JP4653279B2 - Powder inspection equipment - Google Patents

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば医薬品、食品原料、樹脂原料、粉砕物等の粉体について、自動で少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置に関するものである。ここで、不良品とは、良品とされる粉体以外の粉体と、粉体に混入しているゴミ等の異物と、を含む概念である。
【０００２】
【従来の技術】
粉体を回転テーブル表面に載せて運搬させながら、ＣＣＤカメラで撮影して粉体中の不良品を検出し、該不良品を吸引して除去する粉体検査装置としては、例えば本件出願人の実用新案登録番号第２５０２３２９号に公知である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような粉体検査装置では、良品を吸引して回収する良品回収ノズルと、不良品を吸引して除去する不良品除去ノズルとを、例えばその順番で続けて配設していた。これらのノズルは、高速で流す空気流によって生じる負圧によって吸引を行うものである。そして、上記粉体検査装置では、両ノズルは装置の作動時において空気流を常時流しており、良品回収ノズルの直下に不良品が来た時に良品回収ノズルの空気流の流れを止め、それによって良品回収ノズルで不良品を吸引しないようにしていた。また、不良品除去ノズルを良品回収ノズルの後に配置して、良品回収ノズルを通過して来た粉体を吸引し続けるようにしたので、不良品除去ノズルによりクリーナー機能が発揮されていた。
【０００４】
しかし、上記のように良品回収ノズルの空気流の流れを止めて制御する方法では、空気流の流れを止めた時に、いわゆる吹き戻しが生じ、回転テーブル表面の粉体が飛散してしまうという問題があった。
【０００５】
また、良品回収ノズルは、その吸い込み口が回転テーブル表面に近接して設けられており、吸い込み口と回転テーブル表面との間の隙間の寸法は、粉体を吸引するのに最適な大きさに設定されている。そのため、上記隙間の寸法より大きな不良品が運搬されて来た際には、不良品が吸い込み口前で詰まってしまうという問題があった。
【０００６】
更に、上記粉体検査装置において、粉体を、例えば５０ｍｍ幅で回転テーブル表面に載せようとすると、図１７に示すように、その両縁に位置する粉体が崩れて拡がって５０ｍｍ幅を越えることとなり、そのため、５０ｍｍ幅を前提として設けていたＣＣＤカメラ６０や除去ノズルでは十分な検出・除去が行えなくなるという問題があった。これを回避するために作動有効範囲Ｓの大きなＣＣＤカメラ６０等を予め設定しておくことが考えられるが、それでは無駄が生じ、効率が悪くなる。
【０００７】
なお、不良品除去ノズルを良品除去ノズルの前に配置した粉体検査装置においても、不良品除去ノズルの直下に良品が来た時に不良品除去ノズルの空気流の流れを止めて良品を吸引しないようにする場合には、上述したのと同様に、吹き戻しが生じ、回転テーブル表面の粉体が飛散してしまうという問題があった。
【０００８】
また、粉体の種類や粒径によっては、粉体がＣＣＤカメラ等の撮影装置に付着し、検査精度を低下させるという問題があった。そのような問題はメンテナンスによって解決できるものではあるが、従来の装置では、撮影装置の構成部品であるＣＣＤカメラ等の全てが固定されたものであるために、メンテナンスを十分に行うのが困難であり、また、メンテナンス時に構成部品や回転テーブルを傷付けることがあった。
【０００９】
更には、検査精度の向上が要望されていた。
【００１０】
本発明は、吹き戻しによる粉体の飛散を防止でき、また、検査精度の向上を図ることができる、粉体検査装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、自動で粉体について少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置において、表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する透明な又は半透明な回転テーブルの周辺に、回転テーブル表面に粉体を供給する供給装置と、回転テーブル表面の粉体を回転テーブルの少なくとも表側から撮影して不良品を検出する撮影装置と、撮影後の回転テーブル表面の粉体の内、良品を回転テーブル表面から吸引して回収する良品回収ノズルと、良品が回収された後の回転テーブル表面の粉体を全て吸引して除去する不良品除去ノズルとを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順番で備え、良品回収ノズルが、不良品がノズル直下に来るまでは、ノズル直下の良品を吸引し得る高さ位置にあり、不良品がノズル直下に来た時には、良品回収ノズルが作動していてもノズル直下の不良品を吸引し得ない高さ位置まで、移動するようになっていることを特徴としている。
【００１２】
請求項２記載の発明は、自動で粉体について少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置において、表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する透明な又は半透明な回転テーブルの周辺に、回転テーブル表面に粉体を供給する供給装置と、回転テーブル表面の粉体を回転テーブルの少なくとも表側から撮影して不良品を検出する撮影装置と、撮影後の回転テーブル表面の粉体の内、不良品を回転テーブル表面から吸引して除去する不良品除去ノズルと、不良品が除去された後の回転テーブル表面の粉体を全て吸引して回収する良品回収ノズルとを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順番で備え、不良品除去ノズルが、不良品がノズル直下に来るまでは不良品除去ノズルが作動していてもノズル直下の良品を吸引し得ない高さに位置しており、不良品がノズル直下に来た時にノズル直下の不良品を吸引し得る位置まで吸引作動状態で移動するようになっていることを特徴としている。
【００１３】
【００１４】
請求項３記載の発明は、自動で粉体について少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置において、表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する透明な又は半透明な回転テーブルの周辺に、回転テーブル表面に粉体を供給する供給装置と、回転テーブル表面の粉体を撮影して不良品を検出する撮影装置と、回転テーブル表面の粉体を吸引して回収する回収装置とを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順番で備え、回収装置が、回転テーブル表面の粉体の内、良品を吸引して回収する良品回収ノズルと、不良品を吸引して除去する不良品除去ノズルとを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順で備えており、
撮影装置が、回転テーブル表面の粉体を回転テーブルの表側から撮影する表側撮影機構及び同じく裏側から撮影する裏側撮影機構の内の少なくとも表側撮影機構を備えており、表側撮影機構は、回転テーブルの表側から粉体を撮影するカメラと、表側から照らす上側照明と、裏側から照らす下側照明とを備えており、裏側撮影機構は、回転テーブルの裏側から粉体を撮影するカメラと、表側から照らす上側照明と、裏側から照らす下側照明とを備えており、良品回収ノズルが、不良品がノズル直下に来るまでは、ノズル直下の良品を吸引し得る高さ位置にあり、不良品がノズル直下に来た時には、良品回収ノズルが作動していてもノズル直下の不良品を吸引し得ない高さ位置まで、移動するようになっており、不良品除去ノズルが、良品が回収された後の回転テーブル表面の粉体を全て吸引して除去するようになっていることを特徴としている。
【００１５】
請求項４記載の発明は、自動で粉体について少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置において、表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する透明な又は半透明な回転テーブルの周辺に、回転テーブル表面に粉体を供給する供給装置と、回転テーブル表面の粉体を撮影して不良品を検出する撮影装置と、回転テーブル表面の粉体を吸引して回収する回収装置とを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順番で備え、回収装置が、回転テーブル表面の粉体の内、良品を吸引して回収する良品回収ノズルと、不良品を吸引して除去する不良品除去ノズルとを、回転テーブルの回転方向に向かってこの逆の順で備えており、撮影装置が、回転テーブル表面の粉体を回転テーブルの表側から撮影する表側撮影機構及び同じく裏側から撮影する裏側撮影機構の内の少なくとも表側撮影機構を備えており、表側撮影機構は、回転テーブルの表側から粉体を撮影するカメラと、表側から照らす上側照明と、裏側から照らす下側照明とを備えており、裏側撮影機構は、回転テーブルの裏側から粉体を撮影するカメラと、表側から照らす上側照明と、裏側から照らす下側照明とを備えており、不良品除去ノズルが、不良品がノズル直下に来るまでは不良品除去ノズルが作動していてもノズル直下の良品を吸引し得ない高さに位置しており、不良品がノズル直下に来た時にノズル直下の不良品を吸引し得る位置まで吸引作動状態で移動するようになっており、良品回収ノズルが、不良品が除去された後の回転テーブル表面の粉体を全て吸引して回収するようになっていることを特徴としている。
【００１６】
請求項５記載の発明は、請求項３又は４に記載の発明において、表側撮影機構の、カメラ及び上側照明が、フードで囲まれて密閉されているものである。
【００１７】
請求項６記載の発明は、請求項５記載の発明において、フードが、フード本体とそれを下から塞ぐ下面とからなっており、下面の周縁がフード本体に対して防滴構造となっているものである。
【００１８】
請求項７記載の発明は、請求項５又は６に記載の発明において、表側撮影機構のフードで囲まれたカメラ及び上側照明の全体が、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの上方から外れた位置まで旋回可能となっているものである。
【００１９】
請求項８記載の発明は、請求項３ないし７のいずれかに記載の発明において、表側撮影機構の下側照明が収納ケースに密閉されており、収納ケースが防滴構造を有しているものである。
【００２０】
請求項９記載の発明は、請求項３ないし８のいずれかに記載の発明において、表側撮影機構の下側照明が、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの下方から外れた位置まで旋回可能となっているものである。
【００２１】
請求項１０記載の発明は、請求項５ないし９のいずれかに記載の発明において、表側撮影機構のフードで囲まれたカメラ及び上側照明の全体と、下側照明とが、それぞれ、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの上方から外れた位置まで旋回可能となっており、しかも、それぞれが、平面視で重ならない位置まで旋回可能となっているものである。
【００２２】
請求項１１記載の発明は、請求項３ないし１０のいずれかに記載の発明において、表側撮影機構の下側照明の上面に、粉体と同色の板又は白色板又は乳白色板が設けられているものである。
【００２３】
請求項１２記載の発明は、請求項３ないし１１のいずれかに記載の発明において、撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、下側照明が、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの下方から外れた位置まで旋回可能となっているものである。
【００２４】
請求項１３記載の発明は、請求項３ないし１２のいずれかに記載の発明において、撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明及び下側照明の少なくとも一方が収納ケースに密閉されており、収納ケースが防滴構造を有しているものである。
【００２５】
請求項１４記載の発明は、請求項３ないし１３のいずれかに記載の発明において、撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、下側照明とカメラとの間に隔離板が設けられており、隔離板のカメラに対向した部分が透明板となっているものである。
【００２６】
請求項１５記載の発明は、請求項１４記載の発明において、透明板の周縁が隔離板に対して防滴構造となっているものである。
【００２７】
請求項１６記載の発明は、請求項３ないし１５のいずれかに記載の発明において、撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明が、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの上方から外れた位置まで旋回可能となっているものである。
【００２８】
請求項１７記載の発明は、請求項３ないし１６のいずれかに記載の発明において、撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、カメラが、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの下方から外れた位置まで旋回可能となっているものである。
【００２９】
請求項１８記載の発明は、請求項３ないし１７のいずれかに記載の発明において、撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明と、下側照明と、カメラとが、それぞれ、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの上方から外れた位置まで旋回可能となっており、しかも、それぞれが、平面視で重ならない位置まで旋回可能となっているものである。
【００３０】
請求項１９記載の発明は、請求項３ないし１８のいずれかに記載の発明において、撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明の下面に、粉体と同色の板又は白色板又は乳白色板が設けられているものである。
【００３１】
請求項２０記載の発明は、請求項３ないし１９のいずれかに記載の発明において、表側撮影機構において、カメラ及び上側照明を密閉して囲むよう設けられたフードの下面に対して斜め下方からエアーを吹き付けるエアーノズル及び下側照明の上面に対して斜め上方からエアーを吹き付けるエアーノズルの少なくとも一方が設けられているものである。
【００３２】
請求項２１記載の発明は、請求項３ないし２０のいずれかに記載の発明において、撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明の下面に対して斜め下方からエアーを吹き付けるエアーノズル及び下側照明の上面に対して斜め上方からエアーを吹き付けるエアーノズルの少なくとも一方が設けられているものである。
【００３３】
請求項２２記載の発明は、請求項１４又は１５に記載の発明において、透明板の上面に対して斜め上方からエアーを吹き付けるエアーノズルが設けられているものである。
【００３４】
請求項２３記載の発明は、請求項３ないし２２のいずれかに記載の発明において、回転テーブル表面の粉体を上方から近接して覆う平板と、平板で覆われた空間に舞上った粉体を吸引する吸引機構と、を備えた粉体舞上り防止装置が、供給装置と撮影装置との間に設けられているものである。
【００３５】
請求項２４記載の発明は、請求項２３記載の発明において、平板の、回転テーブルの回転方向側の一辺に、下方に延びた延在部が設けられており、延在部によって、平板で覆われた空間が仕切られているものである。
【００３６】
請求項２５記載の発明は、請求項２３又は２４に記載の発明において、平板が回転テーブルの上方から外れた位置まで移動可能となっているものである。
【００３７】
請求項２６記載の発明は、請求項１ないし２５のいずれかに記載の発明において、粉体検査装置は密閉ケースに収納されており、該密閉ケースの一部には、内外の気圧差を解消するためのフィルターが設けられているものである。
【００３８】
請求項２７記載の発明は、請求項１ないし２６のいずれかに記載の発明において、供給装置が、粉体を、多孔板を通過させた後に回転テーブル表面に供給するようになっており、多孔板の孔の大きさは、大きな不良品を通過させない大きさに設定されているものである。
【００３９】
請求項２８記載の発明は、請求項１ないし２７のいずれかに記載の発明において、回転テーブルが、その表面に、供給装置により供給されてきた粉体が嵌り込む環状の溝を有しており、該溝の幅は、撮影装置、良品回収ノズル、及び不良品除去ノズルの全ての作動有効範囲内となるよう設定されており、該溝は底面と両側面とで構成されており、底面は水平な平坦面であり、両側面は、回転テーブル表面から底面に向けて溝幅が狭くなるよう傾斜し且つそれぞれ底面に対して４５°未満の角度で傾斜した平面であり、両側面と底面との交差部はＲを有しているものである。
【００４０】
請求項２９記載の発明は、請求項１ないし２８のいずれかに記載の発明において、回転テーブルの周辺に、少なくとも、回転テーブル表面の粉体中から繊維状の異物を吸引除去する繊維異物除去ノズル、回転テーブル表面の粉体の静電気を除去する静電除去機、及び回転テーブル表面の粉体中から金属異物を除去する金属除去機の内のいずれかを備えているものである。
【００４１】
【発明の実施の形態】
（実施形態１）
図１は本実施形態の粉体検査装置１の平面図である。この粉体検査装置１は、表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する回転テーブル２の周辺に、回転テーブル２表面に粉体を連続して供給する供給装置３と、粉体中から繊維状の異物を吸引除去する繊維異物除去ノズル４１と、粉体の静電気を除去する第１静電除去機５１と、粉体中から鉄等の金属異物を除去する金属除去機４２と、粉体中の不良品を回転テーブル２の表側から撮影して検出する表側撮影機構６と、粉体の静電気を除去する第２静電除去機５２と、粉体中の不良品を回転テーブル２の裏側から撮影して検出する裏側撮影機構７と、表側及び裏側撮影機構６，７の撮影データに基づいて粉体中の良品のみを吸引して回収する良品回収ノズル８と、良品が回収された後の回転テーブル２表面の粉体を全て吸引して除去する不良品除去ノズル９とを、回転テーブルの回転方向（矢印Ｙ方向）に向かってこの順番で備えている。
【００４２】
回転テーブル２は、無色透明な樹脂、例えばメタクリル樹脂、又は無色透明なガラスで形成されており、表面が平坦な円板状のものであり、水平に設けられている。回転テーブル２の表面には、図１の回転テーブル２のII−II断面図である図２に示すように、粉体１０が嵌り込む溝２０が回転テーブル２と同心の環状に形成されている。なお、図２では粉体１０の溝２０における状態を強調するために粉体１０を大きく示している。また、図１の一点鎖線Ｍは溝２０の中心を示している。溝２０の幅Ｗは、表側撮影機構６、裏側撮影機構７、良品回収ノズル８、及び不良品除去ノズル９の全ての作動有効範囲内となるよう設定されている。溝２０は、底面２０１と両側面２０２とで構成されている。底面２０１は水平な平坦面である。両側面２０２は、回転テーブル２表面から底面２０１に向けて溝２０の幅Ｗが狭くなるよう傾斜し且つそれぞれ底面２０１に対して４５°未満の角度αで傾斜した平面である。両側面２０２と底面２０１との交差部ＸはＲを有している。
【００４３】
図３は供給装置３の平面図、図４は図３のIV−IV断面図である。供給装置３は、電磁コイル３１と、基端部が電磁コイル３１上に設けられ、先端部が回転テーブル２上に位置している、トラフ３２と、トラフ３２上に重なるように設けられた多孔板３３とを備えており、上方のホッパ（図示せず）に連結した投入口３４から投入された粉体を、図４の矢印に示すように、電磁コイル３１による振動によって、多孔板３３を通過させた後にトラフ３２によって少しずつ回転テーブル２表面に連続して供給するようになっている。多孔板３３の孔の大きさは、不良品とされる大きさのものを通過させない大きさに設定されている。図３のＶ−Ｖ断面図である図５及び図３のVI−VI断面図である図６に示すように、水平な多孔板３３の先端部は外に通じる傾斜面３３１となっている。
【００４４】
繊維異物除去ノズル４１は、下方に大きく開き且つ回転テーブル２表面に近接した吸い込み口から、回転テーブル２表面の粉体中の繊維状の異物を吸い込んで除去するようになっている。金属除去機４２は、マグネットを有しており、回転テーブル２表面の粉体中の鉄等の金属異物を吸着除去するようになっている。
【００４５】
第１及び第２静電除去機５１，５２は、回転テーブル２表面の粉体が帯びている静電気を除去するようになっている。
【００４６】
表側撮影機構６は、回転テーブル２の上方に設置されたＣＣＤカメラ６１と、回転テーブル２の上下両方に設置された２つの照明（図示せず）とを備えている。なお、ＣＣＤカメラ６１及び２つの照明は高さ調節可能となっている。
【００４７】
裏側撮影機構７は、回転テーブル２の下方に設置されたＣＣＤカメラ７１と、回転テーブル２の上下両方に設置された２つの照明（図示せず）とを備えている。なお、ＣＣＤカメラ７１及び２つの照明は高さ調節可能となっている。
【００４８】
図７は良品回収ノズル８の平面図、図８は図７のVIII矢視図、図９は図７のIX矢視図である。良品回収ノズル８は、本体８１と、ノズル管８２と、カバー８３とで構成されており、図８に示すように、本体８１内を矢印Ａのように高速で空気を流すことによって生じる負圧によって、ノズル管８２の吸い込み口８２１から矢印Ｂのように吸い込むようになっている。カバー８３は、回転テーブル２の周縁に沿って円弧状に延び且つノズル管８２の前後に渡って設けられており、良品回収ノズル８の作動有効範囲以上即ち吸い込み口８２１の長手方向の寸法以上の幅Ｗ１を有している。吸い込み口８２１は、スカート部８２２で囲まれて構成され、回転テーブル２表面に近接して配置されており、スカート部８２２の先端縁（下端縁）と回転テーブル２表面の溝２０の底面２０１及び両側面２０２との間には、隙間が設けられている。該隙間の寸法は、粉体１０の平均粒径が０．３ｍｍの場合は０．５ｍｍに設定されている。
【００４９】
そして、良品回収ノズル８は、移動機構８０によって、回転テーブル２に対して上下動可能となっている。移動機構８０は、図９に示すように、基台８００の下方にフレーム８０１を介して固定支持された空気圧シリンダ８０２と、空気圧シリンダ８０２のロッド８０３の先端にアーム８０４を介して固定支持された２本のロッド８０５とを有しており、ロッド８０５は、基台８００を摺動可能に貫通して良品回収ノズル８を支持している。８０６はスリーブ、８０７はショックアブソーバーである。移動機構８０による良品回収ノズル８の上下動のストローク距離は、良品回収ノズル８が上昇した場合において良品回収ノズル８が作動していても吸い込み口８２１直下の粉体を吸引し得ない大きさに、設定されている。
【００５０】
不良品除去ノズル９は、良品回収ノズル８によって良品が回収された後の回転テーブル２表面の粉体を全て吸引除去するようになっている。その構成は良品回収ノズル８と同様である。なお、移動機構８０は備えていない。
【００５１】
次に、作動について説明する。
生産ラインから取り出され、ホッパ（図示せず）を経由して投入口３４から供給装置３に投入された粉体は、供給装置３において、多孔板３３及びトラフ３２が電磁コイル３１により振動している状況の下で、まず多孔板３３上に落下し、多孔板３３の孔を通過してトラフ３２上に落下し、トラフ３２上を回転テーブル２に向けて徐々に且つ連続して送られる。このとき、電磁コイル３１による振動によって、多孔板３３からの粉体の落下は円滑に行われ、また、トラフ３２上の粉体は均一に拡がった状態となってトラフ３２先端から回転テーブル２表面の溝２０内に供給される。このようにして供給装置３により供給された粉体は、図２に示すように、溝２０内に整列された状態となる。
【００５２】
一方、供給装置３において、多孔板３３の孔の大きさは、不良品とされる大きさのものを通過させない大きさに設定されているので、そのような不良品は、多孔板３３を通過せず、多孔板３３の上を先端に向けて徐々に送られ、傾斜面３３１に至り、図６の矢印に示すように外部へ排出される。従って、供給装置３においては、回転テーブル２表面へ供給される粉体中から大きな不良品が確実に除去される。
【００５３】
回転テーブル２表面の溝２０内の粉体は、所定の速度で矢印Ｙ方向（図１）に回転する回転テーブル２によって運搬される。
【００５４】
回転テーブル２によって運搬される粉体は、まず、繊維異物除去ノズル４１の下を通る。このとき、粉体中からは繊維状の異物が吸引除去される。次に、粉体は第１静電除去機５１の下を通り、粉体の静電気が除去される。次に、粉体は金属除去機４２の下を通り、粉体中から鉄等の金属異物が吸着除去される。
【００５５】
次に、粉体は、表側撮影機構６のＣＣＤカメラ６１の下を通り、上方から撮影される。このとき、粉体は回転テーブル２の上下両方から照明によって照らされながら撮影され、粉体中の不良品が検出される。次に、粉体は第２静電除去機５２の下を通り、粉体の静電気が除去される。次に、粉体は、裏側撮影機構７のＣＣＤカメラ７１の上を通り、下から撮影される。このとき、粉体は回転テーブル２の上下両方から照明によって照らされながら撮影され、粉体中の不良品が検出される。
【００５６】
ところで、回転テーブル２の溝２０において、側面２０２の底面２０１に対する角度α（図２）が４５°以上の急なものであると、回転テーブル２の下から見た場合に側面２０２が鏡面のように光を反射してしまい、側面２０２の部分に載っている粉体がＣＣＤカメラ７１により撮影されないこととなる。しかし、本発明では、角度αが４５°未満に設定されているので、側面２０２が鏡面のように光を反射する程度が低くなり、側面２０２の部分に載っている粉体は回転テーブル２の下からＣＣＤカメラ７１によって十分に撮影される。従って、溝２０内の粉体は、回転テーブル２の下からＣＣＤカメラ７１によって漏れなく撮影される。
【００５７】
しかも、溝２０の側面２０２と底面２０１との交差部ＸがＲを有しているので、溝２０の形成時に交差部Ｘに傷が残ることはなく、このため、傷を不良品と間違えて検出することもない。
【００５８】
次に、粉体は良品回収ノズル８の下に運ばれる。良品回収ノズル８では、図８の矢印Ａに示す空気流が粉体検査装置１の作動中には常時流されており、良品回収ノズル８は常に吸引作動状態にある。また、良品回収ノズル８は、通常の状態では、吸い込み口８２１を回転テーブル２表面に近接させて配設されている。そして、表側及び裏側撮影機構６，７の撮影データに基づいて、ノズル管８２の吸い込み口８２１の直下に良品のみが来たと判断された時には、良品回収ノズル８は上記通常の状態で作動し、これにより良品が吸引回収される。一方、表側及び裏側撮影機構６，７の撮影データに基づいて、ノズル管８２の吸い込み口８２１の直下に不良品が来たと判断された時には、良品回収ノズル８は、移動機構８０の作動によって、即ち、空気圧シリンダ８０２の作動によるロッド８０３及びロッド８０５の上昇作動によって、不良品を吸引し得ない高さ位置まで上昇し、これによって不良品は吸引回収されることなく良品回収ノズル８の下を通過する。そして、不良品が通過して良品のみが来たと判断された時には、移動機構８０が作動して、良品回収ノズル８は元の高さ位置即ち回転テーブル２表面に近接した位置に戻る。このように、良品回収ノズル８の直下に不良品が来た時には、良品回収ノズル８が、移動機構８０によって、良品回収ノズル８が作動していても吸い込み口８２１直下の不良品を吸引し得ない高さ位置まで、上昇するので、次のような作用効果を奏する。（１）良品回収ノズル８では確実に良品のみが吸引される、（２）良品回収ノズル８の作動を止めなくても良品回収ノズル８による不良品の吸引が阻止されるので、良品回収ノズル８の作動を止めた状態から再開した場合に生じる吹き戻しが防止される、（３）大きな不良品が来ても、それが吸い込み口８２１前で詰まることはない。
【００５９】
そして、良品回収ノズル８の下を通過して来た粉体は、その全てが不良品除去ノズル９によって回転テーブル２表面から吸引除去される。これにより、不良品除去ノズル９は回転テーブル２表面に対するクリーナー機能を発揮する。
【００６０】
以上のように、上記構成の粉体検査装置によれば、自動で粉体について不良品検査が行われ、良品のみが良品回収ノズル８によって確実に回収される。
【００６１】
（実施形態２）
実施形態１において、不良品除去ノズル９を良品回収ノズル８の前に配置し、良品回収ノズル８の移動機構８０を無くして、良品回収ノズル８を回転テーブル２表面に近接して配置し、不良品除去ノズル９に移動機構８０に類似の移動機構を設け、その他は実施形態１と同じとしてもよい。この場合において、不良品除去ノズル９に設ける移動機構は、次のようになっている。即ち、不良品がノズル直下に来るまでは、不良品除去ノズル９を、不良品除去ノズル９が作動してもノズル直下の良品を吸引し得ない高さに位置させ、不良品がノズル直下に来た時に、不良品除去ノズル９を、ノズル直下の不良品を吸引し得る位置まで移動するようになっている。なお、不良品除去ノズル９は、下降する際には吸引作動状態となっている。
【００６２】
上記構成によっても、実施形態１と同様に、不良品除去ノズル９の作動を止めた場合に生じる吹き戻しが防止される。
【００６３】
（実施形態３）
図１０は本実施形態の粉体検査装置１００の平面図である。この粉体検査装置１００において、実施形態１の粉体検査装置１（図１）と同一符号のものは同じものであり、同じ作用効果を発揮する。そして、本実施形態では、粉体舞上り防止装置４３が設けられており、また、表側撮影機構６０及び裏側撮影機構７０が特殊な構造を有している。
【００６４】
図１１は図１０のＸＩ−ＸＩ断面図であり、表側撮影機構６０を示す。表側撮影機構６０は、回転テーブル２表面の粉体を表側から撮影して不良品を検出するものであり、３台のＣＣＤカメラ６２と、上側照明６３と、下側照明６４と、２個のエアーノズル６５１，６５２と、支持ポール６６とを、備えている。
【００６５】
ＣＣＤカメラ６２及び上側照明６３は回転テーブル２の上方に位置している。上側照明６３はリング状のものであり、ＣＣＤカメラ６２は上側照明６３の内部空間を通して下方を撮影するようになっている。そして、ＣＣＤカメラ６２及び上側照明６３は、回転テーブル２の上方にてフード６７で囲まれて密閉されている。フード６７は、上から覆い隠すフード本体６７１と、フード本体６７１を下から塞ぐ下面６７２とで構成されている。下面６７２の周縁はフード本体６７１に対して防滴構造となっている。フード本体６７１はステンレス鋼からなり、下面６７２は透明ガラス板である。更に、フード６７で囲まれたＣＣＤカメラ６２及び上側照明６３は、一体として、回転テーブル２の周辺に立設された支持ポール６６に支持アーム６６４を介して片持ち支持されており、図１１のＸII矢視図である図１２に示すように支持ポール６６を中心に回転テーブル２の上方から外れた位置まで旋回可能となっている。
【００６６】
下側照明６４は回転テーブル２の下方に位置している。下側照明６４は、平板状のものであり、収納ケース６４０で密閉されている。収納ケース６４０の周縁は支持アーム６６５に対して防滴構造となっている。収納ケース６４０の上面６４１は帯電防止機能付アクリル樹脂からなる白色板である。下側照明６４も、支持ポール６６に支持アーム６６５を介して片持ち支持されており、図１２に示すように支持ポール６６を中心に回転テーブル２の下方から外れた位置まで旋回可能となっている。なお、フード６７で囲まれたＣＣＤカメラ６２及び上側照明６３と、下側照明６４とは、図１２に示すように平面視で重ならない位置まで旋回可能となっている。
【００６７】
支持ポール６６における旋回構造は、次のようになっている。即ち、第１円筒柱６６１に第２円筒柱６６２が摺動自在に外嵌し、第２円筒柱６６２に第３円筒柱６６３が摺動自在に外嵌しており、第２円筒柱６６２に、フード６７で囲まれたＣＣＤカメラ６２及び上側照明６３の支持アーム６６４が固定されており、第３円筒柱６６３に、下側照明６４の支持アーム６６５が固定されている。なお、ロックレバー６６６は第１円筒柱６６１に対して第２円筒柱６６２を摺動不能に固定し、ロックレバー６６７は第２円筒柱６６２に対して第３円筒柱６６３を摺動不能に固定するようになっている。
【００６８】
支持アーム６６５には、２個のエアーノズル６５１，６５２が取り付けられている。エアーノズル６５１はフード６７の下面６７２に対して斜め下方からエアーを吹き付けるようになっており、エアーノズル６５２は下側照明６４の上面６４１に斜め上方からエアーを吹き付けるようになっている。
【００６９】
図１３は図１０のＸIII−ＸIII断面図であり、裏側撮影機構７０を示す。裏側撮影機構７０は、回転テーブル２表面の粉体を裏側から撮影して不良品を検出するものであり、３台のＣＣＤカメラ７２と、上側照明７３と、下側照明７４と、３個のエアーノズル７５１，７５２，７５３と、支持ポール７６とを、備えている。
【００７０】
上側照明７３は回転テーブル２の上方に位置している。上側照明７３は、平板状のものであり、収納ケース７３０で密閉されている。収納ケース７３０の周縁は支持アーム７６５に対して防滴構造となっている。収納ケース７３０の下面７３１は帯電防止機能付アクリル樹脂からなる白色板である。上側照明７３は、支持アーム７６５を介して支持ポール７６に片持ち支持されており、図１３のＸIV矢視図である図１４に示すように支持ポール７６を中心に回転テーブル２の上方から外れた位置まで旋回可能となっている。
【００７１】
下側照明７４及びＣＣＤカメラ７２は回転テーブル２の下方に位置している。また、下側照明７４とＣＣＤカメラ７２との間には、隔離板７７が設けられている。下側照明７４は収納ケース７４０で密閉されている。収納ケース７４０の周縁は支持アーム７６６に対して防滴構造となっている。収納ケース７４０の上面７４１は帯電防止機能付アクリル樹脂からなる白色板である。下側照明７４はリング状のものであり、隔離板７７の、下側照明７４の内部空間に対向する部分には、透明ガラス板７７１が設けられている。ガラス板７７１の周縁は隔離板７７に対して防滴構造となっている。防滴構造としては、例えばパッキンを介在させた構造がある。ＣＣＤカメラ７２は下側照明７４の内部空間を通して上方を撮影するようになっている。
【００７２】
下側照明７４も、支持アーム７６６を介して支持ポール７６に片持ち支持されており、図１４に示すように支持ポール７６を中心に回転テーブル２の下方から外れた位置まで旋回可能となっている。また、ＣＣＤカメラ７２も、支持アーム７６７を介して支持ポール７６に片持ち支持されており、図１４に示すように支持ポール７６を中心に回転テーブル２の下方から外れた位置まで旋回可能となっている。なお、上側照明７３と、下側照明７４と、ＣＣＤカメラ７２とは、図１４に示すように平面視で重ならない位置まで旋回可能となっている。
【００７３】
支持ポール７６における旋回構造は、次のようになっている。即ち、支柱７６１の第１細部７６１１に第１円筒柱７６２が摺動自在に外嵌しており、第２細部７６１２に第２円筒柱７６３が摺動自在に外嵌しており、第３細部７６１３に第３円筒柱７６４が摺動自在に外嵌しており、支持アーム７６５が第１円筒柱７６２に固定されており、支持アーム７６６が第２円筒柱７６３に固定されており、支持アーム７６７が第３円筒柱７６４に固定されている。なお、ロックレバー７８１は第１円筒柱７６２を第１細部７６１１に摺動不能に固定し、ロックレバー７８２は第２円筒柱７６３を第２細部７６１２に摺動不能に固定し、ロックレバー７８３は第３円筒柱７６４を第３細部７６１３に摺動不能に固定するようになっている。
【００７４】
第２円筒柱７６３には、２個のエアーノズル７５１，７５２が取り付けられている。エアーノズル７５１は上側照明７３の下面７３１に対して斜め下方からエアーを吹き付けるようになっており、エアーノズル７５２は下側照明７４の上面７４１に斜め上方からエアーを吹き付けるようになっている。また、支持アーム７６６の裏側にはエアーノズル７５３が取り付けられている。エアーノズル７５３は隔離板７７の透明ガラス板７７１に斜め上方からエアーを吹き付けるようになっている。
【００７５】
粉体舞上り防止装置４３は、図１０に示すように、供給装置３と表側撮影機構６０との間に設けられており、ここでは、第１静電除去機５１と金属除去機４２との間に設けられている。図１５は防止装置４３の斜視図である。防止装置４３は、回転テーブル２表面の粉体を上方から近接して覆う矩形の平板４３１と、平板４３１で覆われた空間を吸引する吸引機構４３２とを、備えている。平板４３１の回転テーブル２の上方から外れた辺部には、水平軸４３３が設けられており、平板４３１は、吸引機構４３２を伴ったまま、水平軸４３３を中心として、図１５中の一点鎖線で示すように、回転テーブル２の上方から外れた位置まで旋回するようになっている。また、平板４３１の、回転テーブル２の回転方向（矢印Ｙ方向）側の一辺には、延在部４３１１が辺部を下方に折り曲げて形成されている。延在部４３１１は回転テーブル２の溝２０上に位置している。
【００７６】
次に、作動について説明する。
実施形態１の粉体検査装置１の場合と同様に、投入口３４から供給装置３に投入された粉体は、トラフ３２先端から回転テーブル２表面の溝２０内に供給され、溝２０内に整列された状態となり、矢印Ｙ方向（図１０）に回転する回転テーブル２によって運搬される。そして、粉体は、まず、繊維異物除去ノズル４１の下を通り、ここで粉体中の繊維状の異物が吸引除去され、次に、第１静電除去機５１の下を通り、ここで粉体の静電気が除去される。
【００７７】
そして、粉体は、粉体舞上り防止装置４３の下を通る。このとき、粉体は、平板４３１により上方から近接して覆われた状態となるので、上下に狭い空間に存在することとなり、その舞上りが抑制される。しかも、吸引機構４３２により、平板４３１で覆われた空間が吸引されるので、舞上った粉体は吸引除去されることとなり、これによっても、舞上りが抑制される。更に、延在部４３１１により、平板４３１で覆われた空間の回転方向側が仕切られているので、吸引される空間が確定され、それ故、吸引が効率良く行われ、舞上りの抑制効果が向上する。このように、粉体の舞上りが抑制されることにより、粉体に対する検査が円滑に且つ精度良く行われることとなり、また、粉体による周辺の汚染が防止される。
【００７８】
舞上りが抑制された粉体は、金属除去機４２の下を通り、ここで粉体中の金属異物が吸着除去される。
【００７９】
次に、粉体は、表側撮影機構６０のＣＣＤカメラ６２の下を通り、上方から撮影され、ここで粉体の内の不良品が検出される。このとき、粉体は、上側照明６３及び下側照明６４によって回転テーブル２の上下両方から照らされながら撮影されるので、粉体の影を不良品として検出してしまうことが防止され、従って、検出精度が向上する。しかも、下側照明６４の上面６４１が白色板であるので、下側照明６４の光が均一に分散し、粉体は下側から均一に照らされることとなり、従って、この点からも検出精度が向上する。また、上面６４１が帯電防止機能を有しているので、上面６４１への粉体の付着が防止され、従って、この点からも検出精度が向上する。また、ＣＣＤカメラ６２及び上側照明６３がフード６７で囲まれて密閉されているので、ＣＣＤカメラ６２や上側照明６３への粉体の付着が防止され、従って、この点からも検出精度が向上する。更に、エアーノズル６５１によってフード６７の下面６７２にエアーが吹き付けられ、また、エアーノズル６５２によって下側照明６４の上面６４１にエアーが吹き付けられるので、下面６７２や上面６４１への粉体の付着が防止され、従って、この点からも検出精度が向上する。
【００８０】
次に、粉体は第２静電除去機５２の下を通り、ここで粉体の静電気が除去される。
【００８１】
次に、粉体は、裏側撮影機構７０のＣＣＤカメラ７２の上を通り、下から撮影され、ここで粉体の内の不良品が検出される。このとき、粉体は、上側照明７３及び下側照明７４によって回転テーブル２の上下両方から照らされながら撮影されるので、粉体の影を不良品として検出してしまうことが防止され、従って、検出精度が向上する。しかも、上側照明７３の下面７３１が白色板であるので、上側照明７３の光が均一に分散し、粉体は上側から均一に照らされることとなり、従って、この点からも検出精度が向上する。また、下面７３１が帯電防止機能を有しているので、下面７３１への粉体の付着が防止され、従って、この点からも検出精度が向上する。更に、下側照明７４の上面７４１が白色板であるので、下側照明７４の光が均一に分散し、粉体は下側から均一に照らされることとなり、従って、この点からも検出精度が向上する。また、上面７４１が帯電防止機能を有しているので、上面７４１への粉体の付着が防止され、従って、この点からも検出精度が向上する。また、透明ガラス板７７１の周縁が隔離板７７に対して防滴構造となっているので、粉体が隔離板７７を通過してＣＣＤカメラ７２に付着することが防止され、従って、この点からも検出精度が向上する。更に、エアーノズル７５１によって上側照明７３の下面７３１にエアーが吹き付けられ、また、エアーノズル７５２によって下側照明７４の上面７４１にエアーが吹き付けられ、また、エアーノズル７５３によって透明ガラス板７７１にエアーが吹き付けられるので、下面７３１、上面７４１、及び透明ガラス板７７１への粉体の付着が防止され、従って、この点からも検出精度が向上する。
【００８２】
次に、粉体は、実施形態１の粉体検査装置１の場合と同様に、良品回収ノズル８の下に運ばれ、ここで粉体の内の良品が吸引回収され、次いで、不良品除去ノズル９の下に運ばれ、ここで全ての粉体が回転テーブル２表面から吸引除去される。
【００８３】
なお、上記構成の粉体検査装置１００においては、上記作動中に、表側撮影機構６０又は裏側撮影機構７０がこれらの構成部品を傷付ける程度の巨大な異物を確認した場合には、装置全体の運転を停止するよう制御されるようになっており、これによって表側撮影機構６０又は裏側撮影機構７０の保護が図られている。また、常時検出される不良品がある場合、それは表側撮影機構６０又は裏側撮影機構７０に付着した汚れと考えられ、連続して検出される不良品がある場合、それは回転テーブル２に付着した汚れと考えられるので、その場合も、装置全体の運転を停止するよう制御されるようになっており、これによって歩留まりの向上及び検査の安定化が図られている。
【００８４】
こうして、上記構成の粉体検査装置１００によれば、実施形態１の粉体検査装置１と同様に、自動で粉体について不良品検査が行われ、良品のみが良品回収ノズル８によって確実に回収される。しかも、上記構成の粉体検査装置１００によれば、粉体の舞上りが抑制されることによって検査の円滑化、高精度化、及び周囲環境の汚染防止が図られ、また、表側撮影機構６０及び裏側撮影機構７０による検出精度が向上する。
【００８５】
更に、上記構成の粉体検査装置１００によれば、表側撮影機構６０、裏側撮影機構７０、及び回転テーブル２に対するメンテナンスを容易且つ確実に行うことができる。即ち、表側撮影機構６０においては、フード６７で囲まれたＣＣＤカメラ６２及び上側照明６３と、下側照明６４とが、それぞれ、回転テーブル２から外れた位置まで旋回可能となっているので、それぞれに対して回転テーブル２を傷付けることなく、メンテナンスを施すことができ、しかも、それぞれが、図１２に示すように平面視で重ならない位置まで旋回可能となっているので、それぞれを相互に傷付けることなく、メンテナンスを施すことができる。また、裏側撮影機構７０においては、上側照明７３と、下側照明７４と、ＣＣＤカメラ７２とが、それぞれ、回転テーブル２から外れた位置まで旋回可能となっているので、それぞれに対して回転テーブル２を傷付けることなく、メンテナンスを施すことができ、しかも、それぞれが、図１４に示すように平面視で重ならない位置まで旋回可能となっているので、それぞれを相互に傷付けることなく、メンテナンスを施すことができる。
【００８６】
なお、上記構成の粉体検査装置１００は、図１６に示すような密閉ケース１１０内に収納されている。これは、検査中の粉体に外部から異物が侵入するのを防ぐためである。そして、密閉ケース１１０は、一部の扉がケース内外の気圧差を解消するためのフィルター１１１で構成されている。これにより、良品回収ノズル８や不良品除去ノズル９の作動によってケース内が負圧となるのが、防止される。従って、吸引能力及び除去能力の安定化が図られる。
【００８７】
（別の実施形態）
（１）実施形態３は、実施形態１の良品回収ノズル８及び不良品除去ノズル９を備えたものであるが、その代わりに、実施形態２の良品回収ノズル８及び不良品除去ノズル９を備えてもよく、更には、実施形態１，２の良品回収ノズル８又は不良品除去ノズル９の代わりに、従来一般の構成の良品回収ノズル又は不良品除去ノズルを備えてもよい。
【００８８】
（２）実施形態１，２の粉体検査装置をフィルター１１１を備えた密閉ケース１１０に収納してもよい。
【００８９】
（３）実施形態１ないし３において、裏側撮影機構７，７０は省略してもよい。即ち、回転テーブル２表面の粉体は回転テーブル２の表側のみから撮影してもよい。そして、この場合の回転テーブル２は、半透明、例えば乳白色の、樹脂又はガラスで形成されたものでよい。
【００９０】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、良品回収ノズルを、不良品がノズル直下に来るまでは、ノズル直下の良品を吸引し得る高さ位置にあり、不良品がノズル直下に来た時には、良品回収ノズルが作動していてもノズル直下の不良品を吸引し得ない高さ位置まで、移動するようにしたので、次のような効果を奏する。
（１）良品回収ノズルにより確実に良品のみを吸引できる。
（２）良品回収ノズルの作動を止めなくても良品回収ノズルによる不良品の吸引を阻止できるので、良品回収ノズルの作動を止めた場合に生じる吹き戻しを防止できる。従って、吹き戻しにより回転テーブル上の粉体が飛散してしまうのを防止できる。
（３）大きな不良品が良品回収ノズルの吸い込み口前で詰まるのを防止できる。
（４）不良品除去ノズルが良品回収ノズルの下を通過して来た粉体の全てを吸引除去し続けるので、不良品除去ノズルは回転テーブル表面に対するクリーナー機能を発揮できる。従って、検査室内における粉体の飛散や粉体の吸い残しを防止できる。
【００９１】
請求項２記載の発明によれば、不良品除去ノズルの作動を止めた場合に生じる吹き戻しを防止でき、吹き戻しにより回転テーブル上の粉体が飛散してしまうのを防止できる。
【００９２】
【００９３】
請求項３記載の発明によれば、請求項１と同様の効果を発揮できる。
【００９４】
請求項４記載の発明によれば、請求項２と同様の効果を発揮できる。
【００９５】
請求項５記載の発明によれば、表側撮影機構のカメラ及び上側照明への粉体の付着を防止でき、従って、検出精度を向上できる。
【００９６】
請求項６記載の発明によれば、表側撮影機構のカメラ及び上側照明への粉体の付着を確実に防止できる。
【００９７】
請求項７記載の発明によれば、表側撮影機構のフード、カメラ、及び上側照明と、回転テーブルとに対するメンテナンスを、回転テーブルを傷付けることなく、容易且つ確実に行うことができる。
【００９８】
請求項８記載の発明によれば、表側撮影機構の下側照明への粉体の付着を防止でき、従って、検出精度を向上できる。
【００９９】
請求項９記載の発明によれば、表側撮影機構の下側照明と回転テーブルとに対するメンテナンスを、回転テーブルを傷付けることなく、容易且つ確実に行うことができる。
【０１００】
請求項１０記載の発明によれば、表側撮影機構のフード、カメラ、及び上側照明と、下側照明と、回転テーブルとに対するメンテナンスを、相互に傷付けることなく、容易且つ確実に行うことができる。
【０１０１】
請求項１１記載の発明によれば、表側撮影機構の下側照明の光を均一に分散させて粉体を下側から均一に照らすことができ、従って、検出精度を向上できる。
【０１０２】
請求項１２記載の発明によれば、裏側撮影機構の下側照明と回転テーブルとに対するメンテナンスを、回転テーブルを傷付けることなく、容易且つ確実に行うことができる。
【０１０３】
請求項１３記載の発明によれば、裏側撮影機構の上側照明又は下側照明への粉体の付着を確実に防止でき、従って、検出精度を向上できる。
【０１０４】
請求項１４記載の発明によれば、カメラへの粉体の付着を防止でき、従って、検出精度を向上できるとともに、メンテナンスを容易に行うことができる。
【０１０５】
請求項１５記載の発明によれば、カメラへの粉体の付着を確実に防止できる。
【０１０６】
請求項１６記載の発明によれば、裏側撮影機構の上側照明と回転テーブルとに対するメンテナンスを、回転テーブルを傷付けることなく、容易且つ確実に行うことができる。
【０１０７】
請求項１７記載の発明によれば、裏側撮影機構のカメラと回転テーブルとに対するメンテナンスを、回転テーブルを傷付けることなく、容易且つ確実に行うことができる。
【０１０８】
請求項１８記載の発明によれば、裏側撮影機構のカメラと、上側照明と、下側照明と、回転テーブルとに対するメンテナンスを、相互に傷付けることなく、容易且つ確実に行うことができる。
【０１０９】
請求項１９記載の発明によれば、裏側撮影機構の上側照明の光を均一に分散させて粉体を上側から均一に照らすことができ、従って、検出精度を向上できる。
【０１１０】
請求項２０記載の発明によれば、表側撮影機構のフードの下面及び下側照明の上面の少なくとも一方への粉体の付着を防止でき、従って、検出精度を向上できるとともに、クリーナー効果を発揮して長時間運転を可能にできる。
【０１１１】
請求項２１記載の発明によれば、裏側撮影機構の上側照明の下面及び下側照明の上面の少なくとも一方への粉体の付着を防止でき、従って、検出精度を向上できるとともに、クリーナー効果を発揮して長時間運転を可能にできる。
【０１１２】
請求項２２記載の発明によれば、裏側撮影機構の透明ガラス板の上面への粉体の付着を防止でき、従って、検出精度を向上できるとともに、クリーナー効果を発揮して長時間運転を可能にできる。
【０１１３】
請求項２３記載の発明によれば、供給装置と撮影装置との間における粉体の舞上りを抑制でき、従って、検査の円滑化、高精度化、及び周囲環境の汚染防止を図ることができる。
【０１１４】
請求項２４記載の発明によれば、吸引機構による吸引効率を向上でき、粉体の舞上りの抑制効果を向上できる。
【０１１５】
請求項２５記載の発明によれば、粉体舞上り防止装置と回転テーブルとに対するメンテナンスを、回転テーブルを傷付けることなく、容易且つ確実に行うことができる。
【０１１６】
請求項２６記載の発明によれば、検査の安定化を図ることができる。
【０１１７】
請求項２７記載の発明によれば、回転テーブル表面に粉体を供給する前に、大きな不良品を確実に除去でき、その結果、大きな不良品が良品回収ノズルや不良品除去ノズルの吸い込み口前で詰まるのを防止できる。
【０１１８】
請求項２８記載の発明によれば、次のような効果を奏する。
（１）撮影装置、良品回収ノズル、及び不良品除去ノズルの全ての作動有効範囲内となるよう幅が設定された溝内に粉体を入れ、溝内の粉体について検出・除去を行うようになっているので、撮影装置、良品回収ノズル、及び不良品除去ノズルを有効に使用でき、効率の良い検査を行うことができる。
（２）回転テーブルが透明であり、溝は底面と両側面とで構成されており、底面は水平な平坦面であり、両側面は、回転テーブル表面から底面に向けて溝幅が狭くなるよう傾斜し且つそれぞれ底面に対して４５°未満の角度で傾斜した平面であるので、溝内の粉体を回転テーブルの裏側から照明で照らして撮影する際において、溝の側面が鏡面のように光を反射する程度は低くなり、側面の部分に載っている粉体を回転テーブルの裏側からＣＣＤカメラにより十分に撮影できる。従って、溝内の粉体を、回転テーブルの表裏両側から漏れなく撮影でき、検査データの信頼性を高めることができる。
（３）溝の側面と底面との交差部がＲを有しているので、溝の形成時に交差部に傷が残ることはなく、このため、傷を不良品と間違えて検出するのを防止でき、この点からも検査データの信頼性を高めることができる。
（４）回転テーブルが、その表面に、粉体が嵌り込む溝を有しているので、回転テーブルの遠心力によって粉体が外に飛散してしまうのを防止できる。
【０１１９】
請求項２９記載の発明によれば、回転テーブル表面の粉体中から繊維状の異物又は金属異物を除去でき、又は粉体の静電気を除去できるので、検査精度を更に向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施形態１の粉体検査装置の平面図である。
【図２】 図１の回転テーブルのII−II断面図である。
【図３】 供給装置の平面図である。
【図４】 図３のIV−IV断面図である。
【図５】 図３のＶ−Ｖ断面図である。
【図６】 図３のVI−VI断面図である。
【図７】 良品回収ノズルの平面図である。
【図８】 図７のVIII矢視図である。
【図９】 図７のIX矢視図である。
【図１０】 実施形態３の粉体検査装置の平面図である。
【図１１】 図１０のＸＩ−ＸＩ断面図である。
【図１２】 図１１のＸII矢視図である。
【図１３】 図１０のＸIII−ＸIII断面図である。
【図１４】 図１３のＸIV矢視図である。
【図１５】 粉体舞上り防止装置の斜視図である。
【図１６】 粉体検査装置を収納した密閉ケースの斜視図である。
【図１７】 従来の粉体検査装置における粉体の検査状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１，１００ 粉体検査装置
１１０ 密閉ケース
１１１ フィルター
２ 回転テーブル
２０ 溝
２０１ 底面
２０２ 側面
３ 供給装置
３３ 多孔板
４３ 粉体舞上り防止装置
４３１ 平板
４３２ 吸引機構
４３１１ 延在部
６，６０ 表側撮影機構
７，７０ 裏側撮影機構
６２，７２ ＣＣＤカメラ
６３，７３ 上側照明
６４，７４ 下側照明
６５１，６５２，７５１，７５２，７５３ エアーノズル
６６，７６ 支持ポール
６７ フード
６７２ 下面
６４１，７３１ 白色板
７７ 隔離板
７７１ 透明ガラス板
８ 良品回収ノズル
８０ 移動機構
９ 不良品除去ノズル[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a powder inspection apparatus that automatically inspects at least defective products and collects non-defective products, for example, for powders such as pharmaceuticals, food materials, resin materials, and pulverized products. Here, the defective product is a concept including a powder other than a non-defective powder and a foreign substance such as dust mixed in the powder.
[0002]
[Prior art]
As a powder inspection apparatus for detecting a defective product in a powder by photographing with a CCD camera while carrying the powder on a rotary table surface and sucking and removing the defective product, for example, the applicant's It is known in utility model registration number 2502329.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the powder inspection apparatus as described above, a non-defective product collection nozzle that sucks and collects non-defective products and a non-defective product removal nozzle that sucks and removes defective products are arranged in that order, for example. . These nozzles perform suction by a negative pressure generated by an air flow flowing at a high speed. In the above powder inspection apparatus, both nozzles always flow an air flow when the apparatus is in operation, and when a defective product comes directly under the non-defective product recovery nozzle, the flow of the air from the non-defective product recovery nozzle is stopped. The defective product was not sucked by the non-defective product collection nozzle. In addition, since the defective product removal nozzle is arranged behind the non-defective product collection nozzle so as to keep sucking the powder that has passed through the non-defective product collection nozzle, the defective product removal nozzle exhibits a cleaner function.
[0004]
However, with the method of stopping and controlling the air flow of the non-defective product collection nozzle as described above, when the air flow is stopped, so-called blowback occurs, and the powder on the surface of the rotary table is scattered. was there.
[0005]
In addition, the non-defective product collection nozzle is provided with a suction port close to the surface of the rotary table, and the size of the gap between the suction port and the surface of the rotary table is the optimum size for sucking powder. Is set. Therefore, when a defective product larger than the size of the gap is conveyed, there is a problem that the defective product is clogged in front of the suction port.
[0006]
Further, in the above powder inspection apparatus, when the powder is to be placed on the surface of the rotary table with a width of 50 mm, for example, as shown in FIG. 17, the powder located at both edges collapses and expands to exceed the width of 50 mm. Therefore, there is a problem that the CCD camera 60 and the removal nozzle provided on the premise of the width of 50 mm cannot perform sufficient detection and removal. In order to avoid this, it is conceivable to set in advance a CCD camera 60 or the like having a large operation effective range S. However, this causes waste and reduces efficiency.
[0007]
Even in the powder inspection device in which the defective product removal nozzle is arranged in front of the non-defective product removal nozzle, when the non-defective product comes directly under the defective product removal nozzle, the flow of air from the defective product removal nozzle is stopped and the good product is not sucked. In the case of doing so, there is a problem that blowback occurs and the powder on the surface of the rotary table scatters as described above.
[0008]
In addition, depending on the type and particle size of the powder, there is a problem that the powder adheres to a photographing apparatus such as a CCD camera and the inspection accuracy is lowered. Such problems can be solved by maintenance. However, in the conventional apparatus, since all of the CCD cameras and the like which are components of the photographing apparatus are fixed, it is difficult to perform maintenance sufficiently. In addition, components and the rotary table may be damaged during maintenance.
[0009]
Furthermore, an improvement in inspection accuracy has been demanded.
[0010]
An object of this invention is to provide the powder inspection apparatus which can prevent the scattering of the powder by blowback and can aim at the improvement of an inspection precision.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The invention according to claim 1 is a powder inspection apparatus that automatically performs at least defective product inspection on powder and collects non-defective products. A feeding device that supplies powder to the surface of the rotary table around the translucent rotary table, an imaging device that detects the defective powder by photographing the powder on the surface of the rotary table from at least the front side, and after the imaging A non-defective product collecting nozzle that sucks and collects non-defective products from the surface of the rotating table surface, and a defective product removing nozzle that sucks and removes all powder on the surface of the rotating table after the non-defective products are collected. Are arranged in this order toward the rotation direction of the rotary table, and the non-defective product recovery nozzle is at a height position where the non-defective product can be sucked into the nozzle until the defective product comes directly under the nozzle. To when the come, to a height position which can not suck the defective immediately below the nozzle be non-defective recovering nozzle is working, is characterized in that it is adapted to move.
[0012]
The invention according to claim 2 is a powder inspection apparatus that automatically performs at least defective product inspection on powder and collects non-defective products. A feeding device that supplies powder to the surface of the rotary table around the translucent rotary table, an imaging device that detects the defective powder by photographing the powder on the surface of the rotary table from at least the front side, and after the imaging Of the powder on the surface of the rotary table, the defective product removal nozzle that sucks and removes defective products from the surface of the rotary table, and the non-defective product recovery that sucks and collects all powder on the surface of the rotary table after the defective products are removed The nozzles are arranged in this order toward the rotation direction of the rotary table, and the defective product removal nozzle sucks in the good products directly under the nozzle until the defective product comes under the nozzle, even if the defective product removal nozzle is operating. Located in no height, defective products is characterized in that it is adapted to move in a suction operation state to a position capable of sucking the defective immediately below the nozzle when it came immediately below the nozzle.
[0013]
[0014]
Claim 3 The described invention is a powder inspection apparatus that automatically inspects at least defective products for powder and collects non-defective products, and is transparent or translucent to carry the powder by rotating with the powder placed on the surface. Around the turntable, a supply device for supplying powder to the surface of the turntable, a photographing device for picking up powder on the surface of the turntable to detect defective products, and suctioning and collecting the powder on the surface of the turntable A recovery device is provided in this order toward the rotation direction of the rotary table. The recovery device sucks and recovers non-defective products out of the powder on the surface of the rotary table and sucks and removes defective products. Defective product removal nozzles in this order toward the rotation direction of the rotary table,
The photographing apparatus includes at least a front side photographing mechanism of a front side photographing mechanism that photographs the powder on the surface of the rotating table from the front side of the rotating table and a back side photographing mechanism that similarly photographs from the back side. It is equipped with a camera that shoots powder from the front side, an upper illumination that illuminates from the front side, and a lower illumination that illuminates from the back side, and the back side photographing mechanism illuminates from the front side and a camera that photographs powder from the back side of the rotary table It is equipped with upper illumination and lower illumination that illuminates from the back side, and the non-defective product collection nozzle is at a height position that can suck the good product directly under the nozzle until the defective product comes directly under the nozzle. When the non-defective product recovery nozzle is in operation, it moves to a height where it cannot suck the defective product directly under the nozzle. It is characterized that it is as to remove by suction any powder of the turntable surface after.
[0015]
Claim 4 The described invention is a powder inspection apparatus that automatically inspects at least defective products for powder and collects non-defective products, and is transparent or translucent to carry the powder by rotating with the powder placed on the surface. Around the turntable, a supply device for supplying powder to the surface of the turntable, a photographing device for picking up powder on the surface of the turntable to detect defective products, and suctioning and collecting the powder on the surface of the turntable A recovery device is provided in this order toward the rotation direction of the rotary table. The recovery device sucks and recovers non-defective products out of the powder on the surface of the rotary table and sucks and removes defective products. A non-defective product removal nozzle in the reverse direction toward the rotation direction of the rotary table, and the imaging device captures the powder on the rotary table surface from the front side of the rotary table and also from the back side. At least the front side shooting mechanism of the shadowed back side shooting mechanism is provided, and the front side shooting mechanism includes a camera that shoots powder from the front side of the rotary table, an upper illumination that illuminates from the front side, and a lower illumination that illuminates from the back side. The back side shooting mechanism is equipped with a camera that shoots powder from the back side of the rotary table, an upper side illumination that illuminates from the front side, and a lower side illumination that illuminates from the back side. Even if the defective product removal nozzle is operating until it comes directly under the nozzle, it is located at a height where it cannot suck the good product directly under the nozzle, and when the defective product comes directly under the nozzle, it sucks the defective product directly under the nozzle. The non-defective product collection nozzle is designed to suck and collect all the powder on the surface of the rotary table after the defective product is removed. There.
[0016]
Claim 5 The invention described in claim 3 Or 4 In the invention described in (1), the camera and the upper side illumination of the front side photographing mechanism are enclosed and sealed with a hood.
[0017]
Claim 6 The described invention is claimed. 5 In the described invention, the hood includes a hood main body and a lower surface that closes the hood from below, and the periphery of the lower surface has a drip-proof structure with respect to the hood main body.
[0018]
Claim 7 The described invention is claimed. 5 or 6 In the invention described in the above, the entire camera and the upper illumination surrounded by the hood of the front side photographing mechanism are cantilevered by the support pole, and can be turned to a position off the rotary table around the support pole. It is what.
[0019]
Claim 8 The invention described in claim 3 to claim 3 7 In the invention according to any one of the above, the lower illumination of the front photographing mechanism is sealed in the storage case, and the storage case has a drip-proof structure.
[0020]
Claim 9 The invention described in claim 3 to claim 3 8 In the invention described in any one of the above, the lower illumination of the front-side photographing mechanism is cantilevered by the support pole, and can be swung to a position off the lower side of the rotary table around the support pole. .
[0021]
Claim 10 The described invention is claimed. 5 Or 9 In the invention described in any one of the above, the camera surrounded by the hood of the front side photographing mechanism and the entire upper side illumination, and the lower side illumination are each cantilevered by the support pole, and the rotary table centering on the support pole It is possible to turn to a position that deviates from above, and each can turn to a position that does not overlap in plan view.
[0022]
Claim 11 The invention described in claim 3 to claim 3 10 In the invention described in any one of the above, a plate of the same color as the powder, a white plate or a milky white plate is provided on the upper surface of the lower illumination of the front side photographing mechanism.
[0023]
Claim 12 The invention described in claim 3 to claim 3 11 In the invention described in any one of the above, the photographing apparatus also includes a back side photographing mechanism, and in the back side photographing mechanism, the lower side illumination is cantilevered by the support pole, and comes off from below the rotary table around the support pole. It is possible to turn to a certain position.
[0024]
Claim 13 The invention described in claim 3 to claim 3 12 In the invention described in any one of the above, the imaging device also includes a back side imaging mechanism, and in the back side imaging mechanism, at least one of the upper side illumination and the lower side illumination is sealed in the storage case, and the storage case has a drip-proof structure. It is what you have.
[0025]
Claim 14 The invention described in claim 3 to claim 3 13 In the invention according to any one of the above, the photographing apparatus also includes a back side photographing mechanism, and in the back side photographing mechanism, a separator is provided between the lower illumination and the camera, and a part of the separator facing the camera Is a transparent plate.
[0026]
Claim 15 The described invention is claimed. 14 In the described invention, the peripheral edge of the transparent plate has a drip-proof structure with respect to the separator.
[0027]
Claim 16 The invention described in claim 3 to claim 3 15 In the invention described in any one of the above, the photographing apparatus also includes a back side photographing mechanism, and in the back side photographing mechanism, the upper side illumination is cantilevered by the support pole, and deviates from the upper side of the rotary table around the support pole. It can be turned to the position.
[0028]
Claim 17 The invention described in claim 3 to claim 3 16 In the invention according to any one of the above, the imaging device also includes a back side imaging mechanism, and in the back side imaging mechanism, the camera is cantilevered by the support pole, and is positioned off the lower side of the rotary table around the support pole. It is possible to turn.
[0029]
Claim 18 The invention described in claim 3 to claim 3 17 In the invention described in any one of the above, the photographing apparatus also includes a back side photographing mechanism, and in the back side photographing mechanism, the upper side illumination, the lower side illumination, and the camera are each supported by a support pole and supported. It is possible to turn to a position off the upper side of the rotary table with the pole as the center, and each of them can turn to a position that does not overlap in plan view.
[0030]
Claim 19 The invention described in claim 3 to claim 3 18 In the invention according to any one of the above, the photographing apparatus also includes a back side photographing mechanism, and the back side photographing mechanism is provided with a plate of the same color as the powder or a white plate or a milky white plate on the lower surface of the upper illumination. is there.
[0031]
Claim 20 The invention described in claim 3 to claim 3 19 In the invention according to any one of the above, in the front-side photographing mechanism, the air nozzle that blows air obliquely from below to the lower surface of the hood provided so as to enclose and surround the camera and the upper illumination, and the upper surface of the lower illumination At least one of air nozzles that blows air from obliquely above is provided.
[0032]
Claim 21 The invention described in claim 3 to claim 3 20 In the invention described in any one of the above, the photographing apparatus also includes a back side photographing mechanism, and in the back side photographing mechanism, the air nozzle that blows air from obliquely below the lower surface of the upper illumination and the upper surface of the lower illumination are inclined. At least one of air nozzles for blowing air from above is provided.
[0033]
Claim 22 The described invention is claimed. 14 or 15 The air nozzle which blows air from diagonally upward with respect to the upper surface of a transparent plate is provided.
[0034]
Claim 23 The invention described in claim 3 to claim 3 22 In the invention according to any one of the above, a powder comprising: a flat plate that covers the powder on the surface of the rotary table close from above; and a suction mechanism that sucks the powder that has flown into the space covered with the flat plate A rising prevention device is provided between the supply device and the photographing device.
[0035]
Claim 24 The described invention is claimed. 23 In the described invention, an extension portion extending downward is provided on one side of the flat plate in the rotation direction of the rotary table, and the space covered with the flat plate is partitioned by the extension portion. .
[0036]
Claim 25 The described invention is claimed. 23 or 24 In the invention described in (1), the flat plate is movable to a position deviated from above the rotary table.
[0037]
Claim 26 The invention described in claim 1 to claim 1 25 In the invention according to any one of the above, the powder inspection apparatus is housed in a sealed case, and a filter for eliminating a pressure difference between the inside and the outside is provided in a part of the sealed case.
[0038]
Claim 27 The invention described in claim 1 to claim 1 26 In the invention according to any one of the above, the supply device is configured to supply the powder to the surface of the rotary table after passing through the perforated plate, and the size of the hole in the perforated plate passes a large defective product. It is set to a size that will not be allowed.
[0039]
Claim 28 The invention described in claim 1 to claim 1 27 In the invention according to any one of the above, the rotary table has an annular groove on its surface into which the powder supplied by the supply device is fitted, and the width of the groove is determined by the photographing device and the non-defective product collecting nozzle. , And all the effective working ranges of the defective product removal nozzle, the groove is composed of a bottom surface and both side surfaces, the bottom surface is a horizontal flat surface, and both side surfaces are rotary tables. It is a plane that is inclined so that the groove width becomes narrower from the surface to the bottom surface, and is inclined at an angle of less than 45 ° with respect to the bottom surface, and the intersection of both side surfaces and the bottom surface has R. .
[0040]
Claim 29 The invention described in claim 1 to claim 1 28 In the invention described in any one of the above, at least a fiber foreign matter removal nozzle that sucks and removes fibrous foreign matter from the powder on the surface of the rotary table, and a static electricity that removes static electricity from the powder on the surface of the rotary table. Either an electric removal machine or a metal removal machine that removes metallic foreign matter from the powder on the surface of the rotary table is provided.
[0041]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a plan view of a powder inspection apparatus 1 according to the present embodiment. The powder inspection apparatus 1 includes a supply device 3 that continuously supplies powder to the surface of the rotary table 2 around the rotary table 2 that rotates and conveys the powder with the powder placed on the surface; A fiber foreign matter removing nozzle 41 that sucks and removes fibrous foreign matters from the powder, a first electrostatic remover 51 that removes static electricity from the powder, and a metal remover that removes metallic foreign matters such as iron from the powder. 42, a front side photographing mechanism 6 for photographing and detecting a defective product in the powder from the front side of the rotary table 2, a second static eliminator 52 for removing static electricity from the powder, and a defective product in the powder. A back side photographing mechanism 7 for photographing and detecting from the back side of the rotary table 2; a non-defective product collecting nozzle 8 for sucking and collecting only good products in the powder based on photographing data of the front and back side photographing mechanisms 6 and 7; All the powder on the surface of the rotary table 2 after being collected is sucked and removed. A good removal nozzle 9 comprises in this order toward the rotation direction of the turntable (arrow Y).
[0042]
The turntable 2 is formed of a colorless and transparent resin, for example, a methacrylic resin, or a colorless and transparent glass, has a flat disk-like surface, and is provided horizontally. As shown in FIG. 2, which is a cross-sectional view taken along the line II-II of the turntable 2 of FIG. 1, a groove 20 into which the powder 10 is fitted is formed on the surface of the turntable 2 in an annular shape concentric with the turntable 2. . In FIG. 2, the powder 10 is shown in a large size in order to emphasize the state of the powder 10 in the groove 20. Also, the alternate long and short dash line M in FIG. 1 indicates the center of the groove 20. The width W of the groove 20 is set so as to be within the effective working range of all of the front side photographing mechanism 6, the back side photographing mechanism 7, the non-defective product collecting nozzle 8, and the defective product removing nozzle 9. The groove 20 includes a bottom surface 201 and both side surfaces 202. The bottom surface 201 is a horizontal flat surface. Both side surfaces 202 are flat surfaces that are inclined so that the width W of the groove 20 becomes narrower from the surface of the turntable 2 toward the bottom surface 201 and are inclined with respect to the bottom surface 201 by an angle α of less than 45 °. An intersection X between the side surfaces 202 and the bottom surface 201 has an R.
[0043]
3 is a plan view of the supply device 3, and FIG. 4 is a sectional view taken along the line IV-IV in FIG. The supply device 3 includes an electromagnetic coil 31, a base end portion provided on the electromagnetic coil 31, and a distal end portion located on the rotary table 2, and a porous portion provided so as to overlap the trough 32. 4, and the porous plate 33 is formed by the vibration of the electromagnetic coil 31 as shown in the arrow of FIG. After the passage, the trough 32 continuously feeds the surface of the rotary table 2 little by little. The size of the hole in the perforated plate 33 is set to a size that does not allow a defective product to pass. As shown in FIG. 5 which is a VV sectional view of FIG. 3 and FIG. 6 which is a VI-VI sectional view of FIG. 3, the front end portion of the horizontal porous plate 33 is an inclined surface 331 which leads to the outside.
[0044]
The fiber foreign matter removing nozzle 41 opens widely and sucks and removes fibrous foreign matters in the powder on the surface of the rotary table 2 from a suction port close to the surface of the rotary table 2. The metal removing machine 42 has a magnet, and adsorbs and removes metal foreign matters such as iron in the powder on the surface of the rotary table 2.
[0045]
The first and second static eliminators 51 and 52 are configured to remove static electricity from the powder on the surface of the rotary table 2.
[0046]
The front side photographing mechanism 6 includes a CCD camera 61 installed above the rotary table 2 and two illuminations (not shown) installed both above and below the rotary table 2. Note that the height of the CCD camera 61 and the two lights can be adjusted.
[0047]
The back side photographing mechanism 7 includes a CCD camera 71 installed below the rotary table 2 and two lights (not shown) installed both above and below the rotary table 2. The height of the CCD camera 71 and the two lights can be adjusted.
[0048]
7 is a plan view of the non-defective product collecting nozzle 8, FIG. 8 is a view taken along arrow VIII in FIG. 7, and FIG. 9 is a view taken along arrow IX in FIG. The non-defective product collection nozzle 8 includes a main body 81, a nozzle tube 82, and a cover 83. As shown in FIG. 8, the negative pressure generated by flowing air at a high speed in the main body 81 as indicated by an arrow A. Thus, the suction is performed as shown by the arrow B from the suction port 821 of the nozzle tube 82. The cover 83 extends in an arc shape along the periphery of the turntable 2 and is provided over the front and rear of the nozzle tube 82, and exceeds the effective operating range of the non-defective product collection nozzle 8, that is, the dimension in the longitudinal direction of the suction port 821. It has a width W1. The suction port 821 is configured by being surrounded by the skirt portion 822, and is disposed in the vicinity of the surface of the rotary table 2, and includes a front end edge (lower end edge) of the skirt portion 822 and a bottom surface 201 of the groove 20 on the surface of the rotary table 2. A gap is provided between both side surfaces 202. The size of the gap is set to 0.5 mm when the average particle size of the powder 10 is 0.3 mm.
[0049]
The non-defective product collection nozzle 8 can be moved up and down with respect to the rotary table 2 by the moving mechanism 80. As shown in FIG. 9, the moving mechanism 80 is fixedly supported via the arm 804 at the tip of the rod 803 of the pneumatic cylinder 802 and the rod 803 of the pneumatic cylinder 802 fixedly supported below the base 800 via the frame 801. The rod 805 slidably penetrates the base 800 and supports the non-defective product collecting nozzle 8. Reference numeral 806 denotes a sleeve, and reference numeral 807 denotes a shock absorber. The stroke distance of the vertical movement of the non-defective product collection nozzle 8 by the moving mechanism 80 is set so that when the non-defective product collection nozzle 8 is raised, the powder just below the suction port 821 cannot be sucked even if the non-defective product collection nozzle 8 is operating. Is set.
[0050]
The defective product removal nozzle 9 sucks and removes all the powder on the surface of the rotary table 2 after the good product is collected by the good product collection nozzle 8. The configuration is the same as the non-defective product collection nozzle 8. The moving mechanism 80 is not provided.
[0051]
Next, the operation will be described.
The powder taken out from the production line and introduced into the supply device 3 from the input port 34 via the hopper (not shown) is caused by the perforated plate 33 and the trough 32 being vibrated by the electromagnetic coil 31 in the supply device 3. In this situation, it first falls on the perforated plate 33, passes through the holes of the perforated plate 33, falls on the trough 32, and is sent gradually and continuously toward the rotary table 2 on the trough 32. At this time, the powder from the perforated plate 33 is smoothly dropped by the vibration of the electromagnetic coil 31, and the powder on the trough 32 is in a state of spreading uniformly from the tip of the trough 32 to the surface of the rotary table 2. Is supplied into the groove 20. Thus, the powder supplied by the supply device 3 is aligned in the groove 20 as shown in FIG.
[0052]
On the other hand, in the supply device 3, the size of the hole of the porous plate 33 is set so as not to pass a defective product, so that the defective product passes through the porous plate 33. Instead, the top of the porous plate 33 is gradually fed toward the tip, reaches the inclined surface 331, and is discharged to the outside as indicated by the arrow in FIG. Therefore, in the supply device 3, large defective products are reliably removed from the powder supplied to the surface of the turntable 2.
[0053]
The powder in the groove 20 on the surface of the turntable 2 is conveyed by the turntable 2 that rotates in a direction indicated by an arrow Y (FIG. 1) at a predetermined speed.
[0054]
The powder conveyed by the rotary table 2 first passes under the fiber foreign matter removal nozzle 41. At this time, fibrous foreign matters are sucked and removed from the powder. Next, the powder passes under the first electrostatic remover 51, and the static electricity of the powder is removed. Next, the powder passes under the metal removing machine 42, and metal foreign matters such as iron are adsorbed and removed from the powder.
[0055]
Next, the powder passes under the CCD camera 61 of the front side photographing mechanism 6 and is photographed from above. At this time, the powder is photographed while being illuminated by illumination from both the top and bottom of the turntable 2, and a defective product in the powder is detected. Next, the powder passes under the second static eliminator 52 and the static electricity of the powder is removed. Next, the powder passes through the CCD camera 71 of the back side photographing mechanism 7 and is photographed from below. At this time, the powder is photographed while being illuminated by illumination from both the top and bottom of the turntable 2, and a defective product in the powder is detected.
[0056]
By the way, in the groove 20 of the turntable 2, when the angle α (FIG. 2) with respect to the bottom face 201 of the side surface 202 is steep at 45 ° or more, the side surface 202 looks like a mirror surface when viewed from below the turntable 2. Therefore, the powder on the side 202 is not photographed by the CCD camera 71. However, in the present invention, since the angle α is set to be less than 45 °, the degree to which the side surface 202 reflects light like a mirror surface is low, and the powder placed on the side surface 202 is the surface of the rotary table 2. The image is taken sufficiently by the CCD camera 71 from below. Therefore, the powder in the groove 20 is photographed without omission by the CCD camera 71 from under the rotary table 2.
[0057]
Moreover, since the crossing portion X between the side surface 202 and the bottom surface 201 of the groove 20 has an R, no scratches remain on the crossing portion X when the groove 20 is formed. For this reason, the scratch is mistaken for a defective product. There is no detection.
[0058]
Next, the powder is conveyed under the non-defective product collection nozzle 8. In the non-defective product collection nozzle 8, the air flow indicated by the arrow A in FIG. 8 is constantly flowing during the operation of the powder inspection apparatus 1, and the non-defective product collection nozzle 8 is always in the suction operation state. Further, the non-defective product collection nozzle 8 is disposed with the suction port 821 close to the surface of the turntable 2 in a normal state. When it is determined that only the non-defective product has come directly under the suction port 821 of the nozzle tube 82 based on the photographing data of the front and back photographing mechanisms 6 and 7, the non-defective product collecting nozzle 8 operates in the normal state, Thereby, the non-defective product is collected by suction. On the other hand, when it is determined that a defective product has come directly under the suction port 821 of the nozzle tube 82 based on the photographing data of the front side and back side photographing mechanisms 6 and 7, the non-defective product collecting nozzle 8 is activated by the operation of the moving mechanism 80. In other words, the rod 803 and the rod 805 are lifted by the operation of the pneumatic cylinder 802 so that the defective product is raised to a height position where the defective product cannot be sucked. pass. Then, when it is determined that the defective product has passed and only the non-defective product has arrived, the moving mechanism 80 is activated, and the good product collection nozzle 8 returns to the original height position, that is, the position close to the surface of the turntable 2. As described above, when a defective product comes directly under the non-defective product collection nozzle 8, the good product collection nozzle 8 can suck the defective product directly under the suction port 821 by the moving mechanism 80 even if the good product collection nozzle 8 is operating. Since it rises to a position where there is no height, the following effects are obtained. (1) Only the non-defective product is reliably sucked by the non-defective product collecting nozzle 8. (2) Since the suction of the defective product by the good product recovery nozzle 8 is prevented without stopping the operation of the good product recovery nozzle 8, the blow-back that occurs when restarting from the state where the operation of the good product recovery nozzle 8 is stopped is prevented. (3) Even if a large defective product comes, it will not clog in front of the inlet 821.
[0059]
Then, all of the powder that has passed under the non-defective product collection nozzle 8 is sucked and removed from the surface of the rotary table 2 by the defective product removal nozzle 9. As a result, the defective product removal nozzle 9 exhibits a cleaner function for the surface of the rotary table 2.
[0060]
As described above, according to the powder inspection apparatus configured as described above, defective products are automatically inspected for powder, and only good products are reliably recovered by the non-defective product collection nozzle 8.
[0061]
(Embodiment 2)
In the first embodiment, the defective product removal nozzle 9 is disposed in front of the non-defective product collection nozzle 8, the moving mechanism 80 of the non-defective product collection nozzle 8 is eliminated, and the non-defective product collection nozzle 8 is disposed in the vicinity of the surface of the rotary table 2. The non-defective product removal nozzle 9 may be provided with a moving mechanism similar to the moving mechanism 80, and the rest may be the same as in the first embodiment. In this case, the moving mechanism provided in the defective product removal nozzle 9 is as follows. That is, until the defective product comes directly under the nozzle, the defective product removal nozzle 9 is positioned at a height at which the good product directly under the nozzle cannot be sucked even if the defective product removal nozzle 9 is operated. When it comes, the defective product removal nozzle 9 is moved to a position where the defective product directly under the nozzle can be sucked. The defective product removal nozzle 9 is in a suction operation state when lowered.
[0062]
Also with the above configuration, the blowback that occurs when the operation of the defective product removal nozzle 9 is stopped is prevented as in the first embodiment.
[0063]
(Embodiment 3)
FIG. 10 is a plan view of the powder inspection apparatus 100 of the present embodiment. In this powder inspection apparatus 100, the same reference numerals as those of the powder inspection apparatus 1 (FIG. 1) of the first embodiment are the same and exhibit the same operational effects. In this embodiment, the powder rising prevention device 43 is provided, and the front side photographing mechanism 60 and the back side photographing mechanism 70 have special structures.
[0064]
11 is a cross-sectional view taken along the line XI-XI in FIG. The front-side imaging mechanism 60 detects the defective product by imaging the powder on the surface of the rotary table 2 from the front side, and includes three CCD cameras 62, an upper illumination 63, a lower illumination 64, and two Air nozzles 651 and 652 and a support pole 66 are provided.
[0065]
The CCD camera 62 and the upper illumination 63 are located above the rotary table 2. The upper illumination 63 is ring-shaped, and the CCD camera 62 captures the lower part through the internal space of the upper illumination 63. The CCD camera 62 and the upper illumination 63 are enclosed and sealed with a hood 67 above the rotary table 2. The hood 67 includes a hood main body 671 that covers from above, and a lower surface 672 that closes the hood main body 671 from below. The periphery of the lower surface 672 has a drip-proof structure with respect to the hood body 671. The hood main body 671 is made of stainless steel, and the lower surface 672 is a transparent glass plate. Further, the CCD camera 62 and the upper illumination 63 surrounded by the hood 67 are integrally supported by a support pole 66 erected around the turntable 2 via a support arm 664 as shown in FIG. As shown in FIG. 12, which is a view taken in the direction of the arrow XII, the support pole 66 can be turned to a position off the rotary table 2 from the upper side.
[0066]
The lower illumination 64 is located below the turntable 2. The lower illumination 64 has a flat plate shape and is sealed with a storage case 640. The periphery of the storage case 640 has a drip-proof structure with respect to the support arm 665. The upper surface 641 of the storage case 640 is a white plate made of an acrylic resin with an antistatic function. The lower illumination 64 is also cantilevered by a support pole 66 via a support arm 665, and can turn to a position off the lower side of the turntable 2 around the support pole 66 as shown in FIG. Yes. The CCD camera 62 and the upper illumination 63 surrounded by the hood 67 and the lower illumination 64 can be turned to a position where they do not overlap in a plan view as shown in FIG.
[0067]
The turning structure of the support pole 66 is as follows. That is, the second cylindrical column 662 is slidably fitted to the first cylindrical column 661, the third cylindrical column 663 is slidably fitted to the second cylindrical column 662, and the second cylindrical column 662 is slidably fitted. The CCD camera 62 surrounded by the hood 67 and the support arm 664 of the upper illumination 63 are fixed, and the support arm 665 of the lower illumination 64 is fixed to the third cylindrical column 663. The lock lever 666 fixes the second cylindrical column 662 so as not to slide relative to the first cylindrical column 661, and the lock lever 667 fixes the third cylindrical column 663 non-slidable relative to the second cylindrical column 662. It is supposed to be.
[0068]
Two air nozzles 651 and 652 are attached to the support arm 665. The air nozzle 651 blows air obliquely from below to the lower surface 672 of the hood 67, and the air nozzle 652 blows air obliquely from above to the upper surface 641 of the lower illumination 64.
[0069]
13 is a cross-sectional view taken along the line XIII-XIII in FIG. The back side photographing mechanism 70 photographs the powder on the surface of the rotary table 2 from the back side to detect defective products, and includes three CCD cameras 72, an upper illumination 73, a lower illumination 74, and three Air nozzles 751, 752, and 753 and a support pole 76 are provided.
[0070]
The upper illumination 73 is located above the turntable 2. The upper illumination 73 has a flat plate shape and is sealed with a storage case 730. The periphery of the storage case 730 has a drip-proof structure with respect to the support arm 765. The lower surface 731 of the storage case 730 is a white plate made of an acrylic resin with an antistatic function. The upper illumination 73 is cantilevered by the support pole 76 via the support arm 765, and comes off from the upper side of the turntable 2 around the support pole 76 as shown in FIG. It is possible to turn to a different position.
[0071]
The lower illumination 74 and the CCD camera 72 are located below the rotary table 2. A separator 77 is provided between the lower illumination 74 and the CCD camera 72. The lower illumination 74 is sealed with a storage case 740. The periphery of the storage case 740 has a drip-proof structure with respect to the support arm 766. The upper surface 741 of the storage case 740 is a white plate made of an acrylic resin with an antistatic function. The lower illumination 74 is ring-shaped, and a transparent glass plate 771 is provided on a portion of the separator plate 77 facing the internal space of the lower illumination 74. The peripheral edge of the glass plate 771 has a drip-proof structure with respect to the separator plate 77. As a drip-proof structure, for example, there is a structure in which a packing is interposed. The CCD camera 72 captures the upper part through the internal space of the lower illumination 74.
[0072]
The lower illumination 74 is also cantilevered by the support pole 76 via the support arm 766, and can turn to a position off the lower side of the turntable 2 around the support pole 76 as shown in FIG. Yes. The CCD camera 72 is also cantilevered by a support pole 76 via a support arm 767, and can turn to a position off the rotary table 2 around the support pole 76 as shown in FIG. ing. Note that the upper illumination 73, the lower illumination 74, and the CCD camera 72 can be turned to a position that does not overlap in plan view as shown in FIG.
[0073]
The turning structure of the support pole 76 is as follows. That is, the first cylindrical column 762 is slidably fitted to the first detail 7611 of the column 761, and the second cylindrical column 763 is slidably fitted to the second detail 7612. The third cylindrical column 764 is slidably fitted to 7613, the support arm 765 is fixed to the first cylindrical column 762, the support arm 766 is fixed to the second cylindrical column 763, and the support arm 767 is fixed to the third cylindrical column 764. The lock lever 781 non-slidably fixes the first cylindrical column 762 to the first detail 7611, the lock lever 782 non-slidably fixes the second cylindrical column 763 to the second detail 7612, and the lock lever 783 is The third cylindrical column 764 is fixed to the third detail 7613 in a non-slidable manner.
[0074]
Two air nozzles 751 and 752 are attached to the second cylindrical column 763. The air nozzle 751 blows air from the diagonally lower side to the lower surface 731 of the upper illumination 73, and the air nozzle 752 blows air from the upper side to the upper surface 741 of the lower illumination 74. An air nozzle 753 is attached to the back side of the support arm 766. The air nozzle 753 blows air on the transparent glass plate 771 of the separator plate 77 obliquely from above.
[0075]
As shown in FIG. 10, the powder rising prevention device 43 is provided between the supply device 3 and the front side photographing mechanism 60, and here, the first electrostatic removal machine 51 and the metal removal machine 42 are connected to each other. It is provided in between. FIG. 15 is a perspective view of the prevention device 43. The prevention device 43 includes a rectangular flat plate 431 that covers the powder on the surface of the turntable 2 from above and a suction mechanism 432 that sucks a space covered with the flat plate 431. A horizontal shaft 433 is provided on the side of the flat plate 431 that is off the upper side of the rotary table 2. As shown in FIG. 3, the rotary table 2 is turned to a position off the upper side. Further, an extended portion 4311 is formed by bending the side portion downward on one side of the flat plate 431 on the side of the rotary table 2 in the rotation direction (arrow Y direction). The extending part 4311 is located on the groove 20 of the turntable 2.
[0076]
Next, the operation will be described.
As in the case of the powder inspection apparatus 1 of the first embodiment, the powder charged into the supply device 3 from the input port 34 is supplied into the groove 20 on the surface of the turntable 2 from the tip of the trough 32 and into the groove 20. It will be in the state of being aligned and conveyed by the turntable 2 which rotates in the arrow Y direction (FIG. 10). Then, the powder first passes under the fiber foreign matter removing nozzle 41, where the fibrous foreign matter in the powder is sucked and removed, and then passes under the first electrostatic remover 51, where The static electricity of the powder is removed.
[0077]
Then, the powder passes under the powder rise prevention device 43. At this time, since the powder is in a state of being covered by the flat plate 431 from above, the powder is present in a narrow space in the vertical direction, and the rising is suppressed. In addition, since the space covered with the flat plate 431 is sucked by the suction mechanism 432, the powder that has risen is sucked and removed, which also suppresses the rising. Furthermore, since the rotation direction side of the space covered with the flat plate 431 is partitioned by the extending portion 4311, the space to be sucked is determined, and therefore suction is efficiently performed and the effect of suppressing the rise is improved. To do. In this way, by suppressing the rising of the powder, the inspection of the powder is smoothly and accurately performed, and contamination of the surroundings by the powder is prevented.
[0078]
The powder in which the flying up is suppressed passes under the metal remover 42, where the metal foreign matter in the powder is adsorbed and removed.
[0079]
Next, the powder passes under the CCD camera 62 of the front side photographing mechanism 60 and is photographed from above, and here, defective products in the powder are detected. At this time, since the powder is photographed while being illuminated from above and below the rotary table 2 by the upper side illumination 63 and the lower side illumination 64, the powder shadow is prevented from being detected as a defective product. Detection accuracy is improved. Moreover, since the upper surface 641 of the lower illumination 64 is a white plate, the light of the lower illumination 64 is uniformly dispersed, and the powder is uniformly illuminated from the lower side. Therefore, the detection accuracy is also from this point. improves. In addition, since the upper surface 641 has an antistatic function, adhesion of powder to the upper surface 641 is prevented, and thus detection accuracy is improved from this point. Further, since the CCD camera 62 and the upper illumination 63 are enclosed and sealed by the hood 67, the adhesion of powder to the CCD camera 62 and the upper illumination 63 is prevented, and therefore the detection accuracy is also improved from this point. . Further, since air is blown to the lower surface 672 of the hood 67 by the air nozzle 651 and air is blown to the upper surface 641 of the lower illumination 64 by the air nozzle 652, adhesion of powder to the lower surface 672 and the upper surface 641 is prevented. Therefore, the detection accuracy is improved also from this point.
[0080]
Next, the powder passes under the second static eliminator 52 where the static electricity of the powder is removed.
[0081]
Next, the powder passes over the CCD camera 72 of the back side photographing mechanism 70 and is photographed from below, where a defective product in the powder is detected. At this time, since the powder is photographed while being illuminated from above and below the rotary table 2 by the upper side illumination 73 and the lower side illumination 74, it is possible to prevent the shadow of the powder from being detected as a defective product. Detection accuracy is improved. Moreover, since the lower surface 731 of the upper illumination 73 is a white plate, the light of the upper illumination 73 is uniformly dispersed, and the powder is uniformly illuminated from the upper side. Therefore, the detection accuracy is also improved in this respect. In addition, since the lower surface 731 has an antistatic function, adhesion of powder to the lower surface 731 is prevented, and thus detection accuracy is improved from this point. Further, since the upper surface 741 of the lower illumination 74 is a white plate, the light of the lower illumination 74 is uniformly dispersed, and the powder is uniformly illuminated from the lower side. Therefore, the detection accuracy is also from this point. improves. In addition, since the upper surface 741 has an antistatic function, the adhesion of powder to the upper surface 741 is prevented, and therefore the detection accuracy is improved also in this respect. Further, since the peripheral edge of the transparent glass plate 771 has a drip-proof structure with respect to the separator plate 77, it is possible to prevent powder from passing through the separator plate 77 and adhering to the CCD camera 72. The detection accuracy is also improved. Further, air is blown to the lower surface 731 of the upper illumination 73 by the air nozzle 751, air is blown to the upper surface 741 of the lower illumination 74 by the air nozzle 752, and air is blown to the transparent glass plate 771 by the air nozzle 753. Since it is sprayed, the powder is prevented from adhering to the lower surface 731, the upper surface 741, and the transparent glass plate 771, and therefore the detection accuracy is improved also in this respect.
[0082]
Next, as in the case of the powder inspection apparatus 1 of the first embodiment, the powder is carried under the non-defective product collection nozzle 8 where the non-defective product is sucked and collected, and then the defective product is removed. It is carried under the nozzle 9 where all the powder is sucked and removed from the surface of the rotary table 2.
[0083]
In the powder inspection apparatus 100 having the above-described configuration, if the front side photographing mechanism 60 or the back side photographing mechanism 70 confirms a huge foreign object that damages these components during the operation, the operation of the entire apparatus is performed. In this way, the front side photographing mechanism 60 or the back side photographing mechanism 70 is protected. In addition, when there is a defective product that is always detected, it is considered as dirt adhering to the front side photographing mechanism 60 or the back side photographing mechanism 70, and when there is a defective product continuously detected, it is dirt adhering to the rotary table 2. Therefore, in this case as well, control is performed so as to stop the operation of the entire apparatus, thereby improving the yield and stabilizing the inspection.
[0084]
Thus, according to the powder inspection apparatus 100 having the above-described configuration, as in the powder inspection apparatus 1 of the first embodiment, defective products are automatically inspected for powder, and only good products are reliably recovered by the non-defective product recovery nozzle 8. Is done. Moreover, according to the powder inspection apparatus 100 having the above-described configuration, the powder flying is suppressed, thereby facilitating the inspection, improving the accuracy, and preventing contamination of the surrounding environment. And the detection accuracy by the back side imaging mechanism 70 is improved.
[0085]
Furthermore, according to the powder inspection apparatus 100 having the above-described configuration, the front side photographing mechanism 60, the back side photographing mechanism 70, and the rotary table 2 can be easily and reliably maintained. That is, in the front side photographing mechanism 60, the CCD camera 62 and the upper side illumination 63 surrounded by the hood 67, and the lower side illumination 64 can be turned to positions away from the rotary table 2, respectively. Can be maintained without damaging the turntable 2, and each can be turned to a position where it does not overlap in plan view as shown in FIG. And maintenance can be performed. In the back side photographing mechanism 70, the upper side illumination 73, the lower side illumination 74, and the CCD camera 72 can be turned to positions away from the rotary table 2, respectively. Maintenance can be performed without damaging 2 and each can be turned to a position that does not overlap in plan view as shown in FIG. 14, so that maintenance can be performed without damaging each other. be able to.
[0086]
The powder inspection apparatus 100 having the above-described configuration is housed in a sealed case 110 as shown in FIG. This is to prevent foreign matter from entering the powder under inspection from the outside. And the airtight case 110 is comprised by the filter 111 for a one part door to eliminate the atmospheric | air pressure difference inside and outside a case. This prevents the inside of the case from becoming negative pressure due to the operation of the non-defective product collection nozzle 8 or the defective product removal nozzle 9. Accordingly, it is possible to stabilize the suction capability and the removal capability.
[0087]
(Another embodiment)
(1) The third embodiment includes the non-defective product recovery nozzle 8 and the defective product removal nozzle 9 of the first embodiment. Instead, the non-defective product recovery nozzle 8 and the defective product removal nozzle 9 of the second embodiment are provided. Further, in place of the non-defective product collecting nozzle 8 or the defective product removing nozzle 9 of the first and second embodiments, a non-defective product collecting nozzle or a defective product removing nozzle having a conventional general configuration may be provided.
[0088]
(2) The powder inspection apparatus of Embodiments 1 and 2 may be housed in a sealed case 110 provided with a filter 111.
[0089]
(3) In the first to third embodiments, the back side photographing mechanisms 7 and 70 may be omitted. That is, the powder on the surface of the turntable 2 may be photographed only from the front side of the turntable 2. In this case, the turntable 2 may be translucent, for example, milky white, formed of resin or glass.
[0090]
【The invention's effect】
According to the first aspect of the present invention, the non-defective product collecting nozzle is at a height position at which the non-defective product can be sucked until the defective product comes directly under the nozzle. Even if the recovery nozzle is in operation, it is moved to a height position where a defective product directly under the nozzle cannot be sucked, so that the following effects can be obtained.
(1) Only the non-defective product can be reliably sucked by the non-defective product collecting nozzle.
(2) Since it is possible to prevent the defective product from being sucked by the good product collection nozzle without stopping the operation of the good product collection nozzle, it is possible to prevent the blowback that occurs when the operation of the good product collection nozzle is stopped. Therefore, it is possible to prevent the powder on the rotary table from being scattered by blowing back.
(3) Large defective products can be prevented from clogging in front of the suction port of the non-defective product collection nozzle.
(4) Since the defective product removal nozzle continues to suck and remove all of the powder that has passed under the non-defective product collection nozzle, the defective product removal nozzle can perform a cleaner function on the surface of the rotary table. Accordingly, it is possible to prevent the powder from being scattered and the powder from being left unabsorbed in the inspection room.
[0091]
According to the second aspect of the present invention, it is possible to prevent blowback that occurs when the operation of the defective product removal nozzle is stopped, and it is possible to prevent the powder on the rotary table from being scattered by blowback.
[0092]
[0093]
Claim 3 According to the described invention, the claims 1 and The same effect can be exhibited.
[0094]
Claim 4 According to the described invention, the claims 2 and The same effect can be exhibited.
[0095]
Claim 5 According to the described invention, it is possible to prevent the powder from adhering to the camera and the upper side illumination of the front side photographing mechanism, and therefore the detection accuracy can be improved.
[0096]
Claim 6 According to the described invention, it is possible to reliably prevent the powder from adhering to the camera and the upper illumination of the front side photographing mechanism.
[0097]
Claim 7 According to the described invention, maintenance on the hood, camera, upper illumination of the front side photographing mechanism, and the rotary table can be easily and reliably performed without damaging the rotary table.
[0098]
Claim 8 According to the described invention, it is possible to prevent the powder from adhering to the lower illumination of the front-side photographing mechanism, and thus the detection accuracy can be improved.
[0099]
Claim 9 According to the described invention, maintenance of the lower illumination of the front-side photographing mechanism and the rotary table can be easily and reliably performed without damaging the rotary table.
[0100]
Claim 10 According to the described invention, maintenance of the hood, camera, upper side illumination, lower side illumination, and rotary table of the front side photographing mechanism can be easily and reliably performed without damaging each other.
[0101]
Claim 11 According to the described invention, the light of the lower illumination of the front photographing mechanism can be uniformly dispersed so that the powder can be illuminated uniformly from the lower side, and therefore the detection accuracy can be improved.
[0102]
Claim 12 According to the described invention, maintenance of the lower illumination of the back side photographing mechanism and the rotary table can be easily and reliably performed without damaging the rotary table.
[0103]
Claim 13 According to the described invention, it is possible to reliably prevent the powder from adhering to the upper side illumination or the lower side illumination of the back side photographing mechanism, and accordingly, the detection accuracy can be improved.
[0104]
Claim 14 According to the described invention, it is possible to prevent the powder from adhering to the camera. Therefore, the detection accuracy can be improved and the maintenance can be easily performed.
[0105]
Claim 15 According to the described invention, it is possible to reliably prevent the powder from adhering to the camera.
[0106]
Claim 16 According to the described invention, the maintenance of the upper illumination of the back side photographing mechanism and the rotary table can be easily and reliably performed without damaging the rotary table.
[0107]
Claim 17 According to the described invention, the maintenance of the camera and the rotary table of the back side photographing mechanism can be easily and reliably performed without damaging the rotary table.
[0108]
Claim 18 According to the described invention, maintenance of the camera of the back side photographing mechanism, the upper side illumination, the lower side illumination, and the rotary table can be easily and reliably performed without damaging each other.
[0109]
Claim 19 According to the described invention, the light from the upper side illumination of the back side photographing mechanism can be uniformly dispersed so that the powder can be illuminated uniformly from the upper side, and therefore the detection accuracy can be improved.
[0110]
Claim 20 According to the described invention, it is possible to prevent the powder from adhering to at least one of the lower surface of the hood of the front side photographing mechanism and the upper surface of the lower illumination, and therefore, the detection accuracy can be improved and the cleaner effect is exhibited for a long time. Can drive.
[0111]
Claim 21 According to the described invention, it is possible to prevent the powder from adhering to at least one of the lower surface of the upper illumination and the upper surface of the lower illumination of the back side photographing mechanism, so that the detection accuracy can be improved and the cleaner effect can be exerted for a long time. Time operation can be enabled.
[0112]
Claim 22 According to the described invention, it is possible to prevent the powder from adhering to the upper surface of the transparent glass plate of the back side photographing mechanism. Therefore, the detection accuracy can be improved and the cleaner effect can be exhibited to enable a long time operation.
[0113]
Claim 23 According to the described invention, it is possible to suppress the powder from rising between the supply device and the photographing device, and therefore, it is possible to facilitate the inspection, increase the accuracy, and prevent contamination of the surrounding environment.
[0114]
Claim 24 According to the described invention, the suction efficiency by the suction mechanism can be improved, and the effect of suppressing the rising of the powder can be improved.
[0115]
Claim 25 According to the described invention, maintenance for the powder rising prevention device and the rotary table can be easily and reliably performed without damaging the rotary table.
[0116]
Claim 26 According to the described invention, the inspection can be stabilized.
[0117]
Claim 27 According to the described invention, before supplying powder to the surface of the rotary table, large defective products can be surely removed, and as a result, large defective products are clogged in front of the suction port of the non-defective product recovery nozzle and the defective product removal nozzle. Can be prevented.
[0118]
Claim 28 According to the described invention, the following effects can be obtained.
(1) The powder is put into a groove whose width is set to be within the effective working range of the imaging device, non-defective product collection nozzle, and defective product removal nozzle, and the powder in the groove is detected and removed. Therefore, the imaging device, the non-defective product collecting nozzle, and the defective product removing nozzle can be used effectively, and an efficient inspection can be performed.
(2) The turntable is transparent, the groove is composed of a bottom surface and both side surfaces, the bottom surface is a horizontal flat surface, and both side surfaces are inclined so that the groove width decreases from the surface of the turntable toward the bottom surface, and Since each is a flat surface inclined at an angle of less than 45 ° with respect to the bottom surface, when the powder in the groove is illuminated and illuminated from the back side of the rotary table, the side surface of the groove reflects light like a mirror surface. The degree is low, and the powder on the side surface can be sufficiently photographed by the CCD camera from the back side of the rotary table. Therefore, the powder in the groove can be photographed without omission from both the front and back sides of the rotary table, and the reliability of the inspection data can be improved.
(3) Since the intersection between the side surface and the bottom surface of the groove has an R, there is no scratch left on the intersection when the groove is formed. Therefore, it is possible to prevent the mistaken detection of a scratch as a defective product. From this point, the reliability of the inspection data can be improved.
(4) Since the rotary table has a groove into which the powder is fitted, the powder can be prevented from being scattered outside by the centrifugal force of the rotary table.
[0119]
Claim 29 According to the described invention, fibrous foreign matters or metal foreign matters can be removed from the powder on the surface of the rotary table, or static electricity of the powder can be removed, so that the inspection accuracy can be further improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view of a powder inspection apparatus according to a first embodiment.
2 is a cross-sectional view of the rotary table of FIG. 1 taken along the line II-II.
FIG. 3 is a plan view of a supply device.
4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 3;
FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line VV in FIG.
6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI in FIG.
FIG. 7 is a plan view of a non-defective product collection nozzle.
FIG. 8 is a view taken along arrow VIII in FIG.
9 is a view on arrow IX in FIG.
FIG. 10 is a plan view of a powder inspection apparatus according to a third embodiment.
11 is a cross-sectional view taken along line XI-XI in FIG.
12 is a view taken along arrow XII in FIG.
13 is a sectional view taken along line XIII-XIII in FIG.
14 is a view taken along arrow XIV in FIG. 13;
FIG. 15 is a perspective view of the powder rising prevention device.
FIG. 16 is a perspective view of a sealed case containing a powder inspection apparatus.
FIG. 17 is a cross-sectional view showing an inspection state of powder in a conventional powder inspection apparatus.
[Explanation of symbols]
1,100 Powder inspection equipment
110 Sealed case
111 filter
2 Rotary table
20 grooves
201 Bottom
202 Side
3 Supply device
33 perforated plate
43 Powder rise prevention device
431 flat plate
432 Suction mechanism
4311 Extension
6,60 Front-side shooting mechanism
7,70 Back side shooting mechanism
62,72 CCD camera
63,73 Upper illumination
64,74 Lower lighting
651, 652, 751, 752, 753 Air nozzle
66,76 Support pole
67 Hood
672 bottom surface
641,731 white plate
77 separator
771 Transparent glass plate
8 Goods collection nozzle
80 Movement mechanism
9 Defective product removal nozzle

Claims (29)

自動で粉体について少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置において、
表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する透明な又は半透明な回転テーブルの周辺に、
回転テーブル表面に粉体を供給する供給装置と、
回転テーブル表面の粉体を回転テーブルの少なくとも表側から撮影して不良品を検出する撮影装置と、
撮影後の回転テーブル表面の粉体の内、良品を回転テーブル表面から吸引して回収する良品回収ノズルと、
良品が回収された後の回転テーブル表面の粉体を全て吸引して除去する不良品除去ノズルとを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順番で備え、
良品回収ノズルが、不良品がノズル直下に来るまでは、ノズル直下の良品を吸引し得る高さ位置にあり、不良品がノズル直下に来た時には、良品回収ノズルが作動していてもノズル直下の不良品を吸引し得ない高さ位置まで、移動するようになっていることを特徴とする粉体検査装置。In a powder inspection device that automatically performs at least defective product inspection on powder and collects non-defective products,
Around a transparent or translucent rotary table that carries powder by rotating with the powder placed on the surface,
A supply device for supplying powder to the surface of the rotary table;
An imaging device for detecting defective products by imaging the powder on the surface of the rotary table from at least the front side of the rotary table;
A non-defective product collecting nozzle that sucks and collects non-defective products from the surface of the rotating table after shooting,
A defective product removal nozzle that sucks and removes all the powder on the surface of the rotary table after the non-defective product has been collected is provided in this order toward the rotation direction of the rotary table,
Until the defective product comes under the nozzle, the non-defective product collection nozzle is at a height that can suck the good product directly under the nozzle, and when the defective product comes under the nozzle, it is directly under the nozzle even if the good product collection nozzle is operating. The powder inspection apparatus is configured to move to a height position where the defective product cannot be sucked. 自動で粉体について少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置において、
表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する透明な又は半透明な回転テーブルの周辺に、
回転テーブル表面に粉体を供給する供給装置と、
回転テーブル表面の粉体を回転テーブルの少なくとも表側から撮影して不良品を検出する撮影装置と、
撮影後の回転テーブル表面の粉体の内、不良品を回転テーブル表面から吸引して除去する不良品除去ノズルと、
不良品が除去された後の回転テーブル表面の粉体を全て吸引して回収する良品回収ノズルとを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順番で備え、
不良品除去ノズルが、不良品がノズル直下に来るまでは不良品除去ノズルが作動していてもノズル直下の良品を吸引し得ない高さに位置しており、不良品がノズル直下に来た時にノズル直下の不良品を吸引し得る位置まで吸引作動状態で移動するようになっていることを特徴とする粉体検査装置。In a powder inspection device that automatically performs at least defective product inspection on powder and collects non-defective products,
Around a transparent or translucent rotary table that carries powder by rotating with the powder placed on the surface,
A supply device for supplying powder to the surface of the rotary table;
An imaging device for detecting defective products by imaging the powder on the surface of the rotary table from at least the front side of the rotary table;
A defective product removal nozzle that sucks and removes defective products from the surface of the rotary table after shooting,
A non-defective product collection nozzle that sucks and collects all the powder on the surface of the rotary table after the defective product is removed, and is provided in this order toward the rotation direction of the rotary table,
The defective product removal nozzle is located at a height that cannot suck the good product directly under the nozzle, even if the defective product removal nozzle is operating until the defective product is directly under the nozzle. A powder inspection apparatus characterized by being moved in a suction operation state to a position where a defective product directly under the nozzle can be sucked. 自動で粉体について少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置において、
表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する透明な又は半透明な回転テーブルの周辺に、
回転テーブル表面に粉体を供給する供給装置と、
回転テーブル表面の粉体を撮影して不良品を検出する撮影装置と、
回転テーブル表面の粉体を吸引して回収する回収装置とを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順番で備え、
回収装置が、回転テーブル表面の粉体の内、良品を吸引して回収する良品回収ノズルと、不良品を吸引して除去する不良品除去ノズルとを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順で備えており、
撮影装置が、回転テーブル表面の粉体を回転テーブルの表側から撮影する表側撮影機構及び同じく裏側から撮影する裏側撮影機構の内の少なくとも表側撮影機構を備えており、表側撮影機構は、回転テーブルの表側から粉体を撮影するカメラと、表側から照らす上側照明と、裏側から照らす下側照明とを備えており、裏側撮影機構は、回転テーブルの裏側から粉体を撮影するカメラと、表側から照らす上側照明と、裏側から照らす下側照明とを備えており、
良品回収ノズルが、不良品がノズル直下に来るまでは、ノズル直下の良品を吸引し得る高さ位置にあり、不良品がノズル直下に来た時には、良品回収ノズルが作動していてもノズル直下の不良品を吸引し得ない高さ位置まで、移動するようになっており、
不良品除去ノズルが、良品が回収された後の回転テーブル表面の粉体を全て吸引して除去するようになっていることを特徴とする粉体検査装置。In a powder inspection device that automatically performs at least defective product inspection on powder and collects non-defective products,
Around a transparent or translucent rotary table that carries powder by rotating with the powder placed on the surface,
A supply device for supplying powder to the surface of the rotary table;
An imaging device for detecting defective products by imaging the powder on the surface of the rotary table;
A collection device that sucks and collects powder on the surface of the rotary table, and in this order toward the rotation direction of the rotary table,
The recovery device draws the non-defective product recovery nozzle that sucks and recovers the non-defective product from the powder on the surface of the rotary table, and the defective product removal nozzle that sucks and removes the defective product in this order toward the rotation direction of the rotary table. With
The photographing apparatus includes at least a front side photographing mechanism of a front side photographing mechanism that photographs the powder on the surface of the rotating table from the front side of the rotating table and a back side photographing mechanism that similarly photographs from the back side. It is equipped with a camera that shoots powder from the front side, an upper illumination that illuminates from the front side, and a lower illumination that illuminates from the back side, and the back side photographing mechanism illuminates from the front side and a camera that photographs powder from the back side of the rotary table It has upper lighting and lower lighting that illuminates from the back side,
Until the defective product comes under the nozzle, the non-defective product collection nozzle is at a height that can suck the good product directly under the nozzle, and when the defective product comes under the nozzle, it is directly under the nozzle even if the good product collection nozzle is operating. It is designed to move to a height where it cannot suck the defective product.
A powder inspection apparatus, wherein the defective product removal nozzle sucks and removes all powder on the surface of the rotary table after the non-defective product is collected. 自動で粉体について少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置において、
表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する透明な又は半透明な回転テーブルの周辺に、
回転テーブル表面に粉体を供給する供給装置と、
回転テーブル表面の粉体を撮影して不良品を検出する撮影装置と、
回転テーブル表面の粉体を吸引して回収する回収装置とを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順番で備え、
回収装置が、回転テーブル表面の粉体の内、良品を吸引して回収する良品回収ノズルと、不良品を吸引して除去する不良品除去ノズルとを、回転テーブルの回転方向に向かってこの逆の順で備えており、
撮影装置が、回転テーブル表面の粉体を回転テーブルの表側から撮影する表側撮影機構及び同じく裏側から撮影する裏側撮影機構の内の少なくとも表側撮影機構を備えており、表側撮影機構は、回転テーブルの表側から粉体を撮影するカメラと、表側から照らす上側照明と、裏側から照らす下側照明とを備えており、裏側撮影機構は、回転テーブルの裏側から粉体を撮影するカメラと、表側から照らす上側照明と、裏側から照らす下側照明とを備えており、
不良品除去ノズルが、不良品がノズル直下に来るまでは不良品除去ノズルが作動していてもノズル直下の良品を吸引し得ない高さに位置しており、不良品がノズル直下に来た時にノズル直下の不良品を吸引し得る位置まで吸引作動状態で移動するようになっており、
良品回収ノズルが、不良品が除去された後の回転テーブル表面の粉体を全て吸引して回収するようになっていることを特徴とする粉体検査装置。In a powder inspection device that automatically performs at least defective product inspection on powder and collects non-defective products,
Around a transparent or translucent rotary table that carries powder by rotating with the powder placed on the surface,
A supply device for supplying powder to the surface of the rotary table;
An imaging device for detecting defective products by imaging the powder on the surface of the rotary table;
A collection device that sucks and collects powder on the surface of the rotary table, and in this order toward the rotation direction of the rotary table,
The collection device reverses the non-defective nozzle for sucking and collecting non-defective products out of the powder on the surface of the rotary table and the non-defective product removing nozzle for sucking and removing defective products in the reverse direction of the rotary table. In the order of
The photographing apparatus includes at least a front side photographing mechanism of a front side photographing mechanism that photographs the powder on the surface of the rotating table from the front side of the rotating table and a back side photographing mechanism that similarly photographs from the back side. It is equipped with a camera that shoots powder from the front side, an upper illumination that illuminates from the front side, and a lower illumination that illuminates from the back side, and the back side photographing mechanism illuminates from the front side and a camera that photographs powder from the back side of the rotary table It has upper lighting and lower lighting that illuminates from the back side,
The defective product removal nozzle is located at a height that cannot suck the good product directly under the nozzle, even if the defective product removal nozzle is operating until the defective product is directly under the nozzle, and the defective product has come directly under the nozzle. Sometimes it moves in the suction operation state to the position where the defective product directly under the nozzle can be sucked,
A powder inspection apparatus, wherein the non-defective product collecting nozzle sucks and collects all the powder on the surface of the rotary table after the defective product is removed. 表側撮影機構の、カメラ及び上側照明が、フードで囲まれて密閉されている請求項３又は４に記載の粉体検査装置。The powder inspection apparatus according to claim 3 or 4 , wherein the camera and the upper illumination of the front side photographing mechanism are enclosed and sealed with a hood. フードが、フード本体とそれを下から塞ぐ下面とからなっており、下面の周縁がフード本体に対して防滴構造となっている請求項５記載の粉体検査装置。The powder inspection apparatus according to claim 5 , wherein the hood includes a hood main body and a lower surface that closes the hood from below, and a periphery of the lower surface has a drip-proof structure with respect to the hood main body. 表側撮影機構のフードで囲まれたカメラ及び上側照明の全体が、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの上方から外れた位置まで旋回可能となっている請求項５又は６に記載の粉体検査装置。Entire camera and upper illumination surrounded by the hood of the front imaging mechanism, cantilevered by the support poles, pivotable to a position deviated from above the rotary table around the support poles and going on claim 5 or 6. The powder inspection apparatus according to 6 . 表側撮影機構の下側照明が収納ケースに密閉されており、収納ケースが防滴構造を有している請求項３ないし７のいずれかに記載の粉体検査装置。The powder inspection apparatus according to any one of claims 3 to 7 , wherein a lower illumination of the front side photographing mechanism is sealed in a storage case, and the storage case has a drip-proof structure. 表側撮影機構の下側照明が、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの下方から外れた位置まで旋回可能となっている請求項３ないし８のいずれかに記載の粉体検査装置。The powder according to any one of claims 3 to 8 , wherein the lower illumination of the front-side photographing mechanism is cantilevered by a support pole and can be swung from the lower side of the rotary table around the support pole. Physical examination device. 表側撮影機構のフードで囲まれたカメラ及び上側照明の全体と、下側照明とが、それぞれ、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの上方から外れた位置まで旋回可能となっており、しかも、それぞれが、平面視で重ならない位置まで旋回可能となっている請求項５ないし９のいずれかに記載の粉体検査装置。The camera surrounded by the hood of the front side shooting mechanism and the upper side illumination, and the lower side illumination are each cantilevered by a support pole, and can be swung to the position off the top of the rotary table around the support pole. Furthermore, the powder inspection apparatus according to any one of claims 5 to 9 , wherein each can be turned to a position where they do not overlap in plan view. 表側撮影機構の下側照明の上面に、粉体と同色の板又は白色板又は乳白色板が設けられている請求項３ないし１０のいずれかに記載の粉体検査装置。The powder inspection apparatus according to any one of claims 3 to 10 , wherein a plate of the same color as the powder, a white plate, or a milky white plate is provided on the upper surface of the lower illumination of the front side photographing mechanism. 撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、下側照明が、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの下方から外れた位置まで旋回可能となっている請求項３ないし１１のいずれかに記載の粉体検査装置。The photographing apparatus also includes a back side photographing mechanism, and in the back side photographing mechanism, the lower illumination is cantilevered by a support pole and can be swung to a position off the lower side of the rotary table around the support pole. powder testing apparatus according to any one of claims 3 to 11. 撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明及び下側照明の少なくとも一方が収納ケースに密閉されており、収納ケースが防滴構造を有している請求項３ないし１２のいずれかに記載の粉体検査装置。Imaging device comprises also back shooting mechanism, the back side imaging mechanism, at least one of the upper illumination and lower illumination is sealed in the housing case, to a plastic case claims 3 has a drip-proof structure 12 The powder inspection apparatus in any one of. 撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、下側照明とカメラとの間に隔離板が設けられており、隔離板のカメラに対向した部分が透明板となっている請求項３ないし１３のいずれかに記載の粉体検査装置。The photographing apparatus also includes a back side photographing mechanism, and in the back side photographing mechanism, a separator is provided between the lower illumination and the camera, and a portion of the separator facing the camera is a transparent plate. The powder inspection apparatus according to any one of 3 to 13 . 透明板の周縁が隔離板に対して防滴構造となっている請求項１４記載の粉体検査装置。The powder inspection apparatus according to claim 14, wherein a peripheral edge of the transparent plate has a drip-proof structure with respect to the separator. 撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明が、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの上方から外れた位置まで旋回可能となっている請求項３ないし１５のいずれかに記載の粉体検査装置。The photographing apparatus also includes a back side photographing mechanism, and in the back side photographing mechanism, the upper side illumination is cantilevered by a support pole, and can be turned to a position off the upper side of the rotary table around the support pole. Item 16. The powder inspection apparatus according to any one of Items 3 to 15 . 撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、カメラが、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの下方から外れた位置まで旋回可能となっている請求項３ないし１６のいずれかに記載の粉体検査装置。The photographing apparatus also includes a back side photographing mechanism, wherein the camera is cantilevered by a support pole and is rotatable about a support pole to a position off the rotary table. The powder inspection apparatus according to any one of 3 to 16 . 撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明と、下側照明と、カメラとが、それぞれ、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの上方から外れた位置まで旋回可能となっており、しかも、それぞれが、平面視で重ならない位置まで旋回可能となっている請求項３ないし１７のいずれかに記載の粉体検査装置。The photographing apparatus also includes a back side photographing mechanism. In the back side photographing mechanism, the upper side illumination, the lower side illumination, and the camera are each cantilevered by a support pole, and from above the rotary table around the support pole. The powder inspection apparatus according to any one of claims 3 to 17 , wherein the powder inspection apparatus can be swung to a position where it has come off and can be swung to a position that does not overlap in plan view. 撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明の下面に、粉体と同色の板又は白色板又は乳白色板が設けられている請求項３ないし１８のいずれかに記載の粉体検査装置。Imaging device are also provided with back shooting mechanism, the back side imaging mechanism, the lower surface of the upper lighting the preceding claims 3 powder and the same color of the plate or the white board or milky plate is provided 18 as claimed in any one Powder inspection device. 表側撮影機構において、カメラ及び上側照明を密閉して囲むよう設けられたフードの下面に対して斜め下方からエアーを吹き付けるエアーノズル及び下側照明の上面に対して斜め上方からエアーを吹き付けるエアーノズルの少なくとも一方が設けられている請求項３ないし１９のいずれかに記載の粉体検査装置。In the front-side shooting mechanism, an air nozzle that blows air from obliquely below to the lower surface of the hood provided so as to enclose and surround the camera and upper illumination and an air nozzle that blows air from obliquely above to the upper surface of the lower illumination powder testing apparatus according to any one of claims 3 to 19, at least one is provided. 撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明の下面に対して斜め下方からエアーを吹き付けるエアーノズル及び下側照明の上面に対して斜め上方からエアーを吹き付けるエアーノズルの少なくとも一方が設けられている請求項３ないし２０のいずれかに記載の粉体検査装置。The photographing apparatus also includes a back side photographing mechanism, and in the back side photographing mechanism, at least an air nozzle that blows air obliquely from below to the lower surface of the upper illumination and an air nozzle that blows air obliquely from above to the upper surface of the lower illumination The powder inspection apparatus according to any one of claims 3 to 20 , wherein one is provided. 透明板の上面に対して斜め上方からエアーを吹き付けるエアーノズルが設けられている請求項１４又は１５に記載の粉体検査装置。The powder inspection apparatus according to claim 14 or 15 , further comprising an air nozzle that blows air obliquely from above on the upper surface of the transparent plate. 回転テーブル表面の粉体を上方から近接して覆う平板と、平板で覆われた空間に舞上った粉体を吸引する吸引機構と、を備えた粉体舞上り防止装置が、供給装置と撮影装置との間に設けられている請求項３ないし２２のいずれかに記載の粉体検査装置。A powder rising prevention device comprising a flat plate that covers the powder on the surface of the rotary table close from above, and a suction mechanism that sucks the powder that has flown into the space covered by the flat plate, The powder inspection apparatus according to any one of claims 3 to 22 , which is provided between the photographing apparatus. 平板の、回転テーブルの回転方向側の一辺に、下方に延びた延在部が設けられており、延在部によって、平板で覆われた空間が仕切られている請求項２３記載の粉体検査装置。24. The powder inspection according to claim 23, wherein an extension portion extending downward is provided on one side of the flat plate in the rotational direction of the rotary table, and the space covered with the flat plate is partitioned by the extension portion. apparatus. 平板が回転テーブルの上方から外れた位置まで移動可能となっている請求項２３又は２４に記載の粉体検査装置。The powder inspection apparatus according to claim 23 or 24 , wherein the flat plate is movable to a position off the upper side of the rotary table. 粉体検査装置は密閉ケースに収納されており、該密閉ケースの一部には、内外の気圧差を解消するためのフィルターが設けられている請求項１ないし２５のいずれかに記載の粉体検査装置。The powder inspection apparatus according to any one of claims 1 to 25 , wherein the powder inspection apparatus is accommodated in a sealed case, and a filter for eliminating a pressure difference between the inside and the outside is provided in a part of the sealed case. Inspection device. 供給装置が、粉体を、多孔板を通過させた後に回転テーブル表面に供給するようになっており、多孔板の孔の大きさは、大きな不良品を通過させない大きさに設定されている請求項１ないし２６のいずれかに記載の粉体検査装置。The supply device is configured to supply the powder to the surface of the rotary table after passing through the perforated plate, and the size of the hole of the perforated plate is set to a size that does not allow a large defective product to pass through. Item 27. The powder inspection apparatus according to any one of Items 1 to 26 . 回転テーブルが、その表面に、供給装置により供給されてきた粉体が嵌り込む環状の溝を有しており、該溝の幅は、撮影装置、良品回収ノズル、及び不良品除去ノズルの全ての作動有効範囲内となるよう設定されており、該溝は底面と両側面とで構成されており、底面は水平な平坦面であり、両側面は、回転テーブル表面から底面に向けて溝幅が狭くなるよう傾斜し且つそれぞれ底面に対して４５°未満の角度で傾斜した平面であり、両側面と底面との交差部はＲを有している請求項１ないし２７のいずれかに記載の粉体検査装置。The rotary table has an annular groove on the surface into which the powder supplied from the supply device is fitted, and the width of the groove is the same as that of the imaging device, the non-defective product collecting nozzle, and the defective product removing nozzle. It is set to be within the effective operating range, and the groove is composed of a bottom surface and both side surfaces, the bottom surface is a horizontal flat surface, and both side surfaces have a groove width from the surface of the rotary table toward the bottom surface. 28. The powder according to any one of claims 1 to 27 , wherein the powder is a flat surface inclined so as to be narrow and inclined at an angle of less than 45 ° with respect to the bottom surface, and the intersection of both side surfaces and the bottom surface has R. Physical examination device. 回転テーブルの周辺に、少なくとも、回転テーブル表面の粉体中から繊維状の異物を吸引除去する繊維異物除去ノズル、回転テーブル表面の粉体の静電気を除去する静電除去機、及び回転テーブル表面の粉体中から金属異物を除去する金属除去機の内のいずれかを備えている請求項１ないし２８のいずれかに記載の粉体検査装置。Around the rotary table, at least a fiber foreign matter removal nozzle that sucks and removes fibrous foreign matter from the powder on the surface of the rotary table, an electrostatic remover that removes static electricity from the powder on the surface of the rotary table, and a surface of the rotary table 29. The powder inspection apparatus according to any one of claims 1 to 28 , wherein the powder inspection apparatus includes any one of metal removing machines that remove metal foreign matter from the powder.
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