JP4262297B2 - クラスタ生成装置、欠陥分類装置、クラスタ生成方法およびプログラム - Google Patents
クラスタ生成装置、欠陥分類装置、クラスタ生成方法およびプログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4262297B2 JP4262297B2 JP2008191974A JP2008191974A JP4262297B2 JP 4262297 B2 JP4262297 B2 JP 4262297B2 JP 2008191974 A JP2008191974 A JP 2008191974A JP 2008191974 A JP2008191974 A JP 2008191974A JP 4262297 B2 JP4262297 B2 JP 4262297B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- cluster
- defective
- elements
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
3 撮像部
4 コンピュータ
9 基板
45 ディスプレイ
52,52a 判定部
53 欠陥要素ペア決定部
54 欠陥要素情報メモリ
55 表示制御部
56 クラスタ生成部
57 特徴量算出部
58 分類器
61,61a,61b 点
62 三角形
63,63a 辺
71,71a〜71d,711,712 欠陥要素
72c,72d,73c,73d,721,722 領域
80 プログラム
81,83 欠陥画像
84,84a 判定領域
511 欠陥要素特定部
512 代表点取得部
512a 要素位置取得部
521 判定領域設定部
562 クラスタ結合部
563 要素挿入部
564 新規クラスタ生成部
565 クラスタ情報作成部
711a,712a 重心
821 欠陥推定領域
c1〜c3 クラスタ
S31〜S37 ステップ
Claims (11)
- 対象物上の同一の欠陥に由来する欠陥要素の集合であるクラスタを生成することにより、前記対象物上の欠陥を検出するクラスタ生成装置であって、
それぞれが同一クラスタに属す欠陥要素のペアである複数の要素ペアの情報を取得するペア情報取得手段と、
前記情報から前記複数の要素ペアのうち処理対象となる対象要素ペアの情報を順次取得して、それぞれが2分探索木の構造を有する欠陥要素の集合である複数のクラスタを生成するクラスタ生成手段と、
を備え、
前記クラスタ生成手段が、
前記対象要素ペアを構成する2つの欠陥要素のいずれかを含むクラスタが存在しない場合に、前記2つの欠陥要素からなる新たなクラスタを生成する手段と、
前記2つの欠陥要素のうち一方の欠陥要素のみを含む一のクラスタが存在し、他方の欠陥要素を含む他のクラスタが存在しない場合に、前記一のクラスタに前記他方の欠陥要素を挿入する手段と、
前記2つの欠陥要素をそれぞれ含む2つのクラスタが存在する場合に、前記2つのクラスタを結合する手段と、
を有することを特徴とするクラスタ生成装置。 - 請求項1に記載のクラスタ生成装置であって、
前記ペア情報取得手段が、
対象物を撮像して前記対象物上の検査領域の画像データを取得する撮像部と、
前記画像データに基づいて前記検査領域から欠陥要素を特定する欠陥要素特定手段と、
前記欠陥要素特定手段により特定された各欠陥要素の代表点の座標値を取得する代表点取得手段と、
前記代表点取得手段により4以上の代表点が取得された場合において、前記4以上の代表点を頂点とする複数の三角形であって前記4以上の代表点の間を隙間なくかつ重なり合うことなく満たすものを求め、それぞれが、前記複数の三角形を構成する各辺の両端点に対応する欠陥要素のペアである複数の欠陥要素ペアを決定する欠陥要素ペア決定手段と、
前記複数の欠陥要素ペアのそれぞれを構成する2つの欠陥要素が同一欠陥に由来するか否かを判定する判定手段と、
を有し、
前記複数の要素ペアのそれぞれが、前記判定手段により同一の欠陥に由来すると判定された欠陥要素ペアであることを特徴とするクラスタ生成装置。 - 請求項1に記載のクラスタ生成装置であって、
前記ペア情報取得手段が、
対象物を撮像して前記対象物上の検査領域の画像データを取得する撮像部と、
前記画像データに基づいて前記検査領域から欠陥要素を特定する欠陥要素特定手段と、
前記欠陥要素特定手段により特定された各欠陥要素の代表点の座標値または外接多角形の領域を取得する要素位置取得手段と、
前記欠陥要素特定手段により特定された欠陥要素のペアである複数の欠陥要素ペアを決定する欠陥要素ペア決定手段と、
前記複数の欠陥要素ペアのそれぞれにおいて、所定のアルゴリズムに従って一方の欠陥要素の代表点または外接多角形を中心として広がるように設定された判定領域に、他方の欠陥要素の代表点または外接多角形の少なくとも一部が含まれる場合に、前記一方の欠陥要素および前記他方の欠陥要素が同一の欠陥に由来すると判定する判定手段と、
を有し、
前記複数の要素ペアのそれぞれが、前記判定手段により同一の欠陥に由来すると判定された欠陥要素ペアであることを特徴とするクラスタ生成装置。 - 請求項3に記載のクラスタ生成装置であって、
前記要素位置取得手段が、前記欠陥要素特定手段により特定された各欠陥要素の代表点の座標値を少なくとも取得し、
前記欠陥要素ペア決定手段が、前記要素位置取得手段により4以上の代表点が取得された場合において、前記4以上の代表点を頂点とする複数の三角形であって前記4以上の代表点の間を隙間なくかつ重なり合うことなく満たすものを求め、それぞれが、前記複数の三角形を構成する各辺の両端点に対応する欠陥要素のペアである前記複数の欠陥要素ペアを決定することを特徴とするクラスタ生成装置。 - 請求項3または4に記載のクラスタ生成装置であって、
前記判定手段が、前記一方の欠陥要素の面積または前記外接多角形の面積が大きいほど前記判定領域の面積を大きく設定する判定領域設定手段を有することを特徴とするクラスタ生成装置。 - 請求項3ないし5のいずれかに記載のクラスタ生成装置であって、
前記要素位置取得手段が、前記欠陥要素特定手段により特定された各欠陥要素の外接多角形の領域を少なくとも取得し、前記一方の欠陥要素および前記他方の欠陥要素の外接多角形が矩形であることを特徴とするクラスタ生成装置。 - 請求項2ないし6のいずれかに記載のクラスタ生成装置であって、
各欠陥要素に付与されている番号または前記検査領域中の前記各欠陥要素の位置を示す座標値を記憶する記憶部と、
ディスプレイと、
前記ディスプレイへの表示を制御して欠陥要素の番号または座標値をクラスタ毎に前記ディスプレイに表示する表示制御部と、
をさらに備えることを特徴とするクラスタ生成装置。 - 請求項2ないし6のいずれかに記載のクラスタ生成装置であって、
ディスプレイと、
前記ディスプレイへの表示を制御する表示制御部と、
をさらに備え、
前記クラスタ生成手段が、各クラスタに含まれる全ての欠陥要素の前記検査領域中の位置を包含する領域を示すクラスタ情報を作成する手段をさらに有し、
前記表示制御部が前記クラスタ情報を前記ディスプレイに表示することを特徴とするクラスタ生成装置。 - 欠陥を分類する欠陥分類装置であって、
請求項2ないし6のいずれかに記載のクラスタ生成装置と、
前記クラスタ生成装置により生成された複数のクラスタのそれぞれに含まれる欠陥要素の位置を包含する領域を欠陥画像として抽出し、前記欠陥画像の特徴量を算出する特徴量算出手段と、
前記特徴量から前記欠陥画像が示す欠陥を分類する分類器と、
を備えることを特徴とする欠陥分類装置。 - 対象物上の同一の欠陥に由来する欠陥要素の集合であるクラスタを生成することにより、前記対象物上の欠陥を検出するクラスタ生成方法であって、
それぞれが同一クラスタに属す欠陥要素のペアである複数の要素ペアの情報を準備する工程と、
前記情報から前記複数の要素ペアのうち処理対象となる対象要素ペアの情報を順次取得して、それぞれが2分探索木の構造を有する欠陥要素の集合である複数のクラスタを生成するクラスタ生成工程と、
を備え、
前記クラスタ生成工程が、
前記対象要素ペアを構成する2つの欠陥要素のいずれかを含むクラスタが存在しない場合に、前記2つの欠陥要素からなる新たなクラスタを生成する工程と、
前記2つの欠陥要素のうち一方の欠陥要素のみを含む一のクラスタが存在し、他方の欠陥要素を含む他のクラスタが存在しない場合に、前記一のクラスタに前記他方の欠陥要素を挿入する工程と、
前記2つの欠陥要素をそれぞれ含む2つのクラスタが存在する場合に、前記2つのクラスタを結合する工程と、
を有することを特徴とするクラスタ生成方法。 - 対象物上の同一の欠陥に由来する欠陥要素の集合であるクラスタを生成することにより、前記対象物上の欠陥を検出するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
それぞれが同一クラスタに属す欠陥要素のペアである複数の要素ペアの情報を準備する工程と、
前記情報から前記複数の要素ペアのうち処理対象となる対象要素ペアの情報を順次取得して、それぞれが2分探索木の構造を有する欠陥要素の集合である複数のクラスタを生成するクラスタ生成工程と、
を実行させ、
前記クラスタ生成工程が、
前記対象要素ペアを構成する2つの欠陥要素のいずれかを含むクラスタが存在しない場合に、前記2つの欠陥要素からなる新たなクラスタを生成する工程と、
前記2つの欠陥要素のうち一方の欠陥要素のみを含む一のクラスタが存在し、他方の欠陥要素を含む他のクラスタが存在しない場合に、前記一のクラスタに前記他方の欠陥要素を挿入する工程と、
前記2つの欠陥要素をそれぞれ含む2つのクラスタが存在する場合に、前記2つのクラスタを結合する工程と、
を有することを特徴とするプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008191974A JP4262297B2 (ja) | 2008-07-25 | 2008-07-25 | クラスタ生成装置、欠陥分類装置、クラスタ生成方法およびプログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008191974A JP4262297B2 (ja) | 2008-07-25 | 2008-07-25 | クラスタ生成装置、欠陥分類装置、クラスタ生成方法およびプログラム |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003314923A Division JP2005083843A (ja) | 2003-09-08 | 2003-09-08 | 欠陥検出装置、クラスタ生成装置、欠陥分類装置、欠陥検出方法、クラスタ生成方法およびプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008268232A JP2008268232A (ja) | 2008-11-06 |
JP4262297B2 true JP4262297B2 (ja) | 2009-05-13 |
Family
ID=40047873
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008191974A Expired - Fee Related JP4262297B2 (ja) | 2008-07-25 | 2008-07-25 | クラスタ生成装置、欠陥分類装置、クラスタ生成方法およびプログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4262297B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9898811B2 (en) | 2015-05-08 | 2018-02-20 | Kla-Tencor Corporation | Method and system for defect classification |
CN114930385A (zh) * | 2020-12-03 | 2022-08-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 用于缺陷分析的计算机实现的方法、用于缺陷分析的设备、计算机程序产品和智能缺陷分析系统 |
CN117541359B (zh) * | 2024-01-04 | 2024-03-29 | 江西工业贸易职业技术学院(江西省粮食干部学校、江西省粮食职工中等专业学校) | 一种基于偏好分析的用餐推荐方法及系统 |
-
2008
- 2008-07-25 JP JP2008191974A patent/JP4262297B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008268232A (ja) | 2008-11-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11797886B2 (en) | Image processing device, image processing method, and image processing program | |
EP2801815B1 (en) | Inspection area setting method for image inspecting device | |
TWI557650B (zh) | 用於識別材料中之缺陷之系統及方法 | |
JP6000455B2 (ja) | フォーム認識方法及びフォーム認識装置 | |
US20170243352A1 (en) | 3-dimensional scene analysis for augmented reality operations | |
US7720274B2 (en) | Board inspection apparatus and method and apparatus for setting inspection logic thereof | |
JP2006098151A (ja) | パターン検査装置およびパターン検査方法 | |
CN109977983B (zh) | 获得训练图像的方法及装置 | |
JP2013257304A5 (ja) | ||
JP2006351888A (ja) | パターン検査装置およびそれを用いた半導体検査システム | |
JP6549396B2 (ja) | 領域検出装置および領域検出方法 | |
WO2022100366A1 (zh) | 工业缺陷识别方法、系统、计算设备及存储介质 | |
JP6401648B2 (ja) | 欠陥分類装置および欠陥分類方法 | |
JP6635712B2 (ja) | 検査方法、検査装置、画像処理装置、プログラム及び記録媒体 | |
JP4648746B2 (ja) | 疵検出装置、疵検出方法、コンピュータプログラム及び記録媒体 | |
US20210390282A1 (en) | Training data increment method, electronic apparatus and computer-readable medium | |
JP2018036770A (ja) | 位置姿勢推定装置、位置姿勢推定方法、及び位置姿勢推定プログラム | |
US20230065041A1 (en) | Geometric pattern matching method and device for performing the method | |
JP2019158628A (ja) | 検査装置、検査方法、及び検査プログラム | |
JP4262297B2 (ja) | クラスタ生成装置、欠陥分類装置、クラスタ生成方法およびプログラム | |
JP2011007728A (ja) | 欠陥検出方法、欠陥検出装置、および欠陥検出プログラム | |
JP2006085616A (ja) | 画像処理アルゴリズム評価方法および装置、画像処理アルゴリズム生成方法および装置、プログラムならびにプログラム記録媒体 | |
JP2010071826A (ja) | 教師データ作成方法、並びに、画像分類方法および画像分類装置 | |
JP2011058926A (ja) | 画像検査方法及び画像検査装置 | |
JP2005083843A (ja) | 欠陥検出装置、クラスタ生成装置、欠陥分類装置、欠陥検出方法、クラスタ生成方法およびプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090206 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090206 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120220 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120220 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120220 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |