JP4622513B2 - Ceramic paint supply method, multilayer ceramic electronic component manufacturing method, and ceramic paint supply apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、積層セラミックコンデンサ等の製造に用いられる、セラミック塗料供給方法、積層セラミック電子部品の製造方法及びセラミック塗料供給装置に関する。   The present invention relates to a ceramic coating material supply method, a multilayer ceramic electronic component manufacturing method, and a ceramic coating material supply apparatus used for manufacturing a multilayer ceramic capacitor and the like.

従来、積層セラミック電子部品として、例えば、携帯電話やパソコン等に多く適用されている積層セラミックコンデンサが知られている。積層セラミックコンデンサは、小型化、大容量化の要求が非常に強く、この要求に応えるため、1層あたりの誘電体層の厚みを薄くし、積層数を増大させている。例えば、最近の積層セラミックコンデンサは、誘電体層の厚みが1〜10μm以下で、積層数が数百層にも達している。   Conventionally, as a multilayer ceramic electronic component, for example, a multilayer ceramic capacitor that is widely applied to a mobile phone, a personal computer, or the like is known. Multilayer ceramic capacitors are extremely demanded for miniaturization and large capacity, and in order to meet these demands, the thickness of the dielectric layer per layer is reduced to increase the number of layers. For example, recent multilayer ceramic capacitors have a dielectric layer thickness of 1 to 10 μm or less and have reached several hundreds of layers.

このような積層セラミックコンデンサの製造方法としては、例えば、シート状の可撓性支持体の上に、セラミック塗料を塗布し、セラミック塗料を乾燥させてセラミックグリーンシートを形成し、セラミックグリーンシート上に電極群を形成した後、セラミックグリーンシートを所定の大きさに切断し、切断されたセラミックグリーンシートを順次に積層して積層構造体を形成し、この積層構造体を裁断し、焼成し、端子電極を取付けて、完成品の積層セラミックコンデンサを得る製造方法が知られている。   As a method for manufacturing such a multilayer ceramic capacitor, for example, a ceramic paint is applied on a sheet-like flexible support, and the ceramic paint is dried to form a ceramic green sheet. After forming the electrode group, the ceramic green sheets are cut to a predetermined size, and the cut ceramic green sheets are sequentially laminated to form a laminated structure, and the laminated structure is cut, fired, and terminals A manufacturing method is known in which an electrode is attached to obtain a finished multilayer ceramic capacitor.

そして、このような製造方法でセラミックグリーンシートを成形する場合、セラミック塗料に混入した異物を取り除くために、セラミック塗料を塗布する前に不織布フィルタを用いてセラミック塗料の濾過をした後にセラミック塗料の供給を行うのが一般的である(例えば、特許文献1参照)。   When forming ceramic green sheets by such a manufacturing method, in order to remove foreign matter mixed in the ceramic paint, the ceramic paint is filtered after the ceramic paint is filtered using a non-woven filter before the ceramic paint is applied. Is generally performed (see, for example, Patent Document 1).

特開平9−161268号公報JP-A-9-161268

しかしながら、このような従来公知の積層セラミック電子部品の製造方法では、セラミック塗料の濾過の過程で不織布フィルタの繊維が脱落し、塗料の吐出口に繊維が引っ掛かって塗料の供給を妨げ、その結果、セラミックグリーンシートの表面にスジが発生し、セラミックグリーンシートの平面性が低下してしまうといった問題点があった。また、吐出口に引っ掛かった繊維が脱落して塗布されると、セラミックグリーンシート上に異物となって付着するので、スジの終端には異物が存在していた。   However, in such a known method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, the fibers of the nonwoven fabric filter fall off during the process of filtering the ceramic paint, and the fibers are caught in the paint discharge port to prevent the supply of the paint. There is a problem that streaks are generated on the surface of the ceramic green sheet and the flatness of the ceramic green sheet is lowered. In addition, when the fibers caught in the discharge port drop off and are applied, they adhere as foreign matter on the ceramic green sheet, so that foreign matter is present at the end of the stripe.

