JP4268167B2 - Mechanical stage for polarizing microscope and polarizing microscope equipped with the same - Google Patents

Mechanical stage for polarizing microscope and polarizing microscope equipped with the same Download PDF

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Description

本発明は、偏光顕微鏡用メカニカルステージ及びこれを備えた偏光顕微鏡に関する。   The present invention relates to a mechanical stage for a polarizing microscope and a polarizing microscope including the same.

偏光顕微鏡用メカニカルステージは、国際地質学連合によって定められた岩石の分類作業や、岩石的研究に必須の機器である。   The polarizing microscope mechanical stage is an indispensable instrument for rock classification work and petrological research established by the International Union of Geology.

特許文献1には、広域に被検体が存在するあるいは存在する可能性のあるプレパラート等を、顕微鏡の倍率に応じた部分区間単位で連続的にあるいは若干のオーバラップをもたせた所定の間隔で、かつ二次元的に移動させて所望の顕微鏡域の全域を自動的に掃引すると共に、前記プレパラート等の任意の位置で停止、再起動が可能であり、前記プレパラート等の顕微鏡部位の位置を座標表示する表示装置を備え、前期プレパラート等の特定部位の位置を記憶して該特定部位を検鏡位置に自動的にセットする機能を有する自動掃引装置を備えたことを特徴とする自動掃引装置付顕微鏡が記載されている。   In Patent Document 1, preparations or the like in which a subject exists or may exist in a wide area are continuously or partially overlapped in units of partial sections according to the magnification of the microscope, and at a predetermined interval. It can be moved two-dimensionally to automatically sweep the entire area of the desired microscope area, and can be stopped and restarted at an arbitrary position such as the preparation, and the position of the microscope part such as the preparation is displayed as coordinates. A microscope with an automatic sweeping device, characterized in that it has an automatic sweeping device that has a function of storing the position of a specific part such as a preparation in the previous period and automatically setting the specific part at the microscopic position Is described.

特許文献2には、広域に被検体が存在するあるいは存在する可能性のある容器を保持するホルダと、前記容器の検鏡部位の位置を検出するための位置検出容器と、モータで駆動される場合に接続され、手動操作で駆動される場合にきられる電磁クラッチを含み、前記ホルダーを顕微鏡の対物レンズ下で2次元的に移動させる移動機構と、前記移動機構を駆動するモータと、前記移動機構を手動操作で駆動するための手動操作部材を含む駆動装置と、前記検鏡部位の位置を表示する位置表示装置と、前記磁気クラッチを着脱するための切替スイッチを含み前記モータ、電磁クラッチ、位置検出器および前記位置表示装置を制御する制御装置とから構成されることを特徴とする自動掃引装置付顕微鏡に記載されている。   In Patent Document 2, a holder that holds a container in which a subject exists or may exist in a wide area, a position detection container for detecting the position of the speculum region of the container, and a motor are used. A moving mechanism for moving the holder two-dimensionally under the objective lens of the microscope, a motor for driving the moving mechanism, A drive device including a manual operation member for driving the mechanism by manual operation; a position display device for displaying the position of the speculum region; and a switch for attaching and detaching the magnetic clutch, the motor, the electromagnetic clutch, It is described in a microscope with an automatic sweeping device, which comprises a position detector and a control device for controlling the position display device.

実開昭59-53319号公報Japanese Utility Model Publication No.59-53319 実開昭61-68219号公報Japanese Utility Model Publication No. 61-68219

全世界で、これまで使用されてきた英国製偏光顕微鏡用メカニカルステージ(この製造会社の独占状態であった)の製造が数年前に中止され、この種の機器の利用が困難になっている。偏光顕微鏡用メカニカルステージはさほど高価ではなく、基本的機器であった。世界の岩石学の研究室では、この機器の代替として、極めて高額な画像解析装置を導入したり、高価な分析装置を使用したりしている。研究レベルではこのような代替でも研究に支障がでることはないが、岩石学の基本技術を教育するために使用することはできない。そこで、安価に同等品を製造できれば、再び多くの学生の使用が可能となり、教育が効果的に行えることとなる。   Worldwide, the production of previously used mechanical stages for polarizing microscopes made in the UK (which was the exclusive state of this manufacturer) was discontinued several years ago, making it difficult to use this type of equipment. . A mechanical stage for a polarizing microscope was not so expensive and was a basic instrument. In the world's petrology laboratories, as an alternative to this equipment, very expensive image analyzers are introduced or expensive analyzers are used. At the research level, such alternatives do not interfere with research, but cannot be used to educate basic petrology techniques. Therefore, if an equivalent product can be manufactured at a low cost, many students can use it again, and education can be effectively performed.

特許文献1,2に示してある顕微鏡は生物顕微鏡で、試料ステージが回転しないもので、かなりギアが多くなっている。また、従来品はスプリングコイルの力を利用して、電磁スイッチで一方向に進行させるもので、Y軸方向については手動であった。X軸のリミッターに到着すると、手動でスプリングコイルを引く操作が必要であった。X軸とY軸のステップ間隔の選択は制限されており、それらの組み合わせには熟練を要した。   The microscopes shown in Patent Documents 1 and 2 are biological microscopes, in which the sample stage does not rotate and the gears are considerably increased. Further, the conventional product uses the force of the spring coil to advance in one direction with an electromagnetic switch, and is manual in the Y-axis direction. When arriving at the X-axis limiter, it was necessary to manually pull the spring coil. The selection of the step interval between the X-axis and the Y-axis is limited, and the combination thereof requires skill.

本発明は、かかる点に鑑みて、回転ステージに容易に装着でき、試料板をX軸方向及びY軸方向に簡便に組み合わせ移動させることができ、安価に製造することのできる偏光顕微鏡用メカニカルステージ及びこれを備えた偏光顕微鏡を提供することを目的とする。   In view of such a point, the present invention can be easily mounted on a rotary stage, can easily move a sample plate in combination in the X-axis direction and the Y-axis direction, and can be manufactured at a low cost. And it aims at providing a polarizing microscope provided with the same.

本発明は、X軸方向及びY軸方向に試料板を移動させる偏光顕微鏡用メカニカルステージにおいて、固定手段によって回転ステージに固定される外箱と、外箱内に収納されてこの外箱内をX軸方向に摺動するスライダーと、外箱に取り付けられ、X軸方向に延びたねじを移動させてスライダーをX軸方向に駆動するX軸ステップモーターと、スライダー上に載置されてスライダーと共に移動し、Y軸方向に延びたねじを移動させるY軸ステップモーターと、試料板を保持し、スライダー上に載置されてスライダーと共に移動するものであって、Y軸ステップモーターによって、Y軸方向に駆動されて試料板をX軸方向及びY軸方向に駆動する試料ホルダーと、を備えたことを特徴とする偏光顕微鏡用メカニカルステージを提供する。   The present invention relates to a polarizing microscope mechanical stage for moving a sample plate in the X-axis direction and the Y-axis direction, an outer box fixed to a rotary stage by a fixing means, and an outer box housed in the outer box. A slider that slides in the axial direction, an X-axis step motor that is attached to the outer box and moves the screw extending in the X-axis direction to drive the slider in the X-axis direction, and is placed on the slider and moves with the slider A Y-axis step motor that moves a screw extending in the Y-axis direction, and a sample plate that is placed on the slider and moves with the slider. The Y-axis step motor moves the Y-axis step in the Y-axis direction. There is provided a mechanical stage for a polarizing microscope, comprising: a sample holder that is driven to drive a sample plate in the X-axis direction and the Y-axis direction.

本発明は、更に、スライダーは、並行配置、離間配置で、2つのロッドで結合された2つの部材からなり、一方の部材が、X軸ステップモーターによって摺動されることを特徴とする偏光顕微鏡用メカニカルステージを提供する。   In the polarization microscope according to the present invention, the slider further includes two members connected by two rods in a parallel arrangement and a separation arrangement, and one member is slid by an X-axis step motor. A mechanical stage is provided.

本発明は、更に、スライダーは、他方の部材に一体化され試料ホルダーに設けられた凸状の摺動部を収納する収納部を有することを特徴とする偏光顕微鏡用メカニカルステージを提供する。   The present invention further provides a mechanical stage for a polarizing microscope, characterized in that the slider has a storage portion for storing a convex sliding portion integrated with the other member and provided on the sample holder.

本発明は、更に、外箱にはスライダーのX軸方向の摺動量を示す計測部を形成され、試料ホルダーのY軸方向の摺動量を示す計測部が形成されていることを特徴とする偏光顕微鏡用メカニカルステージを提供する。   According to the present invention, the polarization is characterized in that the outer box is further provided with a measuring part indicating the sliding amount of the slider in the X-axis direction, and a measuring part indicating the sliding amount of the sample holder in the Y-axis direction. A mechanical stage for a microscope is provided.

本発明は、更に、前記偏光顕微鏡用メカニカルステージを備え、スライダーをX軸方向及びY軸方向に移動させるX軸ステップモーターおよびY軸ステップモーターから構成される移動駆動装置を備えたことを特徴とする偏光顕微鏡を提供する。   The present invention is further characterized in that it comprises the above-mentioned polarizing microscope mechanical stage, and further comprises a movement drive device comprising an X-axis step motor and a Y-axis step motor for moving the slider in the X-axis direction and the Y-axis direction. A polarizing microscope is provided.

本発明によれば、回転ステージに容易に装着でき、回転に影響されることなく(回転を邪魔することなく)、試料板をX軸方向及びY軸方向に簡便に組み合わせ移動させることができ、安価に製造することのできる偏光顕微鏡用メカニカルステージ及びこれを備えた偏光顕微鏡を提供することができる。   According to the present invention, the sample plate can be easily mounted on the rotation stage, and the sample plate can be easily combined and moved in the X-axis direction and the Y-axis direction without being affected by the rotation (without disturbing the rotation) It is possible to provide a polarizing microscope mechanical stage that can be manufactured at low cost and a polarizing microscope including the same.

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は、本発明の実施例である偏光顕微鏡の全体構成を示す図である。
図1において、100は偏光顕微鏡であり、偏光顕微鏡100は、周知のように基台2上に凹面鏡又は光源3を備え、対物レンズ4、接眼レンズ5、偏光板7、ハンドル8を備え、そして、その回転ステージ6は上にメカニカルステージ200を載置している。メカニカルステージ200は、そのコネクタ23が配線9によってコントロールボックス400を介してコンピューター300に接続されている。メカニカルステージ200がコントロールボックス400とコンピューター300に接続されることで、メカニカルステージ200のX軸方向とY軸方向の動作をコンピューター300上及びコントロールボックス400のダイアル、スイッチ(1A,1B,1C)により制御できるようになる。
コントロールボックス400は、X軸ステップ間隔設定ダイアル1B、Y軸ステップ間隔を設定ダイアル1C、及び、原点復帰スイッチ1Aを有する。
図2は、メカニカルステージ200を構成する部品を示す図である。
図2に示すように、メカニカルステージ200は、外箱21、固定板22、コネクタ23、スライダー24、X軸ステップモーター25、Y軸ステップモーター26及び試料ホルダー27を備える。
FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of a polarizing microscope that is an embodiment of the present invention.
In FIG. 1, reference numeral 100 denotes a polarizing microscope, and the polarizing microscope 100 includes a concave mirror or light source 3 on a base 2 as is well known, and includes an objective lens 4, an eyepiece lens 5, a polarizing plate 7, a handle 8, and The rotary stage 6 has a mechanical stage 200 mounted thereon. The connector 23 of the mechanical stage 200 is connected to the computer 300 via the control box 400 by the wiring 9. By connecting the mechanical stage 200 to the control box 400 and the computer 300, the operation of the mechanical stage 200 in the X-axis direction and the Y-axis direction is performed on the computer 300 and the dial and switch (1A, 1B, 1C) of the control box 400. You will be able to control.
The control box 400 includes an X-axis step interval setting dial 1B, a Y-axis step interval setting dial 1C, and an origin return switch 1A.
FIG. 2 is a diagram showing components constituting the mechanical stage 200.
As shown in FIG. 2, the mechanical stage 200 includes an outer box 21, a fixed plate 22, a connector 23, a slider 24, an X-axis step motor 25, a Y-axis step motor 26, and a sample holder 27.

外箱21は、上板28、側板30,31によって底辺部のない箱状に形成され、側板31に対向する側は、開放される。上板28の中央部にはねじ穴38が設けられ、このねじ穴38にはねじ81が係合、すなわち、噛合される。また、上面28にはX軸方向に穿けた計測孔33が設けられ、計測孔33の縁に沿って計測線32が設けてあり、後述するスライダー24に設けた計測線55と共に計測部101を構成している。側板31には、コネクタ23を取り付ける取り付け孔34及びX軸ステップモーター25に取り付ける取り付け孔35、更には、X軸ステップモーター25によって出入されるピン94が通過する通過孔36が設けてある。尚、配線用の孔については省略してある。   The outer box 21 is formed in a box shape having no bottom portion by the upper plate 28 and the side plates 30 and 31, and the side facing the side plate 31 is opened. A screw hole 38 is provided in the central portion of the upper plate 28, and a screw 81 is engaged, that is, meshed with the screw hole 38. In addition, a measurement hole 33 drilled in the X-axis direction is provided on the upper surface 28, and a measurement line 32 is provided along the edge of the measurement hole 33. It is composed. The side plate 31 is provided with an attachment hole 34 for attaching the connector 23, an attachment hole 35 for attachment to the X-axis step motor 25, and a passage hole 36 through which a pin 94 inserted and exited by the X-axis step motor 25 passes. Note that wiring holes are omitted.

固定板22は、金属製の立方体状をなし、左右2本の孔41,42が設けてある。固定板22は、固定箱にして箱状に形成してもよい。孔41,42の内径は後述するロッド44,45の径よりも大きいものとしてあり、この内部には、オイルが充填され、後述するスライダー24のロッド44,45とそのロッドに載置された膜55,56と共にオイルダンパーを構成する。固定板22上板、下板にはねじ81が係合するねじ穴37を有する。固定板22には、後述のスライダー24と試料ホルダー27のX軸方向摺動リミット、Y軸方向原点を感知する孔又は突起があるが、省略してある。   The fixing plate 22 has a metal cube shape and is provided with two holes 41 and 42 on the left and right sides. The fixed plate 22 may be formed in a box shape as a fixed box. The inner diameters of the holes 41 and 42 are larger than the diameters of rods 44 and 45 to be described later, and the inside is filled with oil, and rods 44 and 45 of the slider 24 to be described later and a film placed on the rods. An oil damper is formed together with 55 and 56. The upper plate and the lower plate of the fixing plate 22 have screw holes 37 into which screws 81 are engaged. The fixing plate 22 has holes or protrusions for detecting the X-axis direction sliding limit of the slider 24 and the sample holder 27, which will be described later, and the Y-axis direction origin, but they are omitted.

コネクタ23は、コントロールボックス400に接続するための電気的な接続部43を有して、前述した取り付け孔34に取り付けられている。   The connector 23 has an electrical connection portion 43 for connection to the control box 400 and is attached to the attachment hole 34 described above.

スライダー24は、並行配置、離間配置で、2つのロッド44,45で結合された2つの部材、すなわち、部材46、47を備える。2つのロッド44,45には、オイルダンパー部を構成する膜55、56がそれぞれ載置される。部材46は、板状をなし、その一部にX軸ステップモーター25によって出入される後述のピン94のねじ61が係合するねじ孔48が設けてある。部材47は、板状部49及び板状部49に一体に成された収納部50から構成される。板状部49及び収納部50は一体成形としてもよいし、別体に製作して一体としてもよい。   The slider 24 includes two members, that is, members 46 and 47 connected in parallel and spaced apart by two rods 44 and 45. On the two rods 44 and 45, films 55 and 56 constituting an oil damper portion are respectively placed. The member 46 has a plate shape, and a screw hole 48 into which a screw 61 of a later-described pin 94 that is put in and out by the X-axis step motor 25 is engaged is provided in a part thereof. The member 47 includes a plate-like portion 49 and a storage portion 50 formed integrally with the plate-like portion 49. The plate-like portion 49 and the storage portion 50 may be integrally formed, or may be manufactured separately and integrated.

収納部50は、板状部49にも外側に突出しており、下方端が開放され、下面51に案内部52が形成されており、内方面53には、計測線54が設けてある。この計測線54は後述する試料ホルダー27に設けられた計測線73と共に他の計測部102を構成する。
板状部49の上面には、Y軸方向に計測線55が設けられている。計測線55と外箱21の計測線32によりスライダー24のX軸方向の摺動量がわかる。
The storage portion 50 also protrudes outward from the plate-like portion 49, the lower end is opened, a guide portion 52 is formed on the lower surface 51, and a measurement line 54 is provided on the inner surface 53. The measurement line 54 constitutes another measurement unit 102 together with a measurement line 73 provided on the sample holder 27 described later.
On the upper surface of the plate-like portion 49, a measurement line 55 is provided in the Y-axis direction. The sliding amount of the slider 24 in the X-axis direction can be understood from the measurement line 55 and the measurement line 32 of the outer box 21.

X軸ステップモーター25は、モーター軸を回転させる。X軸ステップモーター25は、一体係合の駆動体91を備えており、この駆動体91の中央部にはスライダー24の方向に向けて回転しないねじ92を備えている。ねじ92はX軸ステップモーター25の回転に伴なってスライダー24の方向に前後に移動する。ねじ92の先端部には連結子93が設けられ、止めピン94が設けられている。止めピン94にはねじ61が設けられており、前述のようにねじ61とねじ穴48の係合によって係止構造が形成されている。このように、モーター軸とねじ61との間にはねじ駆動装置が構成されている。
X軸ステップモーター25は、スライダー24をX軸方向に移動するようにして配置され、外箱21に設けた取り付け孔35に取り付けられる。ねじ61を回転させてスライダー24に設けたねじ穴48に係合してスライダー24をX軸方向に移動させる構成としてもよい。
ステップモーターは位置決め制御などに用いられる電動機であり、固定子、回転子とも突極構造で、固定子巻線に順番に電流を流して励磁するとモーターの回転はあらかじめ決められた角度だけ回転、例えば、360p/rであれば、一回励磁すると1度だけ回転させることのできるモーターとして知られている。本実施例において、ステップモーターは例えば、オリエンタルモーター株式会社製のステップモーター(DRL20PB1-02)を用いることができる。
The X-axis step motor 25 rotates the motor shaft. The X-axis stepping motor 25 includes an integrally engaged driving body 91, and a screw 92 that does not rotate in the direction of the slider 24 is provided at the center of the driving body 91. The screw 92 moves back and forth in the direction of the slider 24 as the X-axis step motor 25 rotates. A connector 93 is provided at the tip of the screw 92 and a stop pin 94 is provided. The fixing pin 94 is provided with a screw 61, and a locking structure is formed by the engagement of the screw 61 and the screw hole 48 as described above. As described above, a screw driving device is configured between the motor shaft and the screw 61.
The X-axis step motor 25 is arranged so as to move the slider 24 in the X-axis direction, and is attached to an attachment hole 35 provided in the outer box 21. The screw 61 may be rotated to engage with a screw hole 48 provided in the slider 24 to move the slider 24 in the X-axis direction.
The step motor is an electric motor used for positioning control, etc., both the stator and rotor have salient pole structures, and when the current is passed through the stator windings in order and excited, the motor rotates by a predetermined angle, for example, If it is 360p / r, it is known as a motor that can be rotated only once when excited once. In this embodiment, for example, a step motor (DRL20PB1-02) manufactured by Oriental Motor Co., Ltd. can be used as the step motor.

Y軸ステップモーター26は、X軸ステップモーター25の場合と同様に駆動体95、ねじ96、連結子97、ねじ62が設けられたピン98を備えており、ピン98を出入させる。Y軸ステップモーター26は図示しない固定手段によってスライダー24に固定される。     Similar to the X-axis step motor 25, the Y-axis step motor 26 includes a drive body 95, a screw 96, a connector 97, and a pin 98 provided with a screw 62, and allows the pin 98 to be moved in and out. The Y-axis step motor 26 is fixed to the slider 24 by fixing means (not shown).

従って、X軸ステップモーター25は、スライダー24を移動させるとY軸ステップモーター26を一体物としてX軸方向に移動させることになる。Y軸ステップモーター26は、モーター軸を決められた角度だけ回転するとピン98をY軸方向に決められた量だけ出入させる。   Accordingly, when the X-axis step motor 25 moves the slider 24, the Y-axis step motor 26 moves in the X-axis direction as an integrated object. When the Y-axis stepping motor 26 rotates the motor shaft by a predetermined angle, the pin 98 is moved in and out by a predetermined amount in the Y-axis direction.

試料ホルダー27はL字状の支持板75と回動して試料をはさむ部材71とを備える。L字状支持板の内側面には、切り込み76が入っており、この中に試料板90(図6)を入れ、部材71ではさむことにより試料板90を固定する。さらに、試料ホルダー27の案内受け部付支持板75は、凸状の摺動部72とY軸方向の案内受け部74とX軸方向に計測線73を有する。摺動部72にはY軸ステップモーター26によって出入されるピン98のねじ62が係合するねじ孔76が設けられる。案内受け部74は、案内部52とかみ合うことにより、試料ホルダー27をY軸方向に摺動させる。計測線73と計測線54とにより、試料ホルダー27のY軸方向の摺動量がわかる。   The sample holder 27 includes an L-shaped support plate 75 and a member 71 that rotates to sandwich the sample. A notch 76 is provided on the inner side surface of the L-shaped support plate. The sample plate 90 (FIG. 6) is inserted therein, and the sample plate 90 is fixed by sandwiching with the member 71. Furthermore, the support plate 75 with a guide receiving portion of the sample holder 27 has a convex sliding portion 72, a guide receiving portion 74 in the Y-axis direction, and a measurement line 73 in the X-axis direction. The sliding portion 72 is provided with a screw hole 76 with which the screw 62 of the pin 98 that is put in and out by the Y-axis step motor 26 is engaged. The guide receiving portion 74 slides the sample holder 27 in the Y-axis direction by engaging with the guide portion 52. From the measurement line 73 and the measurement line 54, the sliding amount of the sample holder 27 in the Y-axis direction is known.

X軸ステップモーター25は、スライダー24を移動させると、試料ホルダー27は案内部52、74でスライダー24と一体化している為、スライダー24と共にX軸方向に移動させることになる。Y軸ステップモーター26は、ピン98を出入させ、摺動部72のねじ孔76と係合することにより、試料ホルダー27を案内部52、74に沿ってY軸方向に移動させる。したがって、試料ホルダー27は、X軸ステップモーター25及びY軸ステップモーター26によって、X軸方向、Y軸方向に移動される。これによってX軸方向およびY軸方向の動作が組み合わされる。そして、X軸ステップモーター25およびY軸ステップモーター26によって移動駆動装置が構成される。   When the X-axis step motor 25 moves the slider 24, the sample holder 27 is integrated with the slider 24 by the guide portions 52 and 74, and therefore moves together with the slider 24 in the X-axis direction. The Y-axis step motor 26 moves the sample holder 27 in the Y-axis direction along the guide portions 52 and 74 by causing the pin 98 to enter and exit and engaging with the screw hole 76 of the sliding portion 72. Therefore, the sample holder 27 is moved in the X-axis direction and the Y-axis direction by the X-axis step motor 25 and the Y-axis step motor 26. As a result, the operations in the X-axis direction and the Y-axis direction are combined. The X-axis step motor 25 and the Y-axis step motor 26 constitute a movement drive device.

図3はメカニカルステージ200の構成を示す図である。
図3(a)は外箱21、固定板22、コネクタ23、スライダー24、X軸ステップモーター25、Y軸ステップモーター26及び試料ホルダー27を組み立てたメカニカルステージ200の平面図である。
図3(b)は、そのメカニカルステージ200の側面図である。
これらの図において、外箱21のX軸方向側板31にコネクタ23、X軸ステップモーター25が固定されている。外箱21上面には、X軸方向に穿けた計測孔33が設けられ、計測孔引の縁に沿って計測線32が設けてあり、スライダー24に設けた計測線55と共に計測部101を構成している。計測線55と外箱21の計測線32によりスライダー24のX軸方向の摺動量がわかる。
固定板22は、金属製の立方体状をなし、左右2本の孔41,42を有し、左右2本の孔41,42とスライダー24のロッド44,45と共にオイルダンパーを構成し、スライダー24の動きをゆるやかなものとしている。
計測線54は試料ホルダー27に設けられた計測線73と共に計測部102を構成しており、試料ホルダー27のY軸方向の摺動量がわかる。
FIG. 3 is a diagram showing a configuration of the mechanical stage 200.
FIG. 3A is a plan view of the mechanical stage 200 in which the outer box 21, the fixing plate 22, the connector 23, the slider 24, the X-axis step motor 25, the Y-axis step motor 26 and the sample holder 27 are assembled.
FIG. 3B is a side view of the mechanical stage 200.
In these drawings, a connector 23 and an X-axis step motor 25 are fixed to the X-axis direction side plate 31 of the outer box 21. A measurement hole 33 drilled in the X-axis direction is provided on the upper surface of the outer box 21, a measurement line 32 is provided along the edge of the measurement punching, and the measurement unit 101 is configured together with the measurement line 55 provided on the slider 24. is doing. The sliding amount of the slider 24 in the X-axis direction can be understood from the measurement line 55 and the measurement line 32 of the outer box 21.
The fixing plate 22 has a metal cube shape and has two holes 41 and 42 on the left and right sides, and constitutes an oil damper together with the left and right holes 41 and 42 and the rods 44 and 45 of the slider 24. The movement of the
The measurement line 54 constitutes the measurement unit 102 together with the measurement line 73 provided on the sample holder 27, and the amount of sliding of the sample holder 27 in the Y-axis direction is known.

図4(a)はスライダー24とX軸ステップモーター25関係図である。X軸ステップモーター25は、コントロールボックス400で定められただけ、ピン94を出入させ、スライダー24をX軸方向に移動させる。この際、スライダー24は、Y軸ステップモーター26と試料ホルダー27と共にX軸方向に移動する。
図4(b)は試料ホルダー27とY軸ステップモーター26関係図である。Y軸ステップモーター26は、コントロールボックス400で定められただけ、ピン98を出入させ、試料ホルダー27をY軸方向に移動させる。Y軸ステップモーター26の駆動によって試料ホルダー27のみがY軸方向に移動する。
FIG. 4A is a diagram showing the relationship between the slider 24 and the X-axis step motor 25. The X axis step motor 25 moves the slider 24 in the X axis direction by moving the pin 94 in and out as determined by the control box 400. At this time, the slider 24 moves in the X-axis direction together with the Y-axis step motor 26 and the sample holder 27.
FIG. 4B is a diagram showing the relationship between the sample holder 27 and the Y-axis step motor 26. The Y-axis step motor 26 moves the sample holder 27 in the Y-axis direction by moving the pin 98 in and out as determined by the control box 400. By driving the Y-axis step motor 26, only the sample holder 27 moves in the Y-axis direction.

図5はメカニカルステージ200のスライダー24及び試料ホルダー27移動図である。
図5(a)は、試料ホルダー24の原点における図である。外箱21のスライダー24及び試料ホルダーの摺動量を示す計測部101,102は、原点を示している。
図5(b)は、試料ホルダー27を原点からX軸方向に移動させた図である。X軸ステップモーター25は、コントロールボックス400で定められただけ、ピン94を出入させ、スライダー24をX軸方向に移動させる。この際、スライダー24は、Y軸ステップモーター26と試料ホルダー27と共にX軸方向に移動する。この時、Y軸ステップモーター26は、動作しないが、同時に移動するようにしてもよい。外箱21のスライダー24の摺動量を示す計測部101は、移動量の値を示す。外箱21の試料ホルダーの摺動量102を示す計測部は、移動量を示している。
図5(c)は、試料ホルダー27を原点からY軸方向に移動させた図である。Y軸ステップモーター26は、コントロールボックス400で定められただけ、ピン98を出入させ、試料ホルダー27をY軸方向に移動させる。試料ホルダー27のみがY軸方向に移動する。外箱21のスライダー24の摺動量を示す計測部101は、移動量を示す。外箱21の試料ホルダーの摺動量を示す計測部102は、移動量の値を示している。
FIG. 5 is a movement diagram of the slider 24 and the sample holder 27 of the mechanical stage 200.
FIG. 5A is a diagram at the origin of the sample holder 24. The measuring units 101 and 102 indicating the sliding amount of the slider 24 and the sample holder of the outer box 21 indicate the origin.
FIG. 5B is a diagram in which the sample holder 27 is moved from the origin in the X-axis direction. The X axis step motor 25 moves the slider 24 in the X axis direction by moving the pin 94 in and out as determined by the control box 400. At this time, the slider 24 moves in the X-axis direction together with the Y-axis step motor 26 and the sample holder 27. At this time, the Y-axis step motor 26 does not operate, but may be moved simultaneously. The measuring unit 101 that indicates the sliding amount of the slider 24 of the outer box 21 indicates a value of the moving amount. The measuring unit indicating the sliding amount 102 of the sample holder of the outer box 21 indicates the moving amount.
FIG. 5C shows the sample holder 27 moved from the origin in the Y-axis direction. The Y-axis step motor 26 moves the sample holder 27 in the Y-axis direction by moving the pin 98 in and out as determined by the control box 400. Only the sample holder 27 moves in the Y-axis direction. The measuring unit 101 that indicates the sliding amount of the slider 24 of the outer box 21 indicates the amount of movement. The measuring unit 102 indicating the sliding amount of the sample holder of the outer box 21 indicates the value of the moving amount.

図6は、試料ホルダー27がX軸方向、Y軸方向に移動することにより試料90の観察地点のステップ図である。以下、フローチャートを示す図7と共に説明する。
メカニカルステージ200を回転ステージ6にセットし、ねじ81で固定する。
コントロールボックス400からの配線9をメカニカルステージ200に接続する。
試料板90を試料ホルダー27にセットする。
コンピューター300とコントロールボックス400を配線9する。
コントロールボックス400の電源を入れる。
コントロールボックス400のX軸ステップ間隔及びY軸ステップ間隔を設定ダイアル(1B,1C)それぞれで設定する。
コントロールボックス400の原点復帰ボタン(1A)で、スライダー24と試料ホルダー27のXおよびY軸の位置を原点に移動させる。
FIG. 6 is a step diagram of the observation point of the sample 90 as the sample holder 27 moves in the X-axis direction and the Y-axis direction. Hereinafter, it will be described with reference to FIG.
The mechanical stage 200 is set on the rotary stage 6 and fixed with screws 81.
The wiring 9 from the control box 400 is connected to the mechanical stage 200.
The sample plate 90 is set on the sample holder 27.
The computer 300 and the control box 400 are wired 9.
The control box 400 is turned on.
The X-axis step interval and Y-axis step interval of the control box 400 are set using the setting dials (1B, 1C).
The origin return button (1A) of the control box 400 moves the X and Y axis positions of the slider 24 and the sample holder 27 to the origin.

コンピューター300の電源を入れ、鉱物数計測プログラムを立ち上げる。鉱物数計測プログラムは、希望測定総数、各鉱物数、測定総数からなる。(S100とS101)
希望測定総数を鉱物数計測プログラムに入力する。同時にコンピューター300のテンキーに各鉱物を割り振る。例えば、希望測定総数2000、金はキー1、鉄はキー2など。(S102とS103)
測定開始。偏光顕微鏡100下の試料90の鉱物を鑑定した後、鉱物の指定されたテンキーを入力する。例えば、鉄が偏光顕微鏡100で鑑定できた場合、キー2を入力する。(S104)
入力に伴い、鉱物数計測プログラム上で鑑定された鉱物数が1加算される。測定総数が1加算される。例えば、鉄の場合で、鉄が3、測定総数が5であったとき、キー2を入力すると鉄の積算数4となり測定総数6となる(S105)
同時に、メカニカルステージ200のコントロールボックス400のX軸ステップ間隔 ダイアル1Bで指定した間隔で1ステップ進む。(S106)
偏光顕微鏡100下の次の停止点で再び鉱物を鑑定する。(S104)
試料ホルダー27のX軸移動がX軸ステップモーターのXリミット位置に到達すると、コントロールボックス400はY軸ステップ間隔ダイアル1Cで指定したY軸間隔で1ステップY軸方向に移動させる。また、次のスライダー24のX軸方向摺動方向は逆に設定する(S106)
この繰り返しにより、試料板90の測定軌跡は図6で示すようにつづら折りで動いていく。(S106)
希望測定総数に到達すると、コンピューター300は終了メッセージを出し、測定を終了する。(S107)
Turn on the computer 300 and launch a mineral number measurement program. The mineral count program consists of the desired total number of measurements, the number of each mineral, and the total number of measurements. (S100 and S101)
Enter the desired total count into the mineral count program. At the same time, each mineral is assigned to the numeric keypad of the computer 300. For example, the desired total number is 2000, gold is key 1, iron is key 2, and so on. (S102 and S103)
Start measurement. After identifying the mineral of the sample 90 under the polarizing microscope 100, the designated numeric keypad for the mineral is input. For example, when iron can be identified with the polarizing microscope 100, the key 2 is input. (S104)
With the input, 1 is added to the number of minerals identified on the mineral number measurement program. The total number of measurements is incremented by 1. For example, in the case of iron, when iron is 3 and the total number of measurements is 5, when key 2 is entered, the total number of irons becomes 4 and the total number of measurements becomes 6 (S105).
At the same time, the X-axis step interval of the control box 400 of the mechanical stage 200 is advanced by one step at the interval specified by the dial 1B. (S106)
Minerals are identified again at the next stop point under the polarizing microscope 100. (S104)
When the X-axis movement of the sample holder 27 reaches the X limit position of the X-axis step motor, the control box 400 moves in the Y-axis direction by one step at the Y-axis interval specified by the Y-axis step interval dial 1C. The sliding direction of the next slider 24 is set in the reverse direction (S106).
By repeating this, the measurement trajectory of the sample plate 90 moves in a zigzag manner as shown in FIG. (S106)
When the desired total number of measurements is reached, the computer 300 issues an end message and ends the measurement. (S107)

鉱物数計測プログラムは、測定総数、各鉱物数が表示され、測定総数から各鉱物数を割る事により各鉱物の含有率が計算される。(S108)
データ結果をファイル出力する。(S109)
本実施例によれば、岩石薄片中の鉱物容量比を統計的に分析することができる。この分析によって岩石を分類し、さらに元素の含有量を推定することができる。偏光顕微鏡の回転ステージ6上に装着した、ステッピングモーター25,26でメカニカルステージ200をX軸およびY軸方向に一定間隔でステップ移動させることができる。移動スイッ チはコンピューター300上のテンキーから操作できる。メカニカルステージ200はコンパクトに設計され、回転ステージ6の回転を妨げない。ダイレクトドライブでX軸方向およびY軸方向に試料ホルダー27を駆動させるため、精度の高いステップ幅を保証できる。X軸およびY軸が独立して動くため、ステップ幅の選択が多種で、選択操作も容易である。測定情報はコンピューター300上に表示され、一定総数になると測定を自動的に終了する.データは即座にデジタルデータとしてコンピューター300上でデータ処理できる。駆動機構が簡単なこと,入力をコンピューター300のテンキーから行うことなどにより、故障が少なくメンテナンスが容易である。
The mineral count measurement program displays the total number of measurements and the number of each mineral, and calculates the content of each mineral by dividing the number of each mineral from the total number of measurements. (S108)
Output data results to a file. (S109)
According to this example, the mineral volume ratio in the rock flakes can be statistically analyzed. By this analysis, rocks can be classified and the elemental content can be estimated. The mechanical stage 200 can be stepped at regular intervals in the X-axis and Y-axis directions by stepping motors 25 and 26 mounted on the rotary stage 6 of the polarization microscope. The movement switch can be operated from the numeric keypad on the computer 300. The mechanical stage 200 is designed to be compact and does not hinder the rotation of the rotary stage 6. Since the sample holder 27 is driven by the direct drive in the X-axis direction and the Y-axis direction, a highly accurate step width can be guaranteed. Since the X-axis and Y-axis move independently, there are various step width selections, and the selection operation is easy. The measurement information is displayed on the computer 300, and the measurement is automatically terminated when a certain total number is reached. The data can be immediately processed as digital data on the computer 300. Since the drive mechanism is simple and input is performed from the numeric keypad of the computer 300, maintenance is easy with few failures.

本発明の実施例の概観図。1 is a schematic view of an embodiment of the present invention. 本発明の実施例の部品図。FIG. 2 is a component diagram of an embodiment of the present invention. 本発明の実施例の平面図(図3(a))、側面図(図3(b))。The top view (FIG. 3 (a)) and side view (FIG. 3 (b)) of the Example of this invention. 本発明の実施例のX軸ステップモーターによるスライダー移動を示す図(図4(a))、Y軸ステップモーターによる試料ホルダー移動を示す図(図4(b))。The figure which shows the slider movement by the X-axis step motor of the Example of this invention (FIG. 4 (a)), The figure which shows the sample holder movement by a Y-axis step motor (FIG.4 (b)). 本発明の実施例の動作図で原点図(図5(a))、X軸方向移動図(図5(b))、Y軸方向移動図(図5(c))。FIG. 5 is an operation diagram of the embodiment of the present invention, an origin diagram (FIG. 5A), an X-axis direction movement diagram (FIG. 5B), and a Y-axis direction movement diagram (FIG. 5C). 本発明の実施例の観測地点のステップ図。The step figure of the observation point of the Example of this invention. 本発明の実施例のフローチャート。The flowchart of the Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

100…偏光顕微鏡、200…メカニカルステージ、300…コンピューター、400…コントロールボックス、6…回転ステージ、21…外箱、22…固定板、23…コネクタ、24…スライダー、25…X軸ステップモーター、26…Y軸ステップモーター、27…試料ホルダー、90…試料板。   100 ... Polarizing microscope, 200 ... Mechanical stage, 300 ... Computer, 400 ... Control box, 6 ... Rotary stage, 21 ... Outer box, 22 ... Fixed plate, 23 ... Connector, 24 ... Slider, 25 ... X-axis step motor, 26 ... Y-axis step motor, 27 ... sample holder, 90 ... sample plate.

Claims (5)

X軸方向及びY軸方向に試料板を移動させる偏光顕微鏡用メカニカルステージにおいて、
固定手段によって回転ステージに固定される外箱と、外箱内に収納されてこの外箱内をX軸方向に摺動するスライダーと、外箱に取り付けられ、X軸方向に延びたねじを移動させてスライダーをX軸方向に駆動するX軸ステップモーターと、スライダー上に載置されてスライダーと共に移動し、Y軸方向に延びたねじを移動させるY軸ステップモーターと、試料板を保持し、スライダー上に載置されてスライダーと共に移動するものであって、Y軸ステップモーターによって、Y軸方向に駆動されて試料板をX軸方向及びY軸方向に駆動する試料ホルダーと、
を備えたことを特徴とする偏光顕微鏡用メカニカルステージ。
In the polarization microscope mechanical stage that moves the sample plate in the X-axis direction and the Y-axis direction,
An outer box that is fixed to the rotary stage by a fixing means, a slider that is housed in the outer box and that slides in the X-axis direction, and a screw that is attached to the outer box and extends in the X-axis direction is moved. An X-axis step motor that drives the slider in the X-axis direction, a Y-axis step motor that is placed on the slider and moves with the slider, and moves a screw extending in the Y-axis direction, and a sample plate, A sample holder mounted on the slider and moved together with the slider, driven by a Y-axis step motor in the Y-axis direction to drive the sample plate in the X-axis direction and the Y-axis direction;
A mechanical stage for a polarizing microscope, comprising:
請求項1において、スライダーは、並行配置、離間配置で、2つのロッドで結合された2つの部材からなり、一方の部材が、X軸ステップモーターによって移動されることを特徴とする偏光顕微鏡用メカニカルステージ。   2. The polarization microscope mechanical according to claim 1, wherein the slider is composed of two members connected by two rods in a parallel arrangement and a separation arrangement, and one member is moved by an X-axis step motor. stage. 請求項2において、スライダーは、他方の部材に一体化され試料ホルダーに設けられた凸状の摺動部を収納する収納部を有することを特徴とする偏光顕微鏡用メカニカルステージ。   3. The polarizing microscope mechanical stage according to claim 2, wherein the slider has a storage portion for storing a convex sliding portion integrated with the other member and provided on the sample holder. 請求項1において、外箱にはスライダーのX軸方向の摺動量を示す計測部を形成され、試料ホルダーのY軸方向の摺動量を示す計測部が形成されていることを特徴とする偏光顕微鏡用メカニカルステージ。   2. The polarizing microscope according to claim 1, wherein the outer box is formed with a measuring portion indicating the sliding amount of the slider in the X-axis direction and a measuring portion indicating the sliding amount of the sample holder in the Y-axis direction. Mechanical stage. 請求項1から請求項4のいずれかに記載した偏光顕微鏡用メカニカルステージを備え、スライダーをX軸方向及びY軸方向に移動させるX軸ステップモーターおよびY軸ステップモーターから構成される移動駆動装置を備えたことを特徴とする偏光顕微鏡。   A moving drive device comprising an X-axis step motor and a Y-axis step motor that includes the mechanical stage for a polarizing microscope according to any one of claims 1 to 4 and that moves a slider in an X-axis direction and a Y-axis direction. A polarizing microscope characterized by comprising.
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