JP4569307B2 - Check valve and coating device using the same - Google Patents
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Description
本発明は、基板上にフォトレジストなどを塗布する塗布装置に関するものであり、特に、フォトレジストの逆流を防止する逆止弁、及びそれを用いた塗布装置に関する。 The present invention relates to a coating apparatus that coats a photoresist or the like on a substrate, and more particularly, to a check valve that prevents backflow of photoresist and a coating apparatus that uses the check valve.
液晶表示装置やプラズマディスプレイパネルなどにおいて、カラー表示、反射率の低減、コントラストの改善、分光特性制御などの目的にカラーフィルタを用いることは有用な手段となっている。
この表示装置に用いるカラーフィルタは、多くの場合、カラーフィルタは画素として形成されて使用される。この表示装置用カラーフィルタの画素を形成する方法としては、フォトリソグラフィ法があげられる。
In liquid crystal display devices, plasma display panels, and the like, it is a useful means to use a color filter for purposes such as color display, reflectance reduction, contrast improvement, and spectral characteristic control.
In many cases, the color filter used in the display device is formed as a pixel. As a method of forming the pixel of the color filter for display device, a photolithography method can be given.
例えば、顔料分散法は、このフォトリソグラフィ法の一方法であるが、この顔料分散法において使用するカラーフィルタ形成用のフォトレジストは、着色フォトレジストとも称されている。
この着色フォトレジストをガラス基板上に、例えば、スピンコータを用いて回転塗布し、この塗膜にフォトマスクを介してＵＶ露光し、現像処理により表示装置用カラーフィルタの画素を形成する。
For example, the pigment dispersion method is one method of this photolithography method, and the color filter forming photoresist used in this pigment dispersion method is also called a colored photoresist.
This colored photoresist is spin-coated on a glass substrate using, for example, a spin coater, and this coating film is exposed to UV through a photomask, and pixels of a color filter for a display device are formed by development processing.
従来、液晶表示装置の製造プロセスにおいて、着色フォトレジストなどの塗布装置としては、吐出ノズルからガラス基板の中央部に塗布液を滴下した後、ガラス基板を回転させ塗布液を延展させるスピンコータが多く用いられてきた。 Conventionally, in a manufacturing process of a liquid crystal display device, as a coating device for a colored photoresist or the like, a spin coater that rotates a glass substrate and spreads the coating solution after dropping the coating solution from a discharge nozzle to the center of the glass substrate is often used. Has been.
上記着色フォトレジストは、例えば、高分子樹脂に顔料を分散剤を用いて分散させ、この分散液に重合性モノマー、光重合開始剤、増感剤、溶剤などを添加して調製されるものであるが、着色フォトレジスト中の微小な顔料粒子は凝集し易く、この顔料粒子が核となって着色フォトレジストには凝集体が生じ易いものである。 The colored photoresist is prepared, for example, by dispersing a pigment in a polymer resin using a dispersant and adding a polymerizable monomer, a photopolymerization initiator, a sensitizer, a solvent, etc. to the dispersion. However, the minute pigment particles in the colored photoresist are likely to aggregate, and the pigment particles tend to agglomerate in the colored photoresist.
着色フォトレジストは、着色フォトレジスト中においては、分散剤によって高分子樹脂に顔料を分散させ、分散した顔料の凝集を防ぎ、分散系としての平衡を保つ機能を果たすようにしている。しかし、高分子樹脂を用いて顔料を分散させるには、ボールミル、サンドミルなどの方法で行うものであるが、顔料を一次粒子、または、それに近い状態にまで微粒子化することは困難なことである。ちなみに、顔料は粒径約１μｍ以下の状態である。 In the colored photoresist, the pigment is dispersed in the polymer resin by a dispersant so as to prevent the dispersed pigment from agglomerating and to maintain a balance as a dispersion system. However, in order to disperse the pigment using the polymer resin, it is performed by a method such as a ball mill or a sand mill, but it is difficult to make the pigment into primary particles or a state close thereto. . Incidentally, the pigment has a particle size of about 1 μm or less.
着色フォトレジスト中において、粒径約１μｍ以下の顔料が分散していると、微小な顔料粒子は凝集し易く、この顔料粒子が核となって、着色フォトレジストに凝集体が生じ易いものとなる。
このような凝集体は、その粒径が数μｍに達するものもあり、これが着色フォトレジストの中に存在したまま、吐出ノズルより基板上に滴下され、表示装置用カラーフィルタの画素が形成されると、カラーフィルタの画素上に凝集体が固着した状態になり、カラーフィルタとしては異物と称する欠陥となる。
If a pigment having a particle size of about 1 μm or less is dispersed in the colored photoresist, the fine pigment particles are likely to aggregate, and the pigment particles serve as nuclei, and aggregates are likely to occur in the colored photoresist. .
Some of these agglomerates have a particle size of several μm, and while being present in the colored photoresist, they are dropped onto the substrate from the discharge nozzle to form pixels of the color filter for display device. Then, the aggregates are fixed on the pixels of the color filter, and the color filter becomes a defect called foreign matter.
図６は、ガラス基板上に着色フォトレジストを塗布する塗布装置の一例を模式的に断面で示す説明図である。
図６に示す塗布装置において、レジスト缶（２１）の中の着色フォトレジスト（２２）は、外部からの空気又は窒素などの気体による加圧によって、流路の配管（２３）、第一段
フィルタ（２４）、第二段フィルタ（２５）、及びバルブ（２６）、最終段フィルタ（２７）を経て、吐出ノズル（２８）よりスピンコータのハウジング（２９）内のガラス基板（２０）上に適量が滴下されるようになっている。
図６に示す塗布装置においては、上記凝集体などを各段フィルタ（２４、２５、２７）によって捕捉除去し、吐出ノズル（２８）の先端部よりガラス基板（２０）上に滴下されるようになっている。
FIG. 6 is an explanatory view schematically showing in cross section an example of a coating apparatus for applying a colored photoresist on a glass substrate.
In the coating apparatus shown in FIG. 6, the colored photoresist (22) in the resist can (21) is obtained by applying pressure from a gas such as air or nitrogen from the outside to the pipe (23) of the flow path and the first stage filter. After passing through (24), the second stage filter (25), the valve (26), and the final stage filter (27), an appropriate amount is placed on the glass substrate (20) in the housing (29) of the spin coater from the discharge nozzle (28). It is designed to be dripped.
In the coating apparatus shown in FIG. 6, the agglomerates and the like are captured and removed by each stage filter (24, 25, 27) and dropped onto the glass substrate (20) from the tip of the discharge nozzle (28). It has become.
図７は、図６中におけるレジスト缶（２１）を拡大して示す説明図である。図７に示すように、レジスト缶（２１）には配管（２３）が引き込まれれており、配管（２３）の先端部（２３Ａ）は、レジスト缶（２１）の底部近くに達している。先端部（２３Ａ）の最下部（Ｂ）は配管が開口したままの切り落としとなっている。
外部からの空気又は窒素などの気体による加圧によって、着色フォトレジスト（２２）は、先端部（２３Ａ）の切り落としとなっている最下部（Ｂ）から配管（２３）内に押し出される。
FIG. 7 is an explanatory view showing the resist can (21) in FIG. 6 in an enlarged manner. As shown in FIG. 7, the pipe (23) is drawn into the resist can (21), and the tip (23A) of the pipe (23) reaches near the bottom of the resist can (21). The lowermost part (B) of the tip part (23A) is cut off with the pipe open.
The colored photoresist (22) is pushed out into the pipe (23) from the lowermost part (B) where the tip part (23A) is cut off by pressurization with a gas such as air or nitrogen from the outside.
上記のようなレジスト缶（２１）において、レジスト缶（２１）内の着色フォトレジスト（２２）が消費され、着色フォトレジスト（２２）が充填されている次のレジスト缶（２１）に交換する際に、先端部（２３Ａ）を取り外すと、最下部（Ｂ）から配管（２３）内の着色フォトレジストが逆流し、レジスト缶（２１）の近辺に吐出されるといった問題が生じる。 In the resist can (21) as described above, when the colored photoresist (22) in the resist can (21) is consumed and replaced with the next resist can (21) filled with the colored photoresist (22). In addition, when the tip (23A) is removed, the colored photoresist in the pipe (23) flows backward from the lowermost part (B) and is discharged to the vicinity of the resist can (21).
また、次のレジスト缶（２１）への交換後に、着色フォトレジストの供給を再開すると、交換時の、先端部（２３Ａ）からの着色フォトレジストの逆流による吐出によって、吐出ノズル（２８）から空気が吸い込まれ、配管（２３）内にては着色フォトレジストと空気が混ざり、着色フォトレジスト中には気泡が発生する。すなわち、「泡かみ」と称する問題が生じる。
着色フォトレジスト中に気泡が混入したまま吐出ノズルより基板上に滴下され、表示装置用カラーフィルタの画素が形成されると、カラーフィルタの画素上にピンホール等が生じ、カラーフィルタとしてはピンホールと称する欠陥となる。
When bubbles are mixed onto a colored photoresist and dropped onto a substrate from a discharge nozzle to form pixels of a color filter for a display device, a pinhole or the like is generated on the pixel of the color filter. It becomes a defect called.
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、着色フォトレジストを用い顔料分散法により表示装置用カラーフィルタを製造する際に、着色フォトレジストを塗布する塗布装置において、次のレジスト缶に交換するためにレジスト缶から配管の先端部を取り外しても、最下部から配管内の着色フォトレジストが逆流し、レジスト缶の近辺に吐出されることのない逆止弁を提供することを課題とするものである。
また、上記逆止弁を用いた塗布装置を提供することを課題とする。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems. In a coating apparatus for applying a colored photoresist when manufacturing a color filter for a display device using a colored photoresist by a pigment dispersion method, the following resist is used. To provide a check valve in which the colored photoresist in the pipe flows backward from the bottom even if the tip of the pipe is removed from the resist can to replace it with a can, and is not discharged near the resist can. It is to be an issue.
It is another object of the present invention to provide a coating apparatus using the check valve.
本発明は、フォトレジストを塗布する塗布装置用の逆止弁であって、
１）上部に配管と接続する上部口、小径部が上部口の下部に通じ大径部を下方に向けたホーン状の中空部、中空部の下部に段部を有するフランジ、
２）該段部と対応してチャックキャップを挟持、固定する頭部、大径部が頭部に接し小径部を下方に向けたホーン状の中空部、中空部の下部に先端口を有し、中空部の下部と先端口の堺を弁座とするヘッドノズル、
３）前記フランジの段部と該ヘッドノズルの頭部の間に挟持、固定され、チャックボールの流出を防止する複数個の貫通口を有するチャックキャップ、
４）該チャックキャップの下方、前記ヘッドノズルの中空部内に封入される１個のチャックボール、
を少なくとも具備することを特徴とする逆止弁である。
The present invention is a check valve for a coating apparatus for applying a photoresist,
1) An upper port connected to the pipe at the upper part, a horn-shaped hollow part with a small-diameter part leading to the lower part of the upper part and a large-diameter part facing downward, a flange having a step part at the lower part of the hollow part,
2) Corresponding to the stepped portion, the head for clamping and fixing the chuck cap, the horn-shaped hollow portion with the large-diameter portion in contact with the head and the small-diameter portion facing downward, and the tip opening at the bottom of the hollow portion , A head nozzle with a valve seat at the bottom of the hollow part and the flange at the tip,
3) A chuck cap that is clamped and fixed between the stepped portion of the flange and the head of the head nozzle, and has a plurality of through holes that prevent the chuck ball from flowing out.
4) One chuck ball enclosed in the hollow portion of the head nozzle below the chuck cap;
It is a check valve characterized by comprising at least.
また、本発明は、上記発明による逆止弁において、前記フランジ及びヘッドノズルがステンレス鋼であり、チャックキャップ及びチャックボールがフッ素系樹脂であることを特徴とする逆止弁である。 In the check valve according to the present invention, the flange and the head nozzle are made of stainless steel, and the chuck cap and the chuck ball are made of a fluororesin.
