JP4679220B2

JP4679220B2 - 塵埃除去具

Info

Publication number: JP4679220B2
Application number: JP2005121111A
Authority: JP
Inventors: 耕平野澤
Original assignee: アトム興産株式会社
Priority date: 2005-04-19
Filing date: 2005-04-19
Publication date: 2011-04-27
Anticipated expiration: 2025-04-19
Also published as: JP2006297254A

Description

本発明は、電子デバイス・オプトデバイス等の微細化、緻密化に伴い、その製造工程において、異物の存在は大きな障害となっており、この極微細な異物粒子の除去を容易にするための塵埃除去具に関するものである。

近年、デジタル家電や光通信の普及は目覚しく、各種製品の電子デバイス並びにオプトデバイス等は、一層微細化、緻密化しており、それに伴いその製造工程において、異物の存在は大きな障害となっている。また、対象となる異物粒子自体の大きさも、裸眼では観察できない程の「極微細粒子」が対象となり、顕微鏡観察レベルの極微細粒子の除去に適した塵埃除去具の要望が高まっている。
従来、これらの異物除去を目的とした粘着ゴムを利用したローラータイプやペンシルタイプの塵埃除去具が普及している。
このペンシルタイプの塵埃除去具としては、シャープペンシル形状の本体に設けられている鉛筆芯用空部に相当する部位に粘着ゴムを挿入し、前記本体の上部には、前記粘着ゴム上部に空隙を形成するように空隙部を設け、該空隙部に重しを上下動自在に挿入したペンシル型塵埃除去具（例えば、特許文献１参照）が存在している。
以上、いずれも顕微鏡観察レベルの極微細粒子の除去には、（１）クリーン性能、（２）塵埃除去具自体の大きさ、並びに（３）操作面（使用方法）での欠点があり、極微細粒子の塵埃除去には適さないものである。
特開２００２−１７７９１０号公報（特許請求の範囲の欄、実施例の欄の段落｛００１０｝、｛００１５｝〜｛００２０｝、図１〜図３を参照）

しかしながら、前記従来技術においては、前述の従来技術に示した欠点である３項目をどのように解決するかが最大の課題となる。
先ず、（１）クリーン性能については、顕微鏡観察レベルの極微細粒子の除去が目的であるため、その製品仕様の根本的な条件として、塵埃除去具自体がクリーンでなくてはならず、粘着ゴム本体のクリーン度が高く、且つ不純物の存在や溶出がないことは当然のこととし、粘着ゴムを固定し、実際に使用する直前まで塵埃除去具自体にゴミ・塵・埃が存在しないクリーン性の維持が必要となる。
次に、（２）塵埃除去具自体の大きさについては、緻密な電子デバイス、例えばＬＳＩを組み込むための基板表面やリードフレームに存在する異物の探索に種々の拡大鏡やルーペ（顕微鏡・ＣＣＤカメラを含む）を用いるが、塵埃除去具のゴミ取り部分、即ち粘着ゴムの先端部の太さが太いと、拡大倍率を上げれば上げるほど、観察視野が狭くなり、ゴミ・異物の探索時に粘着ゴムの先端部が観察視野を遮り、観察の妨げとなる。
従って、可能な限り粘着ゴムの先端径は細くしなければならない。しかしながら一方では、極細の腰のない柔らかな粘着ゴムを製作する上で、その製造方法も同時に解決しなければならない。
さらに、（３）操作面についても考慮しなければならない。すなわち、作業には粘着ゴムの粘着性を利用するので、塵埃除去部が剥き出しの構造である。従って、クリーン度の低い環境下ではすぐさま粘着ゴム表面にゴミが付着する。また、粘着ゴム表面が他の器物に接触しない、収納・保管方法を採用しなければならない。さらに、使用する際に、粘着ゴム部を直接手で掴んでゴムを別の操作用治具に装着する方法も避けなければならない。
このような諸問題を一挙に解決した極微細な異物粒子除去用としての塵埃除去具を提供することを目的とするものである。

