JP4212514B2 - Electromagnetic wave oscillator using surface wave - Google Patents

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Description

本発明は、表面波を用いた電磁波発振器、特にミリ・サブミリ・テラヘルツ波発振器に関するものである。   The present invention relates to an electromagnetic wave oscillator using surface waves, and more particularly to a millimeter / submillimeter / terahertz wave oscillator.

従来、高周波数領域、特にテラヘルツ領域の電磁波光源としては、例えば、円筒コルゲート導波管に電子ビームを入射することによって高周波の電磁波を出力することができるBWOなどが一般に使用されている。
一方、高出力の電磁波光源としては、一般に、直円筒導波管を用いた発振器として、超伝導磁石の生み出す強磁場を利用したジャイロトロンが使用されている。
Conventionally, as an electromagnetic wave light source in a high frequency region, particularly a terahertz region, for example, a BWO that can output a high-frequency electromagnetic wave when an electron beam is incident on a cylindrical corrugated waveguide is generally used.
On the other hand, as a high-power electromagnetic wave light source, a gyrotron using a strong magnetic field generated by a superconducting magnet is generally used as an oscillator using a straight cylindrical waveguide.

なお、上記従来の技術が記載された公知特許文献であって特許を受けようとする者が特許出願の時に知っているものはないので、その文献公知発明に関する情報の所在を記載をすることはできない。   In addition, since there is no known patent document in which the above prior art is described and the person who is going to receive a patent knows at the time of filing a patent application, it is not possible to describe the location of information related to the known invention Can not.

しかしながら上記従来のBWOでは、その出力が1W未満と小さいという問題があり、更に、高周波、特にテラヘルツ領域の電磁波を発生させるためには、BWOの導波管の内壁に極めて微細な加工(導波管の内壁のコルゲート波長を細密化する加工)を施すか、または該導波管の内径を小さくする必要がある。該導波管の内壁に微細な精密加工を施す場合には、加工・工作コストが増加するためにコストアップにつながるという問題があるとともに、微細精密加工には加工限界があるため、更なる高周波化を図ることが困難であるという問題があった。また、該導波管の内径を小さくする場合には、入射する電子ビームを減らさざるを得ず、電子ビームの強度の低下に比例して出力が小さくなるという問題があった。
一方、上記従来のジャイロトロンでは、その発振周波数が1THz未満と低いという問題があり、更に、高出力の電磁波を発生させるためには、10T以上の強磁場が必要となるため、磁場発生装置が大規模化し、装置の製造コストが増加するという問題があった。
従って、従来、高周波(1THz以上)かつ高出力(1W以上)の電磁波を発振する電磁波発振器は一般に提供されていなかった。
However, the conventional BWO has a problem that its output is as small as less than 1 W. Furthermore, in order to generate electromagnetic waves in a high frequency, particularly in the terahertz region, extremely fine processing (waveguide) is performed on the inner wall of the BWO waveguide. It is necessary to make the corrugated wavelength of the inner wall of the tube fine, or to reduce the inner diameter of the waveguide. When fine precision machining is performed on the inner wall of the waveguide, there is a problem that the machining / working cost increases, leading to an increase in cost, and the fine precision machining has a processing limit. There was a problem that it was difficult to make it easier. Further, when the inner diameter of the waveguide is reduced, the incident electron beam has to be reduced, and there is a problem that the output is reduced in proportion to a decrease in the intensity of the electron beam.
On the other hand, the conventional gyrotron has a problem that its oscillation frequency is as low as less than 1 THz. Further, in order to generate a high output electromagnetic wave, a strong magnetic field of 10 T or more is required. There is a problem that the manufacturing cost of the apparatus increases due to the increase in scale.
Therefore, conventionally, an electromagnetic wave oscillator that oscillates an electromagnetic wave having a high frequency (1 THz or more) and a high output (1 W or more) has not been generally provided.

本発明は上記従来の課題を解決するための手段として、一方向に周期的な波形が付与されているコルゲート金属板2と、該コルゲート金属板2の表面から所定距離dを隔てて電子ビームEを一方向に発生させる電子ビーム発生装置4とを有し、該コルゲート金属板2の電磁表面波Sを該電子ビームEによって励起して電磁波Xの発振を行なう表面波Sを用いた電磁波発振器1を提供するものである。
該コルゲート金属板2は電磁波成長部分2aと出力取出し部分2bとからなり、該出力取出し部分2bのコルゲート波長λb、即ちコルゲート金属板に付されている周期的な波形の波長は、該電磁波成長部分2aのコルゲート波長λaよりも長く設定されていることが望ましい。
また、該電子ビームEはシートビームEsであることが望ましい。ここで、シートビームEsとはシート状の電子ビームEをいう。
As means for solving the above-described conventional problems, the present invention provides a corrugated metal plate 2 provided with a periodic waveform in one direction, and an electron beam E separated from the surface of the corrugated metal plate 2 by a predetermined distance d. The electromagnetic wave generator 1 using the surface wave S which oscillates the electromagnetic wave X by exciting the electromagnetic surface wave S of the corrugated metal plate 2 with the electron beam E. Is to provide.
The corrugated metal plate 2 comprises an electromagnetic wave growth portion 2a and an output extraction portion 2b. The corrugated wavelength λb of the output extraction portion 2b, that is, the wavelength of the periodic waveform attached to the corrugated metal plate is It is desirable to set it longer than the corrugated wavelength λa of 2a.
The electron beam E is preferably a sheet beam Es. Here, the sheet beam Es refers to a sheet-like electron beam E.

本発明の表面波Sを用いた電磁波発振器1では、コルゲート金属板2の表面波Sが電子ビームEとの相互作用によって励起され、該表面波Sは電子ビームEの進行方向に成長する。したがって、コルゲート金属板2の一方向の長さを長くすることによって、高出力の電磁波Xを発振させることができる。更にこの場合、大規模な磁場発生装置を必要とすることがないので、装置を小型化することができる。
また、発振される電磁波Xの周波数ωはコルゲート金属板2のコルゲート波長λに依存するため、該コルゲート波長λを短くすることによって、高周波領域、特にテラヘルツ領域の電磁波Xを発生させることができる。更にこの場合、コルゲート金属板2の表面の加工は、導波管の内壁の加工に比べて、加工作業が容易であるため、加工・工作コストが安くなるだけでなく、更なる高周波化を図ることも可能となる。
従って本発明の電磁波発振器1では、高周波かつ高出力の電磁波を発振することができ、更なる高周波化や小型化が可能となる。
In the electromagnetic wave oscillator 1 using the surface wave S of the present invention, the surface wave S of the corrugated metal plate 2 is excited by the interaction with the electron beam E, and the surface wave S grows in the traveling direction of the electron beam E. Therefore, by increasing the length of the corrugated metal plate 2 in one direction, the high-power electromagnetic wave X can be oscillated. Further, in this case, since a large-scale magnetic field generator is not required, the apparatus can be miniaturized.
Further, since the frequency ω of the oscillated electromagnetic wave X depends on the corrugated wavelength λ of the corrugated metal plate 2, the electromagnetic wave X in the high frequency region, particularly the terahertz region can be generated by shortening the corrugated wavelength λ. Further, in this case, since the processing of the surface of the corrugated metal plate 2 is easier than the processing of the inner wall of the waveguide, not only the processing / working cost is reduced, but also higher frequency is achieved. It is also possible.
Therefore, the electromagnetic wave oscillator 1 of the present invention can oscillate high-frequency and high-output electromagnetic waves, and can further increase the frequency and reduce the size.

更に、該コルゲート金属板2が電磁波成長部分2aと出力取出し部分2bとからなり、該出力取出し部分2bのコルゲート波長λbが、該電磁波成長部分2aのコルゲート波長λaよりも長く設定されている場合には、該出力取出し部分2bにおいて表面波S(電磁波X)が垂直方向の伝播成分を持つこととなるため、発振した電磁波Xを斜め方向に取り出すことができ、電磁波Xと電子ビームEとを容易に分離することができる。
また更に、該電子ビームEがシートビームEsである場合には、平面的に存在するコルゲート金属板2の表面波Sを平面的なシートビームEsによって効率良く励起することができるため、電磁波発振の高効率化を図ることができる。
Furthermore, when the corrugated metal plate 2 is composed of an electromagnetic wave growth portion 2a and an output extraction portion 2b, the corrugation wavelength λb of the output extraction portion 2b is set longer than the corrugation wavelength λa of the electromagnetic wave growth portion 2a. Since the surface wave S (electromagnetic wave X) has a vertical propagation component in the output extraction portion 2b, the oscillated electromagnetic wave X can be extracted in an oblique direction, and the electromagnetic wave X and the electron beam E can be easily obtained. Can be separated.
Furthermore, when the electron beam E is a sheet beam Es, the surface wave S of the corrugated metal plate 2 existing in a plane can be efficiently excited by the plane sheet beam Es. High efficiency can be achieved.

本発明を図1および図2に示す一実施例によって説明する。
図1および図2に示すように、表面波Sを用いた電磁波発振器1は、yz平面上に置かれた金属平板をz方向に周期的にコルゲートさせたコルゲート金属板2と、該コルゲート金属板2の表面から所定距離dを隔ててyz平面上に沿ってシートビームEsをz方向に向けて発生させるカソード3を備えた電子ビーム発生装置4とを有している。
そして、該コルゲート金属板2は、電磁波成長部分2aと出力取出し部分2bとを有しており、該出力取出し部分2bのコルゲート波長λbは、該電磁波成長部分2aのコルゲート波長λaよりも長く設定されている。
The present invention is illustrated by the example shown in FIGS.
As shown in FIGS. 1 and 2, an electromagnetic wave oscillator 1 using a surface wave S includes a corrugated metal plate 2 in which a metal flat plate placed on a yz plane is periodically corrugated in the z direction, and the corrugated metal plate. And an electron beam generator 4 including a cathode 3 that generates a sheet beam Es in the z direction along a yz plane at a predetermined distance d from the surface of 2.
The corrugated metal plate 2 has an electromagnetic wave growth portion 2a and an output extraction portion 2b. The corrugation wavelength λb of the output extraction portion 2b is set longer than the corrugation wavelength λa of the electromagnetic wave growth portion 2a. ing.

該電子ビーム発生装置4にはガイド磁場発生装置(図示せず)が備えられており、該ガイド磁場発生装置からは、カソード3から放出されるシートビームEsのシート形状を安定に保持するためのガイド磁場(図示せず)がz方向に向けて発生される。
なお、該ガイド磁場は、シートビームEsのシート形状が保持できる強度の磁場であれば十分であり、強磁場は必要とされないため、該ガイド磁場発生装置は小型化することができる。
The electron beam generator 4 is provided with a guide magnetic field generator (not shown). The guide magnetic field generator 4 stably maintains the sheet shape of the sheet beam Es emitted from the cathode 3. A guide magnetic field (not shown) is generated in the z direction.
It is sufficient that the guide magnetic field is a magnetic field having a strength capable of maintaining the sheet shape of the sheet beam Es, and a strong magnetic field is not required. Therefore, the guide magnetic field generator can be downsized.

上記の電磁波発振器1を使用して電磁波Xを発振させる場合には、図1および図2に示すように、該電磁波発振器1のカソード3からシートビームEsをz方向に向けて発生させて、該シートビームEsを該コルゲート金属板2の表面から所定距離dを隔ててyz平面上に沿って通過させる。このとき、ガイド磁場発生装置からはガイド磁場が発生されており、該ガイド磁場によって該シートビームEsはシート形状が安定に保持されている。   When the electromagnetic wave X is oscillated using the electromagnetic wave oscillator 1, the sheet beam Es is generated in the z direction from the cathode 3 of the electromagnetic wave oscillator 1 as shown in FIGS. The sheet beam Es is passed along the yz plane at a predetermined distance d from the surface of the corrugated metal plate 2. At this time, a guide magnetic field is generated from the guide magnetic field generator, and the sheet shape of the sheet beam Es is stably maintained by the guide magnetic field.

そうすると、コルゲート金属板2の表面波SがシートビームEsとの相互作用によって励起され、該表面波SはシートビームEsの進行方向(z方向)に成長する。このとき、該コルゲート金属板2の出力取出し部分2bのコルゲート波長λbが、電磁波成長部分2aのコルゲート波長λaよりも長く設定されているので、該出力取出し部分2bにおいて表面波S(電磁波X)は垂直方向の伝播成分を持つこととなり、発振した電磁波Xは斜め方向に取り出され、電磁波XとシートビームEsとが分離される(図1および図2参照)。   Then, the surface wave S of the corrugated metal plate 2 is excited by the interaction with the sheet beam Es, and the surface wave S grows in the traveling direction (z direction) of the sheet beam Es. At this time, since the corrugated wavelength λb of the output extraction portion 2b of the corrugated metal plate 2 is set to be longer than the corrugated wavelength λa of the electromagnetic wave growth portion 2a, the surface wave S (electromagnetic wave X) is generated in the output extraction portion 2b. The oscillating electromagnetic wave X is extracted in an oblique direction and has a vertical propagation component, and the electromagnetic wave X and the sheet beam Es are separated (see FIGS. 1 and 2).

これは、一般に、該コルゲート金属板2のコルゲート波長λを長くすると、該コルゲート金属板2の進行方向の波数kz、すなわち表面波S(電磁波X)の進行方向の波数kzは強制的に小さくなり、周波数ωは不変であるため、表面波S(電磁波X)の垂直方向の波数k⊥は実数成分を有することになって、表面波S(電磁波X)は垂直方向の伝播成分を持つこととなるためである。   Generally, when the corrugated wavelength λ of the corrugated metal plate 2 is increased, the wave number kz in the traveling direction of the corrugated metal plate 2, that is, the wave number kz in the traveling direction of the surface wave S (electromagnetic wave X) is forcibly reduced. Since the frequency ω is invariant, the vertical wave number k⊥ of the surface wave S (electromagnetic wave X) has a real component, and the surface wave S (electromagnetic wave X) has a vertical propagation component. Because it becomes.

上記のような電磁波発振器1では、コルゲート金属板2の表面波SがシートビームEsとの相互作用によって励起され、該表面波SはシートビームEsの進行方向(z方向)に成長するため、コルゲート金属板2の一方向の長さを長くすることによって、高出力(1W以上)の電磁波Xを発振させることができる。更に本実施例では、小型のガイド磁場発生装置は必要となるものの、大規模な磁場発生装置を必要とすることがないので、装置(電磁波発振器1)を小型化することができる。   In the electromagnetic wave oscillator 1 as described above, the surface wave S of the corrugated metal plate 2 is excited by the interaction with the sheet beam Es, and the surface wave S grows in the traveling direction (z direction) of the sheet beam Es. By increasing the length of the metal plate 2 in one direction, it is possible to oscillate the electromagnetic wave X having a high output (1 W or more). Furthermore, in this embodiment, although a small guide magnetic field generator is required, a large-scale magnetic field generator is not required, so that the apparatus (electromagnetic wave oscillator 1) can be downsized.

また、発振される電磁波Xの周波数ωはコルゲート金属板2のコルゲート波長λに依存するため、該コルゲート波長λを短くすることによって、高周波領域、特にテラヘルツ領域(1THz以上)の電磁波Xを発生させることができる。更に、コルゲート金属板2の表面の加工は、導波管の内壁の加工に比べて、加工作業が容易であるため、加工・工作コストが安くなるだけでなく、更なる高周波化を図ることも可能となる。   Further, since the frequency ω of the oscillated electromagnetic wave X depends on the corrugated wavelength λ of the corrugated metal plate 2, the electromagnetic wave X in the high frequency region, particularly in the terahertz region (1 THz or more) is generated by shortening the corrugated wavelength λ. be able to. Furthermore, since the processing of the surface of the corrugated metal plate 2 is easier than the processing of the inner wall of the waveguide, not only the processing / working cost is reduced, but also higher frequency can be achieved. It becomes possible.

例えば、上記の電磁波発振器1を用いて、80keVのシートビームEsを使用した場合には、λa=15mm、λb=30mm、d=17mmに設定することによって、10GHzの電磁波Xを発振させることができる。
また、λa=1.5mm、λb=3.0mm、d=1.7mmに設定することによって、100GHzの電磁波Xを発振させることができ、更に、λa=0.15mm、λb=0.30mm、d=0.17mmに設定することによって、1THzの電磁波Xを発振させることができる。
For example, when an 80 keV sheet beam Es is used using the electromagnetic wave oscillator 1 described above, the electromagnetic wave X of 10 GHz can be oscillated by setting λa = 15 mm, λb = 30 mm, and d = 17 mm. .
Further, by setting λa = 1.5 mm, λb = 3.0 mm, and d = 1.7 mm, an electromagnetic wave X of 100 GHz can be oscillated, and λa = 0.15 mm, λb = 0.30 mm, By setting d = 0.17 mm, an electromagnetic wave X of 1 THz can be oscillated.

また更に、本実施例では、電子ビームEがシート状のシートビームEsであるため、平面的に存在するコルゲート金属板2の表面波Sを平面的なシートビームEsによって効率良く励起することができ、電磁波発振の高効率化を図ることができる。   Furthermore, in this embodiment, since the electron beam E is a sheet-like sheet beam Es, the surface wave S of the corrugated metal plate 2 existing in a plane can be efficiently excited by the plane sheet beam Es. Thus, the efficiency of electromagnetic wave oscillation can be increased.

以上、本発明の実施の形態を実施例により説明したが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではなく、請求項に記載された範囲内において目的に応じて変更・変形することが可能である。
例えば、本実施例では、電子ビームEが平面状のシートビームEsである場合を例示したが、本実施例以外、電子ビームEは直線状の電子ビームであってもよい。
The embodiments of the present invention have been described above by way of examples. However, the scope of the present invention is not limited to these embodiments, and can be changed or modified in accordance with the purpose within the scope of the claims. It is.
For example, in the present embodiment, the case where the electron beam E is a planar sheet beam Es is illustrated, but the electron beam E may be a linear electron beam other than the present embodiment.

本発明は、高周波かつ高出力の電磁波を発振することができ、更なる高周波化や小型化が可能な電磁波発振器として、産業上利用することが出来る。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used industrially as an electromagnetic wave oscillator that can oscillate high-frequency and high-output electromagnetic waves and can be further reduced in frequency and size.

電磁波を発振する様子を示す説明側断面図である。It is explanatory side sectional drawing which shows a mode that an electromagnetic wave is oscillated. 電磁波を発振する様子を示す説明斜視図である。It is a description perspective view which shows a mode that an electromagnetic wave is oscillated.

符号の説明Explanation of symbols

1 電磁波発振器
2 コルゲート金属板
2a 電磁波成長部分
2b 出力取出し部分
4 電子ビーム発生装置
d コルゲート金属板表面とシートビームとの間の距離
E 電子ビーム
Es シートビーム
S 表面波
X 電磁波
λa 電磁波成長部分のコルゲート波長
λb 出力取出し部分のコルゲート波長
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electromagnetic wave oscillator 2 Corrugated metal plate 2a Electromagnetic wave growth part 2b Output extraction part 4 Electron beam generator d Distance between corrugated metal plate surface and sheet beam E Electron beam Es Sheet beam S Surface wave X Electromagnetic wave λa Corrugated part of electromagnetic wave growth part Wavelength λb Corrugated wavelength of output extraction part

Claims (3)

一方向に周期的な波形が付与されているコルゲート金属板と、該コルゲート金属板の表面から所定距離を隔てて電子ビームを一方向に発生させる電子ビーム発生装置とを有し、該コルゲート金属板の電磁表面波を該電子ビームによって励起して電磁波の発振を行なうことを特徴とする表面波を用いた電磁波発振器。 A corrugated metal plate provided with a periodic waveform in one direction, and an electron beam generator for generating an electron beam in one direction at a predetermined distance from the surface of the corrugated metal plate, the corrugated metal plate An electromagnetic wave oscillator using a surface wave, wherein the electromagnetic wave is excited by the electron beam to oscillate an electromagnetic wave. 該コルゲート金属板は電磁波成長部分と出力取出し部分とからなり、該出力取出し部分のコルゲート波長、即ちコルゲート金属板に付されている周期的な波形の波長は、該電磁波成長部分のコルゲート波長よりも長く設定されている請求項1に記載の表面波を用いた電磁波発振器。 The corrugated metal plate is composed of an electromagnetic wave growth portion and an output extraction portion, and the corrugated wavelength of the output extraction portion, that is, the wavelength of the periodic waveform attached to the corrugated metal plate is larger than the corrugation wavelength of the electromagnetic wave growth portion. The electromagnetic wave oscillator using the surface wave according to claim 1, which is set long. 該電子ビームはシートビームである請求項1または請求項2に記載の表面波を用いた電磁波発振器。   The electromagnetic wave oscillator using a surface wave according to claim 1 or 2, wherein the electron beam is a sheet beam.
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