JP4300625B2

JP4300625B2 - Discharge device

Info

Publication number: JP4300625B2
Application number: JP07594499A
Authority: JP
Inventors: 克也荻田
Original assignee: Casio Computer Co Ltd
Current assignee: Casio Computer Co Ltd
Priority date: 1999-03-19
Filing date: 1999-03-19
Publication date: 2009-07-22
Anticipated expiration: 2019-03-19
Also published as: JP2000262946A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液状樹脂等の流動性材料を吐出するための吐出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、ＴＡＢ(tape automated bonding)、ＣＯＦ(chip on film)、ＣＯＧ(chip on glass)、ＣＳＰ(chip size package)等と呼ばれる半導体チップの実装技術では、一般に、基板上に搭載されたＬＳＩ等からなる半導体チップを樹脂封止材で封止している。この場合、液状の樹脂封止材を、ディスペンサと呼ばれる吐出装置を用いて、基板上に搭載された半導体チップの周囲に吐出して封止している。
【０００３】
図４は従来のこのような吐出装置の一例の一部の断面図を示したものである。この吐出装置はシリンダ１を備えている。シリンダ１内には円板状のピストン２が上下動可能に設けられている。シリンダ１の先端側には筒状の連結部材３、チューブ４、漏れ防止弁５、チューブ６、筒状のノズル取付部材７及びノズル８がこの順でそれぞれねじ方式により取り付けられている。漏れ防止弁５は、筒状の弁本体５ａ内にボール５ｂ及びスプリング５ｃが収納された構造となっている。シリンダ１の基端部にはキャップ９が取り付けられている。キャップ９の外部に設けられたチューブ取付部９ａにはチューブ１０の一端部が取り付けられている。チューブ１０の他端部は、図示していないが、圧力コントローラを介してコンプレッサやボンベ等からなる圧縮気体（Ｎ２）供給源に接続されている。
【０００４】
そして、この吐出装置では、図示しない外部スイッチがオンされるごとに、圧力コントローラで圧力を制御された圧縮気体がチューブ１０を介してシリンダ１内のピストン２の上側に供給され、これによりピストン２が下動し、シリンダ１内のピストン２の下側に充填された液状の樹脂（図示せず）がノズル８の先端部から外部スイッチがオンしている間だけ吐出されるようになっている。
【０００５】
ところで、従来のこのような吐出装置では、非常に高価なものは別として、圧力コントローラで制御された吐出圧力が変動し、例えば所期の吐出圧力が１ｋｇ／ｃｍ²であるとき、±０．１ｋｇ／ｃｍ²程度の圧力変動がある。一方、単位時間当たりの吐出量は、吐出圧力に比例し、且つ、ノズル８の先端部の流路の断面積に反比例する。この結果、ノズル８の先端部の内径を比較的大きくすると、単位時間当たりの吐出量のバラツキが大きくなり、好ましくない。そこで、従来では、ノズル８の先端部の内径を比較的小さくしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来の吐出装置では、ノズル８の先端部の内径を比較的小さくしている。しかしながら、ノズル８の先端部の内径が比較的小さいと、吐出線幅も比較的小さくなるので、封止領域がある程度の面積を有している場合、封止するのに時間がかかるという問題があった。
この発明の課題は、単位時間当たりの吐出量のバラツキを小さくすることができ、且つ、吐出線幅を比較的大きくすることができるようにすることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明は、シリンダ内の流動性材料を前記シリンダ内に供給された圧縮気体による圧力によって前記シリンダの先端側に設けられたノズルから吐出するようにした吐出装置において、前記シリンダと前記ノズルとの間に漏れ防止弁およびノズル取付部材が設けられ、前記ノズルは、前記ノズル取付部材の外形に取り付けられ、前記ノズルの先端部の内径よりも大きい内径を有する取付け部と前記取付け部との境界から先端面まで内径が同一径の先端部とからなり、前記漏れ防止弁およびノズル取付部材の一方は前記ノズルの先端部の内径よりも小さい内径の流路を設けたものである。この発明によれば、シリンダとノズルとの間における流路の内径をノズルの内径よりも小さくしているので、この小径の流路により単位時間当たりの吐出量のバラツキを小さくすることができ、この結果ノズルの先端部の内径を比較的大きくすることができ、ひいては吐出線幅を比較的大きくすることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
図１はこの発明の第１実施形態における吐出装置の要部の断面図を示したものである。この図において、図４と同一名称部分には同一の符合を付し、その説明を適宜省略する。この吐出装置において、図４に示す場合と異なる点は、ノズル８の先端部の内径をある程度大きくすると共に、ノズル取付部材７に設けられた流路７ａの内径をノズル８の先端部の内径よりも小さくした点である。
【０００９】
このように、この吐出装置では、シリンダ１とノズル８との間に設けられたノズル取付部材７の流路７ａの内径をノズル８の先端部の内径よりも小さくしているので、ノズル取付部材７の流路７ａにより単位時間当たりの吐出量のバラツキを小さくすることができる。この結果、ノズル８の先端部の内径を比較的大きくして、吐出線幅を比較的大きくすることができ、ひいては封止（塗布）領域がある程度の面積を有していても、短時間で封止（塗布）することができる。
【００１０】
（第２実施形態）
図２はこの発明の第２実施形態における吐出装置の要部の断面図を示したものである。この図において、図４と同一名称部分には同一の符合を付し、その説明を適宜省略する。この吐出装置において、図４に示す場合と異なる点は、ノズル８の先端部の内径をある程度大きくすると共に、漏れ防止弁５の弁本体５ａの基端部に設けられた流路５ｄの内径をノズル８の先端部の内径よりも小さくした点である。
【００１１】
このように、この吐出装置では、シリンダ１とノズル８との間に設けられた漏れ防止弁５の基端部の流路５ｄの内径をノズル８の先端部の内径よりも小さくしているので、漏れ防止弁５の基端部の流路５ｄにより単位時間当たりの吐出量のバラツキを小さくすることができる。この結果、ノズル８の先端部の内径を比較的大きくして、吐出線幅を比較的大きくすることができ、ひいては封止（塗布）領域がある程度の面積を有していても、短時間で封止（塗布）することができる。なお、漏れ防止弁５の先端部の流路の内径がノズル８の先端部の内径よりも小さくなるようにしてもよい。
【００１２】
（第３実施形態）
図３はこの発明の第３実施形態における吐出装置の要部の断面図を示したものである。この図において、図４と同一名称部分には同一の符合を付し、その説明を適宜省略する。この吐出装置において、図４に示す場合と異なる点は、ノズル８の先端部の内径をある程度大きくすると共に、漏れ防止弁５とノズル取付部材７との間に３つのチューブ１１、１２、１３を設けた点である。この場合、上側及び下側のチューブ１１、１３の流路１１ａ、１３ａの内径はノズル８の先端部の内径よりも大きくなっており、中間のチューブ１２の流路１２ａの内径はノズル８の先端部の内径よりも小さくなっている。
【００１３】
このように、この吐出装置では、シリンダ１とノズル８との間に設けられたチューブ１２の流路１２ａの内径をノズル８の先端部の内径よりも小さくしているので、チューブ１２の流路１２ａにより単位時間当たりの吐出量のバラツキを小さくすることができる。この結果、ノズル８の先端部の内径を比較的大きくして、吐出線幅を比較的大きくすることができ、ひいては封止（塗布）領域がある程度の面積を有していても、短時間で封止（塗布）することができる。なお、シリンダ１と漏れ防止弁５との間に小径の流路を有するチューブを設けるようにしてもよい。
【００１４】
なお、上記実施形態では、シリンダ１とノズル８との間に設けられた部材の流路の内径をノズル８の先端部の内径よりも小さくした場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、ノズル８として基端部の内径が先端部の内径よりも小さくなっているものを用いるようにしてもよい。また、シリンダ１として先端部の内径がノズル８の先端部の内径よりも小さくなっているものを用いるようにしてもよい。
【００１５】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、シリンダとノズルとの間における流路の内径をノズルの内径よりも小さくしているので、この小径の流路により単位時間当たりの吐出量のバラツキを小さくすることができ、この結果ノズルの先端部の内径を比較的大きくして、吐出線幅を比較的大きくすることができ、ひいては塗布領域がある程度の面積を有していても、短時間で塗布することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１実施形態における吐出装置の要部の断面図。
【図２】この発明の第２実施形態における吐出装置の要部の断面図。
【図３】この発明の第３実施形態における吐出装置の要部の断面図。
【図４】従来の吐出装置の一例の一部の断面図。
【符号の説明】
１シリンダ
５漏れ防止弁
７ノズル取付部材
８ノズル[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a discharge device for discharging a fluid material such as a liquid resin.
[0002]
[Prior art]
For example, in a semiconductor chip mounting technology called TAB (tape automated bonding), COF (chip on film), COG (chip on glass), CSP (chip size package), etc., it is generally from LSI mounted on a substrate. The resulting semiconductor chip is sealed with a resin sealing material. In this case, a liquid resin sealing material is discharged and sealed around the semiconductor chip mounted on the substrate by using a discharge device called a dispenser.
[0003]
FIG. 4 shows a partial sectional view of an example of such a conventional discharging apparatus. The discharge device includes a cylinder 1. A disk-like piston 2 is provided in the cylinder 1 so as to be movable up and down. A cylindrical connecting member 3, a tube 4, a leakage prevention valve 5, a tube 6, a cylindrical nozzle mounting member 7, and a nozzle 8 are respectively attached to the front end side of the cylinder 1 in this order by a screw method. The leakage prevention valve 5 has a structure in which a ball 5b and a spring 5c are accommodated in a cylindrical valve body 5a. A cap 9 is attached to the base end of the cylinder 1. One end portion of the tube 10 is attached to the tube attachment portion 9 a provided outside the cap 9. Although not shown, the other end of the tube 10 is connected to a compressed gas (N2) supply source such as a compressor or a cylinder through a pressure controller.
[0004]
In this discharge device, every time an external switch (not shown) is turned on, the compressed gas whose pressure is controlled by the pressure controller is supplied to the upper side of the piston 2 in the cylinder 1 through the tube 10. The liquid resin (not shown) filled below the piston 2 in the cylinder 1 is discharged from the tip of the nozzle 8 only while the external switch is on. .
[0005]
By the way, in such a conventional discharge device, apart from a very expensive device, the discharge pressure controlled by the pressure controller fluctuates. For example, when the desired discharge pressure is 1 kg / cm ² , ± 0. There is a pressure fluctuation of about 1 kg / cm ² . On the other hand, the discharge amount per unit time is proportional to the discharge pressure and inversely proportional to the cross-sectional area of the flow path at the tip of the nozzle 8. As a result, if the inner diameter of the tip portion of the nozzle 8 is relatively large, the variation in the discharge amount per unit time increases, which is not preferable. Therefore, conventionally, the inner diameter of the tip of the nozzle 8 is relatively small.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
Thus, in the conventional discharge device, the inner diameter of the tip of the nozzle 8 is relatively small. However, if the inner diameter of the tip portion of the nozzle 8 is relatively small, the discharge line width is also relatively small. Therefore, when the sealing region has a certain area, it takes time to seal. there were.
An object of the present invention is to make it possible to reduce the variation in the discharge amount per unit time and to make the discharge line width relatively large.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The present invention relates to a discharge device configured to discharge a fluid material in a cylinder from a nozzle provided on a tip side of the cylinder by a pressure of compressed gas supplied into the cylinder. A leakage prevention valve and a nozzle mounting member are provided in between, and the nozzle is mounted on the outer shape of the nozzle mounting member, from the boundary between the mounting portion and the mounting portion having an inner diameter larger than the inner diameter of the tip portion of the nozzle. The tip end surface is composed of a tip portion having the same inner diameter, and one of the leakage prevention valve and the nozzle mounting member is provided with a flow path having an inner diameter smaller than the inner diameter of the tip portion of the nozzle. According to this invention, since the inner diameter of the flow path between the cylinder and the nozzle is made smaller than the inner diameter of the nozzle, the variation in the discharge amount per unit time can be reduced by this small diameter flow path, As a result, the inner diameter of the nozzle tip can be made relatively large, and the discharge line width can be made relatively large.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(First embodiment)
FIG. 1 shows a cross-sectional view of a main part of a discharge device according to a first embodiment of the present invention. In this figure, parts having the same names as those in FIG. 4 differs from the case shown in FIG. 4 in that the inner diameter of the tip of the nozzle 8 is increased to some extent, and the inner diameter of the flow path 7a provided in the nozzle mounting member 7 is made larger than the inner diameter of the tip of the nozzle 8. Is a small point.
[0009]
Thus, in this discharge device, since the inner diameter of the flow path 7a of the nozzle mounting member 7 provided between the cylinder 1 and the nozzle 8 is made smaller than the inner diameter of the tip end portion of the nozzle 8, the nozzle mounting member The variation in the discharge amount per unit time can be reduced by the seven flow paths 7a. As a result, the inner diameter of the tip of the nozzle 8 can be made relatively large, and the discharge line width can be made relatively large. As a result, even if the sealing (coating) region has a certain area, it can be done in a short time. It can be sealed (applied).
[0010]
(Second Embodiment)
FIG. 2 shows a cross-sectional view of the main part of the ejection device according to the second embodiment of the present invention. In this figure, parts having the same names as those in FIG. 4 differs from the case shown in FIG. 4 in that the inner diameter of the tip of the nozzle 8 is increased to some extent and the inner diameter of the flow path 5d provided at the proximal end of the valve body 5a of the leakage prevention valve 5 is increased. This is a point smaller than the inner diameter of the tip of the nozzle 8.
[0011]
Thus, in this discharge device, the inner diameter of the flow path 5d at the base end of the leak prevention valve 5 provided between the cylinder 1 and the nozzle 8 is made smaller than the inner diameter of the tip of the nozzle 8. The variation in the discharge amount per unit time can be reduced by the flow path 5d at the base end of the leakage prevention valve 5. As a result, the inner diameter of the tip of the nozzle 8 can be made relatively large, and the discharge line width can be made relatively large. As a result, even if the sealing (coating) region has a certain area, it can be done in a short time. It can be sealed (applied). Note that the inner diameter of the flow path at the tip of the leakage prevention valve 5 may be smaller than the inner diameter of the tip of the nozzle 8.
[0012]
(Third embodiment)
FIG. 3 shows a cross-sectional view of the main part of the ejection device according to the third embodiment of the present invention. In this figure, parts having the same names as those in FIG. In this discharge device, the difference from the case shown in FIG. 4 is that the inner diameter of the tip of the nozzle 8 is increased to some extent, and three tubes 11, 12, 13 are provided between the leakage prevention valve 5 and the nozzle mounting member 7. It is a point provided. In this case, the inner diameters of the flow paths 11 a and 13 a of the upper and lower tubes 11 and 13 are larger than the inner diameter of the tip of the nozzle 8, and the inner diameter of the flow path 12 a of the intermediate tube 12 is the tip of the nozzle 8. It is smaller than the inner diameter of the part.
[0013]
Thus, in this discharge device, since the inner diameter of the flow path 12a of the tube 12 provided between the cylinder 1 and the nozzle 8 is made smaller than the inner diameter of the tip end portion of the nozzle 8, the flow path of the tube 12 The variation in the discharge amount per unit time can be reduced by 12a. As a result, the inner diameter of the tip of the nozzle 8 can be made relatively large, and the discharge line width can be made relatively large. As a result, even if the sealing (coating) region has a certain area, it can be done in a short time. It can be sealed (applied). A tube having a small-diameter channel may be provided between the cylinder 1 and the leakage prevention valve 5.
[0014]
In the above embodiment, the case where the inner diameter of the flow path of the member provided between the cylinder 1 and the nozzle 8 is made smaller than the inner diameter of the tip portion of the nozzle 8 is described, but the present invention is not limited to this. Absent. For example, a nozzle 8 having an inner diameter at the base end smaller than the inner diameter at the tip may be used. Further, the cylinder 1 may have a tip portion whose inner diameter is smaller than the inner diameter of the tip portion of the nozzle 8.
[0015]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, since the inner diameter of the flow path between the cylinder and the nozzle is made smaller than the inner diameter of the nozzle, the variation in the discharge amount per unit time is reduced by this smaller diameter flow path. As a result, the inner diameter of the tip of the nozzle can be made relatively large, the discharge line width can be made relatively large, and even if the coating area has a certain area, it can be done in a short time. Can be applied.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view of a main part of a discharge device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part of a discharge device according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part of a discharge device according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a partial cross-sectional view of an example of a conventional discharge device.
[Explanation of symbols]
1 Cylinder 5 Leakage prevention valve 7 Nozzle mounting member 8 Nozzle

Claims

In a discharge device in which fluid material in a cylinder is discharged from a nozzle provided on the front end side of the cylinder by pressure by compressed gas supplied into the cylinder , leakage prevention is performed between the cylinder and the nozzle. A valve and a nozzle attachment member are provided, and the nozzle is attached to an outer shape of the nozzle attachment member, and has an inner diameter from a boundary between the attachment portion having an inner diameter larger than an inner diameter of the tip portion of the nozzle and the attachment portion to a tip surface. The discharge device according to claim 1, wherein the discharge prevention valve and the nozzle mounting member are provided with a flow path having an inner diameter smaller than an inner diameter of the tip of the nozzle.

2. The discharge apparatus according to claim 1, wherein the flow path is a flow path provided in a leakage prevention valve provided between the cylinder and the nozzle.

2. The discharge device according to claim 1, wherein the flow path is a flow path provided in a tube provided between the cylinder and the nozzle.

2. The discharge apparatus according to claim 1, wherein the flow path is a flow path provided at a proximal end portion of the nozzle.

2. The discharge apparatus according to claim 1, wherein the flow path is a flow path provided at a tip portion of the cylinder.