JP4533687B2 - Photosensitive laminate manufacturing apparatus and manufacturing method - Google Patents

Photosensitive laminate manufacturing apparatus and manufacturing method Download PDF

Info

Publication number
JP4533687B2
JP4533687B2 JP2004199889A JP2004199889A JP4533687B2 JP 4533687 B2 JP4533687 B2 JP 4533687B2 JP 2004199889 A JP2004199889 A JP 2004199889A JP 2004199889 A JP2004199889 A JP 2004199889A JP 4533687 B2 JP4533687 B2 JP 4533687B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive
pressure
sheet film
manufacturing
roller
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2004199889A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2006023407A (en
Inventor
和芳 末原
直喜 坂井
和彦 林田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Priority to JP2004199889A priority Critical patent/JP4533687B2/en
Publication of JP2006023407A publication Critical patent/JP2006023407A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4533687B2 publication Critical patent/JP4533687B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Optical Filters (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)

Description

本発明は、支持体上に設けられた感光材料層を圧着ローラを用いて基板に圧着させて感光性積層体を製造する製造装置及び製造方法に関する。   The present invention relates to a manufacturing apparatus and a manufacturing method for manufacturing a photosensitive laminate by press-bonding a photosensitive material layer provided on a support to a substrate using a pressure roller.

例えば、感光性積層体製造装置を用いて、透光性ベースフイルム(支持体)に塗布された感光性顔料分散液(感光材料層)をガラス基板や樹脂基板に貼付し、あるいは、転写溶融することで感光性積層体が製造されている(特許文献1、2参照)。感光材料層が転写されたガラス基板等の感光性積層体は、支持体が剥離された後、フォトリソグラフィ法により露光・現像され、次いで、同様の処理が異なる色の感光材料層毎に行われることにより、液晶パネルやPDPパネル用のカラーフィルタ基板が製造される。なお、感光性積層体製造装置は、例えば、導電性の感光材料層を用いて配線回路を基板上に形成してなるプリント基板の製造にも適用することができる。   For example, using a photosensitive laminate manufacturing apparatus, a photosensitive pigment dispersion (photosensitive material layer) applied to a translucent base film (support) is attached to a glass substrate or a resin substrate, or transferred and melted. The photosensitive laminated body is manufactured by this (refer patent document 1, 2). The photosensitive laminate such as a glass substrate to which the photosensitive material layer has been transferred is exposed and developed by a photolithography method after the support is peeled off, and then the same processing is performed for each photosensitive material layer of a different color. Thus, a color filter substrate for a liquid crystal panel or a PDP panel is manufactured. Note that the photosensitive laminate manufacturing apparatus can also be applied to, for example, manufacturing a printed circuit board in which a wiring circuit is formed on a substrate using a conductive photosensitive material layer.

図6は、感光性積層体製造装置の概略構成を示す。この装置では、一対の圧着ローラ2a、2b間に、ガラス基板4と感光性シートフイルム6とが供給される。感光性シートフイルム6は、所定温度に加熱された圧着ローラ2aによって加熱されることで、支持体に塗布されている感光材料層が溶融し、圧着ローラ2a、2bの加圧力によりガラス基板4に転写される。   FIG. 6 shows a schematic configuration of the photosensitive laminate manufacturing apparatus. In this apparatus, the glass substrate 4 and the photosensitive sheet film 6 are supplied between the pair of pressure rollers 2a and 2b. The photosensitive sheet film 6 is heated by the pressure roller 2a heated to a predetermined temperature, so that the photosensitive material layer applied to the support is melted and applied to the glass substrate 4 by the pressure of the pressure rollers 2a and 2b. Transcribed.

特開2002−148794号公報JP 2002-148794 A 特開平8−160215号公報JP-A-8-160215

ここで、ガラス基板4と感光性シートフイルム6とを圧着する際、これらの間に気泡が混入し、あるいは、感光性シートフイルム6に皺が発生すると、高品質なカラーフィルタ基板を製造することができなくなってしまう。そのため、圧着ローラ2a、2bにより適度な加圧力をガラス基板4及び感光性シートフイルム6に付与するとともに、感光性シートフイルム6をたるみが生じない適度な張力で引張して製造が行われる。   Here, when the glass substrate 4 and the photosensitive sheet film 6 are pressure-bonded, if a bubble is mixed between them or a wrinkle occurs in the photosensitive sheet film 6, a high-quality color filter substrate is manufactured. Will not be able to. Therefore, an appropriate pressure is applied to the glass substrate 4 and the photosensitive sheet film 6 by the press rollers 2a and 2b, and the photosensitive sheet film 6 is pulled with an appropriate tension that does not sag.

ところで、感光性積層体製造装置では、通常、ガラス基板4を損傷することなく、且つ、気泡や皺を発生させることなく感光性シートフイルム6をガラス基板の凹凸面に追従させて圧着させるとともに、これらを滑ることなく一定速度で搬送させるため、圧着ローラ2a、2bの表面にゴム層3a、3bを設けている。この場合、ガラス基板4に対する感光材料層の転写処理を繰り返すと、図7の概念図に示すように、ガラス基板4に転写された感光材料層に濃淡むらである筋むら8が出現し、品質の低下する事態が生じることがある。   By the way, in the photosensitive laminate manufacturing apparatus, usually, the photosensitive sheet film 6 is caused to follow the uneven surface of the glass substrate without causing damage to the glass substrate 4 and without generating bubbles or wrinkles, and is crimped. In order to convey them at a constant speed without slipping, rubber layers 3a and 3b are provided on the surfaces of the pressure-bonding rollers 2a and 2b. In this case, when the transfer process of the photosensitive material layer to the glass substrate 4 is repeated, as shown in the conceptual diagram of FIG. 7, streaks 8 which are shading unevenness appear in the photosensitive material layer transferred to the glass substrate 4. There may be a situation where the level of decline is reduced.

筋むら8が出現する理由としては、例えば、以下のことが推定される。すなわち、図8に示すように、圧着ローラ2a、2bがガラス基板4及び感光性シートフイルム6を加圧すると、ゴム層3a、3bが変形し、いわゆる、バルジ部5a、5bが発生する。このバルジ部5a、5bにおいては、局部的ではあるが、圧着ローラ2a、2bのゴム層3a、3bを加えた実質半径(R2とする。)がバルジ部5a、5bのない部分の実質半径(R1とする。R1<R2)よりも大きくなる。そのため、周速が速くなり、バルジ部5aの部分では、実質半径R2の部分の感光性シートフイルム6が直前の実質半径R1の感光材料層6を引っ張ることが考えられる。   As the reason why the stripe 8 appears, for example, the following is estimated. That is, as shown in FIG. 8, when the pressure rollers 2a and 2b press the glass substrate 4 and the photosensitive sheet film 6, the rubber layers 3a and 3b are deformed, and so-called bulge portions 5a and 5b are generated. In the bulge parts 5a and 5b, although it is local, the substantial radius (referred to as R2) including the rubber layers 3a and 3b of the pressure-bonding rollers 2a and 2b is the substantial radius of the part without the bulge parts 5a and 5b ( R1 is greater than R1 <R2). For this reason, the peripheral speed is increased, and in the bulge portion 5a, the photosensitive sheet film 6 in the portion having the substantial radius R2 may pull the photosensitive material layer 6 having the immediately preceding substantial radius R1.

