JP4673213B2 - Micro valve unit - Google Patents
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Description
本発明は、微細な流路(マイクロ流路)の開閉を行うマイクロバルブユニットに関し、詳しくは、複数のバルブに対して同時に開閉制御することで、マイクロ流路内を流れる流体の送液制御を行うマイクロバルブユニットに関する。 The present invention relates to a microvalve unit that opens and closes a fine flow path (micro flow path), and more specifically, by controlling opening and closing of a plurality of valves at the same time, liquid feeding control of fluid flowing in the micro flow path is performed. It relates to the microvalve unit to be performed.
近年、Lab−on−a−Chip、マイクロリアクターチップ等と呼ばれる小型分析システムの開発が盛んに行われている。これは、流路や反応槽、バルブ、センサ等の要素構造を小さな基板(チップ)に集積した構成であり、この内部に流れる気体や液体状の試料に対して分析処理を行うものである。このような小型分析システムの一例として、樹脂製チップ内に設けられた微細な流路に血液を流し、臨床検査を行うバイオチップが挙げられる(例えば、非特許文献1参照。)。このような小型分析システムを用いると、少量の試料で高速に分析を行うことができることから、試料を提供する側の負担を少なくすることができる。このため、特に生体への応用が注目を集めている。 In recent years, development of small analysis systems called Lab-on-a-Chips, microreactor chips, and the like has been actively conducted. This is a configuration in which element structures such as flow paths, reaction vessels, valves, sensors, and the like are integrated on a small substrate (chip), and an analysis process is performed on a gas or liquid sample flowing in the inside. An example of such a small analysis system is a biochip that conducts a clinical test by flowing blood through a fine flow path provided in a resin chip (see, for example, Non-Patent Document 1). When such a small analysis system is used, the analysis can be performed at a high speed with a small amount of sample, so that the burden on the side providing the sample can be reduced. For this reason, application to a living body is attracting attention.
この小型分析システムの構成要素の一つとして、チップに内蔵された小型のバルブ(マイクロバルブ)が提案されている。一例を挙げると、電極間の静電力で弾性薄膜を変形させ、流路を開閉する技術(特許文献1参照。)、チップ外に設置したアクチュエータで流路の一部を押しつぶして、流路を開閉する技術(特許文献2参照。)等が知られている。このようなマイクロバルブを用いると、チップ内で試料の流れを制御できることから、試料を意図したタイミングでセンサに導くことができる。 As one of the components of this small analysis system, a small valve (microvalve) built in the chip has been proposed. For example, the elastic thin film is deformed by the electrostatic force between the electrodes to open and close the flow path (see Patent Document 1), and a part of the flow path is crushed by an actuator installed outside the chip. A technique for opening and closing (see Patent Document 2) and the like are known. When such a microvalve is used, the flow of the sample can be controlled in the chip, so that the sample can be guided to the sensor at an intended timing.
しかし、小型分析システムの分野では、近年、上記のような単純な開閉制御だけではなく、より高度な流体制御が求められている。例えば、一つのシステムに対し多種の試料を供給し、任意の順序で試料をセンサに送液し、分析を行うことが求められる。これを実現するには、多種の試料の中から特定の試料のみをセンサに送液する切り替え制御工程や、試料同士が混合することなく、特定の試料をセンサに送液する制御工程等が必要とされる。 However, in the field of small analysis systems, in recent years, not only simple opening / closing control as described above but also more advanced fluid control is required. For example, it is required to supply various samples to one system, send the samples to the sensor in an arbitrary order, and perform analysis. To achieve this, a switching control process that sends only a specific sample to the sensor from a variety of samples, a control process that sends a specific sample to the sensor without mixing the samples, etc. are required. It is said.
このような高度な流体制御を実現するためには、複数の流路と、この流路の動きを制御する多数のマイクロバルブが必要になる。そこで、小型構成を維持すると共に、高密度に配置した多数のマイクロバルブを、個別に精度よく制御する必要があった。
しかしながら、前述のマイクロバルブを高密度に配置すると、前者のマイクロバルブは隣り合う電極同士が干渉するため、意図した動作ができなくなる。また、後者はひとつのマイクロバルブに対し、バルブ駆動用のアクチュエータがひとつ必要となる。アクチュエータのサイズとその発生力はほぼ比例関係にあることから、発生力を維持したまま、複数のアクチュエータを小型化し、高密度に配置することは難しく、ひいてはマイクロバルブを高密度に配置できないという問題があった。 However, if the above-described microvalves are arranged at high density, the former microvalves cannot perform intended operations because adjacent electrodes interfere with each other. In the latter case, one actuator for driving the valve is required for one microvalve. Since the size of the actuator and the generated force are almost proportional to each other, it is difficult to downsize multiple actuators while maintaining the generated force, making it difficult to place them at high density, and in turn, to place microvalves at high density. was there.
そこで、本発明は、小型で、かつ高密度に配置された複数のマイクロバルブを個別に制御できるマイクロバルブユニットを提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a microvalve unit that is small and can individually control a plurality of microvalves arranged at high density.
本発明は、前記目的を達成するために、流路内の流体の流れを制御するマイクロバルブユニットであって、複数の分岐流路が結合して形成された前記流路と、前記分岐流路中に設けられるとともに、外部からの押圧力により前記分岐流路の開閉を行うバルブとからなる流路チップと、凸形状もしくは凹形状に形成された端面を有し、かつ前記端面が前記バルブに押圧力を与える加圧部を有するとともに、前記端面を移動させることにより所望の前記バルブの開閉を行う駆動手段と、からなることを特徴とするマイクロバルブユニットを提供する(第一の構成)。 In order to achieve the above object, the present invention is a microvalve unit for controlling the flow of fluid in a flow path, wherein the flow path is formed by combining a plurality of branch flow paths, and the branch flow path A flow path chip comprising a valve that opens and closes the branch flow path by an external pressing force, and has an end surface that is formed in a convex shape or a concave shape, and the end surface is connected to the valve. There is provided a microvalve unit characterized by comprising a pressurizing section for applying a pressing force and a driving means for opening and closing a desired valve by moving the end face (first configuration).
第一の構成において、前記バルブが円弧状に配置され、かつ前記加圧部も前記バルブの配置に対応するように円弧状に形成された前記端面を有し、前記駆動手段の駆動により前記加圧部の前記端面が前記バルブの配置方向に回転して前記バルブの開閉を行うことを特徴とするマイクロバルブユニットを提供する(第二の構成)。 In the first configuration, the valve is arranged in an arc shape, and the pressurizing portion also has the end surface formed in an arc shape so as to correspond to the arrangement of the valve, and is driven by the driving means. A microvalve unit is provided in which the end face of the pressure part rotates in the valve arrangement direction to open and close the valve (second configuration).
第一の構成において、前記バルブが一直線状に配置され、かつ前記加圧部も前記バルブの配置に対応するように直線状に形成された板状の前記端面を有し、前記駆動手段の駆動により前記加圧部の前記端面が前記バルブの配置方向に移動して前記バルブの開閉を行うことを特徴とするマイクロバルブユニットを提供する(第三の構成)。 In the first configuration, the valve is arranged in a straight line, and the pressurizing portion also has the plate-like end face formed in a straight line so as to correspond to the arrangement of the valve, and the driving of the driving means Thus, the microvalve unit is provided in which the end face of the pressurizing portion moves in the valve arrangement direction to open and close the valve (third configuration).
第二もしくは第三の構成において、前記バルブは、前記分岐流路中に設けられた弁室と該弁室の側壁を構成する弾性変形膜とからなり、前記弾性変形膜が前記加圧部の前記端面による前記押圧力を受けて初期状態から変形することにより前記分岐流路の遮断を行い、また前記押圧力が排除された場合、前記弾性変形膜が前記初期状態に復帰することにより前記分岐流路が開口することを特徴とするマイクロバルブユニットを提供する(第四の構成)。
第四の構成において、前記分岐流路は複数の短流路からなり、第一の前記短流路と前記弾性変形膜に垂直な前記弁室の一面とが接続され、第二の前記短流路と前記弾性変形膜と対向する前記弁室の一面とが接続されることで、前記分岐流路と前記バルブとを接続することを特徴とするマイクロバルブユニットを提供する(第五の構成)。
In the second or third configuration, the valve includes a valve chamber provided in the branch flow path and an elastic deformation film constituting a side wall of the valve chamber, and the elastic deformation film is provided in the pressurizing portion. The branch flow path is blocked by receiving the pressing force by the end face and deforming from the initial state, and when the pressing force is eliminated, the elastic deformation film returns to the initial state to thereby branch the branching. Provided is a microvalve unit characterized by opening a flow path (fourth configuration).
In the fourth configuration, the branch flow path includes a plurality of short flow paths, the first short flow path and one surface of the valve chamber perpendicular to the elastic deformation film are connected, and the second short flow Provided is a microvalve unit characterized in that the branch channel and the valve are connected by connecting a path and one surface of the valve chamber facing the elastic deformation membrane (fifth configuration) .
本発明のマイクロバルブユニットによると、ひとつのアクチュエータで高密度に配置された複数のマイクロバルブを個別に制御できるため、マイクロバルブが設けられた流路チップ内に流れる多種の試料に対して複雑な流体制御が行えると同時に、流路チップの小型構成を維持することが可能になる。 According to the microvalve unit of the present invention, since a plurality of microvalves arranged at high density can be individually controlled by a single actuator, it is complicated for various types of samples flowing in a channel chip provided with microvalves. At the same time as fluid control can be performed, it is possible to maintain a small configuration of the flow path chip.
以下、本発明について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の実施の形態により本発明が限定されるものではない。
(実施の形態1)
図1に本発明のマイクロバルブユニット100を、図2にマイクロバルブユニット100の構成要素である流路チップ1の構造を示す。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, this invention is not limited by the following embodiment.
(Embodiment 1)
FIG. 1 shows a
本発明のマイクロバルブユニット100は、流路チップ1と駆動手段6から構成されている。
The
まず、流路チップ1について説明する。流路チップ1は、例えばガラスとシリコーン樹脂(ポリジメチルシロキサン、以下PDMSと記す。)などを積層した複合材からなる筐体部材により構成されており、この筐体部材内に各種の構成要素が形成されている。なお、駆動手段6と対向する流路チップ1の面はシリコーン樹脂などの弾性素材で構成されていることが望ましい。流路チップ1の外寸は、長さ(図1・水平方向)が20〜100[mm]程度、幅が10〜20[mm]程度、厚さが数[mm]程度である。
First, the
流路チップ1の内部には、三つの分岐流路10a、10b、10cが設けられ、これらの端部が一ヶ所で接続されて一つの流路を形成している。分岐流路10a、10b、10cは、短流路11a、11b、11cと、短流路11a、11b、11cの端部に設けられた弁室14a、14b、14cと、弁室14a、14b、14cの一面に設けられた弾性膜15a、15b、15cと、弾性膜15a、15b、15cと対向する弁室14の側面に接続された短流路12a、12b、12c、短流路12a、12b、12cと垂直に接続された短流路13a、13b、13cから構成されている。このような構成の3つの分岐流路10a、10b、10cは、短流路13a、13b、13cの一端部が一カ所で接続され、また、短流路11a、11b、11cの他端部は穴31a、31b、31cとそれぞれ接続されている。穴31a、31bは、流路チップ1の外部からそれぞれの短流路11a、11bに溶液を導くものであり、穴31cはこれらの溶液を流路チップ1の外部に排出するものである。本実施の形態では、穴31cの側から溶液を吸引することにより、穴31aもしくは穴31bから溶液が供給されるように構成した。なお、穴31a、31bの側にポンプを設置して、溶液を流路チップ1に供給することも可能である。
Three branch flow paths 10a, 10b, and 10c are provided inside the
駆動手段6は、加圧部61と、加圧部61に接続されたステッピングモータ62と、ステッピングモータ62に固定されたガイド63およびバネ64から構成されている。
加圧部61は一端が塞がれた略円筒形状で、他端は円周方向に沿って凹凸構造が形成されている。この凹凸構造を有する端部が流路チップ1に接するよう設置されている。加圧部61と、これと接続されたステッピングモータ62とは、ガイド63により流路チップ1の厚さ方向のみに運動が規定され、さらに、バネ64により、加圧部61が流路チップ1に対して加圧接触するように固定されている。
The driving means 6 includes a
The pressurizing
次に、流路を開閉する構造について図3を用いて説明する。図3では図2で説明した3分岐流路のうちのひとつの分岐流路を例として説明するが、他の分岐流路も同様な構成となっている。分岐流路10aに設けられた弾性膜15aは、外力が加わらなければ、図3(a)に示すように平坦な形状である。そのため、短流路11aと短流路12aとの間はつながった状態(開状態)である。ここで弾性膜15aを加圧部61が加圧すると、図3(b)に示すように、弾性膜15aが変形する。このため、短流路11aと短流路12aの間が遮断した状態(閉状態)となる。
Next, a structure for opening and closing the flow path will be described with reference to FIG. In FIG. 3, one of the three branch channels described in FIG. 2 is described as an example, but the other branch channels have the same configuration. The elastic film 15a provided in the branch flow path 10a has a flat shape as shown in FIG. 3A if no external force is applied. Therefore, the short flow path 11a and the short flow path 12a are connected (open state). Here, when the pressurizing
ここで、3つの弾性膜15a、15b、15cの上に加圧部61を配置する。なお、加圧部61端部の円周は、弾性膜15a、15b、15cの配置から導かれる一つの円の円周とほぼ一致する。ステッピングモータ62が加圧部61を回転させ、加圧部61に設けられた凹凸構造を流路チップ1に対して位置決めする。加圧部61の凸部分(図4(a)に図示)が、バネ64により弾性膜15aを加圧する。加圧された弾性膜15aのみが変形し、分岐流路10aのみが閉状態となる。このため、流路チップ1内では、分岐流路10b、10cが開状態となり、試料を穴31bから、穴31cへと流すことが可能となる。また、加圧部62を回転させ、凸部分で弾性膜15bを加圧すると(図4(b)参照)、分岐流路10bのみが閉状態となり、試料を穴31aから穴31cへと流すことが可能となる。なお、位置決め動作は、ステッピングモータ62の駆動信号のみで可能であるが、ロータリーエンコーダーを加圧部61に付加すれば、より高度の位置決めが可能となる。
Here, the
したがって、加圧部61の回転位置決めのみで、分岐流路の開閉が可能であり、任意の二分岐流路に対して試料の流れを制御できる。また、駆動手段一つで複数の分岐流路を開閉できることから、バルブを高密度配置し、流路チップの小型化が可能となる。
Therefore, the branch channel can be opened and closed only by rotational positioning of the pressurizing
(実施の形態2)
図5に本発明のマイクロバルブユニット200を、図6にマイクロバルブユニット200の構成要素である流路チップ2の構造を示す。
(Embodiment 2)
FIG. 5 shows the
なお、前述の実施の形態1と機能が共通する部分には同一符号を付し、その説明は割愛する。
In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the part which has the same function as
本発明のマイクロバルブユニット200は、流路チップ2と駆動手段26から構成されている。
まず、流路チップ2について説明する。流路チップ2の内部には、三つの分岐流路10a、10b、10cと短流路16が設けられている。分岐流路10a、10b、10cは、短流路11a、11b、11cと、短流路11a、11b、11cの端部に設けられた弁室14a、14b、14cと、弁室14a、14b、14cの一面に設けられた弾性膜15a、15b、15cと、弾性膜15a、15b、15cと対向する弁室14a、14b、14cの側面に接続された短流路12a、12b、12c、短流路12a、12b、12cと垂直に接続された短流路13a、13b、13cから構成されている。このような構成の3つの分岐流路10a、10b、10cは、短流路13a、13b、13cの端部が一カ所で接続され、短流路16と接続している。
また、短流路11a、11b、11cの他端部は穴31a、31b、31cとそれぞれ接続されている。また短流路16の他端部も穴31dと接続されている。穴31a、31b、31cは、流路チップ2の外部から短流路11a、11b、11cそれぞれに溶液を導くものであり、穴31dはこれらの溶液を流路チップ2の外部に排出するものである。
The
First, the
The other ends of the short flow paths 11a, 11b, and 11c are connected to the
駆動手段26は、加圧部261と、加圧部261に接続された直動アクチュエータ262と、直動アクチュエータ262に固定されたガイド263から構成されており、加圧部261の端部が流路チップ2に対して加圧接触するよう設置されている。加圧部261は板状であり、流路チップ2と接触する端部には欠けのある構造である。直動アクチュエータ262と加圧部261は、固定されたガイド263により、流路チップ2に対して水平方向(図5中、X方向)の一方向に運動を規定している。直動アクチュエータ262は加圧部261を移動させ、加圧部261端部に設けられた欠けの位置を、流路チップ2に対して位置決めすることができる。位置決め動作は、直動アクチュエータ262の駆動信号のみでも可能であるが、エンコーダーを加圧部261に付加すれば、より高度の位置決めが可能となる。
The driving
ここで、一直線上に配置された3つの弾性膜15a、15b、15c上に加圧部261を配置する。加圧部261の凸部分(図7(a)に図示)が、弾性膜15a、15bを加圧する。加圧された弾性膜15a、15bが変形し、分岐流路10a、10bが閉状態となる。このため、流路チップ2内では、分岐流路10cが開状態となり、試料を穴31cから、穴31dへと流すことが可能となる。また、加圧部262を移動させ、凸部分で弾性膜15b、15cを加圧すると(図7(b)参照)、分岐流路10aのみ開状態となり、試料を穴31aから穴31dへと流すことが可能となる。
Here, the pressurizing
したがって、加圧部261の位置決めのみで、分岐流路の開閉が可能であり、任意の分岐流路に対して試料の流れを切替制御できる。また、駆動手段一つで複数の分岐流路を開閉できることから、バルブを高密度配置し、流路チップの小型化が可能となる。
Therefore, the branch channel can be opened and closed only by positioning the
また、図8に示すように、マイクロバルブユニット200’を、流路チップ2’と駆動手段26、押圧ユニット27から構成することもできる。流路チップ2’は、短流路16上に弾性膜15dおよび弁室を設け、弾性膜15dを加圧変形させることで、短流路16を開閉する。このため、分岐流路10a、10b、10cから短流路16に至る流れを一括制御することができる。弾性膜15dを加圧変形させる押圧ユニット27の構造について説明する。押圧ユニット27は、図9に示すように、ステッピングモータ271が搭載されたハウジング272と、ネジ溝が形成されたステッピングモータ271の回転軸に接続されたワッシャ273、ワッシャ273にネジで固定された可動部274からなっている。可動部274にはシャフト275が固定され、さらにバネ276を介して押圧部277が支持されている。押圧ユニット27は、ステッピングモータ271の回転軸の回転を、ワッシャ273とシャフト275により可動部274の上下動に変換する。可動部274が降下すると、押圧部277が弾性膜15dにより押し上げられ、バネ276が圧縮する。この時、バネ276の反発力が弾性膜15dを加圧する力となり、短流路16を閉にすることができる(図11(a)参照。)。可動部274が上昇すると、押圧部277と弾性膜15dが接触しなくなり、短流路16は開になる(図11(b)参照。)。このように、ステッピングモータ271の回転制御のみで、短流路16の開閉を行うことが可能となる。なお、押圧部277のD面と可動部274との間で、電気的な導通を観察する回路を設けておくと、電気的導通状態で短流路16が開、短絡状態で短流路16が閉と知ることができ、流路の開閉を検知することができる。このような構成とすることで、例えば、緊急停止時に押圧ユニットの動作のみで一括して送液停止状態にすることが可能となる。
Further, as shown in FIG. 8, the
また、図10に示すように、流路チップ2’’からマイクロバルブユニットを構成することができる。流路チップ2’’は、前述の流路チップ2の上面に硬質樹脂製のガイド板3を設けた構成となっている。ガイド板3は2体からなり、弾性膜15a、15b、15cを含む直線状の領域を除いて設置している。駆動手段26の加圧部261は、流路チップ2’’のガイド板3を設けていない領域に沿って直動し、各々の弾性膜15a、15b、15cを加圧することになる。このため、加圧部261はガイド板3の側面により動きを規定されるため、正確な動作ができる。同時に、流路チップ2’’上面はガイド板3により硬い構成となるため、大きな固定力を設定することができ、流路チップ2’’を確実に固定することが可能となる。なお、ガイド板3を用いた構成は、実施の形態1で述べた流路チップ1も同様の構成をとることが可能である。
Further, as shown in FIG. 10, a microvalve unit can be constituted by the flow path chip 2 ''. The
1、2 流路チップ
3 ガイド板
6、26 駆動手段
10 分岐流路
11、12、13、16 短流路
14 弁室
15 弾性膜
27 押圧ユニット
31 穴
61、261、277 加圧部
62 ステッピングモータ
63、263 ガイド
64 バネ
100、200 マイクロバルブユニット
262 直動アクチュエータ
DESCRIPTION OF
Claims (5)
複数の分岐流路が結合して形成された前記流路と、
前記分岐流路中に設けられ、外部からの押圧力により前記分岐流路の開閉を行うバルブとからなる流路チップと、
凸形状もしくは凹形状に形成された端面と、
前記端面が前記バルブに押圧力を与える加圧部と、
前記端面を移動させることにより所望の前記バルブの開閉を行う駆動手段とを有し、
前記端面側に接し、前記加圧部を前記バルブの配置に沿って案内するように形成されたガイド部とを有することを特徴とするマイクロバルブユニット。 A micro valve unit for controlling the flow of fluid in a flow path,
The flow path formed by combining a plurality of branch flow paths;
A flow path chip that is provided in the branch flow path and includes a valve that opens and closes the branch flow path by an external pressing force;
An end face formed in a convex shape or a concave shape;
A pressurizing part in which the end face applies a pressing force to the valve;
And a driving means for opening and closing the desired the valve by moving the end face,
A microvalve unit comprising: a guide portion that is in contact with the end face side and is formed so as to guide the pressurizing portion along the arrangement of the valve.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102448611A (en) * | 2009-05-29 | 2012-05-09 | 西门子公司 | Device and method for controlling fluid flows in lab-on-a-chip systems and method for producing said device |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101638941B1 (en) * | 2014-09-15 | 2016-07-12 | 울산과학기술원 | Microfluidic device and control system for the same |
JP6684814B2 (en) * | 2015-09-28 | 2020-04-22 | 株式会社日立ハイテク | Flow channel module and cell culture device using the same |
WO2018030253A1 (en) * | 2016-08-08 | 2018-02-15 | 株式会社エンプラス | Fluid handling device, fluid handling method, and flow path chip |
JP6981762B2 (en) * | 2016-08-08 | 2021-12-17 | 株式会社エンプラス | Fluid handling device and fluid handling method |
KR101925914B1 (en) * | 2017-06-19 | 2018-12-06 | 김건무 | Multi-integrated container |
JP2019105560A (en) * | 2017-12-13 | 2019-06-27 | 株式会社エンプラス | Valve opening/closing device and method of opening/closing valve |
JP2019132775A (en) * | 2018-02-01 | 2019-08-08 | 株式会社エンプラス | Fluid handling device |
JP2019144164A (en) | 2018-02-22 | 2019-08-29 | 株式会社エンプラス | Fluid handling device |
US20210148944A1 (en) * | 2018-03-22 | 2021-05-20 | Nikon Corporation | Fluidic device and system |
JP2019173802A (en) | 2018-03-27 | 2019-10-10 | 株式会社エンプラス | Fluid handling device and fluid handling system |
JP2019174375A (en) * | 2018-03-29 | 2019-10-10 | 株式会社エンプラス | Fluid handling device and fluid handling system |
JP2020006348A (en) * | 2018-07-12 | 2020-01-16 | 株式会社エンプラス | Fluid handling device and fluid handling system |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0183972U (en) * | 1987-11-26 | 1989-06-05 | ||
US5095931A (en) * | 1989-12-21 | 1992-03-17 | Ryu Kawabe | Method and apparatus for opening and closing multi-way valve |
JP2000508058A (en) * | 1995-12-18 | 2000-06-27 | ニューカーマンズ、アーモンド、ピー | Microfluidic valve and integrated microfluidic system |
JP2002228033A (en) * | 2001-02-05 | 2002-08-14 | Olympus Optical Co Ltd | Separation type micro valve |
JP2004270935A (en) * | 2003-02-19 | 2004-09-30 | Kawamura Inst Of Chem Res | Micro fluid element, pressing mechanism, and flow rate adjusting method |
JP2004291187A (en) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Shimadzu Corp | Electrostatic micro valve and micro pump |
JP2005147957A (en) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Shimadzu Corp | Microchip for mass spectrometry and mass spectrometer using the same |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4323707Y1 (en) * | 1967-12-06 | 1968-10-07 | ||
DE2752549A1 (en) * | 1977-11-24 | 1979-06-07 | Boehringer Mannheim Gmbh | VALVE FOR THE CONTROL OF FLOW MEDIA |
JPS59127971U (en) * | 1983-02-17 | 1984-08-28 | アルバツクサ−ビス株式会社 | sampling valve |
FI840846A0 (en) * | 1984-03-02 | 1984-03-02 | Labsystems Oy | VENTILANORDNING |
JPH07145874A (en) * | 1993-11-25 | 1995-06-06 | Matsushita Electric Works Ltd | Exhauster |
-
2005
- 2005-12-28 JP JP2005377738A patent/JP4673213B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0183972U (en) * | 1987-11-26 | 1989-06-05 | ||
US5095931A (en) * | 1989-12-21 | 1992-03-17 | Ryu Kawabe | Method and apparatus for opening and closing multi-way valve |
JP2000508058A (en) * | 1995-12-18 | 2000-06-27 | ニューカーマンズ、アーモンド、ピー | Microfluidic valve and integrated microfluidic system |
JP2002228033A (en) * | 2001-02-05 | 2002-08-14 | Olympus Optical Co Ltd | Separation type micro valve |
JP2004270935A (en) * | 2003-02-19 | 2004-09-30 | Kawamura Inst Of Chem Res | Micro fluid element, pressing mechanism, and flow rate adjusting method |
JP2004291187A (en) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Shimadzu Corp | Electrostatic micro valve and micro pump |
JP2005147957A (en) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Shimadzu Corp | Microchip for mass spectrometry and mass spectrometer using the same |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102448611A (en) * | 2009-05-29 | 2012-05-09 | 西门子公司 | Device and method for controlling fluid flows in lab-on-a-chip systems and method for producing said device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007085537A (en) | 2007-04-05 |
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