JP4338184B2 - Optical unit array and pattern drawing apparatus - Google Patents

Optical unit array and pattern drawing apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP4338184B2
JP4338184B2 JP2003321432A JP2003321432A JP4338184B2 JP 4338184 B2 JP4338184 B2 JP 4338184B2 JP 2003321432 A JP2003321432 A JP 2003321432A JP 2003321432 A JP2003321432 A JP 2003321432A JP 4338184 B2 JP4338184 B2 JP 4338184B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
optical unit
unit array
protrusion
light source
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2003321432A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2005088231A (en
Inventor
雅英 岡崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Screen Holdings Co Ltd
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Screen Holdings Co Ltd
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Screen Holdings Co Ltd, Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd filed Critical Screen Holdings Co Ltd
Priority to JP2003321432A priority Critical patent/JP4338184B2/en
Priority to US10/936,510 priority patent/US7436422B2/en
Publication of JP2005088231A publication Critical patent/JP2005088231A/en
Priority to US11/637,688 priority patent/US7643047B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4338184B2 publication Critical patent/JP4338184B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Facsimile Heads (AREA)
  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
  • Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
  • Laser Beam Printer (AREA)

Description

本発明は、複数の光ビームを出射する光学ユニットが配列される光学ユニットアレイ、および、この光学ユニットアレイを使用するパターン描画装置に関する。   The present invention relates to an optical unit array in which optical units for emitting a plurality of light beams are arranged, and a pattern drawing apparatus using the optical unit array.

従来より、半導体やガラスの基板、刷版等への描画に用いられるパターン描画装置では、複数の描画用の光ビームを出射する光源が配列された光源アレイを用いて描画速度の向上を図る技術が利用されている。例えば、ドラムタイプ走査型画像記録装置では、感光材料の巻き付けられたドラムを高速に回転させつつ、２次元配列された複数の光ビームを出射する光源アレイをドラムの回転方向（主走査方向）と垂直な副走査方向に移動させることにより、感光材料への高速な画像記録が実現されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, in a pattern drawing apparatus used for drawing on a semiconductor or glass substrate, a printing plate, etc., a technique for improving the drawing speed by using a light source array in which light sources for emitting a plurality of light beams for drawing are arranged. Is being used. For example, in a drum-type scanning image recording apparatus, a light source array that emits a plurality of light beams arranged two-dimensionally while rotating a drum around which a photosensitive material is wound is defined as a drum rotation direction (main scanning direction). By moving in the vertical sub-scanning direction, high-speed image recording on the photosensitive material is realized.

また、光通信に用いられる光伝送路においては、複数の光ファイバ同士を接続する際に、複数の光ファイバをコネクタに２次元的に配列して接続し、コネクタ同士を接続することにより多数の光ファイバを一度に効率良く接続する技術が利用されている。   Further, in an optical transmission line used for optical communication, when connecting a plurality of optical fibers, a plurality of optical fibers are two-dimensionally arranged and connected to connectors, and a number of connectors are connected to each other. A technique for efficiently connecting optical fibers at a time is used.

このような複数の光学デバイス要素の配列構造に関しては様々な技術が開示されている。例えば、特許文献１では、複数の半導体レーザを互いに電気的に絶縁して配置し、レーザ発光面とは反対側においてそれぞれ配線することにより、各半導体レーザからの光ビームのｏｎ／ｏｆｆおよび強度を制御する技術が開示されている。   Various techniques have been disclosed for such an arrangement structure of a plurality of optical device elements. For example, in Patent Document 1, a plurality of semiconductor lasers are arranged so as to be electrically insulated from each other, and wired on the side opposite to the laser light emitting surface, whereby the on / off and the intensity of the light beam from each semiconductor laser are set. Techniques for controlling are disclosed.

また、特許文献２では、基台ブロックに立設された位置決めピンを、複数の半導体レーザを有する光源部材のピン穴に挿入することにより、複数の光ビームを出射する光源ユニットを簡易な構造で小型化する技術が開示されている。さらに、特許文献３では、光ビームを出射する複数の発光ダイオードが高精度に位置決めされた光学素子ブロックを支持部材の櫛歯状部により支持することにより、精度の高い２次元の光学素子結合体を形成する技術が開示されている。
特開平１１−１７７１８１号公報 特開平６−４７９５４号公報 特開２０００−３３５００９号公報 In Patent Document 2, a light source unit that emits a plurality of light beams has a simple structure by inserting positioning pins erected on a base block into pin holes of a light source member having a plurality of semiconductor lasers. A technique for downsizing is disclosed. Further, in Patent Document 3, an optical element block in which a plurality of light emitting diodes that emit a light beam are positioned with high accuracy is supported by a comb-shaped portion of a support member, thereby providing a highly accurate two-dimensional optical element combination. Techniques for forming the are disclosed.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-177181 JP-A-6-47954 JP 2000-335209 A

ところで、このような複数の光学デバイス要素の配列構造では精度の良い配列が重要となる。また、光学デバイス要素が半導体レーザ等の光源である場合は、複数の光ビームの出射位置および出射角度を精度良く揃えて決定する必要がある。   By the way, in such an arrangement structure of a plurality of optical device elements, an accurate arrangement is important. When the optical device element is a light source such as a semiconductor laser, it is necessary to determine the emission positions and emission angles of a plurality of light beams with high accuracy.

例えば、特許文献２に開示される光源ユニットでは、位置決めピンとピン穴とにより複数の半導体レーザを有する光源部材の位置決めが精度良く行われるが、光源部材が絶縁材料で形成されている場合には、ワイヤ放電加工（エッチング）等による加工ができず、ピン穴を高精度に形成することが難しくなる。特に、複数のピン穴を形成する際の各ピン穴間の距離を精度良く決定することが困難となる。   For example, in the light source unit disclosed in Patent Document 2, positioning of a light source member having a plurality of semiconductor lasers is performed with high accuracy by positioning pins and pin holes, but when the light source member is formed of an insulating material, Processing by wire electrical discharge machining (etching) or the like cannot be performed, and it is difficult to form pin holes with high accuracy. In particular, it is difficult to accurately determine the distance between each pin hole when forming a plurality of pin holes.

また、特許文献３に開示される光学素子結合体では、高精度に溝が形成された櫛歯部材に光学素子ブロックをはめ込むことにより、複数の光学素子ブロックの相対的な位置を決定し、さらに、ロッドレンズを利用することにより、発光ダイオードの配列方向と直交する方向の光ビームの出射位置を精度良く決定しているが、発光ダイオードの配列方向の位置については修正が不可能となっている。さらに、光学素子ブロックが１枚の基板上に複数個の発光ダイオードが直接実装される構成であるため、信頼性が高いとはいえない（すなわち、エージング等でスクリーニングをかけた場合に欠損が出る可能性のある）半導体レーザ等の光源を利用することが難しい。   Further, in the optical element combination disclosed in Patent Document 3, the relative position of the plurality of optical element blocks is determined by fitting the optical element block into the comb-teeth member in which the groove is formed with high accuracy. By using a rod lens, the emission position of the light beam in the direction orthogonal to the arrangement direction of the light emitting diodes is accurately determined, but the position in the arrangement direction of the light emitting diodes cannot be corrected. . Furthermore, since the optical element block has a structure in which a plurality of light emitting diodes are directly mounted on a single substrate, it cannot be said that the reliability is high (that is, a defect occurs when screening is performed by aging or the like). It is difficult to use a light source such as a semiconductor laser (possibly).

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、光源、レンズ等の光学デバイス要素を配列した光学ユニットをさらに配列した光学ユニットアレイにおいて、複数の光学ユニット間の相対的な位置を精度良く決定することを目的としている。特に、複数の光を出射する光源として光学ユニットアレイが用いられるパターン描画装置においては、光源からの複数の光の出射位置および出射角度を精度良く決定することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above problems, and in an optical unit array in which an optical unit in which optical device elements such as a light source and a lens are arranged is further arranged, the relative position between the plurality of optical units is accurately determined. The purpose is to do. In particular, in a pattern drawing apparatus in which an optical unit array is used as a light source that emits a plurality of lights, an object is to accurately determine an emission position and an emission angle of the plurality of lights from the light source.

請求項１に記載の発明は、光学ユニットアレイであって、それぞれが第１の方向に沿って配置された複数の光学デバイス要素を備える複数の光学ユニットと、前記複数の光学ユニットを前記第１の方向におよそ垂直な第２の方向に配列して保持する保持部とを備え、前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記第１の方向および前記第２の方向に平行であって前記複数の光学デバイス要素が配置される配置面と、前記複数の光学デバイス要素の配置基準とされ、前記第１の方向に所定の間隔で設けられるとともに前記配置面に垂直な方向に突出する第１の突出部および第２の突出部とを備え、前記保持部が、前記複数の光学ユニットの複数の第１の突出部を前記第１の方向に関して外側から保持して前記複数の第１の突出部の位置を決定する複数の溝が形成された第１の櫛歯部と、前記複数の光学ユニットの複数の第２の突出部を前記第１の方向に関して外側から保持して前記複数の第２の突出部の位置を決定する複数の溝が形成された第２の櫛歯部と、前記複数の光学ユニットの複数の配置面に当接するアレイ基準面とを備え、前記第１の櫛歯部が前記複数の第１の突出部に当接して前記複数の第１の突出部の前記第１の方向および前記第２の方向の位置を決定し、前記第２の櫛歯部が前記複数の第２の突出部に当接して前記複数の第２の突出部の前記第２の方向の位置を決定する。 The invention according to claim 1 is an optical unit array, wherein each of the plurality of optical units includes a plurality of optical device elements arranged along a first direction, and the plurality of optical units are arranged in the first direction. Holding sections arranged and held in a second direction approximately perpendicular to the direction of the plurality of optical units, each of the plurality of optical units being parallel to the first direction and the second direction, An arrangement surface on which an optical device element is arranged, and a first protrusion that is an arrangement reference for the plurality of optical device elements, is provided at a predetermined interval in the first direction, and projects in a direction perpendicular to the arrangement surface. And a second projecting portion, wherein the holding unit retains the plurality of first projecting portions of the plurality of optical units from the outside in the first direction. Determine the position Positions of the plurality of second protrusions by holding the first comb teeth portion having a plurality of grooves and the plurality of second protrusions of the plurality of optical units from the outside in the first direction. A second comb-tooth portion formed with a plurality of grooves for determining a plurality of grooves, and an array reference surface abutting against a plurality of arrangement surfaces of the plurality of optical units , wherein the first comb-tooth portion is the plurality of second comb-tooth portions. A plurality of first protrusions that determine the positions of the plurality of first protrusions in the first direction and the second direction, and wherein the second comb teeth portion is the plurality of second protrusions. that determine the position of the second direction of the second protrusion of the plurality abuts the.

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記複数の光学デバイス要素が取り付けられるとともに前記第１の突出部および前記第２の突出部が挿入される２つの開口が形成された位置決め部材をさらに備え、前記第１の突出部および前記第２の突出部と前記２つの開口との嵌め合いにより、前記第１の突出部および前記第２の突出部に対する前記複数の光学デバイス要素の位置が決定される。 The invention according to claim 2 is the optical unit array according to claim 1 , wherein each of the plurality of optical units has the plurality of optical device elements attached thereto and the first protrusion and the first A positioning member formed with two openings into which the two protrusions are inserted, and the first protrusion and the second protrusion and the two openings are fitted to each other to form the first protrusion. And a position of the plurality of optical device elements relative to the second protrusion.

請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学デバイス要素のそれぞれが突起部を備え、前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記複数の光学デバイス要素の複数の突起部がそれぞれ挿入される複数の開口をさらに備え、前記複数の光学デバイス要素のそれぞれの光学ユニットにおける位置が、前記突起部と開口との嵌め合いにより決定される。 A third aspect of the present invention is the optical unit array according to the first aspect, wherein each of the plurality of optical device elements includes a protrusion, and each of the plurality of optical units includes the plurality of optical devices. A plurality of openings into which the plurality of protrusions of the element are respectively inserted are further provided, and the positions of the plurality of optical device elements in the respective optical units are determined by fitting of the protrusions and the openings.

請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の光学ユニットアレイであって、前記突起部が、前記開口に挿入される外側面を、嵌め合いにより前記光学ユニットにおける光軸の位置を決定する位置基準面として備えるレンズ部である。 According to a fourth aspect of the present invention, in the optical unit array according to the third aspect, the position of the optical axis in the optical unit is determined by fitting the protrusion with the outer surface inserted into the opening. It is a lens part provided as a position reference plane.

請求項５に記載の発明は、請求項３または４に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記複数の開口が形成された薄膜状の位置決め部材をさらに備える。 A fifth aspect of the present invention is the optical unit array according to the third or fourth aspect , wherein each of the plurality of optical units further includes a thin film-like positioning member in which the plurality of openings are formed.

請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の光学ユニットアレイであって、前記位置決め部材が、前記第１の突出部および前記第２の突出部が挿入される２つの開口をさらに備え、前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記第１の突出部および前記第２の突出部が設けられるとともに前記位置決め部材が当接する基準面をさらに備え、前記第１の突出部および前記第２の突出部と前記２つの開口との嵌め合いにより、前記第１の突出部および前記第２の突出部に対する前記位置決め部材の位置が決定される。 A sixth aspect of the present invention is the optical unit array according to the fifth aspect , wherein the positioning member further includes two openings into which the first protrusion and the second protrusion are inserted. Each of the plurality of optical units further includes a reference surface on which the first projecting portion and the second projecting portion are provided and the positioning member abuts, and the first projecting portion and the second projecting portion are provided. The position of the positioning member with respect to the first protrusion and the second protrusion is determined by fitting the protrusion and the two openings.

請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記基準面との間で前記位置決め部材を挟む補強板をさらに備える。 A seventh aspect of the present invention is the optical unit array according to the sixth aspect, wherein each of the plurality of optical units further includes a reinforcing plate that sandwiches the positioning member with the reference surface.

請求項８に記載の発明は、請求項１に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学デバイス要素のそれぞれが、光を出射する光源モジュールである。 The invention according to claim 8 is the optical unit array according to claim 1, wherein each of the plurality of optical device elements is a light source module that emits light.

請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の光学ユニットアレイであって、前記光源モジュールが、光ビームを出射する光源と、前記光源からの光が入射するレンズ部と、前記光源および前記レンズ部を保持する構造体とを備える。 Invention of Claim 9 is an optical unit array of Claim 8 , Comprising: The said light source module is a light source which radiate | emits a light beam, The lens part into which the light from the said light source injects, The said light source, A structure for holding the lens unit.

請求項１０に記載の発明は、請求項１に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学ユニットのそれぞれにおいて、前記複数の光学デバイス要素のそれぞれが指向性を有する光線を出射し、前記複数の光学デバイス要素のそれぞれが、平面である前記配置面に当接することにより前記光線の出射方向を決定する角度基準面を備える。 Invention of Claim 10 is an optical unit array of Claim 1, Comprising: In each of these optical units, each of these optical device element radiate | emits a directional light beam, Each of the plurality of optical device elements includes an angle reference plane that determines an emission direction of the light beam by abutting the arrangement surface that is a plane.

請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記配置面との間で前記複数の光学デバイス要素を挟み込んで前記複数の光学デバイス要素を前記配置面側へと押圧する押圧部をさらに備える。 The invention according to claim 11 is the optical unit array according to claim 10 , wherein each of the plurality of optical units sandwiches the plurality of optical device elements with the arrangement surface. A pressing portion that presses the optical device element toward the arrangement surface is further provided.

請求項１２に記載の発明は、請求項１１に記載の光学ユニットアレイであって、前記押圧部が電力供給源に接続されており、前記押圧部が、前記複数の光学デバイス要素と当接する部位に、前記複数の光学デバイス要素にそれぞれ電力を供給する複数の電気端子を備える。 Invention of Claim 12 is an optical unit array of Claim 11 , Comprising: The said press part is connected to the electric power supply source, The site | part which the said press part contact | abuts with these optical device elements And a plurality of electrical terminals for supplying power to the plurality of optical device elements, respectively.

請求項１３に記載の発明は、請求項１２に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の電気端子が複数の電気プローブであり、前記押圧部が、前記複数の電気プローブが当接する配線基板をさらに備える。 The invention according to claim 13 is the optical unit array according to claim 12 , wherein the plurality of electric terminals are a plurality of electric probes, and the pressing portion is a wiring board on which the plurality of electric probes abut. Is further provided.

請求項１４に記載の発明は、請求項１３に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の電気プローブが、前記配線基板と前記複数の光学デバイス要素との間で押圧されて弾性収縮する。 The invention according to claim 14 is the optical unit array according to claim 13 , wherein the plurality of electric probes are pressed and elastically contracted between the wiring board and the plurality of optical device elements.

請求項１５に記載の発明は、請求項１２ないし１４のいずれかに記載の光学ユニットアレイであって、前記配置面が前記電力供給源に接続されており、前記複数の光学デバイス要素のぞれぞれの前記角度基準面が電気端子である。 A fifteenth aspect of the present invention is the optical unit array according to any one of the twelfth to fourteenth aspects, wherein the arrangement surface is connected to the power supply source, and each of the plurality of optical device elements. Each said angle reference plane is an electrical terminal.

請求項１６に記載の発明は、請求項１２ないし１５のいずれかに記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学ユニットが互いに電気的に絶縁されている。 A sixteenth aspect of the present invention is the optical unit array according to any one of the twelfth to fifteenth aspects, wherein the plurality of optical units are electrically insulated from each other.

請求項１７に記載の発明は、対象物上にパターンを描画するパターン描画装置であって、請求項８ないし１６のいずれかに記載の光学ユニットアレイと、前記光学ユニットアレイからの複数の光ビームを対象物に導く光学系と、前記対象物上において前記複数の光ビームの照射位置を走査する走査機構とを備える。 The invention according to claim 17 is a pattern drawing apparatus for drawing a pattern on an object, and the optical unit array according to any one of claims 8 to 16 and a plurality of light beams from the optical unit array. And an optical system that guides the target to the target, and a scanning mechanism that scans irradiation positions of the plurality of light beams on the target.

本発明では、複数の光学ユニット間の相対的な位置を精度良く決定することができる。   In the present invention, the relative positions between the plurality of optical units can be determined with high accuracy.

請求項２の発明では、複数の光学デバイス要素の光学ユニットにおける位置を精度良くかつ容易に決定することができる。 According to the second aspect of the present invention, the positions of the plurality of optical device elements in the optical unit can be determined accurately and easily.

請求項４の発明では、レンズ部の光軸の光学ユニットにおける位置を精度良く決定することができる。 In the invention of claim 4 , the position of the optical axis of the lens portion in the optical unit can be determined with high accuracy.

請求項５の発明では、光学デバイス要素の向きに影響を与えることなく、光学デバイス要素の位置を決定することができる。 In the invention of claim 5 , the position of the optical device element can be determined without affecting the orientation of the optical device element.

請求項６の発明では、位置決め部材の第１の突出部および第２の突出部に対する相対的な位置を簡単な構造で精度良く決定することができる。 In the invention of claim 6 , the relative position of the positioning member with respect to the first protrusion and the second protrusion can be accurately determined with a simple structure.

請求項７の発明では、光学デバイス要素を位置決め部材に対して容易に着脱することができる。 In the invention of claim 7 , the optical device element can be easily attached to and detached from the positioning member.

請求項８の発明では、複数の光源モジュールを精度良く配置することができる。 In the invention of claim 8 , a plurality of light source modules can be arranged with high accuracy.

請求項１０の発明では、複数の光学デバイス要素からの指向性を有する光線の光学ユニットに対する相対的な出射方向を精度良く決定することができる。 According to the tenth aspect of the present invention, it is possible to accurately determine the relative emission direction of light beams having directivity from a plurality of optical device elements with respect to the optical unit.

請求項１１の発明では、光学デバイス要素からの光ビームの出射位置および出射角度の経時変化を防止することができる。 According to the eleventh aspect of the present invention, it is possible to prevent the light beam emission position and the emission angle from the optical device element from changing with time.

請求項１２および１５の発明では、光学デバイス要素への電力の供給構造を簡素化することができる。 In the inventions of claims 12 and 15, the structure for supplying power to the optical device element can be simplified.

請求項１３の発明では、光学ユニットを容易に組み立てることができる。 In the invention of claim 13 , the optical unit can be assembled easily.

請求項１４の発明では、電気プローブを確実に光学デバイス要素に当接させることができる。 In the invention of claim 14 , the electric probe can be reliably brought into contact with the optical device element.

請求項１６の発明では、光学ユニットアレイへの配線を分割して１つの配線の大型化を防止することができる。 In the invention of claim 16 , the wiring to the optical unit array can be divided to prevent one wiring from being enlarged.

請求項１７の発明では、高精度なパターンの描画が実現される。 In the invention of claim 17 , high-precision pattern drawing is realized.

本発明の一の実施の形態に係る光学ユニットアレイでは、光を出射する光源モジュールをそれぞれ複数備える複数の光学ユニットが用いられる。以下、光学ユニットアレイの光学デバイス要素である光源モジュールおよび光学ユニットの構成について順に説明し、その後、光学ユニットアレイの構成について説明する。   In the optical unit array according to one embodiment of the present invention, a plurality of optical units each including a plurality of light source modules that emit light are used. Hereinafter, the configurations of the light source module and the optical unit, which are optical device elements of the optical unit array, will be described in order, and then the configuration of the optical unit array will be described.

図１は、光学ユニットアレイに用いられる光源モジュール１の構成を示す斜視図であり、図２ないし図５はそれぞれ、光源モジュール１の平面図、図１中の（＋Ｘ）側からの正面図、左側面図および右側面図である。図１に示すように、光源モジュール１は、指向性を有する光線（以下、「光ビーム」という。）を出射する光源である半導体レーザのベアチップ（以下、単に「半導体レーザ」という。）１１、半導体レーザ１１からの光ビームが入射するレンズ部１２、並びに、半導体レーザ１１およびレンズ部１２を保持する構造体（以下、「プラットフォーム」という。）１３を備える。   FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a light source module 1 used in an optical unit array. FIGS. 2 to 5 are a plan view of the light source module 1 and a front view from the (+ X) side in FIG. It is a left side view and a right side view. As shown in FIG. 1, the light source module 1 includes a bare chip (hereinafter simply referred to as “semiconductor laser”) 11 of a semiconductor laser, which is a light source that emits light having directivity (hereinafter referred to as “light beam”). A lens unit 12 on which a light beam from the semiconductor laser 11 enters, and a structure (hereinafter referred to as “platform”) 13 that holds the semiconductor laser 11 and the lens unit 12 are provided.

半導体レーザ１１は、図２および図３に示すように、サブマウント１１２に取り付けられた上で、例えば、はんだ付け等の方法によりプラットフォーム１３の内部に実装される。   As shown in FIGS. 2 and 3, the semiconductor laser 11 is mounted on the submount 112 and then mounted inside the platform 13 by a method such as soldering.

レンズ部１２は、図２および図３中に一点鎖線にて示す光軸１２１を有するコリメータレンズ１２３（例えば、セルフォック（登録商標）レンズ）、および、コリメータレンズ１２３を内部に有する円筒形のレンズホルダ１２２を備え、レンズホルダ１２２の光軸１２１に平行なレンズ部外側面１２２ａの中心軸は光軸１２１と高精度に一致する。すなわち、レンズ部１２では、光軸１２１に垂直な面で切断した場合の断面の中心が光軸１２１と高精度に一致する。なお、レンズ部１２はコリメータレンズ１２３そのもの（または側面がメタライズされたレンズ）でもよく、この場合、コリメータレンズ１２３の側面がレンズ部外側面１２２ａとなる。   The lens unit 12 includes a collimator lens 123 (for example, a SELFOC (registered trademark) lens) having an optical axis 121 indicated by a one-dot chain line in FIGS. 2 and 3, and a cylindrical lens holder having a collimator lens 123 therein. 122, the central axis of the lens portion outer surface 122a parallel to the optical axis 121 of the lens holder 122 coincides with the optical axis 121 with high accuracy. That is, in the lens unit 12, the center of the cross section when cut by a plane perpendicular to the optical axis 121 coincides with the optical axis 121 with high accuracy. The lens unit 12 may be the collimator lens 123 itself (or a lens whose side surface is metallized). In this case, the side surface of the collimator lens 123 becomes the lens unit outer surface 122a.

レンズ部１２は、光軸１２１と半導体レーザ１１から出射される光ビームの主光線とが高精度に一致するようにアライメント（位置決め）され、はんだ、ガラスパウダ、ＵＶ接着剤等を用いて、あるいはＹＡＧレーザによる溶接によりプラットフォーム１３に固定される。このとき、レンズ部１２（の一部）はプラットフォーム１３の外部に突出するよう固定され、光源モジュール１の取り付け位置を決定するための突起部となる。   The lens unit 12 is aligned (positioned) so that the optical axis 121 and the principal ray of the light beam emitted from the semiconductor laser 11 coincide with each other with high accuracy, and using solder, glass powder, UV adhesive, or the like, or It is fixed to the platform 13 by welding with a YAG laser. At this time, the lens portion 12 (a part thereof) is fixed so as to protrude to the outside of the platform 13 and serves as a protrusion for determining the mounting position of the light source module 1.

プラットフォーム１３は、熱伝導率が高く熱膨張率が低い材料、例えば、銅タングステン（ＣｕＷ）等で形成され、レンズ部１２の周囲の３方向（図５中のレンズ部１２の（＋Ｘ）側、（−Ｘ）側および（−Ｙ）側）を囲むように略Ｕ字状に設けられた面１３１、および、半導体レーザ１１の一方の電極（本実施の形態ではアノード）にワイヤ１１４を介してワイヤボンディング法により接続されたモジュール電極１４を有し、面１３１は光軸１２１に垂直とされる。   The platform 13 is made of a material having a high thermal conductivity and a low thermal expansion coefficient, for example, copper tungsten (CuW) or the like, and is formed in three directions around the lens unit 12 (the (+ X) side of the lens unit 12 in FIG. 5). A wire 131 is connected to a surface 131 provided in a substantially U shape so as to surround the (−X) side and the (−Y) side) and one electrode of the semiconductor laser 11 (an anode in the present embodiment). The module electrode 14 is connected by a wire bonding method, and the surface 131 is perpendicular to the optical axis 121.

モジュール電極１４は、図３に示すように、半導体レーザ１１のレンズ部１２とは反対側であって面１３１の中央部近傍と対向する位置（すなわち、（＋Ｚ）方向へと延長した光軸１２１近傍）に配置され、モジュール電極１４、半導体レーザ１１、面１３１の中央部およびレンズ部１２は光軸１２１に沿う方向にほぼ一直線状に並ぶ。図４に示すようにモジュール電極１４は絶縁材１５を介してプラットフォーム１３から絶縁された状態で接合される。また、モジュール電極１４および絶縁材１５を除いたプラットフォーム１３の表面には金メッキが施され、図２および図３に示すように、半導体レーザ１１のもう一方の電極（本実施の形態ではカソード）にワイヤ１１３を介して接続される。   As shown in FIG. 3, the module electrode 14 is on the side opposite to the lens portion 12 of the semiconductor laser 11 and opposed to the vicinity of the center portion of the surface 131 (that is, the optical axis 121 extended in the (+ Z) direction). The module electrode 14, the semiconductor laser 11, the center portion of the surface 131, and the lens portion 12 are arranged substantially in a straight line in the direction along the optical axis 121. As shown in FIG. 4, the module electrode 14 is joined while being insulated from the platform 13 via the insulating material 15. Further, the surface of the platform 13 excluding the module electrode 14 and the insulating material 15 is plated with gold, and as shown in FIGS. 2 and 3, the other electrode (cathode in this embodiment) of the semiconductor laser 11 is applied. They are connected via wires 113.

光源モジュール１では、電力供給源からプラットフォーム１３の表面およびモジュール電極１４を介して供給される電力により半導体レーザ１１から光ビームが出射され、この光ビームがレンズ部１２に入射し、光軸１２１に平行な平行光とされてレンズ部１２から出射される。   In the light source module 1, a light beam is emitted from the semiconductor laser 11 by the power supplied from the power supply source via the surface of the platform 13 and the module electrode 14, and this light beam is incident on the lens unit 12 and enters the optical axis 121. The light is emitted from the lens unit 12 as parallel light.

図６は、複数（本実施の形態では３２個）の光源モジュール１を備える光学ユニット２を示す斜視図であり、図７は光学ユニット２の分解斜視図である。図７では、図示の便宜上、光源モジュール１を２個だけ描いているが、実際には図７中のＸ方向に沿って１６個の光源モジュール１が１列に配置され（以下、光源モジュール１が配置される方向を「光源モジュール１の配列方向」ともいう。）、さらにもう１列（１６個）の光源モジュール１が上記光源モジュール１と平行に配列される。   FIG. 6 is a perspective view showing the optical unit 2 including a plurality (32 in the present embodiment) of the light source modules 1, and FIG. 7 is an exploded perspective view of the optical unit 2. In FIG. 7, for convenience of illustration, only two light source modules 1 are drawn, but in reality, 16 light source modules 1 are arranged in one row along the X direction in FIG. The direction in which the light source modules 1 are arranged is also referred to as “the arrangement direction of the light source modules 1”.

光学ユニット２は、複数の光源モジュール１の光ビームの出射側に、光源モジュール１が挿入される複数の取付開口２０１が形成された取付板２０（後述の２つの板２２，２３からなる。）、および、複数の取付開口２０１に対応する複数の開口２１１が形成されたユニット基部２１を備える。   The optical unit 2 has a mounting plate 20 (consisting of two plates 22 and 23 described later) in which a plurality of mounting openings 201 into which the light source module 1 is inserted are formed on the light beam emission side of the plurality of light source modules 1. , And a unit base 21 in which a plurality of openings 211 corresponding to the plurality of attachment openings 201 are formed.

取付板２０は、複数の光源モジュール１がそれぞれ挿入される複数の位置決め開口２２１がエッチングにより所定の位置に精度良く形成された薄膜状の位置決め板２２、および、位置決め開口２２１に対応する位置に位置決め開口２２１より僅かに大きい開口２３１が形成された角度決め板２３を有する。取付開口２０１は位置決め開口２２１および開口２３１を重ね合わせたものであり、角度決め板２３の（＋Ｚ）側の面は複数の光源モジュール１が配置される平面である配置面２３２となっている。   The mounting plate 20 is positioned at a position corresponding to the positioning opening 221, and a thin film positioning plate 22 in which a plurality of positioning openings 221 into which the plurality of light source modules 1 are respectively inserted are accurately formed at predetermined positions by etching. An angle determining plate 23 having an opening 231 slightly larger than the opening 221 is provided. The mounting opening 201 is obtained by overlapping the positioning opening 221 and the opening 231, and the (+ Z) side surface of the angle determination plate 23 is an arrangement surface 232 that is a plane on which the plurality of light source modules 1 are arranged.

ユニット基部２１は、配置面２３２に平行に位置決め板２２に対向する基準面２１２を備え、基準面２１２には、配置面２３２および基準面２１２に垂直な方向に突出する突出部である第１ピン２１３、並びに、第１ピン２１３から光源モジュール１の配列方向（図７中の（−Ｘ）方向）に所定の間隔だけ離れて設けられるとともに配置面２３２および基準面２１２に垂直な方向に突出する第２ピン２１４が設けられる。第１ピン２１３および第２ピン２１４は、ユニット基部２１と一体物として形成されてもよく、また、ユニット基部２１に圧入されて取り付けられてもよい。位置決め板２２には、第１ピン２１３および第２ピン２１４がそれぞれ挿入される２つのピン用開口２２３が形成され、また、角度決め板２３にも同様に２つのピン用開口２３３が形成される。   The unit base 21 includes a reference surface 212 that faces the positioning plate 22 in parallel to the arrangement surface 232, and the reference surface 212 is a first pin that is a protrusion protruding in a direction perpendicular to the arrangement surface 232 and the reference surface 212. 213 and the first pins 213 are provided apart from each other by a predetermined distance in the arrangement direction of the light source modules 1 (the (−X) direction in FIG. 7) and project in a direction perpendicular to the arrangement surface 232 and the reference surface 212. A second pin 214 is provided. The first pin 213 and the second pin 214 may be formed integrally with the unit base 21, or may be press-fitted and attached to the unit base 21. The positioning plate 22 is formed with two pin openings 223 into which the first pin 213 and the second pin 214 are respectively inserted, and the angle determining plate 23 is similarly formed with two pin openings 233. .

光学ユニット２は、配置面２３２との間で複数の光源モジュール１を挟み込んで複数の光源モジュール１を配置面２３２側へと押圧する押圧部３０をさらに備え、押圧部３０は、複数の光源モジュール１と当接する部位に設けられて複数の光源モジュール１にそれぞれ電力を供給する電気端子である複数の電気プローブ２４（２つのみ図示）、電気プローブ２４が挿入される複数の開口２５１が形成された放熱シート２５、開口２５１に対応する複数の開口２６１が形成されるとともに開口２６１に挿入される電気プローブ２４を保持するプローブ保持板２６、および、複数の電気プローブ２４が当接する配線基板２７を備える。   The optical unit 2 further includes a pressing unit 30 that sandwiches the plurality of light source modules 1 with the arrangement surface 232 and presses the plurality of light source modules 1 toward the arrangement surface 232, and the pressing unit 30 includes the plurality of light source modules. A plurality of electric probes 24 (only two are shown) that are provided at portions that come into contact with 1 and supply electric power to the plurality of light source modules 1 respectively, and a plurality of openings 251 into which the electric probes 24 are inserted are formed. The heat dissipation sheet 25, a plurality of openings 261 corresponding to the openings 251 are formed, and the probe holding plate 26 for holding the electric probes 24 inserted into the openings 261, and the wiring board 27 on which the plurality of electric probes 24 abut. Prepare.

図８は、電気プローブ２４を示す図である。電気プローブ２４は、略円柱状のプローブピン２４１、および、内部にバネ２４２ａを有する略円筒状のプローブ本体部２４２を有する。電気プローブ２４は、長手方向の両側から圧縮する方向に力が加えられることにより弾性収縮する（すなわち、バネ２４２ａが収縮してプローブピン２４１がプローブ本体部２４２の内へと移動する）。また、図７に示すプローブ保持板２６には、第１ピン２１３および第２ピン２１４にそれぞれ対応する２つのピン用開口２６３が設けられる。   FIG. 8 is a diagram showing the electric probe 24. The electric probe 24 has a substantially cylindrical probe pin 241 and a substantially cylindrical probe body 242 having a spring 242a inside. The electric probe 24 is elastically contracted when a force is applied in a compressing direction from both sides in the longitudinal direction (that is, the spring 242a contracts and the probe pin 241 moves into the probe main body 242). In addition, the probe holding plate 26 shown in FIG. 7 is provided with two pin openings 263 respectively corresponding to the first pin 213 and the second pin 214.

光学ユニット２が組み立てられる際には、まず、位置決め板２２の２つのピン用開口２２３に第１ピン２１３および第２ピン２１４が挿入され、位置決め板２２が、光源モジュール１が挿入される側とは反対側の面にてユニット基部２１の基準面２１２に当接して取り付けられる。光学ユニット２では、第１ピン２１３および第２ピン２１４と位置決め板２２の２つのピン用開口２２３との嵌め合いにより、第１ピン２１３および第２ピン２１４に対する位置決め板２２の位置が決定される。続いて、角度決め板２３が、基準面２１２との間で位置決め板２２を挟んでユニット基部２１に取り付けられる。角度決め板２３の厚さは０．１ｍｍないし０．２ｍｍであり、薄い位置決め板２２をユニット基部２１との間に挟んで補強する補強板としての機能も有する。   When the optical unit 2 is assembled, first, the first pin 213 and the second pin 214 are inserted into the two pin openings 223 of the positioning plate 22, and the positioning plate 22 is inserted into the light source module 1 side. Is attached in contact with the reference surface 212 of the unit base 21 on the opposite surface. In the optical unit 2, the position of the positioning plate 22 with respect to the first pin 213 and the second pin 214 is determined by fitting the first pin 213 and the second pin 214 with the two pin openings 223 of the positioning plate 22. . Subsequently, the angle determining plate 23 is attached to the unit base 21 with the positioning plate 22 interposed between the angle determining plate 23 and the reference surface 212. The angle determining plate 23 has a thickness of 0.1 mm to 0.2 mm, and has a function as a reinforcing plate that reinforces the thin positioning plate 22 with the unit base 21 interposed therebetween.

次に、図２に示す複数の光源モジュール１の複数のレンズ部１２が図７に示す取付板２０の取付開口２０１（位置決め板２２の位置決め開口２２１）に挿入される。位置決め開口２２１は、中心がレンズ部１２の光軸１２１と精度良く一致し、内径がレンズ部外側面１２２ａと精度良く嵌め合うように形成されており、位置決め開口２２１に挿入されるレンズ部外側面１２２ａは、嵌め合いにより（光学ユニット２の）取付板２０の位置決め板２２に対する相対的な光軸１２１の位置、すなわち、光ビームの出射位置を決定する基準面（以下、レンズ部外側面１２２ａを「位置基準面１２２ａ」という。）となっている。上述のように、位置決め板２２は第１ピン２１３および第２ピン２１４に対して位置決めされているため、複数の光源モジュール１および光軸１２１のそれぞれの第１ピン２１３および第２ピン２１４に対する相対的な位置が、位置決め開口２２１にレンズ部１２が挿入されることにより決定される。   Next, the plurality of lens portions 12 of the plurality of light source modules 1 shown in FIG. 2 are inserted into the attachment openings 201 (positioning openings 221 of the positioning plate 22) of the attachment plate 20 shown in FIG. The positioning opening 221 is formed so that the center coincides with the optical axis 121 of the lens unit 12 with high accuracy and the inner diameter fits with the lens unit outer surface 122a with high accuracy, and the lens unit outer surface inserted into the positioning opening 221. 122a is a reference surface (hereinafter referred to as a lens unit outer surface 122a) that determines the position of the optical axis 121 relative to the positioning plate 22 of the mounting plate 20 (of the optical unit 2) by fitting, that is, the light beam emission position. It is referred to as “position reference plane 122a”. As described above, since the positioning plate 22 is positioned with respect to the first pin 213 and the second pin 214, relative to the first pin 213 and the second pin 214 of the plurality of light source modules 1 and the optical axis 121, respectively. An appropriate position is determined by inserting the lens unit 12 into the positioning opening 221.

また、取付板２０を構成する角度決め板２３の配置面２３２は平坦度の高い平面として形成されており、複数の光源モジュール１のレンズ部１２の周囲に設けられた光軸１２１に垂直な面１３１（図５参照）は、配置面２３２にそれぞれ当接することにより、取付板２０に対する相対的な光ビームの出射角度（出射方向）（取付板２０の法線に対する傾斜角度および傾斜方向を指す。）を決定する基準面（以下、面１３１を「角度基準面１３１」という。）となっている。   Further, the arrangement surface 232 of the angle determining plate 23 constituting the mounting plate 20 is formed as a flat surface with a high degree of flatness, and is a surface perpendicular to the optical axis 121 provided around the lens portions 12 of the plurality of light source modules 1. 131 (refer to FIG. 5) refers to the emission angle (emission direction) of the light beam relative to the mounting plate 20 (the tilt angle and the tilt direction with respect to the normal of the mounting plate 20) by abutting against the arrangement surface 232. ) Is determined as a reference surface (hereinafter, the surface 131 is referred to as an “angle reference surface 131”).

以上のように、複数の光源モジュール１が取付板２０（すなわち、位置決め板２２および角度決め板２３）に取り付けられることにより、複数の光源モジュール１および光軸１２１のそれぞれの光学ユニット２に対する相対的な位置が、レンズ部１２（の位置基準面１２２ａ）と位置決め開口２２１との嵌め合いにより第１ピン２１３および第２ピン２１４を配置基準として決定され、光源モジュール１から出射される光ビームの出射方向が、光源モジュール１（の角度基準面１３１）が配置面２３２に当接することにより決定される。   As described above, the plurality of light source modules 1 are attached to the mounting plate 20 (that is, the positioning plate 22 and the angle determining plate 23), so that the plurality of light source modules 1 and the optical axis 121 are relative to the respective optical units 2. The position of the light beam emitted from the light source module 1 is determined based on the first pin 213 and the second pin 214 determined by the fitting of the lens portion 12 (position reference surface 122a) and the positioning opening 221. The direction is determined when the light source module 1 (the angle reference surface 131 thereof) abuts the arrangement surface 232.

次に、放熱シート２５およびプローブ保持板２６の複数の開口２５１および開口２６１が、それぞれ光源モジュール１のモジュール電極１４（図４参照）と位置合わせされ、配置面２３２との間で複数の光源モジュール１を挟んで、２つのピン用開口２６３にそれぞれ挿入される固定ねじ２６５によりユニット基部２１（の第１ピン２１３および第２ピン２１４）に取り付けられる。複数の開口２５１および開口２６１のそれぞれに電気プローブ２４が光源モジュール１のレンズ部１２の光軸１２１（図２および図３参照）にほぼ平行に挿入され、電気プローブ２４の先端が光源モジュール１のモジュール電極１４に当接する。   Next, the plurality of openings 251 and the openings 261 of the heat dissipation sheet 25 and the probe holding plate 26 are aligned with the module electrodes 14 (see FIG. 4) of the light source module 1, respectively, and a plurality of light source modules are arranged between the arrangement surface 232. 1 is attached to the unit base 21 (the first pin 213 and the second pin 214 thereof) by fixing screws 265 inserted into the two pin openings 263, respectively. The electric probe 24 is inserted into each of the plurality of openings 251 and 261 substantially parallel to the optical axis 121 (see FIGS. 2 and 3) of the lens unit 12 of the light source module 1, and the tip of the electric probe 24 is the light source module 1. It contacts the module electrode 14.

続いて、コネクタ２７１およびケーブル２９１を介して電力供給源２９と接続されている配線基板２７が、取付ピン２７５および取付ナット２７６により複数の電気プローブ２４のモジュール電極１４に当接する先端とは反対側の端部と当接してプローブ保持板２６（の固定ねじ２６５）に取り付けられる。電気プローブ２４と当接する配線基板２７の表面には、予め複数の電気プローブ２４に対応する配線が形成されている。複数の電気プローブ２４は、配線基板２７と複数の光源モジュール１との間で押圧されて弾性収縮し、光源モジュール１を数１０ｇ重の力で角度決め板２３の配置面２３２に向かって押圧する。より詳しくは、弾性収縮した電気プローブ２４の片側の端部に当接して直接的に押圧される被押圧部でもあるモジュール電極１４が、配線基板２７を介して電力供給源２９に接続された電気プローブ２４によりレンズ部１２の光軸１２１にほぼ平行であって角度基準面１３１へと向かう方向に押圧されることにより、角度基準面１３１が配置面２３２に対して押圧されて密着する。   Subsequently, the wiring board 27 connected to the power supply source 29 via the connector 271 and the cable 291 is opposite to the tip where the wiring pins 27 abut on the module electrodes 14 of the plurality of electric probes 24 by the mounting pins 275 and the mounting nuts 276. Is attached to the probe holding plate 26 (the fixing screw 265 thereof). Wiring corresponding to the plurality of electric probes 24 is formed in advance on the surface of the wiring board 27 in contact with the electric probes 24. The plurality of electric probes 24 are pressed and elastically contracted between the wiring board 27 and the plurality of light source modules 1, and press the light source module 1 toward the arrangement surface 232 of the angle determination plate 23 with a force of several tens of grams. . More specifically, the module electrode 14, which is also a pressed part that is pressed against and directly pressed against one end of the elastically contracted electric probe 24, is connected to the power supply source 29 via the wiring board 27. When the probe 24 is pressed in a direction substantially parallel to the optical axis 121 of the lens unit 12 and toward the angle reference surface 131, the angle reference surface 131 is pressed against and closely contacts the arrangement surface 232.

このとき、光源モジュール１の半導体レーザ１１の一方の電極（アノード）は、モジュール電極１４、電気プローブ２４および配線基板２７を介して電力供給源２９に電気的に接続される。また、半導体レーザ１１のもう一方の電極（カソード）は、金メッキされたプラットフォーム１３の角度基準面１３１を介して取付板２０の配置面２３２に電気的に接続され、導電体である配置面２３２は、角度決め板２３のピン用開口２３３に挿入される第１ピン２１３および第２ピン２１４、第１ピン２１３および第２ピン２１４に取り付けられる固定ねじ２６５に電気的に接続される配線基板２７を介して電力供給源２９と接続される。すなわち、図２および図３に示す光源モジュール１のモジュール電極１４および角度基準面１３１は、光源モジュール１の半導体レーザ１１に接続されて半導体レーザ１１に電力を供給する電気端子としての役割を担う。   At this time, one electrode (anode) of the semiconductor laser 11 of the light source module 1 is electrically connected to the power supply source 29 via the module electrode 14, the electric probe 24 and the wiring board 27. Further, the other electrode (cathode) of the semiconductor laser 11 is electrically connected to the arrangement surface 232 of the mounting plate 20 via the angle reference surface 131 of the gold-plated platform 13, and the arrangement surface 232 that is a conductor is The wiring board 27 electrically connected to the first pin 213 and the second pin 214 inserted into the pin opening 233 of the angle determining plate 23 and the fixing screw 265 attached to the first pin 213 and the second pin 214 To the power supply source 29. That is, the module electrode 14 and the angle reference plane 131 of the light source module 1 shown in FIGS. 2 and 3 serve as electrical terminals that are connected to the semiconductor laser 11 of the light source module 1 and supply power to the semiconductor laser 11.

なお、光源モジュール１の位置基準面（レンズ部外側面）１２２ａ、および、これと嵌まり合う位置決め板２２が導電体（例えば、薄膜金属板）である場合には、角度基準面１３１の代わりに位置基準面１２２ａが光源モジュール１の一方の電気端子とされてもよい。この場合、半導体レーザ１１の電極（カソード）は、光源モジュール１の金メッキされた表面を介して位置基準面１２２ａに接続されてもよく、直接位置基準面１２２ａにワイヤボンディング法等により接続されてもよい。また、位置決め板２２は、上述の角度決め板２３の配置面２３２と同様に電力供給源２９と接続される。   In addition, when the position reference surface (lens part outer surface) 122a of the light source module 1 and the positioning plate 22 fitted thereto are conductors (for example, a thin film metal plate), instead of the angle reference surface 131. The position reference surface 122 a may be one electrical terminal of the light source module 1. In this case, the electrode (cathode) of the semiconductor laser 11 may be connected to the position reference surface 122a via the gold-plated surface of the light source module 1, or may be directly connected to the position reference surface 122a by a wire bonding method or the like. Good. The positioning plate 22 is connected to the power supply source 29 in the same manner as the arrangement surface 232 of the angle determining plate 23 described above.

光学ユニット２では、さらに、放熱器２８が固定ねじ２８５により配線基板２７の裏面（電気プローブ２４と当接する配線が予め形成された主面とは反対側の面）に当接して取り付けられる。図９は、組み立てられた光学ユニット２の構成を示す断面図である。   Further, in the optical unit 2, the radiator 28 is attached in contact with the back surface of the wiring board 27 (surface opposite to the main surface on which the wiring contacting the electric probe 24 is formed in advance) by the fixing screw 285. FIG. 9 is a cross-sectional view showing the configuration of the assembled optical unit 2.

上述のように、複数の光源モジュール１を使用する光学ユニット２では、取付板２０に配置された複数の光源モジュール１のそれぞれが電気プローブ２４により取付板２０に押圧された上で電気プローブ２４および取付板２０を介して電力が供給され、精度良く決定された出射位置および出射角度にて複数の光ビームが出射される。このとき、複数の半導体レーザ１１から大量の熱エネルギーが放出される。放出された熱エネルギーは、熱伝導率が高い銅タングステンで形成されたプラットフォーム１３、および、放熱シート２５を介して効率良くプローブ保持板２６へと伝えられる。なお、既述のように銅タングステンは熱膨張率が低いため、半導体レーザ１１から放出される熱エネルギーによる光源モジュール１の変形が抑制され、光ビームの出射位置および出射角度の変動が抑制される。   As described above, in the optical unit 2 using the plurality of light source modules 1, each of the plurality of light source modules 1 arranged on the mounting plate 20 is pressed against the mounting plate 20 by the electric probe 24, and Electric power is supplied through the mounting plate 20, and a plurality of light beams are emitted at the emission position and emission angle determined with high accuracy. At this time, a large amount of thermal energy is emitted from the plurality of semiconductor lasers 11. The released thermal energy is efficiently transmitted to the probe holding plate 26 via the platform 13 made of copper tungsten having a high thermal conductivity and the heat radiation sheet 25. As described above, since copper tungsten has a low coefficient of thermal expansion, deformation of the light source module 1 due to thermal energy emitted from the semiconductor laser 11 is suppressed, and fluctuations in the emission position and emission angle of the light beam are suppressed. .

プローブ保持板２６に伝えられた熱エネルギーは配線基板２７を介して放熱器２８へと伝えられ、放熱器２８により効率良く放熱される。プローブ保持板２６および配線基板２７を形成する材料としては、放熱性が高く、かつ、電力供給源２９（図７参照）からの電力を電気プローブ２４等を介して光源モジュール１に供給するための絶縁性も兼ね備えた窒化アルミニウム（ＡｌＮ）等のセラミックスやベリリア（酸化ベリリウム（ＢｅＯ））等が好ましい。以上のように、光学ユニット２では、発熱の著しい高出力光源である半導体レーザ１１を複数個使用した場合でも、光源から発生する熱エネルギーを光源モジュール１の後方（光ビームを出射する方向とは反対側）に配置される放熱器２８へと効率良く伝えることにより、十分な放熱量を確保することができる。   The thermal energy transmitted to the probe holding plate 26 is transmitted to the radiator 28 via the wiring board 27 and is efficiently radiated by the radiator 28. As a material for forming the probe holding plate 26 and the wiring board 27, heat dissipation is high and power for supplying power from the power supply source 29 (see FIG. 7) to the light source module 1 through the electric probe 24 and the like is used. Ceramics such as aluminum nitride (AlN), beryllia (beryllium oxide (BeO)), etc. that also have insulating properties are preferable. As described above, in the optical unit 2, even when a plurality of semiconductor lasers 11, which are high-output light sources that generate significant heat, are used, the thermal energy generated from the light source is transferred to the rear of the light source module 1 (the direction of emitting the light beam) A sufficient amount of heat radiation can be secured by efficiently transmitting the heat to the radiator 28 arranged on the opposite side.

図１０は、複数の光学ユニット２（本実施の形態では５個）を用いる光学ユニットアレイ４の構成を示す分解斜視図である。図１０では、図示の便宜上、光学ユニット２を１個だけ描いているが、実際には複数の光源モジュール１の配列方向（図９中のＸ方向）におよそ垂直な上下方向（図９中のＹ方向にほぼ沿う方向）に５個の光学ユニット２が配列される。   FIG. 10 is an exploded perspective view showing a configuration of an optical unit array 4 using a plurality of optical units 2 (five in the present embodiment). In FIG. 10, for the sake of illustration, only one optical unit 2 is drawn, but in reality, the vertical direction (in FIG. 9) approximately perpendicular to the arrangement direction of the light source modules 1 (X direction in FIG. 9). Five optical units 2 are arranged in a direction substantially along the Y direction.

光学ユニットアレイ４は、上記の配列方向に配列される複数の光学ユニット２を保持する保持部４０を備え、保持部４０は、複数の光学ユニット２の複数の第１ピン２１３を保持して第１ピン２１３の位置を決定する複数の溝４１１が形成された第１の櫛歯部である第１櫛歯部材４１、複数の第２ピン２１４を保持して第２ピン２１４の位置を決定する複数の溝４２１が形成された第２の櫛歯部である第２櫛歯部材４２、並びに、第１櫛歯部材４１および第２櫛歯部材４２が固定されるアレイ基部４３を有する。   The optical unit array 4 includes a holding unit 40 that holds the plurality of optical units 2 arranged in the arrangement direction, and the holding unit 40 holds the plurality of first pins 213 of the plurality of optical units 2 and performs first operation. The position of the second pin 214 is determined by holding the first comb tooth member 41 that is the first comb tooth portion in which the plurality of grooves 411 for determining the position of the first pin 213 and the plurality of second pins 214 are held. It has the 2nd comb-tooth member 42 which is the 2nd comb-tooth part in which the some groove | channel 421 was formed, and the array base 43 to which the 1st comb-tooth member 41 and the 2nd comb-tooth member 42 are fixed.

第１櫛歯部材４１および第２櫛歯部材４２はセラミックス等の絶縁体により作成され、溝４１１および溝４２１が切削加工により精度良く形成される。また、アレイ基部４３はステンレスにより作成される。   The first comb teeth member 41 and the second comb teeth member 42 are made of an insulator such as ceramics, and the grooves 411 and 421 are formed with high accuracy by cutting. The array base 43 is made of stainless steel.

光学ユニットアレイ４が組み立てられる際には、まず、図１１に示すように、複数の光学ユニット２の複数の第１ピン２１３が第１櫛歯部材４１の複数の溝４１１により光源モジュール１の配列方向に関して外側（すなわち、第１ピン２１３に関して第２ピン２１４とは反対側）からそれぞれ保持され、また、複数の第２ピン２１４が第２櫛歯部材４２の複数の溝４２１により光源モジュール１の配列方向の関して外側（すなわち、第２ピン２１４に関して第１ピン２１３とは反対側）からそれぞれ保持される。   When the optical unit array 4 is assembled, first, as shown in FIG. 11, the plurality of first pins 213 of the plurality of optical units 2 are arranged in the arrangement of the light source modules 1 by the plurality of grooves 411 of the first comb teeth 41. Each of the plurality of second pins 214 is held by the plurality of grooves 421 of the second comb-teeth member 42 from the outside in the direction (ie, the side opposite to the second pin 214 with respect to the first pin 213). With respect to the arrangement direction, each is held from the outside (that is, the side opposite to the first pin 213 with respect to the second pin 214).

その後、複数の光学ユニット２のそれぞれは、図１２の光学ユニットアレイ４の断面図に示すように、ユニット固定ねじ４１５により第１櫛歯部材４１に固定される。さらに、アレイ基部４３が、図１０および図１２に示すように、第１櫛歯部材４１および第２櫛歯部材４２の（−Ｚ）側の主面との間にユニット基部２１を挟み込んで、第１櫛歯部材４１および第２櫛歯部材４２に複数のねじ４３５により固定される。なお、アレイ基部４３と複数の光学ユニット２とは当接しておらず電気的に絶縁状態とされる。また、図１２では、図示の便宜上、図中の１番上の光学ユニット２については、第１ピン２１３を含む断面を示し、上から２番目の光学ユニット２については、ユニット固定ねじ４１５を含む断面を示す。   Thereafter, each of the plurality of optical units 2 is fixed to the first comb-teeth member 41 by a unit fixing screw 415 as shown in the cross-sectional view of the optical unit array 4 in FIG. Furthermore, as shown in FIGS. 10 and 12, the array base 43 sandwiches the unit base 21 between the first comb tooth member 41 and the main surface on the (−Z) side of the second comb tooth member 42, The first comb tooth member 41 and the second comb tooth member 42 are fixed by a plurality of screws 435. The array base 43 and the plurality of optical units 2 are not in contact with each other and are electrically insulated. In FIG. 12, for the convenience of illustration, the uppermost optical unit 2 in the drawing shows a cross section including the first pin 213, and the second optical unit 2 from the top includes a unit fixing screw 415. A cross section is shown.

このとき、図１１に示す複数の第１ピン２１３がそれぞれ、第１櫛歯部材４１の各溝４１１のＸ方向に垂直な底面４１４、および、（＋Ｙ）方向を向く（図１１中の溝４１１の下側の）側面４１３に当接して第１ピン２１３のＸ方向およびＹ方向（すなわち、光源モジュール１の配列方向および光学ユニット２の配列方向）の位置が決定され、また、複数の第２ピン２１４がそれぞれ、第２櫛歯部材４２の各溝４２１の下側の側面４２３に当接して第２ピン２１４のＹ方向（すなわち、光学ユニット２の配列方向）の位置が決定される。この結果、複数の光学ユニット２の光学ユニットアレイ４における位置が決定され、複数の光学ユニット２のそれぞれに配置される複数の光源モジュール１から出射される光ビームの出射位置が決定される。   At this time, the plurality of first pins 213 shown in FIG. 11 face the bottom surface 414 perpendicular to the X direction of each groove 411 of the first comb-tooth member 41 and the (+ Y) direction (groove 411 in FIG. 11). The positions of the first pins 213 in the X direction and Y direction (that is, the arrangement direction of the light source modules 1 and the arrangement direction of the optical units 2) are determined in contact with the side surface 413. Each pin 214 abuts on the lower side surface 423 of each groove 421 of the second comb tooth member 42, and the position of the second pin 214 in the Y direction (that is, the arrangement direction of the optical unit 2) is determined. As a result, the positions of the plurality of optical units 2 in the optical unit array 4 are determined, and the emission positions of the light beams emitted from the plurality of light source modules 1 arranged in the plurality of optical units 2 are determined.

また、複数の光学ユニット２のそれぞれの配置面２３２は、図１０に示すように光源モジュール１および光学ユニット２の配列方向に平行とされ、ユニット固定ねじ４１５により第１櫛歯部材４１の（−Ｚ）側の主面（以下、「アレイ基準面」という。）４１２に引き寄せられて当接する。さらに、複数の光学ユニット２のそれぞれは、ユニット基部２１のアレイ基部４３側からステンレス製のユニット押圧ねじ４３６により絶縁フィルム４３７（図１２参照）を介して押圧され、配置面２３２がアレイ基準面４１２に押圧される。アレイ基準面４１２は光源モジュール１および光学ユニット２の配列方向に平行に形成された平坦な平面であり、複数の光学ユニット２の配置面２３２はアレイ基準面４１２に押圧されることにより同一平面上に配置され、複数の光学ユニット２のそれぞれに配置される複数の光源モジュール１から出射される光ビームの出射方向が決定される。   Further, as shown in FIG. 10, the arrangement surfaces 232 of the plurality of optical units 2 are parallel to the arrangement direction of the light source module 1 and the optical unit 2, and the unit fixing screw 415 (− The main surface (hereinafter referred to as “array reference surface”) 412 on the Z) side is attracted and brought into contact therewith. Further, each of the plurality of optical units 2 is pressed from the array base 43 side of the unit base 21 by a stainless unit pressing screw 436 through an insulating film 437 (see FIG. 12), and the arrangement surface 232 is the array reference surface 412. Pressed. The array reference plane 412 is a flat plane formed parallel to the arrangement direction of the light source module 1 and the optical unit 2, and the arrangement plane 232 of the plurality of optical units 2 is pressed on the same plane by being pressed by the array reference plane 412. The emission direction of the light beam emitted from the plurality of light source modules 1 arranged in each of the plurality of optical units 2 is determined.

さらに、光学ユニットアレイ４では、絶縁フィルム４３７を介することによりアレイ基部４３と複数の光学ユニット２との間の電気的な絶縁状態が保たれ、複数の光源モジュール１に供給される電力のアレイ基部４３への漏れが防止される。また、第１櫛歯部材４１および第２櫛歯部材４２も絶縁体であるため、複数の光学ユニット２は互いに電気的に絶縁される。なお、ユニット押圧ねじ４３６がセラミックス等の絶縁材料で形成されている場合には、絶縁フィルム４３７が省略されてもよい。   Further, in the optical unit array 4, the electrical insulation state between the array base 43 and the plurality of optical units 2 is maintained by way of the insulating film 437, and the array base of power supplied to the plurality of light source modules 1 is maintained. Leakage to 43 is prevented. Moreover, since the 1st comb-tooth member 41 and the 2nd comb-tooth member 42 are also insulators, the some optical unit 2 is electrically insulated mutually. In addition, when the unit pressing screw 436 is formed of an insulating material such as ceramics, the insulating film 437 may be omitted.

以上のように、光学ユニットアレイ４では、複数の光学ユニット２の第１ピン２１３および第２ピン２１４が精度良く形成された第１櫛歯部材４１および第２櫛歯部材４２に当接することにより、複数の光学ユニット２間の相対的な位置、および、複数の光学ユニット２のそれぞれの光学ユニットアレイ４における位置を精度良く決定することができ、複数の光源モジュール１を精度良く配置することができる。   As described above, in the optical unit array 4, the first pins 213 and the second pins 214 of the plurality of optical units 2 are brought into contact with the first comb teeth member 41 and the second comb teeth member 42 formed with high precision. The relative positions between the plurality of optical units 2 and the positions of the plurality of optical units 2 in the respective optical unit arrays 4 can be determined with high accuracy, and the plurality of light source modules 1 can be arranged with high accuracy. it can.

光学ユニット２では、レンズ部１２の位置基準面１２２ａが取付板２０の位置決め開口２２１に挿入され、複数の光源モジュール１が嵌め合いにより取付板２０に取り付けられることにより、各光源モジュール１の取付板２０に対する相対的な位置を精度良く決定することができる。また、位置基準面１２２ａの中心軸はレンズ部１２の光軸１２１と高精度に一致するため、レンズ部１２の光軸１２１の光学ユニット２における位置を精度良く決定することができ、光源モジュール１からの光ビームの出射位置を精度良く決定することができる。   In the optical unit 2, the position reference surface 122 a of the lens unit 12 is inserted into the positioning opening 221 of the attachment plate 20, and the plurality of light source modules 1 are attached to the attachment plate 20 by fitting, thereby attaching the attachment plate of each light source module 1. The relative position with respect to 20 can be determined with high accuracy. Further, since the central axis of the position reference surface 122a coincides with the optical axis 121 of the lens unit 12 with high accuracy, the position of the optical axis 121 of the lens unit 12 in the optical unit 2 can be determined with high accuracy, and the light source module 1 The light beam emission position from can be determined with high accuracy.

さらに、第１ピン２１３および第２ピン２１４が取付板２０のピン用開口２２３に挿入され、取付板２０が嵌め合いによりユニット基部２１に取り付けられることにより、取付板２０の第１ピン２１３および第２ピン２１４に対する相対的な位置を簡単な構造で精度良く決定することができ、複数の光源モジュール１の光学ユニット２における位置を精度良くかつ容易に決定することができる。   Further, the first pin 213 and the second pin 214 are inserted into the pin opening 223 of the mounting plate 20, and the mounting plate 20 is attached to the unit base 21 by fitting, whereby the first pin 213 and the second pin of the mounting plate 20 are fitted. The relative position with respect to the two pins 214 can be accurately determined with a simple structure, and the positions of the plurality of light source modules 1 in the optical unit 2 can be accurately and easily determined.

また、光学ユニット２では、複数の光源モジュール１の角度基準面１３１が取付板２０の配置面２３２に当接することにより、各光源モジュール１からの光ビームの光学ユニット２に対する相対的な出射角度（出射方向）を精度良く決定することができる。また、複数の光学ユニット２の配置面２３２がアレイ基準面４１２に押圧されることにより、各光学ユニット２からの複数の光ビームの光学ユニットアレイ４に対する相対的な出射角度を精度良く決定することができる。さらに、光ビームの出射箇所（レンズ部１２の出射側の端面）、位置基準面１２２ａおよび角度基準面１３１が近接して配置されているため、光ビームの出射位置および出射角度をより精度良く決定することができ、光源モジュール１自体も容易に製作することができる。   Further, in the optical unit 2, the angle reference planes 131 of the plurality of light source modules 1 abut against the arrangement surface 232 of the mounting plate 20, so that the relative emission angles of the light beams from the respective light source modules 1 with respect to the optical unit 2 ( The emission direction can be determined with high accuracy. In addition, when the arrangement surfaces 232 of the plurality of optical units 2 are pressed against the array reference surface 412, the relative emission angles of the plurality of light beams from each optical unit 2 with respect to the optical unit array 4 can be accurately determined. Can do. Furthermore, since the light beam emission point (end surface on the emission side of the lens unit 12), the position reference surface 122a, and the angle reference surface 131 are arranged close to each other, the light beam emission position and angle are determined with higher accuracy. The light source module 1 itself can be easily manufactured.

さらに、光学ユニット２では、光源モジュール１の被押圧部であるモジュール電極１４が押圧されて角度基準面１３１が取付板２０の配置面２３２に押圧されることにより、光源モジュール１からの光ビームの出射位置および出射角度の経時変化を防止することができる。   Further, in the optical unit 2, the module electrode 14 that is the pressed portion of the light source module 1 is pressed and the angle reference surface 131 is pressed against the arrangement surface 232 of the mounting plate 20, whereby the light beam from the light source module 1 is transmitted. It is possible to prevent the emission position and the emission angle from changing with time.

光学ユニット２では、位置決め板２２が薄膜状であるため、光源モジュール１の向きに影響を与えることなく、光源モジュール１の位置を決定することができる。また、薄膜状の位置決め板２２がユニット基部２１と角度決め板２３とにより挟まれて補強されるため、光源モジュール１を位置決め板２２に対して容易に着脱することができる。   In the optical unit 2, since the positioning plate 22 is a thin film, the position of the light source module 1 can be determined without affecting the direction of the light source module 1. Further, since the thin film-shaped positioning plate 22 is sandwiched and reinforced by the unit base 21 and the angle determining plate 23, the light source module 1 can be easily attached to and detached from the positioning plate 22.

光学ユニットアレイ４では、複数の光学ユニット２が互いに電気的に絶縁されているため、光学ユニットアレイ４に供給される総電力が光学ユニット２毎に分割され、各光学ユニット２に独立して供給される（例えば、本実施の形態では、各光学ユニット２に流れる電流は約１０Ａ（アンペア）となる。）。これにより、配線を分割して１つの配線の大型化を防止することができる。   In the optical unit array 4, since the plurality of optical units 2 are electrically insulated from each other, the total power supplied to the optical unit array 4 is divided for each optical unit 2 and supplied to each optical unit 2 independently. (For example, in the present embodiment, the current flowing through each optical unit 2 is about 10 A (ampere)). Thereby, it is possible to prevent the size of one wiring from being increased by dividing the wiring.

光学ユニット２では、配置面２３２および電気プローブ２４が電力供給源２９に接続されており、光源モジュール１では、配置面２３２に当接する角度基準面１３１（または、配置面２３２に電気的に接続される位置基準面１２２ａ）、および、電気プローブ２４に当接するモジュール電極１４が半導体レーザ１１に電力を供給する電気端子としての役割を果たすため、電力の供給構造を簡素化することができ、電気配線に拘束されずに光ビームの出射位置および出射角度を決定することができる。   In the optical unit 2, the arrangement surface 232 and the electric probe 24 are connected to the power supply source 29, and in the light source module 1, the angle reference surface 131 (or the arrangement surface 232 that contacts the arrangement surface 232 is electrically connected. The position reference surface 122a) and the module electrode 14 that contacts the electric probe 24 serve as electric terminals for supplying electric power to the semiconductor laser 11, so that the electric power supply structure can be simplified and electric wiring can be realized. It is possible to determine the emission position and the emission angle of the light beam without being restricted by the above.

また、電気プローブ２４が弾性収縮された状態でモジュール電極１４を押圧するため、電気プローブ２４を確実に光源モジュール１に当接させることができる。さらに、複数の電気プローブ２４と配線基板２７とが分割して形成されているため、光学ユニット２を容易に組み立てることができる。その上、光源モジュール１の取付後に行われる電力の供給構造の接続（例えば、電気端子への配線のはんだ付け）も簡素化（もしくは省略）され、既に決定されている光ビームの出射位置および出射角度のずれを防止することができる。   Further, since the module electrode 14 is pressed in a state where the electric probe 24 is elastically contracted, the electric probe 24 can be reliably brought into contact with the light source module 1. Furthermore, since the plurality of electric probes 24 and the wiring board 27 are formed separately, the optical unit 2 can be easily assembled. In addition, the connection of the power supply structure (for example, soldering of the wiring to the electrical terminal) performed after the light source module 1 is attached is simplified (or omitted), and the light beam emission position and emission already determined are determined. An angle shift can be prevented.

図１３は、図１０に示す光学ユニットアレイ４とほぼ同様の構造を有する光学ユニットアレイ４ａを備えるラスタ走査型の画像記録装置３の構造を示す図である。画像記録装置３は、対象物である版材上にパターンを描画するパターン描画装置であり、光学ユニットアレイ４ａからの複数の光ビームを版材に導く光学系３６、および、これらの構成を保持するベース部３４を備え、また、感材が塗布された版材を外側面に保持するドラム３５を備える。   FIG. 13 is a diagram showing a structure of a raster scanning type image recording apparatus 3 including an optical unit array 4a having a structure substantially similar to that of the optical unit array 4 shown in FIG. The image recording apparatus 3 is a pattern drawing apparatus that draws a pattern on a plate material that is an object, and holds an optical system 36 that guides a plurality of light beams from the optical unit array 4a to the plate material, and these configurations. And a drum 35 for holding the plate material coated with the photosensitive material on the outer surface.

画像記録装置３の光学ユニットアレイ４ａは、光源モジュール１が４個１列に配列された光学ユニットを４つ上下に並べたものである点を除いて、図１０に示す光学ユニットアレイ４と同様の構成を有する。また、光学系３６は、アパーチャ板３１、フィールドレンズ３２およびズーム光学系３３を有する。   The optical unit array 4a of the image recording apparatus 3 is the same as the optical unit array 4 shown in FIG. 10 except that four optical units in which four light source modules 1 are arranged in a row are arranged one above the other. It has the composition of. The optical system 36 includes an aperture plate 31, a field lens 32, and a zoom optical system 33.

画像記録装置３では、光学ユニットアレイ４ａから出射される複数の光ビームのビーム形状がアパーチャ板３１により整形され、両側テレセントリック光学系であるフィールドレンズ３２およびズーム光学系３３によりドラム３５上の版材の描画領域９１に導かれ、版材上において複数の光ビームの照射位置が走査される。版材に対する複数の光ビームの主走査はドラム３５の中心軸を中心とする回転により行われ、副走査はドラム３５の中心軸に平行な方向にベース部３４を移動することにより行われる。   In the image recording apparatus 3, the beam shapes of a plurality of light beams emitted from the optical unit array 4 a are shaped by the aperture plate 31, and the plate material on the drum 35 is formed by the field lens 32 and the zoom optical system 33 that are both-side telecentric optical systems. The drawing area 91 is guided to scan the irradiation positions of a plurality of light beams on the plate material. The main scanning of the plurality of light beams with respect to the printing plate is performed by rotation around the central axis of the drum 35, and the sub-scanning is performed by moving the base portion 34 in a direction parallel to the central axis of the drum 35.

画像記録装置３では、光学ユニットアレイ４ａにおいて、出射される複数の光ビームが所定の出射位置および出射角度にて出射されるよう複数の光源モジュール１が精度良く配置されているため、高精度なパターンの描画が実現される。   In the image recording apparatus 3, since the plurality of light source modules 1 are accurately arranged in the optical unit array 4a so that the plurality of emitted light beams are emitted at a predetermined emission position and emission angle. Pattern drawing is realized.

図１４は、図１０に示す光学ユニットアレイ４とほぼ同様の構造の光学ユニットアレイ４ｂを備える光伝送路６の構成を示す図である。光伝送路６は、光増幅器５、複数の光ファイバ６１および６４、並びに、光ファイバ６１および６４がそれぞれ２次元的に配列されて接続されるコネクタ６２および６３を備える。   FIG. 14 is a diagram showing a configuration of an optical transmission line 6 including an optical unit array 4b having a structure substantially similar to that of the optical unit array 4 shown in FIG. The optical transmission line 6 includes an optical amplifier 5, a plurality of optical fibers 61 and 64, and connectors 62 and 63 to which the optical fibers 61 and 64 are two-dimensionally arranged and connected.

光増幅器５は、複数のフォトダイオード（以下、「ＰＤ」という。）を有するフォトダイオードアレイ（以下、「ＰＤアレイ」という。）５１、既述の光源モジュール１を複数有する光学ユニットアレイ４ｂ、および、複数のＰＤのそれぞれを対応する光源モジュール１に接続する配線５２を備える。光学ユニットアレイ４ｂは、光源モジュール１が５個１列に配列された光学ユニットを５つ上下に並べたものである点を除いて、図１０に示す光学ユニットアレイ４と同様の構成を有する。コネクタ６２およびコネクタ６３には、それぞれ２５本の光ファイバ６１および光ファイバ６４が５×５のマトリックス状に高精度に（誤差数μｍ（マイクロメートル）の精度にて）配列される。   The optical amplifier 5 includes a photodiode array (hereinafter referred to as “PD array”) 51 having a plurality of photodiodes (hereinafter referred to as “PD”), an optical unit array 4 b including a plurality of the light source modules 1 described above, and The wiring 52 for connecting each of the plurality of PDs to the corresponding light source module 1 is provided. The optical unit array 4b has the same configuration as the optical unit array 4 shown in FIG. 10 except that five optical units in which five light source modules 1 are arranged in a row are arranged one above the other. In the connector 62 and the connector 63, 25 optical fibers 61 and 64 are arranged with high accuracy (with an accuracy of several μm (micrometer)) in a 5 × 5 matrix.

光伝送路６では、複数の光ファイバ６１により伝送される光信号が、コネクタ６２を介してＰＤアレイ５１に入力されて電気信号に変換され、配線５２を介して光学ユニットアレイ４ｂへと送信される。光学ユニットアレイ４ｂでは、受信された電気信号が光信号へと変換して光の強度が増幅された後、コネクタ６３を介して光ファイバ６４へと送信される。   In the optical transmission path 6, optical signals transmitted through the plurality of optical fibers 61 are input to the PD array 51 through the connector 62, converted into electrical signals, and transmitted to the optical unit array 4 b through the wiring 52. The In the optical unit array 4 b, the received electrical signal is converted into an optical signal, the light intensity is amplified, and then transmitted to the optical fiber 64 through the connector 63.

光増幅器５では、光学ユニットアレイ４ｂにおいて、出射される複数の光信号（光ビーム）が所定の出射位置および出射角度にて出射されるよう複数の光源モジュール１が精度良く配置されているため、光信号を受信するコアの直径が数μｍの光ファイバ６４に対しても、増幅された光信号を精度良く送出することができる。   In the optical amplifier 5, since the plurality of light source modules 1 are accurately arranged in the optical unit array 4b so that a plurality of emitted light signals (light beams) are emitted at a predetermined emission position and emission angle, The amplified optical signal can be accurately transmitted even to the optical fiber 64 having a core diameter of several μm for receiving the optical signal.

以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。例えば、光源モジュール１の光源は半導体レーザ１１に限定されず、発光ダイオード等の他の発光素子が光源として用いられてもよく、出射される光もビーム状のものには限定されない。レンズ部１２に設けられるコリメータレンズ１２３は、ボールレンズ、ドラムレンズ等が用いられてもよい。さらに、コリメータレンズ１２３に代えて他のレンズがレンズ部１２に設けられてもよい。プラットフォーム１３も、要求される熱伝導率が満たされるのであればヘビーメタル等の他の材料で形成されてもよい。   As mentioned above, although embodiment of this invention has been described, this invention is not limited to the said embodiment, A various change is possible. For example, the light source of the light source module 1 is not limited to the semiconductor laser 11, and other light emitting elements such as light emitting diodes may be used as the light source, and the emitted light is not limited to the beam shape. As the collimator lens 123 provided in the lens unit 12, a ball lens, a drum lens, or the like may be used. Further, another lens may be provided in the lens unit 12 instead of the collimator lens 123. The platform 13 may also be formed of other materials such as heavy metal as long as the required thermal conductivity is satisfied.

光源モジュール１では、角度基準面１３１を角度決め板２３に対して押圧する際に外部から直接的に押圧される被押圧部は、半導体レーザ１１への電力の供給構造の簡素化という観点からモジュール電極１４であることが好ましいが、他の方法で電力を供給することができる場合はモジュール電極１４以外の他の部位であってもよい。   In the light source module 1, the pressed portion that is directly pressed from the outside when the angle reference surface 131 is pressed against the angle determining plate 23 is a module from the viewpoint of simplifying the structure for supplying power to the semiconductor laser 11. The electrode 14 is preferable, but it may be a part other than the module electrode 14 when electric power can be supplied by another method.

角度基準面１３１は、レンズ部１２の光軸１２１に対して完全に垂直である必要はなく、光ビームの所定の出射角度を決定することができるのであれば、およそ垂直に設けられるのみでよい。また、角度基準面１３１はレンズ部１２の全周にわたって設けられてもよく、レンズ部１２の周囲の複数箇所に設けられてもよい。   The angle reference surface 131 does not need to be completely perpendicular to the optical axis 121 of the lens unit 12 and may be provided approximately perpendicularly so long as a predetermined emission angle of the light beam can be determined. . The angle reference plane 131 may be provided over the entire circumference of the lens unit 12 or may be provided at a plurality of locations around the lens unit 12.

また、位置基準面１２２は、光源モジュール１の構造の簡素化という観点からレンズ部外側面１２２であることが好ましいが、光源モジュール１に他の突起部が立設されている場合には、この突起部の外側面が位置基準面として他の専用の位置決め開口に挿入されることにより光源モジュール１の位置が決定されてもよい。   In addition, the position reference surface 122 is preferably the lens unit outer surface 122 from the viewpoint of simplifying the structure of the light source module 1, but when other projections are erected on the light source module 1, The position of the light source module 1 may be determined by inserting the outer side surface of the protruding portion into another dedicated positioning opening as a position reference surface.

光学ユニット２において、複数の光源モジュール１は、第１ピン２１３と第２ピン２１４とを結ぶ直線方向に沿って千鳥状に配列されてもよい。   In the optical unit 2, the plurality of light source modules 1 may be arranged in a staggered manner along a linear direction connecting the first pin 213 and the second pin 214.

光学ユニット２では、複数の光源モジュール１の第１ピン２１３および第２ピン２１４に対する位置決めは、位置決め板２２の２つのピン用開口２２３と第１ピン２１３および第２ピン２１４との嵌め合いによるものには限定されず、例えば、位置決め板２２の両端に設けられた凹部（例えば、Ｕ字状に切り欠かれた開口）が第１ピン２１３および第２ピン２１４に当接することにより位置決めが行われてもよい。   In the optical unit 2, the positioning of the plurality of light source modules 1 with respect to the first pin 213 and the second pin 214 is performed by fitting the two pin openings 223 of the positioning plate 22 with the first pin 213 and the second pin 214. The positioning is performed by, for example, recesses (for example, openings cut out in a U-shape) provided at both ends of the positioning plate 22 abutting on the first pin 213 and the second pin 214. May be.

光学ユニット２では、使用される光源モジュール１の数は上記実施の形態にて示した個数には限定されず、目的に合わせて複数の光源モジュール１が使用される。また、光学ユニット２では、光源モジュール１に代えてレンズモジュールや受光モジュール等の他の光学デバイス要素が設けられてもよい。   In the optical unit 2, the number of the light source modules 1 used is not limited to the number shown in the above embodiment, and a plurality of light source modules 1 are used according to the purpose. In the optical unit 2, other optical device elements such as a lens module and a light receiving module may be provided instead of the light source module 1.

光学ユニット２の電気プローブ２４は、長手方向に弾性収縮するのであれば、プローブ本体部２４２の内部にバネ以外の弾性体を有する構造であってもよく、適度な弾性を有する材料により形成される部材であってもよい。また、光源モジュール１への電力の供給構造の簡素化という観点からは、光源モジュール１を押圧する部位である電気プローブ２４により光源モジュール１に対して電力が供給される構造が好ましいが、光源モジュール１を押圧する部位と光源モジュール１に電力を供給する部位とが異なっていてもよい。さらに、押圧部３０では、電気プローブ２４と配線基板２７は一体物として形成されてもよい。   As long as the electric probe 24 of the optical unit 2 elastically contracts in the longitudinal direction, the probe main body 242 may have a structure having an elastic body other than a spring, and is formed of a material having moderate elasticity. It may be a member. From the viewpoint of simplifying the structure for supplying power to the light source module 1, a structure in which power is supplied to the light source module 1 by the electric probe 24 that is a part that presses the light source module 1 is preferable. The part which presses 1 and the part which supplies electric power to the light source module 1 may be different. Furthermore, in the pressing part 30, the electric probe 24 and the wiring board 27 may be formed as an integrated object.

光学ユニット２では、基準面２１２および位置決め板２２が配置面２３２と同等の平坦度を実現している場合であって、かつ、光学ユニット２に対する光源モジュール１の着脱に支障のない場合には、角度決め板２３が省略されてもよい。   In the optical unit 2, when the reference surface 212 and the positioning plate 22 have a flatness equivalent to that of the arrangement surface 232, and there is no hindrance to the attachment and detachment of the light source module 1 with respect to the optical unit 2, The angle determining plate 23 may be omitted.

光学ユニットアレイ４の保持部４０では、第１櫛歯部材４１および第２櫛歯部材４２に代えて、複数の溝４１１を有する第１の櫛歯部と、第１の櫛歯部と対向する位置に配置されて複数の溝４２１を有する第２の櫛歯部とを備える一体的な櫛歯部材が設けられてもよい。   In the holding unit 40 of the optical unit array 4, instead of the first comb tooth member 41 and the second comb tooth member 42, the first comb tooth portion having a plurality of grooves 411 and the first comb tooth portion are opposed to each other. An integral comb-tooth member provided with the 2nd comb-tooth part which is arrange | positioned in a position and has the some groove | channel 421 may be provided.

光学ユニットアレイ４の放熱器２８は、複数の光学ユニット２が保持部４０に取り付けられて光学ユニットアレイ４が組み立てられた後に各光学ユニット２に取り付けられてもよく、この場合、複数の光学ユニット２に対応する１個の大型の放熱器が取り付けられてもよい。   The heat radiator 28 of the optical unit array 4 may be attached to each optical unit 2 after the plurality of optical units 2 are attached to the holding unit 40 and the optical unit array 4 is assembled. One large radiator corresponding to 2 may be attached.

光学ユニットアレイ４ａを備えるパターン描画装置は、画像記録装置３に限定されるわけではなく、例えば、半導体基板や平面表示装置のガラス基板等にパターンを描画する装置として利用することもできる。   The pattern drawing device including the optical unit array 4a is not limited to the image recording device 3, and can be used as a device for drawing a pattern on a semiconductor substrate, a glass substrate of a flat display device, or the like.

光源モジュールを示す斜視図である。It is a perspective view which shows a light source module. 光源モジュールの平面図である。It is a top view of a light source module. 光源モジュールの正面図である。It is a front view of a light source module. 光源モジュールの左側面図である。It is a left view of a light source module. 光源モジュールの右側面図である。It is a right view of a light source module. 光学ユニットを示す斜視図である。It is a perspective view which shows an optical unit. 光学ユニットの構成を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the structure of an optical unit. 電気プローブを示す図である。It is a figure which shows an electric probe. 光学ユニットの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of an optical unit. 光学ユニットアレイの構成を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the structure of an optical unit array. 光学ユニット並びに第１櫛歯部材および第２櫛歯部材を示す図である。It is a figure which shows an optical unit, a 1st comb-tooth member, and a 2nd comb-tooth member. 光学ユニットアレイの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of an optical unit array. 画像記録装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of an image recording device. 光増幅器を備える光伝送路の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of an optical transmission line provided with an optical amplifier.

符号の説明Explanation of symbols

１ 光源モジュール
２ 光学ユニット
３ 画像記録装置
４，４ａ，４ｂ 光学ユニットアレイ
１１ 半導体レーザ
１２ レンズ部
１３ プラットフォーム
２２ 位置決め板
２３ 角度決め板
２４ 電気プローブ
２７ 配線基板
２９ 電力供給源
３０ 押圧部
３５ ドラム
３６ 光学系
４０ 保持部
４１ 第１櫛歯部材
４２ 第２櫛歯部材
９１ 描画領域
１２１ 光軸
１２２ａ 位置基準面
１３１ 角度基準面
２１２ 基準面
２１３ 第１ピン
２１４ 第２ピン
２２１ 位置決め開口
２２３ ピン用開口
２３２ 配置面
４１１ 溝
４１２ アレイ基準面
４２１ 溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light source module 2 Optical unit 3 Image recording device 4, 4a, 4b Optical unit array 11 Semiconductor laser 12 Lens part 13 Platform 22 Positioning plate 23 Angle determination plate 24 Electric probe 27 Wiring board 29 Power supply source 30 Press part 35 Drum 36 Optical System 40 Holding part 41 1st comb-tooth member 42 2nd comb-tooth member 91 Drawing area 121 Optical axis 122a Position reference surface 131 Angle reference surface 212 Reference surface 213 1st pin 214 2nd pin 221 Positioning opening 223 Pin opening 232 Arrangement Surface 411 Groove 412 Array reference surface 421 Groove

Claims (17)

光学ユニットアレイであって、
それぞれが第１の方向に沿って配置された複数の光学デバイス要素を備える複数の光学ユニットと、
前記複数の光学ユニットを前記第１の方向におよそ垂直な第２の方向に配列して保持する保持部と、
を備え、
前記複数の光学ユニットのそれぞれが、
前記第１の方向および前記第２の方向に平行であって前記複数の光学デバイス要素が配置される配置面と、
前記複数の光学デバイス要素の配置基準とされ、前記第１の方向に所定の間隔で設けられるとともに前記配置面に垂直な方向に突出する第１の突出部および第２の突出部と、
を備え、
前記保持部が、
前記複数の光学ユニットの複数の第１の突出部を前記第１の方向に関して外側から保持して前記複数の第１の突出部の位置を決定する複数の溝が形成された第１の櫛歯部と、
前記複数の光学ユニットの複数の第２の突出部を前記第１の方向に関して外側から保持して前記複数の第２の突出部の位置を決定する複数の溝が形成された第２の櫛歯部と、
前記複数の光学ユニットの複数の配置面に当接するアレイ基準面と、
を備え、
前記第１の櫛歯部が前記複数の第１の突出部に当接して前記複数の第１の突出部の前記第１の方向および前記第２の方向の位置を決定し、
前記第２の櫛歯部が前記複数の第２の突出部に当接して前記複数の第２の突出部の前記第２の方向の位置を決定することを特徴とする光学ユニットアレイ。 An optical unit array,
A plurality of optical units each comprising a plurality of optical device elements arranged along a first direction;
A holding unit that holds the plurality of optical units arranged in a second direction approximately perpendicular to the first direction;
With
Each of the plurality of optical units is
An arrangement surface that is parallel to the first direction and the second direction and on which the plurality of optical device elements are arranged;
A first projecting portion and a second projecting portion that serve as an arrangement reference of the plurality of optical device elements, are provided at predetermined intervals in the first direction and project in a direction perpendicular to the arrangement surface;
With
The holding part is
First comb teeth in which a plurality of first protrusions of the plurality of optical units are held from the outside in the first direction and a plurality of grooves for determining the positions of the plurality of first protrusions are formed. And
Second comb teeth in which a plurality of second protrusions of the plurality of optical units are held from the outside with respect to the first direction and a plurality of grooves for determining the positions of the plurality of second protrusions are formed. And
An array reference surface in contact with a plurality of arrangement surfaces of the plurality of optical units;
Equipped with a,
The first comb teeth are in contact with the plurality of first protrusions to determine the positions of the plurality of first protrusions in the first direction and the second direction;
It said second optical unit array comb teeth is characterized that you determine the contact with the position of the second direction of the second protrusion of the plurality of the plurality of second protrusions. 請求項１に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記複数の光学デバイス要素が取り付けられるとともに前記第１の突出部および前記第２の突出部が挿入される２つの開口が形成された位置決め部材をさらに備え、
前記第１の突出部および前記第２の突出部と前記２つの開口との嵌め合いにより、前記第１の突出部および前記第２の突出部に対する前記複数の光学デバイス要素の位置が決定されることを特徴とする光学ユニットアレイ。 The optical unit array according to claim 1 ,
Each of the plurality of optical units further includes a positioning member to which the plurality of optical device elements are attached and two openings into which the first protrusion and the second protrusion are inserted are formed.
The positions of the plurality of optical device elements with respect to the first protrusion and the second protrusion are determined by fitting the first protrusion and the second protrusion and the two openings. An optical unit array characterized by that. 請求項１に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学デバイス要素のそれぞれが突起部を備え、
前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記複数の光学デバイス要素の複数の突起部がそれぞれ挿入される複数の開口をさらに備え、
前記複数の光学デバイス要素のそれぞれの光学ユニットにおける位置が、前記突起部と開口との嵌め合いにより決定されることを特徴とする光学ユニットアレイ。 The optical unit array according to claim 1,
Each of the plurality of optical device elements includes a protrusion.
Each of the plurality of optical units further comprises a plurality of openings into which the plurality of protrusions of the plurality of optical device elements are respectively inserted.
The position of each of the plurality of optical device elements in the optical unit is determined by the fitting of the protrusion and the opening. 請求項３に記載の光学ユニットアレイであって、
前記突起部が、前記開口に挿入される外側面を、嵌め合いにより前記光学ユニットにおける光軸の位置を決定する位置基準面として備えるレンズ部であることを特徴とする光学ユニットアレイ。 The optical unit array according to claim 3 ,
The optical unit array, wherein the protrusion is a lens unit including an outer surface inserted into the opening as a position reference surface for determining a position of an optical axis in the optical unit by fitting. 請求項３または４に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記複数の開口が形成された薄膜状の位置決め部材をさらに備えることを特徴とする光学ユニットアレイ。 The optical unit array according to claim 3 or 4 ,
Each of the plurality of optical units further includes a thin film-like positioning member in which the plurality of openings are formed. 請求項５に記載の光学ユニットアレイであって、
前記位置決め部材が、前記第１の突出部および前記第２の突出部が挿入される２つの開口をさらに備え、
前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記第１の突出部および前記第２の突出部が設けられるとともに前記位置決め部材が当接する基準面をさらに備え、
前記第１の突出部および前記第２の突出部と前記２つの開口との嵌め合いにより、前記第１の突出部および前記第２の突出部に対する前記位置決め部材の位置が決定されることを特徴とする光学ユニットアレイ。 The optical unit array according to claim 5 , wherein
The positioning member further includes two openings into which the first protrusion and the second protrusion are inserted;
Each of the plurality of optical units further includes a reference surface on which the first protrusion and the second protrusion are provided and the positioning member abuts.
The position of the positioning member with respect to the first protrusion and the second protrusion is determined by fitting the first protrusion and the second protrusion and the two openings. An optical unit array. 請求項６に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記基準面との間で前記位置決め部材を挟む補強板をさらに備えることを特徴とする光学ユニットアレイ。 The optical unit array according to claim 6 ,
Each of the plurality of optical units further includes a reinforcing plate that sandwiches the positioning member with the reference surface. 請求項１に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学デバイス要素のそれぞれが、光を出射する光源モジュールであることを特徴とする光学ユニットアレイ。 The optical unit array according to claim 1,
The optical unit array, wherein each of the plurality of optical device elements is a light source module that emits light. 請求項８に記載の光学ユニットアレイであって、
前記光源モジュールが、
光ビームを出射する光源と、
前記光源からの光が入射するレンズ部と、
前記光源および前記レンズ部を保持する構造体と、
を備えることを特徴とする光学ユニットアレイ。 The optical unit array according to claim 8 ,
The light source module is
A light source that emits a light beam;
A lens portion on which light from the light source is incident;
A structure for holding the light source and the lens unit;
An optical unit array comprising: 請求項１に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学ユニットのそれぞれにおいて、前記複数の光学デバイス要素のそれぞれが指向性を有する光線を出射し、
前記複数の光学デバイス要素のそれぞれが、平面である前記配置面に当接することにより前記光線の出射方向を決定する角度基準面を備えることを特徴とする光学ユニットアレイ。 The optical unit array according to claim 1,
In each of the plurality of optical units, each of the plurality of optical device elements emits a light beam having directivity,
Each of the plurality of optical device elements includes an angle reference plane that determines an emission direction of the light beam by abutting against the arrangement surface that is a plane. 請求項１０に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記配置面との間で前記複数の光学デバイス要素を挟み込んで前記複数の光学デバイス要素を前記配置面側へと押圧する押圧部をさらに備えることを特徴とする光学ユニットアレイ。 The optical unit array according to claim 10 , wherein
Each of the plurality of optical units further includes a pressing portion that sandwiches the plurality of optical device elements with the arrangement surface and presses the plurality of optical device elements toward the arrangement surface. Optical unit array. 請求項１１に記載の光学ユニットアレイであって、
前記押圧部が電力供給源に接続されており、
前記押圧部が、前記複数の光学デバイス要素と当接する部位に、前記複数の光学デバイス要素にそれぞれ電力を供給する複数の電気端子を備えることを特徴とする光学ユニットアレイ。 The optical unit array according to claim 11 , wherein
The pressing portion is connected to a power supply source;
The optical unit array, wherein the pressing portion includes a plurality of electrical terminals that respectively supply power to the plurality of optical device elements at a portion that contacts the plurality of optical device elements. 請求項１２に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の電気端子が複数の電気プローブであり、
前記押圧部が、前記複数の電気プローブが当接する配線基板をさらに備えることを特徴とする光学ユニットアレイ。 The optical unit array according to claim 12 ,
The plurality of electrical terminals are a plurality of electrical probes;
The optical unit array, wherein the pressing portion further includes a wiring board with which the plurality of electric probes abut. 請求項１３に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の電気プローブが、前記配線基板と前記複数の光学デバイス要素との間で押圧されて弾性収縮することを特徴とする光学ユニットアレイ。 An optical unit array according to claim 13 ,
The optical unit array, wherein the plurality of electric probes are elastically contracted by being pressed between the wiring board and the plurality of optical device elements. 請求項１２ないし１４のいずれかに記載の光学ユニットアレイであって、
前記配置面が前記電力供給源に接続されており、
前記複数の光学デバイス要素のぞれぞれの前記角度基準面が電気端子であることを特徴とする光学ユニットアレイ。 The optical unit array according to any one of claims 12 to 14 ,
The placement surface is connected to the power supply;
The optical unit array, wherein the angle reference plane of each of the plurality of optical device elements is an electrical terminal. 請求項１２ないし１５のいずれかに記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学ユニットが互いに電気的に絶縁されていることを特徴とする光学ユニットアレイ。 The optical unit array according to any one of claims 12 to 15 ,
The optical unit array, wherein the plurality of optical units are electrically insulated from each other. 対象物上にパターンを描画するパターン描画装置であって、
請求項８ないし１６のいずれかに記載の光学ユニットアレイと、
前記光学ユニットアレイからの複数の光ビームを対象物に導く光学系と、
前記対象物上において前記複数の光ビームの照射位置を走査する走査機構と、
を備えることを特徴とするパターン描画装置。 A pattern drawing device for drawing a pattern on an object,
An optical unit array according to any of claims 8 to 16 ,
An optical system for guiding a plurality of light beams from the optical unit array to an object;
A scanning mechanism for scanning irradiation positions of the plurality of light beams on the object;
A pattern drawing apparatus comprising:
JP2003321432A 2003-09-12 2003-09-12 Optical unit array and pattern drawing apparatus Expired - Fee Related JP4338184B2 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003321432A JP4338184B2 (en) 2003-09-12 2003-09-12 Optical unit array and pattern drawing apparatus
US10/936,510 US7436422B2 (en) 2003-09-12 2004-09-09 Light source module, optical unit array and pattern writing apparatus
US11/637,688 US7643047B2 (en) 2003-09-12 2006-12-13 Light source module, optical unit array and pattern writing apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003321432A JP4338184B2 (en) 2003-09-12 2003-09-12 Optical unit array and pattern drawing apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005088231A JP2005088231A (en) 2005-04-07
JP4338184B2 true JP4338184B2 (en) 2009-10-07

Family

ID=34453123

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003321432A Expired - Fee Related JP4338184B2 (en) 2003-09-12 2003-09-12 Optical unit array and pattern drawing apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4338184B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4961685B2 (en) * 2005-05-18 2012-06-27 ウシオ電機株式会社 Light irradiation device
JP2007223301A (en) * 2006-01-27 2007-09-06 Ricoh Co Ltd Image formation apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005088231A (en) 2005-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7643047B2 (en) Light source module, optical unit array and pattern writing apparatus
KR100615898B1 (en) Laser light source for multiplexing laser beam and exposure device
EP1788676B1 (en) Modular assembly utilizing laser diode subassemblies with winged mounting blocks
KR101992501B1 (en) Low inductance light source module
US20070116070A1 (en) Modular diode laser assembly
CN107005022B (en) Optical unit, fixing structure of optical unit, and semiconductor laser module
US9966729B2 (en) Laser light source module and laser light source device
US6599032B1 (en) Transmitter/receiver for optical parallel transmission and board for optical module
CN112234429A (en) Multichannel laser transmitter and optical communication device
US6501781B1 (en) Arrangement for aligning the light beam paths of a group of laser diodes on a common spot, especially for providing pumping light for a solid state laser
JP4338184B2 (en) Optical unit array and pattern drawing apparatus
JP4876411B2 (en) Mounting method of optical module
CN110741298B (en) Optical module
US6975344B2 (en) Image recorder and light source unit with fixed element
JP2853641B2 (en) Light receiving device
JP4270441B2 (en) Light source module
JP2010135687A (en) Optical module
EP3370312B1 (en) Laser light source module
US20020106154A1 (en) Apparatus for and method of jointing probes
JP2001339122A (en) Light source
CN112987153B (en) Reflector group, optical device and optical system
JP2005026333A (en) Semiconductor laser equipment
KR100258962B1 (en) Light transmitting module
CN117613661A (en) Method for converting light-emitting direction of edge-emitting laser
JPS62169488A (en) Photoelectronic device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060605

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090408

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090604

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090626

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090629

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120710

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120710

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120710

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120710

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130710

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees