JP4626744B2 - Linear motor control device and control method - Google Patents

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Description

本発明は、複数の電流制御装置を用いて複数のリニアモータを駆動するリニアモータ制御装置とリニアモータ制御方法に関する。   The present invention relates to a linear motor control device and a linear motor control method for driving a plurality of linear motors using a plurality of current control devices.

従来のリニアモータの電流制御装置では、複数個のコイルを有しテーブルを駆動する多相型のモータと、各コイルへの通電電流値を指令する指令手段と、テーブルの位置に応じて通電すべきコイルを選択する手段と、選択されたコイルへの通電電流を指令された電流値に一致させるべく制御するサーボ回路を備えた位置決めテーブル装置において、予め定められた通電パターンに基づいてコイルを順次切り替えながらテーブルを移動させる際、コイルを駆動するサーボ回路への電流指令を緩やかに変化させ、切り替え前後の各コイルの合成電流が実質的に一定になるようにし、各コイルの電流指令値とコイル選択信号とを乗算する手段を設け、コイル切り替え直後に電流ループが飽和しないようにコイル選択信号を遅延している(例えば、特許文献1参照)。
図5において、104は4相のコイルを一直線上に並べたリニアモータコイルであり、リニアモータコイル104はコイル支持部材103に支持されており、リニアモータコイル104を構成するコイルの並ぶ方向と平行に、一対のガイド102が設けられている。ガイド102には上下一対のテーブル天板101が案内部111を介してリニアモータ104を挟持するように取り付けられており、上下一対のテーブル天板101はガイド102によって前記コイルの並ぶ方向に摺動自在に案内される。案内部111としては、位置決め精度やメンテナンス性を考慮し、転がり、摺動、静止案内などが用いられる。上下一対のテーブル天板101の各々には可動磁石105が取り付けられ、可動磁石105は前記コイルの並ぶ方向に永久磁石を極性を交互にして4つ並べて構成されている。そして各可動磁石105はリニアモータコイル104を介して互いに異なる極性どうし向き合うようにしてテーブル天板101に取り付けられている。
また、ガイド102の側方にはテーブル天板101の位置を検出するリニアスケールなどの位置検出器106が設けられている。位置検出器106にはテーブルの位置信号を得るカウンタユニット107が接続され、カウンタユニット107には各コイル相を切り替えるための相切り替えコントローラ109が接続されている。相切り替えコントローラ109は、カウンタユニット107からのテーブルの位置信号に応じて通電すべきコイルを切り替えるための各コイルごとのコイル選択信号(オン・オフ信号)を出力するものである。各コイルごとのコイル選択信号は各コイルごとに設けられた各乗算器113の一方の入力端に入力される。乗算器113にはコイル相が電流アンプ110を介して接続されており、相切り替えコントローラ109からのコイル選択信号(オン・オフ信号)により乗算器113の出力がオン・オフされて各コイル相への通電が切り替えられる。また、カウンタユニット107にはテーブルの目標位置とカウンタユニット107から得られる現在位置との差分を演算し、各電流アンプ110へ指令値として出力するサーボコントローラ108が接続されている。
そして、相切り替えコントローラ109の、各コイルをオン・オフするデジタル出力のコイル選択信号出力端子には、フィルタ回路112が接続されている。このフィルタ回路112によりフィルタ処理(遅延処理)を施したコイル選択信号とサーボコントローラ108からの各コイルの電流指令値とは、乗算器113により乗算され、電流アンプ110への電流指令信号となる。図5の装置において、このフィルタ回路112により、上記電流指令値信号、すなわち各コイルの相切り替え時のスイッチング特性を制御できるようになる。
このように、従来のリニアモータの電流制御装置では、複数個のコイルを有しテーブルを駆動する多相型のモータと、各コイルへの通電電流値を指令する指令手段と、テーブルの位置に応じて通電すべきコイルを選択する手段と、選択されたコイルへの通電電流を指令された電流値に一致させるべく制御するサーボ回路を備えた位置決めテーブル装置において、予め定められた通電パターンに基づいてコイルを順次切り替えながらテーブルを移動させる際、コイルを駆動するサーボ回路への電流指令を緩やかに変化させ、切り替え前後の各コイルの合成電流が実質的に一定になるようにし、各コイルの電流指令値とコイル選択信号とを乗算する手段を設け、コイル切り替え直後に電流ループが飽和しないようにコイル選択信号を遅延する、という手順がとられていた。
特開平7−134618号公報(第3−4頁、図1)
In a conventional linear motor current control device, a multi-phase motor having a plurality of coils and driving a table, command means for commanding an energization current value to each coil, and energization according to the position of the table In a positioning table device having means for selecting a power coil and a servo circuit for controlling the energization current to the selected coil to coincide with the commanded current value, the coils are sequentially arranged based on a predetermined energization pattern. When moving the table while switching, the current command to the servo circuit that drives the coil is gradually changed so that the combined current of each coil before and after switching is substantially constant, and the current command value of each coil and the coil A means for multiplying the selection signal is provided, and the coil selection signal is delayed so that the current loop is not saturated immediately after switching the coil (for example, References 1).
In FIG. 5, reference numeral 104 denotes a linear motor coil in which four-phase coils are arranged in a straight line. The linear motor coil 104 is supported by a coil support member 103 and is parallel to the direction in which the coils constituting the linear motor coil 104 are arranged. A pair of guides 102 is provided. A pair of upper and lower table top plates 101 are attached to the guide 102 so as to sandwich the linear motor 104 via the guide portion 111, and the pair of upper and lower table top plates 101 are slid by the guide 102 in the direction in which the coils are arranged. Guided freely. As the guide portion 111, rolling, sliding, stationary guide, etc. are used in consideration of positioning accuracy and maintainability. A movable magnet 105 is attached to each of the pair of upper and lower table top plates 101, and the movable magnet 105 is composed of four permanent magnets arranged alternately in the direction in which the coils are arranged. The movable magnets 105 are attached to the table top plate 101 through the linear motor coils 104 so as to face each other with different polarities.
Further, a position detector 106 such as a linear scale for detecting the position of the table top plate 101 is provided on the side of the guide 102. A counter unit 107 that obtains a table position signal is connected to the position detector 106, and a phase switching controller 109 for switching each coil phase is connected to the counter unit 107. The phase switching controller 109 outputs a coil selection signal (on / off signal) for each coil for switching a coil to be energized in accordance with a table position signal from the counter unit 107. The coil selection signal for each coil is input to one input terminal of each multiplier 113 provided for each coil. The coil phase is connected to the multiplier 113 via the current amplifier 110, and the output of the multiplier 113 is turned on / off by a coil selection signal (on / off signal) from the phase switching controller 109 to each coil phase. Is switched on. The counter unit 107 is connected to a servo controller 108 that calculates a difference between the target position of the table and the current position obtained from the counter unit 107 and outputs the difference to each current amplifier 110 as a command value.
A filter circuit 112 is connected to a digital output coil selection signal output terminal for turning on / off each coil of the phase switching controller 109. The coil selection signal subjected to the filter processing (delay processing) by the filter circuit 112 and the current command value of each coil from the servo controller 108 are multiplied by the multiplier 113 to become a current command signal to the current amplifier 110. In the apparatus shown in FIG. 5, the filter circuit 112 can control the current command value signal, that is, the switching characteristics of each coil during phase switching.
As described above, in the conventional linear motor current control device, a multi-phase motor having a plurality of coils and driving a table, command means for commanding an energization current value to each coil, and a position of the table. In accordance with a predetermined energization pattern in a positioning table device provided with means for selecting a coil to be energized in response and a servo circuit for controlling the energization current to the selected coil to coincide with the commanded current value When the table is moved while switching the coils sequentially, the current command to the servo circuit that drives the coil is gradually changed so that the combined current of each coil before and after switching is substantially constant, and the current of each coil A means for multiplying the command value and the coil selection signal is provided, and the coil selection signal is delayed so that the current loop is not saturated immediately after the coil switching. Cormorants steps had been taken.
Japanese Patent Laid-Open No. 7-134618 (page 3-4, FIG. 1)

