JP4688048B2 - Chuck device - Google Patents
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Description
本発明はワーク加工用の工作機械に搭載されるチャック装置であって、特にチャック変形を起こし易い肉厚の薄いワークを把持するのに好適なチャック装置に関する。 The present invention relates to a chuck device mounted on a machine tool for machining a workpiece, and more particularly to a chuck device suitable for gripping a thin workpiece that easily causes chuck deformation.
研削加工機等の工作機械でワークを加工する場合、工作機械の主軸に装着したチャックでワークを把持して行われている。加工前のワークは通常その軸方向(厚み)寸法が不揃いであるため、チャックに把持したワークの端面を位置決めする必要がある。従来、このチャックによるワークの位置決めについては、ワークを配給するローダーのプッシャーを基準にしてワークをチャックに挿入し、チャック内の軸方向にスライド可能なストッパに押し当てながら爪でクランプしていた。このストッパは、ばねによりワークの方向に付勢されて位置決めされている(例えば、特許文献1参照)。 When a workpiece is machined by a machine tool such as a grinding machine, the workpiece is gripped by a chuck attached to the spindle of the machine tool. Since the workpieces before machining are usually uneven in the axial direction (thickness), it is necessary to position the end face of the workpiece held by the chuck. Conventionally, with respect to the positioning of the workpiece by this chuck, the workpiece is inserted into the chuck with reference to the pusher of the loader that distributes the workpiece, and clamped with a claw while being pressed against a stopper that is slidable in the axial direction in the chuck. The stopper is urged and positioned in the direction of the workpiece by a spring (see, for example, Patent Document 1).
ところが、従来のチャックによるワークの位置決めにあっては、以下のような問題があった。 However, there have been the following problems in positioning a workpiece with a conventional chuck.
チャックの爪はストッパのばね力に逆らってワークが動かなくなるような力でクランプするので、特に肉厚が薄いワークの場合、クランプ時にチャック変形が生じてしまう。一方、チャック変形を防ぐためにストッパのばね力を弱めると、ローダーのプッシャーへの押し付け力が不充分になり、クランプ位置がばらつくことがある。しかも肉厚の薄いワークにおいてはストッパがワークの姿勢を規制する役割を果たさなくなり、ワークが傾いた状態でクランプされてしまう。よって、高精度な加工を行うことができないという問題があった。 Since the chuck pawls are clamped with such a force that the workpiece does not move against the spring force of the stopper, especially when the workpiece is thin, chuck deformation occurs during clamping. On the other hand, if the spring force of the stopper is weakened to prevent chuck deformation, the pressing force of the loader against the pusher becomes insufficient, and the clamp position may vary. Moreover, in a thin workpiece, the stopper does not play the role of regulating the posture of the workpiece, and the workpiece is clamped in a tilted state. Therefore, there is a problem that high-precision processing cannot be performed.
そこで、本発明は上記の問題を解決するためになされたものであり、特にチャック変形を起こし易い肉厚の薄いワークであっても正確な位置決めが可能なチャック装置を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a chuck device capable of accurate positioning even for a thin workpiece that easily causes chuck deformation. .
本発明は上記の目的を達成するため、工作機械の主軸に搭載されるチャック装置であって、上記主軸の軸線と直交する方向に開閉し、開時にワークを挿入又は解放するとともに閉時にワークを把持する第1のチャック機構部と、上記主軸の軸線方向にスライド可能に支持され、上記主軸の先端側に向かって上記ワークを付勢するスライドストッパと、上記主軸の軸線と直交する方向に開閉し、開時に上記スライドストッパを解放するとともに閉時に上記スライドストッパを把持してそのスライド動作を規制する第2のチャック機構部と、上記第1のチャック機構部と上記第2のチャック機構部とに所定力を付与して両チャック機構部を開けるように駆動し、かつ、その所定力を解除したときに上記第1のチャック機構部よりも先に上記第2のチャック機構部を閉じるように駆動する駆動機構部と、を備えたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention provides a chuck device mounted on a spindle of a machine tool, which opens and closes in a direction perpendicular to the axis of the spindle, inserts or releases a workpiece when opened, and opens a workpiece when closed. A first chuck mechanism that grips, a slide stopper that is slidably supported in the axial direction of the main shaft, and that urges the workpiece toward the distal end side of the main shaft, and that opens and closes in a direction perpendicular to the axis of the main shaft A second chuck mechanism portion that releases the slide stopper when opened and holds the slide stopper when closed and restricts the sliding motion; the first chuck mechanism portion; and the second chuck mechanism portion; Is applied with a predetermined force to open both chuck mechanism portions, and when the predetermined force is released, the second chuck mechanism portion is preceded by the second chuck mechanism portion. A drive mechanism for driving to close the jack mechanism, characterized by comprising a.
また、本発明は上記構成を備えたチャック装置において、上記第1のチャック機構部と上記第2のチャック機構部は共に、所定の押圧力を受けて弾性変形するダイヤフラムと、上記ダイヤフラムの表面に放射状に設けられ、当該ダイヤフラムの弾性変形時に拡がって弾性復帰時に元に戻る複数個の爪と、から構成されたダイヤフラムチャックであることを特徴とする。 According to the present invention, in the chuck device having the above-described configuration, the first chuck mechanism and the second chuck mechanism are both elastically deformed by receiving a predetermined pressing force, and a surface of the diaphragm. A diaphragm chuck comprising a plurality of claws provided radially and expanding when the diaphragm is elastically deformed and returning to its original state when the diaphragm is restored.
また、本発明は上記第1のチャック機構部と上記第2のチャック機構部をダイヤフラムチャックにしたチャック装置において、上記駆動機構部は、上記主軸の軸線方向にスライド可能に支持されるとともに、上記主軸内に供給される圧縮エアーの圧力を受けて、上記第1のチャック機構部を構成するダイヤフラムと上記第2のチャック機構部を構成するダイヤフラムとを押圧する一つのピストンであることを特徴とする。 According to the present invention, in the chuck device in which the first chuck mechanism section and the second chuck mechanism section are diaphragm chucks, the drive mechanism section is supported slidably in the axial direction of the main shaft, and It is a piston that receives the pressure of compressed air supplied into the main shaft and presses the diaphragm constituting the first chuck mechanism and the diaphragm constituting the second chuck mechanism. To do.
また、本発明は上記駆動機構部を一つのピストンで構成したチャック装置において、上記駆動機構部は、上記ピストンと上記ダイヤフラムとの間に着脱自在に装着されたスペーサを有することを特徴とする。 According to the present invention, in the chuck device in which the drive mechanism portion is constituted by a single piston, the drive mechanism portion includes a spacer that is detachably mounted between the piston and the diaphragm.
本発明のチャック装置によれば、以下のような効果が得られる。 According to the chuck device of the present invention, the following effects can be obtained.
第1のチャック機構部によってワークを把持する前に、第2のチャック機構部によってスライドストッパが把持されてそのスライド動作が規制される。したがって、ワークを把持する際にスライドストッパの軸方向にばね力が作用しないので、ワークのクランプ力が必要最小限で済み、肉厚の薄いワークを把持しても変形が生じない。よって、正確な位置決めが可能になり、高精度な加工を行うことができる。 Before the workpiece is gripped by the first chuck mechanism, the slide stopper is gripped by the second chuck mechanism and the sliding operation is restricted. Therefore, since the spring force does not act in the axial direction of the slide stopper when gripping the workpiece, the clamping force of the workpiece is minimal, and deformation does not occur even when a thin workpiece is gripped. Therefore, accurate positioning is possible and high-precision processing can be performed.
また、第2のチャック機構部によってスライドストッパにおけるワークに近接した位置が把持されるので、センタリングが向上するとともに振れが抑えられてワークの把持姿勢が安定する。 In addition, since the position close to the workpiece in the slide stopper is gripped by the second chuck mechanism, centering is improved and vibration is suppressed, and the gripping posture of the workpiece is stabilized.
また、第1のチャック機構部と第2のチャック機構部を開閉させる駆動機構部を一つのピストンによって構成することができるので、チャック装置の内部構造が簡素化し、これにより設計変更に際しての製造コストが抑えられる。 In addition, since the drive mechanism for opening and closing the first chuck mechanism and the second chuck mechanism can be configured by a single piston, the internal structure of the chuck device is simplified, thereby reducing the manufacturing cost when the design is changed. Is suppressed.
さらに、駆動機構部においてピストンとダイヤフラムとの間に装着されるスペーサの厚みを変更することにより、第1のチャック機構部と第2のチャック機構部との間の開閉タイミングを調整できる。したがって、ワークに合わせてタイミング調整したチャック機構部とスペーサをセットにして用意しておけば、ワークが変わってもそのセットを変更するだけで容易に対応することができる。よって、ワーク変更の度に毎回位置決め調整を行う必要もなく作業者の負担が軽減される。 Further, the opening / closing timing between the first chuck mechanism and the second chuck mechanism can be adjusted by changing the thickness of the spacer mounted between the piston and the diaphragm in the drive mechanism. Therefore, if a chuck mechanism portion and a spacer whose timing is adjusted according to the workpiece are prepared as a set, even if the workpiece changes, it is possible to easily cope with the change by changing the set. Therefore, it is not necessary to perform positioning adjustment every time the workpiece is changed, and the burden on the operator is reduced.
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
図1は本実施形態のチャック装置を搭載した工作機械の主要部を示す断面図、図2は同チャック装置を正面から見た平面図、図3は同チャック装置の動作説明図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view showing the main part of a machine tool equipped with the chuck device of the present embodiment, FIG. 2 is a plan view of the chuck device viewed from the front, and FIG. 3 is an operation explanatory view of the chuck device.
まず、本実施形態のチャック装置の構成を説明する。 First, the configuration of the chuck device of this embodiment will be described.
図1において、本実施形態ではワーク加工用の工作機械1として研削加工機の一部を示しており、この研削加工機の主軸2にチャック装置10が搭載される。研削加工機の主軸2はボールベアリング3の内輪に取り付けられていて、その軸心周りに回転可能に構成されている。したがって、主軸2が回転するとそれに伴ってチャック装置10も主軸2の軸心周りに回転するようになっている。そしてローダー4で配給されたワークWをチャック装置10で把持しながら回転させ、図示しない研削用砥石を送り込んでワークWの端面を研削加工するというものである。
In FIG. 1, in this embodiment, a part of a grinding machine is shown as a machine tool 1 for machining a workpiece, and a chuck device 10 is mounted on a
本実施形態のチャック装置10は、以下に説明する第1のチャック機構部20と、スライドストッパ30と、第2のチャック機構部40と、駆動機構部50とを備えて構成されている。
The chuck device 10 of the present embodiment includes a first
第1のチャック機構部20は主軸2の軸線と直交する方向に開閉し、開時にワークWを挿入又は解放するとともに閉時にワークWを把持する機能を有している。このチャック機構部は円形ドーム状の外側ダイヤフラム21と、外側ダイヤフラム21の表面に一体化されたワーク把持爪22とから構成されたダイヤフラムチャックである。図2に示すようにワーク把持爪22は外側ダイヤフラム21の表面に放射状かつ等角度で複数個(本実施形態では3個)設けられている。
The first
外側ダイヤフラム21は内側から所定の押圧力を受けると外側に弾性変形し、この弾性変形時に3個のワーク把持爪22,22,…がその中心から外側へと拡がる。このとき第1のチャック機構部20が開の状態になりワークWが挿入又は解放される。一方、所定の押圧力を解除すると外側ダイヤフラム21が弾性復帰し、この弾性復帰時に3個のワーク把持爪22,22,…が元の位置に戻る。このとき第1のチャック機構部20は閉の状態になりワークWが把持される。
When the
スライドストッパ30は主軸2の軸線方向にスライド可能に支持され、主軸2の先端側に向かってワークWを付勢する機能を有している。このストッパは主軸2の中心に固定されたシリンダ31と、シリンダ内にスライド可能に支持されたロッド32と、シリンダ内底部に嵌着されてロッド32を押圧するスプリング33とを備えてなる。なお、シリンダ内底部にはエアー供給路34が開通しており、この供給路から供給したエアーをロッド中心に貫通したエアー通路35を通じてロッド先端からワークWに吹き付けることで、ロッド先端面とワーク端面との間に残留した研削屑等を除去できるようになっている。
The
第2のチャック機構部40は主軸2の軸線と直交する方向に開閉し、開時にスライドストッパ30を解放するとともに閉時にスライドストッパ30を把持してそのスライド動作を規制する機能を有している。このチャック機構部もまた第1のチャック機構部20と同様なダイヤフラムチャックであり、円形ドーム状の内側ダイヤフラム41と、内側ダイヤフラム41の表面に一体化されたストッパ把持爪42とから構成されている。図2に示すようにストッパ把持爪42は内側ダイヤフラム41の表面にワーク把持爪22に重ならないよう放射状かつ等角度で複数個(本実施形態では3個)設けられている。
The second
内側ダイヤフラム41は内側から所定の押圧力を受けると外側に弾性変形し、この弾性変形時に3個のストッパ把持爪42,42,…がその中心から外側へと拡がる。このとき第2のチャック機構部40は開の状態であるので、スライドストッパ30は規制されておらず軸方向へ自由にスライド動作が可能である。一方、所定の押圧力を解除すると内側ダイヤフラム41が弾性復帰し、この弾性復帰時に3個のストッパ把持爪42,42,…が元の位置に戻る。このとき第2のチャック機構部40は閉の状態になり、スライドストッパ30におけるワークWに近接した位置が把持され、その軸方向へのスライド動作が規制される。
When the
駆動機構部50は第1のチャック機構部20と第2のチャック機構部40とに所定力を付与して両チャック機構部を開けるように駆動する機能と、その所定力を解除したときに第1のチャック機構部20よりも先に第2のチャック機構部40を閉じるように駆動する機能を有している。この機構部はエアー駆動機構であり、主軸2の軸線方向にスライド可能に支持された一つのピストン51を備え、ピストン51は互いに外径の異なる大中小3つの径部(大径部51a、中径部51b、小径部51c)から構成される。図のように大径部51aは主軸2とシリンダ31との間の空間部に嵌め込まれ、中径部51bは着脱自在な円環状のスペーサ52を挟んで内側ダイヤフラム41の薄肉部に当接し、小径部51cは外側ダイヤフラム21の薄肉部に直接当接している。
The drive mechanism unit 50 applies a predetermined force to the first
主軸2の内部にはチャック開用のエアー通路53が設けられており、この通路の一端は図示しない工場内のエアー供給配管に開口し、その他端は主軸2とシリンダ31とピストン51によって仕切られた加圧室54に開口している。なお、加圧室54を密閉空間とするため、主軸2とピストン51との間はOリング55によってシールされている。
An
したがって、工場内のエアー供給配管から圧縮エアーを供給すると、その圧縮エアーはエアー通路53を通って加圧室54に供給され、ピストン51を前方へとスライド動作させる推進力となる。この圧縮エアーによる推進力を受けてピストン51が前方へとスライド動作すると、小径部51cに押圧された外側ダイヤフラム21の薄肉部が外側へと撓み変形し、ワーク把持爪22が拡がって第1のチャック機構部20が開いた状態になる。このとき中径部51bに押圧された内側ダイヤフラム41の薄肉部も同様に外側へと撓み変形し、ストッパ把持爪42が拡がって第2のチャック機構部40が開いた状態になる。
Therefore, when compressed air is supplied from an air supply pipe in the factory, the compressed air is supplied to the pressurizing
その一方、圧縮エアーの供給を停止して大気に開放すると、外側ダイヤフラム21の薄肉部と内側ダイヤフラム41の薄肉部が共に弾性復帰して元の形に戻る。この弾性復帰力によってピストン51が後方位置に押し戻され、その結果として、第1のチャック機構部20と第2のチャック機構部40が共に閉じた状態になるように構成されている。
On the other hand, when the supply of compressed air is stopped and released to the atmosphere, the thin portion of the
なお、チャック機構部を閉じる際には、第1のチャック機構部20よりも先に第2のチャック機構部40が閉じるようになっている。そのタイミングについては、着脱自在に装着されたスペーサ52の厚みを変更することによって調整される。
When closing the chuck mechanism, the
すなわち、スペーサ52の厚みを減少させた場合、その減少分だけ2枚のダイヤフラムが完全に元の形状に復帰するまでのタイミングにずれが生じる。つまり、圧縮エアーに押されてピストン51が前進したとき、小径部51cが外側ダイヤフラム21を押し出し始めるタイミングよりも中径部51bが内側ダイヤフラム41を押し出し始めるタイミングの方が遅くなる。これとは逆に、圧縮エアーの押圧力が解除されたときには、内側ダイヤフラム41が中径部51bを元の位置まで押し戻し終わるタイミングよりも外側ダイヤフラム21が小径部51cを元の位置まで押し戻し終わるタイミングの方が遅くなる。このようにして、第1のチャック機構部20よりも先に第2のチャック機構部40が閉じるように構成されている。
That is, when the thickness of the
以上が本実施形態のチャック装置の構成であるが、次にその動作を説明する。 The above is the configuration of the chuck device of the present embodiment. Next, the operation will be described.
図1において、この研削加工機1を用いてワークWを研削加工する際には、チャック装置10でワークWを把持する。 In FIG. 1, when the workpiece W is ground using the grinding machine 1, the workpiece W is gripped by the chuck device 10.
まず、チャック装置10において、工場内のエアー供給配管からエアー通路53の内部に所定圧の圧縮エアーを供給する。これにより圧縮エアーはエアー通路53から加圧室54に供給され、ピストン51を前進させる推進力が得られる。
First, in the chuck device 10, compressed air having a predetermined pressure is supplied into the
ピストン51が所定ストローク前進すると、2つのチャック機構部は、図3(ア)に示す「全開」状態になる。すなわち、小径部51cに押圧された外側ダイヤフラム21の薄肉部が外側へと撓み変形し、これに伴いワーク把持爪22が拡がって第1のチャック機構部20が開いた状態になる。このとき中径部51bに押圧された内側ダイヤフラム41の薄肉部も同様に外側へと撓み変形し、これに伴いストッパ把持爪42が拡がって第2のチャック機構部40も開いた状態になる。
When the
このように、第1のチャック機構部20と第2のチャック機構部40が共に開いた状態において、ローダー4を前方移動させてプッシャー5に保持したワークWを配給する。ここで、ワークWの厚み寸法に応じて位置決め部材6の長さ寸法があらかじめ設定されている。そしてプッシャー5で保持したワークWをスライドストッパ30のロッド先端に突き当てると、ワークWはスプリング33のばね力によりロッド32で前方に付勢される。これにより位置決め部材6の先端面を基準面として軸方向に正確な位置決めができる。
As described above, in a state where the first
次に、ワークWを軸方向に位置決めした状態で、エアー供給配管からの圧縮エアーの供給を停止する。これにより加圧室54内の圧縮エアーが大気に開放され、ピストン51を前進させる推進力がなくなる。
Next, the supply of compressed air from the air supply pipe is stopped with the workpiece W positioned in the axial direction. As a result, the compressed air in the pressurizing
ピストン51を前進させる推進力がなくなると、弾性変形していた外側ダイヤフラム21の薄肉部と内側ダイヤフラム41の薄肉部が自身の弾性力によって復帰して元の形に戻る。この弾性復帰力によって両ダイヤフラムに当接しているピストン51が後方に押し戻され、その結果として、第1のチャック機構部20と第2のチャック機構部40が共に閉じた状態になる。ここで第1のチャック機構部20と第2のチャック機構部40の動作タイミングは以下の通りとなる。
When the driving force for advancing the
まず、ピストン51が中間位置付近まで後退した状態においては、2つのチャック機構部は、図3(イ)に示す「半開」状態になる。すなわち、上述したように外側ダイヤフラム21が完全に元の形状に戻るまでのタイミングよりも内側ダイヤフラム41が完全に元の形状に戻るまでのタイミングの方が速い。このため、第1のチャック機構部20のワーク把持爪22よりも第2のチャック機構部40のストッパ把持爪42の方が先に閉じてスライドストッパ30をクランプするので、スライドストッパ30の軸方向へのスライド動作が規制される。
First, in a state where the
そして、最終的にピストン51が元の基準位置まで後退すると、2つのチャック機構部は、図3(ウ)に示す「全閉」状態になる。すなわち、外側ダイヤフラム21が完全に元の形状に戻り、ワーク把持爪22が閉じてワークWをクランプする。この際、スライドストッパ30は上述した通りストッパ把持爪42によってクランプされており、スライドストッパ30の軸方向にスプリング33のばね力が作用しないので、このばね力を相殺するためにワークWのクランプ力を大きく設定する必要がない。よって、ソフトなクランプ力でワークWを把持できる。
When the
最後に、ワークWを把持した状態で、ローダー4を後方移動させてプッシャー5をワークWから抜き取り、ローダー4を反対方向へと旋回させる。これによりワークWの研削加工面が現れるので、チャック装置10を主軸2の軸心周りに回転させ、図示しない研削用砥石を送り込んでワークWの研削加工面を研削加工すればよい。
Finally, with the workpiece W gripped, the
以上説明した通り、本実施形態のチャック装置10によれば、ワークWを把持する際に第1のチャック機構部20よりも先に第2のチャック機構部40が閉じてあらかじめスライドストッパ30の動きを規制するようになっている。このため、ワークWのクランプ力が必要最小限で済み、肉厚の薄いワークWの場合であってもソフトなクランプ力でワークWを把持でき、クランプ時の変形を防止できるという効果が得られる。また、スライドストッパ30はワークWに近接した位置で把持されるので、センタリングが向上するとともに振れが抑えられてワークWの把持姿勢が安定するという効果もある。
As described above, according to the chuck device 10 of the present embodiment, when the workpiece W is gripped, the second
さらには、第1のチャック機構部20と第2のチャック機構部40を開閉させる駆動機構部50が一つのピストン51によって構成されているので、チャック装置10の内部構造が複雑化することがなく、設計変更に際してコストアップを招くこともない。また、駆動機構部50においてピストン51と内側ダイヤフラム41との間に着脱可能に装着されるスペーサ52の厚みを適宜変更することにより、第1のチャック機構部20と第2のチャック機構部40との間の開閉タイミングを調整できる。よって、ワークWに合わせてタイミングを調整したチャック機構部とスペーサ52をセットにして用意しておけば、ワークWの種類や加工箇所が変わってもそのセットを変更するだけで容易に対応することができる。
Furthermore, since the drive mechanism 50 that opens and closes the
W ワーク
1 工作機械(研削加工機)
2 主軸
3 ボールベアリング
4 ローダー
5 プッシャー
6 位置決め部材
10 チャック装置
20 第1のチャック機構部
21 外側ダイヤフラム
22 ワーク把持爪
30 スライドストッパ
31 シリンダ
32 ロッド
33 スプリング
34 エアー供給路
35 エアー通路
40 第2のチャック機構部
41 内側ダイヤフラム
42 ストッパ把持爪
50 駆動機構部
51 ピストン
52 スペーサ
53 エアー通路
54 加圧室
55 Oリング
W Work 1 Machine tool (grinding machine)
2
Claims (4)
上記主軸の軸線と直交する方向に開閉し、開時にワークを挿入又は解放するとともに閉時にワークを把持する第1のチャック機構部と、
上記主軸の軸線方向にスライド可能に支持され、上記主軸の先端側に向かって上記ワークを付勢するスライドストッパと、
上記主軸の軸線と直交する方向に開閉し、開時に上記スライドストッパを解放するとともに閉時に上記スライドストッパを把持してそのスライド動作を規制する第2のチャック機構部と、
上記第1のチャック機構部と上記第2のチャック機構部とに所定力を付与して両チャック機構部を開けるように駆動し、かつ、その所定力を解除したときに上記第1のチャック機構部よりも先に上記第2のチャック機構部を閉じるように駆動する駆動機構部と、を備えた
ことを特徴とするチャック装置。 A chuck device mounted on a spindle of a machine tool,
A first chuck mechanism that opens and closes in a direction perpendicular to the axis of the main shaft, inserts or releases the workpiece when opened, and grips the workpiece when closed;
A slide stopper supported so as to be slidable in the axial direction of the spindle, and biasing the workpiece toward the tip side of the spindle;
A second chuck mechanism that opens and closes in a direction perpendicular to the axis of the main shaft, releases the slide stopper when opened, holds the slide stopper when closed, and restricts the sliding movement;
The first chuck mechanism is driven when a predetermined force is applied to the first chuck mechanism and the second chuck mechanism to open both chuck mechanisms and the predetermined force is released. And a drive mechanism unit that drives the second chuck mechanism unit to close the second chuck mechanism unit before the unit.
所定の押圧力を受けて弾性変形するダイヤフラムと、
上記ダイヤフラムの表面に放射状に設けられ、当該ダイヤフラムの弾性変形時に拡がって弾性復帰時に元に戻る複数個の爪と、から構成されたダイヤフラムチャックである
ことを特徴とする請求項1に記載のチャック装置。 Both the first chuck mechanism and the second chuck mechanism are
A diaphragm that is elastically deformed under a predetermined pressing force;
2. The chuck according to claim 1, wherein the chuck comprises a plurality of claws radially provided on the surface of the diaphragm and expanding when the diaphragm is elastically deformed and returning to its original state when the diaphragm is elastically restored. 3. apparatus.
上記主軸の軸線方向にスライド可能に支持されるとともに、上記主軸内に供給される圧縮エアーの圧力を受けて、上記第1のチャック機構部を構成するダイヤフラムと上記第2のチャック機構部を構成するダイヤフラムとを押圧する一つのピストンである
ことを特徴とする請求項2に記載のチャック装置。 The drive mechanism is
The diaphragm constituting the first chuck mechanism and the second chuck mechanism are configured to be supported slidably in the axial direction of the spindle and receiving the pressure of compressed air supplied into the spindle. The chuck device according to claim 2, wherein the chuck device is a single piston that presses against the diaphragm.
上記ピストンと上記ダイヤフラムとの間に着脱自在に装着されたスペーサを有する
ことを特徴とする請求項3に記載のチャック装置。 The drive mechanism is
The chuck device according to claim 3, further comprising a spacer detachably mounted between the piston and the diaphragm.
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