JP4663590B2 - Peak position variation measuring apparatus, measuring method and program thereof - Google Patents

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Description

本発明は、ピーク位置変動量測定装置、その測定方法及びプログラムに関し、より詳細には、分光分析によるデータ解析及び生化学研究において使用される生体分子相互作用測定に用いられるピーク位置変動測定量装置、その測定方法及びプログラム。   The present invention relates to a peak position variation measuring apparatus, a measuring method thereof, and a program, and more specifically, a peak position variation measuring apparatus used for biomolecular interaction measurement used in data analysis and biochemical research by spectroscopic analysis. , Its measuring method and program.

分光スペクトル、波長分散SPRスペクトル、入射角度分散SPRスペクトル、QCM(Quartz Crystal microbalance)、カンチレーバー質量計、クロマトグラム等のピーク又はバレー(以下、ピークという)を有するスペクトルにおいて、2つのスペクトルのピーク位置の差を評価してスペクトルのピーク位置の変動を測定する。   Spectrum, the wavelength dispersion SPR spectra, incident angle dispersion SPR spectra, QCM (Quartz Crystal microbalance), cantilever Laver mass meter, the peak or valley such chromatogram (hereinafter, referred to as the peak) in the spectrum having a peak position of the two spectra And the fluctuation of the peak position of the spectrum is measured.

分光分析ではピークの波長、クロマトグラフではピークの時間を使って物質の同定が行われる。また、表面プラズモン共鳴(Surface Plasmon Resonance)効果を用いたSPR測定では、SPR効果による吸収スペクトルの波長又は入射角度に対する反射強度スペクトルに見られるディップ位置から屈折率を求める。   Substances are identified using the wavelength of a peak in spectroscopic analysis and the peak time in a chromatograph. In the SPR measurement using the surface plasmon resonance effect, the refractive index is obtained from the dip position seen in the reflection intensity spectrum with respect to the wavelength of the absorption spectrum or the incident angle due to the SPR effect.

一般にスペクトルにピークを生じる共鳴効果を用いる化学分析手法では、共鳴が起こる条件を測定する必要がある。特にSPRでは入射角度に対する反射強度や入射波長に対する反射強度によって共鳴条件を求め、それら共鳴条件の入射角度や入射波長から屈折率が求められる。受光素子にアレイ型の光センサを用いる装置では、反射強度を入射角度又は入射波長に対する離散的スペクトルとして求め、得られたスペクトルを計算機によって処理して最終的な屈折率や分子間相互作用の指標を導出する。   In general, in a chemical analysis method using a resonance effect that causes a peak in a spectrum, it is necessary to measure the conditions under which resonance occurs. In particular, in SPR, the resonance condition is obtained from the reflection intensity with respect to the incident angle and the reflection intensity with respect to the incident wavelength, and the refractive index is obtained from the incident angle and the incident wavelength of the resonance condition. In an apparatus using an array-type photosensor as a light receiving element, the reflection intensity is obtained as a discrete spectrum with respect to the incident angle or incident wavelength, and the obtained spectrum is processed by a computer to obtain a final index of refraction and intermolecular interaction. Is derived.

このような手法においては、測定分解能がその処理方法によって大きく左右される。特にSPR法では、ピークが1つで、そのエネルギー又は運動量を表す位置(D軸という)を求めることによって、高精度に屈折率の変化を求めることができるが、そのためにはノイズや、装置関数、ドリフトを含むデータからD軸に関する移動量を求める必要がある。   In such a technique, the measurement resolution greatly depends on the processing method. In particular, the SPR method has a single peak, and by obtaining the position (referred to as the D axis) representing the energy or momentum, the refractive index change can be obtained with high precision. Therefore, it is necessary to determine the amount of movement about the D axis from data including drift.

このD軸に関する移動量を求める方法には、例えば、ピークの形状を多項式で近似し、回帰法で多項式を決定し(図4(a))、又はピークの形状の図形的重心を求める方法(図4(b))(特許文献1、非特許文献1参照)や、重みつき回帰法で高精度にピーク位置を決定する方法(非特許文献2参照)がある。   As a method for obtaining the movement amount related to the D axis, for example, the shape of the peak is approximated by a polynomial, the polynomial is determined by a regression method (FIG. 4A), or the graphical center of gravity of the shape of the peak is obtained ( FIG. 4B) (see Patent Document 1 and Non-Patent Document 1) and a method of determining a peak position with high accuracy by a weighted regression method (see Non-Patent Document 2).

特許第3490458号明細書Japanese Patent No. 3490458 Knut Johansen, Ralph Stalberg, Ingemar Lundstrom and Bo Liedberg, “Surface plasmon resonance: instrumental resolution using photo diode arrays”, Meas. Sci. Technol., Vol. 11, IOP Publishing Ltd, 2000, pp.1630-1638Knut Johansen, Ralph Stalberg, Ingemar Lundstrom and Bo Liedberg, “Surface plasmon resonance: instrumental resolution using photo diode arrays”, Meas. Sci. Technol., Vol. 11, IOP Publishing Ltd, 2000, pp.1630-1638 Kyle S. Johnston and Sinclair S. Yee, “Calibration of Surface Plasmon Resonance Refractometers Using Locally Weighted Parametric Regression”, Analytical Chemistry, Vol. 69, No. 10, May 15, 1997, pp. 1844-1851Kyle S. Johnston and Sinclair S. Yee, “Calibration of Surface Plasmon Resonance Refractometers Using Locally Weighted Parametric Regression”, Analytical Chemistry, Vol. 69, No. 10, May 15, 1997, pp. 1844-1851 Peter A. Gorry, “General Least-Squares Smoothing and Differentiation by the Convolution (Savitzky-Golay) Method”, Analytical Chemistry, Vol. 62, 1990, pp.570-573Peter A. Gorry, “General Least-Squares Smoothing and Differentiation by the Convolution (Savitzky-Golay) Method”, Analytical Chemistry, Vol. 62, 1990, pp.570-573

しかしながら、上記従来の方法だけでは、光源の非均一性、光学装置の歪み、CCDやCMOSカメラなどの受光装置の感度むらによるノイズによって、ピーク位置の決定精度が制限されるという課題があった。   However, the conventional method alone has a problem that the accuracy of determining the peak position is limited by noise due to non-uniformity of the light source, distortion of the optical device, and uneven sensitivity of a light receiving device such as a CCD or CMOS camera.

また、計算機を用いた処理方法では入力されるスペクトルは、標本点数が離散的であり、特にSPRによる高感度測定等では、ピークの変位量は標本点間隔以下になる。このため、微小な屈折率の変化、極低濃度の物質の濃度の測定では、ピーク位置の変化がノイズに埋もれて測定できないという課題があった。   In addition, in the processing method using a computer, the input spectrum has a discrete number of sample points, and the peak displacement is less than or equal to the sample point interval particularly in high-sensitivity measurement using SPR. For this reason, in the measurement of a minute change in refractive index and the concentration of a substance having an extremely low concentration, there is a problem that the change in the peak position is buried in noise and cannot be measured.

さらに、離散的スペクトルに対して離散間隔よりも狭い代表位置決定を行う場合には、多項式フィッティングを行い極値の独立変数の値を求めるなど従来の1段階の方法では、フィッティングに用いるデータの選び方で得られる代表位置が不連続に変化する場合があり、計測に不具合が生じていた。   Furthermore, when determining a representative position narrower than the discrete interval for a discrete spectrum, the conventional one-step method, such as performing polynomial fitting to determine the value of the extreme independent variable, selects the data to be used for fitting. In some cases, the representative position obtained in the above changes discontinuously, causing problems in measurement.

本発明は、このような課題に鑑みてなされたもので、その目的は、離散的スペクトルに対してその離散間隔よりも狭い間隔で高精度にピークの代表位置の変動を測定することができるピーク位置変動量測定装置、その測定方法及びプログラムを提供することにある。   The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a peak that can measure a change in the representative position of a peak with high accuracy at an interval narrower than the discrete interval with respect to a discrete spectrum. The object is to provide a position variation measuring device, a measuring method thereof, and a program.

このような目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、所定の光学系において第1のサンプルを所定の時間間隔で測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第1の離散的系列データを時系列に生成するスペクトル生成手段と、前記光学系において第2のサンプルを測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第2の離散的系列データを記録しておく第1の記憶手段と、第1の記憶手段から第2の離散的系列データを読み出して所定の平行移動量だけ列指標方向に平行移動させる平行移動手段と、第1の離散的系列データ及び平行移動された第2の離散的系列データのそれぞれについてピークの代表位置を求める代表位置演算手段と、第2の離散的系列データの平行移動量と代表位置との対からなる配列を生成する配列生成手段と、配列を記録しておく第2の記憶手段と、第2の記憶手段から配列を読み出して平行移動量と代表位置との関係式を求め、該関係式から第1の離散的系列データの離散間隔よりも狭い間隔で第1の離散的系列データの代表位置を対応する平行移動量に変換する変換手段と、第1の離散的系列データの平行移動量を時系列に並べ、特定の期間での平行移動量の差分をとって出力する差分演算手段とを備えたことを特徴とする。 In order to achieve such an object, the invention according to claim 1 is one-dimensional pixel column data representing a spectrum obtained by measuring a first sample at a predetermined time interval in a predetermined optical system. Spectrum generating means for generating certain first discrete series data in time series, and second discrete data that is one-dimensional pixel string data representing a spectrum obtained by measuring a second sample in the optical system. First storage means for recording series data; parallel movement means for reading the second discrete series data from the first storage means and translating it in a column index direction by a predetermined parallel movement amount; a representative position calculation means for calculating a representative position of the peak for each of the discrete-series data and second discrete series data moved parallel, and parallel movement amount of the second discrete-series data and the representative position An array generation means for generating an array of pairs, a second storage means for recording the array, an array is read from the second storage means, and a relational expression between the translation amount and the representative position is obtained, and the relation Conversion means for converting the representative position of the first discrete series data into a corresponding translation amount at an interval narrower than the discrete interval of the first discrete series data from the equation, and translation of the first discrete series data It is characterized by comprising difference calculation means for arranging the amounts in time series and taking and outputting the difference of the parallel movement amount in a specific period.

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のピーク位置変動量測定装置であって、代表位置演算手段が、第1及び第2の離散的系列データにフーリエ変換及びウエーブレット変換のいずれかを行い、最長周期である周波数成分の位相を計算することにより第1及び第2の離散的系列データを表す関数を解析的に求めることを特徴とする。   A second aspect of the present invention is the peak position variation measuring device according to the first aspect, wherein the representative position calculating means converts the first and second discrete series data to either Fourier transform or wavelet transform. And a function representing the first and second discrete series data is obtained analytically by calculating the phase of the frequency component having the longest period.

請求項3に記載の発明は、請求項1に記載のピーク位置変動量測定装置であって、スペクトルは、1次元に配列されたピクセル毎の入射角度に対する反射強度を表すことを特徴とする。   A third aspect of the present invention is the peak position variation measuring device according to the first aspect, wherein the spectrum represents a reflection intensity with respect to an incident angle for each pixel arranged in one dimension.

請求項4に記載の発明は、請求項3に記載のピーク位置変動量測定装置であって、スペクトルは、表面プラズモン共鳴効果による光吸収のピークが現れるスペクトルであることを特徴とする。   The invention according to claim 4 is the peak position variation measuring device according to claim 3, wherein the spectrum is a spectrum in which a peak of light absorption due to the surface plasmon resonance effect appears.

請求項5に記載の発明は、ピーク位置変動量測定方法であって、所定の光学系において第1のサンプルを所定の時間間隔で測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第1の離散的系列データを時系列に生成するステップと、前記光学系において第2のサンプルを測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第2の離散的系列データを第1の記憶手段に記録するステップと、第1の記憶手段から第2の離散的系列データを読み出して所定の平行移動量だけ列指標方向に平行移動させる平行移動させるステップと、第1の離散的系列データ及び平行移動された第2の離散的系列データのそれぞれについてピークの代表位置を求めるステップと、第2の離散的系列データの平行移動量と代表位置との対からなる配列を生成する配列を生成するステップと、配列を第2の記録手段に記憶するステップと、第2の記憶手段から配列を読み出して平行移動量と代表位置との関係式を求め、該関係式から第1の離散的系列データの離散間隔よりも狭い間隔で第の離散的系列データの代表位置を対応する平行移動量に変換するステップと、第1の離散的系列データの平行移動量を時系列に並べ、特定の期間での平行移動量の差分をとって出力するステップとを有することを特徴とする。 The invention according to claim 5 is a peak position variation measuring method, which is one-dimensional pixel string data representing a spectrum obtained by measuring a first sample at a predetermined time interval in a predetermined optical system. A step of generating a certain first discrete series data in time series, and a second discrete series data which is one-dimensional pixel sequence data representing a spectrum obtained by measuring a second sample in the optical system In the first storage means, the second discrete series data is read from the first storage means and translated in a column index direction by a predetermined translation amount, determining a representative position of the peak for each of the second discrete-series data that has been moved discrete series data and parallel, and parallel movement amount of the second discrete-series data and the representative position A step of generating an array for generating an array of pairs, a step of storing the array in the second recording means, and reading out the array from the second storage means to obtain a relational expression between the translation amount and the representative position; A step of converting a representative position of the first discrete series data into a corresponding parallel movement amount at an interval narrower than a discrete interval of the first discrete series data from the relational expression, and a parallel of the first discrete series data A step of arranging the movement amounts in time series, and taking and outputting a difference between the parallel movement amounts in a specific period.

請求項6に記載の発明は、請求項5に記載のピーク位置変動量測定方法であって、代表位置を演算するステップが、第1及び第2の離散的系列データにフーリエ変換及びウエーブレット変換のいずれかを行い、最長周期である周波数成分の位相を計算することにより第1及び第2の離散的系列データを表す関数を解析的に求めるステップであることを特徴とする。   The invention according to claim 6 is the peak position variation measuring method according to claim 5, wherein the step of calculating the representative position includes Fourier transform and wavelet transform to the first and second discrete series data. This is a step of analytically obtaining a function representing the first and second discrete series data by performing any of the above and calculating the phase of the frequency component having the longest period.

請求項7に記載の発明は、ピーク位置変動量測定プログラムであって、所定の光学系において第1のサンプルを所定の時間間隔で測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第1の離散的系列データを時系列に生成するステップと、前記光学系において第2のサンプルを測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第2の離散的系列データを第1の記憶手段に記録するステップと、第1の記憶手段から第2の離散的系列データを読み出して所定の平行移動量だけ列指標方向に平行移動させる平行移動させるステップと、第1の離散的系列データ及び平行移動された第2の離散的系列データのそれぞれについてピークの代表位置を求めるステップと、第2の離散的系列データの平行移動量と代表位置との対からなる配列を生成する配列を生成するステップと、配列を第2の記録手段に記憶するステップと、第2の記憶手段から配列を読み出して平行移動量と代表位置との関係式を求め、該関係式から第1の離散的系列データの離散間隔よりも狭い間隔で第の離散的系列データの代表位置を対応する平行移動量に変換するステップと、第1の離散的系列データの平行移動量を時系列に並べ、特定の期間での平行移動量の差分をとって出力するステップとを実行させることを特徴とする。 The invention according to claim 7 is a program for measuring a peak position variation, which is one-dimensional pixel string data representing a spectrum obtained by measuring a first sample at a predetermined time interval in a predetermined optical system. A step of generating a certain first discrete series data in time series, and a second discrete series data which is one-dimensional pixel sequence data representing a spectrum obtained by measuring a second sample in the optical system In the first storage means, the second discrete series data is read from the first storage means and translated in a column index direction by a predetermined translation amount, representative determining a representative position of the peak for each of the parallel movement amount of the second discrete-series data of the second discrete-series data that has been moved discrete series data and parallel A step of generating an array for generating an array consisting of a pair with a position, a step of storing the array in the second recording means, and a relational expression between the parallel movement amount and the representative position by reading the array from the second storage means And converting the representative position of the first discrete series data into a corresponding translation amount at an interval narrower than the discrete interval of the first discrete series data from the relational expression, and the first discrete series The step of arranging the parallel movement amounts of the data in time series and taking the difference of the parallel movement amounts in a specific period and outputting them is performed.

