JP4616695B2 - Multi-sensor signal abnormality detection apparatus and method - Google Patents

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Description

本発明は、マルチセンサ信号異常検知装置および方法に関し、特に、複数のセンサにより構成されるマルチセンサにより取得されたそれぞれの検出信号の異常を検知することのできるマルチセンサ信号異常検知装置および方法に関する。   The present invention relates to a multi-sensor signal abnormality detection apparatus and method, and more particularly, to a multi-sensor signal abnormality detection apparatus and method capable of detecting an abnormality of each detection signal acquired by a multi-sensor composed of a plurality of sensors. .

伝熱管等の探傷検査には、従来から非破壊検査の1つである渦流探傷検査(Eddy Curreny Test;ECT)が広く知られている。マルチセンサ方式のプローブは、検査の高速化のため1つのプローブに多数のセンサを配置したもので、多数のセンサのうち1つでも異常があった場合には検査のやり直しが必要となるため、信頼性の高い異常検知が重要となる。   Conventionally, eddy current testing (ECT), which is one of non-destructive inspections, is widely known for flaw detection inspection of heat transfer tubes and the like. A multi-sensor probe has a large number of sensors arranged in one probe for speeding up the inspection. If one of the many sensors is abnormal, the inspection needs to be repeated. Anomaly detection with high reliability is important.

センサ信号の異常を検知する方法としては、標準信号を発生させて、この標準信号の特徴を表わす特定項目が、規定の許容範囲内であるかどうかを調べることが行われる。例えば、ECT信号では、標準欠陥により発生する信号を規格化した規格化信号の振幅および位相角について、それぞれが規定の許容範囲であるかどうかが調べられることにより、センサ信号の異常が検知される。   As a method of detecting an abnormality in the sensor signal, a standard signal is generated and it is checked whether or not a specific item representing the feature of the standard signal is within a prescribed allowable range. For example, in the ECT signal, an abnormality of the sensor signal is detected by checking whether or not the amplitude and the phase angle of the normalized signal obtained by standardizing the signal generated by the standard defect are within a predetermined allowable range. .

しかしながら従来の信号異常検知方法においては、例えば、探傷時に発生する電気ノイズや、標準欠陥に対する金属接触、あるいはECTプローブを構成するコイルの特性異常などに起因するような、標準信号に対して相対的に変化の小さな信号としてしか現れない異常を検出することは困難であった。   However, in the conventional signal abnormality detection method, for example, relative to a standard signal caused by electrical noise generated at the time of flaw detection, metal contact with a standard defect, or characteristic abnormality of a coil constituting the ECT probe, etc. It is difficult to detect an anomaly that appears only as a small change signal.

上記した技術に関連して、以下に示す技術が提案されている。   In relation to the above technique, the following technique has been proposed.

特開2004−163288号公報に開示されている「非破壊検査データ抽出装置及びこの装置を用いた収集システム」では、標準欠陥により発生する波形を規格化した信号の位相角及び振幅が規定範囲内にあるかを調べることにより異常を検知する方法が提案されている。   In “Non-destructive inspection data extraction device and collection system using this device” disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-163288, the phase angle and amplitude of a signal obtained by standardizing a waveform generated by a standard defect are within a specified range. There has been proposed a method for detecting an anomaly by checking whether or not there is.

特開2004−163288号公報JP 2004-163288 A

本発明の目的は、複数のセンサにより構成されるマルチセンサにより取得されたそれぞれの検出信号の異常を検知することのできるマルチセンサ信号異常検知装置および方法を提供することである。   The objective of this invention is providing the multisensor signal abnormality detection apparatus and method which can detect abnormality of each detection signal acquired by the multisensor comprised by a some sensor.

以下に、[発明を実施するための最良の形態]で使用する括弧付き符号を用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの符号は、[特許請求の範囲]の記載と[発明を実施するための最良の形態]の記載との対応関係を明らかにするために付加されたものであるが、[特許請求の範囲]に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。   In the following, means for solving the problem will be described using reference numerals with parentheses used in [Best Mode for Carrying Out the Invention]. These symbols are added in order to clarify the correspondence between the description of [Claims] and the description of the best mode for carrying out the invention. ] Should not be used for interpretation of the technical scope of the invention described in the above.

本発明のマルチセンサ信号異常検知装置(1)は、複数のセンサを有するマルチセンサプローブ(5)により得られた検出信号を読み込むための入力部(3)と、検出信号を処理するための信号処理部(2)と、信号処理部による処理結果を出力するための出力部(4)とを備え、信号処理部は、入力部を介してマルチセンサプローブにより得られた検出信号を読み込み、複数のセンサの全てにおける模擬欠陥などによる標準信号の位相角および振幅を同一に揃える規格化処理により規格化信号を生成し、規格化信号から複数のセンサ間で一様な成分を引去する一様成分引去処理により一様成分引去信号を生成し、一様成分引去信号の規定要因の特異値チェックを行うことにより複数のセンサのそれぞれにより得られた検出信号の異常を検知する。   The multi-sensor signal abnormality detection device (1) of the present invention includes an input unit (3) for reading a detection signal obtained by a multi-sensor probe (5) having a plurality of sensors, and a signal for processing the detection signal. A processing unit (2), and an output unit (4) for outputting a processing result by the signal processing unit. The signal processing unit reads a detection signal obtained by the multi-sensor probe via the input unit, and A standardized signal is generated by a standardization process that equalizes the phase angle and amplitude of the standard signal due to simulated defects in all of the sensors in the sensor, and uniform components are extracted from the standardized signal among multiple sensors. A uniform component removal signal is generated by component removal processing, and anomalies in the detection signal obtained by each of multiple sensors are detected by checking the singular value of the defining factor of the uniform component removal signal. That.

また、本発明のマルチセンサ信号異常検知装置(1)における信号処理部(2)は、規格化処理と一様成分引去処理との間に、有意信号発生要因がない部位を通過した時の複数のセンサ(5a)のそれぞれから得られた検出信号の値が一定値となるように、規格化処理後の複数のセンサのそれぞれから得られた検出信号に対してオフセット処理を行う。   In addition, the signal processing unit (2) in the multi-sensor signal abnormality detection device (1) of the present invention passes through a part where there is no significant signal generation factor between the normalization process and the uniform component removal process. Offset processing is performed on the detection signals obtained from each of the plurality of sensors after normalization processing so that the values of the detection signals obtained from the plurality of sensors (5a) are constant values.

また、本発明のマルチセンサ信号異常検知装置(1)は、さらに、温度変化などの外部環境因子の変化や、検出信号取得中の複数のセンサ(5a)と模擬欠陥との距離の変化により生じるドリフトノイズを除去するためのドリフト除去フィルターを備え、信号処理部(2)は、規格化処理と一様成分引去処理との間に、ドリフト除去フィルターにより、規格化処理後の複数のセンサのそれぞれにより得られた検出信号から、温度変化などの外部環境因子の変化や、検出信号取得中の複数のセンサと被検体との距離の変化により生じるドリフトノイズを除去するドリフト除去処理を行う。   Further, the multi-sensor signal abnormality detection device (1) of the present invention is caused by a change in an external environmental factor such as a temperature change or a change in the distance between a plurality of sensors (5a) and detection of a simulated defect. The signal processing unit (2) includes a drift removal filter for removing drift noise, and the signal processing unit (2) uses a drift removal filter between the normalization process and the uniform component removal process to detect a plurality of sensors after the normalization process. From each of the detection signals obtained, drift removal processing is performed to remove drift noise caused by changes in external environmental factors such as temperature changes, and changes in the distance between a plurality of sensors and the subject during detection signal acquisition.

また、本発明のマルチセンサ信号異常検知装置(1)は、特異値チェックとして、複数のセンサ(5a)それぞれにより得られた検出信号の一様成分引去後の振幅が、規定閾値以上であるかを調べる。   In the multi-sensor signal abnormality detection device (1) of the present invention, as a singular value check, the amplitude of the detection signal obtained by each of the plurality of sensors (5a) after removal of the uniform component is equal to or greater than a specified threshold value. Find out.

また、本発明のマルチセンサ信号異常検知装置(1)における信号処理部(2)は、特異値チェックとして、一様成分引去後の複数のセンサ(5a)のそれぞれによる検出信号の全センサのノイズレベルの大きさを求め、ノイズレベルの大きさに対する複数のセンサのそれぞれによる検出信号の一様成分を引去後の大きさと相対的に比較する。   In addition, the signal processing unit (2) in the multi-sensor signal abnormality detection device (1) of the present invention, as a singular value check, detects all of the detection signals of each of the plurality of sensors (5a) after the uniform component removal. The magnitude of the noise level is obtained, and the uniform component of the detection signal from each of the plurality of sensors with respect to the magnitude of the noise level is compared with the magnitude after removal.

また、本発明のマルチセンサ信号異常検知装置(2)における信号処理部(2)は、複数のセンサ(5a)が、検出信号を取得する進行方向に対して多段配列された構成を有する場合に、多段配列の各段ごとに一様成分引去処理を行う。   The signal processing unit (2) in the multi-sensor signal abnormality detection device (2) of the present invention has a configuration in which a plurality of sensors (5a) are arranged in multiple stages in the traveling direction in which the detection signal is acquired. The uniform component removal processing is performed for each stage of the multistage array.

また、本発明のマルチセンサ信号異常検知装置(1)における信号処理部(2)は、規格化処理の前に、複数のセンサ(5a)のそれぞれにより得られた検出信号の標準信号発生要因部を通過した時発生する信号の規定特徴の特異値チェックを行うことにより異常を検知する。   In addition, the signal processing unit (2) in the multi-sensor signal abnormality detection device (1) of the present invention includes a standard signal generation factor part of detection signals obtained by each of the plurality of sensors (5a) before the normalization process. Anomalies are detected by performing a singular value check on the prescribed characteristics of the signal that occurs when passing through the.

また、本発明のマルチセンサ信号異常検知システム(100)は、請求項1から8までのいずれか1項に記載のマルチセンサ信号異常検知装置(1)を備える。   Moreover, the multi-sensor signal abnormality detection system (100) of this invention is equipped with the multi-sensor signal abnormality detection apparatus (1) of any one of Claim 1-8.

また、本発明のマルチセンサ信号異常検知方法は、複数のセンサ(5a)を有するマルチセンサプローブ(5)により得られた検出信号を読み込むための入力部(3)と、検出信号を処理するための信号処理部(2)と、信号処理部による処理結果を出力するための出力部(4)とを有するマルチセンサ信号異常検知装置(1)によるマルチセンサ信号異常検知方法であって、入力部を介してマルチセンサプローブにより得られた検出信号を読み込む検出信号読み込みステップと、検出信号読み込みステップにより読み込まれた検出信号に対して複数のセンサの全てにおける模擬欠陥などによる標準信号の位相角および振幅を同一に揃える規格化処理により規格化信号を生成する規格化信号生成ステップと、規格化信号生成ステップにより生成された規格化信号から複数のセンサ間で一様な成分を引去する一様成分引去処理により一様成分引去信号を生成する一様成分引去信号生成ステップと、一様成分引去信号生成ステップにより生成された一様成分引去信号の規定要因の特異値チェックを行うことにより、複数のセンサのそれぞれにより得られた検出信号の異常を検知する異常検知ステップとを備える。   In addition, the multi-sensor signal abnormality detection method of the present invention is for processing an input unit (3) for reading a detection signal obtained by a multi-sensor probe (5) having a plurality of sensors (5a) and a detection signal. A multi-sensor signal abnormality detection method by a multi-sensor signal abnormality detection device (1) having a signal processing unit (2) of the above and an output unit (4) for outputting a processing result by the signal processing unit, the input unit A detection signal reading step for reading the detection signal obtained by the multi-sensor probe via the detection signal, and a phase angle and an amplitude of a standard signal due to a simulated defect in all of the plurality of sensors with respect to the detection signal read by the detection signal reading step Are generated by a standardized signal generation step that generates a standardized signal by a standardization process that aligns the Uniform component extraction signal generation step for generating a uniform component extraction signal by uniform component extraction processing for extracting a uniform component among a plurality of sensors from the normalized signal, and uniform component extraction An abnormality detection step of detecting an abnormality of the detection signal obtained by each of the plurality of sensors by performing a singular value check of a defining factor of the uniform component removal signal generated by the signal generation step.

また、本発明のマルチセンサ信号異常検知方法は、規格化信号生成ステップと一様成分引去信号生成ステップとの間に、有意信号発生要因がない部位を通過した時の複数のセンサ(5a)のそれぞれから得られた検出信号の値が一定値となるように、規格化処理後の複数のセンサのそれぞれから得られた検出信号に対してオフセット処理を行うオフセットステップを備える。   In addition, the multi-sensor signal abnormality detection method of the present invention includes a plurality of sensors (5a) when passing through a portion having no significant signal generation factor between the normalized signal generation step and the uniform component removal signal generation step. An offset step for performing offset processing on the detection signals obtained from each of the plurality of sensors after the normalization processing is provided so that the value of the detection signal obtained from each of the sensors becomes a constant value.

また、本発明のマルチセンサ信号異常検知方法において、マルチセンサ信号異常検知装置(1)は、さらに、温度変化などの外部環境因子の変化や、検出信号取得中の複数のセンサ(5a)と模擬欠陥との距離の変化により生じるドリフトノイズを除去するためのドリフト除去フィルターを備え、規格化信号生成ステップと一様成分引去信号生成ステップとの間に、規格化処理後の複数のセンサのそれぞれにより得られた検出信号から、温度変化などの外部環境因子の変化や、検出信号取得中の複数のセンサと模擬欠陥との距離の変化により生じるドリフトノイズを除去するドリフト除去ステップを備える。   In the multi-sensor signal abnormality detection method of the present invention, the multi-sensor signal abnormality detection device (1) further simulates a change in external environmental factors such as a temperature change or a plurality of sensors (5a) during detection signal acquisition. A drift removal filter for removing drift noise caused by a change in the distance to the defect is provided, and each of the plurality of sensors after the normalization process is performed between the normalized signal generation step and the uniform component removal signal generation step. Is provided with a drift removing step for removing drift noise caused by a change in external environmental factors such as a temperature change or a change in the distance between the plurality of sensors and the simulated defect during acquisition of the detection signal.

また、本発明のマルチセンサ信号異常検知方法は、特異値チェックとして、複数のセンサ(5a)それぞれにより得られた検出信号の一様成分引去後の振幅が、規定閾値以上であるかを調べる閾値判定ステップを備える。   In the multi-sensor signal abnormality detection method of the present invention, as a singular value check, it is checked whether the amplitude after removal of the uniform component of the detection signal obtained by each of the plurality of sensors (5a) is equal to or greater than a specified threshold value. A threshold determination step.

また、本発明のマルチセンサ信号異常検知方法は、特異値チェックとして、一様成分引去後の複数のセンサ(5a)のそれぞれによる検出信号の全センサのノイズレベルの大きさを求めるノイズレベル算出ステップと、ノイズレベル算出ステップで求められたノイズレベルの大きさと複数のセンサのそれぞれによる検出信号の一様成分を引去後の大きさとを相対的に比較する相対比較ステップとを備える。   In addition, the multi-sensor signal abnormality detection method of the present invention is a noise level calculation for determining the noise level of all the sensors in the detection signal by each of the plurality of sensors (5a) after removing the uniform component as a singular value check. And a relative comparison step of relatively comparing the magnitude of the noise level obtained in the noise level calculation step and the magnitude after removal of the uniform component of the detection signal from each of the plurality of sensors.

また、本発明のマルチセンサ信号異常検知方法は、複数のセンサ(5a)が検出信号を取得する進行方向に対して多段配列された構成(5a1、5a2)を有する場合に、多段配列の各段ごとに一様成分引去信号生成ステップを行う多段センサ処理ステップを備える。   Further, the multi-sensor signal abnormality detection method of the present invention has a configuration (5a1, 5a2) in which a plurality of sensors (5a) are arranged in multiple stages in the traveling direction in which detection signals are acquired. A multi-stage sensor processing step for performing a uniform component removal signal generation step for each of them.

また、本発明におけるマルチセンサ信号異常検知方法は、規格化信号生成ステップの前に、複数のセンサ(5a)のそれぞれにより得られた検出信号の標準信号発生要因部を通過した時発生する信号の規定特徴の特異値チェックを行う特異点判別ステップを備える。   In addition, the multi-sensor signal abnormality detection method according to the present invention is a method for detecting a signal generated when passing through the standard signal generation factor part of the detection signal obtained by each of the plurality of sensors (5a) before the standardized signal generation step. A singularity discrimination step for performing a singular value check of the specified feature is provided.

また、本発明のマルチセンサ信号異常検知プログラムは、請求項9から15までに記載のマルチセンサ信号異常検知方法を実現する。   A multi-sensor signal abnormality detection program according to the present invention realizes the multi-sensor signal abnormality detection method according to claims 9 to 15.

本発明のマルチセンサ異常検知装置および方法により、複数のセンサより構成されるマルチセンサにより取得されたそれぞれの検出信号について、標準信号に基づいて規格化した後に、ゼロ点補正及び一様成分引去処理を行った信号に対して異常チェックを行うことにより、標準信号に複合して生じた微細な異常を検知することが出来る。また、ドリフト除去処理を加える事により、ドリフト成分よりも小さい振幅の異常を検知する事が出来る。また、特異値チェックとしてノイズレベルとの相対比較を行うことにより過剰検知することなく微細な異常を検知できる。また、センサ配置に応じた段毎の一様成分引去処理及び特異値チェック処理により複数段構成のマルチセンサプローブに対しても有効な異常検知が出来る。また、規格化前の標準信号のセンサ間での特異値チェックにより、センサ特性の異常を検知できる。   With the multi-sensor abnormality detection device and method of the present invention, each detection signal acquired by a multi-sensor composed of a plurality of sensors is normalized based on a standard signal, and then zero-point correction and uniform component removal are performed. By performing an abnormality check on the processed signal, it is possible to detect a minute abnormality generated in combination with the standard signal. Further, by adding a drift removal process, it is possible to detect an abnormality having an amplitude smaller than the drift component. Further, by performing a relative comparison with the noise level as a singular value check, a fine abnormality can be detected without excessive detection. Further, the abnormality detection effective for the multi-sensor probe having a plurality of stages can be performed by the uniform component extraction process and the singular value check process for each stage according to the sensor arrangement. Also, abnormality of sensor characteristics can be detected by singular value check between sensors of standard signals before normalization.

上記効果により、本発明は、複数のセンサより構成されるマルチセンサにより取得された信号の異常を高い精度で検知する事の出来るマルチセンサ異常検知装置及び方法を提供する事が出来る。   Due to the above effects, the present invention can provide a multi-sensor abnormality detection apparatus and method capable of detecting an abnormality of a signal acquired by a multi-sensor composed of a plurality of sensors with high accuracy.

添付図面を参照して、本発明の実施の形態に係わるマルチセンサ信号異常検知装置および方法を実施するための最良の形態を以下に説明する。本発明の実施の形態に係わるマルチセンサ信号異常検知装置では、伝熱管などの探傷検査において、テストピース部に予め付加されている模擬欠陥などに対するECT信号を取得し、この取得信号を規定要因信号とし、規定要因信号のうち規格化の基準にする信号を標準信号とする。そして、センサプローブに備えられる複数のセンサにより取得された上記標準信号、又は規定要因信号のそれぞれについて以下の信号処理を実施する。   With reference to the attached drawings, a best mode for carrying out a multi-sensor signal abnormality detection apparatus and method according to an embodiment of the present invention will be described below. In the multi-sensor signal abnormality detection device according to the embodiment of the present invention, an ECT signal for a simulated defect or the like previously added to a test piece portion is acquired in a flaw detection inspection of a heat transfer tube or the like, and this acquired signal is used as a specified factor signal. And a signal to be used as a standard for standardization among the prescribed factor signals is a standard signal. And the following signal processing is implemented about each of the said standard signal acquired by the some sensor with which a sensor probe is equipped, or a prescription | regulation factor signal.

(1)予め定めている、標準信号の標準位相角および標準振幅に基づいて、全てのセンサにおける信号に対して位相角調整および振幅調整を行い、全てのセンサにおける標準信号の位相角および振幅を同一に揃える規格化処理を行う。そして、規格化された全てのセンサの信号に対し、有意信号発生要因がない部位の信号値を一定値とするオフセット処理を行う。 (1) Based on the standard phase angle and standard amplitude of the standard signal determined in advance, the phase angle adjustment and amplitude adjustment are performed on the signals in all sensors, and the phase angle and amplitude of the standard signals in all sensors are determined. Perform standardization processing to align the same. Then, an offset process is performed with respect to all the standardized sensor signals so that the signal value of a part having no significant signal generation factor is a constant value.

(2)規格化処理された、全てのセンサにより取得された信号のセンサ間一様成分(例えば、各センサの信号値のメディアン)を求め、規格化処理されたそれぞれの検出信号から、求めた一様成分を引去する。 (2) A uniform component between the sensors (for example, the median of the signal value of each sensor) of the signals acquired by all the sensors subjected to the normalization processing is obtained and obtained from the respective detection signals subjected to the normalization processing. Remove the uniform component.

(3)一様成分を引去する処理を行った、全てのセンサにより取得された規定要因信号のそれぞれの大きさが特異値であるかをチェックすることにより、特異値がない場合を正常とし、1つでも特異値がある場合を異常とする。 (3) By checking whether the magnitudes of the defined factor signals obtained by all sensors that have performed the process of removing the uniform component are singular values, the case where there is no singular value is regarded as normal. The case where there is even one singular value is regarded as abnormal.

本発明の実施の形態に係わるマルチセンサ信号異常検知装置による上記処理により、従来では標準信号、又は規定要因信号に対して相対的に小さな変化としてしか捕らえられずに見逃していたマルチセンサ信号の異常を確実に検知することができる。これにより、マルチセンサにより取得される異常検知性能を飛躍的に向上させることができる。   By the above-described processing by the multi-sensor signal abnormality detection device according to the embodiment of the present invention, the abnormality of the multi-sensor signal that is conventionally missed as a standard signal or only a relatively small change with respect to the specified factor signal is overlooked. Can be reliably detected. Thereby, the abnormality detection performance acquired by the multisensor can be dramatically improved.

(実施の形態1)
図1に、本発明の実施の形態1に係わるマルチセンサ信号異常検知装置の概略構成を示す。本実施の形態に係わるマルチセンサ信号異常検知装置1は、複数のセンサを有するマルチセンサプローブにより得られた検出信号を読み込むための入力部3と、信号処理部2と、信号処理部2による処理結果を出力する出力部4とを備えている。
(Embodiment 1)
FIG. 1 shows a schematic configuration of a multi-sensor signal abnormality detection apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. The multi-sensor signal abnormality detection device 1 according to the present embodiment includes an input unit 3 for reading a detection signal obtained by a multi-sensor probe having a plurality of sensors, a signal processing unit 2, and a process by the signal processing unit 2. And an output unit 4 for outputting the result.

参考として、図2に、センサプローブ5を用いてECTにおける伝熱管の探傷検査を行う際の形態を示す。センサプローブ5は、ヘッド部にマルチセンサ5aを備えている。マルチセンサ5a面が被検体40の壁面に平行になるように配置されて、センサプローブ5が軸5b方向に移動することにより信号が検知される。図3に、一例としてマルチセンサ5aが2段配置の場合の概略構成を示す。図3に示されるように、マルチセンサ5aは、軸方向に上段センサ5a1と、下段センサ5a2とを有している。   As a reference, FIG. 2 shows a form in which a flaw detection inspection of a heat transfer tube in ECT is performed using the sensor probe 5. The sensor probe 5 includes a multi-sensor 5a in the head portion. The multi-sensor 5a surface is arranged so as to be parallel to the wall surface of the subject 40, and the signal is detected by the sensor probe 5 moving in the direction of the axis 5b. FIG. 3 shows a schematic configuration when the multi-sensor 5a is arranged in two stages as an example. As shown in FIG. 3, the multi-sensor 5a has an upper sensor 5a1 and a lower sensor 5a2 in the axial direction.

図4に、センサプローブ5のマルチセンサ5aによって取得された信号によりリサージュ波形を構成する模式を示す。センサプローブ5のそれぞれのセンサで取得された信号は、複素数の実軸成分であるX信号と、複素数の虚軸成分であるY信号とから成る。そして、それぞれの時系列波形の特定部分(規定時間帯の波形)をXY平面にプロットすることによりリサージュ波形が構成される。   FIG. 4 shows a schematic diagram for constructing a Lissajous waveform with a signal acquired by the multi-sensor 5a of the sensor probe 5. FIG. The signal acquired by each sensor of the sensor probe 5 includes an X signal that is a complex real axis component and a Y signal that is a complex imaginary axis component. And a Lissajous waveform is constituted by plotting a specific part (waveform of a specified time zone) of each time series waveform on the XY plane.

(実施の形態1における動作原理)
図5に、本実施の形態に係わるマルチセンサ信号異常検知装置1の動作原理を示す。入力部3は、マルチセンサ5aのそれぞれのセンサにより得られた標準信号を読み込む(ステップS01)。マルチセンサ5aのそれぞれのセンサにより得られた標準信号の生データ(原信号)は、各センサによって感度や位相にばらつきがあるため、読み込まれた標準信号の生データは、予め定めている標準信号の標準位相角および標準振幅になるように、全てのセンサの信号に対して位相角調整および振幅調整を行い、全てのセンサにおける位相角および振幅を同一に揃える規格化処理が行われる(ステップS02)。次に、本実施の形態の信号処理部2に備えられる一様成分除去部2bにより、それぞれのセンサにより取得されて規格化処理された標準信号に対して、ゼロ点補正を行う(ステップS03)。ここで、ゼロ点補正とは、以下に説明する一様成引去のための前処理であり、有意な信号発生要因がない位置でのマルチセンサ5aそれぞれから得られた信号の値が一定値となるように、規格化処理後の標準信号に対してオフセット処理を行うことである。ゼロ点補正が行われた後、ゼロ点補正された標準信号を用いて一様成分が求められる。ここでは、一様成分として、例えばマルチセンサ5aの信号値のメディアン(中央値)信号を用いる。そして、ゼロ点補正されたそれぞれの標準信号から、求められた一様成分が引去される(ステップS04)。一様成分を引去する処理を行った後、一様成分が引去されたそれぞれのセンサによる標準信号の大きさと、規定の閾値とが比較される。そして、全てのセンサについて、上記規定の閾値よりも標準信号の値が小さい場合を正常とし、1つでも閾値よりも大きな標準信号がある場合を異常とする(ステップS05)。出力部4は、異常判定があった場合にその出力結果を出力して通知する。
(Operation Principle in Embodiment 1)
FIG. 5 shows the operating principle of the multi-sensor signal abnormality detection apparatus 1 according to the present embodiment. The input unit 3 reads the standard signal obtained by each sensor of the multi sensor 5a (step S01). Since the raw data (original signal) of the standard signal obtained by each sensor of the multi-sensor 5a has variations in sensitivity and phase depending on each sensor, the raw data of the read standard signal is a predetermined standard signal. The standard angle processing and the amplitude adjustment are performed on the signals of all the sensors so that the standard phase angle and the standard amplitude are equal to each other, and the normalization process is performed to make the phase angles and the amplitudes of all the sensors the same (step S02). ). Next, the uniform component removing unit 2b provided in the signal processing unit 2 of the present embodiment performs zero point correction on the standard signals acquired by the respective sensors and subjected to the normalization processing (step S03). . Here, the zero point correction, a pretreatment for Hikisa uniform Ingredients described below, the value of the signal obtained from the multi-sensor 5a respectively at positions where there is no significant signal generating factor is constant The offset processing is performed on the standard signal after the normalization processing so that the value is obtained. After the zero point correction is performed, a uniform component is obtained using the standard signal with the zero point corrected. Here, for example, a median (median value) signal of the signal value of the multisensor 5a is used as the uniform component. Then, the obtained uniform component is extracted from each standard signal that has been zero-point corrected (step S04). After performing the process of removing the uniform component, the magnitude of the standard signal from each sensor from which the uniform component has been removed is compared with a specified threshold value. For all the sensors, the case where the value of the standard signal is smaller than the prescribed threshold value is normal, and the case where there is one standard signal larger than the threshold value is abnormal (step S05). When there is an abnormality determination, the output unit 4 outputs and notifies the output result.

図6に、本実施の形態における一連の信号処理の模式の一例を示す。図6に示されるように、マルチセンサ5aのそれぞれのセンサにより取得された信号に対して、位相角および振幅調整に基づく規格化処理、ゼロ点補正、一様成分引去処理が実施される。その結果、それぞれのセンサで取得される標準信号の信号処理後の信号レベルは、センサ信号に異常がある場合以外には、規定の閾値以内の小さい値になる。   FIG. 6 shows an example of a model of a series of signal processing in the present embodiment. As shown in FIG. 6, normalization processing based on the phase angle and amplitude adjustment, zero point correction, and uniform component removal processing are performed on the signals acquired by the respective sensors of the multi-sensor 5a. As a result, the signal level after the signal processing of the standard signal acquired by each sensor becomes a small value within a prescribed threshold value unless the sensor signal is abnormal.

本実施の形態の信号処理部2、および信号処理部2に備えられる規格化部2a、一様成分除去部2b、特異値検知部2c等の各構成部は、コンピュータにより構成される。規格化部2a、一様成分除去部2b、特異値検知部2c等の各構成部は、それぞれの演算部により、各々の記憶部に格納される実行プログラムが読み込まれて実行され、各構成部における所定の信号処理が実行される。また、信号処理部2は、同様に規格化部2a、一様成分除去部2b、特異値検知部2c等の各構成部への検出信号および処理信号の入出力制御を実行する。   Each component of the signal processing unit 2 and the normalization unit 2a, the uniform component removal unit 2b, the singular value detection unit 2c, and the like included in the signal processing unit 2 of the present embodiment is configured by a computer. The constituent units such as the normalization unit 2a, the uniform component removal unit 2b, the singular value detection unit 2c, and the like are read and executed by the respective arithmetic units by reading execution programs stored in the respective storage units. The predetermined signal processing in is performed. Similarly, the signal processing unit 2 performs input / output control of detection signals and processing signals to the respective components such as the normalization unit 2a, the uniform component removal unit 2b, and the singular value detection unit 2c.

本実施の形態により、従来では標準信号に対して相対的に小さな変化としてしか捕らえられずに見逃していたマルチセンサ信号の異常を確実に検知することができる。これにより、複数のセンサにより取得される標準信号の異常検知性能を飛躍的に向上させることができる。   According to the present embodiment, it is possible to reliably detect an abnormality of a multi-sensor signal that has been missed without being caught as a relatively small change with respect to a standard signal. Thereby, the abnormality detection performance of standard signals acquired by a plurality of sensors can be dramatically improved.

(実施の形態2)
本発明の実施の形態2に係わるマルチセンサ信号異常検知装置1の基本的な概略構成および動作原理は、実施の形態1におけるそれらと同様である。但し、本実施の形態の信号処理部2の一様成分除去部2bは、温度変化などの外部環境因子の変化や、検出信号取得中の複数のセンサ5aと被検体40との距離の変化などにより生じるドリフトノイズを除去するためのドリフト除去フィルタ、およびそれを制御するための図示せぬドリフト除去部を備えている。
(Embodiment 2)
The basic schematic configuration and operation principle of the multi-sensor signal abnormality detection device 1 according to the second embodiment of the present invention are the same as those in the first embodiment. However, the uniform component removing unit 2b of the signal processing unit 2 according to the present embodiment changes external environmental factors such as temperature changes, changes in the distances between the plurality of sensors 5a and the subject 40 during detection signal acquisition, and the like. Are provided with a drift removal filter for removing drift noise caused by the above and a drift removal section (not shown) for controlling the drift removal filter.

(実施の形態2における動作原理)
図7に、本実施の形態に係わるマルチセンサ信号異常検知装置1の動作原理を示す。本実施の形態に係わるマルチセンサ信号異常検知装置1のステップS02までは、実施の形態1におけるそれと同様であり、ここではその説明を省略する。
(Operation principle in the second embodiment)
FIG. 7 shows an operation principle of the multi-sensor signal abnormality detection device 1 according to the present embodiment. The steps up to step S02 of the multi-sensor signal abnormality detection device 1 according to the present embodiment are the same as those in the first embodiment, and the description thereof is omitted here.

本実施の形態の信号処理部2は、ステップS02により、それぞれのセンサにより取得されて規格化処理された信号に対してドリフト除去処理を行う(ステップS10)。ここで、ドリフト除去とは、ステップS04で行われる一様成引去のための前処理であり、一様成分引去部2bにおいて処理が行われる。本実施の形態に係わるマルチセンサ信号異常検知装置1に備わる信号処理部2は、上記したように、図示せぬドリフト除去フィルタを有している。ドリフト除去フィルタは、温度変化などの外部環境因子の変化や、検出信号取得中の複数のセンサ5aと被検体40との距離の変化により生じるドリフトノイズを除去する機能を有している。信号処理部2のドリフト除去部は、ドリフト除去フィルタにより、規格化処理後の複数のセンサのそれぞれから送られて来る検出信号から、温度変化などの外部環境因子の変化や、検出信号取得中の複数のセンサと被検体40との距離の変化により生じるドリフトノイズを除去するドリフト除去処理を行う。ドリフト除去フィルタとしては、ドリフトノイズを除去するためのメディアンフィルタ引去等が用いられる。本実施の形態におけるステップS10以降の信号処理は、実施の形態1におけるステップS04およびステップS05と同様である。 In step S02, the signal processing unit 2 according to the present embodiment performs drift removal processing on the signals acquired by the respective sensors and subjected to normalization processing (step S10). Here, the drift removal, a pre-treatment for Hikisa uniform Ingredient performed in step S04, processing is performed in the uniform component Hikisa portion 2b. As described above, the signal processing unit 2 provided in the multi-sensor signal abnormality detection device 1 according to the present embodiment has a drift removal filter (not shown). The drift removal filter has a function of removing drift noise caused by changes in external environmental factors such as temperature changes and changes in the distance between the plurality of sensors 5a and the subject 40 during detection signal acquisition. The drift removal unit of the signal processing unit 2 uses a drift removal filter to detect changes in external environmental factors such as temperature changes and detection signal acquisition from detection signals sent from each of the plurality of sensors after normalization processing. A drift removal process for removing drift noise caused by a change in the distance between the plurality of sensors and the subject 40 is performed. As the drift removal filter, median filter removal or the like for removing drift noise is used. The signal processing after step S10 in the present embodiment is the same as steps S04 and S05 in the first embodiment.

本実施の形態のマルチセンサ信号異常検知装置1は、特に被検体40とマルチセンサ5aとの相対距離の変化から生じるノイズや、温度などの外部環境要因の変化によって生じるノイズの影響を受け易い方式のセンサを備えたセンサプローブ5を用いて検査を実施するときに有効である。   The multi-sensor signal abnormality detection device 1 according to the present embodiment is particularly susceptible to noise caused by changes in the relative distance between the subject 40 and the multi-sensor 5a and noises caused by changes in external environmental factors such as temperature. This is effective when the inspection is performed using the sensor probe 5 having the above-described sensors.

本実施の形態により、従来ではドリフトノイズに対して相対的に小さな変化としてしか捕らえられずに見逃していたマルチセンサ信号の異常を、確実に検知することができる。これにより、複数のセンサにより取得される標準信号の異常検知性能を飛躍的に向上させることができる。   According to the present embodiment, it is possible to reliably detect an abnormality in a multi-sensor signal that has been conventionally missed without being caught as a relatively small change with respect to drift noise. Thereby, the abnormality detection performance of standard signals acquired by a plurality of sensors can be dramatically improved.

(実施の形態3)
本発明の実施の形態3に係わるマルチセンサ信号異常検知装置1の基本的な概略構成および、動作原理は実施の形態1におけるそれらと同様である。但し、本実施の形態の信号処理部2は、センサ間のばらつき成分であるノイズレベルを計算するノイズレベル演算部(図示せず)と、求められたノイズレベルの大きさとセンサそれぞれで取得された一様成分引去後の信号の大きさとの比である相対値を求める相対値演算部(図示せず)とを有している。そして、実施の形態1におけるステップS04とステップS05との間に、さらに、センサ間のばらつき成分であるノイズレベルを計算する処理と、算出されたノイズレベルの大きさとセンサそれぞれで取得された一様成分引去後の標準信号の大きさとの比である相対値を求める処理とが行われる。
(Embodiment 3)
The basic schematic configuration and operation principle of the multi-sensor signal abnormality detection device 1 according to the third embodiment of the present invention are the same as those in the first embodiment. However, the signal processing unit 2 of the present embodiment is obtained by a noise level calculation unit (not shown) that calculates a noise level that is a variation component between sensors, and the obtained noise level magnitude and the sensor. A relative value calculation unit (not shown) that obtains a relative value that is a ratio of the magnitude of the signal after the uniform component extraction; Further, between step S04 and step S05 in the first embodiment, a process of calculating a noise level that is a variation component between sensors, and the calculated noise level and the uniform obtained by each sensor. A process of obtaining a relative value that is a ratio to the magnitude of the standard signal after component removal is performed.

(実施の形態3における動作原理)
図8に、本実施の形態に係わるマルチセンサ信号異常検知装置1の動作原理を示す。本実施の形態に係わるマルチセンサ信号異常検知装置1のステップ04までは、実施の形態1におけるそれと同様なので、ここではその説明を省略する。
(Operation Principle in Embodiment 3)
FIG. 8 shows the operating principle of the multi-sensor signal abnormality detection device 1 according to the present embodiment. The steps up to step 04 of the multi-sensor signal abnormality detection apparatus 1 according to the present embodiment are the same as those in the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here.

一様成分引去処理後のそれぞれのセンサにより取得された信号においては、異常の無い場合にセンサ間のばらつき成分のみが残るが、センサプローブ5によってノイズレベルが異なっていたり、同じセンサプローブ5においても探傷ごとにセンサの姿勢が変化するなどの理由から、センサ間のばらつき成分の大きさ(ノイズレベル)は変動する。このため、ステップS04の処理後のそれぞれのセンサにおける標準信号を絶対値で閾値判定する場合には、その都度最適な閾値を決定することが必要となる。   In the signals acquired by the respective sensors after the uniform component removal processing, only the variation component between the sensors remains when there is no abnormality, but the noise level differs depending on the sensor probe 5 or the same sensor probe 5 However, the magnitude (noise level) of the variation component between the sensors varies because the attitude of the sensor changes for each flaw detection. For this reason, when the threshold value of the standard signal in each sensor after the process of step S04 is determined as an absolute value, it is necessary to determine an optimum threshold value each time.

本実施の形態においてはこれを避けるために、図9に当該部の詳細な処理フローを示すように、一様成分引去処理後のそれぞれのセンサにより取得された信号毎に、センサ間のノイズレベルの大きさ(分散、メディアン値など)を算出し(ステップS20)、算出されたノイズレベルの大きさに対する一様成分引去処理後のそれぞれのセンサにより取得された標準信号の大きさの相対値を算出する(ステップS30)。   In this embodiment, in order to avoid this, as shown in the detailed processing flow of the part in FIG. 9, noise between sensors is obtained for each signal acquired by each sensor after the uniform component removal processing. The level magnitude (dispersion, median value, etc.) is calculated (step S20), and the relative magnitude of the standard signal obtained by each sensor after the uniform component removal processing with respect to the calculated noise level magnitude is calculated. A value is calculated (step S30).

そして、ステップS30終了後にそれぞれの相対値と規定の閾値とを比較することにより、それぞれの信号が異常かどうかを判定する(ステップS05A)。本実施の形態においては、信号の絶対値に基づく閾値判定ではノイズレベルが小さな測定時には見逃していた信号の異常を、相対値と閾値との比較をすることにより検出が可能となる。   Then, after completion of step S30, each relative value is compared with a specified threshold value to determine whether each signal is abnormal (step S05A). In the present embodiment, in the threshold determination based on the absolute value of the signal, it is possible to detect an abnormality of the signal that was overlooked at the time of measurement with a low noise level by comparing the relative value with the threshold.

本実施の形態により、従来では標準信号に対して相対的に小さな変化としてしか捕らえられずに見逃していたマルチセンサ信号の異常を、ノイズレベルの大小によらず確実に検知することができる。これにより、複数のセンサにより取得される標準信号の異常検知性能を飛躍的に向上させることができる。   According to the present embodiment, it is possible to reliably detect an abnormality of a multi-sensor signal that has been missed without being caught as a relatively small change with respect to a standard signal, regardless of the noise level. Thereby, the abnormality detection performance of standard signals acquired by a plurality of sensors can be dramatically improved.

(実施の形態4)
本発明の実施の形態4に係わるマルチセンサ信号異常検知装置1の基本的な概略構成および、動作原理は実施の形態3におけるそれらと同様である。但し、本実施の形態の信号処理部2は、センサプローブ5の進行方向に対して多段配列されたマルチセンサ5aの任意の段のセンサを選択するセンサ段選択部(図示せず)を備えている。そして、センサ段選択部によってセンサ段が順次選択され、選択されたセンサ段毎に、実施の形態3におけるステップS04、ステップS20およびステップS30が繰り返し行われる。全てのセンサ段において、ステップS04、ステップS20およびステップS30が終了すると、実施の形態3と同様にステップS05Aが行われて、本実施の形態における動作フローは終了する。
(Embodiment 4)
The basic schematic configuration and operation principle of the multi-sensor signal abnormality detection device 1 according to the fourth embodiment of the present invention are the same as those in the third embodiment. However, the signal processing unit 2 of the present embodiment includes a sensor stage selection unit (not shown) that selects a sensor at an arbitrary stage of the multi-sensor 5a arranged in multiple stages with respect to the traveling direction of the sensor probe 5. Yes. Then, sensor stages are sequentially selected by the sensor stage selection unit, and step S04, step S20, and step S30 in the third embodiment are repeatedly performed for each selected sensor stage. When step S04, step S20, and step S30 are completed in all sensor stages, step S05A is performed as in the third embodiment, and the operation flow in the present embodiment is terminated.

(実施の形態4における動作原理)
図10に、本実施の形態に係わるマルチセンサ信号異常検知装置1の動作原理を示す。本実施の形態に係わるマルチセンサ信号異常検知装置1のステップS01〜ステップS03、およびステップS05Aは、実施の形態3におけるそれと同様であり、ここではその説明を省略する。
(Operation Principle in Embodiment 4)
FIG. 10 shows the operation principle of the multi-sensor signal abnormality detection apparatus 1 according to the present embodiment. Steps S01 to S03 and step S05A of the multi-sensor signal abnormality detection device 1 according to the present embodiment are the same as those in the third embodiment, and the description thereof is omitted here.

本実施の形態に示すように、信号取得用のセンサが多段配列されている場合、標準要因通過時のプローブ姿勢(偏心や傾き)が段毎に同一とは限らないため、異なる段のセンサ間では標準信号波形に差異が生じる可能性がある。また、センサの送り速度が一定でないなどの理由により、各段のセンサによって同じ位置を通過する時間に若干の変動が生じ、センサ位置分の時間補正をしても、取得される標準信号に時間のずれが生じる可能性がある。本実施の形態においては、図11にその模式を示すように、一様成分引去処理(ステップS04)、ノイズレベル計算処理(ステップS20)及び、相対値計算処理(ステップS30)は、選択された段のセンサのみを対象として行われる。これにより、センサ配置の違いによる標準波形の差異をノイズレベルに加えることなく異常を検知することができる。そして、この一連の処理が順次全ての段のセンサに対して行われる(ステップS40aとステップS40aとの間におけるループ処理)。   As shown in the present embodiment, when sensors for signal acquisition are arranged in multiple stages, probe postures (eccentricity and inclination) when passing through standard factors are not necessarily the same for each stage, so between sensors at different stages Then, there may be a difference in the standard signal waveform. In addition, because the sensor feed rate is not constant, the time required to pass the same position varies depending on the sensor at each stage. There is a possibility of deviation. In the present embodiment, as shown in FIG. 11, the uniform component removal process (step S04), the noise level calculation process (step S20), and the relative value calculation process (step S30) are selected. This is performed only for the sensors in the first stage. Thereby, it is possible to detect an abnormality without adding a difference in the standard waveform due to a difference in sensor arrangement to the noise level. Then, this series of processing is sequentially performed on all the stages of sensors (loop processing between step S40a and step S40a).

これにより、本実施の形態においては、多段配列されたマルチセンサ信号においても、高精度な信号異常検知を実施することができる。   Thereby, in this Embodiment, a highly accurate signal abnormality detection can be implemented also in the multi-sensor signal arranged in multiple stages.

(実施の形態5)
本発明の実施の形態5に係わるマルチセンサ信号異常検知装置1の基本的な概略構成は、実施の形態1から4までのそれと同じである。また、動作原理については、実施の形態1から4までのそれぞれに適用することができる。つまり、本実施の形態の信号処理部2は、センサプローブ5のそれぞれのセンサで取得された標準信号(原信号)の波形の特徴に異常がないか検知するセンサ信号異常検知部(図示せず)を備えており、それぞれの実施の形態におけるステップS02の前に、センサプローブ5のそれぞれのセンサで取得された標準信号(原信号)の波形の特徴に異常がないか検知する。
(Embodiment 5)
The basic schematic configuration of the multi-sensor signal abnormality detection device 1 according to the fifth embodiment of the present invention is the same as that of the first to fourth embodiments. The operation principle can be applied to each of the first to fourth embodiments. That is, the signal processing unit 2 of the present embodiment detects a sensor signal abnormality detection unit (not shown) that detects whether there is an abnormality in the waveform characteristics of the standard signal (original signal) acquired by each sensor of the sensor probe 5. ) And before the step S02 in each embodiment, it is detected whether there is an abnormality in the waveform characteristics of the standard signal (original signal) acquired by each sensor of the sensor probe 5.

(実施の形態5における動作原理)
図12に、本実施の形態に係わるマルチセンサ信号異常検知装置1の動作原理を実施の形態1に適用した場合について示す。本実施の形態に係わるマルチセンサ信号異常検知装置1のステップS01と、ステップS02以降は、実施の形態1におけるそれと同様であり、ここではその説明を省略する。
(Operation Principle in Embodiment 5)
FIG. 12 shows a case where the operation principle of the multi-sensor signal abnormality detection device 1 according to the present embodiment is applied to the first embodiment. Step S01 of the multi-sensor signal abnormality detection device 1 according to the present embodiment and step S02 and subsequent steps are the same as those in the first embodiment, and description thereof is omitted here.

ステップS01により得られた原信号により、それぞれの規定要因信号の規定特徴(位相角及び振幅)を計測する。計測した規定特徴の値からコイル間の標準値(例えばメディアン)を引去した値のばらつきを調べ(図4参照)、ばらつきに対する相対値が規定値を越えるセンサが1つでもある場合に異常ありと判定する(ステップS50)。ステップS50の判定結果に基づいて、異常とされた場合には、そこでマルチセンサ信号異常検知が終了する。また、正常であるとされた場合には、ステップS02の信号処理へと移行する。   Based on the original signal obtained in step S01, the defining characteristics (phase angle and amplitude) of each defining factor signal are measured. Investigate the variation of the value obtained by subtracting the standard value (for example, median) between the coils from the measured characteristic value (see Fig. 4), and there is an abnormality if there is at least one sensor whose relative value to the variation exceeds the defined value (Step S50). If an abnormality is determined based on the determination result of step S50, the multi-sensor signal abnormality detection ends there. If it is normal, the process proceeds to signal processing in step S02.

本実施の形態に係わる動作原理においては、実施の形態1に適用した場合についてのみ説明したが、本実施の形態は、実施の形態1に限定されずに実施の形態2から4までについても適用可能である。本実施の形態においては、センサ特性異常など、規格化した標準信号の波形で異常を判別できないセンサ信号についても、原信号の波形の特徴で異常を調べることにより、これを判別することができる。   In the operation principle according to the present embodiment, only the case where it is applied to the first embodiment has been described. However, the present embodiment is not limited to the first embodiment but is also applied to the second to fourth embodiments. Is possible. In the present embodiment, even a sensor signal such as a sensor characteristic abnormality that cannot be identified by the standardized waveform of the standard signal can be identified by examining the abnormality with the characteristics of the waveform of the original signal.

(実施の形態6)
図13に、本発明の実施の形態6に係わるマルチセンサ信号異常検知システムの概略構成を示す。本実施の形態に係わるマルチセンサ信号異常検知システム100は、検出信号を読み込むための入力部300と、信号処理装置200と、信号処理装置200による処理結果を出力する出力部400とを備えている。
(Embodiment 6)
FIG. 13 shows a schematic configuration of a multi-sensor signal abnormality detection system according to Embodiment 6 of the present invention. The multi-sensor signal abnormality detection system 100 according to the present embodiment includes an input unit 300 for reading a detection signal, a signal processing device 200, and an output unit 400 for outputting a processing result by the signal processing device 200. .

(実施の形態6の動作原理)
本実施の形態の基本的な構成および動作原理は、実施の形態1から5までに説明したマルチセンサ信号異常検知装置1と同様であり、信号処理装置200に備えられる規格化装置200a、一様成分除去装置200b、特異値検知装置200cは、それぞれ実施の形態1から5までの信号処理部2の、規格化装部2a、一様成分除去部2b、特異値検知部2cに対応する。但し、本実施の形態の入力部300には、ネットワークあるいは、記憶媒体を介して、マルチセンサにより取得された大量の取得データが入力される。そして、信号の処理結果は、必要に応じて出力部400に出力される。
(Operation Principle of Embodiment 6)
The basic configuration and operation principle of the present embodiment are the same as those of the multi-sensor signal abnormality detection device 1 described in the first to fifth embodiments, and the standardization device 200a provided in the signal processing device 200 is uniform. The component removal device 200b and the singular value detection device 200c correspond to the normalization unit 2a, the uniform component removal unit 2b, and the singular value detection unit 2c of the signal processing unit 2 of Embodiments 1 to 5, respectively. However, a large amount of acquired data acquired by the multisensor is input to the input unit 300 of the present embodiment via a network or a storage medium. The signal processing result is output to the output unit 400 as necessary.

本実施の形態の信号処理装置200、および信号処理装置200に備えられる規格化装置200a、一様成分除去装置200b、特異値検知装置200cはそれぞれコンピュータにより構成される。規格化装置200a、一様成分除去装置200b、特異値検知装置200cは、それぞれの装置の演算部により、各々の記憶部に格納される実行プログラムを実行する。これにより、各々の装置における所定の信号処理が実行される。また、信号処理装置200は、同様に規格化装置200a、一様成分除去装置200b、特異値検知装置200cのへの信号の入出力制御を実行する。   The signal processing device 200 according to the present embodiment, the normalization device 200a, the uniform component removal device 200b, and the singular value detection device 200c provided in the signal processing device 200 are each configured by a computer. The normalization device 200a, the uniform component removal device 200b, and the singular value detection device 200c execute the execution programs stored in the respective storage units by the arithmetic units of the respective devices. Thereby, predetermined signal processing in each device is executed. Similarly, the signal processing device 200 executes input / output control of signals to the normalization device 200a, the uniform component removal device 200b, and the singular value detection device 200c.

上記構成および動作原理により、本実施の形態に係わるマルチセンサ信号異常検知システム100は、入力部300から読み込まれる大量のマルチセンサ信号に対して、従来では標準信号に対して相対的に小さな変化としてしか捕らえられずに見逃していたマルチセンサ信号の異常を確実に検知することができ、複数のセンサにより取得される標準信号の異常検知性能を飛躍的に向上させることができる。これにより、探傷精度の高いマルチセンサ信号異常検知システムを実現することができる。   Due to the above-described configuration and operation principle, the multi-sensor signal abnormality detection system 100 according to the present embodiment is a relatively small change with respect to a standard signal with respect to a large amount of multi-sensor signals read from the input unit 300 in the past. However, it is possible to reliably detect an abnormality in a multi-sensor signal that has been overlooked without being caught, and dramatically improve the abnormality detection performance of a standard signal acquired by a plurality of sensors. Thereby, a multi-sensor signal abnormality detection system with high flaw detection accuracy can be realized.

本願のマルチセンサ信号異常検知装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the multi sensor signal abnormality detection apparatus of this application. 実施の形態4におけるセンサプローブの使用形態を示す図である。It is a figure which shows the usage pattern of the sensor probe in Embodiment 4. FIG. 図2におけるセンサプローブのマルチセンサの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the multi sensor of the sensor probe in FIG. 本願におけるリサージュ波形を形成する信号処理の模式を示した図である。It is the figure which showed the model of the signal processing which forms the Lissajous waveform in this application. 実施の形態1の動作フローを示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an operation flow of the first embodiment. 実施の形態1における信号処理の模式を示した図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a schematic diagram of signal processing in the first embodiment. 実施の形態2の動作フローを示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating an operation flow of the second embodiment. 実施の形態3の動作フローを示す図である。FIG. 10 is a diagram showing an operation flow of the third embodiment. 実施の形態3の動作フローにおけるノイズレベル計算および相対値計算の詳細を示した図である。FIG. 10 is a diagram showing details of noise level calculation and relative value calculation in the operation flow of the third embodiment. 実施の形態4の動作フローを示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating an operation flow of the fourth embodiment. 実施の形態4におけるセンサ選択機能により得られた検出信号の模式を示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a schematic diagram of a detection signal obtained by a sensor selection function in a fourth embodiment. 実施の形態5の動作フローを示す図である。FIG. 10 is a diagram showing an operation flow of the fifth embodiment. 実施の形態6の概略構成を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a schematic configuration of a sixth embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1…マルチセンサ信号異常検知装置
2…信号処理部
2a…規格部
2b…一様成分除去部
2c…特異値検知部
3…入力部
4…出力部
5…センサプローブ
5a…マルチセンサ
5b…軸
40…被検体
100…マルチセンサ信号異常検知システム
200…信号処理装置
200a…規格部
200b…一様成分除去部
200c…特異値検知部
300…入力部
400…出力部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Multi sensor signal abnormality detection apparatus 2 ... Signal processing part 2a ... Standard part 2b ... Uniform component removal part 2c ... Singular value detection part 3 ... Input part 4 ... Output part 5 ... Sensor probe 5a ... Multi sensor 5b ... Shaft 40 ... Subject 100 ... Multi-sensor signal abnormality detection system 200 ... Signal processing device 200a ... Standard part 200b ... Uniform component removal part 200c ... Singular value detection part 300 ... Input part 400 ... Output part

Claims (17)

複数のセンサを有するマルチセンサプローブにより得られた検出信号を読み込むための入力部と、
前記検出信号を処理するための信号処理部と、
前記信号処理部による処理結果を出力するための出力部と
を具備し、
前記信号処理部は、前記入力部を介して前記マルチセンサプローブにより得られた前記検出信号を読み込み、前記検出信号に対して前記複数のセンサの全てにおける模擬欠陥による標準信号の位相角および振幅を同一に揃える規格化処理により規格化信号を生成し、前記規格化信号から前記複数のセンサ間で一様な成分を引去する一様成分引去処理のための前処理を規格化処理された信号に対して行い、前記一様成分引去処理により一様成分引去信号を生成し、前記一様成分引去信号の規定要因の特異値チェックを行うことにより前記検出信号の異常を検知する
マルチセンサ信号異常検知装置。
An input unit for reading a detection signal obtained by a multi-sensor probe having a plurality of sensors;
A signal processing unit for processing the detection signal;
An output unit for outputting a processing result by the signal processing unit,
The signal processing unit reads the detection signal obtained by the multi-sensor probe via the input unit, and calculates a phase angle and an amplitude of a standard signal due to a simulated defect in all of the plurality of sensors with respect to the detection signal. A standardization signal is generated by a standardization process that aligns to the same, and a preprocessing for a uniform component extraction process that extracts a uniform component among the plurality of sensors from the standardization signal has been standardized. This is performed on a signal, a uniform component removal signal is generated by the uniform component removal processing, and an abnormality of the detection signal is detected by performing a singular value check of a defining factor of the uniform component removal signal. Multi-sensor signal abnormality detection device.
請求項1に記載のマルチセンサ信号異常検知装置において、
前記一様成分引去処理のための前処理は、
前記信号処理部、前記規格化処理と前記一様成分引去処理との間に、有意信号発生要因がない部位を通過した時の前記複数のセンサのそれぞれから得られた前記検出信号の値が一定値となるように、前記規格化処理後の前記複数のセンサのそれぞれから得られた前記検出信号に対してオフセット処理を行うことである
マルチセンサ信号異常検知装置。
In the multi-sensor signal abnormality detection device according to claim 1,
The pretreatment for the uniform component removal process is:
The signal processing unit, between the uniform component Hikisa process and the normalization process, the value of the detection signal obtained from each of the plurality of sensors when passing through the site has no significant signal generating factor The multi-sensor signal abnormality detection device is to perform offset processing on the detection signals obtained from each of the plurality of sensors after the normalization processing so that becomes a constant value.
請求項1に記載のマルチセンサ信号異常検知装置において、
さらに、ドリフトノイズを除去するためのドリフト除去フィルターを備え、
前記一様成分引去処理のための前処理は、
前記信号処理部、前記規格化処理と前記一様成分引去処理との間に、前記ドリフト除去フィルターにより、前記規格化処理後の前記複数のセンサのそれぞれにより得られた前記検出信号から、前記ドリフトノイズを除去するドリフト除去処理を行うことである
マルチセンサ信号異常検知装置。
In the multi-sensor signal abnormality detection device according to claim 1,
In addition, equipped with a drift removal filter to remove drift noise,
The pretreatment for the uniform component removal process is:
The signal processing unit, between the uniform component Hikisa process and the normalization process, by the drift removal filter, from the detection signal obtained by each of the plurality of sensors after the normalizing process, it is to perform the drift removal processing for removing the drift noise <br/> multi-sensor signal abnormality detection device.
請求項1から3までに記載のマルチセンサ信号異常検知装置において、
前記特異値チェックとして、前記複数のセンサそれぞれにより得られた前記検出信号の前記一様成分引去後の振幅が、規定閾値以上であるかを調べる
マルチセンサ信号異常検知装置。
In the multi-sensor signal abnormality detection device according to claim 1,
As the singular value check, a multi-sensor signal abnormality detection device that checks whether an amplitude after the uniform component removal of the detection signal obtained by each of the plurality of sensors is equal to or greater than a predetermined threshold.
請求項1から3までに記載のマルチセンサ信号異常検知装置において、
前記信号処理部は、前記特異値チェックとして、前記一様成分引去後の前記複数のセンサのそれぞれによる前記検出信号の全センサのノイズレベルの大きさを求め、前記ノイズレベルの大きさに対する前記複数のセンサのそれぞれによる前記検出信号の前記一様成分を引去後の大きさと相対的に比較する
マルチセンサ信号異常検知装置。
In the multi-sensor signal abnormality detection device according to claim 1,
The signal processing unit obtains noise level magnitudes of all sensors of the detection signals by the plurality of sensors after the uniform component removal as the singular value check, and the noise level magnitudes with respect to the noise level magnitudes A multi-sensor signal abnormality detection device that compares the uniform component of the detection signal of each of a plurality of sensors with a magnitude after removal.
請求項1から5までに記載のマルチセンサ信号異常検知装置において、
前記信号処理部は、前記複数のセンサが、前記検出信号を取得する進行方向に対して多段配列された構成を有する場合に、前記多段配列の各段ごとに前記一様成分引去処理を行う
マルチセンサ信号異常検知装置。
In the multi-sensor signal abnormality detection device according to claim 1,
The signal processing unit performs the uniform component extraction processing for each stage of the multi-stage arrangement when the plurality of sensors have a multi-stage arrangement with respect to a traveling direction in which the detection signal is acquired. Multi-sensor signal abnormality detection device.
請求項1から6までに記載のマルチセンサ信号異常検知装置において、
前記信号処理部は、前記規格化処理の前に、前記複数のセンサのそれぞれにより得られた前記検出信号の標準信号発生要因部を通過した時発生する信号の規定特徴の特異値チェックを行うことにより異常を検知する
マルチセンサ信号異常検知装置。
In the multi-sensor signal abnormality detection device according to claim 1,
The signal processing unit performs a singular value check of a prescribed characteristic of a signal generated when passing through a standard signal generation factor unit of the detection signal obtained by each of the plurality of sensors before the normalization processing. Multi-sensor signal abnormality detection device for detecting abnormality by means of
請求項1から7までの少なくとも1項に記載のマルチセンサ信号異常検知装置において、
前記複数のセンサのそれぞれは、ECT(Eddy Current Test)用のセンサである
マルチセンサ信号異常検知装置。
In the multi-sensor signal abnormality detection device according to at least one of claims 1 to 7,
Each of the plurality of sensors is a multi-sensor signal abnormality detection device which is a sensor for ECT (Eddy Current Test).
請求項1から8までのいずれか1項に記載のマルチセンサ信号異常検知装置を備えたマルチセンサ信号異常検知システム。   A multi-sensor signal abnormality detection system comprising the multi-sensor signal abnormality detection device according to claim 1. 複数のセンサを有するマルチセンサプローブにより得られた検出信号を読み込むための入力部と、前記検出信号を処理するための信号処理部と、前記信号処理部による処理結果を出力するための出力部とを具備するマルチセンサ信号異常検知装置によるマルチセンサ信号異常検知方法であって、
前記入力部を介して前記マルチセンサプローブにより得られた前記検出信号を読み込む検出信号読み込みステップと、
前記検出信号読み込みステップにより読み込まれた前記検出信号に対して前記複数のセンサの全てにおける模擬欠陥などによる標準信号の位相角および振幅を同一に揃える規格化処理により規格化信号を生成する規格化信号生成ステップと、
前記規格化信号生成ステップにより生成された前記規格化信号から前記複数のセンサ間で一様な成分を引去する一様成分引去処理のための前処理により前処理された信号を生成する一様成分引去処理のための前処理ステップと、
前記一様成分引去処理のための前処理ステップにより生成された前記前処理された信号から前記複数のセンサ間で一様な成分を引去する一様成分引去処理により一様成分引去信号を生成する一様成分引去信号生成ステップと、
前記一様成分引去信号生成ステップにより生成された前記一様成分引去信号の規定要因の特異値チェックを行うことにより前記検出信号の異常を検知する異常検知ステップと
を具備するマルチセンサ信号異常検知方法。
An input unit for reading a detection signal obtained by a multi-sensor probe having a plurality of sensors, a signal processing unit for processing the detection signal, and an output unit for outputting a processing result by the signal processing unit A multi-sensor signal abnormality detection method by a multi-sensor signal abnormality detection device comprising:
A detection signal reading step of reading the detection signal obtained by the multi-sensor probe via the input unit;
A standardized signal for generating a standardized signal by a standardization process in which the phase angle and the amplitude of the standard signal due to simulated defects and the like in all of the plurality of sensors are made equal to the detection signal read in the detection signal reading step Generation step;
A pre-processed signal is generated by pre-processing for uniform component removal processing for extracting uniform components among the plurality of sensors from the normalized signal generated by the normalized signal generation step. A pretreatment step for removal of the like component;
Uniform component removal by uniform component removal processing that removes uniform components among the plurality of sensors from the preprocessed signal generated by the preprocessing step for the uniform component removal processing. A uniform component removal signal generating step for generating a signal;
A multi-sensor signal abnormality comprising an abnormality detection step of detecting an abnormality of the detection signal by performing a singular value check of a defining factor of the uniform component removal signal generated by the uniform component removal signal generation step Detection method.
請求項10に記載のマルチセンサ信号異常検知方法において、
前記一様成分引去処理のための前処理ステップは、
前記規格化信号生成ステップと前記一様成分引去信号生成ステップとの間にあって、有意信号発生要因がない部位を通過した時の前記複数のセンサのそれぞれから得られた前記検出信号の値が一定値となるように、前記規格化処理後の前記複数のセンサのそれぞれから得られた前記検出信号に対してオフセット処理を行うオフセットステップ
を具備するマルチセンサ信号異常検知方法。
The multi-sensor signal abnormality detection method according to claim 10,
The pre-processing step for the uniform component removal process includes:
There between the uniform component Hikisa signal generating step and the normalized signal generating step, the value of the detection signal obtained from each of the plurality of sensors when passing through the site has no significant signal generating factor A multi-sensor signal abnormality detection method comprising an offset step of performing an offset process on the detection signals obtained from each of the plurality of sensors after the normalization process so that becomes a constant value.
請求項10に記載のマルチセンサ信号異常検知方法において、
前記マルチセンサ信号異常検知装置は、さらに、ドリフトノイズを除去するためのドリフト除去フィルターを備え、
前記一様成分引去処理のための前処理ステップは、
前記規格化信号生成ステップと前記一様成分引去信号生成ステップとの間にあって、前記規格化処理後の前記複数のセンサのそれぞれにより得られた前記検出信号から、前記ドリフトノイズを除去するドリフト除去ステップ
を具備するマルチセンサ信号異常検知方法。
The multi-sensor signal abnormality detection method according to claim 10,
The multi-sensor signal abnormality detection device further includes a drift removal filter for removing drift noise,
The pre-processing step for the uniform component removal process includes:
There between the uniform component Hikisa signal generating step and the normalized signal generating step, from the detection signal obtained by each of the plurality of sensors after the normalizing process, to remove the drift noise A multi-sensor signal abnormality detection method comprising a drift removal step.
請求項10から12までに記載のマルチセンサ信号異常検知方法において、
前記特異値チェックとして、前記複数のセンサそれぞれにより得られた前記検出信号の前記一様成分引去後の振幅が、規定閾値以上であるかを調べる閾値判定ステップ
を具備するマルチセンサ信号異常検知方法。
The multi-sensor signal abnormality detection method according to claim 10,
As the singular value check, a multi-sensor signal abnormality detection method comprising a threshold determination step for checking whether an amplitude after removal of the uniform component of the detection signal obtained by each of the plurality of sensors is equal to or greater than a predetermined threshold .
請求項10から12までに記載のマルチセンサ信号異常検知方法において、
前記特異値チェックとして、前記一様成分引去後の前記複数のセンサのそれぞれによる前記検出信号の全センサのノイズレベルの大きさを求めるノイズレベル算出ステップと、
前記ノイズレベル算出ステップで求められた前記ノイズレベルの大きさと前記複数のセンサのそれぞれによる前記検出信号の前記一様成分を引去後の大きさとを相対的に比較する相対比較ステップと
を具備するマルチセンサ信号異常検知方法。
The multi-sensor signal abnormality detection method according to claim 10,
As the singular value check, a noise level calculation step for obtaining the magnitude of the noise level of all sensors of the detection signal by each of the plurality of sensors after the uniform component removal,
And a relative comparison step of relatively comparing the magnitude of the noise level obtained in the noise level calculation step with the magnitude after removal of the uniform component of the detection signal by each of the plurality of sensors. Multi-sensor signal abnormality detection method.
請求項10から14までに記載のマルチセンサ信号異常検知方法において、
前記複数のセンサが前記検出信号を取得する進行方向に対して多段配列された構成を有する場合に、前記多段配列の各段ごとに一様成分引去信号生成ステップを行う多段センサ処理ステップ
を具備するマルチセンサ信号異常検知方法。
In the multi-sensor signal abnormality detection method according to claims 10 to 14,
A multi-stage sensor processing step for performing a uniform component removal signal generation step for each stage of the multi-stage arrangement when the plurality of sensors have a multi-stage arrangement in the traveling direction in which the detection signals are acquired; Multi-sensor signal abnormality detection method.
請求項10から15までに記載のマルチセンサ信号異常検知方法において、
前記規格化信号生成ステップの前に、前記複数のセンサのそれぞれにより得られた前記検出信号の標準信号発生要因部を通過した時発生する信号の規定特徴の特異値チェックを行う特異点判別ステップ
を具備するマルチセンサ信号異常検知方法。
In the multi-sensor signal abnormality detection method according to claims 10 to 15,
A singularity determination step of performing a singular value check of a prescribed characteristic of a signal generated when passing through a standard signal generation factor portion of the detection signal obtained by each of the plurality of sensors before the normalization signal generation step; A multi-sensor signal abnormality detection method provided.
請求項10から16までに記載のマルチセンサ信号異常検知方法を実現するための、
マルチセンサ信号異常検知プログラム。
To realize the multi-sensor signal abnormality detection method according to claim 10,
Multi-sensor signal abnormality detection program.
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