JP4331976B2

JP4331976B2 - Slide device

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Publication number: JP4331976B2
Application number: JP2003139916A
Authority: JP
Inventors: 雅孝加藤
Original assignee: Nippon Thompson Co Ltd
Current assignee: Nippon Thompson Co Ltd
Priority date: 2003-05-19
Filing date: 2003-05-19
Publication date: 2009-09-16
Anticipated expiration: 2023-05-19
Also published as: JP2004340320A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は，軌道レールを備えた軌道部品と軌道レールに対して相対往復移動するスライダを有し，スライダの相対往復移動で発生する塵埃，油等の異物又は外部の異物が装置内に出入するのを防止するシール構造を備えたスライド装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来，クリーンルーム等で稼働される半導体製造装置，工作機械，各種組立装置，試験装置等に組み込まれるスライド装置として，図５及び図６に示すものが知られている。該スライド装置は，底部６とその両側から起立する一対の側部７とから構成されて上面側が開口した断面Ｕ字状の長尺な軌道レール２，軌道レール２の上方に開口２７を持つＵ字状の凹部５内で転動体を介して相対移動可能に嵌挿されたスライダ３Ａ，スライダ３Ａに螺合するボールねじ軸４，及びボールねじ軸４を回転駆動するモータ９から構成されている。軌道レール２には，モータ９が取り付けられたボールねじ軸４を回転自在に支持する支持体１１，１２が設けられている。軌道レール２は，例えば，ねじ等によって支持台に固定されている。スライド装置は，側部７の対向面に摺動方向に形成された軌道溝８と軌道溝８に対向してスライダ３Ａに形成された軌道溝とによって転動体が転走する負荷路が形成されている。
【０００３】
スライダ３Ａは，テーブル，ワーク等の物体を取り付けるため側方に先端が上方に延びる一対のフランジ部１３Ａを有している。フランジ部１３Ａには，物体をボルトで固定するためのねじ穴１４が形成されている。上部カバー１５Ａは，スライダ３Ａのフランジ部１３Ａが往復移動する開口３３を除いて，軌道レール２を覆うように支持体１１，１２に取り付けられている。上部カバー１５Ａは，軌道レール２に配設されるスライダ３Ａとボールねじ軸４の上部を覆い，軌道レール２の内外への塵埃等の異物の出入を防止する。スライダ３Ａのフランジ部１３Ａは，上部カバー１５Ａとの干渉を回避するため，軌道レール２の横方向から上方に延びている。スライダ３Ａには，ボールねじ軸４が螺合するボールねじナット１７が取り付けられている。ボールねじ軸４とボールねじナット１７から成るボールねじは，ボールねじ軸４の回転に応じてスライダ３Ａを軌道レール２の軸方向に相対直線移動させる。支持体１１，１２は，軌道レール２の各側部７に固定されている。側部７の軌道溝８と側部７の上面２０は，互いに平行に加工されている。軌道レール２の側部７の外面には，センサレール２２が取り付けられている。センサレール２２には，予め決められた所定の位置にリミットセンサ５２が設けられている。リミットセンサ５２が往復移動状態のフランジ部１３Ａを検出した検出信号は，リード線２４を経てセンサ用コネクタ２５からコントローラに入力される。また，モータ用コネクタ２８から入力される制御信号に応じてモータ９が制御される。モータ９の回転駆動力は，カップリング３０を介してボールねじ軸４に伝達される。また，スライダ３Ａの相対移動範囲は，支持体１１と支持体１２とにそれぞれ取り付けられたストッパ３１，３２によって規定されている。スライダ３Ａには，潤滑剤を供給するためのグリースニップル５３が設けられている。
【０００４】
従来，加工装置として，ワークを置くワークテーブルを備え，ワークテーブルをワークの搬出入方向に移動すると共に，搬出入方向に対して交差する方向に移動するものが知られている。該加工装置は，搬出入方向へ移動可能な受け台とワークテーブルとに接続され，受け台からワークテーブルに至る線上の作動伝達体を案内し，ワークテーブルの交差方向への移動に応じて作動伝達体に対する案内経路を変える経路案内手段と，ワークテーブルの交差方向へ移動可能に受け台とワークテーブルとを連結する連結手段とを備えている。ワークテーブルに隣接して設けられた経路案内手段には，圧縮エアホース，電線といった線状の作動伝達体が必要に応じて収容されている（例えば，特許文献１参照）。
【０００５】
従来，駆動部や可動部で発生する塵，埃等の異物を集塵するロボットの集塵装置が知られている。該集塵装置は，ケーシングの壁部に中空上のエアー通路を一体に形成し，ケーシング内面部にエアー通路と連通するエアー吸入口を設けており，エアー通路に集塵用の負圧が供給されると，ボールねじ軸とナット部材との摩擦等によって発生した異物がエアー通路に吸引されて外部へと排出される。上記ロボットでは，Ｘ軸方向に延びる第１ユニット，第１ユニットに装着されてＹ軸方向に延びる第２ユニット，及び第２ユニットに装着される作業用ユニットを備えた多軸の仕様である。第１ユニットから作業用ユニットへ延びる作業導線は，第１ユニットと第２ユニットとの間，及び第２ユニットと作業用ユニットとの間で各ユニットの外部に配設されている（例えば，特許文献２参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１０−６１５８号公報（第１，２頁，図３）
【特許文献２】
特開平７−１１２３９３号公報（第１，２頁，図１）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで，本発明者（本出願人）は，従来のスライド装置を小型化に対応できるように改善し，シール箇所を一箇所にして簡単化し，また，シール箇所が二箇所であっても横幅の狭いスリムなものに改善したものを開発して先に特許出願した。該スライド装置は，スライダに設けた突出部が軌道部品に支持されたシール部材の当接面間を通過する際に，少なくとも１本の突出部によってシール部材を伸縮変形可能な多孔質材によって粉塵，油等の異物がスライド装置の内部に侵入したり，又はスライド装置自身で発生した塵埃，油等の異物が半導体製造装置等を設置したクリーンルーム，試験室等のルームへと飛散するのを防止するように構成したものである（例えば，特願２００２−２７３３４２号参照）。
【０００８】
しかしながら，上記のスライド装置は，スライダに取り付けられるワーク，機器，位置決めテーブル等の物体を位置決め自在に駆動し，クリーン対応のシール構造を備えているものであるが，近年のスライド装置において上記物体自体が各種の作業をするように構成されるようになり，上記物体において各種の作業をするためには，物体を作業するための電源，信号等の導線の線部材及び／又は圧縮エアー圧，油圧等の流体供給用導管等の管部材であるライン部材を配設する必要があり，スライド装置をクリーンルーム等で使用するクリーン仕様では，外部に配設されるライン部材自体も塵埃等の異物を発生させる要因となっている。そこで，スライド装置について，クリーン仕様のスライド装置に対して作業導線，チューブ，パイプ等のライン部材をスライド装置のカバー内に如何に収容し，更にクリーンな環境を如何に実現するかが課題となるようになった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この発明の目的は，先に特許出願した本発明者に係る特願２００２−２７３３４２号に開示されたスライド装置をクリーン仕様の点から更に改善し，スライダに取り付けられる物体を作動させるための電源線，信号線等の線部材，圧縮エア，油圧等の流体供給用の管部材等のライン部材を物体に接続し，ライン部材を軌道レールを覆うカバー内に配設し，ライン部材で発生する塵埃等の異物を外部に放出することなく，異物を空気管で吸引して装置以外の領域に排出し，クリーンな作業環境を実現させるスライド装置を提供することである。
【００１０】
この発明は，互いに対向して長手方向に隔置して延びる一対の側部と前記側部に一体構造の底部とから形成され全体的に樋形状に形成された軌道レール，前記軌道レールの両側方と上方を覆って前記軌道レールに取り付けられたカバー，及び前記軌道レールの前記上方の上部になる長手方向に延びて形成された前記カバーの対向面間の開口を密封するため先端面が当接状態に前記カバーにそれぞれ取り付けられた復元力を有するシール部材を備えた軌道部品，及び前記シール部材の前記先端面間を貫通する少なくとも１個の突出部を備え，前記突出部が前記シール部材の前記先端面に密接して前記シール部材を伸縮変形させて前記軌道レールの前記側部間において転動体を介して相対往復移動するスライダを有し，前記スライダを前記軌道レールに対して前記相対往復移動させるため，前記スライダに取り付けられたボールねじナットと前記ボールねじナットに螺合する前記軌道レールに回転可能に支持されたボールねじ軸とから成るボールねじ，及び前記ボールねじ軸を回転駆動する駆動装置が設けられていることから成るスライド装置において，
前記スライダの前記突出部には，ワーク，機器，位置決めテーブル等の物体を作動させるための電源用電線，信号線，コード等の線部材，及び／又は圧縮エア圧，油圧等の流体供給用の管部材であるライン部材を配設可能にする挿通路が形成され，
前記軌道レールの一方の前記側部には，前記カバーと共に，前記ライン部材を案内するための可撓部材等の屈曲受け部材が前記カバーに覆われて取り付けられていることを特徴とするスライド装置に関する。
【００１１】
このスライド装置は，上記のように，スライダに取り付けられる物体に対して電源，信号等を送るための作業導線等の線部材，圧縮エア，油圧等の作動流体を送るための流体供給用の管部材等のライン部材を配設可能とし，物体に対して所定の作業操作を行わせることができ，特に，ライン部材をカバーで覆って装置内部に内蔵させ且つ軌道部品の対向面間の開口を埋める状態にそれぞれの対向面に配置されたシール部材で上記開口を密閉するので，ライン部材の移動によって発生する塵，埃等の異物が装置外部に放出されることがなく，カバー内の異物等を軌道部品のエンドプレートに取り付けた空気管を通じて吸引すれば，装置内部の異物による汚染も発生せず，装置の作動に支障をきたすことがなく，クリーンルーム等の作業環境を高いクリーン度に維持できる。
【００１２】
また，ライン部材は，カバーの内側にあっては，スライダの往復移動に対応してケーブルベア（登録商標），可撓部材等の屈曲受け部材でガイドされるので，損傷等を受けることがない。また，スライダに設けた突出部の挿通路の入口部に接続のためのコネクタを且つカバーの端部のエンドプレートにコネクタを設ければ，ライン部材は，物体及び導入源に設けられているライン部材に対して確実に安定して接続される。更に，このスライド装置は，スライダが軌道レールに対して相対往復移動する時に，シール部材の対向面間を移動するスライダの突出部が，シール部材の対向面間で前記シール部材を伸縮変形させて前記シール部材に密接状態でスムーズに相対往復移動することができ，スライダに設けた突出部が１本の場合には，スライダの外部への露出部が一箇所のみになり，気密性を一層高めることができ，また，スライダに設けた突出部が２本の場合には，突出部に設けたフランジ部に機器等の物体を安定して取り付けることができ，物体の荷重によってスライダが傾くようなことがなく，スライダのスムーズな相対往復移動ができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下，図面を参照して，この発明によるスライド装置の実施例を説明する。この発明によるスライド装置は，図１〜図４に示されており，クリーンルーム，試験実験室等で稼働される半導体製造装置，工作機械，各種組立装置，試験装置，位置決めテーブル，スライドテーブル，粉塵作業環境で使用される機器等の各種装置がスライダに取り付けられるものであり，図５と図６に示すスライド装置のものと同様の部分や部品については同一の符号を付し，重複する説明を省略している。
【００１４】
まず，図１〜図３を参照して，この発明によるスライド装置の一実施例を説明する。このスライド装置は，互いに対向して長手方向である相対移動方向に隔置して延びる一対の側部７を備えた全体的に樋形状に形成された軌道レール２を有する軌道部品５５と，軌道部品５５の側部７間において相対往復移動するスライダ３を有する。軌道部品５５は，軌道レール２の両側方と上方を覆うように軌道レール２の側部７にそれぞれ取り付けられ且つ上部に長手方向に延びる対向面５６によって形成される開口３４を備えたカバー１５，及びカバー１５間の開口３４を密封するために互いに対向する先端面２６が当接した状態でカバー１５に固定された復元力を有する柔軟な多孔質材でなるシール部材１を有している。
【００１５】
シール部材１は，カバー１５の上部のシール支持部１６の凹部２３に固定されている。また，スライダ３は，シール部材１の先端面２６間を通って延びる突出部１０，及び突出部１０の上部に設けられた物体取付け用のフランジ部１３を備えている。シール部材１は，シール支持部１６間，即ち，シール支持部１６の先端面間の開口３４を密封するため，先端の対向状態の先端面２６が互いに当接状態にシール支持部１６の凹部２３にそれぞれ配置され，復元力を有する柔軟な多孔質材で構成されている。スライダ３には，シール部材１の先端面２６間を通って延びる突出部１０が設けられている。突出部１０は，軌道レール２に対するスライダ３の往復移動時に，シール部材１の先端面２６に密接してシール部材１を伸縮変形させて移動するものである。フランジ部１３は，例えば，半導体製造装置，工作機械，ロボット等の機器，部品，部材，位置決めテーブル等の物体（図示せず）を取り付ける取付け台に使用される。フランジ部１３には，例えば，図１に示すように，物体を固定するためのねじ穴５８が設けられている。このスライド装置は，シール部材１の先端面２６が当接して密封状態にそれぞれ配置され，軌道部品５５に対するスライダ３の相対往復移動時に，突出部１０がシール部材１の先端面２６に密接してシール部材１を伸縮変形させて移動し，スライド装置の内部を外部から密閉状態に維持する。
【００１６】
軌道レール２は，ベース（図示せず）に固定するためのベッド部分を構成することができ，底部６には軌道レール２をベースに固定するため取付け用孔５１が設けられている。軌道レール２は，例えば，一対の側部７と側部７に一体構造の底部６とから形成されている。軌道レール２は，側部７が底部６の両側面から隔置して延び出して全体的に樋形状に形成されている。軌道レール２には，側面及び上面を覆うカバー１５が配設されている。両側のカバー１５は，側部７の長手方向に沿って上方へ延びて側部７にねじ２９でそれぞれ取り付けられ，また，カバー１５は，側部７の長手方向に沿って延びるカバー部１９と，カバー部１９と一体構造で互いに対向するシール部材１の取付け部となるシール支持部１６とを備えている。また，シール部材１をシール支持部１６に固着するのを堅固に構成するため，シール部材１の固着面には，取付け板を固着することもできる。軌道レール２は，上部が開口２７に形成された樋型に形成されている。このスライド装置は，軌道レール２の凹部５内が一方の端部をエンド側ボールねじ軸用支持体１２及びエンドカバーを構成するエンドプレート２１で密閉し，他方の端部をモータ側ボールねじ軸用支持体１１及びエンドプレート２１で密閉している。
【００１７】
軌道部品５５には，特に，上記の各種の物体を作動操作するための電源用電線，信号線等の線部材，及び圧縮空気や油圧供給用の管部材であるライン部材３８を屈曲案内するためカバー１５内の空間３３に収容された可撓ガイド部材，ケーブルベア（登録商標）５０等の屈曲受け部材が設けられている。図２〜４では，軌道部品５５には，上記屈曲受け部材として，ケーブルベア（登録商標，以下，ケーブルベアへの登録商標の表示を省略する。）５０が設けられている。ライン部材３８は，例えば，物体に対して穴加工等を施し，該穴を通じて物体に設けた操作機器に接続することができ，外部に露出しないようにスライド装置と物体とに対して配設することができる。ケーブルベア５０は，例えば，軌道レール２に横付けして配設することができ，スライド装置自体の高さが高くならないようにスリムタイプに設けることができる。また，カバー１５内には，ケーブルベア５０以外に，浄化系等の他の機器を収容させることもできる。軌道レール２に取り付けられたカバー１５の両端面には，エンドプレート２１が設けられている。図２では，ケーブルベア５０には，ライン部材３８を通すための２本の導管５７が配設されている。導管５７は，一端がカバー１５の端面のエンドプレート２１に設けたコネクタ４２に，また，他端がスライダ３の下側フランジ部４８に設けたコネクタ４７に連結されている。ケーブルベア５０は，スライダ３の相対往復移動に追従してライン部材３８に損傷が発生しないようにライン部材３８を導管５７で保護しつつ確実に屈曲案内するために設けられている。ライン部材３８は，損傷を受けないようにするため，ケーブルベア５０に導管５７を通しているが，ケーブルベア５０に導管５７を配設することなく，被覆コード，チューブ，パイプ等は直接配設してもよいものである。
【００１８】
スライダ３には，シール部材１の先端面２６間を貫通し且つケーブル等の線部材，チューブやパイプの管部材等であるライン部材３８を挿通する少なくとも１個の挿通路３７が形成された突出部１０が設けられている。スライダ３に設けた突出部１０の上部には，ワーク，機器，部品，部材，位置決めテーブル等の各種の物体（図示せず）を支持するための物体取付けベースを構成するフランジ部１３を備えている。スライダ３に形成された挿通路３７は，一端が突出部１０の上面には，ライン部材３８を物体に設けられた作動機器に接続する接続部を構成するための挿通路３７の入口部の導入口４３が開口し，他端が下側のフランジ部４８の側面に挿通路３７が開口している。挿通路３７の導入口４３における入口部は，物体に設けた接続管を接続するために，例えば，ねじ穴等の接続部に形成されている。また，挿通路３７の他端は，突出部１０に設けた下側のフランジ部４８の側面に開口してライン部材３８を接続するコネクタ４７に接続されている。挿通路３７は，例えば，Ａ−Ａ断面で見て，突出部１０とフランジ部４８とに形成され，Ｌ型状に形成されている。突出部１０とフランジ部４８に設けた挿通路３７は，複数の通路に形成され，例えば，２個の通路を設けた場合には，一方の挿通路３７には，電源，信号線，コード等の作動導線である線部材を通し，他方の挿通路３７には，圧縮エアー，油圧を流すチューブ等の管部材を通すものに形成できる。突出部１０は，スライダ２の中央部（図３）に１個延び出すか，又は後述の幅方向側部（図４）から一対延び出している。突出部１０は，図１に点線で示すように，移動方向両端が楔状に先細に形成された先端部３５と，先端部３５間の肉厚の中間部３６とから構成され，スライダ３の長手方向に延びている。突出部１０の中間部３６には，少なくとも１個，図では２個の挿通路３７が形成されている。
【００１９】
このスライド装置は，スライダ３の両側面に形成された軌道溝４５と軌道レール２の側部７の対向面である内面にそれぞれ形成された軌道溝８とで負荷路が形成されている。スライダ３は，スライダ３に組み込まれた転動体４４が負荷路を転走することによって軌道レール２に対してスムーズに相対往復移動する。このスライド装置は，スライダ３を軌道レール２に対して相対往復移動させるため，スライダ３に取り付けられたボールねじナット１７と，ボールねじナット１７に螺合する軌道レール２に回転可能に支持されたボールねじ軸４とから成るボールねじ，及びボールねじ軸４を回転駆動する駆動装置のモータ９を備えている。ボールねじ軸４は，軌道レール２に対して両端がボールねじ軸用支持体１２とモータ側ボールねじ軸用支持体１１とで回転可能に支持されている。軌道レール２の一端部にはモータ９が取り付けられたモータブラケットが固着されている。スライダ３は，ボールねじ軸４がモータ９によって可逆回転することによって軌道レール２に沿って往復移動するように構成されている。また，スライダ３には，グリースニップル５３及びエンドシール４６が取付けねじ５４で取り付けられている。
【００２０】
このスライド装置は，軌道部品５５に対するスライダ３の相対往復移動時に，突出部１０はシール部材１の先端面２６に密接してシール部材１を伸縮変形させて相対移動するものであり，特に，スライダ３に取り付けられる各種装置を作動するための電源用電線，信号線，作動導線等の線部材，圧縮エアや油圧供給用の管部材等のライン部材３８をガイドするケーブルベア５０をカバー１５内に内蔵したことを特徴としている。ライン部材３８は，スライダ３に設けられた突出部１０に形成された挿通路３７を通って挿通され，スライダ３のフランジ部１３に取り付けられた各種装置への電源，信号，エア圧，油圧等の駆動源を供給する機能を果たす。
【００２１】
スライダ３には，突出部１０，突出部１０と一体の上側のフランジ部１３と下側のフランジ部４８とが設けられている。一対のシール部材１は，先端面２６間から突出する突出部１０を両側から挟み込むように配設されている。このスライド装置は，突出部１０の側面即ちウエブ部に，シール部材１を弾性変形させながらシール部材１の先端面２６が摺接し，スライダ３が軌道レール２に対して相対往復移動するように構成されている。シール部材１には，スライダ３の突出部１０の通過によって生じる伸縮変形の復元を補助させるため，シール部材１の長手方向に沿ってばね部材４０が設けられている。シール部材１は，フォームラバーで形成され，更に，フォームラバーの表面には，保護皮膜３９がコーティングされている。また，シール部材１が摺接するスライダ３の突出部１０の摺接面及び／又はシール部材１の摺接面には，スライダ３の突出部１０のスムーズな相対摺動を可能にするため耐摩耗性の摺接ベルト１８が取り付けられている。
【００２２】
このスライド装置は，軌道レール２，一対のカバー１５及び一対のシール部材１で囲まれる空間３３に存在する空気を吸引するため，又は空間３３にクリーンな空気を吹き込むため，軌道レール２の端部のエンドカバーであるエンドプレート２１には，モータ９の下方の位置に装置内部の空気，塵埃等の異物を吸引するための吸引口を構成する空気管４１（図１）が設けられている。このスライド装置は，側面には，カバー１５のカバー部１９に取り付けられたセンサーレール２２，センサーレール２２に配設されたリミットセンサ等のセンサ５９，及びスライダ３のフランジ部１３の側面に配設された遮蔽板６３が設けられ，軌道レール２に対してスライダ３のリミット及び原点前の位置を感知できるものになっている。また，このスライド装置は，モータ９の端部にエンコーダ６８が配設され，エンコーダ６８によってモータ９の回転角や回転量を検出し，スライダ３の位置制御ができるように構成されている。
【００２３】
スライダ３に設けた突出部１０は，図１に示すように，移動方向両端が楔状に先細に形成された先端部３５と，先端部３５間の肉厚の中間部３６とから形成されている。シール部材１は，シール支持部１６の凹部２３に嵌合する厚肉部と，厚肉部から先端面２６に向かって伸縮変形する薄肉部とから形成されている。シール部材１は，スライダ３の突出部１０の通過時には，薄肉部が断面形状が実質的に四角形に伸縮変形するように構成されている。
【００２４】
このスライド装置は，Ｕ形形状の凹部５を備えた軌道レール２をべースにして，長尺状でなる軌道レール２の内側面の軌道に沿ってスライダ３が摺動自在に位置決め駆動されるように構成されている。このスライド装置は，スライダ３の両側面に形成された軌道溝４５と軌道レール２の側部７の内面にそれぞれ形成された軌道溝８とでそれぞれ形成される負荷路を転動体４４が転走することによって，スライダ３は軌道レール２に対してスムーズに往復移動することができる。
【００２５】
シール部材１は，スライダ３の突出部１０がシール部材１の側面に固着された摺接ベルト１８間を通過する時に，スライダ３の突出部１０の面に対して密接状態で伸縮変形するように構成され，それによって，突出部１０が開口３４を長手方向に摺動自在に移動できるように構成されている。フォームラバーのシール部材１と摺接する突出部１０の進行方向の両端部は，楔状に先細に形成された先端部３５に形成され，フォームラバーの伸縮変形を滑らかに案内している。シール部材１は，自己弾力による復元力を有する柔軟な多孔質材で形成され，従来のシール部材よりも製作し易く，取扱い易く，伸縮の繰り返し寿命も長くなり，密封性のよい構造に構成されている。シール部材１は，実質的に断面形状が矩形，正方形等の四角形に形成され，スライダ３の突出部１０がシール部材１を押しのけて通過する時には，断面形状が実質的に四角形状態で伸縮変形する材料，例えば，多孔質で連通していない多孔部材であるフォームラバーで形成されることによって，塵埃等の出入を防止するための密封性を確保でき好ましいものである。
【００２６】
シール部材１を構成するフォームラバーは，例えば，ラテックスを主原料とし，硫黄，加硫促進剤，老化防止剤，起泡剤等の配合物を泡立たせ，凝固剤を加えて凝固させ，加熱蒸気や熱水で加硫した後，水洗乾燥されたラテックススポンジであり，自己弾力による復元力を有する柔軟な多孔性のゴムである。シール部材１の表面には，防湿のため保護皮膜３９をコーティングすることもできるが，皮膜無しの表面に構成する方が繰り返し伸縮でひび割れ等が発生することがない。シール部材１を配設したことによって開口３４の密封性が向上した。
【００２７】
シール部材１は，シール支持部１６に着脱可能な取付け板がフォームラバーの側面又は上下面の長手方向に沿って両面粘着テープで粘着したり，或いは接着剤で固着している。フォームラバーの側面には，スライダ３の突出部１０の側面と摺接するため，発塵性を小さくする摺接ベルト１８が接着剤で固着され，或いは両面粘着テープで粘着されている。取付け板は，例えば，ステンレス板製の薄板で形成されており，取付け板には，カバー１５に取り付けるための取付用ねじ孔が長手方向に沿って所定の間隔で形成することもできる。
【００２８】
また，摺接ベルト１８は，シール部材１のフォームラバーの上面，下面及び／又は側面の長手方向に沿って固着され，クリーンルーム内で使用されるウェハ搬送用ベルトが利用されている。ウェハ搬送用ベルトはポリエステル材で形成され，摩耗粉が発生し難い材料である。従って，摺接ベルト１８は，スライダ３の突出部１０と摺接する少なくとも表面をポリエステル樹脂，ポリエステル繊維等のポリエステル製に形成されている。図示していないが，シール部材１と摺接するスライダ３の突出部１０の部分にも，摺接ベルトを固着することによって，一層発塵性を低減させることができる。摺接ベルト１８は，シール部材１のフォームラバーの幅より若干幅広の形状に形成され，フォームラバーの伸縮時にフォームラバーが摺接ベルト１８からはみ出すことがなく，フォームラバーがスライダ３の突出部１０の表面に接触しない形状に形成されることが好ましい。また，スライダ３の突出部１０の摺接面には，耐摩耗性の摺接ベルトが取り付けられることが耐摩耗性を向上させ，発塵性を防止する点からも好ましいものである。
【００２９】
次に，図４を参照して，この発明によるスライド装置の別の実施例を説明する。このスライド装置は，上記の実施例のスライド装置と比較して，上記のスライド装置がスライダ３が１本の突出部１０を備えているのに対し，スライダ３が２本の突出部６０を備え，それに対応してシール部材１とシール支持部１６を備えたカバー１５とから成る軌道部品５５の構成が，第１実施例の軌道部品５５と構成が相違しているが，その他の構成については実質的に同一である。そこで，図４に示す実施例では，図１〜図３に示す実施例において各部品に付した符号は，同一の機能や部品については同一の符号を付し，重複する説明を省略する。
【００３０】
このスライド装置は，図４ではセンサレール等の部品は省略されているが，それらについては図１〜図３に示す実施例と同様であり，また，突出部６０に設けた挿通路３７やケーブルベア５０を除いては，本発明者の先の出願である特願２００２−２７３３４２号の明細書の図４〜図６に開示されているスライド装置と同様である。このスライド装置は，特に，カバー１５を構成する一方のシール支持部１６内にケーブルベア５０を収容し，スライダ３に設けた一方の突出部６０に挿通路３７を形成し，ライン部材３８がケーブルベア５０及び挿通路３７に通されており，これらについての詳細は図１〜図３に示すスライド装置と同様であるので，ここでは重複する説明は省略する。
【００３１】
スライダ３には，２本の突出部６０がスライダ３の幅方向の両側部に隔置して長手方向に延びて設けられている。また，突出部６０は，突出部１０と同一の形状を有するものである。一対の突出部６０の上面には，突出部１０と同様に機器等の物体を取り付けるための物体取付ベースを構成するフランジ部１３が取り付けられている。従って，フランジ部１３に取り付けられる物体は，２本の突出部６０で支持されるので，支持状態が安定し，上記実施例のものよりも重荷重の物体を支持することができる。また，軌道部品５５は，側部７を備えた軌道レール２，軌道レール２の両端部に取り付けられたエンドカバー，及びシール部材１を支持するカバー１５から構成されている。カバー１５は，軌道レール２の側部７の長手方向に沿って上方へ延びて側部７にそれぞれ取り付けられ且つ先端面が突出部６０に対向する一対のカバー側部６４，及びエンドカバーに両端が取り付けられ且つ突出部６０間に配設された一対のカバー中央部６５から構成されている。
【００３２】
カバー１５は，一方のカバー側部６４と一方のカバー中央部６５との間には突出部６０が通過するための開口３４が形成され，また，他方のカバー側部６４と他方のカバー中央部６５との間には突出部６０が通過するための開口３４が形成されている。カバー中央部６５は，ウエブ部６６が中央部に位置して互いに整合した一対のＬ形カバー部材６７から形成されている。又は，図示していないが，カバー中央部６５は，中央部にウエブ部６６を備えた一体構造のＴ形カバー部材に形成してもよい。カバー中央部６５は，Ｌ形又はＴ形の形状であるので，剛性が高くなり，スライダ３の突出部６０の移動に対して耐変形性であり，また，シール部材１の固着面を大きく確保でき，シール部材１を強固に固着でき，スライダ３の突出部６０のスムーズな摺動を可能にする。また，シール部材１は，カバー側部６４にそれぞれ支持された一対のシール側部材６１と，ウエブ部６６の両側でカバー中央部６５にそれぞれ支持された一対のシール中間部材６２とから構成されている。シール部材１を構成するシール側部材６１とシール中間部材６２は，上記実施例のシール部材１の当接面及びその取付面等に関して実質的に同様な形状に構成されている。
【００３３】
【発明の効果】
このスライド装置は，上記のように構成されているので，スライダに取り付ける移動テーブル，位置決めテーブル，各種の機器，搬送機器，制御機器等の物体に何らかの動力源を必要とする場合には，動力源に接続したライン部材を，軌道レールに取り付けたカバー内に配設したケーブルベア等の屈曲受け部材にガイドさせ，次いで，スライダの突出部に設けた挿通路を通して物体へ接続し，物体を作動操作するように構成できる。また，ライン部材をガイドする屈曲受け部材をカバー内に配設し，且つライン部材をスライダの突出部に形成した挿通路を通すことによって，ライン部材自体を装置内に収容し，たとえライン部材が発塵の要因であってもクリーン室を汚染することがなく，装置内の空間に存在する異物はカバーに設けた空気管を通じて吸引すれば，装置内部もクリーン雰囲気を維持でき，装置の作動に支障をきたすことがない。また，スライダには，その上面の一箇所から延び出した突出部に製造装置等の部品，機器，部材等の物体即ち搬送荷重が取り付けられる構造であるので，物体の搬送荷重は小荷重に限定されるが，例えば，半導体製造装置，クリーン位置決めテーブル等において搬送されるべき小荷重の部品，機器，テーブル等に最適の小型化に対応できる。このスライド装置は，例えば，狭いスペースに沢山のテーブルを集積した装置を組み立てる場合に，横幅の狭いスライド装置が要求されるが，このスライド装置は，そのような装置に最適である。また，スライド装置は，スライダに上方へ延びる２本の突出部を備えた構造に構成でき，重荷重の物体を支持することができるが，従来のスライド装置のようにスライダの側方へ延び出したフランジ部を備えていないので，従来のものに比較して横幅の狭いスリムな構造に形成されている。
【００３４】
このスライド装置は，シール性能が良好であるので，特に，半導体製造装置等を設置したクリーンルームでは，スライド装置自身から発生した塵埃，油等の異物がスライド装置の外部に飛散することがなく，発塵性を今までになく低く抑えることができ，スライド装置が原因になるようなクリーンルームでのトラブルが発生することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるスライド装置の一実施例を示す平面図である。
【図２】図１のスライド装置の一部を破断してケーブルベアの取付け状態を示す正面図である。
【図３】図２のスライド装置におけるＡ−Ａ断面における断面図である。
【図４】この発明によるスライド装置の別の実施例を示す図１のＡ−Ａ断面に対応する部分の断面図である。
【図５】従来のスライド装置を示す斜視図である。
【図６】図５のスライド装置において，カバーを取り除いた状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１シール部材
２軌道レール
３スライダ
４ボールねじ軸
６底部
７側部
８，４５軌道溝
１０，６０突出部
１３フランジ部
１５カバー
１７ボールねじナット
２６シール部材の先端面
２７，３４開口
３７挿通路
３８ライン部材
４４転動体
５０ケーブルベア
５５軌道部品
５６対向面[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
 The present invention has a track part having a track rail and a slider that reciprocally moves relative to the track rail, and foreign matter such as dust and oil generated by the reciprocating motion of the slider or external foreign matter enters and leaves the apparatus. The present invention relates to a slide device having a seal structure for preventing the above.
[0002]
[Prior art]
 2. Description of the Related Art Conventionally, slide devices shown in FIGS. 5 and 6 are known as slide devices incorporated in semiconductor manufacturing apparatuses, machine tools, various assembling apparatuses, test apparatuses and the like operated in a clean room. The sliding device is composed of a bottom portion 6 and a pair of side portions 7 standing from both sides thereof, and has a U-shaped long track rail 2 having an open top surface and an opening 27 above the track rail 2. The slider 3A is inserted into the concave portion 5 so as to be relatively movable via a rolling element, the ball screw shaft 4 is screwed to the slider 3A, and the motor 9 is configured to rotationally drive the ball screw shaft 4. . The track rail 2 is provided with supports 11 and 12 that rotatably support a ball screw shaft 4 to which a motor 9 is attached. The track rail 2 is fixed to the support base with, for example, screws. In the slide device, a load path on which the rolling element rolls is formed by the raceway groove 8 formed in the sliding direction on the facing surface of the side portion 7 and the raceway groove formed on the slider 3A so as to face the raceway groove 8. ing.
[0003]
 The slider 3 A has a pair of flange portions 13 A whose tips extend upward on the side to attach an object such as a table or a workpiece. A screw hole 14 for fixing an object with a bolt is formed in the flange portion 13A. The upper cover 15A is attached to the supports 11 and 12 so as to cover the track rail 2 except for the opening 33 where the flange portion 13A of the slider 3A reciprocates. The upper cover 15 A covers the slider 3 A disposed on the track rail 2 and the upper portion of the ball screw shaft 4, and prevents foreign matters such as dust from entering and leaving the track rail 2. The flange portion 13A of the slider 3A extends upward from the lateral direction of the track rail 2 in order to avoid interference with the upper cover 15A. A ball screw nut 17 to which the ball screw shaft 4 is screwed is attached to the slider 3A. The ball screw composed of the ball screw shaft 4 and the ball screw nut 17 moves the slider 3 A relatively linearly in the axial direction of the track rail 2 in accordance with the rotation of the ball screw shaft 4. The supports 11 and 12 are fixed to the side portions 7 of the track rail 2. The raceway groove 8 of the side part 7 and the upper surface 20 of the side part 7 are processed in parallel with each other. A sensor rail 22 is attached to the outer surface of the side portion 7 of the track rail 2. A limit sensor 52 is provided on the sensor rail 22 at a predetermined position. A detection signal detected by the limit sensor 52 in the reciprocating flange portion 13A is input from the sensor connector 25 to the controller via the lead wire 24. Further, the motor 9 is controlled in accordance with a control signal input from the motor connector 28. The rotational driving force of the motor 9 is transmitted to the ball screw shaft 4 through the coupling 30. The relative movement range of the slider 3A is defined by stoppers 31 and 32 attached to the support 11 and the support 12, respectively. The slider 3A is provided with a grease nipple 53 for supplying a lubricant.
[0004]
 2. Description of the Related Art Conventionally, as a processing apparatus, a work table on which a work is placed is known, and the work table is moved in the work loading / unloading direction and also moved in a direction intersecting the loading / unloading direction. The processing device is connected to a cradle and a work table that are movable in the loading / unloading direction, guides an operation transmission body on a line from the cradle to the work table, and operates according to the movement of the work table in the crossing direction. Route guide means for changing the guide route for the transmission body and connection means for connecting the cradle and the work table so as to be movable in the crossing direction of the work table are provided. In the route guide means provided adjacent to the work table, linear operation transmission bodies such as compressed air hoses and electric wires are accommodated as required (for example, see Patent Document 1).
[0005]
 2. Description of the Related Art Conventionally, there is known a robot dust collector that collects foreign matters such as dust and dust generated in a drive unit and a movable unit. The dust collector has a hollow air passage integrally formed on the wall of the casing and an air suction port communicating with the air passage on the inner surface of the casing. Negative air pressure for dust collection is supplied to the air passage. As a result, foreign matter generated by friction between the ball screw shaft and the nut member is sucked into the air passage and discharged to the outside. The robot has a multi-axis specification including a first unit extending in the X-axis direction, a second unit mounted on the first unit and extending in the Y-axis direction, and a working unit mounted on the second unit. Work leads extending from the first unit to the work unit are disposed outside the units between the first unit and the second unit and between the second unit and the work unit (for example, patents). Reference 2).
[0006]
[Patent Document 1]
 Japanese Patent Laid-Open No. 10-6158 (pages 1, 2 and 3)
[Patent Document 2]
 Japanese Patent Laid-Open No. 7-112393 (pages 1, 2 and 1)
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
 By the way, the present inventor (the present applicant) has improved the conventional slide device so as to cope with the downsizing, simplified the seal part to one place, and even if there are two seal parts, the horizontal width is reduced. A patent application was filed first after developing a narrow and slim one. The sliding device is configured such that when the projecting portion provided on the slider passes between the contact surfaces of the seal member supported by the track member, the sealing member is dusted by a porous material that can be deformed and expanded by at least one projecting portion. , Prevents foreign matter such as oil from entering the inside of the slide device, or dust and oil generated by the slide device itself from splashing into clean rooms or test rooms where semiconductor manufacturing equipment is installed. (See, for example, Japanese Patent Application No. 2002-273342).
[0008]
 However, the above-described slide device is configured to drive an object such as a workpiece, device, or positioning table attached to the slider so that the object can be freely positioned, and has a clean-compatible seal structure. In order to perform various operations on the above objects, power supply for operating the objects, wire members of signals such as signals and / or compressed air pressure, hydraulic pressure It is necessary to arrange line members, which are pipe members such as fluid supply conduits, etc., and in the clean specification where the slide device is used in a clean room etc., the line member itself installed also generates foreign matters such as dust. It is a factor to make. Therefore, with respect to the slide device, it is a problem how to accommodate line members such as work conductors, tubes and pipes in the cover of the slide device, and how to realize a cleaner environment with respect to the clean specification slide device. It became so.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
 The object of the present invention is to further improve the slide device disclosed in Japanese Patent Application No. 2002-273342 to the inventor previously filed for patent application from the viewpoint of clean specifications, and to operate a power line for operating an object attached to the slider Dust generated in the line member by connecting a line member such as a wire member such as a signal line, a pipe member for supplying fluid such as compressed air or hydraulic pressure to an object, and the line member is disposed in a cover covering the track rail It is an object of the present invention to provide a slide device that realizes a clean working environment by sucking out foreign matter to an area other than the device and discharging it to an area other than the device without releasing the foreign matter such as the like.
[0010]
 The present invention relates to a track rail formed of a pair of side portions facing each other and spaced apart in the longitudinal direction and a bottom portion integrally formed with the side portions, and formed into a generally bowl shape, both sides of the track rail A front end face for sealing an opening between a cover attached to the track rail so as to cover the upper side and the upper side, and an opening between the facing surfaces of the cover that is formed to extend in the longitudinal direction at the upper portion of the track rail. A track component including a seal member having a restoring force attached to the cover in contact with the cover member, and at least one projecting portion penetrating between the distal end surfaces of the seal member, the projecting portion being the seal member A slider that expands and contracts the seal member in close contact with the tip end surface of the track rail and moves relative to and reciprocally moves between the side portions of the track rail via rolling elements. A ball screw consisting of a ball screw nut attached to the slider and a ball screw shaft rotatably supported by the track rail screwed to the ball screw nut; In a sliding device comprising a driving device for rotationally driving a ball screw shaft,
 The projecting portion of the slider is used for supplying power such as power wires, signal wires, cords, and / or fluids such as compressed air pressure and hydraulic pressure to operate objects such as workpieces, equipment, and positioning tables. An insertion passage is formed to allow the line member, which is a pipe member, to be disposed,
 In order to guide the line member together with the cover on one side of the track railPossibleThe present invention relates to a slide device characterized in that a bending receiving member such as a bending member is covered and attached to the cover.
[0011]
 As described above, this sliding device includes a wire member such as a working lead for sending a power source, a signal, etc. to an object attached to the slider, and a fluid supply pipe for sending a working fluid such as compressed air or hydraulic pressure. A line member such as a member can be arranged, and a predetermined work operation can be performed on an object. In particular, the line member is covered with a cover and incorporated in the apparatus, and an opening between opposing surfaces of the track component is provided. Since the opening is sealed with a sealing member arranged on each facing surface in a buried state, foreign matter such as dust and dirt generated by the movement of the line member is not released to the outside of the device, and foreign matter in the cover If the air is sucked through the air pipe attached to the end plate of the track parts, contamination by foreign matter inside the device will not occur, the operation of the device will not be hindered, and the work environment such as a clean room will be improved. It can be maintained in cleanliness.
[0012]
 Also, if the line member is on the inside of the cover, the cable(Registered trademark)Since it is guided by a bending receiving member such as a flexible member, it is not damaged. Further, if a connector for connection is provided at the entrance of the insertion passage of the protruding portion provided on the slider and a connector is provided on the end plate at the end of the cover, the line member is a line provided in the object and the introduction source. It is securely and stably connected to the member. Further, in this slide device, when the slider reciprocates relative to the track rail, the protruding portion of the slider that moves between the opposed surfaces of the seal member causes the seal member to expand and contract between the opposed surfaces of the seal member. Relative reciprocation can be performed smoothly in close contact with the seal member, and when there is only one protrusion provided on the slider, only one exposed portion of the slider is exposed, further improving the airtightness. In addition, when there are two protrusions provided on the slider, an object such as a device can be stably attached to the flange provided on the protrusion, and the slider tilts due to the load of the object. The slider can move smoothly and reciprocally.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
 Embodiments of a slide device according to the present invention will be described below with reference to the drawings. The slide device according to the present invention is shown in FIGS. 1 to 4, and is a semiconductor manufacturing apparatus, machine tool, various assembling apparatus, test apparatus, positioning table, slide table, and dust work operated in a clean room, a test laboratory, etc. Various devices such as equipment used in the environment are attached to the slider. The same parts and parts as those of the slide device shown in FIGS. 5 and 6 are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. is doing.
[0014]
 First, an embodiment of a slide device according to the present invention will be described with reference to FIGS. This slide device includes a pair of side portions 7 that face each other and extend in a relative movement direction that is a longitudinal direction.Overall formed in a bowl shapeA track component 55 having the track rail 2 and a slider 3 that reciprocally moves between the side portions 7 of the track component 55 are provided. The track component 55 is attached to the side portion 7 of the track rail 2 so as to cover both sides and the upper side of the track rail 2, and includes a cover 15 having an opening 34 formed by an opposing surface 56 extending in the longitudinal direction at the upper portion. In order to seal the opening 34 between the covers 15, the seal member 1 is made of a flexible porous material having a restoring force fixed to the cover 15 in a state in which the tip surfaces 26 facing each other are in contact with each other.
[0015]
 The seal member 1 is fixed to the concave portion 23 of the seal support portion 16 at the top of the cover 15. The slider 3 includes a projecting portion 10 that extends between the front end surfaces 26 of the seal member 1, and an object mounting flange portion 13 provided on the upper portion of the projecting portion 10. The seal member 1 seals the opening 34 between the seal support portions 16, that is, between the front end surfaces of the seal support portion 16, so that the front end surfaces 26 facing each other are in contact with each other. Each of which is made of a flexible porous material having a restoring force. The slider 3 is provided with a protruding portion 10 that extends between the front end surfaces 26 of the seal member 1. When the slider 3 is reciprocated with respect to the track rail 2, the protruding portion 10 is moved in close contact with the distal end surface 26 of the seal member 1 to expand and contract the seal member 1. The flange portion 13 is used, for example, as a mounting base for mounting an object (not shown) such as a semiconductor manufacturing apparatus, a machine tool, a device such as a robot, parts, members, or a positioning table. For example, as shown in FIG. 1, the flange portion 13 is provided with a screw hole 58 for fixing an object. In this slide device, the front end surface 26 of the seal member 1 is in contact with each other and arranged in a sealed state. When the slider 3 is reciprocally moved relative to the track component 55, the projecting portion 10 is in close contact with the front end surface 26 of the seal member 1. The seal member 1 is expanded and deformed to move, and the inside of the slide device is kept sealed from the outside.
[0016]
 The track rail 2 can constitute a bed portion for fixing to the base (not shown), and the bottom portion 6 is provided with a mounting hole 51 for fixing the track rail 2 to the base. The track rail 2 is formed of, for example, a pair of side portions 7 and a bottom portion 6 integrally formed with the side portions 7. The track rail 2 is formed in a bowl shape as a whole with side portions 7 extending from both side surfaces of the bottom portion 6. The track rail 2 is provided with a cover 15 that covers the side surface and the upper surface. The covers 15 on both sides extend upward along the longitudinal direction of the side portion 7 and are respectively attached to the side portions 7 with screws 29. The cover 15 includes a cover portion 19 extending along the longitudinal direction of the side portion 7. , And a seal support portion 16 which is an integral structure with the cover portion 19 and serves as an attachment portion of the seal member 1 facing each other. Further, in order to firmly fix the seal member 1 to the seal support 16, a mounting plate can be fixed to the fixing surface of the seal member 1. The track rail 2 is formed in a bowl shape whose upper part is formed in the opening 27. In the slide device, one end of the recess 5 of the track rail 2 is sealed with an end-side ball screw shaft support 12 and an end plate 21 constituting an end cover, and the other end is sealed with a motor-side ball screw shaft. It is sealed with the support body 11 and the end plate 21.
[0017]
 In particular, the track component 55 is provided for bending and guiding a power supply wire for operating the above-described various objects, a wire member such as a signal wire, and a line member 38 that is a pipe member for supplying compressed air or hydraulic pressure. Flexible guide member and cable carrier housed in space 33 in cover 15(Registered trademark)Bend receiving member such as 50Is provided.2-4,The track component 55 includes the aboveAs a bending receiving member,Cable Bear(Registered trademark, hereinafter, the registered trademark on the cable track is omitted.)50 is provided. For example, the line member 38 can be drilled in the object, and can be connected to an operation device provided in the object through the hole, and is disposed on the slide device and the object so as not to be exposed to the outside. be able to. For example, the cable bear 50 can be disposed side by side on the track rail 2 and can be provided in a slim type so that the height of the slide device itself does not increase. In addition to the cable bear 50, other devices such as a purification system can be accommodated in the cover 15. End plates 21 are provided on both end faces of the cover 15 attached to the track rail 2. In FIG. 2, two conduits 57 for passing the line member 38 are arranged in the cable bear 50. One end of the conduit 57 is connected to a connector 42 provided on the end plate 21 on the end face of the cover 15, and the other end is connected to a connector 47 provided on the lower flange portion 48 of the slider 3. The cable bear 50 is provided to follow the relative reciprocal movement of the slider 3 so that the line member 38 is protected by the conduit 57 and is surely bent and guided so that the line member 38 is not damaged. In order to prevent damage to the line member 38, the conduit 57 is passed through the cable bear 50. However, the covering cord, the tube, the pipe, etc. are directly provided without providing the conduit 57 in the cable bear 50. Is also good.
[0018]
 The slider 3 has a protrusion formed with at least one insertion passage 37 that penetrates between the front end surfaces 26 of the seal member 1 and that passes through a line member 38 such as a cable or a line member such as a tube or pipe. Part 10 is provided. A flange portion 13 constituting an object mounting base for supporting various objects (not shown) such as workpieces, equipment, parts, members, positioning tables and the like is provided on the upper portion of the protruding portion 10 provided on the slider 3. Yes. The insertion passage 37 formed in the slider 3 has one end on the upper surface of the protruding portion 10 and the introduction of the inlet portion of the insertion passage 37 for constituting a connection portion for connecting the line member 38 to an operating device provided on the object. The opening 43 is open, and the insertion path 37 is open on the side surface of the lower flange portion 48 at the other end. The inlet portion of the introduction port 43 of the insertion passage 37 is formed, for example, in a connection portion such as a screw hole in order to connect a connection pipe provided in the object. The other end of the insertion passage 37 is connected to a connector 47 that opens to the side surface of the lower flange portion 48 provided in the protruding portion 10 and connects the line member 38. The insertion path 37 is formed in the protrusion part 10 and the flange part 48, for example, seeing in the AA cross section, and is formed in L shape. The insertion passage 37 provided in the protrusion 10 and the flange portion 48 is formed in a plurality of passages. For example, when two passages are provided, one insertion passage 37 includes a power source, a signal line, a cord, and the like. The other insertion passage 37 can be formed to pass a pipe member such as a tube through which compressed air or hydraulic pressure flows. One protruding portion 10 extends to the center portion (FIG. 3) of the slider 2, or a pair extends from a width direction side portion (FIG. 4) described later. As shown by a dotted line in FIG. 1, the projecting portion 10 is composed of a tip portion 35 whose both ends in the moving direction are tapered in a wedge shape, and a thick intermediate portion 36 between the tip portions 35. Extending in the direction. At least one, in the drawing, two insertion passages 37 are formed in the intermediate portion 36 of the protruding portion 10.
[0019]
 In this slide device, a load path is formed by a raceway groove 45 formed on both side surfaces of the slider 3 and a raceway groove 8 formed on the inner surface which is the opposite surface of the side portion 7 of the track rail 2. The slider 3 smoothly reciprocates relative to the track rail 2 when the rolling elements 44 incorporated in the slider 3 roll on the load path. This slide device is rotatably supported by a ball screw nut 17 attached to the slider 3 and a track rail 2 screwed into the ball screw nut 17 in order to move the slider 3 reciprocally relative to the track rail 2. A ball screw composed of the ball screw shaft 4 and a motor 9 of a driving device for rotating the ball screw shaft 4 are provided. Both ends of the ball screw shaft 4 are rotatably supported by a ball screw shaft support 12 and a motor side ball screw shaft support 11 with respect to the track rail 2. A motor bracket to which a motor 9 is attached is fixed to one end of the track rail 2. The slider 3 is configured to reciprocate along the track rail 2 when the ball screw shaft 4 is reversibly rotated by a motor 9. In addition, a grease nipple 53 and an end seal 46 are attached to the slider 3 with attachment screws 54.
[0020]
 In this slide device, when the slider 3 is reciprocally moved relative to the track component 55, the protruding portion 10 is brought into close contact with the front end surface 26 of the seal member 1 to move the seal member 1 to expand and contract. In the cover 15, a cable bear 50 that guides a line member 38 such as a power supply electric wire, a signal line, an operation lead, or a line member 38 such as a compressed air or a hydraulic supply pipe member for operating various devices attached to 3 is provided. It is built-in. The line member 38 is inserted through an insertion passage 37 formed in the protruding portion 10 provided in the slider 3, and supplies power, signals, air pressure, hydraulic pressure, and the like to various devices attached to the flange portion 13 of the slider 3. It fulfills the function of supplying the drive source.
[0021]
 The slider 3 is provided with a protruding portion 10, an upper flange portion 13 integral with the protruding portion 10, and a lower flange portion 48. The pair of seal members 1 are arranged so as to sandwich the protruding portion 10 protruding from between the front end surfaces 26 from both sides. This slide device is configured such that the front end surface 26 of the seal member 1 is in sliding contact with the side surface of the projecting portion 10, that is, the web portion, while the seal member 1 is elastically deformed, and the slider 3 reciprocates relative to the track rail 2. Has been. The seal member 1 is provided with a spring member 40 along the longitudinal direction of the seal member 1 in order to assist the restoration of the expansion and contraction caused by the passage of the protruding portion 10 of the slider 3. The seal member 1 is formed of foam rubber, and a protective film 39 is coated on the surface of the foam rubber. Further, the sliding contact surface of the protruding portion 10 of the slider 3 and / or the sliding contact surface of the sealing member 1 with which the seal member 1 is slidably contacted are wear-resistant in order to enable smooth relative sliding of the protruding portion 10 of the slider 3. A slidable contact belt 18 is attached.
[0022]
 This slide device is designed to suck the air existing in the space 33 surrounded by the track rail 2, the pair of covers 15 and the pair of seal members 1, or to blow clean air into the space 33. The end plate 21 serving as an end cover is provided with an air pipe 41 (FIG. 1) that forms a suction port for sucking foreign matter such as air and dust inside the apparatus at a position below the motor 9. This slide device is provided on the side surface of the sensor rail 22 attached to the cover portion 19 of the cover 15, the sensor 59 such as a limit sensor provided on the sensor rail 22, and the side surface of the flange portion 13 of the slider 3. The shield plate 63 is provided so that the limit of the slider 3 and the position before the origin can be sensed with respect to the track rail 2. In addition, the slide device is configured such that an encoder 68 is disposed at the end of the motor 9, and the position of the slider 3 can be controlled by detecting the rotation angle and rotation amount of the motor 9 by the encoder 68.
[0023]
 As shown in FIG. 1, the protruding portion 10 provided on the slider 3 is formed of a tip portion 35 whose both ends in the moving direction are tapered in a wedge shape, and a thick intermediate portion 36 between the tip portions 35. . The seal member 1 is formed of a thick portion that fits into the recess 23 of the seal support portion 16 and a thin portion that expands and contracts from the thick portion toward the distal end surface 26. The seal member 1 is configured such that when the protrusion 10 of the slider 3 passes, the thin-walled portion expands and contracts into a substantially quadrangular cross-sectional shape.
[0024]
 This slide device is based on a track rail 2 having a U-shaped recess 5, and a slider 3 is slidably positioned and driven along the track on the inner surface of the long track rail 2. It is comprised so that. In this slide device, the rolling elements 44 roll on load paths formed by the track grooves 45 formed on both side surfaces of the slider 3 and the track grooves 8 formed on the inner surfaces of the side portions 7 of the track rail 2, respectively. By doing so, the slider 3 can smoothly reciprocate with respect to the track rail 2.
[0025]
 The seal member 1 is stretched and deformed in close contact with the surface of the projecting portion 10 of the slider 3 when the projecting portion 10 of the slider 3 passes between the sliding belts 18 fixed to the side surfaces of the seal member 1. Thus, the projecting portion 10 is configured to be slidably movable in the longitudinal direction in the opening 34. Both ends of the projecting portion 10 in sliding direction with the foam rubber seal member 1 are formed at the front end portion 35 formed in a wedge shape so as to smoothly guide expansion / contraction deformation of the foam rubber. The sealing member 1 is formed of a flexible porous material having a restoring force due to self-elasticity, and is easier to manufacture, handle, and has a longer life of expansion and contraction than a conventional sealing member, and has a structure with good sealing performance. ing. The seal member 1 is substantially formed in a quadrilateral shape such as a rectangle or a square. When the protruding portion 10 of the slider 3 passes through the seal member 1, the cross-sectional shape expands and contracts in a substantially square state. By forming the material, for example, foam rubber, which is a porous member that is not porous and communicated, it is possible to secure a sealing property for preventing dust and the like from entering and exiting.
[0026]
 The foam rubber constituting the seal member 1 is made of, for example, latex as a main raw material, foamed with a compound such as sulfur, a vulcanization accelerator, an anti-aging agent, and a foaming agent, and coagulated with a coagulant, and heated steam. It is a latex sponge that has been vulcanized with hot water and then washed and dried, and is a flexible porous rubber that has self-resilient resilience. The surface of the seal member 1 can be coated with a protective film 39 for moisture prevention, but if it is formed on the surface without the film, cracks and the like will not occur due to repeated expansion and contraction. By providing the sealing member 1, the sealing performance of the opening 34 is improved.
[0027]
 The seal member 1 has a mounting plate that can be attached to and detached from the seal support portion 16 adhered with a double-sided adhesive tape along the longitudinal direction of the side or upper and lower surfaces of the foam rubber, or is fixed with an adhesive. Since the side surface of the foam rubber is in sliding contact with the side surface of the projecting portion 10 of the slider 3, a sliding contact belt 18 for reducing dust generation is fixed with an adhesive or is adhered with a double-sided adhesive tape. The mounting plate is formed of, for example, a thin plate made of stainless steel. Mounting screw holes for mounting to the cover 15 can be formed on the mounting plate at predetermined intervals along the longitudinal direction.
[0028]
 Further, the sliding contact belt 18 is fixed along the longitudinal direction of the upper surface, the lower surface and / or the side surface of the foam rubber of the seal member 1, and a wafer transfer belt used in a clean room is used. The wafer transfer belt is made of a polyester material, and is a material that hardly generates abrasion powder. Therefore, the slidable contact belt 18 is formed of polyester such as polyester resin or polyester fiber at least on the surface in slidable contact with the protruding portion 10 of the slider 3. Although not shown, dust generation can be further reduced by fixing the sliding contact belt to the protruding portion 10 of the slider 3 that is in sliding contact with the seal member 1. The slidable contact belt 18 is formed in a shape slightly wider than the width of the foam rubber of the seal member 1, and the foam rubber does not protrude from the slidable contact belt 18 when the foam rubber expands and contracts, and the foam rubber does not protrude from the protruding portion 10 of the slider 3. It is preferably formed in a shape that does not come into contact with the surface. Further, it is preferable that a wear-resistant sliding contact belt is attached to the sliding contact surface of the projecting portion 10 of the slider 3 from the viewpoint of improving the wear resistance and preventing dust generation.
[0029]
 Next, another embodiment of the slide device according to the present invention will be described with reference to FIG. Compared with the slide device of the above-described embodiment, the slide device is provided with two projecting portions 60 while the slider 3 includes one projecting portion 10. Correspondingly, the configuration of the track component 55 comprising the seal member 1 and the cover 15 provided with the seal support portion 16 is different from the configuration of the track component 55 of the first embodiment. Substantially the same. Therefore, in the embodiment shown in FIG. 4, the same reference numerals are given to the same components and parts in the embodiments shown in FIGS.
[0030]
 In this slide device, parts such as the sensor rail are omitted in FIG. 4, but these are the same as those in the embodiment shown in FIGS. 1 to 3, and the insertion path 37 and the cable provided in the projecting portion 60. Except for the bear 50, it is the same as the slide device disclosed in FIGS. 4 to 6 of the specification of Japanese Patent Application No. 2002-273342 which is an earlier application of the present inventor. In particular, the slide device accommodates the cable bear 50 in one seal support portion 16 constituting the cover 15, forms an insertion passage 37 in one protrusion 60 provided on the slider 3, and the line member 38 is connected to the cable. Since these are passed through the bear 50 and the insertion passage 37 and the details thereof are the same as those of the slide device shown in FIGS. 1 to 3, redundant description is omitted here.
[0031]
 The slider 3 is provided with two protrusions 60 extending in the longitudinal direction so as to be spaced apart from both sides in the width direction of the slider 3. Further, the protruding portion 60 has the same shape as the protruding portion 10. On the upper surface of the pair of projecting portions 60, the flange portion 13 constituting an object mounting base for mounting an object such as a device is attached in the same manner as the projecting portion 10. Therefore, since the object attached to the flange part 13 is supported by the two protrusions 60, the support state is stable, and an object that is heavier than that of the above embodiment can be supported. The track component 55 includes a track rail 2 having side portions 7, end covers attached to both ends of the track rail 2, and a cover 15 that supports the seal member 1. The cover 15 extends upward along the longitudinal direction of the side part 7 of the track rail 2 and is attached to the side part 7 and has a pair of cover side parts 64 whose front end faces the projecting part 60 and both ends of the end cover. And a pair of cover central portions 65 disposed between the projecting portions 60.
[0032]
 In the cover 15, an opening 34 is formed between the one cover side part 64 and the one cover center part 65 for allowing the protruding part 60 to pass therethrough, and the other cover side part 64 and the other cover center part are formed. An opening 34 through which the protruding portion 60 passes is formed between 65 and 65. The cover center portion 65 is formed of a pair of L-shaped cover members 67 in which the web portion 66 is positioned at the center portion and aligned with each other. Alternatively, although not shown, the cover central portion 65 may be formed as an integral T-shaped cover member having a web portion 66 at the central portion. Since the cover center portion 65 is L-shaped or T-shaped, it has high rigidity, is resistant to deformation with respect to the movement of the projecting portion 60 of the slider 3, and ensures a large fixing surface of the seal member 1. The sealing member 1 can be firmly fixed, and the protrusion 60 of the slider 3 can be smoothly slid. The seal member 1 includes a pair of seal side members 61 supported by the cover side portion 64 and a pair of seal intermediate members 62 respectively supported by the cover center portion 65 on both sides of the web portion 66. Yes. The seal side member 61 and the seal intermediate member 62 constituting the seal member 1 are configured in substantially the same shape with respect to the contact surface and the mounting surface of the seal member 1 of the above embodiment.
[0033]
【The invention's effect】
 Since this slide device is configured as described above, when a power source is required for an object such as a moving table, a positioning table, various devices, a transport device, or a control device to be attached to the slider, The line member connected to the cable is guided by a bent bearing member such as a cable bearer installed in the cover attached to the track rail, and then connected to the object through the insertion path provided in the protruding part of the slider to operate the object. Can be configured to In addition, a bending receiving member for guiding the line member is disposed in the cover, and the line member is accommodated in the apparatus by passing the insertion member formed in the protruding portion of the slider. Even if it is a factor of dust generation, the clean room is not contaminated, and foreign matter existing in the space inside the device can be sucked through the air pipe provided in the cover, so that the inside of the device can be maintained in a clean atmosphere and the operation of the device can be improved. There will be no hindrance. In addition, since the slider has a structure in which an object such as a manufacturing apparatus or the like, that is, a conveying load, is attached to a projecting portion extending from one place on the upper surface of the slider, the conveying load of the object is limited to a small load. However, for example, it is possible to cope with miniaturization that is optimal for small-load parts, equipment, tables, etc. to be transported in semiconductor manufacturing equipment, clean positioning tables, and the like. For example, when assembling a device in which a large number of tables are integrated in a narrow space, this slide device is required to have a narrow lateral width. This slide device is optimal for such a device. Further, the slide device can be configured to have two protrusions extending upward on the slider and can support a heavy load object, but it extends to the side of the slider as in the conventional slide device. Since the flange portion is not provided, it has a slim structure with a narrower width than the conventional one.
[0034]
 Since this slide device has good sealing performance, foreign matter such as dust and oil generated from the slide device itself is not scattered outside the slide device, particularly in a clean room where semiconductor manufacturing equipment is installed. The dustiness can be kept as low as ever, and troubles in the clean room caused by the slide device will not occur.Yes.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a slide device according to the present invention.
FIG. 2 is a front view showing a state where the cable bear is attached by cutting a part of the slide device of FIG. 1;
3 is a cross-sectional view taken along a line AA in the slide device of FIG. 2;
4 is a cross-sectional view of a portion corresponding to the AA cross section of FIG. 1 showing another embodiment of the slide device according to the present invention.
FIG. 5 is a perspective view showing a conventional slide device.
6 is a perspective view showing a state in which the cover is removed in the slide device of FIG. 5. FIG.
[Explanation of symbols]
 1 Seal member
 2 Track rail
 3 Slider
 4 Ball screw shaft
 6 Bottom
 7 side
 8,45 Track groove
 10,60 protrusion
 13 Flange
 15 Cover
 17 Ball screw nut
 26 Tip surface of seal member
 27, 34 opening
 37 Passage
 38 Line members
 44 Rolling elements
 50 Cable bear
 55 Track parts
 56 Opposite surface

Claims

A track rail formed of a pair of side portions facing each other and spaced apart in the longitudinal direction and a bottom portion integrally formed with the side portions, and formed into a generally bowl shape, on both sides and above the track rail A cover attached to the track rail, and a tip surface in contact with the cover to seal an opening between the facing surfaces of the cover that extends in the longitudinal direction to be the upper portion of the track rail. A track part having a restoring member attached to the cover and having a restoring force; and at least one projecting portion penetrating between the distal end surfaces of the seal member, wherein the projecting portion is the distal end surface of the seal member. And a slider that reciprocally moves between the side portions of the track rail through a rolling element by extending and contracting the seal member in close contact with the track rail. A ball screw comprising a ball screw nut attached to the slider and a ball screw shaft rotatably supported by the track rail screwed to the ball screw nut, and the ball screw shaft, In a slide device comprising a drive device for rotational drive,
The projecting portion of the slider is used for supplying power such as power wires, signal wires, cords, and / or fluids such as compressed air pressure and hydraulic pressure to operate objects such as workpieces, equipment, and positioning tables. An insertion passage is formed to allow the line member, which is a pipe member, to be disposed,
Wherein the one of the sides of the track rail, together with the cover, slide apparatus bending receiving member such as flexible member for guiding the line member, characterized in that it is mounted is covered with the cover .