JP4653551B2 - The chemical liquid valve mounting method - Google Patents

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本発明は、薬液弁を樹脂製流路ブロックに対して、シール部材を介して取り付けるときの取付方法に関するものである。 The present invention is a chemical valve against the resin flow path block, to a mounting method when mounting via a sealing member.

半導体製造ラインには、高度に集積化されたガス供給ユニットが多数使用されている。 The semiconductor manufacturing line is used highly integrated gas supply unit are numerous. ガス供給ユニットにおいては、所定量のガスを供給するためにマスフローコントローラが使用されている。 In the gas supply unit is mass flow controller is used to supply a predetermined amount of gas. マスフローコントローラは、非常に細い管を利用しており、また、半導体製造ラインで使用されるガスは腐食性の高いものが多いため、つまりが発生しやすく、マスフローコントローラを交換する頻度が多い。 The mass flow controller utilizes the very thin tube, also because in many cases the gas used is highly corrosive in semiconductor manufacturing lines, clogging is likely to occur, the increased frequency of exchanging a mass flow controller.
マスフローコントローラは、狭い空間に取り付けられていたり、また、横向き等に取り付けられている場合もあり、交換時の作業性が悪い問題があり、本出願人は、特許文献1において、4本のネジ孔のうちの2本にガイドロッドを取り付けた状態で、マスフローコントローラを取り付ける方法を提案している。 Mass flow controller, or attached in a narrow space and, in some cases attached sideways like, there workability is poor problems during replacement, the applicant, in Patent Document 1, four screws in a state of attaching the guide rod to two of the holes, it has proposed a method of attaching a mass flow controller.

一方、半導体製造ラインでは、ガスの他に薬液を用いてエッチングを行う場合があり、その薬液を供給するための薬液弁も多く使用されている。 On the other hand, in the semiconductor manufacturing line, may perform etching using a chemical solution other gases, it is increasingly used chemical valve for supplying the chemical liquid. 薬液も、腐食性の強いものが多いので、薬液弁の材質としては、PTFE、PFA等のフッ素系樹脂が使用されている。 Chemical also because strong one often corrosive, the material of the chemical valve, PTFE, fluorine resin such as PFA is used.
薬液弁も、故障時には交換が必要となるが、交換時の作業性が悪いという問題がある。 The chemical liquid valve also, it is necessary to replace in the event of a failure, there is a problem of poor workability at the time of exchange.
薬液弁10は、図1及び図3に示すように、ベースプレート40上に載置された樹脂製流路ブロック20と、この樹脂製流路ブロック20に形成された流路に連通する上面ポート25にガスケット50を装着した状態で下面ポート315と連通する樹脂製バルブ30とを備えたもので、ベースプレート40に4本の取付雄ネジ90で取り付けられている。 Chemical valve 10, as shown in FIGS. 1 and 3, the upper surface port 25 and placed on the resin flow path block 20 to the base plate 40, communicating with a channel formed in the resin flow path block 20 to which was a resin valve 30 which communicates with the lower surface port 315 while wearing the gasket 50 is mounted in the mounting male thread 90 of the four base plate 40.
特開平11−159656号公報 JP 11-159656 discloses

樹脂製バルブ30を交換するために、新たな樹脂製バルブ30を樹脂製流路ブロック20にガスケット50を装着して連結する際に、取付雄ネジ90の推力によってガスケット50を徐々に潰していくことが行われている。 To exchange resin valve 30, when connected to a new plastic valve 30 fitted with a gasket 50 on the resin flow path block 20, will crush slowly gasket 50 by the thrust of the mounting male thread 90 it is being carried out. ところが、図17に示すような径方向に圧入代を設けたガスケット50を使用する場合は、その圧入距離がシール性能に関係してくるため、高いシール力を持つガスケットは組立前に樹脂製流路ブロック20と樹脂製バルブ30との間に大きな隙間を生じることが多い。 However, when using the gasket 50 radially provided with press-fit interference as shown in FIG. 17, since the press fitting distance comes in relation to the sealing performance, the resin flow gasket prior to assembly with a high sealing force often produce large gap between the road block 20 and the resin valve 30.

この隙間が大きいと、図18に示すように、取付雄ネジ90の先端がベースプレート40に設けた雌ネジ孔41に届かず、締め付けることができないという問題がある。 When the gap is large, as shown in FIG. 18, the distal end of the mounting male thread 90 does not reach the female screw hole 41 provided in the base plate 40, there is a problem that can not be tightened. 無理やり樹脂製バルブ30を手などで押さえつけてガスケット50を潰そうとし、かつ、1本目の取付雄ネジ90を締め付けようとすると、図19に示すように、樹脂製流路ブロック20に対して樹脂製バルブ30が傾斜して、ガスケット50のシール面に傾きが発生する。 Trying crush the gasket 50 forcibly pressed the resin valve 30 hands, etc., and, when you Shimetsukeyo the first run of the mounting male thread 90, as shown in FIG. 19, the resin with respect to the resin flow path block 20 Ltd. valve 30 is inclined, the inclination is generated in the sealing surface of the gasket 50.

他の3本の取付雄ネジ90により、この傾斜を修正しながら締め付けても、ガスケット50のシール面に均一なシール力が得られず、薬液が漏れたりするという問題が生じる恐れがある。 The other three mounting male thread 90, be clamped while correcting the inclination, the gasket 50 uniform sealing force to the sealing surface can not be obtained, and which may cause a problem that chemical solution leaks.
このような問題が生じたまま半導体を製造してウエハーの最終工程で不具合が発見されると、工程をすべて遡って問題発生工程を探索することとなり、膨大な手間と工数が掛かるため、異常が発見されたならその場でその工程の薬液弁を交換する必要があった。 When trouble with such problems is to manufacture a semiconductor while resulting wafer final step is found, since it decided to explore all back the problem generation step to step, it takes enormous time and labor, abnormalities a chemical liquid valve of the process had to be replaced in the discovered if the spot.

また、薬液弁は、前記マスフローコントローラと同様に、狭い空間に上向きばかりではなく横向きや逆さ向きに取り付けられることが多く、薬液弁を交換する際に、作業者は一方の手で樹脂製バルブを樹脂製流路ブロックにあてがって押さえながら、他方の手で4本の取付雄ネジを差し込んで締め付けるという困難な作業を強いられていた。 Also, the chemical liquid valve, similar to the mass flow controller, often mounted sideways or upside down orientation not only upward in a narrow space, when replacing the chemical liquid valve, the operator of the resin valve with one hand while pressing and held against the resin flow path block, it had forced the difficult task of tightening insert the four mounting male thread with the other hand.

そこで、本発明は、かかる課題を解決すべく、薬液弁を構成する樹脂製流路ブロックに対して樹脂製バルブを、ガスケットを装着して連結する際に、樹脂製流路ブロックに対する樹脂製バルブの姿勢を正常に保ちつつ、短時間で容易に取り付けることを可能にした薬液弁取付方法を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention is to solve such problems, with respect to the resin flow path block constituting the chemical liquid valve a resin valve, when connected to a gasket, resin valves for resin flow path block while keeping the posture correctly, and an object thereof is to provide a chemical liquid valve mounting method allows for easy attachment of a short time.

