JP4684911B2 - LSI for shielded wiring - Google Patents

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Description

本発明は、大規模集積回路装置(以下、「LSI」と記す)のシールド配線に利用されるものであり、特に、雑音の影響を受け易いネットを囲んで、他のネットからのクロストークノイズを受け難くするシールド配線を行う際のシールド配線を行うためのLSIに関する。   The present invention is used for shield wiring of a large-scale integrated circuit device (hereinafter referred to as “LSI”). In particular, the present invention surrounds a net susceptible to noise and crosstalk noise from other nets. The present invention relates to an LSI for performing shield wiring when performing shield wiring that makes it difficult to receive.

以下、従来例について説明する。従来、LSIにおいて、クロック配線のような特にクロストークノイズの影響を受け易いネットを、電源に接続された(以下、「クリップされた」と記す)ネットで囲むシールド配線が知られていた。このシールド配線は、隣接する他のネットで発生したノイズを防いでくれるものである。   A conventional example will be described below. Conventionally, in a LSI, there has been known a shield wiring that surrounds a net that is particularly susceptible to crosstalk noise, such as a clock wiring, with a net connected to a power source (hereinafter referred to as “clipped”). This shield wiring prevents noise generated in other adjacent nets.

この場合、通常のシールド配線は、複数の箇所で電源ネットと接続されている。電源配線は、その近くの素子の電力消費によりIRドロップという電圧降下(電流Iと抵抗Rによる電圧降下=I×R)を起こし、複数箇所の電源は僅かに電位が異なることがある。その場合、シールド配線中を過大電流が通過することがある。   In this case, the normal shield wiring is connected to the power supply net at a plurality of locations. The power supply wiring causes a voltage drop called IR drop (voltage drop due to current I and resistance R = I × R) due to the power consumption of the nearby element, and the power supply at a plurality of locations may have slightly different potentials. In that case, an excessive current may pass through the shield wiring.

(a) :従来のシールド配線では、通常、電源配線は太い配線を用いているが、シールド配線は信号線と同じ太さの配線を用いるため、電流密度で規定値を超えてしまう場合がある。これによりエレクトロマイグレーションという配線の劣化が発生し、LSIの寿命や信頼性を劣化させてしまう。   (a): In conventional shield wiring, power supply wiring is usually thick, but the shield wiring uses the same thickness as the signal line, so the current density may exceed the specified value. . As a result, the degradation of wiring called electromigration occurs, and the life and reliability of the LSI are degraded.

(b) :電源には素子の動作によりスイッチングノイズが乗ってしまう。近年、LSIの集積密度の向上に伴い、ノイズを吸収させる必要がでてきたが、前記のようなスイッチングノイズを完全に除去するのは困難であった。   (b): Switching noise is applied to the power supply due to the operation of the element. In recent years, it has been necessary to absorb noise as the integration density of LSIs has increased, but it has been difficult to completely eliminate such switching noise.

(c) :LSI上のレジスタをテストするために、通常はスキャンネットと呼ばれる配線で、数珠繋ぎに接続されている。このスキャンネットは製造後の不良品を判断するためのテストに使われるが、LSIの動作中は動作しないため、不要であるが、従来はこのスキャンネットを前記テスト終了後に有効利用されていなかった。また、スキャンネットと別にシールド配線を施すと、場所を取りLSIの小型化の妨げになることがある。   (c): In order to test the registers on the LSI, they are usually connected in a daisy chain with wiring called a scan net. This scan net is used for tests to determine defective products after manufacture, but is unnecessary because it does not operate during the operation of the LSI, but conventionally this scan net has not been effectively used after the end of the test. . Also, if shield wiring is provided separately from the scan net, it may take up space and hinder the miniaturization of the LSI.

(d) :従来は、配線密度があまり高密度でなかったことで、クロストークの影響が少なく、シールド配線が必要でなかった。また、十分消費電力が少なくて電源の電位差がなかったため、シールド配線を流れる電流が小さく、電流密度制約違反を起こすようなこともなかった。しかし、LSIの配線密度が高密度になってくると、前記電流密度制約違反を起こすことがあるが、その対策はなされていなかった。   (d): Conventionally, since the wiring density was not so high, the influence of crosstalk was small and shield wiring was not necessary. Further, since the power consumption was sufficiently small and there was no potential difference between the power supplies, the current flowing through the shield wiring was small, and no current density constraint violation was caused. However, when the LSI wiring density becomes high, the current density constraint violation may occur, but no countermeasure has been taken.

本発明はこのような従来の課題を解決し、次のようなことを目的とする。すなわち、シールド配線において電源ネットとの接続を複数の箇所で行うと、電源ネットの電位差により過大な電流がシールド配線に流れたり、シールド配線同士や電源上で電流密度制約違反を起こしてしまうことがあるが、高密度の配線を有するLSIにおいても、このような電流密度制約違反の発生を防止し、確実なシールド配線を実現できるようにすると共に、シールド配線の処理が短時間で行えるようにすることを目的とする。   The present invention solves such a conventional problem and aims at the following. In other words, if the shield wiring is connected to the power supply net at multiple locations, excessive current may flow through the shield wiring due to the potential difference between the power supply nets, or current density constraint violations may occur between the shield wirings or the power supply. However, even in an LSI having high-density wiring, it is possible to prevent such a current density constraint violation and to realize reliable shield wiring and to perform shield wiring processing in a short time. For the purpose.

本発明は前記の目的を達成するため、次のように構成した。   In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.

(1) LSIの対象ネットの周囲を囲んで接続状態にあるシールド配線を、電源電圧が印加される電源線若しくは接地線につないだ構成を有するLSIにおいて、前記シールド配線は、前記電源線若しくは接地線と交差する部分や電源線若しくは接地線に近い部分を電源線若しくは接地線にビアを用いてクリップしたクリップ点を有し、該クリップ点とクリップ点の間が離断されていて、クリップ点間に電流が流れない構成を有し、前記シールド配線は1箇所でのみ電源線若しくは接地線と接続された構成を有することを特徴とする。 (1): a shield wiring in a connected state surrounds the target net of LSI, the LSI having the structure were connected to the power supply line or ground line a power supply voltage is applied, the shield wire, the power line or It has a clip point where the part that intersects the ground line, the power line or the part close to the ground line is clipped to the power line or the ground line by using a via , and the clip point and the clip point are separated from each other. The shield wiring has a configuration in which current does not flow between points, and the shield wiring has a configuration connected to a power supply line or a ground line only at one place .

(2) LSIの対象ネットの周囲を囲んだシールド配線を、電源電圧が印加される電源配線につないだ構成を有するLSIにおいて、前記シールド配線が、シールド配線同士を層間で接続するビアを使用せずに、互いに接続されていない分断されたシールド配線構造として構成し、前記分断されたシールド配線に対し、1つに繋がったシールド配線からは1箇所でしか電源配線に接続しないこと特徴とする。 (2) : In an LSI having a configuration in which a shield wiring that surrounds the LSI target net is connected to a power supply wiring to which a power supply voltage is applied , the shield wiring uses a via that connects the shield wirings between layers. without, configured as shed shield interconnect structure are not connected to each other, to said shed shielded wire, and characterized in that it does not connect to the power supply line only at one location from the shield wiring connected to one To do.

(作用)
前記構成に基づく本発明の作用を説明する。
(Function)
The operation of the present invention based on the above configuration will be described.

(a) :前記(1) のLSIでは、シールド配線が電源と接続されるクリップ点と、該クリップ点の中間近くで離断され、全てのシールド配線は1箇所でのみ電源と接続される状態にし、シールド配線中を過度の電流が流れることを防いだシールド配線を用いている。 (a) : In the LSI of (1) above, the shield wiring is disconnected near the middle of the clip point where the shield wiring is connected to the power source, and all shield wiring is connected to the power source only at one location. In addition, a shield wiring that prevents excessive current from flowing in the shield wiring is used.

このような構造を備えたLSIでは、シールド配線を流れる電流による電流密度制約違反が起こらない。また、電源網解析を一切行わなくても、構造上電流密度制約違反が起こらないし、クリップから離れたシールド程、雑音が乗りやすいが、離断点がクリップ点の中間にとることで、クリップからの距離を抑え、シールド効果を高めることができる。   In an LSI having such a structure, the current density constraint violation due to the current flowing through the shield wiring does not occur. In addition, even if no power network analysis is performed, the current density constraint violation does not occur structurally, and the shield is farther away from the clip, but it is easier to get on the noise. It is possible to reduce the distance and enhance the shielding effect.

(b) :前記(2) のLSIでは、配線層間を結ぶビアを用いないことにより、分断されたシールド配線に対し、1つに繋がったシールド配線からは1箇所でしか電源配線に接続しないことで、シールド配線中を過度の電流が流れることを防ぐシールド配線にすることができる。 (b) : In the LSI of (2) above, by not using vias that connect the wiring layers, the shielded wiring that is divided is connected to the power supply wiring only at one location from the shielded wiring that is connected to one. Thus, the shield wiring can be made to prevent an excessive current from flowing in the shield wiring.

このような構造を備えたLSIでは、クリップから離れて、配線抵抗が大きいシールド程、雑音が乗り易いので、配線抵抗が大きく、歩留りにも影響があるビアを使わないことでシールド効果を高めることができる。また、容易に離断点を決定できる。   In an LSI with such a structure, a shield with a higher wiring resistance away from the clip is more susceptible to noise, so the shielding effect is enhanced by not using vias that have higher wiring resistance and affect yield. Can do. In addition, the break point can be easily determined.

本発明は請求項の構成により次のような効果がある。   The present invention has the following effects by the structure of the claims.

(1) :請求項1のLSIでは、LSIの対象ネットの周囲を囲んで接続状態にあるシールド配線を、電源電圧が印加される電源線若しくは接地線につないだ構成を有するLSIにおいて、前記シールド配線は、前記電源線若しくは接地線と交差する部分や電源線若しくは接地線に近い部分を電源線若しくは接地線にビアを用いてクリップしたクリップ点を有し、該クリップ点とクリップ点の間が離断されていて、クリップ点間に電流が流れない構成を有し、前記シールド配線は1箇所でのみ電源線若しくは接地線と接続された構成を有することで、シールド配線中を過度の電流が流れることを防いだシールド配線を用いている。   (1) In the LSI according to claim 1, in the LSI having a configuration in which a shield wiring that surrounds the target net of the LSI and is connected to a power supply line or a ground line to which a power supply voltage is applied is connected. The wiring has a clip point where a portion intersecting the power supply line or the ground line or a portion close to the power supply line or the ground line is clipped to the power supply line or the ground line using a via, and the gap between the clip point and the clip point is between The shield wiring has a configuration in which current does not flow between the clip points, and the shield wiring has a configuration connected to a power supply line or a ground line only at one place, so that excessive current is passed through the shield wiring. Shield wiring that prevents flow is used.

(2) :請求項2のLSIでは、LSIの対象ネットの周囲を囲んだシールド配線を、電源電圧が印加される電源配線につないだ構成を有するLSIにおいて、前記シールド配線が、シールド配線同士を層間で接続するビアを使用しないことで、互いに接続されていない分断されたシールド配線構造として構成し、前記分断されたシールド配線に対し、1つに繋がったシールド配線からは1箇所でしか電源配線に接続しないことで、シールド配線中を過度の電流が流れることを防ぐシールド配線にすることができる。   (2) In the LSI according to claim 2, in the LSI having a configuration in which the shield wiring surrounding the periphery of the target net of the LSI is connected to the power supply wiring to which the power supply voltage is applied, the shield wiring connects the shield wirings to each other. By not using vias connected between layers, it is configured as a divided shield wiring structure that is not connected to each other, and the divided shield wiring is connected to one power supply wiring from only one shield wiring. By not connecting to the shield wiring, it is possible to provide a shield wiring that prevents an excessive current from flowing in the shield wiring.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、図1〜図7は、LSIの設計を行うためのコンピュータ上のデータを示しており、○印はビアを示している。また、以下の説明において、「離断」は、線分の端を少し短くして接触を無くすことを言う。また、「切断」は、線分を2つに分解はするが、依然接触はしている状態のことを言う。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. 1 to 7 show data on a computer for designing an LSI, and a circle indicates a via. Further, in the following description, “separation” refers to eliminating the contact by slightly shortening the end of the line segment. “Cut” means a state where the line segment is broken into two but still in contact.

(各例の説明)
(1) :例1(LSIのシールド配線方法:太くする、細くするの例)の説明
例1、2の説明図を図1に示す。例1は、LSIのシールド配線を行う処理をコンピュータ(例えば、CAD)のプログラムにより実現させた例である。
(Description of each example)
(1): Description of Example 1 (LSI Shield Wiring Method: Example of Thickening or Thinning) An explanatory diagram of Examples 1 and 2 is shown in FIG. Example 1 is an example in which processing for performing shield wiring of an LSI is realized by a computer (for example, CAD) program.

この場合、コンピュータのプログラムにより、LSIの対象ネットの周囲を囲んだシールド配線を電源配線につなぐ処理を行う際に、複数の箇所で電源と接続する場合、シールド配線を流れて供給される電流を計算するステップと、前記計算結果を用いて、電流密度のデザインルールを満たすように、シールド配線を太くする、若しくは、細くするステップを実行させる。具体的には次の通りである。   In this case, when connecting the power supply wiring to the shield wiring that surrounds the LSI target net by a computer program, when connecting to the power supply at multiple locations, the current supplied through the shield wiring is Using the calculation result and the calculation result, the shield wiring is made thicker or thinner so as to satisfy the current density design rule. Specifically, it is as follows.

図1の例では、対象ネットは1層目と2層目に配線されたクロック配線であり、このクロック配線の周囲を囲むように、該クロック配線の両側にシールド配線が設けてある。また、電源配線は、2層目の主電源配線と1層目の副電源配線1、2であり、図の○印は1層目と2層目の配線を電気的に接続するためのビアである。   In the example of FIG. 1, the target net is a clock wiring wired in the first layer and the second layer, and shield wiring is provided on both sides of the clock wiring so as to surround the clock wiring. The power supply wiring is the second-layer main power-supply wiring and the first-layer sub-power-supply wirings 1 and 2, and the circles in the figure indicate vias for electrically connecting the first-layer wiring and the second-layer wiring. It is.

すなわち、例1では、シールド配線やシールド配線をクリップした細い電源配線の部分で発生する電流を計算して求め、電流密度が規定の値以下になるように、シールド配線を太くして電流密度を低くしたり、逆にシールド配線を細くして、シールド配線と繋がる細い電源配線での電流密度制約違反を防いだりする。   In other words, in Example 1, the current generated in the portion of the thin power supply wiring obtained by clipping the shield wiring or the shield wiring is calculated, and the current density is increased by increasing the thickness of the shield wiring so that the current density is not more than a specified value. Lowering the shield wiring or conversely reducing the current density constraint in the thin power wiring connected to the shield wiring can be prevented.

例えば、図1のAの部分のシールド配線(2層目)を太くすることにより、副電源配線1(1層目)から副電源配線2(1層目)へ流れる電流の密度が制約値を超えないようにする。また、Bの部分(1層目、2層目のシールド配線)には、主電源配線(2層目)から副電源配線1(1層目)へ電流が流れるが、この電位差が大きいと、この部分を太くした場合、副電源配線1が電流密度制約違反を起こす場合がある。   For example, by increasing the thickness of the shield wiring (second layer) in part A in FIG. 1, the density of the current flowing from the sub power supply wiring 1 (first layer) to the sub power supply wiring 2 (first layer) becomes a constraint value. Do not exceed. In addition, a current flows from the main power supply wiring (second layer) to the sub power supply wiring 1 (first layer) in the portion B (first layer and second layer shield wiring). If this potential difference is large, If this portion is made thick, the sub power supply wiring 1 may cause a current density constraint violation.

このような場合、逆にBの部分を細くして配線抵抗を高めることにより、電流を減らし電流の密度が制約値を超えないようにする。通常は、各配線層によって、標準の線幅が決まっているため、太らせたり、細らせたりする代わりに、クロック配線と一緒に適切な配線幅を持つ層に移動しても良い。   In such a case, conversely, by narrowing the portion B to increase the wiring resistance, the current is reduced and the current density does not exceed the constraint value. Usually, since the standard line width is determined by each wiring layer, it may be moved to a layer having an appropriate wiring width together with the clock wiring instead of being thickened or thinned.

(2) :例2(例1のシールド配線処理において、先に太らせる例)の説明
例2は、LSIのシールド配線を行う処理をコンピュータ(例えば、CAD)のプログラムにより実現させた例である。
(2): Explanation of example 2 (example of thickening first in shield wiring process of example 1) Example 2 is an example in which the process of performing shield wiring of LSI is realized by a program of a computer (for example, CAD). .

この場合、例2は、例1において、コンピュータのプログラムにより、対象ネットの周囲を囲んだシールド配線(1、2層目)を電源配線につなぐ処理を行う際に、配線中は、簡単な計算により、電流密度制約違反が起こりそうなシールド配線を太くして配線するステップと、配線終了後に、時間のかかる電源網解析を行い、必要な箇所のシールド配線を細くし、配線制約違反も、電流密度制約違反も発生させないようにするステップを実行させる。   In this case, in Example 2, when the process of connecting the shield wiring (1st and 2nd layers) surrounding the periphery of the target net to the power supply wiring by the computer program in Example 1, simple calculation is performed during wiring. To increase the thickness of the shield wiring that is likely to violate the current density constraint, and after the wiring is completed, perform a time-consuming power network analysis to narrow the shield wiring at the required location. A step is performed so as not to cause a density constraint violation.

すなわち、時間のかかる電流密度の計算は配線途中は行わない。時間のかからない簡単な計算によってシールド配線上で後からシールド配線を太くする可能性のあるところを調べ、それらを太くするシールド配線処理を行う。   That is, time-consuming current density calculation is not performed during wiring. A simple calculation that does not take a long time investigates the possibility of thickening the shield wiring later on the shield wiring, and performs shield wiring processing to thicken them.

例えば、図1において、AやBの部分を太くする。そして、全ての配線終了時の電源網解析の結果からそれらのうち、太くする必要のない部分を元の太さに戻す。細くする際には、他の一般信号線との間隔制約は破られないので、再配線をする必要がない。そのため、前記例1のシールド配線を短時間で実現できる。また、シールド配線でけでなく、場合によっては電源配線の一部を太くしても良い。   For example, in FIG. 1, the portions A and B are thickened. Then, from the result of the power supply network analysis at the end of all the wirings, a portion that does not need to be thickened is returned to the original thickness. When narrowing, the restriction on the distance from other general signal lines is not violated, so that it is not necessary to rewire. Therefore, the shield wiring of Example 1 can be realized in a short time. In addition to the shield wiring, a part of the power supply wiring may be thickened in some cases.

(3) :例3(LSIの離断構造)の説明
例3、4の説明図を図2に示す。例3は、シールド配線が、電源と接続されるクリップ点と、クリップ点の中間近くで離断され、全てのシールド配線は1箇所でのみ電源と接続される状態にし、シールド配線中を過度の電流が流れることを防いだシールド配線を用いるLSI構造の例である。
(3): Explanation of Example 3 (LSI separation structure) An explanatory diagram of Examples 3 and 4 is shown in FIG. In example 3, the shield wiring is disconnected near the clip point connected to the power supply and the middle of the clip point, and all shield wiring is connected to the power supply only at one location, This is an example of an LSI structure using shield wiring that prevents current from flowing.

図2において、電源と交差する部分や電源と近い部分が電源配線とビア(図の○印)等を用いてクリップされており、クリップ点とクリップ点の間の点Cが離断されていて、クリップ点間に過大電流が流れるのを防ぐ。この構造の場合、クリップ間を電流が流れないので、時間のかかる電源網解析を行う必要がない。   In FIG. 2, the portion that intersects the power supply or the portion that is close to the power supply is clipped using power supply wiring and vias (circles in the figure), and the point C between the clip points is disconnected. Prevents excessive current from flowing between the clip points. In this structure, since no current flows between the clips, it is not necessary to perform a time-consuming power network analysis.

(4) :例4(シールド配線の離断処理)の説明
例4は、LSIのシールド配線を行う処理をコンピュータ(例えば、CAD)のプログラムにより実現させた例である。
(4): Explanation of Example 4 (Shield Wiring Disconnection Processing) Example 4 is an example in which processing for performing shield wiring of LSI is realized by a program of a computer (for example, CAD).

この場合、例4は、前記例3のLSI構造を実現するために、コンピュータのプログラムにより、最初に全て繋がったシールド配線を生成した上で、電源配線に交差する点や非常に近い点を電源配線に接続するステップと、電源への接続点の中間を求めて、そこを離断し、全てのシールド配線は1箇所でのみ電源と接続される状態にするステップを実行させる。   In this case, in order to realize the LSI structure of Example 3, in Example 4, a shield wiring that is all connected first is generated by a computer program, and then a point that intersects or is very close to the power supply wiring The step of connecting to the wiring and the intermediate point of the connection point to the power source are obtained and disconnected, and the step of connecting all the shield wirings to the power source only at one place is executed.

図2において、最初に電源と交差する部分や、電源と近い部分を電源配線にビア等を用いてクリップし、クリップ点とクリップ点の間の点Cを離断し、クリップ点間に過大電流が流れるのを防ぐ。この場合、後述する手順で行えば、クリップ点の中間を見つけて離断することができる。   In FIG. 2, the portion that first intersects with the power supply or the portion that is close to the power supply is clipped to the power supply wiring using a via or the like, the point C between the clip points is disconnected, and an excessive current is generated between the clip points. To prevent the flow. In this case, if the procedure described later is performed, the middle of the clip point can be found and cut off.

(5) :例5(容量も考慮した離断処理)の説明
例5の説明図を図3に示す。例5は、LSIのシールド配線を行う処理をコンピュータ(例えば、CAD)のプログラムにより実現させた例である。
(5): Explanation of Example 5 (Separation Processing Considering Capacity) An explanatory diagram of Example 5 is shown in FIG. Example 5 is an example in which the process of performing shield wiring of an LSI is realized by a computer (for example, CAD) program.

この場合、例5は、前記例2のLSI構造を実現するために、コンピュータのプログラムにより、最初に全て繋がったシールド配線を生成した上で、電源配線に交差する点や非常に近い点を電源配線に接続するステップと、次に、行き止まりになっている枝状の配線を調べ、その面積もしくは容量を、その枝の付け根の分岐点に覚えさせるステップと、行き止まりの枝状の配線を無視し、付け根の値と無視しない部分の面積を加えながら、電源への接続点の容量的な中間点を求め、そこを離断するステップを実行させる。   In this case, in order to realize the LSI structure of Example 2, in Example 5, a shield wiring that is all connected first is generated by a computer program, and then a point that intersects or is very close to the power supply wiring The step of connecting to the wiring, the next step is to examine the branch-like wiring that is a dead end, and the step of remembering the area or capacity at the branch point of the base of the branch, and ignoring the branch-like wiring of the dead end Then, while adding the root value and the area of the part that is not ignored, the step of obtaining the capacitive intermediate point of the connection point to the power source and disconnecting it is executed.

図3に示すように、シールド線に行き止まりのシールド線が接続されている場合、その部分のシールド線の面積、若しくは静電容量を計算し、その値を図3のFで示した付け根(根元)の部分に記録しておく。前記例3のように、クリップ点から中間点を求める際に、距離の中間(図のDの位置)ではなく、面積、若しくは静電容量の中間点を求める。   As shown in FIG. 3, when a dead-end shield wire is connected to the shield wire, the area or capacitance of the shield wire in that portion is calculated, and the value is indicated by the root (root) indicated by F in FIG. ). As in Example 3, when determining the intermediate point from the clip point, not the intermediate distance (position D in the figure), but the intermediate point of the area or capacitance.

行き止まりのシールド線は探索しない代わりに、付け根の値に加えておくと図3のE点のような静電容量の中間点を求めることができる。各シールド配線の静電容量(GNDとの間の静電容量)がバランスしている方が、シールド配線に乗ったノイズを素早くクリップを通じて電源に逃がすことができ、シールド配線の効果を高めることができる。   Instead of searching for a dead-end shield line, if it is added to the value of the root, an intermediate point of capacitance such as point E in FIG. 3 can be obtained. If the electrostatic capacity of each shield wiring (capacitance with GND) is balanced, the noise on the shield wiring can be quickly released to the power supply through the clip, and the effect of the shield wiring can be enhanced. it can.

(6) :例6(容量も考慮した離断処理)の説明
例6の説明図を図4に示す。例6は、LSIのシールド配線を行う処理をコンピュータ(例えば、CAD)のプログラムにより実現させた例である。
(6): Explanation of Example 6 (Separation Processing Considering Capacity) An explanatory diagram of Example 6 is shown in FIG. Example 6 is an example in which processing for performing shield wiring of LSI is realized by a computer (for example, CAD) program.

この場合、例6は、前記例3のLSI構造を実現するために、コンピュータのプログラムにより、最初に繋がったシールド配線を生成した上で、電源配線に交差する点や非常に近い点を電源配線に接続するステップと、次に、ループになっている部分を調べ、1箇所で離断し、ループを全て解消するステップと、次に、行き止まりになっている枝状の配線を調べ、その面積若しくは容量を、その枝の付け根の分岐点に覚えさせるステップと、行き止まりの枝状の配線を無視し、付け根の値と無視しない部分の面積を加えながら、電源への接続点の容量的な中間地点を求め、そこを離断するステップを実行させる。   In this case, in order to realize the LSI structure of Example 3, in Example 6, the shield wiring connected first is generated by the computer program, and then the point crossing the power supply wiring or a point very close to the power supply wiring is shown. The next step is to check the part that is in the loop, break the loop at one point, eliminate all the loops, and then check the branch-like wiring that is dead end Alternatively, the capacity is memorized at the branch point at the base of the branch and the dead-end branch wiring is ignored, and the value of the base and the area of the non-ignored part are added, and the capacitive middle of the connection point to the power supply is added. A point is obtained and a step of cutting off the point is executed.

図4に示したように、シールド配線にループが存在していると、前記例4のシールド配線方法は何らかの工夫をしなければ実現できない。そこで、前処理として、ループを検出し、そこ(図4のG点)を離断する。これにより前記例4のシールド配線方法では処理できないループを含むシールドを前処理することにより、処理できるようになる。   As shown in FIG. 4, if a loop exists in the shield wiring, the shield wiring method of Example 4 cannot be realized unless some device is used. Therefore, as preprocessing, a loop is detected and the point (point G in FIG. 4) is disconnected. As a result, the shield including the loop that cannot be processed by the shield wiring method of Example 4 can be processed by preprocessing.

(7) :例7(生成時に無接続)の説明
例7の説明図を図5に示す。例7は、配線層間を結ぶビアを用いないことにより、分断されたシールド配線に対し、1つに繋がったシールド配線からは、1箇所でしか電源配線に接続しないことで、シールド配線中を過度の電流が流れることを防ぐシールド配線を用いたLSI構造に関する例である。
(7): Explanation of Example 7 (no connection at the time of generation) An explanatory diagram of Example 7 is shown in FIG. In Example 7, by using no vias that connect the wiring layers, the shielded wiring that is divided is connected to the power supply wiring only at one location from the shielded wiring that is connected to one, so that It is an example regarding the LSI structure using the shield wiring which prevents that the electric current flows.

図5に示したように、Hの点がビアで接続されていない。シールド配線がシールド同士層間で接続するビアを使用しないことで、互いに接続されていないシールド構造となり、各シールドの島から1箇所のみしかクリップされていないことで、電流密度の計算なしに、電流密度制約違反が発生しないことが保証されたシールド配線となる。   As shown in FIG. 5, the points H are not connected by vias. The shield wiring is not connected to each other by not using vias that connect between shields, and only one location is clipped from the island of each shield, so that the current density can be calculated without calculating the current density. The shield wiring is guaranteed not to violate constraints.

このように、通常は配線層の間が接続されてないが、電源への接続が難しい領域では、一部だけならばビアを使って他のシールド配線と繋げても良い。   In this way, the wiring layers are not normally connected, but in a region where connection to the power source is difficult, if only part of the wiring layers may be connected to other shield wirings using vias.

(8) :例8(左右の電位を変える)の説明
例8の説明図を図6に示す。ところで、電源には素子の動作によりスイッチングノイズが乗ってしまう。近年のLSIの集積密度の向上に伴い、前記ノイズを吸収させる必要がでてきた。そこで、例8は、シールド対象配線の両側のシールド線を互いに異なる電位の電源に接続し、隣接するシールド配線の電位が必ず異なるようにし、シールド配線同士が隣接した場合の静電容量を利用して電源の対雑音性を高めたシールド配線を用いたLSI構造の例である。
(8): Explanation of Example 8 (changing the left and right potentials) FIG. By the way, switching noise is put on the power supply due to the operation of the element. With recent improvements in LSI integration density, it has become necessary to absorb the noise. Therefore, in Example 8, the shield lines on both sides of the shielded wiring are connected to power supplies having different potentials so that the potentials of the adjacent shield wirings are always different, and the electrostatic capacitance when the shield wirings are adjacent to each other is used. This is an example of an LSI structure using shield wiring with improved noise resistance of the power supply.

図6に示したシールド配線2と3、4と5は互いに隣接している。シールド配線の電位をシールド対象となるネットの相対位置から決定する。図6では、クロック線の右側と下側のシールド配線を正の電源(電源電圧:VCC)に繋ぎ、左側と上側のシールド配線をGND(接地)に繋ぐ。   The shield wirings 2, 3, 4 and 5 shown in FIG. 6 are adjacent to each other. The potential of the shield wiring is determined from the relative position of the net to be shielded. In FIG. 6, the right and lower shield lines of the clock line are connected to a positive power supply (power supply voltage: VCC), and the left and upper shield lines are connected to GND (ground).

その結果、図6のように、偶然隣接したシールド配線は、電位が異なるため、コンデンサの役目を果たし、電源に乗ったノイズを吸収し、雑音による誤動作を防ぐことができる。   As a result, as shown in FIG. 6, since the adjacent shield wirings have different potentials, they serve as a capacitor, absorb noise on the power supply, and prevent malfunction due to noise.

(9) :例9(スキャンを利用したシールド配線)の説明
例9の説明図を図7に示す。LSIのレジスタをテストするために、通常は全てレジスタはスキャンネットと呼ばれる配線で数珠繋ぎに接続されている。このネットは製造後の不良品を判断するテストで使われるが、LSIの動作中は動作しないため不要である。また、スキャンネットはノイズを発生しない。
(9): Explanation of Example 9 (Shield Wiring Using Scanning) An explanatory diagram of Example 9 is shown in FIG. In order to test LSI registers, all the registers are normally connected in a daisy chain by wiring called a scan net. This net is used in a test for determining defective products after manufacture, but is unnecessary because it does not operate during the operation of the LSI. Also, the scan net does not generate noise.

そこで、例9は、スキャンネットの一部をシールド配線として兼用し、シールド配線とスキャンネットに必要な配線領域を節約したLSI構造に関する例である。   Therefore, Example 9 is an example of an LSI structure in which a part of the scan net is also used as a shield wiring to save a wiring area necessary for the shield wiring and the scan net.

図7に示したスキャンネットは部分的にシールド配線を兼ねている。できるだけ動作中は定電位でノイズを発生しないスキャンネットとシールド配線を兼用することにより、配線資源を節約することができる。各スキャンネットは、或る2点間を接続する。その際に、その2点間に存在するシールド配線をできるだけ利用することにより、このような構造を実現できる。   The scan net shown in FIG. 7 also partially serves as a shield wiring. Wiring resources can be saved by combining the scan net that does not generate noise at a constant potential and shield wiring during operation as much as possible. Each scan net connects two certain points. At that time, such a structure can be realized by utilizing as much as possible the shield wiring existing between the two points.

(処理の詳細な説明)
(1) :例3の詳細な処理
例3の処理フローチャート(その1)を図8に示す。また、例3の処理フローチャート(その2)を図9に示す。以下、図8、図9に基づいて例3の処理を詳細に説明する。なお、S1〜S12は各処理ステップを示す。
(Detailed explanation of processing)
(1): Detailed Processing of Example 3 FIG. 8 shows a processing flowchart (No. 1) of Example 3. Moreover, the process flowchart (the 2) of Example 3 is shown in FIG. Hereinafter, the processing of Example 3 will be described in detail with reference to FIGS. In addition, S1-S12 shows each process step.

例3の処理において、要素には、配線線分、ビア、クリップの3つがある。クリップとは電源とシールド配線との接続点を示し、別々のクリップ番号を持つ。各要素は、「チェック番号」、「接続位置」、「到達距離」、「最短子要素」、「最短子要素距離」を持つ。   In the processing of Example 3, there are three elements: a wiring line segment, a via, and a clip. The clip indicates a connection point between the power source and the shield wiring, and has a different clip number. Each element has “check number”, “connection position”, “reach distance”, “shortest child element”, and “shortest child element distance”.

先ず、全てのシールド配線をクリップの位置、ビア位置、他の線分との交差位置で切断し、1つの線分は、両端でのみ他の線分、ビアと接触している状態にする(S1)。この場合、切断はされても接触はしている。   First, all shield wirings are cut at clip positions, via positions, and intersections with other line segments, and one line segment is in contact with other line segments and vias only at both ends ( S1). In this case, contact is made even if the cutting is performed.

次に、全てのクリップについて、「到達距離」=0、「チェック番号」=クリップ番号、「接続位置」=クリップ位置、「最短子要素」=そのクリップと接触している全ての要素の中で、反対側までの距離が最も小さいもの、「最短子要素距離」=最短子要素の反対側までの距離(=到達距離+最短子要素の長さ)、全てのクリップを次探索位置集合へ登録する(S2)。   Next, for all clips, “arrival distance” = 0, “check number” = clip number, “connection position” = clip position, “shortest child element” = all elements in contact with the clip , The shortest distance to the opposite side, “shortest child element distance” = distance to the opposite side of the shortest child element (= reach distance + shortest child element length), all clips are registered in the next search position set (S2).

そして、次探索位置集合は空か否かを判断し(S3)、次探索位置集合が空ならば、離断点として登録された場所を離断後、少し短くして接触を無くし(S12)、この処理を終了する。しかし、S3の処理で、次探索位置集合が空でなければ、次探索位置集合から、「最短子要素距離」が最少の要素を1つ取り出し、今要素とする。今要素の「最短子要素」を次要素とする(S4)。   Then, it is determined whether or not the next search position set is empty (S3). If the next search position set is empty, the location registered as the break point is cut off and then slightly shortened to eliminate contact (S12). This process is terminated. However, if the next search position set is not empty in the process of S3, one element having the smallest “shortest child element distance” is taken out from the next search position set and set as the current element. The “shortest child element” of the current element is set as the next element (S4).

次に、今要素の「接続位置」と接触している全ての要素の中で、次要素以外に「チェック番号」が未だ無いものがあるか否かを判断する(S5)。その結果、次要素以外に「チェック番号」が未だ無いものが有れば、今要素の「最短子要素」=それらの中で反対側までの距離が最も小さいもの、「最短子要素距離」=最短子要素の反対側までの距離とし、今要素を次探索位置集合へ戻す(S6)。   Next, it is determined whether or not there is an element that does not have a “check number” other than the next element among all the elements that are in contact with the “connection position” of the current element (S5). As a result, if there is a “check number” other than the next element, the “shortest child element” of the current element = the shortest distance to the opposite side among them, “shortest child element distance” = The distance to the opposite side of the shortest child element is set, and the current element is returned to the next search position set (S6).

次に、次要素の「チェック番号」が有るか否かを判断する(S7)。また、前記S5の処理で、今要素の「接続位置」と接触している全ての要素の中で、次要素以外に「チェック番号」が未だ無いものが無ければ、前記S6の処理を行うことなくS7の処理へ移行する。そして、S7の処理で、次要素の「チェック番号」が無ければ、次要素の「チェック番号」=今要素の「チェック番号」、「接続位置」=次要素の反対側の位置、「到達距離」=今要素の「最短子要素距離」とする(S8)。   Next, it is determined whether there is a “check number” of the next element (S7). Further, in the process of S5, if there is no element that does not have a “check number” other than the next element among all elements in contact with the “connection position” of the current element, the process of S6 is performed. If not, the process proceeds to S7. If there is no “check number” of the next element in the processing of S7, “check number” of the next element = “check number” of the current element, “connection position” = position opposite to the next element, “reach distance” "=" Shortest child element distance "of the current element (S8).

また、S7の処理で、次要素の「チェック番号」が有れば、S3の処理へ移行する。次に、次要素の「接続位置」と接触している全ての要素の中に、「チェック番号」が有るか否かを判断し(S9)、有れば、その中で、次要素の「接続位置」と同じ「接続位置」を持つ要素を到達要素とする。そして、次要素の、今要素の接続位置から、(到達要素の「到達距離」+次要素の長さ−今要素の「到達距離」)/2の距離の部分を離断点として登録しておく(S10)。   If there is a “check number” of the next element in the process of S7, the process proceeds to S3. Next, it is determined whether or not there is a “check number” among all the elements in contact with the “connection position” of the next element (S9). An element having the same “connection position” as the “connection position” is defined as a reaching element. Then, from the connection position of the next element of the next element, register the distance part of (reaching distance of the reaching element + the length of the next element−the “reaching distance” of the current element) / 2 as a break point. (S10).

この場合、クリップから次要素の両端までの最少距離は、到達要素の「到達距離」と今要素の「到達距離」であり、次要素は、次探索位置集合へは戻さない。その後、S3の処理へ移行する。   In this case, the minimum distance from the clip to both ends of the next element is the “reaching distance” of the reaching element and the “reaching distance” of the current element, and the next element does not return to the next search position set. Thereafter, the process proceeds to S3.

また、S9の処理で、チェック番号が無ければ、次要素の「最短子要素」=次要素の「接続位置」と接触している全ての要素の中で、反対側までの距離が最も小さいもの、「最短子要素距離」=最短子要素の反対側までの距離、次要素を次探索位置集合へ登録する(S11)。その後S3の処理へ移行する。   Also, if there is no check number in the process of S9, the next element “shortest child element” = the shortest distance to the opposite side among all elements in contact with the next element “connection position” “Shortestest child element distance” = distance to the opposite side of the shortest child element, the next element is registered in the next search position set (S11). Thereafter, the process proceeds to S3.

(2) :例3の処理の説明
例3の処理説明図を図10に示す。図10の例は、前記図8、9に示した処理による例であり、簡単な場合の例について示したものである。図10において、要素はC1、C2、S1、S2、S3、クリップ(C1、C2:クリップ)が2つ、シールド線(S1、S2、S3:シールド線)が3本である。位置は、P1、P2、P3、P4で表される。
(2): Explanation of Processing in Example 3 FIG. 10 is a diagram for explaining processing in Example 3. The example of FIG. 10 is an example of the processing shown in FIGS. 8 and 9 and shows an example of a simple case. In FIG. 10, the elements are C1, C2, S1, S2, S3, two clips (C1, C2: clip), and three shield wires (S1, S2, S3: shield wire). The position is represented by P1, P2, P3, and P4.

この場合、S1、S2、S3の線長は、5、6、7とする。また、要素名は、チェック番号、接続位置、到達距離、最短子要素、最短子要素距離で表現している。また、太い電源へは、複数のビアで接続されている場合があるが、その場合は、それらのビアの間を離断するのは無意味なので、まとめて1つのビアと見なす方が良い。   In this case, the line lengths of S1, S2, and S3 are 5, 6, and 7. The element name is expressed by a check number, connection position, reach distance, shortest child element, and shortest child element distance. In addition, a thick power supply may be connected by a plurality of vias. In that case, it is meaningless to disconnect the vias, and therefore it is better to consider them as one via.

(3) :例5の詳細な処理
図11に例5の処理フローチャートを示す。以下、図11に基づいて例5の処理を説明する。なお、S21〜S24は各処理ステップを示す。
(3): Detailed Processing of Example 5 FIG. 11 shows a processing flowchart of Example 5. Hereinafter, the processing of Example 5 will be described with reference to FIG. S21 to S24 indicate each processing step.

先ず、全てのシールド線のクリップ点、交差点、ビア位置で切断し、シールド線の両端でしか他の要素と接触していないようにする(S21)。次に、全てのシールドとビアの探索対象外マークを0に初期化する(S22)。そして、枝面積計算関数(或る1つのクリップ、その点)を呼び出す(S23)。   First, cutting is performed at clip points, intersections, and via positions of all shield lines so that they are in contact with other elements only at both ends of the shield line (S21). Next, all the shield and via search target marks are initialized to 0 (S22). Then, a branch area calculation function (one clip, that point) is called (S23).

次に、図8、9に示した例3の処理フローチャートにおいて、要素の長さの代わりに、要素の面積+その要素に記録された面積として、探索対象外マークのついた要素を全く無視して実行し(S24)、この処理を終了する。   Next, in the processing flowchart of Example 3 shown in FIGS. 8 and 9, the element with the mark not to be searched is completely ignored as the area of the element + the area recorded in the element instead of the length of the element. (S24), and this process is terminated.

(4) :枝面積計算関数の処理
枝面積計算関数の処理フローチャート(その1)を図12に示す。また、枝面積計算関数の処理フローチャート(その2)を図13に示す。以下、図12、図13に基づいて枝面積計算関数の処理を説明する。なお、S31〜S43は各処理ステップを示す。
(4) Processing of branch area calculation function FIG. 12 shows a processing flowchart (part 1) of the branch area calculation function. FIG. 13 shows a processing flowchart (part 2) of the branch area calculation function. Hereinafter, the processing of the branch area calculation function will be described with reference to FIGS. S31 to S43 indicate each processing step.

先ず、初期化処理として、枝数=0、クリップ数=0、面積=0に設定し(S31)、始点に繋がる全ての要素を、集合に登録する(S32)。次に、集合から1つの要素を取り出し、集合から取り除き(S33)、集合に取り出すべき要素が有るか否かを判断する(S34)。   First, as initialization processing, the number of branches = 0, the number of clips = 0, and the area = 0 are set (S31), and all elements connected to the start point are registered in the set (S32). Next, one element is extracted from the set, removed from the set (S33), and it is determined whether there is an element to be extracted from the set (S34).

その結果、集合に取り出すべき要素が有れば、取り出すべき要素と開始要素が同一か否かを判断し(S35)、同一ならばS33の処理へ移行する。しかし、取り出すべき要素と開始要素が同一でなければ、その要素はクリップか否かを判断する(S36)、
その結果、その要素がクリップならば、クリップ数をインクリメント(クリップ数=クリップ数+1)して(S37)、S32の処理へ移行する。しかし、S36の処理で、その要素がクリップでなければ、枝数をインクリメント(枝数=枝数+1)する(S38)。
As a result, if there is an element to be extracted from the set, it is determined whether or not the element to be extracted and the start element are the same (S35). If they are the same, the process proceeds to S33. However, if the element to be extracted and the start element are not the same, it is determined whether or not the element is a clip (S36).
As a result, if the element is a clip, the number of clips is incremented (number of clips = number of clips + 1) (S37), and the process proceeds to S32. However, if the element is not a clip in the process of S36, the number of branches is incremented (the number of branches = the number of branches + 1) (S38).

次に、|面積要素、クリップ存在フラグ|=枝面積計算関数(その要素、その要素の反対側の点)とする(S39)。次に、クリップ数=クリップ数+クリップ存在フラグとして(S40)、S33の処理へ移行する。   Next, | area element, clip presence flag | = branch area calculation function (the element, a point on the opposite side of the element) is set (S39). Next, the number of clips = number of clips + clip existence flag is set (S40), and the process proceeds to S33.

また、S34の処理で、集合に取り出すべき要素が無ければ、クリップ数>0か否かを判断し(S41)、クリップ数>0ならば、開始要素のその位置に、面積を記録する。そして、{0,クリップ数}を答えとして、関数呼び出し元に戻り(S42)、この処理を終了する。   If there is no element to be extracted from the set in the process of S34, it is determined whether or not the number of clips> 0 (S41). If the number of clips> 0, the area is recorded at the position of the start element. Then, with {0, the number of clips} as an answer, the process returns to the function caller (S42), and this process is terminated.

また、S41の処理で、クリップ数>0でなければ、開始要素に、検索対象外のマークを付ける。そして、{開始要素の面積,0}を答えとして、関数呼び出し元に戻り(S43)、この処理を終了する。   If the number of clips is not greater than 0 in the process of S41, a mark that is not a search target is added to the start element. Then, {area of the start element, 0} is set as an answer, the function caller is returned (S43), and this process is terminated.

(5) :例9の詳細な処理
例9の処理フローチャートを図14に示す。以下、図14に基づいて例9の処理を説明する。なお、S51〜S56は各処理ステップを示す。
(5): Detailed Processing of Example 9 FIG. 14 shows a processing flowchart of Example 9. Hereinafter, the process of Example 9 will be described with reference to FIG. S51 to S56 indicate each processing step.

先ず、全てのシールド線分をクリップ点、交差点、ビア位置で切断し、シールド線分の両端でしか他の要素と接触していないようにする(S51)。次に、全てのシールドと、ビアのマークを、0に初期化し(S52)、全てのシールドのクリップを集合に入れる(S53)。   First, all shield line segments are cut at clip points, intersections, and via positions so that they are in contact with other elements only at both ends of the shield line segments (S51). Next, all shields and via marks are initialized to 0 (S52), and clips of all shields are put into a set (S53).

次に、集合からクリップを1つ取り出し、集合から削除する(S54)。そして、取り出すべきクリップが集合に有るか否かを判断し(S55)、取り出すべきクリップが集合に有れば、ループ離断関数(クリップ、そのクリップの位置、そのクリップのクリップ番号)を求め(S56)、S54の処理へ移行する。また、S55の処理で、取り出すべきクリップが集合に無ければ、この処理を終了する。   Next, one clip is taken out from the set and deleted from the set (S54). Then, it is determined whether or not the clip to be taken out is in the set (S55). If the clip to be taken out is in the set, a loop break function (clip, position of the clip, clip number of the clip) is obtained ( S56) and the process proceeds to S54. If there is no clip to be taken out in the process of S55, this process ends.

(6) :ループチェック関数の処理
ループチェック関数の処理フローチャートを図15に示す。以下、図15に基づいてループチェック関数(例6において、ループを検出して離断するために使用する関数)の処理を説明する。なお、S61〜S68は各処理ステップを示す。
(6): Processing of loop check function FIG. 15 shows a processing flowchart of the loop check function. Hereinafter, processing of a loop check function (a function used to detect and break a loop in Example 6) will be described with reference to FIG. S61 to S68 indicate each processing step.

先ず、始点に繋がる全ての要素を集合へ入れる(S61)。次に、集合から1つの要素を取り出し、集合から取り除く(S62)。そして、集合から取り出すべき要素が有るか否かを判断し(S63)、有れば、その要素と開始要素が同一か否かを判断する(S64)。また、集合から取り出すべき要素が無ければ、関数呼び出し元に戻り(S68)、この処理を終了する。   First, all the elements connected to the starting point are put into the set (S61). Next, one element is extracted from the set and removed from the set (S62). Then, it is determined whether there is an element to be extracted from the set (S63). If there is, it is determined whether the element is the same as the start element (S64). If there is no element to be taken out from the set, the process returns to the function caller (S68), and this process ends.

前記S64の処理で、その要素と開始要素が同一で有れば、S62の処理へ移行するが、同一でなければ、その要素とマークが0か否かを判断する(S65)。その結果、その要素とマークが0ならば、その要素のマーク=マーク番号、ループチェック関数(その要素、その要素の反対側の点、マーク番号)を実行し(S66)、S62の処理へ移行する。   If the element is the same as the start element in the process of S64, the process proceeds to S62. If not, it is determined whether the element and the mark are 0 (S65). As a result, if the element and the mark are 0, the mark of the element = mark number, the loop check function (the element, the point on the opposite side of the element, the mark number) is executed (S66), and the process proceeds to S62. To do.

また、S65の処理で、その要素とマークが0でなければ、開始要素の始点側を短くすることにより、ループを離断し(S67)、S62の処理へ移行する。このようにして、ループチェック関数の処理を行う。   If the element and the mark are not 0 in the process of S65, the start point side of the start element is shortened to break the loop (S67), and the process proceeds to S62. In this way, the loop check function is processed.

(具体的な装置例と記録媒体の説明)
図16は具体的な装置例である。前記実施の形態の例1〜例9において説明した「LSIのシールド配線を行うための処理」は、ワークステーション、パーソナルコンピュータ等の任意のコンピュータにより実現することができる。
(Specific device example and description of recording medium)
FIG. 16 shows a specific apparatus example. The “processing for performing shield wiring of LSI” described in Examples 1 to 9 of the embodiment can be realized by an arbitrary computer such as a workstation or a personal computer.

この装置は、コンピュータ本体1と、該コンピュータ本体1に接続されたディスプレイ装置2、入力装置(キーボード/マウス等)3、リムーバブルディスクドライブ(「RDD」という)4、ハードディスク装置(「HDD」という)5等で構成されている。   This apparatus includes a computer main body 1, a display device 2 connected to the computer main body 1, an input device (keyboard / mouse, etc.) 3, a removable disk drive (referred to as “RDD”) 4, and a hard disk device (referred to as “HDD”). It is composed of 5 etc.

そして、コンピュータ本体1には、内部の各種制御や処理を行うCPU6と、プログラムや各種データを格納しておくためのROM7(不揮発性メモリ)と、メモリ8と、インタフェース制御部(「I/F制御部」という)9と、通信制御部10等が設けてある。なお、前記RDD4には、フレキシブルディスクドライブや光ディスクドライブ等が含まれる。   The computer main body 1 has a CPU 6 for performing various internal controls and processes, a ROM 7 (nonvolatile memory) for storing programs and various data, a memory 8, and an interface control unit (“I / F”). 9) and a communication control unit 10 are provided. The RDD 4 includes a flexible disk drive and an optical disk drive.

前記構成の装置において、例えば、HDD5の磁気ディスク(記録媒体)に、前記処理を実現するためのプログラムを格納しておき、このプログラムをCPU6が読み出して実行することにより、前記コンピュータが行う「LSIのシールド配線を行うための処理」を実行する。   In the apparatus having the above-described configuration, for example, a program for realizing the processing is stored in a magnetic disk (recording medium) of the HDD 5, and the CPU 6 reads out and executes the program, thereby executing the “LSI” executed by the computer. The process for performing the shield wiring is executed.

しかし、本発明は、このような例に限らず、例えば、HDD5の磁気ディスクに、次のようにしてプログラムを格納し、このプログラムをCPU6が実行することで前記処理を行うことも可能である。   However, the present invention is not limited to such an example. For example, the program can be stored in the magnetic disk of the HDD 5 as follows, and the program can be executed by the CPU 6 executing the program. .

(a) :他の装置で作成されたリムーバブルディスクに格納されているプログラム(他の装置で作成したプログラムデータ)を、RDD4により読み取り、HDD5の記録媒体に格納する。   (a): A program (program data created by another device) stored in a removable disk created by another device is read by the RDD 4 and stored in a recording medium of the HDD 5.

(b) :通信回線を介して他の装置から伝送されたプログラム等のデータを、通信制御部10を介して受信し、そのデータをHDD5の記録媒体(磁気ディスク)に格納する。   (b): Data such as a program transmitted from another device via a communication line is received via the communication control unit 10, and the data is stored in a recording medium (magnetic disk) of the HDD 5.

(付記)
前記説明に対し、本発明の次の構成を付記する。
(Appendix)
The following configuration of the present invention is added to the above description.

(付記1):コンピュータに、LSIの対象ネットの周囲を囲んだシールド配線を電源配線につなぐ処理を行う際に、複数の箇所で電源と接続する場合、シールド配線を流れて供給される電流を計算するステップと、前記計算結果を用いて、電流密度のデザインルールを満たすように、シールド配線を太くする、若しくは細くするステップを実現させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。   (Supplementary note 1): When connecting a shield wiring that surrounds the LSI target net to the power supply wiring to the computer, when connecting to the power supply at a plurality of locations, the current supplied through the shield wiring is A computer-readable recording medium on which a program for realizing a step of calculating and a step of increasing or decreasing a thickness of a shield wiring so as to satisfy a current density design rule using the calculation result is recorded.

(付記2):シールド配線が、電源と接続されるクリップ点と、該クリップ点の中間近くで離断され、全てのシールド配線は1箇所でのみ電源と接続される状態にし、シールド配線中を過度の電流が流れることを防いだシールド配線を用いていることを特徴とするLSI。   (Supplementary note 2): The shield wiring is disconnected near the clip point connected to the power source and the middle of the clip point, and all shield wirings are connected to the power source only at one place. An LSI characterized by using shielded wiring that prevents excessive current from flowing.

(付記3):配線層間を結ぶビアを用いないことにより、分断されたシールド配線に対し、1つに繋がったシールド配線からは1箇所でしか電源配線に接続しないことで、シールド配線中を過度の電流が流れることを防ぐシールド配線を用いていることを特徴とするLSI。   (Supplementary note 3): By not using vias that connect the wiring layers, the shielded wiring that is divided is connected to the power supply wiring at only one point from the shielded wiring that is connected to one, and the shield wiring An LSI characterized by using shield wiring that prevents current from flowing.

(付記4):シールド対象配線の両側のシールド線を互いに異なる電位の電源に接続し、隣接するシールド配線の電位が必ず異なるようにして、シールド配線同士が隣接した場合の静電容量を利用して電源の対雑音性を高めたシールド配線を用いていることを特徴とするLSI。   (Appendix 4): Connect the shield wires on both sides of the shielded wiring to power sources with different potentials, make sure that the potential of the adjacent shield wires is different, and use the capacitance when the shield wires are adjacent to each other. LSI that uses shield wiring with improved noise resistance of the power supply.

(付記5):スキャンネットの一部をシールド配線として兼用し、シールド配線とスキャンネットに必要な配線領域を節約した構造を有することを特徴とするLSI。   (Supplementary Note 5): LSI having a structure in which a part of a scan net is also used as a shield wiring, and a wiring area necessary for the shield wiring and the scan net is saved.

(付記6):前記(付記1) の記録媒体において、LSIの対象ネットの周囲を囲んだシールド配線を電源配線につなぐ処理を行う際に、コンピュータに、配線中は、簡単な計算により、電流密度制約違反が起こりそうなシールド配線を太くして配線するステップと、配線終了後に、時間のかかる電源網解析を行い、必要な箇所のシールド配線を細くし、配線制約違反も、電流密度制約違反も発生させないようにするステップを実現させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。   (Appendix 6): In the recording medium of (Appendix 1), when performing the process of connecting the shield wiring that surrounds the LSI target net to the power supply wiring, the computer calculates the current by simple calculation during the wiring. Steps to thicken the shield wiring that is likely to violate the density constraint and perform the power network analysis that takes time after the wiring is completed, narrow the shield wiring at the necessary location, and violate the current density constraint A computer-readable recording medium having recorded thereon a program for realizing the step of preventing the occurrence of noise.

(付記7):前記(付記2)のLSI構造を実現するために、コンピュータに、最初に全て繋がったシールド配線を生成した上で、電源配線に交差する点や非常に近い点を電源配線に接続するステップと、電源への接続点の中間を求めて、そこを離断し、全てのシールド配線は1箇所でのみ電源と接続される状態にするステップを実現させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。   (Appendix 7): In order to realize the LSI structure of (Appendix 2) above, a shield wiring that is all connected first is generated in a computer, and a point that intersects or very close to the power supply wiring is used as the power supply wiring. A computer recording a program for realizing the step of connecting and the step of finding the middle of the connection point to the power source, disconnecting it, and connecting all the shield wirings to the power source only at one place A readable recording medium.

(付記8):前記(付記2)のLSI構造を実現するために、コンピュータに、最初に全て繋がったシールド配線を生成した上で、電源配線に交差する点や非常に近い点を電源配線に接続するステップと、次に、行き止まりになっている枝状の配線を調べ、その面積もしくは容量を、その枝の付け根の分岐点に覚えさせるステップと、行き止まりの枝状の配線を無視し、付け根の値と無視しない部分の面積を加えながら、電源への接続点の容量的な中間点を求め、そこを離断するステップを実現させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。   (Appendix 8): In order to realize the LSI structure of (Appendix 2) above, a shield wiring that is all connected first is generated in a computer, and a point that intersects or very close to the power supply wiring is used as the power supply wiring. The step of connecting, and then examining the branch-like wiring that is dead-end, making the area or capacity memorize at the branch point of the base of the branch, ignoring the branch-like wiring of the dead-end, A computer-readable recording medium on which a program for realizing a step of obtaining a capacitive intermediate point of a connection point to a power source and disconnecting it is added while adding the value of and a non-negligible area.

(付記9):前記(付記2)のLSI構造を実現するために、コンピュータに、最初に繋がったシールド配線を生成した上で、電源配線に交差する点や非常に近い点を電源配線に接続するステップと、次に、ループになっている部分を調べ、1箇所で離断し、ループを全て解消するステップと、次に、行き止まりになっている枝状の配線を調べ、その面積若しくは容量を、その枝の付け根の分岐点に覚えさせるステッブと、行き止まりの枝状の配線を無視し、付け根の値と無視しない部分の面積を加えながら、電源への接続点の容量的な中間地点を求め、そこを離断するステップを実現させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。   (Appendix 9): In order to realize the LSI structure of (Appendix 2), a shield wiring connected first is generated in a computer, and then a point that intersects or very close to the power supply wiring is connected to the power supply wiring. The next step is to check the part that is a loop, break it at one place, eliminate all the loops, and then check the branch-like wiring that is dead-end, its area or capacity Ignoring the step at the base of the branch and the dead-end branch-like wiring, adding the base value and the area of the non-ignored part, the capacitive intermediate point of the connection point to the power supply A computer-readable recording medium having recorded thereon a program for realizing the step of obtaining and separating the information.

(付記10):コンピュータに、LSIの対象ネットの周囲を囲んだシールド配線を電源配線につなぐ処理を行う際に、複数の箇所で電源と接続する場合、シールド配線を流れて供給される電流を計算するステップと、前記計算結果を用いて、電流密度のデザインルールを満たすように、シールド配線を太くする、若しくは細くするステップを実現させるためのプログラム。   (Supplementary Note 10): When connecting a shield wiring that surrounds the target net of an LSI to a power supply wiring to a computer, when connecting to a power supply at a plurality of locations, the current supplied through the shield wiring is A program for realizing a step of calculating and a step of making the shield wiring thicker or thinner so as to satisfy the current density design rule using the calculation result.

(前記付記の特徴)
(a) :(付記6)では、コンピュータが前記記録媒体のプログラムを読み出して実行することにより、LSIのシールド配線を行う。すなわち、コンピュータのプログラムにより、対象ネットの周囲を囲んだシールド配線を電源配線につなぐ処理を行う際に、配線中は、簡単な計算により、電流密度制約違反が起こりそうなシールド配線を太くして配線するステップと、配線終了後に、時間のかかる電源網解析を行い、必要な箇所のシールド配線を細くして、配線制約違反も、電流密度制約違反も発生させないようにするステップを実行させる。
(Characteristics of the above supplementary notes)
(a): In (Appendix 6), the shield wiring of the LSI is performed by the computer reading and executing the program of the recording medium. In other words, when a computer program performs processing to connect the shield wiring that surrounds the target net to the power supply wiring, the shield wiring that is likely to violate the current density constraint is thickened by simple calculation during wiring. A wiring step and a time-consuming power supply network analysis after wiring is completed, and a shield wiring at a necessary portion is thinned so that a wiring constraint violation and a current density constraint violation do not occur.

このような処理では、LSI構造を実現する際に、時間の係る電源網解析は、配線中は行わなくて良く、最後に一度だけ行えば良いため、シールド配線を行うための時間を節約できる。   In such a process, when realizing the LSI structure, the time-consuming power supply network analysis does not have to be performed during wiring, and only needs to be performed once at the end, so that time for performing shield wiring can be saved.

(b) :(付記7)では、コンピュータが前記記録媒体のプログラムを読み出して実行することにより、LSIのシールド配線を行う。すなわち、前記(付記2)のLSI構造を実現するためのシールド配線を行う際、コンピュータのプログラムにより、最初に全て繋がったシールド配線を生成した上で、電源配線に交差する点や非常に近い点を電源配線に接続するステップと、電源への接続点の中間を求めて、そこを離断し、全てのシールド配線は1箇所でのみ電源と接続される状態にするステップを実行させる。   (b): In (Appendix 7), the computer reads and executes the program on the recording medium, thereby performing LSI shield wiring. That is, when performing shield wiring for realizing the LSI structure described in (Appendix 2), a shield wiring that is all connected first is generated by a computer program, and then intersects with or very close to the power supply wiring. Are connected to the power supply wiring, and an intermediate point between the connection points to the power supply is obtained, and the connection is disconnected, and all the shield wirings are connected to the power supply only at one place.

このような処理を用いれば、シールド配線を流れる電流による電流密度制約違反が起こらない。また、電源網解析を一切行わなくても、構造上電流密度制約違反が起こらないし、クリップから離れたシールド程、雑音が乗りやすいが、離断点がクリップ点の中間にとることで、クリップからの距離を抑え、シールド効果を高めることができるLSIが実現できる。   If such a process is used, the current density constraint violation due to the current flowing through the shield wiring does not occur. In addition, even if no power network analysis is performed, the current density constraint violation does not occur structurally, and the shield is farther away from the clip, but it is easier to get on the noise. Thus, an LSI capable of reducing the distance and enhancing the shielding effect can be realized.

(c) :(付記8)では、コンピュータが前記記録媒体のプログラムを読み出して実行することにより、LSIのシールド配線を行う。すなわち、前記(付記2)のLSI構造を実現するためのシールド配線を行う際、コンピュータのプログラムにより、最初に全て繋がったシールド配線を生成した上で、電源配線に交差する点や非常に近い点を電源配線に接続するステップと、次に、行き止まりになっている枝状の配線を調べ、その面積もしくは容量を、その枝の付け根の分岐点に覚えさせるステップと、行き止まりの枝状の配線を無視し、付け根の値と無視しない部分の面積を加えながら、電源への接続点の容量的な中間点を求め、そこを離断するステップを実行させる。   (c): In (Appendix 8), the computer reads and executes the program on the recording medium, thereby performing LSI shield wiring. That is, when performing shield wiring for realizing the LSI structure described in (Appendix 2), a shield wiring that is all connected first is generated by a computer program, and then intersects with or very close to the power supply wiring. To the power supply wiring, and then to examine the branch-like wiring that is dead-end, to learn the area or capacity at the branch point of the base of the branch, and to connect the dead-end branch-like wiring While ignoring, adding the base value and the area of the non-ignored part, a capacitive intermediate point of the connection point to the power source is obtained, and a step of disconnecting it is executed.

このようにシールド配線では、クリップから離れて、静電容量(キャパシタンス)が大きいシールド程、雑音が乗り易いので、クリップ点の中間点を求める際に、容量を考慮した中間点を求めることで、シールド効果を高めることができる。   In this way, in shielded wiring, shields with a larger electrostatic capacity (capacitance) away from the clip are more susceptible to noise, so when determining the intermediate point of the clip point, by determining the intermediate point considering the capacitance, The shielding effect can be enhanced.

(d) :(付記9)では、コンピュータが前記記録媒体のプログラムを読み出して実行することにより、LSIのシールド配線を行う。すなわち、前記(付記2)のLSI構造を実現するためのシールド配線を行う際、コンピュータのプログラムにより、最初に繋がったシールド配線を生成した上で、電源配線に交差する点や非常に近い点を電源配線に接続するステップと、次に、ループになっている部分を調べ、1箇所で離断し、ループを全て解消するステップと、次に、行き止まりになっている枝状の配線を調べ、その面積若しくは容量を、その枝の付け根の分岐点に覚えさせるステップと、行き止まりの枝状の配線を無視し、付け根の値と無視しない部分の面積を加えながら、電源への接続点の容量的な中間地点を求め、そこを離断するステップを実行させる。   (d): In (Appendix 9), the shield wiring of the LSI is performed by the computer reading and executing the program of the recording medium. That is, when performing shield wiring for realizing the LSI structure of (Appendix 2), the shield wire connected first is generated by a computer program, and then a point intersecting or very close to the power supply wiring is determined. Step to connect to the power supply wiring, then check the looped part, disconnect at one place, eliminate all the loops, then check the branch-like wiring that is dead end, Capacitance of the connection point to the power supply while adding the root value and the area of the non-ignored part, ignoring the branch-like wiring at the base of the branch, ignoring the area or capacity of the branch at the base of the branch The middle step is determined and the step of cutting off is executed.

このようなシールド配線処理では、ループが存在するシールドパターンへは、前記(付記8)の処理を適用できなかったが、この処理を用いれば、前記(付記8)のシールド配線処理を用いることが可能になる。   In such a shield wiring process, the process of (Appendix 8) cannot be applied to a shield pattern in which a loop exists. However, if this process is used, the shield wiring process of (Appendix 8) can be used. It becomes possible.

本発明の実施の形態における例1、2の説明図である。It is explanatory drawing of the examples 1 and 2 in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における例3、4の説明図である。It is explanatory drawing of the examples 3 and 4 in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における例5の説明図である。It is explanatory drawing of Example 5 in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における例6の説明図である。It is explanatory drawing of Example 6 in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における例7の説明図である。It is explanatory drawing of Example 7 in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における例8の説明図である。It is explanatory drawing of Example 8 in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における例9の説明図である。It is explanatory drawing of Example 9 in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における例3の処理フローチャート(その1)である。It is a processing flowchart (the 1) of example 3 in an embodiment of the invention. 本発明の実施の形態における例3の処理フローチャート(その2)である。It is a process flowchart (the 2) of Example 3 in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における例3の処理説明図である。It is process explanatory drawing of Example 3 in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における例5の処理フローチャートである。It is a process flowchart of Example 5 in an embodiment of the invention. 本発明の実施の形態における枝面積計算関数の処理フローチャート(その1)である。It is a process flowchart (the 1) of the branch area calculation function in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における枝面積計算関数の処理フローチャート(その2)である。It is a process flowchart (the 2) of the branch area calculation function in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における例9の処理フローチャートである。It is a processing flowchart of Example 9 in the embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態におけるループチェック関数の処理フローチャートである。It is a processing flowchart of the loop check function in the embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態における具体的な装置例である。It is a specific example of an apparatus in an embodiment of the invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 コンピュータ本体
2 ディスプレイ装置
3 入力装置
4 リムーバブルディスクドライブ(RDD)
5 ハードディスク装置(HDD)
6 CPU(中央処理装置)
7 ROM(リードオンリ・メモリ)
8 メモリ
9 インタフェース制御部(I/F制御部)
10 通信制御部
1 Computer Main Body 2 Display Device 3 Input Device 4 Removable Disk Drive (RDD)
5 Hard disk drive (HDD)
6 CPU (Central Processing Unit)
7 ROM (Read Only Memory)
8 Memory 9 Interface control unit (I / F control unit)
10 Communication control unit

Claims (2)

LSIの対象ネットの周囲を囲んで接続状態にあるシールド配線を、電源電圧が印加される電源線若しくは接地線につないだ構成を有するLSIにおいて、前記シールド配線は、前記電源線若しくは接地線と交差する部分や電源線若しくは接地線に近い部分を電源線若しくは接地線にビアを用いてクリップしたクリップ点を有し、該クリップ点とクリップ点の間が離断されていて、クリップ点間に電流が流れない構成を有し、
前記シールド配線は1箇所でのみ電源線若しくは接地線と接続された構成を有することを特徴とするLSI。
In an LSI having a configuration in which a shield wiring that is in a connected state surrounding an LSI target net is connected to a power supply line or a ground line to which a power supply voltage is applied, the shield wiring intersects the power supply line or the ground line. A clip point that is clipped to the power line or ground line using a via, and the clip point and the clip point are separated from each other. Has a configuration that does not flow,
The shield wiring LSI, characterized in that have a structure that is connected to the power supply line or the ground line only in one place.
LSIの対象ネットの周囲を囲んだシールド配線を、電源電圧が印加される電源配線につないだ構成を有するLSIにおいて、
前記シールド配線が、シールド配線同士を層間で接続するビアを使用せずに、互いに接続されていない分断されたシールド配線構造として構成し、
前記分断されたシールド配線に対し、1つに繋がったシールド配線からは1箇所でしか電源配線に接続しないことを特徴とするLSI。
In an LSI having a configuration in which a shield wiring that surrounds an LSI target net is connected to a power supply wiring to which a power supply voltage is applied,
The shield wiring is configured as a divided shield wiring structure that is not connected to each other without using vias that connect the shield wirings between layers,
An LSI, wherein the divided shield wiring is connected to the power supply wiring at only one position from the shield wiring connected to one.
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