上記課題を解決するための本発明の第１発明は、請求項１に記載された通りの塵埃除去具であり、次のようなものである。
先端側を引き伸ばして細くしたプラスチック製パイプ内に粘着ゴム材料を、前記パイプ全長の先端側に充填して乾燥硬化し、粘着ゴム充填側を粘着ゴムを残して前記パイプ先端部を切り落とし、粘着ゴムを剥き出しにし、他方側を予め用意した塵埃除去具を把持しながら操作できる操作棒を差し込み嵌合できる形状を有する構成である。

上記課題を解決するための本発明の第２発明は、請求項２に記載された通りの塵埃除去具であり、次のようなものである。
内径が先端に行くに従って細くなったスポイト形状のプラスチック製パイプ内に粘着ゴムを、前記パイプ全長の先端側に充填して乾燥硬化し、粘着ゴム充填側を粘着ゴムを残して前記パイプ先端部を切り落とし、粘着ゴムを剥き出しにし、他方側を予め用意した塵埃除去具を把持しながら操作できる操作棒を差し込み嵌合できる形状を有する構成である。

上記課題を解決するための本発明の第３発明は、請求項３に記載された通りの塵埃除去具であり、次のようなものである。
請求項１、または請求項２に記載の発明に加えて、プラスチック製パイプ内、あるいはスポイト形状のプラスチック製パイプ内に粘着ゴムを、前記パイプ全長のほぼ９０％を充填して乾燥硬化し、パイプ外周部に粘着ゴム充填側を粘着ゴムを残して、パイプ内径寸法のギリギリまで円周切り溝を先端部から根元間に数ヶ所予め施し、任意の粘着ゴム径が得られるようにする構成である。

上記課題を解決するための本発明の第４発明は、請求項４に記載された通りの塵埃除去具であり、次のようなものである。
請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明に加えて、塵埃除去具の剥き出した粘着ゴムとは反対側の塵埃除去具を把持しながら操作できる操作棒が嵌合できる嵌合部に前記操作棒を差し込み嵌合させる押し付け力が加えられても、別途準備された塵埃除去具収納架台にセットされた塵埃除去具が移動しないように、塵埃除去具の外径にツバ部を形成する構成である。

本発明に係る塵埃除去具は、上記説明のような構成を有するので、以下に記載する効果を奏する。
（１）顕微鏡等による観察をしながら行う極微細なゴミ除去に適したものである。
（２）塵埃除去具による主作用部の粘着ゴムは、金型を用いた成形加工品ではないので、離型剤を用いる必要がない。そのため、粘着ゴムは純粋なゴム成分のみの極めてクリーンな塵埃除去具となる。
（３）予め用意したプラスチック製極細パイプ内で粘着ゴムの硬化成形をせしめるため、このパイプ径に準じた様々な径を有する極細の塵埃除去具の製作が可能となる。
（４）内径が先端に行くに従って細くなったスポイト形状のプラスチック製パイプ内に充填して成形した粘着ゴムを残して、パイプ内径寸法のギリギリまで、予め先端から根元間に数ヶ所の円周切り溝を施しておくことで、この切り溝を利用して任意の粘着ゴム径を剥き出すことができる。
（５）使用する際、塵埃除去具を操作棒へ装着する際、手で掴まずに装着可能なので粘着ゴムを汚染しない。

極細のプラスチックパイプ内に粘着ゴム材料を充填成形せしめ、パイプの一方の端部を先端から３〜５ｍｍ部位にてパイプ素材のみを切り落とし粘着ゴムを剥き出しにする。また、一方の端部の内径を別途用意した操作棒の外径に嵌合する寸法で、且つ外径はパイプ外径より大きなツバを形成した塵埃除去具で上記によって得られた粘着ゴムの粘着力を利用した塵埃除去具を専用の収納ケースに収納し、使用の際は操作棒を塵埃除去具のツバ部先端と嵌合接続し、拡大鏡観察により極微細な異物除去が容易にできるようにした塵埃除去具である。

以下、本発明の一実施例を添付図面で詳細に説明する。
先ず、開発順にいくつかの具体例を説明する。
顕微鏡観察レベルの極微細な異物除去を試みる際は、観察視野が拡大倍率を上げれば上げるほど狭くなり、それと共に観察視野を塵埃除去具が遮ぎることがないように塵埃除去具のサイズも小さくする必要に迫られる。
そこで、粘着ゴムの直径を１ｍｍ以下に仕上げることが必要になった。

最初の試みは、鉛筆の如くの形状、すなわち黒鉛の芯に当たるところが粘着ゴム、木の部分がプラスチック素材で構成させ、鉛筆削りで先端を尖らせれば、鉛筆芯に相当する粘着ゴムが極細の形状に仕上がり、充分顕微鏡観察時に使用できるものと考え、試作を行った。
用意したのは、内径４ｍｍ、外径６ｍｍのポリプロピレン製（以下、ＰＰという）パイプを長さ１００ｍｍにカットし、粘着ゴムとしてウレタンゴムの２液混合タイプの原料を所定の比率で混ぜ合わせ、ゴム硬度を３０°になるように調製し、混合ゴム原料を容器に移し、その容器を真空脱泡器内で脱気を行い、ゴム原料中の空気を追い出した。
次に、前記したＰＰパイプを静かにゴム原料溶液に落とし込み、約半分のレベル位置まで粘着ゴム原料を充填する。粘着ゴム原料が入っていない側のＰＰパイプの口を指で密閉しつつ、静かに容器から引き上げ、ＰＰパイプの底部分に粘着ゴム原料が流出しないように割箸を削った外径約４ｍｍの栓をした。
その後、８５℃に設定した乾燥機内で約１時間粘着ゴムの硬化を行い、粘着ゴムが充填されたパイプスティックを得る。

次に、電動鉛筆削りにゴムを充填した方を先頭に差し込み、鉛筆を削る要領で粘着ゴム先端を円錐状に仕上げるように試みた。
しかしながら、無残にもＰＰパイプ部分は削れても粘着ゴム部は硬度３０°であるのと、粘着性が弊害となり、ゴムが引き千切れるとともに、円錐状に仕上げることができなかった。

そこで、粘着ゴムを硬化させればうまく行くと考え、ドライアイスを入手し、保温ケース内で約２時間放置した。予め裸のゴム棒のみをインジケーターとして保温ケース内に入れておき、ゴム硬度がどの位変化するかも観察した。ドライアイスにより保温ケース内の温度は−６０℃程度まで下がり、柔らかな粘着ゴム棒もそこそこ硬くなった。しかしながら、鉛筆のように少々の力では曲がらない硬度には成り得なかった。

今度は、手動式の鉛筆削りにより粘着ゴムを円錐状加工を試みたが、削り始めは粘着ゴムも硬いので円形に削れたが、直ぐ削り摩擦により温度上昇をきたし、約３０秒後には粘着ゴムの柔らかさに戻ってしまうため、鋭角な円錐状に仕上げることはとてもできなかった。
また、ＰＰパイプ内に充填済ゴムスティックを旋盤加工することも同時に試みたが、ゴム部を冷やそうが、結果は同様に鉛筆削りで削った鉛筆の如く、美しい鋭角な円錐状仕上げはできず、粘着ゴムでの機械加工は断念せざるを得なかった。

一方、ＰＰパイプ内に充填したゴムスティックのゴム充填部の先端を斜めにカット（完全に切り落とし）し、その後、先端よりさらに１５ｍｍ程の部位をカッターナイフにてＰＰパイプを回転させながら徐々に切り込み、粘着ゴムに到達する直前でカット作業を停止し、この切り込み部位を中心にＰＰパイプの両端を両手で掴み、折り曲げ動作と同時に左右に引っ張り合うと、カット位置でＰＰパイプのみがスルッと剥き落ち、粘着ゴム部が剥き出しとなった。この剥き出しとなった粘着ゴムで実際にゴミの付着テストを行ったところ、粘着性も保持され、充分塵埃除去具として使用できると判断できたと同時に金型を製作せずとも商品化の可能性があると判断できた。この事は、金型による成型加工時の離型剤による影響で、成形後の粘着ゴムの表面洗浄作業を省けるばかりでなく、離型剤成分が残存しない、粘着ゴム材料のみの真に純粋な粘着ゴムを製作できるヒントになった。

そこで、さらに細いＰＰパイプで第２回目の試作を行った。
内径２ｍｍ、外径４ｍｍのＰＰパイプを用い、前述と同様硬度３０°のウレタンゴムを充填硬化させ、ゴム充填スティック棒を製作後、同じく先端を斜め１５°程に切り落とし、先端から１０ｍｍ程度の部位にカッターナイフでカット溝を切り、その後折り曲げ、ゴム部の剥き出し作業を行ったところ、先端部分の方に全てのゴム棒が張り付き、引き抜かれ、ＰＰパイプ内は全く空状態となってしまった。

そこで、内径２ｍｍのＰＰパイプ内寸法に対し、径２．２ｍｍのドリルで内壁面の削り取りを行い、ＰＰパイプ内面に付着している離型剤・油分等の削り落としを行い、その後前述と同じ操作により粘着ゴムを充填、硬化成形をし、所定の位置をカッターナイフによりＰＰパイプのみの切り離し作業を行ったところ、今度は試作品の全てが先端部分のＰＰパイプが引き抜かれ、粘着ゴムの剥き出しに成功した。
試作した直径２．２ｍｍの粘着ゴムとＣＣＤカメラを用いて画像倍率約３０倍で観察し、ゴミ除去作業を実践してみたところ、直径２．２ｍｍの粘着ゴムでは、観察視野を遮り、観察の妨げになることがわかった。つまり、直径１ｍｍ以下の粘着ゴム棒を製作しない限り、顕微鏡観察レベルの極微細粒子の塵埃除去には適さないことがわかった。同時に、粘着ゴムの充填量も実際に使用する部分はＰＰパイプ先端から５ｍｍ程度なので全長で２０ｍｍ程度充填硬化形成を行えば充分であることもわかった。
さらに、スティック型塵埃除去具として、使い易い長さは全長９０〜１３０ｍｍ位が持ち易く操作に適していることもわかった。

しかしながら、例えば全長を１００ｍｍとし、先端部は粘着ゴムの剥き出し部分の長さ５ｍｍとした時、大きな２つの問題点が浮かび上がった。
１点目は、使用したスティック型塵埃除去具を廃棄する際、塵埃除去具全体を廃棄せざるを得ないので非常に不経済であるばかりでなく、ゴミの分量を増やすことになる。
２点目は、完成した塵埃除去具の収納の方法をどうするか、すなわち、どうやってクリーン性を保持するのかが使用目的の点から重大なポイントとなる。

１つの案としては、塵埃除去具の粘着ゴム部にキャップをすれば確かにクリーン性は維持できる。しかし、１本１本の塵埃除去具の先端にそれぞれキャップをすることにすると、使用後は塵埃除去具と同時にキャップも廃棄することとなり、これもゴミを増やす結果につながる。

そこで、これらを解決する手段として、実際にゴミ除去を行う粘着ゴム部と操作を行うための把手に相当する操作棒とを分離した構成とし、使用時には分離した構成部品を瞬時に連結ができる構造が望ましいと考えた。そうすることにより、操作棒は１本あれば何度も半永久的に使用可能なので廃棄を伴わない。一方、粘着ゴムはＰＰパイプの長さを必要最小限の長さまで短くし、収納も１本１本の収納ではなく、まとめて、例えば５０本や１００本の単位でケース内に保管すれば、１本毎のキャップも不要になるという考えに至った。

そこで、前記の点を踏まえて再度試作を行った。
先ず、ＰＰパイプの内径２ｍｍ、外径４ｍｍのパイプを長さ８０ｍｍにカットし、カットしたＰＰパイプの内壁を径２．２ｍｍのキリで削り落とした後、両端を両手で掴み、ＰＰパイプの中央部をガスバーナーで温め、ＰＰパイプが軟化した時点で両サイドに引き伸ばし、ＰＰパイプの中央部が外径２ｍｍ程度になったらバーナーを遠ざけ、風乾により固形化する（ガラス管を製作するのと同じ要領で行う）。そして、外径２ｍｍ程度に細くしたＰＰパイプ中央部のセンター位置にてカッターナイフでカットすることによって、短くなった２本の先端外径２ｍｍ〜４ｍｍの円錐状に近いＰＰパイプを得ることができた。

次に、根元外径が４ｍｍのＰＰパイプ端部、すなわち内径２．２ｍｍのＰＰパイプ内壁にハンダゴテを用いて、内径を広げる作業を行う。コテ先外径（コテ先の先端ではなく、コテ先の根元外径）が４〜６ｍｍ程度のハンダゴテをスライダックを通じ、表面温度９０℃前後に調節し、円錐状ＰＰパイプの内径２．２ｍｍの穴にゆっくりよじりながら差し込み、パイプ径が広がり、ＰＰパイプ外径が５ｍｍ以上になった時点でハンダゴテ電源を切ると同時に濡れタオルでＰＰパイプを冷やし、フランジ部を形成させる。
前述の作業によって得られた円錐状ＰＰパイプにゴム充填、硬化成形を行う。この際、ゴムの充填量は円錐の頂上から２０ｍｍ程度とした。
得られたゴム充填済みＰＰ円錐状スティックパイプの細い側の先端部を約１５°の角度にカッターナイフで切り落とした後、先端部から約６ｍｍの部位を、充填されているゴム材を傷つけないように注意しながらＰＰパイプの円周にカッターナイフで溝切り加工を施す。粘着ゴム部に到達する直前で切り込みを中止し、ＰＰパイプ両端部を両手でそれぞれ掴み、折り曲げると同時に先端ＰＰパイプ部のみの引き抜き操作を行い、粘着ゴムを剥き出し状態にした。なお、この試作ではゴム部直径は約１ｍｍにすることができた。

次に、ゴムが剥き出しとなった反対側の端部の内径寸法に合致する操作棒の製作を行う。
割箸の１本をカッターナイフで円形に削り出し、ＰＰパイプ内径に嵌合できるサイズに仕上げる。仕上げた後、仕上げた操作棒を前記工程で形成したツバ部内壁に嵌合し、一体化できることが確認できた。

次に、完成したスティック型塵埃除去具の収納ケースについて検討した。
先ず、スティック型塵埃除去具の固定プレートを以下の要領で試作した。
得られた塵埃除去具の全長は約５０ｍｍ（ツバ部を除くと約４０ｍｍ）なので、深さが５０ｍｍの蓋付きプラスチックケースを入手し、ケース本体の４辺の縁に、外寸を１ｍｍ段差を付けた位置をケース本体の内寸に合わせた厚さ５ｍｍのＰＰプレートを用意し、このプレートに縦・横１０ｍｍピッチで径４．５ｍｍの穴を開け、さらに試作した塵埃除去具のツバ部の外径寸法・形状に近いドリル用キリ（深さ約３．５ｍｍ）でテーパー加工を行い、塵埃除去具を差し込んだ際に塵埃除去具がガタつかないように工夫をした。

ケース本体に塵埃除去具差し込み用プレートを載せ、塵埃除去具のゴム部がプレート穴にほぼ内接するようにセットを行い、加工した操作棒の先端部を塵埃除去具のツバ部内径に差し込み嵌合し、取り出しテストを行ったところ、１本１本確実に取り出すことができた。

最後に、ケースに付属の蓋を載せたところ、確実に蓋が嵌合せず、結果的には入手したケースの選択ミスであったものの、ケース本体、スティック型塵埃除去具セットプレート及びケースの蓋の３点が全て確実に嵌合し、密閉状態が構築できるなら、顕微鏡観察レベルの極微細な異物除去用塵埃除去具として役立つ製品となることを確認することができた。

