JP2004204977A

JP2004204977A - Fluid controller

Info

Publication number: JP2004204977A
Application number: JP2002375646A
Authority: JP
Inventors: Junji Sato; 純次佐藤; Yoshifumi Machii; 芳文町井; Keiichi Hasegawa; 恵一長谷川
Original assignee: Fujikin Inc
Current assignee: Fujikin Inc
Priority date: 2002-12-25
Filing date: 2002-12-25
Publication date: 2004-07-22
Anticipated expiration: 2022-12-25
Also published as: JP4387665B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fluid controller capable of mounting a resin film and a diaphragm on an operating mechanism without cracking the resin film, and preventing the diaphragm from being damaged in inserting a lifting component. <P>SOLUTION: This fluid controller comprises the resin film kept into contact with a channel of a valve casing, the diaphragm closely kept into contact with an upper part of the resin film, and the operating mechanism for vertically moving the diaphragm. The lifting component inserted into a hole formed on the diaphragm is fixed to the resin film, and provided with a locking piece on an upper end of a rod part for mounting the resin film and the diaphragm to the operating mechanism by inserting the locking piece to a compressor. The maximum width of the rod part is less than a hole diameter of the diaphragm. The locking piece has an enlarged part having a width of an upper edge part less than the hole diameter, and a width larger than the width of the rod part at a lower part of the upper edge part in a front view, has a thickness of the upper edge part smaller than the width of the rod part, and the maximum thickness less than the width of the rod part in a side view, and does not have an acute angle part in the front view. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は流体制御器に係り、その目的は樹脂膜及びダイアフラムをこの樹脂膜にクラックを生じさせることなく操作機構へ取り付けることができ、しかも吊り金具をダイアフラムに挿通する際にダイアフラムが傷付くのを防ぐことが可能な流体制御器の提供にある。
【０００２】
【従来の技術】
従来の流体制御器は、図７及び図８に示すように、流路（Ａ）（Ａ）を有する弁箱（Ｂ）と、この弁箱（Ｂ）の流路（Ａ）（Ａ）と当接して設けられたポリテトラフルオロエチレン等からなる樹脂膜（Ｃ）と、この樹脂膜（Ｃ）の上部に密着して設けられたダイアフラム（Ｄ）と、このダイアフラム（Ｄ）をステム（Ｈ）を介して上下動させる操作機構（Ｆ）とから構成されている。
この樹脂膜（Ｃ）及びダイアフラム（Ｄ）を操作機構（Ｆ）に取り付けるには、前記樹脂膜（Ｃ）の略中央部に下端部が埋設状に固定された吊り金具（Ｆ）の上部をダイアフラム（Ｄ）に挿通させ、この吊り金具（Ｉ）の上部にピン（Ｇ）を打ち込み、このピン（Ｇ）を操作機構（Ｆ）のコンプレッサに係合させて取り付けていた。
【０００３】
ところが、ピンを吊り金具に打ち込み、このピンを操作機構（Ｆ）に係合させて取り付けているために、このピンを打ち込んだ際の衝撃でポリテトラフルオロエチレン等からなる樹脂膜との固設部分にクラックが生じてしまう可能性があった。
しかも、ピンによって操作機構に取り付けているので、ダイアフラムで流路を開閉した時にはピンに集中した荷重がかかることとなり、この集中荷重によってピンが折れてしまう可能性があった。
また、吊り金具にピンを打ち込んでいるので、ピンの打ち込み具合が安定せず、
寸法のばらつきがあった。
【０００４】
そこで本願発明者らは上記実情に鑑み、樹脂膜及びダイアフラムをこの樹脂膜にクラックを生じさせることなく操作機構へ取り付けることができ、係止片に荷重がかかった場合であっても折れずらく、且つこの係止片の寸法のばらつきを低減することのできる流体制御器を既に提案している（特許文献１参照。）。
【０００５】
【特許文献１】
特許第３３４５６１２号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献１に開示された流体制御器は、吊り金具の先端に設けられた係止片をダイアフラムに挿通する際に、係止片によってダイアフラムが傷付けられるおそれがあった。
すなわち、特許文献１の流体制御器では、係止片の下辺部が吊り金具の直径よりも長く形成されているため、ダイアフラムに挿通される際に、下辺部の両端に形成された鋭角部によってダイアフラムが傷付けられることがあった。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、樹脂膜及びダイアフラムをこの樹脂膜にクラックを生じさせることなく操作機構へ取り付けることができ、係止片に荷重がかかった場合であっても折れずらく、且つこの係止片の寸法のばらつきを低減することができ、さらに吊り金具をダイアフラムに挿通する際にダイアフラムが傷付くのを防ぐことができる流体制御器を提供せんとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、流路を有する弁箱とこの弁箱の流路と当接して設けられた樹脂膜とこの樹脂膜の上部に密着して設けられたダイアフラムとこのダイアフラムを上下動させる操作機構とからなり、樹脂膜の略中央部にはダイアフラムに形成された穴を挿通する吊り金具が埋設状に固設され、この吊り金具は棒状部の上端に係止片が設けられこの係止片をコンプレッサに挿通させて樹脂膜及びダイアフラムを操作機構に取り付けてなる流体制御器であって、前記棒状部の最大幅は前記ダイアフラムの穴径以下であり、前記係止片は、正面視において上端部の幅が前記穴径以下であり且つ該上端部の下方に棒状部の幅よりも大きい幅を有する拡幅部を備え、側面視において上端部の厚みは棒状部の幅より小さく且つ最大厚みが棒状部の幅以下であるとともに、正面視形状において鋭角部を有していないことを特徴とする流体制御器に関する。
請求項２に係る発明は、前記係止片は、正面視形状において角部を有していないことを特徴とする請求項１記載の流体制御器に関する。
請求項３に係る発明は、前記係止片は、側面視における厚みが上端部において最小とされていることを特徴とする請求項１又は２記載の流体制御器に関する。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る流体制御器の好適な実施形態を図面に基づいて説明する。
図１はこの発明の一実施例に係る流体制御器を示す断面図、図２は図１示のダイアフラム及び樹脂膜部分の拡大説明図、図３は図２示の樹脂膜部に埋設状に固設された吊り金具を示す斜視図、図４（ａ）は図３示の吊り金具の正面図、（ｂ）は図３示の吊り金具の側面図である。尚、図４においては、下方部分を省略している。
【００１０】
流体制御器（１）は、図１に示すように、弁箱（２）と、樹脂膜（３）と、ダイアフラム（４）と、操作機構（５）とからなる。
弁箱（２）には流体が流れる流路（６）（６）と、この流路を堰き止めるシール座（７）が設けられている。
樹脂膜（３）は弁箱（２）の流路（６）（６）と当接して設けられており、この樹脂膜（３）の略中央部には図２に示すように、吊り金具（８）の棒状部（２１）の下端に設けられた固定部（９）が埋設されて該吊り金具（８）が固設されている。
この樹脂膜（３）は耐熱、耐寒性や屈曲性、腐食性などに優れたポリテトラフルオロエチレン等の合成樹脂からなる。
また、本発明の一実施例に係る流体制御器（１）では、樹脂膜（３）は該樹脂膜（３）の周端部を挟持部材（１１）で挟持して固定する構成となっているが、特にこれに限定されず、図示する以外に、直接樹脂膜（３）に接着等の手段によって設ける構成を採用することもできる。
【００１１】
吊り金具（８）の棒状部（２１）は図示例では円柱状とされているが、円柱状に限定されず、例えば三角柱状や四角柱状等の角柱状としてもよい。また、棒状部（２１）の最大幅は、ダイアフラム（４）に形成された穴（１６）の直径以下とされている。
吊り金具（８）の棒状部（２１）の上端部には、図３に示すように、係止片（２０）が設けられており、この係止片（２０）はダイアフラム（４）に形成された穴（１６）を挿通して操作機構（５）のコンプレッサ（１５）に係合して取り付けられている。
【００１２】
本発明において用いられる係止片（２０）は、図４（ａ）に示す正面視において、上端部の幅（W１）がダイアフラム（４）に形成された穴（１６）の直径以下であり且つ該上端部の下方に吊り金具（８）の棒状部（２１）の幅（正面視における幅：図示例の場合は棒状部が円柱状であるため直径）（Ｄ）よりも大きい幅（Ｗ２）を有する拡幅部（２２）を備えている。
また、図４（ｂ）に示す側面視において、最大厚み（ｔ）が吊り金具（８）の棒状部（２１）の幅（側面視における幅：図示例の場合は棒状部が円柱状であるため直径）（Ｄ）以下とされ且つ上端部における厚み（ｔ１）は該棒状部（２１）の幅（側面視における幅：図示例の場合は棒状部が円柱状であるため直径）（Ｄ）より小さくされている。尚、図示例の場合には、ｔ＝ｔ１となっている。
【００１３】
尚、本明細書における「正面視」とは、図１に示す如く、入口流路と出口流路が同一軸線上に左右に配置される方向で流体制御器を見た場合を指し、「側面視」とは「正面視」の方向と同一水平面内において直角をなす方向、即ち入口流路の入口側又は出口流路の出口側から流体制御器を見た場合を指す。
また、上記したように、本発明の係止片形状の設定における棒状部（２１）の幅は、正面視形状の設定においては正面視幅、側面視形状の設定においては側面視幅を指す。
【００１４】
係止片（２０）の形状をこのような寸法に設定することにより、ダイアフラム（４）の穴（１６）に係止片（２０）を挿通させる際にダイアフラム（４）に亀裂が生じることが防がれ、且つ挿通後は係止片（２０）と操作機構（５）とが確実に係合できるようになる。
また、係止片（２０）は、正面視形状において鋭角部を有していない形状もしくは角部を有さない形状とされており、これによって係止片（２０）をダイアフラム（４）の穴（１６）に挿通する際に、ダイアフラム（４）が傷付くのを防ぐことが可能となる。
図３、４に示した例では、係止片（２０）を、正面視において正方形の上部に台形を組み合わせた六角形状とし、側面視において一定幅（厚み）の長方形状とすることによって、これらの作用効果を達成している。
【００１５】
図５は吊り金具（８）に取り付けられた係止片（２０）の別の実施形態の例を示す正面図であり、図６はその側面図である。これらの正面図及び側面図は互いに組み合わせることが可能であり、図５（Ａ）に示す正面視形状に対して図６（ａ）乃至（ｄ）に示す側面視形状、図５（Ｂ）に示す正面視形状に対して図６（ａ）乃至（ｄ）に示す側面視形状、図５（Ｃ）に示す正面視形状に対して図６（ａ）乃至（ｄ）に示す側面視形状、図５（Ｄ）に示す正面視形状に対して図６（ａ）乃至（ｄ）に示す側面視形状をそれぞれ組み合わせることができる。尚、図５（Ｅ）と図６（ｅ）については後述する。
【００１６】
先ず、係止片（２０）の正面視形状の例について説明すると、（Ａ）は半円形、（Ｂ）は三角形の角を丸くした形状、（Ｃ）は略ホームベース形の五角形、（Ｄ）は円形である。
これらの形状においては、上端部の幅（W１）は明確に存在しないので０とみなすことができ、拡幅部（２２）は（Ａ）〜（Ｃ）の場合には下辺部、（Ｄ）の場合には直径部となる。
【００１７】
次に、係止片（２０）の側面視形状の例について説明すると、（ａ）は棒状部（２１）の幅よりも狭い一定幅（厚み）の長方形、（ｂ）は下辺部が棒状部（２１）の幅と等しく上辺部が棒状部（２１）の幅よりも短い台形、（ｃ）は下辺部が棒状部（２１）の幅より短く上端部が鋭角の三角形、（ｄ）は下辺部が棒状部（２１）の幅と等しく上端部が鋭角の三角形である。
これらの形状において、（ａ）の場合には最大厚み（ｔ）が上端部における厚み（ｔ１）と等しく、（ｂ）〜（ｄ）の場合には最大厚み（ｔ）は下辺部（下端部）における厚みとなり、（ｃ）及び（ｄ）の場合には上端部の幅は０とみなすことができる。
（ｂ）〜（ｄ）に示すように、側面視における幅（厚み）が上端部において最も小さくされている形状とすると、ダイアフラムの穴への係止片の挿通をよりスムーズに行うことが可能となるため好ましい。
【００１８】
また本発明においては、係止片（２０）と棒状部（２１）とを、棒状部（２１）よりも狭い幅の棒（２３）で繋いだ形状とすることもできる。
図５（Ｅ）はこのような構成を採用した場合の一例を示す正面図、図６（ｅ）はその側面図である。これらの図では、係止片（２０）として、正面視が台形の下角に丸みをもたせた形状で、側面視が台形のものが図示されているが、図５及び図６に示した他の形状の各係止片（２０）において、このように係止片（２０）と棒状部（２１）とを、棒状部（２１）よりも狭い幅の棒（２３）で繋いだ形状を採用することができる。
【００１９】
尚、図３乃至図６に示した係止片（２０）の形状はあくまでも一例であって、上記した３つの条件、即ち（Ａ）正面視において上端部の幅がダイアフラムの穴の直径以下であり且つ該上端部の下方に吊り金具の棒状部の幅よりも大きい幅を有する拡幅部を備えていること、（Ｂ）側面視において最大厚みが吊り金具の棒状部の幅以下とされ且つ上端部における厚みは該棒状部の幅より小さくされていること、（Ｃ）正面視形状において鋭角部を有していないこと、を満たす形状であれば例えば正面視が楕円形のものなど他の形状を採用してもよい。
【００２０】
樹脂膜（３）の略中央部に埋設される吊り金具（８）としては、使用する流体の物性や科学的性質、温度、圧力、使用目的などに応じて適宜任意の素材のものを選択して使用すればよいが、１３ＣＤ鋼（ＳＵＳ４０３，ＳＵＳ４１０，ＳＵＳ４２１）や１８ＣＤ−８Ｎｉ鋼（ＳＵＳ３０４，ＳＵＳ３０４Ｌ）に代表されるステンレス鋼やニッケル系合金が、機械的強度に優れ、且つ耐食性や耐酸性、耐熱性などに優れているために好ましく用いられるが特に限定されるものではない。
すなわち、例えば低温での制御が必要とされる流体を用いる場合には、低温脆性のない、オーステナイト系ステンレス鋼、アルミニウム合金、ニッケル合金、銅合金などが好適に使用でき、高圧での制御が要求される場合には、耐圧性に優れた吊り金具（８）を用いればよく、特に限定されるものではない。
【００２１】
ダイアフラム（４）は樹脂膜（３）の上部に密着して設けられており、このダイアフラム（４）の素材としては特に限定されず、耐熱、耐寒性や屈曲性、腐食性などに優れた従来より公知の天然ゴム、ニトリルゴム、スチレンゴム、ブタジエン・イソブチレン合成ゴム、ポリクロロプレンゴム、ブチルゴム、フッ素ゴム、シリコンゴム、ポリウレタンゴムなどのゴム製又はポリ四弗化エチレン（ＰＴＦＥ）等の合成樹脂製のものが好適に使用される。このダイアフラム（４）内には該ダイアフラム（４）を補強するための繊材（１０）が埋設されている。また、このダイアフラム（４）も前記樹脂膜（３）と同様に、ダイアフラム（４）の周端部を挟持部材（１１）で挟持して固定する構成となっているが、特にこれに限定されず、図示する以外に、直接ダイアフラム（４）に接着等の手段によって設ける構成を採用することもできる。本発明の一実施例に係る流体制御器（１）においては、操作機構（５）はステム（１２）と、スプリング（１３）と、アクチュエーターキャップ（１４）と、コンプレッサ（１５）とから構成されている。
【００２２】
このように構成されてなる流体制御器（１）の使用状態を説明する。
流路（６）（６）を閉鎖する場合には、スプリング（１３）によって、ステム（１２）の下部に固定されているコンプレッサ（１５）を下降させる。
するとダイアフラム（４）は、このダイアフラム（４）の周縁部を挟持部材（１１）によって締め付け挟持されつつ弁箱（２）のシール座（７）へ圧接されて流路（６）（６）が閉鎖される。
また、インレットポート（１８）よりエア通路（１９）を介してエアを導入すると、ステム（１２）の下部に固定されているコンプレッサ（１５）が上昇し、ダイアフラム（４）がシール座（７）より離間されて流路（６）（６）が開放される。
尚、図示する実施例では、流体制御器（１）により流路（６）（６）が閉鎖された状態を示している。
また、本発明においては、流路（６）（６）の開閉を手動開閉式のダイアフラムバルブで行ってもよい。
【００２３】
尚、本実施例ではダイアフラム（４）を伸縮させる操作機構を上述したように構成しているが、本発明はこの操作機構に限られるものではなく、他の操作機構であってもよい。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に係る発明によれば、従来のようにピンを打ち込むことがないので、ピンの打ち込みによる衝撃で樹脂膜との固設部分にクラックが生じることがなく、またダイアフラムで流路を開閉した時に生じる集中した荷重を従来より面積が大きい係止片で受けるので、この係止片が折れずらい。
また、係止片の寸法のばらつきも低減することができる。
さらに、係止片の正面視形状に鋭角部が形成されていないので、吊り金具をダイアフラムに挿通する際にダイアフラムが傷付くのを防ぐことができる。
【００２５】
請求項２に係る発明によれば、係止片の正面視形状に角部が形成されていないので、吊り金具をダイアフラムに挿通する際にダイアフラムが傷付くのをより確実に防ぐことができる。
請求項３に係る発明によれば、側面視における厚みが上端部において最も小さくされているので、係止片をダイアフラムに対してよりスムーズに挿通することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例に係る流体制御器を示す断面図である。
【図２】図１示のダイアフラム及び樹脂膜部分の拡大説明図である。
【図３】図２示の樹脂膜部に埋設状に固設された吊り金具を示す斜視図である。
【図４】（ａ）は図３示の吊り金具の正面図、（ｂ）は図３示の吊り金具の側面図である。
【図５】吊り金具に取り付けられた係止片の別の実施形態の例を示す正面図である。
【図６】吊り金具に取り付けられた係止片の別の実施形態の例を示す側面図である。
【図７】従来の流体制御器を示す断面図である。
【図８】図７示のダイアフラム及び樹脂膜部分の拡大説明図である。
【符号の説明】
１流体制御器
２弁箱
３樹脂膜
４ダイアフラム
５操作機構
６流路
８吊り金具
１６ダイアフラムの穴
２０係止片
２１棒状部
２２拡幅部[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a fluid controller, and its purpose is to attach a resin film and a diaphragm to an operation mechanism without causing cracks in the resin film, and furthermore, the diaphragm is damaged when the hanging fitting is inserted through the diaphragm. Another object of the present invention is to provide a fluid controller capable of preventing the occurrence of a fluid.
[0002]
[Prior art]
As shown in FIGS. 7 and 8, a conventional fluid controller includes a valve box (B) having flow paths (A) and (A), and flow paths (A) and (A) of the valve box (B). A resin film (C) made of polytetrafluoroethylene or the like provided in contact with the diaphragm, a diaphragm (D) provided in close contact with the upper portion of the resin film (C), and a stem (H) ) And an operation mechanism (F) for moving up and down.
In order to attach the resin film (C) and the diaphragm (D) to the operation mechanism (F), the upper part of the hanging metal fitting (F) whose lower end is fixed in a substantially central part of the resin film (C) is embedded. It was inserted through the diaphragm (D), and a pin (G) was driven into the upper part of the hanging bracket (I), and the pin (G) was engaged with the compressor of the operation mechanism (F) and attached.
[0003]
However, since the pin is driven into the hanging bracket and the pin is engaged with the operating mechanism (F) and attached, the impact when the pin is driven is fixed to the resin film made of polytetrafluoroethylene or the like. There was a possibility that a crack would occur in the part.
Moreover, since the pin is attached to the operating mechanism, when the flow path is opened and closed by the diaphragm, a concentrated load is applied to the pin, and the pin may be broken by the concentrated load.
Also, since the pins are driven into the hanging bracket, the driving conditions of the pins are not stable,
There were dimensional variations.
[0004]
In view of the above circumstances, the inventors of the present application can attach the resin film and the diaphragm to the operating mechanism without causing cracks in the resin film, so that even if a load is applied to the locking piece, it does not break easily. In addition, a fluid controller capable of reducing the variation in dimensions of the locking pieces has already been proposed (see Patent Document 1).
[0005]
[Patent Document 1]
Japanese Patent No. 3345612 [0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the fluid controller disclosed in Patent Literature 1, when the locking piece provided at the tip of the hanging fitting is inserted into the diaphragm, the diaphragm may be damaged by the locking piece.
That is, in the fluid controller of Patent Literature 1, since the lower side of the locking piece is formed longer than the diameter of the hanging fitting, when the diaphragm is inserted through the diaphragm, the sharp edges formed at both ends of the lower side are used. The diaphragm was sometimes damaged.
[0007]
The present invention has been made in view of such a problem, and it is possible to attach a resin film and a diaphragm to an operation mechanism without causing a crack in the resin film, and to apply a load to a locking piece. A fluid controller which is hard to be broken, can reduce the variation in dimensions of the locking pieces, and can prevent the diaphragm from being damaged when the hanging fitting is inserted through the diaphragm. Things.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The invention according to claim 1 provides a valve box having a flow path, a resin film provided in contact with the flow path of the valve box, a diaphragm provided in close contact with an upper portion of the resin film, and moving the diaphragm up and down. An operating mechanism for performing the operation is provided, and a suspending fitting for inserting a hole formed in the diaphragm is fixed in a substantially buried state at a substantially central portion of the resin film, and the suspending fitting is provided with a locking piece at an upper end of a rod-shaped portion. A fluid controller in which a locking piece is inserted into a compressor and a resin film and a diaphragm are attached to an operation mechanism, wherein a maximum width of the rod-shaped portion is equal to or smaller than a hole diameter of the diaphragm. The width of the upper end is less than or equal to the hole diameter in view, and a widened portion having a width larger than the width of the rod is provided below the upper end, and the thickness of the upper end is smaller than the width of the rod in side view. Maximum thickness is less than the width of the bar With it, a fluid controller, characterized in that has no sharp edges in the front view shape.
The invention according to claim 2 relates to the fluid controller according to claim 1, wherein the locking piece does not have a corner in a front view shape.
The invention according to claim 3 relates to the fluid controller according to claim 1 or 2, wherein the locking piece has a minimum thickness at an upper end in a side view.
[0009]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of a fluid controller according to the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a fluid controller according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged explanatory view of a diaphragm and a resin film portion shown in FIG. 1, and FIG. FIG. 4A is a perspective view showing a fixed hanging metal fitting, FIG. 4A is a front view of the hanging metal fitting shown in FIG. 3, and FIG. 4B is a side view of the hanging metal fitting shown in FIG. In FIG. 4, the lower part is omitted.
[0010]
As shown in FIG. 1, the fluid controller (1) includes a valve box (2), a resin film (3), a diaphragm (4), and an operation mechanism (5).
The valve box (2) is provided with flow paths (6) and (6) through which fluid flows, and a seal seat (7) for blocking the flow paths.
The resin film (3) is provided in contact with the flow paths (6) and (6) of the valve box (2), and a suspension fitting is provided substantially at the center of the resin film (3) as shown in FIG. The fixing portion (9) provided at the lower end of the rod portion (21) of (8) is buried, and the hanging bracket (8) is fixedly provided.
The resin film (3) is made of a synthetic resin such as polytetrafluoroethylene which is excellent in heat resistance, cold resistance, flexibility, corrosiveness and the like.
Further, in the fluid controller (1) according to one embodiment of the present invention, the resin film (3) has a configuration in which the peripheral end of the resin film (3) is sandwiched and fixed by the sandwiching member (11). However, the present invention is not particularly limited to this, and a configuration in which the resin film (3) is directly provided on the resin film (3) by means of adhesion or the like can be adopted other than illustrated.
[0011]
The rod-shaped portion (21) of the hanging metal fitting (8) is columnar in the illustrated example, but is not limited to a columnar shape, and may be, for example, a prismatic shape such as a triangular prism shape or a quadrangular prism shape. The maximum width of the rod portion (21) is smaller than the diameter of the hole (16) formed in the diaphragm (4).
As shown in FIG. 3, a locking piece (20) is provided at the upper end of the rod-shaped portion (21) of the hanging bracket (8), and the locking piece (20) is formed on the diaphragm (4). The hole (16) is inserted into the compressor (15) of the operation mechanism (5) and attached.
[0012]
In the locking piece (20) used in the present invention, the width (W1) of the upper end portion is equal to or less than the diameter of the hole (16) formed in the diaphragm (4) in a front view shown in FIG. A width (W2) larger than the width (W2) of the rod-shaped portion (21) of the hanging member (8) below the upper end (width in front view: diameter in the illustrated example because the rod-shaped portion is cylindrical). (22) having a width.
Further, in the side view shown in FIG. 4B, the maximum thickness (t) is the width of the rod portion (21) of the hanging member (8) (width in the side view: in the illustrated example, the rod portion has a columnar shape). (D) or less, and the thickness (t1) at the upper end is the width of the rod (21) (width in side view: in the illustrated example, the diameter is a column because the rod is cylindrical). Has been smaller. In the illustrated example, t = t1.
[0013]
In this specification, “front view” refers to a case where the fluid controller is viewed in a direction in which the inlet channel and the outlet channel are arranged on the same axis on the left and right as shown in FIG. “View” refers to a case where the fluid controller is viewed from a direction perpendicular to the same horizontal plane as the direction of “front view”, that is, from the inlet side of the inlet channel or the outlet side of the outlet channel.
Further, as described above, the width of the bar portion (21) in the setting of the locking piece shape of the present invention indicates the width in the front view in setting the shape in the front view, and the width in the side view in setting the shape in the side view.
[0014]
By setting the shape of the locking piece (20) to such dimensions, when the locking piece (20) is inserted into the hole (16) of the diaphragm (4), a crack may be generated in the diaphragm (4). After insertion, the locking piece (20) and the operating mechanism (5) can be securely engaged.
Further, the locking piece (20) has a shape having no acute angle portion or a shape having no corner portion in a front view shape, whereby the locking piece (20) is formed into a hole of the diaphragm (4). It is possible to prevent the diaphragm (4) from being damaged when the diaphragm (4) is inserted.
In the example shown in FIGS. 3 and 4, the locking piece (20) is formed in a hexagonal shape in which a trapezoid is combined with a square upper part in a front view, and a rectangular shape having a constant width (thickness) in a side view. Has achieved the effect.
[0015]
FIG. 5 is a front view showing an example of another embodiment of the locking piece (20) attached to the hanging bracket (8), and FIG. 6 is a side view thereof. These front views and side views can be combined with each other. In contrast to the front view shape shown in FIG. 5A, the side view shapes shown in FIGS. 6A to 6D and FIG. 6A to 6D for the front view shape shown, and the side view shapes shown in FIGS. 6A to 6D for the front view shape shown in FIG. The shape in a side view shown in FIGS. 6A to 6D can be combined with the shape in a front view shown in FIG. 5D. FIG. 5E and FIG. 6E will be described later.
[0016]
First, an example of the shape of the locking piece (20) in a front view will be described. (A) is a semicircle, (B) is a shape with rounded triangular corners, (C) is a pentagon substantially home-based, (D) ) Is circular.
In these shapes, the width (W1) of the upper end portion does not exist clearly and can be regarded as 0, and the widened portion (22) is the lower side portion in (A) to (C), In this case, it is the diameter.
[0017]
Next, an example of the shape of the locking piece (20) in a side view will be described. (A) is a rectangle having a constant width (thickness) narrower than the width of the rod-shaped part (21), and (b) is a rod-shaped lower part. A trapezoid whose upper side is shorter than the width of the rod-shaped part (21), which is equal to the width of (21), (c) is a triangle whose lower side is shorter than the width of the rod-shaped part (21) and whose upper end is an acute angle, and (d) is a lower side The portion is the same as the width of the rod portion (21), and the upper end portion is an acute triangle.
In these shapes, in the case of (a), the maximum thickness (t) is equal to the thickness (t1) at the upper end portion, and in the cases of (b) to (d), the maximum thickness (t) is the lower side portion (lower end portion). ), And in (c) and (d), the width of the upper end can be regarded as zero.
As shown in (b) to (d), when the width (thickness) in the side view is the smallest shape at the upper end, it is possible to more smoothly insert the locking piece into the hole of the diaphragm. Is preferable.
[0018]
Further, in the present invention, the locking piece (20) and the rod-shaped portion (21) may be formed in a shape connected by a rod (23) having a width smaller than that of the rod-shaped portion (21).
FIG. 5E is a front view showing an example in which such a configuration is adopted, and FIG. 6E is a side view thereof. In these figures, the locking piece (20) has a trapezoidal shape with a rounded lower corner when viewed from the front and a trapezoidal shape when viewed from the side, but other locking pieces shown in FIGS. 5 and 6 are shown. In each locking piece (20) having a shape, a shape in which the locking piece (20) and the rod (21) are connected by a rod (23) having a width smaller than that of the rod (21) is adopted. be able to.
[0019]
Note that the shape of the locking piece (20) shown in FIGS. 3 to 6 is merely an example, and the above three conditions, that is, (A) when the width of the upper end in the front view is smaller than the diameter of the hole of the diaphragm. And a widened portion having a width larger than the width of the bar portion of the hanging fitting is provided below the upper end portion. (B) The maximum thickness is set to be equal to or less than the width of the bar portion of the hanging fitting in side view, and The thickness of the portion is smaller than the width of the rod-shaped portion, and (C) a shape that does not have an acute angle portion in a front view shape; May be adopted.
[0020]
As the hanging fitting (8) buried in the approximate center of the resin film (3), an arbitrary material may be appropriately selected according to the physical properties, scientific properties, temperature, pressure, purpose of use of the fluid to be used, and the like. Stainless steel and nickel alloys represented by 13CD steel (SUS403, SUS410, SUS421) and 18CD-8Ni steel (SUS304, SUS304L) have excellent mechanical strength, corrosion resistance, acid resistance, It is preferably used because of its excellent heat resistance and the like, but is not particularly limited.
That is, for example, when a fluid requiring control at low temperature is used, austenitic stainless steel, aluminum alloy, nickel alloy, copper alloy, etc. having no low-temperature brittleness can be suitably used, and control at high pressure is required. In this case, a hanging metal fitting (8) having excellent pressure resistance may be used, and is not particularly limited.
[0021]
The diaphragm (4) is provided in close contact with the upper portion of the resin film (3), and the material of the diaphragm (4) is not particularly limited, and the diaphragm (4) is excellent in heat resistance, cold resistance, flexibility, corrosiveness, and the like. More widely known rubbers such as natural rubber, nitrile rubber, styrene rubber, butadiene / isobutylene synthetic rubber, polychloroprene rubber, butyl rubber, fluorine rubber, silicon rubber, polyurethane rubber, and synthetic resins such as polytetrafluoroethylene (PTFE) Are preferably used. A fiber material (10) for reinforcing the diaphragm (4) is embedded in the diaphragm (4). The diaphragm (4) has a configuration in which the peripheral end of the diaphragm (4) is clamped and fixed by the clamping member (11), similarly to the resin film (3), but is not particularly limited to this. Instead of the illustration, a configuration in which the diaphragm (4) is directly provided by means such as adhesion may be employed. In the fluid controller (1) according to one embodiment of the present invention, the operating mechanism (5) includes a stem (12), a spring (13), an actuator cap (14), and a compressor (15). ing.
[0022]
The use state of the fluid controller (1) thus configured will be described.
When closing the channels (6) and (6), the compressor (15) fixed to the lower part of the stem (12) is lowered by the spring (13).
Then, the diaphragm (4) is pressed against the seal seat (7) of the valve box (2) while the peripheral edge of the diaphragm (4) is clamped and clamped by the clamping member (11), and the flow paths (6) and (6) are formed. Will be closed.
Further, when air is introduced from the inlet port (18) through the air passage (19), the compressor (15) fixed to the lower part of the stem (12) rises, and the diaphragm (4) moves the seal seat (7). The channels (6) and (6) are opened further apart.
In the illustrated embodiment, the flow path (6) (6) is closed by the fluid controller (1).
Further, in the present invention, the passages (6) and (6) may be opened and closed by a manually opened / closed diaphragm valve.
[0023]
In this embodiment, the operating mechanism for expanding and contracting the diaphragm (4) is configured as described above. However, the present invention is not limited to this operating mechanism, and may be another operating mechanism.
[0024]
【The invention's effect】
As described above, according to the first aspect of the present invention, since the pin is not driven unlike the related art, a crack does not occur in the portion fixed to the resin film due to the impact due to the driving of the pin. Since the concentrated load generated when the flow path is opened and closed by the diaphragm is received by the locking piece having a larger area than the conventional one, the locking piece is not easily broken.
In addition, variation in dimensions of the locking pieces can be reduced.
Further, since no sharp angle portion is formed in the front view shape of the locking piece, it is possible to prevent the diaphragm from being damaged when the hanging fitting is inserted through the diaphragm.
[0025]
According to the second aspect of the present invention, since the corner portion is not formed in the front view shape of the locking piece, it is possible to more reliably prevent the diaphragm from being damaged when the hanging metal is inserted through the diaphragm.
According to the third aspect of the present invention, since the thickness in the side view is minimized at the upper end, the locking piece can be more smoothly inserted into the diaphragm.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a sectional view showing a fluid controller according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged explanatory view of a diaphragm and a resin film portion shown in FIG.
FIG. 3 is a perspective view showing a hanger fixed buried in the resin film portion shown in FIG. 2;
4 (a) is a front view of the hanging fitting shown in FIG. 3, and FIG. 4 (b) is a side view of the hanging fitting shown in FIG.
FIG. 5 is a front view showing an example of another embodiment of a locking piece attached to a hanging fitting.
FIG. 6 is a side view showing another example of the embodiment of the locking piece attached to the hanging fitting.
FIG. 7 is a sectional view showing a conventional fluid controller.
8 is an enlarged explanatory view of a diaphragm and a resin film portion shown in FIG. 7;
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fluid controller 2 Valve box 3 Resin film 4 Diaphragm 5 Operation mechanism 6 Flow path 8 Suspension fitting 16 Diaphragm hole 20 Locking piece 21 Bar-shaped part 22 Widening part

Claims

A valve box having a flow path, a resin film provided in contact with the flow path of the valve box, a diaphragm provided in close contact with the upper part of the resin film, and an operation mechanism for moving the diaphragm up and down, At a substantially central portion of the membrane, a suspending fitting for inserting a hole formed in the diaphragm is fixedly buried, and the suspending fitting is provided with a locking piece at the upper end of the rod-shaped section, and the locking piece is inserted into the compressor. A fluid controller comprising a resin film and a diaphragm attached to an operating mechanism, wherein the maximum width of the rod-shaped portion is equal to or less than the hole diameter of the diaphragm, and the locking piece has a width at an upper end portion in a front view. A widened portion having a hole diameter or less and having a width larger than the width of the rod portion below the upper end portion, wherein the thickness of the upper end portion in side view is smaller than the width of the rod portion and the maximum thickness is equal to or less than the width of the rod portion. And at the front Fluid controller, characterized in that has no sharp edges in the shape.

The fluid controller according to claim 1, wherein the locking piece does not have a corner in a front view shape.

The fluid controller according to claim 1, wherein the locking piece has a minimum thickness at an upper end in a side view.