JP4575790B2 - Chemical valve - Google Patents
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Description
本発明は、入力ポートと出力ポートとを連通する弁座に駆動手段を用いて弁体を当接又は離間させ、腐食性流体を制御する薬液弁に関する。 The present invention relates to a chemical valve that controls a corrosive fluid by bringing a valve body into contact with or separating from a valve seat communicating with an input port and an output port using a driving means.
従来より、入力ポートと出力ポートとを連通する弁座に駆動手段を用いて弁体を当接又は離間させ、腐食性流体を制御する薬液弁として、例えば図3〜図5に示すものが知られている。図3は、薬液弁100の側面図である。図4は、薬液弁100の上面図である。図5は、従来の薬液弁100におけるねじ締結部の拡大断面図である。
薬液弁100は、図3及び図4に示すように、カバー51、シリンダ52、ボディ53、取付ブロック54を積層して4本の取付ねじ55を挿通し、図5に示すように、取付ブロック54にインサート成形されたインサート金具56に取付ねじ55の先端部を締結することにより、カバー51、シリンダ52、ボディ53、取付ブロック54を一体化して外観を構成している。薬液弁100は、金属が外部に露出していると、腐食性雰囲気にさらされて腐食する。そのため、薬液弁100は、図3に示すように、取付ねじ55の頭部71を収納するための凹部72をカバー51に形成し、凹部72の開口部にキャップ73を装着して、凹部72を密閉することにより、取付ねじ55の頭部71を腐食性雰囲気から隔離している(例えば、特許文献1参照)。
Conventionally, as shown in FIGS. 3 to 5, for example, chemical valves that control corrosive fluid by bringing a valve body into contact with or away from a valve seat communicating with an input port and an output port by using a driving means. It has been. FIG. 3 is a side view of the
As shown in FIGS. 3 and 4, the
しかしながら、従来の薬液弁100は、外観上取付ねじ55等の金属が露出していないものの、実際にはカバー51、シリンダ52、ボディ53、取付ブロック54との間に隙間が形成され、その隙間を通じて取付ねじ55が腐食性雰囲気にさらされていた。これに対して、図3に示すように、取付ねじ55にPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)などの耐腐食性材料でコーティングCを施せばよいとも考えられる。
However, in the conventional
ところが、取付ねじ55の雄ねじがインサート金具56の雌ねじにかかる部分にコーティングCを施すと、ねじが滑って締結力が弱くなるため、図5に示すように、インサート金具56や取付ねじ55の先端部にはコーティングCを施すことができなかった。この結果、インサート金具56の端面が、ボディ53と取付ブロック54との間に形成される隙間を通じて腐食性雰囲気にさらされて腐食し、さらにその腐食がインサート金具56の内部と取付ねじ55の先端部に進行して、ねじを細らせていた。半導体製造装置の元弁に使用する薬液弁100の場合、ねじ締結部には、使用時に2kN〜3kN程度の力が作用する。取付ねじ55が細ると、ねじ締結力が小さくなり、薬液弁100が開閉弁時の力に耐えられずに破壊してバラバラになることも考えられる。
However, when the coating C is applied to the portion where the male screw of the
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、ブロック間に露出する取付ねじを腐食性雰囲気から隔離できる薬液弁を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a chemical valve that can isolate mounting screws exposed between blocks from a corrosive atmosphere.
本発明に係る薬液弁は、次のような構成を有している。 The chemical valve according to the present invention has the following configuration.
(1)第1ポートと第2ポートを連通する弁座に駆動手段を用いて弁体を当接又は離間させ、腐食性流体を制御するものであって、複数のブロックを取付ねじで一体化する薬液弁において、前記取付ねじの周りに設けられ、第1ブロックと第2ブロックとの間で弾性変形する封止部材を有すること、前記第1ブロックが前記第1ポートと前記第2ポートを形成されたボディであって、前記第2ブロックが、前記ボディに積層される取付ブロックであって、 前記取付ブロックにインサート成形され、前記取付ねじが締結されるインサート金具を有し、 前記取付ねじが前記インサート金具に締結される部分を除くねじ部に耐腐食性材料をコーティングされ、前記封止部材が前記インサート金具の開口部に装着されていることを特徴とする。 (1) A valve body is brought into contact with or separated from a valve seat communicating with the first port and the second port using a driving means to control a corrosive fluid, and a plurality of blocks are integrated with mounting screws. In the chemical valve, the sealing valve is provided around the mounting screw and elastically deformed between the first block and the second block, and the first block connects the first port and the second port. The formed body, wherein the second block is a mounting block laminated on the body, and has an insert fitting that is insert-molded to the mounting block and to which the mounting screw is fastened. Is characterized in that a screw portion except a portion fastened to the insert fitting is coated with a corrosion-resistant material, and the sealing member is attached to the opening of the insert fitting.