この場合、バルジ部5a、5bのゴム層3a、3bの表面が新しく、あるいは、清掃や研磨処理後であって摩擦係数が大きいときには、転写されるまでの間にゴム層3aに当接する感光性シートフイルム6が伸ばされながら搬送され、その表面の感光材料層がガラス基板4に転写される。なお、感光性シートフイルム6が圧着ローラ2aによって加熱されていると、圧着ローラ2aのゴム層3aに接触している感光性シートフイルム6が軟化するため、さらに伸ばされ易くなる。   In this case, when the surfaces of the rubber layers 3a and 3b of the bulge portions 5a and 5b are new or after the cleaning or polishing process and the coefficient of friction is large, the photosensitivity that contacts the rubber layer 3a before the transfer is performed. The sheet film 6 is conveyed while being stretched, and the photosensitive material layer on the surface thereof is transferred to the glass substrate 4. When the photosensitive sheet film 6 is heated by the pressure roller 2a, the photosensitive sheet film 6 that is in contact with the rubber layer 3a of the pressure roller 2a is softened, so that it is further easily stretched.

しかしながら、転写処理が繰り返されることで、ゴム層3a、3bの表面が劣化し、あるいは、感光性シートフイルム6の支持体から塗布膜の組成物の一部がゴム層3aに付着して汚れると、摩擦係数が低下することがある。このとき、実質半径R1の部分の感光性シートフイルム6が実質半径R2の部分の感光性シートフイルム6によって引っ張られることにより、感光性シートフイルム6とゴム層3aとの間で微小な断続的スリップ現象、いわゆる、スティックスリップ現象が発生し、この現象に起因して、感光材料層に筋むら8が出現するものと考えられる。   However, if the transfer process is repeated, the surfaces of the rubber layers 3a and 3b deteriorate, or if a part of the composition of the coating film adheres to the rubber layer 3a from the support of the photosensitive sheet film 6 and becomes dirty. The coefficient of friction may decrease. At this time, the photosensitive sheet film 6 in the portion of the substantial radius R1 is pulled by the photosensitive sheet film 6 in the portion of the substantial radius R2, thereby causing a minute intermittent slip between the photosensitive sheet film 6 and the rubber layer 3a. It is considered that a so-called stick-slip phenomenon occurs, and due to this phenomenon, streaks 8 appear in the photosensitive material layer.

なお、ゴム層3aの摩擦係数がさらに低下すると、実質半径R1の部分において、感光性シートフイルム6が常時スリップする状態となって感光性シートフイルム6の搬送速度の変動が小さくなり、筋むら8が出現することがなくなる。   When the friction coefficient of the rubber layer 3a is further reduced, the photosensitive sheet film 6 is always slipped in the portion of the substantial radius R1, and the fluctuation in the conveying speed of the photosensitive sheet film 6 is reduced, resulting in streak 8 No longer appears.

このような筋むら8の出現を抑制するための対策としては、例えば、圧着ローラ2a、2bに装着されたゴム層3a、3bを定期的に交換して安定した状態のゴム層3a、3bを確保し、あるいは、ゴム層3a、3bの表面を定期的に清掃、あるいは、研磨することにより、感光性シートフイルム6に対するゴム層3a、3bの摩擦係数を所定範囲内に維持することが考えられる。   As a measure for suppressing the appearance of such irregular stripes 8, for example, the rubber layers 3a and 3b attached to the pressure-bonding rollers 2a and 2b are periodically exchanged to change the stable rubber layers 3a and 3b. It is conceivable to maintain the friction coefficient of the rubber layers 3a and 3b with respect to the photosensitive sheet film 6 within a predetermined range by ensuring or periodically cleaning or polishing the surfaces of the rubber layers 3a and 3b. .

しかしながら、このような作業は非常に煩雑であるため、稼働率の低下を来すととともに、コストアップに繋がるという問題がある。また、どの程度の使用頻度でゴム層3a、3bのメンテナンスを行えばよいかを判断することが極めて困難であり、判断を誤って不良品を出荷してしまうことが懸念される。   However, since such an operation is very complicated, there is a problem that the operating rate is lowered and the cost is increased. In addition, it is extremely difficult to determine how often the rubber layers 3a and 3b should be maintained, and there is a concern that defective products may be shipped by mistake.

本発明は、前記の不具合を解消するためになされたものであり、長期間に渡り安定した状態でむらのない転写処理を継続し、高い稼働率を確保してコストダウンに貢献することのできる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and can continue the transfer process in a stable state over a long period of time, thereby ensuring a high operating rate and contributing to cost reduction. It aims at providing the manufacturing apparatus and manufacturing method of a photosensitive laminated body.

本発明の感光性積層体の製造装置及び製造方法では、感光材料層を支持する支持体に対する圧着ローラの静止摩擦係数を0.1〜0.7の範囲に設定し、圧着ローラを回転させて支持体を介して感光材料層を基板に圧着させることにより、圧着ローラと支持体との間で適度な滑りを発生させ、支持体及び基板を長期間安定した状態で搬送し、感光材料層をむらのない状態で基板に転写することができる。   In the photosensitive laminate manufacturing apparatus and method of the present invention, the static friction coefficient of the pressure roller with respect to the support that supports the photosensitive material layer is set in the range of 0.1 to 0.7, and the pressure roller is rotated. By pressing the photosensitive material layer to the substrate via the support, an appropriate slip occurs between the pressure roller and the support, and the support and the substrate are transported in a stable state for a long period of time. It can be transferred to the substrate without unevenness.

この場合、圧着ローラの表面にゴム層を形成し、このゴム層のJIS K 6253タイプA(ISO 7619タイプA)での硬度を30〜90度に設定すると好適である。ゴム層の硬度が30度以上であれば、ゴム層が変形しても、安定した状態で感光材料層を基板に転写することができる。また、ゴム層の硬度が90度を越えると、基板の損傷や、基板の凹凸面に対する感光材料層の転写性が劣化するため、好ましくない。   In this case, it is preferable to form a rubber layer on the surface of the pressure roller, and to set the hardness of this rubber layer to 30 to 90 degrees according to JIS K 6253 type A (ISO 7619 type A). If the hardness of the rubber layer is 30 degrees or more, even if the rubber layer is deformed, the photosensitive material layer can be transferred to the substrate in a stable state. On the other hand, if the hardness of the rubber layer exceeds 90 degrees, it is not preferable because the substrate is damaged or the transferability of the photosensitive material layer to the uneven surface of the substrate is deteriorated.

圧着ローラは、80〜150℃の範囲で加熱されることにより、感光材料層を溶融して基板に転写する。圧着ローラの温度が80℃よりも低いと、感光材料層が十分に溶融しないため、転写が好適に行われないおそれがある。また、圧着ローラの温度が150℃よりも高いと、感光材料層が過剰に溶融し、あるいは、支持体も熱変形してしまうおそれがある。   The pressure roller is heated in the range of 80 to 150 ° C. to melt the photosensitive material layer and transfer it to the substrate. When the temperature of the pressure roller is lower than 80 ° C., the photosensitive material layer is not sufficiently melted, so that there is a possibility that the transfer is not suitably performed. If the temperature of the pressure roller is higher than 150 ° C., the photosensitive material layer may be excessively melted or the support may be thermally deformed.

感光材料層は、圧着ローラにより80〜150℃の範囲で加熱されたとき、30〜30000Pa・sの範囲の粘度特性を示す熱可塑性感光樹脂層とすると好適である。粘度特性が30〜30000Pa・sの範囲を超えると、感光材料層が基板に対して良好に転写されない場合がある。   The photosensitive material layer is preferably a thermoplastic photosensitive resin layer exhibiting viscosity characteristics in the range of 30 to 30000 Pa · s when heated in the range of 80 to 150 ° C. by the pressure roller. When the viscosity characteristic exceeds the range of 30 to 30000 Pa · s, the photosensitive material layer may not be transferred well to the substrate.

圧着ローラにより付与される圧力は、圧着ローラの軸線方向に対する線圧として30〜300N/cmの範囲に設定すると好適である。この圧力が30〜300N/cmの範囲を越えると、感光材料層が基板に対して良好に転写されない場合がある。   The pressure applied by the pressure roller is preferably set in the range of 30 to 300 N / cm as the linear pressure with respect to the axial direction of the pressure roller. When this pressure exceeds the range of 30 to 300 N / cm, the photosensitive material layer may not be transferred well to the substrate.

本発明の感光性積層体の製造装置及び製造方法では、長期間に渡り安定した状態で感光材料層を基板にむらなく転写することができる。この結果、圧着ローラのメンテナンス等の作業頻度が著しく低くなり、装置の稼働率を向上させてコストダウンに貢献することができる。   In the photosensitive laminate production apparatus and production method of the present invention, the photosensitive material layer can be uniformly transferred to the substrate in a stable state over a long period of time. As a result, the frequency of operations such as maintenance of the pressure roller is remarkably reduced, and the operating rate of the apparatus can be improved and the cost can be reduced.

図1は、本実施形態の感光性積層体製造装置10の概略構成を示す。感光性積層体製造装置10には、図2に示す積層構造からなる感光性シートフイルム12とガラス基板14とが供給され、図3に示すように、これらが加熱圧着されることで液晶パネルやPDPパネル用のカラーフィルタ基板が製造される。   FIG. 1 shows a schematic configuration of a photosensitive laminate manufacturing apparatus 10 of the present embodiment. The photosensitive laminate manufacturing apparatus 10 is supplied with a photosensitive sheet film 12 having a laminated structure shown in FIG. 2 and a glass substrate 14, and as shown in FIG. A color filter substrate for a PDP panel is manufactured.

感光性シートフイルム12は、ベースフイルム16(支持体)と、所定の色に着色された感光性樹脂層18(感光材料層)と、保護フイルム20とを積層して構成される。ベースフイルム16は、PET(ポリエチレンテレフタレート)を素材とし、その外表面に帯電防止剤を含むアクリル系下塗剤が塗布されている。感光性樹脂層18は、後述する圧着ローラにより80〜150℃の範囲で加熱溶融されたとき、30〜30000Pa・s(=300〜300000ポアズ)の範囲の粘度特性を示す熱可塑性フイルムである。なお、感光性シートフイルム12には、後述する丸刃により所定間隔でハーフカット部27a、27bが形成される。   The photosensitive sheet film 12 is configured by laminating a base film 16 (support), a photosensitive resin layer 18 (photosensitive material layer) colored in a predetermined color, and a protective film 20. The base film 16 is made of PET (polyethylene terephthalate), and an acrylic base coat containing an antistatic agent is applied to the outer surface thereof. The photosensitive resin layer 18 is a thermoplastic film having a viscosity characteristic in a range of 30 to 30000 Pa · s (= 300 to 300000 poise) when heated and melted in a range of 80 to 150 ° C. by a pressure roller described later. In the photosensitive sheet film 12, half cut portions 27a and 27b are formed at predetermined intervals by a round blade described later.

感光性積層体製造装置10には、上流側から、感光性シートフイルム12を供給するフイルムロール22と、供給された感光性シートフイルム12の保護フイルム20及び感光性樹脂層18の所定部位を、ベースフイルム16を残して切断することでハーフカット部27a、27bを形成する加工機構26とが配設される。   The photosensitive laminate manufacturing apparatus 10 includes a film roll 22 for supplying the photosensitive sheet film 12, a protective film 20 for the supplied photosensitive sheet film 12, and predetermined portions of the photosensitive resin layer 18 from the upstream side. A processing mechanism 26 that forms the half-cut portions 27a and 27b by cutting the base film 16 is disposed.

加工機構26は、感光性シートフイルム12の幅方向に走行する丸刃24を有し、図2、図3に示すように、保護フイルム20aが除去されてガラス基板14に感光性樹脂層18が転写される長さLの範囲と、ガラス基板14間に残存させる保護フイルム20bの幅Mの範囲とに対応した間隔で、保護フイルム20及び感光性樹脂層18にハーフカット部27a、27bを形成する。なお、感光性樹脂層18は、ガラス基板14の端部から所定の隙間δだけシフトさせた位置よりガラス基板14に転写されるものとする。   The processing mechanism 26 has a round blade 24 that runs in the width direction of the photosensitive sheet film 12. As shown in FIGS. 2 and 3, the protective film 20 a is removed and the photosensitive resin layer 18 is formed on the glass substrate 14. Half cut portions 27 a and 27 b are formed in the protective film 20 and the photosensitive resin layer 18 at intervals corresponding to the range of the length L to be transferred and the range of the width M of the protective film 20 b remaining between the glass substrates 14. To do. Note that the photosensitive resin layer 18 is transferred to the glass substrate 14 from a position shifted from the end of the glass substrate 14 by a predetermined gap δ.

加工機構26の下流側には、保護フイルム20bを介して隣接する保護フイルム20aに両端部が接着する一方、中間部が保護フイルム20bに対して非接着状態に形成された図示しないラベルを吸着する吸着パッド32を有し、このラベルを保護フイルム20aに接着させるラベル接着機構34が配設される。   At the downstream side of the processing mechanism 26, both ends are bonded to the adjacent protective film 20a via the protective film 20b, while an intermediate portion adsorbs a label (not shown) formed in an unbonded state to the protective film 20b. A label adhering mechanism 34 having an adsorbing pad 32 and adhering the label to the protective film 20a is disposed.

ラベル接着機構34のさらに下流側には、感光性シートフイルム12をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構36と、感光性シートフイルム12から保護フイルム20aを剥離させる剥離機構38と、感光性シートフイルム12に対して所定のテンションを付与するテンション制御機構40と、加工機構26により感光性シートフイルム12に形成されたハーフカット部27a、27bを検出する検出機構42と、感光性シートフイルム12の感光性樹脂層18をガラス基板14に対して加熱圧着させる圧着機構44とが順に配設される。   Further downstream of the label adhering mechanism 34, a reservoir mechanism 36 for changing the photosensitive sheet film 12 from tact feed to continuous feed, a peeling mechanism 38 for peeling the protective film 20a from the photosensitive sheet film 12, and a photosensitive member. A tension control mechanism 40 for applying a predetermined tension to the photosensitive sheet film 12, a detection mechanism 42 for detecting half-cut portions 27a and 27b formed in the photosensitive sheet film 12 by the processing mechanism 26, and a photosensitive sheet film. A pressure-bonding mechanism 44 that heat-presses the twelve photosensitive resin layers 18 to the glass substrate 14 is sequentially disposed.

リザーバ機構36は、上流側の感光性シートフイルム12のタクト搬送と、下流側の感光性シートフイルム12の連続搬送との速度差を吸収するため、上下に揺動自在なローラ46を有する。剥離機構38は、感光性シートフイルム12のテンション変動を低減するサクションドラム48を有し、サクションドラム48の近傍に剥離ローラ50が配置される。この剥離ローラ50を介して感光性シートフイルム12から保護フイルム20aが連続的に剥離され、巻き取り部52に巻き取られる。テンション制御機構40は、シリンダ54を備え、このシリンダ54の駆動作用下にテンションダンサ56が揺動変位することで、感光性シートフイルム12のテンションが調整可能である。   The reservoir mechanism 36 includes a roller 46 that can swing up and down in order to absorb a speed difference between the tact conveyance of the upstream photosensitive sheet film 12 and the continuous conveyance of the downstream photosensitive sheet film 12. The peeling mechanism 38 has a suction drum 48 that reduces the tension fluctuation of the photosensitive sheet film 12, and a peeling roller 50 is disposed in the vicinity of the suction drum 48. The protective film 20 a is continuously peeled from the photosensitive sheet film 12 via the peeling roller 50 and is wound on the winding portion 52. The tension control mechanism 40 includes a cylinder 54, and the tension of the photosensitive sheet film 12 can be adjusted by the tension dancer 56 swinging and displacing under the driving action of the cylinder 54.

