JP4679665B1 - Two-way moving table - Google Patents

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Abstract

【課題】２方向移動テーブルのＹ方向ストロークを拡大する。
【解決手段】同一平面内で互いに直交するＸ方向とＹ方向に移動する２方向移動テーブルであって、Ｙ方向モータのＹ方向可動子４５は、一端がＹ方向テーブルに固定されてＹ方向に延び、Ｙ方向テーブルと共にＸＹ方向に移動する可動アーム４３と、可動アーム４３内に取り付けられ、その一部が可動アーム４３の幅方向に突出する駆動コイル４４と、を有し、駆動コイル４４は、複数のコアレスコイル４４１，４４２，４４３の中央部分がＹ方向に沿って可動アーム４３内に並べて配置され、各コアレスコイル４４１，４４２，４４３相互の渡り部分が可動アーム４３から突出した部分に配置されている重ね巻きコイルである。
【選択図】図４A Y-direction stroke of a two-way moving table is enlarged.
A two-way moving table that moves in an X direction and a Y direction orthogonal to each other in the same plane. A Y direction movable element 45 of a Y direction motor has one end fixed to the Y direction table in the Y direction. The movable arm 43 that extends and moves in the XY direction together with the Y-direction table, and a drive coil 44 that is attached in the movable arm 43 and that partially protrudes in the width direction of the movable arm 43, The central portions of the plurality of coreless coils 441, 442, 443 are arranged side by side in the movable arm 43 along the Y direction, and the crossing portions of the coreless coils 441, 442, 443 are arranged at portions protruding from the movable arm 43. It is a lap winding coil.
[Selection] Figure 4

Description

本発明は、２方向移動テーブルの構造に関する。   The present invention relates to a structure of a two-way moving table.

ワイヤボンディング装置などのボンディング装置において、半導体デバイスなどのボンディング対象を水平方向の互いに直交する２方向であるＸ方向とＹ方向とに移動させる２方向移動テーブルとしてＸＹテーブルが用いられている。ＸＹテーブルは、Ｘ方向にガイドされてＸ方向モータによってＸ方向に移動する下部テーブルと下部テーブル上面のガイドによってＹ方向にガイドされ、Ｙ方向モータによってＹ方向に移動する上部テーブルとを備えている。上部テーブルは、Ｘ方向に移動する下部テーブルの上に載ってＹ方向に移動するので、ＸＹ方向に自在に移動することができるよう構成されている。   In a bonding apparatus such as a wire bonding apparatus, an XY table is used as a two-way moving table that moves a bonding target such as a semiconductor device in two directions that are perpendicular to each other in the horizontal direction, the X direction and the Y direction. The XY table includes a lower table guided in the X direction and moved in the X direction by the X direction motor, and an upper table guided in the Y direction by the guide on the upper surface of the lower table and moved in the Y direction by the Y direction motor. . Since the upper table is placed on the lower table that moves in the X direction and moves in the Y direction, the upper table is configured to move freely in the XY direction.

このようなＸＹテーブルのＹ方向モータに可動コイル型の直流リニアモータを用い、コイルの取り付けられた平板状の可動子を上部テーブルに接続固定し、位置決めを高精度化することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。   It has been proposed to use a moving coil type DC linear motor as the Y-direction motor of such an XY table, and to connect and fix a flat plate-like movable element to which the coil is attached to the upper table to improve the positioning accuracy. (For example, refer to Patent Document 1).

また、可動コイル型のリニアモータとしては、交流リニアモータも多く用いられている。例えば、三相交流のＵ．Ｖ．Ｗの各相に対応する３つのコイルを平面的に並べてその前後を支持部材で固定し、コイルの上下にマグネットを配置したものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。   In addition, an AC linear motor is often used as the moving coil type linear motor. For example, U.S. V. There has been proposed a structure in which three coils corresponding to each phase of W are arranged in a plane, front and rear thereof are fixed by a support member, and magnets are arranged above and below the coils (see, for example, Patent Document 2).

また、リソグラフィ投影装置に用いられる長方形状のコイルにおいて、長辺方向の主要電流導電体区間を共通面上に配置し、短辺方向の交差区間を重ね合わせて構成する方法が提案されている（例えば、特許文献３参照）。   In addition, in a rectangular coil used in a lithographic projection apparatus, a method has been proposed in which main current conductor sections in the long side direction are arranged on a common plane and intersecting sections in the short side direction are overlapped (see FIG. For example, see Patent Document 3).

特開２００２−３２９７７２号公報JP 2002-329772 A 特開２００５−３３３７９９号公報JP 2005-333799 A 特許第４２８０２４８号明細書Japanese Patent No. 4280248

ところで、近年、半導体デバイス等の組み立て時に使用する基板（リードフレーム、サブストレート）は、コストダウンの観点から１基板あたりの面積を大きくするためにその幅が広くなってきている。幅広基板の半導体デバイスのボンディングに対応するため、ボンディング装置のＸＹテーブルはより大きなＸＹ方向のストロークが求められている。しかし、特許文献１に記載されたＹ方向モータのようにコイルが１つの直流リニアモータでは、Ｙ方向のストロークはコイルのＹ方向の大きさに依存する。このため、より大きなＹ方向ストロークを得ようとするとより大きな可動子が必要となり、可動子の長さが長くなると共に可動子の重量が大きくなってしまう。すると、可動子に発生する振動が大きくなりボンディング品質に影響を与える場合があり、Ｙ方向ストロークの拡大は制限されるという問題があった。   In recent years, substrates (lead frames, substrates) used when assembling semiconductor devices and the like have become wider in order to increase the area per substrate from the viewpoint of cost reduction. In order to cope with bonding of semiconductor devices on a wide substrate, the XY table of the bonding apparatus is required to have a larger stroke in the XY direction. However, in a DC linear motor having one coil as in the Y direction motor described in Patent Document 1, the stroke in the Y direction depends on the size of the coil in the Y direction. For this reason, in order to obtain a larger stroke in the Y direction, a larger mover is required, which increases the length of the mover and increases the weight of the mover. As a result, the vibration generated in the mover increases, which may affect the bonding quality, and there is a problem that the expansion of the Y-direction stroke is limited.

特許文献２に記載されたような交流リニアモータの場合には、Ｙ方向のストロークはコイルのＹ方向の大きさに依存しないので、Ｙ方向のストロークを拡大する場合には直流リニアモータの場合のようにコイルのＹ方向寸法を大きくする必要がない。しかし、特許文献２に記載されたようなコイルを平面的に並べた交流リニアモータの場合、一組の三相コイルの推力方向寸法に対して、片面につき４枚（Ｎ，Ｓの各２枚）の磁石を配置することになり、Ｎ極とＳ極を接近させ、磁極中心部の磁束密度が低下してしまう。この結果、コイルの単位体積あたりの推力は低下してしまい、結果的に大きなＹ方向ストロークを得ようとすると可動子の重量が重くなり、ボンディング品質に影響を与える場合があった。このため、特許文献２に記載された交流リニアモータを採用した場合でもＹ方向ストロークの拡大は制限されるという問題があった。また、ワイヤボンディング装置のＸＹテーブルではリニアモータのコイルの重心位置をＸＹテーブルの取り付け位置に近づけたいという要求があるが、特許文献２に記載された従来技術のように、コイルを薄くして、その面積を広げると、推力方向の幅が大きくなってしまいコイルの重心位置がＸＹテーブルの取り付け位置から大きくずれてしまうという問題があり、特許文献２に記載された従来技術をワイヤボンディング装置のＸＹテーブルに適用することは困難であるという問題があった。   In the case of an AC linear motor as described in Patent Document 2, the stroke in the Y direction does not depend on the size of the coil in the Y direction. Thus, there is no need to increase the Y direction dimension of the coil. However, in the case of an AC linear motor in which coils as described in Patent Document 2 are arranged in a plane, four sheets per side (two each of N and S) with respect to the thrust direction dimension of a set of three-phase coils. ), The N pole and the S pole are brought close to each other, and the magnetic flux density at the center of the magnetic pole is lowered. As a result, the thrust per unit volume of the coil is reduced, and as a result, when trying to obtain a large stroke in the Y direction, the weight of the mover becomes heavy, which may affect the bonding quality. For this reason, even when the AC linear motor described in Patent Document 2 is adopted, there is a problem that the expansion of the Y-direction stroke is limited. Further, in the XY table of the wire bonding apparatus, there is a request to make the position of the center of gravity of the coil of the linear motor close to the attachment position of the XY table, but as in the conventional technique described in Patent Document 2, When the area is increased, the width in the thrust direction increases, and there is a problem that the position of the center of gravity of the coil greatly deviates from the attachment position of the XY table. The conventional technique described in Patent Document 2 is different from the XY of the wire bonding apparatus. There was a problem that it was difficult to apply to a table.

また、特許文献３に記載された従来技術では交差区間の重ね合わせ厚さが厚くなってしまい、Ｙ方向可動子を上下から挟む永久磁石の間隔が大きくなって磁束が低下してしまうことからより大きなコイルが必要で可動子の重量が大きくなってしまう。このため、特許文献１に記載された従来技術と同様、可動子に発生する振動が大きくなりボンディング品質に影響を与える場合があり、Ｙ方向ストロークの拡大は制限されるという問題があった。   Further, in the prior art described in Patent Document 3, the overlapping thickness of the intersecting sections is increased, and the interval between the permanent magnets sandwiching the Y-direction movable element from above and below is increased, so that the magnetic flux is reduced. A large coil is required, which increases the weight of the mover. For this reason, similarly to the prior art described in Patent Document 1, there is a case where the vibration generated in the mover becomes large and affects the bonding quality, and the expansion of the Y-direction stroke is limited.

