JP4475483B2 - XYθ stage apparatus and control method thereof - Google Patents

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、積載物を高速かつ正確に所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、θ軸位置に移動させるＸＹθステージ装置及びその制御方法に係り、特に、構成を簡略化したＸＹθステージ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
先ず、従来のＸＹθステージ装置について、図５及び図６を用いて説明する。
図５は従来のＸＹθステージ装置の構成を示す図で、同図（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）は縦断側面図である。
また、図６は、従来のＸＹθステージ装置において、そのベースとなるＸＹステージ装置の構成を示す図で、同図（Ａ）は、このＸＹステージ装置の平面図、同図（Ｂ）は縦断側面図である。
【０００３】
図５に示すように、従来のＸＹθステージ装置１００は、図６に示すＸＹステージ装置２００のＸＹ可動テーブル２４０上に、θステージ装置３００を積載した構成である。
そこで、先ず、従来のＸＹステージ装置２００について、図６（Ａ）、（Ｂ）を用いて説明する。
【０００４】
図６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、従来のＸＹステージ装置２００は、ベース２１０、２対のリニアモータ２２０Ａ、２２０Ｂ、２３０Ａ、２３０Ｂ（以下「２２０Ａ〜２３０Ｂ」と記す場合がある。）、ＸＹ可動テーブル２４０を備えた構成である。
なお、図６（Ｂ）において、２５０Ａ、２５０Ｂ、２６０Ａ、２６０Ｂは、ＸＹ可動テーブル２４０を可動支持するクロスローラベアリングである。
また、２５５は、後述するθ可動テーブル３１０を可動支持するクロスローラベアリングである。
更に、２７０は、θ駆動用リニアアクチュエータ、２８０は、ＸＹ可動テーブル２４０の位置検出器である。
【０００５】
従来のＸＹステージ装置２００では、図６（Ａ）に示すように平面座標（Ｘ軸、Ｙ軸）を選択すると、２対のリニアモータ２２０Ａ〜２３０Ｂは、１対はＸ軸に平行に、もう１対はＸ軸に直交するＹ軸に平行に、それぞれベース２１０上に対向配置される。
また、従来のＸＹステージ装置２００は、この２対のリニアモータ２２０Ａ〜２３０Ｂを駆動して、ＸＹ可動テーブル２４０を位置制御する位置制御器（図示せず）を備えた構成である。
【０００６】
次に、従来のＸＹθステージ装置１００のθステージ装置３００について、図５（Ａ）、（Ｂ）を用いて説明する。
上述したように、θステージ装置３００は、ＸＹステージ装置２００のＸＹ可動テーブル２４０上に載置され、同図（Ａ）に示すように、Ｘ軸Ｙ軸平面内でθ軸方向に回転するθ可動テーブル３１０と、θ軸回転用アクチュエータ３２０とを備えた構成である。
【０００７】
以上の構成で、従来のＸＹθステージ装置１００を用いて、θ可動テーブル３１０上の積載物を、所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、θ軸位置に制御する場合は、この所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、θ軸位置の目標値に基づいて、図示しない位置制御器により、２対のリニアモータ２２０Ａ〜２３０Ｂに推力指令を与えて、可動テーブル２４０を制御してＸ軸位置及びＹ軸位置を、また、θ回転用アクチュエータを操作し、θ可動テーブル３１０のθ軸位置の制御を行う。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述したように、従来のＸＹθステージ装置では、ＸＹステージ装置にθステージ装置を載置し、Ｘ軸位置、Ｙ軸位置と、θ軸位置とを独立に制御するようにした構成であるために、次のような問題を備えている。
（１）ＸＹステージ装置とθステージ装置を組み合わせて構成するために、全体の構成部分が多く、製作コストが増大する。
（２）ＸＹステージ装置上にθステージ装置を載置した構成であるために、θステージ装置の高さ分だけのアッベ誤差が増大する。
（３）ＸＹステージ装置上にθステージ装置及びθ回転用アクチュエータを載置しているために、可動部の重量が増大し、この加減速の速度が遅くなる。
（４）ＸＹステージ装置上にθステージ装置を載置した構成であるために、加減速時の重心位置が高くなるのでピッチング方向の振動が増大し、整定時間が長くなる。
【０００９】
本発明は、上記課題（問題点）を解決し、構成を簡略化し、軽量化したＸＹθステージ装置及びその制御方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のＸＹθステージ装置は、請求項１に記載のものでは、Ｘ軸方向に対向配置される１対のリニアモータと、前記Ｘ軸に直交するＹ軸方向に対向配置される１対のリニアモータと、移載物を積載する可動テーブルと、前記Ｘ軸Ｙ軸と同一平面内のθ軸方向に、前記可動テーブルを回転自在に支承する回転支承手段と、前記２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、前記可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御する位置制御器とを備えた構成とした。
【００１１】
このように構成すると、２対のリニアモータをそれぞれ駆動することで、可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置が制御できると共に、可動テーブルを回転自在に支承する回転支承手段で支承しているためにθ軸位置を制御でき、別途、θステージ装置を備える必要が無く、構成が簡単で、軽量化したＸＹθステージ装置とすることができる。
また、従来のＸＹθステージ装置とは異なり、ＸＹステージ装置にθステージ装置を積載しなくて済むため、θステージ装置の高さ分だけのアッベ誤差の増大を防止できる。
更に、全体重量の増大を軽減できる結果、加減速性能の低下を最小限に留めることができる。
その上、重心位置がほとんど変わらないため、ピッチング方向の振動に変化はほとんどなく、整定時間を短縮できる。
【００１２】
請求項２に記載のＸＹθステージ装置では、上記位置制御器として、上記可動テーブルの所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値に対して、上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算する演算機能を有する位置制御器を用いた構成とした。
【００１３】
このように構成すると、高速かつ正確な位置決めが、Ｘ軸、Ｙ軸、θ軸で可能な位置制御器を備えたＸＹθステージ装置とすることができる。
【００１４】
請求項３に記載のＸＹθステージ装置では、このＸＹθステージ装置に、上記可動テーブルのＸ軸位置を検出するＸ軸位置検出器と、上記可動テーブルのＹ軸位置を検出するＹ軸位置検出器と、上記可動テーブルのθ軸位置を検出するθ軸位置検出器とを備えるように構成した。
【００１５】
