JP4430441B2

JP4430441B2 - Inspection method of ceramic elements

Info

Publication number: JP4430441B2
Application number: JP2004085388A
Authority: JP
Inventors: 浩之野村
Original assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Current assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Priority date: 2004-03-23
Filing date: 2004-03-23
Publication date: 2010-03-10
Anticipated expiration: 2024-03-23
Also published as: JP2005274234A

Description

本発明は、内部に導電パターンが形成されたセラミック素子に存在しうるクラックの有無の検査方法に関するものである。 The present invention relates to a method for inspecting the presence or absence of cracks that may be present in a ceramic element having a conductive pattern formed therein.

従来、自動車などの排気ガス中の窒素酸化物または酸素などの濃度に応じた電気信号を出力するガスセンサのセンサ素子が知られている。このようなセンサには酸素センサ、全領域空燃比センサ、ＮＯ_Ｘセンサなどがあるが、例えば全領域空燃比センサの素子は、酸素濃度を検出する検出ユニットと、その検出ユニットを加熱するヒータユニットとが互いに張り合わされた構造を有する。検出ユニットは、両面に、多孔質からなる一対の白金電極が形成された、ジルコニア固体電解質からなるセラミック基板が複数積層されており、ヒータユニットは、発熱を行う導電パターンがアルミナからなる２枚のセラミック基板に挟持されて形成されている。 2. Description of the Related Art Conventionally, a sensor element of a gas sensor that outputs an electric signal according to the concentration of nitrogen oxide or oxygen in exhaust gas of an automobile or the like is known. Such sensors include an oxygen sensor, a full-range air-fuel ratio sensor, a NO _X sensor, and the like. And have a structure in which they are attached to each other. The detection unit is formed by laminating a plurality of ceramic substrates made of zirconia solid electrolyte with a pair of porous platinum electrodes formed on both sides, and the heater unit has two conductive patterns made of alumina that generate heat. It is formed by being sandwiched between ceramic substrates.

ガスセンサの製造工程において、このようなセラミックを基材とする検出ユニットやヒータユニットに、ピンホールやクラックが存在していないか検査が行われる。ピンホールやクラックが存在するとそれらユニットの強度不足や絶縁性の低下等の問題を生じ、センサ素子としての信頼性を損なう虞があるからである。そこで、これらユニットのように電極を有するセラミック素子にクラックが存在しているか否かを検査する方法が、従来より提案されている。この従来のクラック等の有無の検査では、導電性の液体を満たした槽にセラミック素子を浸し、例えば毛管現象を利用してクラック等の内部に導電性液体を染み込ませている。そして、セラミック素子の導電パターンと導電性液体との間に電圧を印加したとき、両者間の絶縁抵抗値が所定値よりも小さければ、クラック等が存在したとみなす手法が知られている（例えば特許文献１参照。）。
特開平９−３０４３２４号公報 In the manufacturing process of the gas sensor, the detection unit or the heater unit using such a ceramic as a base material is inspected for pinholes and cracks. If pinholes and cracks are present, problems such as insufficient strength of the units and a decrease in insulation may occur, which may impair the reliability of the sensor element. Therefore, a method for inspecting whether or not a crack exists in a ceramic element having an electrode like these units has been proposed. In the conventional inspection for the presence or absence of cracks or the like, the ceramic element is immersed in a tank filled with a conductive liquid, and the conductive liquid is soaked into the cracks or the like using, for example, a capillary phenomenon. Then, when a voltage is applied between the conductive pattern of the ceramic element and the conductive liquid, a technique is considered that a crack or the like is present if the insulation resistance value between the two is smaller than a predetermined value (for example, (See Patent Document 1).
JP-A-9-304324

また、導電性液体が満たされた槽にセラミック素子を浸した際に、セラミック素子の外表面上に細かな気泡が付着する場合がある。この気泡がクラック等の表面部分に付着していた場合、気泡の表面張力によってクラック等の内部に導電性液体が染み込むのを阻害されてしまう可能性がある。そこで、セラミック素子に超音波振動を与え、セラミック素子の外表面上から気泡の除去を行うことも提案されている（例えば特許文献２参照。）。
特開２００２−４８８３２号公報 Further, when the ceramic element is immersed in a bath filled with a conductive liquid, fine bubbles may adhere to the outer surface of the ceramic element. When the bubbles are attached to the surface portion such as a crack, the surface tension of the bubbles may hinder the penetration of the conductive liquid into the crack or the like. Therefore, it has also been proposed to remove bubbles from the outer surface of the ceramic element by applying ultrasonic vibration to the ceramic element (see, for example, Patent Document 2).
JP 2002-48832 A

ところで、セラミック素子に非常に小さなクラック（マイクロクラック）が存在した場合、その内部に付着した気泡は、セラミック素子に超音波振動を与えても除去されない可能性がある。この気泡のような空気が残ることを前提にクラック等の有無の検査を行う場合、その検査の精度を高めるためには、マイクロクラック内の空気による絶縁の影響を受けないようにすればよい。具体的には、従来は、高電圧（例えば、１ｋＶ）を印加して、その空気の絶縁破壊を発生させ、セラミック素子の導通パターンと導電性液体との間の絶縁抵抗値を測定していた。 By the way, when very small cracks (micro cracks) exist in the ceramic element, there is a possibility that bubbles attached to the inside of the ceramic element are not removed even when ultrasonic vibration is applied to the ceramic element. When testing for the presence or absence of cracks or the like on the assumption that air such as bubbles remains, in order to increase the accuracy of the testing, it is only necessary to avoid the influence of insulation by air in the microcracks. Specifically, conventionally, a high voltage (for example, 1 kV) is applied to cause dielectric breakdown of the air, and the insulation resistance value between the conductive pattern of the ceramic element and the conductive liquid is measured. .

しかしながら、クラック内に空気が残ることを前提に高電圧を利用してクラック等の有無の検査を行う方法では、検査を行うための配線に耐高電圧ケーブルを使用する必要があり、高電圧に対する安全対策も含め、取り扱いに手間やコストがかかるという問題があった。 However, in the method of inspecting the presence or absence of cracks using a high voltage on the assumption that air remains in the crack, it is necessary to use a high-voltage cable for the wiring for performing the inspection. Including safety measures, there was a problem that handling was troublesome and costly.

本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、導電性液体に浸したセラミック素子に存在しうるクラック等の内部の空気を除去し、クラック等の有無の検査を容易に行うことができるセラミック素子の検査方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is possible to remove internal air such as cracks that may exist in a ceramic element immersed in a conductive liquid, and to easily check for the presence of cracks or the like. An object of the present invention is to provide a method for inspecting a ceramic element.

