JP4443779B2 - Liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system - Google Patents

Liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネル点灯表示検査装置を用いた液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示装置(LCD;Liquid Crystal Display)を構成する薄膜トランジスタ(TFT;Thin Film Transistor)基板は、TFT基板の製造工程終了後に行われるTFT基板欠陥検査装置を用いたTFT基板欠陥検査工程で欠陥の有無が検査されている。TFT基板欠陥検査工程では、TFT/LCDセルコンデンサに電荷を蓄積し、一定時間保持した後に積分器によって蓄積された電荷を読み取ることにより、TFT基板内の全ての欠陥が検出される。その後TFT基板は、欠陥の個数や位置等により良否判定される。
【0003】
TFT基板とカラーフィルタ(CF;Color Filter)基板を貼り合わせて液晶を注入した後には、液晶表示パネル点灯表示検査が行われる。図11は、従来の液晶表示パネル点灯表示検査工程を示す概略構成図である。まず、被検査対象の液晶表示パネル102の全ての端子にプローブ104のプローブピン106を接触させる。次に、処理系B116は、信号発生器114、コントロール基板112、プローブ104及びプローブピン106を介して液晶表示パネル102の端子に所定の表示信号を供給する。この表示信号により、液晶表示パネル102の全ての欠陥を検出するのに必要な全ての検査表示パターンを液晶表示パネル102に表示させている。また、液晶表示パネル102は、裏面からバックライト108により照明されている。次に、電荷結合素子(CCD;Charge Coupled Device)カメラ110により得られた液晶表示パネル102の検査表示パターンの画像を処理系B116で解析して液晶表示パネル102の全ての表示欠陥を検出し、液晶表示パネル102を良否判定する。また、液晶表示パネル点灯表示検査工程では、ムラや異物の有無等も検査する。
【0004】
検出された欠陥情報を含む液晶表示パネル102の検査結果は、処理系B116から処理系A118に送出される。処理系A118は、液晶表示パネル102の検査結果を液晶表示パネル点灯表示検査装置用データベース(DB)120に書き込む。TFT基板欠陥検査と液晶表示パネル点灯表示検査はそれぞれ独立して取扱われており、液晶表示パネル点灯表示検査工程での検査結果はTFT基板欠陥検査工程での検査結果とは別のDBに格納される。
【0005】
図12は、従来の他の液晶表示パネル点灯表示検査工程を示す概略構成図である。図12に示す液晶表示パネル点灯表示検査工程は、図11に示すようにCCDカメラ110を用いずに、オペレータ122が液晶表示パネル102に表示される検査表示パターンを目視して液晶表示パネル102の欠陥を検出し、液晶表示パネル102を良否判定する。液晶表示パネル102の検査結果は、オペレータ122により処理系A118へ入力される。処理系A118は、液晶表示パネル102の検査結果を液晶表示パネル点灯表示検査装置用DB120に書き込む。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来の液晶表示パネル点灯表示検査工程では、液晶表示パネル102の全ての表示欠陥を検出するのに必要な全ての検査表示パターンが液晶表示パネル102に表示される。そのため、液晶表示パネル点灯表示検査に長時間を要してしまうという問題を有している。
【0007】
本発明の目的は、液晶表示パネル点灯表示検査の検査時間を短縮させた液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、被検査対象の液晶表示パネルに所定の検査表示パターンを表示させ、前記液晶表示パネルの表示欠陥を検出する液晶表示パネル点灯表示検査方法であって、前工程のTFT基板欠陥検査工程で検出済みの欠陥種の欠陥情報をTFT基板欠陥情報データベースから取得して、前記欠陥種を検出する検査を省略することを特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査方法によって達成される。
【0009】
また、上記目的は、被検査対象の液晶表示パネルに所定の検査表示パターンを表示させ、前記液晶表示パネルの表示欠陥を検出する液晶表示パネル点灯表示検査システムであって、前工程のTFT基板欠陥検査工程で検出済みの欠陥種の欠陥情報をTFT基板欠陥情報データベースから取得して、前記欠陥種を検出する検査を省略することを特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査システムによって達成される。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムについて図1乃至図10を用いて説明する。まず、本実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムの概略の構成について図1を用いて説明する。図1は、本実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムを示す概略構成図である。被検査対象の液晶表示パネル2は、バックライト8上に位置決めされており、液晶表示パネル2の全ての端子にはプローブ4のプローブピン6が接触できるようになっている。。液晶表示パネル2上方には液晶表示パネル2の表示状態を撮影するCCDカメラ10が配置されており、CCDカメラ10は撮影した画像情報を処理系B16へ送出するようになっている。処理系B16は、信号発生器14、コントロール基板12、プローブ4及びプローブピン6を介して液晶表示パネル2の各端子に所定の表示信号を供給するとともに、CCDカメラ10から送られる画像情報を解析するようになっている。
【0011】
処理系B16は、処理系A18に接続されている。処理系A18は、液晶表示パネル点灯表示検査の検査結果を格納する液晶表示パネル点灯表示検査装置用DB20にローカル・エリア・ネットワーク(LAN;Local Area Network)28を介して接続されている。LAN28上には、前工程のTFT基板欠陥検査工程に用いるTFT基板欠陥検査装置26と、TFT基板欠陥検査の検査結果を格納しているTFT基板欠陥情報DB24とがさらに接続されている。
【0012】
次に、本実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方法について説明する。まず、TFT基板欠陥検査を通過したTFT基板とCF基板とを貼り合わせ、両基板間に液晶を注入して形成した液晶表示パネル2を搬送装置(図示せず)を用いてバックライト8上に搬送し、位置決めを行い、液晶表示パネル2の全ての端子にプローブピン6を接触させる。次いで処理系B16は、液晶表示パネル2の全ての端子に、液晶表示パネル2が所定の検査表示パターンを表示するような表示信号を供給する。液晶表示パネル2の上方に配置されているCCDカメラ10は、液晶表示パネル2に表示された検査表示パターンを撮影する。CCDカメラ10は撮影した画像情報を処理系B16へ送出する。処理系B16は、画像情報を画像解析して表示欠陥を検出し、液晶表示パネル2の表示欠陥の検出結果をLAN28に接続されている処理系A18に送出する。
【0013】
ここで、液晶表示パネル点灯表示検査工程で検出される表示欠陥の中には、前工程であるTFT基板欠陥検査工程で検出済みの欠陥種も含まれている。次に、TFT基板欠陥検査工程で検出される欠陥種であって、液晶表示パネル点灯表示検査工程でも検出可能な4つの欠陥種について図2乃至図8を用いて説明する。
【0014】
図2は第1の欠陥種を示す画素領域の平面図である。絶縁性を有するガラス基板32上には、図中左右方向へ延びるゲートバスライン36と図中上下方向へ延びるドレインバスライン38とで画素領域が画定されている。画素領域には画素電極34が形成されている。画素領域のほぼ中央部には、蓄積容量バスライン40が画素領域を横切って形成されている。蓄積容量バスライン40上には中間電極51が形成されており、中間電極51と画素電極34はコンタクトホール52を介して接続されている。画素領域の図中左上方には、ゲートバスライン36と、ドレインバスライン38から延出しているドレイン電極42と、ドレイン電極42と所定の間隙で対向して形成されているソース電極44とでTFT45が形成されている。TFT45の図中下方の楕円で囲まれた領域は第1の欠陥種を示している。この欠陥種は、ドレインバスライン38と中間電極51が接続された状態で形成されており、ドレインバスライン38と画素電極34が中間電極51とコンタクトホール52を介して短絡している状態を示している。
【0015】
図3は、液晶表示パネル点灯表示検査工程で表示される検査表示パターンの1つである白黒上下2分割検査表示パターンを示している。図3に示すように、表示領域46は上下2領域に分割されている。上部は白(又は黒)表示されており、下部は黒(又は白)表示されている。表示領域46の左下部には、黒を表示している領域の中に中間調の輝点欠陥50が生じている。なお、この表示は、CCDカメラ10の撮影に要する時間(例えば数秒)程度の間隔で白黒が反転される。
【0016】
図2に示した欠陥種は、画素電極34とドレインバスライン38が短絡しているため、ドレインバスライン38上の階調電圧の電圧変化がそのまま画素電極34の電圧変化となる。図3に示した白黒上下2分割検査表示パターンを表示させると、例えばフレーム反転駆動されるノーマリーブラックモードの液晶表示パネルにおけるドレインバスライン38の階調電圧は、フレーム毎にフレームの前半が例えば±5Vで後半が例えば±1Vとなる。1フレーム周期が1/60sec(秒)であれば、図2に示した欠陥種を有する画素は、1/120secずつ白表示と黒表示を繰り返すため中間調の点として視認される。したがって、図2に示した欠陥種を有する画素は、白表示領域中にあれば暗点欠陥となり、黒表示領域中にあれば輝点欠陥となる。これはドット反転駆動でも同様であり、また、ノーマリーホワイトモードでも同様である。
【0017】
図4は第2の欠陥種を示す画素領域の平面図である。TFT45上の円で囲まれた領域は、ドレイン電極42とソース電極44が短絡している状態を示している。図4に示した欠陥種を有する画素は、図2に示した欠陥種を有する画素と同様に、ドレインバスライン38の階調電圧の電圧変化がそのまま画素電極34の電圧変化となる。したがって、図3に示した白黒上下2分割検査表示パターンを表示させることによって、白表示領域中にあれば暗点欠陥となり、黒表示領域中にあれば輝点欠陥となる。
【0018】
図5は第3の欠陥種を示す画素領域の平面図である。TFT45の図中左下の楕円で囲まれた領域は、ドレインバスライン38が図中左側の中間電極51と接続された状態で形成されており、ドレインバスライン38と図中左側の画素電極34が中間電極51とコンタクトホール52を介して短絡している状態を示している。図5に示した欠陥種を有する画素は、ドレインバスライン38の階調電圧の電圧変化がそのまま図中左側の画素電極34の電圧変化となる。したがって、図3に示した白黒上下2分割検査表示パターンを表示させることによって、白表示領域中にあれば暗点欠陥となり、黒表示領域中にあれば輝点欠陥となる。
【0019】
図6は第4の欠陥種を示す画素領域の平面図である。TFT45の図中右側の円で囲まれた領域は、画素電極34が図中上側の画素領域の画素電極34と短絡している状態を示している。
【0020】
図7は、液晶表示パネル点灯表示検査工程で表示される検査表示パターンの1つである横縞模様検査表示パターンを示している。図7に示すように、表示領域46は図中横方向の1画素分の太さを有するラインが1ラインおきに白黒交互に表示されている。図中左上部には、黒を表示するラインが一部途切れている輝点欠陥48が生じている。図8は、図7に示した表示領域46における輝点欠陥48付近の拡大図を示している。表示領域46に表示されている黒を表示するラインのうち、図中上から2番目のラインは1画素分途切れている。図6に示した欠陥種を有する画素は、液晶表示パネル点灯表示検査工程で、ゲートバスライン36方向のラインを1ライン置きに白黒交互に表示させる横縞模様検査表示パターンを表示領域46に表示させることにより検出される。この検査表示パターンは、CCDカメラ10の撮影に要する時間(例えば数秒)程度の間隔で反転して表示される。
【0021】
図6に示した欠陥種は図中上下に隣接する画素領域に形成された画素電極34が短絡しているため、上部画素の画素電位は下部画素の画素電位と同電位になる。すなわち、図中下側の画素が白を表示しているライン上にあるときは、図中上側の画素は黒を表示するライン上にあるにも関わらず白を表示するため、図7及び図8に示すように輝点欠陥48となる。逆に、図中下側の画素が黒を表示しているライン上にあるときは、図中上側の画素は白を表示するライン上にあるにも関わらず黒を表示するため暗点欠陥となる。これらはノーマリーブラックモードでもノーマリーホワイトモードでも同様であり、また、フレーム反転駆動でもドット反転駆動でも同様である。
【0022】
上述の4つの欠陥種は、前工程であるTFT基板欠陥検査工程で既に検出されている。またこれらの欠陥種は、液晶表示パネル点灯表示検査工程では、白黒上下2分割検査表示パターンあるいは横縞模様検査表示パターンを表示させたときのみ検出される。したがって、液晶表示パネル点灯表示検査工程では、TFT基板欠陥検査工程で検出済みのこれらの欠陥種の欠陥情報をTFT基板欠陥情報DB24から取得することによって、これらの欠陥種を検出するための検査を省略することができる。
【0023】
図1に戻って、TFT基板欠陥検査の検査結果は、TFT基板欠陥情報DB24に書き込まれている。検査結果に含まれている欠陥情報は、例えば検査年月日、ロット番号、シリアル番号、欠陥を有する画素を特定するゲートバスライン番号及びドレインバスライン番号、欠陥種等のデータで構成されている。処理系A18は、LAN28を介してTFT基板欠陥情報DB24から上述の第1乃至第4の4つの欠陥種についての欠陥情報を検索して取得し、処理系B16へ送る。処理系B16はそれらの欠陥種を液晶表示パネル点灯表示検査でも検出される欠陥と判断して、それらの欠陥種を検出する検査表示パターンを表示しないことで検査を省略し、送られた欠陥情報と液晶表示パネル点灯表示検査結果とを併せて液晶表示パネル2を良否判定する。次いで、処理系B16は、TFT基板欠陥情報を含んだ最終的な液晶表示パネル点灯表示検査結果を処理系Aへ送る。処理系Aは、最終的な液晶表示パネル点灯表示検査結果を液晶表示パネル点灯表示検査装置用DB20に書き込む。
【0024】
本実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムによれば、液晶表示パネル点灯表示検査工程において、TFT基板欠陥検査工程で検出されている欠陥種を検出するための検査を省略することができる。そのため、表示される検査表示パターンを減らすことにより液晶表示パネル点灯表示検査の検査時間を短縮できる。本実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムをある液晶表示パネル点灯表示検査工程に適用したところ、液晶表示パネル1枚当たりの点灯表示検査時間は、従来150secかかっていたのに対し90secとなり40%短縮することができた。また、不良パネルの後工程への流出もこれまで以上に少なくすることができた。
【0025】
図9は、上記実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムの変形例を示す概略構成図である。本変形例は、処理系A18がTFT基板欠陥情報DB24から検索して取得した欠陥情報を処理系B16へは送らない点に特徴を有している。このため処理系B16は、最終的な液晶表示パネル点灯表示検査結果による良否判定をせず、液晶表示パネル点灯表示検査工程での検査結果のみを処理系A18へ送る。処理系A18は、処理系B16から送られてくる液晶表示パネル点灯表示検査結果と欠陥情報とを併せて液晶表示パネル2を良否判定する。本変形例によっても上記実施の形態と同様の効果が得られる。
【0026】
図10は、上記実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムの他の変形例を示す概略構成図である。本変形例は、CCDカメラ10で得られた画像を処理系B16で解析するのではなく、オペレータ22が液晶表示パネル2に表示される検査表示パターンを目視することにより液晶表示パネル2の欠陥を検出することを特徴としている。液晶表示パネル2の検査結果は、オペレータ22により処理系A18へ入力される。処理系A18は、入力された液晶表示パネル2の検査結果と、TFT基板欠陥情報DB24から検索して取得した欠陥情報とを併せて液晶表示パネル2を良否判定する。本変形例によっても上記実施例と同様な効果が得られる。
【0027】
本発明は、上記実施の形態に限らず種々の変形が可能である。
例えば、図1に示した上記実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムでは、CCDカメラ10から送られてくる画像情報は、処理系B16により解析されているが、本発明はこれに限られない。処理系B16の負荷が大きければ処理系B16とは別に画像処理解析用の処理系を設けてもよい。その場合、専用インターフェイス経由となるため処理速度は低下するが、非常に負荷の大きい画像処理解析を他の処理系で行うため、処理系B16の負荷を軽くすることができるようになる。
【0028】
以上説明した実施の形態による液晶表示パネル点灯表示方法及び表示システムは、以下のようにまとめられる。
(付記1)
被検査対象の液晶表示パネルに所定の検査表示パターンを表示させ、前記液晶表示パネルの表示欠陥を検出する液晶表示パネル点灯表示検査方法であって、
前工程のTFT基板欠陥検査工程で検出済みの欠陥種の欠陥情報をTFT基板欠陥情報データベースから取得して、
前記欠陥種を検出する検査を省略すること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査方法。
【0029】
(付記2)
付記1記載の液晶表示パネル点灯表示検査方法において、
前記省略する検査は、前記液晶表示パネルに検査表示パターンを表示させて表示欠陥を検出することを内容とすること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査方法。
【0030】
(付記3)
付記1又は2に記載の液晶表示パネル点灯表示検査方法において、
前記欠陥種は、TFT基板上に形成された画素電極と、前記画素電極に階調電圧を印加するドレインバスラインとが短絡していることを示していること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査方法。
【0031】
(付記4)
付記1又は2に記載の液晶表示パネル点灯表示検査方法において、
前記欠陥種は、TFT基板上に形成されたTFTのドレイン電極とソース電極とが短絡していることを示していること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査方法。
【0032】
(付記5)
付記1又は2に記載の液晶表示パネル点灯表示検査方法において、
前記欠陥種は、TFT基板上の画素領域に形成された画素電極と、前記画素領域に隣接する画素領域に形成された画素電極に階調電圧を印加するドレインバスラインとが短絡していることを示していること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査方法。
【0033】
(付記6)
付記1又は2に記載の液晶表示パネル点灯表示検査方法において、
前記欠陥種は、TFT基板上の画素領域に形成された画素電極と、前記画素電極に階調電圧を印加するドレインバスラインの延びる方向に隣接する画素領域に形成された画素電極とが短絡していることを示していること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査方法。
【0034】
(付記7)
被検査対象の液晶表示パネルに所定の検査表示パターンを表示させ、前記液晶表示パネルの表示欠陥を検出する液晶表示パネル点灯表示検査システムであって、
前工程のTFT基板欠陥検査工程で検出済みの欠陥種の欠陥情報をTFT基板欠陥情報データベースから取得して、
前記欠陥種を検出する検査を省略すること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査システム。
【0035】
(付記8)
付記7記載の液晶表示パネル点灯表示検査システムにおいて、
前記省略する検査は、前記液晶表示パネルに検査表示パターンを表示させて表示欠陥を検出することを内容とすること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査システム。
【0036】
(付記9)
付記7又は8に記載の液晶表示パネル点灯表示検査システムにおいて、
前記欠陥種は、TFT基板上に形成された画素電極と、前記画素電極に階調電圧を印加するドレインバスラインとが短絡していることを示していること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査システム。
【0037】
(付記10)
付記7又は8に記載の液晶表示パネル点灯表示検査システムにおいて、
前記欠陥種は、TFT基板上に形成されたTFTのドレイン電極とソース電極とが短絡していることを示していること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査システム。
【0038】
(付記11)
付記7又は8に記載の液晶表示パネル点灯表示検査システムにおいて、
前記欠陥種は、TFT基板上の画素領域に形成された画素電極と、前記画素領域と隣接する画素領域に形成された画素電極に階調電圧を印加するドレインバスラインとが短絡していることを示していること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査システム。
【0039】
(付記12)
付記7又は8に記載の液晶表示パネル点灯表示検査システムにおいて、
前記欠陥種は、TFT基板上の画素領域に形成された画素電極と、前記画素電極に階調電圧を印加するドレインバスラインの延びる方向に隣接する画素領域に形成された画素電極とが短絡していることを示していること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査システム。
【0040】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によれば、液晶表示パネル点灯表示検査の検査時間を短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムを示す概略構成図である。
【図2】本発明の一実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムが適用される第1の欠陥種を示す画素領域の平面図である。
【図3】液晶表示パネル点灯検査工程において表示される白黒上下2分割検査表示パターンを示す図である。
【図4】本発明の一実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムが適用される第2の欠陥種を示す画素領域の平面図である。
【図5】本発明の一実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムが適用される第3の欠陥種を示す画素領域の平面図である。
【図6】本発明の一実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムが適用される第4の欠陥種を示す画素領域の平面図である。
【図7】液晶表示パネル点灯検査工程において表示される横縞模様検査表示パターンを示す図である。
【図8】液晶表示パネル点灯検査工程において表示される横縞模様検査表示パターンを示す拡大図である。
【図9】本発明の一実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムの変形例を示す概略構成図である。
【図10】本発明の一実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムの他の変形例を示す概略構成図である。
【図11】従来の液晶表示パネル点灯表示検査工程を示す構成図である。
【図12】従来の他の液晶表示パネル点灯表示検査工程を示す構成図である。
【符号の説明】
2 液晶表示パネル
4 プローブ
6 プローブピン
8 バックライト
10 CCDカメラ
12 コントロール基板
14 信号発生器
16 処理系B
18 処理系A
20 液晶表示パネル点灯表示検査装置用DB
22 オペレータ
24 TFT基板欠陥情報DB
26 TFT基板欠陥検査装置
28 LAN
32 ガラス基板
34 画素電極
36 ゲートバスライン
38 ドレインバスライン
40 蓄積容量バスライン
42 ドレイン電極
44 ソース電極
45 TFT
46 表示領域
48、50 輝点欠陥
51 中間電極
52 コンタクトホール
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a liquid crystal display panel lighting display inspection method and an inspection system using a liquid crystal display panel lighting display inspection device.
[0002]
[Prior art]
A thin film transistor (TFT) substrate that constitutes a liquid crystal display (LCD) is present in a TFT substrate defect inspection process using a TFT substrate defect inspection apparatus performed after the TFT substrate manufacturing process is completed. Has been inspected. In the TFT substrate defect inspection step, all the defects in the TFT substrate are detected by accumulating charges in the TFT / LCD cell capacitor and reading the charges accumulated by the integrator after holding for a certain time. Thereafter, the TFT substrate is judged good or bad by the number and position of defects.
[0003]
After the TFT substrate and the color filter (CF) substrate are bonded together and liquid crystal is injected, a liquid crystal display panel lighting display inspection is performed. FIG. 11 is a schematic configuration diagram showing a conventional liquid crystal display panel lighting display inspection process. First, the probe pins 106 of the probe 104 are brought into contact with all terminals of the liquid crystal display panel 102 to be inspected. Next, the processing system B 116 supplies a predetermined display signal to the terminal of the liquid crystal display panel 102 via the signal generator 114, the control board 112, the probe 104, and the probe pin 106. With this display signal, all inspection display patterns necessary for detecting all defects of the liquid crystal display panel 102 are displayed on the liquid crystal display panel 102. Further, the liquid crystal display panel 102 is illuminated by a backlight 108 from the back surface. Next, an image of the inspection display pattern of the liquid crystal display panel 102 obtained by the charge coupled device (CCD) camera 110 is analyzed by the processing system B116 to detect all display defects of the liquid crystal display panel 102. The quality of the liquid crystal display panel 102 is determined. Further, in the liquid crystal display panel lighting display inspection step, the presence or absence of unevenness and foreign matter is also inspected.
[0004]
The inspection result of the liquid crystal display panel 102 including the detected defect information is sent from the processing system B116 to the processing system A118. The processing system A 118 writes the inspection result of the liquid crystal display panel 102 in the liquid crystal display panel lighting display inspection apparatus database (DB) 120. TFT substrate defect inspection and liquid crystal display panel lighting display inspection are handled independently, and the inspection results in the liquid crystal display panel lighting display inspection process are stored in a separate database from the inspection results in the TFT substrate defect inspection process. The
[0005]
FIG. 12 is a schematic configuration diagram showing another conventional liquid crystal display panel lighting display inspection process. In the liquid crystal display panel lighting display inspection process shown in FIG. 12, the operator 122 looks at the inspection display pattern displayed on the liquid crystal display panel 102 without using the CCD camera 110 as shown in FIG. A defect is detected and the quality of the liquid crystal display panel 102 is determined. The inspection result of the liquid crystal display panel 102 is input to the processing system A 118 by the operator 122. The processing system A 118 writes the inspection result of the liquid crystal display panel 102 in the DB 120 for liquid crystal display panel lighting display inspection device.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
In the conventional liquid crystal display panel lighting display inspection process, all inspection display patterns necessary for detecting all display defects of the liquid crystal display panel 102 are displayed on the liquid crystal display panel 102. Therefore, there is a problem that a long time is required for the liquid crystal display panel lighting display inspection.
[0007]
The objective of this invention is providing the liquid crystal display panel lighting display test | inspection method and test | inspection system which shortened the test | inspection time of the liquid crystal display panel lighting display test | inspection.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The above object is a liquid crystal display panel lighting display inspection method for displaying a predetermined inspection display pattern on a liquid crystal display panel to be inspected and detecting a display defect of the liquid crystal display panel. The defect information of the detected defect type is obtained from the TFT substrate defect information database and the inspection for detecting the defect type is omitted.
[0009]
Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display panel lighting display inspection system for displaying a predetermined inspection display pattern on a liquid crystal display panel to be inspected and detecting a display defect of the liquid crystal display panel. This is achieved by a liquid crystal display panel lighting display inspection system characterized in that the defect information of the defect type detected in the inspection process is acquired from the TFT substrate defect information database and the inspection for detecting the defect type is omitted.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
A liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. First, a schematic configuration of a liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system according to the present embodiment. The liquid crystal display panel 2 to be inspected is positioned on the backlight 8 so that the probe pins 6 of the probe 4 can come into contact with all terminals of the liquid crystal display panel 2. . Above the liquid crystal display panel 2, a CCD camera 10 for photographing the display state of the liquid crystal display panel 2 is disposed, and the CCD camera 10 sends the photographed image information to the processing system B16. The processing system B16 supplies a predetermined display signal to each terminal of the liquid crystal display panel 2 through the signal generator 14, the control board 12, the probe 4, and the probe pin 6, and analyzes image information sent from the CCD camera 10. It is supposed to be.
[0011]
The processing system B16 is connected to the processing system A18. The processing system A18 is connected via a local area network (LAN) 28 to a DB 20 for liquid crystal display panel lighting display inspection apparatus that stores the inspection results of the liquid crystal display panel lighting display inspection. On the LAN 28, a TFT substrate defect inspection apparatus 26 used for the TFT substrate defect inspection process in the previous process and a TFT substrate defect information DB 24 storing inspection results of the TFT substrate defect inspection are further connected.
[0012]
Next, a liquid crystal display panel lighting display inspection method according to the present embodiment will be described. First, the TFT substrate and the CF substrate that have passed the TFT substrate defect inspection are bonded together, and a liquid crystal display panel 2 formed by injecting liquid crystal between the two substrates is placed on the backlight 8 using a transport device (not shown). Then, the probe pins 6 are brought into contact with all terminals of the liquid crystal display panel 2. Next, the processing system B16 supplies a display signal that causes the liquid crystal display panel 2 to display a predetermined inspection display pattern to all the terminals of the liquid crystal display panel 2. The CCD camera 10 disposed above the liquid crystal display panel 2 captures an inspection display pattern displayed on the liquid crystal display panel 2. The CCD camera 10 sends the captured image information to the processing system B16. The processing system B16 analyzes the image information to detect display defects, and sends the display defect detection result of the liquid crystal display panel 2 to the processing system A18 connected to the LAN.
[0013]
Here, the display defects detected in the liquid crystal display panel lighting display inspection step include defect types detected in the TFT substrate defect inspection step, which is a previous step. Next, four defect types that can be detected in the TFT substrate defect inspection process and that can be detected in the liquid crystal display panel lighting display inspection process will be described with reference to FIGS.
[0014]
FIG. 2 is a plan view of the pixel region showing the first defect type. On the insulating glass substrate 32, a pixel region is defined by a gate bus line 36 extending in the left-right direction in the drawing and a drain bus line 38 extending in the vertical direction in the drawing. A pixel electrode 34 is formed in the pixel region. A storage capacitor bus line 40 is formed across the pixel region at substantially the center of the pixel region. An intermediate electrode 51 is formed on the storage capacitor bus line 40, and the intermediate electrode 51 and the pixel electrode 34 are connected through a contact hole 52. In the upper left of the pixel region in the figure, there are a gate bus line 36, a drain electrode 42 extending from the drain bus line 38, and a source electrode 44 formed facing the drain electrode 42 with a predetermined gap. A TFT 45 is formed. A region surrounded by an ellipse below the TFT 45 in the drawing indicates a first defect type. This defect type is formed when the drain bus line 38 and the intermediate electrode 51 are connected, and the drain bus line 38 and the pixel electrode 34 are short-circuited via the intermediate electrode 51 and the contact hole 52. ing.
[0015]
FIG. 3 shows a black-and-white upper and lower divided inspection display pattern which is one of the inspection display patterns displayed in the liquid crystal display panel lighting display inspection process. As shown in FIG. 3, the display area 46 is divided into two upper and lower areas. The upper part is displayed in white (or black), and the lower part is displayed in black (or white). In the lower left part of the display area 46, a halftone bright spot defect 50 is generated in the area displaying black. In this display, black and white are reversed at intervals of about the time required for photographing by the CCD camera 10 (for example, several seconds).
[0016]
In the defect type shown in FIG. 2, since the pixel electrode 34 and the drain bus line 38 are short-circuited, the voltage change of the gradation voltage on the drain bus line 38 becomes the voltage change of the pixel electrode 34 as it is. When the black and white vertically divided inspection display pattern shown in FIG. 3 is displayed, for example, the gradation voltage of the drain bus line 38 in the normally black mode liquid crystal display panel driven by frame inversion is, for example, the first half of the frame for each frame. ± 5V and the latter half becomes ± 1V, for example. If one frame period is 1/60 sec (seconds), the pixel having the defect type shown in FIG. 2 is visually recognized as a halftone point because white display and black display are repeated every 1/120 sec. Therefore, a pixel having the defect type shown in FIG. 2 becomes a dark spot defect if it is in the white display area, and a bright spot defect if it is in the black display area. This is the same in the dot inversion driving and the same in the normally white mode.
[0017]
FIG. 4 is a plan view of the pixel region showing the second defect type. A region surrounded by a circle on the TFT 45 indicates a state where the drain electrode 42 and the source electrode 44 are short-circuited. In the pixel having the defect type shown in FIG. 4, the voltage change of the gradation voltage of the drain bus line 38 becomes the voltage change of the pixel electrode 34 as it is, like the pixel having the defect type shown in FIG. Therefore, by displaying the black and white vertically divided inspection display pattern shown in FIG. 3, a dark spot defect occurs in the white display area and a bright spot defect exists in the black display area.
[0018]
FIG. 5 is a plan view of a pixel region showing a third defect type. A region surrounded by an ellipse on the lower left side of the TFT 45 in the figure is formed with the drain bus line 38 connected to the intermediate electrode 51 on the left side in the figure, and the drain bus line 38 and the pixel electrode 34 on the left side in the figure are connected. A state in which the intermediate electrode 51 and the contact hole 52 are short-circuited is shown. In the pixel having the defect type shown in FIG. 5, the voltage change of the gradation voltage of the drain bus line 38 becomes the voltage change of the pixel electrode 34 on the left side in the drawing. Therefore, by displaying the black and white vertically divided inspection display pattern shown in FIG. 3, a dark spot defect occurs in the white display area and a bright spot defect exists in the black display area.
[0019]
FIG. 6 is a plan view of the pixel region showing the fourth defect type. A region surrounded by a circle on the right side of the TFT 45 in the drawing shows a state in which the pixel electrode 34 is short-circuited with the pixel electrode 34 in the upper pixel region in the drawing.
[0020]
FIG. 7 shows a horizontal stripe pattern inspection display pattern which is one of the inspection display patterns displayed in the liquid crystal display panel lighting display inspection process. As shown in FIG. 7, in the display area 46, lines having a thickness of one pixel in the horizontal direction in the figure are alternately displayed in black and white every other line. In the upper left part of the figure, there is a bright spot defect 48 in which a line displaying black is partially interrupted. FIG. 8 shows an enlarged view of the vicinity of the bright spot defect 48 in the display area 46 shown in FIG. Of the lines displaying black displayed in the display area 46, the second line from the top in the figure is interrupted by one pixel. The pixels having the defect type shown in FIG. 6 display in the display area 46 a horizontal stripe pattern inspection display pattern in which the lines in the direction of the gate bus line 36 are alternately displayed in black and white every other line in the liquid crystal display panel lighting display inspection step. Is detected. This inspection display pattern is inverted and displayed at intervals of about the time required for photographing by the CCD camera 10 (for example, several seconds).
[0021]
In the defect type shown in FIG. 6, the pixel electrode 34 formed in the upper and lower adjacent pixel regions is short-circuited, so that the pixel potential of the upper pixel becomes the same as the pixel potential of the lower pixel. That is, when the lower pixel in the figure is on a line displaying white, the upper pixel in the figure displays white even though it is on a line displaying black. As shown in FIG. Conversely, when the lower pixel in the figure is on the line displaying black, the upper pixel in the figure displays black even though it is on the line displaying white, and this is a dark spot defect. Become. These are the same in both the normally black mode and the normally white mode, and are the same in both the frame inversion driving and the dot inversion driving.
[0022]
The above four defect types have already been detected in the TFT substrate defect inspection process, which is a previous process. In addition, these defect types are detected only when the black and white upper and lower divided inspection display pattern or the horizontal stripe inspection display pattern is displayed in the liquid crystal display panel lighting display inspection process. Therefore, in the liquid crystal display panel lighting display inspection process, defect information of these defect types detected in the TFT substrate defect inspection process is acquired from the TFT substrate defect information DB 24, thereby performing inspection for detecting these defect types. Can be omitted.
[0023]
Returning to FIG. 1, the inspection result of the TFT substrate defect inspection is written in the TFT substrate defect information DB 24. The defect information included in the inspection result includes, for example, data such as an inspection date, a lot number, a serial number, a gate bus line number and a drain bus line number for specifying a defective pixel, and a defect type. . The processing system A18 retrieves and acquires defect information on the above-described first to fourth defect types from the TFT substrate defect information DB 24 via the LAN 28, and sends the defect information to the processing system B16. The processing system B16 judges these defect types as defects detected in the liquid crystal display panel lighting display inspection, omits the inspection by not displaying the inspection display pattern for detecting those defect types, and sends the sent defect information. And the liquid crystal display panel lighting display inspection result are combined to determine whether the liquid crystal display panel 2 is good or bad. Next, the processing system B16 sends the final liquid crystal display panel lighting display inspection result including the TFT substrate defect information to the processing system A. The processing system A writes the final liquid crystal display panel lighting display inspection result in the liquid crystal display panel lighting display inspection apparatus DB 20.
[0024]
According to the liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system according to the present embodiment, the inspection for detecting the defect type detected in the TFT substrate defect inspection process is omitted in the liquid crystal display panel lighting display inspection process. Can do. Therefore, the inspection time of the liquid crystal display panel lighting display inspection can be shortened by reducing the displayed inspection display patterns. When the liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system according to the present embodiment is applied to a certain liquid crystal display panel lighting display inspection process, the lighting display inspection time per liquid crystal display panel conventionally takes 150 seconds. It was 90 seconds, which was 40% shorter. Also, the outflow of defective panels to the subsequent process could be reduced more than ever.
[0025]
FIG. 9 is a schematic configuration diagram showing a modification of the liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system according to the above embodiment. This modification is characterized in that the defect information acquired by the processing system A18 by searching from the TFT substrate defect information DB 24 is not sent to the processing system B16. For this reason, the processing system B16 does not make a pass / fail determination based on the final liquid crystal display panel lighting display inspection result, and sends only the inspection result in the liquid crystal display panel lighting display inspection process to the processing system A18. The processing system A18 determines the quality of the liquid crystal display panel 2 by combining the liquid crystal display panel lighting display inspection result and defect information sent from the processing system B16. The effect similar to the said embodiment is acquired also by this modification.
[0026]
FIG. 10 is a schematic configuration diagram showing another modification of the liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system according to the above embodiment. In this modified example, the image obtained by the CCD camera 10 is not analyzed by the processing system B16, but the operator 22 visually observes the inspection display pattern displayed on the liquid crystal display panel 2 to detect defects in the liquid crystal display panel 2. It is characterized by detecting. The inspection result of the liquid crystal display panel 2 is input by the operator 22 to the processing system A18. The processing system A18 determines the quality of the liquid crystal display panel 2 by combining the input inspection result of the liquid crystal display panel 2 and the defect information retrieved from the TFT substrate defect information DB 24. The effect similar to the said Example is acquired also by this modification.
[0027]
The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made.
For example, in the liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system according to the above embodiment shown in FIG. 1, the image information sent from the CCD camera 10 is analyzed by the processing system B16. Not limited to. If the load on the processing system B16 is large, a processing system for image processing analysis may be provided separately from the processing system B16. In this case, the processing speed is reduced because it is via the dedicated interface, but the image processing analysis with a very large load is performed in another processing system, so that the load on the processing system B16 can be reduced.
[0028]
The liquid crystal display panel lighting display method and display system according to the embodiment described above can be summarized as follows.
(Appendix 1)
A liquid crystal display panel lighting display inspection method for displaying a predetermined inspection display pattern on a liquid crystal display panel to be inspected and detecting a display defect of the liquid crystal display panel,
Obtain defect information of defect types detected in the TFT substrate defect inspection process of the previous process from the TFT substrate defect information database,
A liquid crystal display panel lighting display inspection method, wherein the inspection for detecting the defect type is omitted.
[0029]
(Appendix 2)
In the liquid crystal display panel lighting display inspection method according to attachment 1,
The liquid crystal display panel lighting display inspection method characterized in that the omitted inspection includes displaying an inspection display pattern on the liquid crystal display panel and detecting a display defect.
[0030]
(Appendix 3)
In the liquid crystal display panel lighting display inspection method according to appendix 1 or 2,
The defect type indicates that a pixel electrode formed on the TFT substrate and a drain bus line for applying a gradation voltage to the pixel electrode are short-circuited. Inspection method.
[0031]
(Appendix 4)
In the liquid crystal display panel lighting display inspection method according to appendix 1 or 2,
The liquid crystal display panel lighting display inspection method, wherein the defect type indicates that a drain electrode and a source electrode of a TFT formed on the TFT substrate are short-circuited.
[0032]
(Appendix 5)
In the liquid crystal display panel lighting display inspection method according to appendix 1 or 2,
The defect type is a short circuit between a pixel electrode formed in a pixel region on the TFT substrate and a drain bus line for applying a gradation voltage to a pixel electrode formed in a pixel region adjacent to the pixel region. A liquid crystal display panel lighting display inspection method characterized by showing.
[0033]
(Appendix 6)
In the liquid crystal display panel lighting display inspection method according to appendix 1 or 2,
The defect type is a short circuit between the pixel electrode formed in the pixel region on the TFT substrate and the pixel electrode formed in the adjacent pixel region in the extending direction of the drain bus line for applying a gradation voltage to the pixel electrode. A liquid crystal display panel lighting display inspection method characterized by showing that
[0034]
(Appendix 7)
A liquid crystal display panel lighting display inspection system for displaying a predetermined inspection display pattern on a liquid crystal display panel to be inspected and detecting a display defect of the liquid crystal display panel,
Obtain defect information of defect types detected in the TFT substrate defect inspection process of the previous process from the TFT substrate defect information database,
A liquid crystal display panel lighting display inspection system, wherein inspection for detecting the defect type is omitted.
[0035]
(Appendix 8)
In the liquid crystal display panel lighting display inspection system according to appendix 7,
The liquid crystal display panel lighting display inspection system is characterized in that the inspection to be omitted includes displaying an inspection display pattern on the liquid crystal display panel to detect a display defect.
[0036]
(Appendix 9)
In the liquid crystal display panel lighting display inspection system according to appendix 7 or 8,
The defect type indicates that a pixel electrode formed on the TFT substrate and a drain bus line for applying a gradation voltage to the pixel electrode are short-circuited. Inspection system.
[0037]
(Appendix 10)
In the liquid crystal display panel lighting display inspection system according to appendix 7 or 8,
The defect type indicates that the drain electrode and the source electrode of the TFT formed on the TFT substrate are short-circuited, wherein the liquid crystal display panel lighting display inspection system is characterized.
[0038]
(Appendix 11)
In the liquid crystal display panel lighting display inspection system according to appendix 7 or 8,
In the defect type, the pixel electrode formed in the pixel region on the TFT substrate and the drain bus line for applying the gradation voltage to the pixel electrode formed in the pixel region adjacent to the pixel region are short-circuited. A liquid crystal display panel lighting display inspection system characterized by showing.
[0039]
(Appendix 12)
In the liquid crystal display panel lighting display inspection system according to appendix 7 or 8,
The defect type is a short circuit between the pixel electrode formed in the pixel region on the TFT substrate and the pixel electrode formed in the adjacent pixel region in the extending direction of the drain bus line for applying a gradation voltage to the pixel electrode. A liquid crystal display panel lighting display inspection system characterized by showing that
[0040]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the inspection time of the liquid crystal display panel lighting display inspection can be shortened.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view of a pixel region showing a first defect type to which a liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system according to an embodiment of the present invention is applied.
FIG. 3 is a diagram showing a black and white upper and lower divided inspection display pattern displayed in a liquid crystal display panel lighting inspection process;
FIG. 4 is a plan view of a pixel region showing a second defect type to which a liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system according to an embodiment of the present invention is applied.
FIG. 5 is a plan view of a pixel region showing a third defect type to which a liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system according to an embodiment of the present invention is applied.
FIG. 6 is a plan view of a pixel region showing a fourth defect type to which a liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system according to an embodiment of the present invention is applied.
FIG. 7 is a diagram showing a horizontal stripe pattern inspection display pattern displayed in a liquid crystal display panel lighting inspection step.
FIG. 8 is an enlarged view showing a horizontal stripe pattern inspection display pattern displayed in a liquid crystal display panel lighting inspection step.
FIG. 9 is a schematic configuration diagram showing a modification of the liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system according to the embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a schematic configuration diagram showing another modification of the liquid crystal display panel lighting display inspection method and inspection system according to the embodiment of the present invention.
FIG. 11 is a configuration diagram showing a conventional liquid crystal display panel lighting display inspection process.
FIG. 12 is a configuration diagram showing another conventional liquid crystal display panel lighting display inspection process.
[Explanation of symbols]
2 Liquid crystal display panel 4 Probe 6 Probe pin 8 Backlight 10 CCD camera 12 Control board 14 Signal generator 16 Processing system B
18 Processing system A
20 Liquid crystal display panel lighting display inspection DB
22 Operator 24 TFT substrate defect information DB
26 TFT substrate defect inspection device 28 LAN
32 glass substrate 34 pixel electrode 36 gate bus line 38 drain bus line 40 storage capacitor bus line 42 drain electrode 44 source electrode 45 TFT
46 Display area 48, 50 Bright spot defect 51 Intermediate electrode 52 Contact hole

Claims (5)

被検査対象の液晶表示パネルに所定の検査表示パターンを表示させ、前記液晶表示パネルの表示欠陥を検出する液晶表示パネル点灯表示検査方法であって、
前工程のTFT基板欠陥検査工程で検出済みの所定の欠陥種の欠陥情報をTFT基板欠陥情報データベースから取得して、
前記欠陥種を検出する検査を省略し、
取得した前記所定の欠陥種の欠陥情報と液晶表示パネル点灯表示検査結果とを併せて前記液晶表示パネルを良否判定すること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査方法。
A liquid crystal display panel lighting display inspection method for displaying a predetermined inspection display pattern on a liquid crystal display panel to be inspected and detecting a display defect of the liquid crystal display panel,
Obtain defect information of a predetermined defect type detected in the TFT substrate defect inspection process of the previous process from the TFT substrate defect information database,
Omit the inspection to detect the defect type ,
A liquid crystal display panel lighting display inspection method comprising: determining the quality of the liquid crystal display panel by combining the acquired defect information of the predetermined defect type and the liquid crystal display panel lighting display inspection result .
請求項1記載の液晶表示パネル点灯表示検査方法において、
前記欠陥種は、TFT基板上に形成された画素電極と、前記画素電極に階調電圧を印加するドレインバスラインとが短絡していることを示していること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査方法。
In the liquid crystal display panel lighting display inspection method according to claim 1,
The defect type indicates that a pixel electrode formed on the TFT substrate and a drain bus line for applying a gradation voltage to the pixel electrode are short-circuited. Inspection method.
請求項1記載の液晶表示パネル点灯表示検査方法において、
前記欠陥種は、TFT基板上に形成されたTFTのドレイン電極とソース電極とが短絡していることを示していること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査方法。
In the liquid crystal display panel lighting display inspection method according to claim 1,
The defect type indicates that the drain electrode and the source electrode of the TFT formed on the TFT substrate are short-circuited.
請求項1記載の液晶表示パネル点灯表示検査方法において、
前記欠陥種は、TFT基板上の画素領域に形成された画素電極と、前記画素領域に隣接する画素領域に形成された画素電極に階調電圧を印加するドレインバスラインとが短絡していることを示していること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査方法。
In the liquid crystal display panel lighting display inspection method according to claim 1,
The defect type is a short circuit between a pixel electrode formed in a pixel region on the TFT substrate and a drain bus line for applying a gradation voltage to a pixel electrode formed in a pixel region adjacent to the pixel region. A liquid crystal display panel lighting display inspection method characterized by
請求項1記載の液晶表示パネル点灯表示検査方法において、
前記欠陥種は、TFT基板上の画素領域に形成された画素電極と、前記画素電極に階調電圧を印加するドレインバスラインの延びる方向に隣接する画素領域に形成された画素電極とが短絡していることを示していること
を特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査方法。
In the liquid crystal display panel lighting display inspection method according to claim 1,
The defect type is a short circuit between the pixel electrode formed in the pixel region on the TFT substrate and the pixel electrode formed in the adjacent pixel region in the extending direction of the drain bus line for applying a gradation voltage to the pixel electrode. A liquid crystal display panel lighting display inspection method characterized by showing that
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