JP4456465B2 - Load stabilization method for automatic control system - Google Patents

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Description

この発明は、複数の分散システムの動作を一元管理する自動制御システムの負荷安定化方法に関するものである。
連続終日稼動の完全自動化システムでは、複数の分散システムの状態を中央管理システムで監視しながら、起動動作と終了動作とを自動制御する。このような完全自動化システムでは、各分散システムを一定時間毎に起動する時間単位起動方式あるいは各分散システムの状態が変化する毎に起動するイベント駆動方式で負荷の安定化を図っている。そして、このような負荷安定化機能をさらに発展させて、負荷集中による中央管理システムでの処理効率の低下を防止する必要がある。
The present invention relates to a load stabilization method for an automatic control system that centrally manages the operations of a plurality of distributed systems.
In a fully automated system that operates continuously all day long, the start operation and end operation are automatically controlled while monitoring the status of a plurality of distributed systems with a central management system. In such a fully automatic system, the load is stabilized by a time unit activation method in which each distributed system is activated at regular time intervals or an event drive method in which each distributed system is activated every time the state of each distributed system changes. Then, it is necessary to further develop such a load stabilization function to prevent a reduction in processing efficiency in the central management system due to load concentration.

図13は、完全自動化システムの一例を示す。中央管理システム1には多数の分散システム2が接続され、各分散システムの開始条件及び終了条件に基づいて、各分散システム2の開始動作及び終了動作が中央管理システム1により連続終日稼動で自動制御される。   FIG. 13 shows an example of a fully automated system. A number of distributed systems 2 are connected to the central management system 1, and the start and end operations of each distributed system 2 are automatically controlled by the central management system 1 for continuous all day operation based on the start and end conditions of each distributed system. Is done.

図14は、完全自動化システムの一例として半導体の製造データ変換処理システムを示す。システムA〜Dは分散システムであり、システムA〜Cの情報に基づいて、システムDが中央管理システム1で自動起動される場合を示す。例えば、システムAはオーダー管理システムであり、システムBは領域管理システム、システムCは製造パラメータ管理システムであり、システムDは設計データとシステムA〜Cの情報とに基づいて製造データを作成するシステムである。   FIG. 14 shows a semiconductor manufacturing data conversion processing system as an example of a fully automated system. The systems A to D are distributed systems, and the case where the system D is automatically started by the central management system 1 based on the information of the systems A to C is shown. For example, system A is an order management system, system B is an area management system, system C is a manufacturing parameter management system, and system D is a system that creates manufacturing data based on design data and information of systems A to C. It is.

そして、中央管理システム1はシステムA〜Cで必要となる情報がすべて揃うと、システムDにシステム起動JOBキューを出力し、システムDはそのJOBキューに基づいて設計データから製造データを生成する処理を開始する。   When the central management system 1 has all the information necessary for the systems A to C, it outputs a system startup JOB queue to the system D, and the system D generates manufacturing data from the design data based on the JOB queue. To start.

図15は、図14に示す完全自動化システムにおける従来の時間単位起動方式の動作を示す。中央管理システム1は、システムA〜Cで必要な情報が揃ったか否かを一定時間毎にシステムA〜Cに問い合わせ(ステップ1〜3)、必要な情報が揃った時点でその情報を取り込み(ステップ4)、システムDを起動する直接JOBキューを生成して貯めていく(ステップ5)。   FIG. 15 shows the operation of the conventional time unit activation method in the fully automated system shown in FIG. The central management system 1 inquires of the systems A to C at regular intervals whether or not necessary information is prepared in the systems A to C (steps 1 to 3), and takes in the information when the necessary information is prepared ( Step 4), a direct job queue for starting the system D is generated and stored (step 5).

図16は、図14に示す完全自動化システムにおける従来のイベント駆動方式の動作を示す。中央管理システム1は、システムA〜Cでイベント(状態変化)が発生したか否かを監視し(ステップ11)、イベントの発生を受信すると、システムA〜Cで必要な情報が揃ったか否かをシステムA〜Cに問い合わせる(ステップ12)。そして、システムA〜Cで必要な情報が揃った時点で情報を取り込み(ステップ14)、システムDを起動する直接JOBキューを生成して貯めていく(ステップ15)。   FIG. 16 shows the operation of a conventional event-driven system in the fully automated system shown in FIG. The central management system 1 monitors whether or not an event (state change) has occurred in the systems A to C (step 11). When the occurrence of the event is received, whether or not necessary information has been prepared in the systems A to C. Are inquired of the systems A to C (step 12). Then, when necessary information is prepared in the systems A to C, the information is taken in (step 14), and a direct job queue for starting the system D is generated and stored (step 15).

いずれの方式においても、各分散システムの状況に応じて中央管理システムの応答性を損なわず、かつ中央管理システム及び各分散システムの負荷を軽減することが望ましい。
特許文献1には、上記のような完全自動化システムに類似するデータベースシステムが開示されている。
特開2001−14336号公報
In any method, it is desirable to reduce the load on the central management system and each distributed system without impairing the responsiveness of the central management system depending on the situation of each distributed system.
Patent Document 1 discloses a database system similar to the fully automated system as described above.
JP 2001-14336 A

上記のような時間単位起動方式で動作するシステムでは、分散システムでのイベントの発生の有無に関わらず、システムA〜Cで必要な情報が揃ったか否かを一定時間毎にシステムA〜Cに問い合わせるため、中央管理システム1において、その問い合わせのための処理工数が増大する。   In a system that operates by the time unit activation method as described above, whether or not necessary information is prepared in the systems A to C is determined by the systems A to C at regular intervals regardless of whether or not an event has occurred in the distributed system. In order to make an inquiry, the central management system 1 increases the number of processing steps for the inquiry.

すなわち、システムA〜Cで必要な情報が揃ってから、直接JOBキューの生成までの応答性を向上させようとすると、問い合わせを行う時間間隔を短くする必要があるが、これは問い合わせのための処理工数が増大することになる。一方、問い合わせを行う時間間隔を長くすると、応答性が低下する。また、システムA〜Cでイベントが発生したか否かを無限に検出し続ける必要がある。   That is, in order to improve the responsiveness from the preparation of necessary information in the systems A to C to the generation of the JOB queue directly, it is necessary to shorten the time interval for making an inquiry. Processing man-hours will increase. On the other hand, if the time interval for making an inquiry is lengthened, the responsiveness decreases. Further, it is necessary to continuously detect whether or not an event has occurred in the systems A to C.

従って、応答性を十分に確保しようとすると、中央管理システム1の負荷が増大するという問題点がある。
一方、イベント駆動方式では、システムA〜Cにイベントが発生した場合にのみ問い合わせを行うため、中央管理システム1による無駄な問い合わせがなくなり、負荷の増大が抑制される。
Therefore, there is a problem that the load on the central management system 1 increases if sufficient responsiveness is to be ensured.
On the other hand, in the event driving method, since an inquiry is made only when an event occurs in the systems A to C, there is no useless inquiry by the central management system 1, and an increase in load is suppressed.

また、イベントの発生に応じて直接JOBキューが生成されるため、時間単位起動方式に比して応答性に優れているとともに、直接JOBキューの生成後にシステムA〜Cで情報の差し替えが発生しても、その新たなイベントの発生に基づいて直接JOBキューを新たに生成することも可能である。   In addition, since a JOB queue is directly generated in response to the occurrence of an event, the response is superior to the time unit activation method, and information is replaced in the systems A to C after the generation of the direct JOB queue. However, it is also possible to directly generate a new JOB queue based on the occurrence of the new event.

しかし、イベントの発生に応じて問い合わせ回数及び直接JOBキューを生成する回数が増大するため、システムDを自動起動するためのイベントの発生が増大すると、中央管理システム1の負荷が増大するという問題点がある。   However, since the number of inquiries and the number of direct job queue generations increase according to the occurrence of an event, if the occurrence of an event for automatically starting the system D increases, the load on the central management system 1 increases. There is.

この発明の目的は、イベントの発生が増大しても、負荷の増大を抑制して、応答性に優れた自動制御システムを提供することにある。   An object of the present invention is to provide an automatic control system having excellent responsiveness by suppressing an increase in load even if the occurrence of an event increases.

上記目的は、複数の分散システムのいずれかのイベントの発生、中央管理システムの負荷状態とに基づいて、前記イベントに対応する被制御側の分散システムを起動するJOBキューである“直接JOBキュー”又は状態変化のみを記録したJOBキューである“状態変化記録キュー”を前記中央管理システムで生成する自動制御システムであって、前記中央管理システム及び前記被制御側の分散システムの負荷に応じて前記“状態変化記録キュー”を貯える貯留時間を調整し、前記状態変化記録キューの中から、前記貯留時間中に時間の経過とともに不要となる状態変化記録を抹消し、抹消後の状態変化記録キューに基づいて前記直接JOBキューを生成する自動制御システムの負荷安定化方法により達成される。 The above object is a “direct JOB queue” which is a JOB queue for starting a controlled distributed system corresponding to an event based on the occurrence of any event of a plurality of distributed systems and the load state of the central management system. Or an automatic control system that generates a “state change recording queue”, which is a JOB queue that records only state changes , in accordance with the load on the central management system and the distributed system on the controlled side. The storage time for storing the “state change record queue” is adjusted, and the state change record that becomes unnecessary with the passage of time during the storage time is deleted from the state change record queue , and the state change after deletion This is achieved by a load stabilization method of an automatic control system that generates the direct JOB queue based on a recording queue.

本発明によれば、イベントの発生が増大しても、負荷の増大を抑制して、応答性に優れた自動制御システムを提供することができる。   According to the present invention, even if the occurrence of an event increases, it is possible to provide an automatic control system with excellent responsiveness by suppressing an increase in load.

以下、この発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。この実施の形態は、図14に示す半導体の製造データ変換処理システムと同様なシステムを示し、中央管理システム11の機能を除いて、図14に示す構成と同様である。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. This embodiment shows a system similar to the semiconductor manufacturing data conversion processing system shown in FIG. 14 and is the same as the configuration shown in FIG. 14 except for the function of the central management system 11.

図1に示す中央管理システム11は、基本的にイベント駆動方式で動作し、従来例と同様にシステムA〜Cでのイベントの発生に基づいて直接JOBキューを生成する機能と、システムA〜Cでのイベントの発生に基づく状態変化記録キューを生成する機能と、不要となる状態変化記録を抹消する機能とを備える。   The central management system 11 shown in FIG. 1 basically operates in an event-driven manner, and similarly to the conventional example, a function for directly generating a JOB queue based on the occurrence of an event in the systems A to C, and the systems A to C And a function for generating a state change recording queue based on the occurrence of an event at, and a function for erasing unnecessary state change recording.

中央管理システム11は、あらかじめ備えられる状態変化データベースの検索機能を利用して、イベント発生に基づいて状態変化記録キュー(JOBとしての状態変化記録を含む)を生成する。以下、中央管理システム11の状態変化記録キューの生成機能について説明する。   The central management system 11 generates a state change recording queue (including a state change record as a JOB) based on the occurrence of an event by using a state change database search function provided in advance. Hereinafter, the function of generating the state change recording queue of the central management system 11 will be described.

図2は、システムA〜Cの複数の情報に基づいて状態変化記録キューを生成する基本的動作の一例を示し、システムAのA1〜A3項目と、システムBのB1,B2項目と、システムCのC1〜C4項目とに基づいてJOBキューを生成する場合を示す。   FIG. 2 shows an example of a basic operation for generating a state change recording queue based on a plurality of information of the systems A to C. The items A1 to A3 of the system A, the items B1 and B2 of the system B, and the system C A case where a JOB queue is generated based on the C1 to C4 items in FIG.

まず、システムA〜Cにおいて各項目の情報が揃うと、その情報は中央管理システム11に順次取り込まれて保持される。このとき、システムA〜Cの各項目の情報は、システムDを起動するために必要な情報であるため、A1〜A3項目、B1,B2項目、C1〜C4項目をすべて共通のLAグループとする。   First, when information on each item is prepared in the systems A to C, the information is sequentially taken in and held in the central management system 11. At this time, since the information of each item of the systems A to C is information necessary for starting the system D, the items A1 to A3, the items B1 and B2, and the items C1 to C4 are all set as a common LA group. .

すると、図3に示すように、システムA〜Cにおいて必要な情報が揃い、システムA〜Cにおいて1回ずつイベントの変化があったことに基づいて、LAグループに状態変化有りとする3つの状態変化記録キュー(1)〜(3)が生成される。   Then, as shown in FIG. 3, the three states that the LA group has a state change based on the fact that necessary information is prepared in the systems A to C and the event has changed once in each of the systems A to C. Change recording queues (1) to (3) are generated.

次いで、例えば10分後にシステムAの項目A2が変更されると、LAグループに状態変化有りとする4つ目の状態変化記録キュー(4)が生成される。また、さらに50分後にシステムBの項目B1が変更されると、LAグループに状態変化有りとする5つ目の状態変化記録キュー(5)が生成される。また、さらに30分後にシステムCの項目C4が変更されると、LAグループに状態変化有りとする6つ目の状態変化記録キュー(6)が生成される。   Next, for example, when the item A2 of the system A is changed after 10 minutes, a fourth state change recording queue (4) in which there is a state change in the LA group is generated. Further, when the item B1 of the system B is further changed after 50 minutes, a fifth state change recording queue (5) in which there is a state change in the LA group is generated. Further, when the item C4 of the system C is further changed after 30 minutes, a sixth state change recording queue (6) in which there is a state change in the LA group is generated.

ここで、各状態変化記録キュー(1)〜(6)の生成毎に直接JOBキューを生成すれば、通常のイベント駆動方式と同一となるが、本実施の形態では、後述の負荷環境パラメータに基づいて、システムDの負荷が高くなるにつれて、中央管理システム11の負荷を低くするために、直接JOBキューの生成回数を削減する。すなわち、状態変化記録キュー(1)〜(3)が生成されてから90分後の最後の状態変化記録キュー(6)に基づいて直接JOBキューを生成すれば、システムDでは最新の情報に基づいて所要の製造データの生成が可能であるからである。   Here, if a JOB queue is directly generated for each state change recording queue (1) to (6), it becomes the same as a normal event driving method, but in this embodiment, a load environment parameter described later is used. Based on this, as the load on the system D increases, the number of direct job queue generations is reduced in order to reduce the load on the central management system 11. That is, if the job queue is directly generated based on the last state change recording queue (6) 90 minutes after the state change recording queues (1) to (3) are generated, the system D uses the latest information. This is because required manufacturing data can be generated.

しかし、通常の場合には、変更の終わりを予知できないため、最後の状態変化を判断することが難しい。
従って、状態変化記録キュー貯留時間を負荷に応じて調整し、その貯留時間中において必要となる最後の状態変化記録キューに基づいて直接JOBキューを生成する。
However, in the normal case, since the end of the change cannot be predicted, it is difficult to determine the last state change.
Therefore, the state change recording queue storage time is adjusted according to the load, and the JOB queue is directly generated based on the last state change recording queue required during the storage time.

図4は、システムA〜CとシステムEの情報に基づいて、複数の製品のための製造データを生成する場合の状態変化記録キューの生成動作を示す。この場合、システムA〜Cからの3つのグループLA〜LCの情報に基づいて、3種類の製造データをシステムDで生成する。システムEの情報は各グループLA〜LCについて共通に使用される情報である。   FIG. 4 shows a state change recording queue generating operation when manufacturing data for a plurality of products is generated based on the information of the systems A to C and the system E. In this case, three types of manufacturing data are generated by the system D based on the information of the three groups LA to LC from the systems A to C. The information of the system E is information commonly used for the groups LA to LC.

図5は、このような場合において、システムEの情報が3回変更になった場合の状態変化記録キューを示す。同図に示すように、システムEの情報の3回の変更により、各グループLA〜LCについて3つずつの状態変化記録キューが生成される。   FIG. 5 shows the state change recording queue when the information of the system E is changed three times in such a case. As shown in the drawing, three state change recording queues are generated for each of the groups LA to LC by three changes of the information of the system E.

この場合には、後述の負荷環境パラメータにより、少なくとも状態変化記録キュー(7)〜(9)に基づいて直接JOBキューを生成すれば各グループLA〜LCに対応する製造データをシステムDで生成可能である。もちろん、状態変化記録キュー(1)〜(9)に基づいて、直接JOBキューを9回生成することも可能である。   In this case, production data corresponding to each of the groups LA to LC can be generated by the system D if the job queue is directly generated based on at least the state change recording queues (7) to (9) according to the load environment parameters described later. It is. Of course, the JOB queue can be directly generated nine times based on the state change recording queues (1) to (9).

図6は、図5に示す動作において、各グループLA〜LCを1つのオーダー0001グループとして定義する場合を示す。このように定義すると、各グループLA〜LCが1つのグループとして認識されるので、各グループLA〜LCを独立したグループとした場合の9つの状態変化記録キュー(1)〜(9)が、システムEの情報の3回の変更による3つの状態変化記録キュー(11)〜(13)に集約される。   FIG. 6 shows a case where the groups LA to LC are defined as one order 0001 group in the operation shown in FIG. If defined in this way, each group LA to LC is recognized as one group, and therefore, nine state change recording queues (1) to (9) when the groups LA to LC are made into independent groups are included in the system. E is collected in three state change recording queues (11) to (13) due to three changes of information.

従って、システムEの情報の3回の変更により直接JOBキューが3回だけ生成されることにより中央管理システム11の負荷が軽減される。
もちろん、負荷に応じて、最後の状態変化記録キュー(13)に基づいて直接JOBキューを1回だけの生成にすることも可能である。
Therefore, the load of the central management system 11 is reduced by directly generating the JOB queue three times by changing the information of the system E three times.
Of course, depending on the load, the JOB queue can be directly generated only once based on the last state change recording queue (13).

しかし、このような場合には、例えばグループLAでのみ状態変化が発生した場合にも、すべてのグループLA〜LCについて状態変化記録キューが生成されて、直接JOBキューが生成されることになるため、後述の通過フィルター機能を備えることが好ましい。   However, in such a case, for example, even when a state change occurs only in the group LA, a state change recording queue is generated for all the groups LA to LC, and a JOB queue is directly generated. It is preferable to provide a later-described pass filter function.

図7は、中央管理システム11のフィルター機能の動作を示す。このフィルター機能は、上記のようなオーダー0001グループを定義した場合、グループLA〜LCの情報に基づいて直接JOBキューを生成したか否かを示すフラグを設定する。そして、そのフラグが設定されているグループは、他のグループにおいて状態変化が発生しても、当該グループの情報に基づくシステムDの起動を阻止して、負荷を軽減しようとするものである。   FIG. 7 shows the operation of the filter function of the central management system 11. This filter function sets a flag indicating whether or not a JOB queue has been generated directly based on the information of the groups LA to LC when the order 0001 group as described above is defined. The group in which the flag is set intends to reduce the load by preventing the system D from being activated based on the information of the group even if a state change occurs in another group.

すなわち、イベントの発生に基づいて、状態変化記録キューを生成する(ステップ21,22)。次いで、システムEの情報の変更であるか否かを判別し(ステップ23)、システムEの情報の変更である場合には、グループLA〜LCに起動済フラグを設定する(ステップ24)。そして、システムDを起動する直接JOBキューを生成する(ステップ25)。   That is, a state change recording queue is generated based on the occurrence of an event (steps 21 and 22). Next, it is determined whether or not the information of the system E is changed (step 23). If the information of the system E is changed, the activated flag is set in the groups LA to LC (step 24). Then, a direct job queue for starting the system D is generated (step 25).

ステップ23において、システムEの情報の変更ではなく、グループLA〜LCに対し起動済のフラグがすでに設定されているか否かを判別する(ステップ26)。そして、フラグの設定がない場合には、ステップ24に移行する。   In step 23, it is determined whether or not the activated flag has already been set for the groups LA to LC instead of changing the information of the system E (step 26). If no flag is set, the process proceeds to step 24.

ステップ26において、グループLA〜LCに対し起動済のフラグがすでに設定されていて、例えばシステムAの情報のみが変更された場合には、グループLAについては起動済フラグを解除して(ステップ27)、グループLAの変更情報に基づいてシステムDを起動する直接JOBキューを生成し(ステップ28)、グループLB,LCについては直接JOBキューの生成を行わない。   In step 26, the activated flag is already set for the groups LA to LC. For example, when only the information of the system A is changed, the activated flag is canceled for the group LA (step 27). Based on the change information of the group LA, a direct job queue for starting the system D is generated (step 28), and no direct job queue is generated for the groups LB and LC.

そして、グループLAに対し起動済フラグを設定して(ステップ29)、動作を終了する。
図8は、負荷環境パラメータに基づくJOBキューの振り分け機能を示す。この機能は、中央管理システム11に貯められる直接JOBキュー及び状態変化記録キューの数を調整して、各分散システムを効率よく制御する機能である。
Then, an activated flag is set for the group LA (step 29), and the operation is terminated.
FIG. 8 shows a job queue distribution function based on load environment parameters. This function is a function for efficiently controlling each distributed system by adjusting the number of direct job queues and state change recording queues stored in the central management system 11.

すなわち、イベントの発生に基づいて、直接JOBキューの貯まっているJOB状態を取得し(ステップ31,32)、外部環境に応じた負荷環境パラメータを自動補正する(ステップ33)。   That is, based on the occurrence of an event, the job status stored directly in the job queue is acquired (steps 31 and 32), and the load environment parameter corresponding to the external environment is automatically corrected (step 33).

負荷環境パラメータは、直接JOBキューの上限値、その上限値の設定期間、直接JOBキューの貯留状態等であり、ステップ33では、直接JOBキューの上限値を例えば5に設定し、設定期間は90日とする。そして、ステップ33では状態変化記録キューが貯まっているにも関わらず、直接JOBキューの貯留数(未処理数)が0となるタイミングが存在する場合に、直接JOBキューの上限値を6に再設定する。   The load environment parameters are the upper limit value of the direct JOB queue, the setting period of the upper limit value, the storage state of the direct JOB queue, etc. In step 33, the upper limit value of the direct JOB queue is set to 5, for example, and the setting period is 90. Day. In step 33, if there is a timing when the number of direct JOB queue storage (unprocessed number) becomes 0 even though the state change recording queue is stored, the upper limit value of the direct JOB queue is reset to 6. Set.

一方、直接JOBキューの上限値を6に設定し、そのまま変更されることのない状態が90日以上続くと、直接JOBキューの上限値を5に再設定する。
このような負荷環境パラメータに基づいて、直接JOBキューの貯留状態を監視し、直接JOBキューの貯留数が多いとき、すなわち負荷が高いときには状態変化記録キューを生成し、負荷が低いときには直接JOBキューを生成するように動作する(ステップ34)。
On the other hand, if the upper limit value of the direct JOB queue is set to 6 and the state that is not changed as it is continues for 90 days or more, the upper limit value of the direct JOB queue is reset to 5.
Based on such load environment parameters, the storage state of the direct job queue is monitored, and when the number of direct job queue storage is large, that is, when the load is high, a state change recording queue is generated, and when the load is low, the direct job queue is generated. Is generated (step 34).

次に、上記のような機能を備えた中央管理システムの動作を説明する。図9は、図1に示す各システムを起動する中央管理システム11の基本動作を示す。すなわち、分散システムを起動するための開始条件、すなわち所要の情報が揃うと、中央管理システム11は起動JOBを直接JOBキューとして貯める(ステップ41)。このとき、直接JOBキューの貯留状態等が負荷環境パラメータに通知される。   Next, the operation of the central management system having the above functions will be described. FIG. 9 shows a basic operation of the central management system 11 for starting each system shown in FIG. That is, when the start condition for starting the distributed system, that is, necessary information is prepared, the central management system 11 directly stores the start JOB as a JOB queue (step 41). At this time, the storage status of the JOB queue is directly notified to the load environment parameter.

次いで、直接JOBキューの生成が終了すると、終了したシステムの処理動作が他の分散システムのイベント駆動に影響するか否か、すなわち直接JOBキューの残留があるか否かを判定する(ステップ42)。そして、影響がない場合には次の分散システムを起動するための開始条件が揃うまで待機する状態となる。   Next, when the generation of the direct JOB queue is completed, it is determined whether or not the processing operation of the terminated system affects the event driving of other distributed systems, that is, whether or not there is a direct JOB queue remaining (step 42). . If there is no influence, the system waits until the start conditions for starting the next distributed system are met.

ステップ32において、直接JOBキューの残留はあるがその数が少ない場合には、次の分散システムに対する起動JOBを直接JOBキューとして生成する。また、直接JOBキューの残留数が多い場合には、状態変化記録キューを生成する(ステップ43)。   In step 32, if there is a direct job queue remaining but its number is small, an activation job for the next distributed system is generated as a direct job queue. If the number of remaining direct job queues is large, a state change recording queue is generated (step 43).

そして、状態変化記録キューを貯留し、貯留期間中に不要となる状態変化記録を抹消する(ステップ44)。
次いで、負荷環境パラメータの状態に応じて、未処理の直接JOBキューが減少したときに、状態変化記録キューに応じた直接JOBキューを生成する。このとき、前記フィルター機能により無用な状態変化記録を抹消して、直接JOBキューを生成する(ステップ45)。
Then, the state change record queue is stored, and the state change record which becomes unnecessary during the storage period is deleted (step 44).
Next, when the number of unprocessed direct JOB queues decreases according to the state of the load environment parameter, a direct JOB queue corresponding to the state change recording queue is generated. At this time, unnecessary state change records are deleted by the filter function, and a JOB queue is directly generated (step 45).

図10〜図12は、図2に示す半導体の製造データ変換処理システムにおける具体的動作を示す。
図10は、システムDに対する負荷が低い場合を示す。この場合には、(1)から(6)の6回のイベントに対し、中央管理システム11ではそれぞれ6回の問い合わせをシステムA〜Cに行い、このうち必要な情報が揃う(3)〜(6)の4回のイベントに対し、直接JOBキューを生成し、システムDを4回起動する。
10 to 12 show specific operations in the semiconductor manufacturing data conversion processing system shown in FIG.
FIG. 10 shows a case where the load on the system D is low. In this case, for the six events (1) to (6), the central management system 11 makes six inquiries to the systems A to C, and necessary information is prepared (3) to ( For the four events in 6), a JOB queue is directly generated and the system D is activated four times.

図11は、システムDに対する負荷が高い場合を示す。この場合には、(1)から(6)の6回のイベントに対し、中央管理システム11ではそれぞれ状態変化記録キューを生成して貯え、最後のイベント(6)に対してのみ状態変化記録キューに基づいてシステムA〜Cに問い合わせを行い、直接JOBキューを生成し、システムDを1回起動する。   FIG. 11 shows a case where the load on the system D is high. In this case, for the six events (1) to (6), the central management system 11 generates and stores a state change recording queue for each event, and the state change recording queue only for the last event (6). The system A to C is inquired based on the above, a job queue is directly generated, and the system D is activated once.

図12は、システムDに対する負荷が高い状態あるいは低い状態に変化する場合を示す。すなわち、(1)(2)のイベントでシステムDに対する負荷が高いと、中央管理システム11ではそれぞれ状態変化記録キューを生成して貯える。また、(3)(4)のイベントでシステムDに対する負荷が低いと、中央管理システム11ではそれぞれ問い合わせを行い、直接JOBキューを生成してシステムDを起動する。さらに、(5)(6)のイベントでシステムDに対する負荷が高いと、中央管理システム11ではそれぞれ状態変化記録キューを生成して貯え、最後のイベント(6)に対してのみ状態変化記録キューに基づいてシステムA〜Cに問い合わせを行い、直接JOBキューを生成し、システムDを起動する。   FIG. 12 shows a case where the load on the system D changes to a high state or a low state. That is, when the load on the system D is high due to the events (1) and (2), the central management system 11 generates and stores a state change record queue. When the load on the system D is low due to the events (3) and (4), the central management system 11 makes an inquiry, generates a JOB queue directly, and starts the system D. Further, when the load on the system D is high in the events (5) and (6), the central management system 11 generates and stores the state change record queues respectively, and only in the state change record queue for the last event (6). Based on this, the system A to C are inquired, a job queue is directly generated, and the system D is activated.

従って、システムDに対する負荷が高い図11、図12の場合には、図10に示す負荷が低い場合に比して、中央管理システム11の問い合わせ回数及びシステムDの起動回数が削減される。   Therefore, in the case of FIGS. 11 and 12 in which the load on the system D is high, the number of inquiries of the central management system 11 and the number of activations of the system D are reduced compared to the case in which the load shown in FIG. 10 is low.

上記のような自動制御システムでは、次に示す作用効果を得ることができる。
(1)イベントの発生に基づいて、状態変化記録キューを生成し、その状態変化記録キューの中から時間の経過とともに不要となるものを抹消し、抹消後の状態変化記録キューに基づいて直接JOBキューを生成するので、イベントの増加にともなう負荷の増大を抑制することができる。
(2)従来のイベント駆動方式と同様に、イベントの発生に基づいてシステムの起動を行うことができるので、イベントの発生に対する応答性を確保することができる。
(3)イベントの発生により生成する状態変化記録キューをグループ化することにより、イベントの増加にともなう負荷の増大を抑制することができる。
(4)状態変化記録キューに基づいて直接JOBキューを生成するとき、フィルター機能により、状態変化記録キューのグループ化に起因するシステムの重複起動を防止することができる。
(5)負荷環境パラメータに基づいて、イベントの発生により状態変化記録キューを生成するか、直接JOBキューを生成するかを選択することができるので、負荷の状態に応じた負荷安定化機能を備えることができる。
In the automatic control system as described above, the following operational effects can be obtained.
(1) A state change recording queue is generated based on the occurrence of an event, and unnecessary ones are deleted from the state change recording queue as time elapses, and a direct job is executed based on the state change recording queue after the deletion. Since the queue is generated, an increase in load due to an increase in events can be suppressed.
(2) Since the system can be activated based on the occurrence of an event as in the conventional event driving method, responsiveness to the occurrence of the event can be ensured.
(3) By grouping the state change recording queues generated by the occurrence of an event, it is possible to suppress an increase in load accompanying an increase in the event.
(4) When the job queue is directly generated based on the state change recording queue, it is possible to prevent the system from being duplicated due to the grouping of the state change recording queue by the filter function.
(5) Since it is possible to select whether to generate a state change recording queue or to directly generate a JOB queue when an event occurs based on a load environment parameter, a load stabilization function according to the load state is provided. be able to.

上記実施の形態は、次に示すように変更してもよい。
・半導体の製造データ変換処理システム以外の完全自動化システムにも同様に実施してもよい。
The above embodiment may be modified as follows.
-You may implement similarly to fully automatic systems other than the semiconductor manufacturing data conversion processing system.

半導体の製造データ変換処理システムを示すブロック図である。It is a block diagram which shows the manufacturing data conversion processing system of a semiconductor. 中央管理システムの動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows operation | movement of a central management system. 状態変化記録キューを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a state change recording queue. 状態変化記録キューの生成動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the production | generation operation | movement of a state change recording queue. 状態変化記録キューを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a state change recording queue. 状態変化記録キューを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a state change recording queue. フィルター機能の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a filter function. 負荷環境パラメータに基づくJOBキューの振り分け動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows distribution operation | movement of the JOB queue based on a load environment parameter. 中央管理システムの基本動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the basic operation | movement of a central management system. 製造データ変換処理システムの具体的動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the specific operation | movement of a manufacturing data conversion processing system. 製造データ変換処理システムの具体的動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the specific operation | movement of a manufacturing data conversion processing system. 製造データ変換処理システムの具体的動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the specific operation | movement of a manufacturing data conversion processing system. 完全自動化システムを示すブロック図である。1 is a block diagram illustrating a fully automated system. 従来の製造データ変換処理システムを示すブロック図である。It is a block diagram which shows the conventional manufacturing data conversion processing system. 従来の時間単位駆動方式の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the operation | movement of the conventional time unit drive system. 従来のイベント駆動方式の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the operation | movement of the conventional event drive system.

符号の説明Explanation of symbols

2 分散システム
11 中央管理システム
2 Distributed system 11 Central management system

Claims (4)

複数の分散システムのいずれかのイベントの発生、中央管理システムの負荷状態とに基づいて、前記イベントに対応する被制御側の分散システムを起動するJOBキューである“直接JOBキュー”又は状態変化のみを記録したJOBキューである“状態変化記録キュー”を前記中央管理システムで生成する自動制御システムであって、
前記中央管理システム及び前記被制御側の分散システムの負荷に応じて前記“状態変化記録キュー”を貯える貯留時間を調整し、前記状態変化記録キューの中から、前記貯留時間中に時間の経過とともに不要となる状態変化記録を抹消し、抹消後の状態変化記録キューに基づいて前記直接JOBキューを生成することを特徴とする自動制御システムの負荷安定化方法。
A “direct JOB queue” or status change that is a JOB queue that activates the controlled distributed system corresponding to the event based on the occurrence of any event of a plurality of distributed systems and the load state of the central management system An automatic control system that generates a “state change recording queue” that is a JOB queue in which only the data is recorded by the central management system ,
Wherein adjusting the dwell time to store the "state change recording queue" in accordance with the load of the central management system and the controlled side of the distributed system, wherein from the "state change recording queue", the time during said dwell time A method for stabilizing the load of an automatic control system, wherein state change records that become unnecessary as time elapses are deleted, and the " direct JOB queue " is generated based on a state change record queue after deletion.
前記状態変化記録キューをグループ化し、当該グループ毎に前記直接JOBキューを生成することを特徴とする請求項1記載の自動制御システムの負荷安定化方法。 The grouping of "state-change recording queue", the load stabilizing method of an automatic control system of claim 1 Symbol placement and generates the "direct JOB queue" for each such group. グループ化された各“状態変化記録キュー”に対応するイベント毎に、起動済フラグを設定し、該起動済フラグに基づいて前記分散システムの重複起動を阻止することを特徴とする請求項記載の自動制御システムの負荷安定化方法。 3. The activated flag is set for each event corresponding to each grouped state change recording queue , and the redundant activation of the distributed system is prevented based on the activated flag. Load stabilization method for automatic control system. 前記中央管理システム及び被制御側の分散システムの負荷の状態を負荷環境パラメータに格納し、該負荷環境パラメータに基づいて、前記イベントの発生により前記状態変化記録キューと前記直接JOBキューのいずれを生成するかを振り分けることを特徴とする請求項1乃至のいずれか1項に記載の自動制御システムの負荷安定化方法。 Load states of the central management system and the distributed system on the controlled side are stored in load environment parameters, and based on the load environment parameters, the state change recording queue and the direct JOB queue are generated by the occurrence of the event. The load stabilization method for an automatic control system according to any one of claims 1 to 3 , wherein which one of the two is generated is distributed.
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