JP4559253B2 - Flexible substrate manufacturing method and flexible magneto-optical recording medium - Google Patents
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Description
本発明は、例えばフレキシブル光磁気ディスク用途のフレキシブル基板を製造するための方法、および、フレキシブル光磁気記録媒体に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a flexible substrate for use in, for example, a flexible magneto-optical disk, and a flexible magneto-optical recording medium.
光学的に情報が読み取られる光メディアの一形態として、光磁気記録媒体が知られている。光磁気記録媒体は、熱磁気的に記録され且つ磁気光学効果を利用して再生される書き換え可能な媒体である。光磁気記録媒体については、例えば下記の特許文献1,2に記載されている。 A magneto-optical recording medium is known as one form of optical media from which information is optically read. A magneto-optical recording medium is a rewritable medium that is thermomagnetically recorded and reproduced using the magneto-optical effect. The magneto-optical recording medium is described in, for example, the following Patent Documents 1 and 2.
図6は、従来の光磁気記録媒体の一例である光磁気ディスクX2を表す。光磁気ディスクX2は、基板61と、記録磁性部62と、熱伝導層63と、誘電体層64,65と、保護膜66とからなる積層構造を有し、フロントイルミネーション方式の光磁気ディスクとして構成されたものである。
FIG. 6 shows a magneto-optical disk X2 which is an example of a conventional magneto-optical recording medium. The magneto-optical disk X2 has a laminated structure including a
基板61は、光磁気ディスクX2の剛性を確保するための部位であり、1mm程度の厚さを有する。また、基板61は、樹脂材料よりなり、その記録磁性部62の側の面には、プリグルーブ61aが形成されている。このプリグルーブ61aを基に、光磁気ディスクX2におけるランドグルーブ形状が実現される。記録磁性部62は、熱磁気的な記録および磁気光学効果を利用した再生という2つの機能を担うことが可能な磁性構造を有し、再生方式に応じた1または2以上の磁性膜よりなる(誘電体層64に接する記録層を含む)。当該磁性膜は、希土類−遷移金属アモルファス合金垂直磁化膜である。熱伝導層63は、レーザ照射時に記録磁性部62などにて発生する熱を効率よく基板61の側へ伝えるための部位であり、高熱伝導材料よりなる。誘電体層64,65は、記録磁性部62に対する外部からの不当な磁気的影響や化学的影響等を回避するための部位である。保護膜66は、記録磁性部62を特に塵埃から保護するための部位であり、光透過性の樹脂材料よりなる。
The
このような構成を有する光磁気ディスクX2の製造においては、まず、図7(a)に示すように、ニッケルスタンパ71を金型の一部として使用して行う射出成形法により、所定の樹脂材料から基板61が作製される。ニッケルスタンパ71は、その表面に所定の凸パターン71aを有し、当該凸パターン71aに対応してプリグルーブ61aが形成される。次に、図7(b)に示すように、スパッタリング法により、基板61上に熱伝導層63、誘電体層64、記録磁性部62、および誘電体層65が順次形成される。この後、図7(c)に示すように、スピンコーティング法により、誘電体層65上に保護膜66が形成される。
In manufacturing the magneto-optical disk X2 having such a configuration, first, as shown in FIG. 7A, a predetermined resin material is obtained by an injection molding method using a
光磁気ディスクX2への情報記録に際しては、例えば、当該ディスクを回転させた状態で、記録用のレーザを保護膜66の側から記録磁性部62に向けて連続的なパルス信号として照射することにより記録磁性部62を局所的に順次昇温させつつ、磁気記録ヘッドにより、所定に変調された記録磁界を当該昇温箇所に印加する。これにより、記録磁性部62ないしこれに含まれる記録層において、磁化方向が順次反転する複数の磁区(記録マーク)が光磁気ディスクX2の周方向ないしトラック延び方向に連なって形成される。このようにして、記録磁性部62ないしこれに含まれる記録層に、磁化方向の変化として所定の情報ないし信号が記録される。
When recording information on the magneto-optical disk X2, for example, the recording laser is irradiated as a continuous pulse signal from the
コンピュータシステムにおける情報処理量の増大に伴い、光磁気ディスクなど記録媒体については、より大きな記録密度が要求されるところ、光磁気ディスクの技術分野においては、光磁気ディスクの全体厚さを小さく設定して媒体の体積記録密度を増大することに対する要望がある。このような要望に応えるべく、上述の光磁気ディスクX2については、基板61を薄いフレキシブル基板として作製し、フレキシブル光磁気ディスクとして構成することが考えられる。フレキシブルディスク媒体に関する技術について、例えば、下記の特許文献3,4に記載されている。
As the amount of information processing in computer systems increases, a higher recording density is required for recording media such as magneto-optical discs. In the technical field of magneto-optical discs, the overall thickness of magneto-optical discs is set to be small. Therefore, there is a demand for increasing the volume recording density of the medium. In order to meet such a demand, it can be considered that the above-described magneto-optical disk X2 is constructed as a flexible magneto-optical disk by manufacturing the
しかしながら、図7(a)を参照して上述した射出成形法では、表面にプリグルーブ61aを有する基板61を充分な程度に(例えば100μm程度に)薄く作製することが困難である。形成目的の基板61の厚さに対応させて成形型内のキャビティを幅狭に設定するほど、基板形成用の樹脂材料が当該キャビティ内を流動して当該キャビティを適切に充填することが、困難となるからである。そのため、図7を参照して上述した従来の方法によると、充分に薄型化されたフレキシブル光磁気ディスクとして光磁気ディスクX2を製造することは、困難である。
However, with the injection molding method described above with reference to FIG. 7A, it is difficult to produce a
本発明は、以上のような事情の下で考え出されたものであって、充分に薄いフレキシブル基板を製造するのに適したフレキシブル基板製造方法、および、高い体積記録密度を達成するのに適したフレキシブル光磁気記録媒体を、提供することを目的とする。 The present invention has been conceived under the circumstances as described above, and is a flexible substrate manufacturing method suitable for manufacturing a sufficiently thin flexible substrate, and suitable for achieving a high volume recording density. Another object of the present invention is to provide a flexible magneto-optical recording medium.
本発明の第1の側面によると、フレキシブル媒体用途のフレキシブル基板を製造するための方法が提供される。本方法は、第1凹凸面を有する第1基板と、当該第1基板の第1凹凸面に対向する第2凹凸面を有する第2基板と、当該第1および第2基板の間に介在する硬化性樹脂材料と、を含む積層体を回転させることにより、第1および第2基板の間において硬化性樹脂材料を展延させる展延工程、並びに、展延した硬化性樹脂材料を硬化させる硬化工程を含む。 According to a first aspect of the invention, a method for manufacturing a flexible substrate for flexible media applications is provided. The method is interposed between a first substrate having a first uneven surface, a second substrate having a second uneven surface facing the first uneven surface of the first substrate, and the first and second substrates. A spreading step for spreading the curable resin material between the first and second substrates by rotating the laminate including the curable resin material, and curing for curing the spread curable resin material. Process.
本方法の展延工程では、第1および第2基板ならびに当該基板間の硬化性樹脂材料を含む積層体を回転させることにより、硬化性樹脂材料に作用する遠心力を利用して、第1および第2基板の間において、両基板の凹凸面(所定の凹凸を有する)に沿って硬化性樹脂材料を薄く展延させることができる。積層体の回転速度を調節することにより(即ち、硬化性樹脂材料に作用する遠心力を調節することにより)、硬化性樹脂材料について展延の程度ないし薄さを調節することが可能である。そして、硬化工程では、硬化性樹脂材料を硬化させることにより、両基板の凹凸面の凹凸形状に対応した凹凸形状を両面に有するフレキシブル基板を形成することができる。硬化性樹脂材料として、紫外線硬化型、熱硬化型、または触媒硬化型のものを採用する場合、各々、紫外線照射、加熱、または触媒添加を行うことにより、硬化性樹脂材料を硬化させることができる。 In the spreading step of the method, the first and second substrates and the laminate including the curable resin material between the substrates are rotated to utilize the centrifugal force acting on the curable resin material, and the first and second substrates are rotated. Between the second substrates, the curable resin material can be spread thinly along the uneven surfaces (having predetermined unevenness) of both substrates. By adjusting the rotational speed of the laminate (that is, by adjusting the centrifugal force acting on the curable resin material), it is possible to adjust the degree of spread or thinness of the curable resin material. And in a hardening process, the flexible substrate which has the uneven | corrugated shape corresponding to the uneven | corrugated shape of the uneven | corrugated surface of both board | substrates can be formed by hardening | curing curable resin material. In the case of adopting an ultraviolet curable, thermosetting, or catalyst curable resin material as the curable resin material, the curable resin material can be cured by performing ultraviolet irradiation, heating, or addition of a catalyst, respectively. .
したがって、本方法によると、第1および第2基板の第1および第2凹凸面について、フレキシブル基板表面に形成すべき所定のプリグルーブパターンに対応した凸パターンを有するように設定しておくことにより、両面にプリグルーブを有して充分に薄いフレキシブル基板を適切に製造することが可能なのである。 Therefore, according to this method, the first and second uneven surfaces of the first and second substrates are set to have a convex pattern corresponding to a predetermined pregroove pattern to be formed on the surface of the flexible substrate. A sufficiently thin flexible substrate having pregrooves on both sides can be appropriately manufactured.
本発明の第2の側面によると、フレキシブル媒体用途のフレキシブル基板を製造するための方法が提供される。本方法は、第1凹凸面を有する第1基板と、当該第1基板の第1凹凸面に対向する第2凹凸面を有する第2基板と、開口部を有して第1および第2基板の間に介在する補強ハブと、当該補強ハブの周囲にて第1および第2基板の間に介在する硬化性樹脂材料と、を含む積層体を回転させることにより、第1および第2基板の間において硬化性樹脂材料を展延させる展延工程、並びに、展延した硬化性樹脂材料を硬化させる硬化工程を含む。本発明における補強ハブは、フレキシブル媒体についての情報記録時や情報再生時等に当該フレキシブル媒体を回転させるための駆動機構が当該フレキシブル媒体に機械的に接触する箇所の、当該機械的接触に対する強度を確保するための部材であり、例えば金属よりなる。 According to a second aspect of the present invention, a method for manufacturing a flexible substrate for flexible media applications is provided. The method includes a first substrate having a first uneven surface, a second substrate having a second uneven surface facing the first uneven surface of the first substrate, and first and second substrates having openings. And rotating the laminated body including the reinforcing hub interposed between the first and second substrates around the reinforcing hub, thereby rotating the laminated body including the reinforcing hub interposed between the first and second substrates. A spreading process for spreading the curable resin material in between, and a curing process for curing the spread curable resin material. The reinforcing hub in the present invention has a strength against the mechanical contact at a portion where the drive mechanism for rotating the flexible medium mechanically contacts the flexible medium at the time of recording or reproducing information on the flexible medium. It is a member for ensuring, for example, consisting of metal.
本方法の展延工程では、第1および第2基板ならびに両基板間の補強ハブおよび硬化性樹脂材料を含む積層体を回転させることにより、硬化性樹脂材料に作用する遠心力を利用して、第1および第2基板の間であり且つ補強ハブの周囲にて、両基板の凹凸面(所定の凹凸を有する)に沿って硬化性樹脂材料を薄く展延させることができる。硬化性樹脂材料の展延の程度ないし薄さを展延工程にて調節することが可能であることは、第1の側面に関して上述したのと同様である。そして、硬化工程では、硬化性樹脂材料を硬化させることにより、両基板の凹凸面の凹凸形状に対応した凹凸形状を両面に有し且つ開口部を有する補強ハブが一体化された、フレキシブル基板を、形成することができる。硬化性樹脂材料の硬化手法については、第1の側面に関して上述したのと同様である。 In the spreading step of this method, by rotating the laminate including the first and second substrates and the reinforcing hub between the two substrates and the curable resin material, utilizing the centrifugal force acting on the curable resin material, The curable resin material can be spread thinly between the first and second substrates and around the reinforcing hub along the uneven surfaces (having predetermined unevenness) of both substrates. As described above with respect to the first aspect, it is possible to adjust the extent or thinness of the curable resin material in the spreading process. In the curing step, a curable resin material is cured to form a flexible substrate in which a reinforcing hub having an uneven shape corresponding to the uneven shape of the uneven surface of both substrates is integrated on both sides and having an opening. Can be formed. About the hardening method of curable resin material, it is the same as that mentioned above regarding the 1st side.
したがって、本方法によると、第1および第2基板の第1および第2凹凸面について、フレキシブル基板表面に形成すべき所定のプリグルーブパターンに対応した凸パターンを有するように設定しておくことにより、両面にプリグルーブを有して充分に薄く、且つ、開口部を有する補強ハブが所定箇所にて一体化された、フレキシブル基板を適切に製造することが可能なのである。 Therefore, according to this method, the first and second uneven surfaces of the first and second substrates are set to have a convex pattern corresponding to a predetermined pregroove pattern to be formed on the surface of the flexible substrate. It is possible to appropriately manufacture a flexible substrate having pregrooves on both sides and sufficiently thin and having a reinforcing hub having an opening integrated at a predetermined location.
本発明の第3の側面によるとフレキシブル光磁気記録媒体が提供される。本光磁気記録媒体は、第1記録磁性部と、第2記録磁性部と、当該第1および第2記録磁性部の間に位置するフレキシブル基板とを備える。このフレキシブル基板は、第1凹凸面を有する第1基板と、当該第1基板の第1凹凸面に対向する第2凹凸面を有する第2基板と、当該第1および第2基板の間に介在する硬化性樹脂材料と、を含む積層体を回転させることにより、第1および第2基板の間において硬化性樹脂材料を展延させる工程、および、硬化性樹脂材料を硬化させる工程、を経て製造されたものである。本発明の本フレキシブル光磁気記録媒体は、いわゆるベルヌーイ効果により面ぶれが抑制されつつ情報記録および情報再生が実行されるものである。 According to a third aspect of the present invention, a flexible magneto-optical recording medium is provided. The magneto-optical recording medium includes a first recording magnetic unit, a second recording magnetic unit, and a flexible substrate positioned between the first and second recording magnetic units. The flexible substrate includes a first substrate having a first uneven surface, a second substrate having a second uneven surface facing the first uneven surface of the first substrate, and the first and second substrates. And a step of spreading the curable resin material between the first and second substrates by rotating the laminate including the curable resin material to be cured, and a step of curing the curable resin material. It has been done. In the flexible magneto-optical recording medium of the present invention, information recording and information reproduction are performed while surface blurring is suppressed by a so-called Bernoulli effect.
