JP4626172B2 - Melt spinning apparatus, method for producing the same, and melt spinning method using the same - Google Patents

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本発明は、熱可塑性ポリマーの溶融紡糸装置およびその製造方法ならびにそれを用いた溶融紡糸方法に関する。さらに詳しくは、溶融ポリマーと接触する溶融紡糸装置の表面の少なくとも一部が、溶融ポリマーとの離型性に優れ、耐腐蝕性、耐摩耗性に優れた高硬度の蒸着膜によって形成されている溶融紡糸装置およびその製造方法ならびにそれを用いた溶融紡糸方法に関する。   The present invention relates to a thermoplastic polymer melt spinning apparatus, a method for producing the same, and a melt spinning method using the same. More specifically, at least a part of the surface of the melt spinning apparatus that comes into contact with the molten polymer is formed by a high-hardness vapor-deposited film that is excellent in releasability from the molten polymer and excellent in corrosion resistance and wear resistance. The present invention relates to a melt spinning apparatus, a manufacturing method thereof, and a melt spinning method using the same.

通常、熱可塑性ポリマーを溶融紡糸する装置(図1)は、エクストルダー、ポリマー管、計量ポンプおよび紡糸パックから構成される。また、エクストルダーとはペレット状の熱可塑性ポリマーを溶融する装置であり、該エクストルダーは一般的にスクリュー、バレル、シリンダーから構成されている。また、該エクストルダーで溶融された熱可塑性ポリマーは加熱、保温されたポリマー管を経て計量ポンプで溶融ポリマーを連続的に計量しながら押出し、紡糸パックに配置される溶融紡糸口金で糸条に形成する。   Usually, an apparatus for melt spinning thermoplastic polymer (FIG. 1) consists of an extruder, a polymer tube, a metering pump and a spin pack. An extruder is a device for melting a pellet-shaped thermoplastic polymer, and the extruder is generally composed of a screw, a barrel, and a cylinder. In addition, the thermoplastic polymer melted by the extruder is extruded through a polymer tube heated and kept warm while continuously measuring the molten polymer with a metering pump, and formed into a yarn with a melt spinneret placed in a spin pack. To do.

ところで、溶融紡糸される熱可塑性ポリマーは種々の添加剤を含有している。例えば、ポリエステルには、重合触媒の三酸化アンチモン、耐熱剤のリン化合物および艶消し剤の酸化チタン、ナイロンでは、産業用繊維に用いられている熱酸化防止剤としての銅化合物、艶消し剤の酸化チタン等があり、また両ポリマーとも原着繊維用には顔料が添加されている。また高硬度の金属類である酸化チタン、カーボンブラック、酸化鉄、酸化マグネシウム等も顧客の要求や生産効率を改善するために添加する必要がある。   By the way, the thermoplastic polymer to be melt-spun contains various additives. For example, polyester has a polymerization catalyst antimony trioxide, a heat-resistant phosphorus compound and a matting agent titanium oxide, and nylon has a copper compound as a thermal antioxidant used in industrial fibers and a matting agent. There are titanium oxide and the like, and both polymers are added with pigments for the original fibers. Further, high hardness metals such as titanium oxide, carbon black, iron oxide, magnesium oxide, etc. need to be added in order to improve customer requirements and production efficiency.

熱可塑性ポリマーの上記添加剤、特に三酸化アンチモン、銅化合物、酸化チタンのような金属化合物やカーボンブラック等が、溶融ポリマーと分離して紡糸機の管内壁に堆積固着することでポリマー管を閉塞したり、あるいは溶融ポリマーによって高いズリ応力がかかる壁面では、摩耗が生ずると云う問題が従来からあった。   The above-mentioned additives for thermoplastic polymers, especially metal compounds such as antimony trioxide, copper compounds, titanium oxide, carbon black, etc., separate from the molten polymer and deposit and adhere to the inner wall of the spinning machine, blocking the polymer tube. In the past, there has been a problem that wear occurs on the wall surface where a high shear stress is applied due to the molten polymer.

上記固着堆積の現象は、例えば、産業用ナイロン6繊維の溶融紡糸では硫化銅の析出、産業用ナイロン66繊維の溶融紡糸では金属銅の析出、また産業用ポリエステル繊維の紡糸では金属アンチモンの析出によって起こる。それらの析出物は紡糸装置のポリマー管、計量ポンプ、紡糸パック部材のフィルター、分配板、溶融紡糸口金背面および溶融紡糸口金孔等の溶融ポリマーが接触する管内壁に固着堆積して、ポリマーの流動経路を閉塞させ、正常な紡糸の障害となっていた。特に、産業用繊維は高強度糸を得るため高重合度のポリマーを用い、高温で溶融紡糸するため、添加剤の析出反応が促進され、上記のような固着堆積が顕著である。   The phenomenon of sticking and depositing is caused by, for example, precipitation of copper sulfide in the melt spinning of industrial nylon 6 fiber, precipitation of metallic copper in the melt spinning of industrial nylon 66 fiber, and precipitation of metal antimony in the spinning of industrial polyester fiber. Occur. These deposits adhere to and accumulate on the inner wall of the pipe where the molten polymer comes into contact, such as the polymer pipe of the spinning device, the metering pump, the filter of the spin pack member, the distribution plate, the back surface of the melt spinneret and the melt spinneret hole. The path was occluded and became an obstacle to normal spinning. In particular, industrial fibers use a polymer with a high degree of polymerization in order to obtain high-strength yarns, and are melt-spun at a high temperature, so that the precipitation reaction of the additive is promoted, and the above-described fixed deposition is remarkable.

産業用ナイロン6繊維の溶融紡糸で析出する硫化銅の生成は、酸化防止剤である銅化合物と硫黄含有機化合物の分解反応が紡糸装置中で起こるためである。また、産業用ナイロン66繊維の銅金属の析出およびポリエステルの金属アンチモンの析出は、紡糸装置で還元反応が起こっていることによる。ナイロン66の還元反応は、酸化防止剤として併用添加されるハロゲン化ルカリ金属および溶融ポリアミドポリマーによって促進される。そして、ナイロン66およびポリエステルの溶融紡糸に於ける金属銅や金属アンチモンの析出にかかる還元反応は、溶融ポリマーが接触する溶融紡糸部材の表面で顕著に起こる。このことから、金属の析出は、溶融ポリマー中の金属化合物と該溶融紡糸部材の表面とのイオン化傾向による電気化学的反応によるものであると推測されている。即ち、該溶融紡糸部材の材質から鉄イオンが溶出し、金属銅又は金属アンチモンが析出して、該溶融紡糸部材の表面に固着堆積すると考えられている。特に、溶融ポリマーとの接触面積が著しく大きい、紡糸パックの金属不織布フィルターには著しく金属が析出し、濾圧上昇を引き起こすことが知られている。なお、該溶融紡糸部材の表面で生成し、堆積固着した金属は、長期間経つとポリマー管等を閉塞し、正常な紡糸が不能としてしまうのである。例えば、紡糸パックの濾圧が上がったり、計量ポンプの計量精度が低下したり、ポリマー管が閉塞して必要量のポリマー量が得られなくなる等の紡糸障害が起こる。かかる障害が生じた場合は、紡糸装置を解体洗浄し、再度組み立てて復帰すると云うことが行われていた。   The formation of copper sulfide precipitated by melt spinning of industrial nylon 6 fiber is because a decomposition reaction of the copper compound as an antioxidant and the sulfur-containing machine compound occurs in the spinning device. Further, the precipitation of copper metal and polyester metal antimony in industrial nylon 66 fiber is due to the reduction reaction occurring in the spinning device. The reduction reaction of nylon 66 is promoted by a metal halide and a molten polyamide polymer added together as an antioxidant. The reduction reaction for precipitation of metallic copper and metallic antimony in the melt spinning of nylon 66 and polyester occurs remarkably on the surface of the melt spinning member in contact with the molten polymer. From this, it is speculated that the metal deposition is caused by an electrochemical reaction due to an ionization tendency between the metal compound in the molten polymer and the surface of the melt-spun member. That is, it is considered that iron ions are eluted from the material of the melt-spun member, metal copper or metal antimony is deposited, and is fixedly deposited on the surface of the melt-spun member. In particular, it is known that a metal is remarkably deposited on a metal nonwoven fabric filter of a spin pack, which has a remarkably large contact area with a molten polymer, and causes an increase in filtration pressure. Note that the metal produced and deposited and fixed on the surface of the melt-spun member clogs the polymer tube and the like after a long period of time, and makes normal spinning impossible. For example, spinning failures such as an increase in the filtration pressure of the spin pack, a decrease in the metering accuracy of the metering pump, and a loss of the required amount of polymer due to blockage of the polymer tube occur. When such a failure occurs, the spinning device is disassembled and washed, reassembled, and returned.

また、ナイロン66の溶融紡糸に於いては、上記銅化合物の分解反応による金属銅の析出による障害とは別に、ポリマー自身が溶融紡糸中に熱分解し、ゲル化反応を引き起こすことが知られている。このゲル化したポリマーは溶融紡糸部材を流れることなく滞留し、益々熱分解されて、溶融紡糸部材の表面に堆積固着し、ポリマー管を閉塞する。このナイロン66の溶融紡糸に於ける熱分解やゲル化は、ポリマーの品質、紡糸温度、紡糸機中の異常滞留等の影響を受けるため、以前からゲル化防止するための技術開発が行われていた。   In addition, in melt spinning of nylon 66, it is known that the polymer itself is thermally decomposed during melt spinning and causes a gelation reaction, in addition to the obstacle caused by precipitation of metallic copper due to the decomposition reaction of the copper compound. Yes. This gelled polymer stays without flowing through the melt-spun member, and is further thermally decomposed, and is deposited and fixed on the surface of the melt-spun member, thereby closing the polymer tube. The thermal decomposition and gelation in the melt spinning of nylon 66 are affected by the quality of the polymer, spinning temperature, abnormal residence in the spinning machine, etc., and technical development for preventing gelation has been conducted for some time. It was.

一方、ナイロン6やポリエステルの溶融紡糸に於いては、その熱分解反応は分子切断反応が主となるためゲル化は生じない。しかし、紡糸装置のポリマー管等に於いて、ポリマーが異常滞留し、長時間の熱履歴を受けて分解した溶融ポリマーは炭化して流動しなくなり、同様にポリマー管等を閉塞することがある。メカニズムは異なるものの、溶融ポリマーの分解に因るポリマー管等の閉塞と云う問題は共通に存在していた。   On the other hand, in the melt spinning of nylon 6 or polyester, gelation does not occur because the thermal decomposition reaction is mainly a molecular cutting reaction. However, in a polymer tube or the like of a spinning device, the polymer is abnormally accumulated, and the molten polymer decomposed due to a long thermal history is carbonized and does not flow, and the polymer tube or the like may be blocked similarly. Although the mechanism is different, there is a common problem of blockage of the polymer tube due to decomposition of the molten polymer.

上記、溶融紡糸中に熱分解して析出した硫化銅、銅金属や金属アンチモン、およびポリマーの熱分解ゲルやポリマー炭化物は、ポリマー管を閉塞したり、紡糸パックの濾圧上昇を引き起こすが、さらに、しばしば濾過フィルターを通過して紡出糸中に混入し、延伸工程で糸切れや単糸切れを引き起こす。特に、フィルターの微細孔を通り抜けた上記金属異物は、溶融紡糸口金孔を通り抜けるまでの間、即ち、ポリマー分配版、溶融紡糸口金背面および溶融紡糸口金孔部で再度凝集し、異物となって紡出糸中に混入することが分かっている。   The above-mentioned copper sulfide, copper metal, metal antimony, and polymer pyrolysis gel and polymer carbide precipitated by thermal decomposition during melt spinning clog the polymer tube and cause an increase in the filtration pressure of the spin pack. Often, it passes through the filter and gets mixed into the spun yarn, causing yarn breakage or single yarn breakage in the drawing process. In particular, the metal foreign matter that has passed through the micropores of the filter is agglomerated again until it passes through the melt spinneret hole, that is, the polymer distribution plate, the backside of the melt spinneret, and the melt spinneret hole, and becomes foreign matter. It has been found that it is mixed in the yarn.

