JP4483973B2 - Organic electroluminescence display element and method for manufacturing the same - Google Patents
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Description
本発明は、高輝度、大面積の有機エレクトロルミネッセンス表示素子に関する。 The present invention relates to an organic electroluminescence display element having a high luminance and a large area.
フラットパネルディスプレイの一つである有機エレクトロルミネッセンス表示素子は、有機発光媒体を陽極と陰極で挟持した構造になっており、電流を流すことで発光が起こる。発光媒体には、通常、複数の有機層を積層したものが用いられる。自己発光型であるため高輝度・高視野角であり、かつ低駆動電圧という特徴を有している。 An organic electroluminescence display element, which is one of flat panel displays, has a structure in which an organic light emitting medium is sandwiched between an anode and a cathode, and light emission occurs when an electric current is passed. As the light-emitting medium, a laminate of a plurality of organic layers is usually used. Since it is a self-luminous type, it has features of high brightness, high viewing angle, and low driving voltage.
有機エレクトロルミネッセンス表示素子としては、複数の陽極ラインと複数の陰極ラインを交差させたマトリクス構造が用いられる。基板上に第一電極ラインを形成し、発光媒体をはさんで第一電極ラインと交差するように少なくとも第二電極ラインを形成する。第一電極が陽極の場合、第二電極は陰極であり、第一電極が陰極の場合、第二電極は陽極である。各電極ラインの交点に画素として1個の有機エレクトロルミネッセンス単素子が形成されており(図5参照)、対応する電極ラインに通電することによって画素の輝度を制御する。 As the organic electroluminescence display element, a matrix structure in which a plurality of anode lines and a plurality of cathode lines are crossed is used. A first electrode line is formed on the substrate, and at least a second electrode line is formed so as to intersect the first electrode line across the light emitting medium. When the first electrode is an anode, the second electrode is a cathode, and when the first electrode is a cathode, the second electrode is an anode. One organic electroluminescence single element is formed as a pixel at the intersection of each electrode line (see FIG. 5), and the luminance of the pixel is controlled by energizing the corresponding electrode line.
ところで、小型の有機エレクトロルミネッセンス表示素子では前述の低駆動電圧が利点となるが、大型の有機エレクトロルミネッセンス表示素子においては必ずしも利点にならない。むしろ、面積が大きい分、大電流を要するという欠点になってしまう。大電流駆動では、駆動回路が大型になるだけでなく、配線抵抗による電圧降下や電力消費が大きくなり、問題になっている。 By the way, although the above-mentioned low drive voltage is advantageous in a small organic electroluminescence display element, it is not necessarily advantageous in a large organic electroluminescence display element. Rather, since the area is large, a large current is required. In the large current drive, not only the drive circuit becomes large, but also a voltage drop and power consumption due to wiring resistance become large, which is a problem.
さらには、有機エレクトロルミネッセンス表示素子には、欠陥による素子短絡の問題がある。有機エレクトロルミネッセンス表示素子は薄膜構造であるため、小さなゴミ等の欠陥が原因で短絡に至るケースが多い。すると、その画素が発光することはなく、黒点になってしまう。画素が荒い構造では特に目立つことになる。
以上のように、従来構造の表示素子においては、大面積にすると大電流駆動が必要になり、配線抵抗による弊害が大きくなった。また、欠陥による素子短絡によって画素が非発光になり、表示品質を著しく悪化させることがあった。 As described above, in a display device having a conventional structure, when the area is large, a large current drive is required, and the adverse effect due to the wiring resistance is increased. In addition, the pixel may not emit light due to an element short circuit due to a defect, and display quality may be significantly deteriorated.
本発明はこれらの問題点を解決するためになされたものであり、駆動電流を小さく抑えて配線抵抗の弊害を小さくし、かつ素子短絡による表示品質悪化を最小限に留めた有機エレクトロルミネッセンス表示素子を提供するものである。 The present invention has been made to solve these problems, and is an organic electroluminescence display element in which the drive current is reduced to reduce the adverse effect of wiring resistance and display quality deterioration due to an element short circuit is minimized. Is to provide.
本発明において上記課題を解決するために、請求項1としては、発光媒体が第一電極及び第二電極で挟まれた、複数の有機エレクトロルミネッセンス単素子を有し、該第一電極は該有機エレクトロルミネッセンス単素子ごとに孤立したパターンとして形成された第一電極主要部を有し、該発光媒体は該第一電極主要部上に形成され、該第二電極は該発光媒体上に隣の孤立パターンと接続するように形成され、該有機エレクトロルミネッセンス単素子が直列接続されている有機エレクトロルミネッセンス表示素子であって、該第一電極主要部が、該発光媒体が形成される発光部と、該第二電極と接続される接続部と、を有し、該第一電極主要部上の該発光部及び該接続部以外の部分に絶縁層が形成されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子である。 In order to solve the above-mentioned problems in the present invention, the first aspect of the present invention includes a plurality of organic electroluminescence single elements in which a light emitting medium is sandwiched between a first electrode and a second electrode, and the first electrode is the organic A first electrode main portion formed as an isolated pattern for each electroluminescent single element, the light-emitting medium formed on the first electrode main portion, and the second electrode adjacent to the light-emitting medium An organic electroluminescence display element formed so as to be connected to a pattern and in which the organic electroluminescence single elements are connected in series , wherein the first electrode main part is a light emitting part in which the light emitting medium is formed; has a connection portion to be connected to the second electrode, the organic electroluminescence, wherein an insulating layer is formed on the light emitting portion and a portion other than the connection portion on said first electrode principal part It is a Nessensu display element.
請求項1によれば、画素が複数の単素子に分割され直列接続されていることにより、一部の単素子に短絡があっても他の単素子が生きているため、損傷を最小限に留めることができる。また、駆動電流を小さく抑えて配線抵抗の弊害を減らすことができる。 According to the first aspect, since the pixel is divided into a plurality of single elements and connected in series, even if some of the single elements are short-circuited, other single elements are alive, so that damage is minimized. Can be fastened. In addition, the drive current can be suppressed to reduce the adverse effect of the wiring resistance.
請求項2としては、前記第一電極が陽極であり、前記第二電極が陰極である、ことを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示素子である。
請求項3としては、陽極が透明電極であり、陰極が金属からなることを特徴とする請求項2に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示素子である。
請求項4としては、前記第一電極が陰極であり、前記第二電極が陽極である、ことを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示素子である。
請求項5としては、定電流駆動であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の有機エレクトロルミネセンス表示素子である。
請求項6としては、前記第一電極は電流を供給する配線を有し、該配線が金属配線であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の有機エレクトロルミネセンス表示素子である。
請求項7としては、発光媒体が第一電極及び第二電極で挟まれた、複数の有機エレクトロルミネッセンス単素子を有する有機エレクトロルミネッセンス表示素子の製造方法であって、基板上に、該有機エレクトロルミネッセンス単素子ごとに孤立したパターンとして形成された複数の第一電極主要部を含む第一電極のパターンを形成する工程と、次に該第一電極の主要部の少なくとも一部に発光媒体を形成する工程と、次に第二電極を該発光媒体上から同一基板上の隣接した有機エレクトロルミネッセンス単素子の該第一電極主要部と接続するように形成する工程とを含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子の製造方法である。
請求項8としては、発光媒体が第一電極及び第二電極で挟まれた、複数の有機エレクトロルミネッセンス単素子を有する有機エレクトロルミネッセンス表示素子の製造方法であって、基板上に、該有機エレクトロルミネッセンス単素子ごとに孤立したパターンとして形成された複数の第一電極主要部を含む第一電極のパターンを形成する工程と、次に該第一電極主要部以外の該基板上に絶縁層を形成する工程と、次に該第一電極主要部の少なくとも一部に発光媒体を形成する工程と、次に前記第二電極を該発光媒体上から同一基板上の隣接した有機エレクトロルミネッセンス単素子の第一電極主要部と接続するように形成する工程と、を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子の製造方法である。
The organic electroluminescence display element according to
The organic electroluminescence display element according to
The organic electroluminescence display element according to
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the organic electroluminescence display element according to any one of the first to fourth aspects, which is driven at a constant current.
The claim 6, wherein the first electrode has a wiring for supplying a current, an organic electroluminescent display device according to any one of
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an organic electroluminescence display element having a plurality of organic electroluminescence single elements in which a light emitting medium is sandwiched between a first electrode and a second electrode, the organic electroluminescence on a substrate. Forming a first electrode pattern including a plurality of first electrode main parts formed as isolated patterns for each single element, and then forming a light emitting medium on at least a part of the main parts of the first electrode And forming a second electrode so as to be connected to the main part of the first electrode of the adjacent organic electroluminescence single element on the same substrate from the light emitting medium. It is a manufacturing method of a luminescence display element.
According to an eighth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic electroluminescence display element having a plurality of organic electroluminescence single elements in which a light emitting medium is sandwiched between a first electrode and a second electrode, the organic electroluminescence on a substrate. Forming a first electrode pattern including a plurality of first electrode main parts formed as isolated patterns for each single element, and then forming an insulating layer on the substrate other than the first electrode main parts A step of forming a light-emitting medium on at least a part of the main portion of the first electrode, and then a step of forming the second electrode on the same substrate from the light-emitting medium on the same substrate. And a step of forming the organic electroluminescence display element so as to be connected to the main part of the electrode.
本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示素子によれば、画素が複数の単素子に分割され直列接続されていることにより、一部の単素子に短絡があっても他の単素子が生きているため、損傷を最小限に留めることができる。また、駆動電流を小さく抑えて配線抵抗の弊害を減らすことができる。 According to the organic electroluminescence display element of the present invention, since the pixel is divided into a plurality of single elements and connected in series, even if some single elements are short-circuited, other single elements are alive, Damage can be kept to a minimum. In addition, the drive current can be suppressed to reduce the adverse effect of the wiring resistance.
マトリクス型有機エレクトロルミネッセンス表示素子の画素をn個の単素子に分割、直列接続した場合を考える(間隙は無視して考える)。同じ輝度を得るための駆動電圧はn倍になるが、駆動電流は1/nになる。有機エレクトロルミネッセンス表示素子の場合、もともとの駆動電圧が数Vと低いので、n倍になっても大きな負担にはならない。それよりも、電流を低減できることによる利点が大きい。また、1箇所で短絡が起こった場合でも、発光面積の(n−1)/nが保持される。 Consider a case where a pixel of a matrix type organic electroluminescence display element is divided into n single elements and connected in series (ignoring the gap). The drive voltage for obtaining the same luminance is n times, but the drive current is 1 / n. In the case of an organic electroluminescence display element, the original driving voltage is as low as several volts, so even if it becomes n times, it does not become a big burden. The advantage of being able to reduce the current is greater than that. Further, even when a short circuit occurs at one location, (n−1) / n of the light emission area is maintained.
以下、本発明を図1と図2を用い、製造工程に従って詳細に説明する。まず、絶縁性の基板1を用意し、その上に第一電極ライン2を形成する。第一電極ライン2は、役割上、画素を形成する主要部2aと、電流を供給する配線2bに分けることができる。本発明では、第一電極主要部2aを複数の孤立パターンとして形成する(図2(a)参照)。基板1としては、ガラス基板、プラスチック基板等を用いることができる。第一電極が陽極である場合で説明すると、陽極としてはITO(インジウム錫複合酸化物)、インジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物等の透明電極を用いることができる。
Hereinafter, the present invention will be described in detail according to the manufacturing process with reference to FIGS. First, an
次に、絶縁層3を形成する。この絶縁層3は、第一電極の孤立パターン群部分に開口を有する(図2(b)参照)。開口部は、発光部3Aおよび接続部3Bに相当する。絶縁層3としては、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム等の無機絶縁物や、フォトレジスト等の有機絶縁物を使用できる。絶縁層3の1つめの目的は、第一電極の配線2bと第二電極の配線5bを絶縁することである。2つめの目的は、発光部を確定し、電極端縁部に起因する劣化を抑えて寿命を伸ばすことである。後述するように配線を別に行う場合には、絶縁層3は無くてもよい。
Next, the
続いて、各孤立パターンの発光部を含む所定の部分に、発光媒体4を形成する。(図2(c)参照)。発光媒体4としては、例えば正孔注入層/正孔輸送層/発光層や正孔注入層/発光層/電子輸送層のような積層構造が用いられる。
Subsequently, the
正孔注入・輸送層としては、銅フタロシアニン、テトラ(t−ブチル)銅フタロシアニン等の金属フタロシアニン類および無金属フタロシアニン類、キナクリドン化合物、1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン、N,N’−ジ(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン等の芳香族アミン系低分子正孔注入輸送材料やポリ(パラ−フェニレンビニレン)、ポリアニリン等の高分子正孔輸送材料、ポリチオフェンオリゴマー材料、その他既存の正孔輸送材料の中から選ぶことができる。 As the hole injection / transport layer, metal phthalocyanines such as copper phthalocyanine and tetra (t-butyl) copper phthalocyanine and metal-free phthalocyanines, quinacridone compounds, 1,1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) Cyclohexane, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1′-biphenyl-4,4′-diamine, N, N′-di (1-naphthyl) -N, Aromatic amine-based low molecular hole injection / transport materials such as N′-diphenyl-1,1′-biphenyl-4,4′-diamine, and polymer hole transport materials such as poly (para-phenylene vinylene) and polyaniline, It can be selected from polythiophene oligomer materials and other existing hole transport materials.
発光層としては、9,10−ジアリールアントラセン誘導体、ピレン、コロネン、ペリレン、ルブレン、1,1,4,4−テトラフェニルブタジエン、トリス(8−キノリノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−8−キノリノラート)アルミニウム錯体、ビス(8−キノリノラート)亜鉛錯体、トリス(4−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−5−シアノ−8−キノリノラート)アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−シアノ−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、トリス(8−キノリノラート)スカンジウム錯体、ビス[8−(パラ−トシル)アミノキノリン]亜鉛錯体およびカドミウム錯体、1,2,3,4−テトラフェニルシクロペンタジエン、ペンタフェニルシクロペンタジエン、ポリ−2,5−ジヘプチルオキシ−パラ−フェニレンビニレン、クマリン系蛍光体、ペリレン系蛍光体、ピラン系蛍光体、アンスロン系蛍光体、ポルフィレン系蛍光体、キナクリドン系蛍光体、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系蛍光体、ナフタルイミド系蛍光体、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系蛍光体等が挙げられ、これらを単独、または他の低分子材料や高分子材料と混合して用いることができる。 As the light-emitting layer, 9,10-diarylanthracene derivatives, pyrene, coronene, perylene, rubrene, 1,1,4,4-tetraphenylbutadiene, tris (8-quinolinolato) aluminum complex, tris (4-methyl-8- Quinolinolato) aluminum complex, bis (8-quinolinolato) zinc complex, tris (4-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) aluminum complex, tris (4-methyl-5-cyano-8-quinolinolato) aluminum complex, Bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) [4- (4-cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, bis (2-methyl-5-cyano-8-quinolinolato) [4- (4- Cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, tris 8-quinolinolato) scandium complex, bis [8- (para-tosyl) aminoquinoline] zinc complex and cadmium complex, 1,2,3,4-tetraphenylcyclopentadiene, pentaphenylcyclopentadiene, poly-2,5-di Heptyloxy-para-phenylene vinylene, coumarin phosphor, perylene phosphor, pyran phosphor, anthrone phosphor, porphyrin phosphor, quinacridone phosphor, N, N′-dialkyl-substituted quinacridone phosphor, Naphthalimide-based phosphors, N, N′-diaryl-substituted pyrrolopyrrole-based phosphors, and the like can be mentioned, and these can be used alone or mixed with other low-molecular materials or polymer materials.
電子輸送層としては、2−(4−ビフェニルイル)−5−(4−t−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、2,5−ビス(1−ナフチル)−1,3,4−オキサジアゾール、およびオキサジアゾール誘導体やビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]キノリノラート)ベリリウム錯体、トリアゾール化合物等が挙げられる。 As the electron transport layer, 2- (4-biphenylyl) -5- (4-t-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole, 2,5-bis (1-naphthyl) -1,3 , 4-oxadiazole, oxadiazole derivatives, bis (10-hydroxybenzo [h] quinolinolato) beryllium complexes, triazole compounds, and the like.
これらは、真空蒸着法またはディップコート等のコーティング法により形成することができるが、パターニングを要することから、マスク蒸着法即ちマスクを通して真空蒸着を行う方法が好適である。発光媒体の総膜厚は1μm以下であり、好ましくは50〜150nmである。 These can be formed by a vacuum evaporation method or a coating method such as dip coating, but since patterning is required, a mask evaporation method, that is, a method of performing vacuum evaporation through a mask is preferable. The total film thickness of the luminescent medium is 1 μm or less, preferably 50 to 150 nm.
その後さらに、第二電極ライン5を形成する。その際、第二電極主要部5aは、発光媒体上から、隣の孤立パターンと接続するように形成される(図2(d)参照)。また、その形状は第二電極配線5bの長手方向に沿って長く、さらにその角は丸めてある。これらは、いずれも第二電極配線5bの長手方向の張力に対する強度を増す効果を有し、再現性の良いパターニングを可能とする。なお、第一電極が陽極の場合、第二電極は陰極である。陰極としては、Mg,Al,Yb等の金属単体を用いることができる。あるいは、発光媒体界面にLi,酸化Li,LiF等の化合物を1nm程度挟んで、安定性・導電性の高いAlやCuを積層して用いる。または、電子注入効率と安定性を両立させるため、仕事関数の低いLi,Mg,Ca,Sr,La,Ce,Er,Eu,Sc,Y,Yb等の金属1種以上と、安定なAg,Al,Cu等の金属元素との合金系を用いる。例えば、MgAg,AlLi,CuLi等である。陰極の厚さは、10nm〜1μm程度が望ましい。
Thereafter, the
第二電極ラインはマスク蒸着法で形成することができる。また該第二電極主要部のマスクパターンが該第二電極配線のマスクパターンの長手方向に沿って長く、さらには第二電極主要部のマスクパターンの曲率半径が幅の1/10以上とする。第二電極ラインを形成するための蒸着マスクパターンにおいて第二電極主要部のマスクパターンが第二電極配線のマスクパターンの長手方向に沿って長く、かつ、曲率半径が大きいことにより、第二電極配線の長手方向の張力に対する強度を高めることができ、再現性良くパターニングすることが可能となる。The second electrode line can be formed by a mask vapor deposition method. The mask pattern of the second electrode main part is long along the longitudinal direction of the mask pattern of the second electrode wiring, and the curvature radius of the mask pattern of the second electrode main part is 1/10 or more of the width. In the vapor deposition mask pattern for forming the second electrode line, the mask pattern of the main part of the second electrode is long along the longitudinal direction of the mask pattern of the second electrode wiring, and the radius of curvature is large. The strength against the tension in the longitudinal direction can be increased, and patterning can be performed with good reproducibility.
なお、第二電極主要部のマスクパターンが第二電極配線のマスクパターンの長手方向に沿って長いとは、第二電極主要部の蒸着マスク穴の形状に関し、配線に平行な方向の寸法が配線に垂直な方向の寸法より長いことを意味する。また、第二電極主要部のマスクパターンの曲率半径が幅の1/10以上であるとは、第二電極主要部の蒸着マスク穴の形状に関し、最も尖った部分の曲率半径が最短径の1/10以上である(即ち角が丸まっている)ことを意味する。これらは、角の丸い長方形に限定するものではなく、例えば楕円形等も可能である。Note that the mask pattern of the second electrode main part is long along the longitudinal direction of the mask pattern of the second electrode wiring, and the dimension in the direction parallel to the wiring is related to the shape of the vapor deposition mask hole of the second electrode main part. Means longer than the dimension in the direction perpendicular to Further, the curvature radius of the mask pattern of the second electrode main portion being 1/10 or more of the width means that the curvature radius of the sharpest portion is 1 which is the shortest diameter with respect to the shape of the vapor deposition mask hole of the second electrode main portion. / 10 or more (that is, the corners are rounded). These are not limited to rectangles with rounded corners, and may be elliptical, for example.
これらの結果、画素部は複数の有機エレクトロルミネッセンス単素子から構成され、それらは直列接続されている(図1参照)。接続は直列、並列、およびそれらの混成が可能であるが、以下の理由から直列が効果的である。1つには、直列ならば電流を小さく抑えることができ、配線抵抗による電圧降下、発熱、ドライバの電流負荷を低減できる。2つめには、有機エレクトロルミネッセンス単素子の短絡が起こった場合にも他の単素子への影響が小さく、損傷を最小限に抑えることができる。これは、有機エレクトロルミネッセンス単素子の故障の大部分は、短絡であるという事実に基づく。 As a result, the pixel portion is composed of a plurality of organic electroluminescence single elements, which are connected in series (see FIG. 1). The connections can be in series, in parallel, or a combination thereof, but series is effective for the following reasons. For example, if the current is in series, the current can be kept small, and voltage drop due to wiring resistance, heat generation, and current load of the driver can be reduced. Second, even when a short circuit of an organic electroluminescence single element occurs, the influence on other single elements is small, and damage can be minimized. This is based on the fact that the majority of organic electroluminescent single element failures are short circuits.
なお、定電流駆動であれば、他の単素子の輝度は不変であり、短絡した単素子の面積割合だけ輝度が減少する。即ち、短絡が他に与える影響が小さい。 In the case of constant current driving, the brightness of the other single elements remains unchanged, and the brightness decreases by the area ratio of the short-circuited single elements. That is, the influence of the short circuit on the other is small.
定電圧駆動であれば、短絡した単素子分の電圧が他の単素子に割り振られて輝度が大きくなり、面積減に対して相殺する方向に働く。即ち、短絡した単素子数が小さいうちは、画素輝度変化をより小さくすることが可能となる。ただし、短絡が多くなると1単素子当たりの電圧が高くなって、より破壊しやすくなるという欠点もある。 In the case of constant voltage driving, the voltage corresponding to the short-circuited single element is assigned to other single elements, and the luminance increases, which works in a direction to cancel out the area reduction. That is, as long as the number of short-circuited single elements is small, the pixel luminance change can be further reduced. However, when the number of short-circuits increases, the voltage per single element increases, and there is also a drawback that it becomes easier to break down.
素子の劣化防止のため、封止層や封止容器を設けることも可能である。これらは、水分や酸素による素子劣化防止に役立つ。 In order to prevent deterioration of the element, a sealing layer or a sealing container can be provided. These are useful for preventing element deterioration due to moisture and oxygen.
また、第一電極配線2bや第二電極配線5bの電気抵抗低減のため、Cu,Al,Ti等の金属を補助電極として併設させることができる(図3参照)。あるいは、第一電極や第二電極を画素付近のみに形成し、画素間の配線をすべて金属配線で行うこともできる(図4参照)。 Further, in order to reduce the electrical resistance of the first electrode wiring 2b and the second electrode wiring 5b, a metal such as Cu, Al, Ti or the like can be provided as an auxiliary electrode (see FIG. 3). Alternatively, the first electrode and the second electrode can be formed only in the vicinity of the pixel, and all the wiring between the pixels can be made of metal wiring (see FIG. 4).
RGBのカラーフィルタ層を透明電極下部に形成しておき、白色発光の発光媒体を用いるとフルカラーディスプレイとなる。あるいは、RG蛍光変換フィルタと青色発光の発光媒体を用いてもフルカラーディスプレイを形成できる。 When a color filter layer of RGB is formed below the transparent electrode and a white light emitting medium is used, a full color display is obtained. Alternatively, a full color display can be formed using an RG fluorescence conversion filter and a blue light emitting medium.
第一電極を陰極、第二電極を陽極にした場合も同様に作製できることは言うまでもない。 Needless to say, the first electrode can be used as a cathode and the second electrode can be used as an anode.
まず、ガラス基板1上にスパッタリングで透明導電膜としてITO層を形成した。さらに、透明性と導電性を向上させるために、空気中で加熱処理を行いITOを結晶化した。次に、フォトリソグラフィおよびウェットエッチングによってITOをパターニングし、第一電極ライン2を形成した(図2(a)参照)。
First, an ITO layer was formed as a transparent conductive film on the
その上に感光性樹脂を塗布・プリベークし、露光・現像・ポストベークによって絶縁層3を形成した。絶縁層3は、発光部3Aおよび接続部3Bに相当する開口部を有する(図2(b)参照)。
A photosensitive resin was applied / prebaked thereon, and the insulating
さらに、開口(発光部)3A上に発光媒体4として正孔注入層/正孔輸送層/発光層を形成した。正孔注入層は銅フタロシアニン、正孔輸送層はN,N’−ジ(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン、発光層はトリス(8−キノリノラート)アルミニウム錯体であり、それぞれ20nm、60nm、70nmだけマスク蒸着した(図2(c)参照)。 Further, a hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer was formed as the light emitting medium 4 on the opening (light emitting portion) 3A. The hole injection layer is copper phthalocyanine, the hole transport layer is N, N′-di (1-naphthyl) -N, N′-diphenyl-1,1′-biphenyl-4,4′-diamine, and the light emitting layer is tris. It was an (8-quinolinolato) aluminum complex, and was vapor-deposited by 20 nm, 60 nm, and 70 nm, respectively (see FIG. 2C).
そして、第二電極ライン5としてAlをマスク蒸着した(図2(d)参照)。その際、第二電極主要部5aのマスクパターンは、第二電極配線5bのマスクパターンの長手方向に沿って長く、かつ角を丸めたパターンとした。具体的には、長さ8mm、幅2mm、角の曲率半径0.2mmとした。第二電極ライン5によって複数の有機エレクトロルミネッセンス単素子が完成すると同時に、直列接続された。マスクとして第二電極パターンの長手方向に垂直な方向に長いパターンを用いた場合や曲率半径が小さいパターンでは、張力による変形が著しく、使用に適さなかった。
And Al was mask-deposited as the 2nd electrode line 5 (refer FIG.2 (d)). At that time, the mask pattern of the second electrode main portion 5a was a pattern that was long and rounded in the longitudinal direction of the mask pattern of the second electrode wiring 5b. Specifically, the length was 8 mm, the width was 2 mm, and the corner radius of curvature was 0.2 mm. A plurality of organic electroluminescence single elements were completed by the
最後に、封止層として酸化ゲルマニウムを成膜した(図示せず)。 Finally, germanium oxide was formed as a sealing layer (not shown).
パルス電流駆動テストを行い、同等輝度時の電圧が約n倍、電流が約1/n倍になることを確認した(今回はn=3)。また、長時間駆動テストにより、短絡による黒点が単画素に限られ、損傷を最小限に抑えられることを確認した。 A pulse current drive test was conducted, and it was confirmed that the voltage at the same luminance was about n times and the current was about 1 / n times (in this case, n = 3). In addition, a long-time driving test confirmed that black spots due to short circuits are limited to single pixels and that damage can be minimized.
1 …基板
2 …第一電極ライン
2a …第一電極主要部
2b …第一電極配線
3 …絶縁層
−3A …開口(発光部)
−3B …開口(接続部)
4 …発光媒体
5 …第二電極ライン
5a …第二電極主要部
5b …第二電極配線
DESCRIPTION OF
-3B ... opening (connection part)
4 ...
Claims (8)
基板上に、該有機エレクトロルミネッセンス単素子ごとに孤立したパターンとして形成された複数の第一電極主要部を含む第一電極のパターンを形成する工程と、
次に該第一電極の主要部の少なくとも一部に発光媒体を形成する工程と、
次に第二電極を該発光媒体上から同一基板上の隣接した有機エレクトロルミネッセンス単素子の該第一電極主要部と接続するように形成する工程と、
を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子の製造方法。 A method for producing an organic electroluminescence display element having a plurality of organic electroluminescence single elements, wherein a light emitting medium is sandwiched between a first electrode and a second electrode,
On the substrate, forming a first electrode pattern including a plurality of first electrode main parts formed as an isolated pattern for each organic electroluminescence single element; and
Next, forming a light emitting medium on at least a part of the main part of the first electrode;
Next, forming a second electrode so as to connect from the light emitting medium to the main portion of the first electrode of an adjacent organic electroluminescence single element on the same substrate;
The manufacturing method of the organic electroluminescent display element characterized by including.
基板上に、該有機エレクトロルミネッセンス単素子ごとに孤立したパターンとして形成された複数の第一電極主要部を含む第一電極のパターンを形成する工程と、
次に該第一電極主要部以外の該基板上に絶縁層を形成する工程と、
次に該第一電極主要部の少なくとも一部に発光媒体を形成する工程と、
次に前記第二電極を該発光媒体上から同一基板上の隣接した有機エレクトロルミネッセンス単素子の第一電極主要部と接続するように形成する工程と、
を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子の製造方法。 A method for producing an organic electroluminescence display element having a plurality of organic electroluminescence single elements, wherein a light emitting medium is sandwiched between a first electrode and a second electrode,
On the substrate, forming a first electrode pattern including a plurality of first electrode main parts formed as an isolated pattern for each organic electroluminescence single element; and
Next, forming an insulating layer on the substrate other than the main part of the first electrode;
Next, forming a light emitting medium on at least a part of the first electrode main part;
Next, forming the second electrode so as to connect from the light emitting medium to the first electrode main part of the adjacent organic electroluminescence single element on the same substrate;
The manufacturing method of the organic electroluminescent display element characterized by including.
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