JP4416310B2 - Electronic device testing equipment - Google Patents

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子デバイスを試験する試験装置に関する。特に本発明は、電子デバイスの良否を判定するための範囲を、電子デバイスに供給する試験パターンに応じて設定する試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子デバイスの良否判断に、電子デバイスに試験パターンを供給して、電子デバイスから出力される出力パターンを検出する方法が用いられる。電子デバイスの良否判断は、測定した電子デバイスの出力パターンを、当該電子デバイスが出力すべき期待パターンと比較することによって行う。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、電子デバイスの微細化に伴い、当該デバイスに設けられた素子や配線等のリーク電流が増加するようになり、従来の測定方法では、例えばＩＤＤＱ電流値（静止電源電流）などのアナログ出力値を用いた電子デバイスの良否判断を正確に行うことが困難であった。
【０００４】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる電子デバイスの試験装置を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明の第１の形態によると、電子デバイスを試験する試験装置であって、被試験電子デバイスに試験パターンを供給するパターン供給部と、試験パターンを供給することにより被試験電子デバイスに流れる電流の被試験電流値を測定する測定部と、試験パターンを供給することにより被試験電子デバイスに流れるべき電流の期待値を出力する期待値出力部と、測定部により測定された被試験電流値と、期待値との差を演算する差分演算部と、差分演算部による演算結果に基づいて被試験電子デバイスの良否を判定する判定部とを備えることを特徴とする試験装置を提供する。
【０００６】
判定部は、期待値の大きさに応じて被試験電流値の許容範囲を設定してもよい。期待値出力部は、基準となる基準電子デバイスに試験パターンを供給することにより基準電子デバイスに流れる電流の電流値を記憶する記憶部を有してもよく、記憶部に記憶された電流値を期待値として出力してもよい。
【０００７】
パターン供給部は、基準となる基準電子デバイスに試験パターンをさらに供給してもよく、期待値出力部は、試験パターンを供給することにより基準電子デバイスに流れる電流の電流値を測定する期待値測定部を有し、基準電子デバイスに流れる電流値を期待値として出力してもよい。
【０００８】
パターン供給部は、複数の異なる試験パターンを供給してもよく、試験装置は、差分演算部が演算した被試験電流値と期待値との差の許容範囲を示す差分範囲データを、複数の異なる試験パターンそれぞれに対応づけて記憶する差分範囲データ記憶部をさらに備えてもよく、判定部は、差分範囲データに基づいて、電子デバイスの良否を判定してもよい。
【０００９】
試験装置は、差分演算部が演算した被試験電流値と期待値との差と、期待値との比を演算する比率演算部をさらに備えてもよく、判定部は、比率演算部による演算結果に基づいて電子デバイスの良否を判定してもよい。
【００１０】
試験装置は、被試験電流値と期待値との差と、期待値との比の許容範囲を示す比率範囲データを記憶する比率範囲データ記憶部をさらに備えてもよく、判定部は、比率範囲データに基づいて、電子デバイスの良否を判定してもよい。
【００１１】
試験装置は、電子デバイスに電源電圧を印加する電源をさらに備えてもよく、
測定部は、電子デバイスに流れる電源電流を測定してもよい。
【００１２】
なお上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又発明となりうる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態はクレームにかかる発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１４】
図１は、本発明の第１実施形態に係る試験装置の構成を示すブロック図である。試験装置１０は、被試験電子デバイス４０の電気的特性を試験する。
ここで、「電子デバイス」とは、電流又は電圧に応じて所定の作用を行う部品をいい、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）やＬＳＩ（Large‐Scale Integrated circuit）のような能動素子から成る半導体部品を含む。更に、これら部品を結合して一つのパッケージに収めた部品や、これら部品をプリント基板に装着して所定の機能を実現したブレッドボード等の部品も含む。
【００１５】
試験装置１０は、電子デバイス４０に試験パターンを供給するパターン供給部１２と、電子デバイス４０及び基準電子デバイス４２にそれぞれ電源電圧を印加する電源１４ａ及び１４ｂと、試験パターンを供給することにより電子デバイス４０に流れる電流の被試験電流値を測定する被試験デバイス測定部１６と、試験パターンを供給することにより電子デバイス４０に流れるべき電流の期待値を出力する期待値出力部１８と、被試験デバイス測定部１６により測定された被試験電流値と、期待値との差を演算する差分演算部２４と、差分演算部２４による演算結果に基づいて電子デバイス４０の良否を判定する判定部３０と、差分演算部２４が演算した被試験電流値と期待値との差の許容範囲を示す差分範囲データを記憶する差分範囲データ記憶部３２と、判定部３０が判定した試験結果を記憶する判定結果記憶部３４とを備える。期待値出力部１８は、試験パターンを供給することにより基準電子デバイス４２に流れる電流の電流値を測定する期待値測定部２０を有する。
【００１６】
パターン供給部１２は、電子デバイス４０に複数の異なる試験パターンを供給するのが好ましい。また、パターン供給部１２は、基準となる基準電子デバイス４２に、被試験電子デバイス４０と同一の試験パターンを供給してもよい。このとき、基準電子デバイス４２は、良品であることがわかっている理想電子デバイスであるのが好ましい。
【００１７】
被試験デバイス測定部１６は、電子デバイス４０に試験パターンを供給することにより電子デバイス４０に流れるＩＤＤＱ電流を測定する。また、電源１４ａは、電流電圧変換器を有してもよく、電流値を電圧値に変換して被試験デバイス被試験デバイス測定部１６に電圧値を出力してよい。この場合、被試験デバイス測定部１６は、電圧値を測定する。本実施形態において、被試験デバイス測定部１６は波形デジタイザを有し、ＩＤＤＱ電流値又は電圧値をデジタルデータに変換する。この場合、被試験デバイス測定部１６は、ＩＤＤＱ電流値又は電圧値に基づくデジタルデータを被試験電流値として出力する。
【００１８】
期待値出力部１８は、期待値測定部２０が測定した基準電子デバイス４２に流れる電流値を期待値として出力する。本実施形態において、期待値測定部２０は、基準デバイス４２に流れるＩＤＤＱ電流値を測定する。また、電源１４ｂは、電流電圧変換器を有してもよく、電流値を電圧値に変換して期待値測定部２０に電圧値を出力してよい。この場合、期待値測定部２０は、電圧値を測定する。本実施形態において、期待値測定部２０は波形デジタイザを有し、ＩＤＤＱ電流値又は電圧値をデジタルデータに変換する。この場合、期待値出力部１８は、ＩＤＤＱ電流値又は電圧値に基づくデジタルデータを期待値として出力する。
【００１９】
判定部３０は、差分範囲データ記憶部３２に記憶された差分範囲データに基づいて、電子デバイス４０の良否を判定するのが好ましい。判定部３０は、期待値の大きさに応じて被試験電流値の許容範囲を設定するのが好ましい。判定結果記憶部３４は、各試験パターン毎の試験結果を記憶する。本実施形態において、判定部３０は、被試験電流値と期待値との差が差分範囲内の値であるときに電子デバイス４０が良好であると判定する。
【００２０】
図２は、差分範囲データ記憶部３２が記憶する差分範囲データを示すテーブルの一例である。差分範囲データ記憶部３２は、複数の試験パターン１〜５のそれぞれに対応する差分範囲データを記憶する。差分範囲データ記憶部３２は、各試験パターン１〜５のそれぞれを基準電子デバイス４２に供給することにより得られる期待値の大きさに応じて設定された差分範囲データを記憶するのが好ましい。
【００２１】
例えばパターン供給部１２が試験パターン１を供給した場合に、差分範囲は±５である。従って、被試験電流値と期待値との差が６の場合には、判定部３０は電子デバイス４０が不良であると判定する。一方この場合に、被試験電流値と期待値との差が３であれば、判定部３０は電子デバイス４０が良好であると判定する。
【００２２】
本実施形態によれば、判定部３０が電子デバイス４０の良否を判定するために参照する差分範囲データが、試験パターン毎に設定されているので、より正確に電子デバイス４０の良否を判断することができる。また、差分範囲データは、期待値の大きさに応じて設定されるので、期待値自体が大きいためにリーク電流も大きくなり、そのために被試験電流値と期待値との差が大きくなってしまうような試験パターンを供給した場合であっても、電子デバイス４０の良否を正確に判断することができる。そのため、良好であるにも関わらず、リーク電流の影響で被試験電流値と期待値との差が大きくなり、従来不良と判断されていた電子デバイスを良好であると判断することができる。
【００２３】
図３は、差分範囲データ記憶部３２が記憶する差分範囲データを示すテーブルの他の例である。差分範囲データ記憶部３２は、試験パターンを基準電子デバイス４２に供給することにより得られる期待値の大きさに対応する差分範囲データを記憶する。例えば、期待値が４０までの場合、期待値と被試験電流値との差の許容範囲を±２とし、期待値が増加するに従って、期待値と被試験電流値との差の許容範囲も増加する。ここで、期待値出力部１８は、期待値を判定部３０に出力し、判定部３０は、期待値に基づき、テーブルを参照する。
【００２４】
例えば期待値が８０の場合に、差分範囲は±５である。従って、被試験電流値と期待値との差が６の場合には、判定部３０は電子デバイス４０が不良であると判定する。一方、この場合に、被試験電流値と期待値との差が３であれば、判定部３０は電子デバイス４０が良好であると判定する。
【００２５】
本実施形態によれば、判定部３０が電子デバイス４０の良否を判定するために参照する差分範囲データが、期待値の大きさに応じて設定されるので、より正確に電子デバイス４０の良否を判断することができる。つまり、期待値自体が大きいためにリーク電流も大きくなり、そのために被試験電流値と期待値の差が大きくなってしまうような試験パターンを供給した場合であっても、電子デバイス４０の良否を正確に判断することができる。そのため、良好であるにも関わらず、リーク電流の影響で被試験電流値と期待値との差が大きくなり、従来不良と判断されていた電子デバイスを良好であると判断することができる。さらに、差分範囲データ記憶部３２は、差分範囲データを期待値の大きさに対応づけて記憶しているので、各試験パターン毎に差分範囲データを記憶する必要がなく、差分範囲データ記憶部３２の記憶容量を低減することができる。
【００２６】
図４は、本発明の第２実施形態に係る試験装置の構成を示すブロック図である。試験装置１１０は、被試験電子デバイス４０の電気的特性を試験する。試験装置１１０は、パターン供給部１２と、電源１４ａと、被試験デバイス測定部１６と、期待値出力部１８と、差分演算部２４と、判定部３０と、差分範囲データ記憶部３２と、判定結果記憶部３４とを有する。本実施形態において、第１実施形態と同一の符号を付した構成要素は、第１実施形態における各構成要素と同一の機能を有する。
【００２７】
期待値出力部１８は、基準電子デバイス４２に試験パターンを供給することにより基準電子デバイス４２に流れる電流の電流値を記憶する期待値記憶部２２を有する。期待値記憶部２２は、電流値を電圧値に変換したデータを記憶してもよく、電流値又は電圧値をデジタル値に変換したデジタルデータを記憶してもよい。期待値出力部１８は、期待値記憶部２２に記憶された電流値、電圧値、又はデジタルデータを期待値として出力する。差分演算部２４は、期待値記憶部２２に予め記憶された期待値と被試験デバイス測定部１６が測定した被試験電流値との差を演算する。
【００２８】
本実施形態によれば、判定部３０が電子デバイス４０の良否を判定するために参照する差分範囲データが、期待値の大きさに応じて設定されるので、より正確に電子デバイス４０の良否を判断することができる。つまり、期待値自体が大きいためにリーク電流も大きくなり、そのために被試験電流値と期待値の差が大きくなってしまうような試験パターンを供給した場合であっても、電子デバイス４０の良否を正確に判断することができる。そのため、良好であるにも関わらず、リーク電流の影響で被試験電流値と期待値との差が大きくなり、従来不良と判断されていた電子デバイスを良好であると判断することができる。さらに、差分範囲データ記憶部３２は、差分範囲データを期待値の大きさに対応づけて記憶しているので、各試験パターン毎に差分範囲データを記憶する必要がなく、差分範囲データ記憶部３２の記憶容量を低減することができる。
【００２９】
図５は、本発明の第３実施形態に係る試験装置の構成を示すブロック図である。試験装置２１０は、被試験電子デバイス４０の電気的特性を試験する。試験装置２１０は、パターン供給部１２と、電源１４ａ及び１４ｂと、被試験デバイス測定部１６と、期待値出力部８と、差分演算部２４と、比率演算部２２６と、判定部２３０と、比率範囲データ記憶部２３２と、判定結果記憶部３４とを有する。期待値出力部１８は、期待値測定部２０及び期待値記憶部２２の両方を有してもよく、これらのうちいずれか一方のみを有してもよい。本実施形態において、第１実施形態及び第２実施形態と同一の符号を付した構成要素は、第１実施形態及び第２実施形態における各構成要素と同一の機能を有する。
【００３０】
比率演算部１２６は、差分演算部２４が演算した被試験電流値と期待値との差と、期待値との比を演算する。ここで比率演算部１２６は、被試験電流値と期待値との差と期待値の逆数との乗数を演算するのが好ましい。判定部１３０は、比率演算部１２６による演算結果に基づいて電子デバイス４０の良否を判定する。比率範囲データ記憶部１３２は、被試験電流値と期待値との差と、期待値との比の許容範囲を示す比率範囲データを記憶する。比率範囲データは、被試験電流値と期待値との差と期待値の逆数との乗数により求められるのが好ましい。演算判定部１３０は、比率範囲データに基づいて、電子デバイス４０の良否を判定するのが好ましい。本実施形態において、判定部１３０は、被試験電流値と期待値との差と、期待値との比が比率範囲内の値であるときに電子デバイス４０が良好であると判定する。
【００３１】
例えば比率範囲データ記憶部１３２が記憶する比率範囲が５％以内の場合に、期待値が５０で被試験電流値と期待値との差が２であれば、２／５０＊１００＝４となり、比率が５％以内なので、判定部３０は電子デバイス４０が良好であると判定する。一方、この場合に、被試験電流値と期待値との差が３であれば、３／５０＊１００＝６となり、比率が５％以内ではないので、判定部３０は電子デバイス４０が不良であると判定する。
【００３２】
本実施形態によれば、判定部１３０が電子デバイス４０の良否を判定するために参照する比率範囲データが、被試験電流値と期待値との差と、期待値との比に応じて設定されるので、より正確に電子デバイス４０の良否を判断することができる。つまり、期待値自体が大きいためにリーク電流も大きくなり、そのために被試験電流値と期待値の差が大きくなってしまうような試験パターンを供給した場合であっても、電子デバイス４０の良否を正確に判断することができる。
【００３３】
さらに、比率範囲データ記憶部１３２は、全ての試験パターンに対応する比率範囲データを記憶しているので、各試験パターン毎にデータを記憶する必要がなく、比率範囲データ記憶部１３２の記憶容量を低減することができる。
【００３４】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることができる。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００３５】
【発明の効果】
上記説明から明らかなように、本発明によれば、電子デバイスの良否を判定するための範囲を、供給する試験パターンに応じて設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る試験装置の構成を示すブロック図である。
【図２】差分範囲データ記憶部が記憶する差分範囲データを示すテーブルの一例である。
【図３】差分範囲データ記憶部が記憶する差分範囲データを示すテーブルの他の例である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る試験装置の構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係る試験装置の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１０、１１０、２１０…試験装置、１２…パターン供給部、１４ａ、１４ｂ…電源、１６…被試験デバイス測定部、１８…期待値出力部、２０…期待値測定部、２２…期待値記憶部、２４…差分演算部、３０…判定部、３２…差分範囲データ記憶部、３４…判定結果記憶部、２２６…比率演算部、２３０…判定部、２３２…比率範囲データ記憶部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a test apparatus for testing an electronic device. In particular, the present invention relates to a test apparatus that sets a range for determining the quality of an electronic device according to a test pattern supplied to the electronic device.
[0002]
[Prior art]
A method of supplying a test pattern to an electronic device and detecting an output pattern output from the electronic device is used to determine whether the electronic device is good or bad. The electronic device quality is judged by comparing the measured output pattern of the electronic device with an expected pattern to be output by the electronic device.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, with the miniaturization of electronic devices, the leakage current of elements and wirings provided in the devices has increased, and analog output values such as IDDQ current values (static power supply currents), for example, have been obtained with conventional measurement methods. It has been difficult to accurately determine whether or not an electronic device using the device is acceptable.
[0004]
Therefore, an object of the present invention is to provide an electronic device test apparatus that can solve the above-described problems. This object is achieved by a combination of features described in the independent claims. The dependent claims define further advantageous specific examples of the present invention.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In other words, according to the first embodiment of the present invention, a test apparatus for testing an electronic device includes a pattern supply unit that supplies a test pattern to the electronic device under test and an electronic device under test by supplying the test pattern. A measurement unit for measuring a current value of a current to be tested, an expected value output unit for outputting an expected value of a current to be supplied to the electronic device under test by supplying a test pattern, and a current under test measured by the measurement unit Provided is a test apparatus comprising: a difference calculation unit that calculates a difference between a value and an expected value; and a determination unit that determines pass / fail of an electronic device under test based on a calculation result by the difference calculation unit.
[0006]
The determination unit may set an allowable range of the current value to be tested according to the magnitude of the expected value. The expected value output unit may include a storage unit that stores a current value of a current flowing through the reference electronic device by supplying a test pattern to a reference electronic device serving as a reference, and the current value stored in the storage unit It may be output as an expected value.
[0007]
The pattern supply unit may further supply a test pattern to a reference electronic device that serves as a reference, and the expected value output unit measures the current value of the current flowing through the reference electronic device by supplying the test pattern. A current value flowing through the reference electronic device may be output as an expected value.
[0008]
The pattern supply unit may supply a plurality of different test patterns, and the test apparatus may generate a plurality of difference range data indicating an allowable range of the difference between the current value to be tested and the expected value calculated by the difference calculation unit. A difference range data storage unit that stores the test patterns in association with each other may be further provided, and the determination unit may determine the quality of the electronic device based on the difference range data.
[0009]
The test apparatus may further include a ratio calculation unit that calculates a ratio between the difference between the current value to be tested and the expected value calculated by the difference calculation unit and the expected value, and the determination unit is a calculation result of the ratio calculation unit. The quality of the electronic device may be determined based on the above.
[0010]
The test apparatus may further include a ratio range data storage unit that stores ratio range data indicating an allowable range of a ratio between the difference between the current value to be tested and the expected value and the expected value, and the determination unit includes the ratio range. The quality of the electronic device may be determined based on the data.
[0011]
The test apparatus may further include a power supply that applies a power supply voltage to the electronic device,
The measurement unit may measure a power supply current flowing through the electronic device.
[0012]
The above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention, and sub-combinations of these feature groups can also be the invention.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention. However, the following embodiments do not limit the claimed invention, and all combinations of features described in the embodiments are solutions of the invention. It is not always essential to the means.
[0014]
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a test apparatus according to the first embodiment of the present invention. The test apparatus 10 tests the electrical characteristics of the electronic device under test 40.
Here, “electronic device” refers to a component that performs a predetermined action according to a current or a voltage. For example, a semiconductor component composed of an active element such as an IC (Integrated Circuit) or an LSI (Large-Scale Integrated circuit). including. Further, it includes components such as a combination of these components housed in a single package and components such as a breadboard that implements a predetermined function by mounting these components on a printed circuit board.
[0015]
The test apparatus 10 includes a pattern supply unit 12 that supplies a test pattern to the electronic device 40, power supplies 14a and 14b that apply a power supply voltage to the electronic device 40 and the reference electronic device 42, and an electronic device by supplying a test pattern. A device under test measuring section 16 for measuring a current under test value of a current flowing through 40, an expected value output section 18 for outputting an expected value of a current to flow through the electronic device 40 by supplying a test pattern, and a device under test A difference calculation unit 24 that calculates the difference between the current value measured by the measurement unit 16 and the expected value; a determination unit 30 that determines the quality of the electronic device 40 based on the calculation result of the difference calculation unit 24; Difference range data for storing difference range data indicating an allowable range of the difference between the current value to be tested and the expected value calculated by the difference calculation unit 24 A storage unit 32, and a determination result storage unit 34 for storing the test result determination unit 30 determines. The expected value output unit 18 includes an expected value measurement unit 20 that measures a current value of a current flowing through the reference electronic device 42 by supplying a test pattern.
[0016]
The pattern supply unit 12 preferably supplies a plurality of different test patterns to the electronic device 40. Further, the pattern supply unit 12 may supply the same test pattern as the electronic device under test 40 to the reference electronic device 42 serving as a reference. At this time, the reference electronic device 42 is preferably an ideal electronic device that is known to be a good product.
[0017]
The device under test measurement unit 16 measures an IDDQ current flowing through the electronic device 40 by supplying a test pattern to the electronic device 40. The power supply 14a may include a current-voltage converter, and may convert the current value into a voltage value and output the voltage value to the device under test device measurement unit 16. In this case, the device under test measurement unit 16 measures the voltage value. In this embodiment, the device under test measuring unit 16 has a waveform digitizer, and converts an IDDQ current value or voltage value into digital data. In this case, the device under test measuring unit 16 outputs digital data based on the IDDQ current value or voltage value as the current value to be tested.
[0018]
The expected value output unit 18 outputs the current value flowing through the reference electronic device 42 measured by the expected value measurement unit 20 as an expected value. In the present embodiment, the expected value measurement unit 20 measures the IDDQ current value flowing through the reference device 42. The power source 14b may include a current-voltage converter, and may convert the current value into a voltage value and output the voltage value to the expected value measurement unit 20. In this case, the expected value measurement unit 20 measures the voltage value. In the present embodiment, the expected value measurement unit 20 has a waveform digitizer, and converts the IDDQ current value or voltage value into digital data. In this case, the expected value output unit 18 outputs digital data based on the IDDQ current value or voltage value as an expected value.
[0019]
The determination unit 30 preferably determines the quality of the electronic device 40 based on the difference range data stored in the difference range data storage unit 32. The determination unit 30 preferably sets an allowable range of the current value under test according to the magnitude of the expected value. The determination result storage unit 34 stores a test result for each test pattern. In the present embodiment, the determination unit 30 determines that the electronic device 40 is good when the difference between the current value under test and the expected value is a value within the difference range.
[0020]
FIG. 2 is an example of a table indicating the difference range data stored in the difference range data storage unit 32. The difference range data storage unit 32 stores difference range data corresponding to each of the plurality of test patterns 1 to 5. The difference range data storage unit 32 preferably stores difference range data set according to the magnitude of the expected value obtained by supplying each of the test patterns 1 to 5 to the reference electronic device 42.
[0021]
For example, when the pattern supply unit 12 supplies the test pattern 1, the difference range is ± 5. Therefore, when the difference between the current value under test and the expected value is 6, the determination unit 30 determines that the electronic device 40 is defective. On the other hand, in this case, if the difference between the current value under test and the expected value is 3, the determination unit 30 determines that the electronic device 40 is good.
[0022]
According to the present embodiment, since the difference range data that is referred to by the determination unit 30 for determining the quality of the electronic device 40 is set for each test pattern, the quality of the electronic device 40 is determined more accurately. Can do. In addition, since the difference range data is set according to the magnitude of the expected value, the expected value itself is large, so that the leakage current is also large, and therefore the difference between the current value under test and the expected value is large. Even when such a test pattern is supplied, the quality of the electronic device 40 can be accurately determined. For this reason, the difference between the current value to be tested and the expected value becomes large due to the influence of the leakage current, although it is good, and an electronic device that has been conventionally judged to be defective can be judged to be good.
[0023]
FIG. 3 is another example of the table indicating the difference range data stored in the difference range data storage unit 32. The difference range data storage unit 32 stores difference range data corresponding to the expected value obtained by supplying the test pattern to the reference electronic device 42. For example, if the expected value is up to 40, the allowable range of the difference between the expected value and the current value under test is ± 2, and the allowable range of the difference between the expected value and the current value under test increases as the expected value increases. To do. Here, the expected value output unit 18 outputs the expected value to the determination unit 30, and the determination unit 30 refers to the table based on the expected value.
[0024]
For example, when the expected value is 80, the difference range is ± 5. Therefore, when the difference between the current value under test and the expected value is 6, the determination unit 30 determines that the electronic device 40 is defective. On the other hand, in this case, if the difference between the current value under test and the expected value is 3, the determination unit 30 determines that the electronic device 40 is good.
[0025]
According to the present embodiment, the difference range data referred to by the determination unit 30 for determining the quality of the electronic device 40 is set according to the magnitude of the expected value, so that the quality of the electronic device 40 can be determined more accurately. Judgment can be made. That is, since the expected value itself is large, the leakage current also increases, and therefore, even when a test pattern is supplied that increases the difference between the current value to be tested and the expected value, whether the electronic device 40 is good or bad. It can be judged accurately. For this reason, the difference between the current value to be tested and the expected value becomes large due to the influence of the leakage current, although it is good, and an electronic device that has been conventionally judged to be defective can be judged to be good. Furthermore, since the difference range data storage unit 32 stores the difference range data in association with the magnitude of the expected value, there is no need to store the difference range data for each test pattern, and the difference range data storage unit 32 Storage capacity can be reduced.
[0026]
FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a test apparatus according to the second embodiment of the present invention. The test apparatus 110 tests the electrical characteristics of the electronic device under test 40. The test apparatus 110 includes a pattern supply unit 12, a power source 14a, a device under test measurement unit 16, an expected value output unit 18, a difference calculation unit 24, a determination unit 30, a difference range data storage unit 32, and a determination. And a result storage unit 34. In this embodiment, the component which attached | subjected the code | symbol same as 1st Embodiment has the same function as each component in 1st Embodiment.
[0027]
The expected value output unit 18 includes an expected value storage unit 22 that stores a current value of a current flowing through the reference electronic device 42 by supplying a test pattern to the reference electronic device 42. The expected value storage unit 22 may store data obtained by converting current values into voltage values, or may store digital data obtained by converting current values or voltage values into digital values. The expected value output unit 18 outputs the current value, voltage value, or digital data stored in the expected value storage unit 22 as an expected value. The difference calculation unit 24 calculates the difference between the expected value stored in the expected value storage unit 22 in advance and the current value measured by the device under test measurement unit 16.
[0028]
According to the present embodiment, the difference range data referred to by the determination unit 30 for determining the quality of the electronic device 40 is set according to the magnitude of the expected value, so that the quality of the electronic device 40 can be determined more accurately. Judgment can be made. That is, since the expected value itself is large, the leakage current also increases, and therefore, even when a test pattern is supplied that increases the difference between the current value to be tested and the expected value, whether the electronic device 40 is good or bad. It can be judged accurately. For this reason, the difference between the current value to be tested and the expected value becomes large due to the influence of the leakage current, although it is good, and an electronic device that has been conventionally judged to be defective can be judged to be good. Furthermore, since the difference range data storage unit 32 stores the difference range data in association with the magnitude of the expected value, there is no need to store the difference range data for each test pattern, and the difference range data storage unit 32 Storage capacity can be reduced.
[0029]
FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of a test apparatus according to the third embodiment of the present invention. The test apparatus 210 tests the electrical characteristics of the electronic device under test 40. The test apparatus 210 includes a pattern supply unit 12, power supplies 14a and 14b, a device under test measurement unit 16, an expected value output unit 8, a difference calculation unit 24, a ratio calculation unit 226, a determination unit 230, and a ratio. A range data storage unit 232 and a determination result storage unit 34 are included. The expected value output unit 18 may include both the expected value measurement unit 20 and the expected value storage unit 22, or may include only one of them. In this embodiment, the component which attached | subjected the code | symbol same as 1st Embodiment and 2nd Embodiment has the same function as each component in 1st Embodiment and 2nd Embodiment.
[0030]
The ratio calculator 126 calculates the ratio between the difference between the current value to be tested and the expected value calculated by the difference calculator 24 and the expected value. Here, the ratio calculator 126 preferably calculates a multiplier of the difference between the current value under test and the expected value and the inverse of the expected value. The determination unit 130 determines the quality of the electronic device 40 based on the calculation result by the ratio calculation unit 126. The ratio range data storage unit 132 stores ratio range data indicating the allowable range of the ratio between the difference between the current value under test and the expected value and the expected value. The ratio range data is preferably obtained by a multiplier of the difference between the current value under test and the expected value and the inverse of the expected value. The arithmetic determination unit 130 preferably determines the quality of the electronic device 40 based on the ratio range data. In the present embodiment, the determination unit 130 determines that the electronic device 40 is good when the ratio between the difference between the current value under test and the expected value and the expected value is a value within the ratio range.
[0031]
For example, when the ratio range stored in the ratio range data storage unit 132 is within 5%, if the expected value is 50 and the difference between the current value to be tested and the expected value is 2, 2/50 * 100 = 4. Since the ratio is within 5%, the determination unit 30 determines that the electronic device 40 is good. On the other hand, in this case, if the difference between the current value to be tested and the expected value is 3, 3/50 * 100 = 6, and the ratio is not within 5%. Judge that there is.
[0032]
According to the present embodiment, the ratio range data referred to by the determination unit 130 to determine the quality of the electronic device 40 is set according to the ratio between the current value to be tested and the expected value and the expected value. Therefore, the quality of the electronic device 40 can be determined more accurately. That is, since the expected value itself is large, the leakage current also increases, and therefore, even when a test pattern is supplied that increases the difference between the current value to be tested and the expected value, whether the electronic device 40 is good or bad. It can be judged accurately.
[0033]
Furthermore, since the ratio range data storage unit 132 stores ratio range data corresponding to all test patterns, there is no need to store data for each test pattern, and the storage capacity of the ratio range data storage unit 132 is increased. Can be reduced.
[0034]
As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. Various changes or improvements can be added to the above embodiment. It is apparent from the description of the scope of claims that embodiments with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.
[0035]
【The invention's effect】
As is clear from the above description, according to the present invention, the range for determining the quality of the electronic device can be set according to the test pattern to be supplied.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a test apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an example of a table showing difference range data stored in a difference range data storage unit;
FIG. 3 is another example of a table indicating difference range data stored in a difference range data storage unit.
FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a test apparatus according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of a test apparatus according to a third embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 110, 210 ... Test apparatus, 12 ... Pattern supply part, 14a, 14b ... Power supply, 16 ... Device under test measurement part, 18 ... Expected value output part, 20 ... Expected value measurement part, 22 ... Expected value storage part, 24 ... Difference calculation unit, 30 ... Determination unit, 32 ... Difference range data storage unit, 34 ... Determination result storage unit, 226 ... Ratio calculation unit, 230 ... Determination unit, 232 ... Ratio range data storage unit

Claims (7)

電子デバイスを試験する試験装置であって、
被試験電子デバイスに複数の異なる試験パターンを供給するパターン供給部と、
前記試験パターンを供給することにより前記被試験電子デバイスに流れる電流の被試験電流値を測定する測定部と、
前記試験パターンを供給することにより前記被試験電子デバイスに流れるべき電流の期待値を出力する期待値出力部と、
前記測定部により測定された前記被試験電流値と、前記期待値との差を演算する差分演算部と、
前記差分演算部が演算した前記被試験電流値と前記期待値との差の許容範囲を示す差分範囲データを、前記複数の異なる試験パターンそれぞれに対応づけて記憶する差分範囲データ記憶部と、
前記差分範囲データに基づいて前記被試験電子デバイスの良否を判定する判定部と、
を備えることを特徴とする試験装置。A test apparatus for testing an electronic device,
A pattern supply unit for supplying a plurality of different test patterns to the electronic device under test;
A measurement unit that measures a current value of a current to be tested flowing through the electronic device under test by supplying the test pattern;
An expected value output unit that outputs an expected value of a current that should flow through the electronic device under test by supplying the test pattern;
A difference calculation unit for calculating a difference between the current value measured by the measurement unit and the expected value;
A difference range data storage unit that stores difference range data indicating an allowable range of a difference between the current value to be tested and the expected value calculated by the difference calculation unit in association with each of the plurality of different test patterns;
A determination unit for determining pass / fail of the electronic device under test based on the difference range data ;
A test apparatus comprising: 電子デバイスを試験する試験装置であって、
被試験電子デバイスに試験パターンを供給するパターン供給部と、
前記試験パターンを供給することにより前記被試験電子デバイスに流れる電流の被試験電流値を測定する測定部と、
前記試験パターンを供給することにより前記被試験電子デバイスに流れるべき電流の期待値を出力する期待値出力部と、
前記測定部により測定された前記被試験電流値と、前記期待値との差を演算する差分演算部と、
前記差分演算部が演算した前記被試験電流値と前記期待値との差と、前記期待値との比を演算する比率演算部と、
前記比率演算部による演算結果に基づいて前記被試験電子デバイスの良否を判定する判定部と
を備えることを特徴とする試験装置。A test apparatus for testing an electronic device,
A pattern supply section for supplying a test pattern to the electronic device under test;
A measurement unit that measures a current value of a current to be tested flowing through the electronic device under test by supplying the test pattern;
An expected value output unit that outputs an expected value of a current that should flow through the electronic device under test by supplying the test pattern;
A difference calculation unit for calculating a difference between the current value measured by the measurement unit and the expected value;
A difference between the current value to be tested and the expected value calculated by the difference calculating unit, and a ratio calculating unit that calculates a ratio of the expected value;
And a determination unit that determines whether the electronic device under test is good or bad based on a calculation result of the ratio calculation unit . 前記差分範囲データ記憶部は、前記期待値の大きさに応じた前記差分範囲データを記憶することを特徴とする請求項１に記載の試験装置。The difference range data storage unit, the test device of claim 1, wherein the storing the difference range data corresponding to the magnitude of the expected value. 前記期待値出力部は、
基準となる基準電子デバイスに前記試験パターンを供給することにより前記基準電子デバイスに流れる電流の電流値を記憶する記憶部を有し、
前記記憶部に記憶された電流値を前記期待値として出力することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の試験装置。The expected value output unit
A storage unit that stores a current value of a current flowing through the reference electronic device by supplying the test pattern to a reference electronic device serving as a reference;
Test apparatus according to any one of claims 1 to 3, and outputs the current value stored in the storage unit as the expected value. 前記パターン供給部は、基準となる基準電子デバイスに試験パターンをさらに供給し、
前記期待値出力部は、
前記試験パターンを供給することにより前記基準電子デバイスに流れる電流の電流値を測定する期待値測定部を有し、
前記基準電子デバイスに流れる電流値を前記期待値として出力することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の試験装置。The pattern supply unit further supplies a test pattern to a reference electronic device serving as a reference,
The expected value output unit
An expected value measuring unit that measures a current value of a current flowing through the reference electronic device by supplying the test pattern;
Test apparatus according to any one of claims 1 to 3, and outputs a current flowing through the reference electronic device as the expected value. 前記被試験電流値と前記期待値との差と、前記期待値との比の許容範囲を示す比率範囲データを記憶する比率範囲データ記憶部をさらに備え、
前記判定部は、前記比率範囲データに基づいて、前記電子デバイスの良否を判定することを特徴とする請求項２に記載の試験装置。A ratio range data storage unit that stores ratio range data indicating a difference between the current value to be tested and the expected value and an allowable range of the ratio of the expected value;
The test apparatus according to claim 2 , wherein the determination unit determines the quality of the electronic device based on the ratio range data. 前記電子デバイスに電源電圧を印加する電源をさらに備え、
前記測定部は、前記電子デバイスに流れる電源電流を測定することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の試験装置。A power supply for applying a power supply voltage to the electronic device;
The measurement unit, the test device according to any one of 6 claim, wherein measuring the power supply current flowing through the electronic device.
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