JP4474401B2 - Glass substrate transfer tray - Google Patents

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JP4474401B2 JP2006339388A JP2006339388A JP4474401B2 JP 4474401 B2 JP4474401 B2 JP 4474401B2 JP 2006339388 A JP2006339388 A JP 2006339388A JP 2006339388 A JP2006339388 A JP 2006339388A JP 4474401 B2 JP4474401 B2 JP 4474401B2
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本発明は、ガラス基板搬送用トレイに関し、更に詳しくは、ポリオレフィン系樹脂発泡体で形成された平置きタイプのガラス基板搬送用トレイに関する。   The present invention relates to a glass substrate transfer tray, and more particularly to a flat-type glass substrate transfer tray formed of a polyolefin resin foam.

ガラスメーカー、カラーフィルターメーカー、デバイスメーカーの相互間におけるガラス基板(完成パネルも含む)の搬送のために、有底の本体部および蓋体、あるいは無底の本体部、蓋体部および底体で構成されたボックスであって、これらの部材のそれぞれはポリオレフィン系樹脂発泡体からなり、上記本体部の内面の相対向する一対の面に基板支持用の溝が形成されたガラス基板搬送用ボックスが提案されている(特開平7−132986号、特開平8−301354号)。   For transporting glass substrates (including finished panels) between glass manufacturers, color filter manufacturers, and device manufacturers, with bottomed main body and lid, or bottomless main body, lid and bottom Each of these members is made of a polyolefin resin foam, and a glass substrate transport box in which grooves for supporting a substrate are formed on a pair of opposing surfaces of the inner surface of the main body. It has been proposed (Japanese Patent Laid-Open Nos. 7-132986 and 8-301354).

上記ボックスタイプの搬送容器はガラス基板の保護性に比較的優れている。しかしながら、ガラス基板を縦に収容するため、ガラス基板の一端面のみがボックスの底部分と接するのでガラス基板の荷重を受ける面積が小さく、ガラス基板の荷重がボックスの底部分に集中してボックスが変形し易い。ボックスの変形が大きくなると、ガラス基板とそれを支持するボックス内壁面との間隙が大きくなって、輸送時にガラス基板がボックス内で大きく上下に振動し易くなる。そうすると、ガラス基板が破損したり、ガラス基板がボックス内壁面を削って粉塵が多く発生したりするという不具合がある。発生した粉塵がガラス基板に付着すると、搬送先でガラス基板から付着した粉塵を除去する処理が別途必要となるので輸送時に粉塵の発生しないガラス基板搬送用トレイが望まれている。   The box-type transport container is relatively excellent in protecting the glass substrate. However, since the glass substrate is accommodated vertically, only one end surface of the glass substrate is in contact with the bottom portion of the box, so the area receiving the load of the glass substrate is small, and the load of the glass substrate is concentrated on the bottom portion of the box. Easy to deform. When the deformation of the box increases, the gap between the glass substrate and the inner wall surface of the box that supports the glass substrate increases, and the glass substrate easily vibrates up and down in the box during transportation. If it does so, there exists a malfunction that a glass substrate breaks or a glass substrate scrapes the inner wall surface of a box and a lot of dust generate | occur | produces. When the generated dust adheres to the glass substrate, it is necessary to separately remove the dust adhering from the glass substrate at the transport destination. Therefore, a glass substrate transport tray that does not generate dust during transportation is desired.

本発明は、上記課題を解決すること、すなわちガラス基板の荷重による容器の変形が生じにくく、輸送時におけるガラス基板の振動による粉塵が発生しにくいガラス基板搬送用トレイを提供することを目的とする。   An object of the present invention is to solve the above-described problems, that is, to provide a glass substrate carrying tray that is less likely to be deformed by a load of the glass substrate and that is less likely to generate dust due to vibration of the glass substrate during transportation. .

また本発明は、輸送時にガラス基板の振動が生じにくいガラス基板搬送用トレイを提供することを目的とする。   Another object of the present invention is to provide a glass substrate carrying tray that is less susceptible to vibration of the glass substrate during transportation.

上記課題を解決するための手段として、
請求項1は、ガラス基板を水平に収容するための複数の収納部がトレイの上面に形成されたポリオレフィン系樹脂発泡体からなるガラス基板搬送用トレイであって、該トレイの収納部はガラス基板が収容される底面と底面を取り囲む側壁とを有し、前記底面における周縁に凹部を有し、前記側壁の中でも最も外側に位置する側壁の外周であって側壁よりも低い位置に形成されたフランジ部と、トレイの裏面に形成され、一方のガラス基板搬送用トレイを他方のガラス基板搬送用トレイに重ね合わせたときに下側のガラス基板搬送用トレイの側壁の中でも最も外側に位置する側壁と前記フランジ部とで形成されるL字状空間に入り込むように形成された突条部とを有すること、及び、前記収納部において対向する2組の側壁のうち、それぞれ1組又は2組の側壁において、複数の収納部における隣接する収納部間に位置する側壁にあっては上面中央部分に凹部が設けられており、複数の収納部における前記側壁の中でも最も外側に位置する側壁にあっては側壁の中央部分であって、側壁の内面に沿って凹部が設けられていること、を特徴とするガラス基板搬送用トレイであり、
請求項2は、側壁の内面に沿って設けられた前記凹部は、最も外側に位置する側壁の上面中央部分に設けられた凹部が形成された個所において形成されていることを特徴とする請求項1に記載のガラス基板搬送用トレイである。
As means for solving the above problems,
Claim 1 is a glass substrate transport tray made of a polyolefin resin foam in which a plurality of storage portions for horizontally storing glass substrates are formed on the upper surface of the tray, and the storage portion of the tray is a glass substrate Has a bottom surface and a side wall that surrounds the bottom surface, has a recess on the periphery of the bottom surface, and is a flange formed on the outer periphery of the outermost side wall among the side walls and at a position lower than the side wall And a side wall located on the outermost side among the side walls of the lower glass substrate transport tray when one glass substrate transport tray is overlapped with the other glass substrate transport tray. A rib portion formed so as to enter an L-shaped space formed by the flange portion, and one of each of the two sets of side walls facing each other in the storage portion. Alternatively, in the two sets of side walls, the side wall located between the adjacent storage parts in the plurality of storage parts is provided with a recess in the central portion of the upper surface, and is located on the outermost side among the side walls in the plurality of storage parts. In the side wall, it is a central part of the side wall, and a concave portion is provided along the inner surface of the side wall.
According to a second aspect of the present invention, the concave portion provided along the inner surface of the side wall is formed at a portion where the concave portion provided in the central portion of the upper surface of the side wall located on the outermost side is formed. 1 is a tray for conveying a glass substrate according to 1.

本発明のガラス基板搬送用トレイは、最も外側に位置する側壁の外周であって側壁よりも低い位置に形成されたフランジ部と、トレイの裏面に形成され、一方のガラス基板搬送用トレイを他方のガラス基板搬送用トレイに重ね合わせたときに下側のガラス基板搬送用トレイの側壁の中でも最も外側に位置する側壁と前記フランジ部とで形成されるL字状空間に入り込むように形成された突条部とを有することにより、トレイ同士を重ねて使用する場合に、トレイ同士の水平方向のずれを防止することができる。
さらに、本発明のガラス基板搬送用トレイは、底面における周縁に形成された凹部、複数の収納部における隣接する収納部間に位置する側壁の上面中央部分に形成された凹部、及び、最も外側に位置する側壁にあってはその中央部分であって側壁の内面に沿って形成された凹部を有することにより、ガラス基板の荷重による容器の変形が生じにくく、ガラス基板搬送用トレイが削れることによる粉塵の発生を減少させることができ、また、該側壁の外側に側壁の一部が残されているので、側壁の強度低下を少なくすることができ、トレイ同士を重ね合わせて使用した場合に、外部から収納部内へ埃やゴミ等が入るのを防止することができる。
The glass substrate transport tray of the present invention is formed on the outer periphery of the outermost side wall and at a flange portion formed at a position lower than the side wall, and on the back surface of the tray. When the glass substrate transport tray is overlaid, it is formed so as to enter the L-shaped space formed by the outermost side wall and the flange portion among the side walls of the lower glass substrate transport tray. By having the protruding portion, when the trays are used in an overlapping manner, the horizontal displacement between the trays can be prevented.
Furthermore, the tray for conveying a glass substrate of the present invention has a recess formed at the peripheral edge on the bottom surface, a recess formed in the central portion of the upper surface of the side wall located between adjacent storage portions in the plurality of storage portions, and the outermost side. The side wall is located at the center and has a recess formed along the inner surface of the side wall, so that the container is not easily deformed by the load of the glass substrate, and the dust caused by scraping the glass substrate transport tray. The occurrence of spilling can be reduced, and a part of the side wall is left outside the side wall, so that the strength of the side wall can be reduced. It is possible to prevent dust, dust, etc. from entering the storage unit from the inside.

