JP4379609B2 - Method for producing flexible metal foil polyimide laminate - Google Patents

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Description

本発明は、プリント基板などの電子部品に使用され、特に屈曲性に優れるフレキシブル金属箔ポリイミド積層板の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for producing a flexible metal foil polyimide laminate that is used for electronic components such as printed boards and that is particularly excellent in flexibility.

従来、導体上にポリイミド前駆体樹脂溶液を直接塗付し、乾燥、硬化してフレキシブル基板を製造することは、特許公開公報(例えば、特開昭59−232455号公報:特許文献1、特開昭61−275325号公報:特許文献2、特開昭62−212140号公報:特許文献3、特開平7−57540号公報:特許文献4)に開示されている。また、導体上にポリイミド前駆体樹脂溶液を数回に分けて塗付する方法も特許公開公報(例えば、特開平2−180682号公報:特許文献5、特開平2−180679号公報:特許文献6、特開平1−245586号公報:特許文献7、特開平2−122697号公報:特許文献8)に開示されている。   Conventionally, a polyimide substrate resin solution is directly applied onto a conductor, dried, and cured to produce a flexible substrate. JP-A-61-275325: Patent Document 2, JP-A-62-212140: Patent Document 3, JP-A-7-57540: Patent Document 4). In addition, a method of applying a polyimide precursor resin solution on a conductor in several times is also disclosed in Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2-180682: Patent Document 5, Japanese Patent Laid-Open No. 2-180679: Patent Document 6. JP-A-1-245586: Patent Document 7 and JP-A-2-12297: Patent Document 8).

しかしながら、ポリイミド前駆体樹脂溶液を導体上に塗付する方法は、フレキシブル基板の最終的なポリイミド層の厚さが20μm以上ないといわゆる“こし”がなく、取り扱い上困るので、どうしても最終的なポリイミド層が20μm以上となるようにポリイミド前駆体樹脂を厚く塗付して導体上にて硬化する必要があるので、均一な厚みで塗付することが困難であり、しばしば厚みムラを起して不良品となることが起きていた。このことは、数回に分けて塗付した場合には塗布する回数が多いほど厚みムラが極端に顕在化するという傾向があった。   However, the method of applying the polyimide precursor resin solution on the conductor has no so-called “strain” unless the final polyimide layer thickness of the flexible substrate is 20 μm or more. Since it is necessary to apply the polyimide precursor resin thickly so that the layer becomes 20 μm or more and cure on the conductor, it is difficult to apply the polyimide precursor resin with a uniform thickness, which often causes uneven thickness. It was happening to be a good product. This means that when the coating is performed in several times, the thickness unevenness becomes extremely apparent as the number of times of coating is increased.

そこで、導体上に熱可塑性ポリイミドを形成してから張り合わせる方法が、特許公開公報(例えば、特開平1−244841号公報:特許文献9、特開平6−190967号公報:特許文献10)に開示されている。この方法によれば、熱可塑性ポリイミド層が圧着されるため、全体としてのポリイミド層の厚さは均一になることが分かっている。特に、特開平6−190967号公報に示されたように、ポリイミド又はポリアミド酸溶液を塗付、乾燥、硬化して熱可塑ポリイミド/金属箔積層板を作製し、その熱可塑ポリイミド側にポリイミドフィルムを加熱、圧着することにより、熱可塑ポリイミドが加熱により溶融し、厚みが補正されるため、ポリイミドフィルムと張り合わせた後の全体としてのポリイミド層は均一な厚みとなることができる。   Therefore, a method of bonding after forming a thermoplastic polyimide on a conductor is disclosed in Patent Publications (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-224441: Patent Document 9, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-190967: Patent Document 10). Has been. According to this method, since the thermoplastic polyimide layer is pressure-bonded, the thickness of the polyimide layer as a whole is known to be uniform. In particular, as disclosed in JP-A-6-190967, a polyimide or polyamic acid solution is applied, dried and cured to produce a thermoplastic polyimide / metal foil laminate, and a polyimide film on the thermoplastic polyimide side. By heating and press-bonding, the thermoplastic polyimide is melted by heating and the thickness is corrected. Therefore, the polyimide layer as a whole after being bonded to the polyimide film can have a uniform thickness.

但し、この方法では硬化したポリイミドを加熱、圧着することが必須のため、ポリイミドのガラス転移点(Tg)以上の温度で加熱しながら圧着できる特殊な装置が必要となり、経済的ではない。   However, in this method, it is essential to heat and pressure-bond the cured polyimide, so that a special apparatus that can be pressure-bonded while heating at a temperature equal to or higher than the glass transition point (Tg) of the polyimide is required, which is not economical.

特開昭59−232455号公報JP 59-232455 A 特開昭61−275325号公報JP-A 61-275325 特開昭62−212140号公報JP-A-62-212140 特開平7−57540号公報JP-A-7-57540 特開平2−180682号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2-180682 特開平2−180679号公報JP-A-2-180679 特開平1−245586号公報JP-A-1-245586 特開平2−122697号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2-122697 特開平1−244841号公報JP-A-1-2444841 特開平6−190967号公報JP-A-6-190967

本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、優れた耐熱性・耐薬品性・難燃性・電気特性等を有する耐熱性ポリイミド樹脂フィルムの特性を十分に生かした屈曲性のよいフレキシブル金属箔ポリイミド積層板の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and is a flexible metal foil having good flexibility that fully utilizes the characteristics of a heat-resistant polyimide resin film having excellent heat resistance, chemical resistance, flame retardancy, electrical characteristics, and the like. It aims at providing the manufacturing method of a polyimide laminated board.

本発明者は、上記目的を達成するために鋭意検討を行った結果、耐熱性接着剤を介して、金属箔とポリイミドフィルムとを加熱ロールプレスにてラミネート後、加熱処理により接着剤層の残溶剤を除去し、熱硬化してフレキシブル金属箔ポリイミド積層板を製造すること、この場合、ポリイミドフィルムとして厚みが30μm以下で、かつその5torr、200℃におけるジメチルアセトアミドのガス透過量が0.1kg/m2・hr以上であるものを使用すること、更に150℃以下の温度で加熱ロールプレスにてラミネート後、絶対圧力10Pa以下の減圧下にて加熱処理及び熱硬化を行うことにより、耐熱性ポリイミド樹脂フィルムの特性を十分に生かした屈曲性のよいフレキシブル金属箔ポリイミド積層板の製造が可能であることを見出し、本発明をなすに至った。 As a result of intensive investigations to achieve the above object, the present inventor has laminated a metal foil and a polyimide film with a heat roll press through a heat resistant adhesive, and then left the adhesive layer by heat treatment. Solvent is removed and heat cured to produce a flexible metal foil polyimide laminate. In this case, the thickness of the polyimide film is 30 μm or less, and the gas permeation amount of dimethylacetamide at 5 torr and 200 ° C. is 0.1 kg / Heat-resistant polyimide by using a material having a m 2 · hr or more, further laminating with a heated roll press at a temperature of 150 ° C. or less, and then performing heat treatment and thermosetting under a reduced pressure of 10 Pa or less of absolute pressure. It is possible to produce flexible metal foil polyimide laminates with good flexibility that fully utilize the characteristics of resin films. The headline and the present invention were made.

従って、本発明は、耐熱性接着剤を塗布した金属箔とポリイミドフィルムとを加熱ロールプレスにてラミネート後、加熱処理により接着剤層の残溶剤を除去し、熱硬化してフレキシブル金属箔ポリイミド積層板を製造する方法であって、耐熱性接着剤として、ラミネートの時点において溶剤含量が3〜50質量%で、イミド化率5%未満のポリアミック酸を使用し、ポリイミドフィルムとして厚みが30μm以下、かつその5torr、200℃におけるジメチルアセトアミドのガス透過量が0.1kg/m2・hr以上であるものを使用し、150℃以下の温度で加熱ロールプレスにてラミネート後、絶対圧力10Pa以下の減圧下にて加熱処理及び熱硬化を行うことを特徴とするフレキシブル金属箔ポリイミド積層板の製造方法を提供する。 Therefore, in the present invention, after laminating a metal foil coated with a heat-resistant adhesive and a polyimide film with a heated roll press, the residual solvent of the adhesive layer is removed by heat treatment, followed by thermosetting and flexible metal foil polyimide lamination. A method for producing a plate, as a heat-resistant adhesive, using a polyamic acid having a solvent content of 3 to 50% by mass and an imidization rate of less than 5% at the time of lamination, and having a thickness of 30 μm or less as a polyimide film, In addition, the gas permeation amount of dimethylacetamide at 5 torr and 200 ° C. is 0.1 kg / m 2 · hr or more, laminated at a temperature of 150 ° C. or less by a heated roll press, and then reduced in absolute pressure to 10 Pa or less. Provided is a method for producing a flexible metal foil polyimide laminate, characterized by performing heat treatment and thermosetting under .

本発明の方法によれば、屈曲特性の良好なオールポリイミドのフレキシブル金属箔ポリイミド積層板を製造することができる。   According to the method of the present invention, it is possible to produce an all-polyimide flexible metal foil polyimide laminate having good bending properties.

本発明のフレキシブル金属箔ポリイミド積層板の形成に用いるポリイミドフィルムとしては、厚みが30μm以下、かつその5torr、200℃におけるジメチルアセトアミドのガス透過量が0.1kg/m2・hr以上であれば、従来からこの種の積層板に使用されているいずれのポリイミドフィルムを用いてもよく、下記一般式(I)で表されるジアミン化合物と下記一般式(II)で表されるテトラカルボン酸二無水物とから得られる下記一般式(III)で表されるポリイミド樹脂のフィルムを用いることができ、市販品を使用してもよい。市販品としては、
鐘淵化学工業(株)製 商品名:アピカル
東レ・デュポン社製 商品名:カプトン
宇部興産(株)製 商品名:ユーピレックス
等が使用し得る。
As a polyimide film used for forming the flexible metal foil polyimide laminate of the present invention, if the thickness is 30 μm or less, and the gas permeation amount of dimethylacetamide at 5 torr and 200 ° C. is 0.1 kg / m 2 · hr or more, Any polyimide film conventionally used for this type of laminated board may be used, a diamine compound represented by the following general formula (I) and a tetracarboxylic dianhydride represented by the following general formula (II): A polyimide resin film represented by the following general formula (III) obtained from the product can be used, and a commercially available product may be used. As a commercial item,
Product name: Apical manufactured by Apex Toray DuPont Co., Ltd. Product name: Kapton Ube Industries, Ltd. Product name: Upilex can be used.

2N−R1−NH2 (I)
(式中、R1は脂肪族基、環式脂肪族基、単環式芳香族基、縮合多環式芳香族基、芳香族が直接又は架橋員により連結された非縮合環式芳香族基からなる群より選ばれる2価の基を示す。)
H 2 N—R 1 —NH 2 (I)
(In the formula, R 1 is an aliphatic group, a cyclic aliphatic group, a monocyclic aromatic group, a condensed polycyclic aromatic group, or a non-condensed cyclic aromatic group in which aromatics are connected directly or by a bridging member. A divalent group selected from the group consisting of:

Figure 0004379609
(式中、R2は脂肪族基、環式脂肪族基、単環式芳香族基、縮合多環式芳香族基、芳香族基が直接又は架橋員により連結された非縮合環式芳香族基からなる群より選ばれる4価の基を示す。)
Figure 0004379609
(In the formula, R 2 represents an aliphatic group, a cyclic aliphatic group, a monocyclic aromatic group, a condensed polycyclic aromatic group, or a non-condensed cyclic aromatic in which aromatic groups are connected directly or by a bridging member. A tetravalent group selected from the group consisting of groups is shown.)

Figure 0004379609
(式中、R1、R2は上記の通り。)
Figure 0004379609
(In the formula, R 1 and R 2 are as described above.)

一般式(I)で表されるジアミン化合物としては、例えばo−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、p−フェミレンジアミン、m−アミノベンジルアミン、p−アミノベンジルアミン、2−クロロ−1,2−フェニレンジアミン、4−クロロ−1,2−フェニレンジアミン、2,3−ジアミノトルエン、2,4−ジアミノトルエン、2,5−ジアミノトルエン、2,6−ジアミノトルエン、3,4−ジアミノトルエン、2−メトキシ−1,4−フェニレンジアミン、4−メトキシ−1,3−フェニレンジアミン、ベンジジン、3,3’−ジクロロベンジジン、3,3’−ジメチルベンジジン、3,3’−ジメトキシベンジジン、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、1,4−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、4,4−ビス[3−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾフェノン、4,4−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ジフェニルスルホン、ビス[4−[4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ]フェニル]ケトン、ビス[4−[4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ]フェニル]スルホン、1,4−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン等が挙げられ、これらは単独であるいは2種以上混合して使用される。   Examples of the diamine compound represented by the general formula (I) include o-phenylenediamine, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, m-aminobenzylamine, p-aminobenzylamine, 2-chloro-1,2 -Phenylenediamine, 4-chloro-1,2-phenylenediamine, 2,3-diaminotoluene, 2,4-diaminotoluene, 2,5-diaminotoluene, 2,6-diaminotoluene, 3,4-diaminotoluene, 2-methoxy-1,4-phenylenediamine, 4-methoxy-1,3-phenylenediamine, benzidine, 3,3′-dichlorobenzidine, 3,3′-dimethylbenzidine, 3,3′-dimethoxybenzidine, 3, 3'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diamy Diphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl sulfide, 3,4′-diaminodiphenyl sulfide, 4,4′-diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-diaminodiphenyl sulfoxide, 4,4′-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,3 '-Diaminodiphenyl sulfone, 3,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminobenzophenone, 3,4'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3, 3′-diaminodiphenylmethane, 3,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, 1,1-bis 4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1, 2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] Propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] butane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 2,2-bis [4- (3-amino Phenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3- Hexafluorop Lopan, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-amino) Phenoxy) benzene, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] Sulfoxide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl Sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, 1,4-bis [ 4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 4,4-bis [3- (4-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4, 4-bis [3- (3-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] benzophenone, 4,4-bis [4- (4 -Amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] diphenylsulfone, bis [4- [4- (4-aminophenoxy) phene Noxy] phenyl] ketone, bis [4- [4- (4-aminophenoxy) phenoxy] phenyl] sulfone, 1,4-bis [4- (4-aminophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1 , 3-bis [4- (4-aminophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, and the like are used alone or in combination of two or more.

一般式(II)で表されるテトラカルボン酸二無水物としては、一般式(II)において、例えば、R2が脂肪族基であるエチレンテトラカルボン酸二無水物等、R2が環式脂肪族基であるシクロペンタンテトラカルボン酸二無水物等、R2が単環式芳香族基である1,2,3,4−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物等、R2が縮合多環式芳香族基である2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ベリレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−アントラセンテトラカルボン酸二無水物、1,2,7,8−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物等、R2が芳香族基を直接連結した非縮合環式芳香族基である3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物等、R2が芳香族基を架橋員により連結した非縮合環式芳香族基である3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、4,4’−(p−フェニレンジオキシ)ジフタル酸二無水物、4,4’−(m−フェニレンジオキシ)ジフタル酸二無水物等が挙げられ、これらは単独であるいは2種以上混合して使用される。 Examples of the tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (II) include those in the general formula (II) such as ethylene tetracarboxylic dianhydride in which R 2 is an aliphatic group, and R 2 is a cyclic fatty acid. Cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, which is an aromatic group, such as 1,2,3,4-benzenetetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, where R 2 is a monocyclic aromatic group, R 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, wherein 2, is a condensed polycyclic aromatic group, 1,2,5,6 -Naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,4,9,10-berylenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,7,8- Phenanthrenetetracarboxylic dianhydride, R 2 is 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, which is a non-condensed cyclic aromatic group directly linked with an aromatic group 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, in which R 2 is a non-condensed cyclic aromatic group in which aromatic groups are linked by a cross-linking member, 2,2 ′, 3,3 '-Benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, bis ( 3,4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, 1,1-bis (2 , 3-Dicarboxyphenyl) ethane Anhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, 4,4 ′-(p-phenylenedioxy) diphthalic dianhydride 4,4 ′-(m-phenylenedioxy) diphthalic dianhydride and the like, and these may be used alone or in admixture of two or more.

本発明に用いられるポリイミドフィルムの厚さは、30μm以下であることが必要であり、好ましくは12〜30μm、より好ましくは12〜25μmである。ポリイミドフィルムの厚さが30μmを超えると屈曲特性が低下する。   The thickness of the polyimide film used for this invention needs to be 30 micrometers or less, Preferably it is 12-30 micrometers, More preferably, it is 12-25 micrometers. When the thickness of the polyimide film exceeds 30 μm, the bending properties are deteriorated.

また、本発明に用いられるポリイミドフィルムは、5torr、200℃におけるジメチルアセトアミドのガス透過量が0.1kg/m2・hr以上、好ましくは0.15kg/m2・hr以上、より好ましくは0.15〜1.5kg/m2・hrのものを用いることが必要である。このガス透過量が0.1kg/m2・hr未満であるとラミネート後の溶剤乾燥及びイミド化時にフィルム表面に膨れが生じてしまう。 In addition, the polyimide film used in the present invention has a gas permeation amount of dimethylacetamide at 5 torr and 200 ° C. of 0.1 kg / m 2 · hr or more, preferably 0.15 kg / m 2 · hr or more, more preferably 0.8. It is necessary to use 15 to 1.5 kg / m 2 · hr. If the gas permeation amount is less than 0.1 kg / m 2 · hr, the film surface is swollen during solvent drying and imidization after lamination.

更に、本発明で用いられるポリイミドフィルムは、その表面にプラズマ処理やエッチング処理を施してもよい。   Furthermore, the polyimide film used in the present invention may be subjected to plasma treatment or etching treatment on the surface thereof.

一方、本発明に用いられる金属箔の種類には特に限定はなく、通常は銅、ニッケル、アルミニウム、ステンレス鋼、ベリリウム銅合金等が使用されることが多く、印刷回路を形成するための金属箔としては銅箔が多く用いられる。銅箔については、圧延銅箔、電解銅箔のいずれも使用できる。また、金属箔に直接接しているポリイミドと金属箔との接着力を高めるために、金属箔上に金属単体、その酸化物や合金、例えば金属箔が銅箔の場合には、銅単体、酸化銅、ニッケル−銅合金や亜鉛−銅合金等の無機物層を形成させてもよく、また、無機物以外にもアミノシラン、エポキシシラン、メルカプトシラン等のカップリング剤を金属箔上に塗布してもよい。   On the other hand, the type of metal foil used in the present invention is not particularly limited, and usually copper, nickel, aluminum, stainless steel, beryllium copper alloy, etc. are often used, and metal foil for forming a printed circuit. Copper foil is often used. About copper foil, both rolled copper foil and electrolytic copper foil can be used. In addition, in order to increase the adhesion between the metal foil and the polyimide that is in direct contact with the metal foil, the metal simple substance on the metal foil, its oxide or alloy, for example, when the metal foil is a copper foil, copper simple substance, oxidation An inorganic layer such as copper, nickel-copper alloy or zinc-copper alloy may be formed, and a coupling agent such as aminosilane, epoxysilane, mercaptosilane, etc. may be applied on the metal foil in addition to the inorganic material. .

本発明において、積層板に使用される金属箔としては、厚さが好ましくは10μm以上、より好ましくは10〜35μm、更に好ましくは18〜35μmであり、また圧延銅箔であることが好ましい。圧延銅箔等の金属箔の厚さが10μm未満であると、製造時のシワ、積層工程での強度等に問題が生じる場合があり、保護材を使用する場合が生じる。   In this invention, as metal foil used for a laminated board, thickness becomes like this. Preferably it is 10 micrometers or more, More preferably, it is 10-35 micrometers, More preferably, it is 18-35 micrometers, and it is preferable that it is a rolled copper foil. If the thickness of the metal foil such as rolled copper foil is less than 10 μm, there may be a problem in wrinkles during production, strength in the lamination process, and the like, and a protective material may be used.

本発明においては、まず上記金属箔とポリイミドフィルムとを耐熱性接着剤を介して加熱ロールプレスにてラミネートする。
この場合、耐熱性接着剤としては、ポリアミック酸が好ましい。
In the present invention, first, the metal foil and the polyimide film are laminated by a heated roll press through a heat resistant adhesive.
In this case, polyamic acid is preferable as the heat-resistant adhesive.

本発明で接着剤に使用されるポリアミック酸は、芳香族テトラカルボン酸無水物と芳香族ジアミンとを反応させることにより得ることができる。   The polyamic acid used for the adhesive in the present invention can be obtained by reacting an aromatic tetracarboxylic acid anhydride with an aromatic diamine.

本発明にて使用される酸無水物としては、テトラカルボン酸無水物並びにその誘導体等が挙げられる。なお、以下ではテトラカルボン酸を具体的に例示するが、これらのエステル化物、酸無水物、酸塩化物も勿論使用できる。即ち、テトラカルボン酸としては、ピロメリット酸、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸、2,3,3’,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ジフェニルメタンテトラカルボン酸、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、3,4,9,10−テトラカルボキシペリレン、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、ブタンテトラカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸等が挙げられる。また、トリメリット酸及びその誘導体等も挙げられる。
更に、反応性官能基を有する化合物で変成し、架橋構造やラダー構造を導入することもできる。
Examples of acid anhydrides used in the present invention include tetracarboxylic acid anhydrides and derivatives thereof. In addition, although tetracarboxylic acid is specifically illustrated below, these esterified products, acid anhydrides, and acid chlorides can of course be used. That is, as the tetracarboxylic acid, pyromellitic acid, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic acid, 3,3 ′, 4,4 '-Diphenylsulfone tetracarboxylic acid, 3,3', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic acid, 2,3,3 ', 4'-benzophenone tetracarboxylic acid, 2,3,6,7-naphthalene tetracarboxylic acid 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic acid, 3,3 ′, 4,4′-diphenylmethanetetracarboxylic acid, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane, 2,2-bis (3,4-Dicarboxyphenyl) hexafluoropropane, 3,4,9,10-tetracarboxyperylene, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] Propane, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] hexafluoropropane, butane tetracarboxylic acid, and cyclopentane tetracarboxylic acid. Also included are trimellitic acid and its derivatives.
Furthermore, it can be modified with a compound having a reactive functional group to introduce a crosslinked structure or a ladder structure.

一方、本発明で使用されるジアミンとしては、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、2’−メトキシ−4,4’−ジアミノベンズアニリド、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、ジアミノトルエン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、1,2−ビス(アニリノ)エタン、ジアミノジフェニルスルホン、ジアミノベンズアニリド、ジアミノベンゾエード、ジアミノジフェニルスルフィド、2,2−ビス(p−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(p−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、1,5−ジアミノナフタレン、ジアミノトルエン、ジアミノベンゾトリフルオライド、1,4−ビス(p−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−(p−アミノフェノキシ)ビフェニル、ジアミノアントラキノン、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシフェニル)ジフェニルスルホン、1,3−ビス(アニリノ)ヘキサフルオロプロパン、1,4−ビス(アニリノ)オクタフルオロプロパン、1,5−ビス(アニリノ)デカフルオロプロパン、1,7−ビス(アニリノ)テトラデカフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(p−アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(2−アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)−3,5−ジメチルフェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)−3,5−ジトリフルオロメチルフェニル〕ヘキサフルオロプロパン、p−ビス(4−アミノ−2−トリフルオロメチルフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノ−2−トリフルオロメチルフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(4−アミノ−3−トリフルオロメチルフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(4−アミノ−2−トリフルオロメチルフェノキシ)ジフェニルスルホン、4,4’−ビス(4−アミノ−5−トリフルオロメチルフェノキシ)ジフェニルスルホン、2,2−ビス〔4−(4−アミノ−3−トリフルオロメチルフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、ベンジジン、3,3’,5,5’−テトラメチルベンジジン、オクタフルオロベンジジン、3,3’−メトキシベンジジン、o−トリジン、m−トリジン、2,2’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロトリジン、4,4’’−ジアミノターフェニル、4,4’’’−ジアミノクォーターフェニル等のジアミン類、並びにこれらのジアミンとホスゲン等の反応によって得られるジイソシアネート類、更にジアミノシロキサン類等が挙げられる。   On the other hand, examples of the diamine used in the present invention include p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 2'-methoxy-4,4'-diaminobenzanilide, 4,4'-diaminodiphenyl ether, diaminotoluene, 4,4. '-Diaminodiphenylmethane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl ] Propane, 1,2-bis (anilino) ethane, diaminodiphenylsulfone, diaminobenzanilide, diaminobenzoate, diaminodiphenyl sulfide, 2,2-bis (p-aminophenyl) propane, 2,2-bis (p- Aminophenyl) hexafluoropropane, 1,5-diaminonaphtha , Diaminotoluene, diaminobenzotrifluoride, 1,4-bis (p-aminophenoxy) benzene, 4,4 ′-(p-aminophenoxy) biphenyl, diaminoanthraquinone, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) Phenyl) diphenylsulfone, 1,3-bis (anilino) hexafluoropropane, 1,4-bis (anilino) octafluoropropane, 1,5-bis (anilino) decafluoropropane, 1,7-bis (anilino) tetra Decafluoropropane, 2,2-bis [4- (p-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [ 4- (2-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2 Bis [4- (4-aminophenoxy) -3,5-dimethylphenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) -3,5-ditrifluoromethylphenyl] hexafluoropropane, p-bis (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) benzene, 4,4′-bis (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (4-amino-3-) Trifluoromethylphenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) diphenylsulfone, 4,4′-bis (4-amino-5-trifluoromethylphenoxy) diphenylsulfone, 2, , 2-bis [4- (4-amino-3-trifluoromethylphenoxy) phenyl] hexafluoroprop , Benzidine, 3,3 ′, 5,5′-tetramethylbenzidine, octafluorobenzidine, 3,3′-methoxybenzidine, o-tolidine, m-tolidine, 2,2 ′, 5,5 ′, 6, Diamines such as 6′-hexafluorotolidine, 4,4 ″ -diaminoterphenyl, 4,4 ′ ″-diaminoquaterphenyl, diisocyanates obtained by reaction of these diamines with phosgene, and further diaminosiloxanes And the like.

また、ここで使用される溶媒としては、N−メチルピロリドン(NMP)、ジメチルホルムアミド(DMF)、ジメチルアセトアミド(DMAc)、ジメチルスルフォキサイド(DMSO)、硫酸ジメチル、スルホラン、ブチロラクトン、クレゾール、フェノール、ハロゲン化フェノール、シクロヘキサノン、ジオキサン、テトラヒドロフラン、ダイグライム等が挙げられる。   The solvents used here are N-methylpyrrolidone (NMP), dimethylformamide (DMF), dimethylacetamide (DMAc), dimethyl sulfoxide (DMSO), dimethyl sulfate, sulfolane, butyrolactone, cresol, phenol. , Halogenated phenol, cyclohexanone, dioxane, tetrahydrofuran, diglyme and the like.

なお、ポリイミドフィルムは、通常ピロメリット酸無水物と4,4’−ジアミノジフェニルエーテルとの縮合物や3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸無水物とp−フェニレンジアミンとの縮合物にて形成されているが、本発明者らは、熱硬化することで、ラミネートに使用するポリイミドフィルムと同じ化学構造及び同等の特性を与えるポリイミド接着層となるポリアミック酸を接着剤に用いる方法を鋭意検討した結果、接着剤としては、特にピロメリット酸無水物と4,4’−ジアミノジフェニルエーテルとの縮合物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸無水物とp−フェニレンジアミンとの縮合物又はそれらの混合物からなるポリアミック酸が特に好ましく、縮合反応は極性溶媒としてDMAc、NMPそれぞれ単独液中又は混合液中で行い、反応温度10〜40℃、反応液の濃度30質量%以下、芳香族テトラカルボン酸無水物と芳香族ジアミンとのモル比が0.95:1.00〜1.05:1.00の範囲でN2雰囲気下で反応させたものが好ましいことがわかった。なお、原料の溶解方法及び添加方法に特に限定はない。 The polyimide film is usually a condensate of pyromellitic anhydride and 4,4′-diaminodiphenyl ether or a condensate of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic anhydride and p-phenylenediamine. However, the present inventors have used a method of using, as an adhesive, a polyamic acid that becomes a polyimide adhesive layer that gives the same chemical structure and equivalent properties as a polyimide film used for lamination by thermosetting. As a result of intensive studies, the adhesives include, in particular, condensates of pyromellitic anhydride and 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic anhydride and p-phenylenediamine. A polyamic acid composed of a condensate with or a mixture thereof is particularly preferred, and the condensation reaction is carried out by using DMAc and NMP as polar solvents. The reaction temperature is 10 to 40 ° C., the concentration of the reaction solution is 30% by mass or less, and the molar ratio of aromatic tetracarboxylic acid anhydride to aromatic diamine is 0.95: 1.00 to 1 It was found that the reaction was carried out in a N 2 atmosphere within the range of .05: 1.00. There are no particular limitations on the method of dissolving and adding the raw materials.

更に、本発明においては、前記縮合物等を用いて共重合あるいは得られたポリアミック酸をブレンドして使用することも可能である。また、種々の特性改良を目的として、無機質、有機質又は金属等の粉末、繊維等を混合して使用することもできるほか、導体の酸化を防ぐ目的で酸化防止剤等の添加剤あるいは接着性の向上を目的としてシランカップリング剤を加えることも可能である。更には、接着性の向上等を目的として異種のポリマーをブレンドすることも可能である。   Furthermore, in the present invention, a polyamic acid copolymerized or obtained by using the condensate or the like can be blended and used. In addition, for the purpose of improving various properties, inorganic, organic or metal powders, fibers, etc. can be mixed and used, and additives such as antioxidants or adhesives are used for the purpose of preventing conductor oxidation. It is also possible to add a silane coupling agent for the purpose of improvement. Furthermore, different polymers can be blended for the purpose of improving adhesiveness.

なお、本発明に使用される上記耐熱性接着剤は、B型粘度計(東京計器社)により測定した20℃における粘度が100〜5,000mPa・sであることが好ましい。   The heat-resistant adhesive used in the present invention preferably has a viscosity of 100 to 5,000 mPa · s at 20 ° C. measured with a B-type viscometer (Tokyo Keiki Co., Ltd.).

本発明におけるポリイミド金属箔積層板の製造方法においては、前記ポリアミック酸のイミド化後の膜厚が好ましくは5μm以下となるように銅箔等の金属箔上にキャストし、イミド化が進行しない(好ましくはイミド化率5%未満)温度で溶剤含量が3〜50質量%となるまで乾燥後、厚みが30μm以下、かつその5torr、200℃におけるジメチルアセトアミドのガス透過量が0.1kg/m2・hr以上のポリイミドフィルムを温度150℃以下の加熱ロールプレスにてラミネートし、更にこれを10Pa以下の減圧下にて溶剤乾燥及びイミド化を行うことで、屈曲特性の優れたオールポリイミドフレキシブル金属箔積層板が製造できる。 In the method for producing a polyimide metal foil laminate according to the present invention, the polyamic acid is cast on a metal foil such as a copper foil so that the film thickness after imidation of the polyamic acid is preferably 5 μm or less, and imidization does not proceed ( (Preferably less than 5% imidization) After drying until the solvent content becomes 3 to 50% by mass at a temperature, the thickness is 30 μm or less, and the gas permeation amount of dimethylacetamide at 5 torr and 200 ° C. is 0.1 kg / m 2.・ All polyimide flexible metal foil with excellent bending characteristics by laminating a polyimide film of hr or higher with a heated roll press at a temperature of 150 ° C. or lower and further drying and imidizing the solvent under a reduced pressure of 10 Pa or lower. Laminates can be manufactured.

即ち、本発明の製造方法で使用される耐熱性接着剤は、ラミネートの時点においてイミド化率5%未満、より好ましくは3%未満、更に好ましくは1%未満のほぼポリアミック酸といえるものであり、かつ溶剤を含有するため軟化点が150℃以下、より好ましくは80〜150℃、更に好ましくは80〜120℃となるものである。該ポリアミック酸は、芳香族ジアミンと芳香族テトラカルボン酸無水物とを極性溶媒中で反応させて得られるものであり、反応液をそのままワニスとして接着剤に用いることができる。   That is, the heat-resistant adhesive used in the production method of the present invention can be said to be a substantially polyamic acid having an imidization rate of less than 5%, more preferably less than 3%, and even more preferably less than 1% at the time of lamination. In addition, since it contains a solvent, the softening point is 150 ° C. or lower, more preferably 80 to 150 ° C., and still more preferably 80 to 120 ° C. The polyamic acid is obtained by reacting an aromatic diamine and an aromatic tetracarboxylic acid anhydride in a polar solvent, and the reaction solution can be used as it is as a varnish for an adhesive.

ポリアミック酸を塗布する厚さとしては、イミド化後の接着剤層の厚さが5μm以下、より好ましくは2〜5μm、更に好ましくは2〜4μmとなるように塗布するのが好ましい。イミド化後の接着剤層の厚さが5μmより大きいと、積層板のカールが大きくなるおそれがある。   It is preferable to apply the polyamic acid so that the thickness of the adhesive layer after imidization is 5 μm or less, more preferably 2 to 5 μm, and still more preferably 2 to 4 μm. If the thickness of the adhesive layer after imidization is larger than 5 μm, the curl of the laminate may be increased.

本発明において、好ましくは上記ポリアミック酸ワニスを圧延銅箔等の金属箔の処理面に塗布、乾燥を行うが、装置及び方法に特に限定はなく、塗布はコンマコーター、Tダイ、ロールコーター、ナイフコーター、リバースコーター、リップコーターなどを使用すればよく、乾燥は加熱ロールプレスに通す時点で、溶剤含量が3〜50質量%、好ましくは3〜10質量%で、かつイミド化が進行しない(イミド化率5%未満)ポリアミック酸のままで、接着に供する120℃以下、より好ましくは80〜120℃の温度で適宜乾燥すればよい。   In the present invention, preferably, the polyamic acid varnish is applied to a treated surface of a metal foil such as a rolled copper foil and dried, but the apparatus and method are not particularly limited, and the application is a comma coater, T die, roll coater, knife What is necessary is just to use a coater, a reverse coater, a lip coater, etc., and when drying passes through a heated roll press, the solvent content is 3 to 50% by mass, preferably 3 to 10% by mass, and imidization does not proceed (imide) The degree of conversion is less than 5%) The polyamic acid remains as it is, and it may be appropriately dried at a temperature of 120 ° C. or lower, more preferably 80 to 120 ° C. for adhesion.

ここで、溶剤含量が50質量%を超えると、ロールプレス時やアフターキュア時に気泡や膨れを生じるおそれがあり、また、溶剤含量が3質量%を下まわるまで熱履歴をかけると、部分的にイミド化が始まり、かつポリアミック酸層の軟化点が150℃を超えるようになるため、熱ロールプレスにてラミネートする際に高温、高圧が必要となり、設備コストが高くなる場合が生じる。   Here, if the solvent content exceeds 50% by mass, bubbles or blisters may occur during roll pressing or after-curing, and if a heat history is applied until the solvent content falls below 3% by mass, partially Since imidization starts and the softening point of the polyamic acid layer exceeds 150 ° C., high temperature and high pressure are required when laminating with a hot roll press, and the equipment cost may increase.

ロールプレスの加熱方法は、ロールを直接オイルやスチーム等で加熱する方法が挙げられ、また、ロール材質もカーボンスチール等の金属ロールや、耐熱性のフッ素ゴムやシリコーンゴムからなるゴムロールなどが使用される。   Examples of the heating method of the roll press include a method in which the roll is directly heated with oil or steam, and the roll material is a metal roll such as carbon steel or a rubber roll made of heat-resistant fluoro rubber or silicone rubber. The

また、ロールプレス時の加熱温度は、乾燥後の溶剤含有ポリアミック酸の軟化点以上の範囲で、かつ使用される溶剤の沸点以下である150℃以下であることが必要であり、好ましくは100〜150℃である。加熱温度が150℃を超えるとプレス後にフィルム表面に膨れを生じてしまう。
ロールプレス条件については特に限定はないが、線圧は5〜100kg/cm、特に10〜70kg/cmの範囲で行うことが好ましい。
Moreover, the heating temperature at the time of roll press needs to be 150 degrees C or less which is the range of the softening point of the solvent-containing polyamic acid after drying, and below the boiling point of the solvent used, Preferably it is 100- 150 ° C. When the heating temperature exceeds 150 ° C., the film surface is swollen after pressing.
The roll press conditions are not particularly limited, but the linear pressure is preferably 5 to 100 kg / cm, particularly 10 to 70 kg / cm.

ラミネート後の溶剤乾燥及びイミド化については、絶対圧力10Pa以下、好ましくは0.001〜8Paの減圧状態にて行うことが必要である。溶剤乾燥及びイミド化時の圧力が10Paより高いと、得られるオールポリイミドのフレキシブル金属箔ポリイミド積層板の屈曲性が急激に低下してしまう。   About solvent drying and imidation after lamination, it is necessary to carry out in the pressure-reduced state of absolute pressure 10Pa or less, Preferably 0.001-8Pa. If the pressure at the time of solvent drying and imidization is higher than 10 Pa, the flexibility of the obtained all-polyimide flexible metal foil polyimide laminate will be rapidly lowered.

該溶剤除去及びイミド化を行う際の形態は、シート状でもロール状でもよく、ロールの巻き方についても特に限定はなく、銅箔等の金属箔を内側にしても外側にしてもよく、更にはスペーサーを挟んだロール状でもよい。
この場合、本発明の方法においては、溶剤除去及びイミド化においてラミネート後の残溶剤やイミド化時の脱水分が発生するため、好ましくはゆる巻きを行うか、他の材質のスペーサーを挟んだロール状態で加熱処理を行ってもよい。
The form for performing the solvent removal and imidization may be a sheet or a roll, and there is no particular limitation on how to roll the roll, and a metal foil such as a copper foil may be inside or outside, May be in the form of a roll with a spacer in between.
In this case, in the method of the present invention, a solvent remaining after lamination and dehydration at the time of imidization are generated in solvent removal and imidization, and therefore rolls are preferably performed by loosely winding or sandwiching spacers of other materials. You may heat-process in a state.

なお、上述した製造方法は、片面金属箔ポリイミド積層板の製造方法についてであるが、本発明は、両面金属箔ポリイミド積層板の製造方法にも好適に適用される。両面金属箔ポリイミド積層板の製造においては、ポリイミドフィルムのラミネートを行った片面品のフィルム面と、別の金属箔上にポリアミック酸層を形成し、溶剤除去を行ったもののポリアミック酸側とを互いに熱ロールラミネートにより接着させ、両面金属箔ポリイミド積層板とする。ラミネート条件及びキュア(イミド化)条件等は片面品の製造方法と同じであってよい。   In addition, although the manufacturing method mentioned above is about the manufacturing method of a single-sided metal foil polyimide laminated board, this invention is applied suitably also to the manufacturing method of a double-sided metal foil polyimide laminated board. In the production of a double-sided metal foil polyimide laminate, the film surface of a single-sided product laminated with a polyimide film and the polyamic acid side of the one where a polyamic acid layer is formed on another metal foil and the solvent is removed are mutually connected. It is made to adhere by hot roll lamination to form a double-sided metal foil polyimide laminate. Lamination conditions, curing (imidization) conditions, and the like may be the same as in the method for producing a single-sided product.

以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。なお、下記の例において部及び%はそれぞれ質量部と質量%を示す。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example are shown and this invention is demonstrated concretely, this invention is not restrict | limited to the following Example. In addition, in the following example, a part and% show a mass part and mass%, respectively.

[実施例1,2]
ポリアミック酸の合成
ピロメリット酸無水物218.5gをN,N−ジメチルアセトアミド1kgに加え、N2雰囲気下で攪拌し、10℃に保っているところへ、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル200.5gをN,N−ジメチルアセトアミド1kgに溶解したものを、内温が15℃を超えないように除々に添加した。その後、10〜15℃で2時間反応させた後、更に室温で6時間反応を行った。反応終了後の粘度をB型粘度計(東京計器社)で測定したところ3,000mPa・s(20℃における粘度)であった。
[Examples 1 and 2]
Synthesis of polyamic acid 218.5 g of pyromellitic anhydride was added to 1 kg of N, N-dimethylacetamide, and the mixture was stirred under N 2 atmosphere and kept at 10 ° C., and 200.5 g of 4,4′-diaminodiphenyl ether. Was dissolved in 1 kg of N, N-dimethylacetamide and gradually added so that the internal temperature did not exceed 15 ° C. Then, after making it react at 10-15 degreeC for 2 hours, it reacted at room temperature for 6 hours. When the viscosity after completion of the reaction was measured with a B-type viscometer (Tokyo Keiki Co., Ltd.), it was 3,000 mPa · s (viscosity at 20 ° C.).

積層板の作製
30cm×25cmにカットした35μm圧延銅箔に、上記のように調製したポリアミック酸ワニスを、液の厚さで60μmとなるようにアプリケーターにより塗工したものを実施例1とし、液の厚さで90μmとなるようにアプリケーターにより塗工したものを実施例2としてオーブンで120℃×5分乾燥を行った。ポリアミック酸層は残溶剤量5質量%、イミド化率3%、軟化点120℃であった。これに30cm×25cmにカットした25μmアピカルNPI(鐘淵化学工業(株)製)を重ねて、西村マシナリー社製のテストロールラミネート機(加熱ロールプレス機)を用い、120℃×15kg/cm×4m/minでラミネートを行った。これを真空オーブンにて、5Paまで減圧後、350℃まで1時間で昇温し、350℃のまま1時間加熱処理を行った。得られた積層板は、実施例1では銅箔35μm、ポリイミド層30μm、実施例2では銅箔35μm、ポリイミド層32.5μmであった。得られたサンプルのカール量、MIT耐折性、IPC屈曲特性の評価を下記方法により行った結果を、表1に示す。なお、使用したポリイミドフィルムのDMAc透過量を下記方法により測定し、結果を表1に併記した。
Preparation of laminated plate A 35 μm rolled copper foil cut to 30 cm × 25 cm was coated with the polyamic acid varnish prepared as described above by an applicator so that the thickness of the liquid was 60 μm. What was coated with the applicator so that it might become 90 micrometers in thickness was dried as 120 degreeC x 5 minutes in Example 2 as oven. The polyamic acid layer had a residual solvent amount of 5 mass%, an imidization ratio of 3%, and a softening point of 120 ° C. A 25 μm apical NPI (manufactured by Kaneka Chemical Industry Co., Ltd.) cut to 30 cm × 25 cm was layered thereon, and a test roll laminating machine (heating roll press machine) manufactured by Nishimura Machinery was used, and 120 ° C. × 15 kg / cm × Lamination was performed at 4 m / min. This was decompressed to 5 Pa in a vacuum oven, heated to 350 ° C. over 1 hour, and heat-treated for 1 hour while maintaining 350 ° C. In Example 1, the obtained laminated plate had a copper foil of 35 μm and a polyimide layer of 30 μm, and in Example 2, the copper foil of 35 μm and the polyimide layer of 32.5 μm. Table 1 shows the results of evaluating the curl amount, MIT folding resistance, and IPC bending characteristics of the obtained samples by the following methods. The DMAc permeation amount of the polyimide film used was measured by the following method, and the results are shown in Table 1.

積層板のカール量の測定
本来、フレキシブルプリント回路基板には所望の電気回路が形成されているが、本実施例では、電気回路の形状が及ぼすフラット性への影響を考慮して、最もカールが発生しやすい、フレキシブル金属箔ポリイミド積層板の全面エッチング(銅箔の完全除去)品を持ってフレキシブル回路基板とし、上記で得られた積層板を、15cm×15cmにカットして、その銅箔面の全面エッチングを行った後、150℃×1時間の条件で乾燥した。そのサンプルを定盤の上に置き4隅の反りの高さを測定し、その反りの高さの平均値をカール量とした。
Measurement of curl amount of laminated board Originally, a desired electric circuit is formed on a flexible printed circuit board, but in this embodiment, the effect of the shape of the electric circuit on the flatness is taken into account. Take a flexible metal foil polyimide laminated board that is easy to generate, and make a flexible circuit board with a fully etched (completely removed copper foil) product, cut the laminated board obtained above into 15 cm x 15 cm, and then the copper foil surface After performing the whole surface etching, it was dried at 150 ° C. for 1 hour. The sample was placed on a surface plate, the heights of the four corners were measured, and the average value of the heights of the warp was taken as the curl amount.

MIT耐折性
JIS C6471に定められた回路を作製し、これについて折曲半径0.8mm、折曲速度175回/分、荷重500gの条件で、MD方向の耐折回数を測定した。
MIT folding resistance A circuit defined in JIS C6471 was produced, and the number of folding in the MD direction was measured under the conditions of a bending radius of 0.8 mm, a bending speed of 175 times / minute, and a load of 500 g.

IPC屈曲特性
積層板の銅箔層に、IPC FC 241に定められた回路パターンを作製し、銅箔を外側にして、温度80℃、屈曲半径1.5mm、屈曲速度1,500回/分、ストローク20mmで繰り返し屈曲を行い、回路の抵抗値が10%を超えた回数又は回路が破断した回数を屈曲回数とした。
A circuit pattern defined in IPC FC 241 is prepared on the copper foil layer of the IPC flexural properties laminate, with the copper foil facing outside, a temperature of 80 ° C., a flexion radius of 1.5 mm, a flexion speed of 1,500 times / minute, Bending was repeated at a stroke of 20 mm, and the number of times that the resistance value of the circuit exceeded 10% or the number of times the circuit was broken was defined as the number of times of bending.

ポリイミドフィルムのDMAc透過量の測定
図1に示したように、容量300mlのねじ口瓶1内にDMAc2を100ml入れ、瓶1の口部上端面上に表1に示した25μm厚さのポリイミドフィルム3を置き、その上にSUSメッシュ4、更にその上にNBR製パッキン5を置き、これらを穴あきキャップ(蓋の切り口の直径26mm)6を瓶1に螺合することによって瓶1口部との間に挟み、楠本化成社製の真空オーブンETACVT220にて200℃×5torr×1時間加熱した場合の溶剤(DMAc)の減量分を測定し、kg/m2・hrに換算した。結果を表1に示す。
Measurement of DMAc Permeation Amount of Polyimide Film As shown in FIG. 1, 100 ml of DMAc 2 is placed in a screw mouth bottle 1 having a capacity of 300 ml, and a polyimide film having a thickness of 25 μm shown in Table 1 is formed on the upper end surface of the mouth of the bottle 1. 3 is placed, SUS mesh 4 is placed thereon, NBR packing 5 is placed thereon, and a holed cap (26 mm diameter of the lid cut end) 6 is screwed into the bottle 1 to form one bottle portion. The amount of solvent (DMAc) lost when heated at 200 ° C. × 5 torr × 1 hour in a vacuum oven ETACVT 220 manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd. was measured and converted to kg / m 2 · hr. The results are shown in Table 1.

[比較例1〜6]
比較例1、2は表2に示した条件で乾燥を行った以外は、実施例1と同様にラミネートし、MIT耐折性、IPC屈曲特性、DMAc透過量の評価を行った。また比較例3は使用するポリイミドフィルムをアピカルNPIからユーピレックスSに変更した以外は実施例1と同様に乾燥、ラミネートを行い、更に比較例4、5はN2イナートオーブンにて表2に示した条件で、また比較例6は通常オーブンにて表2に示した条件で乾燥を行った以外は、実施例1と同様に乾燥、ラミネートし、MIT耐折性、IPC屈曲特性、DMAc透過量の評価を行った。結果を表2に示す。
[Comparative Examples 1-6]
Comparative Examples 1 and 2 were laminated in the same manner as in Example 1 except that drying was performed under the conditions shown in Table 2, and MIT folding resistance, IPC bending characteristics, and DMAc permeation amount were evaluated. Comparative Example 3 was dried and laminated in the same manner as in Example 1 except that the polyimide film used was changed from Apical NPI to Upilex S. Further, Comparative Examples 4 and 5 are shown in Table 2 in an N 2 inert oven. Conditions, and Comparative Example 6 was dried and laminated in the same manner as in Example 1 except that drying was performed in a normal oven under the conditions shown in Table 2, and the MIT folding resistance, IPC bending characteristics, and DMAc permeation amount were measured. Evaluation was performed. The results are shown in Table 2.

Figure 0004379609
Figure 0004379609

Figure 0004379609
Figure 0004379609

ポリイミドフィルムのジメチルアセトアミド(DMAc)のガス透過量の測定具の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the measuring tool of the gas permeation amount of the dimethylacetamide (DMAc) of a polyimide film.

符号の説明Explanation of symbols

1 瓶
2 DMAc
3 ポリイミドフィルム
4 SUSメッシュ
5 NBR製パッキン
6 穴あきキャップ
1 bottle 2 DMAc
3 Polyimide film 4 SUS mesh 5 NBR packing 6 Hole cap

Claims (4)

耐熱性接着剤を塗布した金属箔とポリイミドフィルムとを加熱ロールプレスにてラミネート後、加熱処理により接着剤層の残溶剤を除去し、熱硬化してフレキシブル金属箔ポリイミド積層板を製造する方法であって、耐熱性接着剤として、ラミネートの時点において溶剤含量が3〜50質量%で、イミド化率5%未満のポリアミック酸を使用し、ポリイミドフィルムとして厚みが30μm以下、かつその5torr、200℃におけるジメチルアセトアミドのガス透過量が0.1kg/m2・hr以上であるものを使用し、150℃以下の温度で加熱ロールプレスにてラミネート後、絶対圧力10Pa以下の減圧下にて加熱処理及び熱硬化を行うことを特徴とするフレキシブル金属箔ポリイミド積層板の製造方法。 After laminating the metal foil and polyimide film coated with heat-resistant adhesive with a heated roll press, the residual solvent of the adhesive layer is removed by heat treatment, and heat-cured to produce a flexible metal foil polyimide laminate. As a heat-resistant adhesive, a polyamic acid having a solvent content of 3 to 50% by mass at the time of lamination and an imidization ratio of less than 5% is used, and a polyimide film has a thickness of 30 μm or less, and its 5 torr, 200 ° C. The gas permeation amount of dimethylacetamide at 0.1 kg / m 2 · hr or more was used, laminated at a temperature of 150 ° C. or less with a heated roll press, and then subjected to heat treatment under a reduced pressure of 10 Pa or less in absolute pressure. A method for producing a flexible metal foil polyimide laminate, characterized by thermosetting. 接着剤成分が、ピロメリット酸無水物と4,4’−ジアミノジフェニルエーテルとの縮合物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸無水物とp−フェニレンジアミンとの縮合物又はそれらの混合物から選ばれるポリアミック酸である請求項1記載のフレキシブル金属箔ポリイミド積層板の製造方法。   Adhesive component is a condensate of pyromellitic anhydride and 4,4′-diaminodiphenyl ether, a condensate of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic anhydride and p-phenylenediamine or the like The method for producing a flexible metal foil polyimide laminate according to claim 1, wherein the polyamic acid is selected from a mixture of the above. 金属箔が10μm以上の圧延銅箔でかつ耐熱性接着剤層が5μm以下である請求項1又は2記載のフレキシブル金属箔ポリイミド積層板の製造方法。   The method for producing a flexible metal foil polyimide laminate according to claim 1 or 2, wherein the metal foil is a rolled copper foil of 10 µm or more and the heat-resistant adhesive layer is 5 µm or less. 耐熱性接着剤が、ラミネートの時点において軟化点150℃以下のポリアミック酸である請求項1,2又は3記載のフレキシブル金属箔ポリイミド積層板の製造方法。  The method for producing a flexible metal foil polyimide laminate according to claim 1, 2 or 3, wherein the heat-resistant adhesive is a polyamic acid having a softening point of 150 ° C or lower at the time of lamination.
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