このように構成すると、可動テーブルの位置が常時検出できるようになり、可動テーブルの位置決め精度を一層向上させることができる。
【００１６】
請求項４に記載のＸＹθステージ装置では、上記位置制御器として、先ず、所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値と、上記Ｘ軸位置検出器、Ｙ軸位置検出器及びθ軸位置検出器で、上記可動テーブルのＸ軸位置、Ｙ軸位置及びθ軸位置を検出した測定値との偏差を計算し、次に、可動テーブルの位置が所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値となるような上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算する偏差演算機能を有する位置制御器を用いた構成とした。
【００１７】
このように構成すると、可動テーブルの位置の目標値と測定値の偏差を補正できるので、可動テーブルのＸ軸Ｙ軸θ軸の位置制御を正確に行えるようになる。
【００１８】
請求項５に記載のＸＹθステージ装置では、上記Ｘ軸位置検出器及びＹ軸位置検出器としてＸＹエンコーダを用い、上記θ軸位置検出器としてθエンコーダを用いるように構成した。
【００１９】
このように構成すると、非接触に計測が行え、好適な位置検出器を備えたＸＹθステージ装置とすることができる。
【００２０】
請求項６に記載のＸＹθステージ装置では、上記ＸＹエンコーダ及びθエンコーダを可動テーブル近傍に取り付けるように構成した。
【００２１】
このように構成すると、可動テーブルの近傍で可動テーブルの位置を計測できるため、可動テーブルのピッチング運動等による誤差を低減でき、より高い位置決め精度が得られる。
【００２２】
請求項７に記載のＸＹθステージ装置の制御方法では、上記可動テーブルの所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値に対して、上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算し、上記２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、上記可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御するようにした。
【００２３】
このようにすると、２対のリニアモータをそれぞれ駆動することで、可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御でき、別途、θステージ装置を備える必要が無く、構成が簡単で、軽量化したＸＹθステージ装置を制御することができる。
【００２４】
請求項８に記載のＸＹθステージ装置の制御方法では、所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値と、上記Ｘ軸位置検出器、Ｙ軸位置検出器及びθ軸位置検出器で、上記可動テーブルのＸ軸位置、Ｙ軸位置及びθ軸位置を検出した測定値との偏差を計算し、可動テーブルの位置が所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値となるような上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算し、上記２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、上記可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御するようにした。
【００２５】
このようにすると、可動テーブルの位置の目標値と測定値の偏差を補正できるので、可動テーブルの位置制御を正確に行えるＸＹθステージ装置の制御方法とすることができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
本発明のＸＹθステージ装置の一実施の形態について、図１乃至図４を用いて説明する。
図１は、本実施の形態のＸＹθステージ装置の基本構成を示す平面図である。
図２は、本実施の形態のＸＹθステージ装置に用いるリニアモータの構成を示す側面図である。
図３は、図１のＷ−Ｗ′縦断面図である。
また、図４は、ＸＹθステージ装置により可動テーブルの位置制御を行うブロック図である。
【００２７】
先ず、本実施の形態のＸＹθステージ装置１０の基本構成について、図１乃至図３を用いて説明する。
本実施の形態のＸＹθステージ装置１０は、図１に示すように、同一平面内にＸ軸、Ｙ軸、θ軸を選択すると、先ず、図３に示すベース２０上に、Ｘ軸方向に対向配置される１対のリニアモータ、即ち、Ｘ１リニアモータ１２Ａ、Ｘ２リニアモータ１２Ｂを備えている。
また、このＸ軸に直交するＹ軸方向に、対向配置される１対のリニアモータ、即ち、Ｙ１リニアモータ１４Ａ、Ｙ２リニアモータ１４Ｂを備えている。
また、図１において、３０は移載物を積載する可動テーブルである。
【００２８】
本実施の形態のＸＹθステージ装置１０では、可動テーブル３０のＸ軸位置及びＹ軸位置を検出するＸＹエンコーダ４２と、可動テーブルのθ軸位置を検出するθエンコーダ４４を、図１又は図３に示すように可動テーブル３０の下面近傍に取り付けている。
このようにすると、可動テーブル３０のピッチング運動等による誤差を低減でき、より高い位置決め精度が得られる。
【００２９】
次に、各２対のリニアモータ１２Ａ〜１４Ｂについて、図２を用いて説明する。
なお、図２には、Ｘ１リニアモータ１２Ａのみが図示されているが、以下、このＸ１リニアモータ１２Ａについて説明し、他のリニアモータ１２Ｂ〜１４Ｂについては、構成が同一であるので説明は省略する。
【００３０】
本実施の形態に用いるリニアモータ１２Ａは、センターコア１２Ａ１を挟んで、永久磁石１２Ａ２、１２Ａ３が図２に示すような極性で配置されている。
１２Ａ４、１２Ａ５はコイルで、このコイル１２Ａ４、１２Ａ５に電流を流し、その電流量を制御することによりリニアモータ１２Ａの推力を調整し、可動テーブル３０の位置を制御する。
【００３１】
次に、図３において、５２、５４、５６は、クロスローラガイドで、可動テーブル３０をＸ軸方向、Ｙ軸方向にスライド可能に支持すると共に、特に、可動テーブル３０下面に設けたクロスローラガイド５２で、θ軸方向に回転自在に支承する。
【００３２】
以上の構成で、本実施の形態のＸＹθステージ装置１０の基本動作を図１乃至図３を用いて説明する。
本実施の形態のＸＹθステージ装置１０の基本原理は、上記２対のリニアモータ１２Ａ〜１４Ｂをそれぞれ対向配置し、クロスローラガイド５２、５４、５６で、可動テーブル３０をＸ軸方向、Ｙ軸方向にスライド可能に支持すると共に、θ軸方向に回転自在に支承することにより、この２対のリニアモータ１２Ａ〜１４Ｂをそれぞれ適宜制御することにより、可動テーブル３０を、所望の目標値にＸ軸位置、及びＹ軸位置に移動させると共に、所望のθ軸位置に回転制御することである。
【００３３】
このとき、可動テーブル３０のＸ軸位置、Ｙ軸位置、θ軸位置をＸＹエンコーダ４２とθエンコーダ４４により測定し、この測定値と目標値との偏差を算出し、後述する偏差演算機能を備えた位置制御器により、リニアモータ１２Ａ〜１４Ｂに推力の指令値を算出して、位置制御をする。
即ち、従来のＸＹθステージ装置１００とは異なり、別途θステージ装置を用いることなく、２対のリニアモータ１２Ａ〜１４Ｂのみで、可動テーブルのＸ軸位置、Ｙ軸位置及びθ軸位置を一括して制御することが可能である。
【００３４】
次に、本実施の形態のＸＹθステージ装置１０に用いられる偏差演算機能を備えた位置制御器６０による、可動テーブル３０の位置制御の方法を図４を用いて説明する。
【００３５】
先ず、図４に示すように、Ｘ軸位置目標値Ｘrefは、ＸＹエンコーダ４２より測定され、フィードバックされた可動テーブル３０のＸ軸位置ＸFBと減算器６２Ａで減算され、Ｘ軸位置目標値Ｘrefと実際のＸ軸位置ＸFBとの偏差演算を行い、位置制御器６０で推力指令値ＦXを算出する。
【００３６】
同様に、図４に示すように、θ軸位置目標値θrefは、θエンコーダ４４より測定され、フィードバックされた可動テーブル３０のθ軸位置θFBと減算器６２Ｂで減算され、θ軸位置目標値θrefと実際のθ軸位置θFBとの偏差演算を行い、位置制御器６０で推力指令値Ｆθを算出する。
【００３７】
全く同様に、Ｙ軸位置目標値Ｙrefは、ＸＹエンコーダ４２より測定され、フィードバックされた可動テーブル３０のＹ軸位置ＹFBと減算器６２Ｃで減算され、Ｙ軸位置目標値Ｙrefと実際のＹ軸位置ＹFBとの偏差演算を行い、位置制御器６０で推力指令値ＦYを算出する。
【００３８】
これらの推力指令値（ＦX，ＦY，Ｆθ）は、図４に示すように、加算器６４Ａ、６４Ｂ、減算器６６Ａ、６６Ｂで次式（１）〜（４）の変換式の通り、２対のリニアモータ１２Ａ〜１４Ｂの各々の推力指令値（ＦX1，ＦX2，ＦY1，ＦY2）に変換される。
ＦX1＝ＦX＋Ｆθ／２ （１）
ＦX1＝ＦX−Ｆθ／２ （２）
ＦY1＝ＦY＋Ｆθ／２ （３）
ＦY2＝ＦY−Ｆθ／２ （４）
これらの推力指令値（ＦX1，ＦX2，ＦY1，ＦY2）を各モータアンプ６８Ａ〜６８Ｄで増幅し、各２対のリニアモータ１２Ａ〜１４Ｂの各々に推力指令することにより可動テーブル３０の位置を目標値（Ｘref，Ｙref，θref）に制御する。
【００３９】
このように、本実施の形態では、可動テーブル３０をθ軸方向に回転自在に支承すると共に、２対のリニアモータ１２Ａ〜１４Ｂに各々所望の可動テーブル３０の目標値に適合するように推力指令値を与える結果、２対のリニアモータ１２Ａ〜１４Ｂで、Ｘ軸位置、Ｙ軸位置、θ軸位置に一括して制御できる。
【００４０】
即ち、本実施の形態のＸＹθステージ装置１０では、従来のＸＹθステージ装置とは異なり、ＸＹステージ装置にθステージ装置を積載した構成ではないために、構成が簡単で、軽量化したＸＹθステージ装置１０とすることができる。
また、ＸＹステージ装置にθステージ装置を積載した構成ではないため、θステージ装置の高さ分だけのアッベ誤差の増大を防止できる。
更に、全体重量の増大を軽減できる結果、加減速性能の低下を最小限に留めることができ、重心位置がほとんど変わらないため、ピッチング方向の振動に変化はほとんどなく、整定時間を短縮できる。
また、ＸＹエンコーダ及びθエンコーダにより可動テーブルの位置をフィードバック制御する構成としているために、位置決め精度を向上させることが可能になっている。
【００４１】
本発明のＸＹθステージ装置及びその制御方法は、上記実施の形態に限定されず種々の変更が可能である。
例えば、上記実施の形態では、位置検出器としてＸＹエンコーダ、θエンコーダを用いた例で説明したが、他の構成、例えば、可動部に光学系ミラー等を取り付けることにより、レーザー干渉計等を用いて位置を検出するようにしても良い。
また、可動テーブルを回転自在に支承する手段として、クロスローラガイドを用いた例で説明したが、これを他の支承手段として、静圧案内、滑り案内等を用いるようにしても良い。
【００４２】
【発明の効果】
本発明のＸＹθステージ装置及びその制御方法は、上記のように構成したために、以下のような優れた効果を有する。
（１）本発明のＸＹθステージ装置は、請求項１に記載したように、Ｘ軸方向に対向配置される１対のリニアモータと、Ｘ軸に直交するＹ軸方向に対向配置される１対のリニアモータと、移載物を積載する可動テーブルと、Ｘ軸Ｙ軸と同一平面内のθ軸方向に、可動テーブルを回転自在に支承する回転支承手段と、２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御する位置制御器とを備えた構成とすると、２対のリニアモータをそれぞれ駆動することで、可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置が制御できると共に、可動テーブルを回転自在に支承する回転支承手段で支承しているためにθ軸位置を制御でき、別途、θステージ装置を備える必要が無く、構成が簡単で、軽量化したＸＹθステージ装置とすることができる。
（２）また、従来のＸＹθステージ装置とは異なり、ＸＹステージ装置にθステージ装置を積載しなくて済むため、θステージ装置の高さ分だけのアッベ誤差の増大を防止できる。
（３）更に、全体重量の増大を軽減できる結果、加減速性能の低下を最小限に留めることができる。
（４）その上、重心位置がほとんど変わらないため、ピッチング方向の振動に変化はほとんどなく、整定時間を短縮できる。
【００４３】
（５）請求項２に記載したように、位置制御器として、可動テーブルの所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値に対して、各２対のリニアモータの各々の推力を演算する演算機能を有する位置制御器を用いた構成とすると、高速かつ正確な位置決めが可能な位置制御器を備えたＸＹθステージ装置とすることができる。
【００４４】
（６）請求項３に記載したように、可動テーブルのＸ軸位置を検出するＸ軸位置検出器と、可動テーブルのＹ軸位置を検出するＹ軸位置検出器と、可動テーブルのθ軸位置を検出するθ軸位置検出器とを備えるように構成すると、可動テーブルの位置が常時検出できるようになり、可動テーブルの位置決め精度を一層向上させることができる。
【００４５】
（７）請求項４に記載したように、位置制御器として、先ず、所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値と、Ｘ軸位置検出器、Ｙ軸位置検出器及びθ軸位置検出器で、可動テーブルのＸ軸位置、Ｙ軸位置及びθ軸位置を検出した測定値との偏差を計算し、次に、可動テーブルの位置が所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値となるような上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算する偏差演算機能を有する位置制御器を用いた構成とすると、可動テーブルの位置の目標値と測定値の偏差を補正できるので、可動テーブルのＸ軸Ｙ軸θ軸の位置制御を正確に行えるようになる。
【００４６】
（８）請求項５に記載したように、Ｘ軸位置検出器及びＹ軸位置検出器としてＸＹエンコーダを用い、θ軸位置検出器としてθエンコーダを用いるように構成すると、非接触に計測が行え、好適な位置検出器を備えたＸＹθステージ装置とすることができる。
【００４７】
（９）請求項６に記載したように、ＸＹエンコーダ及びθエンコーダを可動テーブル近傍に取り付けるように構成すると、可動テーブルの近傍で可動テーブルの位置を計測できるため、可動テーブルのピッチング運動等による誤差を低減でき、より高い位置決め精度が得られる。