図1、及び図2に、本発明の参考例として、ガラス基板搬送用トレイの一例を用いて詳しく説明する。図1には、参考例としてのガラス基板搬送用トレイ11の収納部の一例と、それと対比される参考比較例としての平積みタイプのガラス基板搬送用トレイ1(以下において、参考比較トレイ1と呼ぶ)の収納部の一例とが示されている。図2には、参考比較トレイ1の収納部及び参考例としてのガラス基板搬送用トレイ11の収納部をそれぞれA−A線、B−B線で切断し、図の手前から奥に向かって見た場合の断面図を示す。ガラス基板搬送用トレイ11の収納部は、底面12と側壁15とで形成される。底面12の周縁辺の一部に辺と平行する溝状の凹部13が形成され、更に底面12の周縁角部には扇形状の凹部14が形成されている。側壁15の上面中央部分には上面の高さより低い凹部16が形成されている。側壁15の一つには、凹部16が形成された箇所において側壁の内壁面に凹部17が形成されている。また側壁15の内壁面は底面12に対して垂直でなく、図2に示すような上広がりの傾きを有する。   1 and 2 will be described in detail using an example of a glass substrate transport tray as a reference example of the present invention. FIG. 1 shows an example of a storage portion of a glass substrate transfer tray 11 as a reference example and a flat-stacked glass substrate transfer tray 1 (hereinafter referred to as a reference comparison tray 1) as a reference comparative example to be compared with it. An example of the storage section of the “call”) is shown. In FIG. 2, the storage portion of the reference comparison tray 1 and the storage portion of the glass substrate transport tray 11 as a reference example are cut along lines AA and BB, respectively, and viewed from the front to the back of the figure. FIG. The storage portion of the glass substrate transport tray 11 is formed by the bottom surface 12 and the side wall 15. A groove-like recess 13 parallel to the side is formed on a part of the peripheral edge of the bottom surface 12, and a fan-shaped recess 14 is formed at the peripheral corner of the bottom surface 12. A concave portion 16 lower than the height of the upper surface is formed in the central portion of the upper surface of the side wall 15. In one of the side walls 15, a concave portion 17 is formed on the inner wall surface of the side wall at a location where the concave portion 16 is formed. Further, the inner wall surface of the side wall 15 is not perpendicular to the bottom surface 12 but has an upwardly spread inclination as shown in FIG.

参考比較トレイ1の収納部は、平坦な底面2と上部が平坦な側壁3とを有する。したがって、参考比較トレイ1にガラス基板4を平置きした場合は、輸送時にガラス基板が上下に振動した場合にガラス基板4の角部4aや端面4bや端面角部4c、4c’が底面2や側壁3と離接を繰り返し、図2において黒く示すような箇所の参考比較トレイ1が削れられて粉塵が発生する。特に側壁3においては、ガラス基板4の端面角部4cが接する側壁内壁面の上部及びガラス基板4の端面角部4c’が接する側壁内壁面の下部が特に削られる。また、底面2においては、ガラス基板4の端面角部4c’が接する底面の周縁辺の近傍やガラス基板4の角部4aが接する底面2の周縁角部が削られ、粉塵が発生する。   The storage portion of the reference comparison tray 1 has a flat bottom surface 2 and a side wall 3 having a flat top. Therefore, when the glass substrate 4 is placed flat on the reference comparison tray 1, when the glass substrate vibrates up and down during transportation, the corner 4a, the end surface 4b, the end surface corners 4c and 4c ′ of the glass substrate 4 are The side wall 3 is repeatedly separated and contacted, and the reference comparison tray 1 at a location shown in black in FIG. 2 is scraped to generate dust. In particular, in the side wall 3, the upper part of the inner wall surface of the glass substrate 4 in contact with the end surface corner 4c and the lower part of the inner wall surface of the glass substrate 4 in contact with the end surface corner 4c 'are particularly shaved. On the bottom surface 2, the vicinity of the peripheral edge of the bottom surface where the end surface corner 4 c ′ of the glass substrate 4 is in contact and the peripheral corner of the bottom surface 2 where the corner 4 a of the glass substrate 4 is in contact are scraped to generate dust.

一方、図1に示すガラス基板搬送用トレイ11の場合、あらかじめ底面12における周縁に、周縁辺と平行する溝状の凹部13及び前記底面における周縁角部に扇形状の凹部14が形成されているので、平置きしたガラス基板4が上下に振動してもガラス基板4の角部4aや端面角部4c’が底面12と接触せず、底面12部分が削られることがない。尚、底面12は、溝状の凹部13及び扇形状の凹部14が形成されていても、ガラス基板4と接する面積が充分に確保されているので、従来のボックスタイプの搬送容器のようにガラス基板4の荷重により、ガラス基板搬送用トレイ11が変形することがない。また、あらかじめ側壁15の内壁面は、外向きの傾きを有するので、側壁15内壁面の上部については、ガラス基板4が上下に振動してもガラス基板4の端面角部4cや端面4bと接触しにくく、その部分のガラス基板搬送用トレイ11が削られることがない又は極めて少ない。さらに、側壁15の上面に設けられた凹部16やその内壁面に設けられた凹部17によって、側壁15とガラス基板4の端面角部4c、4c’及び端面4bとが接触する面積が少なくなるので、側壁15部分が削られにくくなる。したがって、凹部13、凹部14、凹部16、凹部17が設けられていると、ガラス基板搬送用トレイ11は、粉塵の発生を少なくする作用を有する。   On the other hand, in the case of the glass substrate carrying tray 11 shown in FIG. 1, a groove-like recess 13 parallel to the peripheral edge and a fan-shaped recess 14 are formed in advance at the peripheral edge of the bottom surface 12. Therefore, even if the glass substrate 4 placed flat vibrates up and down, the corners 4a and the end surface corners 4c ′ of the glass substrate 4 do not contact the bottom surface 12, and the bottom surface 12 portion is not scraped. The bottom surface 12 has a sufficient area in contact with the glass substrate 4 even if the groove-shaped recess 13 and the fan-shaped recess 14 are formed. Therefore, the bottom surface 12 is made of glass like a conventional box-type transport container. The glass substrate transport tray 11 is not deformed by the load of the substrate 4. In addition, since the inner wall surface of the side wall 15 has an outward inclination in advance, the upper part of the inner wall surface of the side wall 15 is in contact with the end surface corner 4c and the end surface 4b of the glass substrate 4 even when the glass substrate 4 vibrates up and down. It is difficult to do so, and the glass substrate transport tray 11 in that portion is not scraped or very little. Furthermore, since the concave portion 16 provided on the upper surface of the side wall 15 and the concave portion 17 provided on the inner wall surface thereof, the area where the side wall 15 contacts the end face corners 4c, 4c ′ and the end face 4b of the glass substrate 4 is reduced. The side wall 15 portion is difficult to be cut. Therefore, when the recessed part 13, the recessed part 14, the recessed part 16, and the recessed part 17 are provided, the tray 11 for glass substrate conveyance has the effect | action which reduces generation | occurrence | production of dust.

凹部16が形成されている箇所に凹部17が形成されていない場合には、凹部16の下面は収納部に収納されたガラス基板4の端面角部4c(端面の上の角部)よりも下に位置するものであるが、ガラス基板4の端面角部4c’(端面の下の角部)と同じであることが好ましく、ガラス基板4の端面角部4c’よりも下に位置することがより好ましい。この場合、凹部16の下面が下に位置するほど、収納されたガラス基板4の端面4bと接触する箇所が少なくなるので粉塵の発生が激減する。尚、凹部16はガラス基板搬送用トレイの底を貫通していないことが好ましい。凹部16がガラス基板搬送用トレイの底を貫通していると、粉塵が発生した場合、貫通孔を通して下のガラス基板搬送用トレイに収容されたガラス基板上に落ちて粉塵が付着してしまうことが起こりえるので好ましくない。   When the concave portion 17 is not formed at the location where the concave portion 16 is formed, the lower surface of the concave portion 16 is lower than the end surface corner portion 4c (the upper corner portion of the end surface) of the glass substrate 4 stored in the storage portion. However, it is preferably the same as the end face corner 4c ′ (the bottom corner of the end face) of the glass substrate 4 and may be located below the end face corner 4c ′ of the glass substrate 4. More preferred. In this case, the lower the lower surface of the concave portion 16 is located, the smaller the number of places that come into contact with the end surface 4b of the glass substrate 4 accommodated, so that the generation of dust is drastically reduced. In addition, it is preferable that the recessed part 16 does not penetrate the bottom of the tray for glass substrate conveyance. When the concave portion 16 penetrates the bottom of the glass substrate transport tray, when dust is generated, the dust falls on the glass substrate housed in the lower glass substrate transport tray through the through hole, and the dust adheres. Is not preferable because it can occur.

一方、凹部17は、凹部16が存在するか否かを問わず、収納部に収納されたガラス基板4の端面4bの少なくとも一部と一致する位置に設けられるが、ガラス基板4の端面4bと完全に一致する位置に設けられていることが好ましく、更に、凹部17の下端がガラス基板4の端面角部4c’よりも下に位置することが又は/及び凹部17の上端がガラス基板4の端面角部4cよりも上に位置することが好ましい。凹部17の上下方向の幅が広がるほど、収納されたガラス基板4の端面4b、端面角部4c、端面角部4c’と接触する箇所が少なくなるので粉塵の発生が激減する。尚、凹部17の上端は、通常、凹部16が存在している箇所に設けられている場合には凹部16の下面と一致する高さになるようになされ、凹部16が存在していない箇所に設けられる場合には側壁15の上面と一致する高さになるようにされる。この場合、凹部17は側壁15を上面に向かってくり抜いた状態となり、厳密にいうと凹部17に上端は存在しないことになる。この状態にすれば凹部17の形成が容易に行える。   On the other hand, the recess 17 is provided at a position that coincides with at least a part of the end surface 4b of the glass substrate 4 stored in the storage portion, regardless of whether the recess 16 exists, It is preferable to be provided at a position that completely coincides, and furthermore, the lower end of the concave portion 17 is located below the end surface corner portion 4c ′ of the glass substrate 4 or / and the upper end of the concave portion 17 is of the glass substrate 4. It is preferable to be positioned above the end face corner 4c. As the width of the concave portion 17 in the vertical direction increases, the number of portions that come into contact with the end surface 4b, the end surface corner portion 4c, and the end surface corner portion 4c 'of the glass substrate 4 accommodated decreases, so the generation of dust is drastically reduced. It should be noted that the upper end of the concave portion 17 is usually set to a height that coincides with the lower surface of the concave portion 16 when it is provided at a location where the concave portion 16 exists, and at the location where the concave portion 16 does not exist. When provided, the height is made to coincide with the upper surface of the side wall 15. In this case, the recess 17 is in a state in which the side wall 15 is cut out toward the upper surface, and strictly speaking, the recess 17 has no upper end. In this state, the concave portion 17 can be easily formed.

また、側壁15に設けられた凹部16や凹部17には、ガラス基板搬送用トレイ11の収納部にガラス基板4を収容する時や、収納部からガラス基板4を取り出す時に人の指や、機械の把持装置を側壁15に引っかけにくくする作用があり、前記ガラス基板搬送用トレイ11へのガラス基板4の収容、取り出しが容易となる。   Further, in the concave portion 16 or the concave portion 17 provided on the side wall 15, when the glass substrate 4 is accommodated in the accommodating portion of the glass substrate carrying tray 11 or when the glass substrate 4 is taken out from the accommodating portion, a human finger or machine This makes it difficult for the gripping device to be caught on the side wall 15, so that the glass substrate 4 can be easily housed and taken out from the glass substrate transport tray 11.

本発明のガラス基板搬送用トレイは、ポリオレフィン系樹脂発泡体からなる。上記ポリオレフィン系樹脂発泡体の発泡倍率(基材樹脂の密度÷発泡体の見かけ密度)は、基材樹脂であるポリオレフィン系樹脂の種類、収納する基板の大きさや重さ、ガラス基板搬送用トレイの側壁、底面の厚み等に応じて決定されるが、通常は、3〜60倍、好ましくは4〜50倍である。発泡倍率が小さくなりすぎると、ガラス基板が割れやすくなり、ガラス基板搬送用トレイの軽量性を阻害しやすい。また、発泡倍率が大きくなりすぎると、強度が不足しやすくなるのでそれを補うために壁厚みを厚くしなければならず、その結果、必要以上に壁厚みの厚い大きなガラス基板搬送用トレイになってしまうおそれがある。   The glass substrate carrying tray of the present invention is made of a polyolefin resin foam. The expansion ratio of the polyolefin resin foam (the density of the base resin / the apparent density of the foam) is the type of the polyolefin resin as the base resin, the size and weight of the substrate to be stored, and the glass substrate transport tray. Although it is determined according to the thickness of the side wall and the bottom surface, it is usually 3 to 60 times, preferably 4 to 50 times. If the expansion ratio is too small, the glass substrate is easily broken, and the lightness of the glass substrate carrying tray is likely to be hindered. Also, if the expansion ratio becomes too large, the strength tends to be insufficient, so the wall thickness must be increased to compensate for this, resulting in a large glass substrate transport tray with an unnecessarily thick wall thickness. There is a risk that.

本発明でいうポリオレフィン系樹脂とは、次の(a)〜(e)のいずれかに該当するものである。
(a)エチレン、プロピレン、ブテン等のα−オレフィンの単独重合体。
(b)2種以上のα−オレフィン同士の共重合体。
(c)α−オレフィン成分と他のモノマー成分とからなる共重合体であってかつα−オレフィン単位成分比率が50重量%以上、好ましくは60重量%以上、より好ましくは70重量%以上、更に好ましくは80重量%以上、最も好ましくは90重量%以上の共重合体。
(d)上記(a)、(b)、および(c)の群から選ばれた2種以上の混合物。
(e)上記(a)、(b)、(c)、及び(d)の群から選ばれた1種又は2種以上と、上記(a)、(b)、(c)、又は(d)とは異なる他の合成樹脂成分又は/及び他の合成エラストマー成分との混合樹脂組成物であって、該組成物中のα−オレフィン成分単位比率が50重量%以上、好ましくは60重量%以上、より好ましくは70重量%以上、更に好ましくは80重量%以上、最も好ましくは90重量%以上の混合樹脂組成物。
The polyolefin resin referred to in the present invention corresponds to any of the following (a) to (e).
(A) A homopolymer of an α-olefin such as ethylene, propylene, and butene.
(B) A copolymer of two or more α-olefins.
(C) a copolymer comprising an α-olefin component and another monomer component, and the α-olefin unit component ratio is 50% by weight or more, preferably 60% by weight or more, more preferably 70% by weight or more; Preferably 80% by weight or more, most preferably 90% by weight or more of the copolymer.
(D) A mixture of two or more selected from the group of (a), (b) and (c) above.
(E) one or more selected from the group (a), (b), (c), and (d) above, and the above (a), (b), (c), or (d ) And other synthetic resin components or / and mixed resin compositions with other synthetic elastomer components, wherein the α-olefin component unit ratio in the composition is 50% by weight or more, preferably 60% by weight or more. More preferably, the mixed resin composition is 70% by weight or more, more preferably 80% by weight or more, and most preferably 90% by weight or more.

本発明のガラス基板搬送用トレイを構成するポリオレフィン系樹脂発泡体は、上記ポリオレフィン系樹脂の中でも、ポリプロピレン系樹脂からなるものが好ましい。ポリプロピレン系樹脂からなるものは強度に優れるため、例えばポリエチレン系樹脂からなるものに比べ、同じ強度をより軽量で実現できる。尚、ポリプロピレン系樹脂とは、次の(f)〜(i)のいずれかに該当するものである。
(f)プロピレンの単独重合体。
(g)プロピレン成分と他のモノマー成分とからなる共重合体であってかつプロピレン単位成分比率が50重量%以上、好ましくは60重量%以上、より好ましくは70重量%以上、更に好ましくは80重量%以上、最も好ましくは90重量%以上の共重合体。
(h)上記(f)、及び(g)の群から選ばれた2種以上の混合物。
(i)上記(f)、(g)、及び(h)の群から選ばれた1種又は2種以上と、上記(f)、(g)、又は(h)とは異なる他の合成樹脂成分又は/及び他の合成エラストマー成分との混合樹脂組成物であって、該組成物中のプロピレン成分単位比率が50重量%以上、好ましくは60重量%以上、より好ましくは70重量%以上、更に好ましくは80重量%以上、最も好ましくは90重量%以上の混合樹脂組成物。
The polyolefin resin foam constituting the glass substrate carrying tray of the present invention is preferably made of polypropylene resin among the polyolefin resins. Since what consists of polypropylene resin is excellent in intensity | strength, the same intensity | strength can be implement | achieved more lightweight compared with what consists of polyethylene resin, for example. The polypropylene resin corresponds to any of the following (f) to (i).
(F) A propylene homopolymer.
(G) A copolymer comprising a propylene component and another monomer component, and the propylene unit component ratio is 50% by weight or more, preferably 60% by weight or more, more preferably 70% by weight or more, and further preferably 80% by weight. % Or more, most preferably 90% by weight or more of a copolymer.
(H) A mixture of two or more selected from the group of (f) and (g) above.
(I) One or more selected from the group of (f), (g), and (h) above, and another synthetic resin different from the above (f), (g), or (h) Component or / and mixed resin composition with other synthetic elastomer component, wherein the propylene component unit ratio in the composition is 50% by weight or more, preferably 60% by weight or more, more preferably 70% by weight or more, The mixed resin composition is preferably 80% by weight or more, and most preferably 90% by weight or more.

上記ポリオレフィン系樹脂発泡体を構成するポリオレフィン系樹脂には、帯電防止剤、気泡調節剤、難燃剤、難燃助剤、無機充填剤等の各種添加剤を必要に応じて必要量を添加することができる。   Add necessary amounts of various additives such as antistatic agents, bubble regulators, flame retardants, flame retardant aids, inorganic fillers to the polyolefin resin constituting the polyolefin resin foam as required. Can do.

本発明におけるポリオレフィン系樹脂発泡体は、好適には、ポリオレフィン系樹脂をビーズ状に発泡させてなる発泡粒子を金型内に充填し、所定の温度に加熱し、次いで冷却する成形方法、いわゆる型内成形方法により製造される。上記型内成形方法は、射出発泡成形方法に比べ低圧で実施できるので、金型としてはアルミニウム型のような低コストの金型を用いることができる。上記型内成形方法は、押出発泡体を熱成形する方法に比べ複雑な形状にできる上、厚みの厚いものを容易に得られるので好ましい。   The polyolefin resin foam in the present invention is preferably a molding method, so-called mold, in which foamed particles obtained by foaming a polyolefin resin into beads are filled in a mold, heated to a predetermined temperature, and then cooled. Manufactured by an internal molding method. Since the in-mold molding method can be performed at a lower pressure than the injection foam molding method, a low-cost mold such as an aluminum mold can be used as the mold. The in-mold molding method is preferable because it can be made in a more complicated shape than the method of thermoforming an extruded foam and a thick product can be easily obtained.

図3に、ガラス基板搬送用トレイ11の収納部における、本発明の一態様となり得る底面12の変形例を示す。図3中の各図は平面図であり、側壁は省略してある。図中の水玉模様で表示されている部分は底面12に比べて低くなっていることを示す。図中3−1、3−2の例では、底面12における周縁辺であって、対向する2組の辺のそれぞれ1組ずつに溝状の凹部13が設けられている。溝状の凹部13を設けることにより、ガラス基板の端面角部4c’が底面12と接しにくくなる。各溝状の凹部の幅、深さは特に制限はなく、また幅、深さは各辺毎に同じでも異なっていてもよい。また溝状の凹部はいずれか1つの辺だけに設けられていてもよい。3−3に示す例では、底面12の周縁角部に平面形状が扇形の凹部14が設けられている。凹部14を設けることにより、ガラス基板の角部4aの下端が底面12の周縁角部及び周縁角部近辺と接しにくくなる。周縁角部における凹部の平面形状、及びその面積について特に制限はなく,凹部は、三角形、四角形、多角形等様々な平面形状を採用することができる。図中3−4、3−5、3−6、3−7の例は、3−1〜3−3の例に示す溝状の凹部13及び周縁角部における凹部14のいずれかを組み合わせた例である。3−7は、溝状の凹部13と、直角三角形の斜辺を円弧に置き換えた平面形状の凹部14とを組み合わせた例であり、結果的に底面12が楕円形となっている。   FIG. 3 shows a modified example of the bottom surface 12 that can be an embodiment of the present invention in the storage portion of the glass substrate transport tray 11. Each figure in FIG. 3 is a plan view, and side walls are omitted. The portion displayed with a polka dot pattern in the figure is lower than the bottom surface 12. In the examples of 3-1 and 3-2 in the drawing, a groove-like recess 13 is provided on each of the two peripheral pairs on the bottom surface 12 and facing each other. By providing the groove-shaped recess 13, the end surface corner 4 c ′ of the glass substrate is less likely to contact the bottom surface 12. The width and depth of each groove-shaped recess are not particularly limited, and the width and depth may be the same or different for each side. Moreover, the groove-shaped recessed part may be provided only in any one side. In the example shown in 3-3, a concave portion 14 having a fan-shaped planar shape is provided at a peripheral corner portion of the bottom surface 12. Providing the recess 14 makes it difficult for the lower end of the corner 4a of the glass substrate to contact the peripheral corner of the bottom surface 12 and the vicinity of the peripheral corner. There are no particular restrictions on the planar shape and area of the concave portion at the peripheral corner, and the concave portion can employ various planar shapes such as a triangle, a quadrangle, and a polygon. The examples of 3-4, 3-5, 3-6, and 3-7 in the figure combine either the groove-shaped recess 13 and the recess 14 at the peripheral corner shown in the examples of 3-1 to 3-3. It is an example. 3-7 is an example in which the groove-shaped recess 13 and the planar recess 14 in which the hypotenuse of the right triangle is replaced with an arc are combined, and as a result, the bottom surface 12 is elliptical.

該底面を以上に示した態様、すなわち、ガラス基板の角部及び端面角部と接する底面部分に凹部を設けることによって、ガラス基板4の端面4bにおける鋭利な下端4c’との接触を少なくし、または接触面積を小さくでき、その結果、ガラス基板搬送用トレイ表面の削れによる粉塵の発生を激減させることができる。特に、底面12の周縁角部に凹部14を設けることにより、ガラス基板の角部4aの下端が該底面12に接触しないように該底面を設計すると、粉塵の発生の激減にいっそう寄与する。   The aspect shown above, that is, by providing a recess in the bottom surface portion in contact with the corner portion and the end surface corner portion of the glass substrate, the contact with the sharp lower end 4c ′ in the end surface 4b of the glass substrate 4 is reduced, Or a contact area can be made small, As a result, generation | occurrence | production of the dust by the scraping of the tray surface for glass substrate conveyance can be reduced sharply. In particular, if the bottom surface is designed so that the lower end of the corner 4a of the glass substrate does not come into contact with the bottom surface 12 by providing the concave portion 14 at the peripheral corner portion of the bottom surface 12, it further contributes to the drastic reduction of dust generation.

図4の4−1〜4−3に本発明の態様として取り得る基板搬送用トレイ11の側壁15の内壁面に形成された凹部17の変形例を示す。図4中の4−1〜4−3の各図は平面図である。図4の4−1及び4−2は収納部において対向する2組の側壁のうち、それぞれ1組の側壁の中央部分であって、側壁の内壁面に沿って凹部が設けられている状態を示す平面図である。図中の水玉模様で表示されている部分は側壁15の内壁面に比べて凹んでいることを示す。図4中の4−1、4−2に示す例では、収納部において対向する2組の側壁のうち、それぞれ1組の側壁の中央部分であって、側壁15の内壁面に沿って凹部17が設けられている。凹部17は、その外側に側壁の一部が残されているので、凹部17を設けたことによる側壁の強度低下が少ない点で優れている。側壁の中央部分に設けられた凹部17は、主にガラス基板4を持つ指や機械による把持装置が側壁15に当たるのを防ぎ、ガラス基板4を収納部に収容しやすくする。従って、図4に示すように対向する2つの側壁15に設けられているのが好ましいが、側壁の一つのみに設けられていてもよい。側壁15の高さに対する凹部の深さ、側壁の壁厚に対する凹部の厚さ、凹部の幅、凹部の平面形状は特に制限はなく、適宜選択することができる。また、複数の収納部が設けられたガラス基板搬送用トレイにおいて、ガラス基板搬送用トレイの外周壁に当たる部分に凹部17を設けることにより、外部から収納部内へ埃やゴミ等が入るのを防止する役割も果たす。さらに凹部17は、側壁15がガラス基板4の端面4bや端面角部4c、4c’と接する面積を小さくし、側壁15の内壁面の削れを少なくする役割も有する。   4-1 to 4-3 in FIG. 4 show a modified example of the concave portion 17 formed on the inner wall surface of the side wall 15 of the substrate carrying tray 11 which can be taken as an aspect of the present invention. Each figure of 4-1 to 4-3 in FIG. 4 is a top view. 4-1 and 4-2 in FIG. 4 are center portions of a pair of side walls, respectively, of two sets of side walls facing each other in the storage portion, and a state in which a recess is provided along the inner wall surface of the side walls. FIG. The part displayed with a polka dot pattern in the figure indicates that it is recessed compared to the inner wall surface of the side wall 15. In the example shown in 4-1 and 4-2 in FIG. 4, the recess 17 along the inner wall surface of the side wall 15 is a central portion of one side wall among the two sets of side walls facing each other in the storage unit. Is provided. Since a part of the side wall remains on the outer side of the concave portion 17, the concave portion 17 is excellent in that the strength reduction of the side wall due to the provision of the concave portion 17 is small. The concave portion 17 provided in the central portion of the side wall prevents a finger holding the glass substrate 4 or a gripping device by a machine from hitting the side wall 15 and makes it easier to accommodate the glass substrate 4 in the storage unit. Therefore, as shown in FIG. 4, it is preferable to be provided on two opposing side walls 15, but it may be provided on only one of the side walls. The depth of the recess with respect to the height of the side wall 15, the thickness of the recess with respect to the wall thickness of the side wall, the width of the recess, and the planar shape of the recess are not particularly limited and can be appropriately selected. Further, in the glass substrate transport tray provided with a plurality of storage units, the concave portion 17 is provided in a portion that contacts the outer peripheral wall of the glass substrate transport tray, thereby preventing dust, dust, etc. from entering the storage unit from the outside. Also plays a role. Further, the recess 17 has a role of reducing the area where the side wall 15 is in contact with the end surface 4b and the end surface corners 4c, 4c 'of the glass substrate 4 and reducing the scraping of the inner wall surface of the side wall 15.

図4における4−3に示す例では、2つの側壁15の交点である側壁15の角部に、側壁15の内壁面に沿って凹部18が設けられている。側壁15の角部に凹部18を設けることにより、ガラス基板の角部4aが側壁15の角部近傍に接触しにくくなり、側壁15の削れによる粉塵の発生が防止される。図4の4−3に示すように凹部18は一つの収納部において、全ての側壁の内壁面の角部に設けられていることが好ましいが、側壁の強度を保つ目的で、側壁の角部の一部にだけ凹部18が設けられていてもよい。   In the example shown by 4-3 in FIG. 4, a recess 18 is provided along the inner wall surface of the side wall 15 at the corner of the side wall 15 that is the intersection of the two side walls 15. Providing the recesses 18 at the corners of the side walls 15 makes it difficult for the corners 4a of the glass substrate to come into contact with the vicinity of the corners of the side walls 15, thereby preventing the generation of dust due to scraping of the side walls 15. As shown in 4-3 of FIG. 4, it is preferable that the recess 18 is provided at the corner of the inner wall surface of all the side walls in one storage part, but for the purpose of maintaining the strength of the side wall, The recessed part 18 may be provided only in some.

図4の4−4〜4−6に本発明の態様として取り得る基板搬送用トレイ11の側壁15の上面に形成された凹部16の変形例を示す。図4中の4−4〜4−6の各図は平面図である。図中の水玉模様で表示されている部分は側壁15の上面に比べて低くなっていることを示す。   4-4 to 4-6 in FIG. 4 show modifications of the recess 16 formed on the upper surface of the side wall 15 of the substrate carrying tray 11 that can be taken as an aspect of the present invention. 4-4 to 4-6 in FIG. 4 are plan views. The portion displayed with a polka dot pattern in the figure is lower than the upper surface of the side wall 15.

図4の4−4、4−5に示す例では、収納部において対向する2組の側壁のうち、それぞれ1組の側壁の上面中央部分に凹部16が設けられている。凹部16は、側壁15の上面中央部分を完全に分断しているので、凹部17以上にガラス基板4を持つ指や機械による把持装置が側壁15に当たるのを防ぎ、ガラス基板4を収納部に収容しやすくする。凹部16は、側壁の一つのみに設けられていてもよいし、対向する側壁に設けられた凹部16のいずれか一方を凹部17としてもよいし、一つの側壁において凹部16と凹部17とを組み合わせても良い。凹部16の深さ、幅は特に制限はないが、底面12に達する深さ又は底面12に設けられた溝状の凹部13に達する深さにするのが好ましく、人の指が引っかからない程度の幅を有していることが好ましい。図4における4−6に示す例では、全ての側壁15に凹部16が設けられている。この場合、図4における上下方向、左右方向いずれからでもガラス基板4を収容することができる。また、図4に示した4−1〜4−6の例に示した凹部16、凹部17、及び凹部18を一つの収納部において組み合わせて設けることもできる。さらに、図4に示す側壁15の例と図3に示す前記底面12の例とを組み合わせて設けることもできる。なお、図4においては、周縁に凹部を有していない底面12と底面12を取り囲む側壁15が示される。   In the example shown in 4-4 and 4-5 of FIG. 4, the recessed part 16 is provided in the upper surface center part of one side wall among each of two sets of side walls which oppose in a storage part. Since the recess 16 completely divides the central portion of the upper surface of the side wall 15, it prevents the fingers having the glass substrate 4 over the recess 17 and the gripping device by the machine from hitting the side wall 15 and accommodates the glass substrate 4 in the storage unit. Make it easier to do. The recess 16 may be provided on only one of the side walls, or one of the recesses 16 provided on the opposite side wall may be used as the recess 17, or the recess 16 and the recess 17 may be provided on one side wall. You may combine. The depth and width of the recess 16 are not particularly limited. However, the depth and the depth reaching the bottom surface 12 or the depth reaching the groove-like recess 13 provided on the bottom surface 12 are preferable, so that a human finger is not caught. It preferably has a width. In the example shown by 4-6 in FIG. 4, the concave portions 16 are provided in all the side walls 15. In this case, the glass substrate 4 can be accommodated from either the vertical direction or the horizontal direction in FIG. Moreover, the recessed part 16, the recessed part 17, and the recessed part 18 which were shown to the example of 4-1 to 4-6 shown in FIG. 4 can also be provided combining in one accommodating part. Further, the example of the side wall 15 shown in FIG. 4 and the example of the bottom surface 12 shown in FIG. 3 may be provided in combination. In FIG. 4, a bottom surface 12 that does not have a recess on the periphery and a side wall 15 that surrounds the bottom surface 12 are shown.

図5に本発明の態様として取り得る基板搬送用トレイ11の収納部における側壁15の断面形状の変形例を示す。5−1〜5−5に示す例は、側壁15の断面形状の全部又は一部がテーパー形状を有する。5−1の例は側壁15が上広がりのテーパー形状を有する。こうすることにより、ガラス基板の端面角部4c’が側壁15の内壁面の下部に接触しなくなるので、この部分が削られるのを防ぐことができる。5−2の例は側壁15が上広がりのテーパー形状と下広がりのテーパー形状とを組み合わせた菱形状を有するので、ガラス基板の端面角部4c及び4c’がそれぞれ側壁15の内壁面の上部及び下部と接触しなくなるので、この部分が削られるのを防ぐことができるので好ましい。5−3は図2に示した下広がりのテーパー形状である。5−4、5−5では、側壁15の一部がテーパー形状を有する。5−6〜5−8の例は、側壁15の断面の上部、中央部、下部のいずれかに幅広の張り出し部19が設けられている。5−6では、側壁15の断面中央に張り出し部19を設けることにより、5−2と同様にガラス基板の端面角部4c及び4c’が側壁15の内壁面上部、下部と接触しなくなり、削られやすいこの部分を保護することができるので好ましい。張り出し部の形状、幅、側壁における位置等は特に制限はない。5−9〜5−11の例は、側壁15の断面の上部、中央部、下部のいずれかの内壁面に凹部20が設けられている例である。5−9の場合は、図4における凹部17と異なり、側壁中央部だけでなく、側壁上部の内壁面全体に凹部が設けられ又は側壁上部の内壁面における位置を限定せずに凹部20が設けられる。この凹部20もガラス基板端面4bや端面角部4c、4c’と側壁15との接触面積を減少させるので、側壁15が削れることによる粉塵の発生を抑えることができる。また5−12の例に示すように側壁15の両壁面は同じ形状を有していなくてもよく、例えば一方の内壁面のみに張り出し部19を設けることもできる。同様に側壁15の一方の内壁面側のみをテーパー状にしたり、凹部20を設けたりすることもできる。   FIG. 5 shows a modification of the cross-sectional shape of the side wall 15 in the storage portion of the substrate carrying tray 11 that can be taken as an aspect of the present invention. In the examples shown in 5-1 to 5-5, all or part of the cross-sectional shape of the side wall 15 has a tapered shape. The example of 5-1 has a taper shape in which the side wall 15 spreads upward. By doing so, the end face corner portion 4c 'of the glass substrate does not contact the lower portion of the inner wall surface of the side wall 15, so that this portion can be prevented from being cut. In the example of 5-2, the side wall 15 has a rhombus shape that is a combination of an upwardly tapered shape and a downwardly tapered shape, so that the corners 4c and 4c ′ of the glass substrate are respectively the upper part of the inner wall surface of the side wall 15 and Since it is no longer in contact with the lower part, it is preferable because this part can be prevented from being cut. 5-3 is the taper shape of the downward spread shown in FIG. In 5-4 and 5-5, a part of the side wall 15 has a tapered shape. In the examples of 5-6 to 5-8, a wide projecting portion 19 is provided at any one of an upper portion, a central portion, and a lower portion of the cross section of the side wall 15. In 5-6, by providing the overhanging portion 19 at the center of the cross section of the side wall 15, the end surface corners 4c and 4c ′ of the glass substrate do not contact the upper and lower inner wall surfaces of the side wall 15 in the same manner as 5-2. It is preferable because this portion can be protected easily. There are no particular restrictions on the shape, width, position on the side wall, etc. of the overhang. The examples of 5-9 to 5-11 are examples in which the recess 20 is provided on the inner wall surface of any one of the upper part, the central part, and the lower part of the cross section of the side wall 15. In the case of 5-9, unlike the concave portion 17 in FIG. 4, the concave portion is provided not only in the central portion of the side wall but also in the entire inner wall surface of the upper side wall, or the concave portion 20 is provided without limiting the position on the inner wall surface of the upper side wall. It is done. Since the concave portion 20 also reduces the contact area between the glass substrate end surface 4b or the end surface corners 4c, 4c 'and the side wall 15, generation of dust due to the side wall 15 being scraped can be suppressed. Moreover, as shown in the example of 5-12, both wall surfaces of the side wall 15 do not need to have the same shape, For example, the overhang | projection part 19 can also be provided only in one inner wall surface. Similarly, only one inner wall surface side of the side wall 15 can be tapered or the recess 20 can be provided.

該側壁を以上に示した態様にすることによって、すなわち、ガラス基板の角部及び端面と接する側壁上面中央又は側壁角部に凹部を設けること、ガラス基板の角部及び端面角部と接する側壁断面形状をテーパー状にしたり、張り出し部を設けたり、凹部を設けることにより、ガラス基板の鋭利な端面角部4c、4c’や角部4aと側壁15の接触面積を小さくでき、その結果、側壁内壁面の削れによる粉塵の発生を激減させることができる。特に、ガラス基板の角部4aが該側壁に接触しないように該側壁を設計すると、粉塵の発生の激減にいっそう寄与する。   By forming the side wall as described above, that is, by providing a concave portion at the center of the side wall or in contact with the corner and end face of the glass substrate, or on the side wall cross section in contact with the corner and end face corner of the glass substrate. By making the shape tapered, providing a protruding portion, or providing a recess, the contact area between the sharp end surface corners 4c, 4c ′ and the corner 4a of the glass substrate and the side wall 15 can be reduced. Generation of dust due to wall scraping can be drastically reduced. In particular, if the side wall is designed so that the corner 4a of the glass substrate does not contact the side wall, it contributes to the drastic reduction of dust generation.

本発明のガラス基板搬送用トレイ11における収納部は、上記の側壁部15、底面12を組み合わせて使用することができる。また、一つのトレイ11における収納部の数についても特に制限はなく、一つであってもよいし、複数であってもよい。   The storage part in the glass substrate carrying tray 11 of the present invention can be used by combining the side wall part 15 and the bottom face 12. Moreover, there is no restriction | limiting in particular also about the number of the accommodating parts in one tray 11, One may be sufficient and plural may be sufficient.

本発明のガラス基板搬送用トレイは、該ガラス基板搬送用トレイを上下に複数個積重ねたときに、上側に位置するガラス基板搬送用トレイの下面に、下側に位置するガラス基板搬送用トレイの収納部に進入する突出部が形成されている形状のものであることが好ましい。ガラス基板の輸送時にガラス基板が上下に振動すると、しかもその振動幅が大きいほど、ガラス基板搬送用トレイ表面が削れて粉塵の発生が多くなってしまう。ところが、この態様のガラス基板搬送用トレイであると、ガラス基板搬送用トレイの収納部に進入する突出部の存在により、ガラス基板の輸送等の際におけるガラス基板の上下動を極力防止できる。従って、この態様のガラス基板搬送用トレイは、ガラス基板搬送用トレイ表面が削れて発生する粉塵をいっそう激減させることができる。図6及び7に本発明のガラス基板搬送用トレイ11の下面に突出部21が形成されている一例を示す。図6は、本発明のガラス基板搬送用トレイ11の一部分の裏面図である。ガラス基板搬送用トレイ11の裏面に位置する平坦面33に平面円形の突出部21が設けられている。突出部21の形状、大きさは、ガラス基板搬送用トレイ11の収納部に進入できれば特に制限はない。図7は、2つのガラス基板搬送用トレイ11、11’を上下に積層してガラス基板4を収納した状態を示す図である。   When a plurality of glass substrate transport trays are stacked one above the other, the glass substrate transport tray of the present invention has a glass substrate transport tray positioned on the lower surface of the glass substrate transport tray positioned on the upper side. It is preferable that it is a shape in which the protrusion part which approachs a storage part is formed. When the glass substrate vibrates up and down during transportation of the glass substrate, and the vibration width is larger, the surface of the glass substrate carrying tray is scraped and dust is generated more. However, in the case of the glass substrate transport tray of this aspect, the vertical movement of the glass substrate during transportation of the glass substrate can be prevented as much as possible due to the presence of the protruding portion that enters the storage portion of the glass substrate transport tray. Therefore, the glass substrate transfer tray of this aspect can further reduce the dust generated by scraping the surface of the glass substrate transfer tray. 6 and 7 show an example in which a protruding portion 21 is formed on the lower surface of the glass substrate carrying tray 11 of the present invention. FIG. 6 is a rear view of a part of the glass substrate carrying tray 11 of the present invention. A flat circular protrusion 21 is provided on the flat surface 33 located on the back surface of the glass substrate transfer tray 11. The shape and size of the protruding portion 21 are not particularly limited as long as the protruding portion 21 can enter the storage portion of the glass substrate carrying tray 11. FIG. 7 is a view showing a state in which two glass substrate transport trays 11, 11 ′ are stacked vertically and the glass substrate 4 is accommodated.

通常、ガラス基板4が収容されたガラス基板搬送用トレイ11は、複数個上下に積重ねられ、必要に応じて紐掛けされて複数個のガラス基板搬送用トレイ11が一体化される。この際、最上部のガラス基板搬送用トレイ内にはガラス基板は収容されず、蓋代わりに使用される。従って、部品点数の増加が許されるのであれば、ガラス基板搬送用トレイ11を蓋の代用とするのではなく、図8に示す専用の蓋22を使用することも可能である。その専用蓋22における板状の蓋部23の下面には、上記説明したガラス基板搬送用トレイ11の裏面と同様にガラス基板搬送用トレイに被せた際、下側に位置するガラス基板搬送用トレイの収納部に進入する突出部21を形成し、ガラス基板の輸送等の際にガラス基板の上下動を極力防止することが好ましい。   Usually, a plurality of glass substrate transfer trays 11 in which the glass substrates 4 are accommodated are stacked one above the other and tied as necessary to integrate the plurality of glass substrate transfer trays 11. At this time, the glass substrate is not accommodated in the uppermost glass substrate carrying tray and is used instead of the lid. Therefore, if an increase in the number of parts is allowed, the dedicated lid 22 shown in FIG. 8 can be used instead of the glass substrate transfer tray 11 as a substitute for the lid. The lower surface of the plate-like lid portion 23 of the dedicated lid 22 is placed on the lower side of the glass substrate carrying tray 11 when placed on the glass substrate carrying tray in the same manner as the back surface of the glass substrate carrying tray 11 described above. It is preferable to form a protruding portion 21 that enters the storage portion of the glass substrate to prevent vertical movement of the glass substrate as much as possible during transportation of the glass substrate.

本発明のガラス基板搬送用トレイに形成されるガラス基板を収容するための収納部は、1つのガラス基板搬送用トレイ当たり1つでも構わないが、1つのガラス基板搬送用トレイ当たり2つ以上とすることもできる。収納部の数は、ガラス基板搬送用トレイの大きさと収納されるガラス基板の大きさとの関係で決定される。尚、1つのガラス基板搬送用トレイ当たり複数個の収納部を形成する場合には、収納部間に仕切り壁が形成されて、隣り合うガラス基板同士が接触しないようになされる。尚、各収納部の大きさは、ガラス基板を収容した状態で若干の余裕があるように設定される。図9及び図10に収納部を複数有するガラス基板搬送用トレイの平面図及び裏面図を示す。   The storage part for storing the glass substrate formed in the glass substrate transport tray of the present invention may be one per one glass substrate transport tray, but two or more per one glass substrate transport tray You can also The number of storage units is determined by the relationship between the size of the glass substrate transfer tray and the size of the glass substrate to be stored. When a plurality of storage units are formed per glass substrate transport tray, a partition wall is formed between the storage units so that adjacent glass substrates do not come into contact with each other. In addition, the magnitude | size of each accommodating part is set so that there is some margin in the state which accommodated the glass substrate. 9 and 10 are a plan view and a back view of a glass substrate carrying tray having a plurality of storage portions.

図9のガラス基板搬送用トレイ11において、側壁15の中でも最も外側に位置する側壁15’の外周であって、側壁15よりも低い位置にフランジ部31が形成されている。一方、図10のガラス基板搬送用トレイ11の裏面において、ガラス基板搬送用トレイの裏面に位置する平坦面33の周囲に平坦面33よりも下方に突出して形成された突条部32が形成されている。この突条部32は、同じガラス基板搬送用トレイを上下に重ね合わせた時に、下のガラス基板搬送用トレイの側壁15’とフランジ部31とによって形成されたL字状空間に入り込むものである。ガラス基板搬送用トレイ11にフランジ部31と突条部32とが形成されていると、ガラス基板搬送用トレイ同士の水平方向のずれを防止することができるので好ましい。   In the glass substrate carrying tray 11 of FIG. 9, a flange portion 31 is formed at the outer periphery of the side wall 15 ′ located on the outermost side among the side walls 15 and at a position lower than the side wall 15. On the other hand, on the back surface of the glass substrate transport tray 11 in FIG. 10, a protrusion 32 is formed around the flat surface 33 located on the back surface of the glass substrate transport tray so as to protrude downward from the flat surface 33. ing. The protrusion 32 enters an L-shaped space formed by the side wall 15 ′ and the flange portion 31 of the lower glass substrate transfer tray when the same glass substrate transfer tray is overlaid. . When the flange part 31 and the protrusion part 32 are formed in the glass substrate conveyance tray 11, since the shift | offset | difference of the horizontal direction of glass substrate conveyance trays can be prevented, it is preferable.

本発明のガラス基板搬送用トレイの表面は、ガラス基板搬送用トレイの内部よりも緻密なスキン構造に形成されていることが望ましい。たとえば型内成形に際し、加熱時間を長くとり、又は後加熱を行うことにより、金型内面に接触している表面のみを緻密なスキン構造に形成することができる。この場合のスキン構造の見かけ密度(表面から1mm深さまでの部分の見かけ密度)は、内部の見かけ密度(表面から1mm深さのところを切除して残った内部を測定した見かけ密度)よりも 1.1倍以上、好ましくは1.3倍以上、より好ましくは1.5〜3.5倍大きくするのが適当である。表面のみを緻密なスキン構造すると、軽量且つ高い機械的強度のものが得られ、さらには粉塵の発生もいっそう防止できるので好ましい。   It is desirable that the surface of the glass substrate carrying tray of the present invention has a skin structure that is denser than the inside of the glass substrate carrying tray. For example, at the time of in-mold forming, only the surface in contact with the inner surface of the mold can be formed into a dense skin structure by taking a long heating time or post-heating. In this case, the apparent density of the skin structure (the apparent density of the portion from the surface to a depth of 1 mm) is 1 more than the apparent density of the inside (the apparent density measured by cutting away the 1 mm depth from the surface). It is appropriate to increase it by 1 times or more, preferably 1.3 times or more, more preferably 1.5 to 3.5 times. A dense skin structure only on the surface is preferable because a light weight and high mechanical strength can be obtained, and generation of dust can be further prevented.

本発明のガラス基板搬送用トレイに収容できるガラス基板には、公知の様々なガラス基板が含まれる。例えば、素板ガラス基板、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示体用ガラス基板、サーマルヘッド用ガラス基板、カラーフィルター等の各種ガラス基板、またはこれらのガラス基板を用いて製造したTFT形成済ガラス基板や液晶セルと呼ばれる完成パネル等のガラス基板が含まれる。これらガラス基板の両表面には手で剥離可能な保護フィルムが積層されていることが好ましい。   The glass substrate that can be accommodated in the glass substrate carrying tray of the present invention includes various known glass substrates. For example, a glass substrate for a base plate, a glass substrate for a liquid crystal display, a glass substrate for a plasma display body, a glass substrate for a thermal head, various glass substrates such as a color filter, a TFT-formed glass substrate or a liquid crystal manufactured using these glass substrates A glass substrate such as a finished panel called a cell is included. It is preferable that the protective film which can be peeled by hand is laminated | stacked on both surfaces of these glass substrates.

TFT(薄膜トランジスタ)形成済みのガラス基板や液晶セルの完成パネル、或いはこれらの表面に保護フィルムが積層された状態のガラス基板を収容するときは、本発明のガラス基板搬送用トレイ(別な蓋体が存在する場合には蓋体も含む)は、体積固有抵抗値が103〜1012Ω・cmのポリオレフィン系樹脂発泡体から形成されていることが好ましい。そのような体積固有抵抗値は、ポリオレフィン系樹脂発泡体を構成するポリオレフィン系樹脂中に導電性ポリマーや帯電防止性物質を数%〜数10%含有させることにより達成することができる。 When a TFT (thin film transistor) -formed glass substrate or a liquid crystal cell complete panel or a glass substrate with a protective film laminated on the surface thereof is stored, the glass substrate carrying tray of the present invention (another lid) (Including the lid when it is present) is preferably formed from a polyolefin resin foam having a volume resistivity of 10 3 to 10 12 Ω · cm. Such a volume specific resistance value can be achieved by incorporating a conductive polymer or an antistatic substance into the polyolefin resin constituting the polyolefin resin foam by several% to several tens%.

本発明のガラス基板搬送用トレイは、その上面に、ガラス基板を水平に収容するための収納部が形成されている。そして、該収納部は側壁と底面とから形成されており、好適な態様として前記底面における周縁に凹部を形成しておけば、このガラス基板搬送用トレイは、底面によってガラス基板を支持するので、ガラス基板の一部に荷重が集中することがなく、トレイの変形が極力防止され、結果として、ガラス基板の破損を極力防止できる。また、ガラス基板の切断面である鋭利な端面角部とトレイの底面とが接触しにくい、又は接触しないので、トレイが削れることによる粉塵の発生を激減させ、又は防止することができる。なお、底面における周縁に凹部を形成して成る態様のいくつかが、図3に示されている。   The glass substrate transfer tray of the present invention has a storage portion for horizontally storing the glass substrate on the upper surface thereof. And this storage part is formed from a side wall and a bottom, and if a concave part is formed in the peripheral edge in the bottom as a suitable mode, since this glass substrate conveyance tray supports a glass substrate by the bottom, The load is not concentrated on a part of the glass substrate, and the deformation of the tray is prevented as much as possible. As a result, the breakage of the glass substrate can be prevented as much as possible. In addition, since the sharp end face corner which is the cut surface of the glass substrate and the bottom surface of the tray are difficult to contact or do not contact, generation of dust due to scraping of the tray can be drastically reduced or prevented. In addition, some of the aspects formed by forming recesses on the peripheral edge of the bottom surface are shown in FIG.

本発明のガラス基板搬送用トレイは、その上面に、ガラス基板を水平に収容するための収納部が形成されている。そして、該収納部は側壁と底面とから形成されており、前記側壁上面に凹部を有する。以上の構成を有することにより、本発明のガラス基板搬送用トレイは、ガラス基板の切断面である鋭利な端面やガラス基板の角部とトレイの側壁内壁面との接触面積を小さくできるので、トレイが削れることによる粉塵の発生を減少させることができる。また、指やロボットのアームがトレイの壁面に引っかかりにくくなるので、トレイへのガラス基板の収納及び取り出しを容易にすることができる。なお、側壁上面に凹部を形成してなる態様のいくつかが、図4に示されている。   The glass substrate transfer tray of the present invention has a storage portion for horizontally storing the glass substrate on the upper surface thereof. And this storage part is formed from the side wall and the bottom face, and has a recessed part in the said side wall upper surface. By having the above configuration, the tray for conveying a glass substrate according to the present invention can reduce the contact area between the sharp end face which is a cut surface of the glass substrate and the corner of the glass substrate and the inner wall surface of the side wall of the tray. Generation | occurrence | production of the dust by shaving can be reduced. In addition, since fingers and robot arms are less likely to be caught on the wall surface of the tray, it is possible to easily store and remove the glass substrate from the tray. FIG. 4 shows some of the modes in which the recesses are formed on the upper surface of the side wall.

本発明のガラス基板搬送用トレイは、その上面に、ガラス基板を水平に収容するための収納部が形成されている。そして、該収納部は側壁と底面とから形成されており、側壁の内壁面に凹部を有する。以上の構成を有することにより、本発明のガラス基板搬送用トレイは、ガラス基板の切断面である鋭利な端面やガラス基板の角部とトレイの側壁との接触面積を小さくできるので、トレイが削れることによる粉塵の発生を減少させることができる。   The glass substrate transfer tray of the present invention has a storage portion for horizontally storing the glass substrate on the upper surface thereof. And this storage part is formed from the side wall and the bottom face, and has a recessed part in the inner wall face of the side wall. By having the above configuration, the glass substrate carrying tray of the present invention can reduce the contact area between the sharp end surface, which is the cut surface of the glass substrate, or the corner of the glass substrate and the side wall of the tray, so that the tray can be scraped. The generation of dust due to this can be reduced.

本発明のガラス基板搬送用トレイは、好適な態様として、上下に積重ねることができるように、上側に位置するトレイの下面に、下側に位置するトレイの収納部に進入する突出部を形成しておけば、ガラス基板の輸送等の際にガラス基板の上下動を極力防止できる。従って、この態様のガラス基板搬送用トレイは、トレイ表面が削れて発生する粉塵をいっそう激減させることができる。   The glass substrate carrying tray according to the present invention has, as a preferred mode, a protruding portion that enters the storage portion of the tray positioned on the lower side is formed on the lower surface of the tray positioned on the upper side so that the tray can be stacked vertically. By doing so, it is possible to prevent the glass substrate from moving up and down as much as possible when the glass substrate is transported. Therefore, the glass substrate carrying tray of this aspect can further reduce dust generated by scraping the surface of the tray.

図1は、参考比較例として平積みタイプのトレイと参考例としてのガラス基板搬送用トレイとを比較した図である。FIG. 1 is a diagram comparing a flat stack type tray as a reference comparative example and a glass substrate transport tray as a reference example. 図2は、図1の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of FIG. 図3は、ガラス基板搬送用トレイにおける底面の変形例を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing a modification of the bottom surface of the glass substrate carrying tray. 図4は、ガラス基板搬送用トレイにおける側壁の変形例を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a modification of the side wall in the glass substrate carrying tray. 図5は、ガラス基板搬送用トレイにおける側壁の断面形状の変形例を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a modification of the cross-sectional shape of the side wall in the glass substrate carrying tray. 図6は、ガラス基板搬送用トレイの裏面図である。FIG. 6 is a rear view of the glass substrate carrying tray. 図7は、ガラス基板搬送用トレイを上下に重ねた状態の断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of a state where glass substrate transport trays are stacked one above the other. 図8は、ガラス基板搬送用トレイに使用されうる専用蓋の側面図である。FIG. 8 is a side view of a dedicated lid that can be used for a glass substrate carrying tray. 図9は、収容部を複数有するガラス基板搬送用トレイの平面図である。FIG. 9 is a plan view of a glass substrate carrying tray having a plurality of accommodating portions. 図10は、収容部を複数有するガラス基板搬送用トレイの裏面図である。FIG. 10 is a rear view of a glass substrate carrying tray having a plurality of accommodating portions.

符号の説明Explanation of symbols

1 ガラス基板搬送用トレイ
2 底面
3 側壁
4 ガラス基板
4a 角部
4b 端面
4c 端面角部
4c’端面角部
11 ガラス基板搬送用トレイ
12 底面
13 凹部
14 凹部
15 側壁
15’側壁
16 凹部
17 凹部
18 凹部
19 張り出し部
20 凹部
21 突出部
22 専用蓋
23 蓋部
31 フランジ部
32 突条部
33 平坦面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate conveyance tray 2 Bottom surface 3 Side wall 4 Glass substrate 4a Corner | angular part 4b End surface 4c End surface corner | angular part 4c 'End surface corner | angular part 11 Glass substrate conveyance tray 12 Bottom surface 13 Recess 14 Recess 15 Side wall 15' Side wall 16 Recess 17 Recess 18 Recess 18 19 Overhang 20 Recess 21 Protrusion 22 Exclusive lid 23 Lid 31 Flange 32 Projection 33 Flat surface

Claims (2)

ガラス基板を水平に収容するための複数の収納部がトレイの上面に形成されたポリオレフィン系樹脂発泡体からなるガラス基板搬送用トレイであって、
該トレイの収納部はガラス基板が収容される底面と底面を取り囲む側壁とを有し、前記底面における周縁に凹部を有し、
前記側壁の中でも最も外側に位置する側壁の外周であって側壁よりも低い位置に形成されたフランジ部と、トレイの裏面に形成され、一方のガラス基板搬送用トレイを他方のガラス基板搬送用トレイに重ね合わせたときに下側のガラス基板搬送用トレイの側壁の中でも最も外側に位置する側壁と前記フランジ部とで形成されるL字状空間に入り込むように形成された突条部とを有すること、及び、
前記収納部において対向する2組の側壁のうち、それぞれ1組又は2組の側壁において、複数の収納部における隣接する収納部間に位置する側壁にあっては上面中央部分に凹部が設けられており、複数の収納部における前記側壁の中でも最も外側に位置する側壁にあっては側壁の中央部分であって、側壁の内面に沿って凹部が設けられていること、
を特徴とするガラス基板搬送用トレイ。
A glass substrate transport tray made of a polyolefin resin foam in which a plurality of storage portions for horizontally storing a glass substrate is formed on the upper surface of the tray,
The tray storage portion has a bottom surface in which the glass substrate is stored and a side wall that surrounds the bottom surface, and has a recess on the periphery of the bottom surface,
A flange portion formed on the outer periphery of the side wall located on the outermost side among the side walls and at a position lower than the side wall, and formed on the back surface of the tray, one glass substrate carrying tray being the other glass substrate carrying tray And a protruding portion formed so as to enter an L-shaped space formed by the outermost side wall and the flange portion among the side walls of the lower glass substrate carrying tray. And
Of the two sets of side walls facing each other in the storage section, one or two sets of side walls are each provided with a recess in the center portion of the upper surface of the side walls located between adjacent storage sections in the plurality of storage sections. The side wall located on the outermost side among the side walls in the plurality of storage portions is a central portion of the side wall, and a recess is provided along the inner surface of the side wall,
A tray for conveying a glass substrate.
側壁の内面に沿って設けられた前記凹部は、最も外側に位置する側壁の上面中央部分に設けられた凹部が形成された個所において形成されていることを特徴とする請求項1に記載のガラス基板搬送用トレイ。   The said recessed part provided along the inner surface of a side wall is formed in the location in which the recessed part provided in the upper surface center part of the side wall located in the outermost part was formed. Board transfer tray.
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