JP4555885B2 - Double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing abrasive and method for producing the same - Google Patents
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Description
本発明は、研磨材を研磨機の定盤に固定するための研磨材固定用両面粘着テープ及びその製造方法に関する。 The present invention relates to an abrasive fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing an abrasive to a surface plate of a polishing machine, and a method for producing the same.
従来から研磨布あるいは研磨パッドと呼ばれる研磨材を研磨機の定盤に固定するにあたって、研磨材固定用両面粘着テープが使用されている(特許文献1〜3参照)。 Conventionally, a double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing an abrasive is used to fix an abrasive called a polishing cloth or a polishing pad to a surface plate of a polishing machine (see Patent Documents 1 to 3).
又、このような研磨機は、液晶ディスプレイのガラス基板の研磨にも用いられている(特許文献4参照)。 Such a polishing machine is also used for polishing a glass substrate of a liquid crystal display (see Patent Document 4).
一方、近年、表示装置の表示画面の大型化に伴って、一辺が1.5m以上の平面正方形状の大型のガラス基板が用いられるようになってきているが、従来の研磨材固定用両面粘着テープの場合、以下のような問題がある。 On the other hand, in recent years, with the increase in the size of the display screen of a display device, a large square glass substrate having a side of 1.5 m or more has come to be used. In the case of tape, there are the following problems.
即ち、大型のガラス基板を研磨する場合、このガラス基板の研磨に用いる研磨材やこの研磨材を定盤に固定するための研磨材固定用両面粘着テープも基板に見合った大きなものとする必要がある。 That is, when polishing a large glass substrate, the abrasive used for polishing the glass substrate and the double-sided adhesive tape for fixing the abrasive to fix the abrasive on the surface plate must be large enough to match the substrate. is there.
しかし、研磨材固定用両面粘着テープには、研磨精度への影響を考慮した厚み精度が必要とされるが、2mを超えるような大型の粘着テープを、研磨材固定用として使用可能な程度の精度で製造することは極めて困難であった。 However, the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing the abrasive material needs to have a thickness accuracy considering the influence on the polishing accuracy, but a large-sized pressure-sensitive adhesive tape exceeding 2 m can be used for fixing the abrasive material. It was extremely difficult to manufacture with accuracy.
そこで、複数枚の幅の狭い従来の研磨材固定用両面粘着テープを用意し、各研磨材固定用両面粘着テープを予めその端面が突き合うように研磨材に貼り付けた後、研磨材を定盤に貼り付ける方法、或いは、従来の幅の狭い複数枚の研磨材固定用両面粘着テープを幅方向に連接状態とすると共に、基材フィルムの端面同士を接着剤あるいは融着等によって接合して大きなガラス基板に対応する幅広の研磨材固定用両面粘着テープを作製する方法が考えられるが、両方法においては、以下のような問題があった。 Therefore, a plurality of narrow conventional double-sided adhesive tapes for fixing abrasives are prepared, and each double-sided adhesive tape for fixing abrasives is affixed to the abrasive in advance so that the end faces thereof are in contact, and then the abrasives are defined. A method of attaching to a board, or a conventional method of connecting a plurality of narrow adhesive double-sided adhesive tapes in the width direction and joining the end faces of a base film by an adhesive or fusion. A method for producing a wide double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing an abrasive material corresponding to a large glass substrate can be considered, but both methods have the following problems.
即ち、前者の方法の場合、粘着テープを研磨材に貼り付ける作業を複数回繰り返さなくてはならず、作業時間がかかると共に、隙間や段差無く粘着テープを隣接して貼り付けることはほとんど不可能で、どうしても若干の隙間や段差が生じ、研磨精度に問題がでるおそれがある。 That is, in the case of the former method, it is necessary to repeat the operation of attaching the adhesive tape to the abrasive material a plurality of times, which takes time, and it is almost impossible to apply the adhesive tape adjacent to each other without gaps or steps. Therefore, a slight gap or a step is inevitably generated, which may cause a problem in polishing accuracy.
一方、後者の方法の場合、基材フィルムの端面同士を正確に突き合わせることが非常に難しく、又、正確に基材フィルムの端面同士を突き合わせて接合できたとしても、その接合部位でテープが破損したり、折れ曲がったりしやすく、取扱い性に極めて劣ると共に、接着剤や融着熱によって粘着剤が変質してしまうという問題がある。 On the other hand, in the case of the latter method, it is very difficult to accurately match the end faces of the base film, and even if the end faces of the base film can be accurately butted together, There is a problem that the adhesive is easily damaged and bent, is extremely inferior in handleability, and the adhesive is altered by the adhesive and heat of fusion.
本発明は、大型のガラス基板等の大型の被研磨材の研磨を精度良く行うことができ且つ取り扱い性に優れた大型の研磨材固定用両面粘着テープ及びその製造方法を提供することを目的としている。 It is an object of the present invention to provide a large-sized abrasive-fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape that can accurately polish a large-sized material to be polished such as a large-sized glass substrate and has excellent handling properties, and a method for producing the same. Yes.
本発明の研磨材固定用両面粘着テープは、基材フィルムの両面に粘着剤層が積層一体化されてなる研磨材固定用両面粘着テープであって、上記基材フィルムはその幅が2m以上で且つ単一フィルムからなると共に、上記粘着剤層は、2以上の小幅粘着剤層部が上記基材フィルム上に並列することによって構成され、上記小幅粘着剤層部における対向する端面同士が接合されていることを特徴とする。 The double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing an abrasive according to the present invention is a double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing an abrasive in which adhesive layers are laminated and integrated on both sides of a base film, and the base film has a width of 2 m or more. And while it consists of a single film, the said adhesive layer is comprised when two or more narrow adhesive layer parts are arranged in parallel on the said base film, and the opposing end surfaces in the said narrow adhesive layer part are joined. It is characterized by.
本発明の研磨材固定用両面粘着テープの製造方法は、幅が2m以上である単一フィルムからなる基材フィルムの両面のそれぞれに、転写用粘着剤層が転写用フィルム上に剥離可能に積層されてなる複数の転写用粘着フィルムをその転写用粘着剤層が上記基材フィルムに対向し且つ互いに対向する転写用粘着剤層同士が接合した状態となるように並列状態に積層し、上記転写用粘着フィルムの転写用粘着剤層を上記基材フィルム上に転写させ積層一体化させて小幅粘着剤層部とし、これらの並列状態の小幅粘着剤層部によって粘着剤層を形成することを特徴とする。 The method for producing a double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing an abrasive according to the present invention is such that a transfer pressure-sensitive adhesive layer is detachably laminated on a transfer film on each side of a base film made of a single film having a width of 2 m or more. A plurality of transfer pressure-sensitive adhesive films formed in parallel so that the transfer pressure-sensitive adhesive layer faces the substrate film and the transfer pressure-sensitive adhesive layers facing each other are joined to each other , and the transfer The adhesive layer for transfer of the adhesive film for transfer is transferred onto the base film and laminated and integrated to form a narrow adhesive layer portion, and the adhesive layer is formed by the narrow adhesive layer portions in the parallel state. And
本発明の研磨材固定用両面粘着テープの製造方法は、転写用粘着剤層が転写用フィルム上に剥離可能に積層されてなる複数枚の転写用粘着フィルムを互いに対向する端縁部において重なり合うように順次、幅方向に配列させて重複部分を形成する重複部形成工程と、上記転写用粘着フィルム同士の重複部分において上記転写用粘着フィルムをその厚み方向に切断して、切断転写用粘着フィルム部と切断小片部とに分断する分断工程と、上記切断小片部を除去した後、上記切断転写用粘着フィルム部の切断面同士を接合させて幅広転写用粘着フィルムを得る工程と、幅が2m以上である単一フィルムからなる基材フィルムの両面のそれぞれに、上記幅広転写用粘着フィルムをその転写用粘着剤層部が上記基材フィルムに対向した状態に積層して、上記基材フィルム上に上記転写用粘着剤層部を転写し積層一体化させる工程とを備えていることを特徴とする。 In the method for producing a double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing an abrasive according to the present invention, a plurality of transfer pressure-sensitive adhesive films in which a transfer pressure-sensitive adhesive layer is releasably laminated on a transfer film are overlapped with each other at opposite edges. And an overlapping portion forming step for forming overlapping portions by sequentially arranging them in the width direction, and cutting the transfer adhesive film in the thickness direction at the overlapping portion between the transfer adhesive films, thereby cutting and transferring the adhesive film portion. and a dividing step for dividing into a cut piece parts after removing the cutting piece parts and steps by bonding the cut faces of the cutting transfer PSA film portion to obtain an adhesive film for wide transfer width than 2m in the both surfaces of a substrate film consisting of a single film is, the transfer PSA layer portion an adhesive film for the wider transfer laminated in a state of being opposed to the substrate film Characterized in that it comprises a step of laminating and integrating transferring the transfer PSA layer portion on the base film.
本発明において、「単一フィルム」とは、面に平行な方向(面方向)に接着や融着などによって接合部が形成されていないフィルムをいう。なお、単一フィルムは、面方向に接合部が形成されていなければよく、複数枚のフィルムを積層一体化させてなる積層フィルムであってもよい。積層フィルムの場合、積層フィルムを構成している複数枚のフィルムのうち、少なくとも一枚のフィルムが単一フィルムであればよい。 In the present invention, the term “single film” refers to a film in which no joint is formed by adhesion or fusion in a direction parallel to the surface (surface direction). The single film may be a laminated film formed by laminating and integrating a plurality of films as long as no joining portion is formed in the plane direction. In the case of a laminated film, at least one film may be a single film among a plurality of films constituting the laminated film.
基材フィルムの材料としては、特に限定されないが、合成樹脂が好ましく、エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)などが挙げられ、耐薬品性、強度的に優れると共に幅の広く且つ厚み精度の優れたフィルムを得ることができるので、ポリエチレンテレフタレートが好ましい。 The material of the base film is not particularly limited, but a synthetic resin is preferable, and ethylene-vinyl acetate copolymer (EVA), polyvinyl chloride, polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene (PE) Polypropylene (PP) and the like are mentioned, and polyethylene terephthalate is preferable because a film having excellent chemical resistance and strength and having a wide width and excellent thickness accuracy can be obtained.
基材フィルムの厚さは、特に限定されないが、20〜200μmが好ましい。基材フィルムが薄すぎると、研磨精度向上効果が不十分となる場合があり、基材フィルムが厚すぎると、研磨パッドへの取り付け作業や生産性などに問題がでる場合がある。 Although the thickness of a base film is not specifically limited, 20-200 micrometers is preferable. If the substrate film is too thin, the effect of improving the polishing accuracy may be insufficient, and if the substrate film is too thick, there may be a problem in the attaching operation to the polishing pad or productivity.
更に、基材フィルムの表面は、必要に応じて、コロナ放電処理、プライマー処理などの易接着処理を施して濡れ性を向上させるようにしてもよい。 Furthermore, the surface of the base film may be subjected to easy adhesion treatment such as corona discharge treatment and primer treatment to improve wettability, if necessary.
粘着剤層を構成する粘着剤は、特に限定されないが、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤が好ましい。基材フィルムの両面に設けられる粘着剤層は、一方が研磨材固定用粘着剤層であり、他方が定盤固定用粘着剤層である。基材フィルムの両面に積層一体化されている粘着剤層は、同一の粘着剤であってもよいし、相違していてもよい。 Although the adhesive which comprises an adhesive layer is not specifically limited, Acrylic adhesive and a rubber adhesive are preferable. One of the pressure-sensitive adhesive layers provided on both sides of the base film is an abrasive-fixing pressure-sensitive adhesive layer, and the other is a surface-plate fixing pressure-sensitive adhesive layer. The pressure-sensitive adhesive layers laminated and integrated on both surfaces of the base film may be the same pressure-sensitive adhesive, or may be different.
アクリル系粘着剤としては、アクリル系共重合体と、必要に応じて粘着付与樹脂とを含有する粘着剤を用いることができる。アクリル系共重合体としては、特に限定されないが、アルキル基の炭素数が1〜12である(メタ)アクリル酸アルキルエステル及び(メタ)アクリル酸を含む単量体を重合させて得られる(メタ)アクリル酸アルキルエステル系共重合体(以下、単に「(メタ)アクリル酸アルキルエステル系共重合体」という)が好ましい。なお、本発明において「(メタ)アクリル酸」とは、「メタクリル酸又はアクリル酸」を意味する。 As the acrylic pressure-sensitive adhesive, a pressure-sensitive adhesive containing an acrylic copolymer and, if necessary, a tackifying resin can be used. Although it does not specifically limit as an acryl-type copolymer, It is obtained by polymerizing the monomer containing the (meth) acrylic-acid alkylester whose carbon number of an alkyl group is 1-12, and (meth) acrylic acid (meta). ) Acrylic acid alkyl ester copolymer (hereinafter simply referred to as “(meth) acrylic acid alkyl ester copolymer”) is preferred. In the present invention, “(meth) acrylic acid” means “methacrylic acid or acrylic acid”.
アクリル系共重合体の重量平均分子量は、小さいと、研磨時に発生する熱に耐えられないことがあり、大きいと、初期タック性が低下することがあるので、30万〜80万が好ましい。なお、アクリル系共重合体の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)によってテトラヒドロフラン(THF)によるポリスチレン換算値から求められる値をいう。 If the weight average molecular weight of the acrylic copolymer is small, it may not be able to withstand the heat generated during polishing, and if it is large, the initial tackiness may be lowered. Therefore, 300,000 to 800,000 is preferable. In addition, the weight average molecular weight of an acryl-type copolymer says the value calculated | required from the polystyrene conversion value by tetrahydrofuran (THF) by gel permeation chromatography (GPC).
アルキル基の炭素数が1〜12である(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸イソプロピル、(メタ)アクリル酸−n−ブチル、(メタ)アクリル酸−t−ブチル、(メタ)アクリル酸−2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸オクチルなどが挙げられ、(メタ)アクリル酸−2―エチルヘキシルが好ましい。アルキル基の炭素数が1〜12である(メタ)アクリル酸アルキルエステルは、単独で用いられても二種以上が併用されてもよい。 Examples of the alkyl ester having 1 to 12 carbon atoms in the alkyl group include, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, and isopropyl (meth) acrylate. , (Meth) acrylic acid-n-butyl, (meth) acrylic acid-t-butyl, (meth) acrylic acid-2-ethylhexyl, octyl (meth) acrylate, etc., (meth) acrylic acid-2- Ethylhexyl is preferred. The (meth) acrylic acid alkyl ester having 1 to 12 carbon atoms in the alkyl group may be used alone or in combination of two or more.