ところが、従来技術では、相切り替えコントローラを駆動するために可動子の位置を検出するリニアスケールなどの位置検出器が必要となり、高価な上に信頼性が低下してしまうという問題があった。本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、リニアスケールを用いなくとも、複数のリニアモータ切替制御ができ、かつ速度リプルの小さいリニアモータ制御装置とその制御方法を提供することを目的とする。   However, in the prior art, a position detector such as a linear scale for detecting the position of the mover is required to drive the phase switching controller, and there is a problem that the reliability is lowered in addition to being expensive. The present invention has been made in view of such problems, and provides a linear motor control device that can perform a plurality of linear motor switching control without using a linear scale and has a small speed ripple, and a control method therefor. With the goal.

請求項1記載の本発明は、多相コイルで構成される複数の固定子と、複数の固定子の内少なくとも1つ以上の固定子を跨ぐ多極の永久磁石で構成される可動子と、可動子の位置に応じて通電する固定子を選択する手段を備えるリニアモータの制御装置であって、速度指令を用いて電流指令を生成する電流指令生成部と、電流を検出する電流検出手段と、電流検出手段により検出された電流検出値と前記電流指令とが一致するように電圧指令を生成する電流制御部と、速度指令を積分して推定位置を生成する位置生成部と、電圧指令と前記推定位置とを用いて電圧を出力する電圧出力部とから構成される電流制御装置と、前記電流制御装置は1つの固定子に接続され、前記電流制御装置を少なくとも2つ以上備えたリニアモータ駆動システムにおいて、速度指令と電流指令と電圧指令とモータ定数を用いて可動子を駆動している固定子のコイル数を判別する固定子のコイル数判別部と、固定子のコイル数判別部の結果と前記推定位置を用いて前記可動子を駆動する電流値を調整する電流調整部とを備えるようにしたものである。
請求項2記載の本発明は、多相コイルで構成される複数の固定子と、複数の固定子の内少なくとも1つ以上の固定子を跨ぐ多極の永久磁石で構成される可動子と、可動子の位置に応じて通電する固定子を選択する手段を備えるリニアモータの制御方法であって、速度指令を用いて電流指令を生成する電流指令生成部と、電流を検出する電流検出手段と、電流検出手段により検出された電流検出値と電流指令とが一致するように電圧指令を生成する電流制御部と、速度指令を積分して推定位置を生成する位置生成部と、電圧指令と前記推定位置とを用いて電圧を出力する電圧出力部とから構成される電流制御装置と、電流制御装置は1つの固定子に接続され、電流制御装置を少なくとも2つ以上備えたリニアモータ駆動システムにおいて、固定子のコイル数判別部で可動子を駆動している固定子のコイル数を判別するステップと、固定子のコイル数判別部の固定子のコイル数判別結果と推定位置に応じて電流調整部で電流指令の大きさを調整するステップとを有するようにしたものである。
請求項3記載の本発明は、請求項1記載のリニアモータ制御装置において、固定子のコイル数判別部は、電流指令の代わりに電流センサ信号を用い、可動子を駆動している固定子のコイル数を判別するようにしたものである。
請求項4記載の本発明は、請求項2記載のリニアモータ制御方法において、固定子のコイル数判別部は、電流指令の代わりに電流センサ信号を用い、可動子を駆動している固定子のコイル数を判別するようにしたものである。
請求項5記載の本発明は、請求項1記載のリニアモータ制御装置において、固定子のコイル数判別部は、速度指令の代わりに速度センサによる速度フィードバック信号を用い、可動子を駆動している固定子のコイル数を判別するようにしたものである。
請求項6記載の本発明は、請求項2記載のリニアモータ制御方法において、固定子のコイル数判別部は、速度指令の代わりに速度センサによる速度フィードバック信号を用い、前記可動子を駆動している固定子のコイル数を判別するようにしたものである。
請求項7記載の本発明は、請求項1記載のリニアモータ制御装置において、固定子のコイル数判別部は、
={(R・I) +(ωL・I) }/{V1 −2・V1・φω+(φω)
ただし、Nは可動子を駆動しているコイル数、Iは電流指令、R・Iは抵抗による電圧降下、ωL・Iはインダクタンスによる電圧降下、V1は電圧指令、φωは誘起電圧
を用いて固定子のコイル数を求めるようにしたものである。
請求項8記載の本発明は、請求項2記載のリニアモータ制御装置において、固定子のコイル数判別部は、
={(R・I) +(ωL・I) }/{V1 −2・V1・φω+(φω)
ただし、Nは可動子を駆動しているコイル数、Iは電流指令、R・Iは抵抗による電圧降下、ωL・Iはインダクタンスによる電圧降下、V1は電圧指令、φωは誘起電圧
を用いて固定子のコイル数を求めるようにしたものである。
請求項9記載の本発明は、請求項1記載のリニアモータ制御装置において、電流調整部は電流振幅を推定位置に応じてランプ状に変化させるようにしたものである。
請求項10記載の本発明は、請求項2記載のリニアモータ制御方法において、電流調整部は電流振幅を推定位置に応じてランプ状に変化させるようにしたものである。
The present invention described in claim 1 includes a plurality of stators composed of multiphase coils, a mover composed of multipolar permanent magnets straddling at least one of the plurality of stators, and A linear motor control device including means for selecting a stator to be energized according to the position of a mover, a current command generation unit that generates a current command using a speed command, and a current detection unit that detects current A current control unit that generates a voltage command so that the current detection value detected by the current detection unit matches the current command, a position generation unit that integrates the speed command to generate an estimated position, and a voltage command A current control device including a voltage output unit that outputs a voltage using the estimated position, and the current control device is connected to one stator, and the linear motor includes at least two current control devices. To drive system The stator coil number discriminating unit for discriminating the number of stator coils driving the mover using the speed command, current command, voltage command, and motor constant, and the results of the stator coil number discriminating unit And a current adjusting unit that adjusts a current value for driving the mover using the estimated position.
The present invention described in claim 2 includes a plurality of stators composed of multiphase coils, a mover composed of multipolar permanent magnets straddling at least one of the plurality of stators, and A control method for a linear motor comprising means for selecting a stator to be energized according to the position of a mover, a current command generation unit for generating a current command using a speed command, and a current detection unit for detecting a current A current control unit that generates a voltage command so that the current detection value detected by the current detection unit and the current command match, a position generation unit that integrates the speed command to generate an estimated position, and the voltage command In a linear motor drive system including a voltage control unit configured to output a voltage using an estimated position, and the current control device connected to one stator and having at least two current control devices Fixed The step of determining the number of coils of the stator driving the mover by the number of coils determination unit of the current, and the current adjustment unit by the current adjustment unit according to the coil number determination result of the stator and the estimated position And a step of adjusting the magnitude of the command.
According to a third aspect of the present invention, in the linear motor control device according to the first aspect, the coil number determination unit of the stator uses a current sensor signal instead of the current command, and the stator driving the mover. The number of coils is discriminated.
According to a fourth aspect of the present invention, in the linear motor control method according to the second aspect, the stator coil number discriminating unit uses a current sensor signal instead of the current command, and the stator driving the mover. The number of coils is discriminated.
According to a fifth aspect of the present invention, in the linear motor control device according to the first aspect, the stator coil number discriminating unit drives the mover using a speed feedback signal from a speed sensor instead of a speed command. The number of coils of the stator is determined.
According to a sixth aspect of the present invention, in the linear motor control method according to the second aspect, the stator coil number discriminating unit uses a speed feedback signal from a speed sensor instead of a speed command to drive the mover. The number of stator coils is determined.
According to a seventh aspect of the present invention, in the linear motor control device according to the first aspect, the coil number determination unit of the stator includes:
N 2 = {(R · I) 2 + (ωL · I) 2 } / {V1 2 −2 · V1 · φω + (φω) 2 }
Where N is the number of coils driving the mover, I is a current command, R · I is a voltage drop due to resistance, ωL · I is a voltage drop due to inductance, V1 is a voltage command, and φω is fixed using an induced voltage. The number of coils of the child is obtained.
The present invention according to claim 8 is the linear motor control device according to claim 2, wherein the number-of-coil determination unit of the stator is
N 2 = {(R · I) 2 + (ωL · I) 2 } / {V1 2 −2 · V1 · φω + (φω) 2 }
Where N is the number of coils driving the mover, I is a current command, R · I is a voltage drop due to resistance, ωL · I is a voltage drop due to inductance, V1 is a voltage command, and φω is fixed using an induced voltage. The number of coils of the child is obtained.
According to a ninth aspect of the present invention, in the linear motor control device according to the first aspect, the current adjusting unit changes the current amplitude in a ramp shape according to the estimated position.
According to a tenth aspect of the present invention, in the linear motor control method according to the second aspect, the current adjusting section changes the current amplitude in a ramp shape according to the estimated position.

本発明によると、相切り替えコントローラを駆動するために可動子の位置を検出するリニアスケールなどの位置検出器をなくすことができるので、その分低コストで信頼性を高めることができる。さらにリニアスケールを用いなくとも、複数のリニアモータ切替制御ができ、かつ速度リプルの小さいリニアモータ制御装置とその制御方法を提供できる。   According to the present invention, since a position detector such as a linear scale that detects the position of the mover for driving the phase switching controller can be eliminated, the reliability can be improved at a lower cost. Furthermore, a linear motor control device and a control method thereof can be provided that can control a plurality of linear motors without using a linear scale and have a small speed ripple.

以下、本発明の方法の具体的実施例について、図に基づいて説明する。   Hereinafter, specific examples of the method of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明の方法を実施するリニアモータ電流制御装置の構成を示すブロック図で
ある。図において、1は固定子のコイル数判別部3の結果に応じてリニアモータに流す電流を調整する電流調整部、2は速度指令4より電流指令を生成する電流指令生成部、3は速度指令4と第1推力電流指令(IqrefA)と第1励磁電流指令(IdrefA)と電圧指令とモータ定数を用いて可動子を駆動している固定子のコイル数を判別する固定子のコイル数判別部、4は速度指令、5は電流指令と電流検出手段18で検出された電流が一致するように電圧指令を生成する電流制御部、6は電流指令生成部2で生成された第1推力電流指令(IqrefA)、7は電流指令生成部2で生成された第1励磁電流指令(IdrefA)、8は速度指令4を積分して位置を生成する位置生成部、9は電流制御部5で生成された推力電圧指令(Vqref)と励磁電圧指令と位置生成部8で生成された位置を用いて二相三相変換を行う二相三相変換部、10はデッドタイム補償を行うデッドタイム補償部、11はデッドタイム補償部10の出力する電圧指令どおりにリニアモータに電圧を与えるPWM制御部、12は複数の固定子と複数の固定子を跨ぐ可動子で構成されるリニアモータ、13は電流調整部1で調整された第2推力電流指令(IqrefB)、14は電流調整部1で調整された第2励磁電流指令(IdrefB)、15は電流制御部5で生成された推力電圧指令(Vqref)、16は電流制御部5で生成された励磁電圧指令(Vdref)、17は二相三相変換部9、デッドタイム補償部10、PWM制御部11などで構成され、電流制御部5から出力された電圧指令と位置生成部8で生成された位置とを用いて電圧を出力する電圧出力部であり、18は電流検出手段である。
図2は、本発明の方法を適用するリニアモータ電流制御装置の構成を示すシステム構成
図である。図において、19は電流制御装置、20はリニアモータ12を構成する可動子
であり、複数の固定子21を跨ぐものであり、21はリニアモータ12を構成する多相コイルで構成される固定子であり、リニアモータ12は複数の固定子21で構成されている。
図4は、本発明の電流振幅パターンである。図において、31はリニアモータ12が駆
動している場合、可動子が通過する固定子21を駆動している電流制御装置19の電流振
幅パターンであり、32はリニアモータ12が駆動している場合、可動子が進入する固定
子21を駆動している電流制御装置19の電流振幅パターンであり、33は前記2台の電
流制御装置の合計の電流振幅パターンであり、個々の電流振幅をランプ状に変化させるこ
とで、合計の推力は変化なく滑らかに固定子励磁を切替えることができる。
複数の多相コイルで構成される固定子21と複数の多相コイルで構成される固定子21を跨ぐ可動子20で構成されるリニアモータ12を複数の電流制御装置19で速度指令4に従って駆動する場合、固定子のコイル数判別部3で式(1)を用いて可動子を駆動している固定子のコイル数を判別する。式(1)において、Nは可動子を駆動している固定子のコイル数、ωは速度指令4、Iは第1推力電流指令(IqrefA)6および第1励磁電流指令(IdrefA)7を用いて式(3)で演算される電流指令、V1は推力電圧指令(Vqref)15、励磁電圧指令(Vdref)16を用いて式(2)で演算される電圧指令である。固定子のコイル数判別部3の固定子のコイル数判別結果と位置生成部8で生成した推定位置に基づいて電流調整部1で電流指令の大きさを調整する処理をし、第2推力電流指令(IqrefB)13および第2励磁電流指令(IdrefB)14を生成し、電流制御部5で電流検出手段18で検出された電流と第2推力電流指令(IqrefB)および第2励磁電流指令(IdrefB)が一致するように推力電圧指令(Vqref)15および励磁電圧指令(Vdref)16を生成し、二相三相変換部9で、推力電圧指令(Vqref)15、励磁電圧指令(Vdref)16および位置生成部8で生成された位置を用いて二相三相を行い、二相三相変換部9の出力電圧指令をデッドタイム補償部10でデッドタイム補償を行い、デッドタイム補償部10の出力電圧指令をPWM制御部11でPWM制御することでリニアモータ12を駆動する。電流調整部1で生成される電流パターンは駆動する可動子が複数の固定子を跨いでいる時、電流振幅パターン31および電流振幅パターン32のように推定位置に応じてランプ状に変化させることで、2台の電流制御装置19の合計の電流振幅パターン33でリニアモータ12を駆動し、可動子が複数の固定子を跨いでいる場合の推力リプル、速度リプルを小さくすることができる。
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a linear motor current control apparatus that implements the method of the present invention. In the figure, 1 is a current adjusting unit that adjusts the current flowing through the linear motor according to the result of the stator coil number discriminating unit 3, 2 is a current command generating unit that generates a current command from the speed command 4, and 3 is a speed command. 4 and the first thrust current command (IqrefA) and the first exciting current command (IdrefA) a voltage command and the number of coils determination of the stator to determine the number of coil stator which drives the mover using the motor constant Reference numeral 4 denotes a speed command, 5 denotes a current control unit that generates a voltage command so that the current command and the current detected by the current detection means 18 match, and 6 denotes a first thrust current command generated by the current command generation unit 2. (IqrefA), 7 is a first excitation current command (IdrefA) generated by the current command generation unit 2, 8 is a position generation unit that integrates the speed command 4 to generate a position, and 9 is generated by the current control unit 5. Thrust voltage command (Vq ef), an excitation voltage command, and a position generated by the position generator 8, a two-phase / three-phase converter that performs two-phase / three-phase conversion, 10 is a dead time compensator that performs dead time compensation, and 11 is dead time compensation. PWM controller for applying voltage to the linear motor according