上記目的を達成するために、請求項１に係る発明のセラミック素子の検査方法は、外部と絶縁された少なくとも一つの導電パターンが内部に形成されたセラミック素子に、クラックが存在するか否かを検査するセラミック素子の検査方法であって、前記セラミック素子を減圧室に入室させる入室工程と、前記セラミック素子が入室された前記減圧室内の気圧を減圧する減圧工程と、前記減圧工程の実施後に、前記セラミック素子が入室された前記減圧室内に配設されている導電性液体に前記セラミック素子を浸す浸漬工程と、前記減圧工程および前記浸漬工程の実施後に、前記減圧室内の気圧を大気圧に復帰する気圧復帰工程と、前記セラミック素子の前記導電パターンと、前記導電性液体と接触する電極との間に電圧を印加し、両者間の抵抗値を測定することで、前記セラミック素子にクラックが存在するか否かを検査する検査工程とを備えている。 In order to achieve the above object, a method for inspecting a ceramic element according to a first aspect of the present invention is to determine whether or not a crack exists in a ceramic element in which at least one conductive pattern insulated from the outside is formed. A method for inspecting a ceramic element to be inspected, wherein an entry step for entering the ceramic element into a decompression chamber, a decompression step for reducing the pressure in the decompression chamber in which the ceramic element is entered, and after the execution of the decompression step, Immersion step of immersing the ceramic element in a conductive liquid disposed in the decompression chamber containing the ceramic element, and after the decompression step and the immersion step, the pressure in the decompression chamber is returned to atmospheric pressure. A voltage is applied between the atmospheric pressure recovery step, the conductive pattern of the ceramic element, and the electrode in contact with the conductive liquid. By measuring the value, and a test step for checking whether a crack is present in the ceramic element.

また、請求項２に係る発明のセラミック素子の検査方法は、互いに絶縁された少なくとも二つの導電パターンが内部に形成されたセラミック素子に、クラックが存在するか否かを検査するセラミック素子の検査方法であって、前記セラミック素子を減圧室に入室させる入室工程と、前記セラミック素子が入室された前記減圧室内の気圧を減圧する減圧工程と、前記減圧工程の実施後に、前記セラミック素子が入室された前記減圧室内に配設されている導電性液体に前記セラミック素子を浸す浸漬工程と、前記減圧工程および前記浸漬工程の実施後に、前記減圧室内の気圧を大気圧に復帰する気圧復帰工程と、前記セラミック素子の前記導電パターンのうち、検査を行う被検査導電パターン間に電圧を印加し、両者間の抵抗値を測定することで、前記セラミック素子にクラックが存在するか否かを検査する検査工程とを備えている。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a ceramic element inspection method for inspecting whether or not a crack exists in a ceramic element having at least two conductive patterns insulated therein. An entry step for entering the ceramic element into the decompression chamber, a decompression step for reducing the pressure in the decompression chamber in which the ceramic element is entered, and the ceramic element entered after the decompression step . An immersion step of immersing the ceramic element in a conductive liquid disposed in the decompression chamber; an atmospheric pressure return step of restoring the atmospheric pressure in the decompression chamber to an atmospheric pressure after the decompression step and the immersion step; and By applying a voltage between the conductive patterns to be inspected among the conductive patterns of the ceramic element, and measuring the resistance value between them And a testing step of checking whether a crack is present in the ceramic element.

また、請求項３に係る発明のセラミック素子の検査方法は、互いに絶縁され、外部とも絶縁された少なくとも二つ以上の導電パターンが内部に形成されたセラミック素子に、クラックが存在するか否かを検査するセラミック素子の検査方法であって、前記セラミック素子を減圧室に入室させる入室工程と、前記セラミック素子が入室された前記減圧室内の気圧を減圧する減圧工程と、前記減圧工程の実施後に、前記セラミック素子が入室された前記減圧室内に配設されている導電性液体に前記セラミック素子を浸す浸漬工程と、前記減圧工程および前記浸漬工程の実施後に、前記減圧室内の気圧を大気圧に復帰する気圧復帰工程と、前記セラミック素子の前記導電パターンのうちの検査を行う被検査導電パターン間に電圧を印加する一方、前記被検査導電パターンの少なくとも１つと前記導電性液体に接触する電極の間とのそれぞれに電圧を印加し、各者間の抵抗値をそれぞれ測定することで、前記セラミック素子にクラックが存在するか否かを検査する検査工程とを備えている。According to a third aspect of the present invention, there is provided a method for inspecting a ceramic element, comprising: determining whether or not a crack exists in a ceramic element having at least two conductive patterns insulated from each other and insulated from the outside. A method for inspecting a ceramic element to be inspected, wherein an entry step for entering the ceramic element into a decompression chamber, a decompression step for reducing the pressure in the decompression chamber in which the ceramic element is entered, and after the execution of the decompression step, Immersion step of immersing the ceramic element in a conductive liquid disposed in the decompression chamber containing the ceramic element, and after the decompression step and the immersion step, the pressure in the decompression chamber is returned to atmospheric pressure. While applying a voltage between the atmospheric pressure return step and the conductive pattern to be inspected for inspecting the conductive pattern of the ceramic element, Whether or not there is a crack in the ceramic element by applying a voltage between at least one of the conductive patterns to be inspected and between the electrodes in contact with the conductive liquid and measuring a resistance value between the respective persons. And an inspection process for inspecting the above.

請求項１に係る発明のセラミック素子の検査方法では、まず、減圧工程と浸漬工程とを実施する。その後、気圧復帰工程を実施することにより、セラミック素子にクラック等が存在した場合、このクラック内に気泡を存在させることなく、導電性液体を染み込ませることができる。そして、セラミック素子の内部に形成された導電パターンと、セラミック素子の外部を満たす導電性液体との間に電圧を印加して両者間の抵抗値を測定すれば、クラック等が存在する場合には両者間の抵抗値が小さくなるので、これに基づきクラック等の有無について検査を行うことができる。また、クラック等の内部に残る空気を排除することができるので、導電パターンと導電性液体との間に高電圧を印加することなく、十分な検査結果を得ることができる。これにより、高電圧によるセラミック素子の破壊の可能性を排除できる。また、その検査時の印加電圧の低下によって、耐高電圧ケーブルの使用等、安全対策にかかる手間を軽減でき、検査コストの削減を図ることができる。
また、減圧工程の実施後に浸漬工程を実施して、セラミック素子を導電性液体に浸す前にセラミック素子が入室された減圧室の気圧を減圧したので、セラミック素子にクラック等が存在する場合、セラミック素子を導電性液体に浸すときにはクラック等の内部の圧力が低下した状態となる。この後に、減圧室内の気圧を大気圧に復帰させると、導電性液体を介して大気とクラック等の内部に残る空気との間に圧力差が生じるため、クラック等の内部を大気に押圧された導電性液体によって満たすことができる。 In the ceramic element inspection method according to the first aspect of the present invention, first, the decompression step and the immersion step are performed. Thereafter, when a crack or the like is present in the ceramic element, the conductive liquid can be infiltrated without causing bubbles in the ceramic element by performing the atmospheric pressure recovery step. If a voltage is applied between the conductive pattern formed inside the ceramic element and the conductive liquid filling the outside of the ceramic element and the resistance value between them is measured, if there is a crack or the like, Since the resistance value between the two becomes small, the presence or absence of cracks or the like can be inspected based on this. In addition, since air remaining inside cracks and the like can be eliminated, sufficient test results can be obtained without applying a high voltage between the conductive pattern and the conductive liquid. Thereby, the possibility of destruction of the ceramic element due to the high voltage can be eliminated. In addition, due to the decrease in the applied voltage at the time of the inspection, it is possible to reduce the time and effort required for safety measures such as the use of a high voltage cable, and the inspection cost can be reduced.
In addition, the immersion process is performed after the decompression process, and the pressure in the decompression chamber in which the ceramic element is placed is reduced before the ceramic element is immersed in the conductive liquid. When the element is immersed in the conductive liquid, the internal pressure such as cracks is reduced. After that, when the atmospheric pressure in the decompression chamber is returned to the atmospheric pressure, a pressure difference is generated between the atmosphere and the air remaining in the crack or the like via the conductive liquid, so the inside of the crack or the like was pressed to the atmosphere. It can be filled with a conductive liquid.

請求項２に係る発明のセラミック素子の検査方法では、まず、減圧工程と浸漬工程とを実施する。その後、気圧復帰工程を実施することにより、セラミック素子にクラック等が存在した場合、このクラック内に気泡を存在させることなく、導電性液体を染み込ませることができる。そして、セラミック素子の内部に形成され、互いに絶縁された検査対象の被検査導電パターン間に電圧を印加して両者間の抵抗値を測定すれば、クラック等が存在する場合には両者間の抵抗値が小さくなるので、これに基づきクラック等の有無について検査を行うことができる。また、クラック等の内部に残る空気を排除することができるので、被検査導電パターン間に高電圧を印加することなく、十分な検査結果を得ることができる。これにより、高電圧によるセラミック素子の破壊の可能性を排除できる。また、被検査導電パターン間同士が近接するような状況にあっても、検査時に、両者間を隔てる空気において絶縁破壊が発生し、検査精度の低下を招いてしまう可能性を排除することができる。さらに、その検査時の印加電圧の低下によって、耐高電圧ケーブルの使用等、安全対策にかかる手間を軽減でき、検査コストの削減を図ることができる。 In the ceramic element inspection method according to the second aspect of the present invention, first, the decompression step and the immersion step are performed. Thereafter, when a crack or the like is present in the ceramic element, the conductive liquid can be infiltrated without causing bubbles in the ceramic element by performing the atmospheric pressure recovery step. Then, if a voltage is measured between the conductive patterns to be inspected that are formed inside the ceramic element and insulated from each other and the resistance value between them is measured, the resistance between the two in the presence of cracks, etc. Since the value becomes smaller, it can be inspected for the presence of cracks and the like based on this value. In addition, since air remaining inside cracks or the like can be eliminated, sufficient inspection results can be obtained without applying a high voltage between the conductive patterns to be inspected. Thereby, the possibility of destruction of the ceramic element due to the high voltage can be eliminated. In addition, even in a situation where the inspected conductive patterns are close to each other, it is possible to eliminate the possibility that a dielectric breakdown occurs in the air separating the two during the inspection, resulting in a decrease in inspection accuracy. . Furthermore, the reduction in applied voltage at the time of the inspection can reduce the time and effort required for safety measures such as the use of a high voltage resistant cable, and the inspection cost can be reduced.

また、減圧工程の実施後に浸漬工程を実施して、セラミック素子を導電性液体に浸す前にセラミック素子が入室された減圧室の気圧を減圧したので、セラミック素子にクラック等が存在する場合、セラミック素子を導電性液体に浸すときにはクラック等の内部の圧力が低下した状態となる。この後に、減圧室内の気圧を大気圧に復帰させると、導電性液体を介して大気とクラック等の内部に残る空気との間に圧力差が生じるため、クラック等の内部を大気に押圧された導電性液体によって満たすことができる。 In addition, the immersion process is performed after the decompression process, and the pressure in the decompression chamber in which the ceramic element is placed is reduced before the ceramic element is immersed in the conductive liquid. When the element is immersed in the conductive liquid, the internal pressure such as cracks is reduced. After that, when the atmospheric pressure in the decompression chamber is returned to the atmospheric pressure, a pressure difference is generated between the atmosphere and the air remaining in the crack or the like via the conductive liquid, so the inside of the crack or the like was pressed to the atmosphere. It can be filled with a conductive liquid.

請求項３に係る発明のセラミック素子の検査方法によれば、セラミック素子の検査対象となる導電パターン間と、導電パターンと導電性液体に接触する電極との間のそれぞれの絶縁を維持しているセラミック素子にクラック等が存在するか否かの検査を、一度の検査で行うことができるため、検査にかかる時間を大幅に短縮することができ、検査効率を上げ、検査コストの低減を図ることができる。 According to the ceramic element inspection method of the invention of claim 3, the insulation between the conductive patterns to be inspected of the ceramic elements and between the conductive pattern and the electrode in contact with the conductive liquid is maintained. Since it is possible to inspect whether there are cracks, etc. in the ceramic element in a single inspection, the time required for the inspection can be greatly shortened, the inspection efficiency can be increased, and the inspection cost can be reduced. Can do.

以下、本発明のセラミック素子の検査方法の一実施の形態について、図面を参照して説明する。まず、図１を参照して、本発明の検査方法を用いて検査が行われるセラミック素子の一例としての検出ユニット１０を備えたセンサ素子１について説明する。図１は、センサ素子１の模式的な構成を示す模式断面図である。 Hereinafter, an embodiment of a ceramic element inspection method of the present invention will be described with reference to the drawings. First, with reference to FIG. 1, the sensor element 1 provided with the detection unit 10 as an example of the ceramic element in which it test | inspects using the test | inspection method of this invention is demonstrated. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a schematic configuration of the sensor element 1.

一般的なガスセンサに使用される検出ユニットは、検出対象に応じて様々な型式の素子が用いられている。例えば、接触した被検出ガスの濃度に応じて起電力が変化するもの（起電力変化型）が広く用いられている。本実施の形態における検出ユニット１０は周知の構造を有し、被検出ガスとしての排気ガス中の酸素濃度の検出が可能な全領域空燃比センサのセラミック素子である。 Various types of elements are used in a detection unit used in a general gas sensor according to a detection target. For example, those in which the electromotive force changes according to the concentration of the gas to be detected in contact (electromotive force change type) are widely used. The detection unit 10 in the present embodiment is a ceramic element of a full-range air-fuel ratio sensor that has a well-known structure and can detect the oxygen concentration in exhaust gas as a gas to be detected.

図１に示すように、センサ素子１の検出ユニット１０には、固体電解質としての短冊状のジルコニア製のセラミック基材１１，セラミック基材１５の各両面に、多孔質の白金等からなる一対の導電パターン１２，１３および導電パターン１６，１７がそれぞれ設けられている。セラミック基材１１とセラミック基材１５とは、導電パターン１３と導電パターン１６とが対向するように積層され、両者間にガス検出室２１が形成されている。ガス検出室２１の側方の壁面には、ガス検出室２１内に排気ガスを導入するための多孔質のガス拡散多孔質壁１４が形成されている。ジルコニア製のセラミック基材１１，１５は、高温環境下（例えば９００℃）において活性化し酸素イオン導電性を示すが、室温環境下では絶縁性が高い。 As shown in FIG. 1, the detection unit 10 of the sensor element 1 includes a pair of strips of zirconia as a solid electrolyte made of zirconia and a ceramic substrate 15 on both sides of porous platinum or the like. Conductive patterns 12 and 13 and conductive patterns 16 and 17 are provided, respectively. The ceramic substrate 11 and the ceramic substrate 15 are laminated so that the conductive pattern 13 and the conductive pattern 16 face each other, and a gas detection chamber 21 is formed between them. A porous gas diffusion porous wall 14 for introducing exhaust gas into the gas detection chamber 21 is formed on the side wall of the gas detection chamber 21. The ceramic base materials 11 and 15 made of zirconia are activated in a high temperature environment (for example, 900 ° C.) and exhibit oxygen ion conductivity, but have a high insulating property in a room temperature environment.

セラミック基材１５の導電パターン１７は、セラミック基材１５のガス検出室２１とは反対側の面上に形成されており、その導電パターン１７の外方を覆う絶縁性に優れたアルミナ製のセラミック基材２０との間に酸素を貯留するための酸素基準室１８が設けられている。セラミック基材２０は、検出ユニット１０の外装として保護するとともに、導電パターン１７と外部との絶縁を担っている。同様に、セラミック基材１１の導電パターン１２は、セラミック基材１５のガス検出室２１とは反対側の面上に形成されており、その導電パターン１２の外方が多孔質状のアルミナ製のセラミック基材１９で覆われ、導電パターン１２と外部との絶縁がなされている。 The conductive pattern 17 of the ceramic substrate 15 is formed on the surface of the ceramic substrate 15 opposite to the gas detection chamber 21, and the ceramic made of alumina excellent in insulation covering the outside of the conductive pattern 17. An oxygen reference chamber 18 for storing oxygen is provided between the substrate 20 and the substrate 20. The ceramic substrate 20 protects the exterior of the detection unit 10 and insulates the conductive pattern 17 from the outside. Similarly, the conductive pattern 12 of the ceramic substrate 11 is formed on the surface of the ceramic substrate 15 opposite to the gas detection chamber 21, and the outside of the conductive pattern 12 is made of porous alumina. It is covered with a ceramic base material 19 to insulate the conductive pattern 12 from the outside.

そして、導電パターン１３と導電パターン１６とは素子内部で電気的に接続されており、導電パターン１２、導電パターン１７とともに、それぞれ、素子外部との電気的な接続を行うための三本の電極端子２２，２３，２４に接続されている。 The conductive pattern 13 and the conductive pattern 16 are electrically connected inside the element, and together with the conductive pattern 12 and the conductive pattern 17, three electrode terminals for making an electrical connection to the outside of the element. 22, 23, 24.

また、全領域空燃比センサのセンサ素子１では、短冊状のヒータユニット３０がセメント２５によって検出ユニット１０に接着されている。ヒータユニット３０には、二層のアルミナ製セラミック基材３１の層の間に発熱抵抗体からなる導電パターン３２が形成されている。導電パターン３２はヒータユニット３０の内部で繋がった一本のヒータパターンであり、外部の電極端子３３，３４は、そのヒータパターンの両端部にそれぞれ接続されている。 In the sensor element 1 of the full-range air-fuel ratio sensor, a strip-shaped heater unit 30 is bonded to the detection unit 10 with cement 25. In the heater unit 30, a conductive pattern 32 made of a heating resistor is formed between two layers of the alumina ceramic substrate 31. The conductive pattern 32 is a single heater pattern connected inside the heater unit 30, and the external electrode terminals 33 and 34 are connected to both ends of the heater pattern, respectively.

このように構成されたセラミック素子の検査方法について、以下、説明を行うにあたり、まず、セラミック素子に存在しうるクラック等の有無の検査を行うための構成について、図２を参照して説明する。図２は、減圧室１００内に検出ユニット１０を入室させる様子を示す図である。なお、本実施の形態ではセラミック素子の一例としての検出ユニット１０の検査方法について説明するが、説明の容易化のため、以下の図面に示す検出ユニット１０は、導電パターンのみに着目した簡略図を用いている。 The ceramic element inspection method configured as described above will be described below with reference to FIG. 2 for a configuration for inspecting the presence or absence of cracks or the like that may exist in the ceramic element. FIG. 2 is a diagram illustrating a state in which the detection unit 10 enters the decompression chamber 100. In this embodiment, an inspection method of the detection unit 10 as an example of a ceramic element will be described. However, for ease of explanation, the detection unit 10 shown in the following drawings is a simplified diagram focusing only on a conductive pattern. Used.

図２に示す減圧室１００は、密閉可能な室内に浴槽１１０を備え、室内の気圧を減圧する真空ポンプ１２０と、室内に大気を導入することが可能なバルブ１３０とが接続されている。浴槽１１０には導電性液体１１１が満たされており、その浴槽１１０内には導電性液体１１１に電圧を印加するための電極端子１１２が設けられている。また、図示しないが、減圧室１００内には検出ユニット１０を保持し、減圧室１００が密閉された状態で、保持した検出ユニット１０を導電性液体１１１に浸すことが可能な保持アームが設けられている。なお、電極端子１１２が、本発明における「導電性液体と接触する電極」に相当する。 A decompression chamber 100 shown in FIG. 2 includes a bathtub 110 in a sealable room, and is connected to a vacuum pump 120 that decompresses the atmospheric pressure in the room and a valve 130 that can introduce the atmosphere into the room. The bathtub 110 is filled with a conductive liquid 111, and an electrode terminal 112 for applying a voltage to the conductive liquid 111 is provided in the bathtub 110. Although not shown, a holding arm that holds the detection unit 10 in the decompression chamber 100 and can immerse the held detection unit 10 in the conductive liquid 111 in a state where the decompression chamber 100 is sealed is provided. ing. The electrode terminal 112 corresponds to the “electrode in contact with the conductive liquid” in the present invention.

なお、導電性液体１１１としては水を用いてもよいが、発泡性の少ない有機溶媒等が好ましく、例えばエタノールや硝酸アンモニウム水溶液等であれば、セラミック素子の材質に悪影響を与えないのでより好適である。 Although water may be used as the conductive liquid 111, an organic solvent with low foaming property is preferable. For example, ethanol or an aqueous ammonium nitrate solution is more preferable because it does not adversely affect the material of the ceramic element. .

次に、セラミック素子の検査方法について、図２〜図５を参照して説明する。図３は、浴槽１１０に満たされた導電性液体１１１に検出ユニット１０を浸した状態を示す図である。図４，図５は、クラック等の有無の検査を行う様子を示す図である。 Next, a method for inspecting a ceramic element will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a diagram illustrating a state in which the detection unit 10 is immersed in the conductive liquid 111 filled in the bathtub 110. 4 and 5 are diagrams showing a state in which the presence or absence of cracks or the like is inspected.

まず、図２に示すように、セラミック素子の一例として、センサ素子１に組み立てる前の検出ユニット１０が、減圧室１００内に入室される（入室工程）。検出ユニット１０は、図示外の保持アームに保持され、次いで減圧室１００の密閉が行われる。このとき、検出ユニット１０は、未だ導電性液体１１１には接触されていない。 First, as shown in FIG. 2, as an example of the ceramic element, the detection unit 10 before being assembled into the sensor element 1 enters the decompression chamber 100 (room entry process). The detection unit 10 is held by a holding arm (not shown), and then the decompression chamber 100 is sealed. At this time, the detection unit 10 is not yet in contact with the conductive liquid 111.

減圧室１００の密閉が完了すると真空ポンプ１２０が駆動され、減圧室１００内の気圧が減圧される（減圧工程）。これにより、検出ユニット１０を取り巻く大気の気圧が減少し、検出ユニット１０のセラミック基材１１，１５，１９，２０にクラック等が存在した場合、そのクラック等の内部の気圧も減少する。なお、クラック等の内部の減圧を確実に行うには減圧室１００内を−５０ＫＰａ以下の気圧とすればよいことは周知であるが、発明者の実験により、−９０ＫＰａ以下であれば、より確実にクラック等の内部の気圧を減少させることができることが判明しており、好ましい。 When sealing of the decompression chamber 100 is completed, the vacuum pump 120 is driven, and the pressure in the decompression chamber 100 is decompressed (decompression step). As a result, the atmospheric pressure surrounding the detection unit 10 is reduced, and if there are cracks or the like in the ceramic bases 11, 15, 19, and 20 of the detection unit 10, the internal pressure such as the cracks is also reduced. In addition, it is well known that the pressure inside the decompression chamber 100 may be set to −50 KPa or less in order to surely reduce the pressure inside the crack or the like. In particular, it has been found that the internal pressure such as cracks can be reduced, which is preferable.

減圧室１００の減圧が完了すると、次に図３に示すように、保持アーム（図示外）が駆動され、検出ユニット１０が浴槽１１０の導電性液体１１１に浸される（浸漬工程）。このとき、電極端子２２，２３，２４は導電性液体１１１に浸からないように調整される。検出ユニット１０にクラック等が存在すれば、毛管現象によりクラック等の内部に導電性液体１１１が染み込む。減圧工程では完全な真空状態とはならないのでクラック等の内部には圧力の小さい空気が残る場合があるが、毛管現象によりクラック等の外部へと引き出され、クラック等の内部は導電性液体１１１で満たされる。 When the decompression of the decompression chamber 100 is completed, as shown in FIG. 3, the holding arm (not shown) is then driven, and the detection unit 10 is immersed in the conductive liquid 111 of the bathtub 110 (immersion process). At this time, the electrode terminals 22, 23, and 24 are adjusted so as not to be immersed in the conductive liquid 111. If a crack or the like exists in the detection unit 10, the conductive liquid 111 penetrates into the crack or the like due to a capillary phenomenon. In the decompression process, a vacuum is not completely formed, so air with a low pressure may remain inside the crack, etc., but it is pulled out to the outside such as a crack by capillary action, and the inside of the crack is made of the conductive liquid 111. It is filled.

次に、バルブ１３０が開放され、減圧室１００内に大気が導入される（大気圧復帰工程）。これにより減圧室１００内の気圧が大気圧に等しくなる。すると、この大気による圧力によって導電性液体１１１が押圧され、クラック等の内部の圧力の低い空気にもその圧力がかかる。クラック等の内部（特にマイクロクラック内）に残る空気は、大気の圧力により押された導電性液体１１１との押圧力に抗しきれず、クラック等の外部に排除される。こうして、検出ユニット１０にクラック等が存在した場合、そのクラック等の内部は導電性液体１１１によって満たされる。 Next, the valve 130 is opened, and the atmosphere is introduced into the decompression chamber 100 (atmospheric pressure return step). Thereby, the atmospheric pressure in the decompression chamber 100 becomes equal to the atmospheric pressure. Then, the conductive liquid 111 is pressed by the pressure of the atmosphere, and the pressure is also applied to air with low internal pressure such as cracks. The air remaining inside the crack or the like (particularly inside the microcrack) cannot be resisted by the pressing force with the conductive liquid 111 pressed by the atmospheric pressure, and is excluded outside the crack or the like. Thus, when a crack or the like exists in the detection unit 10, the inside of the crack or the like is filled with the conductive liquid 111.

次に、図４に示すように、検出ユニット１０の各電極端子２２，２３，２４および浴槽１１０内の電極端子１１２の任意の電極端子間に周知の抵抗値測定器１４０が接続され、両者間に印加される電圧と測定される電流値に基づき、両者間の絶縁抵抗値の測定が行われる（検査工程）。なお、図４では、電極端子２２と電極端子１１２との間の絶縁抵抗値を測定する場合の抵抗値測定器１４０の接続例が示されている。本実施の形態では２５０Ｖの電圧が、検査対象である電極端子間に印加される。前述した入室工程、減圧工程、浸漬工程、大気圧復帰工程を経ることでセラミック基材１１，１５，１９，２０にクラック等が存在した場合でも、確実に、そのクラック等の内部に導電性液体１１１を満たすことが可能となる。このため、クラック等の内部に空気が残った場合を想定して高電圧を印加し、その空気の絶縁破壊を行わせて素子の絶縁抵抗値を測定する方法でクラック等の有無の検査を行う必要が無く、上記２５０Ｖの電圧でも十分に、クラック等の有無の検査を行うことができる。なお、検査対象の電極端子が接続されている検出ユニット１０の導電パターンが、本発明における「被検査導電パターン」に相当する。 Next, as shown in FIG. 4, a known resistance measuring device 140 is connected between each electrode terminal 22, 23, 24 of the detection unit 10 and any electrode terminal 112 of the electrode terminal 112 in the bath 110, and between them Based on the voltage applied to and the measured current value, the insulation resistance value between them is measured (inspection step). FIG. 4 shows a connection example of the resistance value measuring instrument 140 when measuring the insulation resistance value between the electrode terminal 22 and the electrode terminal 112. In this embodiment, a voltage of 250 V is applied between the electrode terminals to be inspected. Even if a crack or the like is present in the ceramic base material 11, 15, 19, or 20 through the aforementioned entrance process, decompression process, dipping process, or return to atmospheric pressure process, the conductive liquid is surely contained inside the crack or the like. 111 can be satisfied. For this reason, inspecting the presence or absence of cracks or the like by applying a high voltage assuming that air remains in cracks or the like, and causing the insulation breakdown of the air to measure the insulation resistance value of the element There is no need, and even the voltage of 250 V can be sufficiently inspected for cracks and the like. The conductive pattern of the detection unit 10 to which the electrode terminal to be inspected is connected corresponds to the “inspected conductive pattern” in the present invention.

測定によって得られた絶縁抵抗値が所定のしきい値よりも大きければ、測定された電極端子間の絶縁性が保たれていると判断される。すなわち、測定された電極端子間の絶縁障害の原因となるクラック等が存在しない、あるいは、クラック等が存在しても十分な絶縁性や強度を確保できるとして判断される。一方、測定によって得られた絶縁抵抗値が所定のしきい値以下であれば、測定された電極端子間の絶縁性が保たれていないと判断される。すなわち、測定された電極端子間にはクラック等が存在し、十分な絶縁性や強度が確保できないと判断される。なお、所定のしきい値として、測定された電極端子間の絶縁抵抗値が少なくとも１０ＭΩよりも大きければ、一般的に十分な絶縁性を保つことができ、絶縁性に影響のあるクラック等は存在しないと判断することができる。さらには、測定された電極端子間の絶縁抵抗値が１００ＭΩより大きい値であることが好ましい。 If the insulation resistance value obtained by the measurement is larger than a predetermined threshold value, it is determined that the insulation between the measured electrode terminals is maintained. That is, it is determined that there is no crack or the like that causes an insulation failure between the measured electrode terminals, or that sufficient insulation and strength can be ensured even if a crack or the like is present. On the other hand, if the insulation resistance value obtained by the measurement is not more than a predetermined threshold value, it is determined that the insulation between the measured electrode terminals is not maintained. That is, it is judged that there are cracks between the measured electrode terminals, and sufficient insulation and strength cannot be secured. Note that if the measured insulation resistance value between the electrode terminals is larger than at least 10 MΩ as the predetermined threshold value, generally sufficient insulation can be maintained, and there are cracks or the like that affect the insulation. It can be determined not to. Furthermore, it is preferable that the measured insulation resistance value between the electrode terminals is larger than 100 MΩ.

そして、図５に示すように、未だ測定が行われていない電極端子間についても、順次、絶縁抵抗値の測定が行われる。なお、図５では、電極端子２２と電極端子２３との間の絶縁抵抗値を測定する場合の抵抗値測定器１４０の接続例が示されている。そして、あらかじめ検査を行うと決められた所定の電極端子の組み合わせの全てについて絶縁性が保たれていると判断されれば、検出ユニット１０は良品として判断される。また、いずれかの組み合わせの一つでも絶縁性が保たれていないと判断された場合には、検出ユニット１０は不良品として判断され、センサ素子１の部品としては使用されない。 Then, as shown in FIG. 5, the insulation resistance value is sequentially measured between the electrode terminals that have not yet been measured. In addition, in FIG. 5, the example of a connection of the resistance value measuring device 140 in the case of measuring the insulation resistance value between the electrode terminal 22 and the electrode terminal 23 is shown. If it is determined that insulation is maintained for all combinations of predetermined electrode terminals determined to be inspected in advance, the detection unit 10 is determined as a non-defective product. If it is determined that even one of the combinations does not maintain insulation, the detection unit 10 is determined as a defective product and is not used as a component of the sensor element 1.

以上説明したように、本実施の形態のセラミック素子の検査方法では、セラミックにより絶縁性が確保されたセラミック素子を構成するセラミック基材に、クラック等が存在し、このクラック等により絶縁性が損なわれていないか検査が行われる。まず、減圧室１００内にセラミック素子（その一例として検出ユニット１０）を入室させ（入室工程）、真空ポンプ１２０を駆動させ減圧室１００内の気圧を減圧する（減圧工程）。次いで、検出ユニット１０を浴槽１１０に満たした導電性液体１１１に浸す（浸漬工程）。そして減圧室１００のバルブ１３０を開き、減圧室１００内の気圧を大気圧に復帰させる（大気圧復帰工程）。すると、検出ユニット１０にクラック等が存在した場合、そのクラック等の内部に残る空気の圧力が小さいことから、大気の圧力によって押された導電性液体１１１によってクラック等の内部に残る空気が排除される。 As described above, in the ceramic element inspection method of the present embodiment, there are cracks or the like in the ceramic base material constituting the ceramic element in which insulation is ensured by the ceramic, and the insulation is impaired by the cracks or the like. A check is made to see if it is not. First, a ceramic element (detection unit 10 as an example thereof) is placed in the decompression chamber 100 (room entry step), and the vacuum pump 120 is driven to reduce the pressure in the decompression chamber 100 (pressure reduction step). Next, the detection unit 10 is immersed in the conductive liquid 111 filled in the bathtub 110 (immersion step). Then, the valve 130 of the decompression chamber 100 is opened, and the atmospheric pressure in the decompression chamber 100 is restored to atmospheric pressure (atmospheric pressure restoration step). Then, when a crack or the like exists in the detection unit 10, the pressure of the air remaining inside the crack or the like is small, so the air remaining inside the crack or the like is eliminated by the conductive liquid 111 pushed by the atmospheric pressure. The

これにより、マイクロクラックも含め、存在する全てのクラック等の内部は導電性液体１１１で満たされることとなる。互いに絶縁された導電パターンに接続されている電極端子２２，２３，２４、および導電性液体１１１に電気的に接続された電極端子１１２のうち所定の電極端子間の絶縁抵抗値が測定され、所定のしきい値に基づき絶縁性が確保されているか否か検査が行われる（検査工程）。そして、あらかじめ決められた全ての組み合わせについて検査が行われた結果、全ての組み合わせについて絶縁性が保たれていると判断されれば、検査対象の検出ユニット１０が良品であると判断することができる。 As a result, the inside of all existing cracks and the like including the microcracks is filled with the conductive liquid 111. Among the electrode terminals 22, 23, 24 connected to the conductive patterns insulated from each other and the electrode terminal 112 electrically connected to the conductive liquid 111, an insulation resistance value between predetermined electrode terminals is measured, Based on the threshold value, it is inspected whether or not insulation is ensured (inspection process). If it is determined that all the combinations determined in advance have insulation properties for all the combinations, it is possible to determine that the detection unit 10 to be inspected is a non-defective product. .

このように、減圧室１００内で検出ユニット１０を取り巻く空気の気圧の減圧を行ったので、検出ユニット１０にクラック等が存在した場合、そのクラック等の内部の空気も減圧される。このため、検出ユニット１０を導電性液体１１１に浸し、減圧室１００内の気圧を大気圧に復帰させれば、大気の圧力によって押圧された導電性液体１１１によって、クラック等の内部に残る空気を排除することができる。特に、マイクロクラックが存在した場合、毛管現象を利用した場合や、超音波による気泡の除去を行った場合では、そのマイクロクラック内に残る空気の圧力に抗してその空気をマイクロクラック外に排除することができるだけの圧力差を得られないが、減圧工程および大気圧復帰工程を設けたことによって、上記圧力差を得ることができ、マイクロクラック内の空気を容易に排除することができる。 As described above, since the pressure of the air surrounding the detection unit 10 is reduced in the decompression chamber 100, if a crack or the like exists in the detection unit 10, the air inside the crack or the like is also reduced. For this reason, if the detection unit 10 is immersed in the conductive liquid 111 and the atmospheric pressure in the decompression chamber 100 is returned to the atmospheric pressure, the air remaining inside the crack or the like is caused by the conductive liquid 111 pressed by the atmospheric pressure. Can be eliminated. In particular, when microcracks exist, when capillarity is used, or when bubbles are removed by ultrasonic waves, the air is removed outside the microcracks against the pressure of air remaining in the microcracks. However, by providing the pressure reduction step and the atmospheric pressure return step, the pressure difference can be obtained, and the air in the microcracks can be easily eliminated.

そして、クラック等の内部に残る空気を外部に排除することができるので、従来、クラック等の内部に空気が残った場合を想定して、その空気の絶縁破壊を行わせて短絡を発生させるべく各電極端子間に高電圧（例えば１ｋＶ）を印加していたが、クラック等の内部に導電性液体１１１が満たされていれば印加する電圧を低く（例えば２５０Ｖ）しても十分な検査結果を得ることができる。これにより、高電圧によるセラミック素子の破壊の可能性を排除できる。また、センサ素子１の小型化に伴う導電パターン間の密接によって抵抗値測定器１４０が接続される各電極端子間も密接され、高電圧を印加する検査の際に電源と接続された電極端子間を隔てる空気において絶縁破壊が発生し、検査精度の低下を招いてしまう可能性を排除することができる。また、その検査時の印加電圧の低下によって、耐高電圧ケーブルの使用等、安全対策にかかる手間を軽減でき、検査コストの削減を図ることができる。 Since air remaining inside cracks can be excluded to the outside, conventionally, assuming that air remains inside cracks or the like, it is necessary to cause a breakdown by causing dielectric breakdown of the air. A high voltage (for example, 1 kV) is applied between the electrode terminals. However, if the conductive liquid 111 is filled inside a crack or the like, a sufficient test result can be obtained even if the applied voltage is low (for example, 250 V). Obtainable. Thereby, the possibility of destruction of the ceramic element due to the high voltage can be eliminated. In addition, the electrode terminals to which the resistance value measuring device 140 is connected are also in close contact with each other due to the close contact between the conductive patterns accompanying the downsizing of the sensor element 1, and between the electrode terminals connected to the power source in the inspection for applying a high voltage. It is possible to eliminate the possibility that dielectric breakdown occurs in the air separating the two parts, leading to a decrease in inspection accuracy. In addition, due to the decrease in the applied voltage at the time of the inspection, it is possible to reduce the time and effort required for safety measures such as the use of a high voltage cable, and the inspection cost can be reduced.

なお、本発明は上記実施の形態に限られず、各種の変形が可能なことはいうまでもない。例えば、検査工程において、抵抗値測定器１４０と各電極端子２２，２３，２４，１１２との接続を任意に切り替えることが可能な切替手段を設け、その切替手段による切り替えに基づいて任意の２つの電極端子が抵抗値測定器１４０に接続されるようにしてもよい。また、検査工程において、抵抗値測定器１４０を複数設け、本実施の形態では４つの電極端子２２，２３，２４，１１２のうちあらかじめ決められた全ての電極端子の組み合わせについてそれぞれ抵抗値測定器１４０を接続し、全て同時に検査を行ってもよい。 Needless to say, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. For example, in the inspection process, switching means capable of arbitrarily switching the connection between the resistance value measuring device 140 and each of the electrode terminals 22, 23, 24, and 112 is provided, and any two of them can be selected based on switching by the switching means. The electrode terminal may be connected to the resistance value measuring device 140. In the inspection process, a plurality of resistance value measuring devices 140 are provided, and in this embodiment, the resistance value measuring devices 140 are respectively set for all predetermined combinations of the electrode terminals among the four electrode terminals 22, 23, 24, and 112. May be connected and all of them may be inspected at the same time.

また、本実施の形態では減圧工程を行った後に浸漬工程を行ったが、浸漬工程後に減圧工程を行ってもよい。このようにすれば、減圧工程において、減圧室１００内の空気とクラック等の内部に残る空気との間に圧力差が生じるため、クラック等の内部に残る空気が膨張してクラック等の外部に排除されやすくなる。さらにクラック等の内部に空気が残った場合でも、その空気の圧力は下がっているため、本実施の形態と同様に、大気圧復帰工程において導電性液体１１１によってクラック等の内部から排除される。 Moreover, in this Embodiment, although the immersion process was performed after performing the decompression process, you may perform a decompression process after an immersion process. In this way, in the decompression process, a pressure difference is generated between the air in the decompression chamber 100 and the air remaining in the cracks and the like, so that the air remaining in the cracks and the like expands to the outside of the cracks and the like. It becomes easy to be excluded. Further, even when air remains in the crack or the like, the pressure of the air is lowered, and therefore, similarly to the present embodiment, the conductive liquid 111 excludes the crack or the like from the inside in the atmospheric pressure recovery process.

また、本実施の形態ではセラミック素子の一例として検出ユニット１０を用いて説明したが、ヒータユニット３０に対して同様の検査を行ってもよい。この場合、ヒータユニット３０内の導電パターン３２は１パターンであり電極端子３３と電極端子３４とは導通されているので、電極端子３３と浴槽１１０に設けられた電極端子１１２との間の絶縁抵抗値を測定し、クラック等の有無について検査を行えばよい。そして、センサ素子としては、検出ユニットおよびヒータユニットのそれぞれを接着する前に検査を行い、正常品と判別されたもの同士を組み合わせてセンサ素子を形成するとよい。 In the present embodiment, the detection unit 10 is described as an example of the ceramic element. However, the heater unit 30 may be similarly inspected. In this case, since the conductive pattern 32 in the heater unit 30 is one pattern and the electrode terminal 33 and the electrode terminal 34 are electrically connected, the insulation resistance between the electrode terminal 33 and the electrode terminal 112 provided in the bathtub 110 is obtained. The value may be measured and inspected for the presence of cracks or the like. And as a sensor element, it is good to test | inspect before bonding each of a detection unit and a heater unit, and to form a sensor element combining what was determined to be a normal product.

また、導電性液体１１１に電圧を印加するため浴槽１１０内に電極端子１１２を設けたが、浴槽１１０を導電性の金属等で形成し、浴槽１１０自体を電極として利用してもよい。 Moreover, although the electrode terminal 112 was provided in the bathtub 110 in order to apply a voltage to the conductive liquid 111, the bathtub 110 may be formed of a conductive metal or the like, and the bathtub 110 itself may be used as an electrode.

窒素酸化物、酸素および炭化水素、あるいは特定のガス濃度などを検出する各種ガスセンサや、温度センサ、アクチュエータ等のセラミック素子のクラック等の有無の検査方法として利用できる。 Nitrogen oxides, oxygen and hydrocarbons or various gas sensors that detect a specific gas concentration, available temperature sensor, as a test how the presence or absence of cracks in the ceramic element such as an actuator.

センサ素子１の模式的な構成を示す模式断面図である。2 is a schematic cross-sectional view showing a schematic configuration of a sensor element 1. FIG. 減圧室１００内に検出ユニット１０を入室させる様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the detection unit 10 is entered into the decompression chamber 100. FIG. 浴槽１１０に満たされた導電性液体１１１に検出ユニット１０を浸した状態を示す図である。It is a figure which shows the state which immersed the detection unit 10 in the electroconductive liquid 111 with which the bathtub 110 was filled. クラック等の有無の検査を行う様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the test | inspection of the presence or absence of a crack etc. is performed. クラック等の有無の検査を行う様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the test | inspection of the presence or absence of a crack etc. is performed.

１０検出ユニット
１１，１５，１９，２０セラミック基材
１２，１３，１６，１７導電パターン
２２，２３，２４，１１２電極端子
１００減圧室
１１１導電性液体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Detection unit 11,15,19,20 Ceramic base material 12,13,16,17 Conductive pattern 22,23,24,112 Electrode terminal 100 Decompression chamber 111 Conductive liquid

Claims

A ceramic element inspection method for inspecting whether or not a crack exists in a ceramic element having at least one conductive pattern insulated from the outside,
A step of entering the ceramic element into the decompression chamber;
A depressurization step of depressurizing the pressure in the decompression chamber in which the ceramic element is encased;
A dipping step of immersing the ceramic element in a conductive liquid disposed in the reduced pressure chamber in which the ceramic element is placed after the decompression step ;
After performing the pressure reduction step and the immersion step, a pressure return step for returning the pressure inside the pressure reduction chamber to atmospheric pressure,
A voltage is applied between the conductive pattern of the ceramic element and an electrode in contact with the conductive liquid, and a resistance value between the two is measured to inspect whether or not there is a crack in the ceramic element. A method for inspecting a ceramic element, comprising: an inspection step.

A ceramic element inspection method for inspecting whether or not a crack exists in a ceramic element in which at least two conductive patterns insulated from each other are formed,
A step of entering the ceramic element into the decompression chamber;
A depressurization step of depressurizing the pressure in the decompression chamber in which the ceramic element is encased;
A dipping step of immersing the ceramic element in a conductive liquid disposed in the reduced pressure chamber in which the ceramic element is placed after the decompression step ;
After performing the pressure reduction step and the immersion step, a pressure return step for returning the pressure inside the pressure reduction chamber to atmospheric pressure,
Inspecting whether or not there is a crack in the ceramic element by applying a voltage between the conductive patterns to be inspected among the conductive patterns of the ceramic element and measuring a resistance value therebetween. A method for inspecting a ceramic element comprising the steps of:

A ceramic element inspection method for inspecting whether or not a crack exists in a ceramic element in which at least two or more conductive patterns insulated from each other and insulated from the outside are formed,
A step of entering the ceramic element into the decompression chamber;
A depressurization step of depressurizing the pressure in the decompression chamber in which the ceramic element is encased;
A dipping step of immersing the ceramic element in a conductive liquid disposed in the reduced pressure chamber in which the ceramic element is placed after the decompression step;
After performing the pressure reduction step and the immersion step, a pressure return step for returning the pressure inside the pressure reduction chamber to atmospheric pressure,
While a voltage is applied between the conductive patterns to be inspected among the conductive patterns of the ceramic element, a voltage is applied to each of at least one of the conductive patterns to be inspected and between the electrodes in contact with the conductive liquid. An inspection process for inspecting whether or not there is a crack in the ceramic element by applying and measuring a resistance value between each person, and
A method for inspecting a ceramic element, comprising: