JP4539376B2 - Transmission signal waveform analysis method and program - Google Patents
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Description
本発明は、プリント基板上の半導体装置内部で発生した電源ノイズがプリント基板上の半導体装置間の伝送信号に与える影響を解析するための伝送信号波形解析方法及びプログラムに関する。 The present invention relates to a transmission signal waveform analysis method and program for analyzing the influence of power supply noise generated inside a semiconductor device on a printed board on a transmission signal between the semiconductor devices on the printed board.
近年、プリント基板に搭載したLSI(large scale integrated circuit)内部で発生する電源ノイズに起因する様々な問題が顕在化している。LSI内部で発生する電源ノイズとは、LSI内部の回路(コア論理回路やI/O回路)が同時に動作することで発生する電源電圧変動のことである。 In recent years, various problems due to power supply noise generated inside a large scale integrated circuit (LSI) mounted on a printed circuit board have become apparent. The power supply noise generated inside the LSI is a power supply voltage fluctuation generated by simultaneous operation of circuits (core logic circuit and I / O circuit) inside the LSI.
LSI内部で発生した電源ノイズは、LSI内部だけでなくプリント基板にも伝播するため、LSI内部やプリント基板上の回路誤動作を引き起こすだけでなく、LSI間伝送信号波形に入り込むことで、伝送信号波形の品質劣化による論理誤認識及び遅延変動によるタイミングマージン割れを引き起こす要因となる。 The power supply noise generated inside the LSI propagates not only inside the LSI but also to the printed circuit board. This not only causes circuit malfunctions inside the LSI or on the printed circuit board, but also enters the inter-LSI transmission signal waveform, resulting in a transmission signal waveform. This is a factor that causes logic misrecognition due to quality degradation and timing margin cracking due to delay variation.
LSIの高速化・多ピン化・大電流化に伴う電源ノイズの増加や、バスクロックの高速化・低電圧化に伴う伝送信号波形やタイミングの電源ノイズ耐性低下により、電源ノイズがLSI間伝送信号に与える影響は益々増加することが予想される。このため、電源ノイズがLSI間伝送信号に与える影響を考慮した上で、回路設計を行うことが望まれる。 Due to the increase in power supply noise due to the increase in LSI speed, the number of pins, and the increase in current, and the reduction in power supply noise tolerance due to the transmission signal waveform and timing accompanying the increase in bus clock speed and voltage, the power supply noise is transmitted between LSIs. The impact on the market is expected to increase. For this reason, it is desirable to design the circuit in consideration of the influence of power supply noise on the inter-LSI transmission signal.
従来、LSI内部で発生した電源ノイズがLSI間伝送信号に与える影響を解析するための伝送信号波形解析方法として、LSIのダイ、パッケージ、プリント基板各部の電源構造とLSI間伝送信号の構造(ドライバI/O、LSI間信号配線、レシーバI/O)とを一体としてモデル化した電源ノイズ解析用モデルを用いる方法が知られている。 Conventionally, as a transmission signal waveform analysis method for analyzing the influence of power supply noise generated inside an LSI on an inter-LSI transmission signal, the power supply structure of each part of the LSI die, package, and printed circuit board and the structure of the inter-LSI transmission signal (driver) A method of using a power supply noise analysis model in which I / O, inter-LSI signal wiring, and receiver I / O) are modeled as a unit is known.
しかしながら、この伝送信号波形解析方法は、LSIのダイ、パッケージ、プリント基板各部の電源構造とLSI間伝送信号の構造とを一体としてモデル化するため、伝送回路のモデルが非常に大規模なものとなり、1回の解析を実行するのに1〜2日を必要としてしまう。 However, since this transmission signal waveform analysis method models the power supply structure of each part of the LSI die, package, and printed circuit board and the structure of the transmission signal between LSIs, the transmission circuit model becomes very large. One or two days are required to perform one analysis.
ここで、例えば、電源ノイズによるLSI間伝送信号の遅延変動量の最悪値を求めるためには、電源ノイズに対して、LSIの出力回路に入力する信号のタイミングをずらして複数回の解析を実行しなければならないが、この伝送信号波形解析方法では、1回の解析につき1〜2日かかるシミュレーションを複数回実行しなければならず、多大な時間を要してしまうという問題点がある。 Here, for example, in order to obtain the worst value of the delay fluctuation amount of the transmission signal between LSIs due to power supply noise, the timing of the signal input to the output circuit of the LSI is shifted with respect to the power supply noise, and analysis is performed multiple times. However, in this transmission signal waveform analysis method, there is a problem in that a simulation that takes 1 to 2 days per analysis must be executed a plurality of times, which requires a lot of time.
また、この伝送信号波形解析方法は電源ノイズの解析を主目的とするため、LSI間信号配線は粗くモデル化される。このため、電源ノイズがLSI間伝送信号に与える影響(伝送信号波形品質劣化量、伝送信号遅延変動量)を精度良く解析することができないという問題点を有している。LSI間信号配線を詳細にモデル化すれば、解析精度を向上させることができるが、このようにする場合には、シミュレーション時間の増大を招いてしまうという問題点がある。 Further, since this transmission signal waveform analysis method is mainly intended to analyze power supply noise, signal wiring between LSIs is roughly modeled. For this reason, there is a problem that the influence (transmission signal waveform quality deterioration amount, transmission signal delay fluctuation amount) that the power supply noise has on the inter-LSI transmission signal cannot be analyzed with high accuracy. If the inter-LSI signal wiring is modeled in detail, the analysis accuracy can be improved. However, in this case, there is a problem that the simulation time is increased.
このように、LSIのダイ、パッケージ、プリント基板各部の電源構造とLSI間伝送信号の構造とを一体としてモデル化する従来の伝送信号波形解析方法では、LSI内部で発生した電源ノイズがLSI間伝送信号に与える影響を短時間かつ高精度に解析することができないため、従来は、設計者にルールベースの設計規約を遵守させることで、LSI内部で発生した電源ノイズだけでなく、各種ノイズを考慮した回路設計を行ってきた。
しかしながら、ルールベースの設計規約を用いた場合、伝送回路の動作速度が遅ければ、その設計規約を遵守することが可能であるが、動作速度が高速になると、一律にその設計規約を満足するように回路設計を行うことが困難になる。 However, when a rule-based design rule is used, the design rule can be observed if the operation speed of the transmission circuit is slow. However, if the operation speed is increased, the design rule is uniformly satisfied. It becomes difficult to perform circuit design.
なぜなら、ルールベースの設計規約は、各種ノイズが複合的に発生する様々な状況を考慮し、その規約を守れば確実に回路の正常動作を保障できるように設定されているため、極めて厳しく過剰な規約となっており、一律に規約を満たそうとすると設計が収束しなくなるからである。他方、規約を無視して設計すると、製造後の実動作の段階で問題が発覚し、大きな手戻りが発生してしまうという問題点がある。 This is because the rule-based design rules are set in such a way that the normal operation of the circuit can be surely guaranteed if the various rules in which various types of noise occur are considered and the rules are observed. This is because it is a rule, and the design will not converge if it tries to satisfy the rule uniformly. On the other hand, if the design is neglected, there is a problem that a problem is detected at the stage of actual operation after manufacture and a large rework occurs.
本発明は、かかる点に鑑み、プリント基板上の半導体装置内部で発生する電源ノイズが半導体装置間の伝送信号に与える影響の解析を短時間かつ高精度に行い、解析ベースで回路の正常動作を保障できるようにし、設計容易性の高い設計規約を使用することができるようにした伝送信号波形解析方法及びプログラムを提供することを目的とする。 In view of these points, the present invention analyzes the influence of power supply noise generated inside a semiconductor device on a printed circuit board on a transmission signal between semiconductor devices in a short time and with high accuracy, and performs normal operation of the circuit based on the analysis. It is an object of the present invention to provide a transmission signal waveform analysis method and program that can guarantee the design and use design rules with high design easiness.
本発明の伝送信号波形解析方法は、プリント基板上の半導体装置から出力されて前記プリント基板上を伝送する伝送信号の波形解析を行う伝送信号波形解析方法であって、電源ノイズ波形をシミュレーションにより抽出する電源ノイズ解析工程と、着目信号及び電源ノイズ流入経路のみをモデル化した伝送信号波形解析用モデルに前記電源ノイズ波形を挿入してシミュレーションにより伝送信号波形解析を行う伝送信号波形解析工程を含むというものである。 The transmission signal waveform analysis method of the present invention is a transmission signal waveform analysis method for analyzing a waveform of a transmission signal output from a semiconductor device on a printed circuit board and transmitted on the printed circuit board, and extracting a power supply noise waveform by simulation And a transmission signal waveform analysis step of analyzing the transmission signal waveform by simulation by inserting the power noise waveform into a transmission signal waveform analysis model modeling only the signal of interest and the power noise inflow path. Is.
本発明の伝送信号波形解析プログラムは、プリント基板上の半導体装置から出力されて前記プリント基板上を伝送する伝送信号の波形解析をコンピュータに実行させる伝送信号波形解析プログラムであって、電源ノイズ波形を抽出する電源ノイズ解析工程と、着目信号及び電源ノイズ流入経路のみをモデル化した伝送信号波形解析用モデルに前記電源ノイズ波形を挿入して伝送信号波形解析を行う伝送信号波形解析工程を前記コンピュータに実行させるというものである。 A transmission signal waveform analysis program of the present invention is a transmission signal waveform analysis program for causing a computer to perform waveform analysis of a transmission signal output from a semiconductor device on a printed board and transmitted on the printed circuit board. A power noise analysis step for extracting and a transmission signal waveform analyzing step for analyzing the transmission signal waveform by inserting the power noise waveform into a transmission signal waveform analysis model in which only the signal of interest and the power noise inflow path are modeled. It is to execute.
本発明によれば、着目信号及び電源ノイズ流入経路のみをモデル化した伝送信号波形解析用モデルに電源ノイズ波形を挿入して伝送信号波形解析が行われるので、電源構造と半導体装置間伝送信号の構造とを一体としてモデル化して伝送信号波形解析を行う場合と比較して伝送回路のモデルを小規模化し、半導体装置内部で発生する電源ノイズが半導体装置間伝送信号に与える影響の解析を短時間かつ高精度に行うことができる。したがって、解析ベースで回路の正常動作を保障することができ、設計容易性の高い設計規約を使用することができる。 According to the present invention, since the transmission signal waveform analysis is performed by inserting the power supply noise waveform into the transmission signal waveform analysis model in which only the signal of interest and the power supply noise inflow path are modeled, the transmission signal between the power supply structure and the semiconductor device is analyzed. Compared to the case where the transmission signal waveform analysis is performed by modeling the structure as a unit, the transmission circuit model is reduced in size, and the effect of power supply noise generated inside the semiconductor device on the transmission signal between the semiconductor devices is analyzed in a short time. And it can be performed with high accuracy. Therefore, the normal operation of the circuit can be ensured on an analysis basis, and design rules with high designability can be used.
図1は本発明の伝送信号波形解析方法の一実施形態を示す流れ図である。本発明の伝送信号波形解析方法の一実施形態は、電源ノイズ解析工程S1と伝送信号波形解析工程S2とで構成される。 FIG. 1 is a flowchart showing an embodiment of a transmission signal waveform analysis method of the present invention. One embodiment of the transmission signal waveform analysis method of the present invention includes a power supply noise analysis step S1 and a transmission signal waveform analysis step S2.
なお、ここでは、LSIのダイ部のレイアウト情報をDIEレイアウト情報、LSIのパッケージ部のレイアウト情報をPKGレイアウト情報、プリント基板部のレイアウト情報をPCBレイアウト情報という。 Here, the layout information of the LSI die section is referred to as DIE layout information, the layout information of the LSI package section is referred to as PKG layout information, and the layout information of the printed circuit board section is referred to as PCB layout information.
また、LSIのダイ部の電源ノイズ解析用モデルを電源ノイズ解析用DIEモデル、LSIのパッケージ部の電源ノイズ解析用モデルを電源ノイズ解析用PKGモデル、プリント基板部の電源ノイズ解析用モデルを電源ノイズ解析用PCBモデルという。 Also, the power supply noise analysis model of the LSI die section is the power supply noise analysis DIE model, the power supply noise analysis model of the LSI package section is the power supply noise analysis PKG model, and the power supply noise analysis model of the printed circuit board section is the power supply noise analysis model. It is called a PCB model for analysis.
また、LSIのダイ部の電源ノイズ波形をDIE部電源ノイズ波形、LSIのパッケージ部の電源ノイズ波形をPKG部電源ノイズ波形、プリント基板部の電源ノイズ波形をPCB部電源ノイズ波形という。 Further, the power supply noise waveform of the die portion of the LSI is referred to as a DIE power supply noise waveform, the power supply noise waveform of the LSI package portion is referred to as a PKG power supply noise waveform, and the power supply noise waveform of the printed circuit board portion is referred to as a PCB power supply noise waveform.