to the voltage command output from the unit 10, 12 is a linear motor composed of a plurality of stators and a mover straddling the plurality of stators, and 13 is adjusted by the current adjusting unit 1. The second thrust current command (IqrefB), 14 is the second excitation current command (IdrefB) adjusted by the current adjustment unit 1, 15 is the thrust voltage command (Vqref) generated by the current control unit 5, and 16 is the current control. The excitation voltage command (Vdref) 17 generated by the unit 5 is composed of the two-phase / three-phase conversion unit 9, the dead time compensation unit 10, the PWM control unit 11, and the like, and the voltage command output from the current control unit 5 and A voltage output section that outputs a voltage by using the position generated by the location generation unit 8, 18 is a current detector.
FIG. 2 is a system configuration diagram showing a configuration of a linear motor current control apparatus to which the method of the present invention is applied. In the figure, 19 is a current control device, 20 is a mover constituting the linear motor 12 and straddles a plurality of stators 21, and 21 is a stator constituted by multiphase coils constituting the linear motor 12. The linear motor 12 is composed of a plurality of stators 21.
FIG. 4 is a current amplitude pattern of the present invention. In the figure, 31 is the current amplitude pattern of the current control device 19 driving the stator 21 through which the mover passes when the linear motor 12 is driven, and 32 is when the linear motor 12 is driven. The current amplitude pattern of the current control device 19 driving the stator 21 into which the mover enters, and 33 is the total current amplitude pattern of the two current control devices. The stator excitation can be switched smoothly without changing the total thrust.
Driven according to the speed command 4 a linear motor 12 consists of movable member 20 straddling the formed stator 21 with stator 21 and a plurality of multi-phase coils composed of a plurality of multi-phase coils of a plurality of current control device 19 to determine the number of coil stator which drives a movable element with a case, the equation (1) in the coil number determination section 3 of the stator to be. In equation (1), N is the number of coils of the stator driving the mover, ω is the speed command 4, I is the first thrust current command (IqrefA) 6 and the first excitation current command (IdrefA) 7 . The current command calculated by the equation (3) , V1 is a voltage command calculated by the equation (2) using the thrust voltage command (Vqref) 15 and the excitation voltage command (Vdref) 16. The current adjustment unit 1 adjusts the magnitude of the current command based on the stator coil number determination result of the stator coil number determination unit 3 and the estimated position generated by the position generation unit 8, and the second thrust current A command (IqrefB) 13 and a second excitation current command (IdrefB) 14 are generated, and the current detected by the current detection means 18 in the current control unit 5, the second thrust current command (IqrefB), and the second excitation current command (IdrefB) ) To generate a thrust voltage command (Vqref) 15 and an excitation voltage command (Vdref) 16, and the two-phase / three-phase converter 9 generates the thrust voltage command (Vqref) 15, the excitation voltage command (Vdref) 16 and Two-phase three-phase is performed using the position generated by the position generation unit 8, the output voltage command of the two-phase three-phase conversion unit 9 is compensated for dead time by the dead time compensation unit 10, and dead The output voltage command Im compensator 10 drives the linear motor 12 by PWM control by the PWM control unit 11. The current pattern generated by the current adjusting unit 1 is changed in a ramp shape according to the estimated position like the current amplitude pattern 31 and the current amplitude pattern 32 when the movable element to be driven straddles a plurality of stators. The linear motor 12 is driven by the total current amplitude pattern 33 of the two current control devices 19, and the thrust ripple and the speed ripple can be reduced when the mover straddles a plurality of stators.

