JP4241060B2 - Method for forming inclined surface of microlens array - Google Patents
Method for forming inclined surface of microlens array Download PDFInfo
- Publication number
- JP4241060B2 JP4241060B2 JP2003013785A JP2003013785A JP4241060B2 JP 4241060 B2 JP4241060 B2 JP 4241060B2 JP 2003013785 A JP2003013785 A JP 2003013785A JP 2003013785 A JP2003013785 A JP 2003013785A JP 4241060 B2 JP4241060 B2 JP 4241060B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inclined surface
- bar
- lens
- juxtaposed
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、マイクロレンズアレイにおいてレンズ形成面とは反対側の光入射面に反射戻り光抑制用の傾斜面を形成する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、光ファイバからの射出光をコリメート(平行光化)するためのマイクロレンズアレイにおいてレンズ形成面とは反対側の光入射面に傾斜角が8度程度の傾斜面を設けて光入射面から光ファイバに反射戻り光が入射するのを抑制することが知られている。
【0003】
マイクロレンズアレイに傾斜面を形成する方法としては、一方の主面に多数のレンズが行列状に形成されたレンズ基板を例えば行毎にダイシングしてバー状のマイクロレンズアレイを形成した後、各バー状マイクロレンズアレイを他方の主面が所定の研磨角(傾斜角)となるように研磨治具に装着して研磨処理を行なう方法が使用されている。なお、「マイクロレンズ、反射防止、斜め」をキーワードとして特許及び実用新案の公開公報をサーチしたが、本願発明に近い技術はサーチできなかった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記した従来技術によると、ウエハ状態のマイクロレンズアレイ(二次元マイクロレンズアレイ)をバー状のマイクロレンズアレイ(一次元マイクロレンズアレイ)にする必要があり、ウエハ状態のマイクロレンズアレイに対して直接的に反射戻り光抑制用の傾斜面を形成することができない。このため、バー状態でのハンドリングや研磨治具への着脱等により作業効率が低下するのを免れなかった。また、傾斜面の形成後にマイクロレンズアレイの両面に界面での反射を防止するための反射防止膜を形成することがあるが、このような反射防止膜形成処理をバー状のマイクロレンズアレイ毎に施すのも作業効率が良好でなかった。
【0005】
この発明の目的は、ウエハ状態でマイクロレンズアレイの光入射面に反射戻り光抑制用の傾斜面を効率良く形成することができる新規なマイクロレンズアレイの傾斜面形成法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明に係るマイクロレンズアレイの傾斜面形成法は、
長さ方向の一辺に沿って複数の傾斜面が鋸歯状に連なる金属製のバー並置板を薄膜プロセスにより複数枚作成する工程と、
前記複数枚のバー並置板を各傾斜面が上向きの状態でバー並置板の長さ方向に直交する方向に傾斜面位置が揃うように並べて保持する工程と、
前記複数枚のバー並置板を並べて保持した状態において位置が揃った1組の傾斜面毎に角柱状バーを配置して前記複数枚のバー並置板の上部に複数の角柱状バーを並置する工程と、
前記複数枚のバー並置板の上部に前記複数の角柱状バーを並置した状態において前記複数の角柱状バーを前記複数枚のバー並置板側とは反対側にて固定基板に接着して固定する工程と、
前記複数の角柱状バーを前記固定基板に固定した状態において前記複数枚のバー並置板の上部から分離することにより前記複数の角柱状バーが固定側とは反対側にて複数の傾斜面を鋸歯状に連ねた傾斜面連鎖パターンを露呈する状態にする工程と、
一方の主面に複数のレンズが形成されたレンズ基板において他方の主面に形成されたレプリカ材層に対して前記複数の角柱状バーの傾斜面連鎖パターンを複数の傾斜面が前記複数のレンズにそれぞれ対向するように転写する工程と、
前記レプリカ材層に転写された傾斜面連鎖パターンをエッチング処理により前記レンズ基板の他方の主面に転写して前記複数のレンズにそれぞれ対向するように複数の傾斜面を前記レンズ基板の他方の主面に形成する工程と
を含むものである。
【0007】
この発明のマイクロレンズアレイの傾斜面形成法によれば、薄膜プロセスにより複数枚のバー並置板を作成した後、複数枚のバー並置板を各傾斜面が上向きの状態で傾斜面位置が揃うように並べて保持する。このとき、保持手段としては、一方の主面に並置板挿入溝が並設された並置板保持具を用いると便利である。
【0008】
複数枚のバー並置板を並べて保持した状態において位置が揃った1組の傾斜面毎に角柱状バーを配置して複数枚のバー並置板の上部に複数の角柱状バーを並置する。複数の角柱状バーは、石英等からなる板材をダイシングするなどして簡単に作成できる。複数の角柱状バーを複数枚のバー並置板の上部に並置した状態において複数の角柱状バーをバー並置板側とは反対側で固定基板に接着して固定し、このような固定状態において複数の角柱状バーを複数枚のバー並置板の上部から分離する。この結果、固定基板に固定された状態の複数の角柱状バーは、固定側とは反対側にて複数の傾斜面を鋸歯状に連ねた傾斜面連鎖パターンを露呈する状態となる。
【0009】
この後、一方の主面に複数のレンズが形成されたレンズ基板において他方の主面に形成された樹脂等からなるレプリカ材層に複数の角柱状バーの傾斜面連鎖パターンを転写する。そして、レプリカ材層に転写された傾斜面連鎖パターンをレンズ基板の他方の主面にエッチング処理により転写して複数のレンズにそれぞれ対向するように複数の傾斜面を形成する。
【0010】
このように、この発明では、レンズ基板上のレプリカ材層に傾斜面連鎖パターンを転写し、レプリカ材層の傾斜面連鎖パターンをエッチング処理によりレンズ基板に転写するようにしたので、レンズ基板を分割することなくウエハ状態のままで効率的に傾斜面形成を行なうことができる。
【0011】
この発明のマイクロレンズアレイの傾斜面形成法において、前記レンズ基板の一方の主面には前記複数のレンズとして行列状配置のレンズが形成されており、前記レプリカ材層に前記複数の角柱状バーの傾斜面連鎖パターンを転写する工程では、複数の傾斜面が前記レンズ基板の複数のレンズ行(又はレンズ列)にそれぞれ対向するように転写を行ない、前記レプリカ材層の傾斜面連鎖パターンを前記レンズ基板の他方の主面に転写する工程では、前記レンズ基板の複数のレンズ行(又はレンズ列)にそれぞれ対向するように複数の傾斜面を形成してもよい。このようにすると、行列状配置(二次元配置)のレンズが形成されたレンズ基板を分割することなくウエハ状態のままで効率的に傾斜面形成を行なうことができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
図1〜6は、この発明の一実施形態に係るマイクロレンズアレイの傾斜面形成法を示すもので、各々の図に対応する工程(1)〜(6)を順次に説明する。
【0013】
(1)メッキ処理等を含む薄膜プロセスによりNi−Fe合金からなるバー並置板12aを作成する。バー並置板の具体的な作成法については、図11〜16を参照して後述する。バー並置板12aは、一例として細長い長方形状のもので、長さ方向の一辺に沿って傾斜面R1〜R7が鋸歯状に連なるように設けられている。バー並置板12aにおいて、長さAは60mm、厚さT(図7,15参照)は50〜100μm、傾斜面の傾斜角θは5〜15度(好ましくは8度)とすることができる。傾斜角θを有するバー並置板12aは、薄膜プロセスにおいて縮小投影露光装置を用いてレジストパターンを決定するため、縮小投影露光装置の精度に等しい0.1〜0.2μmの精度で形成することができる。
【0014】
図1の工程では、バー並置板12aと同様の構成を有するバー並置板12b,12c(図7参照)が薄膜プロセスにより作成される。この実施形態では、3枚のバー並置板12a〜12cを用いるが、バー並置板の使用枚数は、2枚でも、3枚以上でもよい。
【0015】
(2)次に、図7に示すような並置板保持具10において一方の主面に並設された並置板挿入溝10a,10b,10cにバー並置板12a,12b,12cを各傾斜面が上向きとなるようにそれぞれ挿入する。このとき、バー並置板12a〜12cは、バー並置板の長さ方向に直交する方向に傾斜面位置が揃うように並べて保持された状態となる。挿入溝10a,10b間の間隔及び挿入溝10b,10c間の間隔は、並置板12a〜12cが石英バーB1〜B7を保持できるように石英バーの長さに対応して予め設定されている。
【0016】
石英バーB1〜B7は、例えば石英板をダイシングするなどして作成されたもので、いずれも角柱状(長さ方向に直交する断面が四辺形状)のものである。B1等の各石英バーにおいて、長さ方向に直交する断面の一辺の長さP及びその燐辺の長さQはそれぞれ1.2mm及び1.5mm、長さRは76mmとすることができる。
【0017】
図7に示すように並置板保持具10上に並列的に保持されたバー並置板12a〜12cの上部には、位置が揃った1組の傾斜面毎に石英バーを配置することにより石英バーB1〜B7を並置する。図2に示す断面は、図7に示すバー並置板12aの長さ方向に沿い且つ傾斜面R1〜R7を通るように切断したときの断面に相当する。並置板12aの上部において、石英バーB1〜B7は、傾斜面R1〜R7によりそれぞれ保持されており、並置板12b,12cにおいても同様にして石英バーB1〜B7が保持される。並置板12a〜12cが薄膜プロセスにより寸法精度良く形成されているため、石英バーB1〜B7を精度良く並置することができる。
【0018】
(3)バー並置板12a〜12cの上部に石英バーB1〜B7が並置された状態において、石英バーB1〜B7を並置板側とは反対側にて接着層16により固定基板14に接着・固定する。固定基板14としては、2mm程度の厚さを有する石英基板を用いることができる。接着層16を構成する接着剤としては、紫外線硬化性のUV接着剤を用いることができる。この場合、基板14の一方の主面にUV接着剤を塗布して流動性又は柔軟性がある状態で基板14の一方の主面を接着層16を介して石英バーB1〜B7に押し当て、この状態で接着層16に紫外線を照射して接着層16を硬化させることで固定を達成する。
【0019】
(4)基板14に固定された石英バーB1〜B7を固定状態のままバー並置板12a〜12cの上部から分離する。この結果、石英バーB1〜B7は、固定側とは反対側にて複数の傾斜面R11〜R17を鋸歯状に連ねた傾斜面連鎖パターンを露呈する状態となる。
【0020】
次に、石英等からなるレンズ基板18を用意する。このレンズ基板18の一方の主面には、図4,8に示すように互いに直交するX,Y方向に沿って行列状に凸状のレンズL11,L12,L13,L14…、L21,L22,L23,L24…、L31,L32,L33,L34…、L41,L42,L43,L44…、L51…、L61…、L71…が形成されている。レンズ基板18の他方の主面には、レプリカ材層20を塗布法等により形成する。レプリカ材層20としては、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂又はレジスト等の樹脂を用いることができる。レプリカ材層20は、後工程でエッチングマスクとして用いられるもので、0.1〜0.2mm程度の厚さで形成することができる。
【0021】
(5)図4に示すようにレンズ基板18上のレプリカ材層20に対して固定基板14に固定された石英バーB1〜B7の固定側とは反対側を押し当てることにより図5に示すように石英バーB1〜B7の傾斜面連鎖パターンをレプリカ材層20に転写する。転写後に石英バーB1〜B7がレプリカ材層20から離れ易くするため、転写前に石英バーB1〜B7の固定側とは反対側に離型剤を塗布しておくとよい。図5において、R21〜R27は、石英バーB1〜B7の傾斜面R11〜R17にそれぞれ対応して形成された傾斜面を示し、レプリカ材層20は、傾斜面R21〜R27が鋸歯状に連なる傾斜面連鎖パターンを有する状態となる。
【0022】
石英バーB1〜B7の傾斜面連鎖パターンをレプリカ材層20に転写する際には、図5,8に示すように傾斜面R21,R22…R27がレンズL11,L21…L71をそれぞれ含む第1〜第7のレンズ行にそれぞれ対向するように転写を行なう。他の例としては、傾斜面R21,R22…R27がレンズL11,L12…L17(図示せず)をそれぞれ含む第1〜第7のレンズ列にそれぞれ対向するように転写を行なってもよい。
【0023】
(6)傾斜面R21〜R27が鋸歯状に連なる傾斜面連鎖パターンを有するレプリカ材層20をエッチングマスクとするドライエッチング処理をレンズ基板18の他方の主面に施すことによりレプリカ材層20の傾斜面連鎖パターンをレンズ基板18の他方の主面に転写する。この結果、レンズ基板18の他方の主面には、図6,8〜10に示すようにレンズL11,L21…L71をそれぞれ含む第1〜第7のレンズ行にそれぞれ対向するように傾斜面R31,R32…R37が形成される。
【0024】
前述したように図5の工程において傾斜面R21,R22…R27がレンズL11,L12…L17をそれぞれ含む第1〜第7のレンズ列にそれぞれ対向するように石英バーB1〜B7の傾斜面連鎖パターンの転写を行なった場合には、図6の工程においてレンズL11,L12…L17をそれぞれ含む第1〜第7のレンズ列にそれぞれ対向するように傾斜面R31,R32…R37が形成される。
【0025】
図9,10には、上記した傾斜面形成法により得られたマイクロレンズアレイの使用状況が示されている。レンズ基板18の一方の主面に形成されたレンズL11〜L14には、他方の主面に形成された傾斜面R31を介して光ファイバF11〜F14からの射出光Lがそれぞれ入射し、L11等の各レンズ毎に入射光Lがコリメートされる。このとき、図10に示すように傾斜角θを有する傾斜面R31では、入射光Lの一部が反射され、反射光Lrは光ファイバF11から逸れ、光ファイバF11に入射しない。すなわち、傾斜面R31を設けたことで光ファイバF11に戻る反射光や光ファイバF12に入射する反射光を低減することができる。このことは、R32等の他の傾斜面についても同様である。
【0026】
図11〜16は、この発明に係るバー並置板作成法の一例を示すものである。
【0027】
図11の工程では、石英基板30の一方の主面にスパッタ法によりCr層32及びCu層34を順次に堆積してメッキ下地層としてのCu/Cr積層を形成する。Cr層32及びCu層34の厚さは、それぞれ15nm及び200nm程度とすることができる。Cr層32は、Cu層34の密着性を向上させるために用いられるものである。
【0028】
図12の工程では、Cu層34の上にレジスト層36をホトリソグラフィ処理により形成する。レジスト層36は、図13に示すように細長い長方形状のメッキ孔36Aを有すると共に、メッキ孔36Aの長さ方向の一辺に沿って傾斜面R41〜R47が鋸歯状に連なるように形成する。このようなレジスト層36は、ホトリソグラフィ処理において縮小投影露光装置を用いて寸法精度良く形成することができる。
【0029】
図14の工程では、レジスト層36をマスクとするNi−Fe合金の選択メッキ処理によりNi−Fe合金からなるバー並置板12を形成する。並置板12の厚さT(図15参照)は、50〜100μm程度とすることができる。
【0030】
図15の工程では、薬液処理等によりレジスト層36を除去し、並置板12を残存させる。図16の工程では、Cu/Cr積層のうち少なくともCu層34をエッチング処理により除去して並置板12を基板30から分離する。図16において、並置板12の断面は、図15に示す並置板12を水平方向に切断した断面に相当する。並置板12は、図13に示したレジスト層36の傾斜面R41〜R47にそれぞれ対応して形成された傾斜面R1〜R7を有し、これらの傾斜面は、並置板12の長さ方向の一辺に沿って鋸歯状に連なっている。Cr層32が残存する基板30は、図11の工程に戻ってスパッタ法によりCu層34をCr層32上に形成することで再使用が可能である。
【0031】
上記した並置板作成法によれば、傾斜面R1〜R7を有するバー並置板12を高精度で作成することができる。
【0032】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、ウエハ状態でマイクロレンズアレイの光入射面に反射戻り光抑制用の傾斜面を形成可能としたので、二次元マイクロレンズアレイであっても一次元マイクロレンズアレイに分割することなく効率的に傾斜面形成を行なえる効果が得られる。
【0033】
また、薄膜プロセスにより作成した金属製のバー並置板を用いて複数の傾斜面が鋸歯状に連なるエッチングマスクを作成し、このマスクの傾斜面をレンズ基板にエッチングにより転写するようにしたので、高精度の傾斜面形成が可能になる効果も得られる。
【0034】
その上、傾斜面の形成後にマイクロレンズアレイの両面に反射防止膜形成処理を施す際にもウエハ状態のまま処理を施すことができるので、作業効率が向上する利点もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一実施形態に係るマイクロレンズアレイの傾斜面形成法に用いられるバー並置板を示す断面図である。
【図2】 図1のバー並置板を用いて石英バーを並置する工程を示す断面図である。
【図3】 図2の工程に続く石英バー固定工程を示す断面図である。
【図4】 図3の工程に続くレプリカ材層形成工程を示す断面図である。
【図5】 図4の工程に続く傾斜面連鎖パターン転写工程を示す断面図である。
【図6】 レプリカ材層の傾斜面連鎖パターンをレンズ基板に転写するためのエッチング工程を示す断面図である。
【図7】 図2の石英バー並置工程を詳細に示す斜視図である。
【図8】 レンズ基板におけるレンズ配置及び傾斜面配置を示す平面図である。
【図9】 図8のA−A’線に沿う断面図である。
【図10】 図8のB−B’線に沿う断面図である。
【図11】 この発明に係るバー並置板作成法におけるCu/Cr積層形成工程を示す断面図である。
【図12】 図11の工程に続くレジスト層形成工程を示す断面図である。
【図13】 図12の工程で形成されるレジスト層を示す平面図である。
【図14】 図12の工程に続く選択メッキ工程を示す断面図である。
【図15】 図14の工程に続くレジスト除去工程を示す断面図である。
【図16】 図15の工程に続くバー並置板分離工程を示す断面図である。
【符号の説明】
10:並置板保持具、10a〜10c:並置板挿入溝、12a〜12c,12:バー並置板、14:固定基板、16:接着層、18:レンズ基板、20:レプリカ材層、30:石英基板、32:Cr層、34:Cu層、36:レジスト層、36A:メッキ孔、R1〜R7,R11〜R17,R21〜R27,R31〜R37,R41〜R47:傾斜面、B1〜B7:石英バー、L11〜L71:レンズ、F11〜F14:光ファイバ。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method of forming an inclined surface for suppressing reflected return light on a light incident surface opposite to a lens forming surface in a microlens array.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in a microlens array for collimating (collimating) light emitted from an optical fiber, a light incident surface opposite to the lens forming surface is provided with an inclined surface having an inclination angle of about 8 degrees from the light incident surface. It is known that reflected return light is prevented from entering the optical fiber.
[0003]
As a method of forming an inclined surface in a microlens array, after forming a bar-shaped microlens array by dicing a lens substrate in which a large number of lenses are formed in a matrix on one main surface for each row, for example, A method is used in which a bar-shaped microlens array is mounted on a polishing jig so that the other main surface has a predetermined polishing angle (inclination angle) and is subjected to a polishing process. Although patents and utility model publications were searched using “microlens, antireflection, oblique” as a keyword, a technology close to the present invention could not be searched.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
According to the prior art described above, it is necessary to convert the microlens array in the wafer state (two-dimensional microlens array) into a bar-shaped microlens array (one-dimensional microlens array). Therefore, it is impossible to form an inclined surface for suppressing reflected return light. For this reason, work efficiency is inevitable due to handling in a bar state, attachment to and removal from a polishing jig, and the like. In addition, an antireflection film for preventing reflection at the interface may be formed on both surfaces of the microlens array after the inclined surface is formed. Such an antireflection film forming process is performed for each bar-shaped microlens array. The working efficiency was not good.
[0005]
An object of the present invention is to provide a novel method of forming an inclined surface of a microlens array that can efficiently form an inclined surface for suppressing reflected return light on the light incident surface of the microlens array in a wafer state.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The method of forming the inclined surface of the microlens array according to the present invention is as follows.
A step of creating a plurality of metal bar juxtaposed plates with a plurality of inclined surfaces in a sawtooth shape along one side in the length direction by a thin film process,
A step of holding the plurality of bar juxtaposed plates side by side so that the inclined surface positions are aligned in a direction perpendicular to the length direction of the bar juxtaposed plate with each inclined surface facing upward;
The step of arranging a plurality of prismatic bars on top of the plurality of bar juxtaposed plates by arranging a prismatic bar for each set of inclined surfaces aligned in a state where the plurality of bar juxtaposing plates are held side by side. When,
In a state where the plurality of prismatic bars are juxtaposed above the plurality of bar juxtaposed plates, the plurality of prismatic bars are bonded and fixed to a fixed substrate on the side opposite to the plurality of bar juxtaposed plates. Process,
In a state where the plurality of prismatic bars are fixed to the fixed substrate, the plurality of prismatic bars are saw-toothed on the side opposite to the fixed side by separating from the upper portions of the plurality of bar juxtaposed plates. A step of exposing the inclined surface chain pattern linked in a shape;
In a lens substrate having a plurality of lenses formed on one main surface, the inclined surface chain pattern of the plurality of prismatic bars is formed on the replica material layer formed on the other main surface, and the plurality of inclined surfaces are the plurality of lenses. And a process of transferring so as to face each other,
The inclined surface chain pattern transferred to the replica material layer is transferred to the other main surface of the lens substrate by an etching process so that the plurality of inclined surfaces are opposed to the plurality of lenses, respectively. Forming on the surface.
[0007]
According to the inclined surface forming method of the microlens array of the present invention, after a plurality of bar juxtaposed plates are formed by a thin film process, the plurality of bar juxtaposed plates are arranged such that the inclined surface positions are aligned with each inclined surface facing upward. Hold them side by side. At this time, it is convenient to use a juxtaposed plate holder having juxtaposed plate insertion grooves juxtaposed on one main surface as the holding means.
[0008]
In a state where a plurality of bar juxtaposed plates are held side by side, a prismatic bar is arranged for each set of inclined surfaces whose positions are aligned, and a plurality of prismatic bars are juxtaposed on top of the plurality of bar juxtaposed plates. The plurality of prismatic bars can be easily created by dicing a plate material made of quartz or the like. In a state where a plurality of prismatic bars are juxtaposed on top of a plurality of bar juxtaposed plates, a plurality of prismatic bars are bonded and fixed to a fixed substrate on the side opposite to the bar juxtaposed plate side. Are separated from the upper part of a plurality of bar juxtaposed plates. As a result, the plurality of prismatic bars fixed to the fixed substrate are exposed to an inclined surface chain pattern in which a plurality of inclined surfaces are connected in a sawtooth shape on the side opposite to the fixed side.
[0009]
Thereafter, the inclined surface chain pattern of the plurality of prismatic bars is transferred to the replica material layer made of resin or the like formed on the other main surface in the lens substrate on which the plurality of lenses are formed on one main surface. Then, the inclined surface chain pattern transferred to the replica material layer is transferred to the other main surface of the lens substrate by etching to form a plurality of inclined surfaces so as to face the plurality of lenses, respectively.
[0010]
As described above, in this invention, the inclined surface chain pattern is transferred to the replica material layer on the lens substrate, and the inclined surface chain pattern of the replica material layer is transferred to the lens substrate by the etching process. Thus, the inclined surface can be efficiently formed in the wafer state.
[0011]
In the method of forming the inclined surface of the microlens array according to the present invention, lenses arranged in a matrix as the plurality of lenses are formed on one main surface of the lens substrate, and the plurality of prismatic bars are formed on the replica material layer. In the step of transferring the inclined surface chain pattern, transfer is performed so that a plurality of inclined surfaces respectively face a plurality of lens rows (or lens columns) of the lens substrate, and the inclined surface chain pattern of the replica material layer is transferred to the In the step of transferring to the other main surface of the lens substrate, a plurality of inclined surfaces may be formed so as to face the plurality of lens rows (or lens columns) of the lens substrate. In this way, it is possible to efficiently form the inclined surface in the wafer state without dividing the lens substrate on which the lenses having the matrix arrangement (two-dimensional arrangement) are formed.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
1 to 6 show a method of forming an inclined surface of a microlens array according to an embodiment of the present invention, and steps (1) to (6) corresponding to the respective drawings will be sequentially described.
[0013]
(1) The bar juxtaposed
[0014]
In the process of FIG. 1, bar juxtaposed
[0015]
(2) Next, in the juxtaposed
[0016]
The quartz bars B 1 to B 7 are formed by, for example, dicing a quartz plate, and are all in the shape of a prism (a cross section perpendicular to the length direction is a quadrilateral shape). In each quartz bar 1 such B, the length Q respectively 1.2mm and 1.5mm of length P and Rinhen cross section of one side perpendicular to the longitudinal direction, the length R may be a 76mm .
[0017]
As shown in FIG. 7, a quartz bar is disposed on the upper side of the bar juxtaposed
[0018]
(3) In a state where the
[0019]
(4) separating the
[0020]
Next, a
[0021]
(5) As shown in FIG. 4, the side opposite to the fixed side of the quartz bars B 1 to B 7 fixed to the fixed
[0022]
When transferring the inclined surface chain pattern of the quartz bars B 1 to B 7 to the
[0023]
(6) The
[0024]
Inclined surface R 21 in step 5 as described above, R 22 ... a quartz bar B 1 to R 27 are each opposed to the first to seventh lens array that includes a
[0025]
9 and 10 show how the microlens array obtained by the above-described inclined surface forming method is used. The light beams L emitted from the optical fibers F 11 to F 14 are respectively applied to the lenses L 11 to L 14 formed on one main surface of the
[0026]
FIGS. 11-16 shows an example of the bar juxtaposition board preparation method based on this invention.
[0027]
In the process of FIG. 11, a
[0028]
In the step of FIG. 12, a resist
[0029]
In the process of FIG. 14, the bar juxtaposed
[0030]
In the process of FIG. 15, the resist
[0031]
According to the above-described juxtaposed plate production method, the bar juxtaposed
[0032]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the inclined surface for suppressing the reflected return light can be formed on the light incident surface of the microlens array in the wafer state. Therefore, even in the two-dimensional microlens array, the one-dimensional microlens An effect of efficiently forming the inclined surface without dividing the array is obtained.
[0033]
In addition, an etching mask in which a plurality of inclined surfaces are connected in a sawtooth shape using a metal bar juxtaposed plate made by a thin film process is transferred to the lens substrate by etching. There is also an effect that it is possible to form an inclined surface with high accuracy.
[0034]
In addition, when the anti-reflection film forming process is performed on both surfaces of the microlens array after the inclined surface is formed, the process can be performed in the wafer state, which has an advantage of improving the working efficiency.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a bar juxtaposed plate used in an inclined surface forming method of a microlens array according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a process of juxtaposing quartz bars using the bar juxtaposition plate of FIG.
3 is a cross-sectional view showing a quartz bar fixing step subsequent to the step of FIG. 2. FIG.
4 is a cross-sectional view showing a replica material layer forming step that follows the step of FIG. 3. FIG.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing an inclined surface chain pattern transfer process subsequent to the process of FIG. 4;
FIG. 6 is a cross-sectional view showing an etching process for transferring an inclined surface chain pattern of a replica material layer to a lens substrate.
7 is a perspective view showing in detail a quartz bar juxtaposition process of FIG. 2; FIG.
FIG. 8 is a plan view showing a lens arrangement and an inclined surface arrangement on a lens substrate.
9 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG.
10 is a cross-sectional view taken along line BB ′ of FIG.
FIG. 11 is a cross-sectional view showing a Cu / Cr lamination forming process in the bar juxtaposition plate making method according to the present invention.
12 is a cross-sectional view showing a resist layer forming step that follows the step of FIG. 11. FIG.
13 is a plan view showing a resist layer formed in the step of FIG.
FIG. 14 is a cross-sectional view showing a selective plating step following the step of FIG.
15 is a cross-sectional view showing a resist removing step that follows the step of FIG. 14;
16 is a cross-sectional view showing a bar juxtaposed plate separating step subsequent to the step of FIG.
[Explanation of symbols]
10: juxtaposed plate holder, 10a to 10c: juxtaposed plate insertion groove, 12a to 12c, 12: bar juxtaposed plate, 14: fixed substrate, 16: adhesive layer, 18: lens substrate, 20: replica material layer, 30: quartz Substrate, 32: Cr layer, 34: Cu layer, 36: Resist layer, 36A: Plating hole, R 1 to R 7 , R 11 to R 17 , R 21 to R 27 , R 31 to R 37 , R 41 to R 47: inclined surface,
Claims (2)
前記複数枚のバー並置板を各傾斜面が上向きの状態でバー並置板の長さ方向に直交する方向に傾斜面位置が揃うように並べて保持する工程と、
前記複数枚のバー並置板を並べて保持した状態において位置が揃った1組の傾斜面毎に角柱状バーを配置して前記複数枚のバー並置板の上部に複数の角柱状バーを並置する工程と、
前記複数枚のバー並置板の上部に前記複数の角柱状バーを並置した状態において前記複数の角柱状バーを前記複数枚のバー並置板側とは反対側にて固定基板に接着して固定する工程と、
前記複数の角柱状バーを前記固定基板に固定した状態において前記複数枚のバー並置板の上部から分離することにより前記複数の角柱状バーが固定側とは反対側にて複数の傾斜面を鋸歯状に連ねた傾斜面連鎖パターンを露呈する状態にする工程と、
一方の主面に複数のレンズが形成されたレンズ基板において他方の主面に形成されたレプリカ材層に対して前記複数の角柱状バーの傾斜面連鎖パターンを複数の傾斜面が前記複数のレンズにそれぞれ対向するように転写する工程と、
前記レプリカ材層に転写された傾斜面連鎖パターンをエッチング処理により前記レンズ基板の他方の主面に転写して前記複数のレンズにそれぞれ対向するように複数の傾斜面を前記レンズ基板の他方の主面に形成する工程と
を含むマイクロレンズアレイの傾斜面形成法。A step of creating a plurality of metal bar juxtaposed plates with a plurality of inclined surfaces in a sawtooth shape along one side in the length direction by a thin film process,
A step of holding the plurality of bar juxtaposed plates side by side so that the inclined surface positions are aligned in a direction perpendicular to the length direction of the bar juxtaposed plate with each inclined surface facing upward;
The step of arranging a plurality of prismatic bars on top of the plurality of bar juxtaposed plates by arranging a prismatic bar for each set of inclined surfaces aligned in a state where the plurality of bar juxtaposing plates are held side by side. When,
In a state where the plurality of prismatic bars are juxtaposed above the plurality of bar juxtaposed plates, the plurality of prismatic bars are bonded and fixed to a fixed substrate on the side opposite to the plurality of bar juxtaposed plates. Process,
In a state where the plurality of prismatic bars are fixed to the fixed substrate, the plurality of prismatic bars are saw-toothed on the side opposite to the fixed side by separating from the upper portions of the plurality of bar juxtaposed plates. A step of exposing the inclined surface chain pattern linked in a shape;
In a lens substrate having a plurality of lenses formed on one main surface, the inclined surface chain pattern of the plurality of prismatic bars is formed on the replica material layer formed on the other main surface, and the plurality of inclined surfaces are the plurality of lenses. And a process of transferring so as to face each other,
The inclined surface chain pattern transferred to the replica material layer is transferred to the other main surface of the lens substrate by an etching process so that the plurality of inclined surfaces are opposed to the plurality of lenses, respectively. A method of forming an inclined surface of a microlens array including a step of forming on a surface.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003013785A JP4241060B2 (en) | 2003-01-22 | 2003-01-22 | Method for forming inclined surface of microlens array |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003013785A JP4241060B2 (en) | 2003-01-22 | 2003-01-22 | Method for forming inclined surface of microlens array |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004226640A JP2004226640A (en) | 2004-08-12 |
JP4241060B2 true JP4241060B2 (en) | 2009-03-18 |
Family
ID=32902025
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003013785A Expired - Fee Related JP4241060B2 (en) | 2003-01-22 | 2003-01-22 | Method for forming inclined surface of microlens array |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4241060B2 (en) |
-
2003
- 2003-01-22 JP JP2003013785A patent/JP4241060B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004226640A (en) | 2004-08-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7113336B2 (en) | Microlens including wire-grid polarizer and methods of manufacture | |
TWI471983B (en) | Method of producing a wafer scale package | |
TWI233510B (en) | Fiber and lens grippers, optical devices and methods of manufacture | |
US6483174B1 (en) | Apparatus and method for dicing and testing optical devices, including thin film filters | |
JP4241060B2 (en) | Method for forming inclined surface of microlens array | |
US6798589B2 (en) | Optical member with handling portion and method for manufacturing optical member and method for mounting optical member and optical module | |
JP4239722B2 (en) | Optical component and its manufacturing method and optical component processing tool and its manufacturing method | |
JP3852353B2 (en) | Microlens array coupling system, microlens array and manufacturing method thereof | |
JP4207522B2 (en) | Microlens array and its manufacturing method | |
JP2006023661A (en) | Film optical waveguide and its manufacturing method, and base material for film optical waveguide | |
JP3753109B2 (en) | Optical fiber array and optical fiber positioning method | |
JP4218682B2 (en) | Manufacturing method of optical waveguide module | |
JP4022918B2 (en) | Optical component mounting structure and manufacturing method | |
TW200914864A (en) | Method for fabricating coating lens | |
JP3492833B2 (en) | Manufacturing method of metal mask for dry etching, metal mask for dry etching, and deep etching method | |
JP2004237701A (en) | Manufacturing method and molding plate of microlens array | |
JP2002022911A (en) | Method for producing microprism array and mold material | |
JP3696800B2 (en) | Microlens and method for forming the same | |
JP2008262218A (en) | Optical component, its manufacturing method, optical component machining tool, and its manufacturing method | |
JPH0416767B2 (en) | ||
JP5617848B2 (en) | Optical element manufacturing method and jig used in the manufacturing method | |
JP2003270474A (en) | Optical fiber array, method for manufacturing the same, and optical fiber fixation plate | |
JP2565124B2 (en) | Array optical fiber alignment structure | |
JP2000304904A (en) | Stuck planar micro lens array and method of manufacturing it | |
WO1998032605A1 (en) | Hologram manufacturing process and method for efficiently providing a multi-holographic optical element substrate unit |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050927 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20070221 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081209 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081222 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130109 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140109 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |