JP4481746B2 - Method for producing lead-free piezoelectric material - Google Patents

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Description

本発明は、振動子、アクチュエーター、センサー、フィルタなどの製造に好適に利用できる、アルカリ金属元素或いはアルカリ土類金属元素を構成成分として含む非鉛系圧電性物質の製造方法に関する。 The present invention, vibrators, actuators, sensors, can be suitably used in the manufacture of such filters relates to a method of manufacturing a lead-free piezoelectric substances containing as a component an alkali metal element or an alkaline earth metal element.

従来より、圧電性物質には、PZT(ジルコン酸鉛とチタン酸鉛の固溶体)、PLZT(PZTにランタンが添加されたもの)など、鉛系のものが使用されていたが、原料として鉛を使用するため、製造時の鉛の飛散、環境面への配慮から、環境に優しい非鉛系のものへの代替が切望されている。   Conventionally, lead-based materials such as PZT (solid solution of lead zirconate and lead titanate) and PLZT (with lanthanum added to PZT) have been used as piezoelectric materials. In order to use it, there is an urgent need for an environment-friendly alternative to lead-free materials because of lead scattering during production and environmental considerations.

非鉛系圧電性物質の主なものとしては、チタン酸バリウム(BT)、チタン酸ビスマス・ナトリウム(BNT)、チタン酸ビスマス・カリウム(BKT)及びそれらの混晶系や、ニオブ酸ナトリウム、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム及びそれらの混晶系がある。これらは、いずれもペロブスカイト型結晶系に属する化合物である。   The main lead-free piezoelectric materials include barium titanate (BT), bismuth sodium titanate (BNT), bismuth potassium titanate (BKT) and mixed crystals thereof, sodium niobate, niobium There are potassium acid, lithium niobate and mixed crystal systems thereof. These are all compounds belonging to the perovskite crystal system.

上記したような非鉛系圧電性物質は、アルカリ金属元素及びアルカリ土類金属元素(以下、アルカリ金属等という)を含む原料を、ボールミルなどの粉砕機で粉砕混合したのち、800℃〜1000℃で焼成して得られるが、製造後の製品中にアルカリ金属等の原料成分が未反応物(結晶の構成成分となっていない状態を意味する)として残留する場合が少なくない。アルカリ金属等にかかる未反応成分は、イオン化しやすく、これらの未反応成分が残存している圧電性物質を用いた圧電体の電気的特性や経時安定性を損ねる原因となっていた。かかる課題を解決するためには、これらアルカリ金属等にかかる未反応成分が、製造された圧電性物質内に残留しないように、製造段階で充分に除去されなければならない。   The lead-free piezoelectric material as described above is obtained by pulverizing and mixing a raw material containing an alkali metal element and an alkaline earth metal element (hereinafter referred to as an alkali metal or the like) with a pulverizer such as a ball mill. In many cases, raw material components such as alkali metals remain as unreacted substances (meaning that they are not constituents of crystals) in the manufactured product. The unreacted component applied to the alkali metal or the like is easily ionized, and has been a cause of impairing the electrical characteristics and the temporal stability of the piezoelectric body using the piezoelectric material in which these unreacted components remain. In order to solve such a problem, these unreacted components related to the alkali metal and the like must be sufficiently removed at the manufacturing stage so as not to remain in the manufactured piezoelectric material.

これに対して、アルカリ金属等にかかる未反応成分はイオン化し易いため、非鉛系圧電性物質から、これらの成分を除去することは難しく、現在製造されている非鉛系圧電性物質においては、アルカリ金属等にかかる未反応成分が充分に除去されているとはいえなかった。これに対して、本発明者らは、製造の最終工程で水洗することができるように構成することで、アルカリ金属等にかかる未反応成分等の残存イオン分が少なく、従来の鉛系圧電性物質と同等の特性を達成した実使用に耐え得る非鉛系圧電性物質の製造が簡便にできることを見いだし、アルカリ金属等を構成成分としてなる非鉛系圧電性物質の製造方法、及び非鉛系圧電性物質を提案している(特願2004−196084)。   On the other hand, since unreacted components related to alkali metals and the like are easily ionized, it is difficult to remove these components from the lead-free piezoelectric materials. In the lead-free piezoelectric materials currently manufactured, In addition, it could not be said that the unreacted components on the alkali metal and the like were sufficiently removed. On the other hand, the present inventors are configured so that they can be washed with water in the final manufacturing process, so that there is little residual ion content such as unreacted components on alkali metals, etc., and conventional lead-based piezoelectricity We have found that it is easy to manufacture lead-free piezoelectric materials that can withstand actual use and achieve the same properties as materials, and methods for manufacturing lead-free piezoelectric materials containing alkali metals as constituents, and lead-free materials A piezoelectric substance has been proposed (Japanese Patent Application No. 2004-196084).

しかしながら、PZTなどの従来の鉛系圧電性物質を、それに比べ高価なアルカリ金属等の成分を含む非鉛系圧電性物質で代替していくためには、アルカリ金属等を構成元素として含む非鉛系圧電性物質(以下、非鉛系アルカリ含有圧電性物質という)の更なる特性の向上が求めらる。上記した製造方法では、製造の最終工程で水洗することで、より充分にアルカリ金属等にかかる未反応成分等の残存イオン分を除いており、この結果、優れた特性の非鉛系アルカリ含有圧電性物質を得ている。   However, in order to replace a conventional lead-based piezoelectric material such as PZT with a lead-free piezoelectric material containing a component such as an expensive alkali metal, non-lead containing an alkali metal or the like as a constituent element There is a need for further improvement in characteristics of the piezoelectric material (hereinafter referred to as a lead-free alkali-containing piezoelectric material). In the manufacturing method described above, the remaining ions such as unreacted components on the alkali metal and the like are more sufficiently removed by washing with water in the final step of the manufacturing. As a result, the lead-free alkali-containing piezoelectric element having excellent characteristics is obtained. I have a sex substance.

本発明は、上記した点に鑑みなされたものであって、上記で述べたアルカリ金属等にかかる未反応成分等の残存イオン分を少なくした非鉛系アルカリ含有圧電性物質を更に改良して、該物質中にわずかに残存する水に可溶なアルカリ金属等にかかる未反応成分のイオン溶出を抑制した、圧電体として利用した場合に、より安定した圧電特性を実現できる非鉛系アルカリ含有圧電性物質を提供することである。   The present invention has been made in view of the above points, and further improves the lead-free alkali-containing piezoelectric material in which the residual ions such as unreacted components on the alkali metal described above are reduced, Lead-free alkali-containing piezoelectric material that can realize more stable piezoelectric characteristics when used as a piezoelectric material, suppressing ion elution of unreacted components on water-soluble alkali metals, etc. that remain slightly in the substance. Is to provide sex substances.

上記の目的は、下記の本発明によって達成される。即ち、本発明は、アルカリ金属元素或いはアルカリ土類金属元素を構成成分として含んでなる圧電性能を有する粉末状の非鉛系圧電性物質を製造する方法において、原料を充分に粉砕混合した後、該混合物を800〜1100℃で焼成する工程と、粉末状の焼成物の粒子表面カルボキシ基を有する親油性物質で撥水処理する工程とを有し、上記カルボキシ基を有する親油性物質が、カプリル酸、カプリン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸またはリシノレン酸であり、かつ前記撥水処理工程において、粉末状の焼成物に水を加えて解膠し、得られたスラリーに、上記カルボキシ基を有する親油性物質のアルカリ塩である水溶液を加えて更に解膠し、ろ液の電導度が300μs/cm以下になるまで水洗することを特徴とする非鉛系圧電性物質の製造方法である。 The above object is achieved by the present invention described below. That is, the present invention relates to a process for preparing a powdery lead-free piezoelectric material having a piezoelectric performance comprising as a component an alkali metal element or an alkaline earth metal element, were mixed thoroughly pulverized material, a step of calcining the mixture at 800 to 1100 ° C., the particle surface of the powder of the burned material and a step of performing water repellent treatment with a lipophilic substance having a carboxy group, are lipophilic substances having the carboxy group, Caprylic acid, capric acid, lauric acid, myristic acid, palmitic acid, stearic acid, oleic acid, linoleic acid or ricinolenic acid. In the water-repellent treatment step, water is added to the powdered fired product to peptize. Then, an aqueous solution which is an alkali salt of a lipophilic substance having a carboxy group is added to the obtained slurry to further peptize, and the electric conductivity of the filtrate is 300 μs / cm or less. A method for producing a lead-free piezoelectric material, characterized by washed with water until.

本発明によれば、非鉛系アルカリ含有圧電性物質でありながら、結晶性が高く、アルカリ金属等にかかる未反応成分の残留がかなり低く抑えられて安定であり、しかも、物質中に水に可溶なアルカリ金属等にかかる未反応成分がわずかに残存していても、イオンの溶出が有効に防止される、より安定した圧電特性を実現した圧電体を得ることができる非鉛系アルカリ含有圧電性物質が提供される。   According to the present invention, while being a lead-free alkali-containing piezoelectric material, the crystallinity is high, the residue of unreacted components on alkali metal etc. is suppressed to a very low level, and the material is stable in water. Contains lead-free alkali that can achieve a more stable piezoelectric body that can effectively prevent elution of ions even if a small amount of unreacted components on soluble alkali metals remain. A piezoelectric material is provided.

即ち、本発明によれば、圧電体として使用した場合に、従来の鉛系圧電性物質であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を使用した場合と同等、更にはそれ以上の電気的特性や経時安定性を得ることが可能な、非鉛系アルカリ含有圧電性物質が提供される。   That is, according to the present invention, when used as a piezoelectric body, the electrical characteristics and aging over and above that of the conventional lead-based piezoelectric substance lead zirconate titanate (PZT) are used. A lead-free alkali-containing piezoelectric material capable of achieving stability is provided.

次に、好ましい実施形態を挙げて、本発明を更に詳細に説明する。まず、下記に、本発明に至る経緯を説明する。本発明者らの検討によれば、例えば、アルカリ金属等を構成成分とするチタン酸バリウムとチタン酸ビスマス・カリウムの混晶系等の非鉛系圧電性物質を従来の方法で製造した場合には、合成(焼成)時に、原料成分であるアルカリ金属等が完全に固溶せずに、一部未反応分として残存する。また、焼成による固相反応では、アルカリ金属等が一種のフラックス(融剤)物質として働くため、できた粒子が大きくなるので、使用にあたっては、使用可能なレベルまでボールミルなどで粉砕することを要する。そして、この工程中に衝撃により結晶が壊れ、アルカリ金属等やその他の残存物質が結晶系外に出てくることが起こる。このような非鉛系圧電性物質を用いて形成された圧電体を、種々の用途で使用すると、アルカリ金属等などの未反応の残存物質がイオンとして働くため、圧電特性などの電気的特性や経時安定性を著しく損ねることが起こる。   Next, the present invention will be described in more detail with reference to preferred embodiments. First, the background to the present invention will be described below. According to the study by the present inventors, for example, when a lead-free piezoelectric material such as a mixed crystal of barium titanate and bismuth titanate / potassium titanate containing an alkali metal or the like is produced by a conventional method. In the synthesis (firing), the alkali metal or the like which is a raw material component does not completely dissolve, but partially remains as an unreacted component. Further, in the solid phase reaction by firing, since alkali metal or the like acts as a kind of flux (flux) substance, the resulting particles become large, and in use, it is necessary to pulverize to a usable level with a ball mill or the like. . During this process, the crystal is broken by impact, and alkali metals and other remaining substances come out of the crystal system. When a piezoelectric body formed using such a lead-free piezoelectric substance is used in various applications, an unreacted residual substance such as an alkali metal acts as an ion. The stability over time can be significantly impaired.

上記の課題を解決するためには、非鉛系アルカリ含有圧電性物質を充分に洗浄し、未反応のアルカリ金属等や、その他のイオンなどの残存成分を除去する必要がある。これらの残存成分は、水に可溶なイオン性物質がほとんどであるため、水による洗浄が一番良いと考えられる。しかしながら、非鉛系アルカリ含有圧電性物質は、アルカリ金属等が固溶してなるものであるため、水に対して溶解性があり、残存成分の充分な洗い出しが行えない状況にある。本発明者は、そうした点を充分に考慮し、原料の混合粉砕の均一性を向上させ、これを焼成した後、更に、得られた焼成物を粉砕し、その後に焼成を行うことを1回以上行うことで、非鉛系アルカリ含有圧電性物質の結晶性を高めて、未反応のアルカリ金属等の残存がかなり低く抑えられ、最終工程で、水による洗い出しを可能とし、この結果、特性に優れた非鉛系アルカリ含有圧電性物質が得られることを見いだした。   In order to solve the above-mentioned problems, it is necessary to thoroughly wash the lead-free alkali-containing piezoelectric material and remove residual components such as unreacted alkali metal and other ions. Since these remaining components are mostly ionic substances soluble in water, washing with water is considered to be the best. However, since the lead-free alkali-containing piezoelectric material is formed by dissolving an alkali metal or the like in a solid solution, it is soluble in water, and the remaining components cannot be sufficiently washed out. The inventor considers such points sufficiently, improves the uniformity of mixing and pulverization of the raw materials, and after firing this, the obtained fired product is further ground and then fired once. By doing the above, the crystallinity of the lead-free alkali-containing piezoelectric material is increased, the remaining of unreacted alkali metal, etc. is suppressed to a very low level, and it is possible to wash out with water in the final process. It has been found that an excellent lead-free alkali-containing piezoelectric material can be obtained.

本発明者らは、上記した技術を更に発展させ、より優れた特性の非鉛系アルカリ含有圧電性物質を提供すべく更なる検討を重ねた結果、粉末状の焼成物として得られる圧電性物質を、更に、カルボキシ基を有する親油性物質で処理すれば、撥水効果が高く、僅かに残存している水に可溶なアルカリ金属等にかかる未反応成分等のイオンの溶出が有効に抑制された、優れた特性の非鉛系アルカリ含有圧電性物質が得られることを見いだして、本発明に至った。例えば、本発明によれば、従来の、鉛系圧電性物質であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を使用した場合と同等、更にはそれ以上の、電気的特性や経時安定性を達成した圧電体を得ることが可能になる。   As a result of further development of the above-described technique and further studies to provide a lead-free alkali-containing piezoelectric material having better characteristics, the present inventors have obtained a piezoelectric material obtained as a powdered fired product. Furthermore, if it is treated with a lipophilic substance having a carboxy group, the water repellent effect is high, and the elution of ions such as unreacted components on the slightly remaining water-soluble alkali metal is effectively suppressed. As a result, the inventors have found that a lead-free alkali-containing piezoelectric material having excellent characteristics can be obtained. For example, according to the present invention, a piezoelectric material that achieves electrical characteristics and stability over time equivalent to or higher than that of the conventional lead-based piezoelectric material lead zirconate titanate (PZT). It becomes possible to obtain a body.

本発明において目的とする非鉛系アルカリ含有圧電性物質としては、チタン酸バリウム(BT)、チタン酸ビスマス・ナトリウム(BNT)、チタン酸ビスマス・カリウム(BKT)及びそれらの混晶系や、ニオブ酸ナトリウム、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム及びそれらの混晶系などが挙げられるが、いずれも、その構成元素としてアルカリ金属等を含んでなるものである。以下に、本発明にかかる非鉛系圧電性物質の製造方法及び非鉛系圧電性物質について、チタン酸ビスマス・ナトリウム系物質(以下では、BNT系物質と記す)を例に挙げて説明する。しかし、本発明にかかる非鉛系アルカリ含有圧電性物質やその製造方法、及び効用については、勿論、この系に限定されるものではない。   Examples of the lead-free alkali-containing piezoelectric material used in the present invention include barium titanate (BT), bismuth / sodium titanate (BNT), bismuth / potassium titanate (BKT), and mixed crystals thereof, niobium Examples thereof include sodium oxide, potassium niobate, lithium niobate, and mixed crystal systems thereof, all of which contain an alkali metal or the like as a constituent element. Hereinafter, a method for producing a lead-free piezoelectric material and a lead-free piezoelectric material according to the present invention will be described using a bismuth titanate / sodium titanate material (hereinafter referred to as a BNT material) as an example. However, the lead-free alkali-containing piezoelectric material according to the present invention, its manufacturing method, and utility are of course not limited to this system.

本発明にかかる非鉛系アルカリ含有圧電性物質は、粉末状の焼成物からなるが、その粒子表面がカルボキシ基を有する親油性物質で撥水処理されていることを特徴とする。BNT系物質を撥水処理する際に使用する少なくともカルボキシ基を有する親油性物質としては、特に、脂肪族カルボン酸系物質を用いることが好ましい。これらは、1種または2種以上を混合して用いることができる。脂肪族カルボン酸系物質の中でも、カルボキシ基に対しアルキル基の炭素数が多いものの方が撥水効果が大きく、より効果がある。特に、分子量の大きい、アルキル基の炭素数が7以上の、室温で固体のものを使用した場合に、大きな撥水作用が得られるため、好ましい。脂肪族カルボン酸系物質におけるアルキル基は、直鎖、側鎖を有するもののいずれも使用可能である。ただし、不飽和結合を多く持つアルキル基は、親水効果が大きいため、使用を避けた方がよい。   The lead-free alkali-containing piezoelectric material according to the present invention is made of a powdered fired product, and its particle surface is water-repellent treated with a lipophilic material having a carboxy group. As the lipophilic substance having at least a carboxy group used for water repellent treatment of a BNT substance, it is particularly preferable to use an aliphatic carboxylic acid substance. These may be used alone or in combination of two or more. Among the aliphatic carboxylic acid substances, those having a larger number of carbon atoms in the alkyl group than the carboxy group have a greater water repellent effect and are more effective. In particular, it is preferable to use a high molecular weight alkyl group having 7 or more carbon atoms in an alkyl group that is solid at room temperature because a large water repellency can be obtained. As the alkyl group in the aliphatic carboxylic acid-based substance, either a straight chain or a side chain can be used. However, alkyl groups having many unsaturated bonds have a large hydrophilic effect and should be avoided.

本発明で好適に使用できる脂肪族カルボン酸系物質の具体的なものとしては、例えば、カプリル酸、カプリン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸、リシノレン酸などが挙げられる。これらは、1種または2種以上を組み合わせて使用することができる。 Specific examples of the aliphatic carboxylic acid material that can be suitably used in the present invention include, for example, caprylic acid, capric acid, lauric acid, myristic acid, palmitic acid, stearic acid, oleic acid, linoleic acid, ricinolenic acid and the like. Is mentioned . These may be used singly or in combination of two or more kinds.

以下、上記したような少なくともカルボキシ基を有する親油性物質(単に親油性物質ともいう)を用いて、粉末状の焼成物の粒子表面を撥水処理して本発明にかかる非鉛系アルカリ含有圧電性物質を得る方法について説明する。本発明にかかる非鉛系アルカリ含有圧電性物質は、先ず、各構成元素を含む原料を充分に粉砕混合した後、該混合物を800〜1100℃で焼成して粉末状の焼成物を得た後、焼成物に対して撥水処理を行う。例えば、BNTを製造す場合には、原料として、構成成分である各元素(ビスマス、ナトリウム、チタン)に対応する、酸化物、炭酸塩、水酸化物、塩基性水酸化物などを準備する。具体的には、ビスマス原料には、酸化ビスマス、オキシ炭酸ビスマスなどが使用でき、ナトリウム原料には、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウムなどが使用でき、チタン原料については、酸化チタンを使用することができる。   Hereinafter, a non-lead-based alkali-containing piezoelectric according to the present invention is obtained by using a lipophilic substance having at least a carboxy group as described above (also simply referred to as a lipophilic substance) to water-repellently treat the particle surface of the powdered fired product. A method for obtaining a sex substance will be described. The lead-free alkali-containing piezoelectric material according to the present invention is obtained by first sufficiently pulverizing and mixing raw materials containing each constituent element, and then firing the mixture at 800 to 1100 ° C. to obtain a powdered fired product. The water-repellent treatment is performed on the fired product. For example, when producing BNT, oxides, carbonates, hydroxides, basic hydroxides and the like corresponding to each element (bismuth, sodium, titanium) which are constituents are prepared as raw materials. Specifically, bismuth oxide, bismuth oxycarbonate, etc. can be used as the bismuth raw material, sodium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogen carbonate, etc. can be used as the sodium raw material, and titanium oxide is used as the titanium raw material. can do.

次に、これらの原料を充分に粉砕混合する。その方法としては、エタノールなどのアルコール類やアセトンなどの有機溶媒を媒体として用い、湿式混合粉砕してもよいし、有機溶剤を使用することなく、乾式で混合粉砕してもよい。先に挙げた各原料の粒度が異なるため、及び成分間の反応性を向上させるために、混合粉砕にあたっては、充分な粉砕混合を行うことが好ましい。具体的には、ボールミルなどのビーズミルによる湿式粉砕や、例えば、乾式アトライター、ヘンシェルミキサー、ハンマーミル、ボールミル、遊星ミルなどボールミルなどの粉砕機を使用して乾式で混合粉砕を行う。   Next, these raw materials are sufficiently pulverized and mixed. As the method, an alcohol such as ethanol or an organic solvent such as acetone may be used as a medium, and wet mixing and pulverization may be performed, or dry mixing and pulverization may be performed without using an organic solvent. In order to improve the reactivity between components because the particle sizes of the respective raw materials mentioned above are different, it is preferable to perform sufficient pulverization and mixing in the mixing and pulverization. Specifically, wet pulverization using a bead mill such as a ball mill, or dry pulverization using a pulverizer such as a ball mill such as a dry attritor, a Henschel mixer, a hammer mill, a ball mill, or a planetary mill.

次に、得られた混合物を、800℃〜1100℃にて1時間〜5時間程度かけて焼成する。この際、粉砕混合を湿式で行った場合には、乾燥を行った後、焼成する。焼成温度は、800℃以上であれば結晶が充分に成長し、水に対する溶解度が小さく、未反応分の少ない焼成物が得られる。焼成温度が1100℃を超えると、生成物は燒結して、使用の際等に行う粉砕が困難となる。   Next, the obtained mixture is fired at 800 ° C. to 1100 ° C. for about 1 hour to 5 hours. At this time, if the pulverization and mixing are performed in a wet manner, the mixture is dried and then fired. If the calcination temperature is 800 ° C. or higher, crystals grow sufficiently, and a baked product with low unreacted content is obtained with low water solubility. When the firing temperature exceeds 1100 ° C., the product is sintered, and pulverization performed during use becomes difficult.

本発明にかかる非鉛系アルカリ含有圧電性物質の製造方法では、上記のようにして得られた焼成物を粉砕した後、該粉砕物を更に800〜1100℃で焼成することをも好ましい形態である。更に、上記の焼成物の粉砕、焼成を繰り返すことも好ましい形態である。このようにすれば、より結晶性の高い焼成物が得られる。上記の際に行う粉砕は、粉砕し過ぎると、焼成によって生成されたペロブスカイト型の結晶構造が破壊されてしまい、イオン性成分の生成を促進するので好ましくない。又、この際の粉砕が不十分であると、次に行う焼成によって粗大粒子の生成が多くなり、使用の際等に過度の粉砕が必要となり、上記同様にイオン性成分の生成が多くなるので好ましくない。   In the method for producing a lead-free alkali-containing piezoelectric material according to the present invention, after the fired product obtained as described above is pulverized, the pulverized product is further fired at 800 to 1100 ° C. in a preferable form. is there. Furthermore, it is also a preferable form to repeat the pulverization and firing of the fired product. In this way, a fired product with higher crystallinity can be obtained. The pulverization performed in the above case is not preferable if the pulverization is excessive, because the perovskite-type crystal structure generated by firing is destroyed and the generation of ionic components is promoted. In addition, if the pulverization at this time is insufficient, the generation of coarse particles is increased by the subsequent firing, and excessive pulverization is required during use, etc., and the generation of ionic components is increased as described above. It is not preferable.

上記のようにして得られた焼成物は、結晶性の高い粒度の細かいものであり、アルカリ金属等にかかる未反応成分の残存はほとんどないものである。本発明では、更なる特性の向上を目的として、得られた粉末状の焼成物に対して、前記したような親油性物質を用いて、粒子表面を撥水処理して本発明にかかる非鉛系アルカリ含有圧電性物質を得る。   The fired product obtained as described above has a high crystallinity and a fine particle size, and there is almost no unreacted component remaining on the alkali metal or the like. In the present invention, for the purpose of further improving the properties, the powdered fired product is subjected to water repellent treatment on the particle surface using the lipophilic substance as described above, and the lead-free product according to the present invention. An alkali-containing piezoelectric material is obtained.

上記の撥水処理の方法としては、前記したような親油性物質を、上記のようにして得た粉末状の焼成物と乾式で混合することが挙げられる。しかし、より大きな効果を得るためには、下記のように、溶媒を使用し湿式で混合して撥水処理することが好ましい。例えば、脂肪族カルボン酸系物質を溶媒中に溶解したものを使用し、粉末状の焼成物を解膠しながら処理することが好ましい。この際に使用する溶媒は、水、アルコールなどが使用可能であるが、作業性、環境適用性を考慮すると、水を使用することが好ましい。水を使用する場合には、親油性物質としては、水に溶解できるものを使用することが好ましい。例えば、脂肪族カルボン酸系物質を用いる場合には、水に対する溶解度の大きい、カルボキシ基をアルカリ塩の基として用いることが好ましい。親油性物質をアルカリ塩として用いた場合には、アルカリ塩の成分が系内に残存するため、最終工程で、これを水洗によって除去することが好ましい。   Examples of the water-repellent treatment method include mixing the lipophilic substance as described above with the powdered fired product obtained as described above in a dry manner. However, in order to obtain a greater effect, it is preferable to perform a water repellent treatment by using a solvent and mixing in a wet manner as described below. For example, it is preferable to use a material obtained by dissolving an aliphatic carboxylic acid material in a solvent and treating the powdered fired product while peptizing. As the solvent used in this case, water, alcohol or the like can be used, but it is preferable to use water in consideration of workability and environmental applicability. When water is used, it is preferable to use a lipophilic substance that can be dissolved in water. For example, when an aliphatic carboxylic acid-based substance is used, it is preferable to use a carboxy group having high solubility in water as the alkali salt group. When a lipophilic substance is used as the alkali salt, the alkali salt component remains in the system, and thus it is preferably removed by washing in the final step.

より具体的に、本発明で行う粉末状の焼成物の粒子表面の撥水処理について説明する。先に述べたように、前記のような親油性物質は、アルカリ金属等を含む非鉛系アルカリ含有圧電性物質となる焼成物と乾式で混合粉砕して、該圧電性物質に撥水効果を賦与することも可能であるが、該圧電性物質により大きな撥水効果を発揮させるには、親油性物質を溶媒中に溶解して使用することが好ましい。以下に、特に好ましい形態として、水を媒体として用い、脂肪族カルボン酸系物質を親油性物質とした例について説明する。   More specifically, the water-repellent treatment on the particle surface of the powdered fired product performed in the present invention will be described. As described above, the lipophilic substance as described above is dry-mixed and pulverized with a fired product that is a lead-free alkali-containing piezoelectric substance containing an alkali metal or the like, and has a water-repellent effect on the piezoelectric substance. Although it is possible to impart it, it is preferable to use a lipophilic substance dissolved in a solvent in order to exert a great water repellent effect with the piezoelectric substance. In the following, an example in which water is used as a medium and an aliphatic carboxylic acid-based substance is used as a lipophilic substance will be described as a particularly preferable embodiment.

先に述べたように、脂肪族カルボン酸系物質は、水に対する溶解度の大きいカルボン酸アルカリ塩として用いるとよい。即ち、脂肪族カルボン酸系物質をアルカリ塩として水に溶解したものを親油性物質として用い、先のようにして得た粉末状の焼成物を、下記のようにして撥水処理する。粉末状の焼成物(平均粒子径は通常0.3〜5μm程度である)に水を加え、ホモミキサーなどの解膠機で予め解膠してスラリーとする。このスラリー中に、上記のようにして調製した親油性物質が含有された水溶液を投入して処理を行う。この際、処理を完全なものとするため、上記の状態で更に解膠を継続して、10〜120分程度で処理を完了する。この際に使用する脂肪族カルボン酸系物質の使用量は、その種類によって異なるが、製品となる圧電性物質に対して0.1〜5.0重量%とすることが好ましく、更に好ましくは0.1〜3.0重量%である。この際の使用量が少な過ぎると撥水の効果が充分な圧電性物質が得られない恐れがあり、多過ぎると、過剰の親油性物質が残存してしまい、不経済である。特に、アルカリ塩とした親油性物質を用いた場合には、アルカリ塩の成分が系内に多量に残存することになるため、好ましくない。   As described above, the aliphatic carboxylic acid-based substance is preferably used as a carboxylic acid alkali salt having a high solubility in water. That is, a powdery fired product obtained as described above is subjected to water repellent treatment as described below, using an aliphatic carboxylic acid-based material dissolved in water as an alkali salt as a lipophilic material. Water is added to the powdered fired product (average particle size is usually about 0.3 to 5 μm), and the powder is pulverized in advance with a peptizer such as a homomixer to obtain a slurry. Into this slurry, an aqueous solution containing the lipophilic substance prepared as described above is charged for treatment. At this time, in order to complete the process, peptization is further continued in the above state, and the process is completed in about 10 to 120 minutes. The amount of the aliphatic carboxylic acid material used at this time varies depending on the type, but is preferably 0.1 to 5.0% by weight, more preferably 0%, based on the piezoelectric material as a product. .1 to 3.0% by weight. If the amount used in this case is too small, there is a fear that a piezoelectric substance having a sufficient water repellency effect cannot be obtained. If it is too much, an excessive lipophilic substance remains, which is uneconomical. In particular, the use of a lipophilic substance as an alkali salt is not preferable because a large amount of alkali salt components remain in the system.

上記のようにして撥水処理した後に得られる解膠スラリーは、脂肪族カルボン酸系物質のアルカリ塩を親油性物質として用いた場合には、アルカリ塩の成分が系内に残存するため、下記のような水洗を行って、これを除去する必要がある。水洗には、デカンテーションなどの方法を用い、ろ液の電導度が300μs/cm以下になるまで充分に水洗する。水洗後、ろ過して得られたペーストを110℃程度の温度で乾燥することで、本発明にかかる非鉛系アルカリ含有圧電性物質が得られる。このようにして得られる粉末状の非鉛系アルカリ含有圧電性物質は、未反応のアルカリ金属等のイオン性成分の残存がわずかであり、しかも、粒子表面が撥水処理されているため、水との接触が有効に防止されていてイオンの溶出がなく、これを圧電体として用いた場合には、より安定な圧電特性の実現が可能となる。 The peptization slurry obtained after the water-repellent treatment as described above, when an alkali salt of an aliphatic carboxylic acid substance is used as a lipophilic substance, the alkali salt component remains in the system, It is necessary to remove this by washing with water. For washing, using a method such as decantation, thoroughly washed with water until the electric conductivity of the filtrate becomes less than 300 [mu] s / cm. After washing with water, the paste obtained by filtration is dried at a temperature of about 110 ° C., whereby the lead-free alkali-containing piezoelectric material according to the present invention is obtained. The powdered lead-free alkali-containing piezoelectric material thus obtained has little residual ionic components such as unreacted alkali metal, and the particle surface has been subjected to a water-repellent treatment. When this is used as a piezoelectric body, more stable piezoelectric characteristics can be realized.

上記のようにして得られる粉末状の非鉛系アルカリ含有圧電性物質から溶出するイオン性物質の相対的な差は、顔料試験法JIS−K5101−18:2004による電気抵抗率の測定法に準拠した下記の方法で評価することができる。即ち、これによって、撥水効果を確認できる。上記JIS法は、顔料粉末に関するものであるが、顔料粉末に代えて圧電性物質粉末を検体とする。具体的には、圧電性物質粉末20gと180mlの純水を三角フラスコに秤取し、100℃で5分間煮沸した後、ろ過し、20℃でろ液の電気抵抗率を測定する。この方法では、5分間煮沸することから、粉末内部の可溶性成分を充分に洗い出すことが可能であり、ろ液の電気低効率の測定値によって圧電性物質から溶出してくるイオン性物質の量を、間接的ではあるが相対的に把握することができる。後述するように、上記した本発明の製造方法で得た粉末状の非鉛系アルカリ含有圧電性物質を測定したところ、106Ω・m以上の電気抵抗率を示した。かかる測定値は、従来の鉛系のPZT粉末について測定した場合と同等以上であり、イオン性成分の水中への溶出は殆どなく、圧電体の原料として有効に利用できるものであることが確認できた。 The relative difference of the ionic substance eluted from the powdered lead-free alkali-containing piezoelectric substance obtained as described above is based on the electrical resistivity measurement method according to the pigment test method JIS-K5101-18: 2004. It can be evaluated by the following method. That is, the water repellent effect can be confirmed thereby. The JIS method relates to pigment powder, but a piezoelectric substance powder is used as a specimen instead of pigment powder. Specifically, 20 g of piezoelectric substance powder and 180 ml of pure water are weighed in an Erlenmeyer flask, boiled at 100 ° C. for 5 minutes, filtered, and the electrical resistivity of the filtrate is measured at 20 ° C. In this method, since boiling is performed for 5 minutes, it is possible to sufficiently wash out soluble components in the powder, and the amount of ionic substance eluted from the piezoelectric substance is measured by the measured electric low efficiency of the filtrate. Indirect but relatively intelligible. As will be described later, when the powdered lead-free alkali-containing piezoelectric material obtained by the production method of the present invention was measured, an electric resistivity of 10 6 Ω · m or more was shown. Such measured values are equal to or higher than those measured for conventional lead-based PZT powders, and almost no ionic components are eluted into water, and it can be confirmed that they can be used effectively as raw materials for piezoelectric materials. It was.

以下に実施例及び比較例を挙げて本発明を具体的に説明する。先ず、各実施例で用いるチタン酸ビスマス・ナトリウム系物質及びニオブ酸ナトリウムは、以下の方法により合成した。これらは、粉末状の焼成物として得られる。尚、部は、質量基準である。又、電気抵抗率の測定は、前記した通り、顔料試験法JIS−K5101−18:2004に準拠して行った。   The present invention will be specifically described below with reference to examples and comparative examples. First, the bismuth titanate / sodium titanate and sodium niobate used in each example were synthesized by the following method. These are obtained as a powdery fired product. The part is based on mass. The electrical resistivity was measured according to the pigment test method JIS-K5101-18: 2004 as described above.

(1)「チタン酸ビスマス・ナトリウム−チタン酸バリウム混晶(以下BNT(80)−BT(20)と略す(数字はモル比を示す)の合成」
湿式粉砕混合機として、セラミック製の容量が3リットルのボールミルを用いた。該ボールミルに、あらかじめ分散媒体として直径2ミリのガラス製ビーズを半分量入れ、この中に、焼成原料として、炭酸ナトリウム21.2部、酸化ビスマス93.2部、酸化チタン79.9部、及び炭酸バリウム39.5部を計り取り、更に、媒体としてエタノール600部を入れて、約4時間混合粉砕した。
(1) "Synthesis of bismuth titanate / sodium-barium titanate mixed crystal (hereinafter abbreviated as BNT (80) -BT (20) (numbers indicate molar ratio)")
A ball mill having a ceramic capacity of 3 liters was used as the wet pulverization mixer. Half of the glass beads having a diameter of 2 mm are previously placed in the ball mill as a dispersion medium. In this, 21.2 parts of sodium carbonate, 93.2 parts of bismuth oxide, 79.9 parts of titanium oxide, and 39.5 parts of barium carbonate was weighed, and further 600 parts of ethanol was added as a medium, followed by mixing and grinding for about 4 hours.

次に、得られた混合粉砕物を乾燥し、得られた乾燥粉末を830℃で3時間焼成した。次に、この焼結が進んだ焼成物を再度3リットルボールミルに入れて、上記したと同様にエタノールを媒体とする湿式粉砕を3時間行った。粉砕終了後、粉砕物を乾燥し、約200部の乾燥粉末を得た。次に、得られた乾燥粉末を更に1000℃で3時間焼成を行い、粉末状の焼成物(平均粒子径1.6μm)を約200部を得た。尚、各実施例に必要な量を確保するために、上記合成を3回繰り返した。   Next, the obtained mixed pulverized product was dried, and the obtained dry powder was calcined at 830 ° C. for 3 hours. Next, the sintered product that had been sintered was placed in a 3 liter ball mill again, and wet grinding using ethanol as a medium was performed for 3 hours in the same manner as described above. After pulverization, the pulverized product was dried to obtain about 200 parts of dry powder. Next, the obtained dry powder was further baked at 1000 ° C. for 3 hours to obtain about 200 parts of a powdered baked product (average particle size 1.6 μm). The above synthesis was repeated three times in order to ensure the necessary amount for each example.

(2)「ニオブ酸ナトリウムの合成」
焼成原料として、五酸化ニオブ162部、炭酸ナトリウム(ソーダ灰)64.6部を使用した以外は、前記のBNT(80)−BT(20)と同様の方法により合成した。ニオブ酸ナトリウムの粉末状の焼成物(平均粒子径1.4μm)を約200部を得た。尚、各実施例に必要な量を確保するために、上記合成を3回繰り返した。
(2) "Synthesis of sodium niobate"
Synthesized by the same method as BNT (80) -BT (20) except that 162 parts of niobium pentoxide and 64.6 parts of sodium carbonate (soda ash) were used as the firing raw materials. About 200 parts of powdered calcined product of sodium niobate (average particle size 1.4 μm) was obtained. The above synthesis was repeated three times in order to ensure the necessary amount for each example.

<実施例1>
先のようにして得た粉末状焼成物である圧電性物質のBNT(80)−BT(20)を500部と、解膠水として水を3,000部容器に入れ、ホモミキサーにて約30分解膠する。これとは別に、撥水処理に用いるための、オレイン酸ナトリウム7.5部を水50部に溶解した親油性物質の水溶液を調製しておく。そして、この水溶液を、前述した焼成物のスラリー中に投入し、更に30分解膠し続けて、撥水処理を完全なものとする。
<Example 1>
500 parts of piezoelectric material BNT (80) -BT (20), which is a powdered fired product obtained as described above, and 3,000 parts of water as peptized water are placed in a container, and about 30 by a homomixer. Break down. Separately from this, an aqueous solution of a lipophilic substance prepared by dissolving 7.5 parts of sodium oleate in 50 parts of water for use in water repellent treatment is prepared. And this aqueous solution is thrown into the slurry of the above-mentioned baked product, and further continues to decompose and paste 30 to complete the water repellent treatment.

次に、上記のようにして撥水処理を行って得られた解膠液を、デカンテーションにより水洗した。水洗は、デカンテーションの操作を繰返して、水相の電導度が300μs/cm以下になるまで行った。水洗終了後、ヌッチェロート(ブフナーロート)にてこの解膠液をろ過した。そして、ろ別したペーストを110℃で充分に乾燥して、目的とする本実施例の撥水処理した粉末状のBNT(80)−BT(20)を約495部得た。   Next, the peptizer obtained by performing the water repellent treatment as described above was washed with water by decantation. Washing with water was repeated by repeating the decantation operation until the electric conductivity of the aqueous phase reached 300 μs / cm or less. After rinsing with water, the peptizer was filtered with a Nutsche funnel (Buchner funnel). Then, the filtered paste was sufficiently dried at 110 ° C. to obtain about 495 parts of the desired water-repellent powdered BNT (80) -BT (20) of this example.

得られたBNT(80)−BT(20)の撥水効果を調べるため、JIS−K5101−18:2004による電気抵抗率を測定した。この結果、撥水処理後のものでは2.4×106Ω・cmであった。また、撥水処理する前のものについても測定を行ったところ、電気抵抗率は1.5×106Ω・cmであった。 In order to examine the water repellent effect of the obtained BNT (80) -BT (20), the electrical resistivity according to JIS-K5101-18: 2004 was measured. As a result, the water repellent treatment was 2.4 × 10 6 Ω · cm. Moreover, when the measurement was performed on the product before the water repellent treatment, the electrical resistivity was 1.5 × 10 6 Ω · cm.

<実施例2>
撥水処理を行う物質として、ステアリン酸ナトリウム1.5部を使用した以外は実施例1と同様の操作にて撥水処理を行って、目的とする本実施例の撥水処理した粉末状のBNT(80)−BT(20)を得た。得られたBNT(80)−BT(20)について電気抵抗率を測定したところ、4.5×106Ω・cmであった。
<Example 2>
The water-repellent treatment was carried out in the same manner as in Example 1 except that 1.5 parts of sodium stearate was used as the water-repellent treatment substance. BNT (80) -BT (20) was obtained. It was 4.5 * 10 < 6 > ohm * cm when the electrical resistivity was measured about obtained BNT (80) -BT (20).

<実施例3>
粉末状焼成物である圧電性物質としてニオブ酸ナトリウムを500部用い、撥水処理する物質としてオレイン酸ナトリウムを5部使用した以外は実施例1と同様の操作にて撥水処理を行って、目的とする本実施例の撥水処理した粉末状のニオブ酸ナトリウムを得た。そして得られたニオブ酸ナトリウムについて電気抵抗率を測定したところ、3.9×106Ω・cmであった。又、撥水処理しなかったものの電気抵抗率は1.3×106Ω・cmであった。
<Example 3>
A water repellent treatment was carried out in the same manner as in Example 1 except that 500 parts of sodium niobate was used as the piezoelectric material being a powdered fired product, and 5 parts of sodium oleate was used as the water repellent material. The intended water repellent treated powdered sodium niobate of this example was obtained. And when the electrical resistivity was measured about the obtained sodium niobate, it was 3.9 * 10 < 6 > ohm * cm. Further, the electrical resistivity of the material not subjected to water repellent treatment was 1.3 × 10 6 Ω · cm.

<実施例4>
撥水処理を行う物質として、ステアリン酸ナトリウム1.5部を使用した以外は実施例3と同様の操作にて撥水処理を行って、目的とする本実施例の撥水処理した粉末状のニオブ酸ナトリウムを得た。得られたニオブ酸ナトリウムについて電気抵抗率を測定したところ、5.2×106Ω・cmであった。
<Example 4>
The water-repellent treatment was carried out in the same manner as in Example 3 except that 1.5 parts of sodium stearate was used as the water-repellent treatment substance. Sodium niobate was obtained. The electrical resistivity of the obtained sodium niobate was measured and found to be 5.2 × 10 6 Ω · cm.

<比較例1>
上記した実施例1〜4の場合と同様に、市販の鉛系圧電体チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の電気抵抗率及びろ液のpH値を測定した。この結果、電気抵抗率は2.0×106Ω・mであった。
<Comparative Example 1>
In the same manner as in Examples 1 to 4 described above, the electrical resistivity of the commercially available lead-based piezoelectric lead zirconate titanate (PZT) and the pH value of the filtrate were measured. As a result, the electrical resistivity was 2.0 × 10 6 Ω · m.

[評価]
表1に各実施例についての電気抵抗率の測定結果を示した。また、測定の際の、ろ液のpHをあわせて示した。更に、各実施例において、電気抵抗率の測定試験前後における純水中の様子を目視で観察してあわせて示した。また、撥水処理を行っていない未処理品、及び比較例1の鉛系圧電性物質のPZTとについても、対比のために表1に示した。表1から明らかに、撥水処理をしたものは、未処理品に比べて電気抵抗率は高くなり、ものによっては未処理品やPZTの2〜4倍になっている。また、撥水処理品のpH値が、未処理品と比べて小さくなっていることから、アルカリ性のイオン物質の溶出が減少していることが分かる。更に、従来の鉛系圧電性物質であるPZTとの比較でも、良好な結果となっていることがわかる。
[Evaluation]
Table 1 shows the measurement results of electrical resistivity for each example. Further, the pH of the filtrate at the time of measurement is also shown. Furthermore, in each Example, the state in the pure water before and after the electrical resistivity measurement test was visually observed and shown together. In addition, the untreated product that has not been subjected to water repellent treatment and the PZT of the lead-based piezoelectric material of Comparative Example 1 are also shown in Table 1 for comparison. Obviously from Table 1, the water-repellent treated product has a higher electrical resistivity than the untreated product, and depending on what is 2-4 times that of the untreated product and PZT. Moreover, since the pH value of the water-repellent treated product is smaller than that of the untreated product, it can be seen that the elution of alkaline ionic substances is reduced. Furthermore, it can be seen that a good result is obtained by comparison with PZT, which is a conventional lead-based piezoelectric material.

Figure 0004481746
Figure 0004481746

本発明によれば、脂肪族カルボン酸等の親油性物質で撥水処理することにより、アルカリ金属等にかかる未反応成分等のイオンの溶出が有効に抑制された、安定な圧電性能を有する圧電体の形成が可能な粉末状の非鉛系アルカリ含有圧電性物質が提供される。   According to the present invention, a piezoelectric material having stable piezoelectric performance in which elution of ions such as unreacted components on alkali metal and the like is effectively suppressed by performing a water-repellent treatment with a lipophilic substance such as an aliphatic carboxylic acid. Provided is a powdered lead-free alkali-containing piezoelectric material capable of forming a body.

Claims (1)

アルカリ金属元素或いはアルカリ土類金属元素を構成成分として含んでなる圧電性能を有する粉末状の非鉛系圧電性物質を製造する方法において、原料を充分に粉砕混合した後、該混合物を800〜1100℃で焼成する工程と、粉末状の焼成物の粒子表面をカルボキシ基を有する親油性物質で撥水処理する工程とを有し、上記カルボキシ基を有する親油性物質が、カプリル酸、カプリン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸またはリシノレン酸であり、かつ前記撥水処理工程において、粉末状の焼成物に水を加えて解膠し、得られたスラリーに、上記カルボキシ基を有する親油性物質のアルカリ塩である水溶液を加えて更に解膠し、ろ液の電導度が300μs/cm以下になるまで水洗することを特徴とする非鉛系圧電性物質の製造方法。   In a method for producing a powdered lead-free piezoelectric material having piezoelectric performance comprising an alkali metal element or an alkaline earth metal element as a constituent component, the raw material is sufficiently pulverized and mixed, and then the mixture is 800-1100. And a step of water-repellent treatment with a lipophilic substance having a carboxy group on the particle surface of the powdered fired product, wherein the lipophilic substance having the carboxy group is caprylic acid, capric acid, Lauric acid, myristic acid, palmitic acid, stearic acid, oleic acid, linoleic acid or ricinolenic acid, and in the water repellent treatment step, water is added to the powdered fired product to peptize, and the resulting slurry Then, an aqueous solution that is an alkali salt of a lipophilic substance having a carboxy group is added to further peptize, and the filtrate is washed with water until the conductivity of the filtrate is 300 μs / cm or less. Method of manufacturing a lead-free piezoelectric material, characterized in that.
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