上記原理で説明したように、2本の位相制御用光導波路83、85の位相差により出力光強度を制御するので、片側の光導波路のみが熱せられ、温度が上昇することで、片側の光導波路のみの屈折率(位相)が変化すると、出力光強度が変化してしまう。しかし、両光導波路を同様に熱すると、温度を上昇させても両光導波路間の位相差は変化することがないため、出力光強度が変化することはない。 Also in this reference example , as the optical modulator 308, a modulator formed on a recombination niobate (LiNbO 3 ) substrate 80 as shown in FIG. The modulator distributes the CW light input to the optical input waveguide 81 to the two phase control optical waveguides 83 and 85 by the optical distributor 82, and determines the phase difference between the optical waveguides as the control electrode 84. , 86 is a Mach-Zehnder type optical modulator (MZ modulator) that is controlled by an electric signal applied to 86 and is coupled by an optical coupler 87 and controls the light intensity output from the optical output waveguide 88. is there. In the MZ modulator, as described in the above principle, the output light intensity is controlled by the phase difference between the two phase control optical waveguides 83 and 85, so that only one of the optical waveguides is heated and the temperature rises. Thus, when the refractive index (phase) of only the optical waveguide on one side changes, the output light intensity changes. However, if both the optical waveguides are heated in the same manner, the phase difference between the two optical waveguides does not change even when the temperature is raised, so that the output light intensity does not change.

即ち、光変調器の温度が変化したとしても、光変調器全体が同様な温度変化をすれば、その出力高強度が変化することはなく、少なくとも、光変調器の幅方向Wの熱分布の不均一性を抑制すれば、光変調器の長さ方向Lの熱分布に不均一性があったとしても、出力光強度の変化を防止することが可能となる(図2参照)。   That is, even if the temperature of the optical modulator changes, if the entire optical modulator changes in the same temperature, the output high intensity will not change, and at least the heat distribution in the width direction W of the optical modulator will not change. If the non-uniformity is suppressed, even if the heat distribution in the length direction L of the optical modulator has non-uniformity, it is possible to prevent a change in the output light intensity (see FIG. 2).

参考例の光モジュールは、モジュール外壁301及びプレート302よりなるモジュール筐体に、光入出力用光ファイバ304、光ファイバ固定スリーブ303、制御用IC310を配備するためのステージ305を具備したものである。ステージ305上の制御用IC310には、電気コネクタ309を通して電気信号を供給する構造となっており、制御用IC310からの制御信号は、熱絶縁性の高いセラミックスにより形成された配線板311を通して光変調器308へ供給される。入出力光を導くための光ファイバ304は光変調器308と直接結合されている。光変調器308はマウント306に搭載されており、マウント306はスペーサ312を用いてモジュール筐体のプレート302に固定されており、又、ステージ305は、マウント306、スペーサ312とは独立して、プレート302へ固定されており、これらはモジュール筐体の内部に収容されている。 The optical module of this reference example is provided with a stage 305 for disposing a light input / output optical fiber 304, an optical fiber fixing sleeve 303, and a control IC 310 in a module housing composed of a module outer wall 301 and a plate 302. is there. The control IC 310 on the stage 305 is configured to supply an electrical signal through the electrical connector 309, and the control signal from the control IC 310 is optically modulated through the wiring board 311 formed of ceramic having high thermal insulation. To the container 308. An optical fiber 304 for guiding input / output light is directly coupled to the optical modulator 308. The light modulator 308 is mounted on a mount 306, and the mount 306 is fixed to the plate 302 of the module housing using a spacer 312, and the stage 305 is independent of the mount 306 and the spacer 312. These are fixed to the plate 302 and are housed inside the module housing.

ここで、モジュール外壁301、プレート302、ステージ305、マウント306は熱伝導率の良い、例えば、銅タングステン(CuW、熱伝導率〜3.7×10-3J/cm/s/K)等の材料で形成され、熱の伝導をよくするように作製されている。スペーサ312は、同材料で形成されているが、マウント306をプレート302へ固定する方向Fに垂直な面における断面積Ssを、同じ方向Fに垂直な面におけるマウントの断面積Smより小さくなるように、断面積Smの2/3以下の面積に設定している。即ち、スペーサ312のマウント306に接する接触面積を、マウント306のスペーサ312に接する面の面積より小さくしている。従って、プレート302から光変調器308方向へ流入しようとする熱は、スペーサ312の断面積が小さいことから、光変調器308方向へ流入しにくくなっており、更に、大きな熱容量を持つマウント306により拡散されるため、影響がある場合にも、光変調器308を均一に熱する効果しか無く、光出力強度に影響を及ぼすことはない。又、制御用IC310より発生した熱は、熱伝導率の良いステージ305、プレート302を通して、効率よくモジュール外部へ放出されるため、その発熱を光変調器308へ直接伝熱することはなく、発熱が光変調器308方向へ流入しようとしても、スペーサ312、マウント306を介して伝熱しようとするため、上述したように、スペーサ312によりマウント306への熱伝導が抑制されると共にマウント306により熱拡散が行われるため、光出力強度に影響を及ぼすことはない。 Here, the module outer wall 301, the plate 302, the stage 305, and the mount 306 have good thermal conductivity, such as copper tungsten (CuW, thermal conductivity˜3.7 × 10 −3 J / cm / s / K). It is made of material and made to improve heat conduction. The spacer 312 is made of the same material, but the cross-sectional area S s in the plane perpendicular to the direction F for fixing the mount 306 to the plate 302 is smaller than the cross-sectional area S m of the mount in the plane perpendicular to the same direction F. as it will have been set to the area of 2/3 or less of the cross-sectional area S m. That is, the contact area of the spacer 312 that contacts the mount 306 is made smaller than the area of the surface of the mount 306 that contacts the spacer 312. Accordingly, the heat that is about to flow from the plate 302 toward the optical modulator 308 is less likely to flow toward the optical modulator 308 because the cross-sectional area of the spacer 312 is small. Even if there is an influence, the light modulator 308 is only heated uniformly and does not affect the light output intensity. The heat generated from the control IC 310 is efficiently released to the outside of the module through the stage 305 and the plate 302 having good thermal conductivity, so that the heat is not directly transferred to the optical modulator 308. Even if the light flows in the direction of the optical modulator 308, heat is transmitted through the spacer 312 and the mount 306, and as described above, heat transfer to the mount 306 is suppressed by the spacer 312 and heat is transmitted by the mount 306. Since the diffusion is performed, the light output intensity is not affected.

なお、光変調器308は、ほとんど発熱を伴わない、あるいは、発熱量が微少であるため、熱容量の大きいマウント306にて、その発熱が拡散され、光変調器308の局所的な温度上昇を避けることができる。スペーサ312の断面積は、マウント306の断面積の2/3以下が望ましいが、更に望ましくは1/2以下、最も望ましくは1/4以下である。   The optical modulator 308 generates little heat or generates a small amount of heat, so that the heat generation is diffused by the mount 306 having a large heat capacity to avoid a local temperature rise of the light modulator 308. be able to. The cross-sectional area of the spacer 312 is preferably 2/3 or less of the cross-sectional area of the mount 306, more preferably 1/2 or less, and most preferably 1/4 or less.

図8は、本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例を示す図であり、図8(a)は、図8(b)のB−B’線矢視断面図、図8(b)は、上面透視図、図8(c)は、図8(b)のA−A’線矢視断面図である。   FIG. 8 is a diagram showing another example of the embodiment of the optical module according to the present invention. FIG. 8A is a cross-sectional view taken along the line BB ′ in FIG. ) Is a top perspective view, and FIG. 8C is a cross-sectional view taken along the line AA ′ in FIG. 8B.

本実施例でも、光変調器308として、図2に示すような、リチュームナイオベート(LiNbO3)基板80上に形成された変調器を用いる。上記変調器は、光入力導波路81へ入力されたCW光を、光分配器82で2つの位相制御用光導波路83、85へ分配し、その光導波路間の位相差を、制御用電極84、86へ印加する電気信号で制御して、光結合器87で結合され、光出力導波路88より出力される光強度を制御することを原理とするマッハツェンダ型光変調器(MZ変調器)である。MZ変調器では、上記原理で説明したように、2本の位相制御用光導波路の位相差により出力光強度を制御するので、片側の光導波路のみが熱せられ、温度が上昇することで、片側の光導波路のみの屈折率(位相)が変化すると、出力光強度が変化してしまう。しかし、両光導波路を同様に熱すると、温度を上昇させても両光導波路間の位相差は変化することがないため、出力光強度が変化することはない。 Also in this embodiment, as the optical modulator 308, a modulator formed on a reconditioned niobate (LiNbO 3 ) substrate 80 as shown in FIG. The modulator distributes the CW light input to the optical input waveguide 81 to the two phase control optical waveguides 83 and 85 by the optical distributor 82, and determines the phase difference between the optical waveguides as the control electrode 84. , 86 is a Mach-Zehnder type optical modulator (MZ modulator) that is controlled by an electric signal applied to 86 and is coupled by an optical coupler 87 and controls the light intensity output from the optical output waveguide 88. is there. In the MZ modulator, as described in the above principle, the output light intensity is controlled by the phase difference between the two optical waveguides for phase control. Therefore, only the optical waveguide on one side is heated and the temperature rises. When the refractive index (phase) of only the optical waveguide changes, the output light intensity changes. However, if both the optical waveguides are heated in the same manner, the phase difference between the two optical waveguides does not change even when the temperature is raised, so that the output light intensity does not change.

即ち、光変調器の温度が変化したとしても、光変調器全体が同様な温度変化をすれば、その出力高強度が変化することはなく、少なくとも、光変調器の幅方向Wの熱分布の不均一性を抑制すれば、光変調器の長さ方向Lの熱分布に不均一性があったとしても、出力光強度の変化を防止することが可能となる(図2参照)。   That is, even if the temperature of the optical modulator changes, if the entire optical modulator changes in the same temperature, the output high intensity will not change, and at least the heat distribution in the width direction W of the optical modulator will not change. If the non-uniformity is suppressed, even if the heat distribution in the length direction L of the optical modulator has non-uniformity, it is possible to prevent a change in the output light intensity (see FIG. 2).

本実施例の光モジュールは、モジュール外壁301及びプレート302よりなるモジュール筐体に、光入出力用光ファイバ304、光ファイバ固定スリーブ303、制御用IC310を配備するためのステージ305を具備したものである。ステージ305上の制御用IC310には、電気コネクタ309を通して電気信号を供給する構造となっており、制御用IC310からの制御信号は、熱絶縁性の高いセラミックスにより形成された配線板311を通して光変調器308へ供給される。入出力光を導くための光ファイバ304は、光変調器308と直接結合されている。光変調器308はマウント306に搭載されており、マウント306はスペーサ313を用いてモジュール筐体のプレート302に固定されており、又、ステージ305は、マウント306、スペーサ313とは独立して、プレート302へ固定されており、これらはモジュール筐体の内部に収容されている。   The optical module of the present embodiment is provided with a stage 305 for arranging a light input / output optical fiber 304, an optical fiber fixing sleeve 303, and a control IC 310 in a module housing composed of a module outer wall 301 and a plate 302. is there. The control IC 310 on the stage 305 is configured to supply an electrical signal through the electrical connector 309. The control signal from the control IC 310 is optically modulated through the wiring board 311 formed of ceramic having high thermal insulation. To the container 308. An optical fiber 304 for guiding input / output light is directly coupled to the optical modulator 308. The optical modulator 308 is mounted on a mount 306, the mount 306 is fixed to the plate 302 of the module housing using a spacer 313, and the stage 305 is independent of the mount 306 and the spacer 313. These are fixed to the plate 302 and are housed inside the module housing.

ここで、モジュール外壁301、プレート302、ステー1ジ305、マウント306は熱伝導率の良い、例えば、銅タングステン(CuW、熱伝導率〜3.7×10-3J/cm/s/K)等の材料で形成され、熱の伝導をよくするように作製されている。スペーサ313は、モジュール筐体を構成する材料に比べ熱伝導率が50%以下の材料、例えば、真鍮(黄銅(Cu70%。Zn30%)、熱伝導率〜0.96×10-3J/cm/s/K)、あるいは、ステンレススチール(熱伝導率〜0.25×10-3J/cm/s/K)等で形成されている。又、マウント306をプレート302へ固定する方向Fに垂直な面におけるスペーサ313の断面積Ssを、同じ方向Fに垂直な面におけるマウントの断面積Smより小さくなるように、断面積Smの2/3以下の面積に設定している。即ち、スペーサ313のマウント306に接する接触面積を、マウント306のスペーサ313に接する面の面積より小さくしている。従って、プレート302から光変調器308方向へ流入しようとする熱は、スペーサ313の断面積の小ささ及びスペーサ313の熱伝導率の悪さから、光変調器308方向へ流入しにくくなっており、光変調器308へ大きな影響を及ぼさず、更に、大きな熱容量を持つマウント306により拡散されるため、影響がある場合にも、光変調器308を均一に熱する効果しか無く、光出力強度に影響を及ぼすことはない。又、制御用IC310より発生した熱は、熱伝導率の良いステージ305、プレート302を通して、効率よくモジュール外部へ放出されるため、その発熱を光変調器308へ直接伝熱することはなく、発熱が光変調器308方向へ流入しようとしても、スペーサ313、マウント306を介して伝熱しようとするため、上述したように、スペーサ313によりマウント306への熱伝導が抑制されると共にマウント306により熱拡散が行われるため、光出力強度に影響を及ぼすことはない。 Here, the module outer wall 301, the plate 302, the stage 1 305, and the mount 306 have good thermal conductivity, for example, copper tungsten (CuW, thermal conductivity˜3.7 × 10 −3 J / cm / s / K). Etc., and is made so as to improve heat conduction. The spacer 313 is a material having a thermal conductivity of 50% or less compared to the material constituting the module housing, for example, brass (brass (Cu 70%, Zn 30%), thermal conductivity up to 0.96 × 10 −3 J / cm. / s / K) or stainless steel (thermal conductivity˜0.25 × 10 −3 J / cm / s / K). Further, the cross-sectional area S s of the spacer 313 in a plane perpendicular to the direction F to fix the mount 306 to the plate 302, so as to be smaller than the cross-sectional area S m of the mount in a plane perpendicular to the same direction F, the cross-sectional area S m Of 2/3 or less. That is, the contact area of the spacer 313 in contact with the mount 306 is made smaller than the area of the surface of the mount 306 in contact with the spacer 313. Therefore, the heat that tends to flow from the plate 302 toward the optical modulator 308 is less likely to flow toward the optical modulator 308 due to the small cross-sectional area of the spacer 313 and the poor thermal conductivity of the spacer 313. Since it is diffused by the mount 306 having a large heat capacity without exerting a great influence on the optical modulator 308, even if there is an influence, it has only an effect of heating the optical modulator 308 uniformly and affects the light output intensity. Will not affect. The heat generated from the control IC 310 is efficiently released to the outside of the module through the stage 305 and the plate 302 having good thermal conductivity, so that the heat is not directly transferred to the optical modulator 308. Even if the light flows in the direction of the optical modulator 308, heat is transmitted through the spacer 313 and the mount 306, and as described above, the heat conduction to the mount 306 is suppressed by the spacer 313 and the mount 306 heats. Since the diffusion is performed, the light output intensity is not affected.

