JP4619853B2 - Uniform thickness polyimide film and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、厚みムラが改良されたポリイミドフィルムとその製造方法に関するものであり、特に銅箔を代表とする金属箔または金属薄膜が積層された電気配線板の支持体及びフレキシブル印刷回路保護用カバーレイフィルムとしての使用に適したポリイミドフィルム及びその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a polyimide film with improved thickness unevenness and a method for producing the same, and in particular, a support for an electric wiring board on which a metal foil or a metal thin film represented by copper foil is laminated, and a cover for protecting a flexible printed circuit. The present invention relates to a polyimide film suitable for use as a lay film and a method for producing the same.

ポリイミドフィルムは高耐熱性、高電気絶縁性を有することから耐熱性を必要とする電気絶縁素材として広範な産業分野で使用されており、特に銅箔が積層された電気配線板の支持体として使用されている。電気配線板の支持体にポリイミドフィルムを用いた場合、耐熱フレキシブル印刷回路基板の製造が可能となり、さらに、電気部品(例えばIC等)と銅箔との接続にはんだを使用することができ、電気製品の小型軽量化が可能となる。そのため、ポリイミドフィルムを電気配線板の支持体として用いたフレキシブル印刷回路基板の用途が広がり、ポリイミドフィルムの需要が伸びている。しかしながら、電気配線板の用途の多様化、電気配線板の高品質化(例えば配線数の高密度化等)に伴って、ポリイミドフィルムの電気絶縁支持体としての性能の向上及び加工性改善の要求が高まってきた。特に、耐熱フレキシブル印刷回路(FPC)に電気配線板の支持体としてポリイミドフィルムが用いられた場合は、FPCの製造において、ポリイミドフィルムと金属箔または金属薄膜とを耐熱接着剤で接着する必要があるが、そのポリイミドフィルムに厚みムラがあると、耐熱接着剤を塗布した場合に、耐熱接着剤の塗布ムラ、ハジキなどが生じ、歩留まりの低下をきたしていた。   Polyimide film has high heat resistance and high electrical insulation, so it is used in a wide range of industrial fields as an electrical insulation material that requires heat resistance, especially as a support for electrical wiring boards laminated with copper foil. Has been. When a polyimide film is used as a support for an electrical wiring board, a heat-resistant flexible printed circuit board can be manufactured, and solder can be used to connect electrical components (such as ICs) and copper foil. The product can be reduced in size and weight. Therefore, the use of the flexible printed circuit board which used the polyimide film as a support body of an electrical wiring board spreads, and the demand of a polyimide film is growing. However, with the diversification of uses of electrical wiring boards and higher quality of electrical wiring boards (for example, higher density of wiring, etc.), there is a demand for improvement in performance and workability improvement of polyimide film as an electrical insulating support. Has increased. In particular, when a polyimide film is used as a support for an electric wiring board in a heat-resistant flexible printed circuit (FPC), it is necessary to bond the polyimide film and a metal foil or a metal thin film with a heat-resistant adhesive in the manufacture of FPC. However, when the polyimide film has uneven thickness, when the heat-resistant adhesive is applied, uneven application of the heat-resistant adhesive, repelling, and the like occur, resulting in a decrease in yield.

特許文献1には、長手方向に発生するスジの幅が35μm〜200μmかつ高さが0.1〜1.0μmであって、そのスジの本数が1000mm当たり40本以下であるポリイミドフィルムを製造するのに、口金内におけるポリマーの滞留時間、圧力損失、温度を特定範囲内に制御することが記載されている。しかしながら、同文献記載の方法では、配管内壁や口金内壁の粗さムラにより発生するフィルム幅5〜10mmでのスジ状厚みムラを0.7μm以下とするにはあまり効果がなく、FPC等の歩留まりを改善する効果もない。
特開2001−162631号公報
In Patent Document 1, a polyimide film having a width of 35 μm to 200 μm and a height of 0.1 to 1.0 μm generated in the longitudinal direction, and the number of the streaks is 40 or less per 1000 mm is manufactured. However, it is described that the residence time, pressure loss, and temperature of the polymer in the die are controlled within a specific range. However, the method described in this document is not very effective in reducing the stripe-like thickness unevenness at a film width of 5 to 10 mm, which is generated due to the roughness unevenness of the inner wall of the pipe or the inner wall of the base, to a yield of FPC or the like There is no effect to improve.
JP 2001-162631 A

本発明の目的は、厚みムラが小さく、特に電気配線板の支持体及びFPC保護用カバーレイフィルムの用途に優れたポリイミドフィルム及びその製造方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a polyimide film having a small thickness non-uniformity and particularly excellent in the use of a support for an electric wiring board and a coverlay film for FPC protection, and a method for producing the same.

本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討した結果、配管内壁の表面粗度が1.0μm以下である配管を流路としてポリアミド酸溶液を供給すると供に、口金内壁の表面粗度が0.1μm以下である口金からポリアミド酸溶液を支持体上に流延してゲルフィルムを成形し、ついでゲルフィルム中のポリアミド酸をイミド化することにより、幅方向の厚みムラが1.0μm以下であり、かつ幅10mm以下の範囲内でのスジ状厚みムラが0.7μm以下であることを特徴とする幅500mm以上のポリイミドフィルムを工業的有利に製造することができることを見出し、さらにかくして得られたポリイミドフィルムに金属箔又は金属薄膜を耐熱接着剤で接着した場合、耐熱接着剤の塗布ムラ、ハジキなどの問題点が従来のポリイミドフィルムに比べて格段に改善されていることを見出した。   As a result of intensive studies to achieve the above object, the inventors of the present invention supplied the polyamic acid solution through a pipe having a pipe inner wall surface roughness of 1.0 μm or less as a flow path, and the surface roughness of the inner wall of the die. A gel film is formed by casting a polyamic acid solution on a support from a die having a thickness of 0.1 μm or less, and then imidizing the polyamic acid in the gel film results in a thickness variation of 1.0 μm in the width direction. It has been found that a polyimide film having a width of 500 mm or more can be produced industrially advantageously, and is characterized in that the stripe-shaped thickness unevenness within the range of 10 mm or less is 0.7 μm or less. When a metal foil or metal thin film is bonded to the resulting polyimide film with a heat-resistant adhesive, problems such as uneven application of the heat-resistant adhesive and repellency may occur. It found that it is much improved compared.

すなわち、本発明は、
(1) ポリイミドフィルムの幅方向の厚みムラが1.0μm以下であり、かつ幅10mm以下の範囲内でのスジ状厚みムラが0.7μm以下であることを特徴とする幅500mm以上のポリイミドフィルム、
(2) スジ状厚みムラが0.2μm以下である前記(1)記載のポリイミドフィルム、および
(3) 配管を流路として供給されるポリアミド酸溶液を口金から支持体上に流延することによりゲルフィルムを成形し、ついでゲルフィルム中のポリアミド酸をイミド化することによりポリイミドフィルムを製造する方法において、前記配管内壁の表面粗度が1.0μm以下であり、前記口金内壁の表面粗度が0.1μm以下であることを特徴とするポリイミドフィルムの製造方法、
に関する。
That is, the present invention
(1) A polyimide film having a width of 500 mm or more, wherein the thickness unevenness in the width direction of the polyimide film is 1.0 μm or less and the stripe-like thickness unevenness within a range of 10 mm or less is 0.7 μm or less. ,
(2) The polyimide film according to the above (1), in which the stripe-shaped thickness unevenness is 0.2 μm or less, and (3) by casting a polyamic acid solution supplied using a pipe as a flow path from a die onto a support. In the method for producing a polyimide film by forming a gel film and then imidizing the polyamic acid in the gel film, the surface roughness of the inner wall of the pipe is 1.0 μm or less, and the surface roughness of the inner wall of the die is A method for producing a polyimide film, which is 0.1 μm or less,
About.

本発明のポリイミドフィルムは、厚みムラが小さく、例えば耐熱接着剤によって金属箔又は金属薄膜と接着される場合に発生する耐熱接着剤の塗布ムラ、ハジキなどの問題点が従来のポリイミドフィルムに比べて格段に改善されており、特に、電気配線板の支持体やFPC保護用カバーレイフィルムの用途に優れている。
また、本発明の製造方法によれば、厚みムラが改良されたポリイミドフィルムを安定して工業的有利に製造することができる。
The polyimide film of the present invention has a small thickness unevenness, for example, problems such as uneven application of the heat-resistant adhesive and repelling that occur when the film is bonded to a metal foil or a metal thin film by a heat-resistant adhesive compared to conventional polyimide films. It is remarkably improved, and in particular, it is excellent for use as a support for an electric wiring board and a coverlay film for FPC protection.
Further, according to the production method of the present invention, a polyimide film with improved thickness unevenness can be produced stably and industrially advantageously.

本発明のポリイミドフィルムは、ポリイミドフィルムの幅方向の厚みムラが1.0μm以下であり、かつ幅10mm以下の範囲内でのスジ状厚みムラが0.7μm以下であることを特徴とする幅500mm以上のポリイミドフィルムである。
厚みムラは、端部10mmを除く幅500mm以上のフィルムを、フィルム送り装置により、1.5m/分の送り速度で送り出し、アンリツ株式会社製の広範囲電子マイクロメータK301および日本電子科学株式会社製の卓上型自動平衡記録計を用いて厚みチャートを記録し、記録結果から、フィルムの全幅及び各部位の幅5〜10mmでの最大値と最小値の差を算出して求められる。また、スジ状厚みムラは、幅10mm以下の範囲内(特に幅5〜10mm)での厚みムラをいう。
The polyimide film of the present invention has a width unevenness of 1.0 mm or less in the width direction of the polyimide film, and a stripe-shaped thickness unevenness within a range of 10 mm or less is 0.7 mm or less. It is the above polyimide film.
The thickness unevenness is such that a film having a width of 500 mm or more excluding the edge 10 mm is fed by a film feeding device at a feeding speed of 1.5 m / min, and a wide range electronic micrometer K301 manufactured by Anritsu Co., Ltd. A thickness chart is recorded using a table type automatic equilibrium recorder, and the difference between the maximum value and the minimum value in the total width of the film and the width of 5 to 10 mm of each part is calculated from the recorded result. In addition, streaky thickness unevenness refers to thickness unevenness within a range of 10 mm or less in width (especially 5 to 10 mm in width).

本発明においては、幅10mm以下の範囲内でのスジ状厚みムラが0.7μm以下であり、好ましくは0.3μm以下である。下限は、臨界的ではないが、通常、0.1μmである。
また、上記端部10mmを除く幅500mm以上の全幅の範囲内での厚みムラは1.0μm以下であり、好ましくは0.8μm以下である。下限は、臨界的ではないが、通常、0.3μmである。
In the present invention, the stripe-like thickness unevenness within the range of the width of 10 mm or less is 0.7 μm or less, preferably 0.3 μm or less. The lower limit is not critical but is usually 0.1 μm.
Further, the thickness unevenness within a full width range of 500 mm or more excluding the end portion 10 mm is 1.0 μm or less, preferably 0.8 μm or less. The lower limit is not critical but is usually 0.3 μm.

本発明のポリイミドフィルムは、配管内壁の表面粗度が1.0μm以下である配管を流路として供給されるポリアミド酸溶液を、口金内壁の表面粗度が0.1μm以下である口金から支持体上に流延することによりゲルフィルムを成形し(ゲルフィルム形成工程)、ついでゲルフィルム中のポリアミド酸をイミド化すること(ポリイミド形成工程)により製造される。   The polyimide film of the present invention supports a polyamic acid solution supplied through a pipe having a pipe inner wall surface roughness of 1.0 μm or less as a flow path from a die having a die inner wall surface roughness of 0.1 μm or less. It is manufactured by casting a gel film by casting (gel film forming step) and then imidizing the polyamic acid in the gel film (polyimide forming step).

(配管)
本発明のポリイミドフィルムの製造に使用される配管は、ポリアミド酸溶液が口金に至るまでの流路となる配管であって、配管内壁の表面粗度が1.0μm以下であれば特に限定されない。配管内壁の表面粗度が1.0μm以下である配管は、溶液流延法等で用いられる公知の配管の内壁に、機械研磨等の研磨処理を施して、表面粗度を1.0μm以下とすることにより製造される。なお、「表面粗度」は、MITUTOYO(株)製の表面粗さ測定器サーフテスト401を用いて測定される。
(Piping)
The piping used for the production of the polyimide film of the present invention is not particularly limited as long as the surface roughness of the inner wall of the piping is 1.0 μm or less, which is a piping that becomes a flow path until the polyamic acid solution reaches the die. A pipe whose inner wall has a surface roughness of 1.0 μm or less is subjected to a polishing process such as mechanical polishing on the inner wall of a known pipe used in the solution casting method, etc., so that the surface roughness is 1.0 μm or less. It is manufactured by doing. The “surface roughness” is measured using a surface roughness measuring device Surf Test 401 manufactured by MITUTOYO Co., Ltd.

(口金)
本発明のポリイミドフィルムの製造に使用される口金は、口金内壁の表面粗度が0.1μm以下であれば特に限定されない。口金内壁の表面粗度が0.1μmより越えてしまうと、ポリイミドフィルム表面の幅10mm以下の範囲内でのスジ状厚みムラが0.7μmより越えてしまい、さらに端部10mmを除く幅500mm以上の全幅の範囲内での厚みムラが1.0μmを越えてしまう。また、本発明においては、前記口金内壁の表面粗度が0.01〜0.1μmであるのが好ましい。表面粗度をこの好ましい範囲内にすることにより、ポリマーの異常滞留や付着を防止することができる。
口金内壁の表面粗度が0.1μm以下である口金は、溶液流延法等で用いられる公知のスリット付き口金の内壁を、研磨処理して表面粗度を0.1μm以下とすることにより製造される。研磨処理としては、例えば機械研磨などが挙げられる。
なお、上記「表面粗度」は、MITUTOYO(株)製の表面粗さ測定器サーフテスト401を用いて測定される。
(Base)
The die used for producing the polyimide film of the present invention is not particularly limited as long as the surface roughness of the inner wall of the die is 0.1 μm or less. When the surface roughness of the inner wall of the die exceeds 0.1 μm, the stripe thickness unevenness within the width of 10 mm or less on the surface of the polyimide film exceeds 0.7 μm, and the width excluding the end 10 mm is 500 mm or more. The thickness unevenness within the range of the entire width exceeds 1.0 μm. Moreover, in this invention, it is preferable that the surface roughness of the said inner wall of a nozzle | cap | die is 0.01-0.1 micrometer. By setting the surface roughness within this preferred range, abnormal retention and adhesion of the polymer can be prevented.
A die having a surface roughness of the inner wall of the die of 0.1 μm or less is manufactured by polishing the inner wall of a known slitted die used in a solution casting method or the like to bring the surface roughness to 0.1 μm or less. Is done. Examples of the polishing treatment include mechanical polishing.
The “surface roughness” is measured using a surface roughness measuring device Surf Test 401 manufactured by MITUTOYO Co., Ltd.

(ポリアミド酸溶液)
本発明で原料として用いられるポリアミド酸溶液は、ポリアミド酸が有機溶媒に分散・溶解していれば特に限定されない。
上記ポリアミド酸は、ポリイミドの前駆体であり、下記式[I]に示される構成単位を含むものである。

Figure 0004619853
(上記式[I]においてR1は少なくとも1個の芳香族環を有する4価の有機基で、その炭素数は25以下であるものとし、R1に結合する2つのカルボキシル基の夫々はR1における芳香族環のアミド基が結合する炭素原子とは相隣接する炭素原子に結合しているものであり、またR2は少なくとも1個の芳香族環を有する2価の有機基で、その炭素数は25以下であるものとし、アミノ基はR2における芳香族環の炭素原子に結合しているものである。) (Polyamide acid solution)
The polyamic acid solution used as a raw material in the present invention is not particularly limited as long as the polyamic acid is dispersed and dissolved in an organic solvent.
The said polyamic acid is a precursor of a polyimide, and contains the structural unit shown by following formula [I].
Figure 0004619853
(In the above formula [I], R1 is a tetravalent organic group having at least one aromatic ring, the carbon number of which is 25 or less, and each of the two carboxyl groups bonded to R1 is an aromatic group in R1. The carbon atom to which the amide group of the aromatic ring is bonded is bonded to the adjacent carbon atom, and R2 is a divalent organic group having at least one aromatic ring, and the carbon number is 25 And the amino group is bonded to the carbon atom of the aromatic ring in R2.)

上記ポリアミド酸は、常法に従い芳香族テトラカルボン酸類と芳香族ジアミン類とを重合させることにより製造される。
上記の芳香族テトラカルボン酸類の具体例としては、ピロメリット酸、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸、2,3’,3,4’−ビフェニルテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、2,3,6,7−ナフタレンジカルボン酸、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル、ピリジン−2,3,5,6−テトラカルボン酸及びこれらのアミド形成性誘導体が挙げられる。ポリアミド酸の製造にあたってはこれらの酸無水物が好ましく使用される。
The polyamic acid is produced by polymerizing aromatic tetracarboxylic acids and aromatic diamines according to a conventional method.
Specific examples of the aromatic tetracarboxylic acids include pyromellitic acid, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid, 2,3 ′, 3,4′-biphenyltetracarboxylic acid, 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic acid, 2,3,6,7-naphthalenedicarboxylic acid, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether, pyridine-2,3,5,6- Tetracarboxylic acids and their amide-forming derivatives are mentioned. In the production of polyamic acid, these acid anhydrides are preferably used.

上記の芳香族ジアミン類の具体例としては、パラフェニレンジアミン、メタフェニレンジアミン、ベンチジン、パラキシリレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、1,5−ジアミノナフタレン、3,3’−ジメトキシベンチジン、1,4−ビス(3メチル−5アミノフェニル)ベンゼン及びこれらのアミド形成性誘導体が挙げられる。中でも、少なくともパラフェニレンジアミンを含有させることが好ましい。   Specific examples of the aromatic diamines include paraphenylenediamine, metaphenylenediamine, benzidine, paraxylylenediamine, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenylmethane, and 4,4′-diaminodiphenyl. Sulfone, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 1,5-diaminonaphthalene, 3,3′-dimethoxybenzidine, 1,4-bis (3methyl-5aminophenyl) benzene and their Examples include amide-forming derivatives. Among these, it is preferable to contain at least paraphenylenediamine.

上記有機溶媒の具体例としては、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドンなどの有機極性アミド系溶媒が挙げられ、これらの有機溶媒は単独で、又は2種以上を組み合わせて使用しても、又はこれらとベンゼン、トルエン、キシレンのような非溶媒とを組み合わせて使用してもよい。ポリアミド酸溶液は、固形分を5〜40重量%、好ましくは10〜30重量%を含有し、粘度がブルックフィールド粘度計による測定値で500〜20000ポイズ、好ましくは1000〜10000ポイズであるのが、安定した送液が可能なために好ましい。また有機溶媒溶液中のポリアミド酸は部分的にイミド化されてもよく、少量の無機化合物を含有していてもよい。   Specific examples of the organic solvent include organic polar amide solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, and these organic solvents are used alone or Two or more types may be used in combination, or these may be used in combination with a non-solvent such as benzene, toluene or xylene. The polyamic acid solution has a solid content of 5 to 40% by weight, preferably 10 to 30% by weight, and has a viscosity of 500 to 20000 poise, preferably 1000 to 10,000 poise as measured by a Brookfield viscometer. It is preferable because stable liquid feeding is possible. The polyamic acid in the organic solvent solution may be partially imidized and may contain a small amount of an inorganic compound.

ポリアミド酸溶液は、上記有機溶媒中、上記芳香族テトラカルボン酸類と上記芳香族ジアミン類とを重合させることにより得られる。
本発明において芳香族テトラカルボン酸類と芳香族ジアミン類とはそれぞれのモル数が大略等しくなる割合で重合されるか、その一方が10モル%、好ましくは5モル%の範囲内で他方に対して過剰に配合されてもよい。重合反応は有機溶媒中で攪拌および/または混合しながら0〜80℃の温度の範囲で10分〜30時間連続して進められるが、必要により重合反応を分割したり、温度を上下させたりしてもかまわない。両反応体の添加順序には特に制限はないが、芳香族ジアミン類の溶液中に芳香族テトラカルボン酸類を添加するのが好ましい。また、重合反応中に真空脱泡してもよく、重合反応中に真空脱泡することは良質なポリアミド酸の有機溶媒溶液を製造するのに有効な方法である。また重合反応前に芳香族ジアミン類に少量の末端封止剤を添加して重合反応を制御することを行ってもよい。
The polyamic acid solution is obtained by polymerizing the aromatic tetracarboxylic acid and the aromatic diamine in the organic solvent.
In the present invention, the aromatic tetracarboxylic acids and the aromatic diamines are polymerized in such a proportion that their respective mole numbers are approximately equal, or one of them is within a range of 10 mol%, preferably 5 mol%, relative to the other. It may be blended in excess. The polymerization reaction is continuously carried out for 10 minutes to 30 hours in the temperature range of 0 to 80 ° C. with stirring and / or mixing in an organic solvent. If necessary, the polymerization reaction is divided or the temperature is increased or decreased. It doesn't matter. Although there is no restriction | limiting in particular in the addition order of both reactants, It is preferable to add aromatic tetracarboxylic acid in the solution of aromatic diamines. Further, vacuum degassing may be performed during the polymerization reaction, and vacuum degassing during the polymerization reaction is an effective method for producing a good quality organic solvent solution of polyamic acid. Further, before the polymerization reaction, a small amount of end-capping agent may be added to the aromatic diamines to control the polymerization reaction.

化学閉環法によりイミド化を行う場合には、ポリアミド酸溶液をゲルフィルム状に成形するに先立ち、ポリアミド酸溶液に閉環触媒および脱水剤が配合される。   When imidization is performed by a chemical ring closure method, a ring closure catalyst and a dehydrating agent are blended in the polyamic acid solution prior to forming the polyamic acid solution into a gel film.

上記閉環触媒の具体例としてはトリメチルアミン、トリエチレンジアミン等の脂肪族第3級アミン、及びイソキノリン、ピリジン、β−ピコリン等の複素環第3級アミンが挙げられるが、複素環第3級アミンから選ばれる少なくとも一種類のアミンを使用するのが好ましい。   Specific examples of the ring-closing catalyst include aliphatic tertiary amines such as trimethylamine and triethylenediamine, and heterocyclic tertiary amines such as isoquinoline, pyridine and β-picoline, which are selected from heterocyclic tertiary amines. It is preferred to use at least one amine.

ポリアミド酸に対する閉環触媒の含有量は次式の範囲内であるのが好ましい。
〔数1〕
0.5< 閉環触媒の含有量(モル)/ポリアミド酸の含有量(モル) <8
The content of the ring-closing catalyst with respect to the polyamic acid is preferably within the range of the following formula.
[Equation 1]
0.5 <content of cyclization catalyst (mole) / polyamic acid content (mole) <8

上記脱水剤の具体例としては無水酢酸、無水プロピオン酸、無水酪酸等の脂肪族カルボン酸無水物、及び無水安息香酸等の芳香族カルボン酸無水物等が挙げられるが、中でも無水酢酸および/または無水安息香酸が好ましい。   Specific examples of the dehydrating agent include aliphatic carboxylic acid anhydrides such as acetic anhydride, propionic anhydride and butyric anhydride, and aromatic carboxylic acid anhydrides such as benzoic anhydride, among which acetic anhydride and / or Benzoic anhydride is preferred.

ポリアミド酸に対する脱水剤の含有量は次式の範囲内であるのが好ましい。
〔数2〕
0.1< 脱水剤の含有量(モル)/ポリアミド酸の含有量(モル) <4
また、フィルムの滑り性付与のために、ポリアミド酸に無機粉体を少量添加してもよいし、ポリアミド酸溶液に閉環触媒や脱水剤に加えて、アセチルアセトン等のゲル化遅延剤を用いてもよい。
The content of the dehydrating agent relative to the polyamic acid is preferably within the range of the following formula.
[Equation 2]
0.1 <content of dehydrating agent (mol) / polyamic acid content (mol) <4
In addition, a small amount of inorganic powder may be added to the polyamic acid for imparting slipperiness of the film, or a gelation retarder such as acetylacetone may be used in the polyamic acid solution in addition to the ring closure catalyst and the dehydrating agent. Good.

ポリアミド酸溶液に閉環触媒及び脱水剤を配合する方法としては、ポリアミド酸溶液、閉環触媒及び脱水剤を回転式混合機で混合する方法、ポリアミド酸溶液を静的混合機に送り込みながら該静的混合機の直前で閉環触媒及び脱水剤を注入する方法、ポリアミド酸の有機溶媒溶液を支持体上に流延した後、閉環触媒及び脱水剤に接触させる方法等が挙げられるが、閉環触媒及び脱水剤の含有量及び均一分散性の面から混合機で混合して閉環触媒と脱水剤とをポリアミド酸溶液に配合するのが好ましい。混合機を用いる場合には、該混合機の粘度が100〜10000ポイズとなるように固形分濃度と温度を調整するのが好ましい。得られる混合液は、ポリアミド酸が熱閉環反応し、粘度が著しく高くなり口金から吐出できなくなる性質を持っているため、低温(例えば−20℃〜+5℃の範囲内)に保持するのが好ましい。   The polyamic acid solution is blended with the ring-closing catalyst and the dehydrating agent by mixing the polyamic acid solution, the ring-closing catalyst and the dehydrating agent with a rotary mixer, or while statically mixing the polyamic acid solution while feeding the polyamic acid solution to the static mixer. Examples include a method of injecting a ring-closing catalyst and a dehydrating agent immediately before the machine, a method of casting an organic solvent solution of polyamic acid on a support, and then a method of contacting the ring-closing catalyst and the dehydrating agent. From the viewpoint of the content and uniform dispersibility, it is preferable to mix the ring-closing catalyst and the dehydrating agent in the polyamic acid solution by mixing with a mixer. When a mixer is used, it is preferable to adjust the solid content concentration and the temperature so that the viscosity of the mixer is 100 to 10,000 poise. The resulting mixture is preferably kept at a low temperature (for example, within a range of −20 ° C. to + 5 ° C.) because the polyamic acid undergoes a thermal ring-closing reaction and has a property that the viscosity becomes extremely high and cannot be discharged from the die. .

(ゲルフィルム形成工程)
上記ゲルフィルム形成工程では、上記配管を流路として供給される上記ポリアミド酸溶液を上記口金から支持体上に流延することにより、ゲルフィルムを成形する。例えば、上記ポリアミド酸溶液をスリット付きの上記口金から所定方向に運動する支持体(例えば回転ドラムやベルト等)上に流延することによりフィルム状とし、ついで該支持体上で加熱乾燥することによりゲルフィルムとする。本工程で製造されるゲルフィルムが、フィルム中のポリアミド酸の一部がイミド化した自己支持性を有するゲルフィルムであるのが好ましい。自己支持性を有するゲルフィルムは、ポリアミド酸溶液をフィルム状に成形する際または成形した後に加熱、乾燥することにより製造され得る。
(Gel film forming process)
In the gel film forming step, the gel film is formed by casting the polyamic acid solution supplied using the pipe as a flow path from the die onto a support. For example, the polyamic acid solution is cast from a base with slits onto a support (for example, a rotating drum or a belt) that moves in a predetermined direction to form a film, and then heated and dried on the support. A gel film is used. The gel film produced in this step is preferably a gel film having self-supporting property in which a part of the polyamic acid in the film is imidized. The gel film having self-supporting property can be produced by heating and drying the polyamic acid solution when it is formed into a film or after it is formed.

上記ゲルフィルム形成工程で得られたゲルフィルムを、延伸ロールを用いて延伸してもよく、かかる延伸には公知の延伸手段が適宜に採用される。延伸温度や延伸倍率等も特に限定されない。   The gel film obtained in the gel film forming step may be stretched using a stretching roll, and a known stretching means is appropriately employed for the stretching. The stretching temperature, the stretching ratio, etc. are not particularly limited.

(ポリイミドフィルム形成工程)
ポリイミドフィルム形成工程では、ゲルフィルム中のポリアミド酸をイミド化してポリイミドフィルムを製造する。ポリアミド酸をイミド化する方法は、従来十分に確立している技術であるので、これらの公知技術を適宜採用できる。例えば、閉環反応によりイミド化する方法が挙げられ、より具体的には熱による熱閉環法や脱水剤および触媒による化学閉環法などが挙げられる。本発明においては、前記のいずれの閉環方法を採用してもよいが、化学閉環法はポリアミド酸の有機溶媒溶液に閉環触媒および脱水剤を含有させる設備が必要とするものの、自己保持性を有するゲルフィルムを短時間で得られる点で好ましい。
(Polyimide film formation process)
In a polyimide film formation process, the polyamic acid in a gel film is imidated and a polyimide film is manufactured. Since the method of imidizing polyamic acid is a well-established technique, these known techniques can be appropriately employed. For example, a method of imidization by a ring-closing reaction can be mentioned, and more specifically, a thermal ring-closing method using heat, a chemical ring-closing method using a dehydrating agent and a catalyst, and the like can be given. In the present invention, any of the above-mentioned ring closure methods may be employed, but the chemical ring closure method has a self-holding property although it requires equipment for containing a ring closure catalyst and a dehydrating agent in an organic solvent solution of polyamic acid. A gel film is preferable in that it can be obtained in a short time.

以下、本発明の好ましい態様の一例を説明する。
配管内壁の表面粗度が1.0μm以下の配管を流路として供給されるポリアミド酸溶液を、口金内壁の表面粗度が0.1μm以下であるスリット付き口金を通して所定の方向に運動する支持体(例えば回転ドラムまたはベルト等)上に流延し、ついで支持体上で乾燥することによりポリアミド酸からなるゲルフィルムを製造する。乾燥の際、支持体上でポリアミド酸の一部が熱閉環反応してイミド化し、自己支持性を有するゲルフィルムとなる。より具体的に説明すると、支持体からの受熱および/または熱風や電気ヒーター等の熱源からの受熱により、ゲルフィルムが30〜200℃、好ましくは40〜150℃に加熱されて、フィルム中のポリアミド酸の一部が閉環反応し、遊離した有機溶媒等の揮発分を乾燥させることにより自己支持性を有するようになる。得られたゲルフィルムは支持体から剥離される。上記支持体は金属製の回転ドラムやエンドレスベルトであり、その温度は液体または気体の熱媒により、および/または電気ヒーター等の輻射熱により制御される。
Hereinafter, an example of a preferred embodiment of the present invention will be described.
A support that moves a polyamic acid solution supplied through a pipe having a surface roughness of the inner wall of the pipe of 1.0 μm or less in a predetermined direction through a base having a slit having a surface roughness of the inner wall of the base of 0.1 μm or less. A gel film made of polyamic acid is produced by casting on a rotating drum (for example, a rotating drum or belt) and then drying on a support. During drying, a part of the polyamic acid on the support undergoes a thermal ring-closing reaction to imidize to form a gel film having self-supporting properties. More specifically, the gel film is heated to 30 to 200 ° C., preferably 40 to 150 ° C. by receiving heat from the support and / or receiving heat from a heat source such as hot air or an electric heater. A part of the acid undergoes a ring-closing reaction, and it becomes self-supporting by drying volatile components such as the free organic solvent. The obtained gel film is peeled from the support. The support is a metal rotating drum or endless belt, and its temperature is controlled by a liquid or gaseous heat medium and / or by radiant heat from an electric heater or the like.

支持体から剥離されたゲルフィルムは、延伸ロールで走行速度を規制することにより、走行方向に延伸される。延伸は、140℃以下の温度で1.05〜1.9倍、好ましくは1.1〜1.6倍、さらに好ましくは1.1〜1.5倍の倍率で実施されるのが好ましい。   The gel film peeled from the support is stretched in the traveling direction by regulating the traveling speed with a stretching roll. The stretching is preferably carried out at a temperature of 140 ° C. or less at a magnification of 1.05 to 1.9 times, preferably 1.1 to 1.6 times, more preferably 1.1 to 1.5 times.

走行方向に延伸されたゲルフィルムは、テンター装置に導入され、テンタークリップに幅方向両端部を把持されて、テンタークリップと共に走行しながら、幅方向へ延伸されるのが好ましい。   The gel film stretched in the running direction is preferably introduced into a tenter device, gripped at both ends in the width direction by the tenter clip, and stretched in the width direction while running with the tenter clip.

次いで、延伸処理後のゲルフィルムは、乾燥ゾーンで乾燥される。乾燥ゾーンで熱風などにより加熱する場合、使用済みの熱風(溶媒を含んだエアーや濡れ込みエアー)を排気できるノズルを設置して、乾燥ゾーン内での使用済み熱風の混入を防ぐ手段も好ましく用いられる。乾燥ゾーンでの熱風温度は、200〜300℃の範囲が好ましい。また、熱風だけでなく、輻射加熱を使用してもよい。   Next, the gel film after the stretching treatment is dried in a drying zone. When heating with hot air, etc. in the drying zone, a nozzle that can exhaust used hot air (air containing solvent or wet air) is installed to prevent contamination of the used hot air in the drying zone. It is done. The hot air temperature in the drying zone is preferably in the range of 200 to 300 ° C. Further, not only hot air but also radiant heating may be used.

上記の乾燥ゾーンで乾燥したフィルムは、更に熱処理されることが好ましい。熱処理は、熱風、電気ヒーター(例えば赤外線ヒーター等))などの公知の手段を用いて行われる。熱処理条件は、処理温度が250〜500℃で、処理時間が15秒〜20分間であるのが好ましい。熱処理において、フィルムを急激に加熱すると、平面性を失うため、加熱方法を適宜選択するのが好ましい。熱処理されたフィルムは、冷却され、巻取コアに巻き取られる。そして、巻き取られたポリイミドフィルムはスリットされる。   The film dried in the drying zone is preferably further heat-treated. The heat treatment is performed using a known means such as hot air or an electric heater (for example, an infrared heater). The heat treatment conditions are preferably a treatment temperature of 250 to 500 ° C. and a treatment time of 15 seconds to 20 minutes. In the heat treatment, if the film is heated rapidly, the flatness is lost, and therefore it is preferable to select a heating method as appropriate. The heat-treated film is cooled and wound on a winding core. Then, the wound polyimide film is slit.

なお、本発明のポリイミドフィルム中には、本発明の目的を阻害しない範囲であれば、高強度化などを目的として、異種ポリマーをブレンドすることも好ましい。また、酸化防止剤、熱安定剤、紫外線吸収剤、遮光剤、帯電防止剤などの有機添加剤を、通常添加される程度に添加されていてもよい。ポリマーのブレンド方法や添加剤の添加方法は、従来十分に確立している技術であるので、これらの技術を適宜採用することができる。   In the polyimide film of the present invention, it is also preferable to blend different polymers for the purpose of increasing the strength, as long as the object of the present invention is not impaired. In addition, organic additives such as antioxidants, heat stabilizers, ultraviolet absorbers, light-shielding agents, and antistatic agents may be added to the extent that they are usually added. Since the polymer blending method and the additive adding method are well-established techniques, these techniques can be appropriately employed.

また、本発明のポリイミドフィルムには、プラズマ処理、コロナ放電処理、アニール処理などの接着性または低熱収処理が施されることも好ましい。   Moreover, it is also preferable that the polyimide film of the present invention is subjected to adhesiveness or low heat recovery treatment such as plasma treatment, corona discharge treatment, and annealing treatment.

上記のようにして得られたポリイミドフィルムは、金属箔又は金属薄膜と耐熱接着剤で接着する際に発生する塗布ムラ、接着剤のハジキなどの問題点が従来のポリイミドフィルムに比べて格段に改善されているため、電気配線板の支持体やFPC保護用カバーレイフィルムの用途に優れている。   The polyimide film obtained as described above has problems such as coating unevenness and adhesive repellency that occur when it is bonded to a metal foil or metal thin film with a heat-resistant adhesive, compared to conventional polyimide films. Therefore, it is excellent in the use of a support for an electric wiring board and a coverlay film for FPC protection.

[物性の測定方法]本実施例の各特性値の測定方法は次の通りである。
(1)配管内壁及び口金内壁の表面粗度
MITUTOYO株式会社製の表面粗さ測定器サーフテスト401を用いて測定した。
(2)フィルム厚みムラ
フィルム送り装置により、1.5m/分の送り速度でフィルムを送り出し、アンリツ株式会社製の広範囲電子マイクロメータK301および日本電子科学株式会社製の卓上型自動平衡記録計を用いて厚みチャートを記録し、記録結果から、フィルムの全幅での最大値と最小値の差を算出して求めた。また、スジ状の厚みムラは、幅10mm以下での厚みムラの最大値を求めた。
[Measuring method of physical properties] The measuring method of each characteristic value in this example is as follows.
(1) Surface roughness of piping inner wall and base inner wall It measured using the surface roughness measuring device Surf Test 401 made from MITUTOYO.
(2) Film thickness unevenness Using a film feeding device, the film is fed at a feeding speed of 1.5 m / min, and a wide range electronic micrometer K301 manufactured by Anritsu Co., Ltd. and a table type automatic equilibrium recorder manufactured by JEOL The thickness chart was recorded, and the difference between the maximum value and the minimum value over the entire width of the film was calculated from the recorded result. For the stripe-like thickness unevenness, the maximum value of the thickness unevenness at a width of 10 mm or less was obtained.

(実施例1)
乾燥したN,N−ジメチルアセトアミド190.6kg中に4,4’−ジアミノジフェニルエーテル20.024kg(0.1kmol)を溶解し、20℃で撹拌しながら、精製した粉末状のピロメリット酸二無水物21.812kg(0.1kmol)を少量ずつ添加し、1時間撹拌し続けて、透明なポリアミド酸溶液を得た。この溶液は20℃で350Pa・sの粘度であった。一方、メジアン平均径0.97μmのリン酸水素カルシウムをポリマー固形分に対して、無機粉体が0.2重量%になるように先に調整したポリアミド酸溶液に凝集しないように添加した。このポリアミド酸溶液に、ポリアミド酸単位に対して無水酢酸2.5molを、ポリアミド酸単位に対してピリジン2.0molを−5℃に冷却しながら混合し、ポリアミド酸有機溶媒溶液を得た。このポリアミド酸の有機溶媒溶液を−10℃に冷却して、表面粗さ0.3μmの配管中を定量供給して、口金スリット幅1.3mm、長さ1940mm、表面粗さ0.1μmのコートハンガーダイから押し出して、フィルムを金属エンドレスベルトから剥離して、65℃の温度で、走行方向に1.3倍延伸し、ついでテンターに導入した。テンターで幅方向に1.4倍延伸して、260℃の温度で40秒間乾燥し、ついで430℃で1分間熱処理し、冷却ゾーンでリラックスさせながら30秒間冷却し、フィルムをエッジカットし、幅2000mm、厚さ25μmのポリイミドフィルム原反を得た。この原反を得る際、オンラインで幅方向にフィルム厚みを測定して、そのデータを前記スリットダイへフィードバックさせスリットダイの間隔を調整する方法を用い、フィルムの厚みムラが2.5%になるように調整した。
得られたフィルムの幅10mm以下でのスジ状厚みムラは0.2μmであり、全幅の厚みムラは1.0μmであった。
Example 1
20.24 kg (0.1 kmol) of 4,4′-diaminodiphenyl ether was dissolved in 190.6 kg of dried N, N-dimethylacetamide, and the powdered pyromellitic dianhydride was purified while stirring at 20 ° C. 21.812 kg (0.1 kmol) was added little by little, and stirring was continued for 1 hour to obtain a transparent polyamic acid solution. This solution had a viscosity of 350 Pa · s at 20 ° C. On the other hand, calcium hydrogen phosphate having a median average diameter of 0.97 μm was added so as not to aggregate in the previously prepared polyamic acid solution so that the inorganic powder was 0.2% by weight with respect to the polymer solid content. To this polyamic acid solution, 2.5 mol of acetic anhydride with respect to the polyamic acid unit and 2.0 mol of pyridine with respect to the polyamic acid unit were mixed while cooling to −5 ° C. to obtain a polyamic acid organic solvent solution. This polyamic acid organic solvent solution is cooled to −10 ° C., and a fixed amount of pipe is supplied in a surface roughness of 0.3 μm, and a coating having a slit width of 1.3 mm, a length of 1940 mm, and a surface roughness of 0.1 μm The film was extruded from a hanger die, peeled off from the metal endless belt, stretched 1.3 times in the running direction at a temperature of 65 ° C., and then introduced into a tenter. Stretched 1.4 times in the width direction with a tenter, dried at 260 ° C for 40 seconds, then heat treated at 430 ° C for 1 minute, cooled in the cooling zone for 30 seconds, edge cut the film, A polyimide film original fabric having a thickness of 2000 mm and a thickness of 25 μm was obtained. When this raw material is obtained, the film thickness is measured in the width direction online, and the data is fed back to the slit die to adjust the gap between the slit dies. Adjusted as follows.
The stripe-shaped thickness unevenness of the obtained film with a width of 10 mm or less was 0.2 μm, and the thickness unevenness of the entire width was 1.0 μm.

(実施例2)
乾燥したN,N−ジメチルアセトアミド190.6kg中に4,4’−ジアミノジフェニルエーテル14.002kg(0.07kmol)とパラフェニレンジアミン3.236kg(0.03kmol)を溶解し、20℃で撹拌しながら、精製した粉末状のピロメリット酸二無水物21.812kg(0.1kmol)を少量ずつ添加し、1時間撹拌し続けて、透明なポリアミド酸溶液を得た。この溶液は20℃で350Pa・sの粘度であった。一方、メジアン平均径0.81μmのリン酸水素カルシウムをポリマー固形分に対して、無機粉体が0.15重量%になるように先に調整したポリアミド酸溶液に凝集しないように添加した。このポリアミド酸溶液に、ポリアミド酸単位に対して無水酢酸2.5mol、およびポリアミド酸単位に対してピリジン2.0molを−5℃に冷却しながら混合し、ポリアミド酸有機溶媒溶液を得た。このポリアミド酸の有機溶媒溶液を−10℃に冷却して、表面粗さ0.3μmの配管中を定量供給して、口金のスリット幅1.3mm、長さ1940mm、表面粗さ0.1μmのコートハンガーダイから押し出して、90℃の金属エンドレスベルトに流延し、自己支持性のあるゲルフィルムを得た。ゲルフィルムを金属エンドレスベルトから剥離して、65℃の温度で、走行方向に1.3倍延伸し、ついでテンターに導入した。テンターで幅方向に1.4倍延伸して、260℃の温度で40秒間乾燥し、ついで430℃で1分間熱処理し、冷却ゾーンでリラックスさせながら30秒間冷却し、フィルムをエッジカットし、幅2000mm、厚さ12.5μmのポリイミドフィルム原反を得た。この原反を得る際、オンラインで幅方向にフィルム厚みを測定して、そのデータを前記スリットダイへフィードバックさせスリットダイの間隔を調整する方法を用い、フィルムの厚みムラが4.5%になるように調整した。
得られたフィルムの幅10mm以下でのスジ状厚みムラは0.2μmであり、全幅の厚みムラは0.8μmであった。
(Example 2)
In 190.6 kg of dried N, N-dimethylacetamide, 14.002 kg (0.07 kmol) of 4,4′-diaminodiphenyl ether and 3.236 kg (0.03 kmol) of paraphenylenediamine were dissolved and stirred at 20 ° C. Then, 21.812 kg (0.1 kmol) of purified powdery pyromellitic dianhydride was added little by little, and stirring was continued for 1 hour to obtain a transparent polyamic acid solution. This solution had a viscosity of 350 Pa · s at 20 ° C. On the other hand, calcium hydrogen phosphate having a median average diameter of 0.81 μm was added to the polyamic acid solution prepared previously so that the inorganic powder was 0.15% by weight with respect to the polymer solid content so as not to aggregate. To this polyamic acid solution, 2.5 mol of acetic anhydride with respect to the polyamic acid unit and 2.0 mol of pyridine with respect to the polyamic acid unit were mixed while cooling to −5 ° C. to obtain a polyamic acid organic solvent solution. This organic solvent solution of polyamic acid is cooled to −10 ° C., and a fixed amount is supplied in a pipe having a surface roughness of 0.3 μm, and the slit width of the base is 1.3 mm, the length is 1940 mm, and the surface roughness is 0.1 μm. The gel film was extruded from a coat hanger die and cast on a metal endless belt at 90 ° C. to obtain a self-supporting gel film. The gel film was peeled from the metal endless belt, stretched 1.3 times in the running direction at a temperature of 65 ° C., and then introduced into a tenter. Stretched 1.4 times in the width direction with a tenter, dried at 260 ° C for 40 seconds, then heat treated at 430 ° C for 1 minute, cooled in the cooling zone for 30 seconds, edge cut the film, A polyimide film original fabric having a thickness of 2000 mm and a thickness of 12.5 μm was obtained. When this raw material is obtained, the film thickness is measured in the width direction online, and the data is fed back to the slit die to adjust the gap between the slit dies. Adjusted as follows.
The resulting film had a stripe-like thickness unevenness of 0.2 μm or less at a width of 10 mm or less, and the thickness unevenness of the entire width was 0.8 μm.

(実施例3)
乾燥したN,N−ジメチルアセトアミド190.6kg中に4,4’−ジアミノジフェニルエーテル20.0024kg(0.1kmol)を溶解し、20℃で撹拌しながら、精製した粉末状のピロメリット酸二無水物21.812kg(0.1kmol)を少量ずつ添加し、1時間撹拌し続けて、透明なポリアミド酸溶液を得た。この溶液は20℃で350Pa・sの粘度であった。一方、メジアン平均径0.97μmのリン酸水素カルシウムをポリマー固形分に対して、無機粉体が0.2重量%になるように先に調整したポリアミド酸溶液に凝集しないように添加した。このポリアミド酸溶液に、ポリアミド酸単位に対して無水酢酸2.5mol、ポリアミド酸単位に対してピリジン2.0molを−5℃に冷却しながら混合し、ポリアミド酸有機溶媒溶液を得た。このポリアミド酸の有機溶媒溶液を−10℃に冷却して、表面粗さ0.3μmの配管中を定量供給して、口金のスリット幅1.3mm、長さ1940mm、表面粗さ0.1μmのコートハンガーダイから押し出して、90℃の金属エンドレスベルトに流延し、自己支持性のあるゲルフィルムを得た。ゲルフィルムを金属エンドレスベルトから剥離して、65℃の温度で、走行方向に1.3倍延伸し、ついでテンターに導入した。テンターで幅方向に1.4倍延伸して、260℃の温度で40秒間乾燥し、ついで430℃で1分間熱処理し、冷却ゾーンでリラックスさせながら30秒間冷却し、フィルムをエッジカットし、幅2000mm、厚さ10μmのポリイミドフィルム原反を得た。この原反を得る際、オンラインで幅方向にフィルム厚みを測定して、そのデータを前記スリットダイへフィードバックさせスリットダイの間隔を調整する方法を用い、フィルムの厚みムラが3.5%になるように調整した。
得られたフィルムの幅10mm以下でのスジ状厚みムラは0.2μmであり、全幅の厚みムラは1.0μmであった。
(Example 3)
In 200.6 kg of dried N, N-dimethylacetamide, 20.0.0024 kg (0.1 kmol) of 4,4′-diaminodiphenyl ether was dissolved, and purified at 20 ° C. while purifying powdered pyromellitic dianhydride 21.812 kg (0.1 kmol) was added little by little, and stirring was continued for 1 hour to obtain a transparent polyamic acid solution. This solution had a viscosity of 350 Pa · s at 20 ° C. On the other hand, calcium hydrogen phosphate having a median average diameter of 0.97 μm was added so as not to aggregate in the previously prepared polyamic acid solution so that the inorganic powder was 0.2% by weight with respect to the polymer solid content. To this polyamic acid solution, 2.5 mol of acetic anhydride with respect to the polyamic acid unit and 2.0 mol of pyridine with respect to the polyamic acid unit were mixed while cooling to −5 ° C. to obtain a polyamic acid organic solvent solution. This organic solvent solution of polyamic acid is cooled to −10 ° C., and a fixed amount is supplied in a pipe having a surface roughness of 0.3 μm, and the slit width of the base is 1.3 mm, the length is 1940 mm, and the surface roughness is 0.1 μm. The gel film was extruded from a coat hanger die and cast on a metal endless belt at 90 ° C. to obtain a self-supporting gel film. The gel film was peeled from the metal endless belt, stretched 1.3 times in the running direction at a temperature of 65 ° C., and then introduced into a tenter. Stretched 1.4 times in the width direction with a tenter, dried at 260 ° C for 40 seconds, then heat treated at 430 ° C for 1 minute, cooled in the cooling zone for 30 seconds, edge cut the film, A polyimide film original fabric having a thickness of 2000 mm and a thickness of 10 μm was obtained. When this raw material is obtained, the film thickness is measured in the width direction online, and the data is fed back to the slit die to adjust the gap between the slit dies. Adjusted as follows.
The stripe-shaped thickness unevenness of the obtained film with a width of 10 mm or less was 0.2 μm, and the thickness unevenness of the entire width was 1.0 μm.

(比較例1)
コートハンガーダイに代えて、口金の表面粗さが0.2μmのTダイを用いたこと以外、実施例1と同様にしてフィルムを成形した。得られたフィルムの幅10mm以下でのスジ状厚みムラは0.2μmであり、全幅の厚みムラは1.2μmであった。
(Comparative Example 1)
A film was formed in the same manner as in Example 1 except that a T die having a surface roughness of 0.2 μm was used instead of the coat hanger die. The resulting film had a stripe-like thickness unevenness of 0.2 μm or less at a width of 10 mm or less, and the thickness unevenness of the entire width was 1.2 μm.

(比較例2)
コートハンガーダイに代えて、口金の表面粗さが0.4μmのTダイを用いたこと以外、実施例1と同様にしてフィルムを成形した。得られたフィルムの幅10mm以下でのスジ状厚みムラは0.5μmであり、全幅の厚みムラは1.2μmであった。
(Comparative Example 2)
A film was formed in the same manner as in Example 1 except that a T die having a surface roughness of 0.4 μm was used instead of the coat hanger die. The stripe-shaped thickness unevenness of the obtained film with a width of 10 mm or less was 0.5 μm, and the thickness unevenness of the entire width was 1.2 μm.

(比較例3)
得られたポリアミド酸の有機溶媒溶液を定量供給する配管内壁の表面粗さが1.2μmの配管を用いたこと以外、実施例1と同様にしてフィルムを成形した。得られたフィルムの幅10mm以下でのスジ状厚みムラは0.8μmであり、全幅の厚みムラは1.3μmであった。
(Comparative Example 3)
A film was formed in the same manner as in Example 1, except that a pipe having a surface roughness of 1.2 μm on the inner wall of the pipe for quantitatively supplying the obtained organic solvent solution of polyamic acid was used. The stripe-shaped thickness unevenness of the obtained film with a width of 10 mm or less was 0.8 μm, and the thickness unevenness of the entire width was 1.3 μm.

前記実施例1〜3と比較例1〜3で得られたフィルムの性状等をまとめると下記表1の通りである。

Figure 0004619853
The properties of the films obtained in Examples 1-3 and Comparative Examples 1-3 are summarized in Table 1 below.
Figure 0004619853

本発明によれば、厚みムラが小さく、特に電気配線板の支持体及びFPC保護用カバーレイフィルムの用途に優れたポリイミドフィルム及びその製造方法を提供できる。

According to the present invention, it is possible to provide a polyimide film having a small thickness non-uniformity and particularly excellent in the use of an electric wiring board support and an FPC protection coverlay film, and a method for producing the same.

Claims (2)

配管を口金に至るまでの流路として供給されるポリアミド酸溶液を口金から支持体上に流延することによりゲルフィルムを成形し、ついでゲルフィルム中のポリアミド酸をイミド化することによりポリイミドフィルムを製造する方法において、前記配管内壁の表面粗度が1.0μm以下であり、かつ前記口金内壁の表面粗度が0.1μm以下であることを特徴とするポリイミドフィルムの製造方法。 Polyimide film by the polyamic acid solution supplied as the flow path leading up to the base of the pipe, the gel film was formed by casting on a support from a die, and then imidizing the polyamic acid in the gel film In the method of manufacturing a polyimide film, the surface roughness of the inner wall of the pipe is 1.0 μm or less, and the surface roughness of the inner wall of the die is 0.1 μm or less. ポリイミドフィルムの幅方向の厚みムラが1.0μm以下であり、かつ幅10mm以下の範囲内でのスジ状厚みムラが0.3μm以下であることを特徴とする、請求項1に記載の製造方法によって得られる幅500mm以上のポリイミドフィルム。 2. The production according to claim 1, wherein the thickness unevenness in the width direction of the polyimide film is 1.0 μm or less, and the stripe-like thickness unevenness within a range of 10 mm or less is 0.3 μm or less. A polyimide film having a width of 500 mm or more obtained by the method .
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