本発明に係る請求項1に記載の薬液弁取付方法は、上面ポートと連通する流路と取付用貫通孔が形成された樹脂製流路ブロックと、前記樹脂製流路ブロックの取付用貫通孔と同軸の取付用貫通孔と下面ポートが形成された樹脂製バルブとを、前記上面ポートと前記下面ポートとの間にガスケットを装着した状態で、雌ネジ孔が形成されたベースプレートに対して、4本の取付雄ネジで取り付けて薬液弁となす薬液弁取付方法において、 前記4箇所の前記取付用貫通孔と前記雌ネジ孔が前記ガスケットの中心を軸対称とする対角線上にあり、中央に前記樹脂製バルブの上面を押圧する押圧手段を備え、前記押圧手段を中心にして前記対角線上に 2箇所の雄ネジ頭受け部が形成された取付用ブラケットを、前記2箇所の雄ネジ頭受け部に取り付け Chemical valve mounting method according to claim 1 according to the present invention, the upper surface port and a resin flow path block flow passage and the mounting through hole is formed which communicates, mounting through hole of the resin flow path block and a coaxial plastic valve through-hole and a lower surface port for attachment is formed in a state of mounting the gasket between the upper surface port and the lower surface port, the base plate of the female threaded hole is formed, in the chemical liquid valve mounting method which forms a chemical valve mounted in four mounting male thread is on a diagonal line, wherein said mounting holes of said four positions female screw hole is axisymmetric to the center of the gasket, the central a pressing means for pressing the upper surface of the resin valve to the male screw head receiving portion mounting bracket which is formed in two places on the diagonal line centering on the pressing means, and receives the male screw heads of the two locations attached to the Department れ、前記樹脂製バルブと樹脂製流路ブロックの取付用貫通孔を貫通した2本の治具ネジにより、前記雌ネジ孔に遊着させる第1工程と、前記押圧手段により、前記樹脂製バルブの上面を押圧することにより、前記ガスケットを装着した状態で、前記樹脂製バルブを前記樹脂製流路ブロック上の最終取付位置に移動させる第2工程と、前記治具ネジのない対角線上の 2箇所の雌ネジ孔に対して、2本の取付雄ネジを取り付ける第3工程と、を有することを特徴とする。 Is, by two jigs screws through the mounting holes of the resin valve and the resin flow path block, the first step of 遊着 to the female screw hole, by the pressing means, the resin valve by pressing the upper surface, while wearing the gasket, and a second step of moving the resin valve on the final mounted position on the resin flow path block, 2 diagonal without the jig screw the female screw hole locations, and having a third step of attaching the two mounting male thread, a.

よって、2本の治具ネジを樹脂製流路ブロックと樹脂製バルブとの取付用貫通孔を貫通させてベースプレートの雌ネジ孔に螺合させ、治具ネジにより樹脂製バルブを案内させることにより、樹脂製バルブを樹脂製流路ブロックに対して位置決めができ、治具ネジによりベースプレートの雌ネジ孔に遊着させた取付用ブラケットに設けた押圧手段を操作するだけでガスケットを挟みながら樹脂製バルブを最終取付位置に移動させることができるので、ガスケットのシール面に均一なシール力が得られ、かつ、ガスケット等からパーティクルを発生させずに、薬液弁を精度良く短時間で容易にベースプレートに取り付けることができる。 Thus, the two jigs screw by penetrating the mounting holes of a resin flow path block and the resin valve screwed into the female screw hole of the base plate, by guiding the resin valve by jig screws the resin valve can be positioned with respect to the resin flow path block, made of resin while sandwiching the gasket only by operating the pressing means provided in the mounting bracket that is 遊着 the female screw hole of the base plate by the jig screws it is possible to move the valve to the final mounting position, uniform sealing force to the sealing surface of the gasket can be obtained, and, without generating particles from the gasket or the like, to easily baseplate the chemical valve accurately in a short time it can be attached.

また、本発明に係る請求項2に記載の薬液弁取付方法は、請求項1に記載する薬液弁取付方法において、前記押圧手段が、前記取付用ブラケットに形成された雌ネジ部に螺合された押付けボルトであり、前記樹脂製バルブの平面視略中央に設けられた前記ガスケットの中心を押圧するものであることを特徴とする。 Also, the chemical liquid valve mounting method according to claim 2 of the present invention is a chemical valve mounting method according to claim 1, wherein the pressing means is screwed into a female threaded portion formed on the mounting bracket bolt der pressing was is, characterized der Rukoto which presses the center of the gasket provided in the plan view center of the resin valve.
よって、押付けボルトをねじ込むことにより、該押付けボルトが樹脂製バルブの上面を徐々に押圧するので、該樹脂製バルブはガスケットのシール面を均一にしながら徐々に最終取付位置に移動することができる。 Thus, by screwing the pressing bolt, since pressing bolts gradually presses the upper surface of the resin valve, the resin valve can be moved gradually final mounting position while a uniform sealing surface of the gasket.

また、本発明に係る請求項3に記載の薬液弁取付方法は、請求項1または請求項2に記載する薬液弁取付方法において、前記取付用ブラケットの前記雄ネジ頭受け部に切欠き部が形成され、前記治具ネジの上端近傍に前記取付用ブラケットの前記切欠き部と係合する小径部が形成されていることを特徴とする。 Also, the chemical liquid valve mounting method according to claim 3 of the present invention is a chemical valve mounting method according to claim 1 or claim 2, notches on the male screw head receiving portion of the mounting bracket is formed, characterized in that the small diameter portion to be engaged with the notch portion of the mounting bracket in the vicinity of the upper end of the jig screw is formed.
よって、予め治具ネジを樹脂製流路ブロックと樹脂製バルブとの取付用貫通孔を貫通させてベースプレートの雌ネジ孔に螺合させておき、その後、取付用ブラケットの前記切り欠き部を治具ネジの前記小径部に係合させるだけで、ワンタッチで取付用ブラケットを樹脂製バルブの上方に配置させることができる。 Therefore, advance the jig screw by penetrating the mounting holes of a resin flow path block and the resin valve screwed into the female screw hole of the base plate, then the notch of the mounting bracket jig just engaged with the small diameter portion of the sushi screws, the mounting brackets can be arranged above the resin valve with one touch.

また、本発明に係る請求項4に記載の薬液弁取付方法は、請求項1または請求項2に記載する薬液弁取付方法において、前記治具ネジの上面に雌ネジ孔が形成されており、前記雌ネジ孔に雄ネジボルトをねじ込むことにより、第1工程を行うことを特徴とする。 Also, the chemical liquid valve mounting method of claim 4 according to the present invention is a chemical valve mounting method according to claim 1 or claim 2, female screw holes are formed on the upper surface of the jig screw, by screwing the male screw bolts to the female threaded hole, and performing the first step.
よって、取付用ブラケットの雄ネジ頭受け部に雄ネジボルトを挿入した後、治具ネジの上部から雌ネジ孔に雄ネジボルトをねじ込むため、取付用ブラケットの取り付け作業を容易に行うことができる。 Thus, after inserting the male threaded bolts male screw head receiving portion of the mounting bracket, for screwing the male threaded bolts from the top of the jig screws into the female screw hole, it is possible to perform the mounting operation of the mounting bracket easily.

本発明によれば、樹脂製流路ブロックに治具ネジにより位置決めして樹脂製バルブを配置することができるので、樹脂製バルブ交換時に作業者は両手を使うことができる。 According to the present invention, it is possible to resin flow path block is positioned by a jig screws disposing a resin valve, the operator at the time of resin valve replacement can use both hands. また、治具ネジによりベースプレートに遊着された取付用ブラケットに設けた押圧手段により、樹脂製バルブを樹脂製流路ブロックの最終取付位置に徐々に正確に位置決めができる。 Also, a pressing means provided on the mounting bracket that is 遊着 to the base plate by a jig screw, a resin valve may gradually correctly positioned in the final mounting position of the resin flow path block.

次に、本発明に係る薬液弁取付方法の一の実施の形態について図面を参照して説明する。 It will now be described with reference to the accompanying drawings, an embodiment of the chemical valve mounting method according to the present invention. 本実施の形態の薬液弁取付方法は、半導体製造装置に適用されたものである。 Chemical valve mounting method of this embodiment is one that is applied to a semiconductor manufacturing device.
ここで、図1は、薬液弁の全体を示した斜視図であり、図2は、薬液弁の平面図である。 Here, FIG. 1 is a perspective view showing the overall chemical valve, FIG 2 is a plan view of the chemical valve. 図3は、薬液弁の側面断面図である。 Figure 3 is a side cross-sectional view of the chemical valve.

まず、薬液弁の構成について説明する。 First, the configuration of the chemical liquid valve. 薬液弁10は、図1ならびに図3に示すように、ベースプレート40上に載置される樹脂製流路ブロック20と、該樹脂製流路ブロック20上にガスケット50を挟んで取り付けられる樹脂製バルブ30とを備えている。 Chemical valve 10, as shown in FIGS. 1 and 3, the resin flow path block 20 to be placed on the base plate 40, the resin valve mounted across the gasket 50 on the resin flow path block 20 and a 30.
樹脂製流路ブロック20と樹脂製バルブ30とは、樹脂製流路ブロック20に設けられた取付用貫通孔23と、樹脂製バルブ30に設けられ前記樹脂製流路ブロック20の取付用貫通孔23と同軸の取付用貫通孔313とを貫通する4本の取付雄ネジ90でベースプレート40上に取り付けられている。 A resin flow path block 20 and the resin valve 30 is provided with a mounting through hole 23 provided in the resin flow path block 20, provided on the resin valve 30 mounting through hole of the resin flow path block 20 It is attached to the base plate 40 on at four mounting male thread 90 penetrating the 23 coaxial mounting holes 313.
なお、図1からも明らかなように、樹脂製バルブ30は、樹脂製流路ブロック20上に2個並んで取り付けられているが、取付方法は両者同一のため、説明は1方の樹脂製バルブ30について行う。 As is apparent from FIG. 1, the resin valve 30 is mounted alongside the two on the resin flow path block 20, since the mounting method of both identical, description 1-way made of resin performed on the valve 30.

ベースプレート40は、樹脂製流路ブロック20と同一の大きさを有する樹脂製厚板で、樹脂製流路ブロック20に設けられた取付用貫通孔23と同一ピッチで、樹脂製バルブ30の1個当たり4個の雌ネジ孔41が設けられたものである。 The base plate 40 is a resin thickness plate having a resin flow path block 20 the same size and, at the same pitch and mounting through holes 23 provided in the resin flow path block 20, one of the resin valve 30 in which four female screw holes 41 per are provided.

樹脂製流路ブロック20は、薬液に腐食されない樹脂で長方形のブロック状に成形されたもので、内部に薬液の流路21が設けられ、この流路21からバルブ30の中心に向かって縦孔211が穿設されて、その上端に上面ポート25が形成されている。 Resin flow path block 20 has been formed into a rectangular block shape with a resin which is not corroded by the chemical solution inside the chemical liquid flow path 21 is provided from the flow path 21 toward the center of the valve 30 vertical hole 211 is drilled, the upper surface port 25 is formed at its upper end.
また、樹脂製流路ブロック20の4角部には、上面から下面に貫通して、樹脂製バルブ30に設けられた取付用貫通孔313と同一のピッチで4個の取付用貫通孔23が設けられている。 Further, the four corners of the resin flow path block 20 penetrates from the upper surface to the lower surface, a resin for mounting provided on the valve 30 through hole 313 of the same pitch at the four mounting through holes 23 It is provided.

樹脂製バルブ30は、樹脂製流路ブロック20に直接載置される樹脂製のバルブボディ31と、該バルブボディ31の上に載置され、内部にピストン331を収納する樹脂製のシリンダ33と、該シリンダ33の上部を覆う樹脂製のトップカバー35とを備えた平面視で略正方形のもので、これらシリンダ33とトップカバー35の4角部に設けた貫通孔に通しボルトを貫通させてバルブボディ31に気密的に連結したものである。 Resin valve 30 includes a valve body 31 made of a resin to be placed directly on the resin flow path block 20 is placed on the said valve body 31, a resin cylinder 33 which houses a piston 331 therein , but substantially square in plan view and a top cover 35 made of resin which covers the upper portion of the cylinder 33, by penetrating the bolt through a through hole formed in the four corners of the cylinder 33 and the top cover 35 it is obtained by hermetically coupled to the valve body 31.

バルブボディ31の略中央部には、上下方向に貫通する流路311が穿設されており、その下端に下面ポート315が形成されている。 A substantially central portion of the valve body 31 are bored passage 311 penetrating in the vertical direction, the lower surface port 315 is formed at its lower end.
また、バルブボディ31の下端には、外側2方向に張り出したフランジ部317が形成され、該フランジ部317に、樹脂製流路ブロック20に設けられた取付用貫通孔23と同一ピッチで4個の取付用貫通孔313が設けられている。 Also, four on the lower end of the valve body 31, a flange portion 317 which protrudes outward in two directions is formed, and the flange portion 317, at the same pitch and mounting through holes 23 provided in the resin flow path block 20 mounting holes 313 are provided for.

なお、バルブボディ31とシリンダ33とトップカバー35の横壁には、ピストン331の制御用エアあるいは薬液が出入りするポートがそれぞれ設けられているが、断面図では省略してある。 Note that the lateral wall of the valve body 31 and the cylinder 33 and the top cover 35 is a port to control air or liquid medicine piston 331 moves in and out are provided, respectively, it is omitted in the sectional view.
上面ポート25と下面ポート315の間には、図17の拡大断面図に示すように、H形断面のガスケット50が挿入されて薬液の漏洩を防止するようにシールされている。 Between the top port 25 and a lower surface port 315, as shown in an enlarged sectional view of FIG. 17, the gasket 50 of the H-shaped cross section is sealed to be inserted to prevent the drug solution from leaking.

ガスケット50は、円周がH形断面に成形されたもので、このH形断面中央の上下の凹部51、52が、対向する断面底部に向かって先細状に傾斜し、かつ、その約2分の1の深さの部分が凹部内側に向かって僅かに突出して潰れ代を形成している。 The gasket 50 is intended circumference formed into H-shaped cross section, the recess 51, 52 and below the H-shaped cross-section center, inclined tapering towards the cross bottom facing, and of which about 2 minutes 1 of the depth of the portion of the form a margin collapse slightly projects toward the recess inwardly.
一方、ガスケット50が装着される上面ポート25と下面ポート315の開口部周囲には、ガスケット50の凹部51、52に嵌入するリング状の凸部251、3151が形成されている。 On the other hand, the peripheral openings of the top port 25 and a lower surface port 315 gasket 50 is attached, a ring-shaped protrusion 251,3151 that fits into the recess 51 and 52 of the gasket 50 is formed.

つぎに、樹脂製流路ブロック20に対して樹脂製バルブ30を交換する場合に使用する治具の構成について説明する。 It will now be described jig structure used when replacing the resin valve 30 with respect to the resin flow path block 20.
この第1の実施の形態では、治具は、図4に示すような治具ネジ80と、図6、図7に示すような中央に押圧手段70を有する取付用ブラケット60とを使用する。 In the first embodiment, the jig is used and the jig screws 80 as shown in FIG. 4, FIG. 6, a mounting bracket 60 having a pressing means 70 in the center as shown in FIG.
治具ネジ80は、樹脂製流路ブロック20と樹脂製バルブ30との高さより長い長尺の金属製ボルトで、下端にベースプレート40に設けられた雌ネジ孔41に螺合する雄ネジ部811が設けられ、一般部の外径より雄ネジ部811の径を若干細くして下部段付け部81を形成している。 Jig screws 80, in the longer elongated than the height of the resin flow path block 20 and the resin valve 30 metal bolt, a male screw portion 811 screwed into the female screw hole 41 provided in the base plate 40 at the lower end It is provided to form a lower stepped portion 81 a diameter of than the outer diameter externally threaded portion 811 of the main portion slightly thinner.

治具ネジ80の上部には、一般部の外径より若干細径の小径部85となし、該小径部85の上端に上部段付部83を形成して再び一般部の外径と同一の外径に戻り、該上部段付部83から先細状に上部に延在し、その上端にマイナスあるいはプラスのドライバ溝(図略)を形成した頭部87が設けられている。 The upper jig screws 80, slightly higher than the outside diameter of the general part diameter of the small diameter portion 85 ungated, outer diameter same as again general portion to form an upper stepped portion 83 on the upper end of the small-diameter portion 85 returning to the outer diameter, extends to the upper portion tapering from said upper stepped portion 83, the head 87 is provided to form a negative or positive driver groove (not shown) at its upper end. そして、下部段付け部81と上部段付部83との距離L1が高い精度で製作されている。 The distance L1 between the lower stepped portion 81 and the upper stepped portion 83 is fabricated with high accuracy.

取付用ブラケット60は、図7、図8に示すように、平面視で中央が円形に膨らんだ中央円形部63と、該中央円形部63から軸対称に突出した雄ネジ頭受け部61とを備えた金属厚板のものである。 Mounting bracket 60, as shown in FIG. 7, FIG. 8, a central circular portion 63 which center bulging circular in plan view, and a male screw head receiving portion 61 which projects axially symmetrically from the central circular portion 63 it is of the metal slab with.
中央円形部63の中央には、後述する押圧手段70としての大径の押付けボルト71が螺合される雌ネジ孔631が設けられている。 In the center of the central circular portion 63, a female screw hole 631 is provided with pressing bolt 71 having a large diameter as a pressing means 70 described later is screwed.
雄ネジ頭受け部61には、前記ベースプレート40に設けられた4個の雌ネジ孔41のうち対角線上の2個の雌ネジ孔41の距離と同一の距離で、互いに反対方向に開口する切欠き部611が形成されている。 Male screw head receiving portion 61, with two distance same distance and the female screw holes 41 of the diagonal of the four female screw holes 41 provided in the base plate 40, switching to open in opposite directions away portion 611 is formed. 切欠き部611の底部は、治具ネジ80の上部の小径部85の外径よりわずかに大きく、上部段付け部83の外径より小さな半円形に形成されている。 Bottom of the notch 611 is slightly larger than the outer diameter of the upper part of the small-diameter portion 85 of the jig screws 80, it is formed than the outer diameter of the upper stepped portion 83 in a small semi-circular.

押圧手段70は、頭部が平面視で円形で、その外周にローレットの滑り止め加工が施され、その下部に雄ネジが形成された大径の金属製の押付けボルト71を、前記取付用ブラケット60に設けた雌ネジ孔631に螺合して構成されている。 Pressing means 70, the head is circular in plan view, knurled slip processing is given on the outer circumference, a metallic pressing bolt 71 having a large diameter male screw formed on its lower portion, the mounting bracket screwed into the female screw hole 631 provided in 60 is constructed.

以上のように構成された第1の実施の形態の治具ネジ80と取付用ブラケット60ならびに押圧手段70を用いて、薬液弁10の樹脂製バルブ30を交換する際の取付方法について説明する。 Using the first embodiment of the fixture screw 80 and the mounting bracket 60 and pressing means 70 configured as described above will be described mounting method when replacing the resin valve 30 of the chemical valve 10. ただし、今まで取り付けられていた樹脂製バルブ30及びガスケット50はすでに取り外されているものとし、また、新たな樹脂製バルブ30の下面ポートには新たなガスケット50が仮付けされているものとする。 However, now the resin valve 30 and the gasket 50 was attached to is assumed to have already been removed, also in the new lower surface port of the resin valve 30 assumed a new gasket 50 is temporarily attached .

まず、図4に示すように、2本の治具ネジ80の下端の雄ネジ部811を、樹脂製流路ブロック20の対角線上にある取付用貫通孔23に差し込み、ベースプレート40の雌ネジ孔41に治具ネジ80の下部段付部81がベースプレート40の上面に当接して止まるまで螺合させる。 First, as shown in FIG. 4, the male screw portion 811 of the lower end of the two jig screws 80, inserted into the mounting through holes 23 in the diagonal of the resin flow path block 20, a female screw hole of the base plate 40 41 lower stepped portion 81 of the jig screw 80 is screwed until it stops in contact with the upper surface of the base plate 40 to. したがって、この状態では、2本の治具ネジ80が樹脂製流路ブロック20から突出していることになる。 Therefore, in this state, the two jigs screw 80 is protruded from the resin flow path block 20.

つぎに、図5に示すように、樹脂製流路ブロック20から突出している2本の治具ネジ80に、上方から新たな樹脂製バルブ30を、そのバルブボディ31に設けられた取付用貫通孔313を貫通させて、治具ネジ80により案内されながらガスケット50が樹脂製バルブ30の上面ポート25に接触して止まるまで載置する。 Next, as shown in FIG. 5, the two jigs screw 80 projecting from the resin flow path block 20, a new resin valve 30 from above, through a mounting provided on the valve body 31 the hole 313 is penetrated, while being guided by the jig screw 80 gasket 50 is placed until it stops in contact with the upper surface port 25 of the resin valve 30. したがって、この状態では、2本の治具ネジ80の頭部87が樹脂製バルブ30の上端より上方にあることになる。 Therefore, in this state, the head 87 of the two jig screw 80 will be located above the upper end of the resin valve 30.

そして、図6、図7に示すように、取付用ブラケット60の雌ネジ孔631に押付けボルト71を螺合した状態で雄ネジ頭受け部61に設けた切欠き部611を、治具ネジ80の小径部85に、平面視で時計回りに回動させて係合させる(ここまでが特許請求の範囲の第1工程に相当)。 Then, as shown in FIGS. 6 and 7, the notch 611 provided on the male screw head receiving portion 61 of the bolt 71 pressed against the female screw hole 631 of the mounting bracket 60 in a state screwed, jig screw 80 (corresponding to the first step in the range up to here claims) to the small diameter portion 85, to engage by rotating clockwise in a plan view of the.
一方の手で取付用ブラケット60が治具ネジ80の小径部85に係合した状態を保持しながら、他方の手で押付けボルト71の下端が取付用ブラケット60から伸長する方向に押付けボルト71を回動させて、図8に示すように、該押付けボルト71の先端を樹脂製バルブ30のトップカバー35の上面に当接させる。 While mounting bracket 60 with one hand holds the engaged with the small diameter portion 85 of the jig screw 80, a bolt 71 pressed against the direction in which the lower end of the bolt 71 is extended from the mounting bracket 60 pressed by the other hand is rotated, as shown in FIG. 8, it is brought into contact with the tip of the pressing bolts 71 on the upper surface of the top cover 35 of the resin valve 30.

さらに、押付けボルト71を回動させると、取付用ブラケット60が上方に移動させられて、雄ネジ頭受け部61の上面が切欠き部611で治具ネジ80の上部段付け部83に当接し、それ以上の上方移動が阻止される。 Further, pressing rotates the bolt 71, the mounting bracket 60 is moved upward, abuts on the upper stepped portion 83 of the jig screw 80 in the upper surface of the male screw head receiving portion 61 has notches 611 , further upward movement is prevented.
また、さらに、押付けボルト71を回動させると、押付けボルト71に押圧されて樹脂製バルブ30が治具ネジ80に案内されながら、徐々に樹脂製流路ブロック20に接触する。 Also, further, pressing rotates the bolt 71 is pressed resin valve 30 to the pressing bolt 71 while being guided by the jig screw 80 gradually contacts the resin flow path block 20. このとき、ガスケット50の凹部51、52にリング状の凸部251、3151がそれぞれ嵌入し、凹部51、52及び凸部251、3151が変形しながら上面ポート25および下面ポート315に装着され、気密が保持される(ここまでが特許請求の範囲の第2工程に相当)。 At this time, a ring-shaped protrusion 251,3151 are respectively inserted into the recess 51 and 52 of the gasket 50, the recesses 51, 52 and the convex portion 251,3151 is mounted on the upper surface port 25 and a lower surface port 315 while being deformed, the airtight There is held (corresponding to the second step of the range until the claims herein).

そして、樹脂製バルブ30が樹脂製流路ブロック20に確実に接触したことを確認したなら、治具ネジ80が取り付けられていない他の対角線上の2カ所の取付用貫通孔313、23に取付雄ネジ90を挿入して、その先端をベースプレート40の雌ネジ孔41に螺合し、樹脂製バルブ30を樹脂製流路ブロック20ならびにベースプレート40に規定のトルクで締め付ける(ここまでが特許請求の範囲の第3工程に相当)。 And if it was confirmed that the resin valve 30 is surely brought into contact with the resin flow path block 20, two locations attached to mounting through hole 313,23 of the other diagonal jig screw 80 is not attached insert the male screw 90, screwed its tip into the female screw hole 41 of the base plate 40, the resin valve 30 tightened with the specified torque to the resin flow path block 20 and the base plate 40 (until the claims herein range corresponds to the third step of).
その後、押付けボルト71を逆回転させて押圧状態を解除し、取付用ブラケット60を平面視で時計回りに回動させて雄ネジ頭受け部61の切欠き部611を治具ネジ80の小径部85から脱出させることにより、治具ネジ80から取付用ブラケット60を押圧手段70とともに取り外す。 Thereafter, the pressing bolt 71 is reversely rotated to release the pressing state, the small diameter of the notch 611 a jig screw 80 of the male screw head receiving portion 61 by a mounting bracket 60 is rotated counterclockwise in a plan view by escaping from section 85, remove the mounting bracket 60 together with the pressing means 70 from the jig screws 80.