本発明は、２方向移動テーブルのＹ方向ストロークを拡大することを目的とする。   An object of the present invention is to enlarge the Y-direction stroke of a two-way moving table.

本発明の２方向移動テーブルは、同一平面内で互いに直交する第１の方向と第２の方向の２つの方向に移動する２方向移動テーブルであって、第１の方向にガイドされ、第１のモータによって第１の方向に駆動される第１のテーブルと、第１のテーブルの上面に設けられた第２の方向ガイドによって第２方向にガイドされ、第１のテーブルと共に第１の方向に駆動されると共に第２のモータによって第２の方向にも駆動される第２のテーブルと、一端が第２のテーブルに固定されて第２の方向に延び、第２のテーブルと共に第１及び第２の方向に移動する可動アームと、可動アーム内に取り付けられ、その一部が可動アームの幅方向に突出する駆動コイルと、を有し、駆動コイルは、複数のコアレスコイルの中央部分が第２の方向に沿って可動アーム内に並べて配置され、各コアレスコイル相互の渡り部分が可動アームから突出した部分に配置されている重ね巻きコイルであり、基本コアレスコイルと、基本コアレスコイルの厚さ方向に複数の単位コアレスコイルを積層した少なくとも２つの積層コアレスコイルと、を備え、各積層コアレスコイルの各単位コアレスコイルは基本コアレスコイルの異なる位置で基本コアレスコイルを渡り、基本コアレスコイルと各単位コアレスコイルとの各重なり部分は、基本コアレスコイルの厚さ方向中心から積層方向の両側にそれぞれ所定距離だけ離れて基本コアレスコイルの表面に沿った２つの平面の間に位置し、各単位コアレスコイル同士の渡り部分の重なり厚さは、基本コアレスコイルと単位コアレスコイルとの重なり部分の厚さと同一またはそれよりも薄いこと、を特徴とする。 The two-way moving table of the present invention is a two-way moving table that moves in two directions of a first direction and a second direction orthogonal to each other in the same plane, and is guided in the first direction. The first table driven in the first direction by the motor and the second direction guide provided on the upper surface of the first table are guided in the second direction and together with the first table in the first direction. A second table that is driven and driven in a second direction by a second motor; and one end of the second table that is fixed to the second table and extends in the second direction. 2 and a drive coil mounted in the movable arm, a part of which protrudes in the width direction of the movable arm, and the drive coil has a central portion of the plurality of coreless coils. Permitted along 2 directions They are arranged in the arm, Ri Ah with lap-wound coils each coreless coil cross bridge parts are arranged in a portion projecting from the movable arm, basic coreless coil and a plurality of unit coreless the thickness direction of the base coreless coil At least two laminated coreless coils in which coils are laminated, and each unit coreless coil of each laminated coreless coil crosses the basic coreless coil at a different position of the basic coreless coil, and each overlapping of the basic coreless coil and each unit coreless coil The part is located between two planes along the surface of the basic coreless coil at a predetermined distance from the thickness direction center of the basic coreless coil on both sides in the stacking direction, and the overlapping portions of the unit coreless coils overlap each other. The thickness is the same as the thickness of the overlap between the basic coreless coil and the unit coreless coil Other features a thinner, than that.

本発明の２方向移動テーブルにおいて、各積層コアレスコイルの各単位コアレスコイルの積層数は偶数で、それぞれ同数ずつの単位コアレスコイルを第１の方向に相互にずらして可動アームの第２の方向に沿った中心線に対称に配置すること、としても好適であるし、基本コアレスコイルは厚さ方向に複数層に積層されていること、としても好適であるし、単位コアレスコイルは、基本コアレスコイルの層間を渡っていること、としても好適である。   In the two-way moving table of the present invention, the number of stacked unit coreless coils of each stacked coreless coil is an even number, and the same number of unit coreless coils are shifted from each other in the first direction in the second direction of the movable arm. It is also preferable to arrange symmetrically about the center line along, and it is also preferable that the basic coreless coil is laminated in a plurality of layers in the thickness direction, and the unit coreless coil is a basic coreless coil. It is also suitable as crossing between these layers.

本発明の２方向移動テーブルにおいて、各積層コアレスコイルは単位コアレスコイルを２枚ずつ積層したものであり、各単位コアレスコイルの厚さは基本コアレスコイルの厚さの１／２であり、基本コアレスコイルと単位コアレスコイルとの重なり部分の厚さは、基本コアレスコイルの厚さの１．５倍であり、所定距離は基本コアレスコイルの厚さの１．５倍の長さであること、としても好適である。   In the two-way moving table of the present invention, each laminated coreless coil is obtained by laminating two unit coreless coils, and the thickness of each unit coreless coil is 1/2 of the thickness of the basic coreless coil. The thickness of the overlapping portion of the coil and the unit coreless coil is 1.5 times the thickness of the basic coreless coil, and the predetermined distance is 1.5 times the length of the basic coreless coil. Is also suitable.

本発明は、２方向移動テーブルのＹ方向ストロークを拡大することができるという効果を奏する。   The present invention has an effect that the Y-direction stroke of the two-way moving table can be enlarged.

本発明の実施形態のＸＹテーブルの平面図である。It is a top view of the XY table of the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態のＸＹテーブルの正面図である。It is a front view of the XY table of the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態のＹ方向可動子を備えるＸＹテーブルの側面図である。It is a side view of an XY table provided with the Y direction mover of an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態のＸＹテーブルにおけるＹ方向可動子を示す斜視図であるIt is a perspective view which shows the Y direction needle | mover in the XY table of embodiment of this invention. 本発明の実施形態のＸＹテーブルにおけるＹ方向可動子の駆動コイルの平面図である。It is a top view of the drive coil of the Y direction needle | mover in the XY table of embodiment of this invention. 図５に示すＡ−ＡからＦ−Ｆまでの駆動コイルのＸ方向の断面図である。It is sectional drawing of the X direction of the drive coil from AA to FF shown in FIG. 図５に示すＧ−ＧからＭ−Ｍまでの駆動コイルのＹ方向の断面図である。It is sectional drawing of the Y direction of the drive coil from GG to MM shown in FIG. 本発明の他の実施形態のＸＹテーブルの平面図である。It is a top view of the XY table of other embodiment of this invention.

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。図１に示すように、ワイヤボンディング装置１００のＸＹテーブル１０は、平面上で互いに直交する座標軸であるＸ軸（Ｘ−Ｘ線方向）およびＹ軸（Ｙ−Ｙ線方向）の各方向に沿って下部テーブル１３と、上部テーブル２１とが設置され、各テーブルにはＸ方向モータ３０、Ｙ方向モータ４０が接続され、各方向のモータ３０，４０によって下部テーブル１３はＸ方向に、上部テーブル２１はＹ方向に駆動されるよう構成されている。また、上部テーブル２１の上には、ボンディングアーム１０２の先端に取り付けられたキャピラリ１０３を上下に動作させるボンディングヘッド１０１が取り付けられている。図１に示すように、ボンディングアーム１０２の伸びる方向がＹ方向であり、その直角方向がＸ方向である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the XY table 10 of the wire bonding apparatus 100 is along the X axis (XX line direction) and Y axis (YY line direction) directions which are coordinate axes orthogonal to each other on a plane. The lower table 13 and the upper table 21 are installed, and an X direction motor 30 and a Y direction motor 40 are connected to each table. The lower table 13 is moved in the X direction by the motors 30 and 40 in each direction. Is configured to be driven in the Y direction. A bonding head 101 is mounted on the upper table 21 to move the capillary 103 attached to the tip of the bonding arm 102 up and down. As shown in FIG. 1, the direction in which the bonding arm 102 extends is the Y direction, and the perpendicular direction is the X direction.

図２に示すように、Ｘ方向モータ３０は、架台１１の上面に、Ｘ方向ガイドレール３７を介して設置されている。Ｘ方向モータ３０はボイスコイルモータであり、周知の如く、永久磁石３２を有するＸ方向モータ固定子３１、コイル３４を有するＸ方向可動子３３とから構成されている。Ｘ方向可動子３３は、図示しないＸ方向ガイドによりＸ方向モータ固定子３１の内側に保持されており、これによりＸ方向可動子３３はＸ方向にのみ移動可能とされている。Ｘ方向ガイドは、クロスローラガイド等を利用した周知の直動式のものである。Ｘ方向モータ固定子３１はＸ方向ガイドレール３７により、Ｘ方向可動子３３の駆動方向であるＸ方向に移動可能でＹ方向には移動しないように保持されている。   As shown in FIG. 2, the X direction motor 30 is installed on the upper surface of the gantry 11 via an X direction guide rail 37. The X direction motor 30 is a voice coil motor, and is configured by an X direction motor stator 31 having a permanent magnet 32 and an X direction movable element 33 having a coil 34 as is well known. The X-direction mover 33 is held inside the X-direction motor stator 31 by an X-direction guide (not shown), so that the X-direction mover 33 can move only in the X direction. The X direction guide is a well-known direct acting type using a cross roller guide or the like. The X-direction motor stator 31 is held by an X-direction guide rail 37 so that it can move in the X direction, which is the driving direction of the X-direction movable element 33, but does not move in the Y direction.

Ｘ方向可動子３３の下部テーブル１３側にはブラケット３６が設けられ、このブラケット３６は下部テーブル１３のブラケット１６とボルトによって接続固定されている。下部テーブル１３はＸ方向ガイドレール１４を介して、Ｘ方向可動子３３の駆動方向であるＸ方向に移動可能でＹ方向には移動しないようにテーブル保持台１２に保持されており、テーブル保持台１２は架台１１に固定されている。ここで、Ｘ方向モータ固定子３１の重量は、Ｘ方向可動子３３と下部テーブル１３の重量と下部テーブル１３の上に重量のかかるＹ方向可動子４５と上部テーブル２１とボンディングヘッド１０１の重量の合計より大きくなっている。   A bracket 36 is provided on the lower table 13 side of the X-direction movable element 33, and the bracket 36 is connected and fixed to the bracket 16 of the lower table 13 by bolts. The lower table 13 is held by the table holding table 12 so as to be movable in the X direction which is the driving direction of the X direction movable element 33 and not to move in the Y direction via the X direction guide rail 14. 12 is fixed to the gantry 11. Here, the weight of the X-direction motor stator 31 is the weight of the X-direction mover 33 and the lower table 13, and the weight of the Y-direction mover 45, the upper table 21, and the bonding head 101 that is heavy on the lower table 13. It is larger than the total.

図２に示すように、架台１１には、Ｘ方向モータ固定子３１のＸ方向の移動速度を検知するためのＸ方向モータ固定子速度センサ３８が取付けられ、テーブル保持台１２の上面には、下部テーブル１３のＸ方向の位置および移動速度を検知するための下部テーブルセンサ１８が取付けられている。   As shown in FIG. 2, an X-direction motor stator speed sensor 38 for detecting the X-direction moving speed of the X-direction motor stator 31 is attached to the gantry 11. A lower table sensor 18 for detecting the position and moving speed of the lower table 13 in the X direction is attached.

図３に示すように、Ｙ方向モータ４０は可動コイル型の交流リニアモータであり、架台１１の上面に、Ｙモータ保持台１７およびＹ方向ガイドレール４７を介してＹ方向に移動可能に保持されている。永久磁石４２を有するＹ方向モータ固定子４１と、図１に示す駆動コイル４４と可動アーム４３とを有するＹ方向可動子４５とから構成されている。   As shown in FIG. 3, the Y direction motor 40 is a moving coil type AC linear motor, and is held on the upper surface of the gantry 11 so as to be movable in the Y direction via the Y motor holding base 17 and the Y direction guide rail 47. ing. A Y-direction motor stator 41 having a permanent magnet 42, and a Y-direction mover 45 having a drive coil 44 and a movable arm 43 shown in FIG.

図３に示すように、Ｙ方向可動子４５の上部テーブル２１側にはブラケット４６が設けられ、Ｙ方向可動子４５のブラケット４６はボルト２３によって上部テーブル２１の上面に固定されている。上部テーブル２１は、Ｙ方向に延設されたＹ方向ガイドレール２２を介して、下部テーブル１３の上に保持されている。したがって、上部テーブル２１は下部テーブル１３と共にＸ方向に移動すると共に、下部テーブル１３の上面でＹ方向に移動することができるよう構成され、上部テーブル２１はＸＹの両方向に移動することができる。また、上部テーブル２１に固定されているＹ方向可動子４５も上部テーブル２１と共にＸＹ方向に移動することができるよう構成されている。   As shown in FIG. 3, a bracket 46 is provided on the upper table 21 side of the Y-direction movable element 45, and the bracket 46 of the Y-direction movable element 45 is fixed to the upper surface of the upper table 21 by bolts 23. The upper table 21 is held on the lower table 13 via a Y-direction guide rail 22 extending in the Y direction. Therefore, the upper table 21 is configured to move in the X direction together with the lower table 13 and to move in the Y direction on the upper surface of the lower table 13, and the upper table 21 can move in both directions XY. Further, the Y-direction movable element 45 fixed to the upper table 21 is also configured to be able to move in the XY direction together with the upper table 21.

図１に示すように、Ｙ方向モータ固定子４１における磁場形成手段である永久磁石４２は、Ｙ方向モータ固定子４１の端部にまで亘って設けられており、その結果、永久磁石４２はＹ方向可動子４５の磁気作用部である駆動コイル４４のＸ方向の移動における全領域を覆っている。また、Ｙ方向モータ固定子４１の重量は、Ｙ方向可動子４５と上部テーブル２１とボンディングヘッド１０１との重量の合計より大きくなっている。   As shown in FIG. 1, the permanent magnet 42 which is a magnetic field forming means in the Y-direction motor stator 41 is provided over the end of the Y-direction motor stator 41. As a result, the permanent magnet 42 is The entire region in the movement in the X direction of the drive coil 44 which is a magnetic action portion of the directional movable element 45 is covered. Further, the weight of the Y-direction motor stator 41 is larger than the total weight of the Y-direction mover 45, the upper table 21, and the bonding head 101.

テーブル保持台１２には、下部テーブル１３の位置及び速度を検出する下部テーブルセンサ１８が取付けられ、下部テーブル１３の上面には、上部テーブル２１のＹ方向の位置および移動速度を検知するための上部テーブルセンサ１９が取付けられている。Ｙモータ保持台１７には、Ｙ方向モータ固定子４１の移動速度を検知するためのＹ方向モータ固定子速度センサ４８が取付けられている。また、Ｙ方向可動子４５を冷却するための冷却空気吹き出しノズル５５が設けられ、ノズル５５はその空気の吹き出し口が駆動コイル４４の方向となるように取り付けられている。   A lower table sensor 18 for detecting the position and speed of the lower table 13 is attached to the table holding table 12, and an upper portion for detecting the position and moving speed of the upper table 21 in the Y direction is mounted on the upper surface of the lower table 13. A table sensor 19 is attached. A Y-direction motor stator speed sensor 48 for detecting the moving speed of the Y-direction motor stator 41 is attached to the Y motor holding base 17. Further, a cooling air blowing nozzle 55 for cooling the Y-direction mover 45 is provided, and the nozzle 55 is attached so that the air blowing port is in the direction of the drive coil 44.

このように構成されたＸＹテーブル１０の動作について簡単に説明する。図示しない制御装置から、下部テーブル１３を所定位置に移動させるための位置指令信号が出力されると、Ｘ方向可動子３３がＸ方向に加速されて移動し、下部テーブル１３は、Ｘ方向ガイドレール１４に案内されてＸ方向に移動する。他方、Ｘ方向モータ固定子３１は、Ｘ方向ガイドレール３７に沿ってＸ方向に移動可能に設けられているので、Ｘ方向可動子３３および下部テーブル１３の駆動の反作用として、大きさの等しい逆向きの力を受け、下部テーブル１３の移動と反対方向に加速されて移動する。このように、Ｘ方向モータ固定子３１が下部テーブル１３の移動方向と逆方向に移動するので、架台１１に与えられる運動量は理論的にゼロとなり、架台１１の揺れはほとんど生じない。   The operation of the XY table 10 configured as described above will be briefly described. When a position command signal for moving the lower table 13 to a predetermined position is output from a control device (not shown), the X direction movable element 33 is accelerated and moved in the X direction, and the lower table 13 is moved to the X direction guide rail. 14 to move in the X direction. On the other hand, the X-direction motor stator 31 is provided so as to be movable in the X direction along the X-direction guide rail 37, and therefore, the reaction of the drive of the X-direction mover 33 and the lower table 13 is reversed in the same size. It receives the force of the direction and is accelerated and moved in the direction opposite to the movement of the lower table 13. Thus, since the X-direction motor stator 31 moves in the direction opposite to the moving direction of the lower table 13, the momentum given to the gantry 11 is theoretically zero, and the gantry 11 hardly shakes.

そして、下部テーブル１３の位置及び速度は下部テーブルセンサ１８により検知され、制御装置にフィードバックされ、下部テーブル１３を所定位置に移動させるように、Ｘ方向モータ３０のコイル３４に電圧が供給され、その位置が制御される。また、Ｘ方向モータ固定子速度センサ３８によってＸ方向モータ固定子３１の位置と速度とが検出され、Ｘ方向モータ固定子３１の移動に消費される電力が補償され、補償された電力がコイル３４に入力される。   The position and speed of the lower table 13 are detected by the lower table sensor 18, fed back to the control device, and a voltage is supplied to the coil 34 of the X direction motor 30 so as to move the lower table 13 to a predetermined position. The position is controlled. Further, the position and speed of the X-direction motor stator 31 are detected by the X-direction motor stator speed sensor 38, the power consumed for the movement of the X-direction motor stator 31 is compensated, and the compensated power is supplied to the coil 34. Is input.

同様に、図示しない制御装置から、上部テーブル２１を所定位置に移動させるための位置指令信号が出力されると、Ｙ方向可動子４５がＹ方向に加速されて移動し、上部テーブル２１は、Ｙ方向ガイドレール２２に案内されてＹ方向に移動する。他方、Ｙ方向モータ固定子４１はＹ方向ガイドレール４７に沿ってＹ方向に移動可能に設けられているので、Ｙ方向可動子４５および上部テーブル２１の駆動の反作用として、大きさの等しい逆向きの力を受け、上部テーブル２１の移動と反対方向に加速されて移動する。このように、Ｙ方向モータ固定子４１が上部テーブル２１の移動方向と逆方向に移動するので、架台１１、テーブル保持台１２に与えられる運動量は理論的にゼロとなり、架台１１、テーブル保持台１２の揺れはほとんど生じない。   Similarly, when a position command signal for moving the upper table 21 to a predetermined position is output from a control device (not shown), the Y-direction movable element 45 is accelerated and moved in the Y direction. It is guided by the direction guide rail 22 and moves in the Y direction. On the other hand, since the Y-direction motor stator 41 is provided so as to be movable in the Y-direction along the Y-direction guide rail 47, the reverse direction of the same magnitude as the reaction of driving the Y-direction mover 45 and the upper table 21. And is accelerated and moved in the direction opposite to the movement of the upper table 21. Thus, since the Y-direction motor stator 41 moves in the direction opposite to the moving direction of the upper table 21, the momentum applied to the gantry 11 and the table holding table 12 is theoretically zero, and the gantry 11 and the table holding table 12. Almost no shaking occurs.

そして、上部テーブル２１の位置及び速度は上部テーブルセンサ１９により検知され、制御装置にフィードバックされ、上部テーブル２１を所定位置に移動させるように、Ｙ方向モータ４０の駆動コイル４４に電圧が供給され、その位置が制御される。また、Ｙ方向モータ固定子速度センサ４８によってＹ方向モータ固定子４１の位置と速度とが検出され、Ｙ方向モータ固定子４１の移動に消費される電力が補償され、補償された電力が駆動コイル４４に入力される。   The position and speed of the upper table 21 are detected by the upper table sensor 19, fed back to the control device, and a voltage is supplied to the drive coil 44 of the Y-direction motor 40 so as to move the upper table 21 to a predetermined position. Its position is controlled. Further, the position and speed of the Y-direction motor stator 41 are detected by the Y-direction motor stator speed sensor 48, the power consumed for the movement of the Y-direction motor stator 41 is compensated, and the compensated power is used as the drive coil. 44.

以上説明したように、ＸＹテーブル１０はＸ方向モータ３０によって下部テーブル１３をＸ方向に駆動し、Ｙ方向モータ４０によって下部テーブル１３の上にＹ方向にスライド自在に取り付けられている上部テーブル２１をＹ方向に駆動することによって、上部テーブル２１をＸＹ方向に移動させる。そして、上部テーブル２１に固定されているＹ方向可動子４５は、上部テーブル２１のＸＹ方向への移動に伴ってＸＹ方向に移動する。   As described above, the XY table 10 drives the lower table 13 in the X direction by the X direction motor 30, and the upper table 21 that is slidably mounted in the Y direction on the lower table 13 by the Y direction motor 40. By driving in the Y direction, the upper table 21 is moved in the XY direction. Then, the Y-direction mover 45 fixed to the upper table 21 moves in the XY directions as the upper table 21 moves in the XY directions.

次に図４を参照しながらＹ方向可動子４５について説明する。Ｙ方向可動子４５はその一端に設けられたブラケット４６が上部テーブル２１に固定される扁平の四角筒型の可動アーム４３と、可動アーム４３に取り付けられた駆動コイル４４と、可動アーム４３先端に設けられたダイナミックダンパ５０とを含んでいる。Ｙ方向可動子４５の長手方向がＹ方向、Ｙ方向可動子４５の幅方向がＸ方向、Ｙ方向可動子４５の厚さ方向がＺ方向であり、可動アーム４３の幅はＷ1、その厚さはＨ1となっている。 Next, the Y-direction mover 45 will be described with reference to FIG. The Y-direction movable element 45 has a flat rectangular tube-shaped movable arm 43 to which a bracket 46 provided at one end thereof is fixed to the upper table 21, a drive coil 44 attached to the movable arm 43, and a distal end of the movable arm 43. The dynamic damper 50 provided is included. The longitudinal direction of the Y direction movable element 45 is the Y direction, the width direction of the Y direction movable element 45 is the X direction, the thickness direction of the Y direction movable element 45 is the Z direction, and the width of the movable arm 43 is W 1 . That is H 1 .

可動アーム４３は、炭素繊維強化プラスチックの上板４３ａと下板４３ｂで幅方向両端に配置されたガラスエポキシ製のウェブ板４３ｃを挟み、上板４３ａと下板４３ｂの間の中央にはガラスエポキシ製のスペーサ４３ｄを挟んで、上板４３ａと下板４３ｂとをボルト及び接着剤で接合し、内部が中空となるようにしたものである。可動アーム４３の先端側のウェブ板４３ｃは切り欠かれて、可動アーム４３の両側面には開口４３ｅが設けられている。この開口４３ｅは可動アーム４３内部の空洞と連通している。また、可動アーム４３のブラケット４６と反対側の端面に取り付けられているダイナミックダンパ５０は可動アーム４３から張り出した平板５１と、平板５１の上面に取り付けられた錘５２を含んでいる。平板５１は可動アーム４３の内面にぴったりと嵌まり込んで平板５１と可動アーム４３とを接続する接続片を備えており、接続片は接着剤で可動アーム４３に固定されている。また、平板５１の錘５２と反対側の表面には振動を減衰させるための減衰材が貼り付けられている。減衰材は両面テープなどを貼り付けることとしてもよい。ダイナミックダンパ５０は錘５２の重量と減衰材とによってＹ方向可動子４５の振動のピークを分散させてＹ方向可動子４５の振動の発生を抑制する。   The movable arm 43 sandwiches a glass epoxy web plate 43c disposed at both ends in the width direction between an upper plate 43a and a lower plate 43b of a carbon fiber reinforced plastic, and a glass epoxy is provided at the center between the upper plate 43a and the lower plate 43b. The upper plate 43a and the lower plate 43b are joined with a bolt and an adhesive with a spacer 43d made therebetween so that the inside becomes hollow. The web plate 43 c on the distal end side of the movable arm 43 is notched, and openings 43 e are provided on both side surfaces of the movable arm 43. The opening 43e communicates with a cavity inside the movable arm 43. The dynamic damper 50 attached to the end surface of the movable arm 43 opposite to the bracket 46 includes a flat plate 51 protruding from the movable arm 43 and a weight 52 attached to the upper surface of the flat plate 51. The flat plate 51 includes a connection piece that fits snugly into the inner surface of the movable arm 43 and connects the flat plate 51 and the movable arm 43, and the connection piece is fixed to the movable arm 43 with an adhesive. Further, a damping material for attenuating vibration is attached to the surface of the flat plate 51 opposite to the weight 52. The damping material may be a double-sided tape or the like. The dynamic damper 50 disperses the vibration peak of the Y-direction movable element 45 by the weight of the weight 52 and the damping material, and suppresses the occurrence of vibration of the Y-direction movable element 45.

駆動コイル４４は、可動アーム４３の上板４３ａと下板４３ｂとの間に取り付けられ、その一部が可動アーム４３の側面の開口４３ｅから幅方向に突出している。駆動コイル４４は、三相交流の各相に対応する基本コアレスコイル４４１と２つの積層コアレスコイル４４２，４４３を重ね巻きとした重ね巻きコイルである。各コアレスコイル４４１，４４２，４４３の中央部分の巻き線は可動アーム４３の上板４３ａと下板４３ｂとの間にＹ方向に向かって略平行に互いに重なり合わないように並べて配置され、各コアレスコイル４４１，４４２，４４３のコイルエンドにあたる相互の渡り部分は可動アーム４３の幅方向に突出した位置になるよう構成されている。   The drive coil 44 is attached between the upper plate 43 a and the lower plate 43 b of the movable arm 43, and a part of the drive coil 44 projects in the width direction from the opening 43 e on the side surface of the movable arm 43. The drive coil 44 is a lap winding coil in which a basic coreless coil 441 and two laminated coreless coils 442 and 443 corresponding to each phase of a three-phase alternating current are overlapped. The windings in the central portion of each coreless coil 441, 442, 443 are arranged side by side between the upper plate 43a and the lower plate 43b of the movable arm 43 so as not to overlap each other substantially parallel to the Y direction. The crossing portions corresponding to the coil ends of the coils 441, 442, and 443 are configured to protrude to the width direction of the movable arm 43.

より詳しくは、駆動コイル４４は、四角形の基本コアレスコイル４４１と２つの積層コアレスコイル４４２，４４３で構成されている。基本コアレスコイル４４１はＸＹ平面上で略同一形状の単位コアレスコイルである四角形の上側平コアレスコイル４４ａ，下側平コアレスコイル４４ｂを上下に二枚積層したもので、図４でＺ方向上側にある上側平コアレスコイル４４ａとＺ方向下側にある下側平コアレスコイル４４ｂは一体となって上下方向に折り曲げられている。積層コアレスコイル４４２，４４３は、いずれもＸＹ平面上で略同一形状の単位コアレスコイルである上側平コアレスコイル４４ｃ，４４ｅと下側平コアレスコイル４４ｄ，４４ｆをそれぞれ上下に二枚積層したものである。積層コアレスコイル４４２は、図４でＺ方向上側にある上側平コアレスコイル４４ｃとＺ方向下側にある下側平コアレスコイル４４ｄにより構成され、可動アーム４３のＹ方向の中心軸に対称となるようにＸ方向に互いにずらして配置されている。また、積層コアレスコイル４４３は、図４でＺ方向上側にある上側平コアレスコイル４４ｅとＺ方向下側にある下側平コアレスコイル４４ｆは可動アーム４３のＹ方向の中心軸に対称となるようにＸ方向に互いにずらして配置されている。つまり、積層コイル４４２，４４３の各平コアレスコイル（４４ｃ，４４ｄ）（４４ｅ，４４ｆ）はＸＹ面内では略同一形状で、各上側平コアレスコイル４４ｃ，４４ｅと各下側平コアレスコイル４４ｄ，４４ｆはそれぞれ可動アーム４３のＹ軸に対称となるよう、Ｘ方向に互いに反対方向にずらして配置している。そして、基本コアレスコイル４４１はその幅方向の中心が可動アーム４３のＹ方向中心に配置されていることから、駆動コイル４４の巻き線は可動アーム４３のＹ軸に対称となり、駆動コイル４４の推力中心と可動アーム４３のＹ方向の中心軸とが一致するよう構成されている。   More specifically, the drive coil 44 includes a rectangular basic coreless coil 441 and two laminated coreless coils 442 and 443. The basic coreless coil 441 is composed of a rectangular upper flat coreless coil 44a and a lower flat coreless coil 44b, which are unit coreless coils having substantially the same shape on the XY plane, and are stacked in the upper and lower directions in FIG. The upper flat coreless coil 44a and the lower flat coreless coil 44b on the lower side in the Z direction are integrally bent in the vertical direction. The laminated coreless coils 442 and 443 are obtained by laminating two upper and lower flat coreless coils 44d and 44f, which are unit coreless coils having substantially the same shape on the XY plane, respectively. . The laminated coreless coil 442 includes an upper flat coreless coil 44c on the upper side in the Z direction in FIG. 4 and a lower flat coreless coil 44d on the lower side in the Z direction, and is symmetric with respect to the central axis of the movable arm 43 in the Y direction. Are displaced from each other in the X direction. Further, in the laminated coreless coil 443, the upper flat coreless coil 44e on the upper side in the Z direction in FIG. 4 and the lower flat coreless coil 44f on the lower side in the Z direction are symmetrical with respect to the central axis of the movable arm 43 in the Y direction. They are shifted from each other in the X direction. That is, the flat coreless coils (44c, 44d) (44e, 44f) of the laminated coils 442, 443 have substantially the same shape in the XY plane, and the upper flat coreless coils 44c, 44e and the lower flat coreless coils 44d, 44f. Are arranged so as to be symmetrical with respect to the Y axis of the movable arm 43 and are shifted in opposite directions in the X direction. Since the center in the width direction of the basic coreless coil 441 is arranged at the center in the Y direction of the movable arm 43, the winding of the drive coil 44 is symmetric with respect to the Y axis of the movable arm 43, and the thrust of the drive coil 44 The center and the central axis of the movable arm 43 in the Y direction are configured to coincide with each other.

各積層コアレスコイル４４２，４４３の各単位コアレスコイルである各平コアレスコイル（４４ｃ，４４ｄ）（４４ｅ，４４ｆ）は基本コアレスコイル４４１の異なる位置で基本コアレスコイル４４１（４４ａ，４４ｂ）を渡っている。そして、基本コアレスコイル４４１と各平コアレスコイル４４ｃ〜４４ｆとの各重なり部分は基本コアレスコイル４４１の厚さ方向に同一の範囲内にあり、各平コアレスコイル４４ｃ〜４４ｆの渡り部分の重なり厚さは、基本コアレスコイル４４１と各平コアレスコイル４４ｃ〜４４ｆとの厚さと同一またはそれよりも薄く、基本コアレスコイル４４１と各平コアレスコイル４４ｃ〜４４ｆとの重なり部分の厚みの範囲に配置されている。   Each flat coreless coil (44c, 44d) (44e, 44f), which is a unit coreless coil of each laminated coreless coil 442, 443, crosses the basic coreless coil 441 (44a, 44b) at a different position of the basic coreless coil 441. . The overlapping portions of the basic coreless coil 441 and the flat coreless coils 44c to 44f are in the same range in the thickness direction of the basic coreless coil 441, and the overlapping thicknesses of the crossing portions of the flat coreless coils 44c to 44f are the same. Is equal to or thinner than the thickness of the basic coreless coil 441 and each of the flat coreless coils 44c to 44f, and is disposed within the thickness range of the overlapping portion of the basic coreless coil 441 and each of the flat coreless coils 44c to 44f. .

図４から図７を参照して、各コアレスコイル４４１，４４２，４４３の渡り部分がどのように重ね合わせられているかを説明する。図５は駆動コイル４４を示す平面図であり、図５のＡ−ＡからＦ−Ｆ，Ｇ−ＧからＭ−ＭはそれぞれＹ方向、Ｘ方向の切断位置を示し、Ａ−ＡからＦ−Ｆの各断面は図６（ａ）から図６（ｆ）に示され、Ｇ−ＧからＭ−Ｍの各断面は図７（ｇ）から図７（ｍ）に示されている。なお、図５におけるＡからＭ近傍の矢印は図６（ａ）から図６（ｆ）、図７（ｇ）から図７（ｍ）に示す各断面を見る方向を示す。   With reference to FIG. 4 to FIG. 7, how the crossing portions of the coreless coils 441, 442 and 443 are overlapped will be described. FIG. 5 is a plan view showing the drive coil 44. AA to FF and GG to MM in FIG. 5 indicate cutting positions in the Y direction and the X direction, respectively. AA to F- Each cross section of F is shown in FIGS. 6 (a) to 6 (f), and each cross section of GG to MM is shown in FIGS. 7 (g) to 7 (m). Note that arrows in the vicinity of A to M in FIG. 5 indicate directions in which the respective cross sections shown in FIGS. 6 (a) to 6 (f) and FIGS. 7 (g) to 7 (m) are viewed.

図４、図５に示す様に、各コアレスコイル４４１，４４２，４４３はＹ方向に向かって積層コアレスコイル４４２、基本コアレスコイル４４１、積層コアレスコイル４４３の順に配置されている。図５に示すように、各コアレスコイル４４１，４４２，４４３は角が丸い四角環形状で、各コアレスコイル４４１，４４２，４４３を構成する上側、下側平コアレスコイル４４ａ〜４４ｆのＸＹ平面上での形状は略同一で、また、各平コアレスコイルの厚さｔで同一である。また、図６（ｂ）、図６（ｅ）、図７（ｈ）、図７（ｌ）に示すように、基本コアレスコイル４４１の上側、下側平コアレスコイル４４ａ，４４ｂは一体となって上下方向（Ｚ方向）に折り曲げられているので、図５の上では１つの四角環となってあらわされている。積層コアレスコイル４４２の長辺部分は基本コアレスコイル４４１のＹ方向マイナス側に基本コアレスコイル４４１の長辺部分と平行に配置され、基本コアレスコイル４４１の四角環内には積層コアレスコイル４４３の長辺部分と積層コアレスコイル４４２のもう一方の長辺部分が順次Ｙ方向に向かって並べられている。そして、積層コアレスコイル４４３のもう一方の長辺部分は基本コアレスコイル４４１の長辺部分よりもＹ方向プラス側に基本コアレスコイル４４１のもう１つの長辺部分と略平行に配置されている。各コアレスコイル４４１，４４２，４４３の各長辺部分は、Ｙ軸方向に延びる各短辺部分によってそれぞれ接続されている。   As shown in FIGS. 4 and 5, the coreless coils 441, 442, 443 are arranged in the order of the laminated coreless coil 442, the basic coreless coil 441, and the laminated coreless coil 443 in the Y direction. As shown in FIG. 5, each coreless coil 441, 442, 443 has a square ring shape with rounded corners on the XY plane of the upper and lower flat coreless coils 44 a to 44 f constituting each coreless coil 441, 442, 443. Are substantially the same, and are the same in thickness t of each flat coreless coil. Further, as shown in FIGS. 6B, 6E, 7H, and 7L, the upper and lower flat coreless coils 44a and 44b of the basic coreless coil 441 are integrated. Since it is bent in the vertical direction (Z direction), it is shown as one square ring in FIG. The long side portion of the laminated coreless coil 442 is disposed on the negative side in the Y direction of the basic coreless coil 441 in parallel with the long side portion of the basic coreless coil 441, and the long side of the laminated coreless coil 443 is placed in the square ring of the basic coreless coil 441. The portion and the other long side portion of the laminated coreless coil 442 are sequentially arranged in the Y direction. The other long side portion of the laminated coreless coil 443 is disposed substantially parallel to the other long side portion of the basic coreless coil 441 on the Y direction plus side with respect to the long side portion of the basic coreless coil 441. The long side portions of the coreless coils 441, 442, and 443 are connected to each other by short side portions that extend in the Y-axis direction.

積層コアレスコイル４４２の上側平コアレスコイル４４ｃのＸ方向マイナス側の短辺は図５、図７（ｊ）、図６（ｃ）に示すように、基本コアレスコイル４４１の四角環内からマイナスＹ方向に延びて上側平コアレスコイル４４ａのＺ方向上側を渡ってＹ方向マイナス側に延びた後、Ｚ方向下側に曲がって、対となる下側平コアレスコイル４４ｄと一体となる。基本コアレスコイル４４１を渡る位置の基本コアレスコイル４４１（４４ａ，４４ｂ）と上側平コアレスコイル４４ｃとの重なり厚さＨ2は、各単位コイル（４４ａ〜４４ｆ）の厚さをｔとすると、３ｔ＝１．５×２ｔとなって、基本コアレスコイル４４１の厚さの１．５倍となる。そして、図６（ｆ）に示すように下側平コアレスコイル４４ｄと共に厚さ２ｔでＸ方向プラス側に延びる。上側平コアレスコイル４４ｃはＸ方向プラス側の最外周に達した後、Ｙ方向プラス側に向かって延びていく。そして、図６（ｃ）に示すように、Ｘ方向マイナス側に延びると共に、Ｚ方向上側に折り曲げられ、基本コアレスコイル４４１の上側平コアレスコイル４４ａの上を渡った後、下側に折り曲げられて再び下側平コアレスコイル４４ｄと共にＸ方向マイナス側に延びて元の位置に戻る。基本コアレスコイル４４１を渡る位置の基本コアレスコイル４４１（４４ａ，４４ｂ）と上側平コアレスコイル４４ｃとの重なり厚さＨ2は、３ｔ＝１．５×２ｔとなって、基本コアレスコイル４４１の厚さの１．５倍となる。また、中央部分は各上側平コアレスコイル４４ａ〜４４ｆの２枚分の厚さ＝基本コアレスコイル４４１の厚さ（各平コアレスコイル４４ａ，４４ｂ）の厚さの２ｔとなる。 The short side on the minus side in the X direction of the upper flat coreless coil 44c of the laminated coreless coil 442 is in the minus Y direction from within the square ring of the basic coreless coil 441, as shown in FIGS. 5, 7 (j) and 6 (c). After extending to the Y direction minus side over the Z direction upper side of the upper flat coreless coil 44a, it bends in the Z direction lower side and is integrated with the paired lower flat coreless coil 44d. The overlapping thickness H 2 of the basic coreless coil 441 (44a, 44b) and the upper flat coreless coil 44c across the basic coreless coil 441 is 3t = t where the thickness of each unit coil (44a to 44f) is t. 1.5 × 2t, which is 1.5 times the thickness of the basic coreless coil 441. Then, as shown in FIG. 6 (f), the lower flat coreless coil 44d extends to the plus side in the X direction with a thickness of 2t. The upper flat coreless coil 44c reaches the outermost periphery on the X direction plus side and then extends toward the Y direction plus side. Then, as shown in FIG. 6 (c), it extends to the minus side in the X direction, is bent upward in the Z direction, crosses over the upper flat coreless coil 44a of the basic coreless coil 441, and then is bent downward. The lower flat coreless coil 44d again extends to the minus side in the X direction and returns to its original position. The overlapping thickness H 2 of the basic coreless coil 441 (44a, 44b) and the upper flat coreless coil 44c across the basic coreless coil 441 is 3t = 1.5 × 2t, and the thickness of the basic coreless coil 441 is 1.5 times as much as Further, the thickness of the center portion is 2t of the thickness of each of the upper flat coreless coils 44a to 44f = the thickness of the basic coreless coil 441 (the flat coreless coils 44a and 44b).

積層コアレスコイル４４２の下側平コアレスコイル４４ｄのＹ方向プラス側の長辺は図５、図６（ｃ）、図７（ｇ）に示すように、基本コアレスコイル４４１の四角環内からマイナスＸ方向に延びて上側に向かって２段階に折れ曲がった後、上側平コアレスコイル４４ａのＺ方向上側を渡ってＸ方向マイナス側に延びる。基本コアレスコイル４４１を渡る位置の基本コアレスコイル４４１（４４ａ，４４ｂ）と下側平コアレスコイル４４ｄとの重なり厚さは３ｔ＝１．５×２ｔとなって、基本コアレスコイル４４１の厚さの１．５倍となる。そして、Ｚ方向下側に曲がって、積層コアレスコイル４４３の下側平コアレスコイル４４ｆと重なりＸ方向プラス側の最外周に達した後、図７（ｇ）に示すように水平にＹ方向マイナス側に延びる。そして、図６（ｆ）に示すように、Ｙ方向マイナス側の最外周に達した後、Ｘ方向プラス側に延びると共に、Ｚ方向下側に折り曲げられ、図７（ｋ）に示すように、基本コアレスコイル４４１の上側平コアレスコイル４４ａの上を渡った後、下側に折り曲げられて上側平コアレスコイル４４ｃの下側にもぐりこんで上側平コアレスコイル４４ｃと共にＸ方向マイナス側に延びて元の位置に戻る。   The long side on the plus side in the Y direction of the lower flat coreless coil 44d of the laminated coreless coil 442 is minus X from within the square ring of the basic coreless coil 441, as shown in FIGS. 5, 6 (c) and 7 (g). After extending in two directions toward the upper side, the upper flat coreless coil 44a extends in the X direction minus side across the upper side in the Z direction. The overlapping thickness of the basic coreless coil 441 (44a, 44b) and the lower flat coreless coil 44d across the basic coreless coil 441 is 3t = 1.5 × 2t, which is 1 of the thickness of the basic coreless coil 441. .5 times. Then, it bends downward in the Z direction, overlaps with the lower flat coreless coil 44f of the laminated coreless coil 443 and reaches the outermost periphery on the positive side in the X direction, and then horizontally on the negative side in the Y direction as shown in FIG. It extends to. Then, as shown in FIG. 6 (f), after reaching the outermost periphery on the Y direction minus side, it extends to the X direction plus side and is bent downward in the Z direction, and as shown in FIG. 7 (k), After crossing over the upper flat coreless coil 44a of the basic coreless coil 441, it is bent downward and crawls into the lower side of the upper flat coreless coil 44c, extending to the negative side in the X direction together with the upper flat coreless coil 44c. Return to.

積層コアレスコイル４４３の上側平コアレスコイル４４ｅのＸ方向マイナス側の短辺は図５、図７（ｊ）、図６（ｂ）に示すように、基本コアレスコイル４４１の四角環内からプラスＹ方向に延びて下側平コアレスコイル４４ｂのＺ方向下側を渡ってＹ方向プラス側に延びた後、Ｚ方向上側に曲がって、対となる下側平コアレスコイル４４ｆと一体となる。基本コアレスコイル４４１を渡る位置の基本コアレスコイル４４１（４４ａ，４４ｂ）と上側平コアレスコイル４４ｅとの重なり厚さＨ2は、３ｔ＝１．５×２ｔとなって、基本コアレスコイル４４１の厚さの１．５倍となる。そして、図６（ａ）に示すように下側平コアレスコイル４４ｆと共にＸ方向プラス側に延びる。上側平コアレスコイル４４ｅは下側に向かって折り曲げられた後、Ｘ方向プラス側の最外周に達した後、Ｙ方向マイナス側に向かって延びていく。そして、図７（ｍ）に示すように、水平にＹ方向マイナス側に延びる。そして、図６（ｄ）に示すように、下側に折り曲げられて基本コアレスコイル４４１の下側平コアレスコイル４４ｂの下側を渡った後、二段階に上側に向かって折り曲げられ、下側平コアレスコイル４４ｆと合わさってＸ方向マイナス側に延びると共に、下側に折り曲げられて積層コアレスコイル４４２の上側平コアレスコイル４４ｃの下側にもぐりこんでＹ方向プラス側に延びて元の位置に戻る。この構成において、図６（ｄ）、図７（ｊ）に示すように、基本コアレスコイル４４１を渡る位置の基本コアレスコイル４４１（４４ａ，４４ｂ）と上側平コアレスコイル４４ｅとの重なり厚さは３ｔ＝１．５×２ｔとなって、基本コアレスコイル４４１の厚さの１．５倍となる。また、中央部分は各上側平コアレスコイル４４ａ〜４４ｆの２枚分の厚さ＝基本コアレスコイル４４１の厚さ（各平コアレスコイル４４ａ，４４ｂ）の厚さの２ｔとなる。 The short side on the negative side in the X direction of the upper flat coreless coil 44e of the laminated coreless coil 443 is in the plus Y direction from within the square ring of the basic coreless coil 441, as shown in FIGS. 5, 7 (j) and 6 (b). After extending to the Y direction plus side across the lower side in the Z direction of the lower flat coreless coil 44b, it bends upward in the Z direction and is integrated with the lower flat coreless coil 44f that forms a pair. The overlapping thickness H 2 of the basic coreless coil 441 (44a, 44b) and the upper flat coreless coil 44e across the basic coreless coil 441 is 3t = 1.5 × 2t, and the thickness of the basic coreless coil 441 is 1.5 times as much as Then, as shown in FIG. 6A, it extends to the X direction plus side together with the lower flat coreless coil 44f. The upper flat coreless coil 44e is bent downward, reaches the outermost periphery on the positive side in the X direction, and then extends toward the negative side in the Y direction. And as shown in FIG.7 (m), it extends to the Y direction minus side horizontally. Then, as shown in FIG. 6 (d), after being bent downward and crossing the lower flat coreless coil 44b of the basic coreless coil 441, it is bent upward in two stages, Together with the coreless coil 44f, it extends to the negative side in the X direction, and is bent downward to fold down the upper flat coreless coil 44c of the laminated coreless coil 442 to extend to the positive side in the Y direction and return to its original position. In this configuration, as shown in FIGS. 6D and 7J, the overlapping thickness of the basic coreless coil 441 (44a, 44b) and the upper flat coreless coil 44e across the basic coreless coil 441 is 3t. = 1.5 × 2t, which is 1.5 times the thickness of the basic coreless coil 441. Further, the thickness of the center portion is 2t of the thickness of each of the upper flat coreless coils 44a to 44f = the thickness of the basic coreless coil 441 (the flat coreless coils 44a and 44b).

積層コアレスコイル４４３の下側平コアレスコイル４４ｆのＹ方向マイナス側の長辺は図５、図６（ｄ）に示すように、基本コアレスコイル４４１の四角環内からマイナスＸ方向に延びて下側に向かって折れ曲がった後、下側平コアレスコイル４４ｂのＺ方向下側を渡ってＸ方向マイナス側に延びる。基本コアレスコイル４４１を渡る位置の基本コアレスコイル４４１（４４ａ，４４ｂ）と下側平コアレスコイル４４ｆとの重なり厚さＨ2は、３ｔ＝１．５×２ｔとなって、基本コアレスコイル４４１の厚さの１．５倍となる。そして、Ｚ方向上側に折れ曲がって、積層コアレスコイル４４２の上側平コアレスコイル４４ｄと重なりＹ方向プラス側の最外周に達した後、図６（ａ）に示すように水平にＸ方向マイナス側に延びる。そして、図７（ｋ）に示すように、Ｘ方向マイナス側に延びると共に、Ｚ方向下側に折り曲げられ、基本コアレスコイル４４１の下側平コアレスコイル４４ｂの下を渡った後、上側平コアレスコイル４４ｅの下側にもぐりこんで上側平コアレスコイル４４ｅと共にＸ方向マイナス側に延びて元の位置に戻る。 The long side on the Y direction minus side of the lower flat coreless coil 44f of the laminated coreless coil 443 extends in the minus X direction from the rectangular ring of the basic coreless coil 441, as shown in FIGS. And then extends to the X direction minus side across the lower side in the Z direction of the lower flat coreless coil 44b. The overlapping thickness H 2 of the basic coreless coil 441 (44a, 44b) and the lower flat coreless coil 44f across the basic coreless coil 441 is 3t = 1.5 × 2t, and the thickness of the basic coreless coil 441 is 1.5 times the length. Then, it bends upward in the Z direction, overlaps with the upper flat coreless coil 44d of the laminated coreless coil 442, reaches the outermost periphery on the positive side in the Y direction, and then extends horizontally to the negative side in the X direction as shown in FIG. . Then, as shown in FIG. 7 (k), the upper flat coreless coil extends to the negative side in the X direction and is bent downward in the Z direction and crosses under the lower flat coreless coil 44b of the basic coreless coil 441. It goes down to the lower side of 44e and extends to the X direction minus side together with the upper flat coreless coil 44e to return to the original position.

以上説明したように、各積層コアレスコイル４４２，４４３は上側平コアレスコイル４４ｃ，４４ｅ、下側平コアレスコイル４４ｄ，４４ｆをそれぞれＸ方向にずらして配置し、厚みが半分となっている上側平コアレスコイル４４ｃ，４４ｅ、下側平コアレスコイル４４ｄ，４４ｆで基本コアレスコイル４４１の上あるいは下を渡るようにしているので、基本コアレスコイル４４１を渡る位置の基本コアレスコイル４４１（４４ａ，４４ｂ）と上側、下側平コアレスコイル４４ｃ〜４４ｆとの重なり厚さＨ2は、３ｔ＝１．５×２ｔとなる。また、図６（ｂ）、図６（ｄ）に示すように厚さＨ2は、駆動コイル４４のＺ方向の中心線に対して上下対称となっており、片側に１．５ｔずつ突出している。したがって、中央部の上側、下側に同一厚さの可動アーム４３の上板４３ａと下板４３ｂを取り付けると、Ｙ方向可動子４５全体のＺ方向の厚さの最大値をもっとも小さくすることができる。このとき、可動アーム４３の上板４３ａと下板４３ｂの厚さが各平コアレスコイルの厚さｔの半分の０．５ｔとすると、可動子４５の中央部の厚さは平コアレスコイルの重なり厚さの２ｔの上板４３ａと下板４３ｂの合計厚さｔを足した３ｔとなり、図４に示す可動アーム４３の厚さＨ1は基本コアレスコイル４４１（４４ａ，４４ｂ）と各平コアレスコイル４４ｃ〜４４ｆとの重なり厚さＨ2と同一厚さとなる。 As described above, each of the laminated coreless coils 442 and 443 is arranged such that the upper flat coreless coils 44c and 44e and the lower flat coreless coils 44d and 44f are shifted in the X direction, and the upper flat coreless coils are halved in thickness. Since the coils 44c and 44e and the lower flat coreless coils 44d and 44f cross over or under the basic coreless coil 441, the basic coreless coil 441 (44a and 44b) at the position crossing the basic coreless coil 441 and the upper side, The overlapping thickness H 2 with the lower flat coreless coils 44c to 44f is 3t = 1.5 × 2t. Further, as shown in FIGS. 6B and 6D, the thickness H 2 is vertically symmetrical with respect to the center line of the drive coil 44 in the Z direction, and protrudes by 1.5 t on one side. Yes. Therefore, when the upper plate 43a and the lower plate 43b of the movable arm 43 having the same thickness are attached to the upper side and the lower side of the central portion, the maximum value of the thickness in the Z direction of the entire Y direction movable element 45 can be minimized. it can. At this time, if the thickness of the upper plate 43a and the lower plate 43b of the movable arm 43 is 0.5t, which is half of the thickness t of each flat coreless coil, the thickness of the central portion of the movable element 45 is the overlap of the flat coreless coil. the thickness of 3t next plus total thickness t of the upper plate 43a and lower plate 43b of 2t, the thickness H 1 of the movable arm 43 shown in FIG. 4 the basic coreless coil 441 (44a, 44b) and Kakutaira coreless coil overlap between 44c~44f a thickness of H 2 and the same thickness.

さらに、各上側、下側平コアレスコイル４４ａ〜４４ｆが重なる位置は図６（ａ）から図６（ｆ）に示すように厚さＨ2の範囲内となるので、重なり合う部分が駆動コイル４４のＺ方向の中心線から片側に１．５ｔ以上突出することがなく、全体厚さを薄くすることができる。このため、ＸＹテーブルのようにＹ方向可動子４５がＸＹ方向に移動する場合でもＹ方向モータ４０の固定子の永久磁石４２のＺ方向の間隔を狭く維持することができるので、推力の低下を抑制した交流リニアモータとすることができる。 Further, each of the upper, so the lower flat coreless coil 44a~44f overlap position FIGS. 6 (a) from 6 within the thickness H 2 (f), the overlapping portion of the driving coil 44 The entire thickness can be reduced without projecting from the center line in the Z direction by 1.5 t or more on one side. For this reason, even when the Y-direction mover 45 moves in the XY direction as in the XY table, the interval in the Z direction of the permanent magnet 42 of the stator of the Y-direction motor 40 can be kept narrow, so that the thrust is reduced. A suppressed AC linear motor can be obtained.

また、本実施形態では、各コアレスコイル４４１，４４２，４４３を重ね巻きとし、各コアレスコイル４４１，４４２，４４３をオーバーラップさせているので磁極ピッチを小さくして磁束密度を大きくして推力の低下を抑制することができるので、駆動コイル４４の重量の増加を抑制しつつＹ方向のストロークを拡大することができる。また、重ね巻きとすることによって駆動コイル４４のＹ方向長さを短くすることができることから、Ｙ方向可動子４５全体の固有振動数を高く保つことができ、Ｙ方向可動子４５の振動を抑制し、ボンディング品質の低下を抑制することができる。さらに、各コアレスコイル４４１，４４２，４４３の渡り部分が可動アーム４３の幅方向に突出していること、及び可動アーム４３の開口４３ｅから可動アーム４３の内部にノズル５５から吹き出した冷却空気を送ることができるので、各コアレスコイル４４１，４４２，４４３の冷却が容易となる。   Further, in this embodiment, the coreless coils 441, 442, 443 are overlapped and the coreless coils 441, 442, 443 are overlapped. Therefore, the magnetic pole pitch is reduced, the magnetic flux density is increased, and the thrust is reduced. Therefore, the stroke in the Y direction can be expanded while suppressing an increase in the weight of the drive coil 44. In addition, since the length of the drive coil 44 in the Y direction can be shortened by using lap winding, the natural frequency of the entire Y direction mover 45 can be kept high, and the vibration of the Y direction mover 45 can be suppressed. In addition, a reduction in bonding quality can be suppressed. Further, the crossing portions of the coreless coils 441, 442, 443 protrude in the width direction of the movable arm 43, and the cooling air blown out from the nozzle 55 is sent into the movable arm 43 from the opening 43 e of the movable arm 43. Therefore, the coreless coils 441, 442, and 443 can be easily cooled.

以上説明した本実施形態では、基本コアレスコイル４４１はＸＹ平面上で略同一形状の四角形の上側平コアレスコイル４４ａ，下側平コアレスコイル４４ｂを上下に二枚積層したもので、図４でＺ方向上側にある上側平コアレスコイル４４ａとＺ方向下側にある下側平コアレスコイル４４ｂは一体となって上下方向に折り曲げられていることとして説明したが、上側、下側平コアレスコイル４４ａ，４４ｂが別々に上下に折り曲げられて、各積層コアレスコイル４４２，４４３の上側、下側平コアレスコイル４４ｃ〜４４ｆが基本コアレスコイル４４１の上側、下側平コアレスコイル４４ａ，４４ｂの間を渡るように構成してもよいし、逆に、上側、下側平コアレスコイル４４ａ，４４ｂのように２層とせず、一枚の板によって構成するようにしてもよい。また、各上側、下側平コアレスコイル４４ａ〜４４ｆのコイルエンドにあたる相互の渡り部分の折り重ね方は実施形態に限定されるものではなく、さまざまな折り重ね方であってもよい。更に、本実施形態では、各コアレスコイル４４１，４４２，４４３は２層として説明したが、積層数は偶数であって、駆動コイル４４の推力中心と可動アーム４３のＹ方向の中心軸とが一致するよう構成できれば、４層でも６層でもよい。   In the present embodiment described above, the basic coreless coil 441 is formed by vertically stacking two rectangular upper flat coreless coils 44a and lower flat coreless coils 44b having substantially the same shape on the XY plane. The upper flat coreless coil 44a on the upper side and the lower flat coreless coil 44b on the lower side in the Z direction have been described as being integrally bent in the vertical direction, but the upper and lower flat coreless coils 44a and 44b are Separately bent up and down, the upper and lower flat coreless coils 44c to 44f of the laminated coreless coils 442 and 443 are configured to cross between the upper and lower flat coreless coils 44a and 44b of the basic coreless coil 441. Or, conversely, the upper and lower flat coreless coils 44a and 44b are not made of two layers, but are constituted by a single plate. It may be. Moreover, how to fold the crossing portions corresponding to the coil ends of the upper and lower flat coreless coils 44a to 44f is not limited to the embodiment, and various folding methods may be used. Furthermore, in the present embodiment, each coreless coil 441, 442, 443 has been described as having two layers, but the number of layers is an even number, and the thrust center of the drive coil 44 and the central axis in the Y direction of the movable arm 43 coincide. If it can be configured, four or six layers may be used.

本実施形態では、本発明をＹ方向可動子４５に適用した例について説明したが、図８に示すＸＹテーブル１０ように、Ｘ方向モータ７０、Ｙ方向モータ８０の構成が図１に示した実施形態と逆になっていていてもよい。この場合、Ｘ方向モータ７０の可動子が図４に示したような重ね巻きのコイルによって構成されている。   In the present embodiment, the example in which the present invention is applied to the Y-direction movable element 45 has been described. However, the configurations of the X-direction motor 70 and the Y-direction motor 80 as shown in FIG. It may be the reverse of the form. In this case, the mover of the X direction motor 70 is constituted by a lap winding coil as shown in FIG.

本発明は以上説明した実施形態に限定されるものではなく、請求の範囲により規定されている本発明の技術的範囲ないし本質から逸脱することない全ての変更及び修正を包含するものである。   The present invention is not limited to the embodiments described above, but includes all changes and modifications that do not depart from the technical scope or essence of the present invention defined by the claims.

１０ ＸＹテーブル、１１ 架台、１２ テーブル保持台、１３ 下部テーブル、１４，３７ Ｘ方向ガイドレール、１６，３６，４６ ブラケット、１７ Ｙモータ保持台、１８ 下部テーブルセンサ、１９ 上部テーブルセンサ、２１ 上部テーブル、２２，４７ Ｙ方向ガイドレール、２３ ボルト、３０，７０ Ｘ方向モータ、３１ Ｘ方向モータ固定子、３２，４２ 永久磁石、３３ Ｘ方向可動子、３４ コイル、３８ Ｘ方向モータ固定子速度センサ、４０，８０ Ｙ方向モータ、４１ Ｙ方向モータ固定子、４３ 可動アーム、４３ａ 上板、４３ｂ 下板、４３ｃ ウェブ板、４３ｄ スペーサ、４３ｅ 開口、４４ 駆動コイル、４４ａ，４４ｃ，４４ｅ 上側平コアレスコイル、４４ｂ，４４ｄ，４４ｆ 下側平コアレスコイル、４５ Ｙ方向可動子、４７ Ｙ方向ガイドレール、４８ Ｙ方向モータ固定子速度センサ、５０ ダイナミックダンパ、５１ 平板、５２ 錘、５５ ノズル、１００ ワイヤボンディング装置、１０１ ボンディングヘッド、１０２ ボンディングアーム、１０３ キャピラリ、４４１ 基本コアレスコイル、４４２，４４３ 積層コアレスコイル。   10 XY table, 11 frame, 12 table holder, 13 lower table, 14, 37 X direction guide rail, 16, 36, 46 bracket, 17 Y motor holder, 18 lower table sensor, 19 upper table sensor, 21 upper table , 22, 47 Y direction guide rail, 23 bolt, 30, 70 X direction motor, 31 X direction motor stator, 32, 42 permanent magnet, 33 X direction mover, 34 coil, 38 X direction motor stator speed sensor, 40, 80 Y direction motor, 41 Y direction motor stator, 43 movable arm, 43a upper plate, 43b lower plate, 43c web plate, 43d spacer, 43e opening, 44 drive coil, 44a, 44c, 44e upper flat coreless coil, 44b, 44d, 44f Lower flat coreless coil, 45 Y Directional mover, 47 Y-direction guide rail, 48 Y-direction motor stator speed sensor, 50 dynamic damper, 51 flat plate, 52 weight, 55 nozzle, 100 wire bonding device, 101 bonding head, 102 bonding arm, 103 capillary, 441 Basic Coreless coil, 442, 443 Laminated coreless coil.

Claims (5)

同一平面内で互いに直交する第１の方向と第２の方向の２つの方向に移動する２方向移動テーブルであって、
第１の方向にガイドされ、第１のモータによって第１の方向に駆動される第１のテーブルと、
第１のテーブルの上面に設けられた第２の方向ガイドによって第２方向にガイドされ、第１のテーブルと共に第１の方向に駆動されると共に第２のモータによって第２の方向にも駆動される第２のテーブルと、
一端が第２のテーブルに固定されて第２の方向に延び、第２のテーブルと共に第１及び第２の方向に移動する可動アームと、
可動アーム内に取り付けられ、その一部が可動アームの幅方向に突出する駆動コイルと、を有し、
駆動コイルは、複数のコアレスコイルの中央部分が第２の方向に沿って可動アーム内に並べて配置され、各コアレスコイル相互の渡り部分が可動アームから突出した部分に配置されている重ね巻きコイルであり、
基本コアレスコイルと、
基本コアレスコイルの厚さ方向に複数の単位コアレスコイルを積層した少なくとも２つの積層コアレスコイルと、を備え、
各積層コアレスコイルの各単位コアレスコイルは基本コアレスコイルの異なる位置で基本コアレスコイルを渡り、基本コアレスコイルと各単位コアレスコイルとの各重なり部分は、基本コアレスコイルの厚さ方向の中心から積層方向の両側にそれぞれ所定距離だけ離れて基本コアレスコイルの表面に沿った２つの平面の間に位置し、
各単位コアレスコイル同士の渡り部分の重なり厚さは、基本コアレスコイルと単位コアレスコイルとの重なり部分の厚さと同一またはそれよりも薄いこと、
を特徴とする２方向移動テーブル。 A two-way moving table that moves in two directions of a first direction and a second direction orthogonal to each other in the same plane;
A first table guided in a first direction and driven in a first direction by a first motor;
Guided in the second direction by a second direction guide provided on the upper surface of the first table, driven in the first direction together with the first table, and also driven in the second direction by the second motor. A second table,
A movable arm having one end fixed to the second table and extending in the second direction and moving in the first and second directions together with the second table;
A drive coil mounted in the movable arm, a part of which protrudes in the width direction of the movable arm,
The drive coil is a lap winding coil in which the central part of the plurality of coreless coils is arranged in the movable arm along the second direction, and the crossing part between the coreless coils is arranged at the part protruding from the movable arm. Oh it is,
Basic coreless coil,
Comprising at least two laminated coreless coils in which a plurality of unit coreless coils are laminated in the thickness direction of the basic coreless coil,
Each unit coreless coil of each laminated coreless coil crosses the basic coreless coil at a different position of the basic coreless coil, and each overlapping portion of the basic coreless coil and each unit coreless coil is laminated from the center in the thickness direction of the basic coreless coil. Between the two planes along the surface of the basic coreless coil, each separated by a predetermined distance on each side of the
The overlapping thickness of the crossover portion between each unit coreless coil is equal to or less than the thickness of the overlapping portion between the basic coreless coil and the unit coreless coil,
A two-way moving table. 請求項１に記載の２方向移動テーブルであって、
各積層コアレスコイルの各単位コアレスコイルの積層数は偶数で、それぞれ同数ずつの単位コアレスコイルを第１の方向に相互にずらして可動アームの第２の方向に沿った中心線に対称に配置すること、
を特徴とする２方向移動テーブル。 The two-way moving table according to claim 1 ,
The number of unit coreless coils of each laminated coreless coil is an even number, and the same number of unit coreless coils are shifted from each other in the first direction and symmetrically arranged on the center line along the second direction of the movable arm. thing,
A two-way moving table. 請求項１または２に記載の２方向移動テーブルであって、
基本コアレスコイルは厚さ方向に複数層に積層されていること、
を特徴とする２方向移動テーブル。 The two-way moving table according to claim 1 or 2 ,
The basic coreless coil is laminated in multiple layers in the thickness direction,
A two-way moving table. 請求項３に記載の２方向移動テーブルであって、
単位コアレスコイルは、基本コアレスコイルの層間を渡っていること、
を特徴とする２方向移動テーブル。 It is a two-way movement table of Claim 3 , Comprising:
The unit coreless coil must cross between the layers of the basic coreless coil,
A two-way moving table. 請求項１から４のいずれか１項に記載の２方向移動テーブルであって、
各積層コアレスコイルは単位コアレスコイルを２枚ずつ積層したものであり、各単位コアレスコイルの厚さは基本コアレスコイルの厚さの１／２であり、
基本コアレスコイルと単位コアレスコイルとの重なり部分の厚さは、基本コアレスコイルの厚さの１．５倍であり、
所定距離は基本コアレスコイルの厚さの１．５倍の長さであること、
を特徴とする２方向移動テーブル。 The two-way moving table according to any one of claims 1 to 4 ,
Each laminated coreless coil is a laminate of two unit coreless coils, and the thickness of each unit coreless coil is 1/2 of the thickness of the basic coreless coil,
The thickness of the overlapping part of the basic coreless coil and the unit coreless coil is 1.5 times the thickness of the basic coreless coil,
The predetermined distance is 1.5 times the thickness of the basic coreless coil,
A two-way moving table.
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