本フレキシブル光磁気記録媒体は、本発明の第1の側面の方法により得られるフレキシブル基板を備える。この基板は、上述のように、両面にプリグルーブを有して充分に薄く形成され得る。このような薄いフレキシブル基板を基材として有し且つ両面に記録磁性部を有する本フレキシブル光磁気記録媒体は、充分な薄型化を図って高い体積記録密度を達成するうえで、好適である。 The flexible magneto-optical recording medium includes a flexible substrate obtained by the method of the first aspect of the present invention. As described above, this substrate can be formed sufficiently thin with pregrooves on both sides. This flexible magneto-optical recording medium having such a thin flexible substrate as a base material and having recording magnetic portions on both sides is suitable for achieving a high volume recording density by sufficiently reducing the thickness.
本発明の第4の側面によるとフレキシブル光磁気記録媒体が提供される。本光磁気記録媒体は、第1記録磁性部と、第2記録磁性部と、当該第1および第2記録磁性部の間に位置するフレキシブル基板とを備える。このフレキシブル基板は、第1凹凸面を有する第1基板と、当該第1基板の第1凹凸面に対向する第2凹凸面を有する第2基板と、開口部を有して第1および第2基板の間に介在する補強ハブと、当該補強ハブの周囲にて第1および第2基板の間に介在する硬化性樹脂材料と、を含む積層体を回転させることにより、第1および第2基板の間において硬化性樹脂材料を展延させる工程、および、硬化性樹脂材料を硬化させる工程、を経て製造されたものである。 According to a fourth aspect of the present invention, a flexible magneto-optical recording medium is provided. The magneto-optical recording medium includes a first recording magnetic unit, a second recording magnetic unit, and a flexible substrate positioned between the first and second recording magnetic units. The flexible substrate includes a first substrate having a first uneven surface, a second substrate having a second uneven surface facing the first uneven surface of the first substrate, and first and second openings. The first and second substrates are rotated by rotating a laminate including a reinforcing hub interposed between the substrates and a curable resin material interposed between the first and second substrates around the reinforcing hub. It is manufactured through a step of spreading the curable resin material between and a step of curing the curable resin material.
本フレキシブル光磁気記録媒体は、本発明の第2の側面の方法により得られるフレキシブル基板を備える。この基板は、上述のように、両面にプリグルーブを有して充分に薄く形成され得る。このような薄いフレキシブル基板を基材として有し且つ両面に記録磁性部を有する本フレキシブル光磁気記録媒体は、充分な薄型化を図って高い体積記録密度を達成するうえで、好適である。加えて、本フレキシブル光磁気記録媒体のフレキシブル基板は、上述のように、硬化性樹脂材料部と補強ハブとが一体化されてなる。このような構成は、本フレキシブル光磁気記録媒体を回転させるための駆動機構が本フレキシブル光磁気記録媒体に対して機械的に接触する箇所の強度を確保して、本フレキシブル光磁気記録媒体の変形等を抑制するうえで、好適である。 The flexible magneto-optical recording medium includes a flexible substrate obtained by the method of the second aspect of the present invention. As described above, this substrate can be formed sufficiently thin with pregrooves on both sides. This flexible magneto-optical recording medium having such a thin flexible substrate as a base material and having recording magnetic portions on both sides is suitable for achieving a high volume recording density by sufficiently reducing the thickness. In addition, the flexible substrate of the flexible magneto-optical recording medium is formed by integrating the curable resin material portion and the reinforcing hub as described above. Such a configuration secures the strength of the portion where the drive mechanism for rotating the flexible magneto-optical recording medium mechanically contacts the flexible magneto-optical recording medium, thereby deforming the flexible magneto-optical recording medium. It is suitable for suppressing the above.
本発明の第5の側面によるとフレキシブル光磁気記録媒体が提供される。本光磁気記録媒体は、第1プリグルーブ面および当該第1プリグルーブ面とは反対の第2プリグルーブ面を有し且つ第1開口部を有する主部、並びに、第1開口部にて主部の厚み以内に設けられ且つ第2開口部を有する補強ハブ、を有するフレキシブル基板と、第1プリグルーブ面の側の第1記録磁性部と、第2プリグルーブ面の側の第2記録磁性部と、を備える。第1および第2プリグルーブ面とは、プリグルーブが形成された面である。 According to a fifth aspect of the present invention, a flexible magneto-optical recording medium is provided. The magneto-optical recording medium has a first pre-groove surface and a main portion having a first pre-groove surface opposite to the first pre-groove surface and having a first opening, and a main opening at the first opening. A flexible substrate having a reinforcing hub provided within the thickness of the portion and having a second opening, a first recording magnetic portion on the first pregroove surface side, and a second recording magnetism on the second pregroove surface side A section. The first and second pregroove surfaces are surfaces on which pregrooves are formed.
本フレキシブル光磁気記録媒体のフレキシブル基板は、上述の第2の側面の方法により製造することが可能である。この基板は、上述のように、両面にプリグルーブを有し、且つ、主部(硬化性樹脂材料部)の厚み以内に補強ハブが設けられて充分に薄く形成され得る。このような薄いフレキシブル基板を基材として有し且つ両面に記録磁性部を有する本フレキシブル光磁気記録媒体は、充分な薄型化を図って高い体積記録密度を達成するうえで、好適である。加えて、本フレキシブル光磁気記録媒体のフレキシブル基板は、上述のように、硬化性樹脂材料部と補強ハブとが一体化されてなる。このような構成は、本フレキシブル光磁気記録媒体を回転させるための駆動機構が本フレキシブル光磁気記録媒体に対して機械的に接触する箇所の強度を確保して、本フレキシブル光磁気記録媒体の変形等を抑制するうえで、好適である。 The flexible substrate of the flexible magneto-optical recording medium can be manufactured by the method of the second aspect described above. As described above, this substrate has pregrooves on both sides, and can be formed sufficiently thin by providing a reinforcing hub within the thickness of the main portion (curable resin material portion). This flexible magneto-optical recording medium having such a thin flexible substrate as a base material and having recording magnetic portions on both sides is suitable for achieving a high volume recording density by sufficiently reducing the thickness. In addition, the flexible substrate of the flexible magneto-optical recording medium is formed by integrating the curable resin material portion and the reinforcing hub as described above. Such a configuration secures the strength of the portion where the drive mechanism for rotating the flexible magneto-optical recording medium mechanically contacts the flexible magneto-optical recording medium, thereby deforming the flexible magneto-optical recording medium. It is suitable for suppressing the above.
図1は、本発明に係る光磁気ディスクX1の部分断面図である。光磁気ディスクX1は、フレキシブル基板10と、2つの記録磁性部21と、2つの熱伝導層22と、2つの誘電体層23と、2つの誘電体層24と、2つの保護膜25とを備え、両側に記録面(記録磁性部21により構成される)を有するフレキシブル光磁気ディスクとして構成されたものである。
FIG. 1 is a partial sectional view of a magneto-optical disk X1 according to the present invention. The magneto-optical disk X1 includes a
フレキシブル基板10は、図2に示すように、主部11および補強ハブ12(図1にて図示せず)よりなる。主部11は、その中央に開口部11aを有し、例えば30〜100μmの厚さを有してフレキシブルである。図1に示す熱伝導層22から保護膜25までの積層構造は、主部11上に設けられている。また、主部11の表面には、渦巻き状または同心円状のパターン形状を有するプリグルーブ11bが形成されている。このプリグルーブ11bを基に、光磁気ディスクX1におけるランドグルーブ形状が実現される。また、主部11は、本実施形態では紫外線硬化性樹脂よりなる。本発明では、主部11の構成材料として、紫外線硬化性樹脂に代えて熱硬化性樹脂や触媒硬化性樹脂を採用してもよい。
As shown in FIG. 2, the
フレキシブル基板10の補強ハブ12は、光磁気ディスクX1についての情報記録時や情報再生時等に当該ディスクを回転させるための駆動機構が当該ディスクに機械的に接触する箇所の機械的強度を確保するための部材であり、駆動機構の一部が例えば嵌入する開口部12aを有し、例えば金属よりなる。このような補強ハブ12は、主部11の開口部11aにて主部11の厚み以内に設けられており、主部11と一体化されている。
The reinforcing
記録磁性部21は、記録層21a、中間層21b、および再生層21cよりなる積層構造を有し、再生層21c内での磁壁移動ないし磁区拡大を伴う磁区拡大系再生方式(例えばDWDDやMAMMOSなど)に基づいて再生可能に構成されている。
The recording magnetic unit 21 has a laminated structure composed of a
記録層21aは、光磁気ディスクX1において記録機能を担う部位であって、希土類元素と遷移金属とを含むアモルファス合金よりなり、且つ、垂直磁気異方性を有して垂直方向に磁化された垂直磁化膜である。垂直方向とは、層を構成する磁性膜の膜面に対して垂直な方向をいう。このような記録層21aは、具体的には、所定の組成比の例えばTbFeCоやTbDyFeCоなどよりなる。また、記録層21aの厚さは例えば40〜100nmである。
The
中間層21bは、記録層21aおよび再生層21cの交換結合状態を変化させるための部位であって、昇温によりそのキュリー温度にて垂直磁化状態から自発磁化消失状態に転移し且つ降温によりキュリー温度にて自発磁化消失状態から垂直磁化状態に転移する希土類−遷移金属アモルファス合金よりなる。本実施形態では、中間層21bのキュリー温度は例えば100〜170℃であり、従って、室温において中間層21bは垂直磁化膜である。このような中間層21bは、具体的には、所定の組成比の例えばTbFeやTbFeCоなどよりなる。また、中間層21bの厚さは例えば10〜30nmである。
The intermediate layer 21b is a part for changing the exchange coupling state of the
再生層21cは、磁壁移動ないし磁区拡大を伴う再生機能を担う部位であり、希土類−遷移金属アモルファス合金よりなる垂直磁化膜である。このような再生層21cは、具体的には、所定の組成比の例えばGdFeCoやGdDyFeCoよりなる。また、再生層21cの厚さは例えば10〜50nmである。
The reproducing
熱伝導層22は、光磁気ディスクX1に対して記録用または再生用のレーザビームが照射されるときに記録磁性部21などにて発生する熱を効率よくフレキシブル基板10の側へ伝えるための部位であり、例えば、Al合金(AlN,AlSi,AlTi,AlCrなど)、Ag、Ag合金(AgPdCuSi,AgPdCuなど)、Au、またはPtなどの、高熱伝導材料よりなる。熱伝導層22の厚さは、例えば10〜50nmである。
The heat
誘電体層23,24は、記録磁性部21に対する外部からの不当な磁気的影響や化学的影響等を回避ないし抑制するための部位であり、例えば、SiN、SiO2、YSiO2、ZnSiO2、AlO、またはAlNよりなる。誘電体層23,24の厚さは、例えば30〜100nmである。
The dielectric layers 23 and 24 are parts for avoiding or suppressing an unreasonable magnetic influence or chemical influence from the outside on the recording magnetic part 21, for example, SiN, SiO 2 , YSiO 2 , ZnSiO 2 , It consists of AlO or AlN. The thickness of the
保護膜25は、記録磁性部21を特に塵埃などから保護すべく記録磁性部21を覆い、光磁気ディスクX1の記録用レーザビームおよび再生用レーザビームに対して充分な透過性を有する樹脂材料よりなる。保護膜25を構成するための樹脂としては、例えば、紫外線硬化性の透明樹脂が採用される。保護膜25の厚さは例えば5〜50μmである。
The
図3および図4は、光磁気ディスクX1の製造方法における一部の工程を表す。図3および図4において、各工程は断面図で表されている。本方法においては、まず、図3(a)に示すように、スピンテーブル31に支持された基板32上に樹脂材料33を供給する。スピンテーブル31は、回転軸心Rまわりに所望の回転速度で回転駆動可能に構成されており、軸芯31aを有し、また、スピンテーブル31上に載置された部材を吸引するための吸引機構(図示略)を具備する。基板32は、上述のプリグルーブ11bに対応する凸パターンを伴うプリグルーブ形成面32aと、開口部32bとを有する。また、基板32は、スピンテーブル31の軸芯31aに対して開口部32bにて嵌設されており、上述の吸引機構の吸引作用によりスピンテーブル31に対して固定されている。スピンテーブル31の軸芯31aには、基板32に加えて上述の補強ハブ12もその開口部12aにて嵌設されている。樹脂材料33は、本実施形態では紫外性硬化性樹脂である。本発明では、樹脂材料33として、紫外線硬化性樹脂に代えて熱硬化性樹脂や触媒硬化性樹脂を採用してもよい。本工程では、スピンテーブル31を静止させた状態で、未硬化状態にある樹脂材料33を、基板32上における補強ハブ12の周囲に円環状に供給する。
3 and 4 show some steps in the method of manufacturing the magneto-optical disk X1. 3 and 4, each process is represented by a cross-sectional view. In this method, first, as shown in FIG. 3A, a
次に、図3(b)に示すように、スピンテーブル31を所定の第1回転速度で回転駆動させて基板32を回転させた状態で、樹脂材料33を所定の程度に展延させる。本工程では、スピンテーブル31の回転速度を調節することにより(即ち、樹脂材料33に作用する遠心力を調節することにより)、樹脂材料33の展延の程度を調節することが可能である。
Next, as shown in FIG. 3B, the
次に、図3(c)に示すように、樹脂材料33の上位に基板34を設置する。基板34は、上述のプリグルーブ11bに対応する凸パターンを伴うプリグルーブ形成面34aと開口部34bとを有する透明基板である。本工程では、このような基板34を、スピンテーブル31の軸芯31aに対して開口部34bにて嵌設する。このようにして、基板32,34、補強ハブ12、および樹脂材料33を含む積層体を形成する。
Next, as shown in FIG. 3C, a
次に、図3(d)に示すように、スピンテーブル31を所定の第2回転速度で回転駆動させて上述の積層体を回転させた状態で、基板32,34間において樹脂材料33を所定の程度に展延させる。このとき、樹脂材料33の一部が基板32,34の間から漏出するまで樹脂材料33を展延させるのが好ましい。本工程では、スピンテーブル31の回転速度を調節することにより、樹脂材料33の展延の程度ないし薄さを調節することが可能である。また、第2回転速度は、図3(b)を参照して上述した工程における第1回転速度よりも高速であるのが好ましい。この後、必要に応じて、図4(a)に示すように、基板32,34間から漏出した樹脂材料33を除去する。
Next, as shown in FIG. 3D, the
次に、図4(b)に示すように、基板34の側から樹脂材料33に対して紫外線を照射して樹脂材料33を硬化させ、基板32,34のプリグルーブ形成面32a,34aの凸パターンに対応したプリグルーブ11bを表面に有する主部11を形成する。これにより、樹脂材料33に由来する主部11と補強ハブ12とが一体化することとなる。樹脂材料33として、紫外線硬化性樹脂に代えて熱硬化性樹脂または触媒硬化性樹脂を採用する場合には、本工程では、紫外線照射に代えて加熱または触媒添加を行うことにより、樹脂材料33を硬化させる。
Next, as shown in FIG. 4B, the
樹脂材料33を硬化させた後、図4(c)に示すように、一体化した主部11および補強ハブ12からなるフレキシブル基板10を基板32,34間から取り外す。以上のようにして、フレキシブル基板10を製造することができる。
After the
図3(d)を参照して上述した展延工程では、基板32,34ならびに当該基板間の補強ハブ12および樹脂材料33を含む積層体を回転させることにより、樹脂材料33に作用する遠心力を利用して、基板32,34間における補強ハブ12の周囲にて、両基板32,34のプリグルーブ形成面32a,34aに沿って樹脂材料33を薄く展延させることができる。そして、図4(b)を参照して上述した硬化工程では、樹脂材料33を硬化させることにより、両基板32,34のプリグルーブ形成面32a,34aの凸パターンに対応したプリグルーブ11bを両面に有する主部11と補強ハブ12とを一体化することができる。したがって、図3および図4を参照して上述した方法によると、両面にプリグルーブ11bを有して充分に薄く、且つ、開口部12aを有する補強ハブ12が所定箇所にて一体化された、フレキシブル基板10を適切に製造することが可能なのである。
In the spreading step described above with reference to FIG. 3D, the centrifugal force acting on the
光磁気ディスクX1の製造においては、次に、フレキシブル基板10の主部11の両面上に、熱伝導層22、誘電体層23、記録層21a、中間層21b、再生層21c、誘電体層24、および保護膜25を順次形成する。熱伝導層22から誘電体層24までは、各々、所定のターゲットを用いて行うスパッタリング法により形成することができる。保護膜25は、スピンコート法により所定の紫外線硬化性樹脂を誘電体層24上に塗布した後に、紫外線照射により当該樹脂膜を硬化させることにより、形成することができる。以上のようにして、光磁気ディスクX1を製造することができる。
In manufacturing the magneto-optical disk X1, next, the heat
光磁気ディスクX1への情報記録に際しては、例えば、当該ディスクを所定の回転速度で回転させた状態で、光磁気ディスクX1に対して位置決め制御された所定の光ピックアップまたは光学ヘッドから記録用のレーザを記録磁性部21に向けて連続的なパルス信号として照射することにより記録磁性部21内の記録層21aを局所的に順次昇温させる。これとともに、磁気記録ヘッドにより、所定に変調された記録磁界を当該昇温箇所に対して印加する。
When recording information on the magneto-optical disk X1, for example, a recording laser from a predetermined optical pickup or optical head that is positioned and controlled with respect to the magneto-optical disk X1 in a state where the disk is rotated at a predetermined rotational speed. The
このとき、光磁気ディスクX1において情報記録が実行されている箇所に対し、例えば図5に示すように、レーザLが照射されている側とは反対の側からスタビライザ5を近接して配置する。スタビライザ5は、有意な面積の先端面5aを有し、この先端面5aを、光磁気ディスクX1において情報記録が実行されている記録面とは反対の側の面に対して対向させる。このように、光磁気ディスクX1に対してスタビライザ5を近接配置することにより、いわゆるベルヌーイ効果により、フレキシブルな光磁気ディスクX1の面ぶれが抑制される。スピンドルモータMの駆動により所定の回転速度で回転する光磁気ディスクX1に対してスタビライザ5を近接配置することにより、光磁気ディスクX1の表面近傍に存在する例えば空気の当該光磁気ディスクX1に対する相対速度は、光磁気ディスクX1とスタビライザ5の間の方が、レーザ照射側よりも、速くなる。そのため、ベルヌーイの法則に従って、光磁気ディスクX1の表面近傍における圧力は、光磁気ディスクX1とスタビライザ5の間の方が、レーザ照射側よりも、小さくなる。この圧力差に起因して、光磁気ディスクX1とスタビライザ5の間には、見かけ上、吸引力が生じ、当該吸引力が作用することにより、光磁気ディスクX1においてスタビライザ5が対向する箇所の面ぶれが抑制されることとなる。
At this time, as shown in FIG. 5, for example, as shown in FIG. 5, the
フレキシブルな光磁気ディスクX1においては、以上のようにして、ベルヌーイ効果により面ぶれを抑制しつつ、記録層21aに対し磁化方向の変化として所定の情報ないし信号を記録することができる。
In the flexible magneto-optical disk X1, as described above, predetermined information or signals can be recorded on the
一方、光磁気ディスクX1の情報再生に際しては、例えば、当該ディスクを所定の回転速度で回転させた状態で、所定の光ピックアップまたは光学ヘッドから再生用のレーザを記録磁性部21に向けて照射し、記録磁性部21(再生層21c)の表面にて反射された光の偏光角度の変化を検知する。このとき、光磁気ディスクX1において情報再生が実行されている箇所に対し、例えば図5に示すように、レーザLが照射されている側とは反対の側からスタビライザ5を近接して配置する。フレキシブルな光磁気ディスクX1においては、このようにして、ベルヌーイ効果により面ぶれを抑制しつつ、記録磁性部21内の記録信号を読み取ることができる。
On the other hand, when information is reproduced from the magneto-optical disk X1, for example, a reproducing laser is emitted from a predetermined optical pickup or optical head toward the recording magnetic unit 21 while the disk is rotated at a predetermined rotational speed. The change of the polarization angle of the light reflected by the surface of the recording magnetic part 21 (reproducing
光磁気ディスクX1において、フレキシブル基板10は、上述のように、両面にプリグルーブ11bを有し、且つ、主部11の厚み以内に補強ハブ12が設けられて充分に薄く形成され得る。このような薄いフレキシブル基板10を基材として有し且つ両面に記録磁性部21を有する光磁気ディスクX1は、充分な薄型化を図って高い体積記録密度を達成するうえで、好適である。加えて、光磁気ディスクX1のフレキシブル基板10は、上述のように、主部11と補強ハブ12とが一体化されてなる。このような構成は、光磁気ディスクX1を回転させるためのスピンドルモータが本光磁気ディスクX1に対して機械的に接触する箇所の強度を確保して、本光磁気ディスクX1の変形等を抑制するうえで、好適である。
In the magneto-optical disk X1, as described above, the
X1,X2 光磁気ディスク
10 フレキシブル基板
11 主部
11a 開口部
11b プリグルーブ
12 補強ハブ
12a 開口部
21,62 記録磁性部
22,63 熱伝導層
23,24,64,65 誘電体層
25,66 保護膜
32,34 基板
32a,34a プリグルーブ形成面
33 樹脂材料
X1, X2 magneto-
Claims (4)
前記硬化性樹脂材料を硬化させる工程と、を含む、フレキシブル基板製造方法。 A first substrate having a first uneven surface, a second substrate having a second uneven surface facing the first uneven surface of the first substrate, and an uncured state interposed between the first and second substrates And a step of spreading the curable resin material between the first and second substrates by rotating a laminate including the curable resin material in
A step of curing the curable resin material.
前記硬化性樹脂材料を硬化させる工程と、を含む、フレキシブル基板製造方法。 A first substrate having a first uneven surface, a second substrate having a second uneven surface opposite to the first uneven surface of the first substrate, and an opening between the first and second substrates And rotating the laminate including the reinforced resin material interposed between the first and second substrates around the reinforcing hub to rotate the first and second substrates. Spreading the curable resin material in between,
A step of curing the curable resin material.
第1凹凸面を有する第1基板と、当該第1基板の前記第1凹凸面に対向する第2凹凸面を有する第2基板と、開口部を有して前記第1および第2基板の間に介在する補強ハブと、当該補強ハブの周囲にて前記第1および第2基板の間に介在する硬化性樹脂材料と、を含む積層体を回転させることにより、前記第1および第2基板の間において前記硬化性樹脂材料を展延させる工程、および、前記硬化性樹脂材料を硬化させる工程、を経て製造されて前記第1および第2記録磁性部の間に位置するフレキシブル基板と、を備えるフレキシブル光磁気記録媒体。 A first recording magnetic part and a second recording magnetic part;
A first substrate having a first uneven surface, a second substrate having a second uneven surface opposite to the first uneven surface of the first substrate, and an opening between the first and second substrates And rotating the laminated body including the reinforcing hub interposed between the first and second substrates around the reinforcing hub, thereby rotating the laminated body including the reinforcing hub interposed between the first and second substrates. step of spreading a pre-Symbol curable resin material Te between odor, and a flexible substrate located between the curable step of the resin material is cured, the through the are manufactured first and second recording magnetic part, A flexible magneto-optical recording medium.
前記第1プリグルーブ面の側の第1記録磁性部と、
前記第2プリグルーブ面の側の第2記録磁性部と、を備えるフレキシブル光磁気記録媒体。 A main portion having a first pregroove surface and a second pregroove surface opposite to the first pregroove surface and having a first opening, and within the thickness of the main portion at the first opening A flexible substrate having a reinforcing hub provided and having a second opening;
A first recording magnetic part on the first pre-groove surface side;
Flexible magneto-optical recording medium and a second recording magnetic portion on the side of the second pregroove surface.
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