JP4246332B2 - Pirani gauge pressure measurement circuit - Google Patents
Pirani gauge pressure measurement circuit Download PDFInfo
- Publication number
- JP4246332B2 JP4246332B2 JP30635399A JP30635399A JP4246332B2 JP 4246332 B2 JP4246332 B2 JP 4246332B2 JP 30635399 A JP30635399 A JP 30635399A JP 30635399 A JP30635399 A JP 30635399A JP 4246332 B2 JP4246332 B2 JP 4246332B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- amplifier
- filament
- output
- bridge circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は真空計の測定回路に関し、特に、ピラニ真空計のフィラメント断線を考慮した測定回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
真空雰囲気中では圧力が低いほど断熱効果があり、加熱された物体が冷えにくいことが知られている。その真空の性質を利用した真空計として、真空雰囲気中にフィラメントを置いて通電したときに、フィラメントの温度をフィラメントの抵抗値として測定し、真空雰囲気の圧力を求めるピラニ真空計が多用されている。
【0003】
図2の符号120はピラニ真空計であり、該ピラニ真空計120は、ガラス管球121と、該ガラス管球121内に配置されたフィラメント125とを有している。
【0004】
ガラス管球121には、ガラス導管122の一端が接続されており、該ガラス導管122の他端は、図示しない真空装置に接続されている。このガラス導管122によって、ガラス管球121の内部が真空装置の内部に接続され、ガラス管球121の内部圧力が真空装置内の内部圧力と同じになるように構成されている。
【0005】
図2の符号101は、ピラニ真空計120を用いて、圧力測定を行う圧力測定回路である。この圧力測定回路101は、増幅器131と3個の抵抗素子111〜113とを有している。
【0006】
3個の抵抗素子111〜113と、ピラニ真空計120内のフィラメント125とはブリッジ接続されており、抵抗ブリッジ回路105が構成されている。
【0007】
抵抗ブリッジ回路105の一端は、グラウンド電位に接続されており、他端は、増幅器131の出力端子に接続されており、増幅器131の出力電圧が抵抗ブリッジ回路105に印加されると、抵抗ブリッジ回路105の出力端子a、bから、電圧が出力され、増幅器131の反転入力端子と非反転入力端子に入力されるように構成されている。
【0008】
平衡状態にあり、抵抗ブリッジ回路105の出力端子a、bの電位が等しい場合には、増幅器131の出力電圧は一定値を維持する。他方、出力端子a、b間に電位差が生じた場合、例えば、ガラス管球125内の圧力が低下し、フィラメント125の温度が上昇した場合には、フィラメント125の抵抗値が大きくなるため、フィラメント125に生じる電圧が大きくなる。
【0009】
フィラメント125に生じる電圧は、増幅器105の反転入力端子に入力されており、増幅器131の出力電圧は小さくなる。その結果、抵抗ブリッジ回路105に印加される電圧が小さくなり、フィラメント125に流れる電流が少なくなると、フィラメント125の温度が低下する。フィラメント125が元の温度になると、フィラメント125の抵抗値も元の値に戻るので、抵抗ブリッジ回路105の出力端子a、bは再度同じ電位になり、平衡状態になる。
【0010】
逆に、ガラス管球121内の圧力が上昇し、フィラメント125の温度が低下すると、増幅器131の出力電圧は大きくなり、フィラメント125に流れる電流が増加する。この場合も、フィラメント125が元の温度に戻ったところで抵抗ブリッジ回路105が平衡状態になる。
【0011】
このように、増幅器131の出力電圧は、ガラス管球121内部の圧力変化に応じて変化しており、圧力が低下した場合には出力電圧が低下し、圧力が上昇した場合には出力電圧が上昇する。従って、増幅器131の出力電圧は真空装置内の圧力を指示していることになる。
【0012】
増幅器131の出力端子は、シーケンサー139に接続されており、該シーケンサー139は、増幅器131の出力電圧に基づいて、真空装置に接続されたガス導入系やプラズマ生成装置の電源等を制御しており、真空装置内の圧力変化に応じ、自動的に真空処理プロセスが行われるようになっている。
【0013】
上記のような圧力測定回路101では、フィラメント125は高温に加熱されるため、寿命が短く、断線する場合がある。
【0014】
フィラメン125が断線した場合には、増幅器131の反転入力端子には、増幅器131の出力電圧が入力され、その結果、増幅器131の出力電圧はグラウンド電位まで低下してしまう。
【0015】
上述したように、増幅器131の出力電圧は、高圧力では大きく、低圧力では小さいので、増幅器131からグラウンド電圧が出力されると、シーケンサー139は真空槽内の圧力が高真空状態になったと誤解し、真空処理プロセスを開始してしまうと、大変に不都合である。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、フィラメントの断線を検出できる測定回路に関する。
【0017】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1記載の発明は、ピラニ真空計のフィラメントを含む直列回路の中に含まれる第一の出力端子と、抵抗の直列回路中に含まれた第二、第三の出力端子とを有し、前記第三の出力端子には、前記第二の出力端子よりも高電圧が出力される抵抗ブリッジ回路と、前記フィラメントに生じる電圧が大きくなると出力電圧が小さくなり、前記フィラメントに生じる電圧が小さくなると出力電圧が大きくなるように、反転入力端子と非反転入力端子が前記抵抗ブリッジ回路の前記第一、第二の出力端子にそれぞれ接続された第1の増幅器とを有し、前記第1の増幅器の出力電圧の大きさに応じた電圧が、前記抵抗ブリッジ回路に印加されるように構成された圧力測定回路であって、非反転入力端子と反転入力端子が前記抵抗ブリッジ回路の前記第一、第三の出力端子に接続され、前記ブリッジ回路から入力される電圧を増幅し、前記フィラメントの断線前は前記第1の増幅器の出力電圧よりも低い電圧を出力し、前記フィラメントの断線後は、前記第1の増幅器の出力電圧よりも大きな異常状態電圧を出力する第2の増幅器が設けられ、前記異常状態電圧を検出して前記フィラメントの断線を検知できるように構成された圧力測定回路である。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の圧力測定回路であって、前記第1の増幅回路の出力端子と前記抵抗ブリッジ回路の間には第1のダイオード素子が挿入され、前記第2の増幅器の出力端子は、第2のダイオード素子を介して前記抵抗ブリッジ回路に接続され、前記フィラメントの断線前は、前記第1のダイオードが順バイアスされ、前記第2のダイオード素子は逆バイアスされ、前記フィラメントの断線後は、前記第2の増幅器から出力される前記異常状態電圧により、前記第2のダイオードが順バイアスされ、前記第1のダイオードが逆バイアスされる圧力測定回路である。
【0018】
本発明は上記のように構成されており、ピラニ真空計のフィラメントを含む4個の抵抗で抵抗ブリッジ回路を構成し、抵抗ブリッジ回路の出力端子間の電位差を第1の増幅器によって増幅している。
【0019】
第1の増幅器の極性は、フィラメントに生じる電圧が大きくなると出力電圧が小さくなり、逆にフィラメントに生じる電圧が小さくなると出力電圧が大きくなりように接続されている。
【0020】
第1の増幅器の出力電圧は、第1のダイオード素子を介して抵抗ブリッジ回路に印加されており、その結果負帰還ループが形成され、反転入力端子と非反転入力端子が同電位にされる結果、フィラメントの抵抗値、即ちフィラメントの温度が一定に維持される。このときの抵抗ブリッジ回路に印加される電圧は、真空装置内の圧力を示している。
【0021】
第1の増幅器が上記のような極性で接続されている場合、フィラメントが断線するとフィラメントに生じる電圧が非常に大きくなったのと同じ状態になり、その結果、第1の増幅器は最低電圧を出力してしまう。
【0022】
このとき、第2の増幅器が大きな電圧を出力するので、第1のダイオード素子が逆バイアスされ、第1の増幅器は抵抗ブリッジ回路から切り離され、第2の増幅器の出力電圧が抵抗ブリッジ回路に印加されるようになる。
【0023】
大きな電圧は、圧力が高い状態を示しているため、シーケンサーやコンピューターにより、異常があったことを検出することができる。
【0024】
第2の増幅器の出力端子に第2のダイオード素子を接続し、フィラメントが断線していない状態では、第2のダイオード素子が逆バイアスされるようにしておくと、ピラニ真空計が正常に動作している状態では、第2の増幅器を抵抗ブリッジ回路から切り離すことができる。
【0025】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施例を図面を用いて説明する。
図1を参照し、符号1は本発明の一例の測定回路であり、抵抗ブリッジ回路5と、第1、第2の増幅器31、32と、第1、第2のダイオード素子41、42と、NPNトランジスタ44とを有している。
【0026】
符号20はピラニ真空計であり、抵抗ブリッジ回路5は、ピラニ真空計20のガラス管球21内部に配置されたフィラメント25と、抵抗器12と、2個の抵抗素子11、13とがブリッジ接続されて構成されている。
【0027】
符号Eは、抵抗ブリッジ回路5の電源端子であり、符号Gはグラウンド端子である。フィラメント25の一端はグラウンド端子Gに接続され、他端は1個の抵抗素子11の一端に接続されている。この抵抗素子11の他端は電源端子Eに接続されている。また、他の抵抗素子13の一端はグラウンド端子Gに接続され、その他端は、抵抗器12の一端に接続されている。抵抗器12の他端は電源端子Eに接続されている。
【0028】
フィラメント25と抵抗素子11とが接続された部分と、抵抗器12と抵抗素子13とが接続された部分は、それぞれ抵抗ブリッジ回路5の出力端子A、Bにされている。
【0029】
出力端子A、Bのうち、フィラメント25の電圧が現れる出力端子Aは第1の増幅器31の反転入力端子に接続されており、他の出力端子Bは第1の増幅器31の非反転入力端子に接続されている。
【0030】
増幅器31の出力端子は第1のダイオード素子41のアノード端子に接続されており、該第1のダイオード素子41のカソード端子はNPNトランジスタ44のベース端子に接続されている。
【0031】
NPNトランジスタ44のコレクタ端子は電源47に接続されており、エミッタ端子は抵抗ブリッジ回路5の電源端子部分Eに接続されている。
【0032】
従って、NPNトランジスタ44は、第1の増幅器31の出力電圧によって制御され、電源47から抵抗ブリッジ回路5に電流を供給するようになっており、フィラメント25に生じる電圧が大きくなり、第1の増幅器31の反転入力端子の電位が上昇すると、NPNトランジスタ44のベース端子の電位は下がり、抵抗ブリッジ回路5に供給される電流は少なくなる。その結果、フィラメント25への通電量が減少し、温度が低下して抵抗値が下がる結果、抵抗ブリッジ回路5の2個の出力端子A、Bの電位は等しくなる。
【0033】
逆に、フィラメント25に生じる電圧が減少した場合、抵抗ブリッジ回路5に供給される電流は増大し、フィラメント25への通電量が増加する結果、温度上昇によって抵抗値が大きくなり、出力端子A、B間の電位が等しくなる。このように、フィラメント25の温度は一定に維持されている。
【0034】
ガラス管球21には、ガラス導管22の一端が接続されており、その他端を図示しない真空装置に接続した場合には、ガラス導管22によって、ガラス管球121の内部が真空装置の内部に接続される。フィラメント25の温度が一定に維持されている場合、抵抗ブリッジ回路5へ印加される電圧(抵抗ブリッジ回路5の電源端子Eの電圧)は、ガラス管球21内の圧力、即ち、真空装置内の圧力を示している。
【0035】
抵抗ブリッジ回路5に印加される電圧は、シーケンサー39にも入力されており、従って、シーケンサー39が入力された電圧によって真空装置内の圧力を検出し、真空装置に接続されたガス導入系や電源を動作させ、真空装置内でのプロセスを自動的に進行させるように構成されている。
【0036】
この測定回路1では、抵抗器12は、2個の抵抗素子121、122が直列接続されて構成されており、その接続中点Cは、第2の増幅器32の反転入力端子に接続されている。
【0037】
フィラメント25の電圧が現れる出力端子Aは、第2の増幅器32の非反転入力端子に接続されており、第2の増幅器32の出力端子は、第2のダイオード素子のアノード端子に接続されている。第2のダイオード素子のカソード端子はNPNトランジスタ44のベース端子に接続されている。
【0038】
抵抗器12は電源端子Eに接続されており、その抵抗器12に直列接続された抵抗素子13はグラウンド端子Gに接続されているため、抵抗器12内の抵抗素子121、122の接続中点Cの電位は、抵抗器12と抵抗素子13の接続部分の出力端子Bの電位よりも必ず高い。
【0039】
平衡状態では出力端子A、Bの電位は等しくなっており、平衡状態ではない場合でも、フィラメント25が断線していない限り、出力端子A、Bの電位はほぼ等しい大きさになっている。
【0040】
従って、フィラメント25が断線してない場合、接続中点Cの電位は、出力端子A、Bの電位よりも高くなっており、その結果、第2の増幅器32は、最低電圧(グラウンド電圧)を出力する。
【0041】
フィラメント25が断線していない場合、NPNトランジスタ44のベース端子には、第1の増幅器31から、真空装置内の圧力に応じた大きさの電圧が印加されているから、第2の増幅器32の出力端子に接続された第2のダイオード素子42は逆バイアスされ、第2の増幅器32は、NPNトランジスタ44のベース端子から切り離された状態になっている。
【0042】
フィラメント25が断線した場合、フィラメント25の電圧が現れる出力端子Aが、抵抗ブリッジ回路5の電源端子Eの電位(NPNトランジスタ44のエミッタ端子の電位)と同じ電位になる。
【0043】
他方、抵抗器12と抵抗素子13の接続部分の出力端子Bは、電源端子Eの電位を、抵抗器12と抵抗素子13とで分圧した大きさである。
この状態では、第2の増幅器32の反転入力端子の電位が上昇したことになるため、第2の増幅器32の出力電圧は、電源電圧付近まで上昇する。
【0044】
このとき、第1の増幅器31では、非反転入力端子の電位が上昇したことになるから、第1の増幅器31の出力電圧は最低電圧(ここではグラウンド電位)まで低下する。
【0045】
この状態では、第1のダイオード素子41は逆バイアスされ、第2のダイオード素子42が順バイアスされるから、第1の増幅回路31がNPNトランジスタ44のベース端子から切り離された状態で、第2の増幅器32の出力電圧によってNPNトランジスタ44が駆動され、抵抗ブリッジ回路5に電源47と同程度の最大電圧を印加する。
【0046】
この電圧は、真空装置内の圧力が非常に大きくなったのと同じ状態を示しており、ピラニ真空計20の通常の出力範囲を超えている場合、シーケンサー39は、異常状態が生じたと認識できるので、プロセスを停止させたり、異常警報を発することができる。
【0047】
なお、以上はNPNトランジスタ44をシーケンサー39に直結させたが、NPNトランジスタ44のエミッタ端子は、フォトカプラを介してシーケンサーに接続してもよい。
【0048】
また、シーケンサー39に替え、コンピュータを用いてもよい。更に、NPNトランジスタ44のエミッタ端子をCUPのI/Oポートに接続してもよい。但し、本発明の圧力測定回路1には、シーケンサー39やコンピュータは必ずしも必要がなく、圧力を表示する装置であってもよい。
【0049】
また、上記圧力測定回路1では、NPNトランジスタ44を用いたが、MOSトランジスタや増幅器を用いてもよい。第1、第2の増幅器31、32の電流駆動能力が高い場合は省略することができる。
【0050】
【発明の効果】
高真空状態で断線した場合でも、低真空状態で断線した場合でも、出力電圧がピラニ真空計の測定範囲外に上昇するので、断線を間違いなく(誤認することなく)検知することができる。
フィラメントの断線を検知できるので、真空槽内のプロセスを停止させ、不良品の発生を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の圧力測定回路の一例
【図2】従来技術の圧力測定回路
【符号の説明】
1……圧力測定装置
5……ブリッジ回路
20……ピラニ真空計
25……フィラメント
31……第1の増幅器
32……第2の増幅器
41……第1のダイオード素子
42……第2のダイオード素子[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a measurement circuit for a vacuum gauge, and more particularly to a measurement circuit in consideration of filament breakage of a Pirani vacuum gauge.
[0002]
[Prior art]
It is known that in a vacuum atmosphere, the lower the pressure, the better the heat insulation effect, and the heated object is difficult to cool. As a vacuum gauge utilizing the property of the vacuum, when a filament is placed in a vacuum atmosphere and energized, the temperature of the filament is measured as the resistance value of the filament, and the Pirani vacuum gauge is used to find the pressure in the vacuum atmosphere. .
[0003]
[0004]
One end of a
[0005]
A
[0006]
The three
[0007]
One end of the
[0008]
When in an equilibrium state and the potentials at the output terminals a and b of the
[0009]
The voltage generated in the
[0010]
Conversely, when the pressure in the
[0011]
As described above, the output voltage of the
[0012]
The output terminal of the
[0013]
In the
[0014]
When the
[0015]
As described above, the output voltage of the
[0016]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention has been created to solve the above-described disadvantages of the prior art, and an object thereof relates to a measurement circuit capable of detecting a breakage of a filament.
[0017]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to
The invention according to claim 2 is the pressure measuring circuit according to
[0018]
The present invention is configured as described above, and a resistance bridge circuit is configured by four resistors including a filament of a Pirani gauge, and a potential difference between output terminals of the resistance bridge circuit is amplified by a first amplifier. .
[0019]
The polarity of the first amplifier is such that the output voltage decreases as the voltage generated in the filament increases, and conversely the output voltage increases as the voltage generated in the filament decreases.
[0020]
The output voltage of the first amplifier is applied to the resistance bridge circuit via the first diode element. As a result, a negative feedback loop is formed, and the inverting input terminal and the non-inverting input terminal are set to the same potential. The filament resistance value, i.e. the filament temperature, is kept constant. The voltage applied to the resistance bridge circuit at this time indicates the pressure in the vacuum apparatus.
[0021]
When the first amplifier is connected with the polarity as described above, when the filament is disconnected, the voltage generated in the filament becomes the same as that of the filament. As a result, the first amplifier outputs the lowest voltage. Resulting in.
[0022]
At this time, since the second amplifier outputs a high voltage, the first diode elements are reverse biased, the first amplifier disconnected from resistance bridge circuit, applying an output voltage of the second amplifier is a resistance bridge circuit Will come to be.
[0023]
Since a large voltage indicates a high pressure state, an abnormality can be detected by a sequencer or a computer.
[0024]
If the second diode element is connected to the output terminal of the second amplifier and the filament is not disconnected, the Pirani gauge can operate normally if the second diode element is reverse-biased. In this state, the second amplifier can be disconnected from the resistance bridge circuit.
[0025]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
Referring to FIG. 1,
[0026]
[0027]
Symbol E is a power supply terminal of the
[0028]
A portion where the
[0029]
Of the output terminals A and B, the output terminal A at which the voltage of the
[0030]
The output terminal of the
[0031]
The collector terminal of the
[0032]
Therefore, the
[0033]
Conversely, when the voltage generated in the
[0034]
One end of a
[0035]
The voltage applied to the
[0036]
In the
[0037]
The output terminal A at which the voltage of the
[0038]
Since the
[0039]
The potentials of the output terminals A and B are equal in the equilibrium state, and the potentials of the output terminals A and B are substantially equal as long as the
[0040]
Therefore, when the
[0041]
When the
[0042]
When the
[0043]
On the other hand, the output terminal B at the connection portion between the
In this state, since the potential at the inverting input terminal of the
[0044]
At this time, in the
[0045]
In this state, since the
[0046]
This voltage indicates the same state as when the pressure in the vacuum apparatus becomes very large. When the voltage exceeds the normal output range of the
[0047]
Although the
[0048]
Further, a computer may be used instead of the
[0049]
In the
[0050]
【The invention's effect】
Whether the wire breaks in a high vacuum state or in a low vacuum state, the output voltage rises outside the measurement range of the Pirani gauge, so that the wire break can be detected without mistake (without misunderstanding).
Since the breakage of the filament can be detected, the process in the vacuum chamber can be stopped and the generation of defective products can be prevented.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an example of a pressure measuring circuit according to the present invention. FIG. 2 is a pressure measuring circuit according to the prior art.
DESCRIPTION OF
Claims (2)
前記フィラメントに生じる電圧が大きくなると出力電圧が小さくなり、前記フィラメントに生じる電圧が小さくなると出力電圧が大きくなるように、反転入力端子と非反転入力端子が前記抵抗ブリッジ回路の前記第一、第二の出力端子にそれぞれ接続された第1の増幅器とを有し、
前記第1の増幅器の出力電圧の大きさに応じた電圧が、前記抵抗ブリッジ回路に印加されるように構成された圧力測定回路であって、
非反転入力端子と反転入力端子が前記抵抗ブリッジ回路の前記第一、第三の出力端子に接続され、前記ブリッジ回路から入力される電圧を増幅し、前記フィラメントの断線前は前記第1の増幅器の出力電圧よりも低い電圧を出力し、前記フィラメントの断線後は、前記第1の増幅器の出力電圧よりも大きな異常状態電圧を出力する第2の増幅器が設けられ、前記異常状態電圧を検出して前記フィラメントの断線を検知できるように構成された圧力測定回路。 A first output terminal included in the series circuit comprising a filament of a Pirani gauge, the second contained in the series circuit of resistors, possess a third output terminal, said third output terminal Is a resistance bridge circuit that outputs a higher voltage than the second output terminal ;
The inverting input terminal and the non-inverting input terminal are connected to the first and second of the resistance bridge circuit so that the output voltage decreases as the voltage generated in the filament increases, and the output voltage increases as the voltage generated in the filament decreases . A first amplifier connected to each of the output terminals of
A pressure measuring circuit configured to apply a voltage corresponding to the output voltage of the first amplifier to the resistance bridge circuit;
A non-inverting input terminal and an inverting input terminal are connected to the first and third output terminals of the resistance bridge circuit to amplify a voltage input from the bridge circuit, and the first amplifier before disconnection of the filament outputs a voltage lower than the output voltage, after disconnection of the filament, the second amplifier is provided for outputting a large abnormal-state voltage than the output voltage of the first amplifier, detects the abnormal state voltage A pressure measuring circuit configured to detect disconnection of the filament.
前記第2の増幅器の出力端子は、第2のダイオード素子を介して前記抵抗ブリッジ回路に接続され、前記フィラメントの断線前は、前記第1のダイオードが順バイアスされ、前記第2のダイオード素子は逆バイアスされ、
前記フィラメントの断線後は、前記第2の増幅器から出力される前記異常状態電圧により、前記第2のダイオードが順バイアスされ、前記第1のダイオードが逆バイアスされる請求項1記載の圧力測定回路。A first diode element is inserted between the output terminal of the first amplifier circuit and the resistance bridge circuit,
The output terminal of the second amplifier is connected to the resistance bridge circuit via a second diode element, and the first diode is forward-biased before the filament breaks, and the second diode element is Reverse biased,
2. The pressure measuring circuit according to claim 1, wherein, after the filament is disconnected, the second diode is forward-biased and the first diode is reverse-biased by the abnormal state voltage output from the second amplifier. .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30635399A JP4246332B2 (en) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | Pirani gauge pressure measurement circuit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30635399A JP4246332B2 (en) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | Pirani gauge pressure measurement circuit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001124651A JP2001124651A (en) | 2001-05-11 |
JP4246332B2 true JP4246332B2 (en) | 2009-04-02 |
Family
ID=17956064
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30635399A Expired - Lifetime JP4246332B2 (en) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | Pirani gauge pressure measurement circuit |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4246332B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007285947A (en) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Shimadzu Corp | Vacuum gauge |
-
1999
- 1999-10-28 JP JP30635399A patent/JP4246332B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001124651A (en) | 2001-05-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10261122B2 (en) | Aging determination of power semiconductor device in electric drive system | |
US6838201B2 (en) | Fuel cell stack coolant conductivity monitoring circuit | |
CN102656533B (en) | Cooling control circuit for peltier element | |
JP4246332B2 (en) | Pirani gauge pressure measurement circuit | |
TWI614485B (en) | Temperature sensing apparatus and temperature sensing method thereof | |
JPS59144208A (en) | Apparatus for protecting power element of integrated circuit | |
US7661305B2 (en) | Airflow detection apparatus | |
CN110441699B (en) | Battery voltage detection circuit and battery voltage detection device | |
US6717416B2 (en) | Circuit configuration for the voltage supply of a two-wire sensor | |
JP2001015060A (en) | Thermionic emission current control circit for gauge head of quadrupole mass spectrometer or hot cathode ionization gage | |
KR100446390B1 (en) | Operation check circuit of transistor in liquid crystal display device, especially including voltage measurement unit and current measurement unit and analog multiplier and comparison unit | |
JP3480910B2 (en) | Sensor circuit | |
CN218601417U (en) | Switch detection circuit, device and equipment | |
TW201923318A (en) | Operating system and control circuit thereof | |
JP2000354322A (en) | Protection relay | |
CN213698447U (en) | Humidifier bottom plate, humidifier and ventilation treatment equipment | |
KR970007976B1 (en) | Impulse measurement apparatus of transistor | |
KR100306079B1 (en) | Water level sensing method using an electrode and device thereof | |
JP2001356139A (en) | Current detecting circuit | |
KR20000059385A (en) | System for protecting heat member of semiconductor manufacturing equipment | |
JPS63214787A (en) | Lighting apparatus for liquid crystal tv | |
JPH0515050A (en) | Fault detecting device for power transistor | |
JPH11183296A (en) | Hot-cathode ionization vacuum gage | |
CN108036831A (en) | Fluid flow detection circuit | |
CN114935413A (en) | High temperature detecting device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050805 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080520 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20080630 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080630 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081118 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20081120 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090106 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090108 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4246332 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120116 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130116 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130116 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150116 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |