JP4358682B2 - Conductivity inspection method for conductor pattern of suspension board with circuit - Google Patents
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Description
本発明は、回路付サスペンション基板の導体パターンの導通検査方法に関する。 The present invention relates to a continuity inspection method for a conductor pattern of a suspension board with circuit.
導体パターンを備えた配線回路基板は、通常、製造時において、電気的な導通検査が実施されている。
例えば、回路付サスペンション基板と制御回路基板とを中継するための配線回路基板では、サスペンション基板側接点と制御回路基板側接点とが長手方向において所定間隔を隔てて設けられており、それらサスペンション基板側接点と制御回路基板側接点との間よりも長手方向外方に、電気的な導通検査を実施するための検査用接点が設けられている(例えば、特許文献1参照。)。
A printed circuit board having a conductor pattern is usually subjected to an electrical continuity test at the time of manufacture.
For example, in a wired circuit board for relaying a suspension board with circuit and a control circuit board, the suspension board side contact and the control circuit board side contact are provided at predetermined intervals in the longitudinal direction. An inspection contact for performing an electrical continuity inspection is provided on the outer side in the longitudinal direction than between the contact and the control circuit board side contact (for example, refer to Patent Document 1).
また、近年、上記した中継のための配線回路基板を一体的に備える、ロングテールタイプの回路付サスペンション基板が知られており、このようなロングテールタイプの回路付サスペンション基板においても、やはり、検査用接点は、磁気ヘッド側接点と制御回路基板側接点との間よりも長手方向外方に設けられている。
そして、このような検査用接点は、検査後は不要であるため、特許文献1に記載されるように、検査後に切断除去される。
Since such an inspection contact is unnecessary after the inspection, as described in
しかし、上記したような検査用接点を設けると、サスペンション基板側接点(または磁気ヘッド側接点)と制御回路基板側接点との間よりも長手方向外方に検査用接点を設ける分だけ、回路付サスペンション基板が、長手方向において長くなる。そのため、例えば、多数の回路付サスペンション基板を打ち抜きにより製造する場合には、一定面積内で製造できる製品の数量が減少し、製品単価の上昇を生じる。 However, when the inspection contact as described above is provided, the circuit is provided by the amount that the inspection contact is provided on the outer side in the longitudinal direction than between the suspension board side contact (or the magnetic head side contact) and the control circuit board side contact. The suspension board becomes longer in the longitudinal direction. Therefore, for example, when a large number of suspension boards with circuits are manufactured by punching, the number of products that can be manufactured within a certain area is reduced, resulting in an increase in product unit price.
また、検査用接点と、その検査用接点に隣り合う制御回路基板側接点またはサスペンション基板側接点(または磁気ヘッド側接点)との間に、断線または短絡を生じると、製品自体に異常のない良品であっても、導通検査において不良品と判定されるので、その不良と判定された良品を省いてしまい(オーバーキル)、製造効率の低下を生じる。
本発明の目的は、製品単価の低減および製造効率の向上を図りつつ、確実な導通検査を実施することのできる、回路付サスペンション基板の導体パターンの導通検査方法を提供することにある。
In addition, if a disconnection or a short circuit occurs between the inspection contact and the control circuit board side contact or suspension board side contact (or magnetic head side contact) adjacent to the inspection contact, the product itself is normal. Even so, since it is determined as a defective product in the continuity test, the non-defective product determined to be defective is omitted (overkill), resulting in a decrease in manufacturing efficiency.
An object of the present invention is to provide a method for inspecting the continuity of a conductor pattern of a suspension board with circuit, which can perform a reliable continuity test while reducing the unit price of the product and improving the manufacturing efficiency.
上記の目的を達成するため、本発明の回路付サスペンション基板の導体パターンの導通検査方法は、支持基板と、前記支持基板の上に形成されたベース絶縁層と、前記ベース絶縁層の上に形成された導体パターンと、前記導体パターンを被覆するように、前記ベース絶縁層の上に形成されたカバー絶縁層とを備えた、磁気ヘッドを実装する前の回路付サスペンション基板の導通検査方法であって、前記導体パターンは、磁気ヘッド側端子部と、基板側端子部と、前記磁気ヘッド側端子部および前記基板側端子部を接続する配線とを備え、前記支持基板および前記ベース絶縁層における、前記磁気ヘッド側端子部および前記基板側端子部に対応する位置を含む部分と、前記カバー絶縁層における、前記磁気ヘッド側端子部および基板側端子部に対応する位置を含む部分とが、開口され、前記導体パターンの表面の、前記磁気ヘッド側端子部および前記基板側端子部に対応する位置を含む部分が、前記カバー絶縁層から露出されて、接続用端子として用いられ、その接続用端子として用いられる導体パターンの表面に対応する裏面が、前記支持基板および前記ベース絶縁層から露出されて、導通検査用端子として用いられ、前記導通検査用端子が、検査用プローブに接触されて、導電されることを特徴としている。 In order to achieve the above object, a conductive pattern continuity inspection method for a suspension board with circuit of the present invention includes a support substrate, a base insulating layer formed on the support substrate, and a base insulating layer formed on the base insulating layer. And a continuity inspection method for a suspension board with circuit before mounting a magnetic head, comprising: a conductive pattern, and a cover insulating layer formed on the base insulating layer so as to cover the conductor pattern. The conductor pattern includes a magnetic head side terminal portion, a substrate side terminal portion, and a wiring connecting the magnetic head side terminal portion and the substrate side terminal portion, and in the support substrate and the base insulating layer, A portion including a position corresponding to the magnetic head side terminal portion and the substrate side terminal portion; and the magnetic head side terminal portion and the substrate side terminal portion in the cover insulating layer. A portion including a corresponding position is opened, and a portion including a position corresponding to the magnetic head side terminal portion and the substrate side terminal portion on the surface of the conductor pattern is exposed from the insulating cover layer and connected. The back surface corresponding to the surface of the conductor pattern used as the connection terminal is exposed from the support substrate and the base insulating layer and used as a continuity test terminal. , is contacted to the inspection probe is conductive is characterized in Rukoto.
本発明の回路付サスペンション基板の導体パターンの導通検査方法によれば、磁気ヘッドを実装する前の回路付サスペンション基板において、接続用端子として用いられる磁気ヘッド側端子部および基板側端子部の表面に対応する裏面を、導通検査用端子として用いるので、接続用端子間よりも長手方向外方に導通検査用端子を設ける場合に比べて、長手方向の長さを短縮することができる。そのため、多数の回路付サスペンション基板を打ち抜きにより製造する場合において、一定面積内で製造できる製品の数量を増加させて、製品単価を減少させることができる。 According to the continuity inspection method for the conductor pattern of the suspension board with circuit of the present invention, on the suspension board with circuit before mounting the magnetic head, the magnetic head side terminal portion used as a connection terminal and the surface of the substrate side terminal portion are used. Since the corresponding back surface is used as a continuity test terminal, the length in the longitudinal direction can be shortened compared to the case where the continuity test terminal is provided on the outer side in the longitudinal direction than between the connection terminals. Therefore, when a large number of suspension boards with circuits are manufactured by punching, the number of products that can be manufactured within a certain area can be increased, and the unit price of the product can be decreased.
また、本発明の回路付サスペンション基板の導体パターンの導通検査方法によれば、接続用端子間よりも長手方向外方に導通検査用端子を設ける場合のように、導通検査用端子と、その導通検査用端子に隣り合う接続用端子との間に断線または短絡を生じないので、導通検査において、確実な判定を確保することができる。そのため、製造効率の向上を図ることができる。 Further, according to the continuity inspection method for the conductor pattern of the suspension board with circuit of the present invention, the continuity test terminal and the continuity test terminal are provided as in the case where the continuity test terminal is provided in the longitudinal direction outwardly between the connection terminals. Since no disconnection or short circuit occurs between the connection terminal adjacent to the inspection terminal, reliable determination can be ensured in the continuity inspection. Therefore, the manufacturing efficiency can be improved.
図1は、本発明の回路付サスペンション基板の一実施形態を示す平面図、図2は、図1に示す回路付サスペンション基板における基板側端子部の側断面図(回路付サスペンション基板の長手方向に沿う断面図)である。
図1において、この回路付サスペンション基板1は、ハードディスクドライブの磁気ヘッド(図示せず)を実装して、その磁気ヘッドを、磁気ヘッドと磁気ディスクとが相対的に走行するときの空気流に抗して、磁気ディスクとの間に微小な間隔を保持しながら支持するものであり、磁気ヘッドと制御回路基板とを接続するための導体パターン4が、一体的に形成されている、ロングテールタイプの回路付サスペンション基板である。
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a suspension board with circuit of the present invention, and FIG. 2 is a side sectional view of a terminal portion on the board side in the suspension board with circuit shown in FIG. FIG.
In FIG. 1, this suspension board with
この回路付サスペンション基板1は、図2に示すように、長手方向に延びる金属支持層としての支持基板2と、その支持基板2の上に形成された絶縁層としてのベース絶縁層3と、そのベース絶縁層3の上に形成された導体パターン4と、その導体パターン4を被覆するように、ベース絶縁層3の上に形成された被覆層としてのカバー絶縁層5とを備えている。
As shown in FIG. 2, the suspension board with
なお、回路付サスペンション基板1は、通常、連続する長尺の支持基板2の上に、複数のベース絶縁層3、導体パターン4およびカバー絶縁層5を順次積層した後に、最終工程において、各回路付サスペンション基板1ごとに打ち抜くことにより、製造される。
支持基板2は、例えば、ステンレスや42アロイなどの金属薄板からなり、図1に示すように、長手方向に沿って略クランク形状に形成され、その先端部(長手方向一端部)には、ジンバル部6が形成され、その後端部(長手方向他端部)には、制御回路基板と接続するための基板側端子部7が形成されている。
Note that the suspension board with
The
ベース絶縁層3は、例えば、ポリイミド樹脂などの合成樹脂からなり、支持基板2の上に連続して形成されており、先端部においては、ジンバル部6の後述する磁気ヘッド側端子部8に形成され、また、後端部においては、基板側端子部7に形成されている。また、先端部および後端部の間においては、支持基板2の幅方向(長手方向に直交する方向)両側にそれぞれ形成されている。
The
導体パターン4は、例えば、銅箔などの金属箔からなり、先端部および後端部の間において、支持基板2の幅方向両側に形成されているベース絶縁層3の上に、並列配置される複数(各2つ)の配線16(以下、各配線16を区別する場合には、16a、16b、16cおよび16dとする。)として形成されている。
すなわち、各配線16は、長手方向に沿って設けられ、1対の配線16aおよび16b、16cおよび16dが、幅方向において互いに間隔を隔てて、各ベース絶縁層3の上に並列配置されている。
The conductor pattern 4 is made of, for example, a metal foil such as a copper foil, and is arranged in parallel on the
That is, each
また、各配線16は、先端部において、その遊端部が、磁気ヘッド側端子部8の複数の端子17(以下、各端子17を区別する場合には、17a、17b、17cおよび17dとする。)とされ、後端部において、その遊端部が、基板側端子部7の複数の端子18(以下、各端子18を区別する場合には、18a、18b、18cおよび18dとする。)とされている。
In addition, each
また、カバー絶縁層5は、例えば、ポリイミド樹脂などの合成樹脂からなり、図1では省略されているが、図2に示すように、各配線16を被覆するように、ベース絶縁層3の上に、ベース絶縁層3に沿って形成されている。
また、基板側端子部7では、各配線16の遊端部が、上記したように、制御回路基板と接続するための平面視略矩形状の端子18とされている。
The
Moreover, in the board | substrate side terminal part 7, the free end part of each
各端子18は、幅方向に沿って互いに間隔を隔てて並列配置されている。また、支持基板2およびベース絶縁層3における各端子18に対応する位置を含む部分、および、カバー絶縁層5における各端子18に対応する位置を含む部分は、平面視略矩形状に開口されている。これによって、各端子18は、その裏面が支持基板2およびベース絶縁層3から露出され、その表面がカバー絶縁層5から露出され、つまり、各端子18の両面が露出されるように形成されている。
The
このような、基板側端子部7の各端子18は、例えば、回路付サスペンション基板1の製造において、まず、各端子18に対応する位置を含む平面視略矩形部分に、開口部分9が形成されるように、支持基板2の上にベース絶縁層3を形成し、次いで、導体パターン4の各配線16の形成と同時に、ベース絶縁層3の開口部分9から露出される支持基板2の上に各端子18を形成した後、各端子18に対応する位置を含む平面視略矩形部分に、開口部分10が形成されるように、導体パターン4を含むベース絶縁層3の上にカバー絶縁層5を形成し、その後、支持基板2における各端子18に対応する位置を含む平面視略矩形部分を、エッチングなどにより除去して、開口部分11を形成することにより、形成することができる。
For example, in manufacturing the suspension board with
なお、開口部分9が形成されるベース絶縁層3、および、開口部分11が形成されるカバー絶縁層5は、特に制限されず、例えば、感光性樹脂を用いて露光および現像するパターンニング法や、プラズマエッチングなどのエッチング法、あるいは、予めパンチング加工により開口部分を形成した樹脂フィルムの貼着など、公知の方法により形成することができる。
The
なお、このようにして形成された基板側端子部7では、各端子18は、各配線16から連続して、カバー絶縁層5の開口部分9において、カバー絶縁層5の厚さ方向に、凹状に窪むように形成されている。また、支持基板2の開口部分11は、カバー絶縁層5の開口部分9よりも大きく形成されており、これによって、各端子18と、支持基板2の開口部分11の端縁との接触による短絡が防止されている。
In the substrate-side terminal portion 7 formed in this way, each
また、ベース絶縁層3の開口部分9および支持基板2の開口部分11から露出される各端子18の裏面、および、カバー絶縁層5の開口部分10から露出される各端子18の表面には、それぞれ、ニッケルめっき層や金めっき層からなるめっき層12が形成されている。
ジンバル部6には、図1に示すように、磁気ヘッドが搭載されるスライダーを実装するために、舌状に切り欠かれたタング部19と、そのタング部19の幅方向両側に設けられるアウトリガー部20とが形成されている。また、タング部19の先端部には、磁気ヘッドと接続するための磁気ヘッド側端子部8が形成されている。
In addition, on the back surface of each
As shown in FIG. 1, the
磁気ヘッド側端子部8において、各配線16の遊端部が、上記したように、磁気ヘッドと接続するための平面視略矩形状の端子17とされている。
各端子17は、幅方向に沿って互いに間隔を隔てて並列配置されている。また、支持基板2およびベース絶縁層3における各端子17に対応する位置を含む部分、および、カバー絶縁層5における各端子17に対応する位置を含む部分は、平面視略矩形状に開口されている。これによって、各端子17は、基板側端子部7の各端子18と同様に、その裏面が支持基板2およびベース絶縁層3から露出され、その表面がカバー絶縁層5から露出され、つまり、各端子17の両面が露出されるように形成されている。
In the magnetic head side terminal portion 8, the free end portion of each
The
このような、磁気ヘッド側端子部8の各端子17は、上記した基板側端子部7の各端子18と同様の方法により、形成することができる。
なお、このような基板側端子部7および磁気ヘッド側端子部8を備える回路付サスペンション基板1は、特に制限されず、公知の方法により製造することができる。例えば、特開2001−350272号公報に準拠して、製造することができる。但し、特開2001−350272号公報に準拠する場合には、ベース絶縁層3の上に、クロム薄膜をスパッタリングで形成することにより、ベース絶縁層3の開口部分9から露出する支持基板2の上にもクロム薄膜を形成し、そのクロム薄膜をバリア層として、各端子17および18を形成する。
Each
Note that the suspension board with
そして、本発明の回路付サスペンション基板の導体パターンの導通検査方法は、このようにして得られた回路付サスペンション基板1において、例えば、図2に示すように、基板側端子部7の各端子18の表面を、制御回路基板と接続するための接続用端子13とする一方で、基板側端子部7の各端子18の裏面を、導通検査のための検査用プローブ14と接続するための導通検査用端子15とする。
And the continuity inspection method of the conductor pattern of the suspension board with circuit of the present invention is such that each terminal 18 of the board-side terminal portion 7 in the suspension board with
そして、導通検査は、通常、回路付サスペンション基板1の製造後、工場出荷前に、良品と不良品とを判定するために実施される。例えば、図2の仮想線で示すように、導通検査用端子15と、検査用プローブ14とを接続して、その検査用プローブ14から、通電することにより、導通が正常か不良かを検査する。正常である場合には、良品と判定して、製品として出荷する。また、導通が不良である場合には、不良品と判定して、製品としての出荷を停止する。
And a continuity test is normally implemented in order to determine a good product and a defective product after manufacture of the suspension board with
なお、検査用プローブ14と接続された導通検査用端子15は、その接続に起因して損傷などを生じる場合があり、そのため、その後に、制御回路基板との接続に用いないようにする。
そして、このような導通検査方法では、磁気ヘッドを実装する前の回路付サスペンション基板1において、接続用端子13として用いられる磁気ヘッド側端子部8および基板側端子部7の表面に対応する裏面が、導通検査用端子15として用いられるので、例えば、従来のように、磁気ヘッド側端子部8と基板側端子部7との間よりも長手方向外方に導通検査用端子15を設ける必要がなく、回路付サスペンション基板1の長手方向の長さを短縮することができる。そのため、多数の回路付サスペンション基板1を、連続するシート状に形成し、その後、各回路付サスペンション基板1ごとに、打ち抜きにより製造する場合において、一定面積内で製造できる製品の数量を増加させて、製品単価を減少させることができる。
Note that the
In such a continuity inspection method, the back surface corresponding to the surfaces of the magnetic head side terminal portion 8 and the substrate side terminal portion 7 used as the
また、この導通検査方法によれば、磁気ヘッド側端子部8と基板側端子部7との間よりも長手方向外方に導通検査用端子15を設ける場合のように、導通検査用端子15と、その導通検査用端子15に隣り合う基板側端子部7または磁気ヘッド側端子部8との間に断線または短絡を生じないので、導通検査において、確実な判定を確保することができる。そのため、製造効率の向上を図ることができる。
Further, according to this continuity test method, the
以下に実施例を示し、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は、何ら実施例に限定されることはない。
実施例1
厚さ25μmのステンレス箔(SUS304 H−TA)からなる支持基板の上に、感光性ポリイミド樹脂の前駆体の溶液を、乾燥後の厚さが24μmとなるように塗工した後、130℃で乾燥することにより、感光性ポリイミド樹脂の前駆体の皮膜を形成した。次いで、皮膜を、フォトマスクを介して露光(405nm、1500mJ/cm2)させ、露光部分を180℃に加熱した後、アルカリ現像液を用いて現像することにより、その皮膜をネガ型の画像でパターン化した。次いで、パターン化された感光性ポリイミド樹脂の前駆体の皮膜を、350℃で加熱して、硬化(イミド化)させ、これによって、厚さ10μmのポリイミド樹脂からなるベース絶縁層を、上記した所定のパターン(すなわち、基板側端子部および磁気ヘッド側端子部の各端子に対応する位置を含む平面視略矩形部分に、開口部分が形成されるパターン)で形成した。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the examples.
Example 1
On a support substrate made of a stainless steel foil (SUS304 H-TA) having a thickness of 25 μm, a solution of a precursor of a photosensitive polyimide resin was applied so that the thickness after drying was 24 μm, and then at 130 ° C. By drying, a film of a precursor of a photosensitive polyimide resin was formed. Next, the film is exposed through a photomask (405 nm, 1500 mJ / cm 2 ), the exposed portion is heated to 180 ° C., and then developed using an alkali developer, whereby the film is a negative image. Patterned. Next, the patterned film of the photosensitive polyimide resin precursor is heated at 350 ° C. to be cured (imidized), whereby the base insulating layer made of polyimide resin having a thickness of 10 μm is formed as described above. (That is, a pattern in which an opening is formed in a substantially rectangular portion in plan view including positions corresponding to the terminals of the substrate-side terminal portion and the magnetic head-side terminal portion).
次いで、支持基板およびベース絶縁層の全面に、種膜として、厚さ300Åのクロム薄膜と厚さ700Åの銅薄膜とをスパッタリングによって順次形成した。その後、種膜の上に、導体パターンの反転パターンでめっきレジストを、ドライフィルムレジストを用いて形成した。そして、電解銅めっきにより、めっきレジストから露出する種膜の上に、導体パターンを形成した。 Next, a chromium thin film having a thickness of 300 mm and a copper thin film having a thickness of 700 mm were sequentially formed as seed films on the entire surface of the support substrate and the base insulating layer by sputtering. Thereafter, a plating resist was formed on the seed film using a reverse pattern of the conductor pattern using a dry film resist. Then, a conductive pattern was formed on the seed film exposed from the plating resist by electrolytic copper plating.
