JP4653551B2 - Chemical valve mounting method - Google Patents
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Description
本発明は、薬液弁を樹脂製流路ブロックに対して、シール部材を介して取り付けるときの取付方法に関するものである。 The present invention relates to an attachment method for attaching a chemical valve to a resin flow path block via a seal member.
半導体製造ラインには、高度に集積化されたガス供給ユニットが多数使用されている。ガス供給ユニットにおいては、所定量のガスを供給するためにマスフローコントローラが使用されている。マスフローコントローラは、非常に細い管を利用しており、また、半導体製造ラインで使用されるガスは腐食性の高いものが多いため、つまりが発生しやすく、マスフローコントローラを交換する頻度が多い。
マスフローコントローラは、狭い空間に取り付けられていたり、また、横向き等に取り付けられている場合もあり、交換時の作業性が悪い問題があり、本出願人は、特許文献1において、4本のネジ孔のうちの2本にガイドロッドを取り付けた状態で、マスフローコントローラを取り付ける方法を提案している。
Many highly integrated gas supply units are used in semiconductor manufacturing lines. In the gas supply unit, a mass flow controller is used to supply a predetermined amount of gas. The mass flow controller uses very thin tubes, and the gas used in the semiconductor production line is often highly corrosive, so that clogging is likely to occur and the mass flow controller is frequently replaced.
The mass flow controller may be mounted in a narrow space, or may be mounted sideways or the like, which has a problem of poor workability at the time of replacement. A method of attaching a mass flow controller with a guide rod attached to two of the holes has been proposed.
一方、半導体製造ラインでは、ガスの他に薬液を用いてエッチングを行う場合があり、その薬液を供給するための薬液弁も多く使用されている。薬液も、腐食性の強いものが多いので、薬液弁の材質としては、PTFE、PFA等のフッ素系樹脂が使用されている。
薬液弁も、故障時には交換が必要となるが、交換時の作業性が悪いという問題がある。
薬液弁10は、図1及び図3に示すように、ベースプレート40上に載置された樹脂製流路ブロック20と、この樹脂製流路ブロック20に形成された流路に連通する上面ポート25にガスケット50を装着した状態で下面ポート315と連通する樹脂製バルブ30とを備えたもので、ベースプレート40に4本の取付雄ネジ90で取り付けられている。
The chemical valve also needs to be replaced in the event of a failure, but there is a problem that workability at the time of replacement is poor.
As shown in FIGS. 1 and 3, the
樹脂製バルブ30を交換するために、新たな樹脂製バルブ30を樹脂製流路ブロック20にガスケット50を装着して連結する際に、取付雄ネジ90の推力によってガスケット50を徐々に潰していくことが行われている。ところが、図17に示すような径方向に圧入代を設けたガスケット50を使用する場合は、その圧入距離がシール性能に関係してくるため、高いシール力を持つガスケットは組立前に樹脂製流路ブロック20と樹脂製バルブ30との間に大きな隙間を生じることが多い。
In order to replace the
この隙間が大きいと、図18に示すように、取付雄ネジ90の先端がベースプレート40に設けた雌ネジ孔41に届かず、締め付けることができないという問題がある。無理やり樹脂製バルブ30を手などで押さえつけてガスケット50を潰そうとし、かつ、1本目の取付雄ネジ90を締め付けようとすると、図19に示すように、樹脂製流路ブロック20に対して樹脂製バルブ30が傾斜して、ガスケット50のシール面に傾きが発生する。
If this gap is large, the tip of the mounting
他の3本の取付雄ネジ90により、この傾斜を修正しながら締め付けても、ガスケット50のシール面に均一なシール力が得られず、薬液が漏れたりするという問題が生じる恐れがある。
このような問題が生じたまま半導体を製造してウエハーの最終工程で不具合が発見されると、工程をすべて遡って問題発生工程を探索することとなり、膨大な手間と工数が掛かるため、異常が発見されたならその場でその工程の薬液弁を交換する必要があった。
Even if the other three mounting
If such a problem occurs and a semiconductor is manufactured and a defect is discovered in the final process of the wafer, the process will be traced all the way back to find the process where the problem occurred. If discovered, it was necessary to replace the chemical valve of the process on the spot.
また、薬液弁は、前記マスフローコントローラと同様に、狭い空間に上向きばかりではなく横向きや逆さ向きに取り付けられることが多く、薬液弁を交換する際に、作業者は一方の手で樹脂製バルブを樹脂製流路ブロックにあてがって押さえながら、他方の手で4本の取付雄ネジを差し込んで締め付けるという困難な作業を強いられていた。 Similarly to the mass flow controller, the chemical valve is often mounted not only in a narrow space but also horizontally or upside down, and when replacing the chemical valve, the operator must hold the resin valve with one hand. While holding the resin channel block and pressing it, the other hand was forced to insert and tighten the four mounting male screws.
そこで、本発明は、かかる課題を解決すべく、薬液弁を構成する樹脂製流路ブロックに対して樹脂製バルブを、ガスケットを装着して連結する際に、樹脂製流路ブロックに対する樹脂製バルブの姿勢を正常に保ちつつ、短時間で容易に取り付けることを可能にした薬液弁取付方法を提供することを目的とする。 Therefore, in order to solve such problems, the present invention provides a resin valve for a resin flow path block when the resin valve is connected to a resin flow path block constituting a chemical valve and a gasket is attached. It is an object of the present invention to provide a chemical valve mounting method that can be easily mounted in a short time while maintaining the normal posture.
本発明に係る請求項1に記載の薬液弁取付方法は、上面ポートと連通する流路と取付用貫通孔が形成された樹脂製流路ブロックと、前記樹脂製流路ブロックの取付用貫通孔と同軸の取付用貫通孔と下面ポートが形成された樹脂製バルブとを、前記上面ポートと前記下面ポートとの間にガスケットを装着した状態で、雌ネジ孔が形成されたベースプレートに対して、4本の取付雄ネジで取り付けて薬液弁となす薬液弁取付方法において、前記4箇所の前記取付用貫通孔と前記雌ネジ孔が前記ガスケットの中心を軸対称とする対角線上にあり、中央に前記樹脂製バルブの上面を押圧する押圧手段を備え、前記押圧手段を中心にして前記対角線上に2箇所の雄ネジ頭受け部が形成された取付用ブラケットを、前記2箇所の雄ネジ頭受け部に取り付けられ、前記樹脂製バルブと樹脂製流路ブロックの取付用貫通孔を貫通した2本の治具ネジにより、前記雌ネジ孔に遊着させる第1工程と、前記押圧手段により、前記樹脂製バルブの上面を押圧することにより、前記ガスケットを装着した状態で、前記樹脂製バルブを前記樹脂製流路ブロック上の最終取付位置に移動させる第2工程と、前記治具ネジのない対角線上の2箇所の雌ネジ孔に対して、2本の取付雄ネジを取り付ける第3工程と、を有することを特徴とする。 According to a first aspect of the present invention, there is provided a chemical valve mounting method comprising: a flow path communicating with an upper surface port; a resin flow path block in which a mounting through hole is formed; and a mounting through hole for the resin flow path block A base plate with a female screw hole in a state where a gasket is mounted between the upper surface port and the lower surface port, and a resin valve in which a mounting through hole coaxial with the lower surface port is formed, In the chemical valve mounting method in which the four mounting male screws are used to form a chemical valve, the four through holes for attachment and the female screw holes are on a diagonal line with the center of the gasket being axially symmetric , A mounting bracket comprising pressing means for pressing the upper surface of the resin valve, wherein two male screw head receiving portions are formed on the diagonal line with the pressing means as a center. Attach to the part A first step of loosely attaching the resin valve and the resin flow passage block to the female screw hole by two jig screws penetrating through the mounting through holes of the resin flow channel block; and the pressing means, the resin valve. The second step of moving the resin valve to the final mounting position on the resin flow path block with the gasket attached by pressing the upper surface of the resin , and 2 on the diagonal line without the jig screw And a third step of attaching two mounting male screws to the female screw holes at the locations.
よって、2本の治具ネジを樹脂製流路ブロックと樹脂製バルブとの取付用貫通孔を貫通させてベースプレートの雌ネジ孔に螺合させ、治具ネジにより樹脂製バルブを案内させることにより、樹脂製バルブを樹脂製流路ブロックに対して位置決めができ、治具ネジによりベースプレートの雌ネジ孔に遊着させた取付用ブラケットに設けた押圧手段を操作するだけでガスケットを挟みながら樹脂製バルブを最終取付位置に移動させることができるので、ガスケットのシール面に均一なシール力が得られ、かつ、ガスケット等からパーティクルを発生させずに、薬液弁を精度良く短時間で容易にベースプレートに取り付けることができる。 Therefore, by inserting two jig screws through the through holes for mounting the resin flow path block and the resin valve and screwing them into the female screw holes of the base plate, the resin valve is guided by the jig screws. The resin valve can be positioned with respect to the resin flow path block, and it is made of resin while sandwiching the gasket by simply operating the pressing means provided on the mounting bracket loosely attached to the female screw hole of the base plate with the jig screw. Since the valve can be moved to the final mounting position, a uniform sealing force can be obtained on the gasket sealing surface, and the chemical valve can be easily and accurately placed on the base plate in a short time without generating particles from the gasket. Can be attached.
また、本発明に係る請求項2に記載の薬液弁取付方法は、請求項1に記載する薬液弁取付方法において、前記押圧手段が、前記取付用ブラケットに形成された雌ネジ部に螺合された押付けボルトであり、前記樹脂製バルブの平面視略中央に設けられた前記ガスケットの中心を押圧するものであることを特徴とする。
よって、押付けボルトをねじ込むことにより、該押付けボルトが樹脂製バルブの上面を徐々に押圧するので、該樹脂製バルブはガスケットのシール面を均一にしながら徐々に最終取付位置に移動することができる。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the chemical valve mounting method according to the first aspect, wherein the pressing means is screwed into a female screw portion formed on the mounting bracket. bolt der pressing was is, characterized der Rukoto which presses the center of the gasket provided in the plan view center of the resin valve.
Accordingly, when the pressing bolt is screwed in, the pressing bolt gradually presses the upper surface of the resin valve, so that the resin valve can be gradually moved to the final mounting position while keeping the sealing surface of the gasket uniform.
また、本発明に係る請求項3に記載の薬液弁取付方法は、請求項1または請求項2に記載する薬液弁取付方法において、前記取付用ブラケットの前記雄ネジ頭受け部に切欠き部が形成され、前記治具ネジの上端近傍に前記取付用ブラケットの前記切欠き部と係合する小径部が形成されていることを特徴とする。
よって、予め治具ネジを樹脂製流路ブロックと樹脂製バルブとの取付用貫通孔を貫通させてベースプレートの雌ネジ孔に螺合させておき、その後、取付用ブラケットの前記切り欠き部を治具ネジの前記小径部に係合させるだけで、ワンタッチで取付用ブラケットを樹脂製バルブの上方に配置させることができる。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a chemical valve mounting method according to the first or second aspect, wherein the male screw head receiving portion of the mounting bracket has a notch. A small-diameter portion that is formed and engages with the notch portion of the mounting bracket is formed near the upper end of the jig screw.
Therefore, the jig screw is passed through the mounting through hole for the resin flow path block and the resin valve in advance and screwed into the female screw hole of the base plate, and then the notch of the mounting bracket is cured. The mounting bracket can be disposed above the resin valve with a single touch only by engaging with the small diameter portion of the tool screw.
また、本発明に係る請求項4に記載の薬液弁取付方法は、請求項1または請求項2に記載する薬液弁取付方法において、前記治具ネジの上面に雌ネジ孔が形成されており、前記雌ネジ孔に雄ネジボルトをねじ込むことにより、第1工程を行うことを特徴とする。
よって、取付用ブラケットの雄ネジ頭受け部に雄ネジボルトを挿入した後、治具ネジの上部から雌ネジ孔に雄ネジボルトをねじ込むため、取付用ブラケットの取り付け作業を容易に行うことができる。
Further, in the chemical valve mounting method according to claim 4 according to the present invention, in the chemical valve mounting method according to claim 1 or 2, a female screw hole is formed on the upper surface of the jig screw. The first step is performed by screwing a male screw bolt into the female screw hole.
Accordingly, since the male screw bolt is inserted into the female screw hole from the upper part of the jig screw after the male screw bolt is inserted into the male screw head receiving portion of the mounting bracket, the mounting operation of the mounting bracket can be easily performed.
本発明によれば、樹脂製流路ブロックに治具ネジにより位置決めして樹脂製バルブを配置することができるので、樹脂製バルブ交換時に作業者は両手を使うことができる。また、治具ネジによりベースプレートに遊着された取付用ブラケットに設けた押圧手段により、樹脂製バルブを樹脂製流路ブロックの最終取付位置に徐々に正確に位置決めができる。 According to the present invention, the resin valve can be arranged by positioning with a jig screw on the resin channel block, so that the operator can use both hands when replacing the resin valve. Further, the resin valve can be gradually and accurately positioned at the final mounting position of the resin flow path block by the pressing means provided on the mounting bracket loosely attached to the base plate by the jig screw.
次に、本発明に係る薬液弁取付方法の一の実施の形態について図面を参照して説明する。本実施の形態の薬液弁取付方法は、半導体製造装置に適用されたものである。
ここで、図1は、薬液弁の全体を示した斜視図であり、図2は、薬液弁の平面図である。図3は、薬液弁の側面断面図である。
Next, an embodiment of a chemical valve mounting method according to the present invention will be described with reference to the drawings. The chemical valve mounting method of the present embodiment is applied to a semiconductor manufacturing apparatus.
Here, FIG. 1 is a perspective view showing the entirety of the chemical valve, and FIG. 2 is a plan view of the chemical valve. FIG. 3 is a side sectional view of the chemical valve.
まず、薬液弁の構成について説明する。薬液弁10は、図1ならびに図3に示すように、ベースプレート40上に載置される樹脂製流路ブロック20と、該樹脂製流路ブロック20上にガスケット50を挟んで取り付けられる樹脂製バルブ30とを備えている。
樹脂製流路ブロック20と樹脂製バルブ30とは、樹脂製流路ブロック20に設けられた取付用貫通孔23と、樹脂製バルブ30に設けられ前記樹脂製流路ブロック20の取付用貫通孔23と同軸の取付用貫通孔313とを貫通する4本の取付雄ネジ90でベースプレート40上に取り付けられている。
なお、図1からも明らかなように、樹脂製バルブ30は、樹脂製流路ブロック20上に2個並んで取り付けられているが、取付方法は両者同一のため、説明は1方の樹脂製バルブ30について行う。
First, the configuration of the chemical valve will be described. As shown in FIG. 1 and FIG. 3, the
The resin
As can be seen from FIG. 1, two
ベースプレート40は、樹脂製流路ブロック20と同一の大きさを有する樹脂製厚板で、樹脂製流路ブロック20に設けられた取付用貫通孔23と同一ピッチで、樹脂製バルブ30の1個当たり4個の雌ネジ孔41が設けられたものである。
The
樹脂製流路ブロック20は、薬液に腐食されない樹脂で長方形のブロック状に成形されたもので、内部に薬液の流路21が設けられ、この流路21からバルブ30の中心に向かって縦孔211が穿設されて、その上端に上面ポート25が形成されている。
また、樹脂製流路ブロック20の4角部には、上面から下面に貫通して、樹脂製バルブ30に設けられた取付用貫通孔313と同一のピッチで4個の取付用貫通孔23が設けられている。
The resin
In addition, at the four corners of the resin
樹脂製バルブ30は、樹脂製流路ブロック20に直接載置される樹脂製のバルブボディ31と、該バルブボディ31の上に載置され、内部にピストン331を収納する樹脂製のシリンダ33と、該シリンダ33の上部を覆う樹脂製のトップカバー35とを備えた平面視で略正方形のもので、これらシリンダ33とトップカバー35の4角部に設けた貫通孔に通しボルトを貫通させてバルブボディ31に気密的に連結したものである。
The
バルブボディ31の略中央部には、上下方向に貫通する流路311が穿設されており、その下端に下面ポート315が形成されている。
また、バルブボディ31の下端には、外側2方向に張り出したフランジ部317が形成され、該フランジ部317に、樹脂製流路ブロック20に設けられた取付用貫通孔23と同一ピッチで4個の取付用貫通孔313が設けられている。
A
In addition, a
なお、バルブボディ31とシリンダ33とトップカバー35の横壁には、ピストン331の制御用エアあるいは薬液が出入りするポートがそれぞれ設けられているが、断面図では省略してある。
上面ポート25と下面ポート315の間には、図17の拡大断面図に示すように、H形断面のガスケット50が挿入されて薬液の漏洩を防止するようにシールされている。
In addition, although the port for the control air of the
As shown in the enlarged sectional view of FIG. 17, a
ガスケット50は、円周がH形断面に成形されたもので、このH形断面中央の上下の凹部51、52が、対向する断面底部に向かって先細状に傾斜し、かつ、その約2分の1の深さの部分が凹部内側に向かって僅かに突出して潰れ代を形成している。
一方、ガスケット50が装着される上面ポート25と下面ポート315の開口部周囲には、ガスケット50の凹部51、52に嵌入するリング状の凸部251、3151が形成されている。
The
On the other hand, ring-shaped
つぎに、樹脂製流路ブロック20に対して樹脂製バルブ30を交換する場合に使用する治具の構成について説明する。
この第1の実施の形態では、治具は、図4に示すような治具ネジ80と、図6、図7に示すような中央に押圧手段70を有する取付用ブラケット60とを使用する。
治具ネジ80は、樹脂製流路ブロック20と樹脂製バルブ30との高さより長い長尺の金属製ボルトで、下端にベースプレート40に設けられた雌ネジ孔41に螺合する雄ネジ部811が設けられ、一般部の外径より雄ネジ部811の径を若干細くして下部段付け部81を形成している。
Next, the configuration of a jig used when the
In the first embodiment, the jig uses a
The
治具ネジ80の上部には、一般部の外径より若干細径の小径部85となし、該小径部85の上端に上部段付部83を形成して再び一般部の外径と同一の外径に戻り、該上部段付部83から先細状に上部に延在し、その上端にマイナスあるいはプラスのドライバ溝(図略)を形成した頭部87が設けられている。そして、下部段付け部81と上部段付部83との距離L1が高い精度で製作されている。
A
取付用ブラケット60は、図7、図8に示すように、平面視で中央が円形に膨らんだ中央円形部63と、該中央円形部63から軸対称に突出した雄ネジ頭受け部61とを備えた金属厚板のものである。
中央円形部63の中央には、後述する押圧手段70としての大径の押付けボルト71が螺合される雌ネジ孔631が設けられている。
雄ネジ頭受け部61には、前記ベースプレート40に設けられた4個の雌ネジ孔41のうち対角線上の2個の雌ネジ孔41の距離と同一の距離で、互いに反対方向に開口する切欠き部611が形成されている。切欠き部611の底部は、治具ネジ80の上部の小径部85の外径よりわずかに大きく、上部段付け部83の外径より小さな半円形に形成されている。
As shown in FIGS. 7 and 8, the mounting
A
The male screw
押圧手段70は、頭部が平面視で円形で、その外周にローレットの滑り止め加工が施され、その下部に雄ネジが形成された大径の金属製の押付けボルト71を、前記取付用ブラケット60に設けた雌ネジ孔631に螺合して構成されている。
The pressing means 70 has a circular head in plan view, a knurled anti-slip process on the outer periphery thereof, and a large-diameter
以上のように構成された第1の実施の形態の治具ネジ80と取付用ブラケット60ならびに押圧手段70を用いて、薬液弁10の樹脂製バルブ30を交換する際の取付方法について説明する。ただし、今まで取り付けられていた樹脂製バルブ30及びガスケット50はすでに取り外されているものとし、また、新たな樹脂製バルブ30の下面ポートには新たなガスケット50が仮付けされているものとする。
A mounting method when replacing the
まず、図4に示すように、2本の治具ネジ80の下端の雄ネジ部811を、樹脂製流路ブロック20の対角線上にある取付用貫通孔23に差し込み、ベースプレート40の雌ネジ孔41に治具ネジ80の下部段付部81がベースプレート40の上面に当接して止まるまで螺合させる。したがって、この状態では、2本の治具ネジ80が樹脂製流路ブロック20から突出していることになる。
First, as shown in FIG. 4, the
つぎに、図5に示すように、樹脂製流路ブロック20から突出している2本の治具ネジ80に、上方から新たな樹脂製バルブ30を、そのバルブボディ31に設けられた取付用貫通孔313を貫通させて、治具ネジ80により案内されながらガスケット50が樹脂製バルブ30の上面ポート25に接触して止まるまで載置する。したがって、この状態では、2本の治具ネジ80の頭部87が樹脂製バルブ30の上端より上方にあることになる。
Next, as shown in FIG. 5, a
そして、図6、図7に示すように、取付用ブラケット60の雌ネジ孔631に押付けボルト71を螺合した状態で雄ネジ頭受け部61に設けた切欠き部611を、治具ネジ80の小径部85に、平面視で時計回りに回動させて係合させる(ここまでが特許請求の範囲の第1工程に相当)。
一方の手で取付用ブラケット60が治具ネジ80の小径部85に係合した状態を保持しながら、他方の手で押付けボルト71の下端が取付用ブラケット60から伸長する方向に押付けボルト71を回動させて、図8に示すように、該押付けボルト71の先端を樹脂製バルブ30のトップカバー35の上面に当接させる。
6 and 7, the
While holding the mounting
さらに、押付けボルト71を回動させると、取付用ブラケット60が上方に移動させられて、雄ネジ頭受け部61の上面が切欠き部611で治具ネジ80の上部段付け部83に当接し、それ以上の上方移動が阻止される。
また、さらに、押付けボルト71を回動させると、押付けボルト71に押圧されて樹脂製バルブ30が治具ネジ80に案内されながら、徐々に樹脂製流路ブロック20に接触する。このとき、ガスケット50の凹部51、52にリング状の凸部251、3151がそれぞれ嵌入し、凹部51、52及び凸部251、3151が変形しながら上面ポート25および下面ポート315に装着され、気密が保持される(ここまでが特許請求の範囲の第2工程に相当)。
Further, when the
Further, when the
そして、樹脂製バルブ30が樹脂製流路ブロック20に確実に接触したことを確認したなら、治具ネジ80が取り付けられていない他の対角線上の2カ所の取付用貫通孔313、23に取付雄ネジ90を挿入して、その先端をベースプレート40の雌ネジ孔41に螺合し、樹脂製バルブ30を樹脂製流路ブロック20ならびにベースプレート40に規定のトルクで締め付ける(ここまでが特許請求の範囲の第3工程に相当)。
その後、押付けボルト71を逆回転させて押圧状態を解除し、取付用ブラケット60を平面視で反時計回りに回動させて雄ネジ頭受け部61の切欠き部611を治具ネジ80の小径部85から脱出させることにより、治具ネジ80から取付用ブラケット60を押圧手段70とともに取り外す。
Then, if it is confirmed that the
Thereafter, the
その後、2本の治具ネジ80を逆回転させることによりベースプレート40の雌ネジ孔41および取付用貫通孔23、313から外し、空いた2個の取付用貫通孔23、313に取付雄ネジ90を挿入して雌ネジ孔41に螺合させて締め付ける。これにより、新たな樹脂製バルブ30が樹脂製流路ブロック20を介してベースプレート40に取り付けられ、その交換が終了し、薬液弁が取り付けられたこととなる。
Thereafter, the two
よって、本第1の実施の形態の薬液弁取付方法は、棒状の治具ボルト80を予め樹脂製流路ブロック20ならびにベースプレート40に立設しておき、治具ボルト80により樹脂製バルブ30を案内でき、治具ボルト80の頭部に押圧手段70を含む取付用ブラケット60に設けた雄ネジ頭受け部61の切欠き部611をワンタッチで係合できるようにしたものである。
Therefore, in the chemical valve mounting method of the first embodiment, the rod-shaped
つぎに、薬液弁10の樹脂製バルブ30を交換する際の取付方法の第2の実施の形態について説明する。この第2の実施の形態では、交換する樹脂製バルブ30や樹脂製流路ブロック20ならびにベースプレート40は第1の実施の形態のものと全く同一であり、交換作業に用いる治具のみが異なるので、この相違部分を説明する。
この第2の実施の形態では、治具は、図9に示すような取付用ブラケット260と、図10に示す治具ネジ280と、押圧手段70として第1の実施の形態と同一の押し付けボルト71とを使用する。
Next, a second embodiment of the mounting method when the
In the second embodiment, the jig is a mounting
取付用ブラケット260は、形状は第1の実施の形態の取付用ブラケット60と同様に、平面視で中央が円形に膨らんだ中央円形部263と、該中央円形部263から対称に突出した雄ネジ頭受け部261とを備えた金属厚板で成形されたものである。
中央円形部263の中央には、第1の実施の形態と同一の押圧手段70としての大径の押付けボルト71が螺合される雌ネジ孔2631が設けられている。雄ネジ頭受け部261には、前記ベースプレート40に設けられた4個の雌ネジ孔41の対角線上の距離と同一の距離で、治具ネジ280の一般部の外径よりわずかに大きい内径の孔部2611が成形されている。
The mounting
In the center of the central
治具ネジ280は、一般外径部ならびに下端の雄ネジ部2811が第1の実施の形態の治具ネジ80と同一で、上端にボルト頭部287を備えるものである。一般外径部の下端と雄ネジ部2811の上端との間に下部段付部281が形成され、この下部段付部281とボルト頭部287の下面との距離L2が第1の実施の形態の治具ネジ80の同じ位置の距離L1と同一の長さに設定されている。
The
以上のように構成された第2の実施の形態の治具ネジ280と取付用ブラケット260ならびに押圧手段70を用いて、薬液弁10の樹脂製バルブ30を交換する際の取付方法について説明する。
予め、取付用ブラケット260の孔部2611に治具ネジ280を差し込み、その後、押付けボルト71を雌ネジ孔2631に螺合させておく。また、新たな樹脂製バルブ30の取付用貫通孔313に治具ネジ280の一般外径部を差し込んでおく。
そして、図11に示すように、2本の治具ネジ280の下端の雄ネジ部2811を、樹脂製バルブ30の対角線上にある取付用貫通孔313と樹脂製流路ブロック20の対角線上にある取付用貫通孔23に差し込み、樹脂製バルブ30の下面ポート315に仮付けされているガスケット50が樹脂製流路ブロック20の上面ポート25に接触して止まるまで載置してベースプレート40の雌ネジ孔41に治具ネジ280の下部段付部281がベースプレート40の上面に当接して止まるまで螺合させる(ここまでが特許請求の範囲の第1工程に相当)。
A mounting method when replacing the
The
Then, as shown in FIG. 11, the male screw portion 2811 at the lower end of the two
その後、押付けボルト71を押付けボルト71の下端が取付用ブラケット60から伸長する方向に回動させて、該押付けボルト71の先端を樹脂製バルブ30のトップカバー35の上面に当接させ、さらに押付けボルト71を回動させると取付用ブラケット260が上方に移動させられて、雄ネジ頭受け部261の上面が治具ネジ280のボルト頭部287の下面に当接し、それ以上の上方移動が阻止される。
また、さらに、押付けボルト71を回動させると、図12に示すように、樹脂製バルブ30が治具ネジ280に案内されながら押付けボルト71に押圧されて、徐々に樹脂製流路ブロック20に接触する。このとき、ガスケット50の凹部51、52にリング状の凸部251、3151がそれぞれ嵌入し、凹部51、52及び凸部251、3151が変形しながら上面ポート25および下面ポート315に装着され、気密が保持される(ここまでが特許請求の範囲の第2工程に相当)。
Thereafter, the
Further, when the
そして、樹脂製バルブ30が樹脂製流路ブロック20に確実に接触したことを確認したなら、治具ネジ280が取り付けられていない他の対角線上の2カ所の取付用貫通孔23に取付雄ネジ90を挿入して、その先端をベースプレート40の雌ネジ孔41に螺合し、樹脂製バルブ30を樹脂製流路ブロック20ならびにベースプレート40に締め付ける(ここまでが特許請求の範囲の第3工程に相当)。
その後、押付けボルト71を逆回転させて押圧状態を解除し、治具ネジ280のボルト頭部287を逆に回動させてベースプレート40の雌ネジ孔41から外し、樹脂製流路ブロック20の取付用貫通孔23と樹脂製バルブ30の取付用貫通孔313とから脱出させることにより、取付用ブラケット60を押圧手段70とともに取り外す。
Then, if it is confirmed that the
Thereafter, the
そして、空いた2個の取付用貫通孔23、313に取付雄ネジ90を挿入して雌ネジ孔41に螺合させて締め付ける。これにより、新たな樹脂製バルブ30が樹脂製流路ブロック20およびベースプレート40に取り付けられ、その交換が終了する。
Then, the mounting
よって、本第2の実施の形態の薬液弁取付方法は、ボルト状の治具ネジ280を予め取付用ブラケット260の孔部2611に挿通して、これに押圧手段70としての押付けボルト71を螺合しておくので、治具の持ち込みを一度にできるようにしたものである。
Therefore, in the chemical valve mounting method of the second embodiment, a bolt-shaped
つぎに、薬液弁10の樹脂製バルブ30を交換する際の取付方法の第3の実施の形態について説明する。この第3の実施の形態に用いる治具は、治具ネジ380と、該治具ネジ380の頭部に螺合される雄ネジボルト387と、押圧手段70としての押付けボルト71を備えた取付用ブラケット360とからなる。
治具ネジ380は、図13に示すように、一般外径部ならびに下端の雄ネジ部3811が第1の実施の形態の治具ネジ80と同一で、上面に雌ネジ孔385が形成されたものである。一般外径部の下端と雄ネジ部3811の上端とに下部段付部381が形成され、この下部段付部381と治具ネジ380の上面との距離L3が、第1の実施の形態の治具ネジ80の同じ位置の距離L1より取付用ブラケット360の板厚分だけ短く設定されている。
Next, a third embodiment of the mounting method when replacing the
As shown in FIG. 13, the
雄ネジボルト387は、ボルト頭部3871と、その下部に雄ネジ部3873とを有する金属製ボルトである。
取付用ブラケット360は、第2の実施の形態の取付用ブラケット260に設けられた孔部2611の径をわずかに小さくして孔部3611としたもので、その他の構成は第2の実施の形態の取付用ブラケット260と同一である。
The
The mounting
以上のように構成された第3の実施の形態の治具ネジ380と雄ネジボルト387と取付用ブラケット360ならびに押圧手段70とを用いて、薬液弁10の樹脂製バルブ30を交換する際の取付方法について説明する。
まず、図13に示すように、2本の治具ネジ380の下端の雄ネジ部3811を、樹脂製流路ブロック20の対角線上にある取付用貫通孔23に差し込み、ベースプレート40の雌ネジ孔41に治具ネジ380の下部段付部381がベースプレート40の上面に当接して止まるまで螺合させる。したがって、この状態では、2本の治具ネジ380が樹脂製流路ブロック20から突出していることになる。
Using the
First, as shown in FIG. 13, the
つぎに、取付用ブラケット360の孔部311に雄ネジボルト387の雄ネジ部3873を貫通させて、治具ネジ380の上面に設けられた雌ネジ孔385に雄ネジ部3873を螺合させる。このとき、取付用ブラケット360は、図14に示すように、治具ネジ380の上面と雄ネジボルト387のボルト頭部3871とにより狭持されて、治具ネジ380の上端に固定される(ここまでが特許請求の範囲の第1工程に相当)。
Next, the
その後、押付けボルト71の下端が取付用ブラケット60から伸長する方向に押付けボルト71を回動させて、該押付けボルト71の先端を樹脂製バルブ30のトップカバー35の上面に当接させ、さらに押付けボルト71を回動させると、図12に示すと同様に、樹脂製バルブ30が治具ネジ380に案内されながら押付けボルト71に押圧されて、徐々に樹脂製流路ブロック20に接触する。このとき、ガスケット50の凹部51、52にリング状の凸部251、3151がそれぞれ嵌入し、凹部51、52及び凸部251、3151が変形しながら上面ポート25および下面ポート315に装着され、気密が保持される(ここまでが特許請求の範囲の第2工程に相当)。
Thereafter, the
そして、樹脂製バルブ30が樹脂製流路ブロック20に確実に接触したことを確認したなら、治具ネジ380が取り付けられていない他の対角線上の2カ所の取付用貫通孔23に取付雄ネジ90を挿入して、その先端をベースプレート40の雌ネジ孔41に螺合し、樹脂製バルブ30を樹脂製流路ブロック20ならびにベースプレート40に締め付ける(ここまでが特許請求の範囲の第3工程に相当)。
その後、押付けボルト71を逆回転させて押圧状態を解除し、雄ネジボルト387のボルト頭部2871を逆に回動させて治具ネジ380の雌ネジ孔385から雄ネジボルト387を外す。すると、取付用ブラケット360が押圧手段70とともに取り外されることとなる。
Then, if it is confirmed that the
Thereafter, the
さらに、治具ネジ380の一般外径部を逆に回動させてベースプレート40の雌ネジ孔41から外し、樹脂製流路ブロック20と樹脂製バルブ30の取付用貫通孔23、313から脱出させて、空いた2個の取付用貫通孔23、313に取付雄ネジ90を挿入して雌ネジ孔41に螺合させて締め付ける。これにより、新たな樹脂製バルブ30が樹脂製流路ブロック20およびベースプレート40に取り付けられ、その交換が終了する。
Further, the general outer diameter portion of the
よって、本第3の実施の形態の薬液弁取付方法は、棒状の治具ボルト380を予め樹脂製流路ブロック20ならびにベースプレート40に立設しておき、治具ボルト80により樹脂製バルブ30を案内でき、治具ボルト380の頭部に押圧手段70を含む取付用ブラケット60を雄ネジボルト387で固定できるようにしたものである。
Therefore, in the chemical valve mounting method of the third embodiment, the rod-shaped
なお、本発明は前記実施の形態のものに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、前記実施の形態では、樹脂製バルブが樹脂製流路ブロック及びベースプレートに上部(樹脂製バルブ)側から締め付けられるもので説明したが、これに限られず、ベースプレート側から樹脂製バルブに向かって締め付けられるものにも適用が可能である。
また、押圧手段として大径の押し付けボルトを回動するもので説明したが、図115、図16に示すようなレバー式のもの、あるいは、図は省略したがパンタグラフ式のものを取付用ブラケットに設けたものであってもよい。
In addition, this invention is not limited to the thing of the said embodiment, A various change is possible in the range which does not deviate from the meaning.
For example, in the above-described embodiment, the resin valve is described as being fastened to the resin channel block and the base plate from the upper side (resin valve) side. However, the present invention is not limited to this, and the resin valve is directed from the base plate side to the resin valve. It can also be applied to those that can be tightened.
In addition, although a description has been given of rotating a large-diameter pressing bolt as a pressing means, a lever type as shown in FIGS. 115 and 16 or a pantograph type although omitted in the figure is used as a mounting bracket. It may be provided.
本発明は、上面ポートと連通する流路と取付用貫通孔が形成された樹脂製流路ブロックと、前記樹脂製流路ブロックの取付用貫通孔と同軸の取付用貫通孔と下面ポートが形成された樹脂製バルブとを、前記上面ポートと前記下面ポートとの間にガスケットを装着した状態で、雌ネジ孔が形成されたベースプレートに対して、4本の取付雄ネジで取り付けて薬液弁となす薬液弁取付方法において、前記4箇所の前記取付用貫通孔と前記雌ネジ孔が前記ガスケットの中心を軸対称とする対角線上にあり、中央に前記樹脂製バルブの上面を押圧する押圧手段を備え、前記押圧手段を中心にして前記対角線上に2箇所の雄ネジ頭受け部が形成された取付用ブラケットを、前記2箇所の雄ネジ頭受け部に取り付けられ、前記樹脂製バルブと樹脂製流路ブロックの取付用貫通孔を貫通した2本の治具ネジにより、前記雌ネジ孔に遊着させる第1工程と、前記押圧手段により、前記樹脂製バルブの上面を押圧することにより、前記ガスケットを装着した状態で、前記樹脂製バルブを前記樹脂製流路ブロック上の最終取付位置に移動させる第2工程と、前記治具ネジのない対角線上の2箇所の雌ネジ孔に対して、2本の取付雄ネジを取り付ける第3工程とを有するようにしたので、予め治具ネジにより新たな樹脂製バルブを樹脂製流路ブロック上に傾斜させずに案内でき、徐々にガスケットを押圧しながら最終取付位置に移動させることが可能となった。 The present invention provides a resin flow channel block in which a flow channel communicating with an upper surface port and a mounting through hole are formed, and a mounting through hole and a lower surface port coaxial with the mounting through hole of the resin flow channel block. The plastic valve is attached with four mounting male screws to a base plate in which a female screw hole is formed in a state where a gasket is mounted between the upper surface port and the lower surface port. In the chemical valve mounting method, the four through holes for mounting and the female screw holes are on a diagonal line with the center of the gasket being axially symmetric, and pressing means for pressing the upper surface of the resin valve at the center. And mounting brackets having two male screw head receiving portions formed on the diagonal line with the pressing means as a center, are attached to the two male screw head receiving portions, and the resin valve and the resin Channel The first step of loosely attaching to the female screw hole by two jig screws that pass through the mounting through hole of the hook, and pressing the upper surface of the resin valve by the pressing means; In the second step of moving the resin valve to the final mounting position on the resin flow path block with two mounted screw holes, and two female screw holes on two diagonal lines without the jig screw. And a third step of attaching the mounting male screw of the book, so that a new resin valve can be guided by the jig screw in advance without being inclined on the resin flow path block, while gradually pressing the gasket. It was possible to move to the final mounting position.
10 薬液弁
20 樹脂製流路ブロック
23 取付用貫通孔
25 上面ポート
251 リング状の凸部
30 樹脂製バルブ
31 バルブシート
313 取付用貫通孔
315 下面ポート
3151 リング状の凸部
33 シリンダ
35 トップカバー
40 ベースプレート
41 雌ネジ孔
50 ガスケット
51、52 凹部
60、260、360 取付用ブラケット
61、261 雄ネジ頭受け部
611 切欠き部
2611、3611 孔部
63、263 中央円形部
70 押圧手段
71 押付けボルト
80、280、380 治具ネジ
81、281、381 下部段付け部
811、2811、3811 雄ネジ部
83 上部段付け部
287、3871 ボルト頭部
385 雌ネジ孔
387 雄ネジボルト
90 取付雄ネジ
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記4箇所の前記取付用貫通孔と前記雌ネジ孔が前記ガスケットの中心を軸対称とする対角線上にあり、
中央に前記樹脂製バルブの上面を押圧する押圧手段を備え、前記押圧手段を中心にして前記対角線上に2箇所の雄ネジ頭受け部が形成された取付用ブラケットを、前記2箇所の雄ネジ頭受け部に取り付けられ、前記樹脂製バルブと樹脂製流路ブロックの取付用貫通孔を貫通した2本の治具ネジにより、前記雌ネジ孔に遊着させる第1工程と、
前記押圧手段により、前記樹脂製バルブの上面を押圧することにより、前記ガスケットを装着した状態で、前記樹脂製バルブを前記樹脂製流路ブロック上の最終取付位置に移動させる第2工程と、
前記治具ネジのない対角線上の2箇所の雌ネジ孔に対して、2本の取付雄ネジを取り付ける第3工程と、
を有することを特徴とする薬液弁取付方法。 A resin flow channel block in which a flow channel communicating with the upper surface port and a mounting through hole are formed, and a resin flow block in which a mounting through hole coaxial with the mounting through hole of the resin flow channel block and a lower surface port are formed A chemical valve mounting in which a valve is mounted with four mounting male screws to a base plate in which a female screw hole is formed with a gasket mounted between the upper surface port and the lower surface port. In the method
The four mounting through holes and the female screw holes are on a diagonal line with the center of the gasket being axially symmetric,
A mounting bracket having a pressing means for pressing the upper surface of the resin valve at the center, and having two male screw head receiving portions formed on the diagonal line with the pressing means as a center, is provided with the two male screws. A first step of attaching to the female screw hole with two jig screws attached to the head receiving portion and penetrating through the mounting through holes of the resin valve and the resin flow channel block;
A second step of moving the resin valve to a final mounting position on the resin channel block with the gasket attached by pressing the upper surface of the resin valve by the pressing means;
A third step of attaching two mounting male screws to two female screw holes on the diagonal line without the jig screw;
A chemical solution valve mounting method characterized by comprising:
前記押圧手段が、前記取付用ブラケットに形成された雌ネジ部に螺合された押付けボルトであり、前記樹脂製バルブの平面視略中央に設けられた前記ガスケットの中心を押圧するものであることを特徴とする薬液弁取付方法。 In the chemical valve mounting method according to claim 1,
Der which the pressing means, wherein Ri screwed pressed against the bolt der the female screw portion formed on the mounting bracket to press the center of the gasket provided in the plan view center of the resin valve A chemical valve mounting method characterized by the above.
前記取付用ブラケットの前記雄ネジ頭受け部に切欠き部が形成され、
前記治具ネジの上端近傍に前記取付用ブラケットの前記切欠き部と係合する小径部が形成されていることを特徴とする薬液弁取付方法。 In the chemical valve mounting method according to claim 1 or 2,
A notch is formed in the male screw head receiving portion of the mounting bracket,
A chemical valve mounting method, wherein a small-diameter portion that engages with the notch portion of the mounting bracket is formed in the vicinity of the upper end of the jig screw.
前記治具ネジの上面に雌ネジ孔が形成されており、前記雌ネジ孔に雄ネジボルトをねじ込むことにより、第1工程を行うことを特徴とする薬液弁取付方法。 In the chemical valve mounting method according to claim 1 or 2,
An internal thread hole is formed in the upper surface of the jig screw, and the first step is performed by screwing an external thread bolt into the internal thread hole.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005131708A JP4653551B2 (en) | 2005-04-28 | 2005-04-28 | Chemical valve mounting method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005131708A JP4653551B2 (en) | 2005-04-28 | 2005-04-28 | Chemical valve mounting method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006307983A JP2006307983A (en) | 2006-11-09 |
JP4653551B2 true JP4653551B2 (en) | 2011-03-16 |
Family
ID=37475102
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005131708A Expired - Fee Related JP4653551B2 (en) | 2005-04-28 | 2005-04-28 | Chemical valve mounting method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4653551B2 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4997157B2 (en) * | 2008-03-26 | 2012-08-08 | 株式会社フジキン | Fluid control device |
KR20180136468A (en) | 2016-04-04 | 2018-12-24 | 아이커 시스템즈, 인크. | Liquid supply system |
JP6905948B2 (en) * | 2018-03-13 | 2021-07-21 | 日本ピラー工業株式会社 | Gasket mounting structure on the block and gasket |
JP6847888B2 (en) * | 2018-03-28 | 2021-03-24 | 日本ピラー工業株式会社 | Gasket mounting structure |
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-
2005
- 2005-04-28 JP JP2005131708A patent/JP4653551B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006307983A (en) | 2006-11-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080109 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100611 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100729 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |