JP4462638B1 - Pasting device and classification pasting method - Google Patents
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Abstract
分類分けされたデバイスが貼付されたシートを備えたトレイを多段に収納するマガジンから、後工程で利用可能なサイズのシートへデバイスの貼替えを順次実行することで、オートメーションによるデバイスのシート間での貼替えを実現し、処理の高速化と利便性の向上を図ることのできる貼替え装置及び分類貼替え方法を提供する。貼替え装置(1)は、粘着性を有する第1のシート(S1)を備えた2インチ(5cm角)の供給トレイ(K)を多段に備えたマガジン(2)から供給トレイ(K)を送り出し、トレイ反転機構(5)により保持する。トレイ反転機構(5)は、受け取った供給トレイ(K)を反転させ、供給トレイ上のデバイスを第2のシート(S2)に貼り付ける。シートカッターにより第2のシート(S2)を20cm角で切り出し、シート分類エレベータに搭載し、このシート分類エレベータにより、第2のシート(S2)を多段に配置される所望の収納棚に収納する。
【選択図】図1By sequentially executing device pasting from a magazine containing trays with sheets with classified devices attached in multiple stages to a sheet of a size that can be used in the subsequent process, it is possible to perform automation between device sheets. The rewriting apparatus and the classification renewal method which can implement | achieve renewal of this and can aim at the speeding-up of a process and the improvement of convenience are provided. The re-stamping device (1) removes the supply tray (K) from the magazine (2) having a multi-stage supply tray (K) of 2 inches (5 cm square) provided with the first sheet (S1) having adhesiveness. Feeding out and holding by the tray reversing mechanism (5). The tray reversing mechanism (5) reverses the received supply tray (K) and attaches the device on the supply tray to the second sheet (S2). The second sheet (S2) is cut into a 20 cm square by a sheet cutter and mounted on a sheet classification elevator, and the second sheet (S2) is stored in a desired storage shelf arranged in multiple stages by the sheet classification elevator.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、前工程においてウエハ処理を終え、特性に応じて分類し分類ごとに粘着シートに貼付されたLED、半導体装置等のデバイスを、後工程における処理のために他の粘着シートへ貼り替えを行なう貼替え装置及び分類貼替え方法に関する。 The present invention finishes wafer processing in the previous process, replaces devices such as LEDs, semiconductor devices, etc., classified according to characteristics and pasted on the adhesive sheet for each classification, to other adhesive sheets for processing in the subsequent process. The present invention relates to a pasting apparatus and a classification pasting method.
LEDチップや半導体装置等のデバイスは、前工程におけるウエハ処理を経て、後工程において、ウエハマウンティング、ダイボンディング、ワイヤボンディング、パッケージングの各工程処理が施され出荷される。 Devices such as LED chips and semiconductor devices are shipped after being subjected to wafer processing in the previous process, and then subjected to wafer mounting, die bonding, wire bonding, and packaging in the subsequent process.
前工程から後工程へデバイスを供給する方法には、ウエハリング上の粘着性を有するウエハシート(UVシートなど)に貼り付けられダイシングで個片化されたデバイスを供給する方法や、個片のデバイスをリードフレームに搭載しリードフレーム供給ユニットによって供給する方法又は振動式パーツフィーダによって一定の方向及び姿勢に整列して供給する方法等がある。 The method of supplying the device from the previous process to the subsequent process includes a method of supplying a device attached to a wafer sheet having adhesiveness on the wafer ring (such as a UV sheet) and separated into pieces by dicing, There are a method in which a device is mounted on a lead frame and supplied by a lead frame supply unit, or a method in which the device is supplied in a predetermined direction and orientation by a vibratory parts feeder.
このうち、デバイスをウエハシートにより供給する方法においては、前工程の最後の工程処理として、ウエハシート上のデバイスの品質検査を行う。例えば、LEDチップの場合には、光学プローブにより光度、光束、波長、カラー座標といった光学テスト行なったり、カメラによる外観検査を行う。また、半導体装置であれば、外観検査、電気特性検査等を行う。このような種々の検査により、各デバイスのデバイス特性が判明し、このようなデバイス特性に応じて、後工程に至る前において、デバイスを複数の分類に分けることがある。 Among these, in the method of supplying a device by a wafer sheet, the quality inspection of the device on the wafer sheet is performed as the last process of the previous process. For example, in the case of an LED chip, an optical test such as luminous intensity, luminous flux, wavelength, and color coordinates is performed using an optical probe, and an appearance inspection is performed using a camera. In the case of a semiconductor device, appearance inspection, electrical characteristic inspection, and the like are performed. Such various inspections reveal the device characteristics of each device, and the devices may be classified into a plurality of classifications before reaching the subsequent process according to such device characteristics.
このようなウエハシート上におけるデバイスの分類分けの手法として、例えば、図9に示すものがある。すなわち、ダイシングで個片化されたデバイスがウエハシートに貼付された1枚のウエハリングと、分類されたデバイスを各分類ごとに再貼付けするための分類数に応じた複数枚のウエハリングと、を用意する。そして、この1枚のウエハリングから、特性検査の結果に応じて、複数のウエハリングに対して分類して再貼付けを行なう技術である。この場合、分類ごとにウエハリングを用意することができるので、後工程への受渡しが容易となる。なお、この再貼付け用のウエハシートでは、分類ごとに、例えば矩形状にデバイスを配置する。 As such a method of classifying devices on a wafer sheet, for example, there is one shown in FIG. In other words, one wafer ring in which devices separated by dicing are attached to a wafer sheet, and a plurality of wafer rings in accordance with the number of classifications for reattaching the classified devices for each classification, Prepare. In this technique, a plurality of wafer rings are classified and reattached from the single wafer ring according to the result of characteristic inspection. In this case, since a wafer ring can be prepared for each classification, delivery to a subsequent process is facilitated. In this re-sticking wafer sheet, devices are arranged, for example, in a rectangular shape for each classification.
しかしながら、上述の1枚のウエハリングから特性検査の結果に応じて複数のウエハリングに対して分類して再貼付けを行なう方法では、通常ウエハリング1枚につき1分類とするため、分類数は装置全体として設置できるウエハリング数に制限されてしまう。すなわち、ウエハリングの搭載数は装置のサイズに制限され、多くの分類数を確保できない。また、複数枚のウエハリングを配置する場合、1枚のウエハリングから再貼付けを行なう機構の稼動範囲が広くなり1動作当たりの処理時間がかかるため生産性が悪くなる。さらに、装置占有面積も相対的に大きくなる。 However, in the above-described method of classifying and re-applying a plurality of wafer rings according to the result of the characteristic inspection from one wafer ring, since one wafer ring is normally classified into one classification, the number of classifications is an apparatus number. The number of wafer rings that can be installed as a whole is limited. That is, the number of wafer rings mounted is limited by the size of the apparatus, and a large number of classifications cannot be secured. Further, when a plurality of wafer rings are arranged, the operating range of a mechanism for performing reattachment from one wafer ring is widened, and processing time per operation is increased, resulting in poor productivity. Further, the area occupied by the apparatus is relatively large.
他の方法として、複数枚用意したウエハリングを、例えば、垂直方向に重ねるように配置しておき、分類に応じて、対象となるウエハリングを引き出して再貼付を行なうなど、ウエハリングの切り替えを行なうことで、多くの分類数を確保することが可能である。しかしながら、この場合、ウエハリングの切り替えに時間がかかり、生産性が低下する。また、ウエハリングの切替機構や収納機構が必要になり、装置構成が複雑になり、装置の占有面積も増大する。 As another method, for example, a plurality of prepared wafer rings are arranged so as to be overlapped in the vertical direction, and the wafer ring is switched, for example, by pulling out the target wafer ring and reattaching it according to the classification. By doing so, it is possible to secure a large number of classifications. However, in this case, it takes time to switch the wafer ring, and productivity is lowered. Further, a wafer ring switching mechanism and a storage mechanism are required, the apparatus configuration is complicated, and the occupied area of the apparatus is increased.
そこで、出願人は、これを解決する方法として、図5に示すように、粘着シートを貼り付けた2インチ型のトレイ(例として、ゲルパック(商標)を用いる。)を複数枚用意し、これらのトレイを、円周状に複数枚配置してドラム型とし、このドラム上に配置された複数枚のトレイに対して、分類ごとにデバイスを貼り付ける分類装置を提案した(PCT/JP2009/002342)。 Therefore, as a method for solving this, the applicant prepares a plurality of 2-inch trays (for example, Gel Pack (trademark)) to which an adhesive sheet is attached as shown in FIG. A sorting apparatus has been proposed in which a plurality of trays are arranged in a circular shape to form a drum shape, and devices are attached to the plurality of trays arranged on the drum for each classification (PCT / JP2009 / 002342). ).
この分類装置では、ドラム上に配置された複数個(実施態様としては60個)の2インチ型のトレイにデバイスを分類貼付した後、分類ごとにデバイスの貼られたトレイを、マガジンに収納するようになっている。 In this classification apparatus, devices are classified and pasted on a plurality (60 in the embodiment) of 2-inch trays arranged on the drum, and then the trays on which the devices are pasted are stored in magazines for each classification. It is like that.
このような分類装置によって、非常に多くの分類を確保しつつ、駆動機構を含めた装置占有面積を抑え、デバイスの分類数が多くても、ドラムの回転移動と、軸方向への移動でトレイの高速切り替えが可能で、生産性を高めることとした。また、各トレイ上にデバイスが満杯になった際においても、当該トレイのみの交換を行えばよく、その交換に必要な時間も非常に短く済ませることができる。 With such a classification device, while occupying a large number of classifications, the area occupied by the device including the drive mechanism is suppressed, and even if the number of device classifications is large, the drum can be rotated and moved axially. High-speed switching is possible, and productivity is increased. Further, even when the device is full on each tray, only the tray needs to be replaced, and the time required for the replacement can be shortened very much.
ところで、上記のような分類装置においては、多分類への高速処理を行なうため、一般的に用いるより小さいトレイ、例えば、2インチ型のトレイを用いるが、この2インチ型のトレイが、後工程の工程を行なうボンダーの供給機構と対応していない場合には、そのままでは後工程へ引き継ぐことができない。この場合、2インチ型のトレイから、通常用いる20cm四方程度の粘着シートに貼り替える必要が生ずる。 By the way, in the sorter as described above, in order to perform high-speed processing to multiple sorts, a smaller tray that is generally used, for example, a 2-inch type tray, is used. If it is not compatible with the bonder supply mechanism that performs the above process, it cannot be transferred to the subsequent process as it is. In this case, it is necessary to replace the 2-inch type tray with a commonly used adhesive sheet of about 20 cm square.
従来、このような貼替え装置が種々提案されており、例えば、第1の支持体によってチップ状のウエハを支持したままエキスパンド状態とし、このウエハに第2の支持体を貼り合わせ、その後、第1の支持体に加熱手段によって加熱を行い、その熱によって第1の支持体1が収縮を伴いながらエキスパンド状態から開放されるようにして、一方のシートから他方のシートに貼り替える技術がある(特許文献1)。
Conventionally, various such pasting apparatuses have been proposed. For example, while the chip-shaped wafer is supported by the first support, the expanded state is set, and the second support is bonded to the wafer. There is a technique in which one support is heated by a heating means, and the
また、ダイシング用シートに貼付けた半導体ウエハを、個片のチップに分割した後に、一旦保持シートに仮保持した後、さらに表面の平滑面が界面力を有するピックアップ用シートにこれらのチップを貼替えるものであり、この貼り替えに当たって、シートにUV照射をして、シートの粘着力を低下させて貼り替える技術が提案されている(特許文献2)。 In addition, after the semiconductor wafer attached to the dicing sheet is divided into individual chips and then temporarily held on the holding sheet, these chips are attached to a pickup sheet having a smooth surface having an interfacial force. In this replacement, a technique has been proposed in which the sheet is irradiated with UV to reduce the adhesive strength of the sheet (Patent Document 2).
ところで、上記の分類装置においては、複数のトレイが、垂直方向多段に重ねられ、マガジンに収納された状態で提供されるものであるが、従来のシートの貼替え装置では、このようなマガジンから、トレイを順次取り出し、後工程でも利用可能なサイズのシートに貼り替えるような装置は提案されておらず、作業者による手作業での貼替えを行なうのが一般的であった。 By the way, in the above sorting apparatus, a plurality of trays are provided in a state where they are stacked in a plurality of vertical directions and stored in a magazine. However, no apparatus has been proposed that sequentially takes out the tray and replaces it with a sheet having a size that can be used in a later process, and is generally manually replaced by an operator.
また、上記特許文献に示される貼替え装置も、サイズの異なるシートへの貼替えや、マガジンから順次提供される複数のトレイを順に貼替えるような技術を想定したものではなかった。 Moreover, the rewriting apparatus shown by the said patent document was not what assumed the technique of rewriting to the sheet | seat from which a size differs, or the several tray provided sequentially from a magazine in order.
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、分類分けされたデバイスが貼付されたシートを備えたトレイを多段に収納するマガジンから、後工程で利用可能なサイズのシートへデバイスの貼替えを順次実行することで、オートメーションによるデバイスのシート間での貼替えを実現し、処理の高速化と利便性の向上を図ることのできる貼替え装置及び分類貼替え方法を提供することにある。 The present invention has been proposed in order to solve the above-mentioned problems of the prior art, and the object thereof is from a magazine for storing trays having sheets with a grouped device affixed in multiple stages. By sequentially executing device replacement to a sheet of a size that can be used in subsequent processes, automation enables device replacement between device sheets, which can speed up processing and improve convenience. The object is to provide a re-placing apparatus and a classification re-placing method.
上記の目的を達成するため、請求項1の発明は、デバイスを貼付した粘着性を有する第1のシートを有する供給トレイを収納したマガジンから前記供給トレイを排出し、前記トレイ上のデバイスを、粘着性を有しサイズの異なる第2のシートに貼り替え、第2のシートを所定のサイズにカットして収納棚に収納する貼替え装置において、前記供給トレイを複数多段に備えたマガジンと、前記マガジンを垂直方向に移動させることで、供給トレイの排出位置へと移動させるエレベータと、前記マガジンから前記供給トレイを排出するプッシャー機構と、排出された前記供給トレイを受け取り吸着保持する機構と、このトレイを反転させ、前記トレイ上の前記第1のシートに貼付されたデバイスを前記第2のシートに対して押し付け、当該デバイスを前記第2のシートに対して貼り付ける反転機構と、を有するトレイ反転機構と、前記第2のシートを供給するシートロールと、前記シートロールに巻回された第2のシートを所定のピッチで送り出す送りローラと、デバイスの貼り替えられた第2のシートを、所定の間隔でカットするシートカッターと、前記シートカッターにより、切り出された第2のシートを保持し、上下方向に移動しながら、当該第2のシートを収納する位置に移動させるシート分類エレベータと、前記シート分類エレベータの下流側に設けられ、切り出された第2のシートを収納するトレイを多段に備えた収納棚と、を備えたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the invention of
以上の態様では、分類装置において分類され、垂直方向多段に重ねられた複数のトレイの粘着シート(第1のシート)に貼付されたデバイスを、マガジンからトレイを順次取り出しながら、粘着性を有しサイズの異なる第2のシートに貼り替えることができるので、オートメーションによるデバイスのシート間での貼替えを実現し、処理の高速化と利便性の向上を図ることができる。また、人手によるデバイスの貼替え等に比較し、ロッド混入などのミスを防ぐことができる。 In the above aspect, the devices attached to the adhesive sheets (first sheets) of a plurality of trays that are classified in the classification device and stacked in multiple stages in the vertical direction have adhesiveness while sequentially taking out the trays from the magazine. Since it is possible to replace the second sheet with a different size, it is possible to realize the replacement between the sheets of the device by automation, and to increase the processing speed and the convenience. In addition, it is possible to prevent mistakes such as mixing of rods, as compared with manual device replacement.
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記トレイ反転機構は、前記第1のシート上のデバイスを、前記第2のシートに対して押し付ける押付け量及び押込み圧力を調整可能に構成されたことを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the tray reversing mechanism is configured to be capable of adjusting a pressing amount and a pressing pressure for pressing the device on the first sheet against the second sheet. It is characterized by that.
以上の態様では、トレイ反転機構により、供給トレイ上のデバイスを、第2のシートに対して押し付ける押付け量及び押込み圧力を調整することができるので、デバイスの特性に応じて圧力調整を行うことでデバイスの破損等を防ぐことができるとともに、第1のシートから、第2のシートに対する貼替えを確実に行なうことができる。 In the above aspect, since the pressing amount and the pressing pressure for pressing the device on the supply tray against the second sheet can be adjusted by the tray reversing mechanism, the pressure is adjusted according to the characteristics of the device. The device can be prevented from being damaged, and the first sheet can be reliably replaced with the second sheet.
請求項3の発明は、請求項1の発明において、前記トレイ反転機構は、前記第2のシートに対して押し付ける押付け量及び押込み圧力を調整する機構として、前記第2のシートにおけるデバイスの貼付位置において、前記第2のシートにおける前記第1のシートに貼付されたデバイスを押し付ける側と反対側から、貼付する面積と同等の面積からなる面を押し付ける当接面を備え、この当接面は、第2のシートに対する当接圧力の調整手段として、加圧力調整バネ又はボイスコイルモータを備えることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the tray reversing mechanism is a mechanism for adjusting a pressing amount and a pressing pressure pressed against the second sheet, and a device sticking position on the second sheet. In the second sheet, a contact surface for pressing a surface having an area equivalent to the area to be applied from the side opposite to the side for pressing the device attached to the first sheet in the second sheet, A pressure adjusting spring or a voice coil motor is provided as means for adjusting the contact pressure against the second sheet.
以上の態様では、第2のシートにおけるデバイスの貼付位置において、第2のシートにおける前記第1のシートに貼付されたデバイスを押し付ける側と反対側から貼付する面積と同等の面積からなる当接面を押し付けることで、トレイ反転機構の吸着保持機構とこの当接面によって、第1のシートと第2のシートを挟み込むに当たり、加圧力調整バネ又はボイスコイルモータによって、その押し付ける押付け量及び押込み圧力の調整を容易にすることができる In the above aspect, the contact surface having an area equivalent to the area to be applied from the side opposite to the side pressing the device attached to the first sheet in the second sheet at the attachment position of the device in the second sheet. When the first sheet and the second sheet are sandwiched between the suction holding mechanism of the tray reversing mechanism and the contact surface, the pressing amount and pressing pressure of the pressing force are adjusted by the pressure adjusting spring or the voice coil motor. Can be easily adjusted
請求項4の発明は、請求項1の発明において、トレイ反転機構により、前記第2のシートに貼り替えられたデバイスの表面に対して、貼り付ける保護シートを巻回した保護シートロールを備えたことを特徴とする。
以上の態様では、デバイスを貼り替えた第2のシート上に、貼り替え後に保護シートを貼付することで、その後、収納棚に収納され、出荷されるデバイスの破損や汚れ等を防止することができるため、出荷する製品の信頼性を向上させることができる。The invention according to claim 4 is the invention according to
In the above aspect, the protective sheet is pasted on the second sheet on which the device has been pasted, so that damage, dirt, etc. of the device stored and shipped in the storage shelf can be prevented. Therefore, the reliability of the product to be shipped can be improved.
請求項5の発明は、請求項1の発明において、前記トレイ反転機構の供給トレイの受け取り位置には、前記供給トレイの第1のシートに貼付されたデバイスの表面の外観検査を行う表面検査カメラが設けられ、前記トレイ反転機構の前記第2のシートへの貼り替え位置には、前記トレイ反転機構により反転して前記第2のシートに貼付されたデバイスの裏面の外観検査を行う裏面検査カメラと、がそれぞれ設けられたことを特徴とする。 According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the surface inspection camera according to the first aspect of the invention, wherein a surface inspection camera for inspecting the appearance of the surface of the device affixed to the first sheet of the supply tray at the receiving position of the supply tray of the tray reversing mechanism And a rear surface inspection camera that inspects the appearance of the rear surface of the device that is reversed by the tray reversing mechanism and attached to the second sheet at the repositioning position of the tray reversing mechanism to the second sheet. And are provided respectively.
以上の態様では、トレイ反転機構による、デバイスの反転及び貼替えに際して、デバイス表面と裏面の外観検査を行うことができ、デバイスを出荷する前において、デバイスの不良を検出し、不良品の出荷を防止することが可能となる。 In the above aspect, when the device is reversed and pasted by the tray reversing mechanism, it is possible to inspect the appearance of the front surface and the back surface of the device, detect the device defect before shipping the device, and ship the defective product. It becomes possible to prevent.
請求項6の発明は、請求項1の発明において、前記供給トレイには、第1のシートに貼付したデバイスの特性に応じた分類情報を記憶したICタグが付され、前記トレイ反転機構の前記供給トレイの受け取り位置近傍には、当該供給トレイに関する分類情報を読み取るRFIDリーダが設けられ、前記読み取られた分類情報に基づいて、当該供給トレイの第1のシートに貼付されたデバイスが貼り替えられた前記第2のシートに対して、前記識別情報を付す識別情報付与手段を備えたことを特徴とする。 According to a sixth aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the supply tray is provided with an IC tag storing classification information according to the characteristics of the device attached to the first sheet, and the tray reversing mechanism An RFID reader that reads classification information related to the supply tray is provided in the vicinity of the receiving position of the supply tray, and the device attached to the first sheet of the supply tray is replaced based on the read classification information. The second sheet is characterized by further comprising identification information providing means for adding the identification information to the second sheet.
以上の態様では、分類装置において付されたトレイの分類情報を、一連のオートメーションによる貼替え作業の中で、供給トレイないし第1のシートから第2のシートへ引き継ぐことができるので、デバイスの特性に応じた分類に応じて製品を出荷したり、後工程において、当該分類情報を利用することが可能となる。 In the above aspect, the classification information of the tray attached in the classification apparatus can be transferred from the supply tray or the first sheet to the second sheet in a series of rewriting operations by automation. The product can be shipped according to the classification according to, and the classification information can be used in the subsequent process.
請求項7の発明は、請求項1の発明において、前記第1のシートの粘着力は、前記第2のシートの粘着力より弱く設定されたことを特徴とする。
以上の態様では、貼り付け主体である第1のシートに粘着力の弱い粘着シートを用い、被貼り付け体である第2のシートに粘着力の強い粘着シートを用いることにより、上述のような構成の吸着ハンドが反転して、第1のシートを第2のシートに適度な圧力を加えつつ押し付けるという簡単な構成で、デバイスの貼替えを行なうことができる。The invention of claim 7 is characterized in that, in the invention of
In the above aspect, by using a pressure-sensitive adhesive sheet having a low adhesive strength for the first sheet that is the main body to be attached and using a pressure-sensitive adhesive sheet having a strong adhesive force for the second sheet that is the adherend, as described above. The device can be replaced with a simple configuration in which the suction hand of the configuration is reversed and the first sheet is pressed against the second sheet while applying an appropriate pressure.
請求項8の発明は、請求項1の発明において、前記トレイ反転機構は、前記供給トレイを反転させ、前記第1のシートに貼付されたデバイスを前記第2のシートに対して貼り付けた後、再び反転させ、前記供給トレイの受け取り位置に戻るように構成され、前記受け取り位置近傍に、前記トレイ上のデバイスを保持しない第1のシートの粘着面に対して、この第1のシートより強い粘着力を有するクリーニングテープを押し付けて、第1のシートの汚れを前記クリーニングテープに転写してクリーニングするクリーニング機構が設けられたことを特徴とする。
The invention according to claim 8 is the invention according to
以上の態様では、クリーニング機構を設け、第2のシートへ貼替えを終えた第1のシートの粘着面にクリーニングテープを押し付けて、第1のシートの汚れをクリーニングテープに転写しクリーニングを行うことにより、シートの粘着面の汚れや塵埃を的確に除去することができ、常に粘着力を保ったシートにより、デバイスの分類及び貼替えを行なうことが可能となる。また、従来シートの表面の汚れを水洗いにより除去していたものを、装置内において水飛散を防ぐための構造等を必要とせずにクリーニング処理を行なうことができ、実用性の向上を図ることが可能となる。 In the above aspect, the cleaning mechanism is provided, the cleaning tape is pressed against the adhesive surface of the first sheet that has been pasted to the second sheet, and the dirt on the first sheet is transferred to the cleaning tape for cleaning. As a result, dirt and dust on the adhesive surface of the sheet can be accurately removed, and the device can be classified and pasted by the sheet that always maintains the adhesive force. In addition, it is possible to perform the cleaning process without requiring a structure or the like for preventing water splashing in the apparatus for removing the dirt on the surface of the sheet by washing with water, thereby improving the practicality. It becomes possible.
請求項9の発明は、請求項8記載の発明において、前記クリーニング機構は、前記第1のシートの粘着面に前記クリーニングテープを回転しながら押し付けるクリーニングローラと、このクリーニングローラを前記第1のシート上で移動させるシリンダと、を備えたことを特徴とする。
以上の態様では、クリーニングローラをシリンダにより移動させながら第1のシートの粘着面のクリーニングを行なうことができるので、第1のシート上の汚れや塵埃を効率よく除去することが可能となる。According to a ninth aspect of the invention, in the eighth aspect of the invention, the cleaning mechanism includes a cleaning roller that presses the cleaning tape against the adhesive surface of the first sheet while rotating the cleaning roller, and the cleaning roller is attached to the first sheet. And a cylinder to be moved above.
In the above aspect, the adhesive surface of the first sheet can be cleaned while the cleaning roller is moved by the cylinder, so that dirt and dust on the first sheet can be efficiently removed.
請求項10の発明は、請求項9記載の発明において、前記クリーニング機構は、前記クリーニングテープが巻回され、前記クリーニングローラに対して供給するテープローラと、第1のシートの汚れを転写した使用済みのクリーニングローラを巻回して回収するクリーニング済みテープローラと、を備え、前記クリーニング済みテープローラには、使用済みのクリーニングテープが、前記クリーニングローラの移動により逆流しないように、前記クリーニング済みテープローラの逆回転を防止するラチェットが設けられたことを特徴とする。 According to a tenth aspect of the invention, in the ninth aspect of the invention, the cleaning mechanism uses the cleaning roller around which the cleaning tape is wound and a tape roller supplied to the cleaning roller, and dirt on the first sheet is transferred. A cleaned tape roller that winds and collects a used cleaning roller, and the cleaned tape roller prevents the used cleaning tape from flowing backward due to the movement of the cleaning roller. The ratchet which prevents reverse rotation of this is provided.
以上の態様では、クリーニング済みテープローラに巻回されたクリーニング済みのテープが逆流して、第1のシートに汚れを付着させてしまうようなことがないため、効率が良く、信頼性の高いよいクリーニング機構を提供することが可能となる。 In the above aspect, since the cleaned tape wound around the cleaned tape roller does not flow backward and cause dirt to adhere to the first sheet, the efficiency is high and the reliability is good. A cleaning mechanism can be provided.
請求項11の発明は、粘着性を有する第1のシートによりデバイスを複数保持するトレイを着脱自在に円環状に複数備えたドラム型の分類機構と、前記ドラム型の分類機構からデバイスが満杯に分類されたトレイを受け取りマガジンに収納するとともに空のトレイをマガジンから受け取り前記ドラム型の分類装置へ供給するトレイ交換機構と、前記マガジンからデバイスが満杯のトレイを受け取りこのトレイ上の第1のシートに貼付されたデバイスを、粘着性を有する第2のシートに貼り替える貼替え機構と、前記貼替え機構によりトレイからデバイスを受け取る第2のシートを供給搬送するシート供給搬送機構と、デバイスの貼付された第2のシートを所定サイズで切り出すシート切断機構と、切断された第2のシートを収納する収納棚と、を用いて行なうデバイスの分類貼替え方法において、前記分類装置により、特性検査により分類の判明したデバイスを、少なくとも対応する分類識別情報の付されたトレイに貼り付ける工程と、前記トレイ交換機構により、前記ドラム型の分類機構からデバイスが満杯に分類されたトレイを受け取りマガジンに収納するとともに空のトレイをマガジンから受け取り前記ドラム型の分類装置へ供給する工程と、貼替え機構により、デバイスが満杯のトレイを前記マガジンから受け取り保持し、このトレイ上の第1のシートに貼付されたデバイスを第2のシートに貼り替える工程と、前記貼替え機構において保持されたトレイの前記分類識別情報を読み取る工程と、シート供給機構により、前記貼替え機構によりトレイからデバイスを受け取る第2のシートを供給搬送する工程と、前記シート切断機構により、デバイスの貼付された第2のシートを所定サイズで切り出す工程と、前記切り出された第2のシートに対して、貼付されたデバイスに対応する前記分類識別情報を書き込む工程と、前記収納棚に、切断された第2のシートを収納する工程と、を順次実行することを特徴とする。
The invention according to
以上の態様では、デバイスをその特性に応じて複数の分類に分け、分類ごとにトレイ上の第1のシートに搭載する。この第1のシートには、より多くの分類に分けることができるように出荷用サイズより小さいサイズの粘着シートが用いられる。また、トレイには、例えばICタグ等が付されており、このICタグに分類を示す識別情報が記録されている。このトレイをマガジンに収納した後、貼替え装置において、出荷用のサイズの第2のシートに貼替えを行なう。この際、分類識別情報は、貼替え装置において読み込まれるとともに、第2のシートに例えばバーコード情報として書き込まれる。第2のシートは、出荷サイズにカットされた後、収納棚に収納される。 In the above aspect, the device is divided into a plurality of categories according to the characteristics, and the devices are mounted on the first sheet on the tray for each category. For the first sheet, an adhesive sheet having a size smaller than the shipping size is used so that the first sheet can be classified into more categories. Further, for example, an IC tag or the like is attached to the tray, and identification information indicating a classification is recorded on the IC tag. After this tray is stored in the magazine, it is pasted to the second sheet of the shipping size in the pasting device. At this time, the classification identification information is read by the rewriting device and written on the second sheet as bar code information, for example. The second sheet is stored in a storage shelf after being cut to a shipping size.
このようなデバイスの分類貼替え方法によって、分類装置においてデバイスを複数の分類に同時に分類できるとともに、貼替え装置において出荷サイズの第2のシートに貼り替えることができる。また、貼替えに際しては、両装置間において、従来は手作業で入力していた分類の識別情報を、オートメーションで引き継ぐことができ、ユーザがバーコード情報としてデバイスの分類識別情報を参照できるので、デバイスのトレーサビリティの確保が容易となる。 With such a device classification / replacement method, a device can be classified into a plurality of categories at the same time in the classification device, and can be reattached to a second sheet of a shipping size in the re-assignment device. In addition, when pasting, between both devices, the identification information of the classification that has been manually input conventionally can be inherited by automation, and the user can refer to the classification identification information of the device as barcode information, It becomes easy to ensure device traceability.
請求項12の発明は、請求項11記載のデバイスの分類貼替え方法において、デバイスがLEDチップである場合において、前記分類識別情報には、LEDの輝度、色度、波長を含むことを特徴とする。
以上の態様では、デバイスがLEDチップである場合において、分類識別情報として、LEDの輝度、色度、波長を、第1及び第2のシートに貼付されたデバイスの分類識別情報を参照することで容易に判別することができるようになる。The invention of claim 12 is the method for reclassifying a device according to
In the above aspect, when the device is an LED chip, as the classification identification information, the luminance, chromaticity, and wavelength of the LED are referred to the classification identification information of the device attached to the first and second sheets. It can be easily discriminated.
請求項13の発明は、請求項11又は12記載のデバイスの分類貼替え方法において、前記分類識別情報には、少なくとも第1及び第2のシート上に搭載されるデバイスの数量、ロット番号及び製造日時を含むロット情報が含まれることを特徴とする。
以上の態様では、分類識別情報として第1及び第2のシート上に搭載されるデバイスの数量、ロット番号及び製造日時を含むロット情報が含まれることで、ユーザが第1及び第2のシートに貼付されたバーコード情報を参照することで、デバイスの上記ロット情報を参照できるので、デバイスのトレーサビリティの確保が容易となる。A thirteenth aspect of the present invention is the device classification / replacement method according to the eleventh or twelfth aspect, wherein the classification identification information includes at least the number, lot number, and manufacture of devices mounted on the first and second sheets. The lot information including the date and time is included.
In the above aspect, since the classification information includes lot information including the number of devices mounted on the first and second sheets, the lot number, and the manufacturing date and time, the user can add the first and second sheets to the first and second sheets. By referring to the affixed barcode information, it is possible to refer to the lot information of the device, so that it is easy to ensure device traceability.
以上のような本発明の貼替え装置及び分類貼替え方法によれば、分類分けされたデバイスが貼付されたシートを備えたトレイを多段に収納するマガジンから、後工程で利用可能なサイズのシートへデバイスの貼替えを順次実行することで、オートメーションによるデバイスのシート間での貼替えを実現するとともに、デバイス情報を分類分けから貼替えまで引き継ぐことでデバイスのトレーサビリティを確保することができ、処理の高速化と利便性の向上を図ることが可能となる。 According to the above-described pasting apparatus and sorting and pasting method of the present invention, a sheet of a size that can be used in a later process from a magazine that stores trays with sheets to which the classified devices are pasted in multiple stages. By executing device re-sequential execution, it is possible to re-apply between device sheets by automation and to ensure device traceability by handing over device information from classification to re-sequencing. It is possible to increase the speed and improve convenience.
次に、本発明を実施するための形態(以下、本実施形態とする)を、図1〜図8を参照して説明する。 Next, a mode for carrying out the present invention (hereinafter referred to as the present embodiment) will be described with reference to FIGS.
[本実施形態]
[1.貼替え装置]
[1−1.構成]
本実施形態の貼替え装置1の処理の概要を説明する。なお、図1は、本実施形態の貼替え装置1の全体構成を示す平面模式図(a)と、側面模式図(b)であり、図3は、貼替え装置1におけるトレイ反転機構5の構成要素の部分拡大図である。[This embodiment]
[1. Pasting device]
[1-1. Constitution]
The outline | summary of the process of the
(1)貼替え装置1では、まず、粘着性を有する第1のシートS1を搭載した2インチ(5cm角)の供給トレイK(供給トレイ)を多段に備えたマガジン2から供給トレイKを送り出し、トレイ反転機構5により保持する。(2)トレイ反転機構5は、この受け取った供給トレイKを反転させ、供給トレイK上のデバイスを、粘着性を有する第2のシートS2に貼り付ける。このとき、供給トレイKに貼付されたデバイスを、幅20cmの第2のシートS2に貼り替え、デバイスが所定数貼り付けられた第2のシートS2に保護シートを貼付しながら搬送する。(3)最後に、シートカッター11により第2のシートS2を20cm角で切り出し、シート分類エレベータ12に搭載し、このシート分類エレベータ12により、カットされた第2のシートS2を多段に配置される所望の収納棚13に収納する。
(1) In the
以上のような処理の概要を踏まえて、以下、(1)供給トレイを供給するための構成、(2)供給トレイを反転させ貼り替えるための構成、(3)シートを切り離し収納するための構成の3つに分けて説明する。 Based on the outline of the processing as described above, hereinafter, (1) a configuration for supplying the supply tray, (2) a configuration for reversing and replacing the supply tray, and (3) a configuration for separating and storing sheets. This will be described in three parts.
[1−1−1.供給トレイを供給するための構成]
貼替え装置1は、供給トレイを供給するための構成として、供給トレイKを多段に収納するマガジン2と、マガジン2を上下移動させるエレベータ3と、マガジン2からデバイスの搭載された供給トレイKを排出し、空の供給トレイKを戻すプッシャー機構4と、マガジン2から排出された供給トレイKを受け取るトレイ反転機構5と、を備える。また、トレイ反転機構5により反転し後述する第2のシートにデバイスを貼り付けた後の第1のシートS1の表面をクリーニングするクリーニング機構6を備える。[1-1-1. Configuration for supplying supply tray]
As a configuration for supplying the supply tray, the
マガジン2は、本実施形態においては、粘着性を有する第1のシートS1を搭載した2インチ(5cm角)の供給トレイKを垂直方向多段に収納しており、エレベータ3により、上下方向へ駆動される。
In this embodiment, the magazine 2 stores a 2-inch (5 cm square) supply tray K in which the
エレベータ3は、このマガジン2を垂直方向に移動させ、排出する供給トレイKを順次、後述のトレイ反転機構5の位置へ運ぶものであり、具体的には、マガジン2を固定して載置する載置台31と、載置台31にこの載置台を駆動させる要素として接続されたボールネジ32と、ボールネジ32を回転駆動するモータ33とを備える。このボールネジ32の回転駆動により、マガジン2を上下移動させ、排出する供給トレイKが、後述のトレイ反転機構5の吸着ハンド51における搭載面511と同一の平面上に位置するように構成されるものである。 The elevator 3 moves the magazine 2 in the vertical direction and sequentially carries the supply tray K to be discharged to a position of a tray reversing mechanism 5 described later. Specifically, the magazine 2 is fixedly placed. A mounting table 31, a ball screw 32 connected to the mounting table 31 as an element for driving the mounting table, and a motor 33 that rotationally drives the ball screw 32 are provided. The magazine 2 is moved up and down by the rotational drive of the ball screw 32, and the supply tray K to be discharged is configured to be positioned on the same plane as the mounting surface 511 of the suction hand 51 of the tray reversing mechanism 5 described later. It is.
プッシャー機構4は、図1(a)の平面図に示すとおり、マガジン2と、後述するトレイ反転機構5の吸着ハンド51とが並列した方向(図中Y軸方向)と同じ方向に向って、このマガジン2及び吸着ハンド51とを挟むように2片のプッシャーが設けられている。このプッシャー機構4において供給トレイKを直接押圧するプッシャーは、マガジン2側に隣接して設けられマガジン2からデバイスの搭載された供給トレイKを排出して吸着ハンド51へ供給トレイKを搭載する排出用プッシャー41と、吸着ハンド51側に隣接して設けられ吸着ハンド51から空の供給トレイKをマガジン2側に戻す戻し用プッシャー42と、からなる。この排出用プッシャー41と戻し用プッシャー42とは、それぞれ、マガジン2に対して水平方向に挿入されることで、供給トレイKをマガジン2から排出し、吸着ハンド51の搭載面に供給トレイKを載せ、この搭載面から空のトレイを押し出し、マガジン2へ戻すものである。
As shown in the plan view of FIG. 1A, the pusher mechanism 4 is directed in the same direction as the direction in which the magazine 2 and the suction hand 51 of the tray reversing mechanism 5 described later are arranged in parallel (Y-axis direction in the figure). Two pieces of pushers are provided so as to sandwich the magazine 2 and the suction hand 51. A pusher that directly presses the supply tray K in the pusher mechanism 4 is provided adjacent to the magazine 2 side and discharges the supply tray K loaded with devices from the magazine 2 and mounts the supply tray K on the suction hand 51. And a return pusher 42 provided adjacent to the suction hand 51 side and returning an empty supply tray K from the suction hand 51 to the magazine 2 side. The
また、排出用プッシャー41と、戻し用プッシャー42とは、L字形状で対称配置され、供給トレイKの押圧部となる部分の反対の端部において、プッシャー駆動機構43に接続される。このプッシャー駆動機構43は、例えば、アクチュエータにより、排出用プッシャー41と、戻し用プッシャー42とをY軸方向にスライド移動させるように構成される。
Further, the
トレイ反転機構5は、プッシャー機構4によってマガジン2から排出された供給トレイKを受け取り吸着保持する吸着ハンド51と、この吸着ハンド51を、回転軸Oを中心として反転させる反転モータ52とを備える。トレイ反転機構5は、吸着ハンド51により受け取り吸着保持しながら、180度反転して第2のシートS2に受け渡すものであるが、他の構成については、供給トレイKを反転させ貼り替えるための構成において説明する。 The tray reversing mechanism 5 includes a suction hand 51 that receives and holds the supply tray K discharged from the magazine 2 by the pusher mechanism 4 and a reversing motor 52 that reverses the suction hand 51 around the rotation axis O. The tray reversing mechanism 5 is received by the suction hand 51 and sucked and held and reversed 180 degrees and transferred to the second sheet S2. However, for other configurations, the supply tray K is reversed and pasted. This will be described in the configuration.
クリーニング機構6は、上述の通り、トレイ反転機構5により反転し後述する第2のシートにデバイスを貼り付けた後、再び反転して元の状態に戻った際に、第1のシートS1の表面をクリーニングするものであり、概略的には、クリーニングローラ61に巻回されたクリーニング用の粘着テープを第1のシートS1上に押し付けることにより、第1のシートS1上の塵埃等を除去するものである。 As described above, when the cleaning mechanism 6 is reversed by the tray reversing mechanism 5 and a device is attached to a second sheet to be described later, and then reversed again to return to the original state, the surface of the first sheet S1 In general, the dust and the like on the first sheet S1 are removed by pressing the cleaning adhesive tape wound around the cleaning roller 61 onto the first sheet S1. It is.
すなわち、供給トレイK上の第1のシートS1は、分類装置においてデバイスを貼り付け、貼替え装置において第2のシートS2に貼替えというように、繰り替え使用される。このように、複数回に渡って使用されると、シートの粘着面に汚れや塵埃が付着することで、粘着力が低下し、シート上に貼付したデバイスが落下してしまうなど問題が発生する。この点、従来は、シートの表面の汚れは水洗いにより除去していた。しかしながら、供給トレイK上のシートを水洗いするには、装置内で水が飛散しないようにする構造が必要であったり、乾燥に時間が掛かったりするなど、実用的でない。そこで、本実施形態では、第1のシートS1の粘着力より強い粘着テープをクリーニング用の粘着テープとして、第1のシートS1の粘着面に押し付けローラで転がし、第1のシートS1の汚れを粘着テープに転写しクリーニングを行うものである。 That is, the first sheet S1 on the supply tray K is repeatedly used, such as pasting a device in the sorting apparatus and pasting the second sheet S2 in the pasting apparatus. As described above, when used over a plurality of times, dirt and dust adhere to the adhesive surface of the sheet, resulting in a decrease in adhesive force and a problem that a device stuck on the sheet falls. . In this regard, conventionally, dirt on the surface of the sheet has been removed by washing with water. However, in order to wash the sheet on the supply tray K with water, a structure that prevents the water from splashing in the apparatus is necessary, and it takes time to dry, which is not practical. Therefore, in this embodiment, an adhesive tape stronger than the adhesive strength of the first sheet S1 is used as an adhesive tape for cleaning, and is pressed against the adhesive surface of the first sheet S1 with a roller to adhere the dirt on the first sheet S1. It is transferred to a tape for cleaning.
具体的には、図1及び図2に示すように、粘着テープローラ64に巻回された粘着テープを、モータ等の駆動力により取り出し、これをローラ支持体62によって支持されたクリーニングローラ61に供給し、クリーニングローラ61において、第1のシートS1上にローラ61が回転しながら粘着テープを押付け、押し付けたテープをクリーニングテープローラ65により巻き取るように構成されている。
Specifically, as shown in FIGS. 1 and 2, the adhesive tape wound around the adhesive tape roller 64 is taken out by a driving force of a motor or the like, and this is transferred to a cleaning roller 61 supported by a roller support 62. The cleaning roller 61 is configured to press the adhesive tape while the roller 61 rotates on the
また、図2(a)及び(b)に示すように、クリーニングローラ61及びローラ支持体62は、シリンダ63の作用により、A,B及びCの3態様の移動をなす(図2(b)においてAを実線、Bを一点鎖線、Cを二点鎖線にし、かつ太線で示した。)。すなわち、図2(a)に示すように、シリンダ63は、ローラ支持体62の先端部分を上下方向に移動させる昇降用シリンダ631と、ローラ支持体62を図中左右方向である第1のシートS1側とクリーニング機構7本体側との間を移動させる摺動用シリンダ632とから構成される。 Further, as shown in FIGS. 2A and 2B, the cleaning roller 61 and the roller support 62 move in three modes A, B, and C by the action of the cylinder 63 (FIG. 2B). A is a solid line, B is a one-dot chain line, C is a two-dot chain line, and is indicated by a bold line.). That is, as shown in FIG. 2A, the cylinder 63 includes a lifting cylinder 631 for moving the tip portion of the roller support 62 in the vertical direction, and the first sheet in which the roller support 62 is in the horizontal direction in the drawing. The sliding cylinder 632 moves between the S1 side and the cleaning mechanism 7 main body side.
クリーニング済みテープローラ65には、クリーニング時に、摺動シリンダ632の作用により、クリーニングローラ61及びローラ支持体62が移動した際に、粘着テープが引っ張られることでクリーニング済みテープローラ65から使用済みの粘着テープが逆回転により巻き出されないようにラチェット651を具備している。 When the cleaning roller 61 and the roller support 62 are moved by the action of the sliding cylinder 632 during cleaning, the adhesive tape is pulled from the cleaned tape roller 65 by the action of the sliding cylinder 632, so that the used adhesive from the cleaned tape roller 65 is used. A ratchet 651 is provided to prevent the tape from being unwound by reverse rotation.
[1−1−2.トレイを反転させ貼り替えるための構成]
貼替え装置1は、供給トレイKを反転させ貼り替えるための構成として、マガジン2から供給トレイKを受け取って180度反転させるトレイ反転機構5と、供給トレイKの第1のシートS1に貼付されたデバイスを貼り替えるための第2のシートS2を供給するシートロール71と、このシートロールに巻回された第2のシートS2を送り出す送りローラ72と、第2のシートS2をシートロール71から送り出す際にこの第2のシートの粘着面に貼付された保護シートを巻き取る保護シートローラ8と、を備える。[1-1-2. Configuration for reversing the tray
As a configuration for reversing and replenishing the supply tray K, the
また、送りローラ72直下には、送りローラ72の上流側において、再貼付された第2のシートS2に対して、分類識別情報としてバーコードを貼付するためのバーコードラベルプリンタ9と、トレイ反転機構5によって第2のシートS2に所定数貼付されたデバイスに対して、保護シートを貼付すべく保護シートを巻回した保護シートロール10と、を備え、このバーコードラベルプリンタ9と保護シートロール10とは、送りローラ72の挟み込みによって、バーコードラベルが第2のシートS2の裏面に、保護シートが第2のシートS2の表面に、それぞれ貼付されるようになっている。 Further, just below the feed roller 72, on the upstream side of the feed roller 72, a barcode label printer 9 for attaching a barcode as classification identification information to the second sheet S2 that has been reattached, and tray inversion A protective sheet roll 10 on which a protective sheet is wound to apply a protective sheet to a device affixed to the second sheet S2 by the mechanism 5; and the barcode label printer 9 and the protective sheet roll 10, the bar code label is attached to the back surface of the second sheet S <b> 2 and the protective sheet is attached to the front surface of the second sheet S <b> 2 by sandwiching the feed roller 72.
トレイ反転機構5は、図3の部分拡大図に示すように、プッシャー機構4によってマガジン2から排出された供給トレイKを受け取り吸着保持する吸着ハンド51と、吸着ハンド51を、回転軸Oを中心として反転させる反転モータ52と、吸着ハンド51の第2のシートS2の進行方向に対して幅方向である図中Y軸方向へスライド移動させるシフト機構53と、吸着ハンド51の第2のシートS2に対する押込み量と押込み圧力とを調整する貼付調整機構54と、を備える。
As shown in the partially enlarged view of FIG. 3, the tray reversing mechanism 5 includes a suction hand 51 that receives and holds the supply tray K discharged from the magazine 2 by the pusher mechanism 4, and the suction hand 51 with the rotation axis O as the center. A reversing motor 52 for reversing, a shift mechanism 53 for sliding in the Y-axis direction in the figure, which is the width direction with respect to the traveling direction of the second sheet S2 of the suction hand 51, and the second sheet S2 of the suction hand 51 A sticking
吸着ハンド51は、その先端部分に、マガジン2から排出される供給トレイKを搭載する搭載面511を有し、この搭載面511と反対の端部に反転モータ52に軸支される軸部512を備える。この搭載面には、搭載面511上の供給トレイKを吸着保持するためのバキューム機構に接続される吸着孔を備える。このバキューム機構は、搭載面511に搭載される供給トレイKについて、マガジン2との間で受け取り受渡しを行う際のみ真空破壊し、その他の反転時や、第2のシートS2へのデバイスの貼付時は真空吸着するように制御される。 The suction hand 51 has a mounting surface 511 on which the supply tray K discharged from the magazine 2 is mounted at the tip thereof, and a shaft portion 512 that is pivotally supported by the reversing motor 52 at an end opposite to the mounting surface 511. Is provided. The mounting surface is provided with a suction hole connected to a vacuum mechanism for sucking and holding the supply tray K on the mounting surface 511. This vacuum mechanism breaks the vacuum only when the supply tray K mounted on the mounting surface 511 is received and delivered to / from the magazine 2, and at the time of other inversion or when the device is attached to the second sheet S2. Is controlled to be vacuum-adsorbed.
反転モータ52は、吸着ハンド51の搭載面511を、その軸部512を回転軸として、180度往復回転して往復動させるように制御されるものであり、マガジン2側及び第2のシートS2側のいずれにおいても、搭載面511並びに搭載面511に搭載される供給トレイKを、水平位置を維持するような機構により構成されている。 The reversing motor 52 is controlled so as to reciprocate the mounting surface 511 of the suction hand 51 by reciprocating 180 degrees around the shaft portion 512 as a rotation axis. The reversing motor 52 is arranged on the magazine 2 side and the second sheet S2. On either side, the mounting surface 511 and the supply tray K mounted on the mounting surface 511 are configured by a mechanism that maintains a horizontal position.
シフト機構53は、吸着ハンド51の第2のシートS2の進行方向に対して幅方向である図中Y軸方向へスライド移動させるものであり、吸着ハンド51の支持部531と、支持部531と接続されこれを移動させるボールネジ532と、ボールネジを回転駆動するモータ533とからなる。 The shift mechanism 53 slides in the Y-axis direction in the drawing, which is the width direction with respect to the traveling direction of the second sheet S2 of the suction hand 51, and includes a support portion 531 and a support portion 531 of the suction hand 51. It consists of a ball screw 532 that is connected and moved, and a motor 533 that rotationally drives the ball screw.
ここで、本実施形態においては、供給トレイKは、2インチ(5cm四方)の第1のシートS1を備えるもので、第2のシートS2(又は後述する収納棚13)は、A4サイズの20cm四方のシートを備え、この第1のシートS1から第2のシートS2への貼替えを行なうものであるため、吸着ハンド51は、第2のシートS2に対して、第1のシートS1を、最大で、4×4の16箇所に再貼替えを行なうことができるものである。したがって、吸着ハンド51は、1箇所のデバイスの貼り替えを終えると、第2のシートS2の幅方向であるY軸方向に移動しながら、第2のシートS2上で、1〜4箇所まで、供給トレイKの受け取り位置と、貼り替え位置とを180度往復動しながら、デバイスを貼替え、その後、後述の送りローラ72で第2のシートS2を5cm程度送り、再び吸着ハンド51がスライド移動して第2のシートS2の5〜8箇所にデバイスの貼り替えをし、再び第2のシートS2を5cm送って第2のシートS2の9〜12箇所にデバイスの貼り替えをし、さらに第2のシートS2を5cm送って第2のシートS2の13〜16箇所の貼替えをするという一連の処理を、シフト機構53と送りローラ72の制御により繰り返すものである。 Here, in the present embodiment, the supply tray K includes the first sheet S1 of 2 inches (5 cm square), and the second sheet S2 (or a storage shelf 13 described later) has an A4 size of 20 cm. Since the four sheets are provided and the first sheet S1 is replaced with the second sheet S2, the suction hand 51 is configured to replace the first sheet S1 with respect to the second sheet S2. Re-pasting can be performed at a maximum of 4 × 4 16 locations. Therefore, when the suction hand 51 finishes repositioning one device, it moves in the Y-axis direction, which is the width direction of the second sheet S2, to 1 to 4 locations on the second sheet S2, The device is repositioned while reciprocating the receiving position of the supply tray K and the repositioning position by 180 degrees, and then the second sheet S2 is fed by about 5 cm by a later-described feed roller 72, and the suction hand 51 slides again. Then, the device is pasted to 5 to 8 locations on the second sheet S2, the second sheet S2 is sent again 5 cm, the device is pasted to 9 to 12 locations on the second sheet S2, and the second A series of processes of feeding the second sheet S2 by 5 cm and replacing the 13 to 16 places of the second sheet S2 are repeated under the control of the shift mechanism 53 and the feed roller 72.
貼付調整機構54は、図3にその機構の一例を示すように、第2のシートS2におけるデバイスの貼付位置において、第2のシートS2の下面側から、貼付する面積と同等の面積、すなわち、第1のシートS1と同等の面積からなる面で第2のシートS2を押し上げることにより、吸着ハンド51の搭載面511と貼付調整機構54により、第1のシートS1と第2のシートS2を挟み込むようにするものである。
As shown in FIG. 3 as an example of the mechanism, the sticking
具体的には、第2のシートS2に当接するシリコーンゲルシート541と、このシリコーンゲルシート541を搭載する搭載板542と、この搭載板542の下部に設けられ、シリコーンゲルシート541及び搭載板542を第2のシートS2方向に付勢することで、シリコーンゲルシート541の第2のシートS2に対する当接圧力を調整する加圧力調整バネ543とを備える。さらに、断面コの字状にして、このコの字の先端を内側に鍵状に曲げ、搭載板542の側端部に当接して加圧力調整バネ543の付勢力による搭載板542の飛び出しを抑えつつ、シリコーンゲルシート541、搭載板542及び加圧力調整バネ543の筐体を構成する支持体544を備える。
Specifically, a
なお、搭載板542上に載せられたシリコーンゲルシート541は、搭載板542と第2のシートS2との間で、第1のシートS1の押込み荷重を適度に調整する役割を果たすものであって、シリコーンゲルシートに限らず、ウレタンゴムシートを用いて構成することも可能である。
The
また、支持体544を支持し、昇降用カム546及びこの偏心カムを回転させる昇降用モータ547により、吸着ハンド51が第2のシートS2にデバイスを貼り付ける際に、上記の支持体544を上下移動させる受け台545と、昇降用カム546が下方へ下がった際に、受け台545を下方へ復帰させる復帰用バネ548と、この復帰用バネ548の受け台545と反対の端部に当接して復帰用バネ548の端部を固定する固定部549とを備える。
Further, when the suction hand 51 attaches the device to the second sheet S2 by the elevating
上記のような各構成要素からなるトレイ反転機構5は、マガジン2から供給トレイKを受け取り、反転モータ52の作用により、180度回転して、供給トレイKの第1のシートS1に貼付されたデバイスを第2のシートS2に貼り替えると、再び反転モータ52により180度反回転し、マガジン2から供給トレイKを受け取った元の受け取り位置に戻るように構成され、この戻った位置にて、上述した戻し用プッシャー42により、マガジン2に空の供給トレイKを戻すようになっている。 The tray reversing mechanism 5 comprising the above components receives the supply tray K from the magazine 2, rotates 180 degrees by the action of the reversing motor 52, and is attached to the first sheet S1 of the supply tray K. When the device is replaced with the second sheet S2, the reverse motor 52 rotates again by 180 degrees, and it is configured to return to the original receiving position where the supply tray K is received from the magazine 2, and at this returned position, An empty supply tray K is returned to the magazine 2 by the return pusher 42 described above.
ここで、第1のシートS1と第2のシートS2の粘着力の関係について説明する。第1のシートS1には、例えば、ゲルシートを用い、特に粘着力が、通常の粘着シートに比べ弱い粘着力のものを用いる。一方、第2のシートS2には、粘着力の強力な、例えば、UVシートを用いる。具体例としては、第1のシートS1には、ゲルシートとして粘着力が2〜3N/20mmのものを用い、第2のシートS2には、紫外線照射前のUVシートとして粘着力が5〜10N/20mmのものを用いる。このように、貼り付け主体である第1のシートS1に粘着力の弱い粘着シートを用い、被貼り付け体である第2のシートS2に粘着力の強い粘着シートを用いることにより、上述のような構成の吸着ハンド51が反転して、第1のシートS1を第2のシートS2に適度な圧力を加えつつ押し付けることで、デバイスの貼替えを行なうことができるものである。 Here, the relationship between the adhesive strengths of the first sheet S1 and the second sheet S2 will be described. For the first sheet S1, for example, a gel sheet is used, and in particular, an adhesive having a weak adhesive strength compared to a normal adhesive sheet is used. On the other hand, for example, a UV sheet having strong adhesive force is used for the second sheet S2. As a specific example, a gel sheet having an adhesive strength of 2 to 3 N / 20 mm is used for the first sheet S1, and an adhesive strength of 5 to 10 N / as a UV sheet before ultraviolet irradiation is used for the second sheet S2. A 20 mm one is used. As described above, by using a pressure-sensitive adhesive sheet having a low adhesive strength for the first sheet S1 that is a main body to be attached and using a pressure-sensitive adhesive sheet having a high adhesive strength for the second sheet S2 that is an adherend. The suction hand 51 having such a configuration is reversed, and the first sheet S1 is pressed against the second sheet S2 while applying an appropriate pressure, so that the device can be replaced.
また、トレイ反転機構5のトレイ受け取り位置の直上と、トレイ反転機構5の貼り替え位置の直上には、デバイスの外観検査を行う外観検査カメラ14として、表面検査カメラ141と、裏面検査カメラ142とが設けられている。これにより、供給トレイKを反転させる過程において、デバイス表裏の外観検査が可能となる。 Further, a surface inspection camera 141 and a back surface inspection camera 142 are provided as an appearance inspection camera 14 for performing an appearance inspection of the device immediately above the tray receiving position of the tray reversing mechanism 5 and immediately above the repositioning position of the tray reversing mechanism 5. Is provided. Thereby, in the process of reversing the supply tray K, it is possible to inspect the front and back of the device.
さらに、トレイ反転機構5のトレイ受け取り位置近傍には、供給トレイKに付されたICタグから、供給トレイKがどの分類に属するデバイスを搭載しているかの識別情報を読み取るRFIDリーダ15を備える。すなわち、このRFIDリーダ15により、供給トレイKの分類を読み取り、これを後述のバーコードラベルプリンタ9及びシート分類エレベータ12の制御部に入力することで、バーコードラベルプリンタ9において第2のシートS2に分類情報を表すバーコードを用意するとともに、シート分類エレベータ12において収納棚13に第2のシートS2を収納する際に、多段の収納棚13のいずれの箇所に第2のシートS2を収納するかを決定する。 Further, in the vicinity of the tray receiving position of the tray reversing mechanism 5, there is provided an RFID reader 15 that reads identification information as to which category the supply tray K belongs to from an IC tag attached to the supply tray K. That is, the RFID reader 15 reads the classification of the supply tray K and inputs it to the control unit of the barcode label printer 9 and the sheet classification elevator 12 which will be described later. In addition, a barcode representing the classification information is prepared, and the second sheet S2 is stored in any of the multistage storage shelves 13 when the second sheet S2 is stored in the storage shelf 13 in the sheet classification elevator 12. To decide.
ここで、分類の識別情報としては、デバイスの分類情報(例えば、デバイスがLEDであれば輝度、色度、波長等)、トレイ上のデバイス数量、ロット番号・製造日時等のロット情報が含まれ、供給トレイKのICタグに記憶された分類識別情報は、後述の分類装置において、RFIDリーダライタ130によって書き込まれたものである。
Here, the classification identification information includes device classification information (for example, luminance, chromaticity, wavelength, etc. if the device is an LED), lot information such as the number of devices on the tray, lot number, date of manufacture, etc. The classification identification information stored in the IC tag of the supply tray K is written by the RFID reader /
シートロール71は、トレイ反転機構5の下部に、第2のシートS2をロールに巻回するようにして設けられており、そこから、略垂直方向に第2のシートS2が巻き出され、ローラ711と712とにより位置決めされ、水平方向に第2のシートS2向きが転換されるようになっている。また、ローラ711からは、第2のシートS2の粘着面に貼付された保護シートが剥離され、この保護シートは、下部に設けられた保護シート巻取りローラ8により、巻き取られるようになっている。 The sheet roll 71 is provided below the tray reversing mechanism 5 so as to wind the second sheet S2 around the roll, from which the second sheet S2 is unwound in a substantially vertical direction, and the roller Positioned by 711 and 712, the direction of the second sheet S2 is changed in the horizontal direction. Further, the protective sheet affixed to the adhesive surface of the second sheet S2 is peeled off from the roller 711, and this protective sheet is wound up by the protective sheet winding roller 8 provided in the lower part. Yes.
ローラ712により、水平方向に向きが転換された第2のシートS2は、トレイ反転機構5の貼り付け位置より下流に設けられた送りローラ72の回転駆動により粘着面を上に向けて搬送され、この送りローラ72の回転制御により、所定位置で停止するように構成される。 The second sheet S2 whose direction is changed in the horizontal direction by the roller 712 is conveyed with the adhesive surface facing upward by the rotational drive of the feed roller 72 provided downstream from the attaching position of the tray reversing mechanism 5. By controlling the rotation of the feed roller 72, the feed roller 72 is configured to stop at a predetermined position.
なお、ローラ712と、送りローラ72との間隔は、後述するシート分類エレベータ12における保持ローラ121と112との間隔と略同等であって、これは、収納棚13のサイズによるものである。そして、トレイ反転機構5における貼り付け位置は、第2のシートS2の送り方向であって、このローラ712と送りローラ72との中心位置となるように構成される。すなわち、収納棚13に収納される20cm四方の第2のシートS2の中心位置に、デバイスが貼付された状態となるための構成である。
The distance between the roller 712 and the feed roller 72 is substantially the same as the distance between the holding
[1−1−3.シートを切り離し収納するための構成]
貼替え装置1は、シートを切り離し収納するための構成として、デバイスの再貼付された第2のシートS2を、所定の間隔、すなわち、ここでは収納棚13の奥行き方向の長さである20cmでカットするシートカッター11と、このシートカッター11により、切り出されたシートを保持し、上下方向に移動させるシート分類エレベータ12と、シート分類エレベータ12の下流側に設けられ、切り出された第2のシートS2を収納するトレイを多段に備えた収納棚13とを備える。[1-1-3. Configuration for separating and storing sheets]
As a configuration for separating and storing the sheet, the
シート分類エレベータ12は、送りローラ72によって搬送されてくる第2のシートS2を、保持ローラ121と122とによって保持するものであり、下流側の収納棚に近接する保持ローラ122において、第2のシートS2の到達が、センサやカメラ等の検知手段によって確認されると、送りローラ72は搬送を停止するようになっている。この保持ローラ121と保持ローラ122とは、収納棚13の奥行き方向の長さと略同等の長さ間隔で設けられている。
The sheet sorting elevator 12 holds the second sheet S2 conveyed by the feed roller 72 by holding
シートカッター11は、保持ローラ121より上流側に設けられており、上述のように、シート分類エレベータ12の保持ローラ122によって第2のシートS2が保持されたことが確認され、送りローラ72による第2のシートS2の搬送が停止されると、その位置で、第2のシートS2を幅方向(図中Y軸方向)にカットするものである。
The
シート分類エレベータ12は、カットされた20cm四方の第2のシートS2を先端と後端とに設けられた保持ローラ121と112によって保持し、保持した第2のシートS2を所定の収納棚13に挿入するため、上下に移動するエレベータ機構を備える。収納棚13は、垂直方向に多段に設けられた20cm四方からなる第2のシートS2を収納するようになっている。
The sheet sorting elevator 12 holds the cut 20 cm square second sheet S2 by holding
[1−2.作用]
次に、上記のような構成からなる本実施形態の貼替え装置1の作用について、図1〜図5を参照して、(1)トレイを供給するための処理、(2)トレイを反転させ貼り替えるための処理、(3)シートを切り離し収納するための処理の3つの局面に分けて説明する。[1-2. Action]
Next, with reference to FIGS. 1 to 5, (1) the process for supplying the tray, and (2) the tray is reversed with respect to the operation of the
[1−2−1.トレイを供給するための処理]
貼替え装置1は、トレイを供給するため、まず、マガジン2が、エレベータ3により垂直方向に移動し、所望の供給トレイKが、マガジン2からの排出位置である、プッシャー機構4又はトレイ反転機構5の吸着ハンド51の搭載面511と同一平面上に位置して停止する。[1-2-1. Process for feeding trays]
In order to supply the tray, the
プッシャー機構4の排出用プッシャー41は、この状態で、マガジン2に対して水平方向に押圧部を挿入し、供給トレイKをマガジン2から吸着ハンド51側に排出する。マガジン2から排出された供給トレイKは、トレイ反転機構5の搭載面に送られ、吸着ハンド51に吸着保持される。このような処理により、供給トレイKがマガジン2からトレイ反転機構5に供給される。
In this state, the
[1−2−2.トレイを反転させ貼り替えるための処理]
貼替え装置1は、トレイを反転させ貼り替えるための処理として、まず、供給トレイKを吸着ハンド51により吸着したトレイ反転機構5において、反転処理を行なう前に、トレイ反転機構5の供給トレイKの受け取り位置の直上に設けられた表面検査カメラ141により、供給トレイKに搭載された第1のシートS1上に貼付したデバイス表面の外観検査を行う。[1-2-2. Processing for reversing and pasting the tray]
In the tray reversing mechanism 5 in which the supply tray K is sucked by the suction hand 51, before the reversing process is performed, as the processing for reversing and reversing the tray, the
この外観検査と同時に、トレイ反転機構5の供給トレイKの受け取り位置近傍に設けたRFIDリーダ15により、供給トレイKに付されたICタグに記憶された分類に関する識別情報を読み取り、これを後述のバーコードラベルプリンタ9及びシート分類エレベータ12の制御部に入力して、バーコードラベルプリンタ9において粘着シートに分類情報を表すバーコードを用意するとともに、シート分類エレベータ12において収納棚13に第2のシートS2を収納する際に、多段の収納棚13のいずれの箇所にこの第2のシートS2を収納するかを決定する。 Simultaneously with the appearance inspection, the RFID reader 15 provided in the vicinity of the receiving position of the supply tray K of the tray reversing mechanism 5 reads the identification information relating to the classification stored in the IC tag attached to the supply tray K, and this is read later. The barcode label printer 9 and the control unit of the sheet classification elevator 12 input the barcode representing the classification information on the adhesive sheet in the barcode label printer 9, and the sheet classification elevator 12 stores the second in the storage shelf 13. When the sheet S2 is stored, it is determined in which position of the multistage storage shelf 13 the second sheet S2 is stored.
次に、トレイ反転機構5は、反転モータ52の作用により回転軸Oを中心として、吸着ハンド51を反転させる。このとき、送りローラ72が回転することで、トレイ反転機構5の下部に設けられたシートロール71から第2のシートS2が供給される。この第2のシートS2は、シートロール71から、略垂直方向に巻き出され、ローラ711と712とにより位置決めされ、水平方向にシート向きが転換される。また、ローラ711からは、粘着シートの粘着面に貼付された保護シートが剥離され、この保護シートは、下部に設けられた保護シート巻取りローラ8により、巻き取られる。このローラ712により、水平方向に向きが転換された粘着シートは、送りローラ72の回転駆動により粘着面を上に向けて搬送され、この送りローラ72の回転制御により、所定位置で停止する。 Next, the tray reversing mechanism 5 reverses the suction hand 51 around the rotation axis O by the action of the reversing motor 52. At this time, as the feed roller 72 rotates, the second sheet S2 is supplied from the sheet roll 71 provided under the tray reversing mechanism 5. The second sheet S2 is unwound from the sheet roll 71 in a substantially vertical direction, positioned by rollers 711 and 712, and the sheet direction is changed in the horizontal direction. Further, the protective sheet attached to the adhesive surface of the adhesive sheet is peeled off from the roller 711, and this protective sheet is taken up by the protective sheet take-up roller 8 provided in the lower part. The adhesive sheet whose direction is changed in the horizontal direction by the roller 712 is conveyed with the adhesive surface facing upward by the rotational drive of the feed roller 72, and stops at a predetermined position by the rotation control of the feed roller 72.
このような状態において、反転モータ52は、供給トレイKを反転させ、反転モータ52は、吸着ハンド51の搭載面511を、その軸部512を回転軸として、180度回転させ、供給トレイKに保持された第1のシートS1を、第2のシートS2上で当接した水平位置を維持する。 In such a state, the reversing motor 52 reverses the supply tray K, and the reversing motor 52 rotates the mounting surface 511 of the suction hand 51 by 180 degrees around the shaft portion 512 as the rotation axis, thereby supplying the supply tray K to the supply tray K. The horizontal position where the held first sheet S1 abuts on the second sheet S2 is maintained.
続いて、貼付調整機構54は、図5(a)の状態から、同図(b)に示す状態のように、第2のシートS2の下面側から、貼付する面積と同等の面積からなる面でシートを押し上げることにより、吸着ハンド51に保持された供給トレイKの第1のシートS1と第2のシートS2を挟み込む。
Subsequently, the sticking
具体的には、貼付調整機構54の昇降用モータ547が回転し、これに伴って昇降用カム546が回転し、これにより、受け台545が上昇する。そうすると、これと接続される支持体544が上昇し、それに合わせて、シリコーンゲルシート541、搭載板542も上昇して、このシリコーンゲルシート541により、第2のシートS2が、下面より押圧されるようになる。このとき、第1に、昇降用カム546の偏心度合いにより、受け台545、支持体544、及びシリコーンゲルシート541並びに搭載板542の上昇度合いを調整し、第2のシートS2に対する下方からの押込み量を調整し、第2に、搭載板542の下部に設けられた加圧力調整バネ543により、シリコーンゲルシート541及び搭載板542を第2のシートS2方向に付勢することで、シリコーンゲルシート541の第2のシートS2に対する当接圧力を調整する。
Specifically, the raising / lowering
このとき、第1のシートS1には、例えば、ゲルシートとして粘着力が2〜3N/20mmのものを用い、第2のシートS2には、紫外線照射前のUVシートとして粘着力が5〜10N/20mmのものを用いているように、貼り付け主体である第1のシートS1に粘着力の弱い粘着シートを用い、被貼り付け体である第2のシートS2に粘着力の強い粘着シートを用いることにより、上述のような構成の吸着ハンド51が反転して、第1のシートS1を第2のシートS2に適度な圧力を加えつつ押し付けることで、デバイスの貼替えを行なうものである。 At this time, for the first sheet S1, for example, a gel sheet having an adhesive strength of 2 to 3 N / 20 mm is used, and the second sheet S2 has an adhesive strength of 5 to 10 N / as a UV sheet before ultraviolet irradiation. As in the case of using a 20 mm sheet, an adhesive sheet having a low adhesive strength is used for the first sheet S1 that is an attachment main body, and an adhesive sheet having a strong adhesive force is used for the second sheet S2 that is an adherend. Thus, the suction hand 51 having the above-described configuration is reversed, and the first sheet S1 is pressed against the second sheet S2 while applying an appropriate pressure, so that the device is replaced.
以上のようにして、第1のシートS1から第2のシートS2へのデバイスの貼替え作業が終了すると、吸着ハンド51は、再び反転モータ52により180度反回転し、マガジン2から供給トレイKを受け取った元の受け取り位置に戻る。 As described above, when the device replacement operation from the first sheet S1 to the second sheet S2 is completed, the suction hand 51 is again rotated counterclockwise by the reversing motor 52 by 180 degrees, and is supplied from the magazine 2 to the supply tray K. Return to the original receiving position.
このような吸着ハンド51の位置において、クリーニング機構6が作用する。すなわち、ローラ支持体62及びその先端に支持されたクリーニングローラ61は、初期位置Aから、昇降シリンダ631により上位置Bに移動し、続いて摺動用シリンダ632により第1のシートS1側に移動する。このとき、この摺動用シリンダ632の引っ張りにより、粘着テープは、粘着テープローラ64より引き出される。そして、昇降シリンダ631により上位置Bから初期位置Aと同等高さの下位置へ移動し、第1のシートS1の端部に設置した後、摺動シリンダ632の作用により、第1のシートS1上を移動しながら、第1のシートS1をクリーニングする。この際のクリーニングローラ61の第1のシートS1への押付け力は、昇降用シリンダ632により調整する。
The cleaning mechanism 6 acts at such a position of the suction hand 51. That is, the roller support 62 and the cleaning roller 61 supported at the tip of the roller support 62 are moved from the initial position A to the upper position B by the elevating cylinder 631 and then moved to the first sheet S1 side by the sliding cylinder 632. . At this time, the adhesive tape is pulled out from the adhesive tape roller 64 by the pulling of the sliding cylinder 632. Then, after being moved from the upper position B to a lower position equivalent to the initial position A by the elevating cylinder 631 and installed at the end portion of the first sheet S1, the first sheet S1 is operated by the action of the sliding cylinder 632. The first sheet S1 is cleaned while moving up. At this time, the pressing force of the cleaning roller 61 against the
以上のようにして、クリーニングローラ61が第1のシートS1上を移動し終わると、昇降用シリンダ631及び摺動用シリンダ632の作用により、支持体62は、初期位置Aに戻ることとなるが、このとき、通常粘着テープは弛むこととなる。そこで、本実施形態では、クリーニング済みテープローラ65をモータにより回転させることで、このような弛み防止している。この巻き取り用のモータのトルクは、弛みを取る程度に低く抑えられている。また、クリーニング済みテープローラ65にはラチェット651が設けられ、このラチェット651により、クリーニング時に、摺動シリンダ632の作用により、クリーニングローラ61及びローラ支持体62が移動した際に、粘着テープが引っ張られることでクリーニング済みテープローラ65から使用済みの粘着テープが逆回転により巻き出されることがない。なお、巻き取り用のモータのトルクが強すぎると、シリンダ63の動作に関わらず、粘着テープを全て巻き取ってしまうため、適度なトルクの調整が必要である。 As described above, when the cleaning roller 61 finishes moving on the first sheet S1, the support 62 returns to the initial position A by the action of the elevating cylinder 631 and the sliding cylinder 632. At this time, the adhesive tape usually loosens. Therefore, in this embodiment, such loosening is prevented by rotating the cleaned tape roller 65 by a motor. The torque of the winding motor is kept low enough to remove slack. The cleaned tape roller 65 is provided with a ratchet 651, and the adhesive tape is pulled by the ratchet 651 when the cleaning roller 61 and the roller support 62 are moved by the action of the sliding cylinder 632 during cleaning. As a result, the used adhesive tape is not unwound from the cleaned tape roller 65 by reverse rotation. Note that if the torque of the winding motor is too strong, the entire adhesive tape is wound up regardless of the operation of the cylinder 63, so that an appropriate torque adjustment is required.
クリーニング処理が終了すると、吸着ハンド51は、この戻った位置にて、上述した戻し用プッシャー42により、マガジン2に空の供給トレイKを戻す。このような吸着ハンド51を反転させ、貼替えさせることによって、一つの処理が終了し、吸着ハンド51は、再び上述したマガジン2からの供給トレイKを受け取り、反転モータ52により反転し、貼り替える。 When the cleaning process is completed, the suction hand 51 returns the empty supply tray K to the magazine 2 by the return pusher 42 described above at this returned position. By reversing and repositioning the suction hand 51 as described above, one process is completed, and the suction hand 51 receives the supply tray K from the magazine 2 described above again, reverses it by the reversing motor 52, and replaces it. .
この際、シフト機構53は、吸着ハンド51の第2のシートS2の進行方向に対して幅方向である図中Y軸方向へスライド移動させる。すなわち、吸着ハンド51は、1箇所のデバイスの貼り替えを終えると、第2のシートS2の幅方向であるY軸方向に移動しながら、第2のシートS2上で、1〜4箇所まで、供給トレイKの受け取り位置と、貼り替え位置とを180度往復動しながら、デバイスを貼替え、その後、後述の送りローラ72で第2のシートS2を5cm程度送り、再び吸着ハンド51がスライド移動して第2のシートS2の5〜8箇所にデバイスの貼り替えをし、再び第2のシートS2を5cm送って第2のシートS2の9〜12箇所にデバイスの貼り替えをし、さらに第2のシートS2を5cm送って第2のシートS2の13〜16箇所の貼替えをするという一連の処理を、シフト機構53と送りローラ72の制御により繰り返す。 At this time, the shift mechanism 53 slides in the Y-axis direction in the drawing, which is the width direction with respect to the traveling direction of the second sheet S2 of the suction hand 51. That is, when the suction hand 51 finishes repositioning one device, it moves in the Y-axis direction, which is the width direction of the second sheet S2, to 1 to 4 locations on the second sheet S2, The device is repositioned while reciprocating the receiving position of the supply tray K and the repositioning position by 180 degrees, and then the second sheet S2 is fed by about 5 cm by a later-described feed roller 72, and the suction hand 51 slides again. Then, the device is pasted to 5 to 8 locations on the second sheet S2, the second sheet S2 is sent again 5 cm, the device is pasted to 9 to 12 locations on the second sheet S2, and the second A series of processes of feeding the second sheet S2 by 5 cm and replacing the 13 to 16 places of the second sheet S2 is repeated under the control of the shift mechanism 53 and the feed roller 72.
ここで、トレイ反転機構5が、180度回転して元の位置に戻ると、供給トレイK上の第1のシートS1から貼り替えられたデバイスが、第2のシートS2上で、その裏面側を上にして貼り付けられた状態となるので、トレイ反転機構5の貼り替え位置の直上に設けた裏面検査カメラ142により、デバイス裏面の外観検査を行う。 Here, when the tray reversing mechanism 5 rotates 180 degrees and returns to the original position, the device that has been replaced from the first sheet S1 on the supply tray K is on the back side of the second sheet S2. Therefore, the appearance of the back side of the device is inspected by the back side inspection camera 142 provided immediately above the repositioning position of the tray reversing mechanism 5.
上記のような一連の貼り替え処理が終わると、送りローラ72が回転駆動し、第2のシートS2を下流側に移動させる。このとき、送りローラ72直下に設けられたバーコードラベルプリンタ9において、再貼付された第2のシートS2に対して、RFIDリーダ15から入力された分類識別情報に基づいて作成したバーコードを貼付する。同時に、この送りローラ72の回転駆動に伴って保護シートロール10から保護シートが巻き出され、第2のシートS2に所定数貼付されたデバイスに対して、保護シートが貼付される。すなわち、このバーコードラベルと、保護シートとは、送りローラ72の挟み込みによって、バーコードラベルが第2のシートS2の裏面側に、保護シートが第2のシートS2の表面に、それぞれ同時に貼付されるようになっている。 When the series of re-sticking processes as described above is completed, the feed roller 72 is rotationally driven to move the second sheet S2 to the downstream side. At this time, in the barcode label printer 9 provided immediately below the feed roller 72, a barcode created based on the classification identification information input from the RFID reader 15 is attached to the second sheet S2 that has been attached again. To do. At the same time, the protective sheet is unwound from the protective sheet roll 10 in accordance with the rotational driving of the feed roller 72, and a protective sheet is applied to a device that is applied to the second sheet S2. That is, the barcode label and the protective sheet are simultaneously attached to the back surface side of the second sheet S2 and the protective sheet to the front surface of the second sheet S2 by sandwiching the feed roller 72. It has become so.
[1−2−3.シートを切り離し収納するための処理]
上記のような送りローラ72の回転駆動により、第2のシートS2に貼付されたデバイスが下流側に搬送され、シート分類エレベータ12の保持ローラ121と122との間まで搬送されてくる。このとき、下流側の収納棚13に近接する保持ローラ122において、第2のシートS2の到達が、センサやカメラ等の検知手段によって確認されると、送りローラ72は搬送を停止する。[1-2-3. Processing for separating and storing sheets]
By the rotational driving of the feed roller 72 as described above, the device attached to the second sheet S2 is conveyed to the downstream side and conveyed between the holding
シート分類エレベータ12の保持ローラ122によって第2のシートS2が保持されたことが確認され、送りローラ72による第2のシートS2の搬送が停止すると、保持ローラ121より上流側に設けられたシートカッター11が、その位置で、第2のシートS2を幅方向(図中Y方向)にカットする。
When it is confirmed that the second sheet S2 is held by the holding
シート分類エレベータ12は、カットされた20cm四方の第2のシートS2を先端と後端とに設けられた保持ローラ121と112によって保持し、保持した第2のシートS2を所定の収納棚13に挿入するため、エレベータ機構の作用により、上下に移動する。所定の収納棚13の位置に、シート分類エレベータ12が移動すると、シート分類エレベータ12の保持ローラ121と122とが回転駆動し、保持した第2のシートS2を収納棚13側に送り、第2のシートS2を収納棚13内に収納する。収納後、シート分類エレベータ12は、元の位置である、送りローラ72と垂直方向上下同じ位置まで戻って、次に送られてくる第2のシートS2の到着を待つこととなる。
The sheet sorting elevator 12 holds the cut 20 cm square second sheet S2 by holding
[1−3.効果]
以上のような本実施形態の貼替え装置1によれば、分類分けされたデバイスが貼付された第1のシートを備えたトレイを多段に収納するマガジンから、後工程で利用可能なサイズの第2のシートへデバイスの貼替えを順次実行することで、オートメーションによるデバイスのシート間での貼替えを実現し、処理の高速化と利便性の向上を図ることができる。また、人手によるデバイスの貼替え等に比較し、ロッド混入などのミスを防ぐことができる。[1-3. effect]
According to the
トレイ反転機構により、供給トレイ上の第1のシートに貼付されたデバイスを、第2のシートに対して押し付ける押付け量及び押込み圧力を調整することができるので、デバイスの特性に応じて圧力調整を行うことでデバイスの破損等を防ぐことができるとともに、第1のシートから、第2のシートに対する貼替えを確実に行なうことができる。 The tray reversing mechanism can adjust the pressing amount and the pressing pressure for pressing the device attached to the first sheet on the supply tray against the second sheet, so that the pressure adjustment is performed according to the characteristics of the device. By doing so, the device can be prevented from being damaged, and the first sheet can be reliably replaced with the second sheet.
また、デバイスを貼り替えた第2のシート上に、貼り替え後に保護シートを貼付することで、その後、収納棚に収納され、出荷されるデバイスの破損や汚れ等を防止することができるため、出荷する製品の信頼性を向上させることができる。 In addition, since the protective sheet is pasted on the second sheet on which the device is pasted, the device stored in the storage shelf and then shipped can be prevented from being damaged or soiled. The reliability of products to be shipped can be improved.
トレイ反転機構による、デバイスの反転及び貼替えに際して、デバイス表面と裏面の外観検査を行うことができ、デバイスを出荷する前において、デバイスの不良を検出し、不良品の出荷を防止することが可能となる。 When the device is reversed and replaced by the tray reversal mechanism, it is possible to inspect the appearance of the front and back surfaces of the device, detect device defects before shipping the device, and prevent defective products from being shipped. It becomes.
また、貼り付け主体である第1のシートに粘着力の弱い粘着シートを用い、被貼り付け体である第2のシートに粘着力の強い粘着シートを用いることにより、上述のような構成の吸着ハンドが反転して、第1のシートを第2のシートに適度な圧力を加えつつ押し付けるという簡単な構成で、デバイスの貼替えを行なうことができる。 Further, by using a pressure-sensitive adhesive sheet having a low adhesive strength for the first sheet that is the main body to be attached and using a pressure-sensitive adhesive sheet having a strong adhesive force for the second sheet that is to be attached, the above-described adsorption By reversing the hand and pressing the first sheet against the second sheet while applying an appropriate pressure, the device can be replaced.
貼付調整機構により、第2のシートにおける吸着ハンドの貼付位置において、第2のシートの下面側から、貼付する面積と同等の面積からなる面でシートを押し上げることにより、吸着ハンドに保持されたトレイの第1のシートと、第2のシートを挟み込むことで、第1のシートから第2のシートへのデバイスの貼替えを容易に行なうことができる。また、第1に、昇降用カムの偏心度合いにより、貼付調整機構本体の上昇度合いを調整して、第2のシートに対する下方からの押込み量を調整し、第2に、加圧力調整バネにより貼付調整機構の第2のシートに対する当接圧力を調整することが可能となる。 The tray held by the suction hand by pushing up the sheet from the lower surface side of the second sheet on the surface having the same area as the pasting area at the position where the suction hand is pasted on the second sheet by the pasting adjustment mechanism. By sandwiching the first sheet and the second sheet, the device can be easily replaced from the first sheet to the second sheet. First, the degree of elevation of the sticking adjustment mechanism body is adjusted by adjusting the degree of eccentricity of the lifting cam, and the amount of pressing from the lower side with respect to the second sheet is adjusted, and secondly, the sticking is adjusted by a pressure adjusting spring. It is possible to adjust the contact pressure of the adjustment mechanism with respect to the second sheet.
また、分類装置において付されたトレイの分類情報を、一連のオートメーションによる貼替え作業の中で、第1のシートから第2のシートへ引き継ぐことができるので、デバイスの特性に応じた分類に応じて製品を出荷したり、後工程において、当該分類情報を利用することが可能となる。 In addition, since the tray classification information attached in the classification device can be transferred from the first sheet to the second sheet during a series of automation work, it can be classified according to the characteristics of the device. The product can be shipped and the classification information can be used in the subsequent process.
クリーニング機構を設け、第2のシートへ貼替えを終えた第1のシートの粘着面に押し付けローラで転がし、第1のシートの汚れを粘着テープに転写しクリーニングを行うことにより、シートの粘着面の汚れや塵埃を的確に除去することができ、常に粘着力を保ったシートにより、デバイスの分類及び貼替えを行なうことが可能となる。特に、クリーニングローラをシリンダにより移動させながら第1のシートの粘着面のクリーニングを行なうことができるので、第1のシート上の汚れや塵埃を効率よく除去することが可能となる。さらに、クリーニング済みテープローラに、このローラの逆回転を防止するラチェットが設けられたことで、クリーニング済みテープローラに巻回されたクリーニング済みのテープが逆流して、第1のシートに汚れを付着させてしまうようなことがないため、効率が良く、信頼性の高いよいクリーニング機構を提供することが可能となる。 A cleaning mechanism is provided, and the adhesive surface of the first sheet that has been pasted to the second sheet is rolled onto the adhesive surface of the first sheet with a pressing roller, and the dirt on the first sheet is transferred to the adhesive tape for cleaning. It is possible to accurately remove the dirt and dust of the device, and it is possible to classify and replace the device by the sheet that always maintains the adhesive force. In particular, the adhesive surface of the first sheet can be cleaned while the cleaning roller is moved by the cylinder, so that dirt and dust on the first sheet can be efficiently removed. In addition, the cleaned tape roller is provided with a ratchet that prevents reverse rotation of the roller, so that the cleaned tape wound around the cleaned tape roller flows backward and attaches dirt to the first sheet. Therefore, it is possible to provide an efficient and highly reliable cleaning mechanism.
このようなクリーニング機構により、従来シートの表面の汚れを水洗いにより除去していたものを、装置内において水飛散を防ぐための構造等を必要とせずにクリーニング処理を行なうことができ、実用性の向上を図ることが可能となる。 With such a cleaning mechanism, it is possible to perform a cleaning process without requiring a structure or the like for preventing water splashing in the apparatus, which has been used to remove the dirt on the surface of the sheet by washing with water. It is possible to improve.
以上のような一連のデバイスの分類貼替え処理によって、分類装置においてデバイスを複数の分類に同時に分類できるとともに、貼替え装置において出荷サイズの第2のシートに貼り替えることができる。また、貼替えに際しては、両装置間において、従来は手作業で入力していた分類の識別情報を、オートメーションで引き継ぐことができ、ユーザがバーコード情報としてデバイスの分類識別情報を参照できるので、デバイスのトレーサビリティの確保が容易となる。 With the above-described series of device classification / replacement processing, devices can be classified into a plurality of classifications simultaneously in the classification device, and can also be replaced with the second sheet of the shipping size in the re-assignment device. In addition, when pasting, between both devices, the identification information of the classification that has been manually input conventionally can be inherited by automation, and the user can refer to the classification identification information of the device as barcode information, It becomes easy to ensure device traceability.
デバイスがLEDチップである場合において、分類識別情報として、LEDの輝度、色度、波長を、第1及び第2のシートに貼付されたデバイスの分類識別情報を参照することで容易に判別することができるようになる。 When the device is an LED chip, as the classification identification information, the brightness, chromaticity, and wavelength of the LED can be easily determined by referring to the classification identification information of the device attached to the first and second sheets. Will be able to.
また、分類識別情報として第1及び第2のシート上に搭載されるデバイスの数量、ロット番号及び製造日時を含むロット情報が含まれることで、ユーザが第1及び第2のシートに貼付されたバーコード情報を参照することで、デバイスの上記ロット情報を参照できるので、デバイスのトレーサビリティの確保が容易となる。 In addition, by including lot information including the number of devices mounted on the first and second sheets, the lot number, and the date and time of manufacture as classification identification information, the user is affixed to the first and second sheets. By referring to the barcode information, it is possible to refer to the lot information of the device, so that it is easy to ensure the traceability of the device.
[2.分類装置]
本発明の分類貼替え方法を実行に当たっては、上記貼替え装置における貼替え処理の前提として、分類装置100によるデバイスの分類処理が行なわれ、この分類処理により、上述のマガジン2に対して、分類ごとにデバイスが分けてトレイに搭載される必要がある。そこで、以下では、本発明の分類貼替え方法を実施するための一処理を担う装置として、分類装置100について説明する。[2. Classification device]
In executing the classification / replacement method of the present invention, the device classification process is performed by the
[2−1.処理の概要]
本実施形態の分類装置100は、前工程において行なわれるデバイスの特性検査とそれに基づく分類処理の一部を担うものであって、本装置の構成を説明する前提として、まず特性検査並びに分類処理の概要を説明する。[2-1. Overview of processing]
The
前工程において、デバイスの組み立てを終え、ウエハリングによって保持されるウエハシートに貼付されたデバイスは、ダイシングにより個片化され、ターンテーブルTに設けた吸着ノズル(図示せず)によりピックアップされる。 In the previous step, the device attached to the wafer sheet held by the wafer ring after finishing the device assembly is separated into pieces by dicing and picked up by a suction nozzle (not shown) provided on the turntable T.
ピックアップされたデバイスは、ターンテーブルT上の円周等配位置に設けられた載置台Pに搭載される。デバイスは、この載置台Pにおいて吸着保持されたまま、ターンテーブルTが所定のタイミングで間欠的に回転するのに伴って、この載置台Pと等間隔にしてターンテーブルTの上側に設けられた各種検査装置(図示せず)へ、順次移送される。例えば、デバイスがLEDチップの場合には光学プローブにより光度、光束、波長、カラー座標といった光学テスト行なったり、カメラによる外観検査を行う。 The picked-up device is mounted on a mounting table P provided at a circumferentially equidistant position on the turntable T. The device is provided on the upper side of the turntable T at equal intervals with the mounting table P as the turntable T rotates intermittently at a predetermined timing while being held by suction on the mounting table P. It is sequentially transferred to various inspection devices (not shown). For example, when the device is an LED chip, an optical test such as luminous intensity, luminous flux, wavelength, and color coordinates is performed using an optical probe, or an appearance inspection is performed using a camera.
この検査結果に基づいて、後述する分類装置100における複数のトレイ102に対して、デバイスの受渡し装置110により、デバイスを各特性ごとに分類して貼付けを行なう。そして、分類装置100において、トレイ102にデバイスが複数分類に分けて貼付されることにより、満杯になったトレイ102について、トレイ交換装置により、順次空のトレイ102と交換する。この場合の分類識別は、主に、トレイ交換装置におけるトレイの受け取り受渡し位置に設けられたRFIDリーダライタ130により、予めトレイに貼付されたICタグに対する分類識別情報の読み書きによって行なわれる。
Based on the inspection result, the devices are classified and pasted by the device delivery device 110 on a plurality of
そこで、以下では、分類装置100の本体構成を説明した上で、この分類装置100への各検査を終了して分類分けが必要となるデバイスの貼付け構造を説明し、さらに、デバイスを分類ごとに分けて貼付されたデバイスを備える分類装置100のトレイ102の交換構造について説明する。
Therefore, in the following, after explaining the main body configuration of the
[2−2.構成]
[2−2−1.分類装置の全体構成]
分類装置100は、図6に示すように回転軸Oを中心としてθ回転するドラム101を備える。このドラム101は、モータM1(図6(c)参照)により回転力を付与され回転軸Oを中心として回転するとともに、回転軸O上を図中ドラム101の下部に設けられた移送機構により、ドラムの軸方向(図中Y軸方向)と、このドラムの軸方向と垂直方向(図中X軸方向)に向かってスライド移動するためのドラム移動機構104を備える。[2-2. Constitution]
[2-2-1. Overall configuration of the classification device]
As shown in FIG. 6, the
ドラム101は、略円筒形状で、その周面に小型矩形で平板状のトレイ102を複数保持する保持部103を備える。本実施形態において、この保持部103は、ドラム101の円周方向に12分割し、さらに軸方向に5分割して、計60個のトレイ102を保持するように構成されている。保持部103は、中央に吸着孔を備え、この吸着孔から真空吸着することにより、矩形状のトレイ102を保持するように構成されている。
The
ここで、保持部103に保持されるトレイ102について、円周方向に12列を一つのグループとし、この12個のトレイ102からなるグループを、軸方向の5分割により、5グループ設け、これをデバイスの分類として区分けして構成することも可能であるし、軸方向に5分割したものを一つのグループとし、この5個のトレイ102からなるグループを、円周方向に12グループ設け、これをデバイスの分類として区分けして構成することも可能である。さらに、12分割と5列で設けられたトレイ102すべてを別分類とし、計60分類として構成することも可能である。
Here, with respect to the
本実施形態において用いるトレイ102の代表的な例としては、図6にそのイメージを示すように、粘着シートを貼り付けた2インチ型のトレイ102(例えば、ゲルパック(商標)を用いる。)で、外形寸法が約51mm×51mm、厚みが4mm程度であり、貼付け可能範囲は40mm四方のものである。このようなトレイ102に対して、例えば、デバイスが0.24×0.5mmの場合、各ワークの貼付け間隔は0.1mmで、100×50個の配置で、計5000個程度の配置となる。また、このトレイ102には、搭載するデバイスの分類の識別情報を書き換え可能に記録するためのICタグが取り付けられており、このICタグに対して、トレイ交換装置におけるトレイの受け取り受渡し位置に設けられたRFIDリーダライタ130において、デバイスの分類情報(例えば、デバイスがLEDであれば輝度、色度、波長等)、トレイ上のデバイス数量、ロット番号・製造日時等のロット情報が読み書きされる。ただし、このようなトレイの構成は、説明の便宜上、本実施形態における一例を示すものに過ぎず、デバイスの仕様や、装置の仕様にあわせて適宜設計変更して実施可能である。
As a typical example of the
[2−2−2.トレイへのデバイスの貼付け構造]
デバイスの受渡し装置110は、図6(b)に示すように、デバイスを吸着保持するとともに、上下動して(図中、Z軸方向)、間欠的に真空吸着・真空破壊を繰り返すことで、デバイスの受け取りと受渡しを行なうピックアップノズル111と、このピックアップノズル111を支持板112により固定されたモータM2により180度回転させて、ターンテーブル側の受け取り位置と、ドラム101側の受渡し貼付け位置とを移動させる回転アーム113とを備える。[2-2-2. Device sticking structure to tray]
The device delivery device 110, as shown in FIG. 6B, holds the device by suction and moves up and down (in the Z-axis direction in the figure), and repeats vacuum suction and vacuum break intermittently, A
図6(b)に示すように、ピックアップノズル111は、回転アーム113の両端に2つ設けられ、この回転アーム113がモータM2の駆動により、所定のタイミングで回転することにより、各ピックアップノズル111は、デバイスの受け取り位置と受渡し貼付け位置とを交互に往復動するようになっている。
As shown in FIG. 6B, two
また、モータM2を支える固定の支持板112には、ピックアップノズル111を上下に移動させるZ軸移動機構114が、ピックアップノズル111がターンテーブル側の受け取り位置とドラム101側の受渡し貼付け位置とに移動した際に、その真上となる位置に、それぞれ設けられており、このZ軸移動機構114が、その先端に設けられた操作ロッド115を上下動させることで、ピックアップノズル111を上下動させるようになっている。
In addition, on the fixed
なお、このZ軸移動機構114の詳細については、すでに出願人が提案した特開2004−182388号公報に開示された事項と同様であるので、ここでは、説明を省略する。また、ターンテーブルTの構成並びにターンテーブルTに設けられたデバイスを保持する吸着保持機構の構成も、従来と同様であるので具体的な構成についての説明は省略する。 The details of the Z-axis moving mechanism 114 are the same as the matters disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-182388 already proposed by the applicant, and thus the description thereof is omitted here. In addition, the configuration of the turntable T and the configuration of the suction holding mechanism that holds the device provided on the turntable T are the same as those in the related art, and thus the description of the specific configuration is omitted.
ピックアップノズル111は、ターンテーブルT側の受け取り位置において、ターンテーブルTに設けられた載置台Pからデバイスを受取り、180度回転して、ドラム101のうちの所定のトレイ102の粘着シートにデバイスを受渡し、貼り付けるものである。なお、このとき、ターンテーブルTの円周等配位置に設けられた検査工程からの検査結果に基づいて算出されたデバイスの分類に関する信号が、ドラム101のドラム移動機構104に入力され、当該分類に相当するトレイ102がピックアップノズル111の受渡し位置に位置するように、ドラム101を移動させることとなる。
The
[2−2−3.トレイの交換構造]
本実施形態の分類装置100において、トレイ102の交換は、図6に示すように、上述したデバイスの貼付け位置からドラム101が90度回転した位置に設けたトレイ交換装置120により行なう。なお、図8においては、便宜上、トレイ交換装置120の構成要素のうち、トレイ交換用アーム121のみを示しているが、実際には、このトレイ交換用アーム121のY軸方向で挟むように、図8に示すような収納マガジン126b及び供給マガジン126a、トレイ仮置きステージ127、プッシャー機構128並びにエレベータ129a,129bが設けられている。[2-2-3. Tray replacement structure]
In the
トレイ交換装置120は、ドラム101の保持部103により吸着保持されたトレイ102を、ドラム101から受取るトレイ交換用アーム121と、このトレイ交換用アーム121を支持し、これをトレイ102の受取り位置からトレイ102を収納マガジン126bへ収納し、空のトレイ102を供給マガジン126aから受け取るトレイ仮置きステージ127へ受け渡す位置へ移動させるトレイ移送機構122と、この供給マガジン126aから空のトレイ102を仮置きステージ127に対して切出すとともに、仮置きステージ127に搭載された満杯のトレイ102を収納マガジン126bに対して押し入れるプッシャー機構128を備える。
The
また、仮置きステージ127の直下には、トレイ102に貼付されたICタグに記録されるデバイスの分類識別情報を読み込み、又は書き換えを行なうRFIDリーダライタ130が設けられている。上述の通り、このRFIDリーダライタ130により、各トレイ102に貼付されたICタグに対して、デバイスの分類情報(例えば、デバイスがLEDであれば輝度、色度、波長等)、トレイ上のデバイス数量、ロット番号・製造日時等のロット情報が読み書きされるようになっている。
An RFID reader /
図6及び図8に示すように、トレイ交換用アーム121は、真空吸着・真空破壊を所定のタイミングで制御する吸着ハンド123を備え、トレイ移送機構122は、満杯のトレイ102を保持した吸着ハンド123をドラム101から引離し、又は空のトレイ102を保持した吸着ハンド123をドラム101方向へ近づけるためのガイドシリンダ124と、吸着ハンド123とガイドシリンダ124とを90度回転させるロータリアクチュエータ125を備える。
As shown in FIGS. 6 and 8, the
トレイ交換装置120において、収納マガジン126bと、供給マガジン126aとは、図8に示すように、トレイ挿入口が向かい合わせになるように配置されている。この収納マガジン126bと、供給マガジン126aとは、ともに複数のトレイ102を多段にして収納可能に構成されている。また、両マガジンには、このマガジンを上下方向に移動させるエレベータ129aと129bとが各々設けられている。
In the
プッシャー機構128は、向かい合うマガジンの方向(図中Y軸方向)に向ってマガジンに挿入して、マガジン内のトレイ102を移動させる棒状のプッシャー128aと、このプッシャー128aをY軸方向移動させるボールネジ128bと、このボールネジ128bの回転を駆動するモータM3とを備える。すなわち、プッシャー機構128は、向かい合わせに設けられた収納マガジン126b及び供給マガジン126aのうち、供給マガジン126a側に設けられるとともに、棒状のプッシャー128aは、トレイ仮置きステージ127と垂直方向において平行な位置に設けられ、棒状のプッシャー128aが、供給マガジン126aの背面から、Y軸方向に移動することで、供給マガジン126a内の空のトレイを、トレイ仮置きステージ127上に移送する。
The
[2−3.作用]
[2−3−1.ターンテーブル上の移送処理]
前工程において、デバイスの組み立てを終え、ウエハリングに張られたウエハシートに貼付されたデバイスは、ダイシングにより個片化され、これをターンテーブルTに設けた吸着ノズルによりピックアップされる。[2-3. Action]
[2-3-1. Transfer processing on turntable]
In the previous process, the device assembly is completed, and the device attached to the wafer sheet stretched on the wafer ring is separated into pieces by dicing, and this is picked up by the suction nozzle provided on the turntable T.
ピックアップされたデバイスは、ターンテーブルT上の円周等配位置に設けられた載置台Pに搭載され、吸着保持されたまま、所定のタイミングで間欠的に回転し、この載置台Pと等間隔にして、ターンテーブルTの上側に設けられた各種検査装置へ順次移送される。例えば、デバイスがLEDチップの場合には光学プローブにより光度、光束、波長、カラー座標といった光学テスト行なったり、カメラによる外観検査を行う。 The picked-up device is mounted on a mounting table P provided at a circumferentially equidistant position on the turntable T, and intermittently rotates at a predetermined timing while being sucked and held, and is equidistant from the mounting table P. Then, the sample is sequentially transferred to various inspection devices provided on the upper side of the turntable T. For example, when the device is an LED chip, an optical test such as luminous intensity, luminous flux, wavelength, and color coordinates is performed using an optical probe, or an appearance inspection is performed using a camera.
ターンテーブルTの回転により、検査の終了したデバイスが、ピックアップノズル111の受け取り位置にまで移動するまでに、図示しない制御装置により、当該デバイスの特性検査の結果に基づいて、複数の検査結果を組みあせて、特性に応じて分類を割り当て、その結果を、ドラム101における当該分類に対応するトレイ102の位置情報から、ドラム101の移動量を計算し、その位置情報がドラム移動機構104に入力される。
By the rotation of the turntable T, a plurality of inspection results are assembled by the control device (not shown) based on the result of the characteristic inspection of the device until the device that has been inspected moves to the receiving position of the
[2−3−2.ピックアップノズルによる受け取り処理]
デバイスが、ピックアップノズル111の受け取り位置まで移動すると、ピックアップノズル111は、Z軸移動機構114の作用により、ターンテーブルT上の載置台Pである受け取り位置まで下降し、真空吸着により、載置台Pからデバイスをピックアップする。[2-3-2. Receipt processing by pickup nozzle]
When the device moves to the receiving position of the
[2−3−3.トレイへの受渡し貼付け処理]
続いてピックアップノズル111は、支持板112により固定されたモータM2の駆動により、回転アーム113が180度回転するのに伴って、ターンテーブルT上の載置台P上の受け取り位置から、ドラム101側に向かい、トレイ102への受渡し貼付け位置へ移動する。[2-3-3. Delivery paste processing to the tray]
Subsequently, the
この際、ドラム101は、図示しない制御装置から入力されるドラム101の移動位置情報に基づいてドラム移動機構104の駆動により、ピックアップノズル111にピックアップされたデバイスの分類に対応するトレイ102が、ピックアップノズル111による受渡し貼付け位置の直下に位置するように中心軸Oによるθ回転とY軸方向への移動を行う。
At this time, the
ここで、トレイ102の構成において述べたように、トレイ102上には、デバイスが5000個程度配置されることとなるが、このときのデバイスの貼付け位置は、例えば、ピックアップノズル111近傍にカメラを設け、空き位置を画像認識することで、トレイ102上に行と列をなし、順に貼付けることができるようにする(なお、後述するトレイ102上にデバイスが満杯か否かの判断も、この画像認識によって行う。)。このとき、ドラム移動機構104の駆動により、トレイ102を、X軸及びY軸方向、つまり、図6でいうところの縦横方向に移動させ、微調整を行なう。
Here, as described in the configuration of the
すなわち、図を用いて言い換えれば、貼付けを行なうトレイ102が、ドラム101の垂直方向最上部に位置するための移動は、ドラム101を中心軸Oによるθ回転させることにより行い、ドラム101の垂直方向最上部に位置する5枚のトレイ102のうち、貼り付けを行なうトレイが、ピックアップノズル111の直下に位置するようにするために、ドラム移動機構104によるY軸方向のスライド移動により行い、さらに、ピックアップノズル直下に位置するトレイ102内において、デバイスを行と列で順次貼り付けるために、ドラム移動機構104によるX軸方向及びY軸方向への小さい移動により行なう。
In other words, in other words, the movement for the
ドラム101が、ドラム移動機構104の作用によりX軸及びY軸方向に移動し、ピックアップノズル111に保持されたデバイスの分類に相当するトレイ102がピックアップノズル111の直下に位置し、トレイ102上におけるデバイスの受渡し貼付け位置が決定すると、ピックアップノズル111は、Z軸移動機構114の作用により下降動作を行い、デバイスをトレイ102の粘着シート上に受け渡し、貼付する。
The
以上のようなデバイスのターンテーブルTによる移送処理、ピックアップノズル111による受け取り処理、およびドラム101のトレイ102上への受渡し貼付け処理を順次繰り返す。
The transfer process by the turntable T of the device as described above, the reception process by the
[2−3−4.トレイの交換処理]
上記のような処理を繰り返し、一つの分類のトレイ102上にデバイスが満杯になると、それが画像により認識され、当該トレイ102の位置情報ないしはID情報が、ドラム移動機構104及びトレイ交換装置120に入力される。[2-3-4. Tray replacement process]
When the above processing is repeated and a device becomes full on one
この入力に基づいて、まず、ドラム移動機構104が、当該トレイ102がトレイ交換装置120のトレイ交換用アーム121の位置に移動するように、O軸回転及びY軸移動を行なう。
Based on this input, the
続いて、トレイ交換装置120は、まず吸着ハンド123でデバイスを満杯に積載したトレイ102をドラム101の保持部103から受取り保持し、ガイドシリンダ124により吸着ハンド123を10mmほど退避させ、ロータリアクチュエータ125により図中下側に90度回転する(図6(b)及び(c)参照)。次に、再びガイドシリンダ124で吸着ハンド123をトレイ仮置きステージ127側に10mm動かし、トレイ仮置きステージ127に対してトレイ102を移載する(図8参照)。
Subsequently, the
トレイ仮置きステージ127上に載置されたデバイスが満載のトレイ102について、このステージ127直下のRFIDリーダライタ130において、デバイスの分類情報(例えば、デバイスがLEDであれば輝度、色度、波長等)が読み込まれるとともに、トレイ上のデバイス数量、ロット番号・製造日時等のロット情報が書き込まれる。なお、ICタグの情報は、前述の貼替え装置において利用されることとなる。
With respect to the
次に、プッシャー機構128の棒状のプッシャー128aが、供給マガジン126aの背面から、図中Y軸方向に移動することで、供給マガジン126a内の空のトレイ102を、トレイ仮置きステージ127上に移送するとともに、満杯のトレイを収納マガジン126b側に移動させる(図8(a)参照)。
Next, the bar-
空のトレイ102がトレイ仮置きステージ127上受け渡し位置に位置すると、このステージ127直下のRFIDリーダライタ130において、満載のトレイ102について読み込んだデバイスの分類情報(例えば、デバイスがLEDであれば輝度、色度、波長等)が、この空のトレイ102に書き込まれる。
When the
吸着ハンド123が、この空のトレイ102をピックアップする(図8(b)参照)。プッシャー機構128は、吸着ハンド123によって、空のトレイ102がピックアップされると、さらに、収納棚側に移動し、満杯のトレイを収納棚の中に完全に押し込む(図8(c)参照)。このようにして、空のトレイと満杯のトレイとが、一つのトレイ仮置きステージ127上で交換され、トレイ交換作業が行なわれる。
The
なお、収納マガジン126b及び供給マガジン126aとには、垂直方向に多段にわたって複数枚のトレイ102が収納可能であるが、例えば、10段ごと等、分類ごとに、収納位置を予め決めておき、吸着ハンド123によりピックアップされる分類に応じて、エレベータ129aと129bが作用して、収納マガジン126bと供給マガジン126aとを上下させることにより、所定の分類に対応したトレイ102が供給又は収納できるように構成されている。
The
また、トレイ交換装置120によるトレイ102の交換は、主として1つのトレイ102に任意で設定された数を貼り付けした時、言い換えればトレイ102の粘着テープ上にデバイスが満杯になった際に行なう。また、このトレイ102の交換の際は、分類装置100の分類作業は一旦停止することとなる。なお、本実施形態において、このトレイ102の交換作業は、5秒以下の時間で実施する。
Further, the replacement of the
また、RFIDリーダライタ130においては、デバイスが空のトレイに対して、デバイスの分類情報を書き込むこととし、デバイスが満載のトレイに対して、デバイスの分類情報を読み込むとともに、トレイ上のデバイスのロット情報が書き込まれることとしたが、このような構成に限らない。すなわち、RFIDリーダライタ130により、空のトレイに対して、予めデバイスの分類情報、トレイ上のデバイス数量、ロット番号・製造日時等のロット情報ともに書き込んでおき、満載のトレイを受け取ると当該満載のトレイについての分類情報及びロット情報を読み込み、この満載のトレイに代わってドラム101の所定ポジションに貼り付けられる空のトレイに情報の受渡しを行なう構成も含む。
In addition, the RFID reader /
[2−4.効果]
以上のような本実施形態の分類装置100によれば、ドラム101に保持された分類ごと各トレイ102はそれぞれ独立しているので、分類ごとに個別に貼付及び交換ができ、例えば、一つの分類が満杯になることで他の分類へも影響を及ぼすような無駄がなくなり、生産性の向上を図ることができる。[2-4. effect]
According to the
また、円筒状のドラム101に保持部103を設け、ここにトレイ102を配置させたことによって、非常に多くの分類(本実施形態で最大60分類程度)を確保しつつ、駆動機構を含めた装置占有面積を抑えることができる。さらに、デバイスの分類数が多くても、回転軸O方向とY軸方向の移動でトレイ102の高速切り替えが可能で、生産性が非常に高い。
Further, the holding unit 103 is provided on the
したがって、1枚のウエハリングから、特性検査の結果に応じて、複数分類して再貼付けを行なう際において、ウエハリング数に制限を受けることなく、かつ1枚のウエハリングから再貼付けを行なう機構は、ドラム移動機構21によってドラム101を回転軸とX軸及びY軸方向へ移動させるだけでよく、移動機構の稼動範囲を抑えることができるので、結果として1動作当たりの処理時間を短縮できる。
Therefore, when a plurality of wafer rings are categorized and reattached according to the result of the characteristic inspection, the number of wafer rings is not limited, and reattachment is performed from one wafer ring. Therefore, the drum moving mechanism 21 only needs to move the
また、トレイ交換装置120により、ドラム101において、分類ごとに分けられたトレイ102を、トレイ102ごとに着脱し、このトレイ102を分類ごとに収納マガジン126bに収納するとともに、新しいトレイを供給マガジン126aから供給して、再度ドラム101に貼り付けることができるようになる。
In addition, the
さらに、トレイ102上に、デバイスが満杯になった際は、当該トレイのみの交換を行えばよく、その交換に必要な事項も非常に短時間で済む(本実施形態では5秒程度)。したがって、1枚のウエハシート上に複数分類を矩形状に配置する場合のように、ある1つの分類が満タンになると、リング自体を切り替えるような必要がなく、無駄がない。
Furthermore, when the device is full on the
また、トレイの交換に際して、RFIDリーダライタ130において、トレイに貼付されたICタグに対して、デバイスの分類情報やロット情報が読み書きされることにより、トレイ上のデバイスの分類情報をICタグによって管理することができ、この分類情報をその後の貼替え装置においてもそのまま利用することにより、デバイスのトレーサビリティの確保が容易となる。
Further, when replacing the tray, the RFID reader /
以上のように、本実施形態の分類装置によれば、前工程でのデバイスの分類を、簡易高速かつ省スペースで、多分類に同時行なうことができる。 As described above, according to the classification apparatus of the present embodiment, device classification in the previous process can be performed simultaneously in multiple classifications in a simple, high-speed and space-saving manner.
[他の実施形態]
[1.貼替え装置]
本発明は、上記実施形態に示した構成に限られるものではなく、例えば次のような実施態様も包含するものである。すなわち、上記実施形態におけるマガジン2と、エレベータ3及びプッシャー機構4の配置は、装置構成上の一例を示すものに過ぎず、マガジン2からの供給トレイKの排出及び吸着ハンド51への受渡しと、供給トレイKの吸着ハンド51からマガジン2への返却を、プッシャー機構4が行なうことができるような構成であれば良い。具体的には、上記実施形態では、吸着ハンド51、マガジン2及びプッシャー機構4の2片のプッシャーを、第2のシートS2の幅方向(図中Y軸方向)に並べたが、本発明では、これに限らず、第2のシートS2の送り方向(図中X軸方向)に並べて構成することも可能である。[Other Embodiments]
[1. Pasting device]
The present invention is not limited to the configuration shown in the above embodiment, and includes, for example, the following embodiments. That is, the arrangement of the magazine 2, the elevator 3, and the pusher mechanism 4 in the above embodiment is merely an example of the apparatus configuration, and the supply tray K is discharged from the magazine 2 and delivered to the suction hand 51. Any configuration may be employed as long as the pusher mechanism 4 can return the supply tray K from the suction hand 51 to the magazine 2. Specifically, in the above embodiment, the two pieces of pushers of the suction hand 51, the magazine 2, and the pusher mechanism 4 are arranged in the width direction (Y-axis direction in the drawing) of the second sheet S2, but in the present invention, However, the present invention is not limited to this, and the second sheet S2 can be arranged in the feeding direction (X-axis direction in the drawing).
また、本実施形態では、第1のシートS1として2インチの粘着シートを例に用い、第2のシートS2として20cm四方の粘着シートを例に用いたが、これは一例を示すに過ぎず、第1及び第2のシートS2のサイズは、装置仕様等に応じて、様々なものに対応可能である。 Further, in the present embodiment, a 2 inch adhesive sheet is used as an example as the first sheet S1, and a 20 cm square adhesive sheet is used as an example as the second sheet S2, but this is only an example, The sizes of the first and second sheets S2 can correspond to various sizes depending on the apparatus specifications and the like.
さらに、上記実施形態では、吸着ハンド51を、反転モータ52による反転だけでなく、シフト機構53によるY軸方向へのスライド移動も可能とし、第1のシートS1から、1枚の第2のシートS2に対して、最大で4×4の16箇所の貼り替えが可能とした。ただし、これは一例を示すものであり、装置構成として、シフト機構53を省略し、吸着ハンド51の移動を、反転モータ52による反転動作のみとし、第2のシートS2に対して1箇所のみの貼付としたり、送りローラ72による送り動作によって、第2のシートS2の送り方向に数箇所貼付するような実施態様も、本発明は包含する。 Further, in the above-described embodiment, the suction hand 51 can be slid in the Y-axis direction by the shift mechanism 53 as well as reversed by the reversing motor 52. From the first sheet S1, one second sheet is provided. A maximum of 4 × 4 16 locations can be replaced with S2. However, this is merely an example, and the shift mechanism 53 is omitted as an apparatus configuration, and the suction hand 51 is moved only by the reversing operation by the reversing motor 52, and only at one place with respect to the second sheet S2. The present invention also includes embodiments in which affixing is performed or a plurality of points are affixed in the feeding direction of the second sheet S2 by feeding operation by the feeding roller 72.
また、上記実施形態における貼付調整機構54の構成は、上記実施形態で示したものに限られず、例えば、加圧力調整バネ543の代わりに、ボイスコイルモータを用いることにより、第2のシートに対して電気的な荷重の調整が可能となる。
Further, the configuration of the sticking
[2.分類装置]
上記実施形態では、ドラム101の回転軸Oを、水平方向の配置としたが、本発明では、このような態様に限られず、図9に示すように、回転軸Oを垂直方向にして設置することも可能である。この場合には、上記実施形態におけるピックアップノズル111は、ターンテーブルTからデバイスをピックアップした後、90度回転して、ドラム101への受渡し貼付け処理を行なうこととなる。なお、その他の各装置の詳細な構成並びに作用は、上記実施形態と同様に構成することで、上記実施形態と同様の効果を得ることが可能である。[2. Classification device]
In the above embodiment, the rotation axis O of the
また、上記実施形態におけるトレイへの受渡し貼付け処理においては、ドラム移動機構104の駆動により、トレイ102が、ピックアップノズル111による受渡し貼付け位置の直下に位置するように中心軸Oによるθ回転とY軸方向への移動を行い、さらに、トレイ102上にデバイスを行と列で順に貼付ける際に、トレイ102を、X軸及びY軸方向に移動させているが、本発明は、このような態様に限られず、例えば、ピックアップノズル111の構成を変更することで、ドラム移動機構104によるX軸又はY軸方向への移動を、ピックアップノズル111に担わせることも可能である。すなわち、ドラム101自体は、θ回転を行なうのみにして、ピックアップノズル111が、デバイスの貼り付けに当たって、ドラム101の所定のトレイ102上で、X軸及びY軸方向へ移動しながら、トレイ102への貼り付けを行なうような構成とすることも可能である。
Further, in the delivery pasting process to the tray in the above embodiment, the rotation of the center axis O and the Y axis so that the
ただし、本実施形態の説明からわかるように、Y軸方向の移動は、移動範囲が広いため、上記実施形態のように、X軸及びY軸の移動ともに、ドラム移動機構104によるドラム101の移動として行なう構成が最適であり、ピックアップノズル111にXY方向への移動処理を分担する場合でも、少なくともY軸方向移動はドラム101の移動とし、ピックアップノズル111には、X軸方向の微調整としての移動のみを担わせる態様が、装置の高速処理という観点からは好ましい。
However, as can be seen from the description of the present embodiment, since the movement range in the Y-axis direction is wide, the movement of the
また、上記のトレイ交換構造では、満杯のトレイを、収納マガジン126bへ収納するとともに、満杯のトレイに代わって空のトレイを供給マガジン126aから供給するような構成としているが、本発明は、このような態様に限らず、例えば、収納マガジン126bの位置に、公知のコンベアを設け、プッシャー機構128のプッシャーにより、供給マガジン126aの側から、空のトレイをトレイ仮置きステージ127上に押し出し、これにより、トレイ仮置きステージ127上に載置された満杯のトレイが、供給マガジン126aとステージ37を挟んで反対側に設けられたコンベアに移動し、コンベアにより搭載され、コンベアにより所定の箇所に移送されるような構成としてもよい。
In the tray replacement structure described above, a full tray is stored in the
1…貼替え装置
2…マガジン
3…エレベータ
31…載置台
32…ボールネジ
33…モータ
4…プッシャー機構
41…排出用プッシャー
42…戻し用プッシャー
43…プッシャー駆動機構
5…トレイ反転機構
51…吸着ハンド
511…搭載面
512…軸部
52…反転モータ
53…シフト機構
531…支持部
532…ボールネジ
533…モータ
54…貼付調整機構
541…シリコーンゲルシート
542…搭載板
543…加圧力調整バネ
544…支持体
545…受け台
546…昇降用カム
547…昇降用モータ
548…復帰用バネ
549…固定部
6…クリーニング機構
61…クリーニングローラ
62…ローラ支持体
63…シリンダ
64…クリーニング粘着テープ
65…クリーニング済テープ
71…シートロール
711,712…ローラ
72…送りローラ
8…保護シートローラ
9…バーコードラベルプリンタ
10…保護シートロール
11…シートカッター
12…シート分類エレベータ
121…保持ローラ
122…保持ローラ
13…収納棚
14…外観検査カメラ
141…表面検査カメラ
142…裏面検査カメラ
15…RFIDリーダ
100…分類装置
101…ドラム
102…トレイ
103…保持部
104…ドラム移動機構
110…受渡し装置
111…ピックアップノズル
112…支持板
113…回転アーム
114…Z軸移動機構
115…操作ロッド
120…トレイ交換装置
121…トレイ交換用アーム
122…トレイ移送機構
123…吸着ハンド
124…ガイドシリンダ
125…ロータリアクチュエータ
126a…供給マガジン
126b…収納マガジン
127…トレイ仮置きステージ
128…プッシャー機構
128a…プッシャー
128b…ボールネジ
129a,129b…エレベータ
130…RFIDリーダライタ
K…供給トレイ
M1〜M3…モータ
O…回転(中心)軸
P…載置台
S1…第1のシート
S2…第2のシート
T…ターンテーブルDESCRIPTION OF
Claims (13)
前記供給トレイを複数多段に備えたマガジンと、
前記マガジンを垂直方向に移動させることで、供給トレイの排出位置へと移動させるエレベータと、
前記マガジンから前記供給トレイを排出するプッシャー機構と、
排出された前記供給トレイを受け取り吸着保持する機構と、このトレイを反転させ、前記トレイ上の前記第1のシートに貼付されたデバイスを前記第2のシートに対して押し付け、当該デバイスを前記第2のシートに対して貼り付ける反転機構と、を有するトレイ反転機構と、
前記第2のシートを供給するシートロールと、
前記シートロールに巻回された第2のシートを所定のピッチで送り出す送りローラと、
デバイスの貼り替えられた第2のシートを、所定の間隔でカットするシートカッターと、
前記シートカッターにより、切り出された第2のシートを保持し、上下方向に移動しながら、当該第2のシートを収納する位置に移動させるシート分類エレベータと、
前記シート分類エレベータの下流側に設けられ、切り出された第2のシートを収納するトレイを多段に備えた収納棚と、を備えたことを特徴とする貼替え装置。The supply tray is ejected from a magazine containing a supply tray having an adhesive first sheet to which the device is attached, and the device on the tray is replaced with an adhesive second sheet having a different size. In the re-stamping device that cuts the second sheet into a predetermined size and stores it in the storage shelf,
A magazine having a plurality of supply trays in multiple stages;
An elevator that moves the magazine vertically to a supply tray discharge position;
A pusher mechanism for discharging the supply tray from the magazine;
A mechanism for receiving and holding the discharged supply tray, and reversing the tray, pressing a device affixed to the first sheet on the tray against the second sheet, A tray reversing mechanism having a reversing mechanism to be attached to the two sheets;
A sheet roll for supplying the second sheet;
A feed roller for feeding the second sheet wound around the sheet roll at a predetermined pitch;
A sheet cutter for cutting the second sheet on which the device has been pasted at a predetermined interval;
A sheet classification elevator that holds the second sheet cut out by the sheet cutter, and moves the second sheet to a position for storing the second sheet while moving in the vertical direction;
A re-seat device comprising: a storage shelf provided in a downstream side of the sheet classification elevator and provided with multiple trays for storing the cut-out second sheets.
前記当接面は、第2のシートに対する当接圧力の調整手段として、加圧力調整バネ又はボイスコイルモータを備えることを特徴とする請求項2記載の貼替え装置。The tray reversing mechanism is a mechanism for adjusting a pressing amount and a pressing pressure to be pressed against the second sheet, and is attached to the first sheet on the second sheet at a device sticking position on the second sheet. From the side opposite to the side that presses the pasted device, it has a contact surface that presses the surface that has the same area as the pasted area,
The re-sticking device according to claim 2, wherein the contact surface includes a pressure adjusting spring or a voice coil motor as a means for adjusting a contact pressure with respect to the second sheet.
前記トレイ反転機構の前記第2のシートへの貼り替え位置には、前記トレイ反転機構により反転して前記第2のシートに貼付されたデバイスの裏面の外観検査を行う裏面検査カメラと、
がそれぞれ設けられたことを特徴とする請求項1記載の貼替え装置。At the receiving position of the supply tray of the tray reversing mechanism, a surface inspection camera that performs an appearance inspection of the surface of the device attached to the first sheet of the supply tray is provided,
At the repositioning position of the tray reversing mechanism to the second sheet, a back surface inspection camera that inspects the appearance of the back surface of the device that is reversed by the tray reversing mechanism and adhered to the second sheet;
Each of these is provided, The re-sticking apparatus of Claim 1 characterized by the above-mentioned.
前記トレイ反転機構の前記供給トレイの受け取り位置近傍には、当該供給トレイに関する分類情報を読み取るRFIDリーダが設けられ、
前記読み取られた分類情報に基づいて、当該供給トレイの第1のシートに貼付されたデバイスが貼り替えられた前記第2のシートに対して、前記識別情報を付す識別情報付与手段を備えたことを特徴とする請求項1記載の貼替え装置。The supply tray is provided with an IC tag storing classification information according to the characteristics of the device attached to the first sheet,
An RFID reader that reads classification information related to the supply tray is provided in the vicinity of the supply tray receiving position of the tray reversing mechanism,
Based on the read classification information, an identification information providing unit for adding the identification information to the second sheet in which the device attached to the first sheet of the supply tray is replaced is provided. The re-sticking device according to claim 1 characterized by things.
前記受け取り位置近傍に、前記トレイ上のデバイスを保持しない第1のシートの粘着面に対して、この第1のシートより強い粘着力を有するクリーニングテープを押し付けて、第1のシートの汚れを前記クリーニングテープに転写してクリーニングするクリーニング機構が設けられたことを特徴とする請求項1記載の貼替え装置。The tray reversing mechanism reverses the supply tray, attaches the device attached to the first sheet to the second sheet, and then reverses the device again to return to the receiving position of the supply tray. Composed of
In the vicinity of the receiving position, a cleaning tape having an adhesive force stronger than that of the first sheet is pressed against the adhesive surface of the first sheet that does not hold the device on the tray. 2. The rewriting device according to claim 1, further comprising a cleaning mechanism for transferring to a cleaning tape for cleaning.
前記第1のシートの粘着面に前記クリーニングテープを回転しながら押し付けるクリーニングローラと、
このクリーニングローラを前記第1のシート上で移動させるシリンダと、
を備えたことを特徴とする請求項8記載の貼替え装置。The cleaning mechanism includes:
A cleaning roller that rotates and presses the cleaning tape against the adhesive surface of the first sheet;
A cylinder for moving the cleaning roller on the first sheet;
9. The rewriting apparatus according to claim 8, further comprising:
前記クリーニングテープが巻回され、前記クリーニングローラに対して供給するテープローラと、
第1のシートの汚れを転写した使用済みのクリーニングローラを巻回して回収するクリーニング済みテープローラと、を備え、
前記クリーニング済みテープローラには、使用済みのクリーニングテープが、前記クリーニングローラの移動により逆流しないように、前記クリーニング済みテープローラの逆回転を防止するラチェットが設けられたことを特徴とする請求項9記載の貼替え装置。The cleaning mechanism includes:
A tape roller around which the cleaning tape is wound and supplied to the cleaning roller;
A cleaned tape roller that winds and collects a used cleaning roller to which the dirt on the first sheet has been transferred, and
10. The cleaned tape roller is provided with a ratchet that prevents reverse rotation of the cleaned tape roller so that the used cleaning tape does not flow backward due to movement of the cleaning roller. The rewriting device described.
前記分類装置により、特性検査により分類の判明したデバイスを、少なくとも対応する分類識別情報の付されたトレイに貼り付ける工程と、
前記トレイ交換機構により、前記ドラム型の分類機構からデバイスが満杯に分類されたトレイを受け取りマガジンに収納するとともに空のトレイをマガジンから受け取り前記ドラム型の分類装置へ供給する工程と、
貼替え機構により、デバイスが満杯のトレイを前記マガジンから受け取り保持し、このトレイ上の第1のシートに貼付されたデバイスを第2のシートに貼り替える工程と、
前記貼替え機構において保持されたトレイの前記分類識別情報を読み取る工程と、
シート供給機構により、前記貼替え機構によりトレイからデバイスを受け取る第2のシートを供給搬送する工程と、
前記シート切断機構により、デバイスの貼付された第2のシートを所定サイズで切り出す工程と、
前記切り出された第2のシートに対して、貼付されたデバイスに対応する前記分類識別情報を書き込む工程と、
前記収納棚に、切断された第2のシートを収納する工程と、
を順次実行することを特徴とするデバイスの分類貼替え方法。A drum-type sorting mechanism having a plurality of trays in which a plurality of devices holding a plurality of devices are detachably attached by a first sheet having adhesiveness, and a magazine that receives a tray in which devices are classified as full from the drum-type sorting mechanism A tray exchange mechanism for receiving an empty tray from a magazine and supplying the empty tray to the drum type sorting device, and a device that receives a tray full of devices from the magazine and is affixed to the first sheet on the tray. A re-stamping mechanism for re-stamping to a second sheet having adhesiveness; a sheet supply / transport mechanism for feeding and transporting a second sheet that receives a device from the tray by the re-stamping mechanism; and a second sheet to which the device is adhered Debugging performed using a sheet cutting mechanism for cutting out at a predetermined size and a storage shelf for storing the cut second sheet In the classification stuck sorting method of the scan,
A step of pasting a device whose classification is found by characteristic inspection by the classification device to a tray with at least corresponding classification identification information;
Receiving trays classified as full from the drum type sorting mechanism by the tray exchange mechanism, storing them in a magazine, and receiving empty trays from the magazine and supplying them to the drum type sorting device;
Receiving and holding a tray full of devices from the magazine by the repositioning mechanism, and reattaching the device affixed to the first sheet on the tray to the second sheet;
Reading the classification identification information of the tray held in the repositioning mechanism;
Supplying and transporting a second sheet that receives a device from the tray by the sheet-replacement mechanism by the sheet supply mechanism;
A step of cutting out the second sheet to which the device is attached by a predetermined size by the sheet cutting mechanism;
The step of writing the classification identification information corresponding to the pasted device on the cut out second sheet;
Storing the cut second sheet in the storage shelf;
A method for classifying and pasting a device, wherein the device is sequentially executed.
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