このようにして形成された導体パターンは、その厚さが20μmで、そのパターンが、各配線の幅20μm、各配線間の間隔が30μmの、互いに所定の間隔を隔てて平行状に配置される4本の配線パターンとして形成した。また、この導体パターンの各配線の形成と同時に、ベース絶縁層の開口部分に対応する種膜の上に、基板側端子部および磁気ヘッド側端子部の各端子を、導体パターンにおける他の部分に対して、支持基板側に厚さ方向に凹むようにして形成した。 The conductor pattern thus formed has a thickness of 20 μm, and the pattern is arranged in parallel with a predetermined distance from each other, with the width of each wiring being 20 μm and the spacing between the wirings being 30 μm. Four wiring patterns were formed. Simultaneously with the formation of each wiring of this conductor pattern, the terminals of the substrate side terminal portion and the magnetic head side terminal portion are placed on other portions of the conductor pattern on the seed film corresponding to the opening portion of the base insulating layer. On the other hand, it was formed so as to be recessed in the thickness direction on the support substrate side.
その後、めっきレジストを、化学エッチングによって除去した後、導体パターンから露出する種膜(銅薄膜およびクロム薄膜)を、化学エッチングにより除去した。
次いで、導体パターンの表面および支持基板の表面に、無電解ニッケルめっきによって、厚さ0.1μmの硬質のニッケル薄膜を形成した。
次いで、ニッケル薄膜およびベース絶縁層の上に、感光性ポリイミド樹脂の前駆体の溶液を塗工した後、130℃で加熱することにより、感光性ポリイミド樹脂の前駆体の皮膜を形成した。その後、皮膜を、フォトマスクを介して露光(405nm、1500mJ/cm2)させ、露光部分を180℃に加熱した後、アルカリ現像液を用いて現像することにより、この皮膜によって導体パターンが被覆されるようにパターン化した。次いで、パターン化された感光性ポリイミド樹脂の前駆体の皮膜を、350℃で加熱して、硬化(イミド化)させ、これによって、厚さ3μmのポリイミド樹脂からなるカバー絶縁層を、導体パターンが被覆されるように、上記した所定のパターン(すなわち、基板側端子部および磁気ヘッド側端子部の各端子に対応する位置を含む平面視略矩形部分に、開口部分が形成されるパターン)で、ベース絶縁層の上に形成した。
Thereafter, the plating resist was removed by chemical etching, and then the seed films (copper thin film and chromium thin film) exposed from the conductor pattern were removed by chemical etching.
Next, a hard nickel thin film having a thickness of 0.1 μm was formed on the surface of the conductor pattern and the surface of the support substrate by electroless nickel plating.
Next, a solution of a photosensitive polyimide resin precursor was applied onto the nickel thin film and the base insulating layer, and then heated at 130 ° C. to form a photosensitive polyimide resin precursor film. Thereafter, the film is exposed (405 nm, 1500 mJ / cm 2 ) through a photomask, and the exposed portion is heated to 180 ° C. and then developed using an alkali developer, so that the conductor pattern is covered with this film. Patterned as follows. Subsequently, the patterned film of the photosensitive polyimide resin precursor is heated at 350 ° C. to be cured (imidized), whereby a cover insulating layer made of polyimide resin having a thickness of 3 μm is formed on the conductor pattern. In the predetermined pattern described above (that is, a pattern in which an opening is formed in a substantially rectangular portion in plan view including a position corresponding to each terminal of the substrate side terminal portion and the magnetic head side terminal portion) so as to be covered, It was formed on the base insulating layer.
次いで、支持基板におけるカバー絶縁層の開口部分に対応する部分に、ベース絶縁層の開口部分が露出するように、その開口部分よりも大きな開口部分を、化学エッチングにより形成した。なお、この開口部分の形成と同時に、化学エッチングにより、ジンバル部のタング部を切り抜いて形成した。
次いで、カバー絶縁層の開口部分から露出するニッケル薄膜、および、支持基板の上に形成されているニッケル薄膜を剥離した。
Next, an opening portion larger than the opening portion was formed by chemical etching so that the opening portion of the base insulating layer was exposed at a portion corresponding to the opening portion of the cover insulating layer in the support substrate. At the same time as forming the opening, the tongue of the gimbal was cut out by chemical etching.
Subsequently, the nickel thin film exposed from the opening part of a cover insulating layer and the nickel thin film formed on the support substrate were peeled.
その後、ベース絶縁層の開口部分から露出する種膜を剥離し、露出した各端子の両面に、めっき層を、電解ニッケルめっきと電解金めっきとにより、厚さ2μmのニッケルめっき層および厚さ1μmの金めっき層を形成することによって、形成した。
そして、このようにして得られた回路付サスペンション基板を、以下の方法により、電気的に導通検査した。
Thereafter, the seed film exposed from the opening of the base insulating layer is peeled off, and a plated layer is formed on both surfaces of each exposed terminal by nickel electrolysis and electrogold plating, and a nickel plating layer having a thickness of 2 μm and a thickness of 1 μm. The gold plating layer was formed.
The suspension board with circuit thus obtained was electrically inspected by the following method.
すなわち、上記により得られた回路付サスペンション基板の磁気ヘッド側端子部の各端子の表面を磁気ヘッドと接続するための接続用端子とし、その裏面を磁気ヘッド側導通検査用端子とした。また、基板側端子部の各端子の表面を、制御回路基板と接続するための接続用端子とし、その裏面を基板側導通検査用端子とした。そして、磁気ヘッド側導通検査用端子および基板側導通検査用端子に検査用プローブを接触させて導電することにより、両端子間の導通が正常か不良かを検査した。 That is, the surface of each terminal of the magnetic head side terminal portion of the suspension board with circuit obtained as described above was used as a connection terminal for connecting to the magnetic head, and the back surface thereof was used as a magnetic head side continuity test terminal. Moreover, the surface of each terminal of the board | substrate side terminal part was used as the connection terminal for connecting with a control circuit board, and the back surface was used as the board | substrate side conduction | electrical_connection test terminal. Then, an inspection probe was brought into contact with the magnetic head side continuity inspection terminal and the substrate side continuity inspection terminal to conduct electricity, thereby inspecting whether the continuity between both terminals was normal or defective.
1 回路付サスペンション基板
4 導体パターン
13 接続用端子
15 導通検査用端子
1 Suspension board with circuit 4
Claims (1)
前記支持基板の上に形成されたベース絶縁層と、
前記ベース絶縁層の上に形成された導体パターンと、
前記導体パターンを被覆するように、前記ベース絶縁層の上に形成されたカバー絶縁層と
を備えた、
磁気ヘッドを実装する前の回路付サスペンション基板の導体パターンの導通検査方法であって、
前記導体パターンは、磁気ヘッド側端子部と、基板側端子部と、前記磁気ヘッド側端子部および前記基板側端子部を接続する配線とを備え、
前記支持基板および前記ベース絶縁層における、前記磁気ヘッド側端子部および前記基板側端子部に対応する位置を含む部分と、
前記カバー絶縁層における、前記磁気ヘッド側端子部および基板側端子部に対応する位置を含む部分と
が、開口され、
前記導体パターンの表面の、前記磁気ヘッド側端子部および前記基板側端子部に対応する位置を含む部分が、前記カバー絶縁層から露出されて、接続用端子として用いられ、
その接続用端子として用いられる導体パターンの表面に対応する裏面が、前記支持基板および前記ベース絶縁層から露出されて、導通検査用端子として用いられ、
前記導通検査用端子が、検査用プローブに接触されて、導電されることを特徴とする、回路付サスペンション基板の導体パターンの導通検査方法 A support substrate;
A base insulating layer formed on the support substrate;
A conductor pattern formed on the base insulating layer;
An insulating cover layer formed on the insulating base layer so as to cover the conductive pattern;
A method for inspecting the continuity of a conductor pattern of a suspension board with circuit before mounting a magnetic head,
The conductor pattern includes a magnetic head side terminal portion, a substrate side terminal portion, and a wiring connecting the magnetic head side terminal portion and the substrate side terminal portion,
A portion including a position corresponding to the magnetic head side terminal portion and the substrate side terminal portion in the support substrate and the base insulating layer;
In the cover insulating layer, a portion including a position corresponding to the magnetic head side terminal portion and the substrate side terminal portion is opened,
A portion of the surface of the conductor pattern including a position corresponding to the magnetic head side terminal portion and the substrate side terminal portion is exposed from the insulating cover layer and used as a connection terminal.
The back surface corresponding to the surface of the conductor pattern used as the connection terminal is exposed from the support substrate and the base insulating layer and used as a continuity test terminal .
The conducting terminals for inspection is brought into contact with the inspection probe, conductivity is characterized Rukoto, continuity testing method of the conductive patterns of the suspension board with circuit
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