={(R・I) +(ωL・I) }/{V1 −2・V1・φω+(φω)
・・・(1)
V1=√(Vdref+Vqref) ・・・(2)
I=√(IqrefA+IdrefA) ・・・(3)
N 2 = {(R · I) 2 + (ωL · I) 2 } / {V1 2 −2 · V1 · φω + (φω) 2 }
... (1)
V1 = √ (Vdref 2 + Vqref 2 ) (2)
I = √ (IqrefA 2 + IdrefA 2 ) (3)

図3は、本発明の処理手順を示すフローチャートである。この図を用いて本発明の方法を順を追って説明する。
はじめにステップ22で推力電圧指令(Vqref)15と励磁電圧指令(Vdref)16を用いて式(2)より演算されるV1を取り込み、
FIG. 3 is a flowchart showing the processing procedure of the present invention. The method of the present invention will be described step by step with reference to this figure.
First, in step 22, V1 calculated from equation (2) using the thrust voltage command (Vqref) 15 and the excitation voltage command (Vdref) 16 is fetched.

ステップ23でV1およびV1を算出し、ステップ24で誘起電圧φωおよび誘起電
圧の二乗(φω)を算出し、ステップ25で、式(1)の分母であるV1−2・V1
・φω+(φω)を演算し、ステップ26で抵抗分の電圧RIおよび抵抗分の電圧の二
乗(RI)を算出し、ステップ27でリアクタンス分の電圧ωLIおよびリアクタンス
分の電圧の二乗(ωLI)を算出し、ステップ28で式(1)を用いてNを算出し、
ステップ29でステップ28の結果より固定子のコイル数判別基準を用いて固定子のコイル数判別処理し、ステップ30でステップ29の固定子のコイル数判別結果を用いて、電流振幅パターン31および電流振幅パターン32を生成する電流調整を行うことで、可動子が複数の固定子を跨いでいる時の2台の電流制御装置19の合計の電流振幅パターン33でリニアモータ12を駆動し、可動子が複数の固定子を跨いでいる場合の電流振幅を推定位置に応じてランプ状に変化させて、推力リプル、速度リプルを小さくすることができる。
Calculates V1 and V1 2 at step 23, the square of the induced voltage Faiomega and induced voltage (φω) 2 calculated in step 24, in step 25, a denominator of Equation (1) V1 2 -2 · V1
Φω + (φω) 2 is calculated, the voltage RI for the resistance and the square of the voltage for the resistance (RI) 2 are calculated in step 26, and the voltage ωLI for the reactance and the square of the voltage for the reactance (ωLI) in step 27 2 is calculated, N 2 is calculated using equation (1) in step 28,
In step 29, the number of stator coils is determined from the result of step 28 using the stator coil number determination criterion. In step 30, the stator coil number determination result of step 29 is used to determine the current amplitude pattern 31 and the current. By adjusting the current to generate the amplitude pattern 32, the linear motor 12 is driven by the total current amplitude pattern 33 of the two current control devices 19 when the mover straddles a plurality of stators, and the mover The thrust ripple and the speed ripple can be reduced by changing the current amplitude in the case of straddling a plurality of stators in a ramp shape according to the estimated position.

図3の処理手順を示すフローチャートの固定子のコイル数の二乗を求めるステップ28の式(1)において、ωは速度発電機やFG(周波数発電機)などリニアスケールと比較するとより簡易な速度フィードバック信号を用い、Iは電流指令生成部2で生成された第1推力電流指令(IqrefA)6および第1励磁電流指令(IdrefA)7を用い、V1は推力電圧指令(Vqref)15、励磁電圧指令(Vdref)16を用いて式(2)で演算される電圧指令を用いて固定子のコイル数判別し、電流調整部1で電流調整を行うことで、可動子20が複数の固定子21を跨いでいるときの電流振幅を推定位置に応じてランプ状に変化させ、推力リプル、速度リプルを小さくすることができる。 In formula (1) of step 28 for obtaining the square of the number of coils of the stator in the flowchart showing the processing procedure of FIG. 3, ω is speed feedback that is simpler than a linear scale such as a speed generator or FG (frequency generator). Using the signal, I uses the first thrust current command (IqrefA) 6 and the first excitation current command (IdrefA) 7 generated by the current command generator 2, V1 uses the thrust voltage command (Vqref) 15, and the excitation voltage command. By determining the number of stator coils using the voltage command calculated by the equation (2) using (Vdref) 16 and performing current adjustment in the current adjustment unit 1, the mover 20 has a plurality of stators 21. The current amplitude when straddling is changed in a ramp shape according to the estimated position, and the thrust ripple and the speed ripple can be reduced.

図3の本発明の本発明の方法の処理手順を示すフローチャートの固定子のコイル数の二乗を求めるステップ28の式(1)において、ωは速度指令4を用い、Iは電流センサ信号を用いて検出した推力電流および励磁電流を用い、V1は推力電圧指令(Vqref)15、励磁電圧指令(Vdref)16を用いて式(2)で演算される電圧指令を用いて固定子のコイル数判別し、電流調整部1で電流調整を行うことで、可動子20が複数の固定子21を跨いでいるときの電流振幅を推定位置に応じてランプ状に変化させ推力リプル、速度リプルを小さくすることができる。 In formula (1) of step 28 for obtaining the square of the number of coils of the stator in the flowchart showing the processing procedure of the method of the present invention of FIG. 3, ω uses the speed command 4 and I uses the current sensor signal. Using the thrust current and the excitation current detected in this way, V1 is the number of stator coils determined using the voltage command calculated by equation (2) using the thrust voltage command (Vqref) 15 and the excitation voltage command (Vdref) 16. Then, by adjusting the current in the current adjusting unit 1, the current amplitude when the movable element 20 straddles the plurality of stators 21 is changed in a ramp shape according to the estimated position, thereby reducing the thrust ripple and the speed ripple. be able to.

リニアスケールなどの位置検出器が無くとも、リニアモータの可動子が跨っている固定子及び固定子のコイル数を判別すると同時に速度指令から得られる推定位置により複数のリニアモータの電流振幅を推定位置に応じてランプ状に変化させ推力リプル、速度リプルを小さくする。この技術はリニアモータを使用する搬送装置や移動装置だけでなく工作機械や産業機械にも適用が期待できる。 Even if there is no position detector such as a linear scale, the current position of multiple linear motors is estimated by the estimated position obtained from the speed command at the same time as determining the number of stators and stator coils that the linear motor mover straddles. The thrust ripple and speed ripple are reduced by changing to a ramp shape according to. This technology can be expected to be applied not only to conveying devices and moving devices that use linear motors, but also to machine tools and industrial machines.