さらに、溶融ポリマーがしばしば無機の硬い金属粒子、例えば、酸化チタン、酸化マグネシウム、カーボンブラック、ベンガラ等を含む場合は、溶融紡糸装置である溶融紡糸部材と溶融ポリマーが接触する表面が摩耗されると云う問題もあった。   Furthermore, when the molten polymer often contains inorganic hard metal particles, such as titanium oxide, magnesium oxide, carbon black, bengara, etc., the surface where the molten spinning member, which is a melt spinning apparatus, and the molten polymer contact is worn. There was also a problem.

特に計量ポンプでは、経時と共に摩耗が生じてクリヤランスが大きくなり、計量性が低下し使用できなくなると云う問題があった。上記固着堆積物の問題と共にこの摩耗防止の問題の解決も求められていた。   In particular, the metering pump has a problem in that wear occurs with time and the clearance increases, the meterability is lowered, and the metering pump cannot be used. In addition to the problem of the above-mentioned fixed deposits, there has been a demand for a solution to this problem of preventing wear.

上記のような、溶融紡糸装置である溶融紡糸部材の表面に堆積固着する金属やゲル化ポリマー、炭化ポリマーの生成を防止するため、従来から該生成原因を断つための技術が開発されてきた。例えば、特許文献1は、溶融紡糸部材の表面との電気化学的反応を抑制して、金属の生成を防止するため、溶融紡糸部材のポリマーが接触する表面をシリカコーティングしたり、紡糸パック部品、特に表面積の大きい金属フィルターをシリコーンで処理して用いる等の提案がなされている。   In order to prevent the formation of the metal, gelled polymer, and carbonized polymer deposited and fixed on the surface of the melt spinning member as the melt spinning apparatus as described above, a technique for cutting off the generation cause has been conventionally developed. For example, in Patent Document 1, in order to suppress the electrochemical reaction with the surface of the melt-spun member and prevent the formation of metal, the surface of the melt-spun member with which the polymer comes in contact is coated with silica, In particular, proposals have been made to use a metal filter having a large surface area by treating it with silicone.

また、金属の生成、ゲル化ポリマーの生成およびポリマー炭化物の生成いずれも、溶融紡糸部材中の溶融ポリマーの流れが滞留する部分で顕著に起こることから、溶融ポリマーが異常滞留する部分を極力少なくした紡糸パック構造の改善についての提案が、例えば特許文献2に記載されている。   In addition, generation of metal, generation of gelled polymer, and generation of polymer carbide are all significant in the portion of the melt-spun member where the flow of the molten polymer stays, so the portion where the molten polymer stays abnormally is reduced as much as possible. A proposal for improving the spinning pack structure is described in Patent Document 2, for example.

上記従来技術、即ち、特許文献1の溶融ポリマー接触する表面の不活性化技術および特許文献2の溶融ポリマーの紡糸装置中での異常滞留部を極力少なくする技術は、それなりに効果を有するものであったが、またまだ満足するレベルには至っていなかった。つまり、異物生成防止に有効な手段ではあったが、実用技術して効果的に適用し難い技術であったためである。例えば、異物生成が顕著なため短期間でポリマーの計量性が悪化する計量ポンプは、溶融ポリマー表面の不活性化処理が難しいばかりか、折角処理しても耐久性、耐熱性にも劣る。処理当初は製糸性やケバ等も通常レベルより低いことから効果があることが確認できるが、その状態は長期に亘り維持されない。その理由としては、上述するように耐久性、耐熱性にも劣るためである。以上のことから従来技術では効果が十分に発揮できないし、該計量ポンプの異常滞留部を減少させることは実質的に困難なため、改善が行われていなかった。
特開平10−273810号公報 特開平08−269816号公報
The above-described conventional techniques, that is, the inactivation technique of the surface in contact with the molten polymer of Patent Document 1 and the technique of reducing the abnormal residence portion in the spinning apparatus of the molten polymer of Patent Document 2 are as effective as they are. I was there, but I was not yet satisfied. In other words, it is an effective means for preventing foreign matter generation, but it is a technique that is practically difficult to apply effectively. For example, a metering pump whose polymer meterability deteriorates in a short period due to remarkable generation of foreign matter is not only difficult to inactivate the surface of the molten polymer, but is inferior in durability and heat resistance even when it is bent. Although it can be confirmed that the process is effective at the beginning of the process because the yarn-making property and the texture are lower than the normal level, the state is not maintained for a long time. This is because the durability and heat resistance are inferior as described above. In view of the above, the prior art cannot sufficiently exhibit the effect, and it has been substantially difficult to reduce the abnormal retention portion of the metering pump.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-273810 Japanese Patent Laid-Open No. 08-269816

本発明は、上述した従来技術に於ける問題点の解決を課題とするものである。   An object of the present invention is to solve the above-described problems in the prior art.

即ち、本発明の解決すべき課題は熱可塑性ポリマーを溶融紡糸する際、溶融紡糸装置の溶融紡糸部材であるポリマー管、計量ポンプおよび紡糸口金を除く紡糸パック部材に溶融ポリマーとの離型性に優れ、耐腐蝕性、耐摩耗性に優れた高硬度の蒸着膜を施したことで、糸切れや毛羽の発生が減少でき、それぞれの該部材の長寿命化が図れる溶融紡糸装置およびその製造方法ならびにそれを用いた溶融紡糸方法を提供することにある。   That is, the problem to be solved by the present invention is that when a thermoplastic polymer is melt-spun, the melt-spinning member of the melt-spinning apparatus, that is, the polymer tube, the metering pump, and the spinneret except for the spinneret, is released from the molten polymer. A melt spinning apparatus capable of reducing the occurrence of yarn breakage and fluff by providing an excellent, corrosion-resistant, and wear-resistant high-hardness vapor-deposited film, and extending the life of each member, and a method for producing the same Another object of the present invention is to provide a melt spinning method using the same.

上記の課題を解決する本発明は、熱可塑性ポリマーを溶融紡糸する装置であって、該装置を構成する溶融紡糸部材のポリマー管、計量ポンプおよび紡糸パック部材の溶融ポリマーと接触する表面の少なくとも一部が蒸着膜で形成されており、該蒸着膜表面と水との接触角が65〜115゜、蒸着膜硬度(常温HV)が1500〜6000、蒸着膜表面の体積抵抗率が10 +5 〜10 +14 Ω・cmであり、前記蒸着膜がFHC(フローリックハードコート)、CFC(フッ化カーボンコート)、TiBN(窒化チタン硼素)、CrBN(窒化クロム硼素)、SiBN(窒化シリコン硼素)から選ばれた少なくとも1種からなることを特徴とする。 The present invention that solves the above-mentioned problems is an apparatus for melt spinning thermoplastic polymers, wherein at least one of the surfaces of the melt spinning member constituting the apparatus, the metering pump, and the spin pack member in contact with the molten polymer. The contact angle between the surface of the deposited film and water is 65 to 115 °, the deposited film hardness (room temperature HV) is 1500 to 6000 , and the volume resistivity of the deposited film surface is 10 +5 to 10 +14 Ω · cm der is, the deposition film FHC (flow Rick hardcoat), CFC (fluoride carbon coating), TiBN (titanium boron nitride), CRBN (chromium nitride, boron), SiBN (silicon nitride boron) characterized Rukoto such at least one member selected from.

そして、本発明の溶融紡糸装置を構成する溶融紡糸部材であるポリマー管、計量ポンプおよび紡糸パックに於いては、次の(1)がそれぞれ好ましい態様として挙げられる。
(1)前記蒸着膜の膜厚が0.5〜15μmであること。
In the polymer tube, metering pump, and spinning pack, which are the melt spinning members constituting the melt spinning apparatus of the present invention, the following (1) can be cited as preferred embodiments.
(1) thickness of the deposited film 0.5~15μm Dearuko with.

また、本願発明の溶融紡糸装置の製造方法は、溶融紡糸装置を構成する溶融紡糸部材のポリマー管、計量ポンプおよび紡糸パック部材の溶融ポリマーと接触する表面の少なくとも一部にイオンクリーニングを行い、真空下で基材の加速電圧を−100〜−3kVの範囲にコントロールするとともに、CF系ガスまたはCH系ガスの有機ガス成分をイオン化し、蒸着膜を形成することを特徴とする。
らに好ましくは、次の()、()がそれぞれ好ましい態様として挙げられる。
)前記蒸着膜がFHC(フローリックハードコート)、CFC(フッ化カーボンコート)、DLC(ダイヤモンドライクカーボン)から選ばれるいずれか一種であること。
)前記FHC(フローリックハードコート)もしくはCFC(フッ化カーボンコート)のフッ素添加量が2%以上であること。
In addition, the method for manufacturing a melt spinning apparatus according to the present invention includes performing ion cleaning on at least a part of the surface of the melt spinning member constituting the melt spinning apparatus that contacts the polymer tube, the metering pump, and the spinning pack member, and applying vacuum. Under the control, the acceleration voltage of the substrate is controlled in the range of −100 to −3 kV, and the organic gas component of the CF-based gas or the CH-based gas is ionized to form a deposited film.
Preferably the is found, the following (3), mentioned as each preferred embodiment (4).
( 3 ) The deposited film is any one selected from FHC (floric hard coat), CFC (fluorinated carbon coat), and DLC (diamond-like carbon).
( 4 ) The fluorine addition amount of the FHC (floric hard coat) or CFC (fluorinated carbon coat) is 2% or more.

さらにもう一つの溶融紡糸装置の製造方法は、溶融紡糸装置を構成する溶融紡糸部材のポリマー管、計量ポンプおよび紡糸パック部材の溶融ポリマーと接触する表面の少なくとも一部にイオンクリーニングを行い、真空下で基材の加速電圧を−50〜−2kVの範囲にコントロールするとともに、B(硼素)、Ti(チタン)、Cr(クロム)、Si(シリコン)から選ばれた少なくとも一種の金属成分をイオン化し、さらに窒素置換して、蒸着膜を形成することを特徴とする。 In another melt spinning apparatus manufacturing method, ion cleaning is performed on at least a part of the surface of the melt spinning member constituting the melt spinning apparatus that contacts the polymer tube, the metering pump, and the spinning pack member. The substrate acceleration voltage is controlled in the range of −50 to −2 kV and at least one metal component selected from B (boron), Ti (titanium), Cr (chromium), and Si (silicon) is ionized. Further, the film is further substituted with nitrogen to form a deposited film.

なお、次の()、()がそれぞれ好ましい態様として挙げられる
) 前記B(硼素)、Ti(チタン)、Cr(クロム)、Si(シリコン)の不純物含有率が0.01%以下。
) 前記蒸着膜が、TiBN(窒化チタン硼素)、CrBN(窒化クロム硼素)、SiBN(窒化シリコン硼素)、CrN(窒化クロム)から選ばれた少なくとも1種からなること。
The following ( 5 ) and ( 6 ) can be cited as preferred embodiments. ( 5 ) Impurity content of B (boron), Ti (titanium), Cr (chromium), Si (silicon) is 0.01%. Less than.
( 6 ) The deposited film is made of at least one selected from TiBN (titanium boron nitride), CrBN (chromium boron nitride), SiBN (silicon boron nitride), and CrN (chromium nitride).

また、本発明の溶融紡糸方法は熱可塑性ポリマーの溶融紡糸方法であって、前記の溶融紡糸部材であるポリマー管、計量ポンプおよび紡糸口金を除く紡糸パック部材を用いることを特徴とする。   The melt spinning method of the present invention is a melt spinning method of a thermoplastic polymer, and is characterized by using a spin pack member excluding the polymer tube, metering pump and spinneret which are the melt spinning members.

本発明は熱可塑性ポリマーを溶融紡糸する際、溶融紡糸装置の溶融紡糸部材であるポリマー管、計量ポンプおよび紡糸口金を除く紡糸パック部材に溶融ポリマーとの離型性に優れ、耐腐蝕性、耐摩耗性に優れた高硬度の蒸着膜を施したことで、糸切れや毛羽の発生が減少でき、それぞれの該部材の長寿命化が図れる。   In the present invention, when melt spinning a thermoplastic polymer, the polymer tube, which is a melt spinning member of a melt spinning apparatus, a metering pump and a spin pack member excluding a spinneret are excellent in releasability from the molten polymer, and are resistant to corrosion and resistance. By applying a high-hardness vapor-deposited film with excellent wear, the occurrence of yarn breakage and fluff can be reduced, and the life of each member can be extended.

本発明に於ける熱可塑性ポリマーは、溶融紡糸可能な熱可塑性ポリマーであれば特に限定されないが、例えば、ナイロン6、ナイロン66、ナイロン46等のポリアミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリ乳酸等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリスルフィド、ポリイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルニトリル等、溶融紡糸可能な熱可塑性ポリマーであり、また、上記ポリマーを主成分とする共重合ポリマー、および上記2種以上のポリマーのブレンドまたは複合して用いられるポリマー等である。   The thermoplastic polymer in the present invention is not particularly limited as long as it is a melt-spinnable thermoplastic polymer. For example, polyamides such as nylon 6, nylon 66, nylon 46, polyethylene terephthalate, polypropylene terephthalate, polybutylene terephthalate, poly Polyesters such as lactic acid, polyolefins such as polyethylene and polypropylene, polysulfides, polyimides, polyether ketones, polyether nitriles, and the like, are thermoplastic polymers that can be melt-spun, and are copolymer copolymers mainly composed of the above polymers, and the above A polymer used by blending or combining two or more polymers.

本発明に於ける溶融紡糸部材であるポリマー管、計量ポンプおよび紡糸パック(紡糸口金を除く)は、熱可塑性ポリマーを溶融紡糸する装置であって、該溶融紡糸部材の溶融ポリマーと接触する表面の少なくとも一部が蒸着膜で形成されており、該蒸着膜表面と水との接触角が65〜115゜、蒸着膜硬度(常温HV)が1500〜6000である。なお、本発明に於いて紡糸パックとは紡糸口金は含まない。   A polymer tube, a metering pump, and a spin pack (excluding a spinneret), which are melt spinning members in the present invention, are apparatuses for melt spinning thermoplastic polymers, and are provided on the surface of the melt spinning member in contact with the molten polymer. At least a part is formed of a vapor deposition film, the contact angle between the vapor deposition film surface and water is 65 to 115 °, and the vapor deposition film hardness (room temperature HV) is 1500 to 6000. In the present invention, the spin pack does not include a spinneret.

溶融紡糸部材の溶融ポリマーと接触する表面の少なくとも一部とは、計量ポンプの各部材の摺動面や紡糸パック内に配置するポリマー分配板等の部材やポリマー管内に配置する混練用ミキサーの表面のうち溶融ポリマーが接する部分であり、その一部が蒸着膜で形成されていればよい。そして該蒸着膜表面の特性の一つは溶融ポリマーとの離型性である。従来の溶融紡糸装置の材質では溶融ポリマーの離型性が劣り、ポリマー管内壁に異常滞留し易く、溶融ポリマー中の不溶物がポリマー管内壁に堆積する主な原因となっていたからである。本発明の蒸着膜の離型性は、蒸着膜表面と水との接触角が65〜115゜で特定される。本来なら溶融ポリマーと蒸着膜との離型性で特定するべきであるが、代替特性としての常温の水との接触角で表わすことができる。   The surface of the melt-spun member that contacts the molten polymer is at least a part of the sliding surface of each member of the metering pump, a member such as a polymer distribution plate disposed in the spinning pack, or the surface of the mixer for kneading disposed in the polymer tube. Of these, the molten polymer is in contact with the part, and a part of the part may be formed of a deposited film. One of the characteristics of the deposited film surface is releasability from the molten polymer. This is because the material of the conventional melt spinning apparatus is inferior in the releasability of the molten polymer, tends to abnormally stay on the inner wall of the polymer tube, and is a main cause of depositing insoluble matter in the molten polymer on the inner wall of the polymer tube. The releasability of the vapor deposition film of the present invention is specified when the contact angle between the vapor deposition film surface and water is 65 to 115 °. Originally, it should be specified by the releasability between the molten polymer and the deposited film, but it can be expressed by a contact angle with water at room temperature as an alternative characteristic.

本発明に於ける蒸着膜の、常温の水との接触角の好ましい範囲は65〜115°である。65°未満では本発明の目的とする溶融ポリマーとの離型性が得られない。一方、115°以上の接触角はより好ましい離型性を意味するが、現在の実用技術では達成することは困難である。なお、接触角は蒸着膜の材質によって大半は決定される。好ましくは、FHCやCFCのようにフッ化物からなる蒸着膜は非常に撥水性、離型性に優れる。さらに、当然のことながら蒸着方法や蒸着装置によっても得られる表面形態が異なる。例えば蒸着膜の原料は有機ガス等のガス系や単一金属や合金からなる金属系に大別できる。一般的にガス系をイオン化して蒸着させる方が基材表面の粗さが粗くなることなく基材表面の仕上げが反映される。なお、さらに蒸着後の蒸着膜表面の仕上がりを向上させるには、基材の加速電圧を−100〜−3kVの範囲にコントロールし、さらにフッ素添加量を2%以上に保つことがさらに好ましい条件である。   The preferable range of the contact angle of the deposited film with water at room temperature is 65 to 115 ° in the present invention. If it is less than 65 °, the releasability from the melted polymer intended by the present invention cannot be obtained. On the other hand, a contact angle of 115 ° or more means more preferable releasability, but it is difficult to achieve with current practical technology. The contact angle is largely determined by the material of the deposited film. Preferably, a deposited film made of fluoride such as FHC or CFC is very excellent in water repellency and releasability. Further, as a matter of course, the surface form obtained also varies depending on the vapor deposition method and the vapor deposition apparatus. For example, the raw material of the deposited film can be roughly classified into a gas system such as an organic gas, and a metal system made of a single metal or an alloy. In general, ionizing a gas system and depositing it reflects the finish of the substrate surface without the roughness of the substrate surface becoming rough. In order to further improve the finish of the deposited film surface after vapor deposition, it is further preferable to control the acceleration voltage of the base material in the range of −100 to −3 kV and to keep the addition amount of fluorine at 2% or more. is there.

なお、本発明において蒸着膜のフッ素添加量は、例えば島津製作所製EPMA−8705型の電子線マイクロアナライザーによる定量分析を、分析条件が加速電圧8kV、試料電流50nA、ビーム径φ100μmにて行うことにより測定することができる。   In the present invention, the amount of fluorine added to the deposited film is determined by performing quantitative analysis using, for example, an EPMA-8705 type electron microanalyzer manufactured by Shimadzu Corporation under the analysis conditions of an acceleration voltage of 8 kV, a sample current of 50 nA, and a beam diameter of φ100 μm. Can be measured.

一方、金属系を蒸着させる際には、イオン化した金属を基材との強い電位エネルギーの差を利用して物理的に基材表面に衝突させものである。従ってこの衝撃エネルギーが強いほど蒸着膜と基材の密着力が上がることになる。よって得られた基材表面はガス系より比較的粗い表面に仕上がる。そこで表面粗さをガス系同様に仕上げるためにイオン化した金属の照射量や照射スピードをコントロールして改善している。なお、さらに蒸着後の蒸着膜表面の仕上がりを向上させるには、基材の加速電圧を−50〜−2kVの範囲にコントロールすることがさらに好ましい条件である。さらに得られた蒸着膜をラッピングして表面を仕上げることも工夫して行っている。   On the other hand, when vapor-depositing a metal system, the ionized metal is physically collided with the substrate surface using a strong potential energy difference from the substrate. Therefore, the stronger the impact energy, the higher the adhesion between the deposited film and the substrate. Thus, the surface of the obtained substrate is finished to a surface that is relatively rougher than the gas system. Therefore, in order to finish the surface roughness like a gas system, the irradiation amount and irradiation speed of ionized metal are controlled and improved. In order to further improve the finish of the deposited film surface after deposition, it is more preferable to control the acceleration voltage of the base material in the range of −50 to −2 kV. Furthermore, it is also devised to wrap the obtained deposited film and finish the surface.

なお、いずれの方法にしても、蒸着表面は表面粗さRaが0.5μm以下となるように平滑にすることが好ましい。   In any method, the deposition surface is preferably smoothed so that the surface roughness Ra is 0.5 μm or less.

次に、本発明にかかる蒸着膜の硬さは、蒸着膜硬度(常温HV)が1500〜6000である。好ましくは2000〜6000である。1500未満では、例えば溶融紡糸部材のポリマー管、および紡糸口金を除く紡糸パック部材は溶融ポリマーの金属類からなる添加剤により著しく摩耗し特に、酸化チタン、酸化マグネシウム、カーボンブラック、およびベンガラ等の無機の添加剤が含まれている場合に摩耗が顕著に起こる。またその現象は計量ポンプでも同様である。計量ポンプのように常時駆動されて使用される部分が摩耗し易い。計量ポンプ内を通過する溶融ポリマーは、数十kg/cmG以上の高圧で押し出されるため、上記無機添加剤を含む溶融ポリマーの流動は、いわば流体研磨を行っていることになるからである。その結果、計量ポンプ内部の部材が摩耗し、経時とともに計量性が低下してしまうからである。なお、蒸着膜硬度は主に蒸着の成膜成分の種類で決定される。したがって、溶融紡糸装置の蒸着膜形成部分の蒸着膜硬度を1500〜6000の範囲にするには、これに合った成膜成分の種類を選定することが重要である。   Next, as for the hardness of the vapor deposition film concerning this invention, vapor deposition film hardness (normal temperature HV) is 1500-6000. Preferably it is 2000-6000. If it is less than 1500, for example, the polymer tube of the melt-spun member and the spin pack member excluding the spinneret are significantly worn by the additive made of the metal of the molten polymer, and particularly inorganic materials such as titanium oxide, magnesium oxide, carbon black, and bengara. When the additive is contained, wear occurs remarkably. The phenomenon is the same for the metering pump. Parts that are constantly driven and used like a metering pump are subject to wear. This is because the molten polymer passing through the metering pump is extruded at a high pressure of several tens of kg / cmG or more, so that the flow of the molten polymer containing the inorganic additive is so-called fluid polishing. As a result, the members inside the metering pump are worn, and the meterability deteriorates with time. The vapor deposition film hardness is determined mainly by the type of vapor deposition component. Therefore, in order to make the vapor deposition film hardness of the vapor deposition film forming portion of the melt spinning apparatus in the range of 1500 to 6000, it is important to select the type of film forming component suitable for this.

なお、蒸着槽を高真空にし10−3Torr以上の環境でイオンクリーニングを実施し密着力を高めることが好ましく、基材にイオン注入することがさらに好ましい。そのためには基材の加速電圧を基材の材質に合わせて設定し、クリーンなプラズマを発生させ蒸着することが最も重要である。また、不純物含有率0.01%以下の高純度の蒸着用金属原料を用いることがさらに好ましい条件である。   Note that it is preferable to increase the adhesion by performing ion cleaning in an environment of 10 −3 Torr or higher by setting the vapor deposition tank to a high vacuum, and it is more preferable to implant ions into the substrate. For that purpose, it is most important to set the acceleration voltage of the base material according to the material of the base material, generate a clean plasma, and perform the deposition. Further, it is more preferable to use a high-purity metal source for vapor deposition with an impurity content of 0.01% or less.

なお、本発明において金属原料の不純物含有率は、例えば島津製作所製EPMA−8705型の電子線マイクロアナライザーによる定量分析、分析条件が加速電圧8kV、試料電流50nA、ビーム径φ100μmにて行うことにより測定できる。また、蒸着金属に微量に含まれる不純物としては、具体的にはFe(鉄)、K(カリウム)、Ca(カルシウム)、Na(ナトリウム)等が挙げられる。   In the present invention, the impurity content of the metal raw material is measured by, for example, quantitative analysis using an EPMA-8705 type electron beam microanalyzer manufactured by Shimadzu Corporation, and the analysis conditions are an acceleration voltage of 8 kV, a sample current of 50 nA, and a beam diameter of φ100 μm. it can. Specific examples of impurities contained in a trace amount in the deposited metal include Fe (iron), K (potassium), Ca (calcium), and Na (sodium).

そして、本発明にかかる蒸着膜の電気的特性は、蒸着膜表面の体積抵抗率が10+5〜10+14Ω・cmである。好ましくは、10+8〜10+14Ω・cmである。この体積抵抗率の特定は、溶融紡糸されるポリマーに添加されている金属化合物が、溶融ポリマーが接触する溶融紡糸装置の材質との、イオン化傾向によって生じる電気化学的反応による金属の析出を防止するのに効果的である。特に、計量ポンプの溶融ポリマーと接触する計量部材部分は、溶融ポリマーが高温・高圧で、しかも高ズリ速度を受けることから、金属化合物の還元・析出反応が起こり、計量ポンプ基材への付着・堆積が顕著となる。従来の改善技術は不活性なシリカコーティングやシリコーン膜形成処理を推奨していたが、この計量ポンプの計量部材内の表面処理には本発明の蒸着膜の形成が最も効果的である。なお、体積抵抗率は蒸着膜の材質によって実質的に決定されるが、蒸着膜を構成する成分、例えば、炭素量が増加すると体積抵抗率が大きくなり、また、蒸着膜の純度によっても影響され、蒸着膜の不純物が多い場合は体積抵抗率が低くなること等を考慮して体積抵抗率が本発明で特定した範囲にすることが重要である。蒸着膜表面の体積抵抗率が10+5〜10+14Ω・cmの範囲内であると、上記溶融ポリマー中の金属化合物と溶融紡糸装置の溶融ポリマーが接触する管内壁基材との電気化学的反応を適宜抑制することができ、本発明の効果を促進させることができる。 The electrical characteristics of the deposited film according to the present invention are such that the volume resistivity of the deposited film surface is 10 +5 to 10 +14 Ω · cm . Good Mashiku is a 10 +8 ~10 +14 Ω · cm. This volume resistivity specification prevents the metal compound added to the melt-spun polymer from depositing metal due to the electrochemical reaction caused by the ionization tendency with the material of the melt-spinning apparatus with which the melt polymer contacts. It is effective. In particular, the metering part of the metering pump that comes into contact with the molten polymer is subject to reduction / precipitation reaction of the metal compound due to the high temperature and high pressure of the molten polymer and the high shear rate. Deposition is significant. Conventional improvement techniques have recommended an inert silica coating or silicone film forming treatment, but the formation of the deposited film of the present invention is the most effective for the surface treatment in the metering member of this metering pump. Although the volume resistivity is substantially determined by the material of the deposited film, the volume resistivity increases as the amount of the components constituting the deposited film, for example, the amount of carbon increases, and is also affected by the purity of the deposited film. It is important that the volume resistivity falls within the range specified in the present invention in view of the fact that the volume resistivity is lowered when there are many impurities in the deposited film. When the volume resistivity on the surface of the deposited film is in the range of 10 +5 to 10 +14 Ω · cm, the electrochemical reaction between the metal compound in the molten polymer and the tube inner wall base material in contact with the molten polymer of the melt spinning apparatus Reaction can be appropriately suppressed, and the effects of the present invention can be promoted.

本発明溶融紡糸装置にかかる蒸着膜の厚みは0.5〜15μm、好ましくは1〜10μmである。0.5μm未満の厚みの蒸着は現時点では実用化が困難である。また打撲等機械的に損傷を受けたり、腐蝕に対する耐久性も不十分である。一方、15μmを越える厚みは、既に効果が飽和しており、蒸着コストが高くなるため不要である。なお、本発明の溶融紡糸装置の表面に形成させる蒸着膜表面の特性は上記の通りであるが、具体的な蒸着膜成分および蒸着方法は以下の通りである。   The thickness of the vapor deposition film concerning this invention melt spinning apparatus is 0.5-15 micrometers, Preferably it is 1-10 micrometers. Vapor deposition with a thickness of less than 0.5 μm is difficult to put into practical use at present. Further, it is mechanically damaged such as bruise, and is not sufficiently durable against corrosion. On the other hand, a thickness exceeding 15 μm is unnecessary because the effect is already saturated and the vapor deposition cost increases. The characteristics of the vapor deposition film surface formed on the surface of the melt spinning apparatus of the present invention are as described above, and specific vapor deposition film components and vapor deposition methods are as follows.

本発明の溶融紡糸装置の 溶融ポリマーと接触する溶融紡糸部材であるポリマー管、計量ポンプおよび紡糸口金を除く紡糸パック部材の基材は金属であれば特に限定されない。従来から用いられたステンレススチールや鉄やクロムモリブデン鋼等の金属が用いられるが、通常はステンレススチールが好ましい。   The base material of the spin pack member excluding the polymer tube, metering pump, and spinneret, which are melt spinning members that come into contact with the molten polymer of the melt spinning apparatus of the present invention, is not particularly limited as long as it is a metal. Conventionally used metals such as stainless steel, iron and chrome molybdenum steel are used, but stainless steel is usually preferred.

本発明の溶融紡糸装置の表面に蒸着形成させる蒸着膜の成分はフロン系、フッ素系化合物のFHC(フローリックハードコート)、CFC(フッ化カーボンコート)、カーボン系のDLC(ダイヤモンドライクカーボン)、硼素系のTiBN(窒化チタン硼素)、CrBN(窒化クロム硼素)、SiBN(窒化珪素硼素)、Cr系のCrN(窒化クロム)、チタン合金系のTiCN(炭窒化チタン)、TiN(窒化チタン)、TiALN(窒化チタンアルミ)、その他のSiC(炭化珪素)等から選ばれた金属加工物類およびセラミック化合物類である。   The components of the vapor deposition film to be vapor-deposited on the surface of the melt spinning apparatus of the present invention are fluorocarbon-based, fluorine-based compound FHC (floric hard coat), CFC (fluorinated carbon coat), carbon-based DLC (diamond-like carbon), Boron-based TiBN (titanium boron nitride), CrBN (chromium boron nitride), SiBN (silicon boron nitride), Cr-based CrN (chromium nitride), titanium alloy-based TiCN (titanium carbonitride), TiN (titanium nitride), These are metal workpieces and ceramic compounds selected from TiALN (titanium nitride aluminum) and other SiC (silicon carbide).

これらの蒸着膜は、熱可塑性ポリマーとの離型性に優れるとともに酸やアルカリ水溶液などの耐腐蝕性に優れている。特にフロン系、フッ素系化合物のFHC(フローリックハードコート)、CFC(フッ化カーボンコート)、カーボン系のDLC(ダイヤモンドライクカーボン)、硼素系のTiBN(窒化チタン硼素)、CrBN(窒化クロム硼素)、SiBN(窒化珪素硼素)、Cr系のCrN(窒化クロム)は、より優れた耐腐蝕性を示す。   These vapor-deposited films are excellent in releasability from the thermoplastic polymer and excellent in corrosion resistance such as acid or alkaline aqueous solution. In particular, chlorofluorocarbon, fluorine compound FHC (floric hard coat), CFC (fluorinated carbon coat), carbon-based DLC (diamond-like carbon), boron-based TiBN (titanium boron nitride), CrBN (chromium boron nitride) SiBN (silicon boron nitride) and Cr-based CrN (chromium nitride) exhibit better corrosion resistance.

本発明に於いて、溶融紡糸装置への蒸着は、PVD法(Phisical Vapor Deposition Process:物理的気相蒸着)またはCVD法(Chemical Vapor Deposision Process:化学的気相蒸着)のいずれかの方法によって行うことができる。しかしながら、PVD法(物理的気相蒸着)の方がCVD法に比べ蒸着時の処理温度が低いため、本発明の溶融紡糸装置に蒸着する方法としては好ましい。しかし、CVD法の中でもP−CVD法(プラズマCVD)に於いてはPVD法と同等の低温環境下での蒸着が可能であるので、PVD法同様に好ましい処理方法として用いられる。   In the present invention, vapor deposition on the melt spinning apparatus is performed by either PVD method (Physical Vapor Deposition Process) or CVD method (Chemical Vapor Deposition Process). be able to. However, since the PVD method (physical vapor deposition) has a lower processing temperature during vapor deposition than the CVD method, it is preferable as a method for vapor deposition on the melt spinning apparatus of the present invention. However, among the CVD methods, the P-CVD method (plasma CVD) can be deposited in a low temperature environment equivalent to the PVD method, and is therefore used as a preferable processing method as in the PVD method.

本発明の溶融紡糸装置に蒸着膜を形成する具体的な方法は、例えば以下の通りである。まず、蒸着に先立つ金属基材の前処理として、金属基材の表面に蒸着膜を形成し易くするために基材の洗浄を行う。基材の洗浄にはエタノール、シンナー等の溶剤を用い、その後に水中で超音波洗浄して細孔部等に入り込んでいる異物を除去する。さらに仕上げ洗浄水には純水や整水を用いる。   A specific method for forming a deposited film on the melt spinning apparatus of the present invention is, for example, as follows. First, as a pretreatment of the metal substrate prior to vapor deposition, the substrate is washed in order to facilitate the formation of a vapor deposition film on the surface of the metal substrate. For cleaning the substrate, a solvent such as ethanol or thinner is used, and then ultrasonic cleaning is performed in water to remove foreign matters entering the pores. Furthermore, pure water or conditioned water is used as the finish cleaning water.

上記前処理を適正に実施すれば、蒸着膜の密着力を損なうようなことはないが、さらに基材洗浄方法としてイオンクリーニングを行う。真空炉を用い、炉内の真空度を10-2〜10-7Torrまで真空引きし、イオン源となるイオンガンや高周波(RF)またはDC電圧で基材や電極に印加し、その後アルゴンガス(Ar)を導入しプラズマを発生させる。アルゴンイオン(Ar)を基材に電位差で衝突させ、その衝突エネルギーで基材表面の酸化膜や付着物を除去する。 If properly implemented the pretreatment, although not as damaging the adhesion of the deposited film, intends row ion cleaning as a substrate cleaning method further. Using a vacuum furnace, the degree of vacuum in the furnace is evacuated to 10 −2 to 10 −7 Torr, applied to the substrate or electrode with an ion gun or radio frequency (RF) or DC voltage as an ion source, and then argon gas ( Ar) is introduced to generate plasma. Argon ions (Ar) are caused to collide with the base material with a potential difference, and the oxide film and deposits on the surface of the base material are removed by the collision energy.

次に、蒸着加工時に使用する真空炉内も充分に清掃する。以前に蒸着処理した金属や金属酸化物が真空炉内に付着していると、蒸着時にベーパー化し不純成分として基材に蒸着されてしまうからである。それを防止するため真空炉内面に薄い金属板を張り付け蒸着後に取り替えるか、または真空炉内面に離型剤をコーティングして酸化物の付着防止等を行うなど清掃することが好ましい。複雑形状でマスキング等ができない箇所にはサンドブラストでショットし物理的衝撃で前回の膜を除去する方法もある。   Next, the inside of the vacuum furnace used at the time of vapor deposition processing is also thoroughly cleaned. This is because if metal or metal oxide previously deposited is deposited in a vacuum furnace, it vaporizes during deposition and is deposited on the substrate as an impure component. In order to prevent this, it is preferable to perform cleaning by sticking a thin metal plate on the inner surface of the vacuum furnace and replacing it after vapor deposition, or by coating the inner surface of the vacuum furnace with a release agent to prevent adhesion of oxides. There is also a method of removing the previous film by a physical impact and shot by sandblasting at a place where masking or the like is not possible due to a complicated shape.

また、真空炉を真空引きする条件、即ち真空度に応じて真空ポンプタイプを選定しなければならない。真空度が高真空(10-1Torr以上)の環境下で用いる際は、油回転ポンプなのどの潤滑オイルが真空により炉内に逆流しないようにターボ分子ポンプやクライオポンプを用いるとよい。ポンプの整備状態もコーティングの品質に対しては極めて大きなウエイトを持つので充分に整備する必要がある。 In addition, a vacuum pump type must be selected according to the conditions for evacuating the vacuum furnace, that is, the degree of vacuum. When used in an environment where the degree of vacuum is high (10 -1 Torr or higher), a turbo molecular pump or cryopump may be used so that lubricating oil such as an oil rotary pump does not flow back into the furnace due to vacuum. The maintenance state of the pump has a very large weight with respect to the quality of the coating, so it needs to be sufficiently maintained.

本発明の溶融紡糸装置に形成する蒸着法であるPVD法およびCVD法について以下に詳述する。
(1)PVD法:主な装置としてイオン化蒸着装置、イオンプレーティング蒸着装置、スパッタリング装置、アークイオンプレーティング装置等を用いる。蒸着させたい金属基材に真空環境下でプラス電荷を帯びた原子をイオン状態にして、これを強い電位のエネルギーを利用してマイナス電圧を金属基材に印加し金属基材表面に高速でイオンを引き寄せ蒸着コーティングさせる。
The PVD method and the CVD method which are vapor deposition methods formed in the melt spinning apparatus of the present invention will be described in detail below.
(1) PVD method: An ionized vapor deposition apparatus, an ion plating vapor deposition apparatus, a sputtering apparatus, an arc ion plating apparatus, or the like is used as a main apparatus. The metal substrate to be deposited is ionized with a positively charged atom in a vacuum environment, and this is used to apply a negative voltage to the metal substrate using high potential energy. Is drawn and deposited.

PVD法で用いる装置は、真空炉によって真空環境下で処理を行うものであり、その真空度は一旦10-5〜10-7Torrに到達させて、Ti、窒素ガス、炭化水素系ガス(アセチレンガス)等の反応ガスもしくはキャリアガスとしてアルゴンガス等のガスを導入し、最終的には10-2〜10-4Torrで処理する。処理温度は100〜400℃、好ましくは100〜280℃である。この温度範囲で処理することにより、蒸着膜の機械的特性の劣化、熱変形、あるいは金属基材の複雑な形状部への応力集中による亀裂、破損などを防ぐことができる。また蒸着処理時間は蒸着の厚みにもよって変化させるが、通常は1〜5時間である。
(2)CVD法:PVD法と同じく真空炉を用い、例えば、熱CVD装置または直流プラズマCVD装置、高周波プラズマCVD装置などが用いられる。蒸着させたい金属基材に常圧、減圧容器内で高温に加熱し金属基材に原料ガスを接触させて化学反応によって金属基材表面に蒸着コーティングさせる方法である。この時の真空度は、先ず1〜10-5Torrに到達させた後、反応ガスを導入し最終的には常圧〜10-3Torrで処理する。熱プラズマ装置での処理温度は500〜1200℃、好ましくは500〜600℃である。また、直流プラズマCVD装置、高周波プラズマCVD装置での処理温度は100〜400℃であり、PVD装置と同等の低温成膜が可能である。蒸着処理時間は蒸着膜の厚みにもよって変化させるが、通常は1〜5時間である。
An apparatus used in the PVD method performs processing in a vacuum environment using a vacuum furnace. The degree of vacuum once reaches 10 −5 to 10 −7 Torr, and Ti, nitrogen gas, hydrocarbon gas (acetylene) A gas such as argon gas is introduced as a reaction gas such as gas) or a carrier gas, and the final treatment is performed at 10 −2 to 10 −4 Torr. Processing temperature is 100-400 degreeC, Preferably it is 100-280 degreeC. By treating in this temperature range, it is possible to prevent deterioration of mechanical properties of the deposited film, thermal deformation, cracks due to stress concentration on the complicated shape portion of the metal substrate, breakage, and the like. The vapor deposition time varies depending on the thickness of the vapor deposition, but is usually 1 to 5 hours.
(2) CVD method: A vacuum furnace is used as in the PVD method, and for example, a thermal CVD apparatus, a direct-current plasma CVD apparatus, a high-frequency plasma CVD apparatus, or the like is used. In this method, the metal base material to be vapor-deposited is heated at normal pressure and a high temperature in a decompression vessel, and a raw material gas is brought into contact with the metal base material, and the surface of the metal base material is vapor-deposited by a chemical reaction. The degree of vacuum at this time first reaches 1 to 10 −5 Torr, and then a reaction gas is introduced and finally the processing is performed at normal pressure to 10 −3 Torr. The processing temperature in a thermal plasma apparatus is 500-1200 degreeC, Preferably it is 500-600 degreeC. In addition, the processing temperature in the DC plasma CVD apparatus and the high-frequency plasma CVD apparatus is 100 to 400 ° C., and low-temperature film formation equivalent to the PVD apparatus is possible. The vapor deposition treatment time varies depending on the thickness of the vapor deposition film, but is usually 1 to 5 hours.

熱CVD装置は高温環境下で成膜処理するため機械的特性の劣化、熱歪みによる変形、複雑な形状の場合は応力集中による亀裂、破損等が起こり易い。従って、比較的簡単な形状、あまり精度を要求しない用途に使われる方法である。なお、上記いずれの方法を用いるにしても、本発明の溶融紡糸装置の糸条の導入ノズル部と加熱流体の噴射ノズル部の内部に於いては、糸条の導入ノズル部と加熱流体の噴射ノズル部の内部まで蒸着膜を形成させる場合もあり、CVD法のように反応ガスから成膜させる方法が好ましい。PVDのスパッタなどのように、真空炉内で金属を溶融し、スパッタなどのようにイオンが直線的にしか進行できないため糸条の導入ノズル部と加熱流体の噴射ノズル部の内部にまで到達することが困難である。そのため、蒸着原料をガス系のものを選択するか、金属系の原料を選ぶ際にはイオン源と金属基材の配置を工夫したり、ポリマー管により蒸着膜を形成させるため数回に亘り蒸着処理を行う。   Since the thermal CVD apparatus performs film formation in a high temperature environment, mechanical characteristics are deteriorated, deformation due to thermal strain, and cracks and breakage due to stress concentration are likely to occur in the case of a complicated shape. Therefore, this method is used for applications that require a relatively simple shape and little precision. Regardless of which method is used, the yarn introduction nozzle portion and the heating fluid injection are provided inside the yarn introduction nozzle portion and the heating fluid injection nozzle portion of the melt spinning apparatus of the present invention. In some cases, a deposited film may be formed up to the inside of the nozzle portion, and a method of forming a film from a reactive gas, such as a CVD method, is preferable. Like PVD sputtering, metal is melted in a vacuum furnace, and ions can only travel linearly as in sputtering, so that they reach the inside of the yarn introduction nozzle and the heating fluid injection nozzle. Is difficult. Therefore, when the vapor deposition material is selected as a gas-based material, or when selecting a metal-based material, the arrangement of the ion source and the metal base material is devised, or vapor deposition is performed several times to form a vapor deposition film with a polymer tube. Process.

次に本発明の溶融紡糸装置の蒸着膜として好ましい7つの例について、その蒸着膜の製造方法を以下に示す。
(1)FHC(フローリックハードコート):PVD法のイオンプレーティング装置で成膜処理する。真空炉の回転テーブルに溶融紡糸装置をセットし30〜100rpmで正逆転のいずれか一定方向に回転させる。真空ポンプにて真空引きし真空度を10-3〜10-6Torrにし、アルゴンガス(Ar)を導入し、真空度を10-2〜10-3Torrに制御しイオンクリーニングする。CF系ガス(CF4またはC38)を導入ノズルより真空炉内に導入する。熱フィラメントで電圧もしくは高周波をかけることでプラズマを発生させCF系ガスをイオン化する。活発に運動する熱電子に正の電圧をかけることで陽イオンとなった蒸発粒子は、直流の負電圧にバイアスされた溶融紡糸装置に向かって加速し衝突する。溶融紡糸装置表面に到達した蒸発粒子は急速に冷却されて固化し成膜する。また、処理時の真空炉の温度は100〜400℃、好ましくは100〜250℃で処理する。
Next, about the seven examples preferable as a vapor deposition film of the melt spinning apparatus of this invention, the manufacturing method of the vapor deposition film is shown below.
(1) FHC (floric hard coat): A film is formed by an ion plating apparatus of PVD method. A melt spinning apparatus is set on a rotary table of a vacuum furnace, and is rotated in a fixed direction of either forward or reverse at 30 to 100 rpm. Vacuuming is performed with a vacuum pump to a vacuum degree of 10 −3 to 10 −6 Torr, argon gas (Ar) is introduced, and the degree of vacuum is controlled to 10 −2 to 10 −3 Torr to perform ion cleaning. CF gas (CF 4 or C 3 F 8 ) is introduced into the vacuum furnace from the introduction nozzle. Plasma is generated by applying voltage or high frequency with a hot filament to ionize the CF gas. Evaporated particles that have become positive ions by applying positive voltages to actively moving thermoelectrons are accelerated and collide toward a melt spinning apparatus biased to a negative DC voltage. The evaporated particles that have reached the surface of the melt spinning apparatus are rapidly cooled and solidified to form a film. Moreover, the temperature of the vacuum furnace at the time of a process is 100-400 degreeC, Preferably it processes at 100-250 degreeC.

(2)CFC(フッ化カーボンコート):CVD法のP−CVD装置で成膜処理する。真空炉の回転テーブルに溶融紡糸装置をセットし30〜100rpmで正逆転のいずれか一定方向に回転させる。真空ポンプにて真空引きし真空度を10-3〜10-6Torrにして、アルゴンガス(Ar)を導入し、真空度を10-2〜10-3Torrに制御しイオンクリーニングする。CF系ガス(CF4またはC38)とCH系ガス(C66、C22またはCH4)を導入ノズルより真空炉内に導入する。溶融紡糸装置に13.56MHzまたは27.12MHzの高周波もしくはDC電圧を印加し、あるいは、電極に高周波を印可し、さらに溶融紡糸装置にDC電圧を印加し溶融紡糸装置の周辺にプラズマを発生させCFガスとCH系ガスをイオン化する。CFガスとCH系ガスは直流の負電圧にバイアスされた溶融紡糸装置に向かって電界加速され直進する。溶融紡糸装置表面に到達した蒸発粒子は急速に冷却されて固化し成膜する。また、処理時の真空炉の温度は100〜400℃、好ましくは100〜250℃で処理する。
(3)DLC(ダイヤモンドライクカーボン):PVD法のイオンプレーティング装置で成膜処理する方法とCVD法のP−CVD装置で成膜する方法がある。まず該PVD法のイオンプレーティング装置で成膜処理する。真空炉の回転テーブルに溶融紡糸装置をセットし30〜100rpmで正逆転のいずれか一定方向に回転させる。真空ポンプにて真空引きし真空度を10-3〜10-6Torrにし、アルゴンガス(Ar)を導入し、真空度を10-2〜10-3Torrに制御しイオンクリーニングする。CH系ガス(C66、C22またはCH4)を導入ノズルより真空炉内に導入する。熱フィラメントで電圧もしくは高周波をかけることでプラズマを発生させCH系ガスをイオン化する。活発に運動する熱電子に正の電圧をかけることで陽イオンとなった蒸発粒子は、直流の負電圧にバイアスされた溶融紡糸装置に向かって加速し衝突する。溶融紡糸装置表面に到達した蒸発粒子は急速に冷却されて固化し成膜する。また、処理時の真空炉の温度は100〜400℃、好ましくは100〜250℃で処理する。 次にCVD法のP−CVD装置で成膜する方法では、真空炉の回転テーブルに溶融紡糸装置をセットし30〜100rpmで正逆転のいずれか一定方向に回転させる。真空ポンプにて真空引きし真空度を10-3〜10-6Torrにして、アルゴンガス(Ar)を導入し、真空度を10-2〜10-3Torrに制御しイオンクリーニングする。CH系ガス(C66、C22またはCH4)を導入ノズルより真空炉内に導入する。溶融紡糸装置に13.56MHzまたは27.12MHzの高周波もしくはDC電圧を印加し、あるいは、電極に高周波を印可し、さらに溶融紡糸装置にDC電圧を印加し溶融紡糸装置の周辺にプラズマを発生させる。CFガスとCH系ガスは直流の負電圧にバイアスされた溶融紡糸装置に向かって電界加速され直進する。溶融紡糸装置表面に到達した蒸発粒子は急速に冷却されて固化し成膜する。また、処理時の真空炉の温度は100〜400℃、好ましくは100〜250℃で処理する。
(4)TiBN(窒化チタン硼素):PVD法のアークイオンプレーティング蒸着装置(AIP)またはスパッタリング蒸着装置で成膜処理する。真空炉の回転テーブルに溶融紡糸装置をセットし30〜100rpmで正逆転のいずれか一定方向に回転させる。真空ポンプにて真空引きし真空度を10-3〜10-6Torrにし、アルゴンガス(Ar)を導入し、真空度を10-2〜10-3Torrに制御しイオンクリーニングする。電極に電圧を加えるとグロー放電が起き、スパッタガスにはアルゴン(Ar)を用い、硼素(B)と窒化チタン(TiN)の金属をターゲットを用いるか、TiB(チタン硼素)またはTiBN(窒化チタン硼素)の金属ターゲットを用いる。前記金属ターゲット表面をプラズマが激しくスパッタすることで金属ターゲットの原子をはじき出し蒸着粒子がイオンとなる。そこに窒素ガスを導入する。真空炉の温度は200〜400℃、好ましくは200〜250℃で処理する。これを強い電位のエネルギーを利用してマイナス電荷を溶融紡糸装置に流し金属基材表面に高速で原子を引き寄せ、溶融紡糸装置表面に成膜する。
(5)CrBN(窒化クロム硼素):PVD法のアークイオンプレーティング蒸着装置(AIP)またはスパッタリング蒸着装置で成膜処理する。真空炉の回転テーブルに溶融紡糸装置をセットし30〜100rpmで正逆転のいずれか一定方向に回転させる。真空ポンプにて真空引きし真空度を10-3〜10-6Torrにし、アルゴンガス(Ar)を導入し、真空度を10-2〜10-3Torrに制御しイオンクリーニングする。電極に電圧を加えるとグロー放電が起き、スパッタガスにはアルゴン(Ar)を用い、硼素(B)と窒化クロム(CrN)の金属をターゲットを用いるか、CrB(クロム硼素)またはCrBN(窒化チタン硼素)の金属ターゲットを用いる。もしくは硼素(B)とクロム(Cr)ターゲットを用いる前記金属ターゲット表面をプラズマが激しくスパッタすることで金属ターゲットの原子をはじき出し蒸着粒子がイオンとなる。そこに窒素ガスを導入する。真空炉の温度は200〜400℃、好ましくは200〜250℃で処理する。これを強い電位のエネルギーを利用してマイナス電荷を溶融紡糸装置に流し金属基材表面に高速で原子を引き寄せ、溶融紡糸装置表面に成膜する。
(6)SiBN(窒化シリコン硼素):PVD法のアークイオンプレーティング蒸着装置(AIP)またはスパッタリング蒸着装置で成膜処理する。真空炉の回転テーブルに溶融紡糸装置をセットし30〜100rpmで正逆転のいずれか一定方向に回転させる。真空ポンプにて真空引きし真空度を10-3〜10-6Torrにし、アルゴンガス(Ar)を導入し、真空度を10-2〜10-3Torrに制御しイオンクリーニングする。電極に電圧を加えるとグロー放電が起き、スパッタガスにはアルゴン(Ar)を用い、硼素(B)と窒化シリコン(SiN)の金属をターゲットを用いるか、SiB(クロム硼素)またはSiBN(窒化シリコン硼素)の金属ターゲットを用いる。もしくは硼素(B)とシリコン(Si)ターゲットを用いる前記金属ターゲット表面をプラズマが激しくスパッタすることで金属ターゲットの原子をはじき出し蒸着粒子がイオンとなる。そこに窒素ガスを導入する。真空炉の温度は200〜400℃、好ましくは200〜250℃で処理する。これを強い電位のエネルギーを利用してマイナス電荷を溶融紡糸装置に流し金属基材表面に高速で原子を引き寄せ、溶融紡糸装置表面に成膜する。
(7)CrN(窒化クロム):PVD法のアークイオンプレーティング蒸着装置で成膜処理する。真空炉の真空度を10-6〜10-7Torrにし、そこに窒素ガスを導入する。真空炉の温度は200〜400℃、好ましくは200〜250℃で処理する。真空炉内のセンターにクロムを配置しアーク電源にてCrを局部的に溶融する。溶融されたクロムは真空環境下でベーパー化し、プラス電荷を帯びたクロム原子をイオン状態にして、これを強い電位のエネルギーを利用してマイナス電荷を溶融紡糸装置に流し金属基材表面に高速で原子を引き寄せ、溶融紡糸装置表面に成膜する。
(2) CFC (fluorinated carbon coating): film formation is performed by a CVD P-CVD apparatus. A melt spinning apparatus is set on a rotary table of a vacuum furnace, and is rotated in a fixed direction of either forward or reverse at 30 to 100 rpm. A vacuum pump is used to reduce the vacuum to 10 −3 to 10 −6 Torr, argon gas (Ar) is introduced, and the vacuum is controlled to 10 −2 to 10 −3 Torr to perform ion cleaning. A CF-based gas (CF 4 or C 3 F 8 ) and a CH-based gas (C 6 H 6 , C 2 H 2 or CH 4 ) are introduced into the vacuum furnace from the introduction nozzle. A high frequency or DC voltage of 13.56 MHz or 27.12 MHz is applied to the melt spinning apparatus, or a high frequency is applied to the electrode, and a DC voltage is further applied to the melt spinning apparatus to generate plasma around the melt spinning apparatus to generate CF. The gas and CH gas are ionized. The CF gas and the CH gas are accelerated by an electric field toward a melt spinning apparatus biased to a negative DC voltage and go straight. The evaporated particles that have reached the surface of the melt spinning apparatus are rapidly cooled and solidified to form a film. Moreover, the temperature of the vacuum furnace at the time of a process is 100-400 degreeC, Preferably it processes at 100-250 degreeC.
(3) DLC (Diamond Like Carbon): There are a method of forming a film using a PVD ion plating apparatus and a method of forming a film using a CVD P-CVD apparatus. First, film formation is performed by the PVD ion plating apparatus. A melt spinning apparatus is set on a rotary table of a vacuum furnace, and is rotated in a fixed direction of either forward or reverse at 30 to 100 rpm. Vacuuming is performed with a vacuum pump to a vacuum degree of 10 −3 to 10 −6 Torr, argon gas (Ar) is introduced, and the degree of vacuum is controlled to 10 −2 to 10 −3 Torr to perform ion cleaning. A CH gas (C 6 H 6 , C 2 H 2 or CH 4 ) is introduced into the vacuum furnace from the introduction nozzle. Plasma is generated by applying voltage or high frequency with a hot filament to ionize CH gas. Evaporated particles that have become positive ions by applying positive voltages to actively moving thermoelectrons are accelerated and collide toward a melt spinning apparatus biased to a negative DC voltage. The evaporated particles that have reached the surface of the melt spinning apparatus are rapidly cooled and solidified to form a film. Moreover, the temperature of the vacuum furnace at the time of a process is 100-400 degreeC, Preferably it processes at 100-250 degreeC. Next, in a method of forming a film with a CVD P-CVD apparatus, a melt spinning apparatus is set on a rotary table of a vacuum furnace, and is rotated at 30 to 100 rpm in either a forward or reverse direction. A vacuum pump is used to reduce the vacuum to 10 −3 to 10 −6 Torr, argon gas (Ar) is introduced, and the vacuum is controlled to 10 −2 to 10 −3 Torr to perform ion cleaning. A CH gas (C 6 H 6 , C 2 H 2 or CH 4 ) is introduced into the vacuum furnace from the introduction nozzle. A high frequency or DC voltage of 13.56 MHz or 27.12 MHz is applied to the melt spinning apparatus, or a high frequency is applied to the electrodes, and a DC voltage is further applied to the melt spinning apparatus to generate plasma around the melt spinning apparatus. The CF gas and the CH gas are accelerated by an electric field toward a melt spinning apparatus biased to a negative DC voltage and go straight. The evaporated particles that have reached the surface of the melt spinning apparatus are rapidly cooled and solidified to form a film. Moreover, the temperature of the vacuum furnace at the time of a process is 100-400 degreeC, Preferably it processes at 100-250 degreeC.
(4) TiBN (titanium boron nitride): The film is formed by a PVD arc ion plating vapor deposition apparatus (AIP) or a sputtering vapor deposition apparatus. A melt spinning apparatus is set on a rotary table of a vacuum furnace, and is rotated in a fixed direction of either forward or reverse at 30 to 100 rpm. Vacuuming is performed with a vacuum pump to a vacuum degree of 10 −3 to 10 −6 Torr, argon gas (Ar) is introduced, and the degree of vacuum is controlled to 10 −2 to 10 −3 Torr to perform ion cleaning. When a voltage is applied to the electrode, glow discharge occurs, and argon (Ar) is used as a sputtering gas, and a boron (B) and titanium nitride (TiN) metal target is used, or TiB (titanium boron) or TiBN (titanium nitride). Boron) metal target is used. When the plasma is vigorously sputtered on the surface of the metal target, the atoms of the metal target are ejected and the vapor deposition particles become ions. Nitrogen gas is introduced there. The temperature in the vacuum furnace is 200 to 400 ° C, preferably 200 to 250 ° C. Using this, a negative electric charge is caused to flow to the melt spinning apparatus by using a strong potential energy, and atoms are attracted to the surface of the metal substrate at a high speed to form a film on the surface of the melt spinning apparatus.
(5) CrBN (Chromium Boron Nitride): The film is formed by PVD arc ion plating vapor deposition (AIP) or sputtering vapor deposition. A melt spinning apparatus is set on a rotary table of a vacuum furnace, and is rotated in a fixed direction of either forward or reverse at 30 to 100 rpm. Vacuuming is performed with a vacuum pump to a vacuum degree of 10 −3 to 10 −6 Torr, argon gas (Ar) is introduced, and the degree of vacuum is controlled to 10 −2 to 10 −3 Torr to perform ion cleaning. When a voltage is applied to the electrode, glow discharge occurs, and argon (Ar) is used as the sputtering gas, a boron (B) and chromium nitride (CrN) metal target is used, or CrB (chromium boron) or CrBN (titanium nitride). Boron) metal target is used. Alternatively, when the plasma is vigorously sputtered on the surface of the metal target using a boron (B) and chromium (Cr) target, the atoms of the metal target are ejected and the vapor deposition particles become ions. Nitrogen gas is introduced there. The temperature in the vacuum furnace is 200 to 400 ° C, preferably 200 to 250 ° C. Using this, a negative electric charge is caused to flow to the melt spinning apparatus by using a strong potential energy, and atoms are attracted to the surface of the metal substrate at a high speed to form a film on the surface of the melt spinning apparatus.
(6) SiBN (Silicon Boron Nitride): A film is formed by a PVD arc ion plating vapor deposition apparatus (AIP) or a sputtering vapor deposition apparatus. A melt spinning apparatus is set on a rotary table of a vacuum furnace, and is rotated in a fixed direction of either forward or reverse at 30 to 100 rpm. Vacuuming is performed with a vacuum pump to a vacuum degree of 10 −3 to 10 −6 Torr, argon gas (Ar) is introduced, and the degree of vacuum is controlled to 10 −2 to 10 −3 Torr to perform ion cleaning. When a voltage is applied to the electrode, glow discharge occurs, argon (Ar) is used as the sputtering gas, boron (B) and silicon nitride (SiN) metal are used as targets, or SiB (chromium boron) or SiBN (silicon nitride). Boron) metal target is used. Alternatively, when the plasma is vigorously sputtered on the surface of the metal target using boron (B) and silicon (Si) targets, the atoms of the metal target are ejected and the deposited particles become ions. Nitrogen gas is introduced there. The temperature in the vacuum furnace is 200 to 400 ° C, preferably 200 to 250 ° C. Using this, a negative electric charge is caused to flow to the melt spinning apparatus by using a strong potential energy, and atoms are attracted to the surface of the metal substrate at a high speed to form a film on the surface of the melt spinning apparatus.
(7) CrN (chromium nitride): The film is formed by a PVD arc ion plating vapor deposition apparatus. The vacuum degree of the vacuum furnace is set to 10 −6 to 10 −7 Torr, and nitrogen gas is introduced therein. The temperature in the vacuum furnace is 200 to 400 ° C, preferably 200 to 250 ° C. Chromium is placed in the center of the vacuum furnace, and Cr is melted locally by an arc power source. The molten chromium is vaporized in a vacuum environment, and the positively charged chromium atoms are made into an ionic state, and this is used to flow a negative charge to the melt spinning apparatus at a high speed on the surface of the metal substrate using high potential energy. The atoms are attracted and deposited on the surface of the melt spinning apparatus.

本発明の溶融紡糸装置を用いた溶融紡糸の製造法の一例を以下に示す。   An example of a method for producing melt spinning using the melt spinning apparatus of the present invention is shown below.

本発明の溶融紡糸方法に於ける紡糸温度は、220〜400℃である。紡糸温度はポリマーの融点より数十℃高い温度に設定されるため、通常300℃程度の高温であるが、ポリイミド、ポリエーテルケトンおよびポリエーテルニトリル等は320℃以上のより高温で紡糸される。従って溶融紡糸装置の溶融ポリマーが接触する溶融紡糸部材の表面は、高硬度の蒸着膜で形成されることから耐摩耗性に優れまた、高温下に長期間曝されても離型性を保持できる耐熱性を有することが必要であるが、本発明の上記蒸着膜を形成した溶融紡糸部材は充分な離型性と耐熱性を兼備している。   The spinning temperature in the melt spinning method of the present invention is 220 to 400 ° C. Since the spinning temperature is set to a temperature several tens of degrees C. higher than the melting point of the polymer, it is usually a high temperature of about 300.degree. C., but polyimide, polyether ketone, polyether nitrile and the like are spun at a higher temperature of 320.degree. Therefore, the surface of the melt-spun member that is in contact with the melt polymer of the melt-spinning apparatus is formed of a high-hardness vapor-deposited film, so that it has excellent wear resistance and can retain mold release properties even when exposed to high temperatures for a long period of time. Although it is necessary to have heat resistance, the melt-spun member formed with the vapor deposition film of the present invention has both sufficient release properties and heat resistance.

また、溶融紡糸部材の溶融ポリマーが接触するポリマー管、計量ポンプおよび紡糸パックの一部は紡糸が終った後または何回か繰り返し紡糸を行った後、該溶融紡糸部材内に残る溶融ポリマー、溶融ポリマーの熱分解物および金属熱分解物や溶融紡糸部材内の堆積物を除去するため、洗浄再生する。洗浄再生方法は、通常ソルト分解洗浄、バーンアウト洗浄、高温スチームによる加水分解洗浄、および強酸や強アルカリによる薬品洗浄等が行われる。そして、紡糸パック部品や計量ポンプ等はさらに清浄にするため、引き続いてスチーム、温水、加圧水を用いて洗浄したり、水中で超音波振動を与えて洗浄する等の方法が行われる。従って、溶融紡糸装置の溶融ポリマーが接触する溶融紡糸部材の表面は、洗浄再生時の高温処理およびまたは強酸、強アルカリ処理に対しても安定な材質であって、かつそれらの繰り返しに対する耐久性を有する溶融紡糸部材が求められていたが、本発明溶融紡糸装置はそれらの要求を満足する。   Also, some polymer tubes, metering pumps, and spinning packs that are in contact with the molten polymer of the melt-spun member, after spinning is completed or after several times of spinning, the molten polymer remaining in the melt-spun member, the melt In order to remove the pyrolyzate of the polymer, the pyrolyzate of metal, and the deposits in the melt-spun member, cleaning and regeneration are performed. Washing and regenerating methods usually include salt decomposition cleaning, burnout cleaning, hydrolytic cleaning with high-temperature steam, and chemical cleaning with strong acid or strong alkali. Then, in order to further clean the spinning pack parts, the metering pump, etc., methods such as washing with steam, hot water, and pressurized water, or washing with ultrasonic vibration in water are performed. Therefore, the surface of the melt-spun member that is in contact with the molten polymer of the melt-spinning apparatus is a material that is stable to high-temperature treatment and / or strong acid and strong alkali treatment during washing and regeneration, and has durability against repeated operations. There has been a need for a melt-spinning member having this, but the melt-spinning apparatus of the present invention satisfies these requirements.

本発明の、溶融ポリマーが接触する溶融紡糸部材の表面を蒸着処理した溶融紡糸装置を用いた溶融紡糸方法は、通常の産業用繊維の溶融紡糸法と同様であるが、産業用ナイロン66繊維を例にとって以下に概説する。   The melt spinning method using the melt spinning apparatus in which the surface of the melt spinning member in contact with the melt polymer of the present invention is vapor-deposited is the same as the melt spinning method of ordinary industrial fibers. An example is outlined below.

硫酸相対粘度3.2〜3.8のナイロン66チップを用いてエクストルダー型押出機で溶融紡糸するに当たり、溶融紡糸部材のポリマー管、計量ポンプおよび紡糸パックのポリマー分配板等について、それぞれ、溶融ポリマーが接触する表面を本発明の蒸着膜を形成させた部材を組み立てる。   When melt spinning with an extruder type extruder using nylon 66 chips having a relative viscosity of sulfuric acid of 3.2 to 3.8, the polymer tube of the melt spinning member, the metering pump, the polymer distribution plate of the spin pack, etc. are melted respectively. A member in which the deposited film of the present invention is formed on the surface in contact with the polymer is assembled.

紡糸温度は280〜310℃とし、紡糸パックには15μmの金属不織布フイルターを用いて濾過した後、溶融紡糸口金孔を通して紡糸する。   The spinning temperature is 280 to 310 ° C., and the spinning pack is filtered using a 15 μm metal nonwoven fabric filter and then spun through a melt spinneret hole.

紡出糸条は、溶融紡糸口金直下に設置された長さ10〜50cmの加熱筒によって囲まれ、270〜350℃に加熱された高温雰囲気中を通過した後、常温の10〜25℃の冷風によって冷却固化される。ついで、糸条は平滑剤、静電剤、界面活性剤を主成分とする油剤を付与された後、引き取りロールに捲回され、所定の引き取り速度で引き取られる。引き取り速度は300〜3000m/min、通常は500〜2000m/minである。引取り糸条は一旦巻き取ることなく、順次高速で回転する複数の対ロールに捲回させ、該対ロールの速度差によって延伸する。通常は2段または3段延伸したのち、弛緩処理をして巻き取る。延伸はガラス転移温度以上で熱延伸を行い、最終の延伸および熱セット温度は230〜250℃の高温で行う。延伸倍率は2〜6倍の範囲で行われ、巻き取り速度は2000〜6000m/minある。   The spun yarn is surrounded by a heating cylinder having a length of 10 to 50 cm installed immediately below the melt spinneret, and after passing through a high-temperature atmosphere heated to 270 to 350 ° C., cold air at a normal temperature of 10 to 25 ° C. Solidified by cooling. Next, the yarn is provided with a smoothing agent, an electrostatic agent, and an oil agent mainly composed of a surfactant, wound around a take-up roll, and taken up at a predetermined take-up speed. The take-up speed is 300 to 3000 m / min, usually 500 to 2000 m / min. The take-up yarn is wound around a plurality of pair rolls that are sequentially rotated at a high speed without being wound once, and is drawn by a difference in speed between the pair rolls. Usually, after stretching in two or three stages, it is wound with a relaxation treatment. Stretching is performed at a glass transition temperature or higher, and final stretching and heat setting are performed at a high temperature of 230 to 250 ° C. The draw ratio is 2 to 6 times, and the winding speed is 2000 to 6000 m / min.

次に、実施例および比較例を挙げて本発明を具体的に説明するが、以下の実施例に用いた各特性の評価方法を示す。   Next, although an Example and a comparative example are given and this invention is demonstrated concretely, the evaluation method of each characteristic used for the following Examples is shown.

(1)蒸着膜の厚み:(株)小坂研究所製の”Surfcorder”(SE1700)触針走査式粗さ測定器を用いて測定した。テストピースの一部にマスキングして於いて、蒸着真空炉にて蒸着加工を行う。蒸着処理後にテストピースを取り出し、蒸着部とマスキング部との段差を触針走査粗さ測定器で測定した。   (1) Thickness of the deposited film: Measured using a “surfcoder” (SE1700) stylus scanning roughness measuring instrument manufactured by Kosaka Laboratory. A part of the test piece is masked and vapor deposition is performed in a vapor deposition vacuum furnace. After the vapor deposition treatment, the test piece was taken out and the step between the vapor deposition part and the masking part was measured with a stylus scanning roughness measuring instrument.

(2)水との接触角:溶融紡糸部材もしくは溶融紡糸装置の各部と同材質で製作したテストピース上に蒸留水2.5ccを滴下して、その接触角を接触角自動測定器にて測定した。測定は温度24±2℃、湿度60±5%の環境下で行った。接触角自動測定器は、”ACT−PRODUCTS”(VCA−OPTIMA装置)を用いた。   (2) Contact angle with water: 2.5 cc of distilled water is dropped onto a test piece made of the same material as the melt spinning member or each part of the melt spinning apparatus, and the contact angle is measured with an automatic contact angle measuring device. did. The measurement was performed in an environment with a temperature of 24 ± 2 ° C. and a humidity of 60 ± 5%. As the automatic contact angle measuring device, “ACT-PRODUCTS” (VCA-OPTIMA apparatus) was used.

(3)蒸着膜硬度:蒸着膜部分をJIS−B7734のビッカース硬さ試験法で測定した。ビッカース硬さ試験機は(株)明石製作所製"MVKーE"を用いた。   (3) Vapor deposition film hardness: The vapor deposition film part was measured by the Vickers hardness test method of JIS-B7734. As the Vickers hardness tester, “MVK-E” manufactured by Akashi Manufacturing Co., Ltd. was used.

(4)体積抵抗率:蒸着膜部分をJIS−K7194の方法で測定した。測定機は三菱化学(株)製の低抵抗率計"ロレスターGP−MCP−T600"を用いた。   (4) Volume resistivity: The vapor deposition film part was measured by the method of JIS-K7194. The measuring machine used was a low resistivity meter “Lorestar GP-MCP-T600” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.

(5)耐腐蝕性:溶融紡糸部材と同じ蒸着膜を施したテストピースを常温の5%水酸化ナトリウム水溶液に200時間浸積させた後、取り出して洗浄し、表面の腐蝕状態を観察した。下記のようにランクつけをした。
○○・・腐蝕(変色)が全くない状態。
○・・・腐蝕(変色)が若干ある状態。
△・・・腐蝕(変色)が部分的にある状態。
×・・・腐蝕(変色)が全面的にある状態。
(5) Corrosion resistance: A test piece provided with the same vapor deposition film as the melt-spun member was immersed in a 5% aqueous sodium hydroxide solution at room temperature for 200 hours, then taken out and washed, and the surface corrosion state was observed. The ranking was as follows.
○○ ・ ・ No corrosion (discoloration).
○ ... Some corrosion (discoloration).
Δ: Corrosion (discoloration) is partially present.
X: Corrosion (discoloration) is present throughout.

(6)紡糸部材洗浄周期:継続して溶融紡糸行い、各溶融紡糸部材の洗浄周期の評価は下記の要領で評価した。   (6) Spinning member cleaning cycle: Melt spinning was continued, and the cleaning cycle of each melt-spun member was evaluated in the following manner.

ポリマー管に於いては、図1のスクリューの先端と軽量ポンプの入口に圧力計を常時設置し、オンラインでその圧力差を検出した。ポリマー管内壁の異物が、溶融ポリマー流路等に析出や堆積すると管内径が閉塞状態になり溶融ポリマーの通過性が悪くなるため圧力が低下する。この圧力の低下率が40%に至るまでの延べ紡糸日数を算出し、ポリマー管の洗浄周期とした。延べ紡糸日数とは「紡糸日数×紡糸回数」である。なお、従来技術による比較例2の寿命を1倍として本発明効果を相対的に示した。   In the polymer tube, a pressure gauge was always installed at the tip of the screw and the inlet of the lightweight pump in FIG. 1, and the pressure difference was detected online. When foreign matter on the inner wall of the polymer pipe is deposited or deposited on the molten polymer flow path or the like, the inner diameter of the pipe is closed, and the passage of the molten polymer is deteriorated, so that the pressure is lowered. The total number of spinning days until the pressure decrease rate reached 40% was calculated and used as the cleaning cycle of the polymer tube. The total spinning days is “spinning days × spinning times”. Note that the effect of the present invention was relatively shown by doubling the lifetime of Comparative Example 2 according to the prior art.

計量ポンプに於いては、延伸された糸条の見掛け繊度の変化量が3%以上に至るまでの延べ紡糸日数を算出し、計量ポンプの交換周期とした。
なお、延べ紡糸日数は、(6)と同様の評価で行い、また従来技術による比較例2の寿命を1倍として本発明効果を相対的に示した。
In the metering pump, the total spinning days until the amount of change in the apparent fineness of the drawn yarn reached 3% or more was calculated and used as the metering pump replacement period.
The total spinning days were evaluated by the same evaluation as in (6), and the effect of the present invention was relatively shown by doubling the life of Comparative Example 2 according to the prior art.

紡糸パックに於いては、計量ポンプの出口に圧力計を常時設置しオンラインで圧力を検出した。この圧力の増加率が50%に至るまでの延紡糸日数を算出し、紡糸パックの交換洗浄周期とした。延べ紡糸日数とは「紡糸日数×紡糸回数」である。なお延べ紡糸日数は、(6)と同様の評価で行い、従来技術による比較例2の寿命を1倍として本発明効果を相対的に示した。   In the spinning pack, a pressure gauge was always installed at the outlet of the metering pump, and the pressure was detected online. The number of days of spinning until the pressure increase rate reached 50% was calculated and used as the replacement cleaning cycle of the spinning pack. The total spinning days is “spinning days × spinning times”. The total number of spinning days was evaluated in the same manner as in (6), and the effect of the present invention was relatively shown by doubling the life of Comparative Example 2 according to the prior art.

(7)溶融紡糸部材寿命:継続紡糸した場合に摩耗しやすい高硬度の金属類を含有した添加材を含む熱可塑性ポリマーを溶融紡糸し、蒸着膜が部分的でも摩耗消滅に至るまでの延紡糸日数を算出し溶融紡糸部材の寿命とした。また、ポリマー管の内部摩耗判定は、CCDカメラにて内部で観察し蒸着膜の摩耗消滅の有無を判定した。なお、従来技術による比較例2の寿命を1倍として本発明効果を相対的に示した。   (7) Melt-spun member life: melt spinning a thermoplastic polymer containing an additive containing a high-hardness metal that is easily worn when continuously spun, and spinning until the vapor deposition film partially loses wear The number of days was calculated as the life of the melt-spun member. In addition, the internal wear of the polymer tube was determined by observing the inside with a CCD camera to determine whether or not the deposited film was worn away. Note that the effect of the present invention was relatively shown by doubling the lifetime of Comparative Example 2 according to the prior art.

(実施例1〜、比較例1〜
酢酸銅を銅として67ppm、沃化カリウム0.1重量%および臭化カリウム0.1重量%を含む硫酸相対粘度3.7のナイロン66ポリマーを、溶融温度300℃で溶融紡糸した。紡糸装置はエクストルダー型紡糸機を用いて溶融し、溶融紡糸パック中で15μmの金属不織布フィルターを通して濾過したのち、溶融紡糸口金の吐出孔から紡糸した。紡糸装置に取り付けたポリマー管の材質はSUS316、計量ポンプの材質はSKH51、紡糸パック部材はSUS316であり、使用した溶融紡糸装置は溶融紡糸部材のポリマー管、計量ポンプおよび紡糸口金を除く紡糸パック部材と溶融ポリマーと接触する部分の全表面(図1中の4、5、6の部分)に蒸着膜を形成させた図1の溶融紡糸装置である。
(Example 1-7, Comparative Example 1 to 6)
A nylon 66 polymer having a sulfuric acid relative viscosity of 3.7 containing 67 ppm of copper acetate as copper, 0.1% by weight of potassium iodide and 0.1% by weight of potassium bromide was melt-spun at a melting temperature of 300 ° C. The spinning device was melted using an extruder-type spinning machine, filtered through a 15 μm metal nonwoven fabric filter in a melt spinning pack, and then spun from the discharge hole of the melt spinneret. The material of the polymer tube attached to the spinning device is SUS316, the material of the metering pump is SKH51, and the spinning pack member is SUS316. 1 is a melt spinning apparatus of FIG. 1 in which a deposited film is formed on the entire surface (portions 4, 5, and 6 in FIG. 1) of a portion that comes into contact with the molten polymer.

なお、紡糸部材洗浄周期と溶融紡糸部材寿命に於いては上述した要領で評価した。また、溶融紡糸口金は外径190φで、吐出孔径が0.25φで204ホールの溶融紡糸口金を用いた。溶融紡糸口金から紡糸された糸条は、300℃に加熱された高温雰囲気を通過した後、冷風によって冷却固化され、油剤を付与された後、所定の速度で回転する引き取りローラーに捲回して引き取った。該引き取り糸は連続して、順次速度をアップしたネルソン型回転ローラーに捲回して延伸した。引き取りローラーは無加熱、フィードローラーは45℃、1段延伸ローラーは150℃、2段延伸ローラーは230℃として、2段熱延伸をした。熱延伸後の糸条は120℃に加熱した弛緩ローラーとの間で6%の弛緩を与えた後、3600m/minの速度引き取りワインダーで巻き取った。一方、比較例1〜3は実施例と同様のナイロン66ポリマーを同条件で溶融紡糸し製糸した。その結果、実施例1〜はいずれも表1、2に示すように目的とする紡糸部材洗浄周期と溶融紡糸部材寿命が、従来技術の比較例に比べ延長されていることが分かる。比較例は表3に示すように、溶融紡糸部材の寿命は大幅に改善されたものの、紡糸部材洗浄周期は従来技術である比較例5、6よりむしろ劣る結果であった。 The spinning member cleaning cycle and the melt-spun member life were evaluated as described above. The melt spinneret was an outer diameter of 190φ, a discharge hole diameter of 0.25φ, and a 204 hole melt spinneret. The yarn spun from the melt spinneret passes through a high-temperature atmosphere heated to 300 ° C., and is then cooled and solidified by cold air, applied with an oil agent, and wound around a take-up roller that rotates at a predetermined speed. It was. The take-up yarn was continuously drawn by being wound around a Nelson type rotating roller whose speed was increased sequentially. The take-up roller was not heated, the feed roller was 45 ° C., the one-stage stretching roller was 150 ° C., the two-stage stretching roller was 230 ° C., and two-stage heat stretching was performed. The yarn after hot drawing was subjected to 6% relaxation with a relaxation roller heated to 120 ° C., and then wound with a wind-up winder of 3600 m / min . Hand, Comparative Examples 1 to 3 were silk melt spinning the same nylon 66 polymer and Example under the same conditions. As a result, it Example 1-7 none spinning member cleaning cycle as melt spinning member lifetime of interest, as shown in Table 1 and 2, is extended compared with Comparative Examples 4-6 of the prior art I understand. In Comparative Example 4 , as shown in Table 3, although the life of the melt-spun member was greatly improved, the cleaning period of the spun member was inferior to that of Comparative Examples 5 and 6 as the prior art.

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本発明の溶融紡糸装置フローの一例を示す説明用である。It is for description which shows an example of the melt spinning apparatus flow of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1:スクリュー
2:バレル
3:シリンダー
4:ポリマー管
5:計量ポンプ
6:紡糸パック
7:熱可塑性ポリマー供給口
1: Screw 2: Barrel 3: Cylinder 4: Polymer tube 5: Metering pump 6: Spin pack 7: Thermoplastic polymer supply port

Claims (9)

熱可塑性ポリマーを溶融紡糸する装置であって、該装置を構成する溶融紡糸部材のポリマー管、計量ポンプおよび紡糸パック部材の溶融ポリマーと接触する表面の少なくとも一部が蒸着膜で形成されており、該蒸着膜表面と水との接触角が65〜115゜、蒸着膜硬度(常温HV)が1500〜6000、蒸着膜表面の体積抵抗率が10+5〜10+14Ω・cmであり、前記蒸着膜がFHC(フローリックハードコート)、CFC(フッ化カーボンコート)、TiBN(窒化チタン硼素)、CrBN(窒化クロム硼素)、SiBN(窒化シリコン硼素)から選ばれた少なくとも1種からなることを特徴とする溶融紡糸装置。 An apparatus for melt spinning thermoplastic polymer, wherein a polymer tube of a melt spinning member constituting the apparatus, a metering pump, and at least a part of a surface in contact with the molten polymer of a spin pack member are formed of a deposited film, the vapor deposition film surface contact angle with water from 65 to 115 °, vapor-deposited film hardness (room temperature HV) is 1,500 to 6,000, Ri volume resistivity of 10 +5 ~10 +14 Ω · cm der of the deposited film surface, the deposited film FHC (flow Rick hardcoat), CFC (carbon fluoride coat), that Do from TiBN (titanium nitride boron), CRBN (chromium nitride, boron), at least one selected from the SiBN (silicon nitride boron) A melt spinning apparatus characterized by that. 前記蒸着膜の膜厚が0.5〜15μmであることを特徴とする請求項1に記載の溶融紡糸装置。 The melt spinning apparatus according to claim 1, wherein a thickness of the deposited film is 0.5 to 15 μm. 溶融紡糸装置を構成する溶融紡糸部材のポリマー管、計量ポンプおよび紡糸パック部材の溶融ポリマーと接触する表面の少なくとも一部にイオンクリーニングを行い、真空下で基材の加速電圧を−100〜−3kVの範囲にコントロールするとともに、CF系ガスまたはCH系ガスの有機ガス成分をイオン化し、蒸着膜を形成することを特徴とする溶融紡糸装置の製造方法。 Ion cleaning is performed on at least a part of the surface of the melt spinning member constituting the melt spinning apparatus that contacts the polymer pipe of the melt spinning member, the metering pump, and the spinning pack member, and the acceleration voltage of the substrate is set to −100 to −3 kV under vacuum. And producing a vapor deposition film by ionizing an organic gas component of a CF-based gas or a CH-based gas. 前記蒸着膜がFHC(フローリックハードコート)、CFC(フッ化カーボンコート)、DLC(ダイヤモンドライクカーボン)から選ばれるいずれか一種であることを特徴とする請求項記載の溶融紡糸装置の製造方法。 The method for producing a melt spinning apparatus according to claim 3, wherein the deposited film is any one selected from FHC (floric hard coat), CFC (fluorinated carbon coat), and DLC (diamond-like carbon). . 前記FHC(フローリックハードコート)もしくはCFC(フッ化カーボンコート)のフッ素添加量が2%以上であることを特徴とする請求項記載の溶融紡糸装置の製造方法。 The method for producing a melt spinning apparatus according to claim 4, wherein the fluorine addition amount of the FHC (floric hard coat) or CFC (carbon fluoride coat) is 2% or more. 溶融紡糸装置を構成する溶融紡糸部材のポリマー管、計量ポンプおよび紡糸パック部材の溶融ポリマーと接触する表面の少なくとも一部にイオンクリーニングを行い、真空下で基材の加速電圧を−50〜−2kVの範囲にコントロールするとともに、B(硼素)、Ti(チタン)、Cr(クロム)、Si(シリコン)から選ばれた少なくとも一種の金属成分をイオン化し、さらに窒素置換して、蒸着膜を形成することを特徴とする溶融紡糸装置の製造方法。 Ion cleaning is performed on at least a part of the surface of the melt spinning member constituting the melt spinning apparatus in contact with the molten polymer of the melt spinning member, the metering pump, and the spin pack member, and the acceleration voltage of the substrate is set to −50 to −2 kV under vacuum. And at least one metal component selected from B (boron), Ti (titanium), Cr (chromium), and Si (silicon) is ionized and further substituted with nitrogen to form a deposited film. A method for producing a melt spinning apparatus. 前記B(硼素)、Ti(チタン)、Cr(クロム)、Si(シリコン)の不純物含有率が0.01%以下であることを特徴とする請求項記載の溶融紡糸装置の製造方法。 The method for producing a melt spinning apparatus according to claim 6, wherein the impurity content of B (boron), Ti (titanium), Cr (chromium), and Si (silicon) is 0.01% or less. 前記蒸着膜が、TiBN(窒化チタン硼素)、CrBN(窒化クロム硼素)、SiBN(窒化シリコン硼素)、CrN(窒化クロム)から選ばれた少なくとも1種からなることを特徴とする請求項記載の溶融紡糸装置の製造方法。 The deposited film, TiBN (titanium boron nitride), CRBN (chromium nitride, boron), SiBN (silicon nitride, boron), CrN according to claim 7, characterized in that it consists of at least one selected from (chromium nitride) Manufacturing method of melt spinning apparatus. 熱可塑性ポリマーの溶融紡糸方法であって、前記請求項1〜のいずれか1項に記載の溶融紡糸部材を用いて熱可塑性ポリマーの溶融紡糸を行うか、請求項3〜8のいずれか1項に記載の製造方法により、溶融紡糸装置を製造し、該装置を用いて熱可塑性ポリマーの溶融紡糸を行うことを特徴とする溶融紡糸方法。 It is a melt spinning method of a thermoplastic polymer, Comprising: Melt spinning of a thermoplastic polymer is performed using the melt spinning member of any one of the said Claims 1-2 , or any one of Claims 3-8. A melt spinning method comprising: producing a melt spinning apparatus by the production method according to the item, and performing melt spinning of a thermoplastic polymer using the apparatus .
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