(メタ)アクリル酸アルキルエステル系共重合体には、アルキル基の炭素数が1〜12である(メタ)アクリル酸アルキルエステルや(メタ)アクリル酸と共重合可能な他のビニル単量体が共重合成分として含まれていてもよい。このようなビニルモノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸グリシジル、アリルグリシジルエーテル、クロトン酸、マレイン酸、イタコン酸、n−メチロールアクリルアミド、無水マレイン酸、酢酸ビニル、スチレンなどが挙げられる。 The (meth) acrylic acid alkyl ester copolymer includes (meth) acrylic acid alkyl ester having 1 to 12 carbon atoms in the alkyl group and other vinyl monomers copolymerizable with (meth) acrylic acid. It may be contained as a copolymerization component. Examples of such vinyl monomers include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, allyl glycidyl ether, crotonic acid, maleic acid, itaconic acid, n-methylolacrylamide, maleic anhydride, acetic acid. Examples include vinyl and styrene.
(メタ)アクリル酸アルキルエステル系共重合体中に(メタ)アクリル酸ブチル成分が含有されている場合、(メタ)アクリル酸ブチルの含有量は、少ないと、粘着剤層の耐熱性が低下することがあり、多いと、研磨パッドのうねりに追従できないことがあるので、10〜50重量%が好ましい。 When the (meth) acrylic acid alkyl ester copolymer contains a butyl (meth) acrylate component, if the content of butyl (meth) acrylate is small, the heat resistance of the pressure-sensitive adhesive layer decreases. In many cases, if it is large, it may be impossible to follow the waviness of the polishing pad, so 10 to 50% by weight is preferable.
(メタ)アクリル酸アルキルエステル系共重合体中に(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル成分が含有されている場合、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルの含有量は、少ないと、粘着剤層の柔軟性が低下することがあり、多いと、粘着剤層の耐熱性が低下することがあるので、30〜90重量%が好ましく、50〜80重量%がより好ましい。 When the (meth) acrylic acid alkyl ester copolymer contains a 2-ethylhexyl (meth) acrylate component, if the content of 2-ethylhexyl (meth) acrylate is small, the pressure-sensitive adhesive layer is flexible. In some cases, the heat resistance of the pressure-sensitive adhesive layer may decrease, and therefore, 30 to 90% by weight is preferable, and 50 to 80% by weight is more preferable.
(メタ)アクリル酸アルキルエステル系共重合体中において、アルキル基の炭素数が1〜12である(メタ)アクリル酸アルキルエステルの含有量は、少ないと、粘着剤層の粘着力やタックが低下することがあるので、70重量%以上が好ましく、80重量%以上がより好ましく、多すぎると、(メタ)アクリル酸アルキルエステル系共重合体の架橋が不十分となって凝集力が低下し、粘着剤層が凝集破壊することがあるので、80〜95重量%が好ましい。 In the (meth) acrylic acid alkyl ester copolymer, if the content of the (meth) acrylic acid alkyl ester having 1 to 12 carbon atoms in the alkyl group is small, the adhesive strength and tack of the pressure-sensitive adhesive layer are lowered. 70% by weight or more is preferable, 80% by weight or more is more preferable, and if too much, the crosslinking of the (meth) acrylic acid alkyl ester copolymer becomes insufficient and the cohesive force decreases, Since the pressure-sensitive adhesive layer may cause cohesive failure, 80 to 95% by weight is preferable.
(メタ)アクリル酸アルキルエステル系共重合体を得るためには、アルキル基の炭素数が1〜12である(メタ)アクリル酸アルキルエステルと、(メタ)アクリル酸と、必要に応じて配合する上述の他の単量体とを、重合開始剤の存在下にてラジカル反応させればよい。なお、重合方法としては、特に限定されず、従来公知の方法が用いられ、例えば、溶液重合、乳化重合、懸濁重合、塊状重合などが挙げられる。 In order to obtain a (meth) acrylic acid alkyl ester copolymer, a (meth) acrylic acid alkyl ester having 1 to 12 carbon atoms in the alkyl group and (meth) acrylic acid are blended as necessary. What is necessary is just to carry out the radical reaction with the other monomer mentioned above in presence of a polymerization initiator. In addition, it does not specifically limit as a polymerization method, A conventionally well-known method is used, For example, solution polymerization, emulsion polymerization, suspension polymerization, block polymerization, etc. are mentioned.
上記重合開始剤としては、特に限定されず、例えば、1,1−ビス(t−ヘキシルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、t−ヘキシルパーオキシピバレート、t−ブチルパーオキシピバレート、2,5−ジメチル−2,5−ビス(2−エチルヘキサノイルパーオキシ)ヘキサン、t−ヘキシルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシイソブチレート、t−ブチルパーオキシ−3,5,5−トリメチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシラウレートなどが挙げられ、1,1−ビス(t−ヘキシルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、t−ヘキシルパーオキシピバレートが好ましい。なお、重合開始剤は、単独で用いられても二種以上が併用されてもよい。 The polymerization initiator is not particularly limited. For example, 1,1-bis (t-hexylperoxy) -3,3,5-trimethylcyclohexane, t-hexylperoxypivalate, t-butylperoxypi Valet, 2,5-dimethyl-2,5-bis (2-ethylhexanoylperoxy) hexane, t-hexylperoxy-2-ethylhexanoate, t-butylperoxy-2-ethylhexanoate, Examples include t-butyl peroxyisobutyrate, t-butyl peroxy-3,5,5-trimethylhexanoate, t-butyl peroxylaurate, and the like. 1,1-bis (t-hexylperoxy) -3,3,5-trimethylcyclohexane and t-hexyl peroxypivalate are preferred. In addition, a polymerization initiator may be used independently or 2 or more types may be used together.
粘着剤層の厚みは、薄いと、粘着剤層の粘着力が不充分となり、研磨中に研磨材が剥離することがあり、厚いと、粘着剤層の凝集力が低下することがあるので、30〜100μmが好ましく、40〜80μmがより好ましく、50〜70μmが特に好ましい。 If the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is thin, the pressure-sensitive adhesive force of the pressure-sensitive adhesive layer becomes insufficient, and the abrasive may peel off during polishing, and if it is thick, the cohesive force of the pressure-sensitive adhesive layer may decrease. 30-100 micrometers is preferable, 40-80 micrometers is more preferable, 50-70 micrometers is especially preferable.
又、粘着剤層を構成する粘着剤としてアクリル系粘着剤を用いた場合、粘着剤層のJIS Z0237に準拠して測定されたステンレス板に対する180°ピール力は、低いと、研磨中にスラリー液に含有された酸やアルカリによってアクリル系粘着剤が変質してその粘着力が低下し、粘着剤層から研磨材が剥離することがあり、高いと、研磨材と研磨材固定用両面粘着テープを貼り直したい場合に不便となることがあるので、7〜40N/25mmが好ましく、10〜30N/25mmがより好ましい。 Further, when an acrylic pressure-sensitive adhesive is used as the pressure-sensitive adhesive constituting the pressure-sensitive adhesive layer, if the 180 ° peel force with respect to the stainless steel plate measured in accordance with JIS Z0237 is low, the slurry liquid is polished during polishing. The adhesive and adhesive strength of the acrylic adhesive may deteriorate due to the acid or alkali contained in the adhesive, and the abrasive may be peeled off from the adhesive layer. 7-40 N / 25 mm is preferable and 10-30 N / 25 mm is more preferable because it may be inconvenient when it is desired to re-paste.