電源ノイズ解析工程S1では、まず、DIEレイアウト情報10を用いた電源ノイズ解析用DIEモデル13の作成と、PKGレイアウト情報11を用いた電源ノイズ解析用PKGモデル14の作成と、PCBレイアウト情報12を用いた電源ノイズ解析用PCBモデル15の作成を実行する(ステップP1〜P3)。
In the power noise analysis step S1, first, the power noise
次に、電源ノイズ解析用DIEモデル13と、電源ノイズ解析用PKGモデル14と、電源ノイズ解析用PCBモデル15のそれぞれについて回路解析シミュレータを用いた回路解析シミュレーションを行い、DIE部電源ノイズ波形16と、PKG部電源ノイズ波形17と、PCB部電源ノイズ波形18を取得する(ステップP4)。
Next, a circuit analysis simulation using a circuit analysis simulator is performed for each of the power supply noise
伝送信号波形解析工程S2では、まず、DIEレイアウト情報10と、PKGレイアウト情報11と、PCBレイアウト情報12から、着目信号と着目信号への電源ノイズの流入経路のみをモデル化した伝送信号波形解析用モデル19の作成を実行する(ステップQ1)。
In the transmission signal waveform analysis step S2, first, for the transmission signal waveform analysis, the
次に、伝送信号波形解析用モデル19にDIE部電源ノイズ波形16とPKG部電源ノイズ波形17とPCB部電源ノイズ波形18を挿入して回路解析シミュレータを用いた回路解析シミュレーションを行い、伝送信号波形解析結果として、伝送信号波形品質劣化量20と、伝送信号遅延変動量21を算出する(ステップQ2)。
Next, the DIE section
図2は伝送信号波形品質劣化量を説明するための波形図である。図2中、23〜26は伝送信号受信側LSIの入力信号波形を示しており、23は電源ノイズがない電源、いわゆる理想電源下でのHレベル信号波形、24は伝送信号送信側LSI内部で発生した電源ノイズの影響を受けたHレベル信号波形、25は理想電源下でのLレベル信号波形、26は伝送信号送信側LSI内部で発生した電源ノイズの影響を受けたLレベル信号波形、ΔV1〜ΔV4は電源ノイズによる伝送信号波形品質劣化量を示している。
FIG. 2 is a waveform diagram for explaining a transmission signal waveform quality deterioration amount. In FIG. 2,
すなわち、本例で、伝送信号波形品質劣化量とは、理想電源下での伝送信号受信側LSIの入力信号のHレベル及びLレベルがそれぞれ伝送信号送信側LSI内部で発生した電源ノイズの影響により変動した場合の変動量のことである。 That is, in this example, the transmission signal waveform quality degradation amount is due to the influence of the power supply noise generated inside the transmission signal transmission side LSI when the H level and the L level of the input signal of the transmission signal reception side LSI under the ideal power supply respectively. It is the amount of change when it fluctuates.
図3は伝送信号遅延変動量を説明するための波形図である。図3中、28は伝送信号送信側LSIの出力回路の入力信号、29、30は伝送信号受信側LSIの入力回路の入力信号であり、29は理想電源下での入力信号、30は伝送信号送信側LSI内部で発生した電源ノイズの影響を受けた入力信号、Tは理想電源下での伝送信号の遅延時間、ΔTは電源ノイズによる伝送信号遅延変動量である。 FIG. 3 is a waveform diagram for explaining the transmission signal delay variation. In FIG. 3, 28 is an input signal of the output circuit of the transmission signal transmission side LSI, 29 and 30 are input signals of the input circuit of the transmission signal reception side LSI, 29 is an input signal under an ideal power source, and 30 is a transmission signal. An input signal affected by power supply noise generated in the transmission side LSI, T is a delay time of a transmission signal under an ideal power supply, and ΔT is a transmission signal delay fluctuation amount due to power supply noise.
すなわち、本例で、伝送信号遅延変動量とは、理想電源下での伝送信号送信側LSIの出力回路の入力端子から伝送信号受信側LSIの入力回路の入力端子までの伝送信号の遅延時間が伝送信号送信側LSI内部で発生した電源ノイズにより変動した場合の変動量のことである。 That is, in this example, the transmission signal delay variation is the delay time of the transmission signal from the input terminal of the transmission signal transmission side LSI under the ideal power source to the input terminal of the transmission signal reception side LSI. This is the amount of fluctuation when it fluctuates due to power supply noise generated inside the transmission signal transmission side LSI.
図4は伝送信号波形解析対象のLSI搭載プリント基板と電源ノイズ解析用モデルの概念図である。図4中、33はLSI搭載プリント基板、34は電源ノイズ解析用モデルである。 FIG. 4 is a conceptual diagram of an LSI-mounted printed circuit board subject to transmission signal waveform analysis and a power supply noise analysis model. In FIG. 4, 33 is an LSI mounting printed circuit board, and 34 is a power supply noise analysis model.
LSI搭載プリント基板33において、35はプリント基板であり、36は信号配線、38はVDE(例えば、3.3V)電源配線、39はVDD(例えば、1.0V)電源配線、40はVSS(0V)電源配線、41、42、43は絶縁層である。
In the LSI mounting printed
また、44は伝送信号送信側LSI、45は伝送信号送信側LSI44が送信した伝送信号を受信する伝送信号受信側LSIである。伝送信号送信側LSI44において、46はダイ、47はパッケージ、48はボンディングワイヤ、49はリードフレームである。
Further, 44 is a transmission signal transmission side LSI, and 45 is a transmission signal reception side LSI that receives a transmission signal transmitted by the transmission signal
また、本例では、電源ノイズ解析用モデル34は、電源ノイズ解析用DIEモデル13と、電源ノイズ解析用PKGモデル14と、電源ノイズ解析用PCBモデル15とで構成される。
In this example, the power supply noise analysis model 34 includes a power supply noise
電源ノイズ解析用PCBモデル15において、50は信号配線モデル、51は伝送信号受信側LSI45のモデルであり、伝送信号受信側LSI45は、入力容量Cでモデル化している。なお、52はVDE電源配線モデルの一部分、53はVDD電源配線モデルの一部分、54はVSS電源配線モデルの一部分を示している。
In the power supply noise
図5は電源ノイズ解析用DIEモデル13を説明するための図である。図5中、56はVDE電源配線層、57はVDD電源配線層、58はVSS電源配線層であり、電源ノイズ解析用DIEモデル13は、コア論理回路をモデル化したコア論理回路モデルとI/O回路をモデル化したI/O回路モデルを含むものである。
FIG. 5 is a diagram for explaining the power supply noise
59はコア論理回路モデルの1個を示している。即ち、コア論理回路部については、パワーユニット(Power Unit:以下、PUという)と呼ばれる構造でモデル化している。これは、コア論理回路部を小さな領域(PU)に分割し、その電気特性をPU単位の空間分布で表現するという手法である。
この手法は、電源ノイズの空間分布の全体像を少ない素子数で表現できるという大きなメリットを持っている。PUのサイズは、必要となる空間分解能と計算機リソースのトレードオフで決める。典型的には、一辺を100〜200μm程度とする長方形を用いる。 This method has a great merit that the whole image of the spatial distribution of power supply noise can be expressed with a small number of elements. The PU size is determined by the trade-off between the required spatial resolution and computer resources. Typically, a rectangle having a side of about 100 to 200 μm is used.
PUは、インダクタンスL、抵抗R、容量C、電流Iの4種類の素子を、電源種別ごとに格子状に結合した構造を持っている。インダクタンスLと抵抗Rは、電源配線の面内分布を表現するものである。一般に、PUの大きさは実際の電源配線に比べて粗くなるのが普通であるが、PU内の電源配線をすべて合成したLR値で代表する。 The PU has a structure in which four types of elements, an inductance L, a resistance R, a capacitance C, and a current I, are coupled in a grid pattern for each power source type. The inductance L and the resistance R represent the in-plane distribution of the power supply wiring. In general, the size of the PU is usually coarser than that of the actual power supply wiring, but it is represented by an LR value obtained by synthesizing all the power supply wirings in the PU.
容量Cは、コア論理回路部内の容量分布を表現するものである。容量Cの主な成分は、電源配線、容量セル、スタンダードセル、マクロの持つ容量、シリコン基板のウエル容量であり、容量Cは、これらの容量を加算したものを用いる。電流Iは、コア論理回路部内の消費電流の面内分布と時間変化を表現するものであり、PU内の全スタンダードセルとマクロの電流を合成したものである。 The capacitance C expresses the capacitance distribution in the core logic circuit section. The main components of the capacitor C are a power supply wiring, a capacitor cell, a standard cell, a macro capacitor, and a well capacitance of a silicon substrate. The capacitor C is obtained by adding these capacitors. The current I represents the in-plane distribution of current consumption in the core logic circuit section and the change over time, and is a combination of all standard cells and macro currents in the PU.
また、60はI/O回路モデルの1個を示しており、61はI/Oセルである。本例では、I/O回路部については、LSIの信号と電源を1ピンごとに別々にモデル化している。I/O回路部のネットリストは、プリント基板設計で通常使用されているIBIS(IO Buffer Information Specification)等のモデルでは精度的に不十分であり、トランジスタを含むネットリストを使用することが好適である。なお、I/Oセルには、入力セル、出力セル、入出力セルがある。
図6は電源ノイズ解析用PKGモデル14を説明するための図である。電源ノイズ解析用PKGモデル14は、市販の電気特性抽出ツールが作成するネットリストを使用することも可能であるが、回路規模が大きくなる場合には、図6に示すようにモデル化することもできる。 FIG. 6 is a diagram for explaining the power supply noise analysis PKG model 14. The power supply noise analysis PKG model 14 can use a net list created by a commercially available electrical characteristic extraction tool. However, when the circuit scale becomes large, it can be modeled as shown in FIG. it can.
本例では、ボンディングワイヤと、リードフレームの信号配線と、リードフレームの各種電源配線をそれぞれモデル化しており、62はボンディングワイヤのモデル、63はリードフレームの信号配線モデル、64はリードフレームの電源配線モデルを示している。 In this example, a bonding wire, a lead frame signal wiring, and various power supply wirings of the lead frame are modeled, 62 is a bonding wire model, 63 is a lead frame signal wiring model, and 64 is a lead frame power supply. The wiring model is shown.
ボンディングワイヤについては、信号配線及び各種電源配線ともに、インダクタンスLと抵抗Rと容量Cのラダー回路でモデル化し、容量Cは直下の電源配線モデルに接続している。リードフレームの信号配線は、インダクタンスLと抵抗Rと容量Cのラダー回路でモデル化し、容量Cは直下の電源配線モデルに接続している。 The bonding wire is modeled by a ladder circuit of an inductance L, a resistor R, and a capacitor C for both the signal wiring and various power supply wirings, and the capacitor C is connected to the power supply wiring model directly below. The signal wiring of the lead frame is modeled by a ladder circuit of an inductance L, a resistance R, and a capacitance C, and the capacitance C is connected to a power supply wiring model directly below.
リードフレームの電源配線は、プレーン構造を持つものについては、メッシュ状に分割し、それぞれのメッシュをインダクタンスLと抵抗Rと容量Cの2次元ラダー回路でモデル化している。容量Cは電源配線間の寄生容量を表現している。 The lead frame power supply wiring having a plane structure is divided into meshes, and each mesh is modeled by a two-dimensional ladder circuit of an inductance L, a resistance R, and a capacitance C. A capacitor C expresses a parasitic capacitance between the power supply wirings.
なお、ボンディングワイヤのモデル62、リードフレームの信号配線モデル63及び電源配線モデル64のLRC値については、市販の電気特性抽出ツールを使用して、単位スケールでのLRC値を抽出し、各モデルのLRCに割り当てる。
For the LRC values of the
図7は電源ノイズ解析用PCBモデル15を説明するための図である。図7中、66はパスコン、67はOBP(On Board Power Supply)であり、本例では、プリント基板35は、信号配線36、各種電源配線38〜40、パスコン66、OBP67、伝送信号受信側のLSI45をモデル化しており、68は信号配線モデル、69は電源配線モデル、70はパスコンモデル、71はOBPモデルである。
FIG. 7 is a diagram for explaining the power supply noise
信号配線36は、インダクタンスLと抵抗Rと容量Cのラダー回路でモデル化し、容量Cは直下の電源配線モデルに接続している。電源配線38〜40は、プレーンを多角形のメッシュに分割し、インダクタンスLと抵抗Rと容量Cの2次元ラダー回路でモデル化している。これにより、高速で高精度な解析を実現している。
The
パスコン66は、容量Cだけでなく、ESR(Equivalent Series Resistance)とESL(Equivalent Series Inductance)もモデル化している。これにより、パスコン66の周波数特性を正確に表現することができる。OBP67は、理想電源としてモデル化することも可能であるが、周波数特性を持たせることも可能である。
The bypass capacitor 66 models not only the capacitance C but also ESR (Equivalent Series Resistance) and ESL (Equivalent Series Inductance). Thereby, the frequency characteristic of the bypass capacitor 66 can be expressed accurately. The
図8は伝送信号波形解析用モデル19を説明するための図である。伝送信号波形解析用モデル19において、74は伝送信号送信側LSI44のダイ46の伝送信号波形解析用モデル(以下、伝送信号波形解析用DIEモデルという)、75は伝送信号送信側LSI44のパッケージ47の伝送信号波形解析用モデル(以下、伝送信号波形解析用PKGモデルという)、76はプリント基板35の伝送信号波形解析用モデル(以下、伝送信号波形解析用PCBモデルという)である。
FIG. 8 is a diagram for explaining the transmission signal
伝送信号波形解析用DIEモデル74において、77は出力セル、78は出力セル77の入力端子、79はVDE電源配線に対応して設けられた電源ノイズ波形挿入部、80はVDD電源配線に対応して設けられた電源ノイズ波形挿入部、81はVSS電源配線に対応して設けられた電源ノイズ波形挿入部である。
In the
電源ノイズ波形挿入部79〜81に電源ノイズ解析工程S1で抽出したDIE部電源ノイズ波形16のうち、対応する電源ノイズ波形を挿入することにより、ダイ46における着目伝送信号への電源ノイズ流入経路を再現することができる。
By inserting the corresponding power supply noise waveform among the power
伝送信号波形解析用PKGモデル75において、82はボンディングワイヤのモデル、83はリードフレームの信号配線モデル、84〜87は電源ノイズ波形挿入部である。なお、リードフレームの信号配線は、インダクタンスLと抵抗Rと容量Cのラダー回路で表現している。
In the transmission signal waveform
電源ノイズ波形挿入部84〜87に電源ノイズ解析工程S1で抽出したPKG部電源ノイズ波形17のうち、対応する部分の電源ノイズ波形を挿入することにより、パッケージ47における着目伝送信号への電源ノイズ流入経路を再現することができる。
By inserting the power noise waveform of the corresponding part of the
伝送信号波形解析用PCBモデル76において、88は信号配線のモデル、89は伝送信号受信側LSI45のモデル、90〜92は電源ノイズ波形挿入部である。なお、伝送信号受信側LSI45は、入力容量を表現した容量Cでモデル化している。
In the transmission signal waveform
電源ノイズ波形挿入部90〜92に電源ノイズ解析工程S1で抽出したPCB部電源ノイズ波形18のうち、対応する部分の電源ノイズ波形を挿入することにより、プリント基板35における伝送信号への電源ノイズ流入経路を再現することができる。
By inserting the power noise waveform of the corresponding part of the
図9は伝送信号波形品質劣化量20を算出する場合の手順を説明するための波形図である。図9(A)は伝送信号送信側LSI44の出力回路の入力端子に与える信号及び電源電圧を示し、図9(B)は伝送信号受信側LSI45の入力信号を示している。なお、VDE、VDD、VSSはダイ46における電源電圧VDE、VDD、VSSである。
FIG. 9 is a waveform diagram for explaining the procedure when the transmission signal waveform
伝送信号波形品質劣化量20を算出する場合には、伝送信号送信側LSI44の出力回路の入力端子に、図9(A)に示すように、例えば、まず、Hレベル信号94を印加する。このようにすると、例えば、図9(B)に示すように、電源ノイズの影響を受けたHレベル信号95を求めることができ、これにより、理想電源下でのHレベル信号96との差であるHレベルにおける伝送信号波形品質劣化量ΔV5、ΔV6を求めることができる。
When the transmission signal waveform
次に、同じく、伝送信号送信側LSI44の出力回路の入力端子に、図9(A)に示すように、Lレベル信号97を印加する。このようにすると、例えば、図9(B)に示すように、電源ノイズの影響を受けたLレベル信号98を求めることができ、これにより、理想電源下でのLレベル信号99との差であるLレベルにおける伝送信号波形品質劣化量ΔV7、ΔV8を求めることができる。
Next, similarly, an
図10は伝送信号遅延変動量21を算出する場合の手順を説明するための波形図である。図10(A)は伝送信号送信側LSI44の出力回路の入力端子に与える信号及び電源電圧を示し、図10(B)は伝送信号受信側LSI45の入力信号を示している。
FIG. 10 is a waveform diagram for explaining the procedure when the transmission
伝送信号遅延変動量21を算出する場合には、伝送信号送信側LSI44の出力回路の入力端子に、図10(A)に示すように、例えば、立ち上がり遷移信号100を与える。このようにすると、例えば、図10(B)に示すように、伝送信号受信側LSI45の入力信号として、電源ノイズの影響を受けた立ち上がり遷移信号101を求めることができ、これにより、理想電源下での立ち上がり遷移信号102との時間差、すなわち、伝送信号遅延変動量ΔTを求めることができる。伝送信号送信側LSI44の出力回路の入力端子に立ち下がり遷移信号を与えるようにしても良い。
When the transmission
図11は伝送信号遅延変動量の最悪値を算出する場合の手順を説明するための波形図である。伝送信号遅延変動量の最悪値を算出する場合には、伝送信号送信側LSI44の出力回路の入力端子に与える立ち上がり遷移信号100の遷移タイミングを、電源ノイズ波形の変動周期よりも十分に短い時間でスイープ(sweep)させることで、伝送信号遅延変動量の最悪値を求めることができる。
FIG. 11 is a waveform diagram for explaining the procedure for calculating the worst value of the transmission signal delay variation. When calculating the worst value of the transmission signal delay fluctuation amount, the transition timing of the rising
図12は本発明の伝送信号波形解析方法の一実施形態を実施するためのコンピュータの概念図である。図12中、200はCPU(中央処理装置)、201はCPU200が使用するDRAM(ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ)、202は入力手段、203は表示手段、204はHDD(ハードディスク装置)であり、205は伝送信号波形解析プログラムである。
FIG. 12 is a conceptual diagram of a computer for carrying out one embodiment of the transmission signal waveform analysis method of the present invention. In FIG. 12,
なお、HDD204は、伝送信号波形解析プログラム205のほかに、DIEレイアウト情報10、PKGレイアウト情報11、PCBレイアウト情報12、電源ノイズ解析用DIEモデル13、電源ノイズ解析用PKGモデル14、電源ノイズ解析用PCBモデル15、DIE部電源ノイズ波形16、PKG部電源ノイズ波形17、PCB部電源ノイズ波形18、伝送信号波形解析用モデル19、伝送信号波形品質劣化量20、伝送信号遅延変動量21等の保存にも使用される。
In addition to the transmission signal
伝送信号波形解析プログラム205において、206は電源ノイズ解析用DIEモデル作成プログラム、207は電源ノイズ解析用PKGモデル作成プログラム、208は電源ノイズ解析用PCBモデル作成プログラム、209は回路解析シミュレータ(回路解析プログラム)、210は伝送信号波形解析用モデル作成プログラムである。
In the transmission signal
電源ノイズ解析用DIEモデル作成プログラム206は、DIEレイアウト情報10を用いて電源ノイズ解析用DIEモデル13を作成するためのプログラムであり、この電源ノイズ解析用DIEモデル作成プログラム206を用いて、CPU200を電源ノイズ解析用DIEモデル作成手段として機能させることにより、ステップP1を実行することができる。
The power supply noise analysis DIE
電源ノイズ解析用PKGモデル作成プログラム207は、PKGレイアウト情報11を用いて電源ノイズ解析用PKGモデル14を作成するためのプログラムであり、この電源ノイズ解析用PKGモデル作成プログラム207を用いて、CPU200を電源ノイズ解析用PKGモデル作成手段として機能させることにより、ステップP2を実行することができる。
The power noise analysis PKG model creation program 207 is a program for creating the power noise analysis PKG model 14 using the PKG layout information 11, and the
電源ノイズ解析用PCBモデル作成プログラム208は、PCBレイアウト情報12を用いて電源ノイズ解析用PCBモデル15を作成するためのプログラムであり、この電源ノイズ解析用PCBモデル作成プログラム208を用いて、CPU200を電源ノイズ解析用PCBモデル作成手段として機能させることにより、ステップP3を実行することができる。
The power supply noise analysis PCB model creation program 208 is a program for creating the power supply noise
回路解析シミュレータ209は、電源ノイズ解析用DIEモデル13と、電源ノイズ解析用PKGモデル14と、電源ノイズ解析用PCBモデル15のそれぞれについて回路解析シミュレーションを行い、DIE部電源ノイズ波形16と、PKG部電源ノイズ波形17と、PCB部電源ノイズ波形18を求めるためと、伝送信号波形解析用モデル19について回路解析シミュレーションを行い、伝送信号波形品質劣化量20と伝送信号遅延変動量21を求めるためのプログラムである。
The
この回路解析シミュレータ209を用いて、CPU200を電源ノイズ波形算出手段として機能させることにより、ステップP4を実行することができ、また、CPU200を伝送信号波形品質劣化量算出手段及び伝送信号遅延変動量算出手段として機能させることにより、ステップQ2を実行することができる。
By using the
伝送信号波形解析用モデル作成プログラム210は、DIEレイアウト情報10と、PKGレイアウト情報11と、PCBレイアウト情報12から、着目信号と電源ノイズの流入経路のみをモデル化した伝送信号波形解析用モデル19を作成するためのプログラムであり、この伝送信号波形解析用モデル作成プログラム210を用いて、CPU200を伝送信号波形解析用モデル作成手段として機能させることにより、ステップQ1を実行することができる。
The transmission signal waveform analysis model creation program 210 creates a transmission signal
すなわち、本発明の伝送信号波形解析方法の一実施形態では、CPU200は、電源ノイズ解析工程S1では電源ノイズ解析手段として機能し、伝送信号波形解析工程S2では伝送信号波形解析手段として機能することになる。
That is, in one embodiment of the transmission signal waveform analysis method of the present invention, the
以上のように、本発明の伝送信号波形解析方法の一実施形態においては、全工程を電源ノイズ解析工程S1と伝送信号波形解析工程S2に分け、電源ノイズ解析工程S1では、DIEレイアウト情報10とPKGレイアウト情報11とPCBレイアウト情報12を用いて、DIE部電源ノイズ波形16とPKG部電源ノイズ波形17とPCB部電源ノイズ波形18を算出するとしている。
As described above, in one embodiment of the transmission signal waveform analysis method of the present invention, the entire process is divided into the power supply noise analysis process S1 and the transmission signal waveform analysis process S2, and in the power supply noise analysis process S1, the
そして、伝送信号波形解析工程S2では、DIEレイアウト情報10とPKGレイアウト情報11とPCBレイアウト情報12から、着目信号と着目信号への電源ノイズの流入経路のみをモデル化した伝送信号波形解析用モデル19を作成し、この伝送信号波形解析用モデル19にDIE部電源ノイズ波形16とPKG部電源ノイズ波形17とPCB部電源ノイズ波形18を挿入して回路解析シミュレータによる回路解析シミュレーションを行い、伝送信号波形品質劣化量20と、伝送信号遅延変動量21を算出するとしている。
Then, in the transmission signal waveform analysis step S2, a transmission signal
このように、本発明の伝送信号波形解析方法の一実施形態によれば、着目信号と着目信号への電源ノイズの流入経路のみをモデル化した伝送信号波形解析用モデル19にDIE部電源ノイズ波形16とPKG部電源ノイズ波形17とPCB部電源ノイズ波形18を挿入して回路解析シミュレーションを行うとしているので、設計対象回路のモデルの規模を小さくすることができる。
Thus, according to one embodiment of the transmission signal waveform analysis method of the present invention, the DIE unit power noise waveform is added to the transmission signal
したがって、従来例のようにLSIのダイ、パッケージ、プリント基板各部の電源構造とLSI間伝送信号の構造を一体としてモデル化して伝送信号波形解析を行う場合と異なり、LSI内部で発生する電源ノイズがLSI間伝送信号に与える影響の解析を短時間かつ高精度に行うことができる。この結果、解析ベースで回路の正常動作を保障することができ、設計容易性の高い設計規約を使用することができる。 Therefore, unlike the conventional example in which the power supply structure of each part of the LSI die, package, and printed circuit board and the structure of the transmission signal between the LSIs are modeled as one unit and the transmission signal waveform analysis is performed, the power supply noise generated inside the LSI is reduced. Analysis of the influence on the inter-LSI transmission signal can be performed in a short time and with high accuracy. As a result, normal operation of the circuit can be ensured on an analysis basis, and design rules with high design easiness can be used.
ここで、本発明を整理すると、本発明には、少なくとも、以下の伝送信号波形解析方法及び伝送信号波形解析プログラムが含まれる。 Here, when the present invention is arranged, the present invention includes at least the following transmission signal waveform analysis method and transmission signal waveform analysis program.
(付記1)プリント基板上の半導体装置から出力されて前記プリント基板上を伝送する伝送信号の波形解析を行う伝送信号波形解析方法であって、電源ノイズ波形をシミュレーションにより抽出する電源ノイズ解析工程と、着目信号及び電源ノイズ流入経路のみをモデル化した伝送信号波形解析用モデルに前記電源ノイズ波形を挿入してシミュレーションにより伝送信号波形解析を行う伝送信号波形解析工程を含むことを特徴とする伝送信号波形解析方法。 (Appendix 1) A transmission signal waveform analysis method for analyzing a waveform of a transmission signal output from a semiconductor device on a printed circuit board and transmitted on the printed circuit board, wherein a power supply noise analysis step extracts a power supply noise waveform by simulation; And a transmission signal waveform analysis step of analyzing the transmission signal waveform by simulation by inserting the power noise waveform into a transmission signal waveform analysis model in which only the signal of interest and the power noise inflow path are modeled Waveform analysis method.
(付記2)前記電源ノイズ解析工程は、前記半導体装置のダイ、前記半導体装置のパッケージ、前記プリント基板各部のレイアウト情報から前記半導体装置のダイ、前記半導体装置のパッケージ、前記プリント基板各部の電源ノイズ解析用モデルを作成する工程と、前記電源ノイズ解析用モデルから前記半導体装置のダイ、前記半導体装置のパッケージ、前記プリント基板各部の電源ノイズ波形を抽出する工程を含むことを特徴とする付記1記載の伝送信号波形解析方法。
(Supplementary Note 2) The power source noise analysis step includes the steps of determining the power source noise of the semiconductor device die, the semiconductor device package, and each part of the printed circuit board from the layout information of each part of the printed circuit board. The method according to
(付記3)前記伝送信号波形解析工程は、前記半導体装置のダイ、前記半導体装置のパッケージ、前記プリント基板各部のレイアウト情報から前記伝送信号波形解析用モデルを作成する工程を含むことを特徴とする付記1又は2記載の伝送信号波形解析方法。
(Supplementary Note 3) The transmission signal waveform analysis step includes a step of creating the transmission signal waveform analysis model from layout information of each die of the semiconductor device, a package of the semiconductor device, and each part of the printed circuit board. The transmission signal waveform analysis method according to
(付記4)前記伝送信号波形解析工程での伝送信号波形解析は、伝送信号波形品質劣化量を算出するものであることを特徴とする付記1、2又は3記載の伝送信号波形解析方法。
(Supplementary note 4) The transmission signal waveform analysis method according to
(付記5)前記伝送信号波形解析工程での伝送信号波形解析は、伝送信号遅延変動量を算出するものであることを特徴とする付記1、2又は3記載の伝送信号波形解析方法。
(Supplementary Note 5) The transmission signal waveform analysis method according to
(付記6)前記半導体装置の出力回路に対する入力信号の遷移タイミングを電源ノイズ波形に対してスイープさせて複数回の解析を実行することにより、前記伝送信号遅延変動量の最悪値を算出する工程を含むことを特徴とする付記5記載の伝送信号波形解析方法。 (Supplementary Note 6) A step of calculating the worst value of the transmission signal delay variation amount by performing a plurality of analyzes by sweeping the transition timing of the input signal to the output circuit of the semiconductor device with respect to the power supply noise waveform. The transmission signal waveform analysis method according to appendix 5, characterized by comprising:
(付記7)プリント基板上の半導体装置から出力されて前記プリント基板上を伝送する伝送信号の波形解析をコンピュータに実行させる伝送信号波形解析プログラムであって、電源ノイズ波形を抽出する電源ノイズ解析工程と、着目信号及び電源ノイズ流入経路のみをモデル化した伝送信号波形解析用モデルに前記電源ノイズ波形を挿入して伝送信号波形解析を行う伝送信号波形解析工程を前記コンピュータに実行させることを特徴とする伝送信号波形解析プログラム。 (Supplementary note 7) A transmission signal waveform analysis program for causing a computer to execute waveform analysis of a transmission signal output from a semiconductor device on a printed circuit board and transmitted on the printed circuit board, and extracting a power supply noise waveform And causing the computer to execute a transmission signal waveform analysis step of analyzing the transmission signal waveform by inserting the power supply noise waveform into a transmission signal waveform analysis model in which only the signal of interest and the power supply noise inflow path are modeled. Transmission signal waveform analysis program.
(付記8)前記電源ノイズ解析工程は、前記半導体装置のダイ、前記半導体装置のパッケージ、前記プリント基板各部のレイアウト情報から前記半導体装置のダイ、前記半導体装置のパッケージ、前記プリント基板各部の電源ノイズ解析用モデルを作成する工程と、前記電源ノイズ解析用モデルから前記半導体装置のダイ、前記半導体装置のパッケージ、前記プリント基板各部の電源ノイズ波形を抽出する工程を含むことを特徴とする付記7記載の伝送信号波形解析プログラム。 (Supplementary Note 8) The power source noise analyzing step includes power source noise of the semiconductor device die, the semiconductor device package, and each part of the printed circuit board from the layout information of each part of the printed circuit board and the die of the semiconductor device. The method according to claim 7, further comprising the steps of: creating an analysis model; and extracting a power supply noise waveform of each part of the printed circuit board and a die of the semiconductor device from the power supply noise analysis model. Transmission signal waveform analysis program.
(付記9)前記伝送信号波形解析工程は、前記半導体装置のダイ、前記半導体装置のパッケージ、前記プリント基板各部のレイアウト情報から前記伝送信号波形解析用モデルを作成する工程を含むことを特徴とする付記7又は8記載の伝送信号波形解析プログラム。 (Supplementary note 9) The transmission signal waveform analysis step includes a step of creating the transmission signal waveform analysis model from layout information of each die of the semiconductor device, a package of the semiconductor device, and each part of the printed circuit board. The transmission signal waveform analysis program according to appendix 7 or 8.
(付記10)前記伝送信号波形解析工程での伝送信号波形解析は、伝送信号波形品質劣化量を算出するものであることを特徴とする付記7、8又は9記載の伝送信号波形解析プログラム。 (Supplementary note 10) The transmission signal waveform analysis program according to supplementary note 7, 8 or 9, wherein the transmission signal waveform analysis in the transmission signal waveform analysis step calculates a transmission signal waveform quality deterioration amount.
(付記11)前記伝送信号波形解析工程での伝送信号波形解析は、伝送信号遅延変動量を算出するものであることを特徴とする付記7、8又は9記載の伝送信号波形解析プログラム。 (Supplementary note 11) The transmission signal waveform analysis program according to supplementary note 7, 8 or 9, wherein the transmission signal waveform analysis in the transmission signal waveform analysis step calculates a transmission signal delay variation.
(付記12)前記半導体装置の出力回路に対する入力信号の遷移タイミングを電源ノイズ波形に対してスイープさせて複数回の解析を実行することにより、前記伝送信号遅延変動量の最悪値を算出させることを特徴とする付記11記載の伝送信号波形解析プログラム。 (Supplementary Note 12) The worst-case value of the transmission signal delay variation amount is calculated by performing a plurality of analyzes by sweeping the transition timing of the input signal to the output circuit of the semiconductor device with respect to the power supply noise waveform. The transmission signal waveform analysis program according to appendix 11, which is characterized by
10…DIEレイアウト情報
11…PKGレイアウト情報
12…PCBレイアウト情報
13…電源ノイズ解析用DIEモデル
14…電源ノイズ解析用PKGモデル
15…電源ノイズ解析用PCBモデル
16…DIE部電源ノイズ波形
17…PKG部電源ノイズ波形
18…PCB部電源ノイズ波形
19…伝送信号波形解析用モデル
20…伝送信号波形品質劣化量情報
21…伝送信号遅延変動量
200…CPU
201…DRAM
202…入力手段
203…表示手段
204…HDD
205…伝送信号波形解析プログラム
206…電源ノイズ解析用DIEモデル作成プログラム
207…電源ノイズ解析用PKGモデル作成プログラム
208…電源ノイズ解析用PCBモデル作成プログラム
209…回路解析シミュレータ(回路解析プログラム)
210…伝送信号波形解析用モデル作成プログラム
DESCRIPTION OF
201 ... DRAM
202 ... Input means 203 ... Display means 204 ... HDD
205 ... Transmission signal
210 ... Transmission signal waveform analysis model creation program
Claims (4)
コンピュータが有する中央処理装置が、前記半導体装置のダイ、前記半導体装置のパッケージ及び前記プリント基板各部のレイアウト情報から、前記半導体装置のダイ、前記半導体装置のパッケージ及び前記プリント基板各部の電源ノイズ解析用モデルを作成し、前記電源ノイズ解析用モデルから、前記半導体装置のダイ、前記半導体装置のパッケージ及び前記プリント基板各部の電源ノイズ波形を抽出する電源ノイズ解析工程と、
前記コンピュータが有する前記中央処理装置が、着目信号及び前記着目信号への電源ノイズ流入経路のみをモデル化した伝送信号波形解析用モデルに前記電源ノイズ波形を挿入して伝送信号波形解析を行う伝送信号波形解析工程を含むこと
を特徴とする伝送信号波形解析方法。 A transmission signal waveform analysis method for analyzing a waveform of a transmission signal output from a semiconductor device on a printed circuit board and transmitted on the printed circuit board,
A central processing unit included in the computer is used to analyze power source noise of each die of the semiconductor device, the package of the semiconductor device, and each part of the printed circuit board from layout information of the die of the semiconductor device, the package of the semiconductor device, and each part of the printed circuit board. create a model, from the power supply noise analysis model, die of the semiconductor device, a power supply noise analysis step to extract the package, and power supply noise waveform of the printed circuit board each unit of the semiconductor device,
Transmission the central processing unit in which the computer has found by inserting the power supply noise waveform only the modeled transmission signal waveform analysis model power supply noise flowing path to the attention signal and the focus signal performs heat transmission signal waveform analysis A transmission signal waveform analysis method comprising a signal waveform analysis step.
を特徴とする請求項1に記載の伝送信号波形解析方法。 2. The transmission signal waveform analysis method according to claim 1 , wherein the transmission signal waveform analysis in the transmission signal waveform analysis step calculates a transmission signal delay variation.
を特徴とする請求項2に記載の伝送信号波形解析方法。 The central processing unit of the computer sweeps the transition timing of the input signal to the output circuit of the semiconductor device with respect to the power supply noise waveform and executes the analysis a plurality of times, thereby causing the worst transmission signal delay variation amount. The transmission signal waveform analysis method according to claim 2, further comprising a step of calculating a value.
前記半導体装置のダイ、前記半導体装置のパッケージ及び前記プリント基板各部のレイアウト情報から、前記半導体装置のダイ、前記半導体装置のパッケージ及び前記プリント基板各部の電源ノイズ解析用モデルを作成し、前記電源ノイズ解析用モデルから、前記半導体装置のダイ、前記半導体装置のパッケージ及び前記プリント基板各部の電源ノイズ波形を抽出する電源ノイズ解析工程と、
着目信号及び前記着目信号への電源ノイズ流入経路のみをモデル化した伝送信号波形解析用モデルに前記電源ノイズ波形を挿入して伝送信号波形解析を行う伝送信号波形解析工程を
前記コンピュータに実行させることを特徴とする伝送信号波形解析プログラム。 A transmission signal waveform analysis program for causing a computer to perform waveform analysis of a transmission signal output from a semiconductor device on a printed circuit board and transmitted on the printed circuit board,
From the layout information of the semiconductor device die, the semiconductor device package, and each part of the printed circuit board, a power noise analysis model of the semiconductor device die, the semiconductor device package, and each part of the printed circuit board is created, and the power noise A power supply noise analysis step for extracting power supply noise waveforms of the die of the semiconductor device, the package of the semiconductor device and each part of the printed circuit board from the analysis model ;
Causing the computer to execute a transmission signal waveform analysis step of analyzing the transmission signal waveform by inserting the power noise waveform into a transmission signal waveform analysis model that models only the signal of interest and the power noise inflow path to the signal of interest. Transmission signal waveform analysis program characterized by
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