JP4454482B2

JP4454482B2 - 流体軸受装置およびスピンドルモータ

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Publication number: JP4454482B2
Application number: JP2004356110A
Authority: JP
Inventors: 薫上之園; 洋生吉川
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2004-12-09
Filing date: 2004-12-09
Publication date: 2010-04-21
Anticipated expiration: 2024-12-09
Also published as: JP2006161988A

Description

本発明は磁気ディスク、光ディスクなどを回転駆動するスピンドルモータ、およびこのスピンドルモータなどに使用される流体軸受装置に関するものである。

ハードディスク装置のスピンドルモータなどに用いられている軸受装置として、従来用いられていた玉軸受装置に代わって、玉軸受よりも回転精度が優れ、しかも静音性にも優れる流体軸受装置が多く採用されつつある。

この種の流体軸受装置として、例えば特許文献１に開示された流体軸受装置がある。この流体軸受装置は、図１５に示すように、シャフト５１と、このシャフト５１に対して間隙を介して外周に配置されたスリーブ５２と、シャフト５１の両端部に設けられ、スリーブ５２の両端面に対して間隙を有する姿勢で配置された太径のスラストフランジ５３、５４とを備えており、シャフト５１の外周面とスリーブ５２の内周面との間の間隙、およびスラストフランジ５３、５４の内側の面（スラストフランジ５３の下面とスラストフランジ５４の上面）とこれに対向するスリーブ５２の両端面との間の間隙には潤滑油からなる作動流体が充填されている。そして、シャフト５１の外周面に動圧溝５６が形成され、図外のモータ回転駆動力などによりシャフト５１とスリーブ５２とが相対的に回転された際に、この動圧溝５６により掻き出される作動流体の力により、シャフト５１とスリーブ５２とがラジアル方向（半径方向）に所定間隙を介して回転自在に支持されるラジアル流体軸受が構成されている。また、スラストフランジ５３、５４の内側の面に動圧溝５７、５８が形成され、前記回転駆動力などによりシャフト５１に取り付けられたスラストフランジ５３、５４とスリーブ５２とが相対的に回転された際に、この動圧溝５７、５８により掻き出される作動流体の力により、シャフト５１とスリーブ５２とがスラスト方向（軸心方向）に所定間隙を介して回転自在に支持されるスラスト流体軸受が構成されている。

また、この流体軸受装置では、スリーブ５２における内周面と外周面との間の中間箇所に、軸心を中心として適当角度（例えば１８０度）おきに、軸心と平行に延びる複数の連通路５９が形成されている。そして、これらの連通路５９により、スラストフランジ５３、５４の内側の面とこれに対向するスリーブ５２の両端面との間の空間とが連通されている。また、スラストフランジ５３、５４の外周面に隙間をあけて対向するように、スリーブ５２の両端内周部には、それぞれ流体閉鎖部材６０、６１が嵌め込まれている。流体閉鎖部材６０、６１の連通路５９に対向する箇所には、円錐形状の傾斜面６０ａ、６１ａが形成され、この傾斜面６０ａ、６１ａに臨む箇所は、作動流体が溜められる流体貯留空間６４、６５とされている。一方、スラストフランジ５３、５４の外周面と、流体閉鎖部材６０、６１の内周面との間には前記隙間が形成されて外気（大気圧）に連通されているが、作動流体の表面張力を利用して、これより流体軸受装置の内側に作動流体を密封する流体密封部６２、６３とされている。

上記のように、連通路５９を形成することで、ラジアル流体軸受が形成されているシャフト５１の外周面とスリーブ５２の内周面との間の空間や、スラスト流体軸受が形成されているスラストフランジ５３、５４の内側の面とこれに対向するスリーブ５２の両端面との間の空間で、作動流体の圧力が偏り、圧力差を生じた場合でも、前記連通路５９を通して作動流体が循環するように構成されている。すなわち、連通路５９を設けた構成により作動流体の圧力が偏った場合でも、作動流体間の圧力差がなくなるように調整して、軸受機能を安定させたり、作動流体の外部への飛び出しを防止したりすることが図られている。

この種の一般的な流体軸受装置では、ラジアル流体軸受が形成されている隙間やスラスト流体軸受が形成されている隙間は極めて微小であるので、流体軸受装置を組み立ててこれらの流体軸受内に作動流体を充填する作業は、内部まで良好に充填されるように、空気を抜いた領域内で作動流体を供給し、この後外気を導入することで、流体軸受装置内部に作動流体を充填している。しかし、それでも、一部の空気が、ラジアル流体軸受が形成されているシャフト５１の外周面とスリーブ５２の内周面との間の空間や、スラスト流体軸受が形成されているスラストフランジ５３、５４の内側の面とこれに対向するスリーブ５２の両端面との間の空間に、残ってしまうことがある。また、流体軸受装置が回転している際に、作動流体中に小さな気泡を巻き込んで混入してしまうこともある。このように、空気が気泡となって内部に混入して、ラジアル流体軸受の動圧溝５６やスラスト流体軸受の動圧溝５７、５８に付着すると、動圧溝５６、５７、５８による作動流体の送り量が少なくなり、気泡による軸受剛性の低下や、回転動作時の回転が不安定になるなど、軸受性能が低下する不具合を生じる。

上記特許文献１の構成の流体軸受装置では、連通路５９を設けて、この連通路５９を通して作動流体が、スラスト流体軸受やラジアル流体軸受を循環可能に構成されているので、このように作動流体が循環した際に、動圧溝５６、５７、５８に付着していた気泡が動圧溝５６、５７、５８から離脱し、作動流体とともに流体貯留空間６４、６５に流れ込んだ際に、空気と作動流体との粘性の差によって空気のみが流体密封部６２、６３から大気中に放出され、これにより、軸受性能の低下を防止できる利点がある。

しかしながら、この流体軸受装置では、正常に回転駆動されて、作動流体の圧力の不均衡を生じていないときには、作動流体が循環しない構成であるため、このような正常な回転駆動時には動圧溝５７、５８に付着していた気泡がそのまま動圧溝５７、５８やその近傍箇所に残ってしまう欠点がある。

これらの点を踏まえ、本発明者らは、上記のように作動流体内の気泡を排出できる利点を生かしながら、前記欠点を改善するものとして、以下の構造の流体軸受装置を考え出した。なお、以下の説明は、理解し易いように、図１６（ｂ）に示すように、スリーブの軸受孔における開口端が上方に、閉鎖端が下方に配置された場合を説明するが、この配置の向きに限らない。