検出機構42は、テンション制御機構40と圧着機構44との間に配設され、感光性シートフイルム12を保護フイルム20側に湾曲させるフイルム湾曲ローラ58と、フイルム湾曲ローラ58に対向し、感光性シートフイルム12に形成したハーフカット部27a、27bを検出する検出部60とを備える。   The detection mechanism 42 is disposed between the tension control mechanism 40 and the pressure-bonding mechanism 44, and is opposed to the film bending roller 58 that curves the photosensitive sheet film 12 toward the protective film 20, and the film bending roller 58. And a detection unit 60 that detects the half cut portions 27a and 27b formed in the sheet film 12.

検出機構42の下流側に配設される圧着機構44は、基板搬送機構62から供給されるガラス基板14の上面部に対して感光性シートフイルム12の感光性樹脂層18を加熱圧着させるための圧着ローラ64a、64bを備える。なお、ガラス基板14を供給する基板搬送機構62は、ガラス基板14を挟持するように配設される基板加熱部66と、ガラス基板14を搬送する搬送部68とを有する。   A crimping mechanism 44 disposed on the downstream side of the detection mechanism 42 is for thermocompression bonding of the photosensitive resin layer 18 of the photosensitive sheet film 12 to the upper surface portion of the glass substrate 14 supplied from the substrate transport mechanism 62. The pressure rollers 64a and 64b are provided. The substrate transport mechanism 62 that supplies the glass substrate 14 includes a substrate heating unit 66 that is disposed so as to sandwich the glass substrate 14, and a transport unit 68 that transports the glass substrate 14.

圧着機構44を構成する圧着ローラ64a、64bは、感光性シートフイルム12及びガラス基板14を30〜300N/cmの範囲の線圧で圧着させ、80〜150℃の範囲で加熱する加熱ローラであり、その外周部には、ゴム層65a、65bが形成されている。圧着ローラ64a、64bには、バックアップローラ70a、70bが摺接する。下部に配設されるバックアップローラ70bは、加圧シリンダ72により上部のバックアップローラ70a側に押圧される。   The pressure-bonding rollers 64a and 64b constituting the pressure-bonding mechanism 44 are heating rollers that pressure-bond the photosensitive sheet film 12 and the glass substrate 14 with a linear pressure in the range of 30 to 300 N / cm and heat in the range of 80 to 150 ° C. The rubber layers 65a and 65b are formed on the outer periphery. Backup rollers 70a and 70b are in sliding contact with the pressure rollers 64a and 64b. The backup roller 70 b disposed in the lower part is pressed toward the upper backup roller 70 a by the pressure cylinder 72.

圧着ローラ64a、64bは、上部の圧着ローラ64aが駆動側、下部の圧着ローラ64bが従動側として構成される。なお、駆動側は、感光性シートフイルム12と接する側とすることが望ましいが、圧着ローラ64a及び64bの両方を回転駆動させてもよい。圧着ローラ64a、64bは、感光性シートフイルム12及びガラス基板14を圧着させた状態で1.0〜10m/分の速度で搬送する。   The pressure rollers 64a and 64b are configured such that the upper pressure roller 64a is a driving side and the lower pressure roller 64b is a driven side. The drive side is preferably the side in contact with the photosensitive sheet film 12, but both the pressure rollers 64a and 64b may be driven to rotate. The pressing rollers 64a and 64b convey the photosensitive sheet film 12 and the glass substrate 14 at a speed of 1.0 to 10 m / min in a state where the photosensitive sheet film 12 and the glass substrate 14 are pressed.

ゴム層65a、65bは、JIS K 6253タイプA(ISO 7619タイプA)での硬度が30〜90度の耐熱性ゴム、例えば、シリコーンゴム、CR(クロロプレンゴム)、IIR(ブチルゴム)、EPDM(エチレンプロピレンゴム)、CSM(クロロスルホン化ポリエチレンゴム)、フッ素ゴム等からなり、感光性シートフイルム12のベースフイルム16に対する静止摩擦係数を0.1〜0.7の範囲に設定すべく、表面に低摩擦化処理が施されている。   The rubber layers 65a and 65b are heat resistant rubbers having a hardness of 30 to 90 degrees according to JIS K 6253 type A (ISO 7619 type A), such as silicone rubber, CR (chloroprene rubber), IIR (butyl rubber), EPDM (ethylene). Propylene rubber), CSM (chlorosulfonated polyethylene rubber), fluororubber, etc., and low on the surface to set the coefficient of static friction of the photosensitive sheet film 12 to the base film 16 in the range of 0.1 to 0.7. Friction treatment is applied.

この場合、ゴム層65a、65bの低摩擦化処理としては、例えば、表面コーティング処理、含浸処理、チューブ掛け、表面研磨処理等を挙げることができる。   In this case, examples of the friction reduction treatment of the rubber layers 65a and 65b include surface coating treatment, impregnation treatment, tube hanging, surface polishing treatment, and the like.

表面コーティング処理とは、例えば、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン:米国デュポン社登録商標)系、PFA(テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテルコポリマー)系、FEP(フッ化エチレンプロピレンテトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体)系、ETFE(エチレンテトラフルオロエチレン共重合体)系、ECTFE(エチレンクロロトリフルオロエチレン共重合体)系、エポキシ変性系、フッ素系等の低摩擦性の塗料をゴム層65a、65bの表面に塗布して加熱焼き付ける処理である。   The surface coating treatment includes, for example, PTFE (polytetrafluoroethylene: US DuPont registered trademark), PFA (tetrafluoroethylene perfluoroalkyl vinyl ether copolymer), FEP (fluoroethylene propylene tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene co-polymer). Polymer) type, ETFE (ethylene tetrafluoroethylene copolymer) type, ECTFE (ethylene chlorotrifluoroethylene copolymer) type, epoxy modified type, fluorine type and other low friction paints for the rubber layers 65a and 65b. It is a process of applying to the surface and baking.

含浸処理とは、ゴム層65a、65bを膨潤化し、分子間に上記表面コーティング処理で使用するような低摩擦性材料を含浸させる処理である。   The impregnation treatment is a treatment in which the rubber layers 65a and 65b are swollen and impregnated with a low friction material such as that used in the surface coating treatment between molecules.

チューブ掛けとは、滑り性のあるPTFE系や他の樹脂からなるチューブを圧着ローラ64a、64bのゴム層65a、65bに直接被覆させる処理であり、チューブを熱収縮させ、あるいは、接着剤を使用することで圧着ローラ64a、64bに固定することができる。   Tubing is a process in which a tube made of PTFE or other resin having slipperiness is directly coated on the rubber layers 65a and 65b of the pressure rollers 64a and 64b, and the tube is thermally contracted or an adhesive is used. By doing so, it can be fixed to the pressure rollers 64a and 64b.

なお、これらの処理は、少なくとも感光性シートフイルム12に接する圧着ローラ64aに施されていればよく、必ずしも圧着ローラ64a、64bの両方に施す必要はない。   These processes may be performed at least on the pressure roller 64a in contact with the photosensitive sheet film 12, and need not be performed on both the pressure rollers 64a and 64b.