【００４８】
（１０）ＸＹθステージ装置の制御方法では、請求項７に記載したように、可動テーブルの所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値に対して、各２対のリニアモータの各々の推力を演算し、２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、上記可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御するようにすると、２対のリニアモータをそれぞれ駆動することで、可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御でき、別途、θステージ装置を備える必要が無く、構成が簡単で、軽量化したＸＹθステージ装置を制御することができる。
【００４９】
（１１）請求項８に記載したように、所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値と、Ｘ軸位置検出器、Ｙ軸位置検出器及びθ軸位置検出器で、可動テーブルのＸ軸位置、Ｙ軸位置及びθ軸位置を検出した測定値との偏差を計算し、可動テーブルの位置が所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値となるような各２対のリニアモータの各々の推力を演算し、２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御するようにすると、可動テーブルの位置の目標値と測定値の偏差を補正できるので、可動テーブルの位置制御を正確に行えるＸＹθステージ装置の制御方法とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＸＹθステージ装置の基本構成を示す平面図である。
【図２】本発明のＸＹθステージ装置に用いるリニアモータの構成を示す側面図である。
【図３】図１のＷ−Ｗ′縦断面図である。
【図４】本発明のＸＹθステージ装置により可動テーブルの位置制御を行うブロック図である。
【図５】従来のＸＹθステージ装置の構成を示す図で、同図（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）は縦断側面図である。
【図６】従来のＸＹθステージ装置において、そのベースとなるＸＹステージ装置の構成を示す図で、同図（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）は縦断側面図である。
【符号の説明】
１０：ＸＹθステージ装置
１２Ａ〜１４Ｂ：リニアモータ
３０：可動テーブル
４２：ＸＹエンコーダ
４４：θエンコーダ
５２：クロスローラガイド（回転支承手段）
６０：位置制御器[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an XYθ stage apparatus that moves a load to desired X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position at high speed and accurately, and a control method thereof, and more particularly, to an XYθ stage apparatus that has a simplified configuration.
[0002]
[Prior art]
First, a conventional XYθ stage apparatus will be described with reference to FIGS.
5A and 5B are diagrams showing a configuration of a conventional XYθ stage apparatus, in which FIG. 5A is a plan view and FIG. 5B is a longitudinal side view.
FIG. 6 is a diagram showing a configuration of an XY stage apparatus as a base in a conventional XYθ stage apparatus. FIG. 6A is a plan view of the XY stage apparatus, and FIG. FIG.
[0003]
As shown in FIG. 5, the conventional XYθ stage apparatus 100 has a configuration in which a θ stage apparatus 300 is stacked on an XY movable table 240 of the XY stage apparatus 200 shown in FIG.
First, the conventional XY stage apparatus 200 will be described with reference to FIGS. 6 (A) and 6 (B).
[0004]
As shown in FIGS. 6A and 6B, the conventional XY stage apparatus 200 may be referred to as a base 210, two pairs of linear motors 220A, 220B, 230A, and 230B (hereinafter referred to as “220A to 230B”). ), An XY movable table 240.
In FIG. 6B, 250A, 250B, 260A, and 260B are cross roller bearings that movably support the XY movable table 240.
Reference numeral 255 denotes a cross roller bearing that movably supports a θ movable table 310 described later.
Further, 270 is a θ driving linear actuator, and 280 is a position detector of the XY movable table 240.
[0005]
In the conventional XY stage apparatus 200, when a plane coordinate (X axis, Y axis) is selected as shown in FIG. 6A, two pairs of linear motors 220A to 230B are parallel to the X axis. The pair is disposed on the base 210 so as to face each other in parallel to the Y axis orthogonal to the X axis.
Further, the conventional XY stage apparatus 200 includes a position controller (not shown) that drives the two pairs of linear motors 220 </ b> A to 230 </ b> B to control the position of the XY movable table 240.
[0006]
Next, the θ stage apparatus 300 of the conventional XYθ stage apparatus 100 will be described with reference to FIGS.
As described above, the θ stage device 300 is placed on the XY movable table 240 of the XY stage device 200, and as shown in FIG. 5A, the θ stage device rotates in the θ axis direction within the X axis Y axis plane. The movable table 310 and the θ-axis rotating actuator 320 are provided.
[0007]
With the above configuration, when the load on the θ movable table 310 is controlled to the desired X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position using the conventional XYθ stage apparatus 100, this desired X-axis position. Based on the target values of the Y-axis position and the θ-axis position, the position controller (not shown) gives a thrust command to the two pairs of linear motors 220A to 230B, and controls the movable table 240 to control the X-axis position and the Y-axis. The position and the θ rotation actuator are operated to control the θ axis position of the θ movable table 310.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
Incidentally, as described above, the conventional XYθ stage apparatus has a configuration in which the θ stage apparatus is mounted on the XY stage apparatus and the X axis position, the Y axis position, and the θ axis position are controlled independently. Therefore, it has the following problems.
(1) Since the XY stage device and the θ stage device are combined and configured, there are many overall components and the manufacturing cost increases.
(2) Since the θ stage device is mounted on the XY stage device, an Abbe error corresponding to the height of the θ stage device increases.
(3) Since the θ stage device and the θ rotation actuator are mounted on the XY stage device, the weight of the movable part increases, and the acceleration / deceleration speed becomes slow.
(4) Since the θ stage device is mounted on the XY stage device, the position of the center of gravity at the time of acceleration / deceleration increases, so that the vibration in the pitching direction increases and the settling time becomes longer.
[0009]
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems (problems), to provide an XYθ stage apparatus and a control method thereof that have a simplified configuration and a reduced weight.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In the XYθ stage apparatus according to the present invention, a pair of linear motors arranged to face each other in the X-axis direction and a pair of linear motors arranged to face each other in the Y-axis direction orthogonal to the X-axis. A motor, a movable table for loading a transfer object, a rotary support means for rotatably supporting the movable table in the θ-axis direction in the same plane as the X-axis and Y-axis, and the two pairs of linear motors, respectively A position controller that drives and controls the X-axis position, the Y-axis position, and the θ-axis position of the movable table is provided.
[0011]
With this configuration, the X-axis position and the Y-axis position of the movable table can be controlled by driving the two pairs of linear motors, respectively, and the movable table is supported by the rotational support means that rotatably supports the movable table. The position of the θ axis can be controlled, and it is not necessary to separately provide a θ stage device, so that an XYθ stage device with a simple configuration and a reduced weight can be obtained.
Further, unlike the conventional XYθ stage apparatus, since it is not necessary to load the θ stage apparatus on the XY stage apparatus, an increase in Abbe error corresponding to the height of the θ stage apparatus can be prevented.
Furthermore, as a result of reducing the increase in the overall weight, a decrease in acceleration / deceleration performance can be minimized.
In addition, since the position of the center of gravity hardly changes, the vibration in the pitching direction hardly changes and the settling time can be shortened.
[0012]
In the XYθ stage apparatus according to claim 2, as the position controller, the two pairs of linear motors for the desired values of the X-axis position, the Y-axis position, and the θ-axis position of the movable table as the position controller. A position controller having a calculation function for calculating each thrust is used.
[0013]
If comprised in this way, it can be set as the XY (theta) stage apparatus provided with the position controller in which a high-speed and exact positioning is possible with an X-axis, a Y-axis, and (theta) axis | shaft.
[0014]
In the XYθ stage apparatus according to claim 3, the XYθ stage apparatus includes an X-axis position detector that detects an X-axis position of the movable table, and a Y-axis position detector that detects a Y-axis position of the movable table. And a θ-axis position detector for detecting the θ-axis position of the movable table.
[0015]
If comprised in this way, the position of a movable table can always be detected now and the positioning accuracy of a movable table can be improved further.
[0016]
In the XYθ stage apparatus according to claim 4, as the position controller, first, a desired value of the desired X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position, the X-axis position detector, and the Y-axis position detection are detected. And the θ-axis position detector calculate deviations from the measured values of the X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position of the movable table, and then the position of the movable table is the desired X-axis position, A position controller having a deviation calculating function for calculating the thrusts of each of the two pairs of linear motors to be the target values of the Y-axis position and the θ-axis position is used.
[0017]
With this configuration, the deviation between the target value and the measurement value of the position of the movable table can be corrected, so that the position control of the X axis, the Y axis, and the θ axis of the movable table can be performed accurately.
[0018]
In the XYθ stage apparatus according to the fifth aspect, an XY encoder is used as the X-axis position detector and the Y-axis position detector, and a θ encoder is used as the θ-axis position detector.
[0019]
If comprised in this way, it can measure non-contactingly and can be set as the XY (theta) stage apparatus provided with the suitable position detector.
[0020]
In the XYθ stage apparatus according to the sixth aspect, the XY encoder and the θ encoder are attached in the vicinity of the movable table.
[0021]
If comprised in this way, since the position of a movable table can be measured in the vicinity of a movable table, the error by the pitching motion etc. of a movable table can be reduced, and higher positioning accuracy is obtained.
[0022]
According to the control method of the XYθ stage apparatus according to claim 7, each of the two pairs of linear motors with respect to a desired value of the X-axis position, the Y-axis position, and the θ-axis position of the movable table. The thrust is calculated, the two pairs of linear motors are driven, and the X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position of the movable table are controlled.
[0023]
In this way, the X-axis position, the Y-axis position, and the θ-axis position of the movable table can be controlled by driving the two pairs of linear motors, respectively, and there is no need to separately provide a θ-stage device, and the configuration is simple. It is possible to control the lightened XYθ stage device.
[0024]
The control method of the XYθ stage apparatus according to claim 8, wherein a desired value of the X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position, the X-axis position detector, the Y-axis position detector, and the θ-axis position are determined. The detector calculates deviations from the measured values obtained by detecting the X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position of the movable table, and the position of the movable table is the desired X-axis position, Y-axis position, and θ-axis. The thrust of each of the two pairs of linear motors that will be the target position value is calculated, the two pairs of linear motors are respectively driven, and the X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position of the movable table are determined. I tried to control it.
[0025]
In this way, since the deviation between the target value of the position of the movable table and the measured value can be corrected, a control method for the XYθ stage apparatus that can accurately control the position of the movable table can be achieved.
[0026]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of an XYθ stage apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 is a plan view showing the basic configuration of the XYθ stage apparatus of the present embodiment.
FIG. 2 is a side view showing the configuration of the linear motor used in the XYθ stage apparatus of the present embodiment.
FIG. 3 is a longitudinal sectional view of FIG.
FIG. 4 is a block diagram for controlling the position of the movable table by the XYθ stage device.
[0027]
First, the basic configuration of the XYθ stage apparatus 10 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 3.
As shown in FIG. 1, when the X, Y, and θ axes are selected in the same plane, the XYθ stage apparatus 10 of the present embodiment first faces the base 20 shown in FIG. 3 in the X-axis direction. A pair of arranged linear motors, that is, an X1 linear motor 12A and an X2 linear motor 12B are provided.
In addition, a pair of linear motors, that is, a Y1 linear motor 14A and a Y2 linear motor 14B, which are opposed to each other in the Y-axis direction orthogonal to the X-axis, are provided.
Moreover, in FIG. 1, 30 is a movable table which loads a transfer thing.
[0028]
In the XYθ stage apparatus 10 of the present embodiment, an XY encoder 42 for detecting the X-axis position and the Y-axis position of the movable table 30 and a θ encoder 44 for detecting the θ-axis position of the movable table are shown in FIG. 1 or FIG. As shown, it is attached near the lower surface of the movable table 30.
In this way, errors due to the pitching motion or the like of the movable table 30 can be reduced, and higher positioning accuracy can be obtained.
[0029]
Next, each of the two pairs of linear motors 12A to 14B will be described with reference to FIG.
In FIG. 2, only the X1 linear motor 12A is shown, but the X1 linear motor 12A will be described below, and the other linear motors 12B to 14B have the same configuration, so the description thereof will be omitted. .
[0030]
In the linear motor 12A used in the present embodiment, permanent magnets 12A2 and 12A3 are arranged with a polarity as shown in FIG. 2 with a center core 12A1 interposed therebetween.
Reference numerals 12A4 and 12A5 denote coils. A current is supplied to the coils 12A4 and 12A5, and the amount of the current is controlled to adjust the thrust of the linear motor 12A and control the position of the movable table 30.
[0031]
Next, in FIG. 3, 52, 54, and 56 are cross roller guides that support the movable table 30 so as to be slidable in the X axis direction and the Y axis direction, and in particular, the cross roller guide provided on the lower surface of the movable table 30. At 52, it is rotatably supported in the θ-axis direction.
[0032]
With the above configuration, the basic operation of the XYθ stage apparatus 10 of the present embodiment will be described with reference to FIGS.
The basic principle of the XYθ stage apparatus 10 of the present embodiment is that the two pairs of linear motors 12A to 14B are arranged to face each other, and the movable table 30 is moved in the X axis direction and the Y axis direction by the cross roller guides 52, 54, and 56. By supporting the two pairs of linear motors 12A to 14B appropriately by supporting them so as to be slidable in the θ-axis direction, the movable table 30 can be moved to the desired target value in the X-axis position. , And the Y-axis position, and the rotation control to a desired θ-axis position.
[0033]
At this time, the X-axis position, the Y-axis position, and the θ-axis position of the movable table 30 are measured by the XY encoder 42 and the θ encoder 44, a deviation between the measured value and the target value is calculated, and a deviation calculation function described later is provided. The position controller controls the position of the linear motors 12A to 14B by calculating thrust command values.
That is, unlike the conventional XYθ stage apparatus 100, the X-axis position, the Y-axis position, and the θ-axis position of the movable table can be collectively controlled by using only two pairs of linear motors 12A to 14B without using a separate θ stage apparatus. It is possible to control.
[0034]
Next, a method for controlling the position of the movable table 30 by the position controller 60 having a deviation calculation function used in the XYθ stage apparatus 10 of the present embodiment will be described with reference to FIG.
[0035]
First, as shown in FIG. 4, the X-axis position target value X ref is measured by the XY encoder 42 and is subtracted by the subtractor 62A from the X-axis position X FB of the movable table 30 fed back. The deviation between X ref and the actual X axis position X FB is calculated, and a thrust command value F X is calculated by the position controller 60.
[0036]
Similarly, as shown in FIG. 4, the θ-axis position target value θ ref is measured by the θ encoder 44 and subtracted by the subtractor 62B from the θ-axis position θ FB of the movable table 30 fed back, and the θ-axis position target is obtained. The deviation between the value θ ref and the actual θ-axis position θ FB is calculated, and the thrust command value Fθ is calculated by the position controller 60.
[0037]
Exactly the same, the Y-axis position target value Y ref is measured by the XY encoder 42 and subtracted by the subtractor 62C from the Y-axis position Y FB of the movable table 30 fed back, and the Y-axis position target value Y ref Deviation calculation with respect to the Y-axis position Y FB is performed, and the thrust command value F Y is calculated by the position controller 60.
[0038]
As shown in FIG. 4, these thrust command values (F X , F Y , Fθ) are added by the adders 64A and 64B and the subtractors 66A and 66B according to the following conversion formulas (1) to (4): The thrust command values (F X1 , F X2 , F Y1 , F Y2 ) of the two pairs of linear motors 12A to 14B are converted.
F X1 = F X + Fθ / 2 (1)
F X1 = F X -Fθ / 2 (2)
F Y1 = F Y + Fθ / 2 (3)
F Y2 = F Y -Fθ / 2 (4)
These thrust command values (F X1 , F X2 , F Y1 , F Y2 ) are amplified by the motor amplifiers 68A to 68D, and the thrust command is given to each of the two pairs of linear motors 12A to 14B. The position is controlled to target values (X ref , Y ref , θ ref ).
[0039]
As described above, in the present embodiment, the movable table 30 is rotatably supported in the θ-axis direction, and the thrust command is applied to each of the two pairs of linear motors 12A to 14B so as to match the desired value of the desired movable table 30. As a result of giving the values, the two pairs of linear motors 12A to 14B can collectively control the X-axis position, the Y-axis position, and the θ-axis position.
[0040]
That is, the XYθ stage apparatus 10 according to the present embodiment is different from the conventional XYθ stage apparatus in that the θ stage apparatus is not stacked on the XY stage apparatus. It can be.
Further, since the θ stage device is not mounted on the XY stage device, an increase in Abbe error corresponding to the height of the θ stage device can be prevented.
Furthermore, as a result of reducing the increase in the overall weight, a decrease in acceleration / deceleration performance can be minimized, and the position of the center of gravity hardly changes. Therefore, there is almost no change in vibration in the pitching direction, and the settling time can be shortened.
Further, since the position of the movable table is feedback controlled by the XY encoder and the θ encoder, the positioning accuracy can be improved.
[0041]
The XYθ stage apparatus and the control method thereof according to the present invention are not limited to the above embodiment, and various modifications can be made.
For example, in the above-described embodiment, an example in which an XY encoder and a θ encoder are used as a position detector has been described. However, other configurations, for example, a laser interferometer or the like is used by attaching an optical system mirror or the like to a movable part. Then, the position may be detected.
Moreover, although the example using a cross roller guide was demonstrated as a means to rotatably support a movable table, you may make it use a static pressure guide, a sliding guide, etc. as this other support means.
[0042]
【The invention's effect】
Since the XYθ stage apparatus and the control method thereof according to the present invention are configured as described above, they have the following excellent effects.
(1) The XYθ stage apparatus according to the present invention includes a pair of linear motors arranged opposite to each other in the X axis direction and a pair arranged opposite to each other in the Y axis direction perpendicular to the X axis. A linear motor, a movable table for loading a transfer object, a rotary support means for rotatably supporting the movable table in the θ-axis direction in the same plane as the X-axis and Y-axis, and two pairs of linear motors, respectively. When the movable table is provided with a position controller that controls the X-axis position, the Y-axis position, and the θ-axis position of the movable table, the X-axis position of the movable table and the Y-axis are driven by driving two pairs of linear motors, respectively. The axis position can be controlled, and the θ-axis position can be controlled because it is supported by the rotary support means that supports the movable table so that it can rotate freely. There is no need for a separate θ-stage device, and the configuration is simple and lightweight. XYθ stage device Rukoto can.
(2) Further, unlike the conventional XYθ stage apparatus, since it is not necessary to load the θ stage apparatus on the XY stage apparatus, an increase in Abbe error corresponding to the height of the θ stage apparatus can be prevented.
(3) Furthermore, as a result of reducing the increase in the overall weight, it is possible to minimize the decrease in acceleration / deceleration performance.
(4) In addition, since the position of the center of gravity hardly changes, the vibration in the pitching direction hardly changes, and the settling time can be shortened.
[0043]
(5) As described in claim 2, each of the two pairs of linear motors as a position controller for each desired value of the desired X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position of the movable table. If a configuration using a position controller having a calculation function for calculating the thrust is obtained, an XYθ stage apparatus including a position controller capable of high-speed and accurate positioning can be obtained.
[0044]
(6) As described in claim 3, the X-axis position detector for detecting the X-axis position of the movable table, the Y-axis position detector for detecting the Y-axis position of the movable table, and the θ-axis position of the movable table If it comprises so that it may provide with the (theta) axis | shaft position detector which detects this, the position of a movable table can be always detected now and the positioning accuracy of a movable table can be improved further.
[0045]
(7) As described in claim 4, as a position controller, first, desired values of desired X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position, an X-axis position detector, and a Y-axis position detector And the θ-axis position detector calculate deviations from the measurement values obtained by detecting the X-axis position, the Y-axis position, and the θ-axis position of the movable table, and then the position of the movable table is the desired X-axis position, Y-axis When the position controller having a deviation calculating function for calculating the thrust of each of the above two pairs of linear motors to be the target value of the position and the θ-axis position is used, the target value of the position of the movable table Therefore, the position control of the X axis, the Y axis, and the θ axis of the movable table can be accurately performed.
[0046]
(8) If the XY encoder is used as the X-axis position detector and the Y-axis position detector and the θ encoder is used as the θ-axis position detector as described in claim 5, non-contact measurement can be performed. The XYθ stage apparatus equipped with a suitable position detector can be obtained.
[0047]
(9) If the XY encoder and the θ encoder are attached in the vicinity of the movable table as described in claim 6, the position of the movable table can be measured in the vicinity of the movable table. And higher positioning accuracy can be obtained.
[0048]
(10) In the control method of the XYθ stage apparatus, as described in claim 7, each of the two pairs of linears with respect to the desired values of the desired X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position of the movable table When the thrust of each motor is calculated and the two pairs of linear motors are driven to control the X-axis position, the Y-axis position, and the θ-axis position of the movable table, the two pairs of linear motors are driven. Thus, the X-axis position, the Y-axis position, and the θ-axis position of the movable table can be controlled, and it is not necessary to separately provide a θ-stage device, and the XYθ stage device that has a simple configuration and is light in weight can be controlled.
[0049]
(11) As described in claim 8, the desired values of the X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position, and the X-axis position detector, Y-axis position detector, and θ-axis position detector The deviation of the movable table from the X-axis position, the Y-axis position, and the θ-axis position detected is calculated, and the movable table position is the desired value of the desired X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position. It is possible to calculate the thrust of each of the two pairs of linear motors, and drive the two pairs of linear motors to control the X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position of the movable table. Since the deviation between the target value of the table position and the measured value can be corrected, a control method for the XYθ stage apparatus that can accurately control the position of the movable table can be provided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a basic configuration of an XYθ stage apparatus of the present invention.
FIG. 2 is a side view showing the configuration of a linear motor used in the XYθ stage apparatus of the present invention.
3 is a longitudinal sectional view of WW ′ of FIG.
FIG. 4 is a block diagram for controlling the position of the movable table by the XYθ stage apparatus of the present invention.
5A and 5B are diagrams showing a configuration of a conventional XYθ stage apparatus, in which FIG. 5A is a plan view and FIG. 5B is a longitudinal side view.
6A and 6B are diagrams showing a configuration of an XY stage apparatus as a base in a conventional XYθ stage apparatus, where FIG. 6A is a plan view and FIG. 6B is a vertical side view.
[Explanation of symbols]
10: XYθ stage devices 12A to 14B: linear motor 30: movable table 42: XY encoder 44: θ encoder 52: cross roller guide (rotating support means)
60: Position controller

Claims (8)

Ｘ軸方向に対向配置される１対のリニアモータと、
前記Ｘ軸に直交するＹ軸方向に対向配置される１対のリニアモータと、
移載物を積載する可動テーブルと、
前記Ｘ軸Ｙ軸と同一平面内のθ軸方向に、前記可動テーブルを回転自在に支承する回転支承手段と、
前記２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、前記可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御する位置制御器とを備えたことを特徴とするＸＹθステージ装置。A pair of linear motors arranged opposite to each other in the X-axis direction;
A pair of linear motors arranged opposite to each other in the Y-axis direction orthogonal to the X-axis;
A movable table for loading a transfer object;
Rotation support means for rotatably supporting the movable table in the θ-axis direction in the same plane as the X-axis and Y-axis;
An XYθ stage apparatus comprising: a position controller that drives the two pairs of linear motors to control the X-axis position, the Y-axis position, and the θ-axis position of the movable table. 上記位置制御器として、
上記可動テーブルの所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値に対して、上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算する演算機能を有する位置制御器を用いたことを特徴とする請求項１に記載のＸＹθステージ装置。As the position controller,
A position controller having a calculation function for calculating the thrust of each of the two pairs of linear motors with respect to desired X axis position, Y axis position, and θ axis position target values of the movable table was used. The XYθ stage apparatus according to claim 1, wherein: 上記ＸＹθステージ装置に、
上記可動テーブルのＸ軸位置を検出するＸ軸位置検出器と、
上記可動テーブルのＹ軸位置を検出するＹ軸位置検出器と、
上記可動テーブルのθ軸位置を検出するθ軸位置検出器とを備えるようにしたことを特徴とする請求項１又は２に記載のＸＹθステージ装置。In the XYθ stage device,
An X-axis position detector for detecting the X-axis position of the movable table;
A Y-axis position detector for detecting the Y-axis position of the movable table;
The XYθ stage apparatus according to claim 1, further comprising a θ-axis position detector that detects a θ-axis position of the movable table. 上記位置制御器として、
先ず、所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値と、上記Ｘ軸位置検出器、Ｙ軸位置検出器及びθ軸位置検出器で、上記可動テーブルのＸ軸位置、Ｙ軸位置及びθ軸位置を検出した測定値との偏差を計算し、
次に、可動テーブルの位置が所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値となるような上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算する偏差演算機能を有する位置制御器を用いたことを特徴とする請求項３に記載のＸＹθステージ装置。As the position controller,
First, the desired X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position target values, and the X-axis position of the movable table, the X-axis position detector, the Y-axis position detector, and the θ-axis position detector, Calculate the deviation from the detected value of the Y-axis position and θ-axis position,
Next, a position having a deviation calculation function for calculating the thrust of each of the two pairs of linear motors so that the position of the movable table becomes a desired value of the desired X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position. The XYθ stage apparatus according to claim 3, wherein a controller is used. 上記Ｘ軸位置検出器及びＹ軸位置検出器としてＸＹエンコーダを用い、
上記θ軸位置検出器としてθエンコーダを用いるようにしたことを特徴とする請求項３又は４に記載のＸＹθステージ装置。Using an XY encoder as the X-axis position detector and the Y-axis position detector,
The XYθ stage apparatus according to claim 3 or 4, wherein a θ encoder is used as the θ-axis position detector. 上記ＸＹエンコーダ及びθエンコーダを可動テーブル近傍に取り付けるようにしたことを特徴とする請求項５に記載のＸＹθステージ装置。6. The XYθ stage apparatus according to claim 5, wherein the XY encoder and the θ encoder are attached in the vicinity of the movable table. 上記可動テーブルの所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値に対して、上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算し、上記２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、上記可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御するようにしたことを特徴とする請求項２に記載のＸＹθステージ装置の制御方法。The thrust of each of the two pairs of linear motors is calculated for the desired values of the X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position of the movable table, and the two pairs of linear motors are driven. 3. The method of controlling an XYθ stage apparatus according to claim 2, wherein the X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position of the movable table are controlled. 所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値と、上記Ｘ軸位置検出器、Ｙ軸位置検出器及びθ軸位置検出器で、上記可動テーブルのＸ軸位置、Ｙ軸位置及びθ軸位置を検出した測定値との偏差を計算し、可動テーブルの位置が所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値となるような上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算し、上記２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、上記可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御するようにしたことを特徴とする請求項４乃至６のいずれかに記載のＸＹθステージ装置の制御方法。The desired X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position target values, and the X-axis position detector, Y-axis position detector, and θ-axis position detector, the X-axis position, Y-axis of the movable table. The deviation of the position and the measured value of the θ-axis position is calculated, and the above two pairs of linears so that the position of the movable table becomes a desired value of the desired X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position. 5. The thrust of each of the motors is calculated, the two pairs of linear motors are respectively driven, and the X-axis position, Y-axis position, and θ-axis position of the movable table are controlled. 7. A method for controlling an XYθ stage device according to any one of the above.
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