この流体軸受装置は、図１６（ａ），（ｂ）に示すように、シャフト７１と、開口する上側の開口端と閉鎖された下側の閉鎖端とを有する軸受孔７２ａを有し、シャフト７１を間隙（空間）を介して回転自在な姿勢で挿入させたスリーブ７２と、シャフト７１の一端部（図１６（ｂ）においては下端部）に設けられ、スリーブ７２の下端部寄り端面に対して間隙を有する姿勢で配置された太径のスラストフランジ７３と、スラストフランジ７３と間隙を有する姿勢で対向するようにスリーブ７２の底部に固定されたスラスト板７４とを備えた構成に加えて、スリーブ７２の上端面（開口端側端面）を隙間を有して覆うとともに、一部に外気に通じる通気孔８３を有するカバー７５を設けている。そして、この流体軸受装置において、スリーブ７２における外周面寄りの箇所に、軸心と平行に延びる１つの連通路７６が穿孔されており、この連通路７６により、スラスト板７４の上面が臨む空間領域（閉鎖端面側の空間領域）と、カバー７５とスリーブ７２の上端面との間の空間領域とが連通されている。また、カバー７５で覆われたスリーブ７２とスラスト板７４とで囲まれる内部空間（すなわち、シャフト７１の外周面とスリーブ７２の内周面との間の間隙空間、スラストフランジ７３とこれに対向するスリーブ７２の下面ならびにその近傍の太径内周面との間の間隙空間、スラストフランジ７３とスラスト板７４との間の間隙空間、連通路７６内の空間、スリーブ７２の上端面とカバー７５との間の空間（ただし、気孔箇所は除く））に潤滑油などの作動流体９０が充填されている。なお、図１６（ｂ）における８４は、カバー７５のシャフト７１に臨む内周面に開口側ほど広がるように形成されて、外気に連通して作動流体９０を溜める作動流体溜め部である。

また、スリーブ７２の内周面（またはシャフト７１の外周面や、スリーブ７２の内周面とシャフト７１の外周面との両方に設けてもよい）に上下に２つの動圧溝７７、７８が形成され、図外のモータ回転駆動力などによりシャフト７１とスリーブ７２とが相対的に回転された際に、この動圧溝７７、７８により掻き出される作動流体９０の力により、シャフト７１とスリーブ７２とがラジアル方向（半径方向）に所定間隙を介して回転自在に支持されるラジアル流体軸受が構成されている。また、スラストフランジ７３の上面と下面（または、これに対向するスリーブ７２の下面やスラスト板７４の上面、またはスラストフランジ７３の上下面とスリーブ７２の下面やスラスト板７４の上面との全てに設けてもよい）とに動圧溝７９、８０が形成され、前記回転駆動力などによりシャフト７１に取り付けられたスラストフランジ７３とスリーブ７２とが相対的に回転された際に、この動圧溝７９、８０により掻き出される作動流体９０の力により、スラストフランジ７３とスリーブ７２およびスラスト板７４とがスラスト方向（軸心方向）に所定間隙を介して回転自在に支持されるスラスト流体軸受が構成されている。ここで、ラジアル流体軸受を構成する動圧溝７７、７８は、周知のヘリングボーン形状とされ、シャフト７１の外周面における上側と下側の合わせて２箇所に形成されているが、下側の動圧溝７８は、その頂部から斜めに上がる溝と斜めに下がる溝とが同じ長さとされている一方、上側の動圧溝７７は、図１５（ｃ）に示すように、その頂部から斜めに上がる溝７７ａが、頂部から斜めに下がる溝７７ｂよりも長めに形成され、回転駆動時にはこの上側の動圧溝７７によって、この隙間の作動流体９０が積極的に下方に送り出されるように構成されている。

また、スリーブ７２におけるカバー７５に対向する上端面は平面形状とされている。これに対して、カバー７５は、その裏面部（スリーブ７２の上端面に対向する面）が、スリーブ７２の上端面に開口する連通路７６の開口部近傍領域では、スリーブ７２内周面の軸受孔７２ａに毛管現象により流入する隙間（導入最小隙間部８１と称す）を形成するように配設されており、この導入最小隙間部８１は、図１６（ａ）に示すように、連通路７６の開口部近傍箇所からスリーブ７２の軸受孔７２ａの開口端に続くように形成されている。カバー７５の裏面部における前記導入最小隙間部８１以外の箇所は、図１６（ｂ）において点線で示すように、外周寄り箇所が大きく上方に窪む流体溜まり用空間部８２が形成されるように窪んだ形状とされているとともに、この流体溜まり用空間部８２より半径方向中心側に向けてスリーブ７２の上端面との隙間が徐々に小さくなるように傾斜するように窪む傾斜面７５ａが形成され、これらの流体溜まり用空間部８２と傾斜面７５ａに臨む箇所とは、毛管現象が生じない大きめの寸法に形成されて、作動流体９０を溜めることができるようになっている。また、カバー７５における、平面視して、連通路７６の開口部と軸心０を中心に逆となる箇所には、外気に連通する通気孔８３が設けられている。なお、図１６（ａ）におけるＤは、シャフト７１の回転方向である。

この構成において、図外のモータ回転駆動力などによりシャフト７１とスリーブ７２とが相対的に回転されると、ラジアル流体軸受の動圧溝７７、７８により掻き出される作動流体９０の力と、スラスト流体軸受の動圧溝７９、８０により掻き出される作動流体９０の力とにより、シャフト７１がスリーブ７２に対して所定の隙間を保った状態で支持される。また、上側のラジアル流体軸受の動圧溝７７により掻き出される作動流体９０の力により、シャフト７１とスリーブ７２との間の作動流体９０が下方に送られ、これに伴って、作動流体９０が、スラストフランジ７３とスリーブ７２との間の空間、スリーブ７２とスラスト板７４との間の空間、連通路７６内の空間、導入最小隙間部８１を順に通り、再度、シャフト７１とスリーブ７２との間の空間に流入し、これらの空間の間で作動流体９０が積極的に循環する。また、連通路７６から導入最小隙間部８１内に導入された作動流体９０の一部は、流体溜まり用空間部８２にも流入しながら、再度、シャフト７１とスリーブ７２との間の空間に流入する。

したがって、ラジアル流体軸受の動圧溝７７、７８やスラスト流体軸受の動圧溝７９、８０などで気泡が付着していた場合でも、前記循環流によって、気泡が動圧溝７７、７８、動圧溝７９、８０などから離脱して循環し、連通路７６から、導入最小隙間部８１を通って、流体溜まり用空間部８２に流入した際に、作動流体から分離されて通気孔８３から排出される。これにより、この構成によれば、正常な回転駆動時にも作動流体内の気泡が排出され、この結果、気泡による軸受剛性の低下や、回転動作時の回転が不安定になるなどの軸受性能の低下を防止できる。

また、この流体軸受装置によれば、カバー７５のシャフト７１に臨む内周面に作動流体溜め部８４が設けられているだけでなく、スリーブ７２とカバー７５との間に、大きな容積の流体溜まり用空間部８２が設けられている。したがって、流体溜まり用空間部８２の作動流体が蒸発などにより減少して少なくなると、まず、空気に対する作動流体の界面Ｋが図１６（ａ）において、点線で示すように、流体溜まり用空間部８２に沿った略円弧ループ形状となり、さらに、作動流体が減少しても、界面Ｋが、傾斜面７５ａに沿った形状となり、万一、この流体溜まり用空間部８２の作動流体が蒸発などにより減少してなくなった場合でも、導入最小隙間部８１に作動流体が満たされている限り、循環機能を維持できるため、軸受性能を極めて長期間にわたって良好に維持でき、長寿命化を図れると考えた。
特開平１１−８２４８６号公報

しかしながら、上記図１６に示す流体軸受装置において、耐久性を試すべく、敢えて、作動流体を減少させた場合に、界面Ｋが、流体溜まり用空間部８２に沿った略円弧ループ形状である状態（この状態の気泡の界面Ｋを図１６（ａ）において、Ｋ１で示す）では、この流体溜まり用空間部８２やこの近傍の傾斜面７５ａが周方向に対しては同じ形状であり、対向するスリーブ７２の上端面との間の隙間が一定であるので、流体軸受装置が外部から衝撃を受けたり、姿勢が急激に変化したりした際に、本来、通気孔８３の付近に溜まるべき気泡が、図１６（ａ）に示すように、周方向に容易に移動してしまい、この結果、気泡の移動に伴って、通気孔８３付近の作動流体９０が外部に洩れるおそれがあった。

また、作動流体の減少にともなって、図１７に示すように、気泡の界面Ｋが、流体溜まり用空間部８２に沿って円周方向に延びることで、作動流体の減少量に対する界面Ｋの広がり量が極めて大きくなり、この結果、作動流体溜め部９０の界面Ｍの急激な上昇や、作動流体溜め部９０からの作動流体の洩れを生じるおそれがあった。

また、作動流体がさらに減少して、図１８に示すように、気泡の界面Ｋが傾斜面７５ａに沿った形状（図１８において、Ｋ２、Ｋ３、Ｋ４、Ｋ５で示す）となって、この傾斜面７５ａにおけるカバー７５の内周面に近づいた際（この際の界面をＫ５で示す）には、この界面Ｋ５の表面積が極めて小さくなるので、この界面Ｋ５の表面張力が、カバー７５の内周面に形成された作動流体溜め部８４の界面Ｍの表面張力よりも極めて小さくなって不均衡となり、作動流体溜め部８４の界面Ｍの急激な低下や、気泡の軸受孔７２ａへの流入を生じるおそれがあった。

本発明は、上記課題を解決するもので、気泡による軸受性能の低下を安定して防止できながら、作動流体が減少した場合でも、作動流体が外部に洩れたり、急激な変動をともなったりすることがなく、軸受性能を安定した状態で長期間にわたって良好に維持できる流体軸受装置を提供することを目的とするものである。

本発明は、シャフトと、開口する開口端と閉鎖された閉鎖端とを有する軸受孔を有し、この軸受孔内に前記シャフトを間隙を介して回転自在な姿勢で挿入させたスリーブと、前記スリーブの開口端側端面を空間を有した姿勢で覆うカバーとを備え、前記シャフトと前記スリーブとが互いに臨む前記シャフトの外周面と前記スリーブの内周面との少なくとも一方に、前記スリーブに対して前記シャフトをラジアル方向に非接触で相対的に回転自在に支持するラジアル動圧溝を形成し、前記スリーブに、スリーブにおける前記閉鎖端面側の空間領域と、前記カバーと前記スリーブの開口端側端面との間の空間領域とを連通させる連通路を形成し、前記カバーと前記スリーブとの間を含むスリーブ内空間に作動流体を充填させ、前記シャフトが前記スリーブに対して相対的に回転された際に、作動流体が、前記シャフトと前記スリーブとの間の空間と、この空間に通じる前記閉鎖端側の空間領域と、この閉鎖端側の空間領域と通じる前記連通路と、この連通路に通じる前記カバーと前記スリーブとの間の空間とを循環して流れるように構成した流体軸受装置であって、前記連通路からの作動流体が毛管現象により前記軸受孔に流入するように、前記カバーと前記スリーブの開口端側端面との間における連通路の開口部近傍箇所から軸受孔開口端まで毛管現象を生じる導入最小隙間部を形成し、前記カバーにおける前記導入最小隙間部が形成されていない箇所に、外気に通じる通気孔を形成し、前記カバーの前記スリーブの開口端側端面に臨む裏面に、作動流体を貯留可能な流体溜まり空間部を、前記導入最小隙間部と前記通気孔とを周方向に連通させるように形成し、前記流体溜まり空間部を、前記導入用最小隙間部から前記通気孔側に近づくほど、スリーブの開口端側端面からの離間距離が大きくなるように周方向に対して傾斜する形状に形成したことを特徴とする。

上記構成において、シャフトとスリーブとの一方が相対的に回転されると、作動流体が、スリーブの内部とスリーブとカバーと間の空間とを循環して流れ、ラジアル流体軸受の動圧溝などで気泡が付着していた場合でも、前記循環流によって、気泡が動圧溝などから離脱して循環し、連通路から導入最小隙間部を通して流体溜まり用空間部に流入した際に、作動流体から分離されて通気孔から排出される。これにより、気泡による軸受剛性の低下や、回転動作時の回転が不安定になるなどの軸受性能の低下を防止できる。