上記構成を有する薬液弁は、第1ポートと第2ポートを連通する弁座に駆動手段を用いて弁体を当接又は離間させ、腐食性流体を制御する場合、第1ブロックと第2ブロックとの間が腐食性雰囲気にさらされるが、第1ブロックと第2ブロックとの間に配設される封止部材を弾性変形させて、取付ねじの周りを封止するので、第1ブロックと第2ブロックとの間に露出する取付ねじを腐食性雰囲気から隔離することができる。 In the chemical valve having the above-described configuration, the first block and the second block are used when the corrosive fluid is controlled by bringing the valve body into contact with or separating from the valve seat communicating with the first port and the second port using a driving unit. Is exposed to a corrosive atmosphere, and the sealing member disposed between the first block and the second block is elastically deformed to seal around the mounting screw. The mounting screw exposed between the second block can be isolated from the corrosive atmosphere.
また、取付ブロックにインサート成形したインサート金具の開口部に封止部材を装着して、取付ブロックにボディを積層し、取付ねじをボディから取付ブロックへと挿通してインサート金具に締結したときに、封止部材がインサート金具と取付ねじとの締結部を覆って腐食性雰囲気から隔離するとともに、コーティングによって他のブロック間から露出する取付ねじを腐食性雰囲気から隔離するので、ねじの細りを防止して耐圧性を確保することができる。 In addition, when a sealing member is attached to the opening of the insert fitting that is insert-molded in the mounting block, the body is stacked on the mounting block, and the mounting screw is inserted from the body into the mounting block and fastened to the insert fitting. The sealing member covers the fastening part between the insert metal fitting and the mounting screw and isolates it from the corrosive atmosphere, and the mounting screw exposed from the other blocks by the coating is isolated from the corrosive atmosphere, preventing the screw from thinning. Thus, pressure resistance can be secured.
次に、本発明に係る薬液弁の一実施の形態について図面を参照して説明する。図1は、薬液弁50の縦断面図である。
本実施の形態の薬液弁50は、半導体製造装置の元弁として使用され、0.7MPa以上の高圧腐食性流体を制御する。薬液弁50は、カバー51、シリンダ52、ボディ53、取付ブロック54に4本の取付ねじ55を挿通し、取付ねじ55の先端部をインサート金具56に締結することによりカバー51、シリンダ52、ボディ53、取付ブロック54を一体化し、外観を構成している。カバー51、シリンダ52、ボディ53、取付ブロック54は、耐腐食性を確保するために、PFA(四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)やPP(ポリプロピレン)、PPS(ポリフェニレンサルファイド)などの樹脂を射出成形したものである。
Next, an embodiment of a chemical valve according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a longitudinal sectional view of the
The
シリンダ52は、一端に開口する略円筒状をなし、開口部をカバー51で塞がれてピストン室57を形成している。ピストン室57には、ピストン58が摺動可能に装填され、ピストン室57を上室57aと下室57bに気密に区画している。上室57aには、圧縮ばね59が縮設され、ピストン58に図中下向きの力を作用させている。上室57aには呼吸孔60が連通し、下室57bには操作ポート61が連通しており、操作ポート61に圧縮エアを供給することによりピストン58に図中上向きの力を作用させ、圧縮エアの供給を停止することにより図中上向きの力を解除することができる。ピストン58には、弁軸62が固設され、弁軸62の下端部がシリンダ52を貫いてボディ53に突き出している。
The
ボディ53は、ブロック状をなし、入力ポート63と出力ポート64が形成され、その間に弁座65が円筒状に設けられている。ボディ53は、シリンダ52の下端面との間でダイアフラム66の外縁部を狭持している。ダイアフラム66は、シリンダ52とボディ53との間に形成される空間を気密に区画し、弁室67を形成している。ダイアフラム66は、中央部にダイアフラム受け68を介して弁軸62が連結し、図中上下方向の駆動力を与えられるようになっている。
The
ボディ53の底面には、薬液弁50を半導体製造装置に組み付けるための取付ブロック54が取り付けられている。取付ブロック54は、板状をなし、組み付けねじを挿通するための挿通孔が複数個設けられている。取付ブロック54は、インサート成形によってインサート金具56が埋設され、成形時に使用する金型によりインサート金具56の開口部に沿って段差69が設けられている。インサート金具56には、ボディ53側から挿通された取付ねじ55が締結され、その締結部分を封止部材1で封止されている。
An
図2は、封止構造を示す拡大図である。
封止部材1は、NBR(ニトリルゴム)、FKM(フッ素ゴム)、FFKM(パーフロロエラストマー)などの弾性材料を略円筒形状に成形したものである。封止部材1は、外周面を段差状に形成されて潰ししろ2とガイド部3とを備える。ボディ53と取付ブロック54との間には、封止部材1を圧縮保持するための段差状の空間が形成され、封止部材1が介在してもボディ53と取付ブロック54とを面接触させられるようになっている。ボディ53には、取付ブロック54に当接する側面から、取付ねじ54を挿通される挿通孔と同軸上に、嵌合凹部4が段差69より大径の円柱状に形成されている。封止部材1の潰ししろ2は、嵌合凹部4より若干大きく形成され、嵌合凹部4の底面と取付ブロック54の側面との間で軸方向に狭持されて弾性変形し、シール力を発揮するようにされている。潰ししろ2には、インサート金具56の端面に突き当たるように段差69に押し込まれて装着されるガイド部3が連続して設けられている。ガイド部3は、段差69より若干大きく形成され、取付ブロック54を逆さにしても封止部材1が脱落しないように取付ブロック54の段差69にガイドされて、組立時における封止部材1の取扱性を良好にしている。封止部材1は、取付ねじ55より小径の貫通孔5が中央に形成され、取付ねじ55をインサート金具56にねじ込むときに貫通孔5の内周面をタッピングされるようになっている。
FIG. 2 is an enlarged view showing the sealing structure.
The sealing
なお、薬液弁50は、従来技術と同様、図3及び図4に示すように、取付ねじ55の頭部71が、カバー51に形成された凹部72に収納され、凹部72の開口部にキャップ53を被せて凹部72を密閉することにより、頭部71の腐食を防止している。
また、取付ねじ55には、インサート金具56にねじ込む先端部を除いて、耐腐食性材料でコーティングC(図2の点部参照)を施し、腐食を防止している。
As shown in FIGS. 3 and 4, in the
Further, the mounting
このような薬液弁50は、操作ポート61に圧縮エアを供給しないときには、圧縮ばね59の弾圧力でダイアフラム66を弁座65に押しつけ、腐食性流体を遮断している。操作ポート61に圧縮エアを供給して、圧縮ばね59に抗してピストン58を上昇させると、ダイアフラム66が弁座65から離間し、腐食性流体が入力ポート63から出力ポート64へと流れる。その後、圧縮エアの供給を停止すると、ダイアフラム66は圧縮ばね59の弾圧力で下降し、弁座65をシールする。
In such a
薬液弁50は、腐食性流体を制御するため、腐食性雰囲気にさらされている。腐食性雰囲気は、カバー51、シリンダ52、ボディ53、取付ブロック54の間に形成される隙間にも侵入する。取付ねじ55は、雄ねじ部がカバー51とシリンダ52との間、シリンダ52とボディ53との間から露出しているが、当該露出部分にコーティングCを施しているため、腐食しない。取付ねじ55の先端部は、コーティングCを施されていないが、封止部材1がボディ53と取付ブロック54との間で押しつぶされて弾性変形し、シール力を発揮している。しかも、封止部材1は取付ねじ55のねじ込み時にタッピングされて、取付ねじ55の先端部外周に密着している。そのため、ボディ53と取付ブロック54の間が腐食性雰囲気にさらされても、封止部材1がインサート金具56と取付ねじ55の先端部を覆って腐食性雰囲気から隔離する。
The
以上説明したように、本実施の形態の薬液弁50によれば、ピストン58の上下動に応じて弁座65にダイアフラム66を当接又は離間させ、腐食性流体を制御する場合、ボディ53と取付ブロック54との間が腐食性雰囲気にさらされるが、ボディ53と取付ブロック54との間に配設される封止部材1を弾性変形させて、取付ねじ55の周りを封止するので(図2参照)、ボディ53と取付ブロック54の間から露出する取付ねじ55を腐食性雰囲気から隔離することができる。特に、封止部材1に加え、取付ねじ55の頭部71をキャップ73で覆って凹部72内に密閉したり、取付ボルト55にコーティングCを施しているので、取付ねじ55の露出部を完全に腐食性雰囲気から隔離できる。
As described above, according to the
また、封止部材1の内径を取付ねじ55の外径より小径に形成し、取付ねじ55をカバー51、シリンダ52、ボディ53、封止部材1、取付ブロック54へとねじ込んだときに取付ねじ55で封止部材1をタッピングし、封止部材1が取付ねじ55の外周面に密着するようにしたので(図2参照)、取付ねじ55をより確実に腐食性雰囲気から隔離することができる。
Further, the inner diameter of the sealing
また、取付ブロック54にインサート成形したインサート金具56の開口部に封止部材1を装着して、取付ブロック54にボディ53、シリンダ52、カバー51等を順次積層し、取付ねじ55をカバー51からシリンダ52、ボディ53、取付ブロック54へと挿通して取付ねじ55の先端部をインサート金具56に締結したときに、封止部材1がインサート金具56と取付ねじ55との締結部を覆って腐食性雰囲気から隔離するとともに、コーティングCによってカバー51とシリンダ52との間やシリンダ52とボディ53との間から露出する取付ねじ55を腐食性雰囲気から隔離するので(図2参照)、ねじの細りを防止して耐圧性を確保することができる。
In addition, the sealing
特に、本実施の形態のように高圧腐食性流体を制御する場合には、ねじの締結部分に、2kN〜3kN程度の力が作用する。しかし、薬液弁50は、インサート金具56や取付ねじ55の腐食を封止部材1で防止しているため、取付ねじ55を締結した初期段階の締結力を維持することができ、圧縮ばね59の弾圧力等に耐えきれずに破壊してバラバラになることがない。
In particular, when the high-pressure corrosive fluid is controlled as in the present embodiment, a force of about 2 kN to 3 kN acts on the fastening portion of the screw. However, since the
尚、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various applications are possible.
(1)例えば、上記実施の形態では、取付ねじ55のカバー51とシリンダ52との間から露出する部分及びシリンダ52とボディ53との間から露出する部分にコーティングCを施し、腐食を防止した。これに対して、カバー51とシリンダ52との間、及び、シリンダ52とボディ53との間に封止部材1を配設して腐食を防止してもよい。
(1) For example, in the said embodiment, the coating C was given to the part exposed between the
(2)例えば、上記実施の形態では、封止部材1にタッピングし、取付ねじ55の雄ねじ部と封止部材1の内周面とを密着させた。これに対して、取付ねじ55の封止部材1を弾性変形させてシール力を発揮できれば、封止部材1を取付ねじ55より大径の円筒状に形成して取付ねじ55と封止部材1との間に隙間があってもよい。
(2) For example, in the above embodiment, the sealing
(3)例えば、上記実施の形態では、封止部材1に予め貫通孔5を形成したが、取付ねじ55のタッピングだけで封止部材1に貫通孔を形成してもよい。
(3) For example, in the above embodiment, the through
(4)例えば、上記実施の形態では、高圧腐食性流体を制御する薬液弁50に封止部材1を取り付けたが、低圧や中圧の薬液弁50に封止部材1を取り付けてもよい。また、薬液弁50は、2ポート式のエアオペレイトバルブであったが、3ポート式のエアオペレイトバルブであってもよい。また、駆動方式はエアオペレイト方式に限らず、手動弁等の他の駆動手段を用いるものであってもよい。
(4) For example, in the said embodiment, although the sealing
1 封止部材
50 薬液弁
53 ボディ
54 取付ブロック
55 取付ねじ
56 インサート金具
63 入力ポート
64 出力ポート
65 弁座
66 ダイアフラム
1 Sealing
Claims (1)
前記取付ねじの周りに設けられ、第1ブロックと第2ブロックとの間で弾性変形する封止部材を有すること、
前記第1ブロックが前記第1ポートと前記第2ポートを形成されたボディであって、
前記第2ブロックが、前記ボディに積層される取付ブロックであって、
前記取付ブロックにインサート成形され、前記取付ねじが締結されるインサート金具を有し、
前記取付ねじが前記インサート金具に締結される部分を除くねじ部に耐腐食性材料をコーティングされ、
前記封止部材が前記インサート金具の開口部に装着されていることを特徴とする薬液弁。 A chemical valve for controlling a corrosive fluid by bringing a valve body into contact with or separating from a valve seat communicating with a first port and a second port using a driving means and integrating a plurality of blocks with mounting screws In
A sealing member provided around the mounting screw and elastically deformed between the first block and the second block;
A body in which the first block is formed with the first port and the second port;
The second block is a mounting block laminated on the body,
Insert molding is performed on the mounting block, and the mounting screws are fastened to the mounting screws.
Corrosion-resistant material is coated on the screw portion except the portion where the mounting screw is fastened to the insert fitting,
The chemical valve, wherein the sealing member is attached to an opening of the insert fitting.
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