また、本発明は、請求項１又は請求項２記載の逆止弁を、フォトレジストを取り入れる配管の先端部に取り付けたことを特徴とする塗布装置である。
Moreover, this invention is the coating device which attached the check valve of Claim 1 or
本発明は、１）上部に配管と接続する上部口、小径部が上部口の下部に通じ大径部を下方に向けたホーン状の中空部、中空部の下部に段部を有するフランジ、２）該段部と対応してチャックキャップを挟持、固定する頭部、大径部が頭部に接し小径部を下方に向けたホーン状の中空部、中空部の下部に先端口を有し、中空部の下部と先端口の堺を弁座とするヘッドノズル、３）前記フランジの段部と該ヘッドノズルの頭部の間に挟持、固定され、チャックボールの流出を防止する複数個の貫通口を有するチャックキャップ、４）該チャックキャップの下方、前記ヘッドノズルの中空部内に封入される１個のボール具備する逆止弁であるので、次のレジスト缶に交換するためにレジスト缶から配管の先端部を取り外しても、最下部から配管内の着色フォトレジストが逆流し、レジスト缶の近辺に吐出されることのない逆止弁となる。 The present invention includes: 1) an upper port connected to the pipe at the upper part, a horn-shaped hollow part with a small diameter part leading to the lower part of the upper port and a large diameter part facing downward, a flange having a step part at the lower part of the hollow part, ) Corresponding to the stepped portion, the chuck cap is clamped and fixed, the large diameter portion is in contact with the head portion, the small diameter portion is directed downward, the horn-shaped hollow portion, the lower portion of the hollow portion has a tip opening, A head nozzle having a valve seat with a lower part of the hollow part and a flange at the tip end, and 3) a plurality of through holes that are clamped and fixed between the stepped part of the flange and the head part of the head nozzle to prevent the chuck ball from flowing out. A chuck cap having a mouth, and 4) a check valve comprising a single ball enclosed in the hollow portion of the head nozzle below the chuck cap, so that a pipe is connected from the resist can to the next resist can. Even if you remove the tip of the Color photoresist flows backward, the check valve that is never discharged to the vicinity of the resist can.
また、本発明は、上記逆止弁を、フォトレジストを取り入れる配管の先端部に取り付けた塗布装置であるので、次のレジスト缶に交換するためにレジスト缶から配管の先端部を取り外しても、最下部から配管内の着色フォトレジストが逆流し、レジスト缶の近辺に吐出しない塗布装置となる。 Further, the present invention is a coating apparatus in which the check valve is attached to the tip of the pipe into which the photoresist is taken in, so even if the tip of the pipe is removed from the resist can to replace it with the next resist can, The colored photoresist in the pipe flows backward from the bottom, and the coating apparatus does not discharge to the vicinity of the resist can.
本発明を実施の形態に基づいて以下に説明する。
図１は、本発明による、フォトレジストを塗布する塗布装置用の逆止弁の一例の断面図である。また、図２は、逆止弁を構成する部品を分解して示す断面図である。図１及び図２に示すように、逆止弁は、フランジ（１０）、ヘッドノズル（３０）、チャックキャップ（５０）、チャックボール（７０）で構成されている。
The present invention will be described below based on the embodiments.
FIG. 1 is a cross-sectional view of an example of a check valve for a coating apparatus for applying a photoresist according to the present invention. FIG. 2 is an exploded cross-sectional view showing components constituting the check valve. As shown in FIGS. 1 and 2, the check valve includes a flange (10), a head nozzle (30), a chuck cap (50), and a chuck ball (70).
フランジ（１０）は、上部に配管（２３）と接続する上部口（１１）、小径部が上部口の下部（Ｃ）に通じ大径部を下方に向けたホーン状の中空部（１２）、中空部の下部に段部（１３）を有したものである。
ヘッドノズル（３０）は、段部（１３）と対応してチャックキャップ（５０）を挟持、固定する頭部（３１）、大径部が頭部に接し（Ｄ）小径部を下方に向けたホーン状の中空部（３２）、中空部の下部に先端口（３３）を有したものであり、中空部の下部と先端口の堺を弁座（３４）としている。
The flange (10) has an upper port (11) connected to the pipe (23) at the upper part, a horn-shaped hollow part (12) whose small diameter part leads to the lower part (C) of the upper port and the large diameter part faces downward, A step portion (13) is provided at the lower portion of the hollow portion.
The head nozzle (30) has a head portion (31) for holding and fixing the chuck cap (50) corresponding to the step portion (13), a large diameter portion in contact with the head portion (D), and a small diameter portion directed downward. A horn-shaped hollow part (32) has a tip opening (33) at the lower part of the hollow part, and a flange between the lower part of the hollow part and the tip opening serves as a valve seat (34).
チャックキャップ（５０）は、フランジの段部（１３）とヘッドノズルの頭部（３１）の間に挟持、固定され、チャックボール（７０）の流出を防止する複数個の貫通口（５１）を有したものである。
チャックボール（７０）は、１個であり、チャックキャップ（５０）の下方、ヘッドノズル（３０）の中空部（３２）内に、移動が自在に封入されている。
The chuck cap (50) is sandwiched and fixed between the flange step (13) and the head nozzle head (31), and has a plurality of through holes (51) for preventing the chuck ball (70) from flowing out. I have it.
The chuck ball (70) is one piece, and is movably enclosed in the hollow portion (32) of the head nozzle (30) below the chuck cap (50).
図３は、チャックキャップ（５０）の一例の平面図である。図３に示すＸ−Ｘ’線の断
面が、図１及び図２に示すチャックキャップ（５０）の断面に相当する。図３に示すように、この一例のチャックキャップ（５０）は３個の円形の貫通口（５１）を有している。この貫通口（５１）の直径（φ１）は、図４に示すチャックボール（７０）の直径（φ２）より小さなものである。また、同様に、図２に示す、中空部の下部に先端口（３３）の直径（φ３）は、チャックボール（７０）の直径（φ２）より小さなものである。
FIG. 3 is a plan view of an example of the chuck cap (50). The cross section taken along line XX ′ shown in FIG. 3 corresponds to the cross section of the chuck cap (50) shown in FIGS. As shown in FIG. 3, the chuck cap (50) of this example has three circular through holes (51). The diameter (φ1) of the through hole (51) is smaller than the diameter (φ2) of the chuck ball (70) shown in FIG. Similarly, the diameter (φ3) of the tip port (33) at the lower part of the hollow portion shown in FIG. 2 is smaller than the diameter (φ2) of the chuck ball (70).
本発明による、フォトレジストを塗布する塗布装置用の逆止弁は、図７に示す配管（２３）の先端部（２３Ａ）の切り落としとなっている最下部（Ｂ）に取り付けて用いられる。 A check valve for a coating apparatus for applying a photoresist according to the present invention is used by being attached to the lowermost part (B) where the tip part (23A) of the pipe (23) shown in FIG. 7 is cut off.
図５（ａ）、（ｂ）は、本発明による逆止弁の作動を説明する模式図である。
図５（ａ）は、着色フォトレジスト（２２）を供給している際の状態を示し、（ｂ）は、レジスト缶（２１）を交換する際の状態を示している。
図５（ａ）に示すように、レジスト缶（２１）内で、着色フォトレジスト（２２）は、外部からの窒素ガスによる加圧によって、矢印で示すように、先端口（３３）から流入し、中空部（３２）内にて、移動が自在に封入されたチャックボール（７０）を押し上げ、チャックキャップ（５０）の複数個の貫通口（５１）の中の１個に圧着する。
着色フォトレジスト（２２）は、チャックボール（７０）を貫通口に圧着したまま、複数個の貫通口（５１）の中の他の貫通口（５１）を通過し、中空部（１２）、上部口（１１）を経て配管（２３）内に流入する。
FIGS. 5A and 5B are schematic views for explaining the operation of the check valve according to the present invention.
FIG. 5A shows a state when the colored photoresist (22) is being supplied, and FIG. 5B shows a state when the resist can (21) is replaced.
As shown in FIG. 5A, in the resist can (21), the colored photoresist (22) flows from the tip opening (33) as indicated by an arrow by external nitrogen gas pressurization. In the hollow portion (32), the chuck ball (70) encapsulated in a freely movable manner is pushed up and pressed into one of the plurality of through holes (51) of the chuck cap (50).
The colored photoresist (22) passes through the other through-holes (51) in the plurality of through-holes (51) while the chuck ball (70) is pressure-bonded to the through-holes, and the hollow portion (12), upper part It flows into the pipe (23) through the mouth (11).
一方、図５（ｂ）に示すように、レジスト缶（２１）を交換する際に、先端部を取り外すと、チャックボール（７０）は、自重、及び矢印で示す逆流せんとする着色フォトレジスト（２２）の圧力によって、中空部（３２）の下部に圧着される。中空部（３２）の下部と先端口（３３）との堺は弁座（３４）となっており、チャックボール（７０）は弁座（３４）との接触部で先端口（３３）を密閉する。 On the other hand, as shown in FIG. 5 (b), when the tip portion is removed when the resist can (21) is replaced, the chuck ball (70) becomes a colored photoresist (with its own weight and a reverse flow indicated by an arrow). The pressure is applied to the lower portion of the hollow portion (32) by the pressure of 22). The flange between the lower portion of the hollow portion (32) and the tip opening (33) forms a valve seat (34), and the chuck ball (70) seals the tip opening (33) at the contact portion with the valve seat (34). To do.
本発明は、上記のような構造を有し、また作動をする逆止弁であるので、次のレジスト缶に交換するためにレジスト缶から配管の先端部を取り外しても、最下部から配管内の着色フォトレジストが逆流し、レジスト缶の近辺に吐出されることのない逆止弁として機能する。
これにより、着色フォトレジストの逆流による吐出によって、吐出ノズルから空気が吸い込まれ、配管内にては着色フォトレジストと空気が混ざり、着色フォトレジスト中には気泡が発生するといった、すなわち、「泡かみ」と称する問題は生じない。従って、着色フォトレジスト中に気泡が混入したまま吐出ノズルより基板上に滴下されることはなく、カラーフィルタの画素上にピンホール等が生じ、カラーフィルタとしてピンホールと称する欠陥が発生することは無くなる。
となる。
Since the present invention has a structure as described above and is a check valve that operates, even if the tip of the pipe is removed from the resist can for replacement with the next resist can, The colored photoresist flows back and functions as a check valve that is not discharged in the vicinity of the resist can.
As a result, air is sucked from the discharge nozzle due to the backflow of the colored photoresist, the colored photoresist and air are mixed in the piping, and bubbles are generated in the colored photoresist. Does not arise. Therefore, bubbles are not dropped on the substrate from the discharge nozzle while bubbles are mixed in the colored photoresist, pinholes or the like are generated on the pixels of the color filter, and defects called pinholes are generated as color filters. Disappear.
It becomes.
また、本発明は、フランジ及びヘッドノズルがステンレス鋼であり、チャックキャップ及びボールがフッ素系樹脂であることを特徴としている。これら耐薬品性、耐溶剤性を備えた材料を用いるので、着色フォトレジストの塗布に悪影響を与えることはない。 Further, the present invention is characterized in that the flange and the head nozzle are made of stainless steel, and the chuck cap and the ball are made of a fluororesin. Since these materials having chemical resistance and solvent resistance are used, application of the colored photoresist is not adversely affected.
１０…フランジ
１１…フランジの上部口
１２…フランジの中空部
１３…フランジの段部
２０…ガラス基板
２１…レジスト缶
２２…着色フォトレジスト
２３…配管
２３Ａ…配管の先端部
２４…第一段フィルタ
２５…第二段フィルタ
２６…バルブ
２７…最終段フィルタ
２８…吐出ノズル
２９…ハウジング
３０…ヘッドノズル
３１…ヘッドノズルの頭部
３２…ヘッドノズルの中空部
３３…中空部の下部の先端口
３４…弁座
５０…チャックキャップ
５１…チャックキャップの貫通口
７０…チャックボール
Ｂ…先端部最下部
φ１…貫通口の直径
φ２…チャックボールの直径
φ３…先端口の直径
DESCRIPTION OF
Claims (3)
１）上部に配管と接続する上部口、小径部が上部口の下部に通じ大径部を下方に向けたホーン状の中空部、中空部の下部に段部を有するフランジ、
２）該段部と対応してチャックキャップを挟持、固定する頭部、大径部が頭部に接し小径部を下方に向けたホーン状の中空部、中空部の下部に先端口を有し、中空部の下部と先端口の堺を弁座とするヘッドノズル、
３）前記フランジの段部と該ヘッドノズルの頭部の間に挟持、固定され、チャックボールの流出を防止する複数個の貫通口を有するチャックキャップ、
４）該チャックキャップの下方、前記ヘッドノズルの中空部内に封入される１個のチャックボール、
を少なくとも具備することを特徴とする逆止弁。 A check valve for a coating apparatus for applying a photoresist,
1) An upper port connected to the pipe at the upper part, a horn-shaped hollow part with a small-diameter part leading to the lower part of the upper part and a large-diameter part facing downward, a flange having a step part at the lower part of the hollow part,
2) Corresponding to the stepped portion, the head for clamping and fixing the chuck cap, the horn-shaped hollow portion with the large-diameter portion in contact with the head and the small-diameter portion facing downward, and the tip opening at the bottom of the hollow portion , A head nozzle with a valve seat at the bottom of the hollow part and the flange at the tip,
3) A chuck cap that is clamped and fixed between the stepped portion of the flange and the head of the head nozzle, and has a plurality of through holes that prevent the chuck ball from flowing out.
4) One chuck ball enclosed in the hollow portion of the head nozzle below the chuck cap;
A check valve comprising at least
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