その後、2本の治具ネジ80を逆回転させることによりベースプレート40の雌ネジ孔41および取付用貫通孔23、313から外し、空いた2個の取付用貫通孔23、313に取付雄ネジ90を挿入して雌ネジ孔41に螺合させて締め付ける。 Thereafter, by reverse rotation of the two jig screws 80 removed from the female screw hole 41 and the mounting through hole 23,313 of the base plate 40, the mounting male thread 90 to the two mounting holes 23,313 vacated insert the tightening is screwed into the female screw hole 41. これにより、新たな樹脂製バルブ30が樹脂製流路ブロック20を介してベースプレート40に取り付けられ、その交換が終了し、薬液弁が取り付けられたこととなる。 Thus, a new resin valve 30 is attached to the base plate 40 through a resin flow path block 20, the replacement is completed, so that the chemical liquid valve is attached.

よって、本第1の実施の形態の薬液弁取付方法は、棒状の治具ボルト80を予め樹脂製流路ブロック20ならびにベースプレート40に立設しておき、治具ボルト80により樹脂製バルブ30を案内でき、治具ボルト80の頭部に押圧手段70を含む取付用ブラケット60に設けた雄ネジ頭受け部61の切欠き部611をワンタッチで係合できるようにしたものである。 Thus, the chemical liquid valve mounting method of the first embodiment, leave standing the jig bolt 80 of the rod-like advance in the resin flow path block 20 and base plate 40, a resin valve 30 by the jig bolts 80 can guide, is obtained by allowing engage the notch 611 of the male screw head receiving portion 61 provided on the mounting bracket 60 which includes a pressing means 70 in the head portion of the jig the bolts 80 with one touch.

つぎに、薬液弁10の樹脂製バルブ30を交換する際の取付方法の第2の実施の形態について説明する。 Next, a description will be given of a second embodiment of the mounting method when replacing the resin valve 30 of the chemical valve 10. この第2の実施の形態では、交換する樹脂製バルブ30や樹脂製流路ブロック20ならびにベースプレート40は第1の実施の形態のものと全く同一であり、交換作業に用いる治具のみが異なるので、この相違部分を説明する。 In the second embodiment, the resin valve 30 and the resin flow path block 20 and the base plate 40 to replace are exactly the same as those of the first embodiment, since only the jig used for replacement is different , describing this different part.
この第2の実施の形態では、治具は、図9に示すような取付用ブラケット260と、図10に示す治具ネジ280と、押圧手段70として第1の実施の形態と同一の押し付けボルト71とを使用する。 In the second embodiment, the jig includes a mounting bracket 260 as shown in FIG. 9, the jig screw 280 shown in FIG. 10, the first embodiment and the same pressing bolt as a pressing means 70 to use and 71.

取付用ブラケット260は、形状は第1の実施の形態の取付用ブラケット60と同様に、平面視で中央が円形に膨らんだ中央円形部263と、該中央円形部263から対称に突出した雄ネジ頭受け部261とを備えた金属厚板で成形されたものである。 Mounting bracket 260 is shaped similarly to the mounting bracket 60 of the first embodiment, a central circular portion 263 central bulging circular in plan view, a male screw protruding symmetrically from the central circular portion 263 those molded with a metal plank and a headrest portion 261.
中央円形部263の中央には、第1の実施の形態と同一の押圧手段70としての大径の押付けボルト71が螺合される雌ネジ孔2631が設けられている。 In the center of the central circular portion 263, a female screw hole 2631 is provided with pressing bolt 71 having a large diameter as a first same pressing means 70 in the embodiment of is screwed. 雄ネジ頭受け部261には、前記ベースプレート40に設けられた4個の雌ネジ孔41の対角線上の距離と同一の距離で、治具ネジ280の一般部の外径よりわずかに大きい内径の孔部2611が成形されている。 Male screw head receiving portion 261, the distance and the same distance on the diagonal of the four female screw holes 41 provided in the base plate 40, jig screw 280 generally portion slightly larger inner diameter than the outer diameter of the hole 2611 is formed.

治具ネジ280は、一般外径部ならびに下端の雄ネジ部2811が第1の実施の形態の治具ネジ80と同一で、上端にボルト頭部287を備えるものである。 Jig screw 280, the general outer diameter and a lower end of the male threaded portion 2811 is identical to the fixture screw 80 of the first embodiment, but with a bolt head 287 to the upper end. 一般外径部の下端と雄ネジ部2811の上端との間に下部段付部281が形成され、この下部段付部281とボルト頭部287の下面との距離L2が第1の実施の形態の治具ネジ80の同じ位置の距離L1と同一の長さに設定されている。 Generally outside the lower stepped portion 281 between the upper end of the lower end and a male threaded portion 2811 of the diameter is formed, the distance L2 between the lower surface of the lower stepped portion 281 and the bolt head 287 is the first embodiment same is set to a length and a distance L1 at the same position of the jig screws 80.

以上のように構成された第2の実施の形態の治具ネジ280と取付用ブラケット260ならびに押圧手段70を用いて、薬液弁10の樹脂製バルブ30を交換する際の取付方法について説明する。 Using the second embodiment of the fixture screws 280 and mounting bracket 260 and the pressing means 70 configured as described above will be described mounting method when replacing the resin valve 30 of the chemical valve 10.
予め、取付用ブラケット260の孔部2611に治具ネジ280を差し込み、その後、押付けボルト71を雌ネジ孔2631に螺合させておく。 Previously, insert the jig screw 280 into the hole 2611 of the mounting bracket 260, previously then screwed a pressing bolt 71 into the female screw hole 2631. また、新たな樹脂製バルブ30の取付用貫通孔313に治具ネジ280の一般外径部を差し込んでおく。 Also, you should plug the general outer diameter of the jig screws 280 to mounting holes 313 of the new plastic valve 30.
そして、図11に示すように、2本の治具ネジ280の下端の雄ネジ部2811を、樹脂製バルブ30の対角線上にある取付用貫通孔313と樹脂製流路ブロック20の対角線上にある取付用貫通孔23に差し込み、樹脂製バルブ30の下面ポート315に仮付けされているガスケット50が樹脂製流路ブロック20の上面ポート25に接触して止まるまで載置してベースプレート40の雌ネジ孔41に治具ネジ280の下部段付部281がベースプレート40の上面に当接して止まるまで螺合させる(ここまでが特許請求の範囲の第1工程に相当)。 Then, as shown in FIG. 11, two male screw portion 2811 of the lower end of the jig screws 280, on the diagonal line of mounting holes 313 and the resin flow path block 20 in the diagonal of the resin valve 30 Plug in some mounting holes 23, the base plate 40 by tacking has been that the gasket 50 on the lower surface port 315 is placed until it stops in contact with the upper surface port 25 of the resin flow path block 20 of resin valve 30 female lower stepped portion 281 of the jig screw 280 screwed until it stops in contact with the upper surface of the base plate 40 to threaded hole 41 (corresponding to the first step of the range until the claims herein).

その後、押付けボルト71を押付けボルト71の下端が取付用ブラケット60から伸長する方向に回動させて、該押付けボルト71の先端を樹脂製バルブ30のトップカバー35の上面に当接させ、さらに押付けボルト71を回動させると取付用ブラケット260が上方に移動させられて、雄ネジ頭受け部261の上面が治具ネジ280のボルト頭部287の下面に当接し、それ以上の上方移動が阻止される。 Thereafter, by rotating in the direction in which the lower end of the bolt 71 presses the pressing bolt 71 extends from the mounting bracket 60, the leading end of the pressing bolts 71 abut the upper surface of the top cover 35 of the resin valve 30, further pressing It rotates the bolt 71 by mounting bracket 260 is moved upwardly, contact, further upward movement is prevented on the lower surface of the upper surface of the male screw head receiving portion 261 has tool bolt head 287 of the screw 280 It is.
また、さらに、押付けボルト71を回動させると、図12に示すように、樹脂製バルブ30が治具ネジ280に案内されながら押付けボルト71に押圧されて、徐々に樹脂製流路ブロック20に接触する。 Also, further, rotates the pressing bolt 71, as shown in FIG. 12, the resin valve 30 is pressed by the bolt 71 pressed while being guided by the jig screw 280, and gradually the resin flow path block 20 Contact. このとき、ガスケット50の凹部51、52にリング状の凸部251、3151がそれぞれ嵌入し、凹部51、52及び凸部251、3151が変形しながら上面ポート25および下面ポート315に装着され、気密が保持される(ここまでが特許請求の範囲の第2工程に相当)。 At this time, a ring-shaped protrusion 251,3151 are respectively inserted into the recess 51 and 52 of the gasket 50, the recesses 51, 52 and the convex portion 251,3151 is mounted on the upper surface port 25 and a lower surface port 315 while being deformed, the airtight There is held (corresponding to the second step of the range until the claims herein).

そして、樹脂製バルブ30が樹脂製流路ブロック20に確実に接触したことを確認したなら、治具ネジ280が取り付けられていない他の対角線上の2カ所の取付用貫通孔23に取付雄ネジ90を挿入して、その先端をベースプレート40の雌ネジ孔41に螺合し、樹脂製バルブ30を樹脂製流路ブロック20ならびにベースプレート40に締め付ける(ここまでが特許請求の範囲の第3工程に相当)。 And if it was confirmed that the resin valve 30 is surely brought into contact with the resin flow path block 20, mounting male thread into the mounting through holes 23 of the two locations on the other diagonal fixture screw 280 is not attached insert 90, screwed its tip into the female screw hole 41 of the base plate 40, the resin valve 30 fastened to the resin flow path block 20 and the base plate 40 (up to here in the third step of the claims or equivalent).
その後、押付けボルト71を逆回転させて押圧状態を解除し、治具ネジ280のボルト頭部287を逆に回動させてベースプレート40の雌ネジ孔41から外し、樹脂製流路ブロック20の取付用貫通孔23と樹脂製バルブ30の取付用貫通孔313とから脱出させることにより、取付用ブラケット60を押圧手段70とともに取り外す。 Then, pressing the bolt 71 is reversely rotated to release the pressing state, the bolt head 287 of the jig screw 280 is rotated in the reverse off from the female screw hole 41 of the base plate 40, the mounting of the resin flow path block 20 by escape from use through holes 23 and mounting of the resin valve 30 through holes 313, remove the mounting bracket 60 together with the pressing means 70.

そして、空いた2個の取付用貫通孔23、313に取付雄ネジ90を挿入して雌ネジ孔41に螺合させて締め付ける。 The tightened screwed into the female screw hole 41 by inserting the mounting male thread 90 to the two mounting holes 23,313 vacated. これにより、新たな樹脂製バルブ30が樹脂製流路ブロック20およびベースプレート40に取り付けられ、その交換が終了する。 Thus, a new resin valve 30 is attached to the resin flow path block 20 and the base plate 40, the exchange is completed.

よって、本第2の実施の形態の薬液弁取付方法は、ボルト状の治具ネジ280を予め取付用ブラケット260の孔部2611に挿通して、これに押圧手段70としての押付けボルト71を螺合しておくので、治具の持ち込みを一度にできるようにしたものである。 Thus, the chemical liquid valve mounting method of the second embodiment is inserted into the hole 2611 of the pre-mounting bracket 260 bolt-shaped jig screw 280, threaded a pressing bolt 71 as a pressing means 70 to since previously combined and is obtained by allowing the carry jig at once.

つぎに、薬液弁10の樹脂製バルブ30を交換する際の取付方法の第3の実施の形態について説明する。 Next, a description will be given of a third embodiment of the mounting method when replacing the resin valve 30 of the chemical valve 10. この第3の実施の形態に用いる治具は、治具ネジ380と、該治具ネジ380の頭部に螺合される雄ネジボルト387と、押圧手段70としての押付けボルト71を備えた取付用ブラケット360とからなる。 The jig is used for the third embodiment, the jig screw 380, a male screw bolts 387 screwed to the head of the jig screws 380, for mounting with a pressing bolt 71 as a pressing means 70 consisting of bracket 360 Metropolitan.
治具ネジ380は、図13に示すように、一般外径部ならびに下端の雄ネジ部3811が第1の実施の形態の治具ネジ80と同一で、上面に雌ネジ孔385が形成されたものである。 Jig screw 380, as shown in FIG. 13, the general outer diameter and a lower end of the male threaded portion 3811 is the same as jig screw 80 of the first embodiment, a female screw hole 385 is formed on the upper surface it is intended. 一般外径部の下端と雄ネジ部3811の上端とに下部段付部381が形成され、この下部段付部381と治具ネジ380の上面との距離L3が、第1の実施の形態の治具ネジ80の同じ位置の距離L1より取付用ブラケット360の板厚分だけ短く設定されている。 Generally outer lower end a male threaded portion lower stepped portions 381 and the upper end of 3811 of the diameter is formed, the distance L3 between the upper surface of this and the lower stepped portion 381 jig screw 380, in the first embodiment It is set shorter by the thickness of the mounting bracket 360 min than the distance L1 at the same position in fixture screw 80.

雄ネジボルト387は、ボルト頭部3871と、その下部に雄ネジ部3873とを有する金属製ボルトである。 Male threaded bolts 387, the bolt head 3871, a metal bolt having a male threaded portion 3873 on the bottom.
取付用ブラケット360は、第2の実施の形態の取付用ブラケット260に設けられた孔部2611の径をわずかに小さくして孔部3611としたもので、その他の構成は第2の実施の形態の取付用ブラケット260と同一である。 Mounting bracket 360 is intended to the second embodiment of the holes 3611 a diameter slightly smaller hole portion 2611 provided in the mounting bracket 260, the other configurations the second embodiment it is identical to the mounting bracket 260.

以上のように構成された第3の実施の形態の治具ネジ380と雄ネジボルト387と取付用ブラケット360ならびに押圧手段70とを用いて、薬液弁10の樹脂製バルブ30を交換する際の取付方法について説明する。 With a third embodiment of the jig screw 380 and male threaded bolts 387 and the mounting bracket 360 and the pressing means 70 configured as described above, attached at the time of replacing the resin valve 30 of the chemical valve 10 a description will be given of a method.
まず、図13に示すように、2本の治具ネジ380の下端の雄ネジ部3811を、樹脂製流路ブロック20の対角線上にある取付用貫通孔23に差し込み、ベースプレート40の雌ネジ孔41に治具ネジ380の下部段付部381がベースプレート40の上面に当接して止まるまで螺合させる。 First, as shown in FIG. 13, two male screw portion 3811 of the lower end of the jig screws 380, inserted into the mounting through holes 23 in the diagonal of the resin flow path block 20, a female screw hole of the base plate 40 41 lower stepped portion 381 of the jig screw 380 is screwed until it stops in contact with the upper surface of the base plate 40 to. したがって、この状態では、2本の治具ネジ380が樹脂製流路ブロック20から突出していることになる。 Therefore, in this state, the two jigs screw 380 is protruded from the resin flow path block 20.

つぎに、取付用ブラケット360の孔部311に雄ネジボルト387の雄ネジ部3873を貫通させて、治具ネジ380の上面に設けられた雌ネジ孔385に雄ネジ部3873を螺合させる。 Then, the hole 311 of the mounting bracket 360 by penetrating the male threaded portion 3873 of the male threaded bolts 387, the male threaded portion 3873 is screwed into the female screw hole 385 provided on the upper surface of the jig screws 380. このとき、取付用ブラケット360は、図14に示すように、治具ネジ380の上面と雄ネジボルト387のボルト頭部3871とにより狭持されて、治具ネジ380の上端に固定される(ここまでが特許請求の範囲の第1工程に相当)。 At this time, the mounting bracket 360, as shown in FIG. 14, is sandwiched by the bolt head 3871 of the upper surface and the male screw bolts 387 jig screw 380 is fixed to the upper end of the fixture screws 380 (here until corresponds to the first step in the claims).

その後、押付けボルト71の下端が取付用ブラケット60から伸長する方向に押付けボルト71を回動させて、該押付けボルト71の先端を樹脂製バルブ30のトップカバー35の上面に当接させ、さらに押付けボルト71を回動させると、図12に示すと同様に、樹脂製バルブ30が治具ネジ380に案内されながら押付けボルト71に押圧されて、徐々に樹脂製流路ブロック20に接触する。 Thereafter, by rotating the bolts 71 pressed in the direction of the lower end of the pressing bolt 71 extends from the mounting bracket 60, the leading end of the pressing bolts 71 abut the upper surface of the top cover 35 of the resin valve 30, further pressing rotates the bolt 71, as in the case shown in FIG. 12, the resin valve 30 is pressed by the bolt 71 pressed while being guided by the jig screw 380 gradually contacts the resin flow path block 20. このとき、ガスケット50の凹部51、52にリング状の凸部251、3151がそれぞれ嵌入し、凹部51、52及び凸部251、3151が変形しながら上面ポート25および下面ポート315に装着され、気密が保持される(ここまでが特許請求の範囲の第2工程に相当)。 At this time, a ring-shaped protrusion 251,3151 are respectively inserted into the recess 51 and 52 of the gasket 50, the recesses 51, 52 and the convex portion 251,3151 is mounted on the upper surface port 25 and a lower surface port 315 while being deformed, the airtight There is held (corresponding to the second step of the range until the claims herein).

そして、樹脂製バルブ30が樹脂製流路ブロック20に確実に接触したことを確認したなら、治具ネジ380が取り付けられていない他の対角線上の2カ所の取付用貫通孔23に取付雄ネジ90を挿入して、その先端をベースプレート40の雌ネジ孔41に螺合し、樹脂製バルブ30を樹脂製流路ブロック20ならびにベースプレート40に締め付ける(ここまでが特許請求の範囲の第3工程に相当)。 And if it was confirmed that the resin valve 30 is surely brought into contact with the resin flow path block 20, mounting male thread into the mounting through holes 23 of the two locations on the other diagonal fixture screw 380 is not attached insert 90, screwed its tip into the female screw hole 41 of the base plate 40, the resin valve 30 fastened to the resin flow path block 20 and the base plate 40 (up to here in the third step of the claims or equivalent).
その後、押付けボルト71を逆回転させて押圧状態を解除し、雄ネジボルト387のボルト頭部2871を逆に回動させて治具ネジ380の雌ネジ孔385から雄ネジボルト387を外す。 Then, pressing the bolt 71 is reversely rotated to release the pressing state, removing the male threaded bolts 387 from the female screw hole 385 of the jig screws 380 by rotating the bolt head 2871 of a male threaded bolts 387 to the reverse. すると、取付用ブラケット360が押圧手段70とともに取り外されることとなる。 Then, so that the mounting bracket 360 is removed together with the pressing means 70.

さらに、治具ネジ380の一般外径部を逆に回動させてベースプレート40の雌ネジ孔41から外し、樹脂製流路ブロック20と樹脂製バルブ30の取付用貫通孔23、313から脱出させて、空いた2個の取付用貫通孔23、313に取付雄ネジ90を挿入して雌ネジ孔41に螺合させて締め付ける。 Further, by rotating the general outer diameter of the fixture screws 380 in the reverse off from the female screw hole 41 of the base plate 40, is escape from mounting through holes 23,313 of the resin flow path block 20 and the resin valve 30 Te, tightened screwed into the female screw hole 41 by inserting the mounting male thread 90 to the two mounting holes 23,313 vacated. これにより、新たな樹脂製バルブ30が樹脂製流路ブロック20およびベースプレート40に取り付けられ、その交換が終了する。 Thus, a new resin valve 30 is attached to the resin flow path block 20 and the base plate 40, the exchange is completed.

よって、本第3の実施の形態の薬液弁取付方法は、棒状の治具ボルト380を予め樹脂製流路ブロック20ならびにベースプレート40に立設しておき、治具ボルト80により樹脂製バルブ30を案内でき、治具ボルト380の頭部に押圧手段70を含む取付用ブラケット60を雄ネジボルト387で固定できるようにしたものである。 Thus, the chemical liquid valve mounting method of the third embodiment, leave standing the jig bolt 380 of the rod-like advance in the resin flow path block 20 and base plate 40, a resin valve 30 by the jig bolts 80 can guide is obtained by such a mounting bracket 60 which includes a pressing means 70 in the head portion of the jig bolt 380 can be fixed with the male screw bolts 387.

なお、本発明は前記実施の形態のものに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。 The present invention is not limited to those of the above embodiment, but can be modified in various ways without departing from the scope and spirit thereof.
例えば、前記実施の形態では、樹脂製バルブが樹脂製流路ブロック及びベースプレートに上部(樹脂製バルブ)側から締め付けられるもので説明したが、これに限られず、ベースプレート側から樹脂製バルブに向かって締め付けられるものにも適用が可能である。 For example, the above embodiment has been described with what plastic valve is fastened to the resin flow path block and the base plate from the top (the resin valve) side, not limited thereto, from the base plate side to a resin valve applicable to those tightened are possible.
また、押圧手段として大径の押し付けボルトを回動するもので説明したが、図115、図16に示すようなレバー式のもの、あるいは、図は省略したがパンタグラフ式のものを取付用ブラケットに設けたものであってもよい。 Although described in which rotating the pressing bolt having a large diameter as the pressing means, FIG. 115, one of the lever-type as shown in FIG. 16, or FIG. The mounting bracket those omitted although the pantograph or it may be provided.

本発明は、上面ポートと連通する流路と取付用貫通孔が形成された樹脂製流路ブロックと、前記樹脂製流路ブロックの取付用貫通孔と同軸の取付用貫通孔と下面ポートが形成された樹脂製バルブとを、前記上面ポートと前記下面ポートとの間にガスケットを装着した状態で、雌ネジ孔が形成されたベースプレートに対して、4本の取付雄ネジで取り付けて薬液弁となす薬液弁取付方法において、 前記4箇所の前記取付用貫通孔と前記雌ネジ孔が前記ガスケットの中心を軸対称とする対角線上にあり、中央に前記樹脂製バルブの上面を押圧する押圧手段を備え、前記押圧手段を中心にして前記対角線上に 2箇所の雄ネジ頭受け部が形成された取付用ブラケットを、前記2箇所の雄ネジ頭受け部に取り付けられ、前記樹脂製バルブと樹脂製流路ブ The present invention includes a resin flow path block flow passage and the mounting through hole is formed which communicates with the upper surface port, mounting through hole coaxially mounting through hole and the lower surface port of the resin flow path block form and a resin-made valve, which is, in a state of mounting the gasket between the upper surface port and the lower surface port, the base plate of the female threaded hole is formed, and the chemical valve mounted in four mounting male thread in Nasu chemical valve mounting method is on the diagonal of the said mounting holes of said four positions female screw hole is axisymmetric to the center of the gasket, the pressing means for pressing the upper surface of the resin valve to the central wherein the to the mounting bracket male screw head receiving portion formed at two locations on the diagonal line centering on the pressing means, mounted on the male screw head receiving portion of the two locations, the resin-made valve and the resin the passage Breakfast ックの取付用貫通孔を貫通した2本の治具ネジにより、前記雌ネジ孔に遊着させる第1工程と、前記押圧手段により、前記樹脂製バルブの上面を押圧することにより、前記ガスケットを装着した状態で、前記樹脂製バルブを前記樹脂製流路ブロック上の最終取付位置に移動させる第2工程と、前記治具ネジのない対角線上の 2箇所の雌ネジ孔に対して、2本の取付雄ネジを取り付ける第3工程とを有するようにしたので、予め治具ネジにより新たな樹脂製バルブを樹脂製流路ブロック上に傾斜させずに案内でき、徐々にガスケットを押圧しながら最終取付位置に移動させることが可能となった。 The click two jig screws through the mounting holes of the first step of 遊着 to the female screw hole by said pressing means, by pressing the upper surface of the resin valve, the gasket the while wearing, and a second step of moving the resin valve on the final mounted position on the resin flow path block, the female screw hole of the two positions on a diagonal line without the jig screw, 2 since as a third step of attaching the present attachment male screw, you can guide the new plastic valve by pre jig screws without inclining the resin flow path on the block, while pressing the gasket gradually it becomes possible to move to the final mounting position.

本発明の一の実施の形態に係る薬液弁の全体を示した斜視図である。 Is a perspective view showing the overall chemical valve according to an embodiment of the present invention. 本発明の一の実施の形態に係る薬液弁の平面図である。 It is a plan view of a chemical valve according to an embodiment of the present invention. 図2のA−A線に沿う断面図である。 It is a sectional view taken along the line A-A of FIG. 本発明の第一の実施の形態に係る治具ネジをベースプレートに立設した断面図である。 The jig screw according to the first embodiment of the present invention is a cross-sectional view taken vertically to the base plate. 本発明の第一の実施の形態に係る治具ネジに樹脂製バルブを挿入した断面図である。 It is a cross-sectional view of inserting a resin valve jig screw according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第一の実施の形態に係る治具ネジに取付用ブラケットを装着した断面図である。 Is a cross-sectional view of the mounting bracket is mounted on a jig screw according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第一の実施の形態に係る治具ネジに取付用ブラケットを装着した平面図である。 It is a plan view of the mounting bracket is mounted on a jig screw according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第一の実施の形態に係る押圧手段により、樹脂製バルブを樹脂製流路ブロックに押圧した断面図である。 A pressing means according to the first embodiment of the present invention, is a cross-sectional view of a resin valve was pressed against the resin flow path block. 本発明の第二の実施の形態に係る取付用ブラケットの平面図である。 It is a plan view of a mounting bracket according to the second embodiment of the present invention. 本発明の第二の実施の形態に係る取付用ブラケットに治具ボルトを挿入した断面図である。 A mounting bracket according to the second embodiment of the present invention is a cross-sectional view of inserting the jig bolts. 本発明の第二の実施の形態に係る治具ボルトを樹脂製バルブに挿入し、ベースプレートに立設した断面図である。 The jig bolt according to a second embodiment of the present invention is inserted into a resin valve, a cross-sectional view taken vertically to the base plate. 本発明の第二の実施の形態に係る押圧手段により、樹脂製バルブを樹脂製流路ブロックに押圧した断面図である。 A pressing means according to the second embodiment of the present invention, is a cross-sectional view of a resin valve was pressed against the resin flow path block. 本発明の第三の実施の形態に係る治具ネジをベースプレートに立設し、治具ネジに樹脂製バルブを挿入した断面図である。 The jig screw according to the third embodiment of the present invention erected on a base plate, a cross-sectional view of inserting a resin valve jig screws. 本発明の第三の実施の形態に係る治具ネジの上端に取付用ブラケットを固定した断面図である。 It is a cross-sectional view of a fixed mounting bracket to the upper end of the jig screw according to the third embodiment of the present invention. 本発明の一の実施の形態に係る押圧手段の変形例の、非押圧状態を示す断面図である。 Modification of the pressing means in accordance with a preferred embodiment of the present invention, is a cross-sectional view showing the non-pressed state. 本発明の一の実施の形態に係る押圧手段の変形例の、押圧状態を示す断面図である。 Modification of the pressing means in accordance with a preferred embodiment of the present invention, is a cross-sectional view showing a pressed state. 本発明の一の実施の形態に係るガスケットの拡大断面図である。 It is an enlarged sectional view of a gasket according to an embodiment of the present invention. 従来の薬液弁取付方法の初期の断面図である。 It is the initial cross-sectional view of a conventional chemical liquid valve mounting method. 従来の薬液弁取付方法の途中の断面図である。 It is a cross-sectional view of the middle of a conventional chemical liquid valve mounting method.

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

10 薬液弁20 樹脂製流路ブロック23 取付用貫通孔25 上面ポート251 リング状の凸部30 樹脂製バルブ31 バルブシート313 取付用貫通孔315 下面ポート3151 リング状の凸部33 シリンダ35 トップカバー40 ベースプレート41 雌ネジ孔50 ガスケット51、52 凹部60、260、360 取付用ブラケット61、261 雄ネジ頭受け部611 切欠き部2611、3611 孔部63、263 中央円形部70 押圧手段71 押付けボルト80、280、380 治具ネジ81、281、381 下部段付け部811、2811、3811 雄ネジ部83 上部段付け部287、3871 ボルト頭部385 雌ネジ孔387 雄ネジボルト90 取付雄ネジ 10 chemical valve 20 resin flow path block 23 mounting holes 25 top port 251 ring-like protrusion 30 the resin valve 31 valve seat 313 mounting through holes 315 lower surface port 3151 ring-shaped convex portion 33 the cylinder 35 top cover 40 The base plate 41 female screw hole 50 the gasket 51, 52 recesses 60,260,360 mounting bracket 61,261 male screw head receiving portion 611 cutout portions 2611,3611 hole 63,263 central circular portion 70 pressing means 71 pressing bolt 80, 280,380 jig screw 81,281,381 lower stepped portion 811,2811,3811 male thread portion 83 the upper stepped portion 287,3871 bolt head 385 female screw hole 387 male threaded bolt 90 mounted male screw

Claims (4)

  1. 上面ポートと連通する流路と取付用貫通孔が形成された樹脂製流路ブロックと、前記樹脂製流路ブロックの取付用貫通孔と同軸の取付用貫通孔と下面ポートが形成された樹脂製バルブとを、前記上面ポートと前記下面ポートとの間にガスケットを装着した状態で、雌ネジ孔が形成されたベースプレートに対して、4本の取付雄ネジで取り付けて薬液弁となす薬液弁取付方法において、 A resin flow path block flow passage and the mounting through hole is formed which communicates with the upper surface port, resinous mounting through hole coaxially mounting through hole and the lower surface port of the resin flow path block is formed a valve, wherein in a state of mounting the gasket between the upper surface port and the lower surface port, the base plate of the female threaded hole is formed, the chemical liquid valve mounting which forms a chemical valve mounted in four mounting male thread in the method,
    前記4箇所の前記取付用貫通孔と前記雌ネジ孔が前記ガスケットの中心を軸対称とする対角線上にあり、 Located on a diagonal line where the female screw hole and the mounting through hole of the four locations are axisymmetric to the center of the gasket,
    中央に前記樹脂製バルブの上面を押圧する押圧手段を備え、前記押圧手段を中心にして前記対角線上に 2箇所の雄ネジ頭受け部が形成された取付用ブラケットを、前記2箇所の雄ネジ頭受け部に取り付けられ、前記樹脂製バルブと樹脂製流路ブロックの取付用貫通孔を貫通した2本の治具ネジにより、前記雌ネジ孔に遊着させる第1工程と、 A pressing means for pressing the upper surface of the resin valve in the center, to the mounting bracket male screw head receiving portion formed at two locations on the diagonal line centering on the pressing means, the two positions of the male thread attached to the head receiving portion, the two jigs screws through the mounting holes of the resin valve and the resin flow path block, the first step of 遊着 to the female screw hole,
    前記押圧手段により、前記樹脂製バルブの上面を押圧することにより、前記ガスケットを装着した状態で、前記樹脂製バルブを前記樹脂製流路ブロック上の最終取付位置に移動させる第2工程と、 By the pressing means, by pressing the upper surface of the resin valve, while wearing the gasket, and a second step of moving the resin valve on the final mounted position on the resin flow path block,
    前記治具ネジのない対角線上の 2箇所の雌ネジ孔に対して、2本の取付雄ネジを取り付ける第3工程と、 Against two positions of the female threaded hole on a diagonal line without the jig screw, and a third step of attaching the two mounting male thread,
    を有することを特徴とする薬液弁取付方法。 Chemical valve mounting method characterized in that it comprises a.
  2. 請求項1に記載する薬液弁取付方法において、 In the chemical liquid valve mounting method according to claim 1,
    前記押圧手段が、前記取付用ブラケットに形成された雌ネジ部に螺合された押付けボルトであり、前記樹脂製バルブの平面視略中央に設けられた前記ガスケットの中心を押圧するものであることを特徴とする薬液弁取付方法。 Der which the pressing means, wherein Ri screwed pressed against the bolt der the female screw portion formed on the mounting bracket to press the center of the gasket provided in the plan view center of the resin valve chemical valve mounting method comprising Rukoto.
  3. 請求項1または請求項2に記載する薬液弁取付方法において、 In the chemical liquid valve mounting method according to claim 1 or claim 2,
    前記取付用ブラケットの前記雄ネジ頭受け部に切欠き部が形成され、 The notches on the male screw head receiving portion of the mounting bracket is formed,
    前記治具ネジの上端近傍に前記取付用ブラケットの前記切欠き部と係合する小径部が形成されていることを特徴とする薬液弁取付方法。 Chemical valve mounting method characterized by small diameter portion to be engaged with the notch portion of the mounting bracket in the vicinity of the upper end of the jig screw is formed.
  4. 請求項1または請求項2に記載する薬液弁取付方法において、 In the chemical liquid valve mounting method according to claim 1 or claim 2,
    前記治具ネジの上面に雌ネジ孔が形成されており、前記雌ネジ孔に雄ネジボルトをねじ込むことにより、第1工程を行うことを特徴とする薬液弁取付方法。 Wherein the upper surface of the jig screws are female screw hole is formed, by screwing the male threaded bolts to the female threaded hole, the chemical liquid valve mounting method characterized by performing the first step.
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