本発明によれば、ピーク位置の変化がノイズに埋もれて測定できなかった微小な屈折率の変化、極低濃度の物質の濃度の測定等においても、離散スペクトルに対してその離散間隔よりも狭い間隔で高精度にピークの代表位置の変動を測定することができる。   According to the present invention, even in a minute change in refractive index that could not be measured because the change in peak position was buried in noise, the measurement of the concentration of an extremely low concentration substance, etc., the discrete spectrum is narrower than the discrete interval. It is possible to measure the variation of the peak representative position with high accuracy at intervals.

スペクトルの標本間隔よりも小さいピーク位置の変動のようにピークの移動量が小さい場合、一般にスペクトルはピーク形状を変化させずにD軸に平行に移動する場合が多い。そこで本発明では、スペクトルの標本間隔よりも小さいピーク位置の変動を求める場合に、1つの参照スペクトルとして得られたスペクトルを平行移動させ、そのスペクトルから得たピークの代表位置と平行移動量の系列を用いて、時系列に得た検査スペクトルの代表位置からピーク位置の変動を求める。すなわち、本発明は、従来のように1段階でスペクトルの代表位置を求める方法に対して、参照スペクトルとして得られたスペクトルを平行移動して得られる代表位置と平行移動量の関係から代表位置を求める点に特徴がある。   When the amount of peak movement is small, such as fluctuations in the peak position that are smaller than the sample interval of the spectrum, in general, the spectrum often moves parallel to the D axis without changing the peak shape. Therefore, in the present invention, when obtaining the fluctuation of the peak position smaller than the sample interval of the spectrum, the spectrum obtained as one reference spectrum is translated, and the peak representative position obtained from the spectrum and the series of translation amounts Is used to find the fluctuation of the peak position from the representative position of the inspection spectrum obtained in time series. That is, according to the present invention, the representative position is determined from the relationship between the representative position obtained by translating the spectrum obtained as the reference spectrum and the translation amount, in contrast to the conventional method for obtaining the representative position of the spectrum in one step. There is a feature in the point to ask.

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。
(実施形態1)
図1に、本発明の一実施形態に係るピーク位置変動量測定装置の構成を示す。ピーク位置変動量測定装置100は、シリアルインターフェースで接続されたスペクトル入力装置101と処理装置102から成る。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
(Embodiment 1)
FIG. 1 shows a configuration of a peak position variation measuring device according to an embodiment of the present invention. The peak position variation measuring device 100 includes a spectrum input device 101 and a processing device 102 connected by a serial interface.

スペクトル入力装置101は、Handy-SPR(NTT-AT社)によってサンプルのSPR曲線(スペクトル)の測定を行う。具体的には、スペクトル入力装置101は、入射角度に対する反射光強度を1次元CCDで測定し、その1次元CCDの各ピクセルの光強度をAD変換して12ビットの整数値の列としてSPR曲線のデータを出力する。つまり、スペクトル入力装置101で測定されるSPR曲線のデータは離散的表現として与えられる。このSPR曲線のデータは、シリアルインターフェースを介してスペクトル入力装置101から処理装置102に出力される。   The spectrum input device 101 measures the SPR curve (spectrum) of the sample by Handy-SPR (NTT-AT). Specifically, the spectrum input device 101 measures the reflected light intensity with respect to the incident angle with a one-dimensional CCD, AD converts the light intensity of each pixel of the one-dimensional CCD, and forms an SPR curve as a string of 12-bit integer values. Output the data. That is, the data of the SPR curve measured by the spectrum input device 101 is given as a discrete expression. The SPR curve data is output from the spectrum input device 101 to the processing device 102 via a serial interface.

処理装置102は、スペクトル入力装置101から出力されたSPR曲線のデータからピーク位置の変動を導出する。本実施形態では、スペクトル列の指標(ピクセル番号)が軸Dとなる。処理装置102は、測定精度を向上させるために、スペクトル入力装置101から出力された参照スペクトルS1と検査スペクトルS2の処理をそれぞれ行う。参照スペクトルS1には、参照スペクトルS1のピークの代表位置と検査スペクトルS2のピークの代表位置との差が±1ピクセル以内であるスペクトルを用いることが望ましい。また、必ずしも全く同じサンプルを測定して得られたものである必要はないが、参照スペクトルS1は、検査スペクトルS2を得るために測定する直前のサンプルを測定して得られたものであることが望ましい。すなわち、参照スペクトルS1と検査スペクトルS2は、別々に生成され、又は採取されたサンプルを測定して得られたものであっても、同じ光学系で測定され、それらスペクトルのピーク代表位置が1ずれている程度であればよい。   The processing device 102 derives the fluctuation of the peak position from the SPR curve data output from the spectrum input device 101. In this embodiment, the index (pixel number) of the spectrum column is the axis D. The processing device 102 processes the reference spectrum S1 and the inspection spectrum S2 output from the spectrum input device 101 in order to improve measurement accuracy. As the reference spectrum S1, it is desirable to use a spectrum in which the difference between the representative position of the peak of the reference spectrum S1 and the representative position of the peak of the inspection spectrum S2 is within ± 1 pixel. In addition, the reference spectrum S1 is not necessarily obtained by measuring the exact same sample, but the reference spectrum S1 may be obtained by measuring a sample immediately before measurement to obtain the inspection spectrum S2. desirable. That is, even if the reference spectrum S1 and the inspection spectrum S2 are generated separately or obtained by measuring collected samples, they are measured by the same optical system, and the peak representative positions of those spectra are shifted by one. As long as it is about.

ピークの代表位置を求める代表位置演算部103A、103Bは、ピクセル列データにフーリエ変換又はウエーブレット変換を行ってスペクトルを周期関数で表し、そのサンプル数が周期である周波数成分の位相を計算することによりピークの代表位置を算出する。代表位置演算部103A、103Bは全く同じ機能を有するものであり、参照スペクトルS1と検査スペクトルS2の両方を1つの代表位置演算部103A又は103Bで処理するようにしてもよい。   The representative position calculation units 103A and 103B for obtaining the representative position of the peak perform Fourier transform or wavelet transform on the pixel string data to represent the spectrum as a periodic function and calculate the phase of the frequency component whose number of samples is the period. To calculate the representative position of the peak. The representative position calculation units 103A and 103B have exactly the same function, and both the reference spectrum S1 and the inspection spectrum S2 may be processed by one representative position calculation unit 103A or 103B.

ピクセル列データを平行移動させる平行移動部104は、軸Dを正又は負の平行移動量分だけ移動させる、例えば、ピクセル列のデータを1ピクセル分だけ隣のピクセルに移動させる処理を繰り返し実行し、毎回の処理毎に移動した参照スペクトルS1'を生成する。このようにスペクトル列データを平行移動することにより、スペクトルを測定する装置の不完全さ等によってスペクトルに重畳される波長に固定したノイズ(この様なノイズは、通常は装置関数と考えられる)をキャンセルすることができる。特に離散的スペクトルに対して離散間隔よりも狭い代表位置決定を行う場合、効果がある。   The translation unit 104 that translates the pixel column data moves the axis D by a positive or negative translation amount, for example, repeatedly executes the process of moving the pixel column data to the adjacent pixel by one pixel. The reference spectrum S1 ′ moved for each process is generated. In this way, by moving the spectrum sequence data in parallel, noise fixed to the wavelength superimposed on the spectrum due to imperfectness of the device that measures the spectrum (such noise is usually considered to be a device function). Can be canceled. This is particularly effective when determining a representative position narrower than the discrete interval for a discrete spectrum.

また、平行移動部104は、生成した参照スペクトルS1'を代表位置演算部103Aに出力し、平行移動量を配列生成部105に出力する。   Further, the translation unit 104 outputs the generated reference spectrum S1 ′ to the representative position calculation unit 103A, and outputs the translation amount to the array generation unit 105.

配列生成部105は、代表位置演算部103Aによって求められた参照スペクトルS1' の代表位置と、平行移動量の対を作成し配列Aを作成し、記憶装置108に格納する。   The array generation unit 105 creates a pair of the representative position of the reference spectrum S1 ′ obtained by the representative position calculation unit 103A and the parallel movement amount, creates an array A, and stores it in the storage device 108.

代表位置から対応する平行移動量を求める変換部106は、記憶装置108から検査スペクトルS2に対応する参照スペクトルS1の配列Aを取り出し、代表位置演算部103Bから出力された検査スペクトルS2のピークの代表位置に対応する平行移動量を導出する。検査スペクトルS2のピークの代表位置に対応する平行移動量を求める際、変換部106は、配列Aから最小二乗法を用いて導出したピークの代表位置と平行移動量との関係式を用いることができる。この方法で、代表位置演算部103の性質によらずに、離散的スペクトルのピークのシフト量を離散間隔よりも狭く決定することができる。   The conversion unit 106 for obtaining the corresponding parallel movement amount from the representative position takes out the array A of the reference spectrum S1 corresponding to the inspection spectrum S2 from the storage device 108, and represents the peak of the inspection spectrum S2 output from the representative position calculation unit 103B. A translation amount corresponding to the position is derived. When obtaining the translation amount corresponding to the peak representative position of the inspection spectrum S2, the conversion unit 106 may use a relational expression between the peak representative position and the translation amount derived from the array A using the least square method. it can. By this method, the shift amount of the peak of the discrete spectrum can be determined narrower than the discrete interval regardless of the property of the representative position calculation unit 103.

差分演算部107は、変換部106から出力された各検査スペクトルS2の平行移動量を所定の基準となる平行移動量を例えば0として、その基準からの差分を計算し、その差分を時系列に並べてPC等に出力することができる。また、これらの時系列のデータに対してノイズ除去を施すなど、例えば、系列データの移動平均や微分をデータの重みつき加算で行うSavitzky Golayの方法を用いることができる(非特許文献3)。   The difference calculation unit 107 calculates a difference from the reference, with the parallel movement amount of each inspection spectrum S2 output from the conversion unit 106 as a predetermined reference parallel movement amount, for example, and calculates the difference in time series. Can be output side by side to a PC. In addition, for example, a Savitzky Golay method in which moving average or differentiation of series data is performed by weighted addition of data, such as performing noise removal on these time series data, can be used (Non-patent Document 3).

このような処理装置102は、各々制御を実行するCPU、並びにCPUの制御プログラムを格納するROM、及びCPUの作業領域を提供し、データを格納するRAMなどの記憶装置108とを含む記憶部を備えた制御部(不図示)によって制御される構成をとることによって実現することができる。但し、これに限らず通常のパーソナルコンピュータで用いられる技術であればいずれのものも用いることができる。また、処理装置102は、制御部に接続された、所定の指令、データ等を入力するキーボード又は各種スイッチ等を含む入力操作部(不図示)を備え、イメージデータ等の大量データを格納するための補助記憶装置等(不図示)も備えることができる。   Such a processing device 102 includes a CPU that executes control, a ROM that stores a control program for the CPU, and a storage device 108 such as a RAM that provides a work area for the CPU and stores data. This can be realized by adopting a configuration controlled by a control unit (not shown) provided. However, the present invention is not limited to this, and any technique can be used as long as it is a technique used in a normal personal computer. Further, the processing apparatus 102 includes an input operation unit (not shown) including a keyboard or various switches that are connected to the control unit and inputs predetermined commands, data, and the like, and stores a large amount of data such as image data. An auxiliary storage device (not shown) can also be provided.

図2に、本発明の一実施形態に係るピーク位置変動量測定装置の測定方法を示す。また、図3に、本発明の一実施形態に係るピーク位置変動量測定装置による測定例を示す。スペクトル入力装置101から参照スペクトルS1のデータを平行移動部104に入力する(S201)。但し、参照スペクトルS1は予め測定されたものであっても良いので、スペクトル入力装置101から出力される代わりに所定の記憶装置(不図示)から平行移動部104に入力されてもよい。平行移動部104は参照スペクトルS1のデータを任意のピクセル分だけ隣のピクセルに移動させた参照スペクトルS1′を生成し(S202)、その平行移動された参照スペクトルS1′をピークの代表位置を求める代表位置演算部103Aに出力し、平行移動量を配列生成部105に出力する。代表位置演算部103Aは平行移動された参照スペクトルS1′のピークの代表位置を算出する(S203)。次に参照スペクトルS1′の平行移動量が予め設定した範囲内であるか否かを判定し(S204)、その平行移動量が範囲内であればS202に戻り、範囲外であれば参照スペクトルS1′のピークの代表位置を配列生成部105に出力する。配列生成部105は、参照スペクトルS1'のピークの代表位置とそれに対応する平行移動量との対からなる配列Aを生成し、その配列Aを記憶装置108に格納する(S205)。   FIG. 2 shows a measurement method of the peak position variation measuring device according to one embodiment of the present invention. FIG. 3 shows a measurement example by the peak position variation measuring device according to one embodiment of the present invention. Data of the reference spectrum S1 is input from the spectrum input device 101 to the translation unit 104 (S201). However, since the reference spectrum S1 may be measured in advance, it may be input to the translation unit 104 from a predetermined storage device (not shown) instead of being output from the spectrum input device 101. The translation unit 104 generates a reference spectrum S1 ′ in which the data of the reference spectrum S1 is moved to an adjacent pixel by an arbitrary pixel (S202), and obtains a representative position of the peak of the translated reference spectrum S1 ′. The data is output to the representative position calculation unit 103 A and the parallel movement amount is output to the array generation unit 105. The representative position calculation unit 103A calculates the representative position of the peak of the translated reference spectrum S1 ′ (S203). Next, it is determined whether or not the translation amount of the reference spectrum S1 'is within a preset range (S204). If the translation amount is within the range, the process returns to S202, and if it is outside the range, the reference spectrum S1 is determined. The representative position of the peak of ′ is output to the array generation unit 105. The array generation unit 105 generates an array A including a pair of the representative position of the peak of the reference spectrum S1 ′ and the corresponding parallel movement amount, and stores the array A in the storage device 108 (S205).

一方、スペクトル入力装置101においてピーク位置の変動を測定する検査スペクトルを測定し(S206)、スペクトル入力装置101からピークの代表位置を求める代表位置演算部103Bに検査スペクトルS2を入力する(S207)。代表位置演算部103Bは検査スペクトルS2のピークの代表位置を算出し(S208)、代表値から対応する平行移動量を求める変換部106に出力する。変換部106は記憶装置108に格納されている配列Aからピークの代表位置と平行移動量との関係式を最小二乗法等によって求め、検査スペクトルS2のピークの代表位置に対応する平行移動量を算出する(S209)。   On the other hand, the spectrum input apparatus 101 measures the inspection spectrum for measuring the fluctuation of the peak position (S206), and inputs the inspection spectrum S2 from the spectrum input apparatus 101 to the representative position calculation unit 103B for obtaining the representative position of the peak (S207). The representative position calculation unit 103B calculates the representative position of the peak of the inspection spectrum S2 (S208), and outputs it to the conversion unit 106 that calculates the corresponding parallel movement amount from the representative value. The conversion unit 106 obtains a relational expression between the peak representative position and the translation amount from the array A stored in the storage device 108 by the least square method or the like, and obtains the translation amount corresponding to the peak representative position of the inspection spectrum S2. Calculate (S209).

S206〜S209を繰り返して時系列で得られる検査スペクトルS2に順次演算を施し、検査スペクトルS2のピーク位置の時系列を得ることができる。そして所定の検査スペクトルS2の平行移動量を基準として各検査スペクトルS2の平行移動量の差分をとり、それを時系列に並べてPC等に出力する(S210)。S210においては、系列データの移動平均や微分をデータの重みつき加算で行うSavitzky Golayの方法等を用いてノイズの除去を行うこともできる。   It is possible to obtain a time series of the peak positions of the inspection spectrum S2 by sequentially performing operations on the inspection spectrum S2 obtained in time series by repeating S206 to S209. Then, the difference of the parallel movement amount of each inspection spectrum S2 is taken with reference to the parallel movement amount of the predetermined inspection spectrum S2, and the difference is arranged in time series and output to a PC or the like (S210). In S210, noise can be removed using a Savitzky Golay method or the like in which moving average or differentiation of series data is performed by weighted addition of data.

参照スペクトルS1が検査スペクトルS2と同じ装置から取られているために、装置に由来するノイズや変動が配列に織り込まれることがないため、光学系等の測定装置に由来するノイズをキャンセルすることができる。さらに、この仕組みによってキャンセルできないランダムなノイズは、差分演算部107においてSavitzky Golayの方法等の一般的な処理を施すことにより除去することができる。よって、本発明の実施形態では、検査スペクトルのピーク位置の時間的変動をより精密に測定することができる。   Since the reference spectrum S1 is taken from the same device as the inspection spectrum S2, noise and fluctuations originating from the device are not woven into the array, so that noise originating from a measuring device such as an optical system can be canceled it can. Furthermore, random noise that cannot be canceled by this mechanism can be removed by performing general processing such as the Savitzky Golay method in the difference calculation unit 107. Therefore, in the embodiment of the present invention, the temporal variation of the peak position of the inspection spectrum can be measured more precisely.

また、本発明の装置は、コンピュータとプログラムによっても実現でき、ピーク位置変動量測定装置として機能させるためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録することも、ネットワークを通して提供することも可能である。   The apparatus of the present invention can also be realized by a computer and a program, and a program for functioning as a peak position variation measuring device can be recorded on a computer-readable recording medium or provided through a network. .

本発明の一実施形態に係るピーク位置変動量測定装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the peak position variation | change_quantity measuring apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るピーク位置変動量測定装置の測定方法を示す図である。It is a figure which shows the measuring method of the peak position variation | change_quantity measuring apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るピーク位置変動量測定装置による測定例を示す図である。It is a figure which shows the example of a measurement by the peak position variation | change_quantity measuring apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. (a)は、ピーク形状を多項式で近似して代表位置を求めることを説明する図であり、(b)は、ピーク形状の図形的重心から代表位置を求めることを説明する図である。(A) is a figure explaining calculating | requiring a representative position by approximating a peak shape with a polynomial, and (b) is a figure explaining calculating | requiring a representative position from the graphical center of gravity of a peak shape.

符号の説明Explanation of symbols

100 ピーク位置変動量測定装置   100 Peak position fluctuation measuring device

Claims (7)

所定の光学系において第1のサンプルを所定の時間間隔で測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第1の離散的系列データを時系列に生成するスペクトル生成手段と、
前記光学系において第2のサンプルを測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第2の離散的系列データを記録しておく第1の記憶手段と、
前記第1の記憶手段から前記第2の離散的系列データを読み出して所定の平行移動量だけ列指標方向に平行移動させる平行移動手段と、
前記第1の離散的系列データ及び平行移動された前記第2の離散的系列データのそれぞれについてピークの代表位置を求める代表位置演算手段と、
前記第2の離散的系列データの平行移動量と代表位置との対からなる配列を生成する配列生成手段と、
前記配列を記録しておく第2の記憶手段と、
前記第2の記憶手段から前記配列を読み出して平行移動量と代表位置との関係式を求め、該関係式から前記第1の離散的系列データの離散間隔よりも狭い間隔で前記第1の離散的系列データの代表位置を対応する平行移動量に変換する変換手段と、
前記第1の離散的系列データの平行移動量を時系列に並べ、特定の期間での前記平行移動量の差分をとって出力する差分演算手段と
を備えたことを特徴とするピーク位置変動量測定装置。
Spectrum generating means for generating, in time series, first discrete series data that is one-dimensional pixel string data representing a spectrum obtained by measuring a first sample at a predetermined time interval in a predetermined optical system;
First storage means for recording second discrete series data, which is one-dimensional pixel string data representing a spectrum obtained by measuring a second sample in the optical system;
Translation means for reading the second discrete series data from the first storage means and translating it in a column index direction by a predetermined translation amount;
Representative position calculating means for obtaining a peak representative position for each of the first discrete series data and the translated second discrete series data;
Array generating means for generating an array composed of pairs of parallel movement amounts and representative positions of the second discrete series data;
Second storage means for recording the arrangement;
The second from the storage unit reads the sequence sought relationship between the representative position and amount of translation, the first discrete closely spaced than the discrete distance between the first discrete-series data from the relational expression Conversion means for converting a representative position of the target series data into a corresponding parallel movement amount;
A peak position variation amount, comprising: difference calculating means for arranging the parallel movement amounts of the first discrete series data in time series and taking and outputting the difference of the parallel movement amounts in a specific period. measuring device.
前記代表位置演算手段が、前記第1及び第2の離散的系列データにフーリエ変換及びウエーブレット変換のいずれかを行い、最長周期である周波数成分の位相を計算することにより前記第1及び第2の離散的系列データを表す関数を解析的に求めることを特徴とする請求項1に記載のピーク位置変動量測定装置。   The representative position calculating means performs any one of Fourier transform and wavelet transform on the first and second discrete series data, and calculates the phase of the frequency component which is the longest period, thereby calculating the first and second 2. The peak position variation measuring device according to claim 1, wherein a function representing the discrete series data is analytically obtained. 前記スペクトルは、1次元に配列されたピクセル毎の入射角度に対する反射強度を表すことを特徴とする請求項1に記載のピーク位置変動量測定装置。   The peak position variation measuring device according to claim 1, wherein the spectrum represents a reflection intensity with respect to an incident angle for each pixel arranged in one dimension. 前記スペクトルは、表面プラズモン共鳴効果による光吸収のピークが現れるスペクトルであることを特徴とする請求項3に記載のピーク位置変動量測定装置。   The peak position variation measuring device according to claim 3, wherein the spectrum is a spectrum in which a peak of light absorption due to a surface plasmon resonance effect appears. 所定の光学系において第1のサンプルを所定の時間間隔で測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第1の離散的系列データを時系列に生成するステップと、
前記光学系において第2のサンプルを測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第2の離散的系列データを第1の記憶手段に記録するステップと、
前記第1の記憶手段から前記第2の離散的系列データを読み出して所定の平行移動量だけ列指標方向に平行移動させる平行移動させるステップと、
前記第1の離散的系列データ及び平行移動された前記第2の離散的系列データのそれぞれについてピークの代表位置を求めるステップと、
前記第2の離散的系列データの平行移動量と代表位置との対からなる配列を生成する配列を生成するステップと、
前記配列を第2の記録手段に記憶するステップと、
前記第2の記憶手段から前記配列を読み出して平行移動量と代表位置との関係式を求め、該関係式から前記第1の離散的系列データの離散間隔よりも狭い間隔で前記第の離散的系列データの代表位置を対応する平行移動量に変換するステップと、
前記第1の離散的系列データの平行移動量を時系列に並べ、特定の期間での前記平行移動量の差分をとって出力するステップと
を有することを特徴とするピーク位置変動量測定方法。
Generating, in time series, first discrete series data that is one-dimensional pixel array data representing a spectrum obtained by measuring a first sample at a predetermined time interval in a predetermined optical system;
Recording in the first storage means second discrete series data that is one-dimensional pixel string data representing a spectrum obtained by measuring a second sample in the optical system;
Reading the second discrete series data from the first storage means and translating it in a column index direction by a predetermined translation amount; and
Obtaining a peak representative position for each of the first discrete series data and the translated second discrete series data;
Generating an array that generates an array of pairs of parallel movement amounts and representative positions of the second discrete series data;
Storing the arrangement in a second recording means;
The second from the storage unit reads the sequence sought relationship between the representative position and amount of translation, the first discrete closely spaced than the discrete distance between the first discrete-series data from the relational expression Converting the representative position of the target series data into a corresponding translation amount;
Arranging the parallel movement amounts of the first discrete series data in time series, and taking and outputting a difference between the parallel movement amounts in a specific period.
前記代表位置を演算するステップが、前記第1及び第2の離散的系列データにフーリエ変換及びウエーブレット変換のいずれかを行い、最長周期である周波数成分の位相を計算することにより前記第1及び第2の離散的系列データを表す関数を解析的に求めるステップであることを特徴とする請求項5に記載のピーク位置変動量測定方法。   The step of calculating the representative position performs either the Fourier transform or the wavelet transform on the first and second discrete series data, and calculates the phase of the frequency component that is the longest period, thereby calculating the first and second discrete series data. 6. The peak position variation measuring method according to claim 5, wherein the peak position variation measuring method is a step of analytically obtaining a function representing the second discrete series data. 所定の光学系において第1のサンプルを所定の時間間隔で測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第1の離散的系列データを時系列に生成するステップと、
前記光学系において第2のサンプルを測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第2の離散的系列データを第1の記憶手段に記録するステップと、
前記第1の記憶手段から前記第2の離散的系列データを読み出して所定の平行移動量だけ列指標方向に平行移動させる平行移動させるステップと、
前記第1の離散的系列データ及び平行移動された前記第2の離散的系列データのそれぞれについてピークの代表位置を求めるステップと、
前記第2の離散的系列データの平行移動量と代表位置との対からなる配列を生成する配列を生成するステップと、
前記配列を第2の記録手段に記憶するステップと、
前記第2の記憶手段から前記配列を読み出して平行移動量と代表位置との関係式を求め、該関係式から前記第1の離散的系列データの離散間隔よりも狭い間隔で前記第の離散的系列データの代表位置を対応する平行移動量に変換するステップと、
前記第1の離散的系列データの平行移動量を時系列に並べ、特定の期間での前記平行移動量の差分をとって出力するステップと
を実行させることを特徴とするピーク位置変動量測定プログラム。
Generating, in time series, first discrete series data that is one-dimensional pixel array data representing a spectrum obtained by measuring a first sample at a predetermined time interval in a predetermined optical system;
Recording in the first storage means second discrete series data that is one-dimensional pixel string data representing a spectrum obtained by measuring a second sample in the optical system;
Reading the second discrete series data from the first storage means and translating it in a column index direction by a predetermined translation amount; and
Obtaining a peak representative position for each of the first discrete series data and the translated second discrete series data;
Generating an array that generates an array of pairs of parallel movement amounts and representative positions of the second discrete series data;
Storing the arrangement in a second recording means;
The second from the storage unit reads the sequence sought relationship between the representative position and amount of translation, the first discrete closely spaced than the discrete distance between the first discrete-series data from the relational expression Converting the representative position of the target series data into a corresponding translation amount;
A program for measuring a peak position fluctuation amount, comprising: arranging parallel movement amounts of the first discrete series data in time series, and taking and outputting a difference between the parallel movement amounts in a specific period. .
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