本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであって、セラミックグリーンシートの表面にスジが発生することを防止し、セラミックグリーンシートの平面性を高めることができるセラミック塗料供給方法、積層セラミック電子部品の製造方法及びセラミック塗料供給装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in order to solve such problems, and is capable of preventing the generation of streaks on the surface of the ceramic green sheet and improving the flatness of the ceramic green sheet. It is an object of the present invention to provide a method, a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, and a ceramic paint supply apparatus.

本発明の発明者は、鋭意研究の結果、セラミックグリーンシートの表面にスジが発生することを防止し、セラミックグリーンシートの平面性を高めることができるセラミック塗料供給方法、積層セラミック電子部品の製造方法及びセラミック塗料供給装置を見出した。   As a result of earnest research, the inventor of the present invention has prevented the generation of streaks on the surface of the ceramic green sheet and can improve the flatness of the ceramic green sheet, and a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component And a ceramic paint supply device.

即ち、次のような本発明により、上記目的を達成することができる。   That is, the above-described object can be achieved by the following present invention.

(1)不織布をフィルタ構造物として含み、平均口径が3μm〜5μmの第1フィルタによってセラミック塗料を濾過する工程と、前記第1フィルタで濾過された前記セラミック塗料を、前記第1フィルタの平均口径よりも大きな5μm〜100μmの平均口径を有して、10μm〜100μm程度の長さの繊維の捕集が可能、且つ、前記第1フィルタよりもフィルタ構成物の脱落が少なく、前記第1フィルタの後段に配置された第2フィルタで濾過する工程と、を含んでなることを特徴とするセラミック塗料供給方法。 (1) A step of filtering a ceramic paint with a first filter having a nonwoven fabric as a filter structure and having an average diameter of 3 μm to 5 μm, and an average diameter of the first filter with the ceramic paint filtered by the first filter have an average diameter of greater 5μm~100μm than possible collection of fibers having a length of about 10 m - 100 m, and the first rather small, falling off of the filter arrangement of the filter, the first filter And a step of filtering with a second filter arranged in a subsequent stage .

)(1)に記載のセラミック塗料供給方法における各工程と、乾燥後の塗膜厚さが0.3μm〜5μmとなるように前記セラミック塗料を支持体の上に塗布する工程と、を含んでなることを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。 ( 2 ) Each step in the ceramic coating material supply method according to (1 ), and a step of applying the ceramic coating material on the support so that the coating thickness after drying is 0.3 μm to 5 μm. A method for producing a monolithic ceramic electronic component comprising:

不織布をフィルタ構造物として含み、平均口径が3μm〜5μmの第1フィルタと、該第1フィルタの後段に配設された第2フィルタと、を含んでなり、前記第2フィルタは、前記第1フィルタの平均口径よりも大きな5μm〜100μmの平均口径を有して、10μm〜100μm程度の長さの繊維の捕集が可能、且つ、前記第1フィルタよりもフィルタ構成物の脱落が少ないことを特徴とするセラミック塗料供給装置。 ( 3 ) comprising a non-woven fabric as a filter structure, a first filter having an average diameter of 3 μm to 5 μm, and a second filter disposed downstream of the first filter, wherein the second filter is It has an average aperture of 5 μm to 100 μm that is larger than the average aperture of the first filter, can collect fibers having a length of about 10 μm to 100 μm , and can drop the filter components more than the first filter. Ceramic paint supply device characterized by few.

本発明に係るセラミック塗料供給方法、積層セラミック電子部品の製造方法及びセラミック塗料供給装置によれば、セラミックグリーンシートの表面にスジが発生することを防止し、セラミックグリーンシートの平面性を高めることができるという優れた効果を有する。   According to the ceramic coating material supply method, the multilayer ceramic electronic component manufacturing method, and the ceramic coating material supply device according to the present invention, it is possible to prevent the generation of streaks on the surface of the ceramic green sheet and improve the flatness of the ceramic green sheet. It has an excellent effect of being able to.

本発明に係るセラミック塗料供給方法は、不織布をフィルタ構造物として含み、平均口径が3μm〜5μmの第1フィルタによってセラミック塗料を濾過する工程と、前記第1フィルタで濾過された前記セラミック塗料を、前記第1フィルタの平均口径よりも大きな5μm〜100μmの平均口径を有して、10μm〜100μm程度の長さの繊維の捕集が可能、且つ、前記第1フィルタよりもフィルタ構成物の脱落が少なく、前記第1フィルタの後段に配置された第2フィルタで濾過する工程と、を含んでなることによって、セラミックグリーンシートの表面にスジが発生することを防止し、セラミックグリーンシートの平面性を高めたものである。 The ceramic paint supply method according to the present invention includes a step of filtering a ceramic paint with a first filter having a nonwoven fabric as a filter structure and having an average diameter of 3 μm to 5 μm, and the ceramic paint filtered with the first filter. It has an average aperture of 5 μm to 100 μm that is larger than the average aperture of the first filter, can collect fibers having a length of about 10 μm to 100 μm , and can drop the filter components more than the first filter. least for the step of filtering by the second filter arranged downstream of said first filter, by comprising, to prevent the streaks are generated on the surface of the ceramic green sheet, the flatness of the ceramic green sheet It is a thing that raised.

又、本発明に係るセラミック塗料供給装置は、不織布をフィルタ構造物として含み、平均口径が3μm〜5μmの第1フィルタと、該第1フィルタの後段に配設された第2フィルタと、を含んでなり、前記第2フィルタは、前記第1フィルタの平均口径よりも大きな5μm〜100μmの平均口径を有して、10μm〜100μm程度の長さの繊維の捕集が可能、且つ、前記第1フィルタよりもフィルタ構成物の脱落が少ないことによって、上記同様の課題を解決したものである。 The ceramic paint supply apparatus according to the present invention includes a first filter having an average diameter of 3 μm to 5 μm and a second filter disposed downstream of the first filter, including a nonwoven fabric as a filter structure . The second filter has an average aperture of 5 μm to 100 μm larger than the average aperture of the first filter, and can collect fibers having a length of about 10 μm to 100 μm , and the first filter The problem similar to the above is solved by the fact that the filter component is less dropped than the filter.

なお、本発明に係る「セラミック塗料」とは、主成分としてセラミック粉末を含む塗料をいう。   The “ceramic paint” according to the present invention refers to a paint containing ceramic powder as a main component.

以下、図面を用いて、本発明の実施例に係るセラミック塗料供給方法、積層セラミック電子部品の製造方法及びセラミック塗料供給装置について詳細に説明する。   Hereinafter, a ceramic paint supply method, a multilayer ceramic electronic component manufacturing method, and a ceramic paint supply apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1に示されるように、本実施例に係る積層セラミック電子部品の製造方法は、セラミック塗料層の生成工程S10と、電極群の形成工程S11と、セラミックグリーンシート切断工程S12と、セラミックグリーンシートの積層工程S13と、を含んで構成されている。   As shown in FIG. 1, the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present embodiment includes a ceramic coating layer generation step S10, an electrode group formation step S11, a ceramic green sheet cutting step S12, and a ceramic green sheet. And laminating step S13.

セラミック塗料層の生成工程S10には、セラミック塗料供給装置10と、支持体12と、乾燥機14が用いられる。   In the ceramic coating layer generation step S10, the ceramic coating material supply device 10, the support 12 and the dryer 14 are used.

図2に示されるように、セラミック塗料供給装置10は、セラミック塗料16を貯留するためのタンク18と、このタンク18からセラミック塗料16を送出するためのポンプ20と、セラミック塗料16の濾過を行う第1フィルタ24と、この第1フィルタ24の後段に配設された第2フィルタ26と、セラミック塗料16を塗布するためのヘッド27と、を有して構成されている。   As shown in FIG. 2, the ceramic paint supply apparatus 10 performs tank 18 for storing the ceramic paint 16, a pump 20 for delivering the ceramic paint 16 from the tank 18, and filtration of the ceramic paint 16. The first filter 24, the second filter 26 disposed downstream of the first filter 24, and a head 27 for applying the ceramic paint 16 are configured.

第1フィルタ24には、例えば、ポリプロピレン、ポリエステル、ナイロン等の不織布をフィルタ構成物として含むフィルタを適用することができる。なお、セラミック塗料16に混入した異物を確実に除去するためには、第1フィルタ24の平均口径は3μm〜5μm程度であることが好ましい。   For the first filter 24, for example, a filter including a nonwoven fabric such as polypropylene, polyester, nylon, or the like as a filter component can be applied. In order to surely remove the foreign matter mixed in the ceramic paint 16, the average diameter of the first filter 24 is preferably about 3 μm to 5 μm.

一方、この第1フィルタ24の後段に配設された第2フィルタ26は、第1フィルタ24よりもフィルタ構成物の脱落が少ないフィルタであり、第2フィルタ26には、例えば、焼結金属、発泡プラスチック、金属スリット等をフィルタ構成物として含むフィルタを適用することができ、複数のフィルタ構成物26A、26Bを積層して第2フィルタ26を構成してもよい。更に、第2フィルタ26は、第1フィルタ24の平均口径よりも大きな平均口径を有するものであり、その平均口径は5μm〜100μm程度であることが好ましい。   On the other hand, the second filter 26 disposed in the subsequent stage of the first filter 24 is a filter in which the filter components are less dropped than the first filter 24. The second filter 26 includes, for example, sintered metal, A filter including foamed plastic, a metal slit, or the like as a filter component can be applied, and the second filter 26 may be configured by stacking a plurality of filter components 26A and 26B. Further, the second filter 26 has an average aperture larger than the average aperture of the first filter 24, and the average aperture is preferably about 5 μm to 100 μm.

一般に、多段フィルタを適用する場合、後段のフィルタは前段のフィルタよりも平均口径の小さい(目の細かい)フィルタを適用するのが通常であるが、本実施例に係るセラミック塗料供給装置10では、第1フィルタ24から脱落した繊維等を第2フィルタ26によって捕集するために、後段である第2フィルタ26の平均口径は、前段である第1フィルタ24の平均口径よりも大きく設定される。これにより、例えば、10μm〜100μm程度の長さを有するポリプロピレン、ポリエステル、ナイロン等の繊維を第2フィルタ26で効率よく捕集することが可能である。   Generally, when applying a multi-stage filter, it is usual to apply a filter having a smaller average aperture (finer) than the filter of the previous stage as the latter filter, but in the ceramic paint supply device 10 according to the present embodiment, In order to collect the fibers and the like that have fallen off from the first filter 24 by the second filter 26, the average aperture of the second filter 26 that is the subsequent stage is set larger than the average aperture of the first filter 24 that is the preceding stage. Thereby, for example, fibers such as polypropylene, polyester, and nylon having a length of about 10 μm to 100 μm can be efficiently collected by the second filter 26.

図1に戻って、セラミック塗料層の生成工程S10では、このセラミック塗料供給装置10から供給されるセラミック塗料16を支持体12の一面上に塗布し、セラミック塗料16を乾燥機14に通して乾燥させ、乾燥後の塗膜厚さが0.3μm〜5μmのセラミック塗料層28を形成する。なお、セラミック塗料16の材料としては、例えば、BaTiO等の材料を適用することができる。 Returning to FIG. 1, in the ceramic coating layer generation step S <b> 10, the ceramic coating 16 supplied from the ceramic coating supply apparatus 10 is applied onto one surface of the support 12, and the ceramic coating 16 is passed through the dryer 14 and dried. The ceramic coating layer 28 having a coating thickness after drying of 0.3 μm to 5 μm is formed. As a material of the ceramic paint 16, for example, a material such as BaTiO 3 can be applied.

電極群の形成工程S11では、スクリーン印刷機30を用いて、セラミック塗料層28の表面に電極群29を印刷した後、乾燥機14に通して乾燥させ、電極群29を形成する。   In the electrode group forming step S <b> 11, the electrode group 29 is printed on the surface of the ceramic coating layer 28 using the screen printer 30, and then dried through the dryer 14 to form the electrode group 29.

セラミックグリーンシート切断工程S12では、切断刃36を用いて、電極群29が形成されたセラミック塗料層28を所定の寸法に切断し、所定長さのセラミックグリーンシート38を生成する。   In the ceramic green sheet cutting step S12, the ceramic coating layer 28 on which the electrode group 29 is formed is cut into a predetermined dimension by using the cutting blade 36 to generate a ceramic green sheet 38 having a predetermined length.

セラミックグリーンシートの積層工程S13では、支持体12よりセラミックグリーンシート38を剥離してセラミックグリーンシート38を順次積層する。その後、熱プレスや切断等の工程を経てセラミック電子部品が生成される。   In the ceramic green sheet laminating step S13, the ceramic green sheets 38 are peeled off from the support 12 and the ceramic green sheets 38 are sequentially laminated. Thereafter, ceramic electronic components are generated through processes such as hot pressing and cutting.

本発明の発明者は、本実施例に係るセラミック塗料供給装置10と、第2フィルタ26を備えていない従来のセラミック塗料供給装置を用いて、セラミックグリーンシートの表面に生成されたスジの本数の比較を行った。その実験結果を表1に示す。   The inventor of the present invention uses the ceramic paint supply device 10 according to the present embodiment and a conventional ceramic paint supply device that does not include the second filter 26 to determine the number of streaks generated on the surface of the ceramic green sheet. A comparison was made. The experimental results are shown in Table 1.

Figure 0004622513
Figure 0004622513

なお、本実験では、第1フィルタ24として、平均口径4μmの不織布フィルタを、第2フィルタ26として、平均口径25μmの金網をそれぞれ適用した。又、本実施例に係るセラミック塗料供給装置10については、実験前に第1フィルタ24の洗浄を実施した。   In this experiment, a nonwoven fabric filter having an average diameter of 4 μm was applied as the first filter 24, and a wire mesh having an average diameter of 25 μm was applied as the second filter 26. Moreover, about the ceramic coating material supply apparatus 10 based on a present Example, the 1st filter 24 was wash | cleaned before experiment.

実験の結果、表1に示されるように、従来のセラミック塗料供給装置では、塗布長さ0〜200mで22本、201m〜400mで9本、401m〜600mで5本、601m〜800mで4本のスジがそれぞれ検出された。一方、実施例に係るセラミック塗料供給装置10では、塗布長さ0〜1600mの全範囲においてスジは全く検出されず、良好な結果が得られた。   As a result of the experiment, as shown in Table 1, in the conventional ceramic paint supply device, the coating length is 0 to 200 m, 22 pieces, 201 m to 400 m, 9 pieces, 401 m to 600 m, 5 pieces, 601 m to 800 m, 4 pieces. Each streak was detected. On the other hand, in the ceramic coating material supply apparatus 10 according to the example, no streak was detected in the entire range of the coating length of 0 to 1600 m, and good results were obtained.

本実施例に係るセラミック塗料供給方法及び積層セラミック電子部品の製造方法によれば、第1フィルタ24によってセラミック塗料16を濾過する工程と、第1フィルタ24で濾過されたセラミック塗料16を、第1フィルタ24の平均口径よりも大きな平均口径を有し、且つ、第1フィルタ24よりもフィルタ構成物の脱落が少ない第2フィルタ26で濾過する工程と、を含んでなるため、セラミックグリーンシートの表面にスジが発生することを防止し、セラミックグリーンシートの平面性を高めることができる。   According to the ceramic coating material supply method and the multilayer ceramic electronic component manufacturing method according to the present embodiment, the step of filtering the ceramic coating material 16 by the first filter 24 and the ceramic coating material 16 filtered by the first filter 24 are first processed. And the step of filtering with a second filter 26 having an average aperture larger than the average aperture of the filter 24 and having less filter components falling off than the first filter 24. It is possible to prevent the generation of streaks and to improve the flatness of the ceramic green sheet.

又、本実施例に係る積層セラミック電子部品の製造方法は、乾燥後の塗膜厚さが0.3μm〜5μmとなるようにセラミック塗料16を支持体の上に塗布する工程を含んでいるため、平面性を低下させることなく、薄いセラミックグリーンシートを形成することができる。   Moreover, since the manufacturing method of the multilayer ceramic electronic component which concerns on a present Example includes the process of apply | coating the ceramic coating material 16 on a support body so that the coating-film thickness after drying may be set to 0.3 micrometer-5 micrometers. A thin ceramic green sheet can be formed without reducing the flatness.

又、本実施例に係る塗料供給装置10によれば、第1フィルタ24と、この第1フィルタ24の後段に配設された第2フィルタ26と、を含んでなり、第2フィルタ26は、第1フィルタ24の平均口径よりも大きな平均口径を有し、且つ、第1フィルタ24よりもフィルタ構成物の脱落が少ないため、セラミックグリーンシートの表面にスジが発生することを防止し、セラミックグリーンシートの平面性を高めることができる。   Moreover, according to the coating material supply apparatus 10 which concerns on a present Example, it comprises the 1st filter 24 and the 2nd filter 26 arrange | positioned in the back | latter stage of this 1st filter 24. Since the filter has a mean diameter larger than the mean diameter of the first filter 24 and the filter component is less dropped than the first filter 24, the surface of the ceramic green sheet can be prevented from generating streaks. The flatness of the sheet can be improved.

更に、第2フィルタ26の平均口径は5μm〜100μmであるため、第1フィルタ24から脱落した長さ10μm〜100μm程度のポリプロピレン、ポリエステル、ナイロン等の繊維を確実に捕集することができる。   Furthermore, since the average diameter of the second filter 26 is 5 μm to 100 μm, fibers such as polypropylene, polyester, and nylon having a length of about 10 μm to 100 μm that have fallen off from the first filter 24 can be reliably collected.

なお、第2フィルタ26は、2つのフィルタ構成物26A、26Bを積層して構成されているため、より一層、濾過の効果を高めることができる。   In addition, since the 2nd filter 26 is comprised by laminating | stacking two filter components 26A and 26B, the effect of filtration can be improved further.

なお、本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法は、本実施例に係る製造方法に限定されるものではなく、例えば、他の製造工程を含んで構成されていてもよい。   In addition, the manufacturing method of the multilayer ceramic electronic component which concerns on this invention is not limited to the manufacturing method which concerns on a present Example, For example, you may be comprised including another manufacturing process.

又、本発明に係るセラミック塗料供給装置は、本実施例に係るセラミック塗料供給装置10の構成に限定されるものではなく、例えば、第1フィルタ24及び第2フィルタ26の平均口径は、上記数値に限定されるものではない。乾燥後のセラミック塗料16の塗膜厚さについても同様である。   The ceramic paint supply device according to the present invention is not limited to the configuration of the ceramic paint supply device 10 according to the present embodiment. For example, the average diameters of the first filter 24 and the second filter 26 are the above numerical values. It is not limited to. The same applies to the coating thickness of the ceramic paint 16 after drying.

更に、第2フィルタ26は、単一のフィルタ構成物からなるものでもよく、又、3つ以上のフィルタ構成物を積層して構成してもよい。   Further, the second filter 26 may be composed of a single filter component, or may be configured by laminating three or more filter components.

本発明に係るセラミック塗料供給方法、積層セラミック電子部品の製造方法及セラミック塗料供給装置は、積層セラミックコンデンサ等の積層セラミック電子部品の製造に適用することができる。   The ceramic coating material supply method, the multilayer ceramic electronic component manufacturing method, and the ceramic coating material supply apparatus according to the present invention can be applied to the manufacture of multilayer ceramic electronic components such as multilayer ceramic capacitors.

本実施例に係る積層セラミック電子部品の製造方法の工程を示す工程図Process drawing which shows the process of the manufacturing method of the multilayer ceramic electronic component which concerns on a present Example 本実施例に係るセラミック塗料供給装置のブロック図Block diagram of a ceramic paint supply apparatus according to this embodiment

符号の説明Explanation of symbols

10…セラミック塗料供給装置
12…支持体
14…乾燥機
16…セラミック塗料
18…タンク
20…ポンプ
24…第1フィルタ
26…第2フィルタ
27…ヘッド
28…セラミック塗料層
29…電極群
30…スクリーン印刷機
36…切断刃
38…セラミックグリーンシート
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Ceramic paint supply apparatus 12 ... Support body 14 ... Dryer 16 ... Ceramic paint 18 ... Tank 20 ... Pump 24 ... 1st filter 26 ... 2nd filter 27 ... Head 28 ... Ceramic paint layer 29 ... Electrode group 30 ... Screen printing Machine 36 ... Cutting blade 38 ... Ceramic green sheet

Claims (3)

不織布をフィルタ構造物として含み、平均口径が3μm〜5μmの第1フィルタによってセラミック塗料を濾過する工程と、前記第1フィルタで濾過された前記セラミック塗料を、前記第1フィルタの平均口径よりも大きな5μm〜100μmの平均口径を有して、10μm〜100μm程度の長さの繊維の捕集が可能、且つ、前記第1フィルタよりもフィルタ構成物の脱落が少なく、前記第1フィルタの後段に配置された第2フィルタで濾過する工程と、を含んでなることを特徴とするセラミック塗料供給方法。 The step of filtering the ceramic paint with a first filter having a nonwoven fabric as a filter structure and having an average diameter of 3 μm to 5 μm, and the ceramic paint filtered with the first filter being larger than the average diameter of the first filter have an average diameter of 5 m to 100 m, it can collect the fibers having a length of about 10 m - 100 m, and, fall off rather less of the filter arrangement than the first filter, downstream of the first filter And a step of filtering with a second filter arranged . 請求項1に記載のセラミック塗料供給方法における各工程と、乾燥後の塗膜厚さが0.3μm〜5μmとなるように前記セラミック塗料を支持体の上に塗布する工程と、を含んでなることを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。 Each step in the ceramic coating material supply method according to claim 1, and a step of applying the ceramic coating material on a support so that the coating thickness after drying is 0.3 μm to 5 μm. A method for producing a multilayer ceramic electronic component. 不織布をフィルタ構造物として含み、平均口径が3μm〜5μmの第1フィルタと、該第1フィルタの後段に配設された第2フィルタと、を含んでなり、前記第2フィルタは、前記第1フィルタの平均口径よりも大きな5μm〜100μmの平均口径を有して、10μm〜100μm程度の長さの繊維の捕集が可能、且つ、前記第1フィルタよりもフィルタ構成物の脱落が少ないことを特徴とするセラミック塗料供給装置。 A non-woven fabric is included as a filter structure, and includes a first filter having an average diameter of 3 μm to 5 μm, and a second filter disposed downstream of the first filter, wherein the second filter includes the first filter It has an average aperture of 5 μm to 100 μm that is larger than the average aperture of the filter, can collect fibers having a length of about 10 μm to 100 μm , and has less dropout of filter components than the first filter. Characteristic ceramic paint supply device.
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