なお、光変調器308は、ほとんど発熱を伴わない、あるいは、発熱最が微少であるため、熱容量の大きいマウント306にて、その発熱が拡散され、光変調器308の局所的な温度上昇を避けることができる。スペーサ313の断面積は、マウント306の断面積の2/3以下が望ましいが、更に望ましくは1/2以下、最も望ましくは1/4以下である。又、マウント306等の材料の熱伝導率に比べ、スペーサ313の材料の熱伝導率は50%以下が望ましいが、更に望ましくは25%以下、最も望ましくはl0%以下である。   Note that the optical modulator 308 generates little heat, or the heat generation is minimal, so that the heat is diffused by the mount 306 having a large heat capacity, and a local temperature rise of the light modulator 308 is avoided. be able to. The cross-sectional area of the spacer 313 is preferably 2/3 or less of the cross-sectional area of the mount 306, more preferably 1/2 or less, and most preferably 1/4 or less. In addition, the thermal conductivity of the material of the spacer 313 is preferably 50% or less, more preferably 25% or less, and most preferably 10% or less, compared to the thermal conductivity of the material such as the mount 306.

参考例4Reference example 4

図9は、本発明に係る光モジュールの他の参考例を示す図であり、図9(a)は、図9(b)のB−B’線矢視断面図、図9(b)は、上面透視図、図9(c)は、図9(b)のA−A’線矢視断面図である。 FIG. 9 is a diagram showing another reference example of the optical module according to the present invention. FIG. 9A is a cross-sectional view taken along the line BB ′ in FIG. 9B, and FIG. FIG. 9C is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 9B.

参考例でも、光変調器408として、図5に示すような、半導体基板90上に形成された変調器を用いる。上記光変調器は、光入力導波路91へ入力されたCW光を、光分配器92で2つの位相制御用光導波路93、95へ分配し、その光導波路間の位相差を、制御用電極94、96へ印加する電気信号で制御して、光結合器97で結合され、光出力導波路98より出力される光強度を制御することを原理とするマッハツェンダ型光変調器(MZ変調器)である。MZ変調器では、上記原理で説明したように、2本の位相制御用光導波路93、95の位相差により出力光強度を制御するので、片側の光導波路のみが熱せられ、温度が上昇することで、片側の光導波路のみの屈折率(位相)が変化すると、出力光強度が変化してしまう。しかし、両光導波路を同様に熱すると、温度を上昇させても両光導波路間の位相差は変化することがないため、出力光強度が変化することはない。 Also in this reference example , a modulator formed on the semiconductor substrate 90 as shown in FIG. In the optical modulator, the CW light input to the optical input waveguide 91 is distributed to the two phase control optical waveguides 93 and 95 by the optical distributor 92, and the phase difference between the optical waveguides is determined as the control electrode. Mach-Zehnder type optical modulator (MZ modulator) based on the principle of controlling the intensity of light output from the optical output waveguide 98 by being controlled by an electric signal applied to 94 and 96 and coupled by the optical coupler 97. It is. In the MZ modulator, since the output light intensity is controlled by the phase difference between the two phase control optical waveguides 93 and 95 as described in the above principle, only one of the optical waveguides is heated and the temperature rises. Thus, when the refractive index (phase) of only the optical waveguide on one side changes, the output light intensity changes. However, if both the optical waveguides are heated in the same manner, the phase difference between the two optical waveguides does not change even when the temperature is raised, so that the output light intensity does not change.

即ち、光変調器の温度が変化したとしても、光変調器全体が同様な温度変化をすれば、その出力高強度が変化することはなく、少なくとも、光変調器の幅方向Wの熱分布の不均一性を抑制すれば、光変調器の長さ方向Lの熱分布に不均一性があったとしても、出力光強度の変化を防止することが可能となる(図5参照)。   That is, even if the temperature of the optical modulator changes, if the entire optical modulator changes in the same temperature, the output high intensity will not change, and at least the heat distribution in the width direction W of the optical modulator will not change. If the non-uniformity is suppressed, it is possible to prevent a change in the output light intensity even if the heat distribution in the length direction L of the optical modulator is non-uniform (see FIG. 5).

参考例の光モジュールは、モジュール外壁401及びプレート402よりなるモジュール筐体に、光入出力用光ファイバ404、光ファイバ固定スリーブ403、制御用IC410を配備するためのステージ405を具備したものである。ステージ405上の制御用IC410には、電気コネクタ409を通して電気信号を供給する構造となっており、制御用IC410からの制御信号は、熱絶縁性の高いセラミックスにより形成された配線板411を通して半導体光変調器408へ供給される。入出力光を導くための光ファイバ404は光変調器設置用マウント406上に具備された結合用レンズ407により光変調器408へ結合されている。光変調器408はマウント406に搭載されており、マウント406はスペーサ412を用いてモジュール筐体のプレート402に固定されており、又、ステージ405は、マウント406、スペーサ412とは独立して、プレート402へ固定されており、これらはモジュール筐体の内部に収容されている。 The optical module of this reference example is provided with a stage 405 for arranging a light input / output optical fiber 404, an optical fiber fixing sleeve 403, and a control IC 410 in a module housing composed of a module outer wall 401 and a plate 402. is there. The control IC 410 on the stage 405 is configured to supply an electrical signal through the electrical connector 409, and the control signal from the control IC 410 is transmitted through the wiring board 411 made of ceramic having high thermal insulation properties. The signal is supplied to the modulator 408. An optical fiber 404 for guiding input / output light is coupled to the optical modulator 408 by a coupling lens 407 provided on the optical modulator installation mount 406. The optical modulator 408 is mounted on a mount 406, the mount 406 is fixed to the plate 402 of the module housing using a spacer 412, and the stage 405 is independent of the mount 406 and the spacer 412. These are fixed to the plate 402, and these are accommodated inside the module housing.

ここで、モジュール外壁401、プレート402、ステージ405、マウント406は熱伝導率の良い、例えば、銅タングステン(CuW、熱伝導率〜3.7×10-3J/cm/s/K)等の材料で形成され、熱の伝導をよくするように作製されている。スペーサ412は同材料で形成されているが、マウント406をプレート402へ固定する方向Fに垂直な面における断面積Ssを、同じ方向Fに垂直な面におけるマウントの断面積Smより小さくなるように、断面積Smの2/3以下の面積に設定している。即ち、スペーサ412のマウント406に接する接触面積を、マウント406のスペーサ412に接する面の面積より小さくしている。従って、プレート402から光変調器408方向へ流入しようとする熱は、スペーサ412の断面積が小さいことから、光変調器408方向へ流入しにくくなっており、光変調器408へ大きな影響を及ぼさず、更に、大きな熱容量を持つマウント406により拡散されるため、影響がある場合にも、光変調器408を均一に熱する効果しか無く、光出力強度に影響を及ぼすことはない。又、制御用IC410より発生した熱は、熱伝導率の良いステージ405、プレート402を通して、効率よくモジュール外部へ放出されるため、その発熱を光変調器408へ直接伝熱することはなく、発熱が光変調器408方向へ流入しようとしても、スペーサ412、マウント406を介して伝熱しようとするため、上述したように、スペーサ412によりマウント406への熱伝導が抑制されると共にマウント406により熱拡散が行われるため、光出力強度に影響を及ぼすことはない。 Here, the module outer wall 401, the plate 402, the stage 405, and the mount 406 have good thermal conductivity, such as copper tungsten (CuW, thermal conductivity˜3.7 × 10 −3 J / cm / s / K). It is made of material and made to improve heat conduction. The spacer 412 is formed of the same material, but the cross-sectional area S s in the plane perpendicular to the direction F for fixing the mount 406 to the plate 402 is smaller than the cross-sectional area S m of the mount in the plane perpendicular to the same direction F. as it has been set to the area of 2/3 or less of the cross-sectional area S m. That is, the contact area of the spacer 412 in contact with the mount 406 is made smaller than the area of the surface of the mount 406 in contact with the spacer 412. Accordingly, the heat that tends to flow from the plate 402 toward the optical modulator 408 is difficult to flow in the direction of the optical modulator 408 because the cross-sectional area of the spacer 412 is small, and has a great influence on the optical modulator 408. Furthermore, since the light is diffused by the mount 406 having a large heat capacity, even if there is an influence, the light modulator 408 is only heated uniformly and does not affect the light output intensity. In addition, since the heat generated from the control IC 410 is efficiently released to the outside of the module through the stage 405 and the plate 402 having good thermal conductivity, the generated heat is not directly transferred to the optical modulator 408. Even if the light flows in the direction of the optical modulator 408, heat is transmitted through the spacer 412 and the mount 406, and as described above, heat conduction to the mount 406 is suppressed by the spacer 412 and heat is transmitted by the mount 406. Since the diffusion is performed, the light output intensity is not affected.

なお、光変調器408は、ほとんど発熱を伴わない、あるいは、発熱量が微少であるため、熱容量の大きいマウント406にて、その発熱が拡散され、光変調器408の局所的な温度上昇は避けることができる。スペーサ412の断面積は、マウント106の断面積の2/3以下が望ましいが、更に望ましくは1/2以下、最も望ましくは1/4以下である。   The optical modulator 408 hardly generates heat or generates a small amount of heat, so that the heat generation is diffused by the mount 406 having a large heat capacity, and a local temperature rise of the optical modulator 408 is avoided. be able to. The cross-sectional area of the spacer 412 is preferably 2/3 or less of the cross-sectional area of the mount 106, more preferably 1/2 or less, and most preferably 1/4 or less.

図10は、本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例を示す図であり、図10(a)は、図10(b)のB−B’線矢視断面図、図10(b)は、上面透視図、図10(c)は、図10(b)のA−A’線矢視断面図である。   FIG. 10 is a diagram showing another example of the embodiment of the optical module according to the present invention. FIG. 10 (a) is a cross-sectional view taken along the line BB ′ of FIG. 10 (b), and FIG. ) Is a top perspective view, and FIG. 10C is a cross-sectional view taken along the line AA ′ in FIG. 10B.

本実施例でも、光変調器408として、図5に示すような、半導体基板90上に形成された変調器を用いる。上記光変調器は、光入力導波路91へ入力されたCW光を、光分配器92で2つの位相制御用光導波路93、95へ分配し、その光導波路間の位相差を、制御用電極94、96へ印加する電気信号で制御して、光結合器97で結合され、光出力導波路98より出力される光強度を制御することを原理とするマッハツェンダ型光変調器(MZ変調器)である。MZ変調器では、上記原理で説明したように、2本の位相制御用光導波路の位相差により出力光強度を制御するので、片側の光導波路のみが熱せられ、温度が上昇することで、片側の光導波路のみの屈折率(位相)が変化すると、出力光強度が変化してしまう。しかし、両光導波路を同様に熱すると、温度を上昇させても両光導波路間の位相差は変化することがないため、出力光強度が変化することはない。   Also in this embodiment, as the optical modulator 408, a modulator formed on the semiconductor substrate 90 as shown in FIG. In the optical modulator, the CW light input to the optical input waveguide 91 is distributed to the two phase control optical waveguides 93 and 95 by the optical distributor 92, and the phase difference between the optical waveguides is determined as the control electrode. Mach-Zehnder type optical modulator (MZ modulator) based on the principle of controlling the intensity of light output from the optical output waveguide 98 by being controlled by an electric signal applied to 94 and 96 and coupled by the optical coupler 97. It is. In the MZ modulator, as described in the above principle, the output light intensity is controlled by the phase difference between the two optical waveguides for phase control. Therefore, only the optical waveguide on one side is heated and the temperature rises. When the refractive index (phase) of only the optical waveguide changes, the output light intensity changes. However, if both the optical waveguides are heated in the same manner, the phase difference between the two optical waveguides does not change even when the temperature is raised, so that the output light intensity does not change.

即ち、光変調器の温度が変化したとしても、光変調器全体が同様な温度変化をすれば、その出力高強度が変化することはなく、少なくとも、光変調器の幅方向Wの熱分布の不均一性を抑制すれば、光変調器の長さ方向Lの熱分布に不均一性があったとしても、出力光強度の変化を防止することが可能となる(図5参照)。   That is, even if the temperature of the optical modulator changes, if the entire optical modulator changes in the same temperature, the output high intensity will not change, and at least the heat distribution in the width direction W of the optical modulator will not change. If the non-uniformity is suppressed, it is possible to prevent a change in the output light intensity even if the heat distribution in the length direction L of the optical modulator is non-uniform (see FIG. 5).

本実施例の光モジュールは、モジュール外壁401及びプレート402よりなるモジュール筐体に、光入出力用光ファイバ404、光ファイバ固定スリーブ403、制御用IC410を配備するためのステージ405を具備したものである。ステージ405上の制御用IC410には、電気コネクタ409を通して電気信号を供給する構造となっており、制御用IC410からの制御信号は、熱絶縁性の高いセラミックスにより形成された配線板411を通して半導体光変調器408へ供給される。入出力光を導くための光ファイバ404は、光変調器設置用マウント406上に具備された結合用レンズ407により光変調器408へ結合されている。光変調器408はマウント406に搭載されており、マウント406はスペーサ413を用いてモジュール筐体のプレート402に固定されており、又、ステージ405は、マウント406、スペーサ413とは独立して、プレート402へ固定されており、これらはモジュール筐体の内部に収容されている。   The optical module according to the present embodiment is provided with a stage 405 for arranging a light input / output optical fiber 404, an optical fiber fixing sleeve 403, and a control IC 410 in a module housing composed of a module outer wall 401 and a plate 402. is there. The control IC 410 on the stage 405 is configured to supply an electrical signal through the electrical connector 409, and the control signal from the control IC 410 is transmitted through the wiring board 411 made of ceramic having high thermal insulation properties. The signal is supplied to the modulator 408. The optical fiber 404 for guiding the input / output light is coupled to the optical modulator 408 by a coupling lens 407 provided on the optical modulator installation mount 406. The optical modulator 408 is mounted on a mount 406, the mount 406 is fixed to the plate 402 of the module housing using a spacer 413, and the stage 405 is independent of the mount 406 and the spacer 413. These are fixed to the plate 402, and these are accommodated inside the module housing.

ここで、モジュール外壁401、プレート402、ステージ405、マウント406は熱伝導率の良い、例えば、銅タングステン(CuW、熱伝導率〜3.7×10-3J/cm/s/K)等の材料で形成され、熱の伝導をよくするように作製されている。スペーサ413は、モジュール筐体を構成する材料に比べ熱伝導率が50%以下の材料、例えば、真鍮(黄銅(Cu70%。Zn30%)、熱伝導率〜0.96×10-3J/cm/s/K)、あるいは、ステンレススチール(熱伝導率〜0.25×10-3J/cm/s/K)等で形成されている。又、マウント406をプレート402へ固定する方向Fに垂直な面におけるスペーサ413の断面積Ssを、同じ方向Fに垂直な面におけるマウントの断面積Smより小さくなるように、断面積Smの2/3以下の面積に設定している。即ち、スペーサ413のマウント406に接する接触面積を、マウント406のスペーサ413に接する面の面積より小さくしている。従って、プレート402から光変調器408方向へ流入しようとする熱は、スペーサ413の断面積の小ささ及びスペーサ413の熱伝導率の悪さから、光変調器408方向へ流入しにくくなっており、光変調器408へ大きな影響を及ぼさず、更に、大きな熱容量を持つマウント406により拡散されるため、影響がある場合にも、光変調器408を均一に熱する効果しか無く、光出力強度に影響を及ぼすことはない。又、制御用IC410より発生した熱は、熱伝導率の良いステージ405、プレート402を通して、効率よくモジュール外部へ放出されるため、その発熱を光変調器408へ直接伝熱することはなく、発熱が光変調器408方向へ流入しようとしても、スペーサ413、マウント406を介して伝熱しようとするため、上述したように、スペーサ413によりマウント406への熱伝導が抑制されると共にマウント406により熱拡散が行われるため、光出力強度に影響を及ぼすことはない。 Here, the module outer wall 401, the plate 402, the stage 405, and the mount 406 have good thermal conductivity, such as copper tungsten (CuW, thermal conductivity˜3.7 × 10 −3 J / cm / s / K). It is made of material and made to improve heat conduction. The spacer 413 is made of a material having a thermal conductivity of 50% or less compared to the material constituting the module housing, such as brass (brass (Cu 70%, Zn 30%), thermal conductivity up to 0.96 × 10 −3 J / cm. / s / K) or stainless steel (thermal conductivity˜0.25 × 10 −3 J / cm / s / K). Further, the cross-sectional area S s of the spacer 413 in a plane perpendicular to the direction F to secure the mount 406 to the plate 402, so as to be smaller than the cross-sectional area S m of the mount in a plane perpendicular to the same direction F, the cross-sectional area S m Of 2/3 or less. That is, the contact area of the spacer 413 that contacts the mount 406 is smaller than the area of the surface of the mount 406 that contacts the spacer 413. Accordingly, the heat that tends to flow from the plate 402 toward the optical modulator 408 is less likely to flow toward the optical modulator 408 due to the small cross-sectional area of the spacer 413 and the poor thermal conductivity of the spacer 413. Since the light modulator 408 does not have a great influence and is diffused by the mount 406 having a large heat capacity, even if there is an influence, the light modulator 408 has only an effect of heating uniformly and affects the light output intensity. Will not affect. In addition, since the heat generated from the control IC 410 is efficiently released to the outside of the module through the stage 405 and the plate 402 having good thermal conductivity, the generated heat is not directly transferred to the optical modulator 408. Even if the light flows in the direction of the optical modulator 408, heat transfer to the mount 406 is suppressed by the spacer 413 and heat is transmitted to the mount 406 by the spacer 413 as described above. Since the diffusion is performed, the light output intensity is not affected.

なお、光変調器408は、ほとんど発熱を伴わない、あるいは、発熱量が微少であるため、熱容量の大きいマウント406にて、その発熱が拡散され、光変調器408の局所的な温度上昇は避けることができる。スペーサ413の断面積は、マウント406の断面積の2/3以下が望ましいが、更に望ましくは1/2以下、最も望ましくは1/4以下である。又、マウント材料の熱伝導率に比べ、スペーサ413の材料の熱伝導率は、50%以下が望ましいが、更に望ましくは25%以下、最も望ましくは10%以下である。   The optical modulator 408 hardly generates heat or generates a small amount of heat, so that the heat generation is diffused by the mount 406 having a large heat capacity, and a local temperature rise of the optical modulator 408 is avoided. be able to. The cross-sectional area of the spacer 413 is preferably 2/3 or less of the cross-sectional area of the mount 406, more preferably 1/2 or less, and most preferably 1/4 or less. In addition, the thermal conductivity of the material of the spacer 413 is preferably 50% or less, more preferably 25% or less, and most preferably 10% or less, compared to the thermal conductivity of the mount material.

本発明においては、光変調器を例にとって説明を行ったが、熱変動を受けると特性が影響を受ける光素子をモジュール化したものであれば、どのような光モジュールにも適用可能である。   In the present invention, the optical modulator has been described as an example. However, the present invention can be applied to any optical module as long as an optical element whose characteristics are affected by thermal fluctuation is modularized.

本発明に係る光モジュールの参考例(参考例1)を示す図である。It is a figure which shows the reference example (reference example 1) of the optical module which concerns on this invention. 本発明に係る光モジュールに用いるリチェームナイオベートマッハツェンダ光変調器の原理図である。FIG. 2 is a principle diagram of a re-Chemical Niobate Mach-Zehnder optical modulator used in the optical module according to the present invention. 本発明に係る光モジュールの実施形態の一例(実施例1)を示す図である。It is a figure which shows an example (Example 1) of embodiment of the optical module which concerns on this invention. 本発明に係る光モジュールに用いる半導体マッハツェンダ光変調器の原理図である。1 is a principle diagram of a semiconductor Mach-Zehnder optical modulator used in an optical module according to the present invention. 本発明に係る光モジュールの他の参考例(参考例2)を示す図である。It is a figure which shows the other reference example (reference example 2) of the optical module which concerns on this invention. 本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例(実施例2)を示す図である。It is a figure which shows another example ( Example 2 ) of embodiment of the optical module which concerns on this invention. 本発明に係る光モジュールの他の参考例(参考例3)を示す図である。It is a figure which shows the other reference example (reference example 3) of the optical module which concerns on this invention. 本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例(実施例3)を示す図である。It is a figure which shows another example ( Example 3 ) of embodiment of the optical module which concerns on this invention. 本発明に係る光モジュールの他の参考例(参考例4)を示す図である。It is a figure which shows the other reference example (reference example 4) of the optical module which concerns on this invention. 本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例(実施例4)を示す図である。It is a figure which shows another example ( Example 4 ) of embodiment of the optical module which concerns on this invention.

80:リチェームナイオベート基板
81、91:光入力用導波路
82、92:光分配器
83、85、93、95:位相制御用光導波路
84、86、94、96:制御用電極
87、97:光結合器
88、98:光出力導波路
90:半導体基板
101、201、301、401:モジュール外壁
102、202、302、402:プレート
103、203、303、403:光ファイバ固定スリーブ
104、204、304、404:光入出力用光ファイバ
106、206、306、406:光変調器設置用マウント
108、208、308、408:光変調器
109、209、309、409:電気コネクタ
111、211、311、411:配線板
112、212、312、412:モジュール筐体と同一材料によるスペーサ
113、213、313、413:モジュール筐体材料より熱伝導率の悪い材料によるスペーサ
207、407:結合用レンズ
305、405:ステージ
310、410:制御用IC(制御電子回路)
80: Re-Chemical Niobate substrate 81, 91: Optical input waveguide 82, 92: Optical distributor 83, 85, 93, 95: Phase control optical waveguides 84, 86, 94, 96: Control electrode 87, 97: Optical coupler 88, 98: Optical output waveguide 90: Semiconductor substrate 101, 201, 301, 401: Module outer wall 102, 202, 302, 402: Plate 103, 203, 303, 403: Optical fiber fixing sleeve 104, 204, 304, 404: Optical fibers for light input / output 106, 206, 306, 406: Optical modulator installation mounts 108, 208, 308, 408: Optical modulators 109, 209, 309, 409: Electrical connectors 111, 211 311, 411: wiring boards 112, 212, 312, 412: spacers 113 and 213 made of the same material as the module housing 313, 413: the module housing spacer by poor heat-conductive material than the material 207,407: coupling lens 305, 405: Stage 310, 410: Control IC (control electronics)

Claims (5)

光信号を変調する光変調器と、
前記光変調器を搭載し、前記光変調器の発熱を拡散するマウントと、
前記光変調器を含めて、前記マウントを収容する筐体と、
前記マウントを前記筐体の内部に固定するスペーサとを有し、
前記マウントを前記筐体へ固定する方向に垂直な面における前記マウントの断面積より、同方向に垂直な面における前記スペーサの断面積を小さくし
前記スペーサを形成する材料の熱伝導率を、前記筐体及び前記マウントを形成する材料の熱伝導率より小さくしたことを特徴とする光モジュール。
An optical modulator for modulating an optical signal ;
A mount mounting the optical modulator, diffuses the heat generated of the optical modulator,
A housing containing the mount, including the light modulator;
A spacer for fixing the mount inside the housing;
The cross-sectional area of the spacer in the plane perpendicular to the same direction is made smaller than the cross-sectional area of the mount in the plane perpendicular to the direction in which the mount is fixed to the housing .
An optical module characterized in that a thermal conductivity of a material forming the spacer is smaller than a thermal conductivity of a material forming the casing and the mount .
請求項1に記載の光モジュールにおいて、
前記スペーサの断面積を、前記マウントの断面積の2/3以下としたことを特徴とする光モジュール。
The optical module according to claim 1,
An optical module, wherein a cross-sectional area of the spacer is 2/3 or less of a cross-sectional area of the mount.
請求項1又は請求項2に記載の光モジュールにおいて、
前記スペーサを形成する材料の熱伝導率を、前記筐体及び前記マウントを形成する材料の熱伝導率の50%以下としたことを特徴とする光モジュール。
The optical module according to claim 1 or 2 ,
An optical module, wherein a thermal conductivity of a material forming the spacer is 50% or less of a thermal conductivity of a material forming the casing and the mount.
請求項1乃至請求項のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
光変調器を制御する制御電子回路を、前記筐体の内部に実装したことを特徴とする光モジュール。
The optical module according to any one of claims 1 to 3 ,
An optical module, wherein a control electronic circuit for controlling an optical modulator is mounted inside the casing.
請求項1乃至請求項のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
前記制御電子回路を搭載するステージを、前記マウント、前記スペーサとは独立して、前記筐体の内部に設けたことを特徴とする光モジュール。
The optical module according to any one of claims 1 to 4 ,
An optical module, wherein a stage on which the control electronic circuit is mounted is provided inside the housing independently of the mount and the spacer.
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