JP4640412B2 - Elastic wave filter - Google Patents

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JP4640412B2 JP2007532038A JP2007532038A JP4640412B2 JP 4640412 B2 JP4640412 B2 JP 4640412B2 JP 2007532038 A JP2007532038 A JP 2007532038A JP 2007532038 A JP2007532038 A JP 2007532038A JP 4640412 B2 JP4640412 B2 JP 4640412B2
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Description

本発明は、弾性表面波フィルタ装置や弾性境界波フィルタ装置などの弾性波フィルタに関し、より詳細には、入力端と出力端との間を結ぶ直列腕に少なくとも1つのインダクタが配置されており、直列腕とグラウンド電位との間に並列腕共振子が接続されている、弾性波フィルタに関する。   The present invention relates to an acoustic wave filter such as a surface acoustic wave filter device or a boundary acoustic wave filter device, and more specifically, at least one inductor is disposed on a series arm connecting an input end and an output end, The present invention relates to an acoustic wave filter in which a parallel arm resonator is connected between a series arm and a ground potential.

従来、携帯電話機などの通信機器のRF段の帯域フィルタとして弾性表面波フィルタが用いられている。例えば、下記の特許文献1には、入出力端の間にインダクタンスが接続されており、インダクタンスの一端とグラウンド電位との間及びインダクタンスの他端とグラウンド電位との間にそれぞれ並列腕共振子が接続されている帯域阻止型フィルタが開示されている。   Conventionally, a surface acoustic wave filter has been used as an RF stage bandpass filter for communication devices such as mobile phones. For example, in Patent Document 1 below, an inductance is connected between the input and output terminals, and parallel arm resonators are provided between one end of the inductance and the ground potential and between the other end of the inductance and the ground potential, respectively. A connected bandstop filter is disclosed.

図15(a)は、この帯域阻止型フィルタ100の回路構成を示す回路図である。入力端子INと出力端子OUTとの間にインダクタ101が接続されている。また、入力端子INとグラウンド電位との間に並列腕共振子P1が接続されている。また、出力端子OUTとグラウンド電位との間に並列腕共振子P2が接続されている。   FIG. 15A is a circuit diagram showing a circuit configuration of the band rejection filter 100. An inductor 101 is connected between the input terminal IN and the output terminal OUT. A parallel arm resonator P1 is connected between the input terminal IN and the ground potential. A parallel arm resonator P2 is connected between the output terminal OUT and the ground potential.

並列腕共振子P1,P2は、それぞれ、圧電基板上にIDT電極を形成してなる弾性表面波共振子により構成されている。また、並列腕共振子P1,P2の共振周波数F1,F2が略等しくされており、阻止域に位置されている。図15(b)は、上記帯域阻止型フィルタ100の周波数特性を示す図である。
特開2004−129238号公報
The parallel arm resonators P1 and P2 are each composed of a surface acoustic wave resonator formed by forming an IDT electrode on a piezoelectric substrate. Further, the resonance frequencies F1 and F2 of the parallel arm resonators P1 and P2 are substantially equal, and are located in the inhibition region. FIG. 15B is a diagram showing the frequency characteristics of the band rejection filter 100.
JP 2004-129238 A

図15(b)に示すように、上記帯域阻止型フィルタ100では、トラップが880MHz付近に設けられている。このトラップは、通過帯域の高域側に配置されている。すなわち、帯域阻止型フィルタ100は、通過帯域の高域側にトラップを設けるために用いられている。   As shown in FIG. 15B, in the band rejection filter 100, the trap is provided in the vicinity of 880 MHz. This trap is arranged on the high band side of the pass band. That is, the band rejection filter 100 is used to provide a trap on the high band side of the pass band.

しかしながら、特許文献1に記載の帯域阻止型フィルタ100では、矢印Xで示すように、トラップ帯域内の低域側の周波数域におけるフィルタ特性の急峻性が充分でなかった。そのため、通過帯域内の通過帯域高域側端部近傍における挿入損失が大きくなりがちであるという問題があった。   However, in the band rejection filter 100 described in Patent Document 1, as indicated by the arrow X, the steepness of the filter characteristics in the low frequency region within the trap band is not sufficient. For this reason, there has been a problem that the insertion loss tends to increase in the vicinity of the end portion on the high band side in the pass band.

本発明の目的は上述した従来技術の欠点を解消し、トラップ帯域とトラップ帯域の低域側に隣接して設けられた通過帯域とを有する弾性波フィルタであって、トラップ帯域内の低域側周波数域側におけるフィルタ特性の急峻性が高められており、それによって通過帯域内の高域側端部近傍における挿入損失を小さくすることが可能とされている、弾性波フィルタを提供することにある。 Object of the present invention to solve the problems described above, an elastic wave filter having a pass band which is provided adjacent to the low-frequency side of the trap band and the trap band, low-frequency side of the trap band To provide an acoustic wave filter in which the steepness of the filter characteristics on the frequency band side is enhanced, thereby making it possible to reduce the insertion loss in the vicinity of the high band side end in the pass band. .

本発明によれば、トラップ帯域と、該トラップ帯域の低域外側に隣接して設けられた通過帯域とを有する弾性波フィルタであって、入力端子と出力端子とを結ぶ直列腕に配置された少なくとも1個の第1のインダクタと、少なくとも1個の前記第1のインダクタが設けられている部分の一端とグラウンド電位との間に設けられた第1の並列腕共振子と、少なくとも1個の前記第1のインダクタが設けられている部分の他端とグラウンド電位との間に設けられた第2の並列腕共振子と、前記第1のインダクタが複数の場合に、隣り合う第1のインダクタ間とグラウンド電位との間に接続された第3の並列腕共振子とを有するトラップ回路部分と、前記入力端子と前記トラップ回路部分との間及び前記出力端子と前記トラップ回路部分との間の少なくとも一方に設けられたフィルタ回路部分を備え、該フィルタ回路部分が、前記直列腕において、前記入力端子または前記出力端子と前記トラップ回路部分との間に配置された直列腕共振子と、前記直列腕共振子の一端または他端とグラウンド電位との間に接続された第2のインダクタとを有し、前記直列腕共振子の共振周波数が前記弾性波フィルタの通過帯域の高域側端部と略一致されていることを特徴とする、弾性波フィルタが提供される。 According to the present invention, an elastic wave filter having a trap band and a pass band provided adjacent to the outside of the low band of the trap band, and disposed in a series arm connecting an input terminal and an output terminal At least one first inductor, at least one first parallel arm resonator provided between one end of the portion where the first inductor is provided and the ground potential, and at least one A second parallel arm resonator provided between the other end of the portion where the first inductor is provided and a ground potential, and a first inductor adjacent to the second parallel arm resonator when there are a plurality of the first inductors Between the input terminal and the trap circuit part and between the output terminal and the trap circuit part. Small A filter circuit portion provided on at least one of the series arm, and the filter circuit portion is disposed between the input terminal or the output terminal and the trap circuit portion in the series arm; and A second inductor connected between one end or the other end of the series arm resonator and a ground potential, and the resonance frequency of the series arm resonator is a high-frequency side end of the passband of the acoustic wave filter An elastic wave filter is provided, characterized in that it is substantially matched with

本発明に係る弾性波フィルタのある特定の局面では、前記入力端子と前記トラップ回路部分との間及び前記出力端子と前記トラップ回路部分との間の双方に前記フィルタ回路部分が設けられている。   In a specific aspect of the acoustic wave filter according to the present invention, the filter circuit portion is provided both between the input terminal and the trap circuit portion and between the output terminal and the trap circuit portion.

本発明の他の特定の局面では、前記直列腕共振子の容量と、前記第2のインダクタとで構成される共振回路の共振周波数が、前記通過帯域の低域側端部よりも低い周波数とされている。   In another specific aspect of the present invention, a resonance frequency of a resonance circuit including the capacitance of the series arm resonator and the second inductor is lower than a lower end of the pass band. Has been.

本発明に係る弾性波フィルタのさらに別の特定の局面によれば、前記並列腕共振子及び前記直列腕共振子が形成されている圧電基板をさらに備え、圧電基板上または圧電基板内に、前記第1,第2のインダクタが形成されている。   According to still another specific aspect of the acoustic wave filter according to the present invention, the acoustic wave filter further includes a piezoelectric substrate on which the parallel arm resonator and the series arm resonator are formed, and the piezoelectric substrate is provided on or in the piezoelectric substrate. First and second inductors are formed.

本発明に係る弾性波フィルタのさらに別の特定の局面では、前記直列腕共振子の容量をCs、前記第1のインダクタのインダクタンス値をLs、並列腕共振子の容量をCp、第2のインダクタのインダクタンス値をLpとしたときに、Cs/Cp>1かつLp/Ls>1とされている。
(発明の効果)
In still another specific aspect of the acoustic wave filter according to the present invention, the capacitance of the series arm resonator is Cs, the inductance value of the first inductor is Ls, the capacitance of the parallel arm resonator is Cp, and the second inductor Cs / Cp> 1 and Lp / Ls> 1 where Lp is the inductance value.
(The invention's effect)

本発明に係る弾性波フィルタでは、トラップ回路部分が、上記少なくとも1個のインダクタと、第1の並列腕共振子と、第2の並列腕共振子と、インダクタが複数の場合に設けられる第3の並列腕共振子とを有し、第1,第2の並列腕共振子あるいは第1〜第3の並列腕共振子の共振周波数において、減衰量が大きくなり、トラップが形成されている。   In the elastic wave filter according to the present invention, the trap circuit portion is provided in the case where there are a plurality of the at least one inductor, the first parallel arm resonator, the second parallel arm resonator, and the inductor. The parallel arm resonators of the first and second parallel arm resonators or the first to third parallel arm resonators have a large attenuation and form traps.

もっとも、このようにして形成されるトラップ内の低域側の周波数領域においては、急峻性が充分でない。そこで、本発明では、上記第2のインダクタンスと、直列腕共振子とを有するフィルタ回路部分が、入力端子とトラップ回路部分との間及び出力端子とトラップ回路部分との間の少なくとも一方に設けられており、直列腕共振子の共振周波数が弾性波フィルタの通過帯域の高域側端部と略一致されている。従って、トラップ帯域内の低域側の周波数域におけるフィルタ特性の急峻性が高められ、弾性波フィルタの通過帯域内の通過帯域高域側端部近傍の挿入損失が小さくされ得る。   However, steepness is not sufficient in the frequency region on the low frequency side in the trap formed in this way. Therefore, in the present invention, the filter circuit portion having the second inductance and the series arm resonator is provided between at least one of the input terminal and the trap circuit portion and between the output terminal and the trap circuit portion. The resonance frequency of the series arm resonator is substantially coincident with the high band side end of the passband of the acoustic wave filter. Therefore, the steepness of the filter characteristics in the low frequency range within the trap band can be enhanced, and the insertion loss near the high band side end in the pass band of the acoustic wave filter can be reduced.

すなわち、上記直列腕共振子のインピーダンスは、トラップ帯域内の低域側の周波数域においては共振周波数と反共振周波数との間の誘導性インピーダンスである。誘導性インピーダンスは、その値が周波数により大きく変化する。従って、直列腕共振子の共振周波数を、通過帯域高域側端部に略一致させることにより、トラップ帯域内の低域側におけるフィルタ特性の急峻性が効果的に高められると共に、通過帯域内の通過帯域高域側端部近傍における挿入損失を小さくすることが可能となる。   That is, the impedance of the series arm resonator is an inductive impedance between the resonance frequency and the anti-resonance frequency in the lower frequency range within the trap band. The value of the inductive impedance varies greatly depending on the frequency. Therefore, by making the resonance frequency of the series arm resonator substantially coincide with the end of the pass band on the high band side, the steepness of the filter characteristics on the low band side in the trap band can be effectively enhanced, and It is possible to reduce the insertion loss in the vicinity of the end portion on the high side of the passband.

従って、本発明によれば、トラップ帯域の低域外側に隣接して通過帯域が設けられている弾性波フィルタにおいて、トラップ帯域内の低周波数域の急峻性を高め、通過帯域内の高域側端部近傍における挿入損失を効果的に小さくすることができ、良好なフィルタ特性を有する弾性波フィルタを提供することが可能となる。 Therefore, according to the present invention, in the acoustic wave filter in which the pass band is provided adjacent to the low band outside of the trap band, the steepness of the low frequency band in the trap band is increased, and the high band side in the pass band is increased. The insertion loss in the vicinity of the end can be effectively reduced, and an elastic wave filter having good filter characteristics can be provided.

本発明において、上記入力端子と上記トラップ回路部分との間及び上記出力端子と上記トラップ回路部分との間の双方に上記フィルタ回路部分が設けられている場合には、通過帯域内の高域側端部近傍における挿入損失をより一層効果的に小さくすることが可能となる。   In the present invention, when the filter circuit part is provided both between the input terminal and the trap circuit part and between the output terminal and the trap circuit part, the high frequency side in the pass band It becomes possible to further effectively reduce the insertion loss in the vicinity of the end.

本発明において、直列腕共振子の容量と、第2のインダクタとで構成される共振回路の共振周波数が、通過帯域の低域側端部よりも低い周波数とされている場合には、通過帯域よりも低い周波数域における減衰量を充分な大きさとすることが可能となる。   In the present invention, when the resonance frequency of the resonance circuit composed of the capacitance of the series arm resonator and the second inductor is lower than the lower end of the pass band, the pass band It is possible to make the attenuation amount in a lower frequency range sufficiently large.

並列腕共振子及び直列腕共振子が形成されている圧電基板をさらに備え、圧電基板上または圧電基板内に上記第1,第2のインダクタが形成されている場合には、第1,第2のインダクタが圧電基板上または圧電基板内に形成されているため、弾性波フィルタの小型化を図ることができる。   In the case where a piezoelectric substrate on which a parallel arm resonator and a series arm resonator are formed is further provided and the first and second inductors are formed on or in the piezoelectric substrate, the first and second Since the inductor is formed on or in the piezoelectric substrate, the acoustic wave filter can be reduced in size.

直列腕共振子の容量をCs、第1のインダクタンスをLs、並列腕共振子の容量をCp、第2のインダクタのインダクタンスをLpとしたときに、Cs/Cp>1かつLp/Ls>1とされている場合には、挿入損失の小さい弾性波フィルタを提供することが可能となる。   When the capacitance of the series arm resonator is Cs, the first inductance is Ls, the capacitance of the parallel arm resonator is Cp, and the inductance of the second inductor is Lp, Cs / Cp> 1 and Lp / Ls> 1. In this case, it is possible to provide an acoustic wave filter with a small insertion loss.

図1は、本発明の第1の実施形態に係る弾性表面波フィルタの回路図である。FIG. 1 is a circuit diagram of a surface acoustic wave filter according to a first embodiment of the present invention. 図2(a)は、直列インダクタと並列容量とからなる低域通過型LCフィルタの回路構成を示す図であり、(b)はその周波数特性を模式的に示す図である。FIG. 2A is a diagram illustrating a circuit configuration of a low-pass LC filter including a series inductor and a parallel capacitor, and FIG. 2B is a diagram schematically illustrating the frequency characteristics thereof. 図3(a)は、直列容量と並列インダクタンスとからなるLCフィルタの回路構成を示す図であり、(b)はその周波数特性を模式的に示す図である。FIG. 3A is a diagram illustrating a circuit configuration of an LC filter including a series capacitor and a parallel inductance, and FIG. 3B is a diagram schematically illustrating the frequency characteristics thereof. 図4は、第1の実施形態で用いられている直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1,P2のインピーダンス特性を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating impedance characteristics of the series arm resonators S1 and S2 and the parallel arm resonators P1 and P2 used in the first embodiment. 図5は、第1の実施形態で用いられているトラップ回路部分の周波数特性と、直列腕共振子と第2のインダクタンスで構成されるフィルタ回路部分の周波数特性をそれぞれ実線あるいは破線で示す図である。FIG. 5 is a diagram showing the frequency characteristics of the trap circuit portion used in the first embodiment and the frequency characteristics of the filter circuit portion composed of the series arm resonator and the second inductance, as solid lines or broken lines, respectively. is there. 図6は、第1の実施形態の弾性表面波フィルタの周波数特性を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating frequency characteristics of the surface acoustic wave filter according to the first embodiment. 図7は、第1の実施形態の弾性表面波フィルタにおいて、直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1,P2が圧電基板の下面に構成されている構造を圧電基板を透かして示す模式的平面図である。FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a structure in which the series arm resonators S1 and S2 and the parallel arm resonators P1 and P2 are formed on the lower surface of the piezoelectric substrate in the surface acoustic wave filter according to the first embodiment, with the piezoelectric substrate being seen through. FIG. 図8は、表面波共振子の電極構造を模式的に示す平面図である。FIG. 8 is a plan view schematically showing the electrode structure of the surface wave resonator. 図9は、図7に示した圧電基板が搭載されるパッケージ基板の平面図である。FIG. 9 is a plan view of a package substrate on which the piezoelectric substrate shown in FIG. 7 is mounted. 図10(a)は、圧電基板に外付けされたインダクタを説明するための模式的平面図であり、(b)は、パッケージ基板上に弾性表面波チップが搭載されている構造を略図的に示す模式的正面断面図である。FIG. 10A is a schematic plan view for explaining an inductor externally attached to a piezoelectric substrate, and FIG. 10B schematically shows a structure in which a surface acoustic wave chip is mounted on a package substrate. It is a typical front sectional view shown. 図11は、第1の実施形態で第1,第2のインダクタンスが圧電基板上に電極として形成されている構造を模式的に示す平面図であり、圧電基板の下面の電極構造を模式的に示す平面図である。FIG. 11 is a plan view schematically showing a structure in which the first and second inductances are formed as electrodes on the piezoelectric substrate in the first embodiment, and schematically shows the electrode structure on the lower surface of the piezoelectric substrate. FIG. 図12は、本発明の第2の実施形態に係る弾性表面波フィルタの回路図である。FIG. 12 is a circuit diagram of a surface acoustic wave filter according to the second embodiment of the present invention. 図13は、第2の実施形態の弾性表面波フィルタの周波数特性を示す図である。FIG. 13 is a diagram illustrating frequency characteristics of the surface acoustic wave filter according to the second embodiment. 図14は、本発明の弾性表面波フィルタの変形例を説明するための回路図である。FIG. 14 is a circuit diagram for explaining a modification of the surface acoustic wave filter of the present invention. 図15(a)は、従来の弾性表面波フィルタの一例を説明するための回路図、(b)はその周波数特性を示す図である。FIG. 15A is a circuit diagram for explaining an example of a conventional surface acoustic wave filter, and FIG. 15B is a diagram showing frequency characteristics thereof.

符号の説明Explanation of symbols

1…弾性表面波フィルタ
11…弾性表面波チップ
12…圧電基板
13a…IDT電極
13b,13c…反射器
14a〜14f…金属バンプ
15…パッケージ基板
16a〜16e…電極ランド
21…弾性表面波フィルタ
L1…第1のインダクタンス
P1,P2…第1,第2の並列腕共振子
P3…第3の並列腕共振子
S1,S2…直列腕共振子
L2a,L2b…第2のインダクタンス
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Surface acoustic wave filter 11 ... Surface acoustic wave chip 12 ... Piezoelectric substrate 13a ... IDT electrode 13b, 13c ... Reflector 14a-14f ... Metal bump 15 ... Package substrate 16a-16e ... Electrode land 21 ... Surface acoustic wave filter L1 ... 1st inductance P1, P2 ... 1st, 2nd parallel arm resonator P3 ... 3rd parallel arm resonator S1, S2 ... Series arm resonator L2a, L2b ... 2nd inductance

図面を参照しつつ本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。   The present invention will be clarified by describing specific embodiments of the present invention with reference to the drawings.

図1は、本発明の第1の実施形態に係る弾性表面波フィルタの回路図である。本実施形態の弾性表面波フィルタ1では、入力端子INと、出力端子OUTとの間に第1のインダクタL1が接続されている。第1のインダクタL1の一端とグラウンド電位との間に第1の並列腕共振子P1が接続されており、第1のインダクタL1の他端とグラウンド電位との間に第2の並列腕共振子P2が接続されている。上記第1のインダクタL1及び第1,第2の並列腕共振子P1,P2を有するトラップ回路部分Aは、図15に示した従来の帯域阻止型フィルタ100とほぼ同様である。   FIG. 1 is a circuit diagram of a surface acoustic wave filter according to a first embodiment of the present invention. In the surface acoustic wave filter 1 of the present embodiment, the first inductor L1 is connected between the input terminal IN and the output terminal OUT. A first parallel arm resonator P1 is connected between one end of the first inductor L1 and the ground potential, and a second parallel arm resonator is connected between the other end of the first inductor L1 and the ground potential. P2 is connected. The trap circuit portion A having the first inductor L1 and the first and second parallel arm resonators P1 and P2 is substantially the same as the conventional band rejection filter 100 shown in FIG.

本実施形態の弾性表面波フィルタ1では、前記第1のインダクタL1及び第1,第2の並列腕共振子P1,P2とで構成されるトラップ回路部分Aの両側に、インダクタL2a,L2b及び直列腕共振子S1,S2からなるフィルタ回路部分B1,B2が設けられている。   In the surface acoustic wave filter 1 according to the present embodiment, inductors L2a and L2b are connected in series to both sides of a trap circuit portion A composed of the first inductor L1 and the first and second parallel arm resonators P1 and P2. Filter circuit portions B1 and B2 including arm resonators S1 and S2 are provided.

すなわち、入力端子INと第1のインダクタL1との間に直列腕共振子S1が接続されており、入力端子INと直列腕共振子S1との間の接続点とグラウンド電位との間に第2のインダクタL2aが接続されている。   That is, the series arm resonator S1 is connected between the input terminal IN and the first inductor L1, and the second point is between the connection point between the input terminal IN and the series arm resonator S1 and the ground potential. Inductor L2a is connected.

また、第1のインダクタL1と出力端子OUTとの間にも直列腕共振子S2が接続されており、かつ出力端子OUTと直列腕共振子S2との間の接続点とグラウンド電位との間に、第2のインダクタL2bが接続されている。   The series arm resonator S2 is also connected between the first inductor L1 and the output terminal OUT, and between the connection point between the output terminal OUT and the series arm resonator S2 and the ground potential. The second inductor L2b is connected.

また、弾性表面波フィルタ1では、入力端子INと出力端子OUTとを結んでいる直列腕に、直列腕共振子S1、第1のインダクタL1及び直列腕共振子S2がこの順序で配置されていることになる。   In the surface acoustic wave filter 1, the series arm resonator S1, the first inductor L1, and the series arm resonator S2 are arranged in this order on the series arm that connects the input terminal IN and the output terminal OUT. It will be.

ところで、図2(a)に示すように、入力端子INと、出力端子OUTとの間に直列にインダクタンスLxを接続し、入力端子INとグラウンド電位との間に並列容量C1を接続した場合、インダクタンスLxと容量C1とのLC回路により、図2(b)に示すような低域通過帯域型のフィルタ特性が得られる。   By the way, as shown in FIG. 2A, when an inductance Lx is connected in series between the input terminal IN and the output terminal OUT, and a parallel capacitor C1 is connected between the input terminal IN and the ground potential, A low-pass band type filter characteristic as shown in FIG. 2B is obtained by the LC circuit of the inductance Lx and the capacitor C1.

他方、図3(a)に示すように、入力端子INと出力端子OUTとの間に直列に直列容量C2を接続し、入力端子INとグラウンド電位との間にインダクタンスLyを接続した場合には、容量C2と、インダクタンスLyとからなるLC回路により図3(b)に示す高域通過帯域型のフィルタ特性が得られる。   On the other hand, as shown in FIG. 3A, when a series capacitor C2 is connected in series between the input terminal IN and the output terminal OUT, and an inductance Ly is connected between the input terminal IN and the ground potential. The LC circuit composed of the capacitor C2 and the inductance Ly provides the high-pass band type filter characteristics shown in FIG.

図1に示した弾性表面波フィルタ1では、インダクタL1,L2a,L2bのインダクタンス、直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1,P2の容量とで、それぞれ、前記低域通過帯域型フィルタあるいは高域通過型フィルタが構成され、全体として、通過帯域を有する特性が得られている。   In the surface acoustic wave filter 1 shown in FIG. 1, the low-pass band-type filter includes the inductances of the inductors L1, L2a, and L2b and the capacitances of the series arm resonators S1 and S2 and the parallel arm resonators P1 and P2, respectively. Alternatively, a high-pass filter is configured, and as a whole, a characteristic having a pass band is obtained.

より具体的には、第1のインダクタL1及び並列腕共振子P1,P2を有するトラップ回路部分Aにより、図15に示した従来の帯域阻止型フィルタ100と同様に、トラップ帯域と、トラップ帯域の低域外側の通過帯域とが形成されることとなる。   More specifically, by the trap circuit portion A having the first inductor L1 and the parallel arm resonators P1 and P2, as in the conventional band-stop filter 100 shown in FIG. A pass band outside the low band is formed.

そして、本実施形態では、直列腕共振子S1及び第2のインダクタL2aからなるフィルタ回路部分と直列腕共振子S2及び第2のインダクタL2bとからなるフィルタ回路部分B2とが前記トラップ回路部分Aの両側に接続されており、直列腕共振子S1,S2の共振周波数が、弾性表面波フィルタ1の通過帯域の高域側端部と略一致されているため、トラップ帯域内の低域側周波数域におけるフィルタ特性の急峻性が高められ、かつ通過帯域高域側端部における挿入損失が効果的に小さくされている。   In the present embodiment, the filter circuit portion including the series arm resonator S1 and the second inductor L2a and the filter circuit portion B2 including the series arm resonator S2 and the second inductor L2b are included in the trap circuit portion A. Since the resonance frequencies of the series arm resonators S1 and S2 are connected to both sides and substantially coincide with the high band side end of the pass band of the surface acoustic wave filter 1, the low band frequency band within the trap band And the insertion loss at the end of the high passband side is effectively reduced.

弾性表面波フィルタ1として、携帯電話に搭載される地上波デジタル1セグメントチューナー用弾性表面波フィルタに適用した例を考えることとする。この場合、通過帯域は470〜770MHzであり、該通過帯域よりも高域側に、携帯電話の送信帯域である830〜845MHzがトラップ帯域として構成される必要がある。このようなトラップ帯域と通過帯域とを有する弾性表面波フィルタを構成する場合、直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1,P2の図4に示すインピーダンス特性が利用される。   As an example of the surface acoustic wave filter 1, let us consider an example applied to a surface acoustic wave filter for a terrestrial digital one-segment tuner mounted on a mobile phone. In this case, the pass band is 470 to 770 MHz, and it is necessary to configure the transmission band of the mobile phone 830 to 845 MHz as the trap band on the higher frequency side than the pass band. When a surface acoustic wave filter having such a trap band and a pass band is configured, the impedance characteristics shown in FIG. 4 of the series arm resonators S1, S2 and the parallel arm resonators P1, P2 are used.

弾性表面波共振子のインピーダンス特性においては、共振周波数よりも低い周波数域では、容量性インピーダンスとなり周波数の変化に対してインピーダンスは緩やかに変化する。これに対して、共振周波数と反共振周波数との間の周波数領域では、インピーダンスは誘導性インピーダンスとなり、周波数の変化に対してインピーダンスが大きく変化する。   In the impedance characteristics of the surface acoustic wave resonator, in a frequency range lower than the resonance frequency, it becomes a capacitive impedance, and the impedance changes gently with respect to the change in frequency. On the other hand, in the frequency region between the resonance frequency and the anti-resonance frequency, the impedance becomes an inductive impedance, and the impedance changes greatly with respect to the change in frequency.

トラップ回路部分Aでは、並列腕共振子P1,P2の共振周波数よりも低い周波数域におけるインピーダンス特性、すなわち、容量性インピーダンスを利用してトラップ帯域内の低域側が構成されていることになる。そのため、トラップ帯域内の低域側周波数域における急峻性が充分でなく、従来の弾性表面波フィルタ100では、通過帯域内の通過帯域高域側端部近傍における挿入損失が大きくなりがちであった。   In the trap circuit portion A, the low band side in the trap band is configured by using impedance characteristics in a frequency band lower than the resonance frequency of the parallel arm resonators P1 and P2, that is, capacitive impedance. Therefore, the steepness in the low frequency region in the trap band is not sufficient, and the conventional surface acoustic wave filter 100 tends to have a large insertion loss in the vicinity of the end portion on the high band side in the pass band. .

これに対して、本実施形態では、上記直列腕共振子S1,S2の共振周波数が通過帯域高域側端部に略一致されている。従って、直列腕共振子S1,S2のインピーダンスは、トラップ帯域内の低域側周波数域において誘導性インピーダンスとなっているため、その変化に対してインピーダンスが大きく変化する。よって、トラップ帯域内の低域側周波数域におけるフィルタ特性の急峻性が高められ、かつ通過帯域内の通過帯域高域側端部近傍における弾性表面波フィルタ1の挿入損失が著しく小さくされ得る。   On the other hand, in the present embodiment, the resonance frequencies of the series arm resonators S1 and S2 are substantially matched with the end portion on the high side of the passband. Therefore, the impedances of the series arm resonators S1 and S2 are inductive impedances in the low frequency range within the trap band, and the impedance changes greatly with respect to the change. Therefore, the steepness of the filter characteristics in the low frequency region in the trap band can be enhanced, and the insertion loss of the surface acoustic wave filter 1 in the vicinity of the end on the high frequency band side in the pass band can be significantly reduced.

共振子の共振抵抗が小さい場合、容量性インピーダンス及び誘導性インピーダンスは、それぞれ、容量性及び誘導性のリアクタンスとみなすことができる。従って、トラップ帯域内の低域側周波数域において、直列腕共振子S1,S2と並列腕共振子P1,P2との接続点の電圧は、入力端子に印加される電圧×〔並列腕共振子P1またはP2の容量性リアクタンス/(並列腕共振子P1またはP2の容量性リアクタンス+直列腕共振子S1またはS2の誘導性リアクタンス)〕で表されることになる。容量性リアクタンスと誘導性リアクタンスとは逆極性であるため、上記接続点の電圧は、入力端子電圧以上となり、通過帯域高域側における挿入損失を小さくし得ることがわかる。   When the resonance resistance of the resonator is small, the capacitive impedance and the inductive impedance can be regarded as capacitive and inductive reactance, respectively. Therefore, in the low frequency region within the trap band, the voltage at the connection point between the series arm resonators S1 and S2 and the parallel arm resonators P1 and P2 is the voltage applied to the input terminal × [parallel arm resonator P1. Or, P2 capacitive reactance / (capacitive reactance of parallel arm resonator P1 or P2 + inductive reactance of series arm resonator S1 or S2)]. Since the capacitive reactance and the inductive reactance have opposite polarities, it can be seen that the voltage at the connection point is equal to or higher than the input terminal voltage, and insertion loss on the high passband side can be reduced.

なお、インダクタL1,L2a,L2bのインピーダンス値は、トラップ帯域で大きなインピーダンスとなるため、インダクタL1,L2a,L2bのインピーダンスによる影響は無視することができる。   Since the impedance values of the inductors L1, L2a, and L2b are large impedances in the trap band, the influence of the impedances of the inductors L1, L2a, and L2b can be ignored.

より具体的には、図5の実線Cは、インダクタL1及び並列腕共振子P1,P2で構成されるトラップ回路部分Aによる特性を示す。これに対して、上記直列腕共振子S1またはS2の容量と、インダクタL2aまたはL2bとで構成される高域通過型のフィルタ回路部分B1,B2の特性を破線Dで示す。フィルタ回路部分B1,B2の周波数特性における遮断周波数は、直列腕共振子S1またはS2の容量と、インダクタL2aまたはL2bのインダクタンスとの共振による共振周波数となる。直列腕共振子S1またはS2の共振周波数frを通過帯域高域側端部に略一致させることによりトラップ帯域内の低域型周波数域における急峻性を高めることができると共に、通過帯域内の通過帯域高域側端部近傍の挿入損失を小さくすることができる。   More specifically, the solid line C in FIG. 5 shows the characteristics of the trap circuit portion A composed of the inductor L1 and the parallel arm resonators P1 and P2. On the other hand, the characteristics of the high-pass filter circuit portions B1 and B2 constituted by the capacitance of the series arm resonator S1 or S2 and the inductor L2a or L2b are indicated by a broken line D. The cut-off frequency in the frequency characteristics of the filter circuit portions B1 and B2 is a resonance frequency due to resonance between the capacitance of the series arm resonator S1 or S2 and the inductance of the inductor L2a or L2b. By making the resonance frequency fr of the series arm resonator S1 or S2 substantially coincide with the end portion on the high side of the pass band, the steepness in the low frequency range in the trap band can be enhanced, and the pass band in the pass band can be increased. The insertion loss in the vicinity of the high frequency side end can be reduced.

図6は、上記弾性表面波フィルタ1の特性を示す減衰量周波数特性を示す図である。なお、図6に示されている特性は、共振子S1,S2及び並列腕共振子P1,P2の等価回路定数を下記の表1に示すように、かつインダクタL1のインダクタンス値は13nH、インダクタL2aのインダクタンス値は27nH、インダクタL2bのインダクタンス値は27nHとした構成の特性である。   FIG. 6 is a diagram showing attenuation frequency characteristics indicating the characteristics of the surface acoustic wave filter 1. The characteristics shown in FIG. 6 are as follows. The equivalent circuit constants of the resonators S1 and S2 and the parallel arm resonators P1 and P2 are as shown in Table 1 below, the inductance value of the inductor L1 is 13 nH, and the inductor L2a. The inductance value is 27 nH, and the inductance value of the inductor L2b is 27 nH.

Figure 0004640412
Figure 0004640412

図6から明らかなように、トラップ帯域における減衰量50dB以上とすることができ、トラップ帯域内の低周波数領域における急峻性を高めることが可能とされたため、通過帯域全域にわたり、挿入損失を2dB以下とし得ることがわかる。   As can be seen from FIG. 6, since the attenuation in the trap band can be 50 dB or more and the steepness in the low frequency region in the trap band can be increased, the insertion loss is 2 dB or less over the entire pass band. It can be understood that

なお、本実施形態の弾性表面波フィルタ1では、好ましくは、直列腕共振子S1,S2の容量をCs、第1のインダクタL1のインダクタンス値をLs、並列腕共振子P1,P2の容量をそれぞれCp、第2のインダクタのインダクタンスの値をLpとしたときにCs/Cp>1かつLp/Ls>1とされ、それによって、挿入損失をより一層小さくすることができる。これを以下において説明する。   In the surface acoustic wave filter 1 of this embodiment, preferably, the capacitances of the series arm resonators S1 and S2 are Cs, the inductance value of the first inductor L1 is Ls, and the capacitances of the parallel arm resonators P1 and P2 are respectively set. When Cp and the inductance value of the second inductor are set to Lp, Cs / Cp> 1 and Lp / Ls> 1 are set, whereby the insertion loss can be further reduced. This will be described below.

いま、インダクタL1と並列腕共振子P1,P2とからなるLC共振回路の共振周波数は、直列腕共振子S1またはS2と、第2のインダクタL2aまたはL2bとからなるLC回路の共振周波数よりも高くなっている。従って、下記の式(1)が成立する。   Now, the resonance frequency of the LC resonance circuit composed of the inductor L1 and the parallel arm resonators P1 and P2 is higher than the resonance frequency of the LC circuit composed of the series arm resonator S1 or S2 and the second inductor L2a or L2b. It has become. Therefore, the following formula (1) is established.

Figure 0004640412
Figure 0004640412

なお、トラップ回路部分Aと、フィルタ回路部分B1,B2の特性インピーダンスはいずれも50Ωとされている。従って、下記の式(2)が成立する。   The characteristic impedance of the trap circuit portion A and the filter circuit portions B1 and B2 are both 50Ω. Therefore, the following formula (2) is established.

Figure 0004640412
Figure 0004640412

式(1)を変形すると、   When formula (1) is transformed,

Figure 0004640412
Figure 0004640412

となり、式(2)を変形すると、Ls/Cp=Lp/Csとなる。従って、Lp=(Cs/Cp)・Ls及びCp=Cs・(Ls/Lp)を式(3)に代入すると、CsCp>1及びLp/Ls>1となる。 Thus, when equation (2) is modified, Ls / Cp = Lp / Cs. Therefore, when Lp = (Cs / Cp) · Ls and Cp = Cs · (Ls / Lp) are substituted into Equation (3), CsCp> 1 and Lp / Ls> 1.

従って、Cs/Cp>1かつLp/Ls>1とすることにより、トラップ回路部分Aとフィルタ回路部分B1,B2との特性インピーダンスが揃えられ、挿入損失を小さくすることができる。   Therefore, by setting Cs / Cp> 1 and Lp / Ls> 1, the characteristic impedances of the trap circuit portion A and the filter circuit portions B1 and B2 are made uniform, and the insertion loss can be reduced.

上記実施形態では、直列腕共振子S1,S2の共振周波数は、通過帯域高域側端部と略一致されているが、略一致とは必ずしも完全に一致している必要はなく、通過帯域高域側端部の周波数−5%以上、0%以下の範囲内であればよいことをいうものとする。また、通過帯域内の挿入損失を2dB以下とするには、通過帯域高域側端部の周波数−5%以上、0%以下の範囲とすればよいことが発明者の実験により確かめられている。   In the above embodiment, the resonance frequencies of the series arm resonators S1 and S2 are substantially coincident with the end portion on the high side of the passband, but it is not always necessary to completely coincide with the coincidence. The frequency at the end of the region should be in the range of -5% to 0%. In addition, in order to reduce the insertion loss in the passband to 2 dB or less, it has been confirmed by the inventor's experiment that the frequency at the end of the passband high band side may be in the range of -5% to 0%. .

従って、好ましくは、前記直列腕共振子S1,S2の共振周波数は、弾性表面波フィルタ1の通過帯域の高域側端部の周波数−5%以上、0%以下の範囲とされる。   Therefore, the resonance frequency of the series arm resonators S1 and S2 is preferably in the range of -5% or more and 0% or less of the frequency at the high band side end of the pass band of the surface acoustic wave filter 1.

上記実施形態では、前記トラップ回路部分Aの入力側及び出力側の双方に、前記フィルタ回路部分B1,B2が接続されていたが、いずれか一方にのみフィルタ回路部分が接続されていてもよい。すなわち、直列腕共振子S1と、インダクタL2aからなるフィルタ回路部分B1のみがトラップ回路部分Aに接続されていてもよく、あるいは直列腕共振子S2とインダクタL2bとからなるフィルタ回路部分B2のみがトラップ回路部分Aに接続されていてもよい。   In the above embodiment, the filter circuit portions B1 and B2 are connected to both the input side and the output side of the trap circuit portion A, but the filter circuit portion may be connected to only one of them. That is, only the filter circuit portion B1 including the series arm resonator S1 and the inductor L2a may be connected to the trap circuit portion A, or only the filter circuit portion B2 including the series arm resonator S2 and the inductor L2b may be trapped. It may be connected to the circuit part A.

本実施形態の弾性表面波フィルタ1では、前記直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1,P2は、好ましくは、1枚の圧電基板上にインターデジタル電極(IDT電極)を形成することにより構成された弾性表面波共振子により構成される。図7は、弾性表面波チップ11において、圧電基板12の下面に形成されている電極構造を圧電基板12を透視して模式的に示す平面図である。   In the surface acoustic wave filter 1 of the present embodiment, the series arm resonators S1 and S2 and the parallel arm resonators P1 and P2 preferably form interdigital electrodes (IDT electrodes) on a single piezoelectric substrate. It is comprised by the surface acoustic wave resonator comprised by these. FIG. 7 is a plan view schematically showing the electrode structure formed on the lower surface of the piezoelectric substrate 12 in the surface acoustic wave chip 11 through the piezoelectric substrate 12.

圧電基板12は、セラミックスまたは圧電単結晶により構成され、その下面にIDT電極を形成することにより、直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1,P2が形成されている。図7では、直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1,P2が形成されている部分が略図的に示されているが、図8にこのIDT電極の具体的な構造を模式的に示す。図8に示すように、IDT電極13aの両側に、反射器13b,13cが形成されて、1つの弾性表面波共振子が構成される。直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1,P2は、いずれも、IDT電極とIDT電極の両側に配置された反射器とを有する。もっとも、前述した表1に示したように、直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1,P2の仕様は、求められる特性に応じて、異ならされている。   The piezoelectric substrate 12 is made of ceramics or a piezoelectric single crystal, and IDT electrodes are formed on the lower surface thereof to form series arm resonators S1 and S2 and parallel arm resonators P1 and P2. FIG. 7 schematically shows a portion where the series arm resonators S1 and S2 and the parallel arm resonators P1 and P2 are formed. FIG. 8 schematically shows a specific structure of the IDT electrode. Show. As shown in FIG. 8, reflectors 13b and 13c are formed on both sides of the IDT electrode 13a to constitute one surface acoustic wave resonator. Each of the series arm resonators S1 and S2 and the parallel arm resonators P1 and P2 includes an IDT electrode and reflectors disposed on both sides of the IDT electrode. However, as shown in Table 1 described above, the specifications of the series arm resonators S1 and S2 and the parallel arm resonators P1 and P2 are different depending on the required characteristics.

上記弾性表面波チップ11には、金属バンプ14a〜14fが設けられている。この金属バンプ14a〜14fを利用して弾性表面波チップ11は、パッケージ基板15にフリップチップボンディング工法により搭載される。パッケージ基板15は、適宜の絶縁性材料からなり、その上面に、電極ランド16a〜16eを有する。金属バンプ14aが電極ランド16aに、金属バンプ14bが電極ランド16bに、グラウンド電位に接続される電極ランド16cに金属バンプ14c,14dが、金属バンプ14eが電極ランド16dに、金属バンプ14fが電極ランド16eにそれぞれ接合されることになる。   The surface acoustic wave chip 11 is provided with metal bumps 14a to 14f. The surface acoustic wave chip 11 is mounted on the package substrate 15 by the flip chip bonding method using the metal bumps 14a to 14f. The package substrate 15 is made of an appropriate insulating material, and has electrode lands 16a to 16e on the upper surface thereof. The metal bump 14a is connected to the electrode land 16a, the metal bump 14b is connected to the electrode land 16b, the metal land 14c is connected to the ground potential, the metal bumps 14c and 14d are connected to the electrode land 16d, and the metal bump 14f is connected to the electrode land 16c. 16e, respectively.

なお、図10(b)は、上記弾性表面波チップ11をパッケージ基板15に搭載した構造の略図的正面断面図である。   FIG. 10B is a schematic front sectional view of a structure in which the surface acoustic wave chip 11 is mounted on a package substrate 15.

そして、図10(a)に略図的に示すように、上記パッケージ基板15の外側に、インダクタL1,L2a,L2bを構成する外付けの素子が電極ランド16a〜16eに適宜接続される。   As schematically shown in FIG. 10A, external elements constituting the inductors L1, L2a, and L2b are appropriately connected to the electrode lands 16a to 16e outside the package substrate 15.

図7に示した弾性表面波チップ11では、弾性表面波共振子からなる直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1,P2のみが圧電基板12に構成されていたが、図11に平面図で示すように、インダクタL1,L2a,L2bもまた、圧電基板12の下面にミアンダ状の形状すなわち蛇行形状等の電極を形成することにより設けてもよい。   In the surface acoustic wave chip 11 shown in FIG. 7, only the series arm resonators S1 and S2 and the parallel arm resonators P1 and P2 made of surface acoustic wave resonators are formed on the piezoelectric substrate 12, but FIG. As shown in the figure, the inductors L1, L2a, and L2b may also be provided by forming electrodes having a meandering shape, that is, a meandering shape, on the lower surface of the piezoelectric substrate 12.

図11は、図7と同様に、圧電基板12を透視して、圧電基板12の下面に形成されている電極を模式的に示す平面図である。ここでは、インダクタL1,L2a,L2bが、それぞれ、電極をミアンダ状の形状とすることにより構成されている。なお、インダクタL1,L2a,L2bは、圧電基板12の下面にミアンダ状の電極パターンを形成することにより構成される必要は必ずしもない。例えば、コイル状の電極パターンを圧電基板12の下面に形成してもよい。   FIG. 11 is a plan view schematically showing electrodes formed on the lower surface of the piezoelectric substrate 12 through the piezoelectric substrate 12, as in FIG. 7. Here, the inductors L1, L2a, and L2b are each configured by forming electrodes in a meander shape. The inductors L1, L2a, and L2b are not necessarily configured by forming a meandering electrode pattern on the lower surface of the piezoelectric substrate 12. For example, a coiled electrode pattern may be formed on the lower surface of the piezoelectric substrate 12.

図11に示したように、圧電基板表面に一体に電極材料を付与することによりインダクタL1,L2a,L2bを形成することにより、弾性表面波フィルタ1の小型化を図ることができる。   As shown in FIG. 11, the surface acoustic wave filter 1 can be miniaturized by forming the inductors L1, L2a, and L2b by applying electrode materials integrally to the surface of the piezoelectric substrate.

図12は、本発明の第2の実施形態に係る弾性表面波フィルタの回路図である。第2の実施形態の弾性表面波フィルタ21は、入力端子INと出力端子OUTとの間に、図1に示したトラップ回路部分Aと同様に構成されたトラップ回路部分Aを有する。トラップ回路部分Aは、第1のインダクタL1と、第1のインダクタL1の一端とグラウンド電位との間に接続された並列腕共振子P1と、第1のインダクタL2の他端とグラウンド電位との間に接続された並列腕共振子P2とを有する。   FIG. 12 is a circuit diagram of a surface acoustic wave filter according to the second embodiment of the present invention. The surface acoustic wave filter 21 according to the second embodiment includes a trap circuit portion A configured similarly to the trap circuit portion A illustrated in FIG. 1 between the input terminal IN and the output terminal OUT. The trap circuit portion A includes a first inductor L1, a parallel arm resonator P1 connected between one end of the first inductor L1 and the ground potential, and the other end of the first inductor L2 and the ground potential. A parallel arm resonator P2 connected in between.

第2の実施形態では、上記トラップ回路部分Aの両側に、直列腕共振子S11と第2のインダクタL2aとからなるフィルタ回路部分B3及び直列腕共振子S12と、第2のインダクタL2bとからなるフィルタ回路部分B4がそれぞれ接続されている。第1の実施形態と異なるところは、インダクタL2a,L2bの一端が、直列腕共振子S11,S12と第1のインダクタL1の一端または他端との間の接続点22,23に接続されていることにある。   In the second embodiment, on both sides of the trap circuit portion A, the filter circuit portion B3 and the series arm resonator S12 including the series arm resonator S11 and the second inductor L2a and the second inductor L2b are provided. The filter circuit portions B4 are connected to each other. The difference from the first embodiment is that one ends of the inductors L2a and L2b are connected to connection points 22 and 23 between the series arm resonators S11 and S12 and one end or the other end of the first inductor L1. There is.

本実施形態においても、直列腕共振子S11,S12の共振周波数を、通過帯域高域側端部と略一致させることにより、直列腕共振子S11,S12の共振周波数と反共振周波数との間の誘導性インピーダンスを利用することにより、トラップ帯域の低域周波数領域におけるフィルタ特性の急峻性を高めることができる。従って、通過帯域内の通過帯域高域側端部近傍における挿入損失を小さくすることができる。   Also in the present embodiment, the resonance frequency of the series arm resonators S11 and S12 is made to substantially coincide with the end portion on the high band side of the passband, so that the resonance frequency between the resonance frequency and the antiresonance frequency of the series arm resonators S11 and S12 By using the inductive impedance, the steepness of the filter characteristics in the low frequency region of the trap band can be enhanced. Therefore, it is possible to reduce the insertion loss in the vicinity of the end portion on the high band side in the pass band.

第1,第2の実施形態から明らかなように、上記フィルタ回路部分における第2のインダクタは、直列腕共振子の一端または他端とグラウンド電位との間に接続される限り、直列腕共振子の一端または他端のいずれに接続されていてもよい。   As apparent from the first and second embodiments, the second inductor in the filter circuit portion is connected to the series arm resonator as long as it is connected between one end or the other end of the series arm resonator and the ground potential. It may be connected to either one end or the other end.

図13は、図12に示した弾性表面波フィルタ21の周波数特性を示す図である。図13から明らかなように、本実施形態においても、通過特性において、トラップ帯域内の低域側周波数域における急峻性が高められ、かつ通過帯内の高域側端部近傍の挿入損失が小さくされ、通過帯域の全域にわたり、挿入損失が2dB以下とされていることがわかる。なお、直列腕共振子S11,S12及び並列腕共振子P1,P2の等価回路定数を下記の表2に示す通りとした。また、インダクタL1のインダクタンス値は11nH、インダクタL2aのインダクタンス値は16nH,インダクタL2bのインダクタンス値は13nHとした。   FIG. 13 is a diagram showing the frequency characteristics of the surface acoustic wave filter 21 shown in FIG. As is apparent from FIG. 13, also in the present embodiment, in the pass characteristics, the steepness in the low frequency region within the trap band is enhanced, and the insertion loss near the high frequency side end in the pass band is small. It can be seen that the insertion loss is 2 dB or less over the entire passband. The equivalent circuit constants of the series arm resonators S11 and S12 and the parallel arm resonators P1 and P2 are as shown in Table 2 below. The inductance value of the inductor L1 is 11 nH, the inductance value of the inductor L2a is 16 nH, and the inductance value of the inductor L2b is 13 nH.

Figure 0004640412
Figure 0004640412

図1及び図12に示した第1,第2の実施形態の弾性表面波フィルタ1,21では、トラップ回路部分Aは、第1のインダクタL1と、第1のインダクタL1の両端に接続された並列腕共振子P1,P2を有していたが、トラップ回路部分は、複数の第1のインダクタを接続した構造を有していてもよい。   In the surface acoustic wave filters 1 and 21 of the first and second embodiments shown in FIGS. 1 and 12, the trap circuit portion A is connected to the first inductor L1 and both ends of the first inductor L1. Although the parallel arm resonators P1 and P2 are provided, the trap circuit portion may have a structure in which a plurality of first inductors are connected.

すなわち、図14に示す変形例のように、トラップ回路部分Aが、第1のインダクタL1a,L1b,L1cを有していてもよい。この場合、隣り合うインダクタL1a,L1b間及び隣り合うインダクタL1b,L1c間と、グラウンド電位との間のそれぞれに第3の並列腕共振子P3が接続されることになる。   That is, as in the modification shown in FIG. 14, the trap circuit portion A may include first inductors L1a, L1b, and L1c. In this case, the third parallel arm resonator P3 is connected between the adjacent inductors L1a and L1b, between the adjacent inductors L1b and L1c, and the ground potential.

このように、本発明においては、第1のインダクタと、並列腕共振子とからなるトラップ回路部分におけるインダクタ及び並列腕共振子からなるLC回路の段数は特に限定されるものではない。   Thus, in the present invention, the number of stages of the LC circuit including the inductor and the parallel arm resonator in the trap circuit portion including the first inductor and the parallel arm resonator is not particularly limited.

また、上記実施形態では、弾性表面波を利用した弾性表面波フィルタにつき説明したが、本発明は、弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタに適用することも可能である。   Moreover, although the said embodiment demonstrated the surface acoustic wave filter using a surface acoustic wave, this invention can also be applied to the boundary acoustic wave filter using a boundary acoustic wave.

Claims (5)

トラップ帯域と、該トラップ帯域の低域外側に隣接して設けられた通過帯域とを有する弾性波フィルタであって、
入力端子と出力端子とを結ぶ直列腕に配置された少なくとも1個の第1のインダクタと、少なくとも1個の前記第1のインダクタが設けられている部分の一端とグラウンド電位との間に設けられた第1の並列腕共振子と、少なくとも1個の前記第1のインダクタが設けられている部分の他端とグラウンド電位との間に設けられた第2の並列腕共振子と、前記第1のインダクタが複数の場合に、隣り合う第1のインダクタ間とグラウンド電位との間に接続された第3の並列腕共振子とを有するトラップ回路部分と、
前記入力端子と前記トラップ回路部分との間及び前記出力端子と前記トラップ回路部分との間の少なくとも一方に設けられたフィルタ回路部分を備え、
該フィルタ回路部分が、前記直列腕において、前記入力端子または前記出力端子と前記トラップ回路部分との間に配置された直列腕共振子と、
前記直列腕共振子の一端または他端とグラウンド電位との間に接続された第2のインダクタとを有し、
前記直列腕共振子の共振周波数が前記弾性波フィルタの通過帯域の高域側端部と略一致されていることを特徴とする、弾性波フィルタ。
An acoustic wave filter having a trap band and a pass band provided adjacent to the lower outside of the trap band,
Provided between at least one first inductor disposed in a series arm connecting the input terminal and the output terminal, and one end of a portion where at least one first inductor is provided, and a ground potential. A first parallel arm resonator, a second parallel arm resonator provided between the other end of the portion where at least one of the first inductors is provided and a ground potential, and the first A plurality of inductors, a trap circuit portion having a third parallel arm resonator connected between adjacent first inductors and a ground potential;
A filter circuit portion provided between at least one of the input terminal and the trap circuit portion and between the output terminal and the trap circuit portion;
The filter circuit portion is a series arm resonator disposed between the input terminal or the output terminal and the trap circuit portion in the series arm;
A second inductor connected between one end or the other end of the series arm resonator and a ground potential;
The elastic wave filter according to claim 1, wherein a resonance frequency of the series arm resonator is substantially coincident with a high band side end of a pass band of the elastic wave filter.
前記入力端子と前記トラップ回路部分との間及び前記出力端子と前記トラップ回路部分との間の双方に前記フィルタ回路部分が設けられている、請求項1に記載の弾性波フィルタ。  The acoustic wave filter according to claim 1, wherein the filter circuit portion is provided both between the input terminal and the trap circuit portion and between the output terminal and the trap circuit portion. 前記直列腕共振子の容量と前記第2のインダクタとで構成される共振回路の共振周波数が、前記通過帯域の低域側端部よりも低い周波数とされている、請求項1または2に記載の弾性波フィルタ。  The resonance frequency of the resonance circuit comprised by the capacity | capacitance of the said series arm resonator and the said 2nd inductor is made into the frequency lower than the low-frequency side edge part of the said pass band. Elastic wave filter. 前記並列腕共振子及び前記直列腕共振子が形成されている圧電基板をさらに備え、
該圧電基板上または圧電基板内に、前記第1,第2のインダクタが形成されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ。
A piezoelectric substrate on which the parallel arm resonator and the series arm resonator are formed;
The elastic wave filter according to any one of claims 1 to 3, wherein the first and second inductors are formed on or in the piezoelectric substrate.
前記直列腕共振子の容量をCs、前記第1のインダクタのインダクタンス値をLs、前記並列腕共振子の容量をCp、前記第2のインダクタのインダクタンス値をLpとしたときに、Cs/Cp>1かつLp/Ls>1とされている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ。  When the capacitance of the series arm resonator is Cs, the inductance value of the first inductor is Ls, the capacitance of the parallel arm resonator is Cp, and the inductance value of the second inductor is Lp, Cs / Cp> The elastic wave filter according to claim 1, wherein 1 and Lp / Ls> 1.
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