圧着機構44の下流側には、運転開始時において感光性シートフイルム12の先端部を切断する先端切断機構74と、ガラス基板14間の感光性シートフイルム12を切断する基板間切断機構76とが配設される。また、圧着ローラ64a、64bと先端切断機構74との間には、運転開始時において感光性シートフイルム12を引き出すためのフイルム搬送ローラ78が配設され、先端切断機構74の下流側には、感光性シートフイルム12が圧着されたガラス基板14を搬送する基板搬送ローラ80が配設される。   On the downstream side of the pressure bonding mechanism 44, there are a leading end cutting mechanism 74 that cuts the leading end portion of the photosensitive sheet film 12 at the start of operation and an inter-substrate cutting mechanism 76 that cuts the photosensitive sheet film 12 between the glass substrates 14. Arranged. Further, a film transport roller 78 for pulling out the photosensitive sheet film 12 at the start of operation is disposed between the pressure-bonding rollers 64a and 64b and the leading end cutting mechanism 74, and on the downstream side of the leading end cutting mechanism 74, A substrate transport roller 80 is disposed to transport the glass substrate 14 to which the photosensitive sheet film 12 has been pressure bonded.

本実施形態の感光性積層体製造装置10は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。   The photosensitive laminate manufacturing apparatus 10 of the present embodiment is basically configured as described above. Next, the operation and effects thereof will be described.

フイルムロール22から供給された感光性シートフイルム12は、加工機構26に搬送され、ベースフイルム16を残して保護フイルム20及び感光性樹脂層18が丸刃24により所定長毎に切断される。すなわち、感光性シートフイルム12には、加工機構26により、図4に示すように、ガラス基板14に圧着される感光性樹脂層18の長さLと、ガラス基板14間に残存させる保護フイルム20bの幅Mとに対応した間隔で、スリット状のハーフカット部27a、27bが形成される(図2参照)。   The photosensitive sheet film 12 supplied from the film roll 22 is conveyed to the processing mechanism 26, and the protective film 20 and the photosensitive resin layer 18 are cut at predetermined lengths by the round blade 24, leaving the base film 16. That is, the photosensitive sheet film 12 has a length L of the photosensitive resin layer 18 to be pressed against the glass substrate 14 and a protective film 20b remaining between the glass substrates 14 by the processing mechanism 26 as shown in FIG. The slit-shaped half-cut portions 27a and 27b are formed at intervals corresponding to the width M of the first reference (see FIG. 2).

次いで、ラベル接着機構34において、ハーフカット部27a、27bが形成された感光性シートフイルム12の保護フイルム20に対して、吸着パッド32に吸着されたラベルが接着される。この場合、ラベルは、中間部が保護フイルム20bに対して非接着状態で、両端部が感光性シートフイルム12から剥離される保護フイルム20aに接着される。   Next, in the label adhering mechanism 34, the label adsorbed to the adsorbing pad 32 is adhered to the protective film 20 of the photosensitive sheet film 12 in which the half cut portions 27a and 27b are formed. In this case, the label is adhered to the protective film 20a that is peeled off from the photosensitive sheet film 12 at both ends thereof in a non-bonded state with respect to the protective film 20b.

ラベルが接着された感光性シートフイルム12は、リザーバ機構36を構成するローラ46を介して剥離機構38に供給される。剥離機構38では、感光性シートフイルム12のベースフイルム16がサクションドラム48によって吸着される一方、ラベルによって連結された保護フイルム20aが剥離ローラ50を介して巻き取り部52により巻き取られる。この結果、感光性シートフイルム12からは、ガラス基板14間に対応する幅Mの保護フイルム20bを残存させた状態で保護フイルム20aが連続的に剥離される。   The photosensitive sheet film 12 to which the label is adhered is supplied to the peeling mechanism 38 via a roller 46 constituting the reservoir mechanism 36. In the peeling mechanism 38, the base film 16 of the photosensitive sheet film 12 is adsorbed by the suction drum 48, while the protective film 20 a connected by the label is wound up by the winding unit 52 via the peeling roller 50. As a result, the protective film 20a is continuously peeled from the photosensitive sheet film 12 while the protective film 20b having a width M corresponding to the gap between the glass substrates 14 remains.

保護フイルム20aが剥離され、感光性樹脂層18が部分的に露出した感光性シートフイルム12は、テンション制御機構40を構成するテンションダンサ56と、検出機構42を構成するフイルム湾曲ローラ58とを介して、離間状態にある圧着ローラ64a、64b間に供給される。なお、感光性シートフイルム12の頭出し時(運転開始時)においては、感光性シートフイルム12の先端部を圧着ローラ64a、64bの下流側に配設されたフイルム搬送ローラ78で挟持して搬送する。   The photosensitive sheet film 12 from which the protective film 20a has been peeled off and the photosensitive resin layer 18 has been partially exposed passes through a tension dancer 56 constituting the tension control mechanism 40 and a film bending roller 58 constituting the detection mechanism 42. And is supplied between the pressure-bonding rollers 64a and 64b in the separated state. When the photosensitive sheet film 12 is cued (at the start of operation), the leading end portion of the photosensitive sheet film 12 is nipped and conveyed by a film conveying roller 78 disposed on the downstream side of the pressure rollers 64a and 64b. To do.

一方、ガラス基板14は、基板搬送機構62を構成する基板加熱部66において所定温度まで加熱され、離間状態にある圧着ローラ64a、64b間に供給される。   On the other hand, the glass substrate 14 is heated to a predetermined temperature in the substrate heating unit 66 constituting the substrate transport mechanism 62 and is supplied between the pressure-bonding rollers 64 a and 64 b in a separated state.

検出機構42により検出された感光性シートフイルム12のハーフカット部27bが圧着ローラ64a、64b間の所定の位置に臨入するとともに、ガラス基板14の先端部が圧着ローラ64a、64b間の所定の位置に臨入すると、加圧シリンダ72によりバックアップローラ70bが押圧されて圧着ローラ64bが上部の圧着ローラ64aと共同して感光性シートフイルム12及びガラス基板14が挟持される。次いで、前記の状態から、感光性シートフイルム12及びガラス基板14が圧着ローラ64a、64bにより加圧加熱されながら搬送されることにより、保護フイルム20aの剥離された部分の感光性樹脂層18がガラス基板14の所定位置に圧着される。   The half-cut portion 27b of the photosensitive sheet film 12 detected by the detection mechanism 42 enters a predetermined position between the pressure rollers 64a and 64b, and the front end portion of the glass substrate 14 is a predetermined distance between the pressure rollers 64a and 64b. When entering the position, the pressure roller 72 presses the backup roller 70b, and the pressure roller 64b cooperates with the upper pressure roller 64a to sandwich the photosensitive sheet film 12 and the glass substrate 14. Next, from the above state, the photosensitive sheet film 12 and the glass substrate 14 are conveyed while being pressurized and heated by the pressure rollers 64a and 64b, so that the photosensitive resin layer 18 at the part where the protective film 20a is peeled off is made of glass. Crimped to a predetermined position of the substrate 14.

圧着ローラ64a、64bにより感光性樹脂層18が転写された最初のガラス基板14の先端部がフイルム搬送ローラ78に接近すると、フイルム搬送ローラ78が感光性シートフイルム12から離間し、ガラス基板14から前方に突出する感光性シートフイルム12の先端部が先端切断機構74により切断される。次いで、感光性樹脂層18が転写されたガラス基板14は、先端切断機構74の下流に配設された基板搬送ローラ80によって挟持搬送される。   When the leading end of the first glass substrate 14 to which the photosensitive resin layer 18 has been transferred by the pressure rollers 64 a and 64 b approaches the film transport roller 78, the film transport roller 78 moves away from the photosensitive sheet film 12, and from the glass substrate 14. The front end portion of the photosensitive sheet film 12 protruding forward is cut by the front end cutting mechanism 74. Next, the glass substrate 14 to which the photosensitive resin layer 18 has been transferred is nipped and conveyed by a substrate conveying roller 80 disposed downstream of the tip cutting mechanism 74.

なお、以上のようにして感光性樹脂層18が転写されて連続的に搬送されるガラス基板14とそれに続くガラス基板14との間の感光性シートフイルム12は、基板搬送ローラ80の下流側に配設されている基板間切断機構76によって切断されることで分離される。   The photosensitive sheet film 12 between the glass substrate 14 to which the photosensitive resin layer 18 is transferred and continuously conveyed as described above and the subsequent glass substrate 14 is disposed downstream of the substrate conveying roller 80. They are separated by being cut by the provided inter-substrate cutting mechanism 76.

感光性樹脂層18が転写されたガラス基板14である感光性積層体は、ベースフイルム16が剥離された後、フォトリソグラフィ法により所定のパターンで露光・現像され、次いで、異なる色の感光性樹脂層18を前記感光性積層体に同様にして転写させる処理を繰り返すことで、所望のカラーフィルタ基板が製造される。   The photosensitive laminate, which is the glass substrate 14 to which the photosensitive resin layer 18 is transferred, is exposed and developed in a predetermined pattern by a photolithography method after the base film 16 is peeled off, and then a photosensitive resin of a different color. A desired color filter substrate is manufactured by repeating the process of transferring the layer 18 to the photosensitive laminate in the same manner.

ここで、本出願人は、圧着ローラ64aの外周部に配設したゴム層65aのベースフイルム16に対する静止摩擦係数を0.1〜0.7の範囲に設定することにより、図7に示すような濃淡むらである筋むら8の出現しないカラーフィルタ基板を長期間に渡り安定して製造できることを見出した。   Here, the present applicant sets the coefficient of static friction with respect to the base film 16 of the rubber layer 65a disposed on the outer peripheral portion of the pressure roller 64a as shown in FIG. The present inventors have found that a color filter substrate that does not have uneven stripes 8 that are uneven shading can be manufactured stably over a long period of time.

表1は、前記静止摩擦係数を所定範囲に調整し、製造されたカラーフィルタ基板である各サンプルの濃淡むらを判定した結果を示す。   Table 1 shows the result of determining the shading unevenness of each sample, which is the manufactured color filter substrate, by adjusting the static friction coefficient to a predetermined range.

なお、圧着ローラ64a、64bの軸線方向に対する感光性シートフイルム12の線圧150N/cm、圧着ローラ64a、64bによる感光性シートフイルム12及びガラス基板14の搬送速度1.4m/分、圧着ローラ64a、64bによる加熱温度130℃、圧着ローラ64aの外周部に掛かる感光性シートフイルム12の当接角度90゜、基板搬送機構62の基板加熱部66によるガラス基板14の加熱温度120℃、ガラス基板14のサイズ、幅550mm×長さ650mm×厚み0.7mm、感光性シートフイルム12のテンション140N/幅550mmにそれぞれ設定した。   The linear pressure of the photosensitive sheet film 12 with respect to the axial direction of the pressure rollers 64a and 64b is 150 N / cm, the conveyance speed of the photosensitive sheet film 12 and the glass substrate 14 by the pressure rollers 64a and 64b is 1.4 m / minute, and the pressure roller 64a. , 64b, a contact temperature of the photosensitive sheet film 12 applied to the outer periphery of the pressure roller 64a, a heating temperature of the glass substrate 14 by the substrate heating unit 66 of the substrate transport mechanism 62, a glass substrate 14 Size, width 550 mm × length 650 mm × thickness 0.7 mm, and tension 140 N / width 550 mm of the photosensitive sheet film 12.

また、静止摩擦係数は、図4に示すように、回転しない状態に保持した圧着ローラ64aの中心角90゜の範囲の外周面に当接するように感光性シートフイルム12を掛け、幅550mmの感光性シートフイルム12に140Nのテンションを与える重量からなる錘Wを一端部に連結するとともに、感光性シートフイルム12の他端部に箱体59を連結し、箱体59にペレット61を少しずつ投入し、錘Wが持ち上がった時点での箱体59及びペレット61の総重量と、錘Wの重量とから算出した。   Further, as shown in FIG. 4, the static friction coefficient is applied to the photosensitive sheet film 12 so as to abut on the outer peripheral surface in the range of the central angle of 90 ° of the pressure roller 64a held in a non-rotating state, and the photosensitive sheet having a width of 550 mm. A weight W having a weight that gives a tension of 140 N to the photosensitive sheet film 12 is connected to one end portion, a box body 59 is connected to the other end portion of the photosensitive sheet film 12, and pellets 61 are put into the box body little by little. The weight was calculated from the total weight of the box 59 and the pellet 61 when the weight W was lifted and the weight of the weight W.

Figure 0004533687
Figure 0004533687

この場合、静止摩擦係数を1.0以上又は0.7以下の範囲に設定したとき、いずれのサンプルにおいても濃淡むらのない良好な結果が得られた。また、静止摩擦係数を0.9〜1.0又は0.7〜0.8の範囲に設定したときには、サンプルによってはやや不良となる結果が得られた。さらに、静止摩擦係数を0.8〜0.9の範囲に設定したとき、何れのサンプルにおいても濃淡むらが問題となる不良の結果が得られた。   In this case, when the coefficient of static friction was set in the range of 1.0 or more or 0.7 or less, good results with no shading were obtained in any sample. In addition, when the static friction coefficient was set in the range of 0.9 to 1.0 or 0.7 to 0.8, a result that was somewhat poor depending on the sample was obtained. Further, when the coefficient of static friction was set in the range of 0.8 to 0.9, a failure result in which unevenness in density was a problem in any sample was obtained.

上記の結果に基づき、本出願人は、ガラス基板14に圧着された感光性シートフイルム12に発生する濃淡むらは、以下の原因で発生するものと推定した。   Based on the above results, the applicant of the present invention presumed that the shading unevenness generated in the photosensitive sheet film 12 pressure-bonded to the glass substrate 14 occurs due to the following reasons.

すなわち、静止摩擦係数が1.0以上のゴム層65aにより被覆された新品の圧着ローラ64aによる転写開始当初においては、濃淡むらの発生がないが、転写枚数の累積値が増加して静止摩擦係数が0.8〜0.9の範囲になると、濃淡むらが発生し、さらに転写を継続して静止摩擦係数が0.7以下になると、濃淡むらが再び発生しなくなる(図5の実線参照)。   That is, at the beginning of transfer by a new pressure roller 64a covered with a rubber layer 65a having a static friction coefficient of 1.0 or more, there is no occurrence of shading, but the cumulative value of the number of transferred sheets increases and the static friction coefficient increases. Is in the range of 0.8 to 0.9, the density unevenness occurs, and when the transfer is continued and the static friction coefficient becomes 0.7 or less, the density unevenness does not occur again (see the solid line in FIG. 5). .

この現象から、圧着ローラ64aに被覆したゴム層65aの表面が新しい場合、静止摩擦係数が大きいため、感光性シートフイルム12のベースフイルム16とゴム層65aとの間に滑りがなく、感光性シートフイルム12が安定した搬送速度で搬送され、濃淡むらが発生しないものと考えられる。   From this phenomenon, when the surface of the rubber layer 65a coated on the pressure roller 64a is new, the coefficient of static friction is large, so that there is no slip between the base film 16 of the photosensitive sheet film 12 and the rubber layer 65a. It is considered that the film 12 is transported at a stable transport speed and unevenness in density does not occur.

一方、転写が繰り返されると、ベースフイルム16、あるいは、それに塗布された帯電防止剤を含むアクリル系下塗剤等の物質がゴム層65aに付着する等の理由によって静止摩擦係数が次第に小さくなり、所定の静止摩擦係数の範囲において、ベースフイルム16とゴム層65aとの間で断続的な滑り、いわゆる、スティックスリップ現象が発生する。このスティックスリップ現象は、感光性シートフイルム12及びガラス基板14を圧着ローラ64a、64bによって圧着させた際、ゴム層65a、65bの変形によって生じるバルジ部(図8参照)の影響により、ゴム層65aと感光性シートフイルム12との間で断続的な滑りが生じ、感光性シートフイルム12に濃淡むらが発生するものと考えられる。   On the other hand, when the transfer is repeated, the coefficient of static friction gradually decreases due to the fact that a material such as the base film 16 or an acrylic primer containing an antistatic agent applied thereto adheres to the rubber layer 65a. In the range of the static friction coefficient, intermittent slippage between the base film 16 and the rubber layer 65a, so-called stick-slip phenomenon occurs. This stick-slip phenomenon is caused by the influence of the bulge portion (see FIG. 8) generated by deformation of the rubber layers 65a and 65b when the photosensitive sheet film 12 and the glass substrate 14 are pressed by the pressure rollers 64a and 64b. It is considered that intermittent slip occurs between the photosensitive sheet film 12 and the photosensitive sheet film 12, and unevenness of density occurs in the photosensitive sheet film 12.

さらに転写が繰り返されると、ベースフイルム16とゴム層65aとの間の静止摩擦係数が小さくなってスティックスリップ現象が発生しなくなり、感光性シートフイルム12が再び安定した搬送速度で搬送されるため、濃淡むらの発生もなくなるものと考えられる。   Further, when the transfer is repeated, the static friction coefficient between the base film 16 and the rubber layer 65a becomes small and the stick-slip phenomenon does not occur, and the photosensitive sheet film 12 is conveyed again at a stable conveyance speed. It is considered that the occurrence of shading unevenness is eliminated.

そこで、ゴム層65aの交換や研磨等のメンテナンスを頻繁に行い、図5の点線で示すように、ゴム層65aのベースフイルム16に対する静止摩擦係数を1.0以上に維持することが考えられるが、この場合、生産効率が著しく低下するとともに、コストアップとなることは明らかである。   Therefore, it is conceivable that maintenance such as replacement and polishing of the rubber layer 65a is frequently performed and the static friction coefficient of the rubber layer 65a with respect to the base film 16 is maintained at 1.0 or more as shown by a dotted line in FIG. In this case, it is obvious that the production efficiency is remarkably lowered and the cost is increased.

本出願人は、図5の二点鎖線に示すように、ベースフイルム16とゴム層65aとの間の静止摩擦係数を当初から0.1〜0.7の範囲となるように設定することにより、ゴム層65aの交換や、清掃、研磨等のメンテナンスを不要とし、生産効率を低下させることなく長期間安定した状態で感光性シートフイルム12及びガラス基板14を搬送し、濃淡むらのない状態で安価に転写処理を繰り返すことができることを見出した。   By setting the coefficient of static friction between the base film 16 and the rubber layer 65a to be in the range of 0.1 to 0.7 from the beginning, as shown by the two-dot chain line in FIG. In addition, the photosensitive sheet film 12 and the glass substrate 14 are transported in a stable state for a long period of time without lowering the production efficiency, without replacing the rubber layer 65a, cleaning, polishing, etc. It was found that the transfer process can be repeated at low cost.

また、比較例として、ゴム層65aと感光性シートフイルム12との間の静止摩擦係数を0.95に設定した場合において、感光性シートフイルム12のテンションを変えて転写処理を行い、濃淡むらを判定した結果を表2に示す。   Further, as a comparative example, when the static friction coefficient between the rubber layer 65a and the photosensitive sheet film 12 is set to 0.95, the transfer process is performed by changing the tension of the photosensitive sheet film 12, and the unevenness of light and shade is removed. The determined results are shown in Table 2.

Figure 0004533687
Figure 0004533687

この場合、静止摩擦係数を0.95とすると、120N/550mm以上のテンションを付与したとき、いずれのサンプルにおいても濃淡むらが出現する結果が得られた。   In this case, assuming that the coefficient of static friction is 0.95, when a tension of 120 N / 550 mm or more is applied, a result in which shading unevenness appears in any sample is obtained.

これに対して、静止摩擦係数を0.6に設定した場合、100N/550mm以上のテンションのいずれの場合においても、濃淡むらのない良好な結果が得られた。なお、感光性シートフイルム12に対するテンションを高く設定することにより、皺の発生や気泡の混入を好適に回避することができる。   On the other hand, when the coefficient of static friction was set to 0.6, good results with no shading were obtained in any case of tension of 100 N / 550 mm or more. Note that by setting the tension on the photosensitive sheet film 12 high, generation of wrinkles and mixing of bubbles can be suitably avoided.

本実施形態の感光性積層体製造装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the photosensitive laminated body manufacturing apparatus of this embodiment. 感光性シートフイルムの断面構造図である。It is a sectional structure figure of a photosensitive sheet film. ガラス基板に対して感光性シートフイルムを転写させた状態の断面構造図である。It is a sectional structure figure in the state where the photosensitive sheet film was transcribe | transferred with respect to the glass substrate. 静止摩擦係数の測定装置の説明図である。It is explanatory drawing of the measuring apparatus of a static friction coefficient. 実施例及び比較例における圧着ローラの静止摩擦係数と転写枚数との関係説明図である。It is explanatory drawing of the relationship between the static friction coefficient of the press roller in Example and a comparative example, and the number of transfer. 従来技術における感光性積層体製造装置の説明図である。It is explanatory drawing of the photosensitive laminated body manufacturing apparatus in a prior art. 従来技術における感光性積層体製造装置により発生した筋むらの説明図である。It is explanatory drawing of the stripe unevenness which generate | occur | produced with the photosensitive laminated body manufacturing apparatus in a prior art. 筋むら発生原理の説明図である。It is explanatory drawing of a stripe nonuniformity generation | occurrence | production principle.

符号の説明Explanation of symbols

10…感光性積層体製造装置 12…感光性シートフイルム
14…ガラス基板 18…感光性樹脂層
64a、64b…圧着ローラ 65a、65b…ゴム層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Photosensitive laminated body manufacturing apparatus 12 ... Photosensitive sheet film 14 ... Glass substrate 18 ... Photosensitive resin layer 64a, 64b ... Pressure-bonding roller 65a, 65b ... Rubber layer

Claims (8)

支持体上に設けられた感光材料層を圧着ローラを用いて基板に圧着させて感光性積層体を製造する製造装置において、
前記支持体に当接する前記圧着ローラの表面には、ゴム層が形成され、
前記ゴム層は、前記支持体に対する静止摩擦係数0.1〜0.7の範囲となるよう、低摩擦化処理が施されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
In a manufacturing apparatus for manufacturing a photosensitive laminate by pressing a photosensitive material layer provided on a support to a substrate using a pressing roller,
A rubber layer is formed on the surface of the pressure roller in contact with the support ,
The rubber layer, the so that static friction coefficient with respect to the support is in the range of 0.1 to 0.7, the manufacturing apparatus of the photosensitive laminated body, wherein Rukoto low friction treatment is performed.
請求項1記載の装置において、
前記ゴム層は、JIS K 6253タイプA(ISO 7619タイプA)での硬度が30〜90度の耐熱性ゴムからなることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
The apparatus of claim 1.
The rubber layer, JIS K 6253 Type A (ISO 7619 Type A) apparatus for manufacturing a photosensitive laminated body hardness characterized by heat-resistant rubber Tona Rukoto 30-90 degrees at.
請求項記載の装置において、
前記圧着ローラは、80〜150℃の範囲で加熱されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
The apparatus of claim 1 .
The pressure-bonding roller is heated in a range of 80 to 150 ° C., and the photosensitive laminated body manufacturing apparatus.
請求項記載の装置において、
前記感光材料層は、前記圧着ローラにより80〜150℃の範囲で加熱されたとき、30〜30000Pa・sの範囲の粘度特性を示す熱可塑性感光樹脂層からなることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
The apparatus of claim 3 .
The photosensitive material layer is composed of a thermoplastic photosensitive resin layer having a viscosity characteristic in a range of 30 to 30000 Pa · s when heated in a range of 80 to 150 ° C. by the pressure roller. Manufacturing equipment.
請求項1記載の装置において、
前記圧着ローラにより前記感光材料層に付与される圧力は、前記圧着ローラの軸線方向に対する線圧として30〜300N/cmの範囲に設定することを特徴とする感光性積層体の製造装置。
The apparatus of claim 1.
The pressure by the pressure rollers is imparted to the photosensitive material layer, the press roller apparatus for manufacturing a photosensitive laminated body, characterized in that you set in the range of 30~300N / cm as linear pressure with respect to the axial direction of the.
支持体上に設けられた感光材料層を圧着ローラを用いて基板に圧着させて感光性積層体を製造する製造方法において、
前記支持体に当接する前記圧着ローラの表面にゴム層を形成するとともに、前記支持体に対する静止摩擦係数が0.1〜0.7の範囲となるよう、前記ゴム層に低摩擦化処理を施すことを特徴とする感光性積層体の製造方法
In a production method for producing a photosensitive laminate by pressure-bonding a photosensitive material layer provided on a support to a substrate using a pressure roller,
A rubber layer is formed on the surface of the pressure roller in contact with the support, and the rubber layer is subjected to a friction reduction process so that a static friction coefficient with respect to the support is in a range of 0.1 to 0.7. The manufacturing method of the photosensitive laminated body characterized by the above-mentioned.
請求項記載の方法において、
80〜150℃に加熱された前記圧着ローラにより前記感光材料層を前記基板に圧着させることを特徴とする感光性積層体の製造方法
The method of claim 6 wherein:
80-150 manufacturing method of a photosensitive laminate the photosensitive material layer by the pressure rollers heated to ℃ characterized Rukoto is crimped to the substrate.
請求項6記載の方法において、
軸線方向に対する線圧を30〜300N/cmに設定した前記圧着ローラにより前記感光材料層を前記基板に圧着させることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
The method of claim 6 wherein:
A method for producing a photosensitive laminate , comprising: pressing the photosensitive material layer onto the substrate with the pressing roller having a linear pressure in an axial direction set to 30 to 300 N / cm .
JP2004199889A 2004-07-06 2004-07-06 Photosensitive laminate manufacturing apparatus and manufacturing method Expired - Fee Related JP4533687B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004199889A JP4533687B2 (en) 2004-07-06 2004-07-06 Photosensitive laminate manufacturing apparatus and manufacturing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004199889A JP4533687B2 (en) 2004-07-06 2004-07-06 Photosensitive laminate manufacturing apparatus and manufacturing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006023407A JP2006023407A (en) 2006-01-26
JP4533687B2 true JP4533687B2 (en) 2010-09-01

Family

ID=35796722

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004199889A Expired - Fee Related JP4533687B2 (en) 2004-07-06 2004-07-06 Photosensitive laminate manufacturing apparatus and manufacturing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4533687B2 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008110490A (en) * 2006-10-27 2008-05-15 Fujifilm Corp Method and apparatus for manufacturing photosensitive laminate
JP2009226883A (en) * 2008-03-25 2009-10-08 Fujifilm Corp Manufacturing device and manufacturing process of photosensitive laminated body
JP5153404B2 (en) * 2008-03-28 2013-02-27 富士フイルム株式会社 Manufacturing method of laminate
KR101128343B1 (en) * 2009-04-23 2012-04-12 (주)에이비엠그린텍 Arch pannel unit forming apparatus
KR101791733B1 (en) * 2012-03-01 2017-10-30 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 Adhering apparatus

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08136712A (en) * 1994-11-07 1996-05-31 Hitachi Chem Co Ltd Production of color filter
JP2000334836A (en) * 1999-05-28 2000-12-05 Fuji Photo Film Co Ltd Film laminater
JP2002148794A (en) * 2000-11-15 2002-05-22 Fuji Photo Film Co Ltd Photosensitive layer transfer equipment and method
JP2002299792A (en) * 2001-03-29 2002-10-11 Dainippon Printing Co Ltd Method of manufacturing electronic component adopting wet etching, electronic component and suspension for hard disk
JP2004125869A (en) * 2002-09-30 2004-04-22 Hitachi Chem Co Ltd Reflectively backed photosensitive element

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08136712A (en) * 1994-11-07 1996-05-31 Hitachi Chem Co Ltd Production of color filter
JP2000334836A (en) * 1999-05-28 2000-12-05 Fuji Photo Film Co Ltd Film laminater
JP2002148794A (en) * 2000-11-15 2002-05-22 Fuji Photo Film Co Ltd Photosensitive layer transfer equipment and method
JP2002299792A (en) * 2001-03-29 2002-10-11 Dainippon Printing Co Ltd Method of manufacturing electronic component adopting wet etching, electronic component and suspension for hard disk
JP2004125869A (en) * 2002-09-30 2004-04-22 Hitachi Chem Co Ltd Reflectively backed photosensitive element

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006023407A (en) 2006-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5343862B2 (en) Method for producing glass resin composite
TWI395520B (en) Laminating device and lamination method using the same
WO2014132764A1 (en) Lamination method and laminate
WO2014064114A1 (en) Hot stamping machine
JP4533687B2 (en) Photosensitive laminate manufacturing apparatus and manufacturing method
JP2005288641A (en) Cutting method and device for adhesive film
JP2007261188A (en) Laminator
WO2008041790A1 (en) Coating apparatus of plane-shaped carbon heating unit and coating method thereof
JP6551237B2 (en) Grooved roller, and apparatus and method for manufacturing plastic film using the same
JP5153404B2 (en) Manufacturing method of laminate
WO2016098879A1 (en) Method for manufacturing peeling member
JP6090192B2 (en) Membrane electrode assembly manufacturing method and membrane electrode assembly manufacturing apparatus
US6978817B2 (en) Method for manufacturing fluoropolymer compound plate and device for manufacturing the same
JP7066135B2 (en) Liquid coating device
JP3646045B2 (en) Lamination method
JP2005060197A (en) Apparatus and method for attaching protective membrane
CN108027581B (en) Method and apparatus for manufacturing release member
JP4895195B2 (en) Laminating equipment
WO2018084044A1 (en) Method for producing optical display device
JP2009242089A (en) Carrying device, manufacturing device and method for manufacturing of laminated body
KR102484829B1 (en) Roll-to-roll lamination matching method
KR102311720B1 (en) Method for fabricating laminated film
JP2008132776A (en) Manufacturing apparatus of photosensitive laminate
JP4688476B2 (en) Thermal transfer apparatus and inkjet recording apparatus
JP2009155010A (en) Wire mesh conveyor belt coated by resin and heat-resistant rubber

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20061211

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070201

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090929

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091126

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100608

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100614

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees