JP4259838B2

JP4259838B2 - Laminating apparatus and laminating method

Info

Publication number: JP4259838B2
Application number: JP2002289342A
Authority: JP
Inventors: 和敏岩田; 良一安本
Original assignee: Nichigo Morton Co Ltd
Current assignee: Nichigo Morton Co Ltd
Priority date: 2002-10-02
Filing date: 2002-10-02
Publication date: 2009-04-30
Anticipated expiration: 2022-10-02
Also published as: JP2004122553A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント回路基板の製造において、凹凸を有する基板５ａにフィルム状樹脂層５ｂを積層するための積層装置及びそれを用いた積層方法に関するものであり、更に詳しくはフィルム状樹脂層の追従性が良く、積層後の樹脂層の面内バラツキのない膜厚均一性と表面平滑性に優れ、ビルドアップ工法に有用な積層体を得るための積層装置及び積層方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器の小型化、高性能化に伴いプリント回路基板の高密度化、多層化が進行している。
かかるプリント回路基板の多層化においては、熱硬化型樹脂組成物又は感光性樹脂組成物を絶縁層として使用し、予め形成した内層回路の上に該熱硬化型樹脂組成物又は感光性樹脂組成物を塗布し、あるいは該熱硬化型樹脂組成物又は感光性樹脂組成物からなるフィルム状樹脂層を積層する。かかるフィルム状樹脂層の片面には、通常銅箔や支持体フィルム（セパレーターフィルム）が積層されており、銅箔の場合はそれをハーフエッチング又は全面エッチングし、支持体フィルムの場合はそれを剥離して、次いでレーザー又は紫外線による穴あけ後に、銅メッキを施した後、再度フォトレジストフィルムを用いて光によるパターニングを行って回路を形成する方法、いわゆるビルドアップ工法が有効に用いられている。
【０００３】
本出願人も先に、凹凸を有する基板に、フィルム状樹脂を積層するに当たり、真空積層装置を用いて積層した後、ラミネーターロール又は平面プレスにより加熱加圧処理する積層方法を開示した（特許文献１参照。）。
【０００４】
更に、平面プレスにより加熱加圧するに当たり上下プレスブロックの少なくとも一方のプレスブロックに首振り可能な支持点ジョイント１０を接続し、該支持点ジョイント１０を該シリンダー１１に接続して、該プレスブロックを作動させることにより、プレスされる基板の厚さの厚い部分からプレスブロックのプレス面の一部の面を当て、順次ワークの厚みの薄い所の部分へプレスブロックのプレス面を当ててプレスすることにより基板上のフィルム状樹脂の厚みが均一な積層体が得られる積層方法を開示した（特許文献２参照）。
【０００５】
該特許文献２に開示の積層方法では、基板上にフィルム状樹脂の厚みが均一な積層体を得るには、該支持点ジョイント１０を支点としてプレスブロックを有効に首振り動作させる必要があり、その為には、該支持点ジョイント１０を複数設けるよりも該支持点ジョイント１０を単独でプレスブロック中央部に接続することが望ましいのである。その理由としては、該支持点ジョイント１０を２本設けると２本の該支持点ジョイント１０を結ぶ線を軸とする回転方向には該積層体５の厚みに従って該プレスブロックは容易に追従するが、２本の該支持点ジョイント１０を結ぶ線と直角方向には追従出来ないことになり、更に、３本以上に該支持点ジョイント１０を増やした場合は該支持点ジョイント１０同士を結ぶ軸が複数となり該支持点ジョイント１０を２本設けた場合よりも更に該プレスブロックの首振り自由度が低下することが挙げられる。従って、該プレスブロックの首振り自由度を最大限に発揮させるには該支持点ジョイント１０を単独で該プレスブロック中央部に接続することが望ましいのである。そして、該支持点ジョイント１０を１本だけ用いてプレスブロック中央部に接続した場合に理想的には、プレスブロックが昇降時には首振りせずに水平を保ち基板と接触して、その後基板の厚みに従ってプレスブロックが首振りすることが望ましいのである。
【０００６】
【特許文献１】
特開２０００−１４１３８８号公報
【特許文献２】
特開２００２−３６２７２号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、実際の製品においては、生産性を優先してプレスブロックの昇降を可能な限り迅速に行うことが要求されるところであり、生じた加速度が作用してプレスブロックに傾きが生じ水平に保持することが困難であった。そして、プレスブロックが傾くと特許文献２に開示の方法では、積層体５にラミネートされたフィルム状樹脂５ｂの中央部の膜厚均一性は特に問題にはならないが、フィルム状樹脂５ｂの周辺部に傾いたプレスブロックが不均一に接触するので中央部と同様の膜厚均一性を得ることが難しく、更なる改良が求められるものであった。
【０００８】
【問題を解決するための手段】
そこで本発明者らは、かかる事情に鑑み鋭意研究をした結果、凹凸を有する基板５ａとフィルム状樹脂層５ｂからなる積層体５を圧締するための、可撓性シート３を付設した上部プレート１及び可撓性シート４を付設した下部プレート２が設置された真空チャンバーを有する真空積層装置６及び、該積層体５をどちらか一方が移動可能な上下プレスブロック７及び８間で加熱加圧処理し圧締めするための平面プレス装置９を備えてなる積層装置であって、該平面プレス装置９において、上下に移動するプレスブロック７又は８の中央部に油圧シリンダー又はエアーシリンダー１１を首振り可能な支持点ジョイント１０を介して接続し、更にシリンダー１１の周囲に上下に移動するプレスブロック７及び８と頂部が接続固定されていない油圧シリンダー又はエアーシリンダー１２を付設し、更に上下プレスブロック７及び８の間に、ショックアブソーバー１３を付設してなり、シリンダー１２が下がった状態でシリンダー１１が単独で作動して支持点ジョイントの動作を妨げずにプレスブロック８を上昇させ、次に、シリンダー１２を作動させシリンダー１１と共にプレスブロック８の中央部と周辺部を加圧して積層体５を圧締めし、その後シリンダー１２を下降させ、次いでシリンダー１１をプレスブロック８と共に下降させる積層装置により、プレスブロックの変形を防ぎ均一な圧力分布で積層体５を圧締めすることが可能となり、基板の全面においてフィルム状樹脂層の追従性と膜厚均一性に優れた積層体が効率的に製造でき、更に、プレスブロックの中央部に単独の該支持点ジョイント１０を介して該シリンダー１１を接続固定してプレスブロックを迅速に昇降させてもプレスブロック昇降時に発生するプレスブロックの傾きを抑制することができることを見いだし本発明を完成した。
【０００９】
本発明においては更に、可撓性シート３を付設した上部プレート１及び可撓性シート４を付設した下部プレート２が設置された真空チャンバーを有する真空積層装置６を使用して、該チャンバー内の上下プレート間で、凹凸を有する基板５ａとフィルム状樹脂層５ｂからなる積層体５を圧締した後、該積層体５を上下プレスブロック７及び８を有しプレスブロック７及び８のどちらか一方が移動可能な平面プレス装置９により該上下プレス間で積層体５を加熱加圧処理して積層する方法において、上下に移動するプレスブロック７又は８の中央部に油圧シリンダー又はエアーシリンダー１１を首振り可能な支持点ジョイント１０を介して接続し、更にシリンダー１１の周囲に上下に移動するプレスブロックと頂部が接続固定されていない油圧シリンダー又はエアーシリンダー１２を付設し、更に上下プレスブロック７及び８の間に、ショックアブソーバー１３を付設してなり、シリンダー１２が下がった状態でシリンダー１１が単独で作動して支持点ジョイントの動作を妨げずにプレスブロック８を上昇させ、次に、シリンダー１２を作動させシリンダー１１と共にプレスブロック８の中央部と周辺部を加圧して積層体５を圧締めし、その後シリンダー１２を下降させ、次いでシリンダー１１をプレスブロック８と共に下降させる積層方法も提供するものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明は、真空積層装置６及び平面プレス装置９を備えてなる積層装置であって、真空積層装置６において積層体５の圧締を行った後、平面プレス装置９で加熱しながら積層体５に従ってプレスブロック中央に設けた支点を中心にプレスブロックが首を振り基板にプレスブロックを追従させて加熱・加圧加工する積層装置及びそれを用いた積層方法である。
【００１１】
以下、本発明を図１から４を参考にして詳細に述べる。
まず、本発明で使用する真空積層装置６及び平面プレス装置９を図１を参考にして説明する。図１では、真空積層装置６と平面プレス装置９を併設しているが、本発明では、これに限定されるものではなく、それぞれの装置が独立して設置されてもよい。
【００１２】
真空積層装置６は、下部プレート２が、油圧シリンダー又はエアーシリンダー１９と接続され、上下に移動可能で上部プレート１と２をＯリング１８を介して密着することで下部プレート２と可撓性シート３の間に形成される空隙部１４（以下単に空隙部１４と称することがある）が密閉され真空チャンバーを形成する。
【００１３】
形成された真空チャンバーには、可撓性シート３を付設した上部プレート１と可撓性シート４を付設した下部プレート２が配置されている。可撓性シート４は、下部プレート２上に直接存在し、可撓性シート３は、上部プレート１と可撓性シート３の間に形成される空隙部１５（以下単に空隙部１５と称することがある）が形成出来るように上部プレート１に可撓性シート３の四辺が密着するように金属フレームで固定されている。また、上部プレート１には、該プレート１内を通過する開口部１６（以下単に開口部１６と称することがある）が配置され、かかる開口部１６により、空隙部１５の圧力が調整される。開口部１６から気体又は液体を空隙部１５に導入すると可撓性シート３が風船のように膨らむ構造となっている。下部プレート２には、下部プレート２内を通過する開口部１７（以下単に開口部１７と称することがある）が配置され、かかる開口部１７により、上部プレート１と下部プレート２の密封契合時に、可撓性シート３、４の間に形成される空間部１４の圧力が調整される。
又、真空引きを効率良く行うためにＯリング１８が下部プレート２の端の上に配置されている。
尚、上部プレート１、下部プレート２の内部には、可撓性シートの加熱のための加熱装置が適宜配置されている。
【００１４】
以上、下部プレート２が上下に移動して、可撓性シート３が膨張する真空積層装置６を用いた方法について説明したが、上部プレート１が上下に移動したり、可撓性シート４が膨張するものも本発明の範囲に含まれるものである。
【００１５】
真空積層装置６で使用される可撓性シート３および４は、耐熱性で、膨張可能なものが好ましく、例えばシリコンゴム、フッ素ゴム等が挙げられる。膜厚は、１〜１０ｍｍのものが通常用いられる。
【００１６】
また、平面プレス装置９には、上部プレスブロック７と下部プレスブロック８が配置され、上部プレスブロック７は支柱２８に固定されている。下部プレスブロック８は支柱２８にガイド２９をつけて、下部プレスブロック８が上下に移動できるようになっている。
【００１７】
下部プレスブロック８は、中央部には首振り可能な支持点ジョイント１０を介して接続されたシリンダー１１に接続され、該シリンダー１１を作動させることによりプレスブロックが昇降する。
【００１８】
更に、該シリンダー１１の周囲にはシリンダー１２を付設する。該シリンダー１２の配置は、図２の通りプレスブロックの４隅を押すように配置するのが好ましい。図２では、該シリンダー１１が１本に対して、該シリンダー１２を４本配置しているが、本発明では、これに限定されるものではなく、該シリンダー１２の数を加減してもよい。
【００１９】
以上の通り、該シリンダー１１、１２を用いてプレスブロック８の中央部及び周辺部を同時に加圧することで、該シリンダー１１だけでプレスブロック８の中央部のみを加圧するよりもプレスブロック８の変形を防ぎかつ均一な圧力分布で積層体５を圧締めすることができ、積層後の膜厚均一性や表面平滑性に優れた積層体が得られる。
【００２０】
該支持点ジョイント１０の動作を妨げないために該シリンダー１２の頂部はプレスブロック８と接続、固定されていないことが必要である。
【００２１】
即ち、該シリンダー１１がプレスブロック８を上昇・下降する際は、図３のStep１、２、５の通り、該シリンダー１２は下がりきった状態でプレスブロック８の上昇下降を妨げない位置にあり、プレスブロック７、８の間に積層体５を挟持する際には図３のStep２の通り、該シリンダー１１が単独で作動することにより該支持点ジョイント１０の動作を妨げずにプレスブロック７、８の間に積層体５を挟持することができる。
【００２２】
かくして図３のStep２の通り、該支持点ジョイント１０の動作を妨げずにプレスブロック７、８の間に積層体５が挟持された後に、図３のStep３の通り、該シリンダー１２が作動し該シリンダー１１と共にプレスブロック８の中央部及び周辺部を加圧して積層体５を圧締めする。
【００２３】
圧締めが完了すると、図３のStep４の通りまず該シリンダー１２が下降し、次いで図３のStep５の通り該シリンダー１１がプレスブロック８と共に下降する。
【００２４】
又、本発明においては、下部プレスブロック８の支柱２８の付近にはショックアブソーバー１３を付設することが必要で、プレスブロック昇降時に発生するプレスブロックの傾きを抑制することができる。
ショックアブソーバー１３の配置は、構造上、後述の搬送用フィルム２０を妨げないように配置する必要があり、図４の通りプレスブロックの４隅に配置することが搬送用フィルム２０を妨げずに均等にショックアブソーバー１３を配置することができ好ましい。
【００２５】
尚、図４では、ショックアブソーバー１３をプレスブロックの４隅に配置しているが、本発明では、これに限定されるものではなく、該ショックアブソーバー１３の数を加減してもよい。
【００２６】
ショックアブソーバー１３を付設することにより、該シリンダー１１が作動してプレスブロック８が上昇し積層体５が上部プレスブロック７と下部プレスブロック８の間に挟持されるまでの間ショックアブソーバー１３の働きで制動がかかり、プレスブロック８がフリーな状態にならずに上下プレスブロック７、８の面同士が水平に保持されるのである。
【００２７】
プレスブロック８は支柱２８にガイド２９を介して支えられているだけであり、ガイド２９はベアリングでスムーズに移動する構造で支柱２８との間にはプレスブロック８の加熱層２６からの熱が伝わってガイド２９が熱膨張することを考慮して遊びの間隔を設けており、プレスブロック８はガイド２９で固定されておらず傾きが生じうる構造である。
【００２８】
ショックアブソーバー１３がない場合は、該支持点ジョイント１０を介して該シリンダー１１でプレスブロック８を１点で支持している状態であって、昇降に際してプレスブロック８を安定に水平に保ちがたく、プレスブロック８は不安定に首を振りながら移動する形になり、上下プレスブロックの面が水平に安定して保持されず、かかる状態では積層体の樹脂フィルムの一部にプレスブロックが偏って接してしまい、偏って接した部分の樹脂フィルムの膜厚が薄くなってしまうなどの恐れが生じることからもショックアブソーバー１３の付設が必要である。
【００２９】
ショックアブソーバー１３には、スプリングやエアシリンダー等を用いることが出来るが、構造が簡単である等の点からコイルスプリングが適当である。コイルスプリングでもコイルの断面が円形のもより矩形の物が横方向のねじれに強く好ましい。
【００３０】
かかるプレスブロック７、８の構造は、加熱装置を内蔵する一体物であってもよいが、いくつかの構成部品に分かれていても良く、特には温度コントロールが可能なヒーターを有する加熱層２６（以下単に加熱層２６と称することがある）とベース層２７を有する構成であることが好ましい。
【００３１】
かかるプレスブロックのプレス面の平面度については１０μｍ以下とすることが好ましく、更には３〜５μｍであり、ロックウエル硬度については４０度以上とすることが好ましく、更には５０度以上、特には５５〜６５度である。平面度が１０μｍを越えると膜厚均一性が低下する傾向があり、ロックウエル硬度が４０度未満であるとプレス面に傷が付きやすく表面平滑性、鏡面性が劣り好ましくない。
尚、本発明において平面度とはＪＩＳＢ０６０２に準処して、ロックウエル硬度とはＪＩＳＺ２２４５に準処してそれぞれ測定されるものである。
【００３２】
かかるプレス面を構成するものとしては、鉄やステンレスや硬い耐熱性あるいは硬質のプラスチック、セラミックが挙げられ、好ましくは鉄やステンレス材等の金属が用いられる。更に該金属の表面にハードクロムメッキ加工等の表面硬化加工処理を施しても良いし、テトラフロオロエチレン樹脂を焼き付けた汚れ防止加工処理を施しても良い。
【００３３】
かかるプレス面として具体的にはナック鋼や、ステンレス等が使用される。
プレスブロック７、８は上記のようなプレス面を持ち、プレス面に傷がついた時に容易に交換可能という目的として設けられたものであり、通常５〜３５ｍｍの厚みである。
【００３４】
温度コントロール可能なヒーターを有する加熱層２６は、通常、アルミニウム系金属或いは鉄系金属で構成された３５〜８０ｍｍの厚みのもので内部にシース（鞘状）ヒーターを何本か配置させることが好ましい。
加熱層２６に内蔵する加熱装置は、プレスブロック内部の温度コントロールが可能なヒーターが好ましい。かかるヒーターに関しては電熱ヒーターであっても、温水配管や、熱水配管、蒸気配管であっても、サーモエス等の工業的な熱媒を用いたものの配管や液だまりであっても良く特には限定されないが、工業的には、コントロールのしやすさから電熱ヒーター、特にはシース（鞘）状ヒーターや面シート状ヒーターが使用される。尚、温度制御のためにプレスブロック本体には温度測定センサーを埋め込むことが好ましい。
【００３５】
ベース層２７は、加圧時に歪まないようにするため補強構造材で通常は鉄系金属で構成され、５０ｍｍ〜１５０ｍｍで、プレス面とは反対の裏面には、該支持点ジョイント１０を設置することもある。
かかる加熱層２６とベース層２７の間には必要に応じて、シート状断熱材を配置することも可能である。シート状断熱材は、プレスブロック中の熱伝導を下げる役割をし、通常セラミック発泡シートや石膏ボードが使用され、シート状断熱材の厚みは０．３〜２５ｍｍ程度が好ましい。
【００３６】
また、かかる上下のプレスブロック７及び８の全体寸法は、縦横が３５０〜９５０ｍｍ程度、厚みが１５０〜３５０ｍｍ程度が経済的である。
又、上記支持点ジョイント１０とブレスブロックの接続においては、プレスブロックの平面での重心点と、支持点ジョイント１０の接続位置を一致させるように配置するのが好ましいが、該支持点ジョイント１０は、下部プレスブロック８の下面に設置されるのが特に好ましい。
【００３７】
該支持点ジョイント１０の種類に関しても特に限定はなく、角度が自由になり首振り可能となるものであれば良く、具体的には各種の軸継手、首振り自由なクランク、シリンダージョイント等が用いられ、通常は、自在継手や球軸受を使用した軸継手が簡易に設置しやすいので好ましい。
【００３８】
かかる軸継手としては、首振り自由で軸回転伝導をする継手を軸回転無しで使用するのが好ましい。例えば、井口たわみ継手やラッファードリンク継手のようなたわみ軸継手、アングル継手、ユニバーサルジョイントやフック継手やカルダン継手のような自在継手、クレメン継手、球軸受を使用した継手、玉継手（ボールソケット継手）浮動性継手（フローティングコネクター）が挙げられ、また、首振り自由で軸回転伝導するその他の継手を軸回転無しで使用することもできる。
【００３９】
かかる該支持点ジョイント１０と該シリンダー１１への接続法は特には限定されないが、ショックアブソーバー１３をプレスブロック間の四隅に付設することによりプレスブロックに１個の該支持点ジョイント１０を付けて１個の油圧シリンダー又はエアーシリンダー１１だけでプレスブロックを安定に水平に保って昇降可能となり、複数の該支持点ジョイント１０を設ける必要もなく簡単である。
【００４０】
かくしてプレスブロックの昇降時に移動するプレスブロックを水平に安定して保持することが可能となり基板の周辺部においてもフィルム状樹脂層５ａを特に均一な厚みで積層することができる。
【００４１】
又、本発明では、平面プレス装置９において、上下プレスブロック７及び８の少なくとも一方の表面に、緩衝材３０及びフレキシブル金属板３１を該金属板３１が積層体５側に配置されるように順次設置することが好ましい。
【００４２】
かかる緩衝材３０は、表面のショアーＡ硬度を６０度以上とすることが好ましく、更には６５〜７５度である。６０度未満では、積層後のフィルム状樹脂層の膜厚均一性を得る効果が十分に発揮されないことがあり好ましくない。
尚、本発明において、ショアーＡ硬度とはＪＩＳＺ２２４６に準処して測定されるものである。
【００４３】
又、緩衝材３０の厚みは０．２〜２０ｍｍであることが好ましく、更には０．２〜１０ｍｍ、特には０．２〜４ｍｍである。０．２ｍｍ未満では弾性強度が低いことがあり、２０ｍｍを越えると緩衝材３０の端部の変形が大きくなることがあり好ましくない。
【００４４】
かかる緩衝材３０としては、紙、ゴム、プラスチック等のいずれかの材質を表面研磨したものであれば良いが、その中でもゴムが好ましく、特にフッ素系ゴムが好ましい。かかるフッ素系ゴムとしては、フッ化ビニリデン系ゴム、含フッ素シリコーンゴム、テトラフルオロエチレン系ゴム、含フッ素ビニルエーテル系ゴム、含フッ素フォスフォニトリル系ゴム、含フッ素アクリレート系ゴム、含フッ素ニトロソメタン系ゴム、含フッ素ポリエステルゴム、含フッ素トリアジンゴム等が挙げられ、市販品としては例えば、金陽社製「キンヨーボード」シリーズ、クレハエラストマー社製「フッソゴムシートＦＢ」シリーズ、ダイキン工業社製「ダイエル」シリーズ、デュポン社製「ビトン」シリーズ、ダウコーニング社製「シラステック」シリーズ、モンテディソン社製「テクノフロン」シリーズ、３Ｍ社製「フルオレル」シリーズ、「ケル−Ｆ」シリーズ等が挙げられる。
かかる緩衝材３０は、耐熱性樹脂、ガラス繊維シートや金属箔シート等を内部に含むものであっても良い。
【００４５】
又、フレキシブル金属板３１の材質としては、ステンレス、鉄、アルミニウム、アルミニウム合金等が挙げられ、耐錆性の点でステンレスが好ましい。
かかるフレキシブル金属板３１の厚みは０．１〜１０ｍｍであることが好ましく、更には１〜５ｍｍである。フレキシブル金属板３１の厚さが０．１ｍｍ未満ではその機械強度が低下することがあり、１０ｍｍを越えると金属板のブレキシブル性が低下することがあり積層後のフィルム状樹脂層５ｂの膜厚均一性を得る効果が十分に発揮されないことがあり好ましくない。
又、フレキシブル金属板３１の表面をバフ研磨等により鏡面研磨すると積層体５の表面を高度に鏡面にできるので製品の外観が優れ好ましい。
【００４６】
上記の上下プレスブロック７及び８への緩衝材３０及びフレキシブル金属板３１の設置方法については、緩衝材３０とフレキシブル金属板３１は上下プレスブロック７及び８の少なくとも一方に設置されればよく、好ましくは両方に設置される。その場合に上下プレスブロック７及び８には、緩衝材３０を挟んでフレキシブル金属板３１を配置し、ねじ等で緩衝材３０やフレキシブル金属板３１を固定すればよい。
【００４７】
更に、本発明では、積層体５の搬送や樹脂フィルム状樹脂層５ｂからのしみだした樹脂による装置への汚染や積層体５への付着を防止するために搬送用フィルム２０を併用することが好ましく、かかる搬送用フィルム２０の張力及び搬送速度を調節するために、巻出しロール２１が真空積層装置６の入口付近に、巻取りロール２４及びニップロール２５が平面プレス装置９の出口付近に配置されている。搬送用フィルム２０の通過ラインの各所には、搬送用フィルム２０の張力誘導と空中保持のために、ガイドロール２２が配置されている。
【００４８】
ここで、図１では、真空積層装置６、平面プレス装置９で処理する際にいずれも搬送用フィルム２０を用いる場合を示したが、真空積層装置６で処理する場合だけに該フィルムを用いたり、平面プレス装置９で処理する場合だけに該フィルムを用いてもよく、また、真空積層装置６と平面プレス装置９にそれぞれ別々に搬送用フィルム２０が設置されていてもよい。
【００４９】
かかる搬送用フィルム２０は特に限定されないが、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ナイロンフィルム、ポリイミドフィルム、ポリスチレンフィルム、フッ素化オレフィンフィルムのいずれかであることが好ましい。
【００５０】
又、搬送フィルムの表面粗さＲｚは、０．３５〜５．０μｍであることが好ましく、更には１〜３μｍが好ましく、膜厚は２０〜１００μｍであることが好ましく、更には２６〜５０μｍが好ましい。かかる表面粗さＲｚが０．３５μｍ未満ではプレス時に積層体５とプレスブロック７、８との間にエア留まりを生じてフィルム状樹脂層５ｂの厚みが不均一となり、５．０μｍを越えるとフィルム状樹脂層５ｂの表面へ搬送フィルムの表面の粗さが転写されてフィルム状樹脂層５ｂの表面の鏡面性が損なわれ好ましくない。膜厚が２０μｍ未満では搬送フィルムの引き裂き強度が不足することとなり、１００μｍを越えると搬送フィルムの柔軟性が不足して積層体５の表面の凹凸に可撓性シートが追従できなくなりフィルム状樹脂層５ｂを基板５ａに密着できなくなり好ましくない。
【００５１】
かかる搬送用フィルム２０としては、塗工用の膜厚みの精度が良いフィルムが良く、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好適であり、例えば東レ社製の「ルミラー」フィルム等が使われる。
【００５２】
尚、これらの表面に適宜、マット処理加工、離型処理加工、静電気防止処理加工、コロナ処理加工など施されても良く、マット処理加工は、プレスでのエアーだまり防止に役立ち、離型処理加工はしみだした樹脂分の除去に役立ち、静電気防止処理はゴミの付着トラブルやフィルムの反発トラブルの防止に役立ち有用である。特に、積層体５と接する面がマット処理、例えば表面のヘイズ値（積分球式光線透過率測定装置にして測定）を５〜４０程度にしておくと、積層時の空気の逃げよくマイクロボイドが少ない点で望ましい。
【００５３】
本発明において、上記積層方法に実施するに当たっては、真空積層装置６の圧締処理の後、１２時間以内に平面プレス装置９で加熱・加圧加工すればよく、特に１５分以内であると真空積層装置６から排出された積層体が冷えきらず、積層加工ができるので膜厚均一性が更に向上するので好ましい。特に好ましいのは図１のように真空積層装置６、平面プレス装置９に一体化させて配置して連続して加工を行う積層方法で、真空積層装置６の後に、積層体５は、搬送用フィルム２０に挟まれて平面プレス装置９に送られる。
【００５４】
平面プレス装置９による加工条件は、圧力１．０×１０^５〜５．０×１０^６Ｐａであることが好ましく、特に好ましくは２．０×１０^６〜３．１×１０^６Ｐａである。温度は３０〜２００℃であることが好ましく、特に好ましくは１００〜１５０℃である。かかる処理の時間は、特には限定されないが、２０〜２００秒が工業的に好ましい。
【００５５】
又、プレスブロック７及び８の間で積層体５を加熱加圧処理するに際しては、最初に油圧もしくは空気圧をシリンダー１１に供給してプレスブロック７及び８の間で積層体５を挟持した後に、その状態を維持しつつ、更に油圧もしくは空気圧をシリンダー１２に供給して積層体５を圧締めするようにシリンダー１１及び１２を順次作動させることが好ましい。
【００５６】
本発明で使用される凹凸を有する基板５ａとしては、特には限定しないが、銅等のパターンを施したプリント基板が好ましく、ピルドアップ工法で用いられる多積層基板でも良い。かかる基板の厚みとしては特には限定されないが、０．１〜１０ｍｍ程度のものが良い。縦横の大きさも特には限定されないが、１５０〜８００ｍｍ程度のものが良い。
【００５７】
また、フィルム状樹脂層５ｂは、樹脂組成物と、支持体フィルム（セパレーターフィルム）あるいは銅箔から構成されることが好ましい。かかる樹脂組成物は、絶縁性、粘着性や接着性、ホットメルト性を持つものや、ガラス転移温度以上で軟化する樹脂組成物が好ましい。
【００５８】
かかる樹脂組成物としては、主にエポキシ樹脂からなる熱硬化性樹脂組成物、又は樹脂、エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物等が挙げられる。
【００５９】
かかる支持体フィルム（セパレーターフィルム）としては、ポリエチレンテレフタレートフィルムやポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、エチレン酢酸ビニル共重合体ケン化物フィルム等が挙げられる。銅箔としては特に制限されないがエッチングで溶解可能なものが好ましい。
【００６０】
かかるフィルム状樹脂層５ｂのビルドアップ工法用の市販品（保護フィルムが貼付した構成のものもある）としては、日立化成社製のＢＦシリーズ、ＢＬシリーズ、ＡＳシリーズ、ＭＣＦシリーズ、シプレー社製のＭＵＬＴＩＰＯＳＩＴ−９５００シリーズ、日本ペイント社製のプロピコートシリーズ、チバスペシャリティ社製のＰｌｏｂｅｌｅｃシリーズ、デュポン社製のＶａｌｕｘシリーズ、太陽インク社製のＰＶＩシリーズ、ＨＢＩシリーズ、旭電化社製のＢＵＲシリーズ、味の素社製のＡＢＦシリーズ、東京応化社製のＳＢ−Ｒシリーズ、三井金属社製のＭＲシリーズ、松下電工社製のＲシリーズ、住友ベークライト社製のＡＰＬシリーズ、ニッカン社製のＣＡＤシリーズ、旭化成社製のＰＣＣシリーズ、三菱ガス化学社製のＣＢＲシリーズ、ＣＣＬシリーズ、ＧＭＰシリーズ等が挙げられる。その他の用途の樹脂層としては、フォトレジストフィルム用樹脂層、ソルダーレジストマスクフィルム用樹脂層、コンフォーマスクフィルム用樹脂層が挙げられる。
【００６１】
フィルム状樹脂層５ｂの表面あるいは裏面についても特には限定されないが、好ましくはマット処理しておくことが積層時の空気の逃げがよくマイクロボイドが少なく良好である。該マット処理に関しては特には限定されないが、表面粗さＲｚが３〜４０μｍ程度のものが好ましい。
【００６２】
従来の積層方法では、基板の上に積層される樹脂組成物層の厚みが一定とならないので基板を積層した際に基板間の絶縁性が異なるが、本発明では、基板の上に積層される樹脂組成物層の厚みが基板全面に渡って一定となるので、プリント基板以外の他用途、例えば、ＬＣＤ基板の上に、粘着剤付偏光板や粘着剤付位相差板を貼り合わす時、各種電子基板にダイシングテープ等やホットメルト樹脂の付着したフィルム例えばＩＣカード等を貼り合わす時にも大変有効な装置や方法である。
【００６３】
【実施例】
以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明する。
【００６４】
実施例１
図１に示す如き真空積層装置６及び平面プレス装置９を用いた。
まず、エポキシ樹脂からなる熱硬化性樹脂組成物（ガラス転移温度８０℃）とポリエチレンテレフタレートフィルムからなるフィルム状樹脂層５ｂ（５００ｍｍ×３９５ｍｍの長方形、厚み４０μｍ）を基板５ａ（５１０ｍｍ×４０５ｍｍの長方形、厚み０．８ｍｍ）の両面に配置した構成とし、フィルム状樹脂層５ｂの樹脂面が基板５ａの凹凸面に接するようにオートカットラミネーターにより仮止めした。
【００６５】
予め上部プレート１、下部プレート２に内蔵されたヒーターにより可撓性シート３、４は１２０℃に調整した。
ポリエチレンテレフタレートフィルムからなる搬送用フィルム２０（表面粗さＲｚ２μｍ、厚み３０μｍ）で上記の積層体５を真空積層装置６の中央部に搬送した後、下部プレート２を上げ、上部プレート１と密封契合した後、減圧操作に入った。開口部１６、開口部１７から空気を真空ポンプで吸引して、空隙部１５及び空間部１４を１００Ｐａまで減圧して、開口部１６を大気開放として、空隙部１５を大気圧とし３ｍｍの厚みのシリコンゴムからなる可撓性シート３を膨らませて可撓性シート３と４で積層体５を圧締した。その１０秒後に、開口部１６より圧縮空気を入れて、空隙部１５を５×１０^５Ｐａと更に強く圧締めして、積層体５を１２０℃で３０秒保持した。次に、空間部１４、１５を大気圧に戻し下部プレート２が下方に移動されて、搬送用フィルム２０により圧締された積層体５を排出した。
【００６６】
引き続いて、平面プレス装置９に真空積層装置６で圧締された積層体５を搬送用フィルム２０により搬送した。上下プレスブロック７、８において、予め加熱層２６を１４０℃に調整しておき、下部プレスブロック８を図３のStep１〜５に示す通り、該プレスブロック８と接続された自在継手の首振り可能な支持点ジョイント１０を備えた油圧シリンダー１１及びプレスブロック８と接続固定されていない４本の油圧シリンダー１２を順次作動させて上部方に移動して、積層体５を温度１４０℃、圧力１０×１０^５Ｐａで８０秒間加熱しながら圧締した。
【００６７】
尚、上下プレスブロックのプレス面の平面度は１０μｍ以下で、ロックウエル硬度は４０度以上であるステンレスを用いた。加熱層２６は厚み６０ｍｍのステンレスで、内部シースヒータを９本有し、ベース層２７は厚み８０ｍｍの鉄製のものを用いた。又、緩衝材３０としてはフッ化ビニリデン系ゴム（フッ化ビニリデン、六フッ化プロピレン、四フッ化エチレンの共重合体）の厚み２．５ｍｍ、ショアＡ硬度７０度のものを用い、フレキシブル金属板３１としては表面を鏡面研磨加工した厚さ２ｍｍのステンレス板を用い、フレキシブル金属板３１をプレス面との間に緩衝材３０を挟んでねじで固定した。
【００６８】
上記工程において、得られた積層体５の膜厚均一性を以下の要領で評価した。
（膜厚均一性）
図１に示すように、積層体５の各辺を３等分する垂線を引き、積層体５を９つのエリア（Ａ〜Ｉ）に区分して、エリアＥの中央部におけるプレス工程前のフィルム状樹脂層５ｂの厚みとプレス工程後のフィルム状樹脂層５ｂの厚みとの差を測定し、以下のように評価した。
◎・・・２μｍ未満
○・・・２〜５μｍ未満
△・・・５〜１０μｍ未満
×・・・１０μｍ以上
【００６９】
又、エリアＡ〜Ｉの中央部におけるプレス工程後のフィルム状樹脂層５ｂの厚みをそれぞれ測定し、エリアＥとの差を以下のように評価した。
◎・・・２μｍ未満
○・・・２〜５μｍ未満
△・・・５〜１０μｍ未満
×・・・１０μｍ以上
尚、フィルム状樹脂層５ｂの厚みの測定には、株式会社ケット科学研究所製の高周波膜圧計「ＬＨ−３３０Ｃ」を用いた。
【００７０】
【図１】

【００７１】
実施例２
実施例１において、首振り可能な支持点ジョイント１０として自在継手に替えてフローテイングコネクターを使用して実施例１と同様に実施し、評価を行った。
【００７２】
参考例１
実施例１で、ショックアブソーバー１３を備えなかった以外は実施例１と同様にし、評価を行った。
【００７３】
比較例１
実施例１において、自在継手１０がなく、油圧シリンダー１１が、直接下部プレスブロック８に接続した以外は実施例１と同様にして実施し、評価を行った。
【００７４】
比較例２
実施例１で、該シリンダー１２を備えなかった以外は実施例１と同様にして実施し、評価を行った。
実施例及び比較例の評価結果を表１に示す。
【００７５】
［表１］
エリアＥにおけるエリアＥとの差
プレス工程前後の差ＡＢＣＤＦＧＨＩ
実施例１ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
〃２ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
参考例１ ◎ ○ ○ ○ ◎ ◎ △ △ △
比較例１ ○ × × × × × × × ×
〃２ ◎ × × × × × × × ×
【００７６】
【発明の効果】
本発明は、凹凸を有する基板５ａとフィルム状樹脂層５ｂからなる積層体５を圧締するための、可撓性シート３を付設した上部プレート１及び可撓性シート４を付設した下部プレート２が設置された真空チャンバーを有する真空積層装置６及び、該積層体５をどちらか一方が移動可能な上下プレスブロック７及び８間で加熱加圧処理し圧締めするための平面プレス装置９を備えてなる積層装置であって、該平面プレス装置９において、上下に移動するプレスブロック７又は８の中央部に油圧シリンダー又はエアーシリンダー１１を首振り可能な支持点ジョイント１０を介して接続し、更にシリンダー１１の周囲に上下に移動するプレスブロック７及び８と頂部が接続固定されていない油圧シリンダー又はエアーシリンダー１２を付設し、更に上下プレスブロック７及び８の間に、ショックアブソーバー１３を付設してなり、シリンダー１２が下がった状態でシリンダー１１が単独で作動して支持点ジョイントの動作を妨げずにプレスブロック８を上昇させ、次に、シリンダー１２を作動させシリンダー１１と共にプレスブロック８の中央部と周辺部を加圧して積層体５を圧締めし、その後シリンダー１２を下降させ、次いでシリンダー１１をプレスブロック８と共に下降させる積層装置であり、更に、可撓性シート３を付設した上部プレート１及び可撓性シート４を付設した下部プレート２が設置された真空チャンバーを有する真空積層装置６を使用して、該チャンバー内の上下プレート間で、凹凸を有する基板５ａとフィルム状樹脂層５ｂからなる積層体５を圧締した後、該積層体５を上下プレスブロック７及び８を有しプレスブロック７及び８のどちらか一方が移動可能な平面プレス装置９により該上下プレス間で積層体５を加熱加圧処理して積層する方法において、上下に移動するプレスブロック７又は８の中央部に油圧シリンダー又はエアーシリンダー１１を首振り可能な支持点ジョイント１０を介して接続し、更にシリンダー１１の周囲に上下に移動するプレスブロックと頂部が接続固定されていない油圧シリンダー又はエアーシリンダー１２を付設し、更に上下プレスブロック７及び８の間に、ショックアブソーバー１３を付設してなり、シリンダー１２が下がった状態でシリンダー１１が単独で作動して支持点ジョイントの動作を妨げずにプレスブロック８を上昇させ、次に、シリンダー１２を作動させシリンダー１１と共にプレスブロック８の中央部と周辺部を加圧して積層体５を圧締めし、その後シリンダー１２を下降させ、次いでシリンダー１１をプレスブロック８と共に下降させる積層方法であるため、フィルム状樹脂層５ｂの追従性がよく、積層後の樹脂層の面内バラツキのない膜厚均一性や表面平滑性に優れた効果を示し、プリント回路基板の多層化に非常に有用な積層装置及び積層方法である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の積層装置の主要断面図である。
【図２】本発明の平面プレス装置９のシリンダー部分の水平断面図である。
【図３】本発明の平面プレス装置９でのプレス工程図である。
【図４】本発明の平面プレス装置９のショックアブソーバー部分の水平断面図である。
【符号の説明】
１・・・上部プレート
２・・・下部プレート
３・・・上部プレートに付設した可撓性シート
４・・・下部プレートに付設した可撓性シート
５・・・積層体
５ａ・・・基板
５ｂ・・・フィルム状樹脂層
６・・・真空積層装置
７・・・上部プレスブロック
８・・・下部プレスブロック
９・・・平面プレス装置
１０・・・首振り可能な支持点ジョイント
１１・・・首振り可能な支持点ジョイントに接続された油圧シリンダー又はエアーシリンダー
１２・・・プレスブロックと接続されていない油圧シリンダー又はエアーシリンダー
１３・・・ショックアブソーバー
１４・・・可撓性シート３、４の間に形成される空間部
１５・・・上部プレートと可撓性シート３間の空隙部
１６・・・上部プレートを通過する開口部
１７・・・下部プレートを通過する開口部
１８・・・Ｏリング
１９・・・油圧シリンダー又はエアーシリンダー
２０・・・搬送用フィルム
２１・・・巻出しロール
２２・・・ガイドロール
２３・・・コンベア
２４・・・巻取りロール
２５・・・ニップロール
２６・・・温度コントロール可能なヒーターを有する加熱層
２７・・・ベース層
２８・・・支柱
２９・・・ガイド
３０・・・緩衝材
３１・・・フレキシブル金属板[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a laminating apparatus for laminating a film-like resin layer 5b on an uneven substrate 5a and a laminating method using the same in manufacturing a printed circuit board, and more specifically, following the film-like resin layer. The present invention relates to a laminating apparatus and a laminating method for obtaining a laminated body having good properties, excellent film thickness uniformity and surface smoothness without in-plane variation of a laminated resin layer, and useful for a build-up method.
[0002]
[Prior art]
In recent years, with the miniaturization and high performance of electronic devices, the density and the number of layers of printed circuit boards are increasing.
In multilayering such a printed circuit board, a thermosetting resin composition or a photosensitive resin composition is used as an insulating layer, and the thermosetting resin composition or the photosensitive resin composition is formed on an inner layer circuit formed in advance. Or a film-like resin layer made of the thermosetting resin composition or the photosensitive resin composition is laminated. A copper foil or a support film (separator film) is usually laminated on one side of the film-like resin layer. In the case of a copper foil, it is half-etched or entirely etched, and in the case of a support film, it is peeled off. Then, after drilling with laser or ultraviolet rays, after copper plating, a method of forming a circuit by patterning with light again using a photoresist film, a so-called build-up method is effectively used.
[0003]
The present applicant also previously disclosed a laminating method in which a film-like resin is laminated on an uneven substrate by laminating using a vacuum laminating apparatus and then heat-pressing with a laminator roll or a flat press (Patent Literature). 1).
[0004]
Further, when heating and pressurizing by a flat press, a support point joint 10 capable of swinging is connected to at least one of the upper and lower press blocks, and the support point joint 10 is connected to the cylinder 11 to operate the press block. By pressing a part of the press surface of the press block from the thick part of the substrate to be pressed and sequentially pressing the press surface of the press block to the part of the thin part of the workpiece The lamination method by which the laminated body with the uniform thickness of the film-form resin on a board | substrate was obtained was disclosed (refer patent document 2).
[0005]
In the laminating method disclosed in Patent Document 2, in order to obtain a laminated body having a uniform film-like resin thickness on a substrate, it is necessary to effectively swing the press block with the support point joint 10 as a fulcrum, For this purpose, it is desirable to connect the supporting point joint 10 to the central portion of the press block independently rather than providing a plurality of the supporting point joints 10. The reason for this is that if two support point joints 10 are provided, the press block easily follows the rotational direction around the line connecting the two support point joints 10 according to the thickness of the laminate 5. If the support point joint 10 is increased to three or more, the axis connecting the support point joints 10 will not be able to follow the direction perpendicular to the line connecting the two support point joints 10. More than the case where a plurality of support point joints 10 are provided, the degree of freedom of swinging of the press block is further reduced. Therefore, it is desirable to connect the support point joint 10 alone to the center of the press block in order to maximize the freedom of swinging of the press block. Then, when only one support point joint 10 is used and connected to the center of the press block, ideally, the press block stays horizontal and does not swing when moving up and down, and then comes into contact with the substrate. It is desirable for the press block to swing according to
[0006]
[Patent Document 1]
JP 2000-141388 A
[Patent Document 2]
JP 2002-36272 A
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, in actual products, it is required to raise and lower the press block as quickly as possible with priority on productivity, and the generated acceleration acts to tilt the press block and keep it horizontal. It was difficult. When the press block is tilted, the method disclosed in Patent Document 2 does not have a problem in the uniformity of the film thickness at the center of the film-like resin 5b laminated on the laminate 5, but the peripheral portion of the film-like resin 5b. Since the press block inclined to the surface contacts non-uniformly, it is difficult to obtain the same film thickness uniformity as the central portion, and further improvement is required.
[0008]
[Means for solving problems]
Therefore, as a result of intensive studies in view of such circumstances, the present inventors have found that an upper plate provided with a flexible sheet 3 for pressing a laminate 5 composed of a substrate 5a having unevenness and a film-like resin layer 5b. 1 and a vacuum laminating apparatus 6 having a vacuum chamber in which a lower plate 2 provided with a flexible sheet 4 is installed, and heat and pressure between upper and lower press blocks 7 and 8 in which either one of the laminated body 5 can move. A laminating apparatus comprising a flat press device 9 for processing and clamping, wherein a hydraulic cylinder or an air cylinder 11 is swung at the center of a press block 7 or 8 that moves up and down. Press block 7 and 8 which is connected via a possible support point joint 10 and moves up and down around the cylinder 11 and a hydraulic system whose top is not fixedly connected. It annexed the Nda or air cylinder 12In addition, a shock absorber 13 is provided between the upper and lower press blocks 7 and 8, and the cylinder 11 operates independently with the cylinder 12 lowered, and the press block 8 is raised without disturbing the operation of the support point joint. Next, the cylinder 12 is operated to pressurize the central portion and the peripheral portion of the press block 8 together with the cylinder 11 to press the laminate 5, and then the cylinder 12 is lowered, and then the cylinder 11 is lowered together with the press block 8. MakeLaminatedIn placeAs a result, it is possible to prevent the press block from being deformed and to press the laminate 5 with a uniform pressure distribution, and the laminate having excellent followability and film thickness uniformity of the film-like resin layer over the entire surface of the substrate can be efficiently obtained. In addition, even if the cylinder 11 is connected and fixed to the center of the press block via the single support point joint 10 and the press block is moved up and down quickly, the inclination of the press block that occurs when the press block is raised and lowered is suppressed. The present invention has been completed by finding out what can be done.
[0009]
In the present invention, a vacuum laminating apparatus 6 having a vacuum chamber in which an upper plate 1 provided with a flexible sheet 3 and a lower plate 2 provided with a flexible sheet 4 is installed is used. After pressing the laminated body 5 composed of the uneven substrate 5a and the film-like resin layer 5b between the upper and lower plates, the laminated body 5 has the upper and lower press blocks 7 and 8 and one of the press blocks 7 and 8. In the method of laminating the laminate 5 by heating and pressurizing between the upper and lower presses by the plane press device 9 capable of moving the cylinder, a hydraulic cylinder or air cylinder 11 is placed in the center of the press block 7 or 8 that moves up and down. Hydraulic pressure that is connected via a swingable support point joint 10 and further has a top block connected to and fixed to a press block that moves up and down around the cylinder 11 It annexed the Linder or air cylinder 12In addition, a shock absorber 13 is provided between the upper and lower press blocks 7 and 8, and the cylinder 11 operates independently with the cylinder 12 lowered, and the press block 8 is raised without disturbing the operation of the support point joint. Next, the cylinder 12 is operated to pressurize the central portion and the peripheral portion of the press block 8 together with the cylinder 11 to press the laminate 5, and then the cylinder 12 is lowered, and then the cylinder 11 is lowered together with the press block 8. MakeA lamination method is also provided.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The present invention is a laminating apparatus including a vacuum laminating apparatus 6 and a flat pressing apparatus 9, and after pressing the laminated body 5 in the vacuum laminating apparatus 6, the laminated body 5 is heated while being heated by the flat pressing apparatus 9. The laminating apparatus in which the press block swings its neck around the fulcrum provided at the center of the press block and causes the press block to follow the press block, and the laminating method using the laminating apparatus.
[0011]
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to FIGS.
First, the vacuum laminating apparatus 6 and the flat pressing apparatus 9 used in the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 1, the vacuum laminating device 6 and the flat press device 9 are provided side by side, but the present invention is not limited to this, and each device may be installed independently.
[0012]
The vacuum laminating apparatus 6 includes a lower plate 2 connected to a hydraulic cylinder or an air cylinder 19 and is movable up and down, and the

upper plate

1 and 2 are brought into close contact with each other via an O-ring 18 so that the lower plate 2 and the flexible sheet are connected. 3 is sealed to form a vacuum chamber.
[0013]
In the formed vacuum chamber, an upper plate 1 provided with a flexible sheet 3 and a lower plate 2 provided with a flexible sheet 4 are arranged. The flexible sheet 4 exists directly on the lower plate 2, and the flexible sheet 3 is a gap 15 formed between the upper plate 1 and the flexible sheet 3 (hereinafter simply referred to as a gap 15). Is fixed with a metal frame so that the four sides of the flexible sheet 3 are in close contact with the upper plate 1. Further, the upper plate 1 is provided with an opening 16 that passes through the plate 1 (hereinafter simply referred to as the opening 16), and the pressure of the gap 15 is adjusted by the opening 16. When gas or liquid is introduced into the gap 15 from the opening 16, the flexible sheet 3 expands like a balloon. The lower plate 2 is provided with an opening 17 that passes through the lower plate 2 (hereinafter may be simply referred to as an opening 17). With the opening 17, when the upper plate 1 and the lower plate 2 are sealed, The pressure of the space portion 14 formed between the

flexible sheets

3 and 4 is adjusted.
Further, an O-ring 18 is disposed on the end of the lower plate 2 in order to efficiently perform evacuation.
A heating device for heating the flexible sheet is appropriately disposed inside the upper plate 1 and the lower plate 2.
[0014]
As described above, the method using the vacuum lamination apparatus 6 in which the lower plate 2 moves up and down and the flexible sheet 3 expands has been described. However, the upper plate 1 moves up and down and the flexible sheet 4 expands. What is included is also included in the scope of the present invention.
[0015]
The

flexible sheets

3 and 4 used in the vacuum lamination apparatus 6 are preferably heat-resistant and expandable, and examples thereof include silicon rubber and fluorine rubber. A film thickness of 1 to 10 mm is usually used.
[0016]
Further, the flat press device 9 is provided with an upper press block 7 and a lower press block 8, and the upper press block 7 is fixed to a column 28. The lower press block 8 is provided with a guide 29 on a support 28 so that the lower press block 8 can move up and down.
[0017]
The lower press block 8 is connected to a cylinder 11 connected to a central portion via a support point joint 10 that can swing, and the press block moves up and down by operating the cylinder 11.
[0018]
Further, a cylinder 12 is attached around the cylinder 11. The cylinder 12 is preferably arranged so as to push the four corners of the press block as shown in FIG. In FIG. 2, four cylinders 12 are arranged for one cylinder 11, but the present invention is not limited to this, and the number of cylinders 12 may be adjusted. .
[0019]
As described above, the central portion and the peripheral portion of the press block 8 are simultaneously pressurized using the

cylinders

11 and 12, so that the press block 8 is deformed more than the central portion of the press block 8 is pressurized only by the cylinder 11. The laminate 5 can be clamped with a uniform pressure distribution, and a laminate excellent in film thickness uniformity and surface smoothness after lamination can be obtained.
[0020]
In order not to disturb the operation of the support point joint 10, it is necessary that the top of the cylinder 12 is not connected and fixed to the press block 8.
[0021]
That is, when the cylinder 11 ascends / descends the press block 8, as shown in

Steps

1, 2, and 5 in FIG. When sandwiching the laminate 5 between the press blocks 7 and 8, as shown in Step 2 of FIG. 3, the cylinder 11 is operated alone so that the operation of the support point joint 10 is not hindered. The laminate 5 can be held between the two.
[0022]
Thus, as shown in Step 2 of FIG. 3, after the laminated body 5 is sandwiched between the press blocks 7 and 8 without interfering with the operation of the support point joint 10, the cylinder 12 is operated as shown in Step 3 of FIG. 3. The center part and the peripheral part of the press block 8 are pressed together with the cylinder 11 to press the laminate 5.
[0023]
When the pressing is completed, the cylinder 12 first descends as shown in Step 4 of FIG. 3, and then the cylinder 11 descends together with the press block 8 as shown in Step 5 of FIG. 3.
[0024]
In the present invention, a shock absorber 13 can be provided near the support 28 of the lower press block 8.Necessary,The inclination of the press block generated when the press block is raised and lowered can be suppressed.
The shock absorber 13 must be disposed so as not to interfere with a later-described transport film 20 because of its structure, and the shock absorbers 13 are equally disposed at the four corners of the press block as illustrated in FIG. 4 without disturbing the transport film 20. It is preferable that the shock absorber 13 can be disposed.
[0025]
In FIG. 4, the shock absorbers 13 are arranged at the four corners of the press block. However, the present invention is not limited to this, and the number of the shock absorbers 13 may be adjusted.
[0026]
By attaching the shock absorber 13, the cylinder 11 is operated, the press block 8 is raised, and the laminate 5 is sandwiched between the upper press block 7 and the lower press block 8 by the action of the shock absorber 13. Brake is applied and the surfaces of the upper and lower press blocks 7, 8 are held horizontally without the press block 8 being free.
[0027]
The press block 8 is only supported by a support 28 via a guide 29, and the guide 29 moves smoothly by a bearing, and heat from the heating layer 26 of the press block 8 is transmitted to the support 28. In consideration of the thermal expansion of the guide 29, an interval of play is provided, and the press block 8 is not fixed by the guide 29 and has a structure that can be inclined.
[0028]
When there is no shock absorber 13, the press block 8 is supported at one point by the cylinder 11 via the support point joint 10, and it is difficult to keep the press block 8 stable and level when moving up and down. The press block 8 moves in an unstable manner while swinging its head, and the surfaces of the upper and lower press blocks are not stably held horizontally, and in this state, the press block is in contact with a part of the resin film of the laminate. The shock absorber 13 can be attached because the thickness of the resin film in the part of the contact with the contact may be reduced.is necessary.
[0029]
For the shock absorber 13, a spring, an air cylinder, or the like can be used, but a coil spring is suitable in view of its simple structure. Even in the case of a coil spring, a rectangular object having a circular cross section is more preferable for lateral twisting.
[0030]
The structure of the press blocks 7 and 8 may be an integrated body incorporating a heating device, but may be divided into several components, and in particular, a heating layer 26 (having a heater capable of controlling temperature) ( Hereinafter, it may be simply referred to as a heating layer 26) and a base layer 27 is preferable.
[0031]
The flatness of the press surface of the press block is preferably 10 μm or less, more preferably 3 to 5 μm, and the Rockwell hardness is preferably 40 degrees or more, more preferably 50 degrees or more, particularly 55 to 55 μm. It is 65 degrees. If the flatness exceeds 10 μm, the film thickness uniformity tends to decrease, and if the Rockwell hardness is less than 40 degrees, the press surface is likely to be scratched, resulting in poor surface smoothness and specularity.
In the present invention, the flatness is measured according to JIS B0602, and the Rockwell hardness is measured according to JIS Z2245.
[0032]
Examples of such a press surface include iron, stainless steel, hard heat-resistant or hard plastic, and ceramic. Preferably, a metal such as iron or stainless steel is used. Further, the surface of the metal may be subjected to surface hardening processing such as hard chrome plating, or may be subjected to antifouling processing by baking a tetrafluoroethylene resin.
[0033]
Specifically, Nack steel, stainless steel or the like is used as the pressing surface.
The press blocks 7 and 8 have a press surface as described above, and are provided for the purpose of being easily replaceable when the press surface is damaged, and usually have a thickness of 5 to 35 mm.
[0034]
The heating layer 26 having a temperature-controllable heater is usually 35 to 80 mm thick made of aluminum-based metal or iron-based metal, and it is preferable to arrange several sheath (sheath-shaped) heaters inside. .
The heater built in the heating layer 26 is preferably a heater capable of controlling the temperature inside the press block. Such heaters may be electric heaters, hot water pipes, hot water pipes, steam pipes, pipes or liquid pools using an industrial heat medium such as Thermo-S, and particularly limited. However, industrially, an electric heater, particularly a sheath heater or a face sheet heater is used for ease of control. Note that a temperature measurement sensor is preferably embedded in the press block body for temperature control.
[0035]
The base layer 27 is a reinforcing structural material that is usually made of an iron-based metal so as not to be distorted during pressurization, and is 50 mm to 150 mm. The support point joint 10 is installed on the back surface opposite to the press surface. Sometimes.
A sheet-like heat insulating material can be disposed between the heating layer 26 and the base layer 27 as necessary. The sheet-like heat insulating material plays a role of lowering heat conduction in the press block, and usually a ceramic foam sheet or a gypsum board is used. The thickness of the sheet-like heat insulating material is preferably about 0.3 to 25 mm.
[0036]
The overall dimensions of the upper and lower press blocks 7 and 8 are economical when the length and width are about 350 to 950 mm and the thickness is about 150 to 350 mm.
Further, in the connection of the support point joint 10 and the breath block, it is preferable to arrange the center of gravity on the plane of the press block so that the connection position of the support point joint 10 coincides. It is particularly preferable that it is installed on the lower surface of the lower press block 8.
[0037]
There is no particular limitation on the type of the support point joint 10 as long as the angle can be freely adjusted and the head can be swung. Specifically, various shaft joints, freely swingable cranks, cylinder joints, and the like are used. In general, a shaft joint using a universal joint or a ball bearing is preferable because it can be easily installed.
[0038]
As such a shaft joint, it is preferable to use a joint that freely swings and conducts shaft rotation without shaft rotation. For example, flexible shaft joints such as Iguchi flexible joints and luffer drink joints, angle joints, universal joints such as universal joints, hook joints and cardan joints, clement joints, joints using ball bearings, ball joints (ball socket joints) Floating joints (floating connectors) may be mentioned, and other joints that are free to swing and transmit shaft rotation may be used without shaft rotation.
[0039]
The connection method between the support point joint 10 and the cylinder 11 is not particularly limited. However, by attaching shock absorbers 13 to the four corners between the press blocks, one support point joint 10 is attached to the press block. The press block can be moved up and down with only a single hydraulic cylinder or air cylinder 11 stably, and there is no need to provide a plurality of support point joints 10.
[0040]
Thus, the press block that moves when the press block is raised and lowered can be stably held horizontally, and the film-like resin layer 5a can be laminated with a particularly uniform thickness even in the peripheral portion of the substrate.
[0041]
Further, in the present invention, in the flat press device 9, the buffer material 30 and the flexible metal plate 31 are sequentially arranged on at least one surface of the upper and lower press blocks 7 and 8 so that the metal plate 31 is disposed on the laminated body 5 side. It is preferable to install.
[0042]
The buffer material 30 preferably has a surface Shore A hardness of 60 degrees or more, and more preferably 65 to 75 degrees. If it is less than 60 degree | times, the effect of obtaining the film thickness uniformity of the film-like resin layer after lamination | stacking may not fully be exhibited, but it is unpreferable.
In the present invention, the Shore A hardness is measured according to JIS Z2246.
[0043]
Further, the thickness of the buffer material 30 is preferably 0.2 to 20 mm, more preferably 0.2 to 10 mm, and particularly preferably 0.2 to 4 mm. If it is less than 0.2 mm, the elastic strength may be low, and if it exceeds 20 mm, the deformation of the end of the cushioning material 30 may increase, which is not preferable.
[0044]
The cushioning material 30 may be any material such as paper, rubber, or plastic that has been surface-polished. Among them, rubber is preferable, and fluorine rubber is particularly preferable. Examples of such fluorine rubber include vinylidene fluoride rubber, fluorine-containing silicone rubber, tetrafluoroethylene rubber, fluorine-containing vinyl ether rubber, fluorine-containing phosphonitrile rubber, fluorine-containing acrylate rubber, and fluorine-containing nitrosomethane rubber. , Fluorine-containing polyester rubber, fluorine-containing triazine rubber, and the like. Commercially available products include, for example, “Kinyo Board” series manufactured by Kinyo, “Fusso Rubber Sheet FB” series manufactured by Kureha Elastomer, “Daiel” series manufactured by Daikin Industries, Ltd. "Buiton" series manufactured by Dow Corning, "Shirastec" series manufactured by Dow Corning, "Technoflon" series manufactured by Montedison, "Fluorol" series manufactured by 3M, "Kel-F" series, and the like.
The buffer material 30 may include a heat resistant resin, a glass fiber sheet, a metal foil sheet, and the like.
[0045]
Examples of the material of the flexible metal plate 31 include stainless steel, iron, aluminum, aluminum alloy, and the like, and stainless steel is preferable in terms of rust resistance.
The thickness of the flexible metal plate 31 is preferably 0.1 to 10 mm, and more preferably 1 to 5 mm. If the thickness of the flexible metal plate 31 is less than 0.1 mm, its mechanical strength may be lowered. If it exceeds 10 mm, the flexibility of the metal plate may be lowered. The film thickness of the film-like resin layer 5b after lamination is uniform. This is not preferable because the effect of obtaining the properties may not be sufficiently exhibited.
In addition, when the surface of the flexible metal plate 31 is mirror-polished by buffing or the like, the surface of the laminate 5 can be highly mirror-finished, so that the appearance of the product is excellent.
[0046]
About the installation method of the buffer material 30 and the flexible metal plate 31 to said upper and lower press blocks 7 and 8, the buffer material 30 and the flexible metal plate 31 should just be installed in at least one of the upper and lower press blocks 7 and 8, Preferably Are installed in both. In that case, the flexible metal plate 31 may be disposed on the upper and lower press blocks 7 and 8 with the buffer material 30 interposed therebetween, and the buffer material 30 and the flexible metal plate 31 may be fixed with screws or the like.
[0047]
Furthermore, in this invention, in order to prevent the conveyance of the laminated body 5, the contamination to the apparatus by the resin which oozed out from the resin film-like resin layer 5b, and the adhesion to the laminated body 5, it is possible to use the conveyance film 20 in combination. Preferably, in order to adjust the tension and transport speed of the transport film 20, the unwinding roll 21 is disposed near the entrance of the vacuum laminating apparatus 6, and the winding roll 24 and the nip roll 25 are disposed near the exit of the flat press apparatus 9. ing. Guide rolls 22 are arranged at various points along the passing line of the transport film 20 for guiding the tension of the transport film 20 and holding it in the air.
[0048]
Here, FIG. 1 shows a case where the transport film 20 is used when processing is performed by the vacuum laminating apparatus 6 and the flat press apparatus 9, but the film is used only when processing is performed by the vacuum laminating apparatus 6. The film may be used only when the processing is performed by the flat pressing device 9, and the transport film 20 may be separately installed in the vacuum laminating device 6 and the flat pressing device 9.
[0049]
The transport film 20 is not particularly limited, but is preferably any one of a polyethylene terephthalate film, a polyethylene film, a polypropylene film, a nylon film, a polyimide film, a polystyrene film, and a fluorinated olefin film.
[0050]
Further, the surface roughness Rz of the transport film is preferably 0.35 to 5.0 μm, more preferably 1 to 3 μm, the film thickness is preferably 20 to 100 μm, and more preferably 26 to 50 μm. preferable. If the surface roughness Rz is less than 0.35 μm, air retention occurs between the laminate 5 and the press blocks 7 and 8 during pressing, and the thickness of the film-like resin layer 5b becomes non-uniform. The roughness of the surface of the transport film is transferred to the surface of the film-like resin layer 5b, and the specularity of the surface of the film-like resin layer 5b is impaired. If the film thickness is less than 20 μm, the tear strength of the transport film will be insufficient, and if it exceeds 100 μm, the flexibility of the transport film will be insufficient and the flexible sheet will not be able to follow the irregularities on the surface of the laminate 5. This is not preferable because 5b cannot be adhered to the substrate 5a.
[0051]
As the transport film 20, a film having a good coating thickness accuracy is good, and a polyethylene terephthalate film is preferable. For example, “Lumirror” film manufactured by Toray Industries, Inc. is used.
[0052]
In addition, these surfaces may be appropriately subjected to mat processing, mold release processing, antistatic processing, corona processing, etc. The mat processing is useful for preventing air stagnation in the press, and the mold release processing. It helps to remove the spilled resin, and antistatic treatment is useful for preventing dust adhesion troubles and film rebound troubles. In particular, if the surface in contact with the laminate 5 is matted, for example, if the haze value of the surface (measured using an integrating sphere light transmittance measuring device) is set to about 5 to 40, microvoids can be formed with good air escape during lamination. Less desirable.
[0053]
In the present invention, in carrying out the above laminating method, it is only necessary to heat and press with the flat press device 9 within 12 hours after the pressing process of the vacuum laminating device 6, and particularly within 15 minutes, the vacuum is applied. Since the laminated body discharged from the laminating apparatus 6 is not completely cooled and can be laminated, the film thickness uniformity is further improved, which is preferable. Particularly preferred is a laminating method in which the laminated body 5 is integrated with the vacuum laminating apparatus 6 and the flat press apparatus 9 and continuously processed as shown in FIG. It is sandwiched between films 20 and sent to a flat press device 9.
[0054]
The processing conditions by the flat press device 9 are pressure 1.0 × 10.⁵~ 5.0 × 10⁶Pa is preferable, and 2.0 × 10 is particularly preferable.⁶~ 3.1 × 10⁶Pa. The temperature is preferably 30 to 200 ° C, particularly preferably 100 to 150 ° C. Although the time of this process is not specifically limited, 20-200 seconds are industrially preferable.
[0055]
In addition, when the laminate 5 is heated and pressurized between the press blocks 7 and 8, first, after hydraulic pressure or air pressure is supplied to the cylinder 11 and the laminate 5 is sandwiched between the press blocks 7 and 8, While maintaining this state, it is preferable to operate the

cylinders

11 and 12 sequentially so as to further supply hydraulic pressure or air pressure to the cylinder 12 to clamp the laminate 5.
[0056]
The substrate 5a having projections and depressions used in the present invention is not particularly limited, but a printed substrate having a pattern of copper or the like is preferable, and a multi-layer substrate used in a pill-up method may be used. The thickness of the substrate is not particularly limited, but is preferably about 0.1 to 10 mm. The vertical and horizontal sizes are not particularly limited, but those of about 150 to 800 mm are preferable.
[0057]
Moreover, it is preferable that the film-form resin layer 5b is comprised from a resin composition, a support body film (separator film), or copper foil. Such a resin composition is preferably a resin composition having insulating properties, tackiness, adhesiveness, and hot melt properties, or a resin composition that softens at a glass transition temperature or higher.
[0058]
Examples of such a resin composition include a thermosetting resin composition mainly composed of an epoxy resin, or a photosensitive resin composition composed of a resin, an ethylenically unsaturated compound, and a photopolymerization initiator.
[0059]
Examples of such a support film (separator film) include a polyethylene terephthalate film, a polyethylene film, a polypropylene film, a polyvinyl alcohol film, and an ethylene vinyl acetate copolymer saponified film. Although it does not restrict | limit especially as copper foil, What can melt | dissolve by an etching is preferable.
[0060]
As a commercial product for the build-up method of the film-like resin layer 5b (some of which have a protective film attached), Hitachi Chemical's BF series, BL series, AS series, MCF series, Shipley's MULTIPOSIT-9500 series, Nippon Paint Propicoat series, Ciba Specialty Probelec series, DuPont Valux series, Taiyo Ink PVI series, HBI series, Asahi Denka BUR series, Ajinomoto Co., Inc. ABF series manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd. SB-R series, Mitsui Kinzoku MR series, Matsushita Electric Works R series, Sumitomo Bakelite APL series, Nikkan CAD series, Asahi Kasei PCC series, CBR made by Mitsubishi Gas Chemical Company Leeds, CCL series, GMP series, and the like. Examples of the resin layer for other applications include a resin layer for a photoresist film, a resin layer for a solder resist mask film, and a resin layer for a conform mask film.
[0061]
The front surface or back surface of the film-like resin layer 5b is not particularly limited, but preferably mat treatment is preferable because air escape during lamination is good and there are few microvoids. The mat treatment is not particularly limited, but preferably has a surface roughness Rz of about 3 to 40 μm.
[0062]
In the conventional laminating method, since the thickness of the resin composition layer laminated on the substrate is not constant, the insulation between the substrates is different when the substrates are laminated. Since the thickness of the resin composition layer is constant over the entire surface of the substrate, various applications other than printed circuit boards, for example, when attaching a polarizing plate with an adhesive or a retardation plate with an adhesive on an LCD substrate, This is a very effective apparatus and method when bonding a dicing tape or a film having a hot melt resin, such as an IC card, to the electronic substrate.
[0063]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples.
[0064]
Example 1
A vacuum laminating apparatus 6 and a flat press apparatus 9 as shown in FIG. 1 were used.
First, a thermosetting resin composition made of an epoxy resin (glass transition temperature 80 ° C.) and a film-like resin layer 5b made of a polyethylene terephthalate film (500 mm × 395 mm rectangle, thickness 40 μm) are used as a substrate 5a (510 mm × 405 mm rectangle) The thickness was 0.8 mm), and the film-like resin layer 5b was temporarily fixed by an auto-cut laminator so that the resin surface of the film-like resin layer 5b was in contact with the uneven surface of the substrate 5a.
[0065]
The

flexible sheets

3 and 4 were adjusted to 120 ° C. by a heater built in the upper plate 1 and the lower plate 2 in advance.
After transporting the laminate 5 to the center of the vacuum laminator 6 with a transport film 20 (surface roughness Rz 2 μm, thickness 30 μm) made of a polyethylene terephthalate film, the lower plate 2 is raised and sealed with the upper plate 1. After that, the decompression operation was started. Air is sucked from the

openings

16 and 17 with a vacuum pump, the gap 15 and the space 14 are decompressed to 100 Pa, the opening 16 is opened to the atmosphere, the gap 15 is set to atmospheric pressure, and the thickness is 3 mm. The flexible sheet 3 made of silicon rubber was expanded and the laminate 5 was pressed with the

flexible sheets

3 and 4. Ten seconds later, compressed air was introduced through the opening 16 to make the gap 15 5 × 10 5.⁵The laminate 5 was further strongly clamped with Pa, and the laminate 5 was held at 120 ° C. for 30 seconds. Next, the

spaces

14 and 15 were returned to atmospheric pressure, the lower plate 2 was moved downward, and the laminate 5 pressed by the transport film 20 was discharged.
[0066]
Subsequently, the laminate 5 pressed by the vacuum laminator 6 on the flat press device 9 was conveyed by the conveying film 20. In the upper and lower press blocks 7 and 8, the heating layer 26 is adjusted to 140 ° C. in advance, and the lower press block 8 can swing the universal joint connected to the press block 8 as shown in Steps 1 to 5 of FIG. The hydraulic cylinder 11 having the supporting point joint 10 and the four hydraulic cylinders 12 not connected and fixed to the press block 8 are sequentially operated to move upward, and the laminate 5 is heated to 140 ° C. and pressure 10 ×. 10⁵Clamping was performed while heating at Pa for 80 seconds.
[0067]
Note that stainless steel having a flatness of the press surface of the upper and lower press blocks of 10 μm or less and a Rockwell hardness of 40 degrees or more was used. The heating layer 26 was made of stainless steel having a thickness of 60 mm, nine internal sheath heaters were used, and the base layer 27 was made of iron having a thickness of 80 mm. As the buffer material 30, a vinylidene fluoride rubber (copolymer of vinylidene fluoride, hexafluoropropylene, tetrafluoroethylene) having a thickness of 2.5 mm and a Shore A hardness of 70 degrees is used. A stainless steel plate having a thickness of 2 mm whose surface was mirror-polished was used as 31, and the flexible metal plate 31 was fixed with a screw with a buffer material 30 between the press surface.
[0068]
In the above process, the film thickness uniformity of the obtained laminate 5 was evaluated in the following manner.
(Thickness uniformity)
As shown in FIG. 1, a perpendicular line that divides each side of the laminate 5 into three equal parts is drawn, the laminate 5 is divided into nine areas (A to I), and the film before the pressing process in the central portion of the area E The difference between the thickness of the resin-like resin layer 5b and the thickness of the film-like resin layer 5b after the pressing step was measured and evaluated as follows.
◎ ・・・ less than 2μm
○ ・・・ less than 2-5μm
Δ: Less than 5-10 μm
× ・・・ 10μm or more
[0069]
Moreover, the thickness of the film-form resin layer 5b after the press process in the center part of the areas A to I was measured, and the difference from the area E was evaluated as follows.
◎ ・・・ less than 2μm
○ ・・・ less than 2-5μm
Δ: Less than 5-10 μm
× ・・・ 10μm or more
For the measurement of the thickness of the film-like resin layer 5b, a high-frequency membrane pressure gauge “LH-330C” manufactured by Kett Science Laboratory Co., Ltd. was used.
[0070]
[Figure 1]

[0071]
Example 2
In Example 1, evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using a floating connector instead of a universal joint as the support point joint 10 capable of swinging.
[0072]
Reference example 1
In Example 1, evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the shock absorber 13 was not provided.
[0073]
Comparative Example 1
In Example 1, the universal joint 10 was not provided, and the evaluation was performed and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the hydraulic cylinder 11 was directly connected to the lower press block 8.
[0074]
Comparative Example 2
The evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the cylinder 12 was not provided.
The evaluation results of Examples and Comparative Examples are shown in Table 1.
[0075]
[Table 1]
          In area EDifference from area E
Difference before and after pressing process ABCD FG G H I
Example 1 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
  〃 2 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
Reference example 1        ◎ ○ ○ ○ ◎ ◎ △ △ △
Comparative Example 1 ○ × × × × × × × ×
〃 2 ◎ × × × × × × × ×
[0076]
【The invention's effect】
  In the present invention, an upper plate 1 provided with a flexible sheet 3 and a lower plate 2 provided with a flexible sheet 4 for pressing a laminate 5 comprising a substrate 5a having irregularities and a film-like resin layer 5b. And a flat press device 9 for heat-pressing and pressing the laminate 5 between the upper and lower press blocks 7 and 8 to which one of the laminates 5 can move. In the flat pressing device 9, a hydraulic cylinder or an air cylinder 11 is connected to a central portion of a press block 7 or 8 that moves up and down via a support point joint 10 that can swing, Around the cylinder 11, press blocks 7 and 8 that move up and down and a hydraulic cylinder or air cylinder 12 whose top is not connected and fixed are attached.In addition, a shock absorber 13 is provided between the upper and lower press blocks 7 and 8, and the cylinder 11 operates independently with the cylinder 12 lowered, and the press block 8 is raised without disturbing the operation of the support point joint. Next, the cylinder 12 is operated to pressurize the central portion and the peripheral portion of the press block 8 together with the cylinder 11 to press the laminate 5, and then the cylinder 12 is lowered, and then the cylinder 11 is lowered together with the press block 8. MakeA vacuum stacking apparatus 6 having a vacuum chamber in which an upper plate 1 provided with a flexible sheet 3 and a lower plate 2 provided with a flexible sheet 4 are installed. After pressing the laminate 5 composed of the uneven substrate 5a and the film-like resin layer 5b between the upper and lower plates, the laminate 5 has the upper and lower press blocks 7 and 8 and either of the press blocks 7 and 8. In the method of laminating the laminate 5 by heating and pressing between the upper and lower presses by a flat press device 9 in which one can move, a hydraulic cylinder or an air cylinder 11 is placed at the center of the press block 7 or 8 that moves up and down. Hydraulic pressure that is connected via a support point joint 10 that can be swung, and that does not have a top block connected to the press block that moves up and down around the cylinder 11. It annexed the Linder or air cylinder 12In addition, a shock absorber 13 is provided between the upper and lower press blocks 7 and 8, and the cylinder 11 operates independently with the cylinder 12 lowered, and the press block 8 is raised without disturbing the operation of the support point joint. Next, the cylinder 12 is operated to pressurize the central portion and the peripheral portion of the press block 8 together with the cylinder 11 to press the laminate 5, and then the cylinder 12 is lowered, and then the cylinder 11 is lowered together with the press block 8. MakeBecause of the laminating method, the film-like resin layer 5b has good followability, shows excellent effects in film thickness uniformity and surface smoothness without in-plane variation of the resin layer after lamination, and can be used for multilayer printed circuit boards. It is a very useful laminating apparatus and laminating method.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a main cross-sectional view of a laminating apparatus of the present invention.
FIG. 2 is a horizontal sectional view of a cylinder portion of the flat press device 9 of the present invention.
FIG. 3 is a pressing process diagram in the flat pressing device 9 of the present invention.
FIG. 4 is a horizontal sectional view of a shock absorber portion of the flat press device 9 of the present invention.
[Explanation of symbols]
1 ... Upper plate
2 ... Lower plate
3 ... Flexible sheet attached to the upper plate
4 ... Flexible sheet attached to the lower plate
5 ... Laminated body
5a ... substrate
5b ... Film-like resin layer
6 ... Vacuum lamination equipment
7 ... Upper press block
8 ... Lower press block
9 ... Flat pressing machine
10 ... Support point joint that can swing
11 ... Hydraulic cylinder or air cylinder connected to a swingable support joint
12 ... Hydraulic cylinder or air cylinder not connected to the press block
13 ... Shock absorber
14: Space formed between the

flexible sheets

3 and 4
15: A gap between the upper plate and the flexible sheet 3
16 ... Opening through upper plate
17 ... Opening through the lower plate
18 ... O-ring
19 ... Hydraulic cylinder or air cylinder
20 ... Conveying film
21 ... Unwinding roll
22 ... Guide roll
23 ... conveyor
24 ... Winding roll
25 ... Nip roll
26... Heating layer having a temperature controllable heater
27 ... Base layer
28 ... prop
29 ... Guide
30 ... cushioning material
31 ... Flexible metal plate

Claims

An upper plate 1 provided with a flexible sheet 3 and a lower plate 2 provided with a flexible sheet 4 for pressing a laminate 5 comprising a substrate 5a having unevenness and a film-like resin layer 5b were installed. A laminating apparatus comprising a vacuum laminating apparatus 6 having a vacuum chamber and a flat press apparatus 9 for heat-pressing and compressing the laminated body 5 between upper and lower press blocks 7 and 8 to which one of them can move. In the flat press device 9, a hydraulic cylinder or an air cylinder 11 is connected to a central portion of a press block 7 or 8 that moves up and down via a support point joint 10 that can swing, and further around the cylinder 11. top and press blocks 7 and 8 to be moved additionally provided a hydraulic cylinder or an air cylinder 12 is not connected and fixed vertically, the further vertical press A shock absorber 13 is provided between the locks 7 and 8, and the cylinder 11 is operated alone with the cylinder 12 lowered to raise the press block 8 without disturbing the operation of the support point joint. The cylinder 12 is operated to press the center part and the peripheral part of the press block 8 together with the cylinder 11 to clamp the laminate 5, and then the cylinder 12 is lowered, and then the cylinder 11 is lowered together with the press block 8. A laminating device.

Stacking apparatus of claim 1, wherein the shock absorber 13 is spring or air cylinder.

In the flat press device 9, an upper and lower press block in which a buffer material 30 and a flexible metal plate 31 are sequentially installed on at least one surface of the upper and lower press blocks 7 and 8 so that the metal plate 31 is disposed on the laminated body 5 side. stacking apparatus according to claim 1-2, wherein any one, characterized in that use.

The laminating apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the swingable support point joint 10 is a shaft joint.

Claim 1-4 laminating apparatus according to any one, characterized in that it independently controls a hydraulic or pneumatic pressure supplied to the cylinder 11 and 12.

The laminating apparatus according to any one of claims 1 to 5, further comprising a heater 26 capable of controlling temperature inside the upper and lower press blocks 7 and 8.

The laminating apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein the pressing blocks of the upper and lower press blocks 7 and 8 are press blocks having a flatness of 10 μm or less and a Rockwell hardness of 40 degrees or more.

A conveying film 20 is disposed between the flexible sheet 3 and the flexible sheet 4 by the vacuum laminating device 6 and between the upper press block 7 and the lower press block 8 by the flat press device 9. The laminating apparatus according to any one of claims 1 to 7, wherein:

The laminating apparatus according to claim 8, wherein the transport film 20 has a surface roughness Rz of 0.35 to 5.0 μm and a thickness of 20 to 100 μm.

Using a vacuum laminating apparatus 6 having a vacuum chamber in which an upper plate 1 provided with a flexible sheet 3 and a lower plate 2 provided with a flexible sheet 4 are installed, irregularities are formed between upper and lower plates in the chamber. After pressing the laminate 5 composed of the substrate 5a having the film and the resin film layer 5b, the laminate 5 has the upper and lower press blocks 7 and 8 and one of the press blocks 7 and 8 is movable. In the method of laminating the laminate 5 by heating and pressing between the upper and lower presses by the device 9, a support point joint capable of swinging a hydraulic cylinder or an air cylinder 11 at the center of the press block 7 or 8 moving up and down 10 and a hydraulic cylinder or air cylinder whose top part is not connected and fixed to a press block that moves up and down around the cylinder 11. Annexed to Nda 12, further between the upper and lower press blocks 7 and 8, it was attached to the shock absorber 13, the cylinder 11 in a state in which the cylinder 12 is lowered is operated alone without disturbing the operation of the supporting point joint The press block 8 is raised, then the cylinder 12 is operated to pressurize the central portion and the peripheral portion of the press block 8 together with the cylinder 11 to clamp the laminate 5, and then the cylinder 12 is lowered, and then the cylinder 11 is moved. A laminating method comprising lowering together with the press block 8 .

In the flat press device 9, an upper and lower press block in which a buffer material 30 and a flexible metal plate 31 are sequentially installed on at least one surface of the upper and lower press blocks 7 and 8 so that the metal plate 31 is disposed on the laminated body 5 side. The lamination method according to claim 10, which is used.

A conveying film 20 is disposed between the flexible sheet 3 and the flexible sheet 4 by the vacuum laminating device 6 and between the upper press block 7 and the lower press block 8 by the flat press device 9. The laminating method according to claim 10 or 11 , wherein:

When the laminated body 5 is heated and pressurized between the press blocks 7 and 8, first, hydraulic pressure or air pressure is supplied to the cylinder 11 to sandwich the laminated body 5 between the press blocks 7 and 8. While maintaining the pressure, the cylinder 12 is further operated by supplying hydraulic pressure or air pressure to the cylinder 12 so that the top of the cylinder 12 is brought into contact with a movable press block, and the laminate 5 is pressed with the cylinders 11 and 12. Then, with the cylinder 12 lowered, the cylinder 11 operates alone to raise the press block 8, and then the cylinder 12 is operated to pressurize the central portion and the peripheral portion of the press block 8 together with the cylinder 11. 5 clamping rice, it is then lowered cylinder 12, and then lowering the cylinder 11 with the press block 8 The method of laminating according to any one of claims 10 to 12, wherein.