JP4628131B2 - 静電容量式センサ - Google Patents

Description

本発明は、検出電極、接地電極、及び、検出電極と絶縁部との間に介装された絶縁部を備える棒状体に形成される静電容量式センサに関する。

従来からタンクなどの容器内に収容される物質（被測定物）のレベル（量）を検出するための静電容量式センサがある。図６に示すように、この静電容量式センサには、検出電極２０、接地電極２１、及び、検出電極２０と接地電極２１との間に介装された絶縁部２２を備える棒状体に形成されたものがある。そして、測定前に予め容器内に静電容量式センサを挿入しておけば、容器内の被測定物が増加して検出電極２０又は絶縁部２２に接触すると検出電極２０と接地電極２１との間の静電容量が変化する。或いは、容器内の被測定物が減少して検出電極２０又は絶縁部２２と接触しなくなると、検出電極２０と接地電極２１との間の静電容量が変化する。その結果、検出電極２０と接地電極２１との間の静電容量の変化に基づいて容器内における被測定物のレベル検知が行われることになる。また、測定可能な物質の種類については、水、薬液などの各種の液体、あるいは粉体や粘性体など、また、絶縁体から導電体まで種々様々なものがある（例えば、特許文献１参照）。
本明細書において「接触」とは、容器内に満たされた被測定物と検出電極とが接触している状態を指し、「埋没」とは、容器内に満たされた被測定物によって検出電極が埋没している状態を指す。また、本実施形態において「付着」とは、被測定物が容器内に満たされていないにも拘わらず、被測定物が検出電極に付着して残留している状態（或いは検出電極及び接地電極の間に渡って付着して残留している状態）を指す。

但し、特許文献１に記載の静電容量式センサを用いたとき、容器内への電極の突出長さが長くなるため、小型の容器には使用できないという問題がある。また、電極が大きい場合、電極の洗浄性が悪くなるという問題や、容器の内容物の流動性が電極によって妨げられることがあるという問題もある。そのため、図６に示したのとは別の、より小型化した静電容量式センサが提案されている。図７に示すのは、小さな容器に挿入可能なように考案された、小型化を追求した構成の静電容量式センサの斜視図（図７（ａ））及び側面図（図７（ｂ））である。図７に示す静電容量式センサは、図６に示したものを大幅に短縮化した形状となっており、棒状体の先端面から側面に渡って設けられる検出電極３０、棒状体の側面に設けられる接地電極３１、及び、検出電極３０と接地電極３１との間に介装される絶縁部３２を備えて構成される。例えば、この静電容量式センサは図７に示すような寸法で構成することができる。絶縁部３２は接地電極３１から５ｍｍ突出し、検出電極３０は絶縁部３２から１０ｍｍ突出し、検出電極３０の直径は１８ｍｍとなっている。

また、図８に示すような構成の静電容量式センサもある。図８（ａ）は静電容量式センサの斜視図であり、図８（ｂ）は静電容量式センサを先端面から見た図である。この静電容量式センサは、棒状体の先端面に検出電極４０が設けられ、棒状体の側面から先端面にかけて接地電極４１が設けられ、棒状体の先端面において検出電極４０と接地電極４１との間に絶縁部４２が介装されている。例えば、この静電容量式センサは図８に示すような寸法で構成することができる。検出電極４０は棒状体の先端面において直径１５ｍｍの円形に構成され、絶縁部４２は検出電極４０の周囲を取り囲むように外径１８ｍｍ、内径１５ｍｍの環状に構成されている。

特開２０００−２７５０８６号公報

図７及び図８に示した構成の静電容量式センサでは、棒状体の長さを短くできるため小さな容器に挿入することも可能であるが、検出電極と接地電極との配置関係に問題がある。例えば、容器内の被測定物量が増加して検出電極と接地電極との間に被測定物が付着した後で被測定物量が減少したとき、検出電極と接地電極とに渡って付着して残留している被測定物のせいで、被測定物の検出状態が維持される可能性がある。

但し、上述のような電極への被測定物の付着問題を解消するために、付着キャンセラ機能を有する静電容量式センサもある。この付着キャンセラ機能の特性の一例として図９の特性Ａ及び特性Ｂがある。
被測定物が理想的な絶縁性（Ｒ＝∞）の場合は、検出電極が被測定物に接触又は埋没しても抵抗値の変化はほとんどなく、被測定物の誘電率による静電容量の増加（ΔＣ：変化容量）のみ変化する。そして、このΔＣが例えば０．５ｐＦ以上あればオン領域（検知領域）に入り込み、被測定物のレベル増加の信号を出力する。ところが、被測定物の中には導電性で且つ付着性のある物質もあり、容器内が空状態であっても、このような物質が電極に付着しているだけで静電容量が増加し、オン領域に入り込んでしまうという誤作動が発生する。従って、図９の特性Ａに示すような付着キャンセラ機能を有する静電容量式センサでは、電極への被測定物の付着によって抵抗値が減少すると検出感度が低下ように構成される。つまり、付着による静電容量の増加分を加味して、オン領域に入るためのΔＣの閾値が大きくなるという付着キャンセラ機能が働く。例えば、検出電極と接地電極とに渡って被測定物が付着して残留することで検出電極と接地電極との間の抵抗値が２ｋΩとなったとき、信号処理によって行われる特性Ａに示すような付着キャンセラ機能によって自動的に検出感度が低下されることで、被測定物の単なる付着による静電容量の変化量が１９．５ｐＦ未満と設定される。その結果、静電容量の変化量が１９．５ｐＦ未満であるときにはオフ状態（オフ領域）であり、１９．５ｐＦ以上になってからオン状態（オン領域）となる。

しかし、この付着キャンセラ機能が有効に働かない場合も起こり得る。例えば、電極に付着したとしても、抵抗値の減少量の割に静電容量の増加量が小さい物質が被測定物（電気的特性が絶縁性と導電性の中間の物質）である場合があてはまる。つまり、図９の特性Ａの付着キャンセラ機能では検出感度を低下させ過ぎとなる場合である。このような物質の場合、被測定物が検出電極に接触又は埋没したとしても、本来はオン状態になるべきであるにも拘わらず、上記付着キャンセラ機能により自動的に検出感度を低下させている（静電容量の変化量の閾値が増大する）ため、オフ状態のままになって被測定物の検出が出来ないことになる。例えば、被測定物が検出電極に接触又は埋没することで検出電極と接地電極との間の抵抗値が２ｋΩになり且つ静電容量の変化量が１５ｐＦになるような物質が当てはまる。
但し、特性Ｂのように、それほど大きな感度低下をさせない特性の付着キャンセラ機能に基づいて信号処理すると、被測定物が検出電極に接触又は埋没することで検出電極と接地電極との間の抵抗値が２ｋΩになり且つ静電容量の変化量が１５ｐＦになると、オン状態となる。
このように、従来の静電容量式センサでは、特性の異なる複数種の被測定物のレベル検知を行うために、被測定物の特性に応じて異なる信号処理を行うために厳密な感度調整（つまり、厳密に調整された付着キャンセラ機能）が必要である。或いは、複数の被測定物に対して専用の信号処理装置（アンプなど）を夫々用意しなければならない。

また、検出電極と接地電極との間の距離が小さい小型の静電容量式センサでは、付着が起こりやすいため、付着キャンセラ機能による感度低下を用いても付着によるオン状態の誤検出の問題を解決できないことがある。
特に、図１０に示すように、一般的に静電容量式レベルセンサをタンクや容器に取り付ける際に、センサの取付け端管やノズル等（以下、総称して端管５４と記す）による影響を受け易い点が、解消すべき問題の一つとなっている。具体的には、静電容量式のレベルセンサは、被測定物が接触するとオン状態となる感知部（検出電極５０と絶縁部５２を介して感知される部分）と不感知部（一般に接地電極５１）とで構成されるが、図１０のように、上述したような小型化という観点からレベルセンサがタンクや容器内空間５３へ突出しないように感知部が端管５４内に配置された場合、容器内空間５３の被測定物の量に関係なく、端管５４内の被測定物の残留物５５によってオン状態となるという問題がある。すなわち、端管５４が電極を囲む位置関係にあるため、ほとんどの場合、電極と端管５４内壁との間の距離が非常に狭い状態にある。従って、対向している電極（感知部と端管５４）の面積が広くなり、且つ、両者の距離が狭いので、大きな静電容量変化が現れ、誤警報を出す現象（被測定物が無いにも拘わらずオン状態となる現象）が発生していた。そして、従来はこの問題を解決するために、図１１に示すように、不感知部は端管５４内に配置しながらも、感知部は端管５４から突出させて容器内空間５３に配置させて、端管５４内の被測定物の残留物５５の影響を排除していた。しかし、図１１に示すような静電容量式のレベルセンサでは、検出電極５０と接地電極５１との間の表面距離を十分確保しながら、且つ、タンクや容器内空間５３への突出部分を短くすることによる小型化を達成できなくなっている。

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、小型に構成しながらも被測定物の付着によるオン状態の誤検出を抑制した静電容量式センサを提供する点にある。

上記目的を達成するための本発明に係る静電容量式センサの特徴構成は、検出電極、接地電極、及び、前記検出電極と前記接地電極との間に介装された絶縁部を組み合わせた棒状体に形成される静電容量式センサであって、前記検出電極は前記棒状体の先端面に露出して設けられ、前記接地電極は前記棒状体の側面で露出する露出部と、前記絶縁部で覆われることにより前記棒状体の側面では露出しない非露出部とを有して設けられ、前記非露出部は前記露出部から前記検出電極の先端面の側に延伸して設けられる点にある。

上記特徴構成によれば、検出電極と接地電極とを棒状体の異なる面上に配置して両者の表面距離を長くできる。つまり、検出電極と接地電極との間に渡って被測定物が存在したとしても両電極の間の抵抗値が大幅に減少しないので、上述したような付着キャンセラ機能が働いたとしても、オン状態となるための静電容量の変化量の閾値が大幅に増大しなくなる。その結果、検出電極に被測定物が接触又は埋没したときの両電極間の静電容量の変化量が小さい物質であっても、検出電極に被測定物が接触又は埋没した状態（オン状態）を正確に検出できる。
従って、小型に構成しながらも被測定物の付着による誤検出を抑制した静電容量式センサが提供されることになる。

また、上記特徴構成によれば、検出電極と接地電極との間の全静電容量を大きくすることができる。具体的には、検出電極と接地電極との間の全静電容量には、棒状体の表面に露出している検出電極と接地電極との間の露出側静電容量、及び、棒状体の表面に露出していない内部で誘電体としての絶縁部を挟んでいる検出電極と接地電極との間の非露出側静電容量とに分けることができる。本特徴構成の静電容量式センサでは、検出電極と接地電極とを棒状体の異なる面上に配置して両者の表面距離を長くしたため上記露出側静電容量が小さくなる。他方で、接地電極の非露出部が検出電極の方に延伸して近接しているので、上記非露出側静電容量が大きくなる。その結果、両電極間の表面距離を長くしたことによって上記露出側静電容量は減少するものの、全静電容量が大幅に減少することを避けることができる。

本発明に係る静電容量式センサの更に別の特徴構成は、前記絶縁部は前記棒状体の側面から前記棒状体の先端面に渡って設けられて前記検出電極の表面を取り囲む点にある。

上記特徴構成によれば、絶縁部が棒状体の側面から棒状体の先端面に渡って設けられて検出電極の表面を取り囲むので、検出電極と接地電極との間の絶縁を確実にできる。

本発明に係る静電容量式センサの更に別の特徴構成は、前記棒状体の側面において前記接地電極の表面と前記絶縁部の表面とが略面一である点にある。

上記特徴構成によれば、棒状体の側面を平坦にすることで、棒状体の側面に付着した被測定物が落ち易くなる。その結果、棒状体の側面に被測定物が付着したまま残留しないようになり、被測定物の付着による誤検出が発生し難くなる。

本発明に係る静電容量式センサの更に別の特徴構成は、検出電極、接地電極、及び、前記検出電極と前記接地電極との間に介装された絶縁部を組み合わせた棒状体に形成される静電容量式センサであって、前記接地電極は、筒状体に形成されて前記棒状体の側面で露出し、前記検出電極は、前記筒状体の内部空間側に位置して前記棒状体の先端面で露出し、前記絶縁部は、前記棒状体の先端面において前記検出電極の外周部を取り囲み、且つ、前記棒状体の径方向から見て前記検出電極の外周部から少なくとも前記接地電極と重複する位置まで前記棒状体の軸方向に延在する部材で構成される点にある。

上記特徴構成によれば、接地電極は、筒状体に形成されて棒状体の側面で露出し、検出電極は、筒状体の内部空間側に位置して棒状体の先端面で露出し、絶縁部は、棒状体の先端面において検出電極を取り囲み、且つ、棒状体の側面において接地電極の筒状体の一部を覆うように、先端面から側面にかけて一連の部材で構成されるので、検出電極と接地電極とを棒状体の異なる面上に配置して両者間の表面距離を長くできる。つまり、検出電極と接地電極との間に渡って被測定物が存在したとしても両電極の間の抵抗値が大幅に減少しないので、上述したような付着キャンセラ機能が働いたとしても、オン状態となるための静電容量の変化量の閾値が大幅に増大しなくなる。その結果、検出電極に被測定物が接触又は埋没したときの両電極間の静電容量の変化量が小さい物質であっても、検出電極に被測定物が接触又は埋没した状態（オン状態）を正確に検出できる。
従って、小型に構成しながらも被測定物の付着による誤検出を抑制した静電容量式センサが提供されることになる。

以下に図面を参照して本発明に係る静電容量式センサについて説明する。
図１に示すのは静電容量式センサの斜視図であり、図２に示すのは縦断面図である。
図１及び図２に示すように、本発明の静電容量式センサは、検出電極２、接地電極３、及び、検出電極２と接地電極３との間に介装された絶縁部４を組み合わせた棒状体１に形成されている。検出電極２は棒状体１の先端面７に露出して設けられ、接地電極３は棒状体１の側面８に露出して設けられる。絶縁部４は棒状体１の側面８から棒状体１の先端面７に渡って設けられている。

この静電容量式センサは上記棒状体１が図４に例示するように容器内空間１２に挿入された状態で配置される。そして、信号処理装置（図示せず）が検出電極２及び接地電極３に接続され、検出電極２及び接地電極３の間の抵抗値及び静電容量値を導出して、両電極間における被測定物の存否をオン状態とオフ状態とで判定する。また、信号処理装置は図３に示すような付着キャンセラ機能を実現することができる。

静電容量式センサの棒状体１は、容器の側面８から水平方向に挿入されても、又は、容器の上面から下方又は斜め下に向かって挿入されても構わない。何れの挿入方法であっても、検出電極２が存在する位置まで被測定物が満たされて、検出電極２に被測定物が接触又は埋没したとき、被測定物が存在するという検出結果（オン状態）が静電容量式センサにおいて出される。本実施形態において「接触」とは、容器内空間１２に満たされた被測定物と検出電極２とが接触している状態を指し、「埋没」とは、容器内空間１２に満たされた被測定物によって検出電極２が埋没している状態を指す。また、本実施形態において「付着」とは、被測定物が容器内空間１２に満たされていないにも拘わらず、被測定物が検出電極２に付着して残留している状態（或いは、検出電極２及び接地電極３の間に渡って付着して残留している状態）を指す。

静電容量式センサによって測定可能な物質の種類については、水、薬液などの各種の液体や、粉体、粘性体などがある。また、導電性についても、絶縁体から導電体まで様々な物を被測定物とすることができる。

図１及び図２に示すように、接地電極３は筒状体に形成されて棒状体１の側面８で露出し、検出電極２は筒状体の内部空間側に位置して棒状体１の先端面７で露出している。また、絶縁部４は、棒状体１の先端面７において検出電極２を取り囲み、且つ、棒状体１の側面８において接地電極３の筒状体の一部を覆うように、先端面７から側面８にかけて一連の部材で構成される。具体的には、接地電極３は、棒状体１の側面８で露出する露出部９と、絶縁部４で覆われることにより棒状体１の側面８では露出しない非露出部１０とを有している。そして、接地電極３の非露出部１０は、接地電極３の露出部９から検出電極２の方に延伸した位置にある。

絶縁部４は、棒状体１の側面部分を覆う筒状部分４ａと、筒状部分４ａから内径方向に突出する突出部分４ｂとを有している。そして、検出電極２と接地電極３との間にはその突出部分４ｂが介装された状態となっている。

絶縁部４の突出部分４ｂと検出電極２との間、及び、絶縁部４の突出部分４ｂと接地電極３との間にはＯリング５が設けられ、棒状体１の内部に被測定物が侵入したとしても、そのＯリング５で気密が保たれて、検出電極２と接地電極３とが侵入した被測定物により導通しないようになっている。また、棒状の検出電極２と筒状の接地電極３との間には空間（又は絶縁体）１１が設けられている。
接地電極３及び検出電極２の材料は、例えば、ステンレス（ＳＵＳ３０４）などを用いることができる。絶縁部４の材料は、例えば、ジュラコン（登録商標）、テフロン（登録商標）などの樹脂を用いることができる。

本実施形態で説明する静電容量式センサにおいて、棒状体１は直径が２０ｍｍに構成されている。そして、接地電極３の露出部９の長さは１０ｍｍであり、接地電極３の非露出部１０の長さは１１．５ｍｍであり、絶縁部４の長さは１５ｍｍである。検出電極２の直径は１８ｍｍである。接地電極３の非露出部１０と検出電極２とを隔てている絶縁部４の突出部分４ｂの厚さは１．５ｍｍである。尚、接地電極３の露出部９の長さは、取付け端管などの長さによって変更され、場合によっては０ｍｍであってもよい。

また、図１及び図２に示すように、棒状体１の側面８において接地電極３の表面と絶縁部４の表面とが略面一である。このように、棒状体１の側面８を平坦にすることで、棒状体１の側面に付着した被測定物が落ち易くなる。その結果、棒状体１の側面に被測定物が付着したまま残留しないようになる。他方で、棒状体１の側面８に段差が形成されていれば、その段差部分に被測定物が付着したまま残留し易くなり、被測定物を誤検出する可能性が高まる。

以上のように、本発明の静電容量式センサは、全体として小型に構成されていながら、検出電極２と接地電極３とは互いに異なる面上に設けられているため、両者の間の表面距離が長くなるように構成されている。具体的には、図１及び図２に示した本発明の静電容量式センサにおける検出電極２と接地電極３との間の距離（約１６ｍｍ）は、図７に示した従来の静電容量式センサにおける検出電極２と接地電極３との間の距離（約５ｍｍ）の約３倍以上であり、図８に示した従来の静電容量式センサにおける検出電極２と接地電極３との間の距離（約１．５ｍｍ）の約１０倍以上である。つまり、抵抗値は距離に比例して大きくなることを考慮すると、本発明の静電容量式センサの棒状体１に被測定物が付着することで検出電極２と接地電極３との間が電気的に導通したとしても、その抵抗値の増加量は、この場合、従来の約１／３〜約１／１０以下にまで抑制できることになる。

つまり、導電性の被測定物が付着したとしても、抵抗値の増加量を抑制して、見かけ上は付着物をより絶縁性に近くさせることができる。従って、付着による抵抗値の低下が発生し、図３に示すような付着キャンセラ機能が働いたとしても、抵抗値の低下量が小さく抑えられているので、オン状態であると判定するための静電容量の変化量：ΔＣの閾値が大幅に増大すること、つまり、大幅な感度低下は発生しない。その結果、被測定物が検出電極２に接触又は埋没したときの静電容量の増加量が小さい物質であっても、比較的小さい上記閾値を容易に越えるので、被測定物のレベル検知が正確に行われることになる。
例えば、従来の静電容量式センサの検出電極２と接地電極３との間に付着が発生したときの抵抗値が２ｋΩであり、本発明の静電容量式センサの両電極間の表面距離がそれに比べて１／３であれば抵抗値は６ｋΩになる。その結果、従来はオン状態であると判定するために１９．５ｐＦの静電容量の変化量が必要であったが、本発明の静電容量式センサでは１０．５ｐＦの静電容量の変化量があればオン状態であると判定することができる。つまり、被測定物が検出電極２に接触又は埋没したときの静電容量の増加量が小さい物質であっても、確実にオン状態になる。

このように、本発明の静電容量式センサは、検出電極２と接地電極３との間に渡って被測定物が存在するときに両電極間の静電容量が大幅に増加する物質や、大幅には増加しない物質など、様々な物質に対して汎用的に用いることができる。

また、接地電極３の非露出部１０は、接地電極３の露出部９から検出電極２の方に延伸した位置にあるので、検出電極２と接地電極３との間の全静電容量を大きく維持することができる。
具体的には、検出電極２と接地電極３との間の全静電容量：Ｃは、棒状体１の表面に露出している検出電極２と接地電極３との間の表面部分（又は表面部分に付着する被測定物）の露出側静電容量：Ｃ１と、棒状体１の表面に露出していない内部で、誘電体としての絶縁部４の突出部分４ｂを挟んでいる検出電極２と接地電極３との間の非露出側静電容量：Ｃ２との和になる。但し、露出側静電容量：Ｃ１のみが被測定物の付着によって変化することになる。

［数１］
Ｃ＝Ｃ１＋Ｃ２

本発明の静電容量式センサでは、検出電極２と接地電極３とを棒状体１の異なる面上に配置して両者の表面距離を長くしたため上記露出側静電容量Ｃ１が小さくなる。他方で、接地電極３の非露出部１０が検出電極２の方に延伸して近接しているので、上記非露出側静電容量Ｃ２が大きくなる。その結果、両電極間の表面距離を長くしたことによって上記露出側静電容量Ｃ１は減少するものの、全静電容量Ｃが大幅に減少することを避けることができる。

また、本発明の静電容量式センサでは、接地電極３は勿論、絶縁部４の一部についても被測定物の付着及び残留の影響を受けない。このことは、容器内空間１２に検出電極２、絶縁部４、及び、接地電極３が配された場合においても被測定物の付着の影響を受け難いという点で有利であるし、また、従来技術の問題点であったセンサの取付け端管等の影響を受け難いという点でも優れている。具体的には、図５に例示するように、検出電極２及び絶縁部４の一部（例えば、５ｍｍ分）だけを容器内空間１２に突出するように装着することも可能となった。このとき、本発明の静電容量式センサは、図１、図２、及び、図５に示すように、検出電極２と接地電極３との表面距離を長くして、従来型のセンサでは感知部であった絶縁部４の一部を不感知化（被測定物が付着してもオン状態とならない）できている。その結果、絶縁部４を端管１３内に配置した状態で、端管１３内に被測定物が残留していたとしても、その残留物による誤検出が発生しない。よって、容器内への突出長さが短くても良く、小型化された静電容量式センサを提供できる。

＜別実施形態＞
上記実施形態では、棒状体１、検出電極２、接地電極３、絶縁部４等の寸法を示して本発明の説明を行ったが、この寸法は例示目的で示したものであり、他の寸法で静電容量式センサを構成してもよい。また、検出電極２の先端面７の形状を凸型や凹型などの様々な形状に改変してもよい。

本発明は液体や紛体などの被測定物が容器内にどの程度収容されているのかを検出するためのセンサに用いることができる。

静電容量式センサの斜視図 静電容量式センサの縦断面図 付着キャンセラ機能の特性図 静電容量式センサが容器内に挿入された状態の図 静電容量式センサが容器内に挿入された状態の図 従来の静電容量式センサの斜視図 （ａ）は従来の静電容量式センサの斜視図、（ｂ）は側面図 （ａ）は従来の静電容量式センサの斜視図、（ｂ）は先端面から見た図 従来の付着キャンセラ機能の特性図 従来の静電容量式センサが容器内に挿入された状態の図 従来の静電容量式センサが容器内に挿入された状態の図

符号の説明

１ 棒状体
２ 検出電極
３ 接地電極
４ 絶縁部
７ 先端面
８ 側面

Claims (4)

1. 検出電極、接地電極、及び、前記検出電極と前記接地電極との間に介装された絶縁部を組み合わせた棒状体に形成される静電容量式センサであって、
   前記検出電極は前記棒状体の先端面に露出して設けられ、前記接地電極は前記棒状体の側面で露出する露出部と、前記絶縁部で覆われることにより前記棒状体の側面では露出しない非露出部とを有して設けられ、前記非露出部は前記露出部から前記検出電極の先端面の側に延伸して設けられる静電容量式センサ。
2. 前記絶縁部は前記棒状体の側面から前記棒状体の先端面に渡って設けられて前記検出電極の表面を取り囲む請求項１に記載の静電容量式センサ。
3. 前記棒状体の側面において前記接地電極の表面と前記絶縁部の表面とが略面一である請求項１又は２に記載の静電容量式センサ。
4. 検出電極、接地電極、及び、前記検出電極と前記接地電極との間に介装された絶縁部を組み合わせた棒状体に形成される静電容量式センサであって、
   前記接地電極は、筒状体に形成されて前記棒状体の側面で露出し、
   前記検出電極は、前記筒状体の内部空間側に位置して前記棒状体の先端面で露出し、
   前記絶縁部は、前記棒状体の先端面において前記検出電極の外周部を取り囲み、且つ、前記棒状体の径方向から見て前記検出電極の外周部から少なくとも前記接地電極と重複する位置まで前記棒状体の軸方向に延在する部材で構成される静電容量式センサ。

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