また、上記構成によれば、流体溜まり空間部を、導入用最小隙間部から通気孔側に近づくほど、スリーブの開口端側端面からの離間距離が大きくなるように周方向に対して傾斜する形状に形成したので、流体軸受装置が外部から衝撃を受けたり、姿勢が急激に変化したりした際でも、流体溜まり空間部における空気と作動流体との界面が、通気孔近傍にとどまって、周方向に移動することが防止され、この結果、気泡の移動に伴う作動流体の外部へ洩れ出しを防止できる。また、通気孔近傍箇所ほど、流体溜まり空間部の貯留空間断面積が大きいとともに、界面が半径方向に延びる形状となるので、界面の面積やこれに伴う表面張力の変動が少ない。

また、本発明は、カバー裏面とスリーブの開口端側端面との間における軸受孔開口端の近傍外周部にも毛管現象を生じる軸受孔外周最小隙間部を形成し、導入用最小隙間部を前記軸受孔外周最小隙間部と接続させ、連通路から送り出された作動流体が、前記導入用最小隙間部と前記軸受孔外周最小隙間部とを介して毛管現象により前記軸受孔に流入するように構成したことを特徴とする。

この構成により、カバー裏面とスリーブの開口端側端面との間における軸受孔開口端の近傍外周部にも毛管現象を生じる軸受孔外周最小隙間部を形成したので、導入用最小隙間部から導入された作動流体が、前記軸受孔外周最小隙間部を介して、スリーブの軸受孔開口端へ全周から良好に供給され、スリーブの軸受孔開口端も安定して作動流体が満たされる。

また、本発明は、カバーのシャフトに臨む内周面にも、外気に連通して作動流体を溜める作動流体溜め部を形成し、この作動流体溜め部を、スリーブの開口端側端面から離間するにしたがって内径が広がるように傾斜する傾斜面で構成し、この作動流体溜め部に溜められた作動流体の表面張力と、通気孔に臨む作動流体の表面張力とが釣り合うような形状に、前記作動流体溜め部の内径を形成したことを特徴とする。

この構成により、カバーのシャフトに臨む内周面に形成された作動流体溜め部の界面による表面張力と、カバー裏面とスリーブとの間に形成された流体溜まり空間部の界面による表面張力とが安定して釣り合い、界面の位置の急激な変動ならびに、界面の変動による作動流体の洩れを防止できる。

また、本発明は、スリーブにおける閉鎖端面側の空間領域が、シャフトの先端に固定されたスラストフランジが配設されている空間領域であり、このスラストフランジが臨む空間に、スリーブにおける前記閉鎖端面側に設けられた連通孔の開口部が通じるように構成したことを特徴とする。

また、本発明は、スリーブにおける閉鎖端面側の空間領域が、シャフトの先端と閉鎖端面側領域閉鎖板とで形成される空間領域であり、このシャフトの先端が臨む空間に、スリーブにおける前記閉鎖端面側に設けられた連通孔の開口部が通じるように構成したことを特徴とする。

また、本発明は、ラジアル動圧溝を、ヘリングボーン形状とし、動圧溝の一方側を他方側に比べて長く形成することにより、作動流体を積極的に循環する力を与える形状に形成したことを特徴とする。

本発明の流体軸受装置によると、流体溜まり空間部を、導入用最小隙間部から通気孔側に近づくほど、スリーブの開口端側端面からの離間距離が大きくなるように周方向に対して傾斜する形状に形成したので、流体軸受装置が外部から衝撃を受けたり、姿勢が急激に変化したりした際でも、気泡の移動に伴う作動流体の外部へ洩れ出しを防止でき、界面の面積やこれに伴う表面張力の変動が少ない。これにより、気泡の付着による、気泡による軸受剛性の低下や、回転動作時の回転が不安定になるなどの軸受性能の低下を防止できる上に、作動流体が外部に洩れ出ることを確実に防止でき、信頼性を向上させることができる。

また、カバー裏面とスリーブの開口端側端面との間における軸受孔開口端の近傍外周部にも毛管現象を生じる軸受孔外周最小隙間部を形成し、導入用最小隙間部を前記軸受孔外周最小隙間部と接続させ、連通路から送り出された作動流体が、前記導入用最小隙間部と前記軸受孔外周最小隙間部とを介して毛管現象により前記軸受孔に流入するように構成したことにより、導入用最小隙間部から導入された作動流体が、前記軸受孔外周最小隙間部を介して、スリーブの軸受孔開口端へ全周から良好に供給され、スリーブの軸受孔開口端も安定して作動流体が満たされ、この結果、信頼性をさらに向上させることができる。

また、カバーのシャフトに臨む内周面にも、外気に連通して作動流体を溜める作動流体溜め部を形成し、この作動流体溜め部を、スリーブの開口端側端面から離間するにしたがって内径が広がるように傾斜する傾斜面で構成し、この作動流体溜め部に溜められた作動流体の表面張力と、通気孔に臨む作動流体の表面張力とが釣り合うような形状に、前記作動流体溜め部の内径を形成したことにより、界面の位置の急激な変動ならびに、界面の変動による作動流体の洩れを防止できる。

以下、本発明の実施の形態に係る流体軸受装置を図面に基づき説明する。この実施の形態では、ハードディスク装置のスピンドルモータにこの流体軸受装置が使用されている場合を説明する。

図１は本発明の実施の形態に係る流体軸受装置を備えたスピンドルモータの断面図、図２（ａ）は同流体軸受装置の断面図、図３は同流体軸受装置の平面図であり、図２（ａ）は図３のII−II線断面図である。なお、以下の説明は、理解し易いように、図１および図２に示すように、スリーブの軸受孔における開口端が上方に、閉鎖端が下方に配置された場合を説明するが、実際に使用する場合はこの配置に限るものではないことはもちろんである。

図１〜図３に示すように、このスピンドルモータの流体軸受装置は、シャフト１と、スピンドルモータのベース１５に固定され、開口する上側の開口端２ａａと閉鎖された下側の閉鎖端２ａｂとを有する軸受孔２ａを有し、シャフト１を間隙（空間）を介して回転自在な姿勢で挿入させたスリーブ２と、シャフト１の下端部に外嵌結合やねじにより固定されているとともに、軸受孔２ａにおける閉鎖端側である太径孔部２ａｃに、この太径孔部２ａｃの上面に対して間隙を有する姿勢で配置された太径のスラストフランジ３と、スラストフランジ３の下面と間隙を有する姿勢で対向するようにスリーブ２の底部に固定されたスラスト板４とを備え、さらにこれらの構成に加えて、スリーブ２の上端面（開口端側端面）を空間を有した姿勢で覆うとともに、外気に通じる１つの通気孔１３を有し、透光性を有する材料で構成されたカバー５を設けている。そして、この流体軸受装置において、スリーブ２における外周面寄りの箇所に、軸心Ｏと平行に延びる１つの連通路６（例えば、この直径は０．２ｍｍ〜０．６ｍｍ程度）が穿孔されており、この連通路６により、軸受孔２ａの閉鎖端２ａｂ側に設けられた太径孔部２ａｃ（閉鎖端面側の空間領域）と、カバー５とスリーブ２の開口端（２ａａ）側端面である上端面との間の空間領域とが連通されている。

また、カバー５とスリーブ２との間を含むスリーブ２の内部の空間（すなわち、シャフト１の外周面とスリーブ２の内周面との間の空間、軸受孔２ａの太径孔部２ａｃ内の空間、軸受孔２ａの太径孔部２ａｃと連通路６との間の連通箇所の空間、連通路６内の空間、スリーブ２の上端面とカバー５との間の空間（ただし、通気孔１３箇所は除く））に潤滑油などの作動流体２０が充填されている。なお、図６、図７に拡大して示すように、カバー５のシャフト１に臨む内周面には開口側ほど広がるように形成されて、外気に連通して作動流体２０を溜める作動流体溜め部２３が形成されている。また、スリーブ２とカバー５とはそれぞれ一体形成された外周鍔部２ｆ、５ｆ同士が接着剤２１で固定されており、スリーブ２とカバー５との接合面から作動流体２０が外部に洩れ出ないように構成されている。

スリーブ２の内周面（またはシャフト１の外周面、若しくは、スリーブ２の内周面とシャフト１の外周面との両方に設けてもよい）に上下に魚骨状パターンなどの２つの動圧溝７、８が形成され、後述する回転駆動力によりシャフト１とスリーブ２とが相対的に回転された際に、この動圧溝７、８により掻き出される作動流体２０の力により、シャフト１とスリーブ２とがラジアル方向（半径方向）に所定間隙を介して回転自在に支持されるラジアル流体軸受が構成されている。また、スラストフランジ３の上面と下面（または、これに対向するスリーブ２の下面やスラスト板４の上面、またはスラストフランジ３の上下面とスリーブ２の下面やスラスト板４の上面との全てに設けてもよい）とに螺旋状パターンなどの動圧溝９、１０が形成され、前記回転駆動力などによりシャフト１に取り付けられたスラストフランジ３とスリーブ２とが相対的に回転された際に、この動圧溝９、１０により掻き出される作動流体２０の力により、シャフト１とスリーブ２とがスラスト方向（軸心方向）に所定間隙を介して回転自在に支持されるスラスト流体軸受が構成されている。ここで、ラジアル流体軸受を構成する動圧溝７、８は、周知のヘリングボーン形状とされ、シャフト２の外周面における上側と下側の合わせて２箇所に形成されているが、下側の動圧溝８は、その頂部から斜めに上がる溝と斜めに下がる溝とが同じ長さとされている一方、上側の動圧溝７は、図２（ｂ）に示すように、その頂部から斜めに上がる溝７ａが、頂部から斜めに下がる溝７ｂよりも長めに形成され、回転駆動時にはこの上側の動圧溝７によって、この隙間の作動流体２０が積極的に下方に送り出されるように構成されている。

図１に示すように、シャフト１におけるスリーブ２の軸受孔２ａから突出している突出軸部１ａには、その外周に例えば磁気記録ディスクが固定される回転部材としてのハブ１６が圧入状態で外嵌されている。この実施の形態では、ハブ１６のベース寄り部分外周にロータマグネット１７が取り付けられている。また、ベース１５には、ロータマグネット１７に対向するように、ステータコイル１８が巻かれたステータコア１９が取り付けられている。そして、このロータマグネット１７とステータコア１９とにより、シャフト１とスリーブ２との間に回転駆動力を与えるスピンドルモータの回転駆動部が構成されている。

また、図２（ａ）に示すように、スリーブ２におけるカバー５に対向する上端面はほぼ平面形状とされている。これに対して、図２（ａ）、図３〜図５（図５においては、理解し易いように、カバー５の裏面部とこれに対向するスリーブ２の上端面との離間空間を概念的に示している）に示すように、カバー５は、その裏面部が、スリーブ２の上端面に開口する連通路６の開口部近傍領域と、スリーブ２の軸受孔２ａ開口端の近傍外周部とは、これに対応するカバー５の裏面部分とこれに対向するスリーブ２の上端面との離間距離が毛管現象を生じる寸法ｂ（図５参照）であり、スリーブ２内周面の軸受孔２ａに毛管現象により流入する隙間（それぞれ、導入最小隙間部１１、軸受孔外周最小隙間部１２と称し、図４においては、カバー５の裏面部分における導入最小隙間部１１に臨む導入最小隙間面５ｂと、軸受孔外周最小隙間部１２に臨む軸受孔外周最小隙間面５ｃとを示している）を形成するように配設されている。また、この導入最小隙間部１１は、図３、図４に示すように、連通路６の開口部近傍箇所から軸受孔外周最小隙間部１２を介してスリーブ２の軸受孔２ａの開口端に続くように形成されている。なお、この実施の形態においては、軸受孔外周最小隙間部１２は、略３０度の開き角度の略扇形形状とされ、連通路１３の開口部よりも広い範囲に形成されている。また、スリーブ２の上端面における軸受孔２ａの開口端の直径は例えば、２．８ｍｍ〜３．２ｍｍとされ、軸受孔外周最小隙間面５ｃは、円環形状とされ、軸受孔２ａの開口端外周から０．２〜０．６ｍｍの半径方向寸法幅で形成される。また、導入最小隙間部１１および軸受孔外周最小隙間部１２の離間隙間は例えば０．０３ｍｍ〜０．１５ｍｍである。また、この実施の形態においては、導入最小隙間部１１および軸受孔外周最小隙間部１２の離間隙間は径方向に対しても一定である。

また特に、カバー５の裏面部における前記導入最小隙間部１１、軸受孔外周最小隙間部１２以外の箇所は、導入最小隙間部１１および軸受孔外周最小隙間部１２の隙間よりも大きな空間となるように窪ませて作動流体２０を貯留可能な流体溜まり空間部１４を、導入最小隙間部１１と通気孔１３とを周方向に連通させるように形成している。なお、この流体溜まり空間部１４は、例えば、内径３．２ｍｍ〜３．８ｍｍ、外径５．５〜６．３ｍｍ、最小隙間は０．０３ｍｍ〜０．１５ｍｍ、最大隙間は０．２ｍｍ〜０．３ｍｍ程度である。そして、通気孔１３は、この直径が例えば０．２ｍｍ〜１．０ｍｍ程度であり、この通気孔１３が設けられている箇所には、ざぐり孔により形成された緩衝空間としての凹部２２（例えば、直径０．６ｍｍ〜１．０ｍｍ、深さ０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ程度）が形成されているが、この通気孔１３および凹部２２に連なる流体溜まり空間部１４の箇所（最大空間部１４ａと称す）が、スリーブ２の上端面との離間距離が最も大きくなり、前記導入用最小隙間部から前記最大空間部１４ａに近づくほど、スリーブ２の上端面（開口端側端面）からの離間距離が大きくなるように周方向に対して傾斜する形状に形成されている。なお、この実施の形態においては、流体溜まり空間部１４の離間隙間は径方向に対して一定である。また、この実施の形態においては、外気に連通する通気孔１３は、カバー５における、平面視して、連通路６の開口部と軸心０を中心に逆となる箇所に設けられている。なお、図３におけるＤは、シャフト１の回転方向である。また、前記通気孔１３に凹部２２を形成したことで、作動流体２０が満量である状態で流体軸受装置の設置環境の温度上昇などがあった場合でも、作動流体２０の界面Ｋが凹部２２内にとどまり、通気孔１３から作動流体２０が洩れ出ることがないよう図られている。

また、図６に拡大して示すように、カバー５のシャフト１に臨む内周面において開口側ほど広がるように形成された作動流体溜め部２３は、下方ほど狭くなるように傾斜する傾斜面２３ａにより形成され、後述するように、作動流体が蒸発するなどして減少して流体溜まり空間部１４の箇所での界面の位置が変化した場合でも、この作動流体溜め部２３において、界面が傾斜面２３ａ内で移動する範囲で釣り合うように、傾斜面２３ａの上端の直径Ｄｔと下端の直径ｄｔとが設定されている。

また、図２（ａ），図３に示すように、カバー５の上面外周部には、この流体軸受装置を組み立てた後に作動流体２０を注油する際に、作動流体２０が、外側に落ちないように防止するための、上方に突出する突条部２４も形成されている。この突条部２４は、例えば、内径６ｍｍ〜８ｍｍ、高さ０．０３ｍｍ〜０．１ｍｍ程度である。

上記構成において、スピンドルモータの回転駆動力によりシャフト１とスリーブ２とが相対的に回転されると、ラジアル流体軸受の動圧溝７、８により掻き出される作動流体２０の力と、スラスト流体軸受の動圧溝９、１０により掻き出される作動流体２０の力とにより、シャフト１がスリーブ２に対して所定の隙間を保った状態で支持される。また、上側のラジアル流体軸受の動圧溝７により掻き出される作動流体２０の力により、シャフト１とスリーブ２との間の作動流体２０が下方に送られ、これに伴って、作動流体２０が、スラストフランジ３とスリーブ２との間の空間、スリーブ２とスラスト板４との間の空間、連通路６内の空間、導入最小隙間部１１および軸受孔外周最小隙間部１２を順に通り、再度、シャフト１とスリーブ２との間の空間に流入し、これらの空間の間で作動流体２０が積極的に循環する。また、連通路６から導入最小隙間部１１内に導入された作動流体２０の一部は、流体溜まり用空間部１４にも流入しながら、再度、軸受孔外周最小隙間部１２を介してシャフト１とスリーブ２との間の空間に流入する。

したがって、ラジアル流体軸受の動圧溝７、８やスラスト流体軸受の動圧溝９、１０などで気泡が付着していた場合でも、前記循環流によって、気泡が動圧溝７、８、動圧溝９、１０などから離脱して循環し、連通路６から、導入最小隙間部１１を通った際に、圧力の低い流体溜まり用空間部１４に流入する。圧力の低い流体溜まり用空間部１４に流入すると、その気泡の大きさも大き目となるので、圧力の高い導入最小隙間部１１や軸受孔外周最小隙間部１２に再度入ることが少なくなり、流体溜まり用空間部１４において気泡は作動流体２０から分離されて通気孔１３から排出される。

このように、この構成によれば、正常な回転駆動時にも作動流体内の気泡が排出され、この結果、気泡による軸受剛性の低下や、回転動作時の回転が不安定になるなどの軸受性能の低下を防止でき、信頼性を向上させることができる。

また、この流体軸受装置によれば、カバー５のシャフト１に臨む内周面に作動流体溜め部２３が設けられているだけでなく、スリーブ２とカバー５との間に、大きな容積の流体溜まり用空間部１４が設けられている。したがって、流体溜まり用空間部１４の作動流体が減少した場合でも、導入最小隙間部１１および軸受孔外周最小隙間部１２に作動流体２０が満たされている限り、循環機能を維持できる。

そして特に本発明によれば、流体溜まり空間部１４を、導入用最小隙間部１１から通気孔１３が設けられている最大空間部１４ａに近づくほど、スリーブ２の開口端側端面である上面からの離間距離が大きくなるように周方向に対して傾斜する形状に形成したので、流体軸受装置が外部から衝撃を受けたり、姿勢が急激に変化したりした際でも、流体溜まり空間部１４における空気と作動流体２０との界面が、通気孔１３近傍箇所にとどまって、周方向に移動することが防止され、この結果、気泡の移動に伴う作動流体２０の外部へ洩れ出しを防止できる。また、通気孔近傍箇所ほど、流体溜まり空間部の貯留空間断面積が大きいとともに、図３において、作動流体２０が減少した場合の界面の位置ア、イを示すように、常に界面が半径方向に延びる形状となるので、界面の面積やこれに伴う流体溜まり空間部１４における表面張力の変動が、図１５〜図１７に示すような構造の流体軸受装置の場合と比較して、少ない。

また、カバー５の裏面とスリーブ２の上面との間における軸受孔開口端の近傍外周部にも毛管現象を生じる軸受孔外周最小隙間部１２を形成したので、導入用最小隙間部１１から導入された作動流体２０が、この軸受孔外周最小隙間部１２を介して、スリーブ２の軸受孔２ａへ全周から良好に供給され、スリーブ２の軸受孔２ａにおいて安定して作動流体２０が満たされる。

また、作動流体溜め部２３に溜められた作動流体２０の表面張力と、通気孔１３に臨む流体溜まり空間部１４の表面張力とがほぼ釣り合うような形状に、作動流体溜め部２０の内径（傾斜面２３ａの上端の直径Ｄｔと下端の直径ｄｔ）を形成することにより、作動流体溜め部２３における作動流体２０の界面の位置の急激な変動ならびに、界面の変動による作動流体の洩れを防止できる。

ここで、この点について、詳しく説明する。
図８は、この流体軸受装置における作動流体溜め部２３と流体溜まり空間部１４との圧力の釣り合いを概念的に示す図である。ここで、Ａは作動流体溜め部２３での界面の表面張力による圧力、Ｂは界面位置の差による体積分の圧力、Ｃは流体溜まり空間部１４での界面の表面張力による圧力である。また、γはオイル（作動流体）の表面張力［Ｎ／ｍ］、ρはオイルの密度［ｋｇ／ｍ^３］、Ｌｉは界面Ｉにおけるオイル界面と部材との接触長さ、Ａｉは界面Ｉのオイル界面表面積、Ｌｏは界面Ｏにおけるオイル界面と部材の接触長さ、Ａｏは界面Ｏのオイル界面表面積、ｈｉはスリーブ上面から界面Ｉまでの高さ、ｈｏはスリーブ上面から界面Ｏまでの平均高さ（ｔ／２）、Θは部材とオイル界面の接触角である。

図８に示すモデルにおいて、圧力の釣り合い式は、
（式１）
Ａ＝Ｂ＋Ｃ［Ｐａ］
ここで、式１のＡ、Ｂ、Ｃは以下の通りである。
（式２）
Ａ＝（γ・ｃｏｓΘ×Ｌｉ）／Ａｉ
（式３）
Ｂ＝ρ・（ｈｉ−ｈｏ）
（式４）
Ｃ＝（γ・ｃｏｓΘ×Ｌｏ）／Ａｏ
（式１）に、（式２）、（式３）、（式４）を代入すると、
（式５）
Ｌｉ／Ａｉ＝｛１／（γ・ｃｏｓΘ）｝×［ρ・（ｈｉ−ｈｏ）＋｛（γ・ｃｏｓΘ）＋Ｌｏ｝／Ａｏ］
であり、（式５）に以下の（式６）、（式７）を代入し、右辺をＺとおくと、
（式６）
Ｌｉ＝π（ｄｓ＋Ｄｔｓ）
（式７）
Ａｉ＝π｛（Ｄｔｓ／２）^２−（ｄｓ／２）^２｝
（式８）
（ｄｓ＋Ｄｔｓ）／｛（Ｄｔｓ／２）^２−（ｄｓ／２）^２｝＝Ｚ
（式８）を展開し、解の公式にしたがって、作動流体溜め部２３での直径Ｄｔｓを求めると、
（式９）
Ｄｔｓ＝｛１＋ＳＱＲＴ（１＋Ｚ（ｄｓ＋Ｚ×ｄｓ^２／４））｝／（Ｚ／２）
（式９）から、オイル界面の最大時と最小時の直径Ｄｔｓを求め、トップシールの内径（ｄｔ，Ｄｔ）がその界面移動範囲を十分満足できるように設定することで、作動流体溜め部２３に溜められた作動流体２０の表面張力と、通気孔１３に臨む流体溜まり空間部１４の表面張力とがほぼ釣り合うこととなり、これにより、作動流体溜め部２３における作動流体２０の界面の位置の急激な変動ならびに、界面の変動による作動流体の洩れを防止できる。

また、上記実施の形態においては、カバー５の上面外周部には、上方に突出する突条部２４が形成されているので、流体軸受装置の組み立て後に作動流体２０を注油する際に、作動流体２０がカバー５の上面から流れ落ちることが突条部２４により阻止され、これにより、作業能率が向上するとともに、スリーブ２内への作動流体２０の充填量が少なくなることも防止することができ、信頼性が向上する。

また、図１３に示すように、突条部２４を設ける代わりに、平面視して、作動流体溜め部２３や通気孔１３を外側から囲むように、撥油剤を塗るための撥油溝２５を形成し、この撥油溝２５に撥油剤を塗布して、作動流体２０を供給する際に、外側に作動流体２０が出ないようにしてもよい。

なお、上記実施の形態においては、図４（ａ）に示すように、導入最小隙間部１１や流体溜まり空間部１４の最大空間部１４ａの形状を平面視して、扇形に形成した場合を述べたが、これに限るものではなく、図９に示すように、その周方向の境界線同士が平行となる形状としてもよい。また、図１０（ａ）に示すように、導入最小隙間部１１と流体溜まり空間部１４とを軸心Ｏの点に対して逆の位置に形成しなくてもよく、さらに、図１１に示すように、連通路６と導入最小隙間部１１、通気孔１３と最大空間部１４ａを、２箇所、またはそれ以上設けてもよい。

また、流体溜まり空間部１４の周方向に対する傾斜角度は、図４（ｂ）や図１０（ｂ）において概念的に示すように、一定であってもよいが、これに限るものではなく、点線で示すように、中間部が傾斜角度が小さくなるように構成しても良く、また、その他の形状にしてもよく、導入用最小隙間部１１から通気孔１３側に近づくほど、スリーブの開口端側端面からの離間距離が大きくなるように周方向に対して傾斜する形状に形成する条件を満足すればよい。

また、上記実施の形態においては、シャフト１の下端部に太径のスラストフランジ３を有した、いわゆるフランジ付きシャフトを備えた場合を説明したが、これに限るものではなく、図１４に示すように、スラストフランジ３を有しないで、シャフト１の下端部とスラスト板４との互いの対向面の少なくとも一方にスラスト流体軸受用の動圧溝を形成した構造のものや、図示はしないが、スラストフランジ３を有しないで、シャフト１の下端部に設けたピボット部により、この閉鎖領域を閉鎖する板材に対してスラスト方向に位置規制されたものにも適用可能であり、これらのような、いわゆるフランジレスシャフトの構成においても同様の効果が得られることは言うまでもない。

本発明の流体軸受装置は、ディスク駆動装置、リール駆動装置、キャプスタン駆動装置、ドラム駆動装置などのスピンドルモータとして特に好適であるが、これに限るものではない。

本発明の実施の形態に係る流体軸受装置を備えたスピンドルモータの断面図（ａ）は同流体軸受装置の断面図、（ｂ）は同流体軸受装置の１つの動圧溝を示す図同流体軸受装置の平面図（ａ）は同流体軸受装置のカバーを裏面から見た図、（ｂ）は同流体軸受装置の流体溜まり空間部の周方向に対する傾斜度合いを示す図同流体軸受装置のカバーの裏面部とこれに対向するスリーブの上端面との離間空間を概念的に示している斜視図同流体軸受装置の作動流体溜め部およびその近傍箇所の断面図同流体軸受装置の作動流体溜め部の拡大断面図同流体軸受装置における作動流体溜め部と流体溜まり空間部との圧力の釣り合いを概念的に示す図本発明の他の実施の形態に係る流体軸受装置のカバーを裏面から見た図（ａ）は本発明のその他の実施の形態に係る同流体軸受装置のカバーを裏面から見た図、（ｂ）は同流体軸受装置の流体溜まり空間部の周方向に対する傾斜度合いを示す図本発明のさらに他の実施の形態に係る同流体軸受装置のカバーを裏面から見た図本発明の実施の形態に係る流体軸受装置の上断面図本発明の他の実施の形態に係る流体軸受装置のカバーの平面図本発明のその他の実施の形態に係る流体軸受装置の断面図従来の流体軸受装置の断面図（ａ）および（ｂ）は本発明者らが考え出した従来の流体軸受装置の平面図および断面図、（ｃ）は同流体軸受装置の１つの動圧溝を示す図同従来の流体軸受装置の平面図同従来の流体軸受装置の流体溜まり用空間部およびその近傍箇所の拡大断面図

符号の説明

１シャフト
２スリーブ
２ａ軸受孔
２ａａ開口端
２ａｂ閉鎖端
２ａｃ太径孔部
３スラストフランジ
４スラスト板
５カバー
６連通路
７、８動圧溝（ラジアル流体軸受）
９、１０動圧溝（スラスト流体軸受）
１１導入最小隙間部
１２軸受孔外周最小隙間部
１３通気孔
１４流体溜まり空間部
２０作動流体
２３作動流体溜め部
２４突条部

Claims

シャフトと、
開口する開口端と閉鎖された閉鎖端とを有する軸受孔を有し、この軸受孔内に前記シャフトを間隙を介して回転自在な姿勢で挿入させたスリーブと、
前記スリーブの開口端側端面を空間を有した姿勢で覆うカバーとを備え、
前記シャフトと前記スリーブとが互いに臨む前記シャフトの外周面と前記スリーブの内周面との少なくとも一方に、前記スリーブに対して前記シャフトをラジアル方向に非接触で相対的に回転自在に支持するラジアル動圧溝を形成し、
前記スリーブに、スリーブにおける前記閉鎖端面側の空間領域と、前記カバーと前記スリーブの開口端側端面との間の空間領域とを連通させる連通路を形成し、
前記カバーと前記スリーブとの間を含むスリーブ内空間に作動流体を充填させ、
前記シャフトが前記スリーブに対して相対的に回転された際に、作動流体が、前記シャフトと前記スリーブとの間の空間と、この空間に通じる前記閉鎖端側の空間領域と、この閉鎖端側の空間領域と通じる前記連通路と、この連通路に通じる前記カバーと前記スリーブとの間の空間とを循環して流れるように構成した流体軸受装置であって、
前記連通路からの作動流体が毛管現象により前記軸受孔に流入するように、前記カバーと前記スリーブの開口端側端面との間における連通路の開口部近傍箇所から軸受孔開口端まで毛管現象を生じる導入最小隙間部を形成し、
前記カバーにおける前記導入最小隙間部が形成されていない箇所に、外気に通じる通気孔を形成し、
前記カバーの前記スリーブの開口端側端面に臨む裏面に、作動流体を貯留可能な流体溜まり空間部を、前記導入最小隙間部と前記通気孔とを周方向に連通させるように形成し、
前記流体溜まり空間部を、前記導入用最小隙間部から前記通気孔側に近づくほど、スリーブの開口端側端面からの離間距離が大きくなるように周方向に対して傾斜する形状に形成した流体軸受装置。
カバー裏面とスリーブの開口端側端面との間における軸受孔開口端の近傍外周部にも毛管現象を生じる軸受孔外周最小隙間部を形成し、
導入用最小隙間部を前記軸受孔外周最小隙間部と接続させ、
連通路から送り出された作動流体が、前記導入用最小隙間部と前記軸受孔外周最小隙間部とを介して毛管現象により前記軸受孔に流入するように構成した請求項１記載の流体軸受装置。
カバーのシャフトに臨む内周面にも、外気に連通して作動流体を溜める作動流体溜め部を形成し、
この作動流体溜め部を、スリーブの開口端側端面から離間するにしたがって内径が広がるように傾斜する傾斜面で構成し、
この作動流体溜め部に溜められた作動流体の表面張力と、通気孔に臨む作動流体の表面張力とが釣り合うような形状に、前記作動流体溜め部の内径を形成した請求項１または２に記載の流体軸受装置。
スリーブにおける閉鎖端面側の空間領域が、シャフトの先端に固定されたスラストフランジが配設されている空間領域であり、
このスラストフランジが臨む空間に、スリーブにおける前記閉鎖端面側に設けられた連通孔の開口部が通じるように構成した請求項１〜３の何れか１項に記載の流体軸受装置。
スリーブにおける閉鎖端面側の空間領域が、シャフトの先端と閉鎖端面側領域閉鎖板とで形成される空間領域であり、
このシャフトの先端が臨む空間に、スリーブにおける前記閉鎖端面側に設けられた連通孔の開口部が通じるように構成した請求項１〜３の何れか１項に記載の流体軸受装置。
ラジアル動圧溝を、ヘリングボーン形状とし、動圧溝の一方側を他方側に比べて長く形成することにより、作動流体を積極的に循環する力を与える形状に形成した請求項１〜５の何れか１項に記載の流体軸受装置。
請求項１〜６の何れか１項に記載の流体軸受装置を備えたスピンドルモータ。