JP4564458B2 - Finite linear motion guide unit equipped with cage slip prevention mechanism - Google Patents
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Description
この発明は,一対の長尺な軌道台を保持器で保持された転動体を介して互いに相対移動させる保持器のずれ防止機構を備えた有限直動案内ユニットに関する。 The present invention relates to a finite linear motion guide unit provided with a cage shift prevention mechanism for moving a pair of long rails relative to each other via rolling elements held by a cage.
近年,半導体製造装置等の各種の機械装置では,高加減速化,高速化,コンパクト化,高精度化,低摺動抵抗化等の各種の性能が求められており,これらの機械装置に対して有限直動案内ユニットが多く使用されるようになった。また,従来の保持器のずれ防止機構を備えた有限直動案内ユニットは,小型のものが大半であったが,更に大きなタイプのものへ適用される大型の有限直動案内ユニットが要望されるようになった。 In recent years, various types of machine equipment such as semiconductor manufacturing equipment have been required to have various performances such as high acceleration / deceleration, high speed, compactness, high precision, and low sliding resistance. Many finite linear motion guide units have been used. In addition, most of the finite linear motion guide units equipped with the conventional cage slip prevention mechanism are small, but there is a demand for a large finite linear motion guide unit that can be applied to larger types. It became so.
従来,有限直動案内ユニットとして,本出願人に係るものが先に特許出願されている。該有限直動案内ユニットは,軌道台間に転動体の保持機能を持つ保持器に配設し,該保持器にラックとピニオンから成る保持器のずれ防止機構を設け,該ずれ防止機構によって保持器の軌道台からの脱落を防止するものであり,保持器に形成された嵌着孔に嵌着されたホルダは,そのフランジ部に設けた複数のピンを保持器に形成したピン孔に嵌入した後に,ピンの端部をカシメ加工し,ホルダを保持器に固着している。ピニオンは,ホルダ部のホルダ孔部にピニオンの軸部を押し込むことによってホルダに回転自在に保持されている。上記有限直動案内ユニットでは,ピニオンは,例えば,従来のインボリュート曲線を基本とした歯形を有するものとは異なり,歯部が円板部の外周から延びる歯元部とそれに一体の半円形の先端部とからなる突出部から構成されている。また,ラックは,長手方向に沿って噛み合うピニオンの突出部の歯部の回転ピッチと合致するピッチで歯溝となる噛み合い凹部が形成され,噛み合い凹部は,ラック歯部と底部によって一体構造に構成されている。また,ピニオンの歯部の先端部の半径よりやや大きい径でなる円形凹部に形成され,ラック歯部は歯先部である先端部が尖ることなく平坦面に形成されている。更に,ラックは軌道溝の逃げ溝に配設されている。また,ピニオンは,保持器に固着されたホルダの嵌挿孔に,円板部を嵌挿すると共にホルダ部のホルダ孔部にピニオンの軸部を押し込むことによって,ホルダを介して保持器に回転自在に保持されている(例えば,特許文献1参照)。 Conventionally, as a finite linear motion guide unit, a patent application has been filed for the applicant. The finite linear motion guide unit is disposed in a cage having a function of holding a rolling element between the track bases, and the cage is provided with a cage slip prevention mechanism including a rack and a pinion, and is held by the slip prevention mechanism. The holder fitted in the fitting hole formed in the cage is inserted into the pin hole formed in the cage. After that, the end of the pin is crimped and the holder is fixed to the cage. The pinion is rotatably held by the holder by pushing the shaft part of the pinion into the holder hole of the holder part. In the finite linear motion guide unit, the pinion is different from, for example, a tooth shape based on a conventional involute curve, and has a tooth base portion extending from the outer periphery of the disc portion and a semicircular tip integrated therewith. It is comprised from the protrusion part which consists of a part. In addition, the rack is formed with a meshing recess that becomes a tooth groove at a pitch that matches the rotation pitch of the tooth portion of the protruding portion of the pinion that meshes along the longitudinal direction, and the meshing recess is configured integrally with the rack tooth portion and the bottom portion. Has been. Also, the pinion is formed in a circular recess having a diameter slightly larger than the radius of the tip of the tooth portion, and the rack tooth portion is formed on a flat surface without a sharp tip of the tooth tip. Further, the rack is disposed in the clearance groove of the raceway groove. In addition, the pinion rotates into the holder through the holder by inserting the disc part into the holder insertion hole fixed to the holder and pushing the shaft part of the pinion into the holder hole part of the holder part. It is held freely (see, for example, Patent Document 1).
また,別のタイプの有限直動案内ユニットとして,本出願人に係るものが先に特許出願されている。該有限直動案内ユニットは,保持器のずれ防止機構を備えており,ラックは,ピニオンが噛み合うための予めきめられた間隔に隔置して設けられた歯部,及び歯部の両側面に長手方向に連続して延び,歯部を互いに連結する側壁部で一体構造に形成され,軌道台の逃げ溝の奥に形成された幅広の底部に配設されている。また,ラックの歯部は,歯先部である先端部が尖ることなく平坦面に形成されている。また,ピニオンは,例えば,従来のインボリュート曲線を基本とした歯形を有するものとは異なり,円板部の外周に隔置して先端部が半径の円形でなる歯部が形成されたものであり,保持器に固着されたホルダの嵌挿孔に,円板部を嵌挿すると共にホルダ部の貫通孔にピニオンの軸部を押し込むことによって,ホルダを介して保持器に回転自在に保持されている(例えば,特許文献2参照)。 As another type of finite linear motion guide unit, a patent application has been filed for the applicant. The finite linear motion guide unit is provided with a cage slip prevention mechanism, and the rack is provided on tooth portions provided at predetermined intervals for engaging the pinion and on both side surfaces of the tooth portions. It extends continuously in the longitudinal direction and is integrally formed with side wall portions that connect the tooth portions to each other, and is disposed on a wide bottom portion formed at the back of the escape groove of the raceway. Further, the tooth portion of the rack is formed on a flat surface without a sharp tip of the tooth tip portion. Further, for example, unlike a conventional pinion having a tooth profile based on an involute curve, a pinion is formed with a tooth part spaced at the outer periphery of a disk part and having a circular tip. The disc is inserted into the insertion hole of the holder fixed to the cage, and the shaft of the pinion is pushed into the through hole of the holder, so that the holder is rotatably held by the holder. (For example, refer to Patent Document 2).
また,従来,回転運動と直線運動の変換装置が知られている。該回転運動と直線運動の変換装置は,ラックにローラを設け,ピニオンに歯を形成したものであり,ラックとピニオンとの間には,予圧が常に加えられるように設けられている。また,ピニオンは修正インボリュート曲線を採用した歯車になっている。また,複数のローラは,ラックの複数の歯と同時に噛み合うように設けられている(例えば,特許文献3参照)。
しかしながら,上記特許文献1に開示された有限直動案内ユニットは,大形の有限直動案内ユニットでは,ラック&ピニオンに負荷されるずれ防止の力も大きくなり,ラックを逃げ溝にしっかりと固着し,ピニオンをホルダにしっかりと保持することが必要になっている。また,対向したラックの間隔が多少変化しても,ラック&ピニオンの噛み合いが外れることが無いような構造が要求され,更に改善されるべき問題を有している。即ち,上記有限直動案内ユニットは,小形のものに適しており,大形のものでは,ホルダも大きくなり,ホルダ自身を変形させることが困難になり,また,ピニオンに負荷されるずれ防止の力も大きくなり,ピニオンをホルダに更に堅固に支持する必要がある等の問題を有している。
However, the finite linear motion guide unit disclosed in the above-mentioned
また,上記特許文献2に開示された有限直動案内ユニットは,ホルダを保持器に複数のピンで固着しなければならず,面倒な組立になり,それぞれの部材の加工も困難なものになっている。また,上記有限直動案内ユニットを大形の機械装置に適用する場合には,ピニオンに負荷されるずれ防止の力も大きくなり,ピニオンをホルダにしっかりと支持する必要があるという課題があった。即ち,大形の有限直動案内ユニットでは,ラック&ピニオンに負荷されるずれ防止のカも大きくなり,ピニオンをホルダにしっかりと保持し,長尺状になるラックを逃げ溝に配設する構成が必要であり,また,対向したラックの間隔が多少変化しても,ラック&ピニオンの噛み合いが外れることが無いような構造に構成されなければならないという問題がある。
In addition, the finite linear motion guide unit disclosed in
また,上記特許文献3に開示された回転運動と直線運動の変換装置は,ラック&ピニオンによるものであり,回転運動と直線運動との運動変換を可能にする動力伝達装置であり,ピニオンとラックが複雑な歯形に形成されている。しかしながら,有限直動案内ユニットに設ける保持器のずれ防止機構としては,一対のラックとピニオンとのシンプルな噛み合いであり,両者に噛み合いが外れない構造でなければならず,簡単な構成のものが要求されているので,上記のように複雑な変換装置は,有限直動案内ユニットに適用することは不向きなものである。
Further, the rotational motion and linear motion conversion device disclosed in
この発明の目的は,上記の課題を解決することであり,従来よりも大形な機械装置に適用可能な保持器のずれ防止機構を備えたものであり,特に,ホルダに収容されて回転自在に装着されるピニオンを上記特許文献1や特許文献2の有限直動案内ユニットよりも大形のものに適用可能な構成にするため,ピニオンの支持構造を堅固に高剛性に構成してラック&ピニオンが保持器ずれの大きな作用力に対抗できるように構成し,軌道台が長尺状になってもラックを軌道台に容易に配設できるように構成し,ピニオンが長尺状に形成されたラック間の位置変動に対してラックに噛み合いできる保持器のずれ防止機構を備えた有限直動案内ユニットを提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and is provided with a cage slip prevention mechanism that can be applied to a larger mechanical device than in the prior art. In order to make the pinion to be mounted on the rack larger than the finite linear motion guide units of
この発明は,長手方向壁面に互いに対向する軌道溝がそれぞれ形成された相対移動する一対の軌道台,前記軌道台の前記軌道溝間に形成された軌道路に配設されている複数の転動体を保持する前記長手方向に延びた板状でなる保持器,及び前記保持器が前記軌道台間でずれるのを防止するずれ防止機構を有し,前記ずれ防止機構は,前記軌道台にそれぞれ設けられたラック,及び前記ラックの歯部にそれぞれ噛み合う歯部を備え且つ前記保持器に固設されたホルダに回転自在に装着されたピニオンからなる有限直動案内ユニットにおいて,
前記ピニオンは,円板状でなる本体部,前記本体部の外周から延びて周方向に均一に隔置して形成された前記歯部,及び前記本体部の回転中心となって前記ホルダに回転自在に保持される軸部を備えており,前記ピニオンの前記歯部は,歯直角平面における歯先面が平坦であって両側の歯面が互いに平行に延びて歯厚が実質的に均一の矩形形状の歯形に形成され,前記ラックは前記軌道台の前記軌道溝の逃げ溝に形成された嵌挿溝に配設され,前記嵌挿溝は前記逃げ溝の溝底から離れた位置に形成され,前記ラックと前記逃げ溝の前記溝底との間には隙間が形成されていることを特徴とする有限直動案内ユニットに関する。
The present invention relates to a pair of relatively moving track bases each formed with a track groove facing each other on a longitudinal wall surface, and a plurality of rolling elements arranged in a track path formed between the track grooves of the track base A plate-like cage extending in the longitudinal direction, and a displacement prevention mechanism for preventing the cage from shifting between the rails, each of which is provided on the rail. A finite linear motion guide unit comprising a rack and a pinion that includes a tooth portion that meshes with a tooth portion of the rack and that is rotatably mounted on a holder fixed to the cage,
The pinion rotates to the holder as a disc-shaped main body, the teeth extending from the outer periphery of the main body and spaced uniformly in the circumferential direction, and the rotation center of the main body. The tooth portion of the pinion has a flat tooth tip surface in a plane perpendicular to the tooth and the tooth surfaces on both sides extend in parallel to each other so that the tooth thickness is substantially uniform. Formed in a rectangular tooth shape, the rack is disposed in a fitting insertion groove formed in the clearance groove of the raceway groove of the raceway, and the fitting insertion groove is formed at a position away from the groove bottom of the escape groove. The present invention also relates to a finite linear motion guide unit characterized in that a gap is formed between the rack and the groove bottom of the escape groove .
また,この発明は,長手方向壁面に互いに対向する軌道溝がそれぞれ形成された相対移動する一対の軌道台,前記軌道台の前記軌道溝間に形成された軌道路に配設されている複数の転動体を保持する前記長手方向に延びた板状でなる保持器,及び前記保持器が前記軌道台間でずれるのを防止するずれ防止機構を有し,前記ずれ防止機構は,前記軌道台にそれぞれ設けられたラック,及び前記ラックの歯部にそれぞれ噛み合う歯部を備え且つ前記保持器に固設されたホルダに回転自在に装着されたピニオンからなる有限直動案内ユニットにおいて,
前記ピニオンは,円板状でなる本体部,前記本体部の外周から延びて周方向に均一に隔置して形成された前記歯部,及び前記本体部の回転中心となって前記ホルダに回転自在に保持される軸部を備えており,前記ピニオンの前記歯部は,歯直角平面における歯先面が平坦であって両側の歯面が互いに平行に延びて歯厚が実質的に均一の矩形形状の歯形に形成され,前記ホルダは,前記保持器の保持板を挟んで嵌着する一対のホルダ部材から成り,前記ピニオンは,それぞれの前記ホルダ部材に形成された軸受部に回転自在に挟持されていることを特徴とする有限直動案内ユニットに関する。
Further, the present invention provides a pair of relatively moving track bases each formed with a track groove facing each other on a longitudinal wall surface, and a plurality of track tracks disposed between the track grooves of the track base. A plate-like cage extending in the longitudinal direction for holding the rolling elements, and a slip prevention mechanism for preventing the cage from shifting between the rails, the slip prevention mechanism being attached to the rails In a finite linear motion guide unit comprising a rack provided respectively, and a pinion having a tooth portion meshing with a tooth portion of the rack and rotatably mounted on a holder fixed to the cage,
The pinion rotates to the holder as a disc-shaped main body, the teeth extending from the outer periphery of the main body and spaced uniformly in the circumferential direction, and the rotation center of the main body. The tooth portion of the pinion has a flat tooth tip surface in a plane perpendicular to the tooth and the tooth surfaces on both sides extend in parallel to each other so that the tooth thickness is substantially uniform. The holder is formed of a pair of holder members that are fitted with the holding plate of the retainer sandwiched therebetween, and the pinion is rotatable on a bearing portion formed on each of the holder members. The present invention relates to a finite linear motion guide unit characterized by being pinched.
この有限直動案内ユニットにおいて,前記ホルダは,前記ホルダ部材同士がスナップフィット結合により掛止固定される形状に構成されている。更に,前記スナップフィット結合は,一方の前記ホルダ部材に形成された舌片状に延びる爪部と他方の前記ホルダ部材に形成された係止段部,及び前記他方の前記ホルダ部材に形成された舌片状に延びる爪部と前記一方の前記ホルダ部材に形成された係止段部とで掛止固定されている。 In this finite linear motion guide unit, the holder is configured in a shape in which the holder members are latched and fixed by snap-fit coupling. Further, the snap-fit coupling is formed on a claw portion extending in a tongue shape formed on one of the holder members, a locking step portion formed on the other holder member, and the other holder member. It is latched and fixed by the claw part extended in the shape of a tongue piece, and the latching step part formed in said one said holder member.
また,前記ラックは,前記ピニオンが噛み合うための所定間隔に隔置して設けられた歯部,及び前記歯部の両側面に長手方向に連続して延び前記歯部を互いに一体構造に連結する連結柱部で構成され,前記連結柱部間と隣り合う前記歯部間とで囲まれる部分が前記ピニオンの前記歯部が貫通可能な開口部に形成されている。更に,前記ラックの前記歯部は,歯先面が半円形面に形成されている。また,前記ピニオンは,前記ラックとの噛み合いを滑らかにするために,歯底が円形凹部に形成され,歯末の歯面が円弧面に形成されている。The rack includes tooth portions provided at predetermined intervals for meshing the pinion, and continuously extends in the longitudinal direction on both side surfaces of the tooth portions, and connects the tooth portions to each other in an integral structure. A portion constituted by connecting column portions and surrounded by the connecting column portions and between the adjacent tooth portions is formed in an opening through which the tooth portion of the pinion can penetrate. Further, the tooth portion of the rack has a semi-circular surface at the tip. The pinion has a tooth bottom formed in a circular recess and a tooth surface of a tooth end formed in an arc surface in order to make the meshing with the rack smooth.
また,この発明は,長手方向壁面に互いに対向する軌道溝がそれぞれ形成された相対移動する一対の軌道台,前記軌道台の前記軌道溝間に形成された軌道路に配設されている複数の転動体を保持する前記長手方向に延びた板状でなる保持器,及び前記保持器が前記軌道台間でずれるのを防止するずれ防止機構を有し,前記ずれ防止機構は,前記軌道台にそれぞれ設けられたラック,及び前記ラックの歯部にそれぞれ噛み合う歯部を備え且つ前記保持器に固設されたホルダに回転自在に装着されたピニオンからなる有限直動案内ユニットにおいて,
前記ラックは前記軌道台の前記軌道溝の逃げ溝に形成された嵌挿溝に配設され,前記軌道台の前記軌道溝の逃げ溝に形成された前記嵌挿溝は,前記逃げ溝の溝底から離れた位置に切削加工により形成されていることを特徴とする有限直動案内ユニットに関する。
Further, the present invention provides a pair of relatively moving track bases each formed with a track groove facing each other on a longitudinal wall surface, and a plurality of track tracks disposed between the track grooves of the track base. A plate-like cage extending in the longitudinal direction for holding the rolling elements, and a slip prevention mechanism for preventing the cage from shifting between the rails, the slip prevention mechanism being attached to the rails In a finite linear motion guide unit comprising a rack provided respectively, and a pinion having a tooth portion meshing with a tooth portion of the rack and rotatably mounted on a holder fixed to the cage,
The rack is disposed in an insertion groove formed in the escape groove of the raceway groove of the base, and the fit insertion groove formed in the escape groove of the raceway groove of the base is a groove of the escape groove. be in a position away from the bottom is formed by cutting about the finite linear motion guide unit according to claim.
この有限直動案内ユニットは,上記のように構成されており,ピニオンに高剛性を持たせ,ピニオンを回転自在に保持するホルダを強固にして大形のものに適用可能に構成し,部品点数が少なく,シンプルな構造で,組立容易でコンパクトに,安価製作でき,応用自在等の各種の作用効果を発揮できるものであり,具体的には,ピニオンの歯形の弦歯厚が一様に厚く,矩形形状に形成され,全歯たけを長く形成して剛性を持たせ,ラック間隔が変動しても,ピニオンとラックとの噛み合いが外れることがなく,安定して滑らかに噛み合うことができ,ピニオンがホルダの窓の両側面でしっかりと支持され,ホルダを保持器に無理な変形を与えることなく簡単に組み込んで保持器に強固に安定して固定でき,ピニオンの軸部が一対のホルダ部材によって挟持して堅固に回転自在に配設される。 This finite linear motion guide unit is configured as described above. The pinion has high rigidity, and the holder that rotatably holds the pinion is strengthened so that it can be applied to a large type. It has a simple structure, is easy to assemble, is compact and can be manufactured at low cost, and can exhibit various effects such as application. Specifically, the pinion tooth profile has a uniform thickness It is formed in a rectangular shape, has long teeth and has rigidity, and even if the rack spacing fluctuates, the pinion and the rack will not disengage and can be meshed stably and smoothly. The pinion is firmly supported on both sides of the holder window, the holder can be easily assembled without excessive deformation to the cage, and can be firmly and stably fixed to the cage, and the pinion shaft is a pair of holder members Thus it is rigidly rotatably disposed to sandwich.
この発明による保持器のずれ防止機構を備えた有限直動案内ユニットは,特に,従来よりも大形なものに適用可能な保持器のずれ防止機構を提供することであり,ラック&ピニオンの構成に特徴を有するものであって種々の形式の有限直動案内ユニットに適用できる。この実施例では,ラック&ピニオンが一対の軌道台の間の軌道路内に配設される構造に構成されているが,ホルダの保持器への取付けは保持器にホルダ用嵌着孔が形成できる所であれば,保持器の任意位置に取付け可能であって,例えば,軌道路外に配設するように構成してもよいものである。また,実施例では,一対の軌道台は,同一構造に構成されているが,長さや形状を異にするものでもよく,他の形式になる有限直動案内ユニットにも適用できることは勿論であり,また,実施例では転動体がローラであるが,ボール(図示せず)のタイプの有限直動案内ユニットにも適用できることは勿論である。 The finite linear motion guide unit provided with the cage slip prevention mechanism according to the present invention is to provide a cage slip prevention mechanism that can be applied to a larger size than the conventional one. And can be applied to various types of finite linear motion guide units. In this embodiment, the rack and pinion are configured to be disposed in the track between the pair of rails, but the holder is attached to the cage by forming a holder fitting hole in the cage. If possible, it can be attached to any position of the cage, and may be arranged outside the track, for example. In the embodiment, the pair of rails are configured in the same structure, but may be of different lengths and shapes, and can be applied to other types of finite linear motion guide units. In the embodiment, the rolling element is a roller, but it is of course applicable to a finite linear motion guide unit of a ball (not shown) type.
以下,図面を参照して,この発明による保持器のずれ防止機構を備えた有限直動案内ユニットの実施例について説明する。まず,図1〜図3に示すように,この有限直動案内ユニットは,一対の軌道台1,2間に位置する転動体のローラ13を保持する保持器3に,軌道台1,2に設けたラック5,6に噛み合うピニオン4を有したラック&ピニオンによる保持器3のずれ防止機構20を備えたものである。この有限直動案内ユニットは,軌道台1,2がローラ13を介して互いに相対移動するように構成されている。保持器3は,互いに相対移動する軌道台1,2の軌道溝43間にローラ13を回転自在に保持する板状の保持板9から形成されている。実施例では,軌道台1,2のストローク長さに対して半分のストローク長さで軌道台1,2が相対移動する構造である。しかしながら,この有限直動案内ユニットは,負荷変動,軌道溝43に形成された軌道面7,8の加工精度,立て軸仕様,高速高加減速等の各種の条件によって軌道台1,2の位置が僅かずつ位置ずれして保持器3が位置ずれするので,ピニオン4とラック5,6から成るラック&ピニオン機構から成るずれ防止機構20を保持器3に組み込んで軌道台1,2の互いの位置ずれが防止できるように構成されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a finite linear motion guide unit having a cage slip prevention mechanism according to the present invention will be described below with reference to the drawings. First, as shown in FIGS. 1 to 3, this finite linear motion guide unit is connected to the
軌道台1,2の両端面59には,軌道台1,2のストローク規制,保持器3の飛び出し規制等を行うため,ストッパとなる端部ねじ14がそれぞれ取り付けられている。ずれ防止機構20は,一対の軌道台1,2のそれぞれに取り付けられたラック5,6の中間位置でラック5,6にそれぞれ同時に噛み合うピニオン4が保持器3に嵌着されているので,保持器3は,軌道台1,2の移動距離(移動速さ)の半分の距離に規制され,ラック&ピニオンのずれ防止機構20が噛み合っている限り,軌道台1,2のずれ移動を規制できるものである。ピニオン4は,保持器3に嵌着したホルダ10内に回転自在に配設され,一対のラック5,6に噛み合っている。また,ピニオン4は,実施例では,図2に示すように,保持器3の中央位置に配置されたホルダ10に回転自在に配設されている。ピニオン4が配置された保持器3の中央位置は,負荷バランス,ストローク長さの確保等から考慮して好ましい位置であるが,場合によっては,ピニオン4の配設位置は,保持器3の任意位置でもよく,複数のピニオン4を配設するように構成することも可能である。
End screws 14 serving as stoppers are respectively attached to both end surfaces 59 of the
軌道台1,2は,実施例では断面略矩形状に形成され,一つの壁面17,18の長手方向に沿って軌道溝43がそれぞれ形成されている。軌道溝43は,V字状の形状に形成されており,長手方向両側に一対の軌道面7,8が位置しており,軌道面7,8間には逃げ溝19が形成されている。軌道台1,2には,ベース等の相手部材にボルト(図示せず)によって軌道台1,2を取り付けるため,軌道溝43が形成された対向面の壁面17,18と直交する上下面の壁面44に所定間隔で取付け用孔15が形成されている。取付け用孔15は,ボルトの頭が隠れるようにザグリ孔16と,ベース側からボルトを螺着できるようにねじ孔46とに形成されている。保持器3は,軌道台1と軌道台2との間に配設され,転動体である複数のローラ13をそれぞれ所定間隔で回転自在に保持するため,長手方向に沿って隔置した多数の保持孔50が形成された保持板9から形成されている。ローラ13は,図4に示すように,保持器3の保持板9の側面42即ち平面に対して軸心が45°傾斜して保持板9に組み込まれ,隣接するローラ13同士が交互に交差して,言い換えれば,隣り合うローラ13の軸心が直交して保持板9に形成された保持爪28によって保持板9に保持されている。
The track bases 1 and 2 are formed in a substantially rectangular cross section in the embodiment, and track
この有限直動案内ユニットは,特に,図6〜図8に示されるように,ピニオン4の構成に特徴を有するものであり,ピニオン4は,円板状でなる本体部即ち円板部51,円板部51の外周から延び周方向に均一に隔置して形成された円板部51と一体構造の歯部41,及び円板部51の回転中心となってホルダ10に回転自在に保持される軸部21を備えている。ピニオン4の歯部41は,歯直角平面(又は軸直角平面)における歯先面61が平坦であって両側の歯面65が互いに実質的に平行に延びて弦歯厚である歯厚Sが実質的に一定の矩形形状の歯形に形成されている。また,ピニオン4は,ラック5,6との噛み合いを滑らかにするために,歯底52が円形凹部に形成され,歯末62の歯面が円弧面に形成されている。ピニオン4は,図16に示すように,ラック5,6の間隔が変動しても噛み合いが外れることがないように,充分に噛み合い可能になっており,特に,歯部41の歯形が矩形形状に形成されていることを特徴としている。ピニオン4は,矩形形状の歯形に形成されることによって全歯たけhも長く形成でき,弦歯厚Sも一様に厚く形成でき,剛性を有する形状になっている。また,ピニオン4の歯形は,ラック5,6との噛み合い状態を種々に解析し,ラック5,6と滑らかに噛み合うように,歯部41の歯末62は,歯形修整が施されてアール形状即ち円弧面に形成されている。歯形修整Rmは,図8に示されるように,弦歯厚Sとほぼ同じ長さになる半径Rmに歯末62の両側の外形部分を切り欠きし,平坦面の歯先面61との角部の角RをRsに形成している。また,ピニオン4の歯底部52の歯底面は,ラック5,6の歯先面57の半径Rcより僅かに大きい半径Rfでなる円形凹部に形成されている。ピニオン4の歯数Zは,8〜12個程度に形成されればよく,実施例では,最適な10個の歯数に形成されている。また,ピニオン4は,図7に示されるように,円板部51の幅Bが歯幅B1より僅かに大きく形成され,ホルダ10に保持された状態で,ホルダ10の窓35の側面39と円板部51の両側面47とでしっかりと支持されている。図16には,一対のラック5,6とピニオン4とが中間位置(平衡位置)で噛み合っている状態が示されている。
This finite linear motion guide unit is particularly characterized by the structure of the
図3,図13〜図15に示すように,ラック5,6は,軌道台1,2の軌道溝43に沿って延びる逃げ溝19内にそれぞれ配設され,逃げ溝19の長手方向の両側面60に形成された嵌挿溝22,23に配設して固着されている。ラック5,6は,軌道台1,2の全長に渡って設けてもよいが,軌道台1,2の少なくとも作動範囲を含んだ必要部分の長さにあれば十分である。また,ラック5,6は,軌道台1,2の端面59に開口する嵌挿溝22,23から挿通して配設することができる。図3及び図16に示すように,ずれ防止機構20を構成するピニオン4は,保持器3に嵌着したホルダ10内に回転自在に配設され,対向した一対のラック5,6に噛み合っている。ラック5,6は,図9〜図16に示すように,ピニオン4が噛み合うための所定間隔に隔置して設けられた歯部53,及び歯部53の両側面に長手方向に連続して延び前記歯部を互いに一体構造に連結する一対の側壁部を構成する連結柱部54で構成されている。連結柱部54間と隣り合う歯部53間とで囲まれる部分は,ピニオン4の歯部41が貫通可能な開口部56に形成されている。ラック5,6の歯部53は,歯先面57が半円形面に形成されている。また,ラック5,6は,軌道台1,2の軌道溝43の逃げ溝19に形成された嵌挿溝22,23に配設されている。軌道台1,2に形成された嵌挿溝22,23は,逃げ溝19の溝底63から離れた位置に形成され,ラック5,6と溝底63との間に隙間58が形成されている。ラック5,6の全高さは,実質的に全歯たけhcとなって全歯たけhcを長く形成でき,歯厚Scも厚く形成できるものになっており,ラック5,6は剛性の大きい構造に構成されている。ラック5,6は,全高さhcが小さく形成されているので,軌道台1,2の軌道面7,8間に形成された小さなスペースの逃げ溝19に配設可能になっている。
As shown in FIG. 3 and FIG. 13 to FIG. 15, the
ラック5,6は,軌道台1,2の逃げ溝19に形成された嵌挿溝22,23に嵌挿されて固定され,その固定状態は,ラック5,6の長手方向の端面が軌道台1,2の端面59に取り付けられた端部ねじ14に突き当たる状態になっている。この場合は,軌道台1,2の全長とラック5,6の全長は,等しくなっている。ラック5,6が軌道台1,2より短い場合には,軌道台1,2と同一長さにするため,ラック5,6の端面に当接してダミーとなるスペーサ(図示せず)を配設し,スペーサ端面が軌道台1,2に固定した端面ねじ14に突き当たる状態に構成することができる。この有限直動案内ユニットは,大形であり,軌道台1,2が長尺状になり,それに伴って,ラック5,6の嵌挿溝22,23も長尺状に形成しなければならないことになる。そのため,この有限直動案内ユニットでは,長尺状でなる嵌挿溝22,23を簡単に安価に形成するためにカッタによる切削加工を採用しているので,嵌挿溝22,23は切削加工できる形状に形成されている。嵌挿溝22,23の形状は,逃げ溝19の溝底63から底上げした位置に形成され,カッタによってこの位置設定により切削加工が可能になっている。
The
図13〜図15に示すように,軌道台1,2に形成した嵌挿溝22,23は,ラック5,6の歯部53の底面が逃げ溝19の溝底63との間に隙間58を有する位置に形成されている。従って,ラック5,6の構成における開口部56からピニオン4の歯先面61が貫通してラック5,6の歯部53の底面から突出しても,ピニオン4の歯先面61は逃げ溝19の溝底63に干渉することなく隙間58によって許容される構造になっている。図16に示すように,嵌挿溝22,23の切削加工により,一対のラック5,6のラック間隔(又は,基準ピッチ位置間)がバラツキ(変動)があっても,ピニオン4との充分な噛み合いを確保することが可能になっている。また,ラック5,6は,ピニオン4と滑らかに噛み合うために,ラック5,6の歯部53は断面が半円形の歯先面57に形成されている。また,ラック5,6の歯先面57には,図3に示す組立状態にあって,転動体のローラ13と接触しないようにV字状の凹部の逃げ部48が形成されている。
As shown in FIGS. 13 to 15, the
また,この実施例では,ラック5,6及びホルダ10は合成樹脂で製作されている。ピニオン4は,金属射出成形(Metal Injection Molding parts )で製作されている部品(いわゆる型物)で形成されている。従って,ピニオン4は勿論のこと,ラック5,6及びホルダ10は所望の形状に形成できるものである。金属射出成形の工程は,例えば,金属微粉末を作製し,金属微粉末をバインダーと混練し,次いで混練物でペレットを作り,該ペレットを射出成形してピニオンの成形物を作製し,該成形物を凍結乾燥してバインダーを気化脱脂して成形物からバインダーを除去し,脱バインダーの成形物を焼結炉で焼結して最終製品のピニオン4を作製することができる。
In this embodiment, the
次に,特に図3,図5及び図17を参照して,ずれ防止機構20を保持するホルダ10について説明する。ホルダ10は,ピニオン4を回転自在にして遊びを極力小さくし且つしっかりと保持できる構造になっている。また,ホルダ10は,保持器3にしっかりと固着できるものになっている。ホルダ10は,特に,同一に構成された一対のホルダ部材11,12で構成されており,嵌着孔30において保持板9の一側面42に位置するホルダ部材11とホルダ部材11に対向して保持板9の他側面42に位置するホルダ部材12とから成る。ホルダ部材11,12は,長手方向の両側にそれぞれ延びる袖部38によって嵌着孔30の周りの保持板10の縁面29を両側から狭着して保持板9に固設される。従って,ホルダ10は,保持板9を挟んで嵌着する一対のホルダ部材11,12から成り,ピニオン4をホルダ部材11,12に形成された軸受部36で回転自在に挟持して支持し,ピニオン4との遊びを極力小さくしているので,ホルダ10は,ピニオン4をしっかりと保持できるものになっている。また,ホルダ10は,一対のホルダ部材11,12が保持板9をしっかりと挟持して保持板9に固着される構造になっている。ホルダ部材11,12は,互いに対向するそれぞれの係合面40が相補性形状に配置される同一形状に形成されており,ピニオン4を嵌挿するための細長い矩形状の窓35が中央に形成された略矩形板状に形成されている。
Next, the
ホルダ10は,ホルダ部材11,12同士がスナップフィット結合により掛止固定される形状に構成されており,スナップフィット結合は,一方のホルダ部材11又は12に形成された舌片状に延びるフックである爪部49と他方のホルダ部材12又は11に形成された係止段部26又は27,及び他方のホルダ部材12又は11に形成された舌片状に延びる爪部49と一方のホルダ部材11又は12に形成された係止段部27又は26とで掛止固定されている。ホルダ部材11,12は,ピニオン4を窓35に嵌挿させて組み込んだ状態で,保持器3である保持板9に形成された嵌着孔30に嵌合させて互いに対向させると共に,ホルダ部材11,12を互いに対向した状態でスナップフィット結合により係止固定することによって保持板9に固着できる。ホルダ10は,ホルダ部材11,12を合体すると,それぞれの係合面40の凸部31,32になる嵌合部が合わさって保持板9の嵌着孔30に一致して嵌合することになる。保持板9の嵌着孔30は,例えば,ローラ13の保持孔50の二つ分の大きさになる矩形状の窓即ち嵌着孔30に形成されている。保持板9の全長にわたって保持孔50が形成された素材から,実施例では中央部分に位置する保持孔50間の部分を打ち抜いて嵌着孔30を形成したものである。ホルダ10は,上記のように,同一構成のホルダ部材11,12を合体し,スナップフィット結合方式になっているので,部品点数が少なく,単純な構造,安価,組立容易,コンパクト,応用自在等の効果を発揮するものになっている。
The
ホルダ部材11,12は,それらにそれぞれ形成された窓35の面である側面39がピニオン4の側部47をしっかりと規制するため,窓35の長手方向全長にわたって十分な壁面を持つように,側面39を形成する部分が山形状の凸部66に形成されている。また,ホルダ部材11,12に設けた凸部31,32は,それらの外面が保持板9の嵌着孔30に嵌合する形状に形成されている。保持板9に対向するホルダ部材11,12の内面の対向面は,それらの周面が袖部38になる係合面40を構成し,対向する係合面40が保持板9の嵌着孔30の周囲の縁面29と当接して保持板9を挟み込むことになる。即ち,保持板9の嵌着孔35に対向する係合面40間の部分は,保持板9の嵌着孔35にしっくりと嵌合するため,係合面40より突出して嵌合部となる凸部31,32に形成されている。また,凸部31,32は,嵌着孔35の丁度半分のサイズにそれぞれ形成され,ホルダ部材11,12の長手方向の一方側に形成されている。更に,ホルダ部材11,12は,一方のホルダ部材11又は12の凸部31又は32の突出量が保持板9の板厚よりも僅かに小さいものになっており,他方のホルダ部材12又は11の袖部38の面と同一面即ち凸部31,32の無い面に対向するように互いに配設されている。
The
また,ホルダ部材11,12の対向面である係合面40には,ピニオン4の軸部21をホルダ部材11,12でしっかりと回転自在に保持するために,軸部21を包み込むように凹部となる軸受部36がホルダ部材11,12の窓部35の中央の両側に形成されている。また,互いのホルダ部材11,12は,互いにぴったりと高精度に合体するために,一方の対角線上に軸受部36を挟んで2つの位置決めピン33が突出して形成され,他方の対角線上になる180°点対称の位置に位置決めピン33を嵌入するピン孔34が形成されている。また,ホルダ部材11,12の長手方向の一方の端部には,保持板9の対向面42から垂下して延びる舌片状の爪部24,25がそれぞれ形成され,それらの他方の端部には,爪部25又は24を挿通するため凹部になる挿入溝37がそれぞれ形成されている。ホルダ部材11,12にそれぞれ設けた舌片状の爪部24,25は,先端部がフック49にそれぞれ形成されている。ホルダ部材11,12の挿入溝37に続く外面の窓部35の端部を形成する部分には,爪部24,25のフック49がそれぞれ係止する平面状の係止段部26,27が形成されている。
Further, the engaging
この発明による有限直動案内ユニットは,半導体製造装置,精密測定器,検査機,組立器,工作機械,各種ロボット等の各種機械装置に使用して好ましいものである。 The finite linear motion guide unit according to the present invention is preferable for use in various mechanical devices such as semiconductor manufacturing apparatuses, precision measuring instruments, inspection machines, assembly machines, machine tools, and various robots.
1,2 軌道台
3 保持器
4 ピニオン
5,6 ラック
9 保持板
10 ホルダ
11,12 ホルダ部材
13 ローラ(転動体)
17,18 壁面
19 逃げ溝
20 ずれ防止機構
21 軸部
22,23 嵌挿溝
24,25 爪部
26,27 係止段部
36 軸受部
41,53 歯部
43 軌道溝
45 軌道路
51 円板部(本体部)
54 連結柱部
56 開口部
58 隙間
61 歯先面
62 歯末
63 溝底
65 歯面
S 歯厚
DESCRIPTION OF
17, 18
54 connecting
Claims (8)
前記ピニオンは,円板状でなる本体部,前記本体部の外周から延びて周方向に均一に隔置して形成された前記歯部,及び前記本体部の回転中心となって前記ホルダに回転自在に保持される軸部を備えており,前記ピニオンの前記歯部は,歯直角平面における歯先面が平坦であって両側の歯面が互いに平行に延びて歯厚が実質的に均一の矩形形状の歯形に形成され,前記ラックは前記軌道台の前記軌道溝の逃げ溝に形成された嵌挿溝に配設され,前記嵌挿溝は前記逃げ溝の溝底から離れた位置に形成され,前記ラックと前記逃げ溝の前記溝底との間には隙間が形成されていることを特徴とする有限直動案内ユニット。 A pair of relatively moving track bases formed with track grooves facing each other on a longitudinal wall surface, and holding a plurality of rolling elements arranged in a track path formed between the track grooves of the track base. A plate-like retainer extending in the longitudinal direction, and a displacement prevention mechanism for preventing the retainer from being displaced between the track bases, the slip prevention mechanism being a rack provided on each of the track bases, And a finite linear motion guide unit comprising a pinion having a tooth portion meshing with each tooth portion of the rack and rotatably mounted on a holder fixed to the cage,
The pinion rotates to the holder as a disc-shaped main body, the teeth extending from the outer periphery of the main body and spaced uniformly in the circumferential direction, and the rotation center of the main body. The tooth portion of the pinion has a flat tooth tip surface in a plane perpendicular to the tooth and the tooth surfaces on both sides extend in parallel to each other so that the tooth thickness is substantially uniform. Formed in a rectangular tooth shape, the rack is disposed in a fitting insertion groove formed in the clearance groove of the raceway groove of the raceway, and the fitting insertion groove is formed at a position away from the groove bottom of the escape groove. A finite linear motion guide unit , wherein a gap is formed between the rack and the groove bottom of the escape groove .
前記ピニオンは,円板状でなる本体部,前記本体部の外周から延びて周方向に均一に隔置して形成された前記歯部,及び前記本体部の回転中心となって前記ホルダに回転自在に保持される軸部を備えており,前記ピニオンの前記歯部は,歯直角平面における歯先面が平坦であって両側の歯面が互いに平行に延びて歯厚が実質的に均一の矩形形状の歯形に形成され,前記ホルダは,前記保持器の保持板を挟んで嵌着する一対のホルダ部材から成り,前記ピニオンは,それぞれの前記ホルダ部材に形成された軸受部に回転自在に挟持されていることを特徴とする有限直動案内ユニット。 A pair of relatively moving track bases formed with track grooves facing each other on a longitudinal wall surface, and holding a plurality of rolling elements arranged in a track path formed between the track grooves of the track base. A plate-like retainer extending in the longitudinal direction, and a displacement prevention mechanism for preventing the retainer from being displaced between the track bases, the slip prevention mechanism being a rack provided on each of the track bases, And a finite linear motion guide unit comprising a pinion having a tooth portion meshing with each tooth portion of the rack and rotatably mounted on a holder fixed to the cage,
The pinion rotates to the holder as a disc-shaped main body, the teeth extending from the outer periphery of the main body and spaced uniformly in the circumferential direction, and the rotation center of the main body. The tooth portion of the pinion has a flat tooth tip surface in a plane perpendicular to the tooth and the tooth surfaces on both sides extend in parallel to each other so that the tooth thickness is substantially uniform. The holder is formed of a pair of holder members that are fitted with the holding plate of the retainer sandwiched therebetween, and the pinion is rotatable on a bearing portion formed on each of the holder members. finite linear motion guide unit characterized in that it is sandwiched.
前記ラックは前記軌道台の前記軌道溝の逃げ溝に形成された嵌挿溝に配設され,前記軌道台の前記軌道溝の逃げ溝に形成された前記嵌挿溝は,前記逃げ溝の溝底から離れた位置に切削加工により形成されていることを特徴とする有限直動案内ユニット。 A pair of relatively moving track bases formed with track grooves facing each other on a longitudinal wall surface, and holding a plurality of rolling elements arranged in a track path formed between the track grooves of the track base. A plate-like retainer extending in the longitudinal direction, and a displacement prevention mechanism for preventing the retainer from being displaced between the track bases, the slip prevention mechanism being a rack provided on each of the track bases, And a finite linear motion guide unit comprising a pinion having a tooth portion meshing with each tooth portion of the rack and rotatably mounted on a holder fixed to the cage,
The rack is disposed in an insertion groove formed in the escape groove of the raceway groove of the base, and the fit insertion groove formed in the escape groove of the raceway groove of the base is a groove of the escape groove. A finite linear motion guide unit formed by cutting at a position away from the bottom .
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