JP4387665B2

JP4387665B2 - Fluid controller

Info

Publication number: JP4387665B2
Application number: JP2002375646A
Authority: JP
Inventors: 純次佐藤; 芳文町井; 恵一長谷川
Original assignee: Fujikin Inc
Current assignee: Fujikin Inc
Priority date: 2002-12-25
Filing date: 2002-12-25
Publication date: 2009-12-16
Anticipated expiration: 2022-12-25
Also published as: JP2004204977A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は流体制御器に係り、その目的は樹脂膜及びダイアフラムをこの樹脂膜にクラックを生じさせることなく操作機構へ取り付けることができ、しかも吊り金具をダイアフラムに挿通する際にダイアフラムが傷付くのを防ぐことが可能な流体制御器の提供にある。
【０００２】
【従来の技術】
従来の流体制御器は、図７及び図８に示すように、流路（Ａ）（Ａ）を有する弁箱（Ｂ）と、この弁箱（Ｂ）の流路（Ａ）（Ａ）と当接して設けられたポリテトラフルオロエチレン等からなる樹脂膜（Ｃ）と、この樹脂膜（Ｃ）の上部に密着して設けられたダイアフラム（Ｄ）と、このダイアフラム（Ｄ）をステム（Ｈ）を介して上下動させる操作機構（Ｆ）とから構成されている。
この樹脂膜（Ｃ）及びダイアフラム（Ｄ）を操作機構（Ｆ）に取り付けるには、前記樹脂膜（Ｃ）の略中央部に下端部が埋設状に固定された吊り金具（Ｆ）の上部をダイアフラム（Ｄ）に挿通させ、この吊り金具（Ｉ）の上部にピン（Ｇ）を打ち込み、このピン（Ｇ）を操作機構（Ｆ）のコンプレッサに係合させて取り付けていた。
【０００３】
ところが、ピンを吊り金具に打ち込み、このピンを操作機構（Ｆ）に係合させて取り付けているために、このピンを打ち込んだ際の衝撃でポリテトラフルオロエチレン等からなる樹脂膜との固設部分にクラックが生じてしまう可能性があった。
しかも、ピンによって操作機構に取り付けているので、ダイアフラムで流路を開閉した時にはピンに集中した荷重がかかることとなり、この集中荷重によってピンが折れてしまう可能性があった。
また、吊り金具にピンを打ち込んでいるので、ピンの打ち込み具合が安定せず、
寸法のばらつきがあった。
【０００４】
そこで本願発明者らは上記実情に鑑み、樹脂膜及びダイアフラムをこの樹脂膜にクラックを生じさせることなく操作機構へ取り付けることができ、係止片に荷重がかかった場合であっても折れずらく、且つこの係止片の寸法のばらつきを低減することのできる流体制御器を既に提案している（特許文献１参照。）。
【０００５】
【特許文献１】
特許第３３４５６１２号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献１に開示された流体制御器は、吊り金具の先端に設けられた係止片をダイアフラムに挿通する際に、係止片によってダイアフラムが傷付けられるおそれがあった。
すなわち、特許文献１の流体制御器では、係止片の下辺部が吊り金具の直径よりも長く形成されているため、ダイアフラムに挿通される際に、下辺部の両端に形成された鋭角部によってダイアフラムが傷付けられることがあった。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、樹脂膜及びダイアフラムをこの樹脂膜にクラックを生じさせることなく操作機構へ取り付けることができ、係止片に荷重がかかった場合であっても折れずらく、且つこの係止片の寸法のばらつきを低減することができ、さらに吊り金具をダイアフラムに挿通する際にダイアフラムが傷付くのを防ぐことができる流体制御器を提供せんとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、流路を有する弁箱とこの弁箱の流路と当接して設けられた樹脂膜とこの樹脂膜の上部に密着して設けられたダイアフラムとこのダイアフラムを上下動させる操作機構とからなり、樹脂膜の略中央部にはダイアフラムに形成された穴を挿通する吊り金具が埋設状に固設され、この吊り金具は棒状部の上端に係止片が設けられこの係止片を前記穴に挿通してコンプレッサに係合することにより樹脂膜及びダイアフラムを操作機構に取り付けてなる流体制御器であって、前記棒状部の最大幅は前記ダイアフラムの穴径以下であり、前記係止片は、正面視において上端部の幅が前記穴径以下であり且つ該上端部の下方に棒状部の幅よりも大きい幅を有する拡幅部を備え、側面視形状が棒状部の幅より小さい一定厚みの長方形状であるとともに、正面視形状が、長方形の上部に台形を組み合わせた六角形状、半円形状、三角形の角を丸くした形状のいずれかである鋭角部を有していない形状であることを特徴とする流体制御器に関する。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る流体制御器の好適な実施形態を図面に基づいて説明する。
図１はこの発明の一実施例に係る流体制御器を示す断面図、図２は図１示のダイアフラム及び樹脂膜部分の拡大説明図、図３は図２示の樹脂膜部に埋設状に固設された吊り金具を示す斜視図、図４（ａ）は図３示の吊り金具の正面図、（ｂ）は図３示の吊り金具の側面図である。尚、図４においては、下方部分を省略している。
【００１０】
流体制御器（１）は、図１に示すように、弁箱（２）と、樹脂膜（３）と、ダイアフラム（４）と、操作機構（５）とからなる。
弁箱（２）には流体が流れる流路（６）（６）と、この流路を堰き止めるシール座（７）が設けられている。
樹脂膜（３）は弁箱（２）の流路（６）（６）と当接して設けられており、この樹脂膜（３）の略中央部には図２に示すように、吊り金具（８）の棒状部（２１）の下端に設けられた固定部（９）が埋設されて該吊り金具（８）が固設されている。
この樹脂膜（３）は耐熱、耐寒性や屈曲性、腐食性などに優れたポリテトラフルオロエチレン等の合成樹脂からなる。
また、本発明の一実施例に係る流体制御器（１）では、樹脂膜（３）は該樹脂膜（３）の周端部を挟持部材（１１）で挟持して固定する構成となっているが、特にこれに限定されず、図示する以外に、直接樹脂膜（３）に接着等の手段によって設ける構成を採用することもできる。
【００１１】
吊り金具（８）の棒状部（２１）は図示例では円柱状とされているが、円柱状に限定されず、例えば三角柱状や四角柱状等の角柱状としてもよい。また、棒状部（２１）の最大幅は、ダイアフラム（４）に形成された穴（１６）の直径以下とされている。
吊り金具（８）の棒状部（２１）の上端部には、図３に示すように、係止片（２０）が設けられており、この係止片（２０）はダイアフラム（４）に形成された穴（１６）を挿通して操作機構（５）のコンプレッサ（１５）に係合して取り付けられている。
【００１２】
本発明において用いられる係止片（２０）は、図４（ａ）に示す正面視において、上端部の幅（W１）がダイアフラム（４）に形成された穴（１６）の直径以下であり且つ該上端部の下方に吊り金具（８）の棒状部（２１）の幅（正面視における幅：図示例の場合は棒状部が円柱状であるため直径）（Ｄ）よりも大きい幅（Ｗ２）を有する拡幅部（２２）を備えている。
また、図４（ｂ）に示す側面視において、最大厚み（ｔ）が吊り金具（８）の棒状部（２１）の幅（側面視における幅：図示例の場合は棒状部が円柱状であるため直径）（Ｄ）以下とされ且つ上端部における厚み（ｔ１）は該棒状部（２１）の幅（側面視における幅：図示例の場合は棒状部が円柱状であるため直径）（Ｄ）より小さくされている。尚、図示例の場合には、ｔ＝ｔ１となっている。
【００１３】
尚、本明細書における「正面視」とは、図１に示す如く、入口流路と出口流路が同一軸線上に左右に配置される方向で流体制御器を見た場合を指し、「側面視」とは「正面視」の方向と同一水平面内において直角をなす方向、即ち入口流路の入口側又は出口流路の出口側から流体制御器を見た場合を指す。
また、上記したように、本発明の係止片形状の設定における棒状部（２１）の幅は、正面視形状の設定においては正面視幅、側面視形状の設定においては側面視幅を指す。
【００１４】
係止片（２０）の形状をこのような寸法に設定することにより、ダイアフラム（４）の穴（１６）に係止片（２０）を挿通させる際にダイアフラム（４）に亀裂が生じることが防がれ、且つ挿通後は係止片（２０）と操作機構（５）とが確実に係合できるようになる。
また、係止片（２０）は、正面視形状において鋭角部を有していない形状もしくは角部を有さない形状とされており、これによって係止片（２０）をダイアフラム（４）の穴（１６）に挿通する際に、ダイアフラム（４）が傷付くのを防ぐことが可能となる。
図３、４に示した例では、係止片（２０）を、正面視において長方形の上部に台形を組み合わせた六角形状とし、側面視において一定幅（厚み）の長方形状とすることによって、これらの作用効果を達成している。
【００１５】
図５は吊り金具（８）に取り付けられた係止片（２０）の別の実施形態及び参考形態の例を示す正面図であり、図６はその側面図である。図５の（Ａ）（Ｂ）は本発明の実施形態、（Ｃ）〜（Ｅ）は参考形態であり、図６の（ａ）は本発明の実施形態、（ｂ）〜（ｅ）は参考形態である。
これらの正面図及び側面図は互いに組み合わせることが可能であり、図５（Ａ）に示す正面視形状に対して図６（ａ）乃至（ｄ）に示す側面視形状、図５（Ｂ）に示す正面視形状に対して図６（ａ）乃至（ｄ）に示す側面視形状、図５（Ｃ）に示す正面視形状に対して図６（ａ）乃至（ｄ）に示す側面視形状、図５（Ｄ）に示す正面視形状に対して図６（ａ）乃至（ｄ）に示す側面視形状をそれぞれ組み合わせることができる。尚、図５（Ｅ）と図６（ｅ）については後述する。
【００１６】
先ず、係止片（２０）の正面視形状の例について説明すると、（Ａ）は半円形、（Ｂ）は三角形の角を丸くした形状、（Ｃ）は略ホームベース形の五角形、（Ｄ）は円形である。
これらの形状においては、上端部の幅（W１）は明確に存在しないので０とみなすことができ、拡幅部（２２）は（Ａ）〜（Ｃ）の場合には下辺部、（Ｄ）の場合には直径部となる。
【００１７】
次に、係止片（２０）の側面視形状の例について説明すると、（ａ）は棒状部（２１）の幅よりも狭い一定幅（厚み）の長方形、（ｂ）は下辺部が棒状部（２１）の幅と等しく上辺部が棒状部（２１）の幅よりも短い台形、（ｃ）は下辺部が棒状部（２１）の幅より短く上端部が鋭角の三角形、（ｄ）は下辺部が棒状部（２１）の幅と等しく上端部が鋭角の三角形である。
これらの形状において、（ａ）の場合には最大厚み（ｔ）が上端部における厚み（ｔ１）と等しく、（ｂ）〜（ｄ）の場合には最大厚み（ｔ）は下辺部（下端部）における厚みとなり、（ｃ）及び（ｄ）の場合には上端部の幅は０とみなすことができる。
（ｂ）〜（ｄ）に示すように、側面視における幅（厚み）が上端部において最も小さくされている形状とすると、ダイアフラムの穴への係止片の挿通をよりスムーズに行うことが可能となるため好ましい。
【００１８】
本発明の参考形態として、係止片（２０）と棒状部（２１）とを、棒状部（２１）よりも狭い幅の棒（２３）で繋いだ形状としたものが示されている。
図５（Ｅ）はこのような構成を採用した場合の一例を示す正面図、図６（ｅ）はその側面図である。これらの図では、係止片（２０）として、正面視が台形の下角に丸みをもたせた形状で、側面視が台形のものが図示されているが、図５及び図６に示した他の形状の各係止片（２０）において、このように係止片（２０）と棒状部（２１）とを、棒状部（２１）よりも狭い幅の棒（２３）で繋いだ形状を採用することができる。
【００２０】
樹脂膜（３）の略中央部に埋設される吊り金具（８）としては、使用する流体の物性や科学的性質、温度、圧力、使用目的などに応じて適宜任意の素材のものを選択して使用すればよいが、１３ＣＤ鋼（ＳＵＳ４０３，ＳＵＳ４１０，ＳＵＳ４２１）や１８ＣＤ−８Ｎｉ鋼（ＳＵＳ３０４，ＳＵＳ３０４Ｌ）に代表されるステンレス鋼やニッケル系合金が、機械的強度に優れ、且つ耐食性や耐酸性、耐熱性などに優れているために好ましく用いられるが特に限定されるものではない。
すなわち、例えば低温での制御が必要とされる流体を用いる場合には、低温脆性のない、オーステナイト系ステンレス鋼、アルミニウム合金、ニッケル合金、銅合金などが好適に使用でき、高圧での制御が要求される場合には、耐圧性に優れた吊り金具（８）を用いればよく、特に限定されるものではない。
【００２１】
ダイアフラム（４）は樹脂膜（３）の上部に密着して設けられており、このダイアフラム（４）の素材としては特に限定されず、耐熱、耐寒性や屈曲性、腐食性などに優れた従来より公知の天然ゴム、ニトリルゴム、スチレンゴム、ブタジエン・イソブチレン合成ゴム、ポリクロロプレンゴム、ブチルゴム、フッ素ゴム、シリコンゴム、ポリウレタンゴムなどのゴム製又はポリ四弗化エチレン（ＰＴＦＥ）等の合成樹脂製のものが好適に使用される。このダイアフラム（４）内には該ダイアフラム（４）を補強するための繊材（１０）が埋設されている。また、このダイアフラム（４）も前記樹脂膜（３）と同様に、ダイアフラム（４）の周端部を挟持部材（１１）で挟持して固定する構成となっているが、特にこれに限定されず、図示する以外に、直接ダイアフラム（４）に接着等の手段によって設ける構成を採用することもできる。本発明の一実施例に係る流体制御器（１）においては、操作機構（５）はステム（１２）と、スプリング（１３）と、アクチュエーターキャップ（１４）と、コンプレッサ（１５）とから構成されている。
【００２２】
このように構成されてなる流体制御器（１）の使用状態を説明する。
流路（６）（６）を閉鎖する場合には、スプリング（１３）によって、ステム（１２）の下部に固定されているコンプレッサ（１５）を下降させる。
するとダイアフラム（４）は、このダイアフラム（４）の周縁部を挟持部材（１１）によって締め付け挟持されつつ弁箱（２）のシール座（７）へ圧接されて流路（６）（６）が閉鎖される。
また、インレットポート（１８）よりエア通路（１９）を介してエアを導入すると、ステム（１２）の下部に固定されているコンプレッサ（１５）が上昇し、ダイアフラム（４）がシール座（７）より離間されて流路（６）（６）が開放される。
尚、図示する実施例では、流体制御器（１）により流路（６）（６）が閉鎖された状態を示している。
また、本発明においては、流路（６）（６）の開閉を手動開閉式のダイアフラムバルブで行ってもよい。
【００２３】
尚、本実施例ではダイアフラム（４）を伸縮させる操作機構を上述したように構成しているが、本発明はこの操作機構に限られるものではなく、他の操作機構であってもよい。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に係る発明によれば、従来のようにピンを打ち込むことがないので、ピンの打ち込みによる衝撃で樹脂膜との固設部分にクラックが生じることがなく、またダイアフラムで流路を開閉した時に生じる集中した荷重を従来より面積が大きい係止片で受けるので、この係止片が折れずらい。
また、係止片の寸法のばらつきも低減することができる。
さらに、係止片の正面視形状に鋭角部が形成されていないので、吊り金具をダイアフラムに挿通する際にダイアフラムが傷付くのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例に係る流体制御器を示す断面図である。
【図２】図１示のダイアフラム及び樹脂膜部分の拡大説明図である。
【図３】図２示の樹脂膜部に埋設状に固設された吊り金具を示す斜視図である。
【図４】（ａ）は図３示の吊り金具の正面図、（ｂ）は図３示の吊り金具の側面図である。
【図５】吊り金具に取り付けられた係止片の別の実施形態及び参考形態を示す正面図である。
【図６】吊り金具に取り付けられた係止片の別の実施形態及び参考形態を示す側面図である。
【図７】従来の流体制御器を示す断面図である。
【図８】図７示のダイアフラム及び樹脂膜部分の拡大説明図である。
【符号の説明】
１流体制御器
２弁箱
３樹脂膜
４ダイアフラム
５操作機構
６流路
８吊り金具
１６ダイアフラムの穴
２０係止片
２１棒状部
２２拡幅部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a fluid controller, and its purpose is to attach a resin film and a diaphragm to an operation mechanism without causing cracks in the resin film, and the diaphragm is damaged when the suspension fitting is inserted into the diaphragm. The present invention is to provide a fluid controller capable of preventing the above.
[0002]
[Prior art]
As shown in FIGS. 7 and 8, the conventional fluid controller includes a valve box (B) having flow paths (A) and (A), and flow paths (A) and (A) of the valve box (B). A resin film (C) made of polytetrafluoroethylene or the like provided in contact, a diaphragm (D) provided in close contact with the upper portion of the resin film (C), and the diaphragm (D) are connected to a stem (H ) Through an operation mechanism (F) that moves up and down.
In order to attach the resin film (C) and the diaphragm (D) to the operation mechanism (F), the upper part of the hanging metal fitting (F) whose lower end portion is fixed in an embedded shape at a substantially central portion of the resin film (C) is provided. The diaphragm (D) was inserted, a pin (G) was driven into the upper part of the hanging metal fitting (I), and the pin (G) was engaged with the compressor of the operation mechanism (F).
[0003]
However, since the pin is driven into the hanging metal fitting and this pin is engaged with the operation mechanism (F) and attached, the pin is fixed to the resin film made of polytetrafluoroethylene or the like by impact when the pin is driven. There was a possibility that a crack would occur in the portion.
In addition, since the pin is attached to the operation mechanism, a load concentrated on the pin is applied when the flow path is opened and closed by the diaphragm, and the pin may be broken by this concentrated load.
In addition, since the pin is driven into the hanging bracket, the pin driving condition is not stable,
There were variations in dimensions.
[0004]
Therefore, in view of the above circumstances, the inventors of the present application can attach the resin film and the diaphragm to the operation mechanism without causing cracks in the resin film, and are difficult to break even when a load is applied to the locking piece. And the fluid controller which can reduce the dispersion | variation in the dimension of this latching piece has already been proposed (refer patent document 1).
[0005]
[Patent Document 1]
Japanese Patent No. 3345612 [0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, the fluid controller disclosed in Patent Document 1 may cause the diaphragm to be damaged by the engaging piece when the engaging piece provided at the tip of the hanging metal fitting is inserted into the diaphragm.
That is, in the fluid controller of Patent Document 1, since the lower side portion of the locking piece is formed to be longer than the diameter of the hanging metal fitting, when inserted through the diaphragm, the sharp angle portions formed at both ends of the lower side portion are used. The diaphragm could be damaged.
[0007]
The present invention has been made in view of such problems, and is a case where the resin film and the diaphragm can be attached to the operation mechanism without causing cracks in the resin film, and a load is applied to the locking piece. However, it is difficult to provide a fluid controller that can be easily broken and that can reduce the variation in the size of the locking piece, and that can prevent the diaphragm from being damaged when the suspension fitting is inserted into the diaphragm. Is.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The invention according to claim 1 is a valve box having a flow path, a resin film provided in contact with the flow path of the valve box, a diaphragm provided in close contact with the upper portion of the resin film, and moving the diaphragm up and down. The hanging metal fitting is inserted in the center of the resin film in the middle of the hole formed in the diaphragm, and the hanging metal fitting is provided with a locking piece at the upper end of the rod-shaped part. A fluid controller in which a resin film and a diaphragm are attached to an operation mechanism by inserting a locking piece into the hole and engaging with a compressor, wherein the maximum width of the rod-shaped portion is equal to or less than the hole diameter of the diaphragm. The locking piece includes a widened portion having a width of the upper end portion equal to or smaller than the hole diameter in a front view and having a width larger than the width of the rod-shaped portion below the upper end portion, and the shape in a side view is a rod-shaped portion. Rectangular shape with constant thickness smaller than width In addition, the shape of the front view is a shape that does not have an acute angle part that is one of a hexagonal shape, a semicircular shape, and a triangular shape rounded by combining a trapezoid with an upper portion of a rectangle. The present invention relates to a fluid controller.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of a fluid controller according to the present invention will be described with reference to the drawings.
1 is a sectional view showing a fluid controller according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged explanatory view of a diaphragm and a resin film portion shown in FIG. 1, and FIG. 3 is embedded in the resin film portion shown in FIG. FIG. 4A is a front view of the hanging bracket shown in FIG. 3, and FIG. 4B is a side view of the hanging bracket shown in FIG. 3. In FIG. 4, the lower part is omitted.
[0010]
As shown in FIG. 1, the fluid controller (1) includes a valve box (2), a resin film (3), a diaphragm (4), and an operation mechanism (5).
The valve box (2) is provided with flow paths (6) and (6) through which fluid flows, and a seal seat (7) for blocking the flow path.
The resin film (3) is provided in contact with the flow paths (6) and (6) of the valve box (2), and the resin film (3) has a hanging metal fitting at a substantially central portion as shown in FIG. The fixing part (9) provided at the lower end of the rod-like part (21) of (8) is embedded and the suspension fitting (8) is fixedly provided.
This resin film (3) is made of a synthetic resin such as polytetrafluoroethylene having excellent heat resistance, cold resistance, flexibility, and corrosivity.
In the fluid controller (1) according to the embodiment of the present invention, the resin film (3) is configured to be fixed by holding the peripheral end portion of the resin film (3) with the holding member (11). However, the present invention is not particularly limited to this, and a configuration in which the resin film (3) is directly provided to the resin film (3) by means of adhesion or the like can also be adopted in addition to the illustration.
[0011]
The rod-like portion (21) of the hanging metal fitting (8) is cylindrical in the illustrated example, but is not limited to a cylindrical shape, and may be a prismatic shape such as a triangular prism shape or a quadrangular prism shape. The maximum width of the rod-like portion (21) is set to be equal to or smaller than the diameter of the hole (16) formed in the diaphragm (4).
As shown in FIG. 3, a locking piece (20) is provided at the upper end of the rod-shaped portion (21) of the hanging metal fitting (8), and this locking piece (20) is formed on the diaphragm (4). The hole (16) is inserted and engaged with the compressor (15) of the operation mechanism (5).
[0012]
The locking piece (20) used in the present invention has an upper end width (W1) equal to or smaller than the diameter of the hole (16) formed in the diaphragm (4) in the front view shown in FIG. A width (W2) larger than the width (W2) of the rod-shaped portion (21) of the hanging metal fitting (8) below the upper end (width in front view: in the illustrated example, the rod-shaped portion is a column because it is cylindrical) (D). The widened part (22) which has is provided.
In addition, in the side view shown in FIG. 4B, the maximum thickness (t) is the width of the rod-like portion (21) of the hanging metal fitting (8) (width in the side view: in the illustrated example, the rod-like portion is cylindrical. Therefore, the thickness (t1) at the upper end portion is equal to or less than the diameter (D), and the thickness (t1) is the width of the rod-like portion (21) (width in a side view: in the illustrated example, the rod-like portion has a cylindrical shape). Have been smaller. In the illustrated example, t = t1.
[0013]
In addition, the “front view” in this specification refers to a case where the fluid controller is viewed in a direction in which the inlet channel and the outlet channel are arranged on the same axis on the left and right as shown in FIG. "View" refers to a direction perpendicular to the direction of "front view" in the same horizontal plane, that is, when the fluid controller is viewed from the inlet side of the inlet channel or the outlet side of the outlet channel.
Further, as described above, the width of the rod-like portion (21) in the setting of the engagement piece shape of the present invention indicates the front view width in the front view shape setting and the side view width in the side view shape setting.
[0014]
By setting the shape of the locking piece (20) to such a size, the diaphragm (4) may crack when the locking piece (20) is inserted through the hole (16) of the diaphragm (4). The locking piece (20) and the operation mechanism (5) can be reliably engaged after insertion.
Further, the locking piece (20) has a shape that does not have an acute angle portion or a shape that does not have a corner portion in a front view shape, and thereby the locking piece (20) is formed in the hole of the diaphragm (4). It is possible to prevent the diaphragm (4) from being damaged when inserted into (16).
In the example shown in FIGS. 3 and 4, the locking piece (20) has a hexagonal shape in which a trapezoid is combined with a rectangular upper part in a front view, and a rectangular shape with a constant width (thickness) in a side view. Has achieved the effect of.
[0015]
FIG. 5 is a front view showing another embodiment of the locking piece (20) attached to the hanging bracket (8) and an example of the reference form , and FIG. 6 is a side view thereof. (A) and (B) of FIG. 5 are embodiments of the present invention, (C) to (E) are reference embodiments, (a) of FIG. 6 is an embodiment of the present invention, and (b) to (e) of FIG. It is a reference form.
These front view and side view can be combined with each other. The front view shape shown in FIG. 5A is the side view shape shown in FIGS. 6A to 6D, and FIG. 6 (a) to (d) for the front view shape shown, and the side view shape shown in FIGS. 6 (a) to (d) for the front view shape shown in FIG. 5 (C). The side view shapes shown in FIGS. 6A to 6D can be combined with the front view shape shown in FIG. Note that FIGS. 5E and 6E will be described later.
[0016]
First, an example of a front view shape of the locking piece (20) will be described. (A) is a semicircular shape, (B) is a triangular shape with rounded corners, (C) is a substantially home base pentagon, (D ) Is circular.
In these shapes, the width (W1) of the upper end portion does not clearly exist and can be regarded as 0, and the widened portion (22) is the lower side portion of (A) to (C), In the case, it becomes a diameter portion.
[0017]
Next, an example of the side view shape of the locking piece (20) will be described. (A) is a rectangle having a constant width (thickness) narrower than the width of the rod-shaped portion (21), and (b) is a rod-shaped portion having a lower side portion. A trapezoid whose upper side is equal to the width of (21) and shorter than the width of the rod-shaped portion (21), (c) is a triangle whose lower side is shorter than the width of the rod-shaped portion (21), and whose upper end is an acute angle, (d) is the lower side The portion is equal to the width of the rod-shaped portion (21), and the upper end portion is an acute-angled triangle.
In these shapes, in the case of (a), the maximum thickness (t) is equal to the thickness (t1) in the upper end portion, and in the cases (b) to (d), the maximum thickness (t) is the lower side portion (lower end portion). In the case of (c) and (d), the width of the upper end can be regarded as zero.
As shown in (b) to (d), when the width (thickness) in the side view is the smallest at the upper end, it is possible to more smoothly insert the locking piece into the hole of the diaphragm. This is preferable.
[0018]
As a reference form of the present invention, a shape in which the locking piece (20) and the rod-like portion (21) are connected by a rod (23) having a narrower width than the rod-like portion (21) is shown.
FIG. 5E is a front view showing an example when such a configuration is adopted, and FIG. 6E is a side view thereof. In these drawings, as the locking piece (20), the shape in which the front view is rounded at the lower corner of the trapezoid and the trapezoid in the side view is shown, but the other pieces shown in FIGS. In each of the shaped locking pieces (20), a shape in which the locking piece (20) and the rod-like portion (21) are connected by the rod (23) having a narrower width than the rod-like portion (21) is adopted. be able to.
[0020]
As the hanging metal fitting (8) embedded in the substantially central part of the resin film (3), an arbitrary material is appropriately selected according to the physical properties, scientific properties, temperature, pressure, purpose of use, etc. of the fluid to be used. However, stainless steels and nickel-based alloys represented by 13CD steel (SUS403, SUS410, SUS421) and 18CD-8Ni steel (SUS304, SUS304L) have excellent mechanical strength, and are resistant to corrosion and acid. Although it is preferably used because of its excellent heat resistance, it is not particularly limited.
That is, for example, when using a fluid that needs to be controlled at a low temperature, austenitic stainless steel, aluminum alloy, nickel alloy, copper alloy, etc. that do not have low temperature brittleness can be suitably used, and control at a high pressure is required. In such a case, the suspension fitting (8) having excellent pressure resistance may be used, and is not particularly limited.
[0021]
The diaphragm (4) is provided in close contact with the upper part of the resin film (3), and the material of the diaphragm (4) is not particularly limited, and is excellent in heat resistance, cold resistance, flexibility, corrosion resistance, etc. More well-known natural rubber, nitrile rubber, styrene rubber, butadiene / isobutylene synthetic rubber, polychloroprene rubber, butyl rubber, fluorine rubber, silicon rubber, polyurethane rubber, or synthetic resin such as polytetrafluoroethylene (PTFE) Are preferably used. A fiber material (10) for reinforcing the diaphragm (4) is embedded in the diaphragm (4). Further, the diaphragm (4) is configured to be sandwiched and fixed by the sandwiching member (11) as in the case of the resin film (3), but is not limited to this. Instead of the illustration, it is also possible to employ a configuration in which the diaphragm (4) is directly provided by means such as adhesion. In the fluid controller (1) according to the embodiment of the present invention, the operation mechanism (5) is composed of a stem (12), a spring (13), an actuator cap (14), and a compressor (15). ing.
[0022]
A use state of the fluid controller (1) configured as described above will be described.
When closing the flow paths (6) and (6), the compressor (15) fixed to the lower part of the stem (12) is lowered by the spring (13).
Then, the diaphragm (4) is pressed against the seal seat (7) of the valve box (2) while the peripheral edge of the diaphragm (4) is clamped and clamped by the clamping member (11), so that the flow paths (6) and (6) are formed. Closed.
Further, when air is introduced from the inlet port (18) through the air passage (19), the compressor (15) fixed to the lower portion of the stem (12) rises, and the diaphragm (4) becomes the seal seat (7). The channels (6) and (6) are opened further apart.
In the illustrated embodiment, the flow paths (6) and (6) are closed by the fluid controller (1).
In the present invention, the flow paths (6) and (6) may be opened and closed with a manually opened / closed diaphragm valve.
[0023]
In the present embodiment, the operation mechanism for expanding and contracting the diaphragm (4) is configured as described above. However, the present invention is not limited to this operation mechanism, and other operation mechanisms may be used.
[0024]
【The invention's effect】
As described above, according to the first aspect of the present invention, since the pin is not driven as in the prior art, no crack is generated in the fixed portion with the resin film due to the impact caused by the driving of the pin. Since the concentrated load generated when the flow path is opened and closed by the diaphragm is received by the locking piece having a larger area than the conventional one, the locking piece is difficult to break.
Moreover, the variation in the dimension of a locking piece can also be reduced.
Furthermore, since the acute angle part is not formed in the front view shape of the locking piece, it is possible to prevent the diaphragm from being damaged when the hanging fitting is inserted into the diaphragm.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a fluid controller according to one embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged explanatory view of a diaphragm and a resin film portion shown in FIG.
3 is a perspective view showing a hanging fitting fixedly embedded in the resin film portion shown in FIG. 2; FIG.
4A is a front view of the suspension fitting shown in FIG. 3, and FIG. 4B is a side view of the suspension fitting shown in FIG.
FIG. 5 is a front view showing another embodiment and a reference embodiment of a locking piece attached to a hanging metal fitting.
FIG. 6 is a side view showing another embodiment and a reference embodiment of a locking piece attached to a hanging metal fitting.
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a conventional fluid controller.
FIG. 8 is an enlarged explanatory view of a diaphragm and a resin film part shown in FIG.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fluid controller 2 Valve box 3 Resin film | membrane 4 Diaphragm 5 Operation mechanism 6 Flow path 8 Suspension bracket 16 Diaphragm hole 20 Locking piece 21 Rod-shaped part 22 Widening part

Claims

A valve box having a flow path, a resin film provided in contact with the flow path of the valve box, a diaphragm provided in close contact with the top of the resin film, and an operation mechanism for moving the diaphragm up and down. A hanging fitting for inserting a hole formed in the diaphragm is fixedly embedded in the substantially central portion of the membrane, and this hanging fitting is provided with a locking piece at the upper end of the rod-shaped portion, and this locking piece is inserted into the hole. A fluid controller in which a resin film and a diaphragm are attached to an operation mechanism by engaging with a compressor, and the maximum width of the rod-shaped portion is equal to or less than the hole diameter of the diaphragm; A rectangular shape having a constant thickness in which the width of the upper end portion is equal to or smaller than the hole diameter and has a width larger than the width of the rod-like portion below the upper end portion, and the side view shape is smaller than the width of the rod-like portion. And front view Jo is a rectangular hexagon combining trapezoidal upper, semicircular, fluid controller which is a shape having no sharp corners is either rounded shape the corners of the triangle.