JP4427758B2 - Color filter and electro-optical device repair device and manufacturing device - Google Patents

Color filter and electro-optical device repair device and manufacturing device Download PDF

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Description

本発明は、カラーフィルタ及びこれを用いた電気光学装置の修復装置、修復方法、製造装置、製造方法に関する。特に、カラーフィルタの欠陥部分を修復するための技術的改良に関する。   The present invention relates to a color filter and a repair device, a repair method, a manufacturing apparatus, and a manufacturing method for an electro-optical device using the color filter. In particular, the present invention relates to a technical improvement for repairing a defective portion of a color filter.

カラーフィルタは例えば赤、緑、青の各色に着色された層を所定のパターンに配列してなる。これら着色層を形成する方法には、基板上にバンクで仕切られて形成された各画素にインクジェット方式で各色のインクを吐出する方法など種々のものがあるが、いずれの方法においても多数の着色パターンを欠陥無しに製造することは困難である。   The color filter is formed, for example, by arranging layers colored in red, green, and blue in a predetermined pattern. There are various methods for forming these colored layers, such as a method of ejecting ink of each color to each pixel formed by partitioning on a substrate on a substrate by an inkjet method. It is difficult to produce a pattern without defects.

そこで欠陥のあるカラーフィルタを修正することによって良品とする技術が提案されている。特開平11−271752号公報は、着色層のピンホールを検出し、検出されたピンホールに対してインクジェットヘッドを用いて当該着色層に対応する色の着色材料を吐出することによる修正方法を開示している。   In view of this, there has been proposed a technique for making a non-defective product by correcting a defective color filter. Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-271752 discloses a correction method by detecting a pinhole in a colored layer and discharging a colored material corresponding to the colored layer to the detected pinhole using an inkjet head. is doing.

特開平11−271752号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-271752

しかし、上記特開平11−271752号公報に記載の技術によれば、3色のリペア用インク及び3色それぞれのインクジェットヘッド等が必要である。このため、インク及びインクジェットヘッドのメンテナンスが煩雑であるとも考えられる。また、欠陥箇所に付与すべき色が赤、緑、青のいずれであるかを特定するためのシステムも必要である。   However, according to the technique described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-271752, three color repair inks and three color ink jet heads are required. For this reason, it is considered that maintenance of the ink and the inkjet head is complicated. In addition, a system for specifying whether the color to be imparted to the defective portion is red, green, or blue is also necessary.

そこで、本発明は、簡単な講成で容易にカラーフィルタの欠陥部分を修復することのできるカラーフィルタ及び電気光学装置の修復装置、修復方法、製造装置、製造方法を提供することを目的とする。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to provide a color filter and an electro-optical device repair device, a repair method, a manufacturing device, and a manufacturing method that can easily repair a defective portion of the color filter with a simple training. .

上記課題を解決するため、本発明のカラーフィルタ修復装置は、透明基板上に着色層を予め定められたパターンにて配列することによって構成されるカラーフィルタを修復する装置であって、前記着色層の欠陥部分を検出する検出部と、検出された前記欠陥に基いて吐出する黒色材料の量を制御する制御部と、検出された前記欠陥部分に対してインクジェットヘッドを用いて前記黒色材料を吐出する吐出部とを備えたことを特徴とする。   In order to solve the above problems, a color filter repair device of the present invention is a device for repairing a color filter configured by arranging a colored layer in a predetermined pattern on a transparent substrate, and the colored layer A detection unit for detecting a defective portion of the substrate, a control unit for controlling the amount of black material to be discharged based on the detected defect, and discharging the black material to the detected defective portion using an ink jet head And a discharge portion that performs the above operation.

黒色材料を用いることによって、3色それぞれのリペア用インクやリペア用インクジェットヘッドを備える必要がなく、簡単な構成で容易にカラーフィルタの欠陥部分を修復することができる。   By using the black material, it is not necessary to provide the repair ink for each of the three colors or the ink jet head for repair, and the defective portion of the color filter can be easily repaired with a simple configuration.

本発明の電気光学装置の修復装置は、電気光学装置に備えられたカラーフィルタ中の着色層の欠陥部分を検出する検出部と、検出された前記欠陥に基いて吐出する黒色材料の量を制御する制御部と、検出された前記欠陥に基いて吐出する黒色材料の量を制御する制御工程と、検出された前記欠陥部分に対応する位置に対してインクジェットヘッドを用いて黒色材料を吐出する吐出部を備えたものである。   An electro-optical device repair device according to the present invention controls a detection unit that detects a defective portion of a colored layer in a color filter provided in the electro-optical device, and controls an amount of a black material that is discharged based on the detected defect. A control unit that controls the amount of black material to be discharged based on the detected defect, and discharge that discharges the black material to the position corresponding to the detected defective portion using an inkjet head It has a part.

本発明のカラーフィルタ修復方法は、着色層の欠陥部分を検出する検出工程と、検出された前記欠陥に基いて吐出する黒色材料の量を制御する制御工程と、検出された前記欠陥部分に対してインクジェットヘッドを用いて黒色材料を吐出する吐出工程とを備えている。   The color filter repair method of the present invention includes a detection step of detecting a defective portion of the colored layer, a control step of controlling the amount of black material to be discharged based on the detected defect, and the detected defective portion. A discharge step of discharging a black material using an inkjet head.

本発明の電気光学装置修復方法は、上記カラーフィルタ修復方法と同様の手法により、電気光学装置に備えられたカラーフィルタ中の着色層の欠陥部分を検出し、検出された前記欠陥に基いて吐出する黒色材料の量を制御し、検出された前記欠陥部分に対応する位置に対してインクジェットヘッドを用いて黒色材料を吐出するものである。   The electro-optical device repairing method of the present invention detects defective portions of the colored layer in the color filter provided in the electro-optical device by the same method as the color filter repairing method, and discharges based on the detected defects. The amount of the black material to be controlled is controlled, and the black material is ejected to the position corresponding to the detected defective portion using an ink jet head.

本発明のカラーフィルタおよび電気光学装置の製造装置は、上記カラーフィルタ及び電気光学装置の製造装置と同様の構成を備えることにより、カラーフィルタ及び電気光学装置の欠陥部分を修復してカラーフィルタ及び電気光学装置を製造するものである。   The color filter and electro-optical device manufacturing apparatus according to the present invention has the same configuration as the above-described color filter and electro-optical device manufacturing apparatus, thereby repairing defective portions of the color filter and the electro-optical device and correcting the color filter and electro-optical device. An optical device is manufactured.

本発明のカラーフィルタおよび電気光学装置の製造方法は、上記カラーフィルタ及び電気光学装置の製造方法と同様の方法により、カラーフィルタ及び電気光学装置の欠陥部分を修復してカラーフィルタ及び電気光学装置を製造するものである。   The color filter and electro-optical device manufacturing method according to the present invention repairs a defective portion of the color filter and electro-optical device by the same method as the above-described color filter and electro-optical device manufacturing method. To manufacture.

本発明によれば、簡単な構成で容易にカラーフィルタの欠陥部分を修復することのできるカラーフィルタ及び電気光学装置の修復装置、修復方法、製造装置、製造方法を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a color filter and electro-optical device repair device, repair method, manufacturing device, and manufacturing method that can easily repair defective portions of the color filter with a simple configuration.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

(1.製造装置の構成)
図1は、本発明の実施形態による修復装置の概略斜視図である。図に示すように、カラーフィルタ修復装置100は、インクジェットヘッド群1、X方向駆動軸4、Y方向ガイド軸5、制御装置6、載置台7、検出装置8、基台9を備えている。
(1. Configuration of manufacturing equipment)
FIG. 1 is a schematic perspective view of a repair device according to an embodiment of the present invention. As shown in the figure, the color filter restoration device 100 includes an inkjet head group 1, an X direction drive shaft 4, a Y direction guide shaft 5, a control device 6, a mounting table 7, a detection device 8, and a base 9.

インクジェットヘッド1は、図示しないインクタンクから供給された着色材料を各画素に吐出する吐出部となっている。ここでは特に黒色材料を吐出する。ここで黒色材料とは、カラーフィルタの製造において黒色と評価される材料をいい、黒色インクのほか、他の色を有していても透光性を有しない材料であればカラーフィルタでは黒色と評価することができる。なお、この修復装置100がカラーフィルタ又は電気光学装置の製造装置を兼ねる場合には、黒色インク用のインクジェットヘッドの他に、赤、緑、青のインクジェットヘッドを備える。   The ink jet head 1 serves as a discharge unit that discharges a coloring material supplied from an ink tank (not shown) to each pixel. Here, in particular, a black material is discharged. Here, the black material refers to a material that is evaluated as black in the production of a color filter. In addition to black ink, a black color is used in a color filter as long as the material does not have translucency even if it has other colors. Can be evaluated. In the case where the repair device 100 also serves as a color filter or electro-optical device manufacturing device, the ink-jet head is provided with red, green, and blue ink-jet heads in addition to the black ink-jet heads.

載置台7は、この修復装置によって修復すべきカラーフィルタ基板101を載置させるもので、カラーフィルタ基板を基準位置に固定する機構を備える。   The mounting table 7 is for mounting the color filter substrate 101 to be repaired by the repairing device, and includes a mechanism for fixing the color filter substrate at a reference position.

X方向駆動軸4には、X方向駆動モータ2が接続されている。X方向駆動モータ2は、ステッピングモータ等であり、制御装置6からX軸方向の駆動信号が供給されると、X方向駆動軸4を回転させる。X方向駆動軸4が回転させられると、インクジェットヘッド1がX軸方向に移動する。   An X-direction drive motor 2 is connected to the X-direction drive shaft 4. The X direction drive motor 2 is a stepping motor or the like, and rotates the X direction drive shaft 4 when a drive signal in the X axis direction is supplied from the control device 6. When the X-direction drive shaft 4 is rotated, the inkjet head 1 moves in the X-axis direction.

Y方向ガイド軸5は、基台9に対して動かないように固定されている。載置台7は、Y方向駆動モータ3を備えている。Y方向駆動モータ3は、ステッピングモータ等であり、制御装置6からY軸方向の駆動信号が供給されると、載置台7をY軸方向に移動させる。   The Y-direction guide shaft 5 is fixed so as not to move with respect to the base 9. The mounting table 7 includes a Y-direction drive motor 3. The Y-direction drive motor 3 is a stepping motor or the like, and moves the mounting table 7 in the Y-axis direction when a drive signal in the Y-axis direction is supplied from the control device 6.

すなわち、X軸方向の駆動とY軸方向の駆動とを行うことで、インクジェットヘッド1をカラーフィルタ基板101上のいずれの場所にも自在に移動させることができる。カラーフィルタ基板101に対するインクジェットヘッド1の相対速度も、各軸方向の駆動機構の制御で定まる。   That is, the inkjet head 1 can be freely moved to any location on the color filter substrate 101 by performing driving in the X-axis direction and driving in the Y-axis direction. The relative speed of the inkjet head 1 with respect to the color filter substrate 101 is also determined by the control of the driving mechanism in each axial direction.

検出装置8は、発光装置と受光素子を備えたスキャニング装置であり、載置台7のY方向の移動に伴いカラーフィルタ基板101の欠陥部分を検出する。欠陥部分とは、着色層に着色材料が付与されていない箇所(ピンホール)があるか、着色層の厚さが薄いことにより、光抜けが生じる部分をいう。   The detection device 8 is a scanning device including a light emitting device and a light receiving element, and detects a defective portion of the color filter substrate 101 as the mounting table 7 moves in the Y direction. The defective portion refers to a portion where light leakage occurs due to a portion (pinhole) where the coloring material is not applied to the colored layer or the thickness of the colored layer is thin.

制御装置6は、検出装置8で検出された光抜け箇所の位置情報を受信し、これに基いてX方向駆動モータ2およびY方向駆動モータ3に、インクジェットヘッド1と載置台7との位置関係を制御する信号を供給する。また制御装置6は、インクジェットヘッド1にインク滴の吐出制御用の信号を供給し、検出された光抜け箇所に黒色材料を吐出させる。   The control device 6 receives the position information of the light omission point detected by the detection device 8, and based on this information, the positional relationship between the inkjet head 1 and the mounting table 7 is transferred to the X direction drive motor 2 and the Y direction drive motor 3. Supply a signal to control. Further, the control device 6 supplies a signal for controlling the ejection of ink droplets to the inkjet head 1 and ejects a black material to the detected light omission location.

(2.カラーフィルタの構成)
図2は、本発明の実施形態による修復装置又は修復方法により修復され、若しくは製造装置又は製造方法により製造されるカラーフィルタの部分拡大図である。図2(a)は平面図であり、図2(b)は図2(a)のB−B’線断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。
(2. Color filter configuration)
FIG. 2 is a partially enlarged view of a color filter that is repaired by a repair device or a repair method according to an embodiment of the present invention or manufactured by a manufacturing device or a manufacturing method. 2A is a plan view, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the line BB ′ of FIG. 2A. The hatching of each part of the sectional view is partially omitted.

図2(a)に示されるように、カラーフィルタ200は、マトリクス状に並んだ画素13を備え、画素と画素の境目は、仕切り14によって区切られている。画素13の1つ1つには、赤(R)、緑(G)、青(B)のいずれかのインクが導入されている。この例では赤、緑、青の配置をいわゆるモザイク配列としたが、ストライプ配列、デルタ配列など、その他の配置でも構わない。   As shown in FIG. 2A, the color filter 200 includes pixels 13 arranged in a matrix, and the boundary between the pixels is partitioned by a partition 14. Each of the pixels 13 has one of red (R), green (G), and blue (B) ink introduced therein. In this example, the arrangement of red, green, and blue is a so-called mosaic arrangement, but other arrangements such as a stripe arrangement and a delta arrangement may be used.

図2(b)に示されるように、カラーフィルタ200は、透光性の基板12と、遮光性の仕切り14とを備えている。仕切り14が形成されていない(除去された)部分は、上記画素13を構成する。この画素13に導入された各色のインクは着色層20を構成する。仕切り14及び着色層20の上面には、オーバーコート層21及び電極層22が形成されている。   As shown in FIG. 2B, the color filter 200 includes a light-transmitting substrate 12 and a light-shielding partition 14. A portion where the partition 14 is not formed (removed) constitutes the pixel 13. Each color ink introduced into the pixel 13 constitutes a colored layer 20. An overcoat layer 21 and an electrode layer 22 are formed on the upper surfaces of the partition 14 and the colored layer 20.

(3.カラーフィルタの製造方法)
図3は、本発明の実施形態によるカラーフィルタの製造方法を説明する製造工程断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。
(3. Color filter manufacturing method)
FIG. 3 is a manufacturing process cross-sectional view illustrating a method for manufacturing a color filter according to an embodiment of the present invention. The hatching of each part of the sectional view is partially omitted.

(3−1.バンク形成及び表面処理工程)
膜厚0.7mm、たて38cm、横30cmの無アルカリガラスからなる透明基板12の表面を、熱濃硫酸に過酸化水素水を1重量%添加した洗浄液で洗浄し、純水でリンスした後、エア乾燥を行って清浄表面を得る。この表面に、スパッタ法によりクロム膜を平均0.2μmの膜厚で形成し、金属層16’を得る(図3:S1)。
(3-1. Bank formation and surface treatment process)
After the surface of the transparent substrate 12 made of non-alkali glass having a thickness of 0.7 mm, length of 38 cm, and width of 30 cm is washed with a cleaning solution obtained by adding 1% by weight of hydrogen peroxide to hot concentrated sulfuric acid, and rinsed with pure water. Air clean to obtain a clean surface. A chromium film with an average thickness of 0.2 μm is formed on this surface by sputtering to obtain a metal layer 16 ′ (FIG. 3: S1).

この基板をホットプレート上で、80℃で5分間乾燥させた後、金属層16’の表面に、スピンコートによりフォトレジスト層(図示せず)を形成する。この基板表面に、所要のマトリクスパターン形状を描画したマスクフィルムを密着させ、紫外線で露光をおこなう。次に、これを、水酸化カリウムを8重量%の割合で含むアルカリ現像液に浸漬して、未露光の部分のフォトレジストを除去し、レジスト層をパターニングする。続いて、露出した金属層を、塩酸を主成分とするエッチング液でエッチング除去する。このようにして所定のマトリクスパターンを有する遮光層(ブラックマトリクス)16を得ることができる(図3:S2)。遮光層16の膜厚は、およそ0.2μmである。また、遮光層16の幅は、およそ22μmである。   After drying this substrate on a hot plate at 80 ° C. for 5 minutes, a photoresist layer (not shown) is formed on the surface of the metal layer 16 ′ by spin coating. A mask film on which a required matrix pattern shape is drawn is brought into close contact with the surface of the substrate, and exposure is performed with ultraviolet rays. Next, this is immersed in an alkaline developer containing potassium hydroxide at a ratio of 8% by weight, the unexposed portion of the photoresist is removed, and the resist layer is patterned. Subsequently, the exposed metal layer is removed by etching with an etchant containing hydrochloric acid as a main component. In this way, a light shielding layer (black matrix) 16 having a predetermined matrix pattern can be obtained (FIG. 3: S2). The thickness of the light shielding layer 16 is approximately 0.2 μm. The width of the light shielding layer 16 is approximately 22 μm.

この基板上に、さらにネガ型の透明アクリル系の感光性樹脂組成物17’をやはりスピンコート法で塗布する(図3:S3)。これを100℃で20分間プレベークした後、所定のマトリクスパターン形状を描画したマスクフィルムを用いて紫外線露光を行なう。未露光部分の樹脂を、やはりアルカリ性の現像液で現像し、純水でリンスした後スピン乾燥する。最終乾燥としてのアフターベークを200℃で30分間行い、樹脂部を十分硬化させることにより、バンク層17が形成され、遮光層16及びバンク層17からなる仕切り14が形成される(図3:S4)。このバンク層17の膜厚は、平均で2.7μmである。また、バンク層17の幅は、およそ14μmである。   On this substrate, a negative transparent acrylic photosensitive resin composition 17 'is further applied by spin coating (FIG. 3: S3). This is pre-baked at 100 ° C. for 20 minutes, and then exposed to ultraviolet rays using a mask film on which a predetermined matrix pattern shape is drawn. The unexposed resin is developed with an alkaline developer, rinsed with pure water, and spin-dried. After baking as final drying is performed at 200 ° C. for 30 minutes to sufficiently cure the resin portion, the bank layer 17 is formed, and the partition 14 including the light shielding layer 16 and the bank layer 17 is formed (FIG. 3: S4). ). The film thickness of the bank layer 17 is 2.7 μm on average. The bank layer 17 has a width of about 14 μm.

得られた遮光層16およびバンク層17で区画された着色層形成領域(特にガラス基板12の露出面)のインク濡れ性を改善するため、ドライエッチング、すなわちプラズマ処理を行なう。具体的には、ヘリウムに酸素を20%加えた混合ガスに高電圧を印加し、プラズマ雰囲気でエッチングスポットに形成し、基板を、このエッチングスポット下を通過させてエッチングする。   In order to improve the ink wettability of the colored layer forming region (particularly the exposed surface of the glass substrate 12) partitioned by the obtained light shielding layer 16 and bank layer 17, dry etching, that is, plasma processing is performed. Specifically, a high voltage is applied to a mixed gas obtained by adding 20% oxygen to helium to form an etching spot in a plasma atmosphere, and the substrate is etched by passing under the etching spot.

(3−2.インク導入工程)
次に、仕切り14で区切られて形成された画素13内に、上記R(赤)、G(緑)、B(青)の各インクをインクジェット方式により導入する(図3:S5)。インクジェットヘッドには、ピエゾ圧電効果を応用した精密ヘッドを使用し、微小インク滴を着色層形成領域毎に10滴、選択的に飛ばす。駆動周波数は14.4kHz、すなわち、各インク滴の吐出間隔は69.5μ秒に設定する。ヘッドとターゲットとの距離は、0.3mmに設定する。ヘッドよりターゲットである着色層形成領域への飛翔速度、飛行曲がり、サテライトと称される分裂迷走滴の発生防止のためには、インクの物性はもとよりヘッドのピエゾ素子を駆動する波形(電圧を含む)が重要である。従って、あらかじめ条件設定された波形をプログラムして、インク滴を赤、緑、青の3色を同時に塗布して所定の配色パターンにインクを塗布する。
(3-2. Ink introduction process)
Next, the R (red), G (green), and B (blue) inks are introduced into the pixels 13 formed by being partitioned by the partition 14 by the ink jet method (FIG. 3: S5). As the ink jet head, a precision head using the piezoelectric effect is used, and 10 micro ink droplets are selectively ejected for each colored layer forming region. The drive frequency is 14.4 kHz, that is, the ejection interval of each ink droplet is set to 69.5 μsec. The distance between the head and the target is set to 0.3 mm. In order to prevent the flying speed from the head to the target colored layer formation region, the flight bend, and the generation of split stray droplets called satellites, the waveform (including voltage) that drives the piezo element of the head as well as the physical properties of the ink )is important. Accordingly, a waveform having a condition set in advance is programmed, and ink is applied to a predetermined color arrangement pattern by simultaneously applying ink droplets of three colors of red, green, and blue.

インクとしては、例えばポリウレタン樹脂オリゴマーに無機顔料を分散させた後、低沸点溶剤としてシクロヘキサノンおよび酢酸ブチルを、高沸点溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、さらに非イオン系界面活性剤0.01重量%を分散剤として添加し、粘度6〜8センチポアズとしたものを用いる。   As an ink, for example, after dispersing an inorganic pigment in a polyurethane resin oligomer, cyclohexanone and butyl acetate are added as low boiling point solvents, butyl carbitol acetate is added as a high boiling point solvent, and a nonionic surfactant is 0.01% by weight. Is added as a dispersant, and a viscosity of 6 to 8 centipoise is used.

(3−3.乾燥・硬化工程)
次に、塗布したインクを乾燥させる。まず、自然雰囲気中で3時間放置してインク層19のセッティングを行った後、80℃のホットプレート上で40分間加熱し、最後にオーブン中で200℃で30分間加熱してインク層19の硬化処理を行って、着色層20が得られる(図3:S6)。
(3-3. Drying / curing step)
Next, the applied ink is dried. First, the ink layer 19 was set by leaving it in a natural atmosphere for 3 hours, then heated on a hot plate at 80 ° C. for 40 minutes, and finally heated in an oven at 200 ° C. for 30 minutes. A colored layer 20 is obtained by performing a curing process (FIG. 3: S6).

好適な実施例ではこの段階でカラーフィルタ基板を検出装置8に送り、着色層20の欠陥を検出して黒色インクを吐出するが、詳細については後述する。   In a preferred embodiment, the color filter substrate is sent to the detection device 8 at this stage to detect defects in the colored layer 20 and eject black ink. Details will be described later.

上記基板に、透明アクリル樹脂塗料をスピンコートして平滑面を有するオーバーコート層21を形成する。さらに、この上面にITO(Indium Tin Oxide)からなる電極層22を所要パターンで形成して、カラーフィルタ200とする(図3:S7)。   An overcoat layer 21 having a smooth surface is formed on the substrate by spin-coating a transparent acrylic resin paint. Further, an electrode layer 22 made of ITO (Indium Tin Oxide) is formed in a required pattern on the upper surface to form a color filter 200 (FIG. 3: S7).

(4.カラーフィルタの修復)
図4は、本発明の実施形態によるカラーフィルタの修復方法を示す断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。
(4. Color filter repair)
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a color filter repair method according to an embodiment of the present invention. The hatching of each part of the sectional view is partially omitted.

図4(a)及び(b)は修復方法の第1の態様を示している。上記図3のステップS5が実行された段階において、修復装置100はカラーフィルタ基板を載置台7ごとY方向に移動させ、検出装置8で欠陥の有無をスキャンする。カラーフィルタ基板が図4(a)に示すように着色層20にピンホール20aを有する場合、検出装置8はその位置を検出して制御装置6に送信する。制御装置6は欠陥の位置情報を記憶装置に記憶させるとともに、当該位置情報に基いてX方向駆動モータ2およびY方向駆動モータ3を駆動させ、インクジェットヘッド1を基板上の所定の場所に移動させる。インクジェットヘッド1が上記欠陥の箇所にインクを吐出可能な位置に到達したときに、制御装置6はインクジェットヘッド1から黒色インクを吐出する。この吐出にあたっては、ピンホールの存在する箇所が赤、緑、青のいずれの画素であるかにかかわりなく、黒インクを吐出する。   4A and 4B show a first aspect of the repair method. When step S5 of FIG. 3 is executed, the repair device 100 moves the color filter substrate together with the mounting table 7 in the Y direction, and the detection device 8 scans for defects. When the color filter substrate has a pinhole 20a in the colored layer 20 as shown in FIG. 4A, the detection device 8 detects the position and transmits it to the control device 6. The control device 6 stores the defect position information in the storage device and drives the X-direction drive motor 2 and the Y-direction drive motor 3 based on the position information to move the inkjet head 1 to a predetermined location on the substrate. . When the inkjet head 1 reaches a position where the ink can be ejected to the defective portion, the control device 6 ejects black ink from the inkjet head 1. In this ejection, black ink is ejected regardless of whether the pinhole is a red, green, or blue pixel.

なお、検出装置はピンホールの位置のみならず、ピンホールの大きさも検出して制御装置6に送信し、制御装置6はピンホールの大きさに応じて吐出する黒色インクの量を制御してもよい。   The detection device detects not only the position of the pinhole but also the size of the pinhole and transmits it to the control device 6. The control device 6 controls the amount of black ink to be ejected according to the size of the pinhole. Also good.

黒色インクの吐出後、上記と同様に乾燥、硬化を行なうことにより、図4(b)に示すように、欠陥があったG(緑)およびR(赤)の各画素に黒色インクが充填された状態となり、修復が終了する。このようにして修復されたカラーフィルタは、黒色インクを付与した箇所20bが黒または光を通さない領域となり、光抜けが防止される。   After discharging the black ink, drying and curing are performed in the same manner as described above, so that each of the defective G (green) and R (red) pixels is filled with black ink as shown in FIG. The repair is completed. In the color filter thus repaired, the portion 20b to which the black ink is applied becomes black or does not transmit light, and light leakage is prevented.

図4(c)及び(d)は修復方法の第2の態様を示している。この態様では、上記図3のステップS7が実行され、カラーフィルタ200が完成してから行なうものである。具体的には、カラーフィルタ200を上記と同様の検出装置8でスキャンして欠陥部20cを検出し、カラーフィルタ200の一方の面に形成された電極層22上に、インクジェットヘッドで黒色インクを吐出する。これを乾燥、硬化して図4(d)に示すように黒色インク層20dを形成する。このように修復されたカラーフィルタも、黒色インクを付与した箇所は黒又は光を通さない領域となり、光抜けが防止される。   4 (c) and 4 (d) show a second aspect of the repair method. In this aspect, step S7 of FIG. 3 is executed and the color filter 200 is completed. Specifically, the color filter 200 is scanned with the detection device 8 similar to the above to detect the defective portion 20c, and black ink is applied to the electrode layer 22 formed on one surface of the color filter 200 with an inkjet head. Discharge. This is dried and cured to form a black ink layer 20d as shown in FIG. Also in the color filter thus repaired, the portion to which the black ink is applied becomes a black or light-impervious region, and light leakage is prevented.

また本発明はこれに限らず、カラーフィルタ200の他方の面である基板12側に黒色インクを吐出して乾燥、ベークしても良い。また、修復前のカラーフィルタを用いて後述の電気光学装置(液晶表示パネルなど)を製造する過程で、上記のような検出装置により欠陥箇所を検出し、電気光学装置の外面に黒色インクを付与することにより、光抜けする領域を黒または光を通さない領域に修復しても良い。   The present invention is not limited to this, and the black ink may be discharged and dried and baked on the substrate 12 side which is the other surface of the color filter 200. In addition, in the process of manufacturing an electro-optical device (liquid crystal display panel, etc.), which will be described later, using a color filter before repair, a defective portion is detected by the above-described detection device, and black ink is applied to the outer surface of the electro-optical device. By doing so, the region through which light is lost may be restored to black or a region through which light does not pass.

(5.表示装置の構成)
図5は、本発明の製造方法により修復及び製造される電気光学装置の一例であるカラー液晶表示装置の断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。
(5. Configuration of display device)
FIG. 5 is a cross-sectional view of a color liquid crystal display device which is an example of an electro-optical device repaired and manufactured by the manufacturing method of the present invention. The hatching of each part of the sectional view is partially omitted.

このカラー液晶表示装置300は、カラーフィルタ200と対向基板338とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物337を封入することにより製造される。液晶表示装置300の一方の基板338の内側の面には、TFT(薄膜トランジスタ)素子(図示せず)と画素電極332とがマトリクス状に形成されている。また、もう一方の基板として、画素電極332に対向する位置に赤、緑、青の着色層20が配列するようにカラーフィルタ200が設置されている。   The color liquid crystal display device 300 is manufactured by combining the color filter 200 and the counter substrate 338 and enclosing the liquid crystal composition 337 between the two. On the inner surface of one substrate 338 of the liquid crystal display device 300, TFT (thin film transistor) elements (not shown) and pixel electrodes 332 are formed in a matrix. Further, as the other substrate, the color filter 200 is installed so that the red, green, and blue colored layers 20 are arranged at positions facing the pixel electrodes 332.

基板338とカラーフィルタ200の対向するそれぞれの面には、配向膜326、336が形成されている。これらの配向膜326、336はラビング処理されており、液晶分子を一定方向に配列させることができる。また、基板338およびカラーフィルタ200の外側の面には、偏光板329、339がそれぞれ接着されている。また、バックライトとしては蛍光燈(図示せず)と散乱板の組合わせが一般的に用いられており、液晶組成物337をバックライト光の透過率を変化させる光シャッターとして機能させることにより表示を行う。   Alignment films 326 and 336 are formed on the opposing surfaces of the substrate 338 and the color filter 200. These alignment films 326 and 336 are rubbed so that liquid crystal molecules can be aligned in a certain direction. Further, polarizing plates 329 and 339 are bonded to the outer surfaces of the substrate 338 and the color filter 200, respectively. Further, a combination of a fluorescent lamp (not shown) and a scattering plate is generally used as the backlight, and the liquid crystal composition 337 is displayed by functioning as an optical shutter that changes the transmittance of the backlight light. I do.

なお、電気光学装置は、本発明では上記のカラー液晶表示装置に限定されず、例えば薄型のブラウン管、あるいは液晶シャッター等を用いた小型テレビ、EL表示装置、プラズマディスプレイ、CRTディスプレイ、FED(Field Emission Display)パネル等の種々の電気光学手段を用いることができる。   The electro-optical device is not limited to the above-described color liquid crystal display device in the present invention. For example, a small television using a thin cathode ray tube or a liquid crystal shutter, an EL display device, a plasma display, a CRT display, an FED (Field Emission). Various electro-optical means such as a display panel can be used.

(6.電子機器の構成)
図6は、本発明の製造方法により製造される電子機器の一例であるノート型パーソナルコンピュータの斜視図である。
(6. Configuration of electronic equipment)
FIG. 6 is a perspective view of a notebook personal computer which is an example of an electronic device manufactured by the manufacturing method of the present invention.

図に示すように、液晶表示装置300は筐体510に収納され、この筐体510に形成された開口部511から液晶表示装置300の表示領域が露出するように構成される。また、パーソナルコンピュータ500は、入力部としてのキーボード530を備えている。   As shown in the figure, the liquid crystal display device 300 is housed in a housing 510, and the display area of the liquid crystal display device 300 is exposed from an opening 511 formed in the housing 510. The personal computer 500 also includes a keyboard 530 as an input unit.

このパーソナルコンピュータ500は、液晶表示装置300の他に、図示しないが、表示情報出力源、表示情報処理回路、クロック発生回路などの様々な回路や、それらの回路に電力を供給する電源回路などからなる表示信号生成部を含んで構成される。液晶表示装置300には、例えば入力部530から入力された情報等に基き表示信号生成部によって生成された表示信号が供給されることによって表示画像が形成される。   In addition to the liquid crystal display device 300, the personal computer 500 includes various circuits such as a display information output source, a display information processing circuit, a clock generation circuit, and a power supply circuit that supplies power to these circuits, although not shown. The display signal generation unit is configured. For example, a display image is formed on the liquid crystal display device 300 by supplying a display signal generated by a display signal generation unit based on information input from the input unit 530 or the like.

本実施形態に係る電気光学装置が組み込まれる電子機器としては、パーソナルコンピュータに限らず、携帯型電話機、電子手帳、ページャ、POS端末、ICカード、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、およびエンジニアリング・ワークステーション(EWS)、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備えた装置、時計、ゲーム機器など様々な電子機器が挙げられる。   The electronic apparatus in which the electro-optical device according to this embodiment is incorporated is not limited to a personal computer, but is a mobile phone, an electronic notebook, a pager, a POS terminal, an IC card, a mini-disc player, a liquid crystal projector, and an engineering workstation ( EWS), a word processor, a television, a viewfinder type or a monitor direct-view type video tape recorder, an electronic desk calculator, a car navigation device, a device equipped with a touch panel, a watch, a game machine, and the like.

本発明の実施形態による修復装置の概略斜視図である。1 is a schematic perspective view of a repair device according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態による修復装置又は修復方法により修復され、若しくは製造装置又は製造方法により製造されるカラーフィルタの部分拡大図である。FIG. 4 is a partially enlarged view of a color filter that is repaired by a repair device or a repair method according to an embodiment of the present invention or manufactured by a manufacturing device or a manufacturing method. 本発明の実施形態によるカラーフィルタの製造方法を説明する製造工程断面図である。It is manufacturing process sectional drawing explaining the manufacturing method of the color filter by embodiment of this invention. 本発明の実施形態によるカラーフィルタの修復方法を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the restoration method of the color filter by embodiment of this invention. 本発明の製造方法により修復及び製造される電気光学装置の一例であるカラー液晶表示装置の断面図である。It is sectional drawing of the color liquid crystal display device which is an example of the electro-optical apparatus repaired and manufactured with the manufacturing method of this invention. 本発明の製造方法により製造される電子機器の一例であるノート型パーソナルコンピュータの斜視図である。It is a perspective view of the notebook type personal computer which is an example of the electronic device manufactured by the manufacturing method of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

100…修復装置、1…インクジェットヘッド(吐出部)、8…検出部、200…カラーフィルタ、12…透明基板、14…仕切り、20…着色層、20a…ピンホール(欠陥部分)、300…カラー液晶表示装置(電気光学装置)、500…パーソナルコンピュータ(電子機器)   DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Restoration apparatus, 1 ... Inkjet head (ejection part), 8 ... Detection part, 200 ... Color filter, 12 ... Transparent substrate, 14 ... Partition, 20 ... Colored layer, 20a ... Pinhole (defect part), 300 ... Color Liquid crystal display device (electro-optical device), 500 ... Personal computer (electronic equipment)

Claims (10)

透明基板上に着色層を予め定められたパターンにて配列することによって構成されるカラーフィルタを修復する装置であって、
前記着色層の欠陥部分を検出する検出部と、
検出された前記欠陥に基いて吐出する黒色材料の量を制御する制御部と、
検出された前記欠陥部分に対してインクジェットヘッドを用いて前記黒色材料を吐出する吐出部と、
を備えたカラーフィルタの修復装置。
An apparatus for repairing a color filter constituted by arranging colored layers in a predetermined pattern on a transparent substrate,
A detection unit for detecting a defective portion of the colored layer;
A control unit for controlling the amount of black material to be discharged based on the detected defect;
A discharge unit that discharges the black material using an inkjet head to the detected defective portion;
Color filter repairing device.
透明基板上に着色層を予め定められたパターンにて配列することによって構成されるカラーフィルタを備えた電気光学装置を修復する装置であって、
前記着色層の欠陥部分を検出する検出部と、
検出された前記欠陥に基いて吐出する黒色材料の量を制御する制御部と、
検出された前記欠陥部分に対応する位置に対してインクジェットヘッドを用いて前記黒色材料を吐出する吐出部と、
を備えた電気光学装置の修復装置。
An apparatus for repairing an electro-optical device provided with a color filter configured by arranging colored layers in a predetermined pattern on a transparent substrate,
A detection unit for detecting a defective portion of the colored layer;
A control unit for controlling the amount of black material to be discharged based on the detected defect;
A discharge unit that discharges the black material using an inkjet head to a position corresponding to the detected defective portion;
An electro-optical device repairing apparatus comprising:
透明基板上に着色層を予め定められたパターンにて配列することによって構成されるカラーフィルタを修復する方法であって、
前記着色層の欠陥部分を検出する検出工程と、
検出された前記欠陥に基いて吐出する黒色材料の量を制御する制御工程と、
検出された前記欠陥部分に対してインクジェットヘッドを用いて前記黒色材料を吐出する吐出工程と、
を備えたカラーフィルタの修復方法。
A method of repairing a color filter configured by arranging colored layers in a predetermined pattern on a transparent substrate,
A detection step of detecting a defective portion of the colored layer;
A control step of controlling the amount of black material to be discharged based on the detected defects;
A discharge step of discharging the black material to the detected defective portion using an inkjet head;
For repairing color filters with
透明基板上に着色層を予め定められたパターンにて配列することによって構成されるカラーフィルタを備えた電気光学装置を修復する方法であって、
前記着色層の欠陥部分を検出する検出工程と、
検出された前記欠陥に基いて吐出する黒色材料の量を制御する制御工程と、
検出された前記欠陥部分に対応する位置に対してインクジェットヘッドを用いて前記黒色材料を吐出する吐出工程と、
を備えた電気光学装置の修復方法。
A method of repairing an electro-optical device including a color filter configured by arranging colored layers in a predetermined pattern on a transparent substrate,
A detection step of detecting a defective portion of the colored layer;
A control step of controlling the amount of black material to be discharged based on the detected defects;
A discharge step of discharging the black material to the position corresponding to the detected defective portion using an inkjet head;
A method of repairing an electro-optical device comprising:
透明基板上に着色層を予め定められたパターンにて配列することによって構成されるカラーフィルタを製造する装置であって、
前記着色層の欠陥部分を検出する検出部と、
検出された前記欠陥に基いて吐出する黒色材料の量を制御する制御部と、
検出された前記欠陥部分に対してインクジェットヘッドを用いて前記黒色材料を吐出する吐出部と、
を備えたカラーフィルタの製造装置。
An apparatus for manufacturing a color filter configured by arranging colored layers in a predetermined pattern on a transparent substrate,
A detection unit for detecting a defective portion of the colored layer;
A control unit for controlling the amount of black material to be discharged based on the detected defect;
A discharge unit that discharges the black material using an inkjet head to the detected defective portion;
A color filter manufacturing apparatus comprising:
透明基板上に着色層を予め定められたパターンにて配列することによって構成されるカラーフィルタを備えた電気光学装置を製造する装置であって、
前記着色層の欠陥部分を検出する検出部と、
検出された前記欠陥に基いて吐出する黒色材料の量を制御する制御部と、
検出された前記欠陥部分に対応する位置に対してインクジェットヘッドを用いて前記黒色材料を吐出する吐出部と、
を備えた電気光学装置の製造装置。
An apparatus for manufacturing an electro-optical device provided with a color filter configured by arranging colored layers in a predetermined pattern on a transparent substrate,
A detection unit for detecting a defective portion of the colored layer;
A control unit for controlling the amount of black material to be discharged based on the detected defect;
A discharge unit that discharges the black material using an inkjet head to a position corresponding to the detected defective portion;
An electro-optical device manufacturing apparatus comprising:
透明基板上に着色層を予め定められたパターンにて配列することによって構成されるカラーフィルタを製造する方法であって、
前記着色層の欠陥部分を検出する検出工程と、
検出された前記欠陥に基いて吐出する黒色材料の量を制御する制御工程と、
検出された前記欠陥部分に対してインクジェットヘッドを用いて前記黒色材料を吐出する吐出工程と、
を備えたカラーフィルタの製造方法。
A method of manufacturing a color filter configured by arranging colored layers in a predetermined pattern on a transparent substrate,
A detection step of detecting a defective portion of the colored layer;
A control step of controlling the amount of black material to be discharged based on the detected defects;
A discharge step of discharging the black material to the detected defective portion using an inkjet head;
A method for producing a color filter comprising:
透明基板上に着色層を予め定められたパターンにて配列することによって構成されるカラーフィルタを備えた電気光学装置を製造する方法であって、
前記着色層の欠陥部分を検出する検出工程と、
検出された前記欠陥に基いて吐出する黒色材料の量を制御する制御工程と、
検出された前記欠陥部分に対応する位置に対してインクジェットヘッドを用いて前記黒色材料を吐出する吐出工程と、
を備えた電気光学装置の製造方法。
A method for manufacturing an electro-optical device including a color filter configured by arranging colored layers in a predetermined pattern on a transparent substrate,
A detection step of detecting a defective portion of the colored layer;
A control step of controlling the amount of black material to be discharged based on the detected defects;
A discharge step of discharging the black material to the position corresponding to the detected defective portion using an inkjet head;
A method of manufacturing an electro-optical device comprising:
請求項7に記載の方法により製造されたカラーフィルタを用いることを特徴とする電気光学装置の製造方法。   A method for manufacturing an electro-optical device, comprising using the color filter manufactured by the method according to claim 7. 請求項8又は請求項9に記載の方法により製造された電気光学装置を用いることを特徴とする電子機器の製造方法。   An electronic apparatus manufacturing method using the electro-optical device manufactured by the method according to claim 8.
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