JP4417073B2 - Method and apparatus for detecting misalignment of conveyed product - Google Patents
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Description
本発明は、ベルト搬送装置で複数の物品を搬送する際の位置ずれを検出するものであって、その位置ずれ量の確認が容易な搬送物位置ずれ検出方法及びその装置に関するものである。 The present invention relates to a method and apparatus for detecting a misalignment of a conveyed product that detects misalignment when a belt conveying device conveys a plurality of articles, and easily confirms the misalignment amount.
従来の搬送物位置ずれ検出装置として、ベルト搬送装置のベルト上で搬送物が詰まりを生じ、搬送不能になった際にこれを検出してエラー処理を行なう装置が開示されている(例えば、特許文献1参照)。 As a conventional transported object position deviation detection device, a device that detects an error when a transported product is clogged on the belt of the belt transport device and cannot be transported is disclosed (for example, a patent) Reference 1).
このような装置では、例えば、図6に示されるように、ベルト搬送装置101のベルト上で搬送物103−A、103−Bが搬送されている場合、搬送物103−A、103−Bの通過を検出するセンサ102−A,102−Bが備えられている。センサ102−Aは、固定位置に備えられ、ベルトと共に移動する搬送物103−A、103−Bそれぞれの大きさを検知する。センサ102−Bも同様である。
In such an apparatus, for example, as shown in FIG. 6, when the conveyed objects 103 -A and 103 -B are conveyed on the belt of the
図示されるように、搬送物103−Aの前方で停止した搬送物があり、詰まっている場合、センサ102−Aは搬送物103−Aを検知してオン状態を発した後、オフ状態にならない。従って、装置は、センサ102の一つでも、オン状態になってから一定時間内にオフ状態にならない場合、搬送物の詰まりによるエラーと判断してエラー処理を行なう。
As shown in the figure, when there is a transported object stopped in front of the transported object 103-A and it is clogged, the sensor 102-A detects the transported object 103-A, emits an ON state, and then enters an OFF state. Don't be. Therefore, if even one of the
すなわち、この装置では、搬送物の大きさとベルトの搬送速度とから得られる検出時間より十分に大きな一定時間を予め定め、センサによる検知消滅までの時間がこの一定時間を越えた場合にエラーとしている。 That is, in this apparatus, a predetermined time sufficiently larger than the detection time obtained from the size of the conveyed product and the belt conveyance speed is determined in advance, and an error occurs when the time until the detection disappears by the sensor exceeds this fixed time. .
このようなエラー状態を早期に発見するためには、多数のセンサを備えることが必要であり、かつ、搬送物の大きさとベルトの搬送速度とから最適な一定時間を設定する必要がある。すなわち、搬送物の大きさとベルトの搬送速度とが変化した場合にはそれぞれの変化に応じた時間の設定を行なう必要がある。 In order to detect such an error state at an early stage, it is necessary to provide a large number of sensors, and it is necessary to set an optimal fixed time based on the size of the conveyed product and the conveying speed of the belt. That is, when the size of the conveyed product and the belt conveyance speed change, it is necessary to set a time corresponding to each change.
一方、ウェハの処理設備のコンパクト化を図るため、二列で平行して処理する設備が実用化している。 On the other hand, in order to reduce the size of wafer processing equipment, equipment for parallel processing in two rows has been put into practical use.
すなわち、処理時間が長いためベルトを搬送手段に用いる場合、例えば上記特許文献1のようにリフロー炉を通過するベルト上にウェハを並べる場合、設備のコンパクト化を図るため、二列に平行してウェハを搬送させる設備が実用化される。
That is, when the belt is used as the conveying means because the processing time is long, for example, when the wafers are arranged on the belt passing through the reflow furnace as in the above-mentioned
例えば、図7に示されるように、ウェハ1をベルト2上に並列に配置して積み込み側の搬入具3−Lから荷降ろし側の搬出具3−Uまで搬送する設備がある。このような設備でも、図6と同様、ベルト2の向う側Rと手前側Fとの積み込み側に光電センサ4−LR,4−LFが、荷降ろし側に光電センサ4−UR,4−UFがそれぞれ設けられる。更に、光電センサは、図6と同様、図示されていないがベルト2の中間上部にも設けられ、ウェハ1の詰まりを監視している。
For example, as shown in FIG. 7, there is a facility in which the
しかし、このような構造の搬送装置では、ベルト2の荷降ろし側で、ベルト2の向う側Rと手前側Fとで並列をなす二つのウェハ1―A,1−Bが移動して搬出具3−Uに荷降ろしされるまでに、搬送される途中でベルト2の振動によりそれぞれに異なる位置ずれが生じる。すなわち、図示されるように、相互の位置ずれが大きい場合、遅れて搬出具3−Uに達したウェハ1−Bは遅れたまま搬出具3−Uで荷降ろしされる。搬出具3−Uでは先に到着したウェハ1−Aに基づいて搬送を開始しているので、遅れて到着したウェハ1−Bは装置の途中で搬出具3−Uから脱落する事故または装置の仕切りに衝突する事故を発生する恐れがある。
However, in the transport apparatus having such a structure, on the unloading side of the
このような事故は、上述した詰まりの検出だけでは防止することができない。すなわち、詰まりの検出は一定時間で行なわれているが、後者のウェハの例では搬送物の位置ずれをある程度正確な長さの単位で検出する必要がある。
解決しようとする課題は、上述した装置では固定されたセンサによりベルト上で移動するウェハのような対象物の大きさに対応した移動時間から位置の移動を判定しているので、隣接する対象物相互の位置ずれ量を長さの単位で検出できないことである。 The problem to be solved is that, in the above-described apparatus, the movement of the position is determined from the movement time corresponding to the size of the object such as a wafer moving on the belt by the fixed sensor. That is, the amount of mutual displacement cannot be detected in units of length.
本発明は、固定されたセンサにより、ベルト上で移動する物品の位置ずれの判定をある程度の正確さをもって長さ単位で検出するため、隣接する二つの物品を特定場所に固定されたセンサで検出して、その時間差を演算し、この時間差とベルトの搬送速度とにより二つの搬送物の位置ずれを長さ単位で求めることを主要な特徴とする。 In the present invention, since the determination of the positional deviation of the article moving on the belt is detected in a unit of length with a certain degree of accuracy by a fixed sensor, two adjacent articles are detected by a sensor fixed at a specific location. Then, the main feature is that the time difference is calculated, and the positional deviation between the two conveyance objects is obtained in units of length based on the time difference and the belt conveyance speed.
本発明の搬送物位置ずれ検出装置は、対象となる二つの搬送物の到着を位置固定されたセンサにより検出し、その時間差がある場合、この時間差とベルトの搬送速度とを積することにより時間差を長さの単位で位置ずれとして求めることができる。この結果、正確な位置ずれの寸法が判明するので、二つを平行させてベルト搬送する場合、ベルトの荷降ろし側での障害発生を回避する、例えば搬送停止などの処理ができるという利点がある。また、積み込み側と荷降ろし側とそれぞれの位置ずれ量を検出し、検出地点間の距離から平行する対象物自体の速度差を演算することができる。また、縦列する搬送物を対象に相互間の位置ずれを求めることにより、長さ単位での位置修正処理ができるという利点もある。 The transported object position deviation detection device of the present invention detects arrival of two target transported objects by a sensor whose position is fixed, and if there is a time difference, the time difference is obtained by multiplying the time difference and the belt transport speed. Can be obtained as a positional deviation in units of length. As a result, the exact misalignment dimension can be found, so that when the belts are transported in parallel with each other, there is an advantage that it is possible to perform processing such as transportation stoppage, for example, to avoid the occurrence of a failure on the belt unloading side. . Further, it is possible to detect the amount of positional deviation between the loading side and the unloading side and calculate the speed difference between the parallel objects from the distance between the detection points. In addition, there is also an advantage that position correction processing in units of length can be performed by obtaining a positional shift between the objects to be conveyed in tandem.
本発明では、ベルト搬送装置で複数の物品を搬送する際に隣接する物品相互の位置ずれを検出するという目的を、搬送される対象物それぞれの通過を検出する固定位置のセンサを用いて通過時点からその時間差を検出し、更に対象物を搬送するベルトの搬送速度をモニタして上記時間差とこのベルト速度とを積して、この二つの対象物の位置ずれ量を長さにより求めている。この結果、従来の装置規模を拡大することなく、正確な位置ずれ量を簡単に求めることができる。 In the present invention, when a plurality of articles are conveyed by the belt conveying apparatus, the object of detecting a positional shift between adjacent articles is detected by using a fixed position sensor that detects the passage of each object to be conveyed. Then, the time difference is detected, the conveyance speed of the belt that conveys the object is monitored, the time difference is multiplied by this belt speed, and the positional deviation amount of the two objects is obtained from the length. As a result, it is possible to easily obtain an accurate displacement amount without enlarging the conventional apparatus scale.
本発明によるブロック構成の一つの実施例について図1を参照して説明する。 An embodiment of the block configuration according to the present invention will be described with reference to FIG.
図1は、本発明による装置の実施の一形態を示すブロック構成図である。 FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an apparatus according to the present invention.
図示される装置では、連続して搬送されるウェハ1、ウェハ1を並列に搬送するベルト2、ベルト2にウェハ1を積み込む側の搬入具3−L、ウェハ1をベルト2から荷降ろしする側の搬出具3−U、搬送されるウェハ1を検知する光電センサ4、搬送用のベルト2を駆動するベルト搬送装置5、並びに搬入具3−Lを駆動する自動搬入装置6−Lおよび搬出具3−Uを駆動する自動搬出装置6−Uまでが上記図7と同一構成である。図では、更に、シーケンサ7、ウェハ位置ずれモニタ8、およびウェハ位置ずれ検出装置9が示されている。
In the illustrated apparatus, the
ベルト2は、並列搬送する向う側搬送路2−Rと手前側搬送路2−Fとを有する。図示される光電センサ4は、積み込み側Lおよび荷降ろし側U並びに向こう側搬送路2−Rおよび手前側搬送路2−Fそれぞれに光電センサ4−LR,4−LF,4−UR,4−UFとして配備される。シーケンサ7はカウンタおよび位置ずれ演算部を有し、続発するデータを時系列で順次処理している。また、ウェハ位置ずれモニタ8は、例えば搬入側ずれDPM(デジタルパネルメータ)、搬出側ずれDPM、およびベルト速度DPMを有している。本発明での特徴はシーケンサ7における位置ずれ演算部にある。
The
ウェハ1はベルト2まで自動搬入装置6−Lの制御を受ける搬入具3−Lにより一つの縦列をなして前工程から搬送される。ウェハ1は、二つずつ同時にベルト2の向う側搬送路2−Rと手前側搬送路2−Fとに搬入具3−Lから自動搬入装置6−Lにより移送される。この際、二つのウェハ1は光電センサ4−LR,4−LFそれぞれの検知範囲を通過する。検知は、例えばウェハ1の先端部であり、通常、移送される二つのウェハ1における検知時点での位置ずれはない。
The
ベルト2は、ベルト搬送装置5により駆動され、二つのウェハ1を荷降ろし側へ搬送する。二つのウェハ1は、荷降ろし側の光電センサ4−UR,4−UFそれぞれの検知範囲を通過し、自動搬出装置6−Uの制御により搬出具3−Uに移送される。搬出具3−Uは移送されたウェハ1を一つの縦列に形成して次の工程へ移送する。
The
ベルト2はベルト搬送装置5により駆動されているが、ある程度の長さを有する場合、向う側搬送路2−Rと手前側搬送路2−Fとの振動差により、搬送されるウェハ1の位置ずれを生じる。この場合、光電センサ4−UR,4−UFそれぞれのウェハ検知時点に差を生じる。ベルト搬送装置5はベルト2を駆動すると共にベルト2の搬送速度をベルト速度モニタ5−Mによりモニタしている。
Although the
シーケンサ7は、光電センサ4−LR,4−LF,4−UR,4−UFからの検知通知、ベルト速度モニタ5−Mからのベルト速度、並びに自動搬入装置6−Lおよび自動搬出装置6−Uそれぞれからのウェハ1の計数値を受け、位置ずれ演算部が隣接して搬送されるウェハ1の位置ずれを演算する。ウェハ位置ずれモニタ8はシーケンサ7から情報またはデータを受けて随時、搬入側ずれDPM、搬出側ずれDPM、およびベルト速度OPMに表示する。ウェハ位置ずれ検出装置9は、例えば専用のPC(パーソナルコンピュータ)であり、ウェハ位置ずれモニタ8からデータを受けて障害を検出し、所定のアラーム処理を行なう。
The sequencer 7 detects the detection from the photoelectric sensors 4-LR, 4-LF, 4-UR, 4-UF, the belt speed from the belt speed monitor 5-M, and the automatic carry-in device 6-L and automatic carry-out device 6-. In response to the count value of the
上記説明では位置ずれの検知に光電センサを用いているが、同一目的を達成するものであれば、他の種類のセンサでもよい。また、機能ブロックを図示して説明しているが、機能の併合分離は上記機能を満たす限り自由であり、そのブロック構成は上記説明に限定されるものではない。 In the above description, a photoelectric sensor is used to detect misalignment, but other types of sensors may be used as long as they achieve the same purpose. In addition, although functional blocks are illustrated and described, the merging / separating of functions is free as long as the above functions are satisfied, and the block configuration is not limited to the above description.
次に、図2に図1を併せ参照して実施例1について説明する。
Next,
ベルト2の向う側搬送路2−Rと手前側搬送路2−Fとの上を平行搬送された二つのウェハ1−A,1−Bが搬出具3−Uに荷降ろしされた際に、二つのウェハ1−A,1−Bの間の位置ずれが図2(A)に示されるように小さい場合は障害の発生はないが、図2(B)に示されるように大きい場合は障害が発生する。
When the two wafers 1-A and 1-B transported in parallel on the side transport path 2-R and the front side transport path 2-F facing the
次に、図3に図1および図2を併せ参照して、図1における荷降ろし側で、図2で示されるように、光電センサ4−UR,4−UFがウェハ1−A,1−Bを検知した際のウェハ1−A,1−Bの位置ずれを演算する主要動作手順について説明する。 Next, referring to FIGS. 1 and 2 together with FIG. 3, on the unloading side in FIG. 1, as shown in FIG. 2, the photoelectric sensors 4-UR, 4-UF are mounted on the wafers 1-A, 1- The main operation procedure for calculating the positional deviation of the wafers 1-A and 1-B when B is detected will be described.
まず、光電センサ4−UR,4−UFの何れかでウェハ1−A,1−Bを検知(手順S1のYES)した際に光電センサ4−UR,4−UFの両者が検知した場合、シーケンサ7は、カウンタを二つ歩進(手順S2のYES)させる。この場合、二つのウェハ1−A,1−Bの間には位置ずれがないので、シーケンサ7は、上記手順S1に戻り光電センサ4−UR,4−UFによる次の検知を待つ。 First, when both the photoelectric sensors 4-UR and 4-UF are detected when the wafers 1-A and 1-B are detected by any one of the photoelectric sensors 4-UR and 4-UF (YES in step S1), The sequencer 7 increments the counter by two (YES in step S2). In this case, since there is no positional deviation between the two wafers 1-A and 1-B, the sequencer 7 returns to the procedure S1 and waits for the next detection by the photoelectric sensors 4-UR and 4-UF.
上記手順S2が「NO」でウェハ1−A,1−Bの何れか一つ、例えばウェハ1−Aの場合、シーケンサ7は、光電センサ4−UR,4−UFのうちのもう一方の光電センサ4−URの検知を待つが、自動搬入装置6−Lからの情報から得られるウェハの同時搬送枚数値と比較(手順S4)する。比較対象のウェハが一枚搬送(手順S5のYES)の場合には位置ずれ対象のウェハ1―Bに該当するウェハがないので、シーケンサ7は、上記手順S1に戻り次の光電センサ4−UR,4−UFの検知を待つ。 If the procedure S2 is “NO” and one of the wafers 1-A and 1-B, for example, the wafer 1-A, the sequencer 7 selects the other photoelectric sensor among the photoelectric sensors 4-UR and 4-UF. While waiting for detection of the sensor 4-UR, it is compared with the value of the number of wafers that can be simultaneously conveyed obtained from the information from the automatic loading device 6-L (step S4). If one wafer to be compared is transported (YES in step S5), there is no wafer corresponding to the wafer 1-B to be displaced, so the sequencer 7 returns to the above step S1 and next photoelectric sensor 4-UR. , Wait for 4-UF detection.
上記手順S3が「YES」で他方の光電センサが検知した場合、シーケンサ7は、上記手順S2の一つに加えて、カウンタ値を更に一つ歩進(手順S11)させて手順S1と手順S3との光電センサの検知時期(T1,T2)からその差を演算し、その時間差Tdを取得(手順S12)する。同時に、シーケンサ7は、ベルト速度モニタ5−Mからベルト速度Vbを取得(手順S13)しているので、位置ずれ演算部により二枚のウェハ1の位置ずれ量Pdを次式で演算(手順S14)してその結果の演算値をウェハ位置ずれモニタ8に送り搬出側ずれDPMに表示(手順S15)させている。
If the above step S3 is “YES” and the other photoelectric sensor detects the sequence, the sequencer 7 further increments the counter value by one (step S11) in addition to one of the above steps S2. The difference is calculated from the detection timing (T1, T2) of the photoelectric sensor, and the time difference Td is obtained (step S12). At the same time, since the sequencer 7 obtains the belt speed Vb from the belt speed monitor 5-M (procedure S13), the positional deviation calculation unit calculates the positional deviation amount Pd of the two
Pd(m)=Td(s)×Vb(m/s)
ウェハ位置ずれモニタ8は、受けたデータをDPM表示すると共にウェハ位置ずれ検出装置9に送る。ウェハ位置ずれ検出装置9は、位置ずれ量の演算値に対して警報するべく予め定められた警報設定値を保持しており、その演算値と警報設定値とを比較(手順S16)する。
Pd (m) = Td (s) × Vb (m / s)
The wafer position deviation monitor 8 displays the received data as a DPM and sends it to the wafer position
手順S16が「YES」で二つのウェハ1の位置ずれに対する上記演算値が警報設定値を越えた場合、ウェハ位置ずれ検出装置9はこれを検出して例えばアラームを発生する所定の警報発生処理(手順S17)を行なう。
When step S16 is “YES” and the calculated value for the positional deviation of the two
このように平行にベルト2上を搬送されるウェハ1−A,1−Bのうち先に搬出具3−Uに到着したウェハ1−Aを基準にして例えば図2(A)に示されるような搬出具3−U幅に基づいて警報設定値を、時間でなく長さ単位で設定することができる。従って、警報設定値を長さ単位で木目細かく設定できるので、図2(B)に示されるような障害を事前に確実に検知することができる。
As shown in FIG. 2A, for example, the wafer 1-A that has arrived at the unloader 3-U first among the wafers 1-A and 1-B conveyed on the
次に、本発明の実施例2について図4に図1を併せ参照して説明する。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
図4の実施例は、向う側搬送路2−Rおよび手前側搬送路2−Fの一方、例えば手前側搬送路2−Fのウェハ1−Aを基準として、光電センサ4−LR,4−LFによるベルト2の積み込み側における時間差Tdlと光電センサ4−UR,4−UFによるベルト2の荷降ろし側における時間差Tduとの差を光電センサ4−LR,4−LFと光電センサ4−UR,4−UFとの間の距離Lbから次式により単位距離当たりの時間ずれTdを演算することができる。時間差Tdu,Tdlはウェハ1−Aを基準にしてプラス・マイナスが生じる。
In the embodiment of FIG. 4, the photoelectric sensors 4-LR and 4-LF are based on the wafer 1-A of one of the opposite conveyance path 2-R and the front conveyance path 2-F, for example, the front conveyance path 2-F. The difference between the time difference Tdl on the loading side of the
Td=(Tdu−Tdl)/Lb
この時間のずれTdは上述したように長さ単位に変換する。この機能は搬送物位置ずれ検出装置の調整におおいに役立つ。
Td = (Tdu−Tdl) / Lb
This time difference Td is converted into a length unit as described above. This function is very useful for adjusting the conveyance position deviation detection device.
次に、図5を参照して実施例3について説明する。
Next,
順調な搬送の場合、ベルト2の向う側搬送路2−Rおよび手前側搬送路2−Fそれぞれの上でウェハ1が並列して等間隔Eで搬送される。例えば図示されるようにウェハ1−Bのみが位置ずれを生じた場合、光電センサ4−URの検知時間差Tdから等間隔Eより大きな距離Bが演算される。同時に、光電センサ4−URの検知時間差Tdから等間隔Eより小さな距離Sが演算される。
In the case of smooth transfer, the
このように、本発明によればそれぞれのウェハの通常標準に対する長さ単位のずれを演算できるので、この結果からも障害の回避を行うことができる。 As described above, according to the present invention, since the deviation of the length unit from the normal standard of each wafer can be calculated, the failure can be avoided also from this result.
上記説明では搬送方向に対しウェハの先端をセンサが検知するとしたが、先行するウェハの後端と後続するウェハの先端とを検知して各ウェハの間隔を演算して所定の警報設定値と比較してもよい。 In the above description, the sensor detects the leading edge of the wafer with respect to the transfer direction, but detects the trailing edge of the preceding wafer and the leading edge of the succeeding wafer, calculates the interval between each wafer, and compares it with a predetermined alarm setting value. May be.
また、図1に示されるウェハ位置ずれモニタ8はシーケンサ7から上述した位置ずれデータ、ベルト速度などを時系列で受けてDPMに表示するので、ベルト搬送による位置ずれ量の変化が時系列で把握できるので、障害を事前に察知してその回避の適確な対処におおいに役立つ。 Further, since the wafer misalignment monitor 8 shown in FIG. 1 receives the above misalignment data, the belt speed, etc. from the sequencer 7 in time series and displays them on the DPM, the change in misalignment amount due to the belt conveyance is grasped in time series. Because it can be done, it is useful for detecting obstacles in advance and taking appropriate measures to avoid them.
上述したように、ウェハの位置ずれ検出に、ウェハの検知時点から得られる時間差を、ウェハを搬送するベルト速度を用いて長さ単位に容易に変換でき、具体的な間隔、距離をもって警報を発することができるので、上述したウェハに限定されず、また、平行する二列と限定されることなく、ベルトにより搬送される対象物の位置ずれを具体的な長さ単位の寸法で監視しアラームの発生を簡単にかつ容易に設定できることが不可欠な用途に適用できる。 As described above, the time difference obtained from the detection time of the wafer can be easily converted into a length unit by using the belt speed for transporting the wafer, and an alarm is issued at a specific interval and distance as described above. Therefore, the present invention is not limited to the above-mentioned wafers, and is not limited to two parallel rows. It can be applied to applications where it is essential to be able to set the generation easily and easily.
1.1−A、1−B ウェハ
2 べルト
2−R 向う側搬送路
2−F 手前側搬送路
3−L 搬入具
3−U 搬出具
4、4−LR、4−LF、4−UR、4−UF 光電センサ
5 ベルト搬送装置
6−L 自動搬入装置
6−U 自動搬出装置
7 シーケンサ
8 ウェハ位置ずれモニタ
9 ウェハ位置ずれ検出装置
1.1-A, 1-
Claims (6)
前記各物品の積み込み側と荷降ろし側との二個所を前記通過時点として一方の側を基準に演算し、演算の結果得られた二つの前記物品のずれ量と前記二個所間の距離とにより、並列に隣接する前記物品相互間における前記ベルトにおける単位長あたりの位置ずれ量を演算することを特徴とする搬送物位置ずれ検出方法。 After a plurality of articles in parallel conveyed by the belt conveying device, when the tandem transport, object in the transport object displacement detection method for detecting the positional deviation in the parallel transport, the two articles conveyed adjacent in parallel on the belt The time difference is detected from each passing time, and the amount of deviation between the two adjacent articles in parallel is detected by using the time difference and the belt speed for conveying the article based on the position difference in length units. When
The two places of the loading side and the unloading side of each article are calculated based on one side as the passage time point, and the deviation amount between the two articles obtained as a result of the calculation and the distance between the two places A method of detecting a displacement of a conveyed product, comprising calculating a displacement amount per unit length of the belt between the articles adjacent in parallel .
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