JP4633195B1 - Manufacturing method of polarizing glass - Google Patents

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Abstract

【課題】危険な薬品を使用しなくとも、線引き時におけるガラスプリフォームの破断を抑制し、比較的幅が広い高性能の偏光ガラスを安定にかつ容易に製造する方法を提案することを目的とする。
【解決手段】金属ハロゲン化物粒子または金属粒子が分散されたガラスプリフォーム表面に、液相成膜法により金属酸化物薄膜を形成する。そして、その後金属酸化物薄膜が形成されたガラスプリフォームを線引きする。
【選択図】図1
An object of the present invention is to propose a method for stably and easily producing a high-performance polarizing glass having a relatively wide width by suppressing breakage of a glass preform during drawing without using dangerous chemicals. To do.
A metal oxide thin film is formed on a surface of a glass preform in which metal halide particles or metal particles are dispersed by a liquid phase film forming method. Then, the glass preform on which the metal oxide thin film is formed is drawn.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、例えば光通信などに利用される小型光アイソレーター、光スイッチもしくは電気磁気センサー等の重要な構成部品の一つである偏光子として用いられる偏光ガラスの製造方法に関する。さらに詳しくは、本発明は、比較的幅の広い偏光ガラスを、線引き途中で破断を起こすことなく製造できる方法に関する。   The present invention relates to a method of manufacturing a polarizing glass used as a polarizer, which is one of important components such as a small optical isolator, an optical switch, or an electromagnetic sensor used for optical communication. More particularly, the present invention relates to a method for producing a relatively wide polarizing glass without causing breakage during drawing.

配向・分散された形状異方性を有する微細な金属粒子、例えば、銅粒子や銀粒子を分散含有するガラスは、その金属の光吸収波長帯が入射偏光方向によって異なるために偏光子になることが知られている。そのような偏光ガラスは伸長されたハロゲン化銅粒子含有ガラスあるいはハロゲン化銀粒子含有ガラスを還元することで作製できることも知られている。   Fine metal particles with oriented and dispersed shape anisotropy, for example, glass containing dispersed copper particles and silver particles, become a polarizer because the light absorption wavelength band of the metal differs depending on the incident polarization direction. It has been known. It is also known that such polarizing glass can be produced by reducing the stretched glass containing copper halide particles or glass containing silver halide particles.

例えば、ハロゲン化銅粒子含有ガラスから偏光ガラスを作製する方法は、特許文献1に開示されている。この方法は、ハロゲン化銅粒子を含むガラスの粘度が10〜1010Pa・Sの範囲となる温度において、このガラスを延伸、押し出し、またはプレスすることによりハロゲン化銅粒子を伸長する。次いで還元雰囲気下で熱処理することによりハロゲン化銅粒子を還元し、伸長された形状異方性の金属銅粒子を含有する偏光ガラスを製造するものである。 For example, Patent Document 1 discloses a method for producing polarizing glass from glass containing copper halide particles. In this method, at a temperature at which the viscosity of the glass containing the copper halide particles is in the range of 10 7 to 10 10 Pa · S, the glass halide is stretched, extruded or pressed to elongate the copper halide particles. Then, the copper halide particles are reduced by heat treatment in a reducing atmosphere to produce a polarizing glass containing elongated shape anisotropic metal copper particles.

さらに、上記形状異方性の金属粒子を含有する偏光ガラスの製造方法を改良した方法として、金属ハロゲン化物粒子が分散されている四角平板状のガラスプリフォームをフッ酸などの酸水溶液でエッチングしてから線引きする方法が特許文献2に提案されている。
この方法は、延伸されるガラスプリフォーム表面の微小なキズをエッチングにより除去することで、線引き時のガラスプリフォームの破断を起こさずに製造できる方法である。線引き応力は、14.7〜29.4MPa程度をかけることができ、比較的幅が広い(例えば10mm前後)偏光ガラスを安定に製造するのに不可欠な方法となっている。
Furthermore, as a method for improving the manufacturing method of the polarizing glass containing metal particles having the shape anisotropy, a square plate-like glass preform in which metal halide particles are dispersed is etched with an acid aqueous solution such as hydrofluoric acid. Patent Document 2 proposes a method of drawing a line after that.
This method is a method which can be manufactured without causing breakage of the glass preform during drawing by removing minute scratches on the surface of the stretched glass preform by etching. The drawing stress can be applied to about 14.7 to 29.4 MPa, and is an indispensable method for stably producing a polarizing glass having a relatively wide width (for example, around 10 mm).

また、下記特許文献3には、ハロゲン化銀粒子を含有するコアガラスの表面を粘性の低いガラスで被膜することが記載されている。この方法では、コアガラスの延伸においてコアガラスが再絞り炉の加熱部分を通過する際、もしくはダウンドロー中に、粘性の低い表面ガラスが液化し、コアガラスの表面傷が埋められるとされている。   Patent Document 3 below describes that the surface of the core glass containing silver halide grains is coated with a glass having low viscosity. In this method, when the core glass passes through the heated portion of the redrawing furnace in the drawing of the core glass, or during the downdraw, the surface glass with low viscosity is liquefied, and the surface scratches of the core glass are filled. .

特許第2740601号公報Japanese Patent No. 2740601 特許第3320044号公報Japanese Patent No. 3320044 特公平2−040619号公報JP-B-2-040619

しかしながら、上記特許文献2において、ガラスプリフォームの表面の研磨キズをエッチングで効率良く除去するためには、フッ酸の使用は不可欠であった。しかし、フッ酸は毒物であり、人体に付着すると炎症を起こしたり、指のつめがはがれたりする。また、皮膚から侵入したフッ酸が時間の経過と共に骨に達して骨のCaと化学反応することにより、激痛を生じさせることが知られている。
さらに、フッ酸は水生生物に対して生態毒性を有するとされる等、環境への負荷も大きい。このため、フッ酸の使用においては厳重な管理の下に行うことが定められており、廃棄処理等のコストも高くなっている。
近年職場の労働安全や環境保全が重視される傾向がある中で、こうした薬品を使用しなくとも良い代替技術の開発が求められていた。
However, in Patent Document 2, the use of hydrofluoric acid is indispensable in order to efficiently remove the polishing scratches on the surface of the glass preform by etching. However, hydrofluoric acid is a poisonous substance that can cause irritation and fingernails when attached to the human body. In addition, it is known that hydrofluoric acid that has entered from the skin reaches the bone with time and chemically reacts with Ca in the bone, thereby causing severe pain.
In addition, hydrofluoric acid is considered to be ecotoxic to aquatic organisms and has a large environmental impact. For this reason, it is stipulated that the use of hydrofluoric acid is carried out under strict management, and the cost of disposal processing and the like is also high.
In recent years, there has been a tendency to place importance on occupational safety and environmental protection in the workplace, and there has been a need to develop alternative technologies that do not require the use of such chemicals.

また、上述の特許文献3の手法では、コアガラスを被覆する表面ガラスの膜厚は約3.18mmであることが記載されている。表面ガラスの成膜方法については記載されていないが、このような厚膜の形成には、例えばガラス粉末をコアガラス上に塗布・成型し、加熱焼結する等の作業が必要となり、工程が煩雑なものとなる。
またさらに、被覆するためのガラス原料を調合する工程、ガラス原料を溶解し、ガラスを作製する工程、作製したガラスを粉砕してガラス粉末を準備する工程が必要であり、ガラス粉末の塗布に至るまで時間もかかるのでコストが高くなる。
また、こうして形成された膜の膜厚にはムラが生じやすく、後にガラスを延伸する際に均等な張力を加えにくくなる。
Moreover, in the method of the above-mentioned patent document 3, it describes that the film thickness of the surface glass which coat | covers core glass is about 3.18 mm. Although the method for forming the surface glass is not described, for the formation of such a thick film, for example, it is necessary to apply and mold glass powder on the core glass, and heat and sinter. It becomes complicated.
Furthermore, a step of preparing a glass raw material for coating, a step of melting the glass raw material to produce glass, and a step of preparing the glass powder by pulverizing the produced glass are required, leading to the application of the glass powder. It takes time to increase the cost.
Further, the film thickness thus formed is likely to be uneven, and it becomes difficult to apply a uniform tension when the glass is stretched later.

本発明は、かかる状況を鑑みなされたものである。すなわち、危険な薬品を使用しなくとも、線引き時におけるガラスプリフォームの破断を抑制し、比較的幅が広い高性能の偏光ガラスを安定にかつ容易に製造する方法を提案することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a situation. That is, an object of the present invention is to propose a method for stably and easily manufacturing a high-performance polarizing glass having a relatively wide width by suppressing breakage of the glass preform during drawing without using dangerous chemicals. .

上記課題を解決するために、本発明による偏光ガラスの製造方法は、金属ハロゲン化物粒子または金属粒子が分散されたガラスプリフォーム表面に、液相成膜法により金属酸化物薄膜を形成する工程を含む。
また、上述の金属酸化物薄膜が形成されたガラスプリフォームを線引きする工程と、線引きにより得られたガラスシートに含まれる金属ハロゲン化物粒子を還元する工程と、を含む。
In order to solve the above-described problems, a method for producing a polarizing glass according to the present invention includes a step of forming a metal oxide thin film on a glass preform surface in which metal halide particles or metal particles are dispersed by a liquid phase film forming method. Including.
Moreover, the process of drawing the glass preform in which the above-mentioned metal oxide thin film was formed, and the process of reducing the metal halide particle | grains contained in the glass sheet obtained by drawing are included.

本発明によれば、金属酸化物薄膜は、液相成膜法により形成される。このため、例えば金属酸化物薄膜原料を含むコート液をガラスプリフォーム表面に塗布したり、コート液内にガラスプリフォームを浸漬するといった簡易な作業によって成膜が可能となる。また、液相成膜法では、均一な膜厚の金属酸化物薄膜が容易に形成される。
また、この方法では、コート液がガラスプリフォーム表面の傷内に入り込むことにより、ガラスプリフォーム表面の傷を容易に埋めることができる。
また、この方法では、フッ酸等の薬品を用いることなく成膜可能である。
According to the present invention, the metal oxide thin film is formed by a liquid phase film forming method. For this reason, for example, a film can be formed by a simple operation such as applying a coating liquid containing a metal oxide thin film raw material to the surface of the glass preform or immersing the glass preform in the coating liquid. Further, in the liquid phase film forming method, a metal oxide thin film having a uniform thickness can be easily formed.
Further, in this method, the coating liquid enters the scratches on the surface of the glass preform, so that the scratches on the surface of the glass preform can be easily filled.
In this method, the film can be formed without using chemicals such as hydrofluoric acid.

本発明によれば、液相成膜法によりガラスプリフォーム表面に金属酸化物薄膜が形成される。このため、簡易なプロセスでガラスプリフォーム表面の傷を埋めることができ、低コストで容易に線引き時の破断を抑制することが可能である。
また、フッ酸等の薬品を必要としないため、管理コストも低減可能であり、また作業者の安全性をより向上できる。
According to the present invention, the metal oxide thin film is formed on the surface of the glass preform by the liquid phase film forming method. For this reason, it is possible to fill the scratches on the surface of the glass preform with a simple process, and it is possible to easily suppress breakage during drawing at low cost.
Further, since chemicals such as hydrofluoric acid are not required, the management cost can be reduced and the safety of the operator can be further improved.

図1Aは、ガラスプリフォーム表面の傷の断面を示す模式図であり、図1Bは、本発明を用いて金属酸化物薄膜により被覆したガラスプリフォーム表面の傷の断面を示す模式図である。FIG. 1A is a schematic diagram showing a cross section of a scratch on a glass preform surface, and FIG. 1B is a schematic diagram showing a cross section of a scratch on a glass preform surface coated with a metal oxide thin film using the present invention. 本発明の実施の形態において、ガラスプリフォームを引き伸ばす様子を示す説明図である。In embodiment of this invention, it is explanatory drawing which shows a mode that a glass preform is extended.

以下本発明を実施するための最良の形態の例を説明するが、本発明は以下の例に限定されるものではない。説明は以下の順序で行う。
1.製造方法の実施の形態
(1)金属酸化物薄膜の形成
(2)線引き工程
(3)外形加工・研磨工程
(4)還元工程
2.実施例
Examples of the best mode for carrying out the present invention will be described below, but the present invention is not limited to the following examples. The description will be made in the following order.
1. Embodiment of Manufacturing Method (1) Formation of Metal Oxide Thin Film (2) Drawing Step (3) Outline Processing / Polishing Step (4) Reduction Step Example

1.偏光ガラスの製造方法の実施の形態
本発明に用いるガラスプリフォームは、線引きにより偏光ガラスとされるものであれば
特に限定するものではない。
例えばガラス部材内に金属ハロゲン化物粒子が分散しているものであってよく、既知のガラス母材、金属ハロゲン化物粒子により構成されていてよい。
ガラス母材としては、例えばガラスの軟化温度がハロゲン化物の融点より高いケイ酸塩ガラス、ホウケイ酸塩ガラス、ホウ酸ガラス等が挙げられる。
また、金属ハロゲン化物粒子としては、例えば塩化銀、臭化銀、ヨウ化銀、塩化銅、臭化銅、ヨウ化銅、塩化金、臭化金、ヨウ化金、塩化白金、臭化白金、ヨウ化白金等が挙げられる。
また、金属ハロゲン化物粒子が分散されているガラスは、公知の方法により製造してよい。
1. Embodiment of Method for Producing Polarized Glass The glass preform used in the present invention is not particularly limited as long as it is a polarizing glass by drawing.
For example, the metal halide particles may be dispersed in the glass member, and may be composed of a known glass base material and metal halide particles.
Examples of the glass base material include silicate glass, borosilicate glass, and borate glass whose glass softening temperature is higher than the melting point of the halide.
Examples of the metal halide particles include silver chloride, silver bromide, silver iodide, copper chloride, copper bromide, copper iodide, gold chloride, gold bromide, gold iodide, platinum chloride, platinum bromide, Examples thereof include platinum iodide.
Further, the glass in which the metal halide particles are dispersed may be produced by a known method.

また、上述の金属ハロゲン化物粒子が分散されたガラスプリフォーム以外のガラスプリフォームを用いてもよい。
例えば、工業材料 Vol.52、No.12、2004(p102〜107)には、ソーダライムガラス板にイオン交換法によりガラス中にAgイオンを拡散させた後、熱処理等でAg粒子を析出させ、このソーダライムガラス板を延伸することにより偏光ガラスを製造することが記載されている。
本発明では、こうしたイオン交換法によりソーダライムガラス板に金属イオンを拡散させ、金属粒子を析出させたものもガラスプリフォームとして用いることができる。なお、イオン交換法により製造されたガラスプリフォームに金属酸化物薄膜を成膜し、線引きすることで得られるガラスシートは、延伸された金属粒子そのものが表面に分散されているので、ハロゲン化物を還元する工程を必要としない。
Further, a glass preform other than the glass preform in which the metal halide particles described above are dispersed may be used.
For example, in Industrial Materials Vol.52, No.12, 2004 (p102-107), Ag ions are diffused into a glass by a ion exchange method on a soda lime glass plate, and then Ag particles are precipitated by heat treatment or the like. It describes that a polarizing glass is produced by stretching this soda-lime glass plate.
In the present invention, a glass preform obtained by diffusing metal ions on a soda lime glass plate by such an ion exchange method and depositing metal particles can also be used. In addition, since the stretched metal particles themselves are dispersed on the surface of the glass sheet obtained by forming a metal oxide thin film on a glass preform manufactured by the ion exchange method and drawing, a halide is not used. No reduction process is required.

(1)金属酸化物薄膜の形成
本発明において、ガラスプリフォーム表面に形成される薄膜は、金属酸化物を含んで構成される。例えば、Li、Na、K、Mg、Ca、Zn、Al、Y、La、Ga、Bi、Ti、Zr、Nb等の金属の酸化物によって構成できる。また、本発明において金属酸化物とは、SiやB,P等のいわゆる半金属の酸化物も含有するものであり、SiOやB3,等の酸化物によって薄膜を構成してもよい。以降、本発明では、これらの金属酸化物を含んで構成される膜を金属酸化物薄膜と呼ぶこととする。
また、この金属酸化物薄膜は、有機官能基を含んでいてもよい。
(1) Formation of metal oxide thin film In this invention, the thin film formed in the glass preform surface is comprised including a metal oxide. For example, it can be composed of metal oxides such as Li, Na, K, Mg, Ca, Zn, Al, Y, La, Ga, Bi, Ti, Zr, and Nb. Further, in the present invention, the metal oxide includes so-called semi-metal oxides such as Si, B, and P, and the thin film is formed with an oxide such as SiO 2 , B 2 O 3, and P 2 O 5. It may be configured. Hereinafter, in the present invention, a film including these metal oxides is referred to as a metal oxide thin film.
The metal oxide thin film may contain an organic functional group.

また、この金属酸化物薄膜は、その原料を含むコート液をガラスプリフォーム表面に塗布または処理液内にガラスプリフォームを浸漬する液相成膜法によって成膜される。その1例として、まずゾル−ゲル法により金属酸化物を形成する方法を以下に説明する。   The metal oxide thin film is formed by a liquid phase film forming method in which a coating liquid containing the raw material is applied to the surface of the glass preform or the glass preform is immersed in the treatment liquid. As an example, a method for forming a metal oxide by a sol-gel method will be described below.

(i).ゾル−ゲル法の場合
例えばゾル−ゲル法により金属酸化物薄膜を形成する場合、コート液の原料のうち、上述のSi源としては、シリコンアルコキシド(例えばシリコンメトキシド,シリコンエトキシド,シリコンプロポキシド、それらのオリゴマーなど)またはシリコンアルコキシド誘導体(例えば、メチルトリエトキシシラン,γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン,メチルビニルジメトキシシラン,3−アミノプロピルトリエトキシシラン,N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシランなど)等を用いることができる。
また、他にもシリコーン樹脂(例えば、メチルシリコーン樹脂,フェニルシリコーン樹脂,メチルフェニルシリコーン樹脂など)または他のシリコーン化合物(例えば、イソシアネートシラン、シリコーンアセテートなど)などを挙げることができる。
(I). In the case of a sol-gel method For example, when forming a metal oxide thin film by a sol-gel method, silicon alkoxide (for example, silicon methoxide, silicon ethoxide, silicon propoxide) is used as the above-mentioned Si source among the raw materials of the coating liquid. , Oligomers thereof) or silicon alkoxide derivatives (for example, methyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, methylvinyldimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, N- (2-aminoethyl)- 3-aminopropyltriethoxysilane, etc.) can be used.
In addition, other examples include silicone resins (for example, methyl silicone resin, phenyl silicone resin, methyl phenyl silicone resin) and other silicone compounds (for example, isocyanate silane, silicone acetate, etc.).

また、その他の金属源としては、例えば対応する金属のアルコキシド、アルコキシド誘導体、キレート化合物、また、その他の有機金属化合物、硝酸塩、酢酸塩、塩化物、硫酸塩、金属そのもの等を用いることができる。
金属アルコキシドとしては、例えばチタニウムテトラ−n−ブトキシド,ジルコニウムテトラ−n−プロポキシド,ランタントリ−i−プロポキシド,イットリウムトリ−i−プロポキシド,ニオブペンタエトキシド,亜リン酸トリメチル等が挙げられる。
アルコキシド誘導体としては、例えばトリ−n−ブトキシアセチルアセトナトジルコニム,ジイソプロポキシビスエチルアセテートチタニウム等が挙げられる。
キレート化合物としては、例えばチタンテトラアセチルアセトナト,ランタントリアセチルトナト,鉛ジアセチルアセトナト等が挙げられる。
また、その他の有機金属化合物としては、例えばメタクリル酸イットリウム,メタクリル酸ジルコニウム等が挙げられる。
硝酸塩としては、例えば硝酸リチウム,硝酸ビスマス5水和物,硝酸ランタン6水和物等が挙げられる。
塩化物としては、例えば塩化ジルコニル,塩化チタニウム等が挙げられる。
硫酸塩としては、例えば硫酸ジルコニウム,硫酸チタン等が挙げられる。
As other metal sources, for example, alkoxides, alkoxide derivatives, chelate compounds of the corresponding metals, other organic metal compounds, nitrates, acetates, chlorides, sulfates, metals themselves, and the like can be used.
Examples of the metal alkoxide include titanium tetra-n-butoxide, zirconium tetra-n-propoxide, lanthanum tri-i-propoxide, yttrium tri-i-propoxide, niobium pentaethoxide, and trimethyl phosphite. .
Examples of the alkoxide derivative include tri-n-butoxyacetylacetonatozirconium, diisopropoxybisethyl acetate titanium, and the like.
Examples of the chelate compound include titanium tetraacetylacetonate, lanthanum triacetyltonato, lead diacetylacetonate and the like.
Examples of other organometallic compounds include yttrium methacrylate and zirconium methacrylate.
Examples of the nitrate include lithium nitrate, bismuth nitrate pentahydrate, lanthanum nitrate hexahydrate, and the like.
Examples of the chloride include zirconyl chloride and titanium chloride.
Examples of the sulfate include zirconium sulfate and titanium sulfate.

本発明では、これらの金属源を含むコート液を用いてゾル−ゲル法により金属酸化物薄膜を形成するものであり、コート液を調合するための有機溶媒や、触媒等は既知材料を用いてよく、また、プロペラ式攪拌機、マグネチックスターラー、自転・公転式ミキサー、超音波発振器といった公知の方法によりコート液を調合してよい。
また、コート液には、添加物として、例えば、酸化物(例えばSiO,TiO等)やフッ化物(例えばMgF,CaF等)の微粒子、有機ポリマー(例えば、ポリエチレングリコール,ヒドロキシプロピルセルロース等)等を添加してもよい。
また、コート液は、2種類以上の金属源を含むものでもよく、2種類以上の金属酸化物により金属酸化物薄膜を形成してもよい。
In the present invention, a metal oxide thin film is formed by a sol-gel method using a coating liquid containing these metal sources, and organic solvents and catalysts for preparing the coating liquid are made of known materials. In addition, the coating solution may be prepared by a known method such as a propeller stirrer, a magnetic stirrer, a rotation / revolution mixer, or an ultrasonic oscillator.
In the coating liquid, for example, oxides (eg, SiO 2 , TiO 2, etc.) and fluoride (eg, MgF 2 , CaF 2, etc.) fine particles, organic polymers (eg, polyethylene glycol, hydroxypropyl cellulose) are used as additives. Etc.) may be added.
The coating liquid may contain two or more kinds of metal sources, and may form a metal oxide thin film with two or more kinds of metal oxides.

上述のコート液をガラスプリフォーム表面に塗布し、乾燥、加熱することにより、金属酸化物薄膜を形成することができる。
コート液の塗布方法としては、例えば、ディッピング法、スピン法、スプレー法、ロールコート法、スクリーン印刷法、エアードクターコート法、ブレードコート法、ロットコート法、ビードコート法、グラビアコート法等を用いてよい。
また、ゾル−ゲル法を用いる場合には、このようにコート液の塗布により金属酸化物薄膜を形成することが可能であり、例えばスピンコート法等を用いることで、容易に大面積への塗布を行うことができる。
また、液体塗布であるため、ガラス粉末を塗布・成型する場合と比較しても非常に短時間での成膜が可能であり、低コストで簡易に金属酸化物薄膜を形成できる。
A metal oxide thin film can be formed by applying the above-mentioned coating liquid on the surface of the glass preform, drying and heating.
As the coating method of the coating liquid, for example, a dipping method, a spin method, a spray method, a roll coating method, a screen printing method, an air doctor coating method, a blade coating method, a lot coating method, a bead coating method, a gravure coating method, etc. are used. It's okay.
Further, when using the sol-gel method, it is possible to form a metal oxide thin film by coating the coating liquid in this way. For example, by using a spin coating method or the like, it can be easily applied to a large area. It can be performed.
Moreover, since it is a liquid application, the film can be formed in a very short time as compared with the case of applying and molding glass powder, and a metal oxide thin film can be easily formed at a low cost.

図1は、本発明により金属酸化物薄膜3の形成されたガラスプリフォーム1の断面を示す模式図である。
図1Aに示すように、ガラスプリフォーム1の表面は、表面の傷2の部位も含めて、ガラスを構成する金属(例えばSi,Al,B等、Mはその他の金属原子を表す)と結合した水酸基OHに覆われている。
このガラスプリフォーム1の表面に、上述のコート液を塗布すると、コート液は傷2内にも容易に浸入し、傷2はコート液によって埋められる。
例えば金属源がシリコンアルコキシドである場合、シリコンアルコキシドの加水分解により、コート液内には下記式(1)に示すようにシラノール(≡Si−OH)が生じている。

Figure 0004633195
FIG. 1 is a schematic view showing a cross section of a glass preform 1 on which a metal oxide thin film 3 is formed according to the present invention.
As shown in FIG. 1A, the surface of the glass preform 1 is bonded to the metal constituting the glass (for example, Si, Al, B, etc., M represents another metal atom) including the site of the scratch 2 on the surface. Covered with hydroxyl group OH.
When the above-described coating liquid is applied to the surface of the glass preform 1, the coating liquid easily enters the wound 2 and the scratch 2 is filled with the coating liquid.
For example, when the metal source is silicon alkoxide, silanol (≡Si—OH) is generated in the coating solution by hydrolysis of silicon alkoxide as shown in the following formula (1).
Figure 0004633195

そして、ガラスプリフォーム1表面の水酸基(≡Si−OH,=Al−OH,=B−OH等)と、コート液中の上記式1によって生じたシラノールとが脱水縮合し、下記式(2)に示すように、メタロキサン(Metaloxane)結合が生じる。特にこの場合、金属がSiであるのでシロキサン(Siloxane)結合となる。

Figure 0004633195
このように、シリコンアルコキシドの加水分解物が次々と脱水重縮合することにより、シロキサン結合が3次元的に広がり、図1Bに示すように傷2の内部が埋められる。
そして、最終的にはコート液全体が硬化し、SiOによる金属酸化物薄膜3によってガラスプリフォーム表面が被覆される。 Then, the hydroxyl group (≡Si—OH, ═Al—OH, ═B—OH, etc.) on the surface of the glass preform 1 and silanol produced by the above formula 1 in the coating solution undergo dehydration condensation, and the following formula (2) As shown, a metalloxane bond is formed. Particularly in this case, since the metal is Si, a siloxane bond is formed.
Figure 0004633195
In this way, the hydrolyzate of silicon alkoxide successively undergoes dehydration polycondensation, so that the siloxane bond spreads three-dimensionally and fills the inside of the scratch 2 as shown in FIG. 1B.
Finally, the entire coating solution is cured, and the glass preform surface is covered with the metal oxide thin film 3 made of SiO 2 .

また、例えば下記式(3)に示すように、脱水を伴わない縮合反応によりメタロキサン(シロキサン)結合を生じてもよい。

Figure 0004633195
また、その他の金属アルコキシドを金属源として用いる場合においても、同様に例えば加水分解等によって水酸基を有する加水分解物が生じ、これがガラスプリフォーム1表面の水酸基と縮合することによってメタロキサン結合が形成される。そして、重縮合により、このメタロキサン結合が3次元的に次々と形成されることで、ガラスプリフォーム1の傷を埋め、表面を金属酸化物薄膜で覆うことができる。 For example, as shown in the following formula (3), a metalloxane (siloxane) bond may be formed by a condensation reaction without dehydration.
Figure 0004633195
Similarly, when other metal alkoxide is used as the metal source, a hydrolyzate having a hydroxyl group is produced by, for example, hydrolysis, and this is condensed with the hydroxyl group on the surface of the glass preform 1 to form a metalloxane bond. . And this metalloxane bond is formed three-dimensionally one after another by polycondensation, so that the scratch of the glass preform 1 can be filled and the surface can be covered with a metal oxide thin film.

(ii)スピンオングラス法による金属酸化物の形成
また、上述のゾル−ゲル法以外にスピンオングラス法により金属酸化物薄膜を形成してもよい。スピンオングラス法により形成される薄膜には、一般に無機系のものと有機系のものとがあるが、本発明においては無機系、有機系のどちらを形成してもよい。
スピンオングラス法において用いられる無機系のコート液は、例えばシラノール(≡Si−OH)を主原料として構成される。また、クラックの発生を抑制するためにPを添加していてもよい。
また、有機系のコート液は、例えばアルキルアルコキシシラン(Rn−Si(OR)4-n, Rはメチル基、エチル基等、nは1〜3)を主原料として構成される。
これらの主原料は、例えばエタノール等の有機溶媒に溶かされている。このコート液をスピンコート法によりガラスプリフォーム表面に塗布することにより、ガラスプリフォーム表面の傷内にも容易にコート液が浸入する。そして、加熱処理を施すことによってコート液が硬化される。
(Ii) Formation of metal oxide by spin-on-glass method In addition to the sol-gel method described above, a metal oxide thin film may be formed by a spin-on-glass method. The thin film formed by the spin-on-glass method generally includes an inorganic type and an organic type. In the present invention, either an inorganic type or an organic type may be formed.
The inorganic coating liquid used in the spin-on-glass method is composed of, for example, silanol (≡Si—OH) as a main raw material. Further, P may be added to suppress the generation of cracks.
Further, an organic coating liquid, for example alkylalkoxysilanes (R n -Si (OR) 4 -n, R is a methyl group, an ethyl group, etc., n represents 1 to 3) configured as a main raw material.
These main raw materials are dissolved in an organic solvent such as ethanol. By applying this coating solution onto the surface of the glass preform by a spin coating method, the coating solution easily penetrates into the scratches on the surface of the glass preform. And a coating liquid is hardened by heat-processing.

この場合においても、コート液中のシラノール基と、ガラスプリフォーム表面の水酸基が互いに縮合反応を起こすことにより、ガラスプリフォーム表面がSiOによって覆われる。そして、メタロキサン(シロキサン)結合が3次元的に広がることにより、傷を埋めることができる。
また、有機系のコート液を用いる場合には、Si−R基のようにSiOの三次元構造において周囲と結合しない箇所が存在するため、ここで応力が吸収されることによりガラスプリフォームの損傷が抑制される。
Also in this case, the glass preform surface is covered with SiO 2 by causing a condensation reaction between the silanol group in the coating liquid and the hydroxyl group on the glass preform surface. And a metalloxane (siloxane) bond spreads three-dimensionally, so that a flaw can be filled.
Further, when an organic coating solution is used, there are places that do not bond to the surroundings in the three-dimensional structure of SiO 2 such as Si—R groups. Damage is suppressed.

(iii)LPD法による金属酸化物薄膜の形成
LPD(液相析出)法は、金属フルオロ錯体の配位子置換(加水分解)平衡反応を利用した薄膜の形成方法である。この手法では、処理液中での自己析出・成長型の成膜反応により、処理液中にガラスプリフォームを浸漬するだけで、ガラスプリフォーム表面に金属酸化物薄膜を形成することができる。
(Iii) Formation of Metal Oxide Thin Film by LPD Method The LPD (liquid phase precipitation) method is a method for forming a thin film using a ligand substitution (hydrolysis) equilibrium reaction of a metal fluoro complex. In this method, a metal oxide thin film can be formed on the surface of the glass preform simply by immersing the glass preform in the treatment liquid by a self-deposition / growth type film formation reaction in the treatment liquid.

1例として、ガラスプリフォーム表面にSiO膜を形成する場合を挙げる。
処理液としては、例えば珪フッ化水素酸に二酸化珪素を飽和させたものを用いる。この処理液中では、下記式(4)に示す平衡が生じていると考えられる。

Figure 0004633195
この溶液中に反応開始剤として例えばホウ酸を加えると、下記式5に示すように、ホウ酸がフッ化水素と優先的に反応して安定したホウフッ化物となり、式4における反応が右に進む。
Figure 0004633195
これにより生じた上記式(4)中におけるシラノール基が、ガラスプリフォーム表面の水酸基と上述の式(2)に示した縮合反応を起こすことにより、シロキサン結合が生じ、ガラスプリフォーム表面にSiOが析出する。そして、このシロキサン結合が3次元的に広がっていくことにより、ガラスプリフォーム表面の傷がSiOによって埋められる。 As an example, a case where an SiO 2 film is formed on the surface of a glass preform will be given.
As the treatment liquid, for example, a hydrofluoric acid saturated with silicon dioxide is used. In this processing solution, it is considered that the equilibrium shown in the following formula (4) has occurred.
Figure 0004633195
When boric acid, for example, is added to the solution as a reaction initiator, boric acid reacts preferentially with hydrogen fluoride to become a stable borofluoride as shown in the following formula 5, and the reaction in formula 4 proceeds to the right. .
Figure 0004633195
The silanol group in the above formula (4) generated thereby causes the condensation reaction shown in the above formula (2) with the hydroxyl group on the surface of the glass preform, whereby a siloxane bond is generated and SiO 2 is formed on the surface of the glass preform. Precipitates. Then, the scratches on the surface of the glass preform are filled with SiO 2 by spreading the siloxane bond three-dimensionally.

LPD法を用いる場合には、例えば35℃〜40℃といった低温でガラスプリフォーム表面に金属酸化物薄膜を形成でき、成膜後の熱処理を必要としないことから工程の簡易化が図れる。また、LPD法では、上記式(4)のようにHFが生じるが、直ちにホウ酸イオンと反応して安定なBF が生成されるため、実際にはほとんどHFは存在しない。従って、環境や人体に対する影響を従来と比較して著しく低減することが可能である。 When the LPD method is used, the metal oxide thin film can be formed on the surface of the glass preform at a low temperature such as 35 ° C. to 40 ° C., and the heat treatment after the film formation is not required, so that the process can be simplified. In the LPD method, HF is generated as in the above formula (4). However, since it reacts immediately with borate ions to generate stable BF 4 , practically there is almost no HF. Therefore, the influence on the environment and the human body can be significantly reduced as compared with the conventional case.

また、ここでは、SiOによってガラスプリフォーム表面を被覆する場合を挙げたが、他にもTiO,FeOOH,V,ZrO,SnO,ZnO,Nb、Ta等の他の金属酸化物を形成することも可能である。
また、例えばTiO2−SiO2,TiSn1−x,TiO−Fe3,ZrO−La等の複数の金属の酸化物によりガラスプリフォーム表面を被膜することもできる。
Further, here, has been given a case of coating the glass preform surface by SiO 2, TiO 2 are other, FeOOH, V 2 O 5, ZrO 2, SnO 2, ZnO, Nb 2 O 5, Ta 2 O It is also possible to form other metal oxides such as 5 .
Further, the glass preform surface can also be coated, for example, by TiO2-SiO2, Ti x Sn 1 -x O 2, TiO 2 -Fe 2 O 3, oxides of a plurality of metals such as ZrO 2 -La 2 O 3 .

このように、本発明では、液相成膜法によりガラスプリフォーム表面に金属酸化物を形成するため、コート液や処理液等をガラスプリフォーム表面の傷内に浸入させることができる。このため、ガラスプリフォーム表面の傷を金属酸化物によって容易に埋めることが可能である。
また、この方法では、従来のようにガラスプリフォーム表面をエッチングする必要が無いため、フッ酸を用いることが無い。このため、作業者の安全性がより向上されるとともに、環境への負荷も低減される。
また、この金属酸化物薄膜は、メタロキサン結合によりガラスプリフォーム表面と結合しているため、ガラスプリフォームをより強固に保護することができる。このため、本発明では、ガラスプリフォーム表面の傷の深さにもよるが、金属酸化物薄膜の厚さは10μm以下と薄くすることが可能である。この膜厚は、例えば1nm〜5μmであることが好ましく、また、膜厚が10nm〜2μmとすることが更に好ましい。このように、本発明では、非常に薄い金属酸化物薄膜であっても、ガラスプリフォームの破断を十分に抑制することができる。
Thus, in the present invention, since the metal oxide is formed on the surface of the glass preform by the liquid phase film forming method, the coating liquid, the treatment liquid, and the like can be infiltrated into the scratches on the surface of the glass preform. For this reason, it is possible to easily fill the scratches on the surface of the glass preform with the metal oxide.
Further, in this method, since it is not necessary to etch the glass preform surface as in the prior art, hydrofluoric acid is not used. For this reason, the safety of the worker is further improved and the load on the environment is also reduced.
Moreover, since this metal oxide thin film is couple | bonded with the glass preform surface by the metalloxane coupling | bonding, it can protect a glass preform more firmly. For this reason, in the present invention, the thickness of the metal oxide thin film can be reduced to 10 μm or less, although it depends on the depth of the scratch on the surface of the glass preform. The film thickness is preferably 1 nm to 5 μm, for example, and more preferably 10 nm to 2 μm. Thus, in the present invention, even a very thin metal oxide thin film can sufficiently suppress the breakage of the glass preform.

(2)線引き工程
上述の方法により金属酸化物薄膜の形成されたガラスプリフォームは、線引き工程において延伸される。図2は、線引き工程によりガラスプリフォーム4を延伸する様子を示す模式図である。
ガラスプリフォーム4は、例えば固定治具6を介して送り装置5に保持され、図2中下方に移動可能とされている。また、ガラスプリフォーム4は、蓋10に設けられた挿入孔12を通して加熱炉7内に挿通され、固定治具6によってその姿勢が固定される。蓋10を配設することにより、ガラスプリフォーム4の急激な温度上昇による破損や、過熱炉7内の熱の放出が抑制される。
(2) Drawing process The glass preform in which the metal oxide thin film is formed by the method described above is stretched in the drawing process. FIG. 2 is a schematic diagram showing a state in which the glass preform 4 is stretched by a drawing process.
The glass preform 4 is held by the feeding device 5 via, for example, a fixing jig 6 and can move downward in FIG. Further, the glass preform 4 is inserted into the heating furnace 7 through the insertion hole 12 provided in the lid 10, and its posture is fixed by the fixing jig 6. By disposing the lid 10, breakage due to a rapid temperature rise of the glass preform 4 and release of heat in the superheating furnace 7 are suppressed.

また、加熱炉7の排出孔13付近には、発熱部11が配設されており、ガラスプリフォーム4が加熱されて軟化する。そして、軟化したガラスプリフォーム4は引っ張り装置8によって引っ張られることによって排出孔13から排出され、伸張した金属ハロゲン化物粒子または金属粒子が分散したガラスシート9が得られる。
尚、この加熱炉7は、図示しない温度調整装置によって発熱部11の温度調整を行うことが可能であり、この温度調整によって加熱炉7内のガラスプリフォーム4の粘性を調節することができる。
また、延伸された金属ハロゲン化物粒子または金属粒子のアスペクト比は、送り装置5によるガラスプリフォーム4の送り速度と、引っ張り装置8の引っ張り速度及び張力を調整することにより、所望の値とすることが可能である。
Further, a heat generating portion 11 is disposed in the vicinity of the discharge hole 13 of the heating furnace 7, and the glass preform 4 is heated and softened. And the softened glass preform 4 is discharged | emitted from the discharge hole 13 by being pulled by the tension | pulling apparatus 8, and the glass sheet 9 in which the extended metal halide particle | grains or the metal particle was disperse | distributed is obtained.
In addition, this heating furnace 7 can adjust the temperature of the heat generating part 11 by a temperature adjusting device (not shown), and the viscosity of the glass preform 4 in the heating furnace 7 can be adjusted by this temperature adjustment.
Further, the aspect ratio of the stretched metal halide particles or metal particles is set to a desired value by adjusting the feeding speed of the glass preform 4 by the feeding device 5 and the pulling speed and tension of the pulling device 8. Is possible.

金属ハロゲン化物粒子が分散されたプリフォームの線引き工程では、線引きして得られるガラスの厚みを1mm以下とすることで、線引きして得られるガラスを特に効率良く冷却でき、伸長した金属ハロゲン化物粒子の再球状化を防止することが可能である。
また、こうした線引き工程としては、例えば上記特許文献2や、特開平8−231241に記載された方法を用いることができる。
また、イオン交換法等により金属粒子が分散されたガラスプリフォームの線引き工程では、金属粒子が延伸されて異方性形状となることにより、偏光特性を発現する。この種類の偏光ガラスは通常金属粒子含有層が数μmと薄い為、線引き後ガラスシートの表面を研削・研磨せずに、所定のサイズに切断するだけで、偏光ガラスとして供される。
したがって、後述の研磨工程と、還元工程は、金属ハロゲン化物粒子が分散されたガラスプリフォームを線引きしたガラスシートに施される。
In the drawing process of the preform in which the metal halide particles are dispersed, the glass obtained by drawing can be cooled particularly efficiently by setting the thickness of the glass obtained by drawing to 1 mm or less, and the elongated metal halide particles. It is possible to prevent re-spheroidization.
Moreover, as such a drawing process, the method described in the said patent document 2 and Unexamined-Japanese-Patent No. 8-231241 can be used, for example.
Moreover, in the drawing process of the glass preform in which the metal particles are dispersed by an ion exchange method or the like, the metal particles are stretched to become an anisotropic shape, thereby exhibiting polarization characteristics. Since this type of polarizing glass usually has a metal particle-containing layer as thin as several μm, it is provided as a polarizing glass simply by cutting it to a predetermined size without grinding and polishing the surface of the glass sheet after drawing.
Therefore, the polishing process and the reduction process described later are performed on a glass sheet obtained by drawing a glass preform in which metal halide particles are dispersed.

(3)外形加工・研磨工程
線引き工程により延伸されて形成されたガラスシートは、一般的には所定の形状とするために例えば11mm角に切断、0.2mm厚程度に研削、もしくはラッピング等の外形加工を施され、また厚みを揃えるために表面の研磨が行われる。
また、研磨時においては、ガラスシートの表面平滑性を高めるために光学研磨を施しておくことが好ましい。例えばポリッシングにて、片面を数μmから数十μm程度研磨することにより、ガラスシート表面を光学面とすることが可能である。
また、本発明では、この外形加工・研磨工程において、ガラスシート表面の金属酸化物薄膜が除去される。したがって、上述の液相成膜法により形成された金属酸化物薄膜は、完成した偏光ガラス上には残らない。このため、本発明において形成される金属酸化物薄膜は、例えば光の透過率等の光学的特性により材料種が限定されるものではなく、液相成膜法によりガラスプリフォーム表面の傷を埋めるものであれば各種材料を適用することが可能である。
(3) Outline processing / polishing process Generally, a glass sheet formed by drawing in a drawing process is cut into, for example, an 11 mm square, ground to a thickness of about 0.2 mm, or lapped in order to obtain a predetermined shape. The outer shape is processed, and the surface is polished to make the thickness uniform.
In polishing, it is preferable to perform optical polishing in order to improve the surface smoothness of the glass sheet. For example, by polishing one surface of several μm to several tens of μm by polishing, the glass sheet surface can be made an optical surface.
In the present invention, the metal oxide thin film on the surface of the glass sheet is removed in the outer shape processing / polishing step. Therefore, the metal oxide thin film formed by the above liquid phase film forming method does not remain on the completed polarizing glass. For this reason, the metal oxide thin film formed in the present invention is not limited in material type by optical characteristics such as light transmittance, and fills scratches on the surface of the glass preform by a liquid phase film forming method. Any material can be used as long as it is.

(4)還元工程
外形工程・研磨工程を経たガラスシートは、次いで還元処理される。これにより、ガラスシート中の金属ハロゲン化物粒子の一部又は全部が金属粒子となる。
この還元処理は、例えば、ガラスシートを還元性のガス雰囲気中で熱処理することで行うことができる。還元性のガスとしては、例えば水素ガスやCO−COガス等を挙げることができる。還元の条件は、還元すべき金属ハロゲン化物の種類により異なる。但し、還元の温度が高すぎると還元して得られる金属粒子が再球状化する。したがって還元温度は、還元して得られる金属粒子が再球状化しない範囲で決められる。例えば、ハロゲン化銅の場合、約350〜550℃であることが適当である。
また、還元の時間は、還元温度及び還元の程度を勘案して適宜決めることができる。通常、30分間〜10時間の範囲で行うことができる。
この還元工程により、ガラスシートは偏光機能を有した偏光ガラスとなる。
(4) Reduction process The glass sheet that has undergone the outer shape process and the polishing process is then reduced. Thereby, a part or all of the metal halide particles in the glass sheet become metal particles.
This reduction treatment can be performed, for example, by heat-treating the glass sheet in a reducing gas atmosphere. Examples of the reducing gas include hydrogen gas and CO—CO 2 gas. The reduction conditions vary depending on the type of metal halide to be reduced. However, if the reduction temperature is too high, the metal particles obtained by reduction will be re-sphericalized. Therefore, the reduction temperature is determined within a range in which the metal particles obtained by reduction do not re-sphericalize. For example, in the case of copper halide, it is appropriate that the temperature is about 350 to 550 ° C.
The reduction time can be appropriately determined in consideration of the reduction temperature and the degree of reduction. Usually, it can be performed in a range of 30 minutes to 10 hours.
By this reduction step, the glass sheet becomes a polarizing glass having a polarizing function.

2.実施例
以下に、本発明による偏光ガラスの製造方法の実施例について説明する。
<実施例1:ゾル−ゲル法によるSiO膜の形成>
(1)ガラスプリフォームの作製
SiO(59.5wt%),AlF(2.0wt%),Al(6.7wt%),B(20.3wt%),NaO(9.6wt%),NaCl(1.0wt%),CuCl(0.8wt%),SnO(0.1wt%)の調合組成(酸化物・塩化物換算)からなるガラスを、容量5Lの白金ルツボにて1410℃で溶解した。
また、溶解したガラスを鋳型に流し込み、470℃で保持・徐冷してガラスブロックを作製した。次いでこのガラスブロックを適当な大きさに切り出し、715℃で5時間の熱処理を行った。これにより、平均粒径約90nmの塩化銅粒子が内部に分散されたガラスを得た。
このガラスを所定形状に外形加工して、研削・研磨加工することにより、幅100mm×長さ300mm×厚さ4.5mmの四角平板状のガラスプリフォームを作製した。
2. Example Below, the Example of the manufacturing method of the polarizing glass by this invention is described.
<Example 1: Sol - Formation of SiO 2 film by Gel Method>
(1) Production of glass preform SiO 2 (59.5 wt%), AlF 3 (2.0 wt%), Al 2 O 3 (6.7 wt%), B 2 O 3 (20.3 wt%), Na 2 A glass having a composition of O (9.6 wt%), NaCl (1.0 wt%), CuCl (0.8 wt%), SnO (0.1 wt%) (in oxide / chloride conversion) having a capacity of 5 L It melt | dissolved at 1410 degreeC with the platinum crucible.
Moreover, the melted glass was poured into a mold and kept at 470 ° C. and gradually cooled to prepare a glass block. Next, this glass block was cut into an appropriate size and heat-treated at 715 ° C. for 5 hours. As a result, glass in which copper chloride particles having an average particle diameter of about 90 nm were dispersed was obtained.
The glass was shaped into a predetermined shape and ground and polished to produce a square plate-like glass preform having a width of 100 mm, a length of 300 mm, and a thickness of 4.5 mm.

(2)コート液の作製
撹拌下のテトラエトキシシラン{Si(OC,エチルシリケート28,純度:99%,コルコート株式会社製,TEOSと略記}2627gとエタノール1.75kgの混合液に、0.15M塩酸水溶液225gとエタノール1.75kgの混合液を加え、1時間撹拌し、テトラエトキシシランを加水分解させた。
この溶液を、撹拌しながら、0.15M塩酸水溶液900gおよびイソプロパノール17.75kgの混合液に加え、更に5時間撹拌して加水分解と希釈を行い、薄膜コート液25kgを製造した。このコート液から得られる薄膜の仕込み組成は、SiO100wt%で、コート液中の固形分(熱処理し完全に酸化したと仮定して)は、3.0wt%である。コート液は、無色透明であった。
(2) Preparation of coating liquid Mixture of tetraethoxysilane {Si (OC 2 H 5 ) 4 , ethyl silicate 28, purity: 99%, abbreviated to TEOS, abbreviated as TEOS} 2627 g and ethanol 1.75 kg under stirring A mixture of 225 g of a 0.15 M hydrochloric acid aqueous solution and 1.75 kg of ethanol was added to the mixture, and the mixture was stirred for 1 hour to hydrolyze tetraethoxysilane.
While stirring, this solution was added to a mixed solution of 900 g of 0.15 M hydrochloric acid aqueous solution and 17.75 kg of isopropanol, and further stirred for 5 hours for hydrolysis and dilution to produce 25 kg of a thin film coating solution. The charged composition of the thin film obtained from this coating liquid is 100 wt% of SiO 2 , and the solid content in the coating liquid (assuming that it is completely oxidized by heat treatment) is 3.0 wt%. The coating solution was colorless and transparent.

(3)コート液の塗布
このコート液を、上述のガラスプリフォームに、引き上げ速度V=30cm/分のディッピング法(以下引き上げ速度を‘V’とする)により塗布した。得られた薄膜は、無色透明で均質であった。この薄膜付きガラスプリフォームを100℃で30分乾燥した後、熱処理炉に入れ500℃まで200℃/時で昇温し、500℃で1時間保持した。熱処理後の薄膜の厚みは、0.18μmであり、熱処理後の薄膜もまた、無色透明で均質であった。
(3) Application of coating liquid This coating liquid was applied to the above glass preform by a dipping method (hereinafter referred to as “V”) with a pulling speed V = 30 cm / min. The obtained thin film was colorless and transparent and homogeneous. This glass preform with a thin film was dried at 100 ° C. for 30 minutes, then placed in a heat treatment furnace, heated to 500 ° C. at 200 ° C./hour, and held at 500 ° C. for 1 hour. The thickness of the thin film after the heat treatment was 0.18 μm, and the thin film after the heat treatment was also colorless and transparent and homogeneous.

(4)線引き工程
上述のコート液を塗布したガラスプリフォームを、図2に示した加熱炉7にセットし、720℃で30分間保持した。予めガラスプリフォーム下端には針金を巻きつけておき、炉内温度が安定した後、針金に荷重をかけ、ガラスの伸長を開始した。
そして、線引きによりテープ状になったガラスシートを、引っ張り装置8の駆動ローラーに鋏み、加熱炉内の温度を650℃に再設定した。
次いで、徐々に送り装置5と駆動ローラーの回転速度を上げ、設定張力27Kgに対して実測張力が追随するように、加熱炉の温度を微調整しながら線引きを行い、最後まで破断せずに線引きを終えた。
これにより、ガラスの断面サイズがおよそ幅17mm×厚さ0.6mmのテープ状のガラスシートを得た。すなわち、線引きの張力は、265Kgf/cm(26.0MPa)かかっていたことになる。
(4) Drawing process The glass preform which apply | coated the above-mentioned coating liquid was set to the heating furnace 7 shown in FIG. 2, and it hold | maintained at 720 degreeC for 30 minutes. A wire was wound around the lower end of the glass preform in advance, and after the furnace temperature was stabilized, a load was applied to the wire to start the elongation of the glass.
And the glass sheet which became tape shape by drawing was squeezed in the drive roller of the tension | pulling apparatus 8, and the temperature in a heating furnace was reset to 650 degreeC.
Next, gradually increase the rotation speed of the feeding device 5 and the driving roller, and draw the wire while finely adjusting the temperature of the heating furnace so that the measured tension follows the set tension of 27 kg, and draw the wire without breaking until the end. Finished.
Thus, a tape-like glass sheet having a glass cross-sectional size of approximately 17 mm wide and 0.6 mm thick was obtained. That is, the drawing tension was 265 kgf / cm 2 (26.0 MPa).

(5)外形加工・研磨工程及び還元工程
得られたテープ状のガラスシートを所定の長さに切断後0.2mm厚に研削・研磨し、1気圧の水素ガス雰囲気中において430℃で6時間熱処理した。これにより、ガラスシートの厚さ方向に両表面から約40μmずつの深さで塩化銅粒子を還元し、偏光ガラスを作製した。得られた偏光ガラスの消光比は、偏光ガラスと検出器の距離300mm、波長1.55μmmにおいて55dBであった。
(5) Outline processing / polishing step and reduction step The obtained tape-shaped glass sheet is cut to a predetermined length, and then ground and polished to a thickness of 0.2 mm, and in an atmosphere of hydrogen gas at 1 atmosphere at 430 ° C. for 6 hours Heat treated. Thereby, the copper chloride particles were reduced at a depth of about 40 μm from both surfaces in the thickness direction of the glass sheet to produce a polarizing glass. The extinction ratio of the obtained polarizing glass was 55 dB when the distance between the polarizing glass and the detector was 300 mm and the wavelength was 1.55 μmm.

<実施例2:ゾル−ゲル法による有機含有SiO膜の形成>
テトラエトキシシラン(実施例1と同原料)1751gとエタノール1.50kgの混合液を撹拌しながら、0.15M塩酸水溶液150gを徐々に加え、2時間撹拌し、テトラエトキシシランを加水分解させた。
この加水分解した溶液に、メチルトリエトキシシラン{CHSi(OC,LS−1890,純度:99%,信越化学工業株式会社製,MTESと略記}1499gを加えて1時間撹拌した。
<Example 2: Sol - Formation of organic-containing SiO 2 film by Gel Method>
While stirring a mixed solution of 1751 g of tetraethoxysilane (same raw material as in Example 1) and 1.50 kg of ethanol, 150 g of 0.15 M hydrochloric acid aqueous solution was gradually added and stirred for 2 hours to hydrolyze tetraethoxysilane.
To this hydrolyzed solution, 1499 g of methyltriethoxysilane {CH 3 Si (OC 2 H 5 ) 3 , LS-1890, purity: 99%, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., abbreviated as MTES} is added and stirred for 1 hour. did.

この溶液を、撹拌下の0.15M塩酸水溶液1200gおよびイソプロパノール18.90kgの混合液に加え、更に4時間撹拌して加水分解と希釈を行い、薄膜コート液25kgを製造した。
このコート液から得られる薄膜の仕込み組成は、SiO100wt%(テトラエトキシシランを原料とするSiO:50%、メチルトリエトキシシランを原料とするSiO:50%)で、コート液中の固形分は、4.0wt%である。コート液は、無色透明であった。
This solution was added to a mixed solution of 1200 g of 0.15 M hydrochloric acid aqueous solution and 18.90 kg of isopropanol under stirring, and further stirred for 4 hours for hydrolysis and dilution to produce 25 kg of a thin film coating solution.
The composition of the thin film obtained from this coating solution is 100 wt% SiO 2 (SiO 2 : 50% using tetraethoxysilane as a raw material, SiO 2 : 50% using methyltriethoxysilane as a raw material). The solid content is 4.0 wt%. The coating solution was colorless and transparent.

このコート液を、実施例1と同様にして作製したガラスプリフォーム(幅100mm×長さ300mm×厚み4.5mm)に、V=25cm/分の速度で塗布した。得られた薄膜は、無色透明で均質であった。
この薄膜付きガラスプリフォームを100℃で30分乾燥した後、熱処理炉に入れ450℃まで200℃/時で昇温し、450℃で30分間保持した。熱処理後の薄膜の厚みは、0.20μmであり、熱処理後の薄膜もまた、無色透明で均質であった。
そして、このガラスプリフォームを実施例1と同様にして線引き工程、外形加工・研磨工程、及び還元工程にかけることにより、線引き工程の途中で破断することなく偏光ガラスを作製した。
This coating solution was applied to a glass preform (width 100 mm × length 300 mm × thickness 4.5 mm) produced in the same manner as in Example 1 at a speed of V = 25 cm / min. The obtained thin film was colorless and transparent and homogeneous.
This glass preform with a thin film was dried at 100 ° C. for 30 minutes, then placed in a heat treatment furnace, heated to 450 ° C. at 200 ° C./hour, and held at 450 ° C. for 30 minutes. The thickness of the thin film after the heat treatment was 0.20 μm, and the thin film after the heat treatment was also colorless and transparent and homogeneous.
Then, the glass preform was subjected to a drawing process, an outer shape processing / polishing process, and a reduction process in the same manner as in Example 1 to produce a polarizing glass without breaking during the drawing process.

<実施例3:ゾル−ゲル法を用いた2種金属による酸化物膜の形成>
テトラエトキシシラン(実施例1と同原料)3635gとイソプロパノール3.00kgの混合液を撹拌しながら、0.15M塩酸水溶液311gを徐々に加え、3時間撹拌して、テトラエトキシシランを加水分解させた。
この加水分解した溶液に、トリ−n−ブチルボラート{B(OC49,純度:98%,関東化学株式会社製}1432gを添加し、一晩加熱還流した。
<Example 3: Formation of oxide film by two kinds of metals using sol-gel method>
While stirring a mixture of 3635 g of tetraethoxysilane (same raw material as in Example 1) and 3.00 kg of isopropanol, 311 g of 0.15M hydrochloric acid aqueous solution was gradually added and stirred for 3 hours to hydrolyze tetraethoxysilane. .
To this hydrolyzed solution, 1432 g of tri-n-butyl borate {B (OC 4 H 9 ) 3 , purity: 98%, manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd.} was added and heated to reflux overnight.

この溶液を室温まで冷却した後、撹拌下の0.15M塩酸水溶液1904gおよびイソプロパノール14.72kgの混合液に加え、更に2時間撹拌することにより、薄膜コート液25kgを製造した。このコート液から得られる薄膜の仕込み組成は、B17wt%、SiO83wt%で、コート液中の固形分は、5.0wt%である。コート液は、無色透明であった。
このコート液を、実施例1と同様にして作製したガラスプリフォーム(幅100mm×長さ300mm×厚み4.5mm)に、ディップ法を用いてV=25cm/分の速度で塗布した。得られた薄膜は、無色透明で均質であった。この薄膜付きガラスプリフォームを100℃で30分乾燥した後、熱処理炉に入れ500℃まで150℃/時で昇温し、500℃で30分間保持した。熱処熱処理後の薄膜の厚みは、0.14μmであり、熱処理後の薄膜もまた、無色透明で均質であった。
そして、このB−SiO薄膜の形成されたガラスプリフォームを、実施例1と同様にして線引き工程、外形加工・研磨工程及び還元工程にかけ、偏光ガラスを作製した。なお、本実施例においても、線引き時においてガラスプリフォームの破断が生じることはなかった。
After this solution was cooled to room temperature, it was added to a mixed solution of 1904 g of 0.15M hydrochloric acid aqueous solution and 14.72 kg of isopropanol under stirring, and further stirred for 2 hours to produce 25 kg of a thin film coating solution. The charged composition of the thin film obtained from this coating solution is 17 wt% B 2 O 3 and 83 wt% SiO 2 , and the solid content in the coating solution is 5.0 wt%. The coating solution was colorless and transparent.
This coating solution was applied to a glass preform (width 100 mm × length 300 mm × thickness 4.5 mm) produced in the same manner as in Example 1 at a speed of V = 25 cm / min using the dipping method. The obtained thin film was colorless and transparent and homogeneous. The glass preform with a thin film was dried at 100 ° C. for 30 minutes, then placed in a heat treatment furnace, heated to 500 ° C. at 150 ° C./hour, and held at 500 ° C. for 30 minutes. The thickness of the thin film after the heat treatment was 0.14 μm, and the thin film after the heat treatment was also colorless and transparent and homogeneous.
Then, the glass preform on which the B 2 O 3 —SiO 2 thin film was formed was subjected to a drawing process, an outer shape processing / polishing process, and a reduction process in the same manner as in Example 1 to produce a polarizing glass. In this example as well, the glass preform did not break during drawing.

<実施例4:実施例3において、熱処理を省いた場合>
実施例1と同様にして作製したガラスプリフォーム(幅100mm×長さ300mm×厚み4.5mm)に、実施例3のコート液をディップ法によりV=25cm/分の速度で塗布し、100℃で30分間乾燥させた。得られたSiO薄膜の厚みは、0.30μmであった。
このようにしてガラスプリフォーム表面に金属酸化物薄膜を形成したこと以外は、実施例1と同様の工程をとり、線引き工程の途中で破断を生じること無く偏光ガラスを作製した。
<Example 4: When heat treatment is omitted in Example 3>
The coating liquid of Example 3 was applied to a glass preform (width 100 mm × length 300 mm × thickness 4.5 mm) produced in the same manner as in Example 1 at a rate of V = 25 cm / min by the dipping method, and 100 ° C. For 30 minutes. The thickness of the obtained SiO 2 thin film was 0.30 μm.
In this way, except that the metal oxide thin film was formed on the surface of the glass preform, the same steps as in Example 1 were taken, and a polarizing glass was produced without causing breakage during the drawing step.

<実施例5:ゾル−ゲル法を用いた3種金属による酸化物膜の形成>
テトラエトキシシラン(実施例1と同原料)3564gとイソプロパノール3.00kgの混合液を撹拌しながら、0.15M硝酸水溶液305gを徐々に加え、3時間撹拌して、テトラエトキシシランを加水分解させた。
この加水分解した溶液を撹拌しながら、チタニウムテトラ−n−ブトキシド{Ti(OC49,純度:99.5%,日本曹達株式会社製}724gと硝酸リチウム(LiNO)292gをメタノール(CHOH)4.00kgに溶解させた溶液を添加し、2時間撹拌した。
この溶液を、撹拌下の0.15M硝酸水溶液1373gおよびイソプロパノール11.74kgの混合液に加え、更に3時間撹拌することにより、薄膜コート液25kgを製造した。このコート液から得られる薄膜の仕込み組成は、Liwt%、TiO14wt%、SiO81wt%で、コート液中の固形分は、5.0wt%である。コート液は、無色透明であった。
<Example 5: Formation of oxide film by three kinds of metals using sol-gel method>
While stirring a mixed liquid of 3564 g of tetraethoxysilane (same raw material as in Example 1) and 3.00 kg of isopropanol, 305 g of a 0.15 M nitric acid aqueous solution was gradually added and stirred for 3 hours to hydrolyze tetraethoxysilane. .
While stirring the hydrolyzed solution, 724 g of titanium tetra-n-butoxide {Ti (OC 4 H 9 ) 4 , purity: 99.5%, manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.} and 292 g of lithium nitrate (LiNO 3 ) were added to methanol. A solution dissolved in 4.00 kg of (CH 3 OH) was added and stirred for 2 hours.
This solution was added to a mixed solution of 1373 g of a 0.15 M nitric acid aqueous solution and 11.74 kg of isopropanol under stirring, and further stirred for 3 hours to produce 25 kg of a thin film coating solution. The charged composition of the thin film obtained from this coating solution is Li 2 O 5 wt%, TiO 2 14 wt%, and SiO 2 81 wt%, and the solid content in the coating solution is 5.0 wt%. The coating solution was colorless and transparent.

このコート液を、実施例1と同様にして作製したガラスプリフォーム(幅100mm×長さ300mm×厚み4.5mm)に、V=20cm/分の速度で塗布した。得られた薄膜は、無色透明で均質であった。この薄膜付きガラスプリフォームを120℃で1時間乾燥した後、熱処理炉に入れ500℃まで200℃/時で昇温し、500℃で1時間保持した。熱処熱処理後のLi−TiO−SiO薄膜の厚みは、0.15μmであり、熱処理後の薄膜もまた、無色透明で均質であった。
そして、この3種の金属酸化物による被膜が形成されたガラスプリフォームを、実施例1と同様にして線引き工程、外形加工・研磨工程、及び還元工程にかけ、線引き工程の途中で破断を生じること無く偏光ガラスを作製した。
This coating solution was applied to a glass preform (width 100 mm × length 300 mm × thickness 4.5 mm) produced in the same manner as in Example 1 at a speed of V = 20 cm / min. The obtained thin film was colorless and transparent and homogeneous. The glass preform with a thin film was dried at 120 ° C. for 1 hour, then placed in a heat treatment furnace, heated to 500 ° C. at 200 ° C./hour, and held at 500 ° C. for 1 hour. The thickness of the Li 2 O 5 —TiO 2 —SiO 2 thin film after the heat treatment heat treatment was 0.15 μm, and the thin film after the heat treatment was also colorless and transparent and homogeneous.
Then, the glass preform formed with the coating of these three kinds of metal oxides is subjected to a drawing process, an outer shape processing / polishing process, and a reduction process in the same manner as in Example 1, and breakage occurs during the drawing process. A polarizing glass was prepared.

<実施例6:ゾル−ゲル法によるZrO膜の形成>
撹拌下のアセト酢酸エチル2640gと2−エトキシエタノール1828gとイソプロパノール7.5kgの混合液に、ジルコニウムテトラ−n−プロポキシド{Zr(OC37,純度74.5%,日本曹達株式会社製}4461gを加えて、2時間撹拌させた。
この溶液を撹拌しながら、0.15M硝酸水溶液366gとイソプロパノール8.20kgの混合液を加え、一晩撹拌することにより薄膜コート液25kgを製造した。このコート液から得られる薄膜の仕込み組成は、ZrO100wt%で、コート液中の固形分は、5.0wt%である。コート液は、薄黄色透明であった。
<Example 6: Sol - Formation of ZrO 2 film by Gel Method>
In a mixed solution of 2640 g of ethyl acetoacetate, 1828 g of 2-ethoxyethanol and 7.5 kg of isopropanol under stirring, zirconium tetra-n-propoxide {Zr (OC 3 H 7 ) 4 , purity 74.5%, Nippon Soda Co., Ltd. 4461 g made} was added and allowed to stir for 2 hours.
While this solution was stirred, a mixed solution of 366 g of 0.15 M nitric acid aqueous solution and 8.20 kg of isopropanol was added and stirred overnight to produce 25 kg of a thin film coating solution. The composition of the thin film obtained from this coating solution is ZrO 2 100 wt%, and the solid content in the coating solution is 5.0 wt%. The coating solution was light yellow and transparent.

このコート液を、実施例1と同様にして作製したガラスプリフォーム(幅100mm×長さ300mm×厚み4.5mm)に、ディップ法を用いてV=11cm/分の速度で塗布した。得られた薄膜は、無色透明で均質であった。この薄膜付きガラスプリフォームを100℃で1時間乾燥した後、熱処理炉に入れ500℃まで200℃/時で昇温し、500℃で30分間保持した。熱処熱処理後のZrO薄膜の厚みは、0.12μmであり、金属光沢があった。
そして、このガラスプリフォームを実施例1と同様にして線引き工程、外形加工・研磨工程、及び還元工程にかけ、線引き工程の途中で破断を生じること無く偏光ガラスを作製した。
This coating solution was applied to a glass preform (width 100 mm × length 300 mm × thickness 4.5 mm) produced in the same manner as in Example 1 at a speed of V = 11 cm / min using the dipping method. The obtained thin film was colorless and transparent and homogeneous. The glass preform with a thin film was dried at 100 ° C. for 1 hour, then placed in a heat treatment furnace, heated to 500 ° C. at 200 ° C./hour, and held at 500 ° C. for 30 minutes. The thickness of the ZrO 2 thin film after the heat treatment heat treatment was 0.12 μm and had a metallic luster.
Then, the glass preform was subjected to a drawing step, an outer shape processing / polishing step, and a reduction step in the same manner as in Example 1 to produce a polarizing glass without causing breakage during the drawing step.

<実施例7:シリコーン樹脂を用いたSiO膜の形成>
酢酸イソブチル11.8kgとイソプロパノール11.8kgの混合液に、シリコーンレジン(YR3370,モーメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製)を溶解させることにより薄膜コート液25kgを製造した。このコート液から得られる薄膜の仕込み組成は、SiO100wt%で、コート液中の固形分は、5.0wt%である。コート液は、無色透明であった。
<Example 7: Formation of SiO 2 film with a silicone resin>
A silicone resin (YR3370, manufactured by Momentive Performance Materials Japan GK) was dissolved in a mixed solution of 11.8 kg of isobutyl acetate and 11.8 kg of isopropanol to prepare 25 kg of a thin film coating solution. The composition of the thin film obtained from the coating solution is 100 wt% SiO 2 , and the solid content in the coating solution is 5.0 wt%. The coating solution was colorless and transparent.

このコート液を、実施例1と同様にして作製したガラスプリフォーム(幅100mm×長さ300mm×厚み4.5mm)に、ディップ法によりV=30cm/分の速度で塗布した。得られた薄膜は、無色透明で均質であった。
この薄膜付きガラスプリフォームを100℃で30分間乾燥した後、熱処理炉に入れ500℃まで200℃/時で昇温し、500℃で1時間保持した。熱処熱処理後のSiO薄膜の厚みは、0.22μmであり、この薄膜もまた、無色透明で均質であった。
そして、このガラスプリフォームに対し、実施例1と同様に線引き工程、外形加工・研磨工程、及び還元工程を行い、線引き工程の途中で破断を生じること無く偏光ガラスを作製した。
This coating solution was applied to a glass preform (width 100 mm × length 300 mm × thickness 4.5 mm) produced in the same manner as in Example 1 at a speed of V = 30 cm / min by the dipping method. The obtained thin film was colorless and transparent and homogeneous.
This glass preform with a thin film was dried at 100 ° C. for 30 minutes, then placed in a heat treatment furnace, heated to 500 ° C. at 200 ° C./hour, and held at 500 ° C. for 1 hour. The thickness of the SiO 2 thin film after the heat treatment was 0.22 μm, and this thin film was also colorless and transparent and homogeneous.
Then, the glass preform was subjected to a drawing step, an outer shape processing / polishing step, and a reduction step in the same manner as in Example 1 to produce a polarizing glass without breaking during the drawing step.

<実施例8:スピンオングラス法によるSiO膜の形成>
実施例1と同様にして作製したガラスプリフォーム(幅100mm×長さ300mm×厚み4.5mm)の主面(100mm×300mmの面)に、スピンオングラス材料(OCD T−12 1000V,SiO換算固形分濃度:7wt%,東京応化工業製)を、スピンコーターを用いて回転数1500rpmで塗布した。
次いで、スピンオングラス材料を塗布したガラスプリフォームを、クリーンオーブン内で、80℃で3分加熱した後150℃で3分加熱し、更に200℃で5分乾燥して、ガラスプリフォームにシリカ系薄膜を表面に形成した。
このガラスプリフォームを室温まで冷却した後、上述の面とは反対側の主面に、上記と同様の工程で、シリカ系薄膜を形成した。
得られた薄膜の厚みは、0.23μmであった。
そして、このガラスプリフォームを実施例1と同様にして線引き工程、外形加工・研磨工程、及び還元工程にかけ、線引き工程の途中で破断を生じること無く偏光ガラスを作製した。
<Example 8: Formation of SiO 2 film by a spin-on glass method>
Spin-on-glass material (OCD T-12 1000V, converted to SiO 2 ) on the main surface (100 mm × 300 mm surface) of a glass preform (width 100 mm × length 300 mm × thickness 4.5 mm) produced in the same manner as in Example 1. A solid content concentration: 7 wt%, manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) was applied at a rotational speed of 1500 rpm using a spin coater.
Next, the glass preform coated with the spin-on-glass material is heated at 80 ° C. for 3 minutes in a clean oven, then heated at 150 ° C. for 3 minutes, and further dried at 200 ° C. for 5 minutes. A thin film was formed on the surface.
After this glass preform was cooled to room temperature, a silica-based thin film was formed on the main surface opposite to the above-described surface by the same process as described above.
The thickness of the obtained thin film was 0.23 μm.
Then, the glass preform was subjected to a drawing step, an outer shape processing / polishing step, and a reduction step in the same manner as in Example 1 to produce a polarizing glass without causing breakage during the drawing step.

<実施例9:LPD法によるSiO膜の形成>
SiOを飽和した2.0mol/L(リットル)のヘキサフルオロケイ酸(HSiF,森田化学工業株式会社製)水溶液384Lと0.5mol/Lのホウ酸(H3BO3,ボラックス・ジャパン株式会社製)16Lを混合し、処理液を400L作製した。
35℃に加温したこの処理液に、実施例1と同様にして作製したガラスプリフォーム(幅100mm×長さ300mm×厚み4.5mm)を浸漬し、撹拌下、0.5mol/Lのホウ酸水溶液を15mL/分の速度で連続的に滴下しながら、20時間保持した。
得られたSiO薄膜は無色透明であり、薄膜の厚みは、50nmであった。
そして、このガラスプリフォームを実施例1と同様にして線引き工程、外形加工・研磨工程、及び還元工程にかけ、線引き工程の途中で破断を生じること無く偏光ガラスを作製した。
<Example 9: Formation of SiO 2 film by LPD method>
384 L of a 2.0 mol / L (liter) hexafluorosilicic acid (H 2 SiF 6 , Morita Chemical Co., Ltd.) aqueous solution saturated with SiO 2 and 0.5 mol / L boric acid (H3BO3, Borax Japan KK) (Manufactured) 16 L was mixed to prepare 400 L of a processing solution.
A glass preform (width 100 mm × length 300 mm × thickness 4.5 mm) produced in the same manner as in Example 1 was immersed in this treatment liquid heated to 35 ° C., and 0.5 mol / L boron was stirred under stirring. The acid aqueous solution was kept for 20 hours while continuously dropping at a rate of 15 mL / min.
The obtained SiO 2 thin film was colorless and transparent, and the thickness of the thin film was 50 nm.
Then, the glass preform was subjected to a drawing step, an outer shape processing / polishing step, and a reduction step in the same manner as in Example 1 to produce a polarizing glass without causing breakage during the drawing step.

<実施例10:金属粒子析出プリフォームへのゾル−ゲル法によるSiO膜の形成>
硝酸ナトリウムと硝酸銀をwt%で2:1に混合し、450℃に加熱して溶融塩を作成した。この溶融塩中に幅100mm×長さ300mm×厚さ2mmに切断した市販のソーダライムガラス板を45時間浸漬し、ガラス中のナトリウムと溶融塩中の銀イオンをイオン交換した。続いて、このイオン交換したソーダライムガラスを640℃で9時間熱処理し、約43μmの球形の銀粒子を析出させた。
これにより、ソーダライムガラスの両表面から深さ約28μmにわたり、銀粒子の含有が確認された。
<Example 10: sol to metal particles deposited preform - the formation of SiO 2 film by Gel Method>
Sodium nitrate and silver nitrate were mixed at a weight ratio of 2: 1 and heated to 450 ° C. to prepare a molten salt. A commercial soda lime glass plate cut into a width of 100 mm, a length of 300 mm and a thickness of 2 mm was immersed in this molten salt for 45 hours, and the sodium ions in the glass and the silver ions in the molten salt were ion-exchanged. Subsequently, this ion-exchanged soda lime glass was heat-treated at 640 ° C. for 9 hours to precipitate approximately 43 μm spherical silver particles.
Thereby, inclusion of silver particles was confirmed over a depth of about 28 μm from both surfaces of the soda lime glass.

次ぎに、このガラスプリフォームに、実施例1と同様にしてコート液を作成して塗布し、熱処理して膜厚0.19μmの薄膜を形成した。
薄膜を形成したこのガラスプリフォームを、加熱炉7(図2参照)にセットし、750℃で30分保持した。線引き開始温度を700℃にして、設定張力を12Kgにしたこと以外は実施例1と同様に線引きして、最後まで破断することなく線引きを終えた。
得られたガラスシートは、断面サイズがおよそ幅17mm×厚さ0.27mmで、線引き張力は、261Kgf/cm(25.6MPa)かかっていた。
線引き後のガラステープのAg粒子含有層の厚さは、表面から約4μmの深さで、銀粒子が楕円形状をしていることから、偏光特性を示す偏光ガラスであることを確認した。
得られたテープ状のガラスシートを所定サイズに切断して、偏光特性を調べたところ、偏光ガラスと検出器の距離300mmにおける波長1.55μmでの消光比は50dBであった。なお、本実施例では、ガラスシートの研磨は行っていない。
Next, a coating liquid was prepared and applied to the glass preform in the same manner as in Example 1, and a thin film having a thickness of 0.19 μm was formed by heat treatment.
This glass preform on which a thin film had been formed was set in a heating furnace 7 (see FIG. 2) and held at 750 ° C. for 30 minutes. Drawing was performed in the same manner as in Example 1 except that the drawing start temperature was set to 700 ° C. and the set tension was set to 12 kg, and drawing was completed without breaking to the end.
The obtained glass sheet had a cross-sectional size of approximately 17 mm width × 0.27 mm thickness, and the drawing tension was 261 kgf / cm 2 (25.6 MPa).
The thickness of the Ag particle-containing layer of the glass tape after drawing was about 4 μm from the surface, and the silver particles had an elliptical shape. Thus, it was confirmed that the glass tape was a polarizing glass exhibiting polarization characteristics.
When the obtained tape-shaped glass sheet was cut into a predetermined size and the polarization characteristics were examined, the extinction ratio at a wavelength of 1.55 μm at a distance of 300 mm between the polarizing glass and the detector was 50 dB. In this embodiment, the glass sheet is not polished.

<比較例1>
実施例1と同様にして作製したガラスリフォーム(幅100mm×長さ300mm×厚み4.5mm)の表面に金属酸化物薄膜を形成することなく、そのまま実施例1と同様の条件にて線引きを行った。しかし、線引き工程においてガラスプリフォームの下端に掛かる荷重が14.3Kg(140kgf/cm(13.7MPa))に達した時点で破断したため、ここで線引きを終了させ、外形加工、研磨及び還元を行った。破断直前の延伸したガラスシートに対する消光比は、偏光ガラスと検出器の距離300mm、波長1.55μmで15dBであった。
<Comparative Example 1>
Without drawing a metal oxide thin film on the surface of the glass reformer (width 100 mm × length 300 mm × thickness 4.5 mm) produced in the same manner as in Example 1, the drawing was performed under the same conditions as in Example 1. It was. However, since the fracture occurred when the load applied to the lower end of the glass preform reached 14.3 kg (140 kgf / cm 2 (13.7 MPa)) in the drawing process, the drawing was terminated here, and the outer shape processing, polishing and reduction were performed. went. The extinction ratio with respect to the stretched glass sheet immediately before the break was 15 dB at a distance of 300 mm between the polarizing glass and the detector and a wavelength of 1.55 μm.

<比較例2>
実施例10と同様にして作製した銀粒子が分散されたガラスリフォーム(幅100mm×長さ300mm×厚み2mm)の表面に金属酸化物薄膜を形成することなく、そのまま実施例10と同様の条件にて線引きを行った。すると、設定帳力12Kgに対して、8Kgに達した時点でプリフォームは破断し、線引きを終了した。この破断する直前の延伸したガラスシートを所定サイズに切断して消光比を測定すると、偏光ガラスと検出器の距離300mmにおける波長1.55μmでの消光比は11dBであった。
<Comparative Example 2>
Without forming a metal oxide thin film on the surface of the glass reforming (width 100 mm × length 300 mm × thickness 2 mm) in which silver particles produced in the same manner as in Example 10 were dispersed, the same conditions as in Example 10 were used. I did a line drawing. Then, when the set book power was 12 kg and reached 8 kg, the preform was broken and drawing was completed. When the extinction ratio was measured by cutting the stretched glass sheet immediately before breaking to a predetermined size, the extinction ratio at a wavelength of 1.55 μm at a distance of 300 mm between the polarizing glass and the detector was 11 dB.

これら実施例1〜実施例10及び比較例1〜比較例2における諸条件や、ガラスプリフォームの線引き時における損傷、作製された偏光ガラスの特性等をまとめたものを表1,表2に示す。
なお、表中における薄膜の組成(wt%)は、コート後の熱処理や線引き工程での加熱等により薄膜内の有機成分(例えば、有機官能基等)が全て酸化され、薄膜が完全に無機質となった場合の組成として記載してある。
Tables 1 and 2 show a summary of various conditions in Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 2, damages during drawing of the glass preform, characteristics of the produced polarizing glass, and the like. .
The composition (wt%) of the thin film in the table indicates that the organic components (for example, organic functional groups) in the thin film are all oxidized by heat treatment after coating and heating in the drawing process, and the thin film is completely inorganic. It is described as a composition when it becomes.

Figure 0004633195
Figure 0004633195

Figure 0004633195
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ガラスプリフォーム表面に金属酸化物薄膜を形成しなかった比較例1,比較例2では、ともに線引き工程においてガラスプリフォームの破断が生じた。
また、線引き途中にて破断したためハロゲン化銅粒子、または銀粒子が十分に伸長されず、得られた偏光ガラスの消光比は、それぞれ15dB,11dBと偏光機能に乏しいものとなった。
In Comparative Example 1 and Comparative Example 2 in which the metal oxide thin film was not formed on the glass preform surface, the glass preform was broken in the drawing process.
Moreover, since it broke | broken in the middle of drawing, a copper halide particle or silver particle was not fully expanded, and the extinction ratio of the obtained polarizing glass became 15 dB and 11 dB, respectively, and a thing with a poor polarization function.

これに対して、ガラスプリフォーム表面にSiO膜を形成した実施例1では、線引き工程において損傷無くガラスシートを形成することができ、消光比55dBの十分な偏光機能を有した偏光ガラスが得られた。 On the other hand, in Example 1 in which the SiO 2 film was formed on the glass preform surface, a glass sheet could be formed without damage in the drawing process, and a polarizing glass having a sufficient polarization function with an extinction ratio of 55 dB was obtained. It was.

また、実施例2〜実施例10においても、線引き時におけるガラスプリフォームの破断は生じず、消光比50dB〜56dBの十分な偏光機能を有する偏光ガラスを作製することができた。
したがって、有機官能基を含有するSiO膜や、複数種の金属酸化物を含有するSiO系酸化物膜、SiOを含まない金属酸化物薄膜であっても、ガラスプリフォームを保護することが可能であり、線引き時の破断を抑制できることが確認された。
Also in Examples 2 to 10, the glass preform was not broken during drawing, and a polarizing glass having a sufficient polarizing function with an extinction ratio of 50 dB to 56 dB could be produced.
Accordingly, and SiO 2 film containing an organic functional group, SiO 2 based oxide film containing a plurality of kinds of metal oxides, be a metal oxide thin film containing no SiO 2, to protect the glass preform It was confirmed that it was possible to suppress breakage during drawing.

また、特に、実施例10のようにイオン交換法によって金属粒子をその表面に分散させたガラスプリフォームを用いる場合には、線引き後の延伸された金属粒子を含有する層が通常数μmと薄い。このため、表面の研削や研磨を行わず、線引き後のガラスシートそのままの厚さで偏光ガラスとして使用される。
したがって、作製された偏光ガラスの表面は、線引き工程により加熱延伸された例えば0.1μm以下の非常に薄い金属酸化物薄膜により被膜されている。この金属酸化物薄膜は、例えばSiO2膜、B−SiO系膜、LiO−TiO−SiO系膜等によって構成できる。これらの金属酸化物薄膜は、化学的耐久性に優れており、偏光ガラスがこれらの膜で被膜されていることによって、偏光ガラスの化学的耐久性を向上させる利点も有している。
In particular, in the case of using a glass preform in which metal particles are dispersed on the surface thereof by an ion exchange method as in Example 10, the layer containing drawn metal particles after drawing is usually as thin as several μm. . For this reason, the surface is not ground or polished, and the glass sheet after drawing is used as a polarizing glass with the same thickness.
Therefore, the surface of the produced polarizing glass is coated with a very thin metal oxide thin film having a thickness of, for example, 0.1 μm or less, which is heated and stretched by a drawing process. This metal oxide thin film can be composed of, for example, a SiO 2 film, a B 2 O 3 —SiO 2 based film, a Li 2 O—TiO 2 —SiO 2 based film, or the like. These metal oxide thin films are excellent in chemical durability, and have the advantage of improving the chemical durability of the polarizing glass by coating the polarizing glass with these films.

このように、本発明により、液相成膜法によってガラスプリフォーム表面に金属酸化物薄膜を形成することで、線引き時におけるガラスプリフォームの破断を確実に防止することが可能である。また、コート液の塗布または処理液への浸漬といった簡易なプロセスでの成膜となることから、短時間かつ低コストでの製造が可能となる。   As described above, according to the present invention, by forming the metal oxide thin film on the surface of the glass preform by the liquid phase film forming method, it is possible to surely prevent the glass preform from being broken at the time of drawing. Further, since the film is formed by a simple process such as coating of the coating liquid or immersion in the processing liquid, it is possible to manufacture at a short time and at a low cost.

また、液相成膜法であるため、コート液の塗布または処理液への浸漬時に、ガラスプリフォーム表面の傷内に容易にコート液や処理液が浸透する。
上述の特許文献3に記載の方法では、コアガラス表面に形成した表面ガラスが、延伸時における炉内で溶融することにより、コアガラス表面の傷を埋める。このため、表面ガラスの粘性は低いものとすることが記載されている。
一方で、2つの異なったガラスを溶かして接合する場合には、その両者の熱膨張係数に差があるとガラスが割れたり、クラックが生じたりすることがある。このため、2つのガラスの間の熱膨張係数の値の差は、一般的に15×10−7/K以内にする必要があるとされている。
ところが、特許文献3のようなコアガラスよりも粘性の低い表面ガラスは、コアガラスよりも熱膨張係数が大きくなる傾向があり、コアガラスと表面ガラスとの間の熱膨張係数の値の差が大きくなりやすい。
したがって、コアガラスと表面ガラスの熱膨張係数をマッチングさせた偏光ガラスを作製することは、例えばその材料選定等、非常に綿密な作業を必要とし、困難である。
Moreover, since it is a liquid phase film-forming method, the coating liquid or the processing liquid easily penetrates into the scratches on the surface of the glass preform when the coating liquid is applied or immersed in the processing liquid.
In the method described in Patent Document 3, the surface glass formed on the surface of the core glass is melted in a furnace at the time of stretching to fill the scratches on the surface of the core glass. For this reason, it is described that the viscosity of the surface glass is low.
On the other hand, when two different glasses are melted and joined, if there is a difference in thermal expansion coefficient between the two, the glass may break or cracks may occur. For this reason, it is generally considered that the difference in the value of the thermal expansion coefficient between the two glasses needs to be within 15 × 10 −7 / K.
However, the surface glass having a lower viscosity than the core glass as in Patent Document 3 tends to have a larger coefficient of thermal expansion than the core glass, and there is a difference in the value of the coefficient of thermal expansion between the core glass and the surface glass. Easy to grow.
Therefore, it is difficult to produce a polarizing glass in which the thermal expansion coefficients of the core glass and the surface glass are matched, requiring, for example, a very careful operation such as material selection.

これに対して、本発明による方法では、コート液や処理液の段階でガラスプリフォーム表面に塗布するため、初めから容易にガラスプリフォーム表面の傷内に浸透させることができ、形成される金属酸化物薄膜の粘性の制約を受けない。したがって、より確実にガラスプリフォームを保護することができ、また粘性と熱膨張係数の制約による材料選定も必要としないため、低コストでの製造が可能である。   On the other hand, in the method according to the present invention, since it is applied to the surface of the glass preform at the stage of the coating liquid or treatment liquid, it can be easily penetrated into the scratches on the surface of the glass preform from the beginning, and the formed metal Not restricted by the viscosity of the oxide thin film. Therefore, it is possible to protect the glass preform more reliably, and it is not necessary to select a material due to restrictions on the viscosity and the thermal expansion coefficient. Therefore, it is possible to manufacture at a low cost.

また、本発明において例示したゾル−ゲル法、LPD法、スピンオングラス法等の液相成膜法では、フッ酸を用いないため、作業者の安全性向上や、環境に対する負荷の低減も同時に達成される。   Further, in the liquid phase film forming method such as the sol-gel method, LPD method, and spin-on-glass method exemplified in the present invention, hydrofluoric acid is not used, so that improvement of worker safety and reduction of environmental load are achieved at the same time. Is done.

以上、本発明による偏光レンズの製造方法に係る実施の形態及び実施例について説明した。本発明は上記実施の形態にとらわれることなく、特許請求の範囲に記載した本発明の要旨を逸脱しない限りにおいて、なお考えられる種々の形態を含むものである。   The embodiments and examples relating to the method for manufacturing a polarizing lens according to the present invention have been described above. The present invention is not limited to the above-described embodiment, and includes various conceivable forms without departing from the gist of the present invention described in the claims.

1,4・・・ガラスプリフォーム、2・・・傷、3・・・金属酸化物薄膜、5・・・送り装置、6・・・固定治具、7・・・加熱炉、8・・・引っ張り装置、9・・・ガラスシート、10・・・蓋、11・・・発熱部、12・・・挿入孔、13・・・排出孔


DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,4 ... Glass preform, 2 ... Scratch, 3 ... Metal oxide thin film, 5 ... Feeding device, 6 ... Fixing jig, 7 ... Heating furnace, 8 ...・ Tensing device, 9 ... glass sheet, 10 ... lid, 11 ... heat generating part, 12 ... insertion hole, 13 ... discharge hole


Claims (6)

金属ハロゲン化物粒子、または金属粒子が分散されたガラスプリフォーム表面に、液相成膜法により金属酸化物薄膜を形成する工程と、
前記金属酸化物薄膜が形成された前記ガラスプリフォームを線引きする工程と、
を含む
偏光ガラスの製造方法。
Forming a metal oxide thin film on the surface of a glass preform in which metal halide particles or metal particles are dispersed by a liquid phase film forming method;
Drawing the glass preform on which the metal oxide thin film is formed;
The manufacturing method of polarizing glass containing.
前記金属酸化物薄膜は、厚さ10μm以下の厚さで形成される請求項1に記載の偏光ガラスの製造方法。   The method for producing a polarizing glass according to claim 1, wherein the metal oxide thin film is formed with a thickness of 10 μm or less. 前記金属酸化物薄膜は、ゾル−ゲル法、LPD法、スピンオングラス法、シリコーン樹脂を塗布する方法のいずれかの方法により形成される請求項2に記載の偏光ガラスの製造方法。 The method for producing a polarizing glass according to claim 2, wherein the metal oxide thin film is formed by any one of a sol-gel method, an LPD method, a spin-on-glass method, and a method of applying a silicone resin. 前記金属酸化物薄膜は、縮合反応により生じたメタロキサン結合によって前記ガラスプリフォーム表面に結合する請求項3に記載の偏光ガラスの製造方法。   The method for producing a polarizing glass according to claim 3, wherein the metal oxide thin film is bonded to the surface of the glass preform by a metalloxane bond generated by a condensation reaction. 前記金属ハロゲン化物粒子が分散されたガラスプリフォームの線引きにより形成されたガラスシートの外形を加工し、研磨する工程を含み、前記ガラスシートの外形の加工及び研磨の後に前記金属ハロゲン化物粒子を還元する請求項1〜4に記載の偏光ガラスの製造方法。   A step of processing and polishing the outer shape of the glass sheet formed by drawing the glass preform in which the metal halide particles are dispersed, and reducing the metal halide particles after processing and polishing the outer shape of the glass sheet. The manufacturing method of the polarizing glass of Claims 1-4. 前記金属酸化物薄膜は、前記ガラスシートを外形を加工し、研磨する工程において除去される請求項5に記載の偏光ガラスの製造方法。   The said metal oxide thin film is a manufacturing method of the polarizing glass of Claim 5 removed in the process which processes the external shape and grind | polishes the said glass sheet.
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