本発明の方法を適応するリニアモータ電流制御装置の構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the linear motor current control apparatus which adapts the method of this invention. 本発明の方法を適用するリニアモータ電流制御装置の構成を示すシステム構成図。The system block diagram which shows the structure of the linear motor current control apparatus to which the method of this invention is applied. 本発明の方法の処理手順を示すフローチャート。The flowchart which shows the process sequence of the method of this invention. 本発明の電流振幅パターン。The current amplitude pattern of this invention. 従来の方法を適用したリニアモータ電流制御装置の構成を示すシステム構成図。The system block diagram which shows the structure of the linear motor current control apparatus to which the conventional method is applied.

符号の説明Explanation of symbols

1 電流調整部
2 電流指令生成部
固定子のコイル数判別部
4 速度指令
5 電流制御部
6 第1推力電流指令(IqrefA)
7 第1励磁電流指令(IdrefA)
8 位置生成部
9 二相三相変換部
10 デッドタイム補償部
11 PWM制御部
12 リニアモータ
13 第2推力電流指令(IqrefB)
14 第2励磁電流指令(IdrefB)
15 推力電圧指令(Vqref)
16 励磁電圧指令(Vdref)
17 電圧出力部
18 電流検出手段
19 電流制御装置
20 可動子
21 固定子
22 V1を取り込むステップ
23 V1およびV1を算出するステップ
24 φωおよび(φω)を算出するステップ
25 V1−2・V1・φω+(φω)を演算するステップ
26 RIおよび(RI)を算出するステップ
27 ωLIおよび(ωLI)を算出するステップ
28 固定子のコイル数 を算出するステップ
29 固定子のコイル数判別処理ステップ
30 電流調整ステップ
31 電流パターン
32 電流パターン
33 電流パターン
101 テーブル天板
102 ガイド
103 コイル支持部材
104 リニアモータコイル
105 可動磁石
106 位置検出器
107 カウンタユニット
108 サーボコントローラ
109 相切り替えコントローラ
110 電流アンプ
111 案内部
112 フィルタ回路
113 乗算器
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Current adjustment part 2 Current command production | generation part 3 Coil number discrimination | determination part 4 Speed command 5 Current control part 6 1st thrust current command (IqrefA)
7 First excitation current command (IdrefA)
8 Position generation unit 9 Two-phase three-phase conversion unit 10 Dead time compensation unit 11 PWM control unit 12 Linear motor 13 Second thrust current command (IqrefB)
14 Second excitation current command (IdrefB)
15 Thrust voltage command (Vqref)
16 Excitation voltage command (Vdref)
17 voltage output unit 18 the current detecting means 19 step 25 of calculating a step 24 Faiomega and (φω) 2 calculates the steps 23 V1 and V1 2 for taking a current control device 20 the movable element 21 the stator 22 V1 V1 2 -2 · V1 Step 26 for calculating φω + (φω) 2 Step 27 for calculating RI and (RI) 2 Step 28 for calculating ωLI and (ωLI) 2 Step 29 for calculating the number of stator coils 2 Step 29 for determining the number of stator coils Processing step 30 Current adjustment step 31 Current pattern 32 Current pattern 33 Current pattern 101 Table top plate 102 Guide 103 Coil support member 104 Linear motor coil 105 Movable magnet 106 Position detector 107 Counter unit 108 Servo controller 109 Phase switching controller 110 Current ann 111 Guide unit 112 Filter circuit 113 Multiplier

Claims (10)

多相コイルで構成される複数の固定子と、前記複数の固定子の内少なくとも1つ以上の
固定子を跨ぐ多極の永久磁石で構成される可動子と、前記可動子の位置に応じて通電する
固定子を選択する手段を備えるリニアモータの制御装置であって、
速度指令を用いて電流指令を生成する電流指令生成部と、電流を検出する電流検出手段
と、前記電流検出手段により検出された電流検出値と前記電流指令とが一致するように電
圧指令を生成する電流制御部と、前記速度指令を積分して推定位置を生成する位置生成部
と、前記電圧指令と前記推定位置とを用いて電圧を出力する電圧出力部とから構成される
電流制御装置と、前記電流制御装置は1つの固定子に接続され、前記電流制御装置を少なくとも2つ以上備えたリニアモータ駆動システムにおいて、
前記速度指令と前記電流指令と前記電圧指令とモータ定数を用いて前記可動子を駆動し
ている固定子のコイル数を判別する固定子のコイル数判別部と、
前記固定子のコイル数判別部の結果と前記推定位置を用いて前記可動子を駆動する電流値を調整する電流調整部とを備えたことを特徴とするリニアモータ制御装置。
A plurality of stators composed of multiphase coils, a mover composed of multipolar permanent magnets straddling at least one of the plurality of stators, and a position of the mover A linear motor control device comprising means for selecting a stator to be energized,
A current command generation unit that generates a current command using a speed command, a current detection unit that detects a current, and a voltage command that generates a voltage command so that the current detection value detected by the current detection unit matches the current command A current control unit that includes: a current control unit that performs integration; a position generation unit that integrates the speed command to generate an estimated position; and a voltage output unit that outputs a voltage using the voltage command and the estimated position; In the linear motor driving system, the current control device is connected to one stator and includes at least two current control devices.
A stator coil number discriminating section for discriminating the number of coils of the stator driving the mover using the speed command, the current command, the voltage command, and a motor constant;
A linear motor control device comprising: a current adjusting unit that adjusts a current value for driving the mover using the result of the coil number determining unit of the stator and the estimated position.
多相コイルで構成される複数の固定子と、前記複数の固定子の内少なくとも1つ以上の
固定子を跨ぐ多極の永久磁石で構成される可動子と、前記可動子の位置に応じて通電する
固定子を選択する手段を備えるリニアモータの制御装置であって、
速度指令を用いて電流指令を生成する電流指令生成部と、電流を検出する電流検出手段
と、前記電流検出手段により検出された電流検出値と前記電流指令とが一致するように電
圧指令を生成する電流制御部と、前記速度指令を積分して推定位置を生成する位置生成部
と、前記電圧指令と前記推定位置とを用いて電圧を出力する電圧出力部とから構成される
電流制御装置と、前記電流制御装置は1つの固定子に接続され、前記電流制御装置を少なくとも2つ以上備えたリニアモータ駆動システムにおいて、
固定子のコイル数判別部で前記速度指令と前記電流指令と前記電圧指令とモータ定数を用いて前記可動子を駆動している固定子のコイル数を判別するステップと、
前記固定子のコイル数判別部の固定子のコイル数判別結果と前記推定位置に応じて前記電流調整部で電流指令の大きさを調整するステップとを有することを特徴とするリニアモータ制御方法。
A plurality of stators composed of multiphase coils, a mover composed of multipolar permanent magnets straddling at least one of the plurality of stators, and a position of the mover A linear motor control device comprising means for selecting a stator to be energized,
A current command generation unit that generates a current command using a speed command, a current detection unit that detects a current, and a voltage command that generates a voltage command so that the current detection value detected by the current detection unit matches the current command A current control unit that includes: a current control unit that performs integration; a position generation unit that integrates the speed command to generate an estimated position; and a voltage output unit that outputs a voltage using the voltage command and the estimated position; In the linear motor driving system, the current control device is connected to one stator and includes at least two current control devices.
Determining the number of coils of the stator driving the mover using the speed command, the current command, the voltage command, and a motor constant in the coil number determination unit of the stator;
A linear motor control method comprising: adjusting a magnitude of a current command by the current adjusting unit according to a result of determining the number of coils of the stator of the coil number determining unit of the stator and the estimated position.
前記固定子のコイル数判別部は、前記電流指令の代わりに電流センサ信号を用い、前記可動子を駆動している固定子のコイル数を判別することを特徴とする請求項1記載のリニアモータ制御装置。   The linear motor according to claim 1, wherein the stator coil number discriminating unit discriminates the number of stator coils driving the mover by using a current sensor signal instead of the current command. Control device. 前記固定子のコイル数判別部は、前記電流指令の代わりに電流センサ信号を用い、前記可動子を駆動している固定子のコイル数を判別することを特徴とする請求項2記載のリニアモータ制御方法。   3. The linear motor according to claim 2, wherein the stator coil number discriminating unit discriminates the number of coils of the stator driving the mover by using a current sensor signal instead of the current command. Control method. 前記固定子のコイル数判別部は、前記速度指令の代わりに速度センサによる速度フィー
ドバック信号を用い、前記可動子を駆動している固定子のコイル数を判別することを特徴
とする請求項1記載のリニアモータ制御装置。
2. The stator coil number discriminating unit discriminates the number of stator coils driving the mover using a speed feedback signal from a speed sensor instead of the speed command. Linear motor control device.
前記固定子のコイル数判別部において、前記速度指令の代わりに速度センサによる速度
フィードバック信号を用い、前記可動子を駆動している固定子のコイル数を判別すること
を特徴とする請求項2記載のリニアモータ制御方法。
3. The stator coil number discriminating unit discriminates the number of stator coils driving the mover using a speed feedback signal from a speed sensor instead of the speed command. Linear motor control method.
前記固定子のコイル数判別部は、
={(R・I) +(ωL・I) }/{V1 −2・V1・φω+(φω)
ただし、Nは可動子を駆動しているコイル数、Iは電流指令、R・Iは抵抗による電圧
降下、ωL・Iはインダクタンスによる電圧降下、V1は電圧指令、φωは誘起電圧
を用いて固定子のコイル数を求めることを特徴とする請求項1記載のリニアモータ制
御装置。
The stator coil number discrimination unit is:
N 2 = {(R · I) 2 + (ωL · I) 2 } / {V1 2 −2 · V1 · φω + (φω) 2 }
Where N is the number of coils driving the mover, I is a current command , R · I is a voltage drop due to resistance, ωL · I is a voltage drop due to inductance, V1 is a voltage command , and φω is fixed using an induced voltage. 2. The linear motor control device according to claim 1, wherein the number of coils of the child is obtained.
前記固定子のコイル数判別部は、
={(R・I) +(ωL・I) }/{V1 −2・V1・φω+(φω)
ただし、Nは可動子を駆動しているコイル数、Iは電流指令、R・Iは抵抗に
よる電圧降下、ωL・Iはインダクタンスによる電圧降下、V1は電圧指令、φωは誘起電圧
を用いて固定子のコイル数を求めることを特徴とする請求項2記載のリニアモータ制御方法。
The stator coil number discrimination unit is:
N 2 = {(R · I) 2 + (ωL · I) 2 } / {V1 2 −2 · V1 · φω + (φω) 2 }
Where N is the number of coils driving the mover, I is a current command, R · I is a voltage drop due to resistance, ωL · I is a voltage drop due to inductance, V1 is a voltage command, and φω is fixed using an induced voltage. 3. The linear motor control method according to claim 2, wherein the number of coils of the child is obtained.
前記電流調整部は電流振幅を推定位置に応じてランプ状に変化させることを特徴とする
請求項1記載のリニアモータ制御装置。
The linear motor control device according to claim 1, wherein the current adjusting unit changes the current amplitude in a ramp shape according to the estimated position.
前記電流調整部は電流振幅を推定位置に応じてランプ状に変化させることを特徴とする
請求項2記載のリニアモータ制御方法。
The linear motor control method according to claim 2, wherein the current adjustment unit changes the current amplitude in a ramp shape according to the estimated position.
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