基本的な構成・構造並びに収納ケースを再び検討したところ、既存商品として研究用実験器具で液体を分取する際に用いるピペットチップ並びにピペットチップの収納ケースが本発明である塵埃除去具の材料として理想に近い形で存在することがわかった。
そこで、０〜２００μｌ用のピペットチップを用い、前述した粘着ゴムの充填・硬化成形、並びに先端カット・ゴム部剥き出し作業まで一連の製作操作を試みたところ、ほぼ同一の結果が得られ、このピペットチップを応用することにより、実用化のスピードアップと安価なコストでの製作ができることが確認できた。
但し、ピペットチップにもいろいろな形状の物があり、またインジェクション成形加工品のため、離型剤を洗い落とした洗浄品を採用しなくてはならない点とチップセットプレートの穴径が大きく、ガタツキがあり、塵埃除去具を収納した際、ゴム先端部同士がくっつく可能性がある。そのため、外蓋とピペットチップとの空間部にガタが生じないようにパッキングシートを新たに追加するなどの工夫が必要であることがわかった。

塵埃除去具の構造について説明する。
目に見える比較的大きな粒子の塵・埃の除去具として市販されている前記従来のペンシル型塵埃除去具は、操作棒と粘着ゴムとを個別に製作し、使用する際に粘着ゴムを操作棒に差し込んで接続したり、予め粘着ゴムをネジ切り台座に埋め込み、そのネジ切り部を同じく同じネジサイズの操作棒にオス・メス別々のネジ切りをしておき、両方をネジ込み接続することにより一体化させ、使用する部品構成である。

ところが、この構成であると、極微細粒子の除去目的を達成する以前の問題として塵埃除去用の粘着ゴム自体を手で掴み、操作棒に装着しなければならず、この装着操作を行う際に、既に手の汚れによるゴミの付着を伴ってしまう。かといって除去目的が顕微鏡観察レベルの極微細粒子の除去であることから、粘着ゴムの太さは観察視野を妨げないよう通常直径１ｍｍ以下が望まれる。
従って、直径１ｍｍ以下の柔らかな粘着ゴムを保持し、しかも実際の操作に支障を来たすことがない構成でなくてはならないことと、粘着ゴム表面がクリーンなゴム素材のみでなくてはならない。通常ゴム成形を行うには金型を使用したゴム成形が一般的な製造方法であるが、成形時には必ずといってよいほど、金型内壁にシリコン系、あるいはフッ素系の離型剤の塗布を行う。プラスチック成形の場合は、成形後の離型剤の除去が比較的容易にできるが、ゴム成形の場合は、この離型剤の除去を完全に行うことは困難で、特に極細の粘着ゴムに付着してしまった離型剤を完全に取り除くことは不可能に近い。従って、ゴム部の形成手段として金型を使って成形する方法は避けなくてはならないから、その解決手段として、一旦プラスチック製の極細パイプ内で一切離型剤を用いずに粘着ゴム３を成形し、一方の先端部を先端から３〜５ｍｍ程度の部位にてＰＰパイプ部分のみを切り落とし、ゴム部を剥き出しにすることで粘着ゴム３の塵埃除去の主作用部を形成せしめる。一方のＰＰパイプ端末部に別途用意した操作棒８と嵌合可能な寸法形状に形成したオス・メスどちらか一方の嵌合部を設け、粘着ゴム３に触れることなく、簡単に操作棒８を接続可能とした点にある。

さらに、前述の課題を解決するための本発明の第４発明は、先端部を剥き出しにした粘着ゴム３のもう片方の末端部を操作棒８が嵌合できる構成にし、例え先端の粘着ゴム３に触れずとも、ＰＰパイプのどこかの部分を掴まないと操作棒８に装着することは不可能であることを解決したものである。
これは、手で塵埃除去具１の一部を掴むことすら使用目的から避けることが好ましい。同時に剥き出しとなっているこの粘着ゴム部が使用直前までクリーン性を維持することが重要で、器物や収納ケース６に接触するようなことがあってはならない。
そこで、請求項４に記載した本願発明である塵埃除去具１に用いるプラスチック製極細パイプの粘着ゴム３と反対側の一方には操作棒８が嵌合しうる内径を有し、尚且つ極細パイプの外径寸法より更に太いツバ部１０を形成することにより、ＰＰパイプにも手を触れることなく、しかも粘着ゴム部が他の器物に接触汚染されることがない構成が可能となった。
但し、本ツバ付き形状の塵埃除去具１の収納、取出し用ケースとして、図２、図３に示す専用の収納ケース６が必要であることはいうまでもない。

ここで、本発明の最良の実施例を図１〜図３に基づいて説明すると、図１で示すように、研究用実験器具で、液体を分取する際に用いるピペットチップ２を用意する。このピペットチップ２｛図１（Ａ）参照｝は、合成樹脂製の先細で内径断面形状が円錐形のスポイト状のものであれば、置き換えることができることはいうまでもないが、現在市販されているピペットチップ２を採用すれば安価に製作できるものである。
次に、粘着ゴム３としてウレタンゴムの２液混合タイプの原料を所定の比率で混ぜ合わせ、ゴム硬度を３０°になるように調製し、混合ゴム原料を容器に移し、その容器を真空脱泡器内で脱気を行い、ゴム原料中の空気を追い出し、用意したピペットチップ２を静かにゴム原料溶液に落し込み、約半分のレベル位置まで粘着ゴム原料を充填し｛図１（Ｂ）参照｝、粘着ゴム原料が入っていない側のピペットチップ２の口を密閉しつつ、静かにゴム原料溶液の入った容器から引き上げ、ピペットチップ２の先細の先端部の開口部を粘着ゴム原料が流出しないように栓をし、その後乾燥し、粘着ゴム３を硬化させる。この粘着ゴム３が充填されたピペットチップ２の先端を鋭利状態にカットすることで先端に鋭利なカット部１１を形成し｛図１（Ｃ）参照｝、ピペットチップ２に略半部程充填されている粘着ゴム３は残すように、ピペットチップ２の先細の先端（粘着ゴム３が充填されている側）位置である図示のカット部５付近でカットし｛図１（Ｄ）参照｝、極細になった粘着ゴム先端部４を剥き出し状態にするものである。
こうして得られた先細の粘着ゴム３を持った塵埃除去具１を、ピペットチップ収納ケース６に収納する（図２参照）。
このピペットチップ２を収納の際、図２、図３に示すような収納ケース６の中蓋７に穿設された孔９に挿入して収納するが、ピペットチップ２の粘着ゴム３の充填されていない側に収納ケース６の中蓋７に穿設された孔９より大きいツバ部１０を設けてあることによって、ピペットチップ２の嵌合部に操作棒８を嵌合させて押し付け、力を加えてもツバ部１０で中蓋７に係止され、押し下げられることがなく、収納ケース６の底１２等に触れることがないものである。なお、１３は外蓋である。
なお、不飽和化合物の重合または共重合によって作られる粘着ゴムに導電材料を添加して導電性を有するようにしたポリウレタンゴムや、ブチルゴム、シリコンゴムによって形成することも考えられる。

次に、図４、図５に基づいて、必要な粘着ゴム３の径を選択できるように適宜複数の径のうちから選択することができるようにした好都合な実施例を説明する。
図４、図５に示すように、ピペットチップ２の外周面に予め粘着ゴム３を剥き出し易くするための複数の円周切り溝、例えば４本のＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを形成しておく。
この円周切り溝Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄは、ピペットチップ２内に充填形成した粘着ゴム３を残して、ピペットチップ２のパイプ内径寸法のギリギリまで円周切り溝Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄをピペットチップ２の先端部から根元間に複数形成（図４参照）することで、例えば、円周切り溝Ａ部で切り落とし作業を行い、円周切り溝Ｂ部の切り溝を中心に折り曲げ動作と共に、粘着ゴム３の剥き出し操作を行うことにより、円周切り溝Ｃ部で切り落とし作業を行い、円周切り溝Ｄ部の切り溝を中心に折り曲げ動作と共に、粘着ゴム３の剥き出し操作により得られる粘着ゴム３のゴム径より太い粘着ゴム３を得ることができる。
すなわち、ピペットチップ２長の任意の長さ寸法でカットすることにより、ゴム径の違う粘着ゴム棒が得られるので、使用目的に合った粘着ゴムの太さにすることが可能である。

以上のような構成を採用することにより、電子デバイス・オプトデバイスの微細化、緻密化に伴い、極微細な異物粒子（俗にいうゴミ）の存在による大きな障害、さらに、この極微細な異物粒子を除去する除去具自体の「クリーン度の維持」が要求されていることを解決した。
粘着ゴム３の成形に金型・離型剤を全く使用しなくてもでき、さらに粘着剤、顔料、その他の添加剤等を一切配合しないで成形でき、しかも、本願発明の塵埃除去具１の先端である粘着ゴム３は収納ケース６内部に触れることなく収納でき、また取り出しは専用の操作棒８を塵埃除去具１の粘着ゴム３とは反対側の係合部に差し込むことで、直接手に触れることなく交換ができるものである。
本願発明の塵埃除去具１は、純水洗浄、クリーンパック処理を施すことができ、基本的にはディスポーザブルタイプ（使い捨て）であるが、再度洗浄することでリユースすることができるものである。

また、市販されている粘着ゴムの大半はゴミの付着が確認をし易いように淡青色、淡緑色、淡灰色等を呈するように顔料の添加を行ったものを採用している。しかし、一方ではその顔料の存在が好ましくなく、無添加の透明なものの方がよいとの考えもある。

目視検査では確認が困難な各種精密機器に使用される電子部品等を搭載した電子基板等の製品に存在する異物の除去を行う塵埃除去具として利用できものである。

本発明の実施例である塵埃除去具の製作工程を示す説明正面図である。本発明の塵埃除去具を収納保管する収納ケースに塵埃除去具を収納し、外蓋を被せた状態を示す断面図である。本発明の塵埃除去具を収納保管されている収納ケースから操作棒で取り出す様子を示す断面図である。本発明の塵埃除去具の極細パイプとして、ピペットチップを使用して粘着ゴム径の違う複数種の粘着ゴムを得るための説明図である。図４のａで示す円周切り溝の断面部分拡大図である。

１・・・・塵埃除去具２・・・・ピペットチップ
３・・・・粘着ゴム４・・・・粘着ゴム先端部
５・・・・カット部６・・・・収納ケース
７・・・・中蓋８・・・・操作棒
９・・・・孔１０・・・・ツバ部
１１・・・・カット部１２・・・・底
１３・・・・外蓋
Ａ・・・・円周切り溝Ｂ・・・・円周切り溝
Ｃ・・・・円周切り溝Ｄ・・・・円周切り溝

Claims

先端側を引き伸ばして細くしたプラスチック製パイプ内に粘着ゴム材料を、前記パイプ全長の先端側に充填して乾燥硬化し、粘着ゴム充填側を粘着ゴムを残して前記パイプ先端部を切り落とし、粘着ゴムを剥き出しにし、他方側を予め用意した塵埃除去具を把持しながら操作できる操作棒を差し込み嵌合できる形状にしたことを特徴とする塵埃除去具。
内径が先端に行くに従って細くなったスポイト形状のプラスチック製パイプ内に粘着ゴムを、前記パイプ全長の先端側に充填して乾燥硬化し、粘着ゴム充填側を粘着ゴムを残して前記パイプ先端部を切り落とし、粘着ゴムを剥き出しにし、他方側を予め用意した塵埃除去具を把持しながら操作できる操作棒を差し込み嵌合できる形状にしたことを特徴とする塵埃除去具。
プラスチック製パイプ内、あるいはスポイト形状のプラスチック製パイプ内に粘着ゴムを、前記パイプ全長のほぼ９０％を充填して乾燥硬化し、パイプ外周部に粘着ゴム充填側を粘着ゴムを残して、パイプ内径寸法のギリギリまで円周切り溝を先端部から根元間に数ヶ所予め施し、任意の粘着ゴム径が得られるようにしたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の塵埃除去具。
塵埃除去具の剥き出した粘着ゴムとは反対側の塵埃除去具を把持しながら操作できる操作棒が嵌合できる嵌合部に前記操作棒を差し込み嵌合させる押し付け力が加えられても、別途準備された塵埃除去具収納架台にセットされた塵埃除去具が移動しないように、塵埃除去具の外径にツバ部を形成したことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の塵埃除去具。