JP4332636B2 - Discharge surface treatment electrode manufacturing method and discharge surface treatment electrode - Google Patents

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Description

本発明は、金属粉末または金属合金の粉末を圧縮成形した圧粉体、もしくは、該圧粉体を加熱処理した圧粉体を電極として、加工液中或いは気中において電極とワークの間にパルス状の放電を発生させ、そのエネルギーによりワーク表面に電極材料あるいは電極材料が放電エネルギーにより反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理に関するものである。   The present invention uses a green compact obtained by compression-molding a metal powder or a metal alloy powder, or a green compact obtained by heat-treating the green compact as an electrode, and pulsed between the electrode and the workpiece in the working fluid or in the air. The discharge surface treatment is to form an electrode material or a film made of a substance obtained by reacting the electrode material with the discharge energy on the surface of the work.

従来の放電表面処理は、部品や金型の耐摩耗性を向上するため、セラミックス製粉末の電極を用いてTiC(炭化チタン)などの硬質材料の被膜を形成させていた。
そして、その電極の製造方法は、大気中で市販の粉末をそのままプレスにより圧縮成形した後、加熱して電極を製造していた。(参考特許文献1)
TiCは粉末が大気中で安定しており、粉末同士が付着しにくい。
そのため、粉末の流動性が高く、プレスの際、投入した粉末の平面がでやすく、プレス面に均一に圧力が負荷されており、成形された電極表面が均一な硬さであった。
In the conventional discharge surface treatment, a hard material film such as TiC (titanium carbide) is formed using a ceramic powder electrode in order to improve wear resistance of parts and molds.
And as for the manufacturing method of the electrode, after compressing a commercially available powder as it is by the press in air | atmosphere, it heated and manufactured the electrode. (Reference Patent Document 1)
TiC has a stable powder in the air, and it is difficult for the powders to adhere to each other.
Therefore, the fluidity of the powder is high, the surface of the charged powder is easily flattened during pressing, the pressure is uniformly applied to the press surface, and the molded electrode surface has a uniform hardness.

また、特開平5−148615号公報には、平均粒径1μm程度のWC(タングステンカーバイド)とCo(コバルト)を用いて数10mmの厚い被膜層を形成する放電表面処理方法が示されている。(参考特許文献2)
これら、WCやCoは、TiCと同様に大気中で安定しており、粉末の流動性が高い。
Japanese Patent Laid-Open No. 5-148615 discloses a discharge surface treatment method in which a thick coating layer of several tens of millimeters is formed using WC (tungsten carbide) and Co (cobalt) having an average particle diameter of about 1 μm. (Reference Patent Document 2)
These WC and Co are stable in the atmosphere like TiC, and the fluidity of the powder is high.

日本特許3227454号公報Japanese Patent No. 3227454 特開平5−148615号公報JP-A-5-148615

セラミックス、WC等の電極を用いてワーク表面に硬質セラミックス被膜を形成する技術に関しては、上述した従来技術により実現できる。
しかしながら、近年、例えば高温環境下での潤滑性や耐食性を有する金属被膜を放電表面処理で形成させる要求が高まってきた。
また、金属部品の補修や寸法の補正に、放電表面処理による金属や合金の厚い被膜の適用が求められている。
The technology for forming a hard ceramic film on the workpiece surface using electrodes such as ceramics and WC can be realized by the above-described conventional technology.
However, in recent years, for example, there has been an increasing demand for forming a metal film having lubricity and corrosion resistance under a high temperature environment by discharge surface treatment.
In addition, for the repair of metal parts and the correction of dimensions, it is required to apply a thick film of metal or alloy by discharge surface treatment.

放電表面処理で金属や合金の被膜を形成させるためには、ワーク表面に被膜を形成させるための電極の組成/構造が非常に重要であり、該電極自身に硬さの分布のない電極で表面処理を行わなければ形成される被膜が不均一となることが本件発明者らの実験により明らかになった。
そこで、本発明は、放電表面処理で金属あるいは金属の化合物の被膜を形成する際、金属あるいは金属の化合物の粉末で硬さの分布の無い電極を容易に製造し、放電表面処理を可能とする電極の製造法を確立することを目的とする。
In order to form a metal or alloy film by discharge surface treatment, the composition / structure of the electrode for forming the film on the workpiece surface is very important. The electrode itself has no hardness distribution on the surface. It has been clarified by experiments of the present inventors that the coating film to be formed becomes non-uniform without treatment.
Therefore, the present invention makes it possible to easily produce an electrode having no distribution of hardness with a powder of a metal or a metal compound when a coating of a metal or a metal compound is formed by the discharge surface treatment, thereby enabling the discharge surface treatment. It aims at establishing the manufacturing method of an electrode.

本発明にかかる電極製造方法は、金属粉末あるいは金属の化合物の粉末を圧縮成形した圧粉体電極と、ワークとの間にパルス状の放電を発生させ、そのエネルギーにより、ワーク表面に電極材料あるいは電極材料が放電エネルギーにより反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理において、所定の電極材料を溶剤と混合した状態で粉砕する工程と、この工程により粉砕された電極材料及び溶剤からなる混合体に、バインダーとしてのワックスを混合する工程と、この混合物を不活性ガス雰囲気で乾燥かつ造粒する工程と、この造粒された粉末を用いて上記圧粉体電極を成形する工程と、を備えたものである。   The electrode manufacturing method according to the present invention generates a pulsed discharge between a green compact electrode obtained by compression molding a metal powder or a metal compound powder and a work, and the energy of the electrode material or In a discharge surface treatment in which a coating made of a substance in which an electrode material reacts with discharge energy is formed, a step of pulverizing a predetermined electrode material mixed with a solvent, and a mixture of the electrode material and solvent pulverized in this step A step of mixing a wax as a binder, a step of drying and granulating the mixture in an inert gas atmosphere, and a step of forming the green compact electrode using the granulated powder. It is a thing.

本発明によれば、金属あるいは金属の化合物の粉末で硬さの分布の無い電極を容易に製造し、放電表面処理を可能として、この電極により安定した被膜を形成できる。   According to the present invention, an electrode having no hardness distribution can be easily manufactured with a powder of a metal or a metal compound, and discharge surface treatment can be performed, and a stable film can be formed by this electrode.

実施の形態1.
まず、放電表面処理の原理を図1を用いて説明する。
本実施の形態で説明する放電表面処理では、硬質な厚膜を形成すべく、金属の数μmの粉末を圧縮成形した後、加熱処理した圧粉体電極を用いる。
そして、加工液(油)中に電極(陰極)とワーク(陽極)と両者が接触しないよう主軸でサーボをとった状態で、所定の電圧を印加することにより放電を発生させる。
放電が発生すると、放電の熱により電極の一部は溶融・気化され、放電による爆風や静電気力によって電極の固まりが離脱し、ワークに堆積する。
これが、圧粉体電極を用いた放電表面処理の原理である。
Embodiment 1 FIG.
First, the principle of the discharge surface treatment will be described with reference to FIG.
In the discharge surface treatment described in this embodiment, in order to form a hard thick film, a compacted electrode that is heat-treated after compression molding a metal powder of several μm is used.
Then, a discharge is generated by applying a predetermined voltage in a state where servo is applied to the main shaft so that the electrode (cathode) and the work (anode) do not come into contact with each other in the working fluid (oil).
When the discharge occurs, a part of the electrode is melted and vaporized by the heat of the discharge, and the electrode lump is released by the blast and electrostatic force generated by the discharge and is deposited on the workpiece.
This is the principle of discharge surface treatment using a green compact electrode.

この表面処理を用いて高温環境下での潤滑性や耐食性を有する金属被膜を形成するためには、平均粒径3μm以下の粉末から製造された電極を用いる必要があることが本件発明者らによって明らかになってきた。
しかしながら、粒径3μm以下の金属や合金粉末は、粉末の体積に対する表面積の割合が大きくなり、表面が活性化された(酸化しやすい)状態となるためエネルギーに対してとても敏感になる。
具体的には、周囲に酸素があると内部まで一気に酸化されてしまい、導電性や延性などの金属としての性質を失ったり、酸化が爆発的に進んだりする場合がある。
そのため、平均粒径3μm以下の粉末は、市場に流通しておらず、様々な材質の放電表面処理用電極の粉末を入手することができない。なお、一般に入手できる粉末の最小の平均粒径は10μm程度である。
そこで、粒径3μm以下の粉末を得るためには、平均粒径10μm程度の粉末を購入し、溶剤などの液中で粉砕して、必要な粒径をもった粉末を製造する。
なお、溶剤などの液中で粉砕する理由は、単に粉砕しただけでは、上述したように表面が活性化された状態となるので、酸化を防止するためである。
また、粉末と粉末の凝集を抑制するためである。
According to the present inventors, it is necessary to use an electrode manufactured from a powder having an average particle size of 3 μm or less in order to form a metal film having lubricity and corrosion resistance under a high temperature environment using this surface treatment. It has become clear.
However, metal and alloy powders having a particle size of 3 μm or less are very sensitive to energy because the ratio of the surface area to the volume of the powder becomes large and the surface becomes activated (easy to oxidize).
Specifically, if oxygen is present in the surroundings, the inside may be oxidized all at once, losing properties as a metal such as conductivity and ductility, or oxidation may explode.
Therefore, powders having an average particle size of 3 μm or less are not distributed on the market, and powders for electrodes for discharge surface treatment of various materials cannot be obtained. Note that the minimum average particle size of generally available powder is about 10 μm.
Therefore, in order to obtain a powder having a particle size of 3 μm or less, a powder having an average particle size of about 10 μm is purchased and pulverized in a liquid such as a solvent to produce a powder having a required particle size.
The reason for grinding in a liquid such as a solvent is to prevent oxidation because the surface is activated as described above simply by grinding.
Moreover, it is for suppressing aggregation of powder and powder.

次に、本実施の形態における電極製造プロセスについて図2を用いて詳細に説明する。
一般に流通している金属粉末の平均粒径は、数十μmである。
それらの粉末を揮発性を持ったアルコール中や有機溶剤中(以下、溶媒)において、ビーズミルや振動ミルなどの粉砕機で平均粒径3μm以下に粉砕し、粉砕によって得られた粉末と溶媒の混合体を得る。これらの粉砕機で粉砕された粉末は、鱗片状である。
なお、溶媒としては、エタノール、プロパノール、ブタノールなどのアルコール類やアセトン、トルエン、キシレン、ベンゼン、ノルマルヘキサン等の有機溶剤があげられる。
Next, the electrode manufacturing process in the present embodiment will be described in detail with reference to FIG.
The average particle size of metal powders that are generally distributed is several tens of μm.
These powders are pulverized in volatile alcohol or organic solvent (hereinafter referred to as “solvent”) to a mean particle size of 3 μm or less with a pulverizer such as a bead mill or vibration mill, and the powder and solvent obtained by pulverization are mixed. Get the body. The powder pulverized by these pulverizers is scale-like.
Examples of the solvent include alcohols such as ethanol, propanol, and butanol, and organic solvents such as acetone, toluene, xylene, benzene, and normal hexane.

この混合体に対して、プレスの際に粉末内部へのプレスの圧力の伝わりを良くするため、バインダーとしてパラフィンなどのワックスを重量比1%から10%程度粉末に混入する。
ここで、パラフィンは、分子における電荷のかたよりである極性が低いため、極性の高いアルコールやアセトンには溶融しにくい。
そのため、アルコールやアセトンを粉砕の溶媒に使用させた場合、あらかじめ極性の低いノルマルヘキサンやトルエンにワックスを溶融させ、粉砕によって得られた粉末と溶媒の混合体に、ワックスを溶融したノルマルヘキサンやトルエンを混合する。
なお、粉砕時の溶剤として、ノルマルヘキサンやトルエンを用いた場合は、粉砕によって得られた混合体にそのままワックスを混合すればよい。
In order to improve the transmission of the press pressure to the inside of the powder during pressing, the mixture is mixed with wax such as paraffin as a binder in the powder in a weight ratio of about 1% to 10%.
Here, since paraffin has a low polarity, which is a form of charge in a molecule, it is difficult to melt in alcohol or acetone with high polarity.
Therefore, when alcohol or acetone is used as a pulverization solvent, the wax is melted in low-polarity normal hexane or toluene in advance, and the mixture of powder and solvent obtained by pulverization is mixed with normal hexane or toluene in which the wax is melted. Mix.
When normal hexane or toluene is used as a solvent for pulverization, the wax may be mixed as it is with the mixture obtained by pulverization.

その後、粉末及び溶剤の混合体とワックスとの混合物をボールミルで攪拌し、十分に混合する。このボールミルを使用した混合工程では、回転数を数十rpmまで低下させ、ボールの移動速度を下げ、粉末を粉砕するのではなく、混合することにボールミルを用いる。
次に、一般にスプレードライヤーと呼ばれる乾燥装置を用いて、高温の窒素を循環させた雰囲気に上記混合体を噴霧し、溶剤を乾燥させる。
この乾燥の際に、部材の仮想切断面の接線方向に生じる内力(雰囲気気体のせん断力)と混合体の表面張力により、混合体は球状になる(造粒粉)。
造粒粉は、鱗片状の粉末によって形成され、球形をしている。
鱗片状の粉末を用いて造粒した場合、粉末の表面が、造粒粉の表面に現れ、表面のなめらかな造粒粉を製造できる(図3参照)。
このため、流動性が高いものを得ることができる。
この造粒粉は、粉砕時の溶媒が全て揮発して、粉砕された粉末とワックスが析出してできたものであり、造粒粉は10μm〜200μm程度の大きさである。
造粒粉の粒度は、乾燥室内に噴出させるアトマイザの回転数で調整できる。
今回、アトマイザを10000rpmとし、20μm〜40μmの造粒粉を得ることができた。
この程度の大きさであれば、酸化しやすい金属でも酸化されない。
Thereafter, the mixture of the powder and the solvent and the mixture of the wax are stirred with a ball mill and sufficiently mixed. In the mixing process using the ball mill, the rotation speed is reduced to several tens of rpm, the moving speed of the ball is lowered, and the ball mill is used for mixing instead of pulverizing the powder.
Next, the mixture is sprayed in an atmosphere in which high-temperature nitrogen is circulated using a drying device generally called a spray dryer, and the solvent is dried.
During this drying, the mixture becomes spherical (granulated powder) due to the internal force (atmospheric gas shear force) generated in the tangential direction of the virtual cut surface of the member and the surface tension of the mixture.
The granulated powder is formed of scaly powder and has a spherical shape.
When granulated using scaly powder, the surface of the powder appears on the surface of the granulated powder, and a smooth granulated powder can be produced (see FIG. 3).
For this reason, a thing with high fluidity | liquidity can be obtained.
The granulated powder is formed by volatilization of all the solvent during pulverization and precipitation of the pulverized powder and wax, and the granulated powder has a size of about 10 μm to 200 μm.
The particle size of the granulated powder can be adjusted by the rotation speed of an atomizer ejected into the drying chamber.
This time, the atomizer was set to 10,000 rpm, and granulated powder of 20 μm to 40 μm could be obtained.
If it is such a magnitude | size, even if it is a metal which is easy to oxidize, it is not oxidized.

その後、造粒された20μm〜40μmの粉末をそのままプレスで成形する。
造粒粉をダイの中に投入して振動を加え、密度を均一にし、造粒粉上面をプレスの面に対して平行にする。
球状の造粒粉は、流動性が高いため、振動で動き、密度を均一の状態を得ることができる。
振動による粉末の動きが無くなれば、水準器で平行度を確認し、プレス成形する。
その後、真空炉または窒素雰囲気の炉で加熱して導電性を持つ電極を製造する。
なお、加熱の際に電極中のワックスを除去する。
Thereafter, the granulated powder of 20 μm to 40 μm is directly molded by a press.
The granulated powder is put into a die and vibration is applied to make the density uniform, and the upper surface of the granulated powder is made parallel to the surface of the press.
Since the spherical granulated powder has high fluidity, it can move by vibration and obtain a uniform density.
When the powder does not move due to vibration, check the parallelism with a level and press mold.
Thereafter, the electrode having conductivity is manufactured by heating in a vacuum furnace or a furnace in a nitrogen atmosphere.
Note that the wax in the electrode is removed during heating.

次に、酸化しやすい金属であるCr(クロム)を含んだステライト(Co合金)の電極製造の一例について説明する。
本実施の形態で説明するCo合金は、Mo28wt%、Cr17wt%、Si3wt%、残りCo、または、Cr28wt%、Ni5wt%、W19wt%、残りCo、または、Cr25wt%、Ni10wt%、W7wt%、C0.5wt%、残りCoからなる合金であるが、その他にも、Ni合金、Fe合金等が存在する。
またNi合金は、Ni52.5wt%、Cr19wt%、Mo3wt%、Nb5.1wt%、Al0.5wt%、Ti0.9wt%、Fe18.5wt%、Mn0.2wt%、Si0.2wt%、C0.04wt、または、Ni47wt%、Cr22wt%、Co1.5wt%、Mo9wt%、W0.6wt%、Fe18.5wt%、Mn0.5wt%、Si0.5wt%、C0.07wt%である。
またFe合金は、Ni32.5wt%、Cr21.5wt%、Fe46wt%、Mn0.8wt%、Si0.4wt%、C0.4wt%からなる。
その他、Niを主成分として、Cr、Feを含むNi合金、Niを主成分として、Cr、Mo、Taを含むNi合金、Feを主成分として、Cr,Ni、Mo、(Cb+Ta)、Ti、Alを含むFe合金でも良い。
Next, an example of manufacturing an electrode of stellite (Co alloy) containing Cr (chromium), which is an easily oxidizable metal, will be described.
Co alloy described in the present embodiment is Mo28 wt%, Cr17 wt%, Si3 wt%, remaining Co, or Cr28 wt%, Ni5 wt%, W19 wt%, remaining Co, or Cr25 wt%, Ni10 wt%, W7 wt%, C0. The alloy is made of 5 wt% and the remaining Co, but there are Ni alloy, Fe alloy, and the like.
Ni alloy is Ni52.5wt%, Cr19wt%, Mo3wt%, Nb5.1wt%, Al0.5wt%, Ti0.9wt%, Fe18.5wt%, Mn0.2wt%, Si0.2wt%, C0.04wt, Or they are Ni47wt%, Cr22wt%, Co1.5wt%, Mo9wt%, W0.6wt%, Fe18.5wt%, Mn0.5wt%, Si0.5wt%, C0.07wt%.
The Fe alloy is composed of Ni 32.5 wt%, Cr 21.5 wt%, Fe 46 wt%, Mn 0.8 wt%, Si 0.4 wt%, and C 0.4 wt%.
In addition, Ni as the main component, Ni alloy containing Cr, Fe, Ni as the main component, Ni alloy containing Cr, Mo, Ta, Fe as the main component, Cr, Ni, Mo, (Cb + Ta), Ti, An Fe alloy containing Al may be used.

一般的に市販されているステライト粉末の平均粒径は20μm程度である。
その粉末をまずボール材質ZrOの振動式ボールミル装置で粉砕した。
粉砕に際しては、溶媒であるアセトン中に上記ステライト粉末を入れ、振動数1200cpmで約300時間粉砕し、平均粒径を1.2μmまで低下させた。
Generally, the average particle size of the commercially available stellite powder is about 20 μm.
The powder was first pulverized with a vibrating ball mill apparatus made of ball material ZrO 2 .
In the pulverization, the above stellite powder was put in acetone as a solvent, and pulverized at a frequency of 1200 cpm for about 300 hours to reduce the average particle size to 1.2 μm.

次に、ノルマルヘキサンに石油ワックス(パラフィン)を溶融させる。
それを上記粉砕で得られたアセトンとステライト粉末の混合体に混合し、ボールミルを用いて混合する。
混合は、低速で運転し、ステライトとノルマルヘキサン(ワックス含む)並びにアセトンを十分に混合する。
Next, petroleum wax (paraffin) is melted in normal hexane.
It is mixed with the mixture of acetone and stellite powder obtained by the above pulverization and mixed using a ball mill.
Mixing is run at low speed, and stellite and normal hexane (including wax) as well as acetone are thoroughly mixed.

次に不活性ガスである窒素を循環させた乾燥室に上記混合体を噴霧し、乾燥させる。
乾燥に用いるスプレードライヤーは、容器上部には、回転する円盤状のアトマイザがあり、その周囲から重力方向に高温の窒素が噴出している。
具体的には、アトマイザの中心付近に混合体を供給し、遠心力の影響で、その混合体を窒素中に噴霧する。
この噴霧により飛び出した直後は、糸状であり、飛行の間に、周囲の気体からせん断力を受けている。
また、液体は表面張力により球状になろうとする。
せん断力で糸状の混合体を引きちぎり、表面張力で球となったときに、溶剤を揮発させれば、球状の造粒粉を得ることができる。
Next, the mixture is sprayed into a drying chamber in which nitrogen as an inert gas is circulated and dried.
The spray dryer used for drying has a rotating disk-shaped atomizer at the upper part of the container, and high-temperature nitrogen is ejected from the periphery in the direction of gravity.
Specifically, the mixture is supplied near the center of the atomizer, and the mixture is sprayed into nitrogen under the influence of centrifugal force.
Immediately after jumping out by this spray, it is thread-like and receives a shearing force from the surrounding gas during the flight.
Also, the liquid tends to become spherical due to surface tension.
A spherical granulated powder can be obtained if the solvent is volatilized when the thread-like mixture is torn off by shearing force and becomes a sphere by surface tension.

そして、乾燥した粉末は、重力の影響でスプレードライヤーの乾燥室下に落下し、下部に設置された集積部に集まる。
造粒粉の様子を図4に示す。
図中の1目盛りが10μmであり、図より40μm程度の球状の造粒粉を得ることができた。
And the dried powder falls under the drying chamber of a spray dryer under the influence of gravity, and collects in the accumulation | storage part installed in the lower part.
The state of the granulated powder is shown in FIG.
One scale in the figure is 10 μm, and spherical granulated powder of about 40 μm can be obtained from the figure.

続いて、その造粒粉を用いて、電極サイズ50×11×5mmの形状に、70MPaのプレス圧力で圧縮成形した。
その後、ワックスを混入しているため、電極を加熱してワックスを除去する必要がある.そのため、真空炉で30分間、200℃で保持する。
加熱により、融点に達したワックスは、電極から表面にしみ出てくる。
その後300℃に加熱すると、しみ出したワックスは沸点に到達し気化する。
さらにその成形体を約700度の真空炉で約2時間加熱することにより、導電性を持つステライト電極を製造した。
Subsequently, the granulated powder was used to compression-mold the electrode size of 50 × 11 × 5 mm with a press pressure of 70 MPa.
After that, since the wax is mixed, it is necessary to heat the electrode and remove the wax. Therefore, it is kept at 200 ° C. for 30 minutes in a vacuum furnace.
When heated, the wax that has reached the melting point oozes from the electrode to the surface.
Thereafter, when heated to 300 ° C., the exuded wax reaches the boiling point and vaporizes.
Further, the compact was heated in a vacuum furnace at about 700 degrees for about 2 hours to produce a conductive stellite electrode.

上記ステライト電極のプレスの面に当たる面の硬さをダイナミックビッカース硬度計で測定したものを図5に示す。
図において、横軸は電極端面からの位置、縦軸はプローブの押し込み深さから求められるダイナミック硬さである。
参考までに、プレス前の粉末が球状でない場合、流動性が悪く、粉末投入時に均一な密度や平面を得られておらず、プレスの際に硬さの分布を生じている。
それに対し、本発明による粉末を使用した電極は、図に示される如く、電極端面からのどの位置においてもほぼ均一な硬さを得ることができた。
FIG. 5 shows the hardness of the surface of the stellite electrode that hits the press surface measured with a dynamic Vickers hardness tester.
In the figure, the horizontal axis represents the position from the electrode end surface, and the vertical axis represents the dynamic hardness obtained from the probe pressing depth.
For reference, when the powder before pressing is not spherical, the fluidity is poor and a uniform density or flat surface cannot be obtained when the powder is charged, resulting in a hardness distribution during pressing.
On the other hand, the electrode using the powder according to the present invention was able to obtain a substantially uniform hardness at any position from the end face of the electrode as shown in the figure.

次に、この電極で堆積加工試験を行った結果について説明する。
放電加工条件は、ピーク電流値をie=12A、放電持続時間(放電パルス幅)te8μs程度とした。
堆積状況を図6に示す。
図において、右は電極先端付近で約10分程度加工した場合の結果、左は電極中心付近で約10分程度加工した場合の結果である。
堆積結果としては、いずれも厚さ約0.3mmの被膜を形成することができた。
球状の造粒粉を使用しない場合、加工時間や被膜厚さにばらつきがあるが、本実施の形態では、電極のどの位置でも安定した被膜を得ることができた。
被膜表面に関しては、放電の集中や短絡が起こった様子は観察されず、安定した放電を得ることができ、更に、被膜厚さも加工面全体で均一であった。
Next, the results of a deposition processing test using this electrode will be described.
The electric discharge machining conditions were such that the peak current value was ie = 12 A and the discharge duration (discharge pulse width) was about te8 μs.
The state of deposition is shown in FIG.
In the figure, the right shows the result of machining for about 10 minutes near the electrode tip, and the left shows the result of machining for about 10 minutes near the electrode center.
As a result of the deposition, a film having a thickness of about 0.3 mm could be formed.
When spherical granulated powder is not used, the processing time and film thickness vary, but in this embodiment, a stable coating can be obtained at any position on the electrode.
With respect to the coating surface, no discharge concentration or short circuit occurred was observed, stable discharge could be obtained, and the film thickness was uniform over the entire processed surface.

以上のような本実施の形態をとれば、酸化しやすいCr(クロム)やAl(アルミ)やTi(チタン)等の金属やそれらを含む合金でも電極を製造することができる。
なぜなら、酸化しやすい粉末を酸素に触れることなく、乾燥、造粒できる。なお、大きな造粒粉は酸化しにくいためである。
また、単に粉砕された粒径3μm以下の粉末は、形状が球でなく、粉末と粉末が凝集しやすいため、流動性が低く、プレス時に均一な平面や密度を得ることができないばかりか、プレス圧力の分布を生じ、均一な硬さを持った電極しか成形できなかったが、本実施の形態によれば、鱗片状の流動性の低い粉砕された平均粒径3μm以下の粉末であっても、粉末の平面が造粒粉の表面となる球状に造粒粉を製造でき、その流動性の高い性質により電極の密度を均一にし、金型内造粒粉上面をプレス面に対して平行にできるため、硬さの分布のない電極を製造することができるようになった。
そして、この均一な硬さの電極により、電極のどの箇所で処理しても同じ性能を持った被膜を得ることができるようになった。
更に、造粒粉を得るまでに、粉末が大気に触れないため、製造し難かった酸化しやすい金属でも、放電表面処理の電極として製造でき、それらの被膜を放電表面処理で形成できるようになった。
なお、Cr(クロム)やAl(アルミ)やTi(チタン)などを含んだ金属の粉末も、圧縮成形し固めて電極とすれば、電極の表面は酸化されるが、内部はそれほど酸化されず、また、爆発的に酸化が進むことはない。
By taking this embodiment as described above, an electrode can be manufactured using a metal such as Cr (chromium), Al (aluminum), or Ti (titanium) that easily oxidizes or an alloy containing them.
This is because powder that is easily oxidized can be dried and granulated without being exposed to oxygen. This is because large granulated powder is difficult to oxidize.
In addition, powders with a particle size of 3 μm or less that are simply pulverized are not spherical and the powder and powder tend to agglomerate, so the fluidity is low, and it is not possible to obtain a uniform plane or density during pressing. Although only an electrode having a uniform pressure and a distribution of pressure was produced, according to the present embodiment, even if the powder is a crushed powder having a low fluidity and having an average particle diameter of 3 μm or less , Granulated powder can be manufactured in a spherical shape with the powder plane being the surface of the granulated powder, and its high fluidity makes the electrode density uniform, and the upper surface of the granulated powder in the mold is parallel to the press surface As a result, an electrode having no hardness distribution can be manufactured.
And with this uniform hardness electrode, it has become possible to obtain a film having the same performance regardless of where the electrode is treated.
Furthermore, since the powder does not come into contact with the air before obtaining the granulated powder, even oxidizable metals that were difficult to manufacture can be manufactured as electrodes for discharge surface treatment, and those coatings can be formed by discharge surface treatment. It was.
In addition, if the powder of the metal containing Cr (chromium), Al (aluminum), Ti (titanium), etc. is compression-molded and made into an electrode, the surface of the electrode is oxidized, but the inside is not so oxidized. Also, oxidation does not progress explosively.

例えば、軽量で高強度であり、更に高温での耐酸化性を有するTiを、圧粉体の放電表面処理にて、ジェットエンジンのコンプレッサーなどに被膜することが可能となる。   For example, it is possible to coat Ti, which is light and high in strength and has oxidation resistance at high temperatures, on a jet engine compressor or the like by discharge surface treatment of the green compact.

実施の形態2.
次に、本実施の形態2における電極製造プロセスについて図7を用いて説明する。
酸化しにくいCoやNiやMo(モリブデン)の粉末は、粒径3μm以下の粉末が一般に流通している。
それらの粉末を用いて電極を製造する場合、実施の形態1の粉砕工程は必要ないノルマルヘキサンなど極性の低い溶剤に電極となる粉末を投入し、その中に粉末量の重量比1%から10%程度のワックスを溶融させる。
粉末とワックスが十分に混ざり合うようにボールミルで攪拌し、その混合体をスプレードライヤーで乾燥、さらに20μm〜40μm程度に造粒する。
その後、造粒された粉末をそのままプレスで成形する。
造粒粉をダイの中に投入して振動を加え、密度を均一にし、造粒粉上面をプレスの面に対して平行にする。
球状の造粒粉は、流動性が高いため、振動で動き、密度を均一の状態を得ることができる。
振動による粉末の動きが無くなれば、水準器で平行度を確認し、プレス成形する。
その後、真空炉または窒素雰囲気の炉で加熱して導電性を持つ電極を製造する。
なお、加熱の際に電極中のワックスを除去する。
Embodiment 2. FIG.
Next, an electrode manufacturing process according to the second embodiment will be described with reference to FIG.
As powders of Co, Ni, and Mo (molybdenum) that are difficult to oxidize, powders having a particle size of 3 μm or less are generally distributed.
When manufacturing an electrode using those powders, the powder used as an electrode is thrown into low polarity solvents, such as normal hexane which does not require the grinding | pulverization process of Embodiment 1, and the weight ratio of the amount of powder to 1 to 10 in it. % Wax is melted.
The mixture is stirred with a ball mill so that the powder and wax are sufficiently mixed, and the mixture is dried with a spray dryer and further granulated to about 20 μm to 40 μm.
Thereafter, the granulated powder is directly molded by a press.
The granulated powder is put into a die and vibration is applied to make the density uniform, and the upper surface of the granulated powder is made parallel to the surface of the press.
Since the spherical granulated powder has high fluidity, it can move by vibration and obtain a uniform density.
When the powder does not move due to vibration, check the parallelism with a level and press mold.
Thereafter, the electrode having conductivity is manufactured by heating in a vacuum furnace or a furnace in a nitrogen atmosphere.
Note that the wax in the electrode is removed during heating.

次にMoの電極の製造の一例について説明する。
平均粒径0.7μmのMo粉末をノルマルヘキサンに投入し、投入したMo粉末の重量比で3%程度のワックスを添加し、その混合体をボールミルでよく攪拌して、スプレードライヤーで乾燥させ、平均粒径20μm〜40μm程度の混合造粒粉を得る。
その粉末を用いて、電極サイズ60×60×15mmの形状に、20MPaのプレス圧力で圧縮成形した。
Next, an example of manufacturing the Mo electrode will be described.
Mo powder with an average particle size of 0.7 μm is charged into normal hexane, a wax of about 3% is added by weight ratio of the charged Mo powder, the mixture is thoroughly stirred with a ball mill, and dried with a spray dryer. A mixed granulated powder having an average particle size of about 20 μm to 40 μm is obtained.
Using the powder, it was compression-molded into a shape of electrode size 60 × 60 × 15 mm with a press pressure of 20 MPa.

その後、ワックスを混入しているため、電極を加熱してワックスを除去する必要があり、真空炉で30分間、200℃で加熱保持することにより、融点に達したワックスは、電極から表面にしみ出てくる。
その後、300℃に加熱すると、しみ出したワックスは沸点に到達し気化する。
さらにその成形体を約800℃の真空炉で約2時間加熱することにより、導電性を持つMo電極を製造した。
After that, since the wax is mixed, it is necessary to heat the electrode to remove the wax, and the wax that has reached the melting point by being heated and held at 200 ° C. for 30 minutes in the vacuum furnace will stain the surface from the electrode. Come out.
Thereafter, when heated to 300 ° C., the exuded wax reaches the boiling point and vaporizes.
Further, the compact was heated in a vacuum furnace at about 800 ° C. for about 2 hours to produce a conductive Mo electrode.

次に、この電極で堆積加工試験を行った結果について説明する。
放電加工条件は、図8に示すように、ピーク電流値をie=12A、放電持続時間(放電パルス幅)te=8μs程度とし、約10分程度加工した場合の結果、厚さ約0.3mmの被膜を形成することができた。
球状の造粒粉を使用しない場合、加工時間や被膜厚さにばらつきがあるが、本実施の形態では、電極のどの位置でも安定した被膜を得ることができた。
被膜表面に関しては、放電の集中や短絡が起こった様子は観察されず、安定した放電を得ることができ、更に、被膜厚さも加工面全体で均一であった。
Next, the results of a deposition processing test using this electrode will be described.
As shown in FIG. 8, the electric discharge machining conditions are such that the peak current value is ie = 12 A, the discharge duration (discharge pulse width) te is about 8 μs, and the thickness is about 0.3 mm as a result of machining for about 10 minutes. It was possible to form a coating.
When spherical granulated powder is not used, the processing time and film thickness vary, but in this embodiment, a stable coating can be obtained at any position on the electrode.
With respect to the coating surface, no discharge concentration or short circuit occurred was observed, stable discharge could be obtained, and the film thickness was uniform over the entire processed surface.

実施の形態3.
次に、混合造粒粉末における混合すべき粉末材料について説明する。
電極の製造においては、従来の放電表面処理は硬質被膜の形成、それも特に常温に近いところでの硬質被膜の形成に主眼がおかれ、硬質炭化物を主成分とする被膜を形成するというのが現状であり、このような炭化物を主成分とするような被膜を形成する技術では、緻密な被膜を均一に形成することが可能であるが、被膜の厚さを数10μm程度以上には厚くできないという問題がある。
しかし、本発明者らの実験によると、電極材質の成分に、炭化物を形成しないあるいは炭化物を形成しにくい材料を添加するに従い、被膜を厚くできることがわかってきた。
従来は、炭化物を形成しやすい材料の割合が多く含まれており、例えば、Tiなどの材料を電極に含むと、油中での放電により化学反応を起こし、被膜としてはTiC(炭化チタン)という硬質の炭化物になる。
表面処理が進むにつれて、ワーク表面の材質が鋼材(鋼材に処理する場合)からセラミックスであるTiCに変わり、それに伴い、熱伝導・融点などの特性が変化する。
ところが、炭化しないあるいは炭化しにくい材料を電極に加えることで被膜は炭化物にならず、金属のまま被膜に残る材料が増えるという現象が生じた。
そして、この電極材料の選定が、被膜を厚く盛り上げるのに大きな意味を持つことが判明した。
この場合、硬度、緻密性、および均一性を満たすことは当然であり、厚膜を形成する前提である。
Embodiment 3 FIG.
Next, the powder material to be mixed in the mixed granulated powder will be described.
In the production of electrodes, conventional discharge surface treatment focuses on the formation of hard coatings, especially the formation of hard coatings at temperatures close to room temperature. In such a technique for forming a film mainly composed of carbide, it is possible to form a dense film uniformly, but the thickness of the film cannot be increased to about several tens of μm or more. There's a problem.
However, according to experiments by the present inventors, it has been found that the coating can be made thicker as a material that does not form carbides or hardly forms carbides is added to the component of the electrode material.
Conventionally, a large proportion of materials that easily form carbides are included. For example, when a material such as Ti is included in an electrode, a chemical reaction is caused by discharge in oil, and the coating is called TiC (titanium carbide). It becomes hard carbide.
As the surface treatment progresses, the material of the workpiece surface changes from steel (when processed into steel) to TiC which is ceramic, and characteristics such as heat conduction and melting point change accordingly.
However, when a material that is not carbonized or hardly carbonized is added to the electrode, the film does not become a carbide, and a phenomenon occurs in which the material that remains in the film as a metal increases.
And, it has been found that the selection of the electrode material has a great significance for thickening the coating.
In this case, it is natural that the hardness, the denseness, and the uniformity are satisfied, and it is a premise for forming a thick film.

図9に示すように、炭化物であるCrと炭化物を形成しにくい材料であるCoとを混合した粉末を圧縮成形し、その後に電極強度を増すため加熱して電極を製作した場合、炭化物を形成しにくいCoの量を変化させることで厚膜の形成しやすさが変わっていく。
具体的には、図8で示されるようなパルス条件に基づいて被膜を形成した場合、製作した電極内にあって、Coが含有する重量%によってワーク上に形成される被膜の厚さが異なり、Co含有量が低い場合には10μm程の膜厚であったものがCo含有量30体積%程度から次第に厚くなり、40体積%を超えると安定して厚膜が形成しやすくなり、さらにCo含有量50体積%を過ぎたころから10000μm近くにまで厚くなる。
なお、図9のグラフには、Co量30体積%程度から滑らかに膜厚が上昇するように記載しているが、これは、複数回の試験を行なった平均値であり、実際には、Co量が30体積%程度の場合には、厚く被膜が盛り上がらない場合があったり、厚く盛りあがった場合でも、被膜の強度が弱い、すなわち、金属片などで強く擦ると除去されてしまう場合などもあり、安定しない。
As shown in FIG. 9, when a powder obtained by mixing Cr 3 C 2 that is a carbide and Co that is a material that is difficult to form a carbide is compression-molded, and then heated to increase electrode strength, an electrode is manufactured. The ease of forming a thick film changes by changing the amount of Co that is difficult to form carbides.
Specifically, when a film is formed based on the pulse conditions as shown in FIG. 8, the thickness of the film formed on the workpiece varies depending on the weight percentage of Co in the manufactured electrode. When the Co content is low, the film thickness is about 10 μm, and the Co content gradually increases from about 30% by volume. When the Co content exceeds 40% by volume, it becomes easier to form a thick film stably. From the time when the content exceeds 50% by volume, the thickness is increased to nearly 10,000 μm.
In the graph of FIG. 9, it is described that the film thickness increases smoothly from about 30% by volume of Co, but this is an average value obtained by performing a plurality of tests, and actually, If the amount of Co is about 30% by volume, the film may not be thick and even if it is thick, the film is weak, that is, it may be removed if it is rubbed strongly with a metal piece. Yes, not stable.

別の観点から説明すると、上記のような条件に基づいてワーク上に被膜を形成した場合、電極内のCoが0%の場合、すなわち、Crが100重量%の場合には、形成できる被膜の厚さは10μm程度が限界であり、それ以上厚みを増すことはできない。
そして、Coの如き炭化物を形成しにくい材料が電極内にない場合の処理時間に対する被膜の厚さの様子は図10のようになる。
図10によれば、処理の初期は、被膜が時間とともに成長して厚くなり、あるところ(約5分/cm)で飽和する。
その後しばらく膜厚は成長しないが、ある時間(20分/cm程度)以上処理を続けると今度は被膜の厚みが減少しはじめ、最後には被膜高さはマイナス、すなわち掘り込みに変わってしまう。
ただし、掘り込んだ状態でも被膜は存在しており、その厚み自体は10μm程度であり、適切な時間で処理した状態とほとんど変わらない。
From another point of view, when a film is formed on the workpiece based on the above-described conditions, it is formed when Co in the electrode is 0%, that is, when Cr 3 C 2 is 100% by weight. The thickness of the coat that can be formed is about 10 μm, and the thickness cannot be increased further.
FIG. 10 shows the thickness of the coating film with respect to the processing time when there is no material such as Co that hardly forms carbide in the electrode.
According to FIG. 10, at the beginning of the treatment, the film grows and thickens with time and saturates at some point (about 5 minutes / cm 2 ).
After that, the film thickness does not grow for a while, but if the treatment is continued for a certain time (about 20 minutes / cm 2 ) or more, the thickness of the film starts to decrease and finally the film height becomes minus, that is, changes to digging. .
However, the film is present even in the dug state, and the thickness itself is about 10 μm, which is almost the same as the state processed in an appropriate time.

つまり、このように被膜中に金属として残る材料を多くすることにより、炭化物になっていない金属成分を含む被膜を形成することができ、安定して厚膜が形成しやすくなる。
ここでいう体積%は混合するそれぞれ粉末の重量をそれぞれの材料の密度で割った値の比率のことであり、粉末全体の材料の体積中においてその材料が占める体積の割合である。
電極中におけるCoの含有量が70体積%の場合,厚さ2mm程度の厚膜を形成できた。この被膜は15分の処理時間で形成されたものであるが、処理時間を増せばさらに厚い被膜にすることができる。
That is, by increasing the amount of the material remaining as a metal in the coating, a coating containing a metal component that is not carbide can be formed, and a thick film can be formed stably.
The volume% here is a ratio of a value obtained by dividing the weight of each powder to be mixed by the density of each material, and is a ratio of the volume occupied by the material in the volume of the material of the whole powder.
When the Co content in the electrode was 70% by volume, a thick film having a thickness of about 2 mm could be formed. This film is formed in a processing time of 15 minutes, but if the processing time is increased, a thicker film can be formed.

このようにして、電極内にCo等の炭化しにくい材料あるいは炭化しない材料を40体積%以上含有する電極を用いることによって、放電表面処理によりワーク表面に安定して厚い被膜を形成することができる。
上記においては、炭化物を形成しにくい材料としてCoを用いた場合について説明したが、Ni、Feなども同様の結果を得られる材料であり、本発明に用いて好適である。
In this way, by using an electrode containing 40% by volume or more of a material that is difficult to carbonize or not carbonized, such as Co, in the electrode, a thick film can be stably formed on the workpiece surface by discharge surface treatment. .
In the above description, the case where Co is used as a material that hardly forms carbides has been described. However, Ni, Fe, and the like are materials that can obtain similar results, and are suitable for use in the present invention.

なお、ここでいう厚膜とは、組織の内部(パルス状の放電により形成する被膜であるため、最表面は面粗さが悪く一見光沢がないように見える)が金属光沢を持つような緻密な被膜のことである。
Coのような炭化物を形成しにくい材料が少ない場合でも、電極の強度を弱くすると付着物は盛り上がることがある。
しかし、このような付着物は緻密な被膜ではなく、金属片などで擦ると容易に除去できるようなものである。前述の特許文献1などに記載されている堆積層は、このような緻密ではない被膜であり、金属片などで擦ると容易に除去できるものである。
The thick film here means a dense structure in which the inside of the tissue (which is a film formed by pulsed discharge, so that the outermost surface has poor surface roughness and does not appear glossy) has a metallic luster. It is a simple film.
Even when there are few materials such as Co that are difficult to form carbides, deposits may rise when the strength of the electrode is reduced.
However, such a deposit is not a dense film, but can be easily removed by rubbing with a metal piece or the like. The deposited layer described in the above-mentioned Patent Document 1 is such a non-dense film and can be easily removed by rubbing with a metal piece or the like.

次に、炭化物であるCrと炭化物を形成しにくい材料であるCoとを混合した粉末を圧縮成形した圧粉体電極製造の具体例について説明する。
図11は、放電表面処理用電極及びその製造方法の概念を示す断面図である。
図において、金型の上パンチ2、金型の下パンチ3、金型のダイ4で囲まれた空間には、Cr(炭化クロム)粉末及びCo粉末からなる混合造粒粉末1が充填される。
Next, a specific example of manufacturing a green compact electrode in which a powder obtained by mixing Cr 3 C 2 that is a carbide and Co that is a material that hardly forms a carbide is compression-molded will be described.
FIG. 11 is a cross-sectional view showing the concept of the discharge surface treatment electrode and the manufacturing method thereof.
In the figure, in the space surrounded by the upper punch 2 of the mold, the lower punch 3 of the mold, and the die 4 of the mold, the mixed granulated powder 1 made of Cr 3 C 2 (chromium carbide) powder and Co powder is present. Filled.

まず、混合造粒粉末について説明する。
ノルマルヘキサンに石油ワックス(パラフィン)を溶融させる。
ボールミルを用いてワックスが溶けたノルマルヘキサンとCo粉末とCr粉末を混合する。
混合は、低速で運転し、粒径4μm〜6μm程度のCoと、粒径3μm〜6μm程度の粉末Crと、ノルマルヘキサン(ワックス含む)並びにノルマルヘキサンを十分に混合する。
なお、ベースとなる材質はCrであるが、Co粉末を40体積%以上含有させる。
First, the mixed granulated powder will be described.
Petroleum wax (paraffin) is melted in normal hexane.
Using a ball mill, normal hexane, Co powder, and Cr 3 C 2 powder in which wax is dissolved are mixed.
The mixing is performed at a low speed, and Co having a particle diameter of about 4 μm to 6 μm, powder Cr 3 C 2 having a particle diameter of about 3 μm to 6 μm, normal hexane (including wax) and normal hexane are sufficiently mixed.
The material of the base is a Cr 3 C 2, it is contained Co powder more than 40 vol%.

次に不活性ガスである窒素を循環させた乾燥室に上記混合体を噴霧し、乾燥させる。
乾燥に用いるスプレードライヤーは、容器上部には、回転する円盤状のアトマイザがあり、その周囲から重力方向に高温の窒素が噴出している。
具体的には、アトマイザの中心付近に混合体を供給し、遠心力の影響で、その混合体を窒素中に噴霧する。
この噴霧により飛び出した直後は、糸状であり、飛行の間に、周囲の気体からせん断力を受けている。
また、液体は表面張力により球状になろうとする。
せん断力で糸状の混合体を引きちぎり、表面張力で球となったときに、溶剤を揮発させれば、球状の造粒粉を得ることができる。
Next, the mixture is sprayed into a drying chamber in which nitrogen as an inert gas is circulated and dried.
The spray dryer used for drying has a rotating disk-shaped atomizer at the upper part of the container, and high-temperature nitrogen is ejected from the periphery in the direction of gravity.
Specifically, the mixture is supplied near the center of the atomizer, and the mixture is sprayed into nitrogen under the influence of centrifugal force.
Immediately after jumping out by this spray, it is thread-like and receives a shearing force from the surrounding gas during the flight.
Also, the liquid tends to become spherical due to surface tension.
A spherical granulated powder can be obtained if the solvent is volatilized when the thread-like mixture is torn off by shearing force and becomes a sphere by surface tension.

そして、乾燥した粉末は、重力の影響でスプレードライヤーの乾燥室下に落下し、下部に設置された集積部に40μm程度の球状の造粒粉を得ることができた。
このような手法で、炭化物であるCrと炭化物を形成しにくい材料であるCoとを混合した混合造粒粉末1を製造した。
そして、この混合造粒粉末1を図11の如く圧縮成形することにより圧粉体を形成する。
And the dried powder fell under the drying chamber of the spray dryer under the influence of gravity, and a spherical granulated powder of about 40 μm could be obtained in the accumulation part installed in the lower part.
By this method, a mixed granulated powder 1 in which Cr 3 C 2 that is a carbide and Co that is a material that hardly forms a carbide was mixed was manufactured.
Then, the mixed granulated powder 1 is compression molded as shown in FIG. 11 to form a green compact.

電極を作製する際の粉末を圧縮成プレス圧は約50MPaであり、加熱温度は400℃から800℃の範囲内で変化させた。プレスの際には成形性をよくするためにプレスする粉末に少量(重量で2%から3%)のワックスを混合した。ワックスは加熱の際に除去される。
Crが多いほど加熱温度は高くし、Coが多いほど温度を低くした。
これは、Crが多い場合には製作した電極が脆くなりやすく低い温度で加熱してもすぐに崩れてしまうのに対し、Coが多い場合には加熱温度が低くても電極の強度が強くなりやすかったためである。
The powder used to produce the electrode was compressed at a compression pressing pressure of about 50 MPa, and the heating temperature was changed within the range of 400 ° C to 800 ° C. At the time of pressing, a small amount (2% to 3% by weight) of wax was mixed with the powder to be pressed in order to improve the moldability. The wax is removed on heating.
The heating temperature was increased as the amount of Cr 3 C 2 was increased, and the temperature was decreased as the amount of Co was increased.
This is because when the amount of Cr 3 C 2 is large, the manufactured electrode tends to become brittle and immediately collapses even when heated at a low temperature, whereas when the amount of Co is large, the strength of the electrode is low even when the heating temperature is low. It was because it was easy to become strong.

放電表面処理加工に当たっては、この圧粉体が放電電極となる。(図12参照)
この放電表面処理装置によりワーク表面に被膜を形成するには、電極とワークとを油の加工液の中で対向配置し、加工液中において放電表面処理用電源から電極とワークとの間にパルス状の放電を発生させ、その放電エネルギーにより電極材料の被膜をワーク表面に形成しあるいは放電エネルギーにより電極材料が反応した物質の被膜をワーク表面に形成する。
極性は、電極側がマイナス、ワーク側がプラスの極性を使用する。放電のアーク柱は図に示すように電極とワークとの間に発生する。
使用した放電のパルスは図8に示すような波形であり、パルス条件は、ピーク電流値ie=10A、放電持続時間(放電パルス幅)te=64μs、休止時間to=128μs、15mm×15mmの面積の電極において15分処理を行い被膜を形成した。
以上のような放電表面処理装置を用いてワークに被膜を形成することにより、液中パルス放電処理により安定してワーク表面に厚膜の被膜を形成することができる。
In the discharge surface treatment, this green compact becomes the discharge electrode. (See Figure 12)
In order to form a coating film on the workpiece surface with this discharge surface treatment apparatus, the electrode and the workpiece are placed opposite to each other in an oil machining fluid, and a pulse is generated between the electrode and the workpiece from the discharge surface treatment power source in the machining fluid. A discharge of the shape is generated, and a coating film of the electrode material is formed on the workpiece surface by the discharge energy, or a coating film of a substance reacted with the electrode material is formed on the workpiece surface by the discharge energy.
The polarity is negative on the electrode side and positive on the workpiece side. As shown in the figure, an arc column of discharge is generated between the electrode and the workpiece.
The discharge pulse used has a waveform as shown in FIG. 8, and the pulse conditions are as follows: peak current value ie = 10 A, discharge duration (discharge pulse width) te = 64 μs, rest time to = 128 μs, 15 mm × 15 mm area The electrode was processed for 15 minutes to form a film.
By forming a film on the workpiece using the above-described discharge surface treatment apparatus, a thick film can be stably formed on the workpiece surface by the pulse discharge treatment in liquid.

本実施の形態のように造粒すると,流動性の高い性質によりプレス時に電極の密度を均一にし、金型内造粒粉上面をプレス面に対して平行にできるため、硬さの分布のない電極を製造することができるようになった。
そして、この均一な硬さの電極により、電極のどの箇所で処理しても同じ性能を持った被膜を得ることができるようになった。
また、本実施例では、放電条件の例として1つの条件での試験結果を示したが、被膜の厚さなど異なるが、他の条件でも、同様の結果が得られることはいうまでない。
この事実も、本実施例だけでなく、本発明中の他の実施例にも当てはまるものである。
Crなどの硬質な被膜は、耐摩耗性を向上するために使用されることが多い。
耐摩耗性は、被膜表面の硬さの分布や粗さが大きく影響を受ける。
仮に、被膜表面に硬さの分布があると、大きく摩耗する箇所と摩耗しない箇所が現れる。
上記の造粒粉で製造された電極による被膜は、電極のどの部分で処理しても同じ性能を持った被膜を形成できるため、耐摩耗性を有する被膜を安定して製造できる。
When granulated as in this embodiment, due to the high fluidity, the density of the electrodes is made uniform during pressing and the upper surface of the granulated powder in the mold can be made parallel to the pressing surface, so there is no distribution of hardness. An electrode can be manufactured.
And with this uniform hardness electrode, it has become possible to obtain a film having the same performance regardless of where the electrode is treated.
In this embodiment, the test result under one condition is shown as an example of the discharge condition. However, it is needless to say that the same result can be obtained under other conditions although the thickness of the film is different.
This fact applies not only to this embodiment but also to other embodiments of the present invention.
Hard coatings such as Cr 3 C 2 are often used to improve wear resistance.
Abrasion resistance is greatly affected by the hardness distribution and roughness of the coating surface.
If there is a distribution of hardness on the surface of the coating, there will be places that are heavily worn and places that are not worn.
Since the film made of the above-mentioned granulated powder is made of the electrode, a film having the same performance can be formed regardless of which part of the electrode is processed, so that a film having wear resistance can be stably produced.

実施の形態4.
上述した実施の形態3では、ベースとなる炭化物であるCrに、炭化しにくい材料あるいは炭化しない材料であるCo粉末を40体積%以上含有させた混合造粒粉末を用いて放電表面処理を行った場合について説明したが、本実施の形態は、金属であるTi(チタン)粉末と粒径4μm〜6μm程度のCo粉末からなる混合造粒粉末を用いる場合について説明する。
なお、本実施の形態でも、炭化しにくい材料あるいは炭化しない材料であるCo粉末を40体積%以上含有させる必要がある。
この混合造粒粉末は、以下の工程で製造される。
Embodiment 4 FIG.
In the third embodiment described above, discharge surface treatment is performed using mixed granulated powder in which Cr 3 C 2 which is a base carbide contains 40% by volume or more of Co powder which is a material that is not easily carbonized or a material that is not carbonized. In this embodiment, the case of using a mixed granulated powder made of a Ti (titanium) powder that is a metal and a Co powder having a particle diameter of about 4 μm to 6 μm will be described.
Even in this embodiment, it is necessary to contain 40% by volume or more of Co powder that is a material that is not easily carbonized or a material that is not carbonized.
This mixed granulated powder is manufactured in the following steps.

一般的に市販されているTi粉末の平均粒径は20μm程度である。
その粉末をまずボール材質ZrOの振動式ボールミル装置で粉砕する。
粉砕に際しては、溶媒であるノルマルヘキサン中に上記Ti粉末を入れ、振動数1200cpmで約250時間粉砕し、平均粒径を1.2μmまで低下させた。
Generally, the average particle size of commercially available Ti powder is about 20 μm.
The powder is first pulverized by a vibrating ball mill apparatus made of a ball material ZrO 2 .
At the time of pulverization, the Ti powder was placed in normal hexane as a solvent and pulverized at a frequency of 1200 cpm for about 250 hours to reduce the average particle size to 1.2 μm.

粉砕で得られたTi粉末とノルマルヘキサンとCo粉末との混合体にワックスを混合し、ボールミルを用いて混合する。
混合は低速で運転し、Ti粉末とCo粉末とノルマルヘキサン(ワックス含む)を十分に混合する。
Wax is mixed with the mixture of Ti powder, normal hexane, and Co powder obtained by pulverization, and mixed using a ball mill.
The mixing is performed at a low speed, and Ti powder, Co powder, and normal hexane (including wax) are sufficiently mixed.

次に不活性ガスである窒素を循環させた乾燥室に上記混合体を噴霧し、乾燥させる。
乾燥には実施の形態3と同様にスプレードライヤーを用いて、40μm程度の球状の造粒粉を得ることができた。
そして、この混合造粒粉末を図11の如く圧縮成形することにより圧粉体を形成する。
放電表面処理加工に当たっては、この圧粉体が放電電極とされる。
Next, the mixture is sprayed into a drying chamber in which nitrogen as an inert gas is circulated and dried.
For drying, a spherical granulated powder of about 40 μm could be obtained using a spray dryer as in the third embodiment.
Then, the mixed granulated powder is compression-molded as shown in FIG. 11 to form a green compact.
In the discharge surface treatment, this green compact is used as a discharge electrode.

電極を作製する際の粉末を圧縮成プレス圧は約50MPaであり、加熱温度は400℃から800℃の範囲形するで変化させた。
TiとCoはともに金属であるが、違いは、Tiが活性な材料であり、加工液である油中での放電の雰囲気下で炭化物であるTiC(炭化チタン)に極めてなり易い材料であるのに対し、Coは炭化物を形成しにくい材料であるという点である。
また、Tiは大気中では酸化しやすい材料である。
しかしながら、本実施の形態の如く混合造粒粉末とすることにより、酸化されることなく電極を製造できる。
Ti(チタン)粉末とCo(コバルト)粉末とを混合して電極を製造した場合についても、電極内に炭化しにくい材料あるいは炭化しない材料としてのCo(コバルト)粉末を40体積%以上含有させた電極とすることによって、放電表面処理によりワーク表面に安定して厚い被膜を形成することができる。
The powder used to produce the electrode was compressed to have a compression pressing pressure of about 50 MPa, and the heating temperature was changed in the range of 400 ° C to 800 ° C.
Ti and Co are both metals, but the difference is that Ti is an active material, and it is very likely to become TiC (titanium carbide), which is a carbide, in the atmosphere of discharge in oil, which is a working fluid. On the other hand, Co is a material that hardly forms carbides.
Ti is a material that easily oxidizes in the atmosphere.
However, by using mixed granulated powder as in this embodiment, an electrode can be manufactured without being oxidized.
Also in the case of manufacturing an electrode by mixing Ti (titanium) powder and Co (cobalt) powder, Co (cobalt) powder as a material which is not easily carbonized or is not carbonized is contained in the electrode in an amount of 40% by volume or more. By using the electrode, a thick film can be stably formed on the workpiece surface by the discharge surface treatment.

次に、実施の形態3の場合と同様に電極中におけるTi粉末の含有率を、Ti(チタン)粉末100体積%、すなわち電極内のCoが0体積%の場合から、Co粉末の含有量を順次増やし、膜の成形の状態がどのようになるか調べた結果について用いて説明する。
ここで、Co粉末は粒径1μm〜6μm程度の粉末を使用した。
Next, in the same manner as in the third embodiment, the content of Ti powder in the electrode is set to 100% by volume of Ti (titanium) powder, that is, the content of Co powder is changed from the case where Co in the electrode is 0% by volume. The results will be described with reference to the results of examining the state of the film forming step by step.
Here, as the Co powder, a powder having a particle size of about 1 μm to 6 μm was used.

電極材料が、Ti100体積%の場合には、被膜の表面のところどころではTiCとなり、被膜の表面が荒れていた。
しかし、炭化しにくい材料であるCoの含有量を増やすにしたがい粗さが低減した被膜を形成できるようになり、電極中におけるCoの含有量が40体積%を超えると均一な厚膜を形成しやすくなることが判明した。
そして、電極中におけるCoの含有量が50体積%をこえると均一な厚膜を形成できるため好ましいことが判明した。
この結果は、実施の形態3で示した結果とほぼ同じ結果である。
これは、電極中に含まれるTiは、加工液である油中での放電の雰囲気では炭化物であるTiCになってしまい、初めから炭化物を混合するのと同じような結果になるためであると推察される。
また、TiCは熱伝導率が小さいため,被膜上に多量のTiCが形成されると放電により除去となってしまい、表面が荒れていたが、Coを混入することで被膜の熱伝導率が向上し、除去になりにくになったため、均一な被膜を形成できたと考えられる。
When the electrode material was 100% by volume of Ti, the surface of the coating became TiC at various places on the surface of the coating, and the surface of the coating was rough.
However, as the content of Co, which is difficult to carbonize, is increased, a coating with reduced roughness can be formed. When the Co content in the electrode exceeds 40% by volume, a uniform thick film is formed. It turned out to be easier.
It has been found that it is preferable that the Co content in the electrode exceeds 50% by volume because a uniform thick film can be formed.
This result is almost the same as the result shown in the third embodiment.
This is because Ti contained in the electrode becomes TiC which is a carbide in the atmosphere of discharge in oil as a working fluid, and results are similar to mixing carbide from the beginning. Inferred.
In addition, since TiC has a low thermal conductivity, if a large amount of TiC is formed on the film, it was removed by discharge and the surface was rough. However, the incorporation of Co improves the thermal conductivity of the film. However, it became difficult to remove, and it is considered that a uniform film could be formed.

なお、本実施の形態においてはTi(チタン)粉末と混合して電極を構成する炭化物を形成しにくい材料としてCo(コバルト)を用いた場合を例に挙げたが、Ni、Feなども同様の結果を得られる材料であり、本発明に用いて好適である。   In this embodiment, the case where Co (cobalt) is used as a material that is difficult to form the carbide constituting the electrode by mixing with Ti (titanium) powder is taken as an example, but the same applies to Ni, Fe, and the like. It is a material from which results can be obtained and is suitable for use in the present invention.

放電表面処理の原理を示す図である。It is a figure which shows the principle of discharge surface treatment. 電極製造工程を示す図である。It is a figure which shows an electrode manufacturing process. 実施の形態1における造粒粉を示す図である。3 is a diagram showing granulated powder in Embodiment 1. FIG. 実施の形態1における造粒粉を示す図である。3 is a diagram showing granulated powder in Embodiment 1. FIG. 実施の形態1における硬さの分布を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a hardness distribution in the first embodiment. 実施の形態1における電極により放電表面処理を行った際の堆積状況を示す図である。It is a figure which shows the deposition condition at the time of performing discharge surface treatment with the electrode in Embodiment 1. FIG. 電極製造工程を示す図である。It is a figure which shows an electrode manufacturing process. 本実施の形態にける放電のパルスの説明図である。It is explanatory drawing of the pulse of the discharge in this Embodiment. Co含有量の差による被膜堆積状況を示す図である。It is a figure which shows the film deposition condition by the difference in Co content. Cr粉末の電極により加工を行った際の加工時間と被膜厚さの関係を示す図である。The cr 3 C 2 powder electrode is a diagram illustrating a processing time and a film thickness of relationship when performing the processing. 電極製造プロセスを示す図である。It is a figure which shows an electrode manufacturing process. 放電表面処理装置の全体構成図である。It is a whole block diagram of a discharge surface treatment apparatus.

Claims (24)

金属粉末あるいは金属の化合物の粉末を圧縮成形した圧粉体電極と、ワークとの間にパルス状の放電を発生させ、そのエネルギーにより、ワーク表面に電極材料あるいは電極材料が放電エネルギーにより反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理に用いる放電表面処理用電極の製造方法において、
電極材料及び溶剤からなる混合体に、バインダーとしてのワックスを混合する工程と、
この混合物を不活性ガス雰囲気で乾燥かつ造粒する工程と、
この造粒された粉末を用いて上記圧粉体電極を成形する工程と、
を備えたことを特徴とする放電表面処理用電極の製造方法。
A substance in which a pulsed discharge is generated between a workpiece and a green compact electrode formed by compression molding a metal powder or metal compound powder, and the electrode material or electrode material reacts with the discharge energy on the workpiece surface. Oite the fabrication method of spark surface modification electrode used for discharge surface treatment for forming a coating film made of,
Mixing a wax as a binder into a mixture comprising an electrode material and a solvent;
Drying and granulating the mixture in an inert gas atmosphere;
Forming the green compact electrode using the granulated powder;
A method for manufacturing an electrode for discharge surface treatment, comprising:
金属粉末あるいは金属の化合物の粉末を圧縮成形した圧粉体電極と、ワークとの間にパルス状の放電を発生させ、そのエネルギーにより、ワーク表面に電極材料あるいは電極材料が放電エネルギーにより反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理に用いる放電表面処理用電極の製造方法において、
所定の電極材料を溶剤と混合した状態で粉砕する工程と、
この工程により粉砕された電極材料及び溶剤からなる混合体に、バインダーとしてのワックスを混合する工程と、
この混合物を不活性ガス雰囲気で乾燥かつ造粒する工程と、
この造粒された粉末を用いて上記圧粉体電極を成形する工程と、
を備えたことを特徴とする放電表面処理用電極の製造方法。
A substance in which a pulsed discharge is generated between a workpiece and a green compact electrode formed by compression molding a metal powder or metal compound powder, and the electrode material or electrode material reacts with the discharge energy on the workpiece surface. Oite the fabrication method of spark surface modification electrode used for discharge surface treatment for forming a coating film made of,
Pulverizing a predetermined electrode material in a mixed state with a solvent;
Mixing a wax as a binder with the mixture of the electrode material and solvent pulverized in this step;
Drying and granulating the mixture in an inert gas atmosphere;
Forming the green compact electrode using the granulated powder;
A method for manufacturing an electrode for discharge surface treatment, comprising:
前記溶剤は、エタノール、プロパノール、ブタノールなどのアルコール類、またはアセトン、トルエン、キシレン、ベンゼン、ノルマルヘキサンなどの有機溶剤であることを特徴とする請求項1または2に記載の放電表面処理用電極の製造方法。3. The discharge surface treatment electrode according to claim 1, wherein the solvent is an alcohol such as ethanol, propanol, or butanol, or an organic solvent such as acetone, toluene, xylene, benzene, or normal hexane. Production method. 電極材料として、Co合金、又はNi合金、又はFe合金を用いることを特徴とする請求項1または2に記載の放電表面処理用電極の製造方法。 As the electrode material, Co alloy or Ni alloy, or the fabrication method of spark surface modification electrode according to claim 1 or 2, characterized in that a Fe alloy. 前記合金は、Coを主成分として、Cr、Ni、Wを含むCo合金、Coを主成分として、Mo、Cr、Siを含むCo合金、Niを主成分として、Cr、Feを含むNi合金、Niを主成分として、Cr、Mo、Taを含むNi合金、Feを主成分として、Cr,Ni、Mo、(Cd+Ta)、Ti、Alを含むFe合金であることを特徴とする請求項4に記載の放電表面処理用電極の製造方法。 The alloy includes Co as a main component, Co alloy including Cr, Ni, and W, Co as a main component, Co alloy including Mo, Cr, and Si, Ni as a main component, Ni alloy including Cr and Fe, 5. An Ni alloy containing Cr, Mo and Ta as a main component, and an Fe alloy containing Cr, Ni, Mo, (Cd + Ta), Ti and Al as a main component. The manufacturing method of the electrode for discharge surface treatment of description. Co合金は、Mo28wt%、Cr17wt%、Si3wt%、残りCo(コバルト)、または、Cr28wt%、Ni5wt%、W19wt%、残りCo、または、Cr(クロム)25wt%、Ni(ニッケル)10wt%、W(タングステン)7wt%、C(炭素)0.5wt%、残りCoからなる合金であることを特徴とする請求項4に記載の放電表面処理用電極の製造方法。 Co alloy includes Mo 28 wt%, Cr 17 wt%, Si 3 wt%, remaining Co (cobalt), or Cr 28 wt%, Ni 5 wt%, W 19 wt%, remaining Co or Cr (chromium) 25 wt%, Ni (nickel) 10 wt%, W 5. The method for producing an electrode for discharge surface treatment according to claim 4, wherein the alloy is made of (tungsten) 7 wt%, C (carbon) 0.5 wt%, and the remaining Co. 合金材料の粉末に、炭化物を形成しないもしくは形成しにくい金属材料を混合したことを特徴とする請求項4〜6何れかに記載の放電表面処理用電極の製造方法。 The method for producing an electrode for discharge surface treatment according to any one of claims 4 to 6, wherein the alloy material powder is mixed with a metal material which does not form or hardly forms carbides. 炭化物を形成しないもしくは形成しにくい金属材料は、40体積%以上含むことを特徴とする請求項7に記載の放電表面処理用電極の製造方法。 The method for manufacturing an electrode for discharge surface treatment according to claim 7, wherein the metal material that does not form or hardly forms carbide includes 40% by volume or more. 電極材料として、Cr、Al、Ti等の酸化しやすい金属を用いることを特徴とする請求項1または2に記載の放電表面処理用電極の製造方法。 The method for producing an electrode for discharge surface treatment according to claim 1 or 2, wherein an easily oxidized metal such as Cr, Al or Ti is used as the electrode material. 電極材料として、炭化物を形成しないもしくは形成しにくい金属材料を40体積%以上含むことを特徴とする請求項1または2に記載の放電表面処理用電極の製造方法。 3. The method for producing an electrode for discharge surface treatment according to claim 1, wherein the electrode material contains 40% by volume or more of a metal material that does not form or hardly forms carbide. 4. 前記炭化物を形成しないもしくは炭化物を形成しにくい金属材料が、Co、NiまたはFeであること特徴とする請求項8または10に記載の放電表面処理用電極の製造方法。 The method for manufacturing an electrode for discharge surface treatment according to claim 8 or 10, wherein the metal material that does not form carbide or hardly forms carbide is Co, Ni, or Fe. 粉砕は、平均粒径3μm以下に微細化することを特徴とする請求項1〜11何れかに記載の放電表面処理用電極の製造方法。 The method for producing an electrode for discharge surface treatment according to any one of claims 1 to 11, wherein the pulverization is refined to an average particle diameter of 3 µm or less. 造粒工程により、造粒される電極材料の平均粒径は、10μm〜200μmとすることを特徴とする請求項1〜12の何れかに放電表面処理用電極の製造方法。 The method for producing an electrode for discharge surface treatment according to any one of claims 1 to 12, wherein the average particle diameter of the electrode material granulated by the granulation step is 10 µm to 200 µm. 金属粉末あるいは金属の化合物の粉末を圧縮成形した圧粉体電極と、ワークとの間にパルス状の放電を発生させ、そのエネルギーにより、ワーク表面に電極材料あるいは電極材料が放電エネルギーにより反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理に用いる放電表面処理用電極において、
電極粉末と溶剤とワックスを混合し、その混合体を不活性ガス雰囲気で乾燥かつ造粒し、その造粒された粉末を用いて成形されたことを特徴とする放電表面処理用電極。
A substance in which a pulsed discharge is generated between a workpiece and a green compact electrode formed by compression molding a metal powder or metal compound powder, and the electrode material or electrode material reacts with the discharge energy on the workpiece surface. Oite the electrode for discharge surface treatment used for discharge surface treatment for forming a coating film made of,
An electrode for discharge surface treatment, comprising: mixing an electrode powder, a solvent, and a wax; drying and granulating the mixture in an inert gas atmosphere; and molding the granulated powder.
電極材料として、Co合金、又はNi合金、又はFe合金を用いることを特徴とする請求項14に記載の放電表面処理用電極。 As the electrode material, Co alloys or Ni alloys, or spark surface modification electrode according to claim 14, characterized by using a Fe alloy. 前記合金は、Coを主成分として、Cr、Ni、Wを含むCo合金、Coを主成分として、Mo、Cr、Siを含むCo合金、Niを主成分として、Cr、Feを含むNi合金、Niを主成分として、Cr、Mo、Taを含むNi合金、Feを主成分として、Cr、Ni、Mo、(Cd+Ta)、Ti、Alを含むFe合金であることを特徴とする請求項15に記載の放電表面処理用電極。 The alloy includes Co as a main component, Co alloy including Cr, Ni, and W, Co as a main component, Co alloy including Mo, Cr, and Si, Ni as a main component, Ni alloy including Cr and Fe, The Ni alloy containing Cr, Mo and Ta as a main component, and the Fe alloy containing Cr, Ni, Mo, (Cd + Ta), Ti and Al as a main component. The electrode for discharge surface treatment as described. Co合金は、Mo28wt%、Cr17wt%、Si3wt%、残りCo(コバルト)、または、Cr28wt%、Ni5wt%、W19wt%、残りCo、または、Cr(クロム)25wt%、Ni(ニッケル)10wt%、W(タングステン)7wt%、C(炭素)0.5wt%、残りCoからなる合金であることを特徴とする請求項16に記載の放電表面処理用電極。 Co alloy includes Mo 28 wt%, Cr 17 wt%, Si 3 wt%, remaining Co (cobalt), or Cr 28 wt%, Ni 5 wt%, W 19 wt%, remaining Co or Cr (chromium) 25 wt%, Ni (nickel) 10 wt%, W The electrode for discharge surface treatment according to claim 16, which is an alloy composed of (tungsten) 7 wt%, C (carbon) 0.5 wt%, and the remaining Co. 合金材料の粉末に、炭化物を形成しないもしくは形成しにくい金属材料を混合したことを特徴とする請求項15〜17何れかに記載の放電表面処理用電極。 The electrode for discharge surface treatment according to any one of claims 15 to 17, wherein the alloy material powder is mixed with a metal material which does not form or hardly forms carbides. 炭化物を形成しないもしくは形成しにくい金属材料は、40体積%以上含むことを特徴とする請求項18に記載の放電表面処理用電極の製造方法 19. The method for producing an electrode for discharge surface treatment according to claim 18, wherein the metal material which does not form or hardly forms carbide includes 40% by volume or more. 電極材料として、Cr、Al、Ti等の酸化しやすい金属を用いることを特徴とする請求項14に記載の放電表面処理用電極。 The electrode for discharge surface treatment according to claim 14, wherein an easily oxidized metal such as Cr, Al, Ti or the like is used as an electrode material. 電極材料として、炭化物を形成しないもしくは形成しにくい金属材料を40体積%以上含むことを特徴とする請求項14に記載の放電表面処理用電極。 The electrode for discharge surface treatment according to claim 14, wherein the electrode material contains 40% by volume or more of a metal material that does not form or hardly forms carbide. 前記炭化物を形成しないもしくは炭化物を形成しにくい金属材料が、Co、NiまたはFeであること特徴とする請求項19または21に記載の放電表面処理用電極の製造方法。 The method for manufacturing an electrode for discharge surface treatment according to claim 19 or 21, wherein the metal material that does not form carbide or hardly forms carbide is Co, Ni, or Fe. 電極粉末の形状が鱗片状であることを特徴とする請求項14〜23何れかに記載の放電表面処理用電極。 The electrode for discharge surface treatment according to any one of claims 14 to 23, wherein the electrode powder has a scaly shape. 造粒される電極材料の平均粒径を10μm〜200μmとしたことを特徴とする請求項14〜23何れかに放電表面処理用電極。 24. The discharge surface treatment electrode according to claim 14, wherein the granulated electrode material has an average particle diameter of 10 to 200 [mu] m.
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