上記粘着付与樹脂としては、特に限定されず、例えば、キシレン樹脂、フェノール樹脂、ロジン系樹脂、テルペン系樹脂などが挙げられ、単独で用いられても二種以上が併用されてもよい。 The tackifying resin is not particularly limited, and examples thereof include xylene resins, phenol resins, rosin resins, terpene resins, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
研磨布固定用粘着剤層は、強固着性が要求されるため、粘着付与樹脂を含有することが好ましい。粘着付与樹脂としては、キシレン樹脂が好ましく、キシレン樹脂のアルキルフェノール反応物がより好ましい。このようなキシレン樹脂のアルキルフェノール反応物の市販品としては、例えば、フドー社から商品名「ニカノールTシリーズ」で市販されている。 Since the adhesive layer for fixing the polishing cloth is required to have strong adhesion, it is preferable to contain a tackifying resin. As the tackifier resin, a xylene resin is preferable, and an alkylphenol reaction product of the xylene resin is more preferable. As a commercial item of such an alkylphenol reaction product of xylene resin, for example, it is commercially available under the trade name “Nikanol T series” from Fudou.
研磨布固定用粘着剤層が(メタ)アクリル酸アルキルエステル系共重合体から構成されている場合、研磨布固定用粘着剤層に含有される粘着付与樹脂の量は、(メタ)アクリル酸アルキルエステル系共重合体100重量部に対して5〜20重量部が好ましく、10〜17重量部がより好ましい。粘着付与樹脂の配合量が少ないと、粘着剤層が凝集破壊を生じることがあり、多いと、粘着剤層の粘着力やタックが低下することがある。 When the abrasive cloth fixing pressure-sensitive adhesive layer is composed of an alkyl (meth) acrylate copolymer, the amount of tackifying resin contained in the abrasive cloth fixing pressure-sensitive adhesive layer is the alkyl (meth) acrylate. 5-20 weight part is preferable with respect to 100 weight part of ester-type copolymers, and 10-17 weight part is more preferable. If the amount of the tackifying resin is small, the pressure-sensitive adhesive layer may cause cohesive failure, and if it is large, the pressure-sensitive adhesive force and tack of the pressure-sensitive adhesive layer may be reduced.
定盤固定用粘着剤層は、定盤から糊残りなく剥離することが求められる。定盤固定用粘着剤層が(メタ)アクリル酸アルキルエステル系共重合体から構成されている場合、粘着付与剤の配合量は、多いと、再剥離性が劣る場合があるので、(メタ)アクリル酸アルキルエステル系共重合体100重量部に対して10重量部以下とすることが好ましい。 The pressure-sensitive adhesive layer for fixing the platen is required to be peeled off from the platen without any adhesive residue. If the pressure-sensitive adhesive layer for fixing the platen is composed of a (meth) acrylic acid alkyl ester copolymer, the re-peelability may be inferior if the amount of the tackifier is large. The amount is preferably 10 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the acrylic acid alkyl ester copolymer.
上記ゴム系粘着剤としては、例えば、積水化学工業株式会社から商品名「YK糊」にて市販されている。ゴム系粘着剤には、石油系樹脂が含有されていてもよい。なお、石油系樹脂は、例えば、荒川化学社から商品名「アルコン」で市販されている。 As said rubber adhesive, it is marketed by the brand name "YK glue" from Sekisui Chemical Co., Ltd., for example. The rubber-based adhesive may contain a petroleum-based resin. The petroleum-based resin is commercially available from Arakawa Chemical Company under the trade name “Arcon”, for example.
上記研磨材固定用両面粘着テープの製造方法の一つとしては、先ず、得ようとする研磨材固定用両面粘着テープの幅と同一或いはそれよりも広い幅を有する単一フィルムからなる基材フィルムを用意する。 As one of the methods for producing the above-mentioned double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing abrasives, first, a base film comprising a single film having the same width as or wider than the width of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing abrasives to be obtained. Prepare.
次に、基材フィルムの幅よりも狭い幅を有する転写用フィルムを複数枚用意する。転写用フィルムの数は、転写用フィルムの幅の合計が、得ようとする研磨材固定用両面粘着テープの幅と略同一になるように調整すればよい。転写用フィルムは、従来から離型フィルム、塗工紙、塗工フィルムとして用いられているものを用いればよいが、上質紙の両面のそれぞれにポリエチレン系樹脂フィルムを積層一体化し且つ各ポリエチレン系樹脂フィルムの表面に離型剤を塗布してなる転写用フィルムが好ましい。 Next, a plurality of transfer films having a width narrower than the width of the base film are prepared. The number of transfer films may be adjusted so that the total width of the transfer films is substantially the same as the width of the abrasive-fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape to be obtained. The transfer film may be any film conventionally used as a release film, coated paper, or coated film, but a polyethylene resin film is laminated and integrated on both sides of a high-quality paper and each polyethylene resin is used. A transfer film obtained by applying a release agent to the surface of the film is preferred.
転写用フィルムを構成している上質紙の目付は、低いと、研磨材固定用両面粘着テープの使用時に転写用フィルムを粘着剤層から剥離する際に上質紙が破壊することがあるので、100g/m2以上が好ましく、100〜130g/m2がより好ましい。 If the basis weight of the quality paper constituting the transfer film is low, the quality paper may be destroyed when the transfer film is peeled off from the adhesive layer when using the double-sided adhesive tape for fixing the abrasive. / M 2 or more is preferable, and 100 to 130 g / m 2 is more preferable.
次に、各転写用フィルム上に粘着剤を塗布して溶剤を完全に乾燥、除去し、所定厚みの転写用粘着剤層を剥離可能に積層一体化させて転写用粘着フィルムを製造する。しかる後、基材フィルムの両面のそれぞれに、複数枚の転写用粘着フィルムをそれらの転写用粘着剤層が基材フィルムに対向した状態となるようにして転写用粘着フィルムの幅方向に並列状態に積層し、転写用粘着剤層を基材フィルム上に転写し積層一体化させ、基材フィルム上に転写させた転写用粘着剤層を小幅粘着剤層部とし、基材フィルムの両面に上記複数の小幅粘着剤層部によって形成された粘着剤層を積層一体化して研磨材固定用両面粘着テープを製造することができる。 Next, a pressure-sensitive adhesive is applied onto each transfer film, and the solvent is completely dried and removed, and a transfer pressure-sensitive adhesive layer having a predetermined thickness is laminated and integrated in a peelable manner to produce a transfer pressure-sensitive adhesive film. After that, on both sides of the base film, a plurality of transfer adhesive films are arranged in parallel in the width direction of the transfer adhesive film so that the transfer adhesive layer faces the base film. The transfer pressure-sensitive adhesive layer is transferred onto the base film and laminated and integrated, and the transfer pressure-sensitive adhesive layer transferred onto the base film is used as a narrow pressure-sensitive adhesive layer part. A double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing an abrasive can be produced by laminating and integrating pressure-sensitive adhesive layers formed by a plurality of narrow pressure-sensitive adhesive layer portions.
基材フィルム上に複数枚の転写用粘着フィルムを積層させるにあたって、互いに隣り合う転写用粘着フィルムの転写用粘着剤層の対向端面同士が完全に接合し、転写用粘着剤層間に隙間が形成されていなくても、或いは、互いに隣り合う転写用粘着フィルムの転写用粘着剤層の対向端面間に隙間が形成されていてもよい。 When laminating a plurality of transfer adhesive films on a substrate film, the opposing end surfaces of the transfer adhesive layers of adjacent transfer adhesive films are completely joined together, and a gap is formed between the transfer adhesive layers. Alternatively, a gap may be formed between the opposing end surfaces of the transfer pressure-sensitive adhesive layers of the transfer pressure-sensitive adhesive films adjacent to each other.
互いに隣り合う転写用粘着フィルムの転写用粘着剤層の対向端面間に隙間が形成されている場合、転写用粘着剤層の対向端面間の寸法は、広いと、研磨材固定用両面粘着テープに貼着させた研磨材に凹凸が発生し、被研磨物を均一に研磨することができないことがあるので、1mm以下が好ましい。 When a gap is formed between the opposing end faces of the transfer adhesive layers of the adjacent transfer adhesive films, if the size between the opposing end faces of the transfer adhesive layer is wide, the double-sided adhesive tape for fixing the abrasive material Since unevenness occurs in the adhered abrasive and the object to be polished may not be uniformly polished, it is preferably 1 mm or less.
又、互いに隣り合う転写用粘着フィルムの転写用粘着剤層の対向端面間に隙間が形成されている場合、基材フィルム上に転写した転写用粘着剤層に圧力を加えて転写用粘着剤層を変形させることによって、転写用粘着剤層の対向端面間に形成された隙間を埋めるようにすればよい。なお、転写用フィルムの転写用粘着剤層に圧力を加える方法としては、基材フィルム上に転写用粘着フィルムを積層させる際に転写用粘着剤層に圧力を加える方法、基材フィルム上に転写用粘着フィルムを積層した後に基材フィルムを巻き取る際の巻取り圧力によって転写用粘着剤層に圧力を加える方法などが挙げられる。 Further, the transfer PSA layer by applying pressure between the opposite end faces of the transfer PSA layer when a gap is formed, the transfer PSA layer transferred onto the substrate film of the transfer PSA film adjacent by deforming the, it is sufficient to fill the gap formed between the opposite end faces of the transfer PSA layer. As a method of applying pressure to the transfer adhesive layer of the transfer film, a method of applying pressure to the transfer adhesive layer when laminating the transfer adhesive film on the substrate film, transfer onto the substrate film For example, there may be mentioned a method of applying pressure to the transfer pressure-sensitive adhesive layer by a winding pressure when winding the base film after laminating the pressure-sensitive adhesive film.
一方、研磨材固定用両面粘着テープの他の製造方法は、転写用粘着剤層が転写用フィルム上に剥離可能に積層されてなる複数枚の転写用粘着フィルムを互いに対向する端縁部において重なり合うように順次、幅方向に配列させて重複部分を形成する重複部形成工程と、上記転写用粘着フィルム同士の重複部分において上記転写用粘着フィルムをその厚み方向に切断して、切断転写用粘着フィルム部と切断小片部とに分断する分断工程と、上記切断小片部を除去した後、切断転写用粘着フィルム部の切断面同士を接合させて幅広転写用粘着フィルムを得る工程と、単一フィルムからなる基材フィルムの両面のそれぞれに、上記幅広転写用粘着フィルムをその転写用粘着剤層が上記基材フィルムに対向した状態に積層して、上記基材フィルム上に上記転写用粘着剤層を転写し積層一体化させる工程とを備えていることを特徴とする。 On the other hand, another manufacturing method of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing an abrasive material is such that a plurality of transfer pressure-sensitive adhesive films in which a transfer pressure-sensitive adhesive layer is detachably laminated on a transfer film are overlapped at edge portions facing each other. In this manner, the overlapping part forming step of sequentially forming the overlapping parts by arranging them in the width direction, and cutting the transfer adhesive film in the thickness direction at the overlapping part between the transfer adhesive films, the cut transfer adhesive film From a single film, a dividing step of dividing into a cut portion and a cut piece portion, a step of removing the cut piece portion, joining the cut surfaces of the cut transfer adhesive film portion to obtain a wide transfer adhesive film, and a single film Laminate the wide transfer adhesive film on both sides of the base film so that the transfer adhesive layer faces the base film, and Characterized in that it comprises a step of transferring the serial transfer PSA layer integrally laminated.
複数枚の転写用粘着フィルムを互いに対向する端縁部において重なり合うように順次、幅方向に配列させて重複部分を形成するにあたって、重複部分の寸法は、狭いと、安定した重複部分を形成することができず、或いは、次に続く分断工程において転写用フィルムを円滑に切断することができないことがあり、広くても、無駄が発生するだけであるので、得られる研磨材固定用両面粘着テープの幅の0.5〜10%が好ましい。 When forming overlapping portions by sequentially arranging a plurality of transfer adhesive films in the width direction so as to overlap each other at the edge portions facing each other, forming a stable overlapping portion if the size of the overlapping portion is narrow Or the transfer film may not be cut smoothly in the subsequent dividing step, and even if it is wide, only waste is generated. 0.5 to 10% of the width is preferred.
各工程をバッチ式に行うようにしても構わないが、長尺の研磨材固定用両面粘着テープを得ようとした場合、少なくとも幅広転写用粘着フィルムを得る工程までは連続的に行ない、巻き取り機に連続的に巻き取ることが好ましい。なお、連続式に製造する場合、重複部分の切断は、特に限定されないが、スリッター(スリット加工機)の使用が好適である。 Each process may be carried out batchwise, but when trying to obtain a long double-sided adhesive tape for fixing abrasives, at least the process of obtaining a wide transfer adhesive film is continuously performed and wound up It is preferable to continuously wind up the machine. In addition, when manufacturing in a continuous type, although the cutting of an overlapping part is not specifically limited, Use of a slitter (slit processing machine) is suitable.
切断小片部を除去した後、切断転写用粘着フィルム部の切断面同士を接合させるまでの時間は、連続的に製造する場合、巻き取り速度にもよるが、概ね切断小片部を分離後1m未満(好ましくは0.5m未満)の間で行うことが好ましい。即ち、1mを超えると、分断小片除去直後には隙間なく並列していた切断転写用粘着フィルム部と、切断転写用粘着フィルム部との間に隙間を生じてしまうことがある。なお、切断小片部は、特に限定されないが、連続式の場合、巻き取り機等で巻き取りながら分離することが好ましい。 The time until the cut surfaces of the adhesive film part for cutting and transferring are joined after removing the cut piece part is generally less than 1 m after separating the cut piece part, although it depends on the winding speed when manufacturing continuously. (Preferably less than 0.5 m). That is, when the length exceeds 1 m, a gap may be formed between the cut-and-transfer adhesive film portion and the cut-and-transfer adhesive film portion that are arranged in parallel without gap immediately after removal of the divided pieces. In addition, although a cutting | disconnection small piece part is not specifically limited, In the case of a continuous type, it is preferable to isolate | separate, winding up with a winder.
又、巻き取り機に巻き取られる幅広転写用粘着フィルムは、その転写用粘着層を基材フィルム上に直接、積層させた後、巻き取り機に巻き取るようにしても構わないし、幅広転写用粘着フィルムの転写用粘着剤層上に剥離可能に剥離フィルムを積層しておき、剥離フィルムを剥離して転写用粘着剤層を露出させた後に基材フィルム上に広幅転写用フィルムを積層するようにしてもよい。 The wide transfer pressure-sensitive adhesive film wound on the winder may be laminated on the base film directly after the transfer pressure-sensitive adhesive layer and then wound on the winder. A release film is laminated on the pressure-sensitive adhesive layer of the pressure-sensitive adhesive film so as to be peeled off. After the release film is peeled to expose the pressure-sensitive adhesive layer for transfer, a wide-width transfer film is laminated on the base film. It may be.
更に、転写用フィルムから切断小片部を除去した直後は、接合される2つの切断転写用粘着フィルム部は、切断線を中心として上下方向にずれた状態になっているが、重複した状態で切断されるため、切断面に段差がなくスムーズに上側の切断転写用粘着フィルム部が下側の切断転写用粘着フィルム部の切断面に容易に一致した状態になる。従って、両切断転写用粘着フィルム部の切断面同士を接合させる際、上下方向及び幅方向から押圧を加えなくても構わないが、より確実性を得るため、上下方向に押さえローラを設けると共に、幅方向にも規制ローラを設けるようにしても構わない。 Further, immediately after removing the cut piece from the transfer film, the two cut transfer adhesive films to be joined are shifted in the vertical direction around the cutting line, but cut in an overlapping state. Therefore, there is no level difference on the cut surface, and the upper cut-off transfer adhesive film portion is smoothly aligned with the cut surface of the lower cut-transfer adhesive film portion. Therefore, when joining the cut surfaces of both the cut and transfer adhesive film parts, it is not necessary to apply pressure from the vertical direction and the width direction, but in order to obtain more certainty, while providing a pressing roller in the vertical direction, You may make it provide a control roller also in the width direction.
上記工程により、上下方向にずれていた切断転写用粘着フィルム部はその切断端面同士が接合して一枚の平滑な幅弘転写用フィルムとなるが、接合面となる切断転写用粘着フィルム部の切断面同士は、完全に接着している必要はなく、隙間なく接合しておればよい。 By the above process, the adhesive film part for cutting transfer that has been displaced in the vertical direction is joined to the cut end face to form a smooth wide film for transfer, but the adhesive film part for cutting transfer that becomes the joining surface The cut surfaces do not need to be completely bonded to each other, and may be joined without a gap.
切断転写用粘着フィルム部の切断面同士を接合した後、切断転写用粘着フィルム部の接合部上に両切断転写用粘着フィルム部に跨るように接合状態保持用の粘着テープを貼着するようにしても構わない。即ち、切断転写用粘着フィルム部同士の接合面がずれて隙間が生じることをより確実に防止することができる。 After joining the cut surfaces of the adhesive film part for cutting and transferring, the adhesive tape for maintaining the joining state is stuck on the joining part of the adhesive film part for cutting and transferring so as to straddle both adhesive film parts for cutting and transferring. It doesn't matter. That is, it is possible to more reliably prevent the gap between the bonding surfaces of the cut and transfer adhesive film portions from being shifted.
なお、接合状態保持用の粘着テープの幅は、特に限定されないが、1〜40cmの幅とすることが好ましい。即ち、接合状態保持用の粘着テープの幅が狭すぎると、その効果が殆どなく、広すぎると、シワ等の原因となるおそれがある。 The width of the adhesive tape for maintaining the bonded state is not particularly limited, but is preferably 1 to 40 cm. That is, if the width of the adhesive tape for maintaining the bonded state is too narrow, there is almost no effect, and if it is too wide, it may cause wrinkles.
本発明の研磨材固定用両面粘着テープは、基材フィルムの両面に粘着剤層が積層一体化されてなる研磨材固定用両面粘着テープであって、上記基材フィルムはその幅が2m以上で且つ単一フィルムからなると共に、上記粘着剤層は、2以上の小幅粘着剤層部が上記基材フィルム上に並列することによって構成され、上記小幅粘着剤層部における対向する端面同士が接合されていることを特徴とするので、大型のガラス基板などの被研磨物の研磨に対応することができ、大型の被研磨物を精度よく研磨することができると共に取り扱い性に優れている。 The double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing an abrasive according to the present invention is a double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing an abrasive in which adhesive layers are laminated and integrated on both sides of a base film, and the base film has a width of 2 m or more. And while it consists of a single film, the said adhesive layer is comprised when two or more narrow adhesive layer parts are arranged in parallel on the said base film, and the opposing end surfaces in the said narrow adhesive layer part are joined. Therefore, it is possible to cope with polishing of an object to be polished such as a large glass substrate, and it is possible to polish a large object to be polished with high accuracy and to be excellent in handleability.
そして、研磨材固定用両面粘着テープの基材フィルムは単一フィルムからなるので、取り扱い時に基材フィルムが折れ曲がったり、破損したりすることがない。 And since the base film of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing an abrasive is composed of a single film, the base film is not bent or broken during handling.
又、研磨材固定用両面粘着テープの粘着剤層は、小幅粘着剤層部を並列することによって形成されており、小幅粘着剤層部は厚み精度よく製造することができる。よって、研磨材固定用両面粘着テープの粘着剤層は優れた厚み精度を有しており、粘着剤層上に研磨材をできるだけ平滑な状態に貼着することができ、被研磨物を均一に研磨することができる。 Moreover, the adhesive layer of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing the abrasive is formed by juxtaposing the narrow adhesive layer portions, and the narrow adhesive layer portions can be manufactured with high thickness accuracy. Therefore, the pressure-sensitive adhesive layer of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing the abrasive has excellent thickness accuracy, and the abrasive can be stuck as smooth as possible on the pressure-sensitive adhesive layer, so that the object to be polished can be made uniform. Can be polished.
以下に、本発明を、その実施の形態をあらわす図面を参照しつつ詳しく説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings showing embodiments thereof.
図1〜6は、本発明に係る研磨材固定用両面粘着テープの製造方法の第1の実施の形態をその工程順にあらわしている。 1-6 represents 1st Embodiment of the manufacturing method of the double-sided adhesive tape for abrasive | polishing agent fixation which concerns on this invention in order of the process.
研磨材固定用両面粘着テープの製造方法は、先ず、図1に示すように、従来の製造方法で製造されロール状に巻回された、粘着剤層が従来の製造方法で転写用フィルムの片面に剥離可能に精度よく積層された例えば1500mmの幅の転写用粘着フィルム1aを用意し、一次工程のサプライ側にセットする。
As shown in FIG. 1, the manufacturing method of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing an abrasive material is first manufactured by a conventional manufacturing method and wound into a roll. For example, a transfer
そして、転写用粘着フィルム1aをサプライ側から巻き取り機(図示せず)側に連続的に送り出しながら、転写用粘着フィルム1aの幅方向の両端縁をスリッターの刃4によって例えば1225mmの幅となるように切断した後、巻き取り機で巻き取ってロール状に巻回された一定幅の長尺状の幅調整済みの転写用粘着フィルム(一次工程原反)1bを作製する。この転写用粘着フィルム1bは、図2に示すように、転写用フィルム2の離型面に転写用粘着剤層3aが積層されている。
Then, while continuously feeding the transfer
次に、図3に示すように、二次工程のサプライ側に、PET製単一フィルムからなる一定幅(例えば2500mmの幅)のロール状に巻回された長尺状の基材フィルム5を用意すると共に、上記のようにして作製した2つの転写用粘着フィルム1bを幅方向に並べ、転写用粘着剤層3a側が基材フィルム5側を向くように用意する。
Next, as shown in FIG. 3, on the supply side of the secondary process, a
そして、サプライ側から基材フィルム5及び2枚の転写用粘着フィルム1bを引き出し、2つの転写用粘着フィルム1bの転写用粘着剤層3aの幅方向の対向端面同士を接合しながら、基材フィルム5の上面に転写用粘着フィルム1b、1bを積層し、ラミネートロール6によって転写用フィルム2、2を介して転写用粘着剤層3a、3aを基材フィルム5に押圧して、転写用粘着フィルム1b、1bの転写用粘着剤層3a、3aを基材フィルム5上に転写して積層一体化し、この転写用粘着剤層3a、3aを小幅粘着剤層部として巻き取り機(図示せず)で連続的に巻き取って、図4に示すように、基材フィルム5の片面に小幅粘着剤層部3a、3aの対向端面同士が隙間なく密着状態に接合してなる粘着剤層3を備えたロール状の半製品(二次工程原反)7aを得る。
Then, the
次に、図5に示すように、三次工程のサプライ側に、上記のようにして得たロール状の半製品7aを用意すると共に、上記のようにして作製した2つの転写用粘着フィルム1bをその幅方向に並べ、転写用粘着剤層3aが半製品7a側を向くように用意する。
Next, as shown in FIG. 5, the roll-shaped
そして、サプライ側から半製品7a及び2つの転写用粘着フィルム1b、1bを引き出し、2つの転写用粘着フィルム1b、1bの転写用粘着剤層3a、3aの幅方向の対向端面同士を接合しながら、半製品7aの粘着剤層が設けられていない基材フィルム5上に、転写用粘着フィルム1b、1bを積層し、ラミネートロール6によって転写用フィルム2、2を介して転写用粘着剤層3a、3aを基材フィルム5に押圧して、転写用粘着フィルム1b、1bの転写用粘着剤層3a、3aを基材フィルム5上に転写して積層一体化し、この転写用粘着剤層3a、3aを小幅粘着剤層部とした後、半製品7a側の転写用フィルム2を取り除いた上で巻き取り機(図示せず)で連続的に巻き取って、図6に示すように、基材フィルム5の両面のそれぞれに、二つの小幅粘着剤層部3a、3aが対向端面同士を互いに隙間なく密着させた状態に接合されてなる粘着剤層3、3が積層一体化されてなるロール状の幅広の研磨材固定用両面粘着テープ7を得ることができる。なお、上記研磨材固定用両面粘着テープ7では、二つの小幅粘着剤層部3a、3aによって粘着剤層3を形成した場合を説明したが、三つ以上の小幅粘着剤層部3a、3a・・・によって粘着剤層3が形成されていてもよい。
Then, the
上記のようにして得た研磨材固定用両面粘着テープ7は、基材フィルム5が単一フィルムから形成されている。なお、上記のようにして得た研磨材固定用両面粘着テープ7は、幅方向の両端部をトリミングする場合もある。
In the double-sided pressure-sensitive
上記研磨材固定用両面粘着テープ7では、基材フィルム5の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部3a、3a同士の接合部と、基材フィルム5の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部3a、3a同士の接合部とが基材フィルム5の厚み方向(基材フィルム5の表面に対して垂直な方向)に合致していたが、基材フィルム5の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部3a、3a同士の接合部と、基材フィルム5の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部3a、3a同士の接合部とを基材フィルム5の厚み方向に合致させずに基材フィルムの面方向に互いにずれた構造としてもよい。
In the above-mentioned double-sided pressure-sensitive
基材フィルム5の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部3a、3a同士の接合部と、基材フィルム5の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部3a、3a同士の接合部とを基材フィルム5の厚み方向に合致させずに基材フィルムの面方向に互いにずれた構造とすることによって、研磨材固定用両面粘着テープ7上に貼着させた研磨材を小幅粘着剤層部3によって略均等に受止することができ、被研磨物を精度良く研磨することができる。
Bonding of the narrow
このように、基材フィルム5の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部3a、3a同士の接合部と、基材フィルム5の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部3a、3a同士の接合部とを基材フィルム5の厚み方向に合致させずに基材フィルムの面方向に互いにずれた構造を有する研磨材固定用両面粘着テープを製造する場合には、基材フィルム5の両面に積層させた転写用粘着フィルム1b、1b・・・の幅を互いに相違させて、基材フィルム5の一面に積層させた転写用粘着フィルム1b、1b同士の接合部と、基材フィルム5の他面に積層させた転写用粘着フィルム1b、1b同士の接合部とが基材フィルム5の厚み方向に合致しないように調整すればよい。なお、転写用粘着フィルム1bの幅は、基材フィルム5の幅の10%以上が好ましく、20%以上がより好ましく、33%以上が特に好ましい。
As described above, the narrow
又、転写用粘着フィルム1b、1bの転写用粘着剤層3a、3aの対向端面間に転写用粘着フィルム1b、1bの全長に亘って一定幅の隙間3Aが形成されるようにしながら、転写用粘着フィルム1b、1bを基材フィルム5上に積層させた後、転写用粘着フィルム1b、1bの転写用粘着剤層3a、3aに圧力を加えて転写用粘着剤層3a、3aを変形させて、転写用粘着剤層3a、3a間の隙間を埋めて、図6に示した構成の研磨材固定用両面粘着テープ7を製造してもよい。
In addition, a gap 3A having a constant width is formed between the opposing end faces of the transfer
上記研磨材固定用両面粘着テープの製造は、上述した要領を組み合わせて、基材フィルムの両面のそれぞれに転写用粘着フィルムを積層させればよい。 What is necessary is just to laminate | stack the adhesive film for transcription | transfer on each of both surfaces of a base film combining the point mentioned above for manufacture of the said double-sided adhesive tape for abrasive | polishing material fixation.
図8〜図14は、本発明に係る研磨材固定用両面粘着テープの製造方法の第2の実施の形態をあらわしている。 FIGS. 8-14 represents 2nd Embodiment of the manufacturing method of the double-sided adhesive tape for abrasive | polishing agent fixation which concerns on this invention.
図8に示すように、この研磨材固定用両面粘着テープの製造方法は、従来の製造方法で製造されロール状に巻回された、粘着剤層11が従来の製造方法で転写用フィルム11aの片面に精度良く剥離可能に積層されてなる転写用粘着フィルム1aを2つ用意し、一次工程のサプライ側にセットする。
As shown in FIG. 8, the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing an abrasive is manufactured by a conventional manufacturing method and wound into a roll, and the pressure-
そして、2つの転写用粘着フィルム1a、1aをサプライ側から巻き取り機(図示せず)側に連続的に送り出しながら、図8及び図9に示すように、一方の転写用粘着フィルム1aの幅方向の端縁部を他方の転写用粘着フィルム1aの端縁部に一定幅で重なるように重ね合わせる。この際、一方の転写用粘着フィルム1aの転写用粘着剤層11と、他方の転写用粘着フィルム1aの転写用フィルム11aとが対向するように、2つの転写用粘着フィルム1a、1aの幅方向の端縁部同士を重ね合わせる。
Then, while continuously feeding the two transfer
しかる後、転写用粘着フィルム1a、1aを押さえローラR1、R1によって厚み方向の両側から挟み込んだ後、図10及び図11に示すように、転写用粘着フィルム1a、1aの重複部分12をその幅方向の中央部において分断線13に沿ってスリッターの刃4によって連続的に全厚みに亘って切断して、転写用粘着フィルム1aを切断転写用粘着フィルム部14と切断小片部15とに分断する。
Thereafter, the transfer
次に、図8及び図11に示すように、切断小片部15を連続的に切断転写用粘着フィルム部14から分離した後、切断転写用粘着フィルム部14を上下の押さえローラR2、R2で挟み込み、図8及び図12に示すように、2つの切断転写用粘着フィルム部14の切断面同士が接合した状態、即ち、切断転写用粘着フィルム部14、14の転写用フィルム部11a’、11a’同士及び転写用粘着剤層部11’、11’同士がそれぞれ接合した状態とした後、幅方向の両側から2つの圧接ローラR3,R3によって、切断転写用粘着フィルム部14の切断面同士が圧接されるように圧を加えて幅広転写用粘着フィルム1dを形成し、この幅広転写用粘着フィルム1dの転写用粘着剤層部11’、11’側にPET製の単一フィルムからなる例えば幅広転写用粘着フィルム1dより少し広い幅の基材フィルム5を連続的に沿わせて、図13に示すように、基材フィルム5の片面に幅広転写用粘着フィルム1dが積層された半製品7bを巻き取り機(図示せず)に連続的に巻き取る。幅広転写用粘着フィルム1dの転写用粘着剤層部11’、11’はそれらの対向端面間に隙間なく密着して接合された状態にて粘着剤層を形成し基材フィルム5上に転写されて積層一体化されている。
Next, as shown in FIG. 8 and FIG. 11, the
そして、図14に示すように、別ラインで上記と同様の要領で得られた幅広転写用粘着フィルム1dの転写用粘着剤層部11’、11’を上記で得た半製品7bの基材フィルム5の反対側の面に上述と同様の要領で積層させて研磨材固定用両面粘着テープ70を得る。
And as shown in FIG. 14, the base material of the
この研磨材固定用両面粘着テープの製造方法は、以上のように構成されているので、切断転写用粘着フィルム部14の切断面同士が容易且つ正確に密着し、安定して本発明の研磨材固定用両面粘着テープ70を得ることができる。
Since the manufacturing method of this double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing the abrasive is configured as described above, the cut surfaces of the
図15は、本発明に係る研磨材固定用両面粘着テープの製造方法の第3の実施の形態をあらわしている。 FIG. 15 shows a third embodiment of the method for producing a double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing an abrasive according to the present invention.
図15に示すように、この製造方法は、幅広転写用粘着フィルム1dの切断転写用粘着フィルム部14と切断転写用粘着フィルム部14との接合部の上に両切断転写用粘着フィルム部14、14に跨るように転写用粘着フィルム1aの幅の1〜10%の幅の接合状態保持用の粘着テープ1fを貼着した半製品7cを得るようにした以外は、上記第2の実施の形態と同様になっている。
As shown in FIG. 15, this manufacturing method includes both the cut and transfer
この研磨材固定用両面粘着テープの製造方法は、以上のように、切断転写用粘着フィルム部14と切断転写用粘着フィルム部14との接合部の上に両切断転写用粘着フィルム部14、14に跨るように転写用粘着フィルム1aの幅の1〜40%の幅の接合状態保持用の粘着テープ1fを貼着するようにしたので、上記第2の実施の形態の効果に加えて、得られる半製品7cの転写用粘着剤層部11’、11’同士の接合面がずれて隙間が生じることをより確実に防止することができるという効果を備えたものとなる。
As described above, the manufacturing method of the double-sided adhesive tape for fixing the abrasive material includes the
本発明は、上記の実施の形態に限定されない。例えば、上記第2の実施の形態では切断小片部15を分離したのち、押さえローラR2,R2で上下から挟むようになっていたが、押さえローラR2,R2はなくても構わない。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the second embodiment, the
上述の製造方法によって製造された研磨材固定用両面粘着テープ70においても、基材フィルム5の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部11’、11’同士の接合部と、基材フィルム5の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部11’、11’同士の接合部とが基材フィルム5の厚み方向(基材フィルム5の表面に対して垂直な方向)に合致していたが、基材フィルム5の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部11’、11’同士の接合部と、基材フィルム5の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部11’、11’同士の接合部とが基材フィルム5の厚み方向に合致せずに基材フィルムの面方向に互いにずれた構造としてもよい。
Also in the double-sided pressure-
このような研磨材固定用両面粘着テープ70を製造するには、上記分断工程にて、転写用粘着フィルム同士の重複部分において転写用粘着フィルムをその厚み方向に切断するにあたって、基材フィルム5の一面に積層一体化させる広幅転写用粘着フィルムにおける転写用粘着剤層部11’、11’同士の接合部と、基材フィルム5の他面に積層一体化させる広幅転写用粘着フィルムにおける転写用粘着剤層部11’、11’同士の接合部とが基材フィルム5の厚み方向に合致せずに基材フィルムの面方向に互いにずれた状態となるように、それぞれの転写用粘着フィルムを切断すればよい。なお、転写用粘着フィルム1bの幅が、基材フィルム5の幅の好ましくは10%以上、より好ましくは20%以上、特に好ましくは33%以上となるように転写用粘着フィルムを切断すればよい。
In order to produce such a double-sided pressure-
上述のようにして製造された研磨材固定用両面粘着テープは、研磨機Aの定盤B上に研磨布Cを着脱自在に固着させるために用いられる。 The abrasive-fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape manufactured as described above is used for detachably fixing the polishing pad C on the surface plate B of the polishing machine A.
研磨機Aは、図16に示したように、下面に駆動軸B1が一体的に設けられて所定方向に回転し且つ上面に研磨布Cを着脱自在に配設可能するための配設面B2を有する円盤状の定盤Bと、この定盤Bの上方に配設されて、ウエハなどの被研磨物Eを固定するための回転プレートDとを備えている。 As shown in FIG. 16, the polishing machine A has a drive shaft B1 integrally provided on the lower surface, rotates in a predetermined direction, and an arrangement surface B2 on which the polishing cloth C can be detachably arranged on the upper surface. A disk-shaped surface plate B, and a rotating plate D that is disposed above the surface plate B and fixes an object to be polished E such as a wafer.
回転プレートDは、その上面に駆動軸D1が一体的に設けられて所定方向に回転可能に構成されていると共に、汎用の部材(図示せず)を用いて下面に被研磨物Eを着脱自在に固着可能に構成されている。 The rotating plate D has a drive shaft D1 integrally provided on the upper surface thereof, and is configured to be rotatable in a predetermined direction. The general purpose member (not shown) can be used to attach and detach the workpiece E to the lower surface. It is configured to be able to adhere to.
そして、研磨材固定用両面粘着テープ7、70を用意し、研磨材固定用両面粘着テープ7、70から転写用フィルム2又は幅広転写用粘着フィルム1dの転写用フィルム部11a’を剥離、除去して粘着剤層3a、11’を露出させる。
Then, double-sided pressure-sensitive
研磨材固定用両面粘着テープ7、70の研磨材固定用粘着剤層上に研磨布Cを積層して両側から厚み方向に押圧することによって貼着一体化して研磨布積層体Fを作製する。次に、研磨布積層体Fをその定盤固定用粘着剤層が定盤Bの配設面B2に対向した状態に該配設面B2上に載置し押圧することによって、研磨布Cを研磨材固定用両面粘着テープ1を介して定盤Bの配設面B2上に貼着一体化させる。一方、回転プレートDの下面に汎用の手段を用いてウエハなどの被研磨物Eを着脱自在に固定させる。
An abrasive cloth laminate F is prepared by laminating the abrasive cloth C on the abrasive-fixing adhesive layer of the abrasive-fixing double-sided pressure-sensitive
しかる後、定盤Bの駆動軸B1を駆動させて定盤Bを一定方向に回転させると共に、回転軸D1を駆動させて回転プレートDを一定方向に回転させる。すると、回転プレートの下面に配設された被研磨物Eの下面が定盤B上に配設された研磨布Cによって研磨される。 Thereafter, the drive shaft B1 of the surface plate B is driven to rotate the surface plate B in a certain direction, and the rotation shaft D1 is driven to rotate the rotating plate D in a certain direction. Then, the lower surface of the workpiece E disposed on the lower surface of the rotating plate is polished by the polishing cloth C disposed on the surface plate B.
本発明の研磨材固定用両面粘着テープは、大型のガラス基板の研磨だけではなく、小型のガラス基板やシリコンウエハの研磨にも用いることができる。 The double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing an abrasive of the present invention can be used not only for polishing large glass substrates but also for polishing small glass substrates and silicon wafers.
1 研磨材固定用両面粘着テープ
1a、1b 転写用粘着フィルム
1d 幅広転写用粘着フィルム
1f 粘着テープ
2 転写用フィルム
3 粘着剤層
3A 隙間
3a 転写用粘着剤層、小幅粘着剤層部
5 基材フィルム
7 研磨材固定用両面粘着テープ
11 転写用粘着剤層
11a 転写用フィルム
12 重複部分
14 切断転写